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特許 7604092出願番号 特願 2019-144135
保持装置
出願人 日本特殊陶業株式会社（識別番号 4547）
2026年 特許公開件数ランキング 107位 191件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 149位 123件（※）
公報発行日 2024年12月23
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7604092 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
本明細書に開示される技術は、対象物を保持する保持装置
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
従来の技術のように、単に緩衝部材を配置するだけでは、緩衝部材と端子部材との間の熱膨張差に起因する応力によって、緩衝部材と端子部材とを接合するロウ付け部にクラックが発生するおそれがある。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本明細書に開示される技術は、例えば、以下の形態として実現することが可能である。
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
本実施形態における加熱装置１００の外観構成を概略的に示す斜視図である。
【図2】
本実施形態における加熱装置１００のＸＺ断面構成を概略的に示す説明図である。
【図3】
本実施形態における加熱装置１００の一部分（図２のＸ１部）のＸＺ断面構成を拡大して示す説明図である。
【図4】
本実施形態における加熱装置１００の一部分（図２のＸ１部）のＸＹ断面構成を拡大して示す説明図である。
【図5】
各変形例における加熱装置のＸＺ断面構成を概略的に示す説明図である。
【図6】
変形例および比較例における加熱装置のＸＺ断面構成を概略的に示す説明図である。
【図7】
性能評価結果を示す説明図である。
代表図 図1本件の代表的な図
１０：保持体 １２：凹部 ２０：柱状支持体 ２２：貫通孔 ３０：接合部 ５０：ヒータ電極 ５２：ビア導体 ５４：給電電極 ６０：緩衝部材 ６０ａ：緩衝部材 ６０ｂ：緩衝部材 ６０ｃ：緩衝部材 ６０ｄ：緩衝部材 ６０ｘ：緩衝部材 ６１：端子部材側部分 ６１ｂ：端子部材側部分 ６１ｃ：端子部材側部分 ６２：電極側部分 ６２ｂ：電極側部分 ６２ｃ：電極側部分 ７０：端子部材 ８１：端子側ロウ付け部 ８２：電極側ロウ付け部 １００：加熱装置 １００ａ：加熱装置 １００ｂ：加熱装置 １００ｃ：加熱装置 １００ｄ：加熱装置 １００ｘ：加熱装置 Ｓ１：保持面 Ｓ２：裏面 Ｓ３：上面 Ｓａ：側面 Ｓｂ：側面 Ｓｂｅ：電極側端面 Ｓｂｔ：端子部材側端面 Ｓｅ：露出面 Ｓｔ：緩衝部材側端面 Ｗ：半導体ウェハ
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