特許 7605887 積層成形システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-12-16

(45)【発行日】2024-12-24

(54)【発明の名称】積層成形システム

(51)【国際特許分類】

   B29C 43/32 20060101AFI20241217BHJP

   H05K 7/20 20060101ALI20241217BHJP

   B29C 43/20 20060101ALI20241217BHJP

【ＦＩ】

B29C43/32

H05K7/20 H

B29C43/20

【請求項の数】 1

(21)【出願番号】P 2023057395

(22)【出願日】2023-03-31

(65)【公開番号】P2024145146

(43)【公開日】2024-10-15

【審査請求日】2023-09-13

(73)【特許権者】

【識別番号】000004215

【氏名又は名称】株式会社日本製鋼所

(74)【代理人】

【識別番号】100103894

【弁理士】

【氏名又は名称】家入 健

(72)【発明者】

【氏名】山本 隆幸

(72)【発明者】

【氏名】植田 直樹

【審査官】田村 佳孝

(56)【参考文献】

【文献】特開昭６０－２４５５２３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－２２１８４０（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１５／０９８８９２（ＷＯ，Ａ１）

【文献】中国実用新案第２１３０８１６５８（ＣＮ，Ｕ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２９Ｃ ４３／３２

Ｈ０５Ｋ ７／２０

Ｂ２９Ｃ ４３／２０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

被積層体に積層材を積層した一次成形品を上下に配置された加圧機構により加圧して成形する加圧部を有するラミネータと、
上下に配置された加圧機構により加圧しすることで前記一次成形品の前記積層材の積層面の平坦度を高めた二次成形品を成形する平坦化プレス装置と、を有し、
前記ラミネータと前記平坦化プレス装置の少なくとも一方は、筐体の天面に筐体内に下方に向かって流れる下方気流を供給するファンと、
前記ラミネータの前段に配置され、前記被積層体に前記積層材を積層した積層対象物を載置して前記ラミネータに搬送するキャリアフィルムを巻出すフィルム巻出し機と、
前記平坦化プレス装置の後段に配置され、前記キャリアフィルムを巻き取ることで、前記キャリアフィルムに載置された前記二次成形品を前記平坦化プレス装置から搬出するフィルム巻取り機と、を有し、
前記フィルム巻出し機と前記フィルム巻取り機の少なくとも一方は、筐体の天面に筐体内に下方に向かって流れる下方気流を供給するファンを有する積層成形システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、例えば、表面に凹凸を有する基板材料に当該凹凸を埋めるフィルム材を積層する積層成形装置及び積層成形システムに関する。

【背景技術】

【0002】

近年、表面に凹凸を有する基板材料に当該凹凸を埋めるフィルム材を積層する積層成形では、基板材料の表面の凹凸が微細になってきており、高い積層精度が要求されるようになってきた。このような積層成形装置の一例が特許文献１に開示されている。

【0003】

特許文献１に記載の積層成形装置は、積層材と被積層材とを加熱および加圧することにより中間積層品を積層するラミネータと、該ラミネータで積層された中間積層品を所定の温度で加圧してその表面を平坦に成形する平坦化プレスと、前記中間積層品をラミネータから平坦化プレスに搬送する搬送手段とを備えた積層成形装置であって、前記平坦化プレスが、相対向して配置され互いの対向面に平滑な加圧面を有する固定盤および可動盤と、固定盤に対して可動盤を近接・遠退可能に移動させて前記ラミネータで積層された中間積層品を加圧させる圧締手段と、固定盤に対して可動盤をその対向面と直交する方向に直線移動させるよう案内する直動手段とを備えており、該直動手段が、可動盤を直線移動させる方向に沿って延在するよう配設された複数のボールスプライン軸と、可動盤の角隅部に設けられ前記各ボールスプライン軸にそれぞれ挿通されるボールスプライン筒と、を備えている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０２２－１５５８９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところで、積層成形装置によって、所定の積層成形品を製造する場合には、微粒子やホコリ等の異物が被積層体や積層材に付着せずに積層成形が行われる事が望まれる。しかしながら、積層成形装置の筐体内では、加熱に起因する熱によって上昇気流が生じるため、筐体の内壁などに異物が蓄積しやすく、蓄積した異物が被積層体や積層材に付着する問題が生じる虞があった。

