特許7604912IP Force 特許公報全文掲載

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技術分野

解析装置、解析方法およびプログラム

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

半導体装置の検査においては、欠陥の個数を精度よく計数できることが好ましい。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の第１の態様においては、解析装置を提供する。解析装置は、半導体装置を撮影した画像を取得する画像取得部を備えてよい。解析装置は、画像から複数の欠陥部分を抽出する欠陥抽出部を備えてよい。解析装置は、複数の欠陥部分に含まれる２つの欠陥部分の距離と、予め定められた判定閾値とを比較して、２つの欠陥部分が１つの欠陥か否かを判定する欠陥判定部を備えてよい。欠陥判定部は、２つの欠陥部分の特性に基づいて・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 本発明の一つの検査システム３００の構成例を示す図である。
【図2】 撮像装置２０が半導体装置１０の表面を撮像した第１画像２０１の一例を示す図である。
【図3】 第２画像２０２を用いて、それぞれの欠陥部分２１０の距離および特性の少なくとも一方を判別する例を示す。
【図4】 複数の第２画像２０２の他の例を示す図である。
【図5】 複数の第２画像２０２の他の例を示す図である。
【図6】 複数の第２画像２０２の他の例を示す図である。
【図7】 解析装置１００の動作例の概要を説明するフローチャートである。
【図8】 欠陥の解析結果の一例を示す図である。
【図9】 欠陥の解析結果の他の例を示す図である。
【図10】 判定閾値の補正例を示す図である。
【図11】 判定閾値の他の補正例を示す図である。
【図12】 判定閾値の他の補正例を示す図である。
【図13】 判定閾値の他の補正例を示す図である。
【図14】 判定閾値の他の補正例を示す図である。
【図15】 本発明の複数の態様が全体的または部分的に具現化されてよいコンピュータ２２００の例を示す。

代表図 図1本件の代表的な図

１０・・・半導体装置、１２・・・半導体チップ、２０・・・撮像装置、１００・・・解析装置、１１０・・・画像取得部、１２０・・・欠陥抽出部、１３０・・・欠陥判定部、１４０・・・結果出力部、２０１・・・第１画像、２０２・・・第２画像、２１０・・・欠陥部分、２１１・・・欠陥、３００・・・検査システム

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