特許7604603対物レンズ及びそれを含む荷電粒子線装置

発明の名称　対物レンズ及びそれを含む荷電粒子線装置

出願人　コリア　リサーチ　インスティチュート　オブ　スタンダーズ　アンド　サイエンス　（識別番号 512328201）

　　　　特許公開件数ランキング 2891 位（2件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12296 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7604603

公報発行日　2024年12月23

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7604603

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