【0006】

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、筐体内のクリーン度を高めて積層成形品の歩留まりを改善することを目的とするものである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

一実施の形態にかかる積層成形装置は、筐体と、前記筐体内に設けられ、上下に配置された加圧機構により被積層体に積層材を積層した成形品を加圧する加圧部と、前記筐体の天面に設けられ、前記筐体内に下方に向かって流れる下方気流を供給するファンと、を有し、前記筐体は、前記天面を除く面の少なくとも１面に前記下方気流に起因する排気を排出する排気口を有する。

【0008】

一実施の形態にかかる積層成形システムは、被積層体に積層材を積層した一次成形品を上下に配置された加圧機構により加圧して成形する加圧部を有するラミネータと、上下に配置された加圧機構により加圧することで前記一次成形品の前記積層材の積層面の平坦度を高めた二次成形品を成形する平坦化プレス装置と、を有し、前記ラミネータと前記平坦化プレス装置の少なくとも一方は、筐体の天面に筐体内に下方に向かって流れる下方気流を供給するファンを有する。

【0009】

一実施の形態にかかる積層成形装置及び積層成形システムでは、加圧部が内蔵される筐体内に下方気流を供給するファンを設けることで、筐体内の異物が筐体内に対流或いは蓄積することを防止する。

【発明の効果】

【0010】

一実施の形態にかかる積層成形装置及び積層成形システムによれば、筐体内のクリーン度を高めることで高めて成形品の成形精度を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】実施の形態１にかかる積層成形システムの構成図である。

【図2】実施の形態１にかかるラミネータの構成図である。

【図3】比較例にかかるラミネータにおける気流の流れを説明する図である。

【図4】実施の形態１にかかるラミネータにおける気流の流れを説明する図である。

【図5】実施の形態１にかかるファンの構成例を説明する図である。

【図6】実施の形態２にかかるラミネータにおける気流の流れを説明する図である。

【図7】実施の形態３にかかるラミネータにおける気流の流れを説明する図である。

【図8】実施の形態４にかかるラミネータの構成図である。

【図9】実施の形態４にかかる除電機構の構成図である。

【図10】実施の形態５にかかるクリーン度監視装置を有するラミネータの構成図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

説明の明確化のため、以下の記載及び図面は、適宜、省略、及び簡略化がなされている。また、各図面において、同一の要素には同一の符号が付されており、必要に応じて重複説明は省略されている。

【0013】

実施の形態１
図１に実施の形態１にかかる積層成形システムの概要を説明する構成図を示す。図１に示すように、実施の形態１にかかる積層成形システムは、ラミネータ２、平坦化プレス装置３、平坦化プレス装置４を有する。ラミネータ２、平坦化プレス装置３、平坦化プレス装置４は、いずれも上下に対向して配置される２枚の加圧機構により被積層体に積層材を積層した成形品を加圧することで、成形品を成形する積層成形装置である。実施の形態１にかかる積層成形システムでは、ラミネータ２、平坦化プレス装置３、平坦化プレス装置４を順に並べて配置する。そして、実施の形態１にかかる積層成形システムでは、ラミネータ２により被積層体に積層材を積層した一次成形品を成形し、平坦化プレス装置３及び平坦化プレス装置４において一次成形品の前記積層材の積層面の平坦度を高めた二次成形品を成形する。このように段階的な成形を行うことで完成品の積層材の表面の平坦度を高めることができる。

【0014】

上記の積層成形を行うに当たり、ラミネータ２、平坦化プレス装置３、平坦化プレス装置４は、被積層体に積層材を載せた被成形品に加圧力を伝達する加圧機構を有する。この加圧機構は、被成形品に加圧力を加えるものであれば特に限定されないが、例えば加熱や冷却が可能な板状部材（熱板）であってもよいし、加熱や冷却が可能な可撓性シートであってもよい。これにより、一次成形品や二次成形品を好適に製作できる。そこで、図１に示す例では、ラミネータ２、平坦化プレス装置３、平坦化プレス装置４が加圧機構として熱板を有する例を示した。図１では、ラミネータ２が上側熱板２１、下側熱板２２を備え、平坦化プレス装置３が上側熱板３１、下側熱板３２を備え、平坦化プレス装置４が上側熱板４１、下側熱板４２を備える例を示した。

【0015】

また、実施の形態１にかかる積層成形システムでは、キャリアフィルムに被積層体に積層材を載せた被成形品をキャリアフィルムに載せてラミネータ２から平坦化プレス装置４の間を移動させる。そのため、実施の形態１にかかる積層成形システムでは、ラミネータ２の前段にフィルム巻出し機１を配置し、平坦化プレス装置４の後段にフィルム巻取り機５を配置する。そして、フィルム巻出し機１において巻出すキャリアフィルムに被成形品を載せ、フィルム巻取り機５でキャリアフィルムを巻き取ることで被成形品をラミネータ２から平坦化プレス装置４に移動させる。また、図１に示す例では、被成形品を上下に配置した２枚のキャリアフィルムで挟んで移動させる積層成形システムを示した。また、図１に示す例では、フィルム巻出し機１が、キャリアフィルムの供給元となる上側キャリアフィルム供給ロール１１及び下側キャリアフィルム供給ロール１２を備える例を示した。さらに、図１では、フィルム巻取り機５がキャリアフィルムを巻き取る上側キャリアフィルム巻取りロール５１及び下側キャリアフィルム巻取りロール５２を備える例を示した。

【0016】

なお、本開示では、便宜上、被積層体に積層材を載せた被成形品をラミネータ２により加圧する場合であっても、被積層体に積層材を積層した被成形品を加圧すると称する場合がある。

【0017】

そして、実施の形態１にかかる積層成形システムでは、各装置の天面にファンを設けたことに特徴を有する。このファンは、各装置の筐体の天面から下方に向かって流れる下方気流を供給する。図１に示す例では、フィルム巻出し機１にファン１０が備えられ、ラミネータ２にファン２０が備えられ、平坦化プレス装置３にファン３０が備えられ、平坦化プレス装置４にファン４０が備えられ、フィルム巻取り機５にファン５０が備えられる例を示した。しかし、ファンは、フィルム巻出し機１、ラミネータ２、平坦化プレス装置３、平坦化プレス装置４、フィルム巻取り機５の少なくとも１つの装置に設けられていれば良い。

【0018】

上述したように、ファンは、各機器の筐体内に下方気流を供給することで、筐体内の異物を下に排出する。そこで、図１に示した実施の形態１にかかる積層成形システムでは、各装置の下部に排気用スペースを設けた。つまり、図１に示した例では、実施の形態１にかかる積層成形システムでは、各装置の筐体の底面に排気用の穴或いは空間が設けられる。なお、異物とは、肉眼あるいは顕微鏡等での観察、パーティクルカウンタ等の測定手段で確認し得る微小なコンタミ（混入物）であり、その形状、大きさ、材質は特に限定されない。異物は、例えば樹脂や金属やセラミックスの微粒子である。また、異物は、例えば化学繊維や花粉等の微小な有機物であることもある。

【0019】

また、ファンは、例えば、熱板、モータ等の発熱体で熱せられた空気により生じる上昇気流により筐体の上方に蓄積する異物を防止することに大きな効果を奏する。そこで、以下の説明では、加圧機構として熱板を使った積層成形装置について説明する。また、積層成形装置は、ラミネータ２、平坦化プレス装置３、平坦化プレス装置４のいずれでもファンにより同様に異物に起因する共通する問題を有するが、以下の説明では、ラミネータ２を例にファンの構成及び効果について説明する。

【0020】

図２に実施の形態１にかかるラミネータ２の構成図を示す。図２に示すように、ラミネータ２は、上側熱板２１と下側熱板２２とにより被成形品Ａ１を加圧する。また被成形品Ａ１は、被積層体となる基板材料Ａ２に積層材となる積層フィルムＡ３を重ね合わせたものである。

【0021】

ラミネータ２は、上側熱板２１及び下側熱板２２に加圧力を伝える加圧部を有する。この加圧部は、上側熱板２１、下側熱板２２に加え、断熱板２３、２４、固定盤２５、可動盤２６、タイバ２７、ベース盤２８、駆動部２９を有する。駆動部２９の構成は特に限定されるものではないが、駆動部２９は、例えば、油圧や空圧を発生させる駆動ユニット２９ａ、シリンダ２９ｂ、ラム２９ｃを含む構成としても良い。また、駆動部２９は、駆動ユニット２９ａをサーボモータ、シリンダ２９ｂをボールナット、ラム２９ｃをネジ軸に代えた構成としても良い。実施の形態１にかかるラミネータ２では、固定盤２５の被成形体Ａ１に対向する面に断熱板２３を介して上側熱板２１が取り付けられる。また、実施の形態１にかかるラミネータ２では、可動盤２６の被成形体Ａ１に対向する面に断熱板２４介して下側熱板２２が取り付けられる。

【0022】

そして、ラミネータ２は、ベース盤２８と固定盤２５とがタイバ２７で連結される。可動盤２６は、四隅にハウジング部２６ａが設けられる。そして、タイバ２７に設けられたボールスプライン筒がハウジング部２６ａを挿通するように配置される。また、可動盤２６は、下側に配置されるラム２９ｃにより支えられる。そして、シリンダ２９ｂは、駆動ユニット２９ａからの指示に基づきラム２９ｃを押し上げる、または、押し下げることで可動盤２６を昇降させる。これにより、加圧部では、固定盤２５に対して可動盤２６が近接及び離間可能な構成となり、固定盤２５に対して可動盤２６が近づくほど被成形品Ａ１に与える加圧力を増す動作を行う。なお、駆動ユニット２９ａは、制御盤（不図示）からの指示に基づきシリンダ２９ｂに対して可動盤２６をどの程度の力や速度で昇降するのかを制御する。

【0023】

また、図２に示すように、実施の形態１にかかるラミネータ２では、加圧部が筐体によって囲われる。図２に示す例では、筐体として、天面ＨＯＵ１、底面ＨＯＵ２、側面ＨＯＵ３、ＨＯＵ４を示した。なお、図２では図示を省略したが、ラミネータ２は、加圧部の側方の４面が側面部材によって囲われているものとする。そして、実施の形態１にかかるラミネータ２では、底面ＨＯＵ２に排気用の穴が設けられているものとする。また、実施の形態１にかかるラミネータ２では、天面ＨＯＵ１の上方にファン２０が搭載される。

【0024】

このファン２０は、単に筐体外から筐体内に下降気流を供給するものでも良いが、より好ましくは、異物を除去するフィルタを介して外部から取り込んだ気流を下方気流として筐体内に供給するものである。また、フィルタの種類は特に限定されないが、１μｍ以下の異物を除去するために、ＨＥＰＡ（High Efficiency Particulate Air）フィルタまたはＵＬＰＡ（Ultra Low Penetration Air）フィルタであるであることが好ましい。ここで、ＨＥＰＡフィルタは粒径０．３μｍ以上の微粒子を９９．９７％以上捕集可能なフィルタと定義されてもよく、ＵＬＰＡフィルタは粒径０．１５μｍ以上の微粒子を９９．９９９５％以上捕集可能なフィルタと定義されてもよい。また、フィルタの微粒子捕集性能は、例えばＪＩＳ Ｂ ９９０８やＩＳＯ１６８９０により評価されてもよい。このように、微細な粒子を除去するフィルタを備えることで筐体内に筐体外の異物が侵入することを防止することができる。

【0025】

続いて、ファン２０によって供給する下方気流の筐体内での流れ方について説明する。ここでは、ファン２０の有無による気流の流れの違いを図面を用いて説明する。そこで、図３にファン２０を持たない比較例にかかるラミネータにおける気流の流れを説明する図を示す。図３に示すように、ファン２０がないと、上側熱板２１、下側熱板２２及び駆動ユニット２９ａ等の熱源により温められた空気が上昇気流のとなって筐体の上方に流れる。そのため、異物ＤＳＴが筐体の天面付近に蓄積する。このように蓄積した異物ＤＳＴは、塊が大きくなり落下して被成形品Ａ１或いは上側キャリアフィルムに付着し、成形品の平坦度を低下させる原因となる。

【0026】

次に、図４に実施の形態１にかかるラミネータ２における気流の流れを説明する図を示す。図４に示すように、実施の形態１にかかるラミネータ２では、上側熱板２１、下側熱板２２及び駆動ユニット２９ａ等の熱源により温められた空気は、ファン２０から供給される給気気流が下降気流となるためこの下降気流に押し流されて底面ＨＯＵ２から排出される。これにより、ラミネータ２の筐体内の異物は、結果的に筐体外に排出されるため、図３の比較例にかかるラミネータのように異物ＤＳＴが成形品の平坦度を損ねるおそれが少なくなる。

【0027】

ここで、上述したファン２０の構成例について説明する。そこで、図５に実施の形態１にかかるファン２０の構成例を説明する図を示す。図５に示すように、ファン２０は、ファン収納部６１、吸入口６２、送出口６３、第１のフィルタ６４、第２のフィルタ６５、モータ６６、フィン６７、シール部６８を有する。ファン２０は、ファン収納部６１内にモータ６６及びフィン６７が収納される。ファン収納部６１の下部（例えば、ラミネータ２の筐体内側）には、第２のフィルタ６５を介して送出口６３が設けられる。一方、ファン収納部６１の上部には、第１のフィルタ６４を介して吸入口６２が設けられる。ファン２０では、図示しない制御部から与えられる制御信号に基づきモータ６６がフィン６７を回転させることで、吸入口６２から吸い込んだ空気を送出口６３側に送り出す。

【0028】

図５に示す例では、吸入口６２側と送出口６３側にはそれぞれフィルタを設けたが、フィルタを配置する箇所や個数は特に制限されないが、好ましくは、送出口側と吸入口側のそれぞれに配置されることが望ましい。また、第１のフィルタ６４と第２のフィルタ６５は同じであってもよいし、異なっていてもよい。モータ６６をより小型化するため、第１のフィルタ６４は目の開きが比較的に荒く、第２のフィルタ６５は目の開きが比較的に細かくすることが望ましい。

【0029】

また、図５に示すように、フィン６７の回転半径（例えば、回転軸からフィン３７の先端までの長さ）は、フィン６７の先端の回転軌跡となる円の外周と固定盤２５の上面端部の角を結ぶ線Ｘｔと垂直線Ｘｖのなす角θが０度から７５度の範囲となるように設定することが好ましく、５度から５５度に設定するとより好ましい。なす角θが大きすぎる場合、ファン２０から送出される下降気流の大部分が固定盤によって遮られるため、筐体内のクリーン度を高める効率が下がるおそれがある。一方、なす角θを小さすぎる場合、ファン２０のサイズが必要以上に増大したり、ファンの個数が必要以上に多くなる問題がある。しかしながら、なす角θを適切に設定することで、筐体内のクリーン度の向上させることができ、かつ、ファン２０が過剰な大きさになることを防止することができる。

【0030】

上記説明より、実施の形態１にかかる積層成形システムでは、各装置の天面にファンを設けて、各機器の筐体内の異物を外に排出する構成を有する。これにより、実施の形態１にかかる積層成形システムでは、平坦度の高い成形品の成形を効率的に行うことができる。

【0031】

また、積層成形システムでは、積層成形装置において熱板を加圧機構として利用する事があり、このような熱板等の熱源に起因して発生する上昇気流は、筐体内に異物を蓄積させることがある。しかし、実施の形態１にかかる積層成形システムでは、天面に設けたファンにより温められた空気を排気口のある下側に排出するため、特に熱源を内蔵する筐体を有する各装置へのファンの取り付けは、異物に起因する平坦度の低下を防止する効果が高い。

【0032】

また、積層成形システムは、クリーンルームに設置されることがある。このクリーンルームでは、一般的に天井側から床面側に向かう下方気流により室内の異物の排出を常に行っている。そのため、実施の形態１にかかる積層成形システムのようにクリーンルーム内の気流の流れに逆らわない方向で、筐体内への下方気流への供給を行うことで、ファンの出力を抑えながら効率的に筐体内の異物の排出を促すことができる。

【0033】

また、積層成形システムでは、各機器にファンを設けて外部から筐体内に空気を供給することで筐体内の気圧を、筐体内の気圧が筐体外の気圧よりも高くなる正圧の状態に保つようにしてもよい。このように筐体内を正圧とすることで、異物を筐体外に排出しつつ、筐体外からの異物の流入をさらに抑制する事ができる。

【0034】

実施の形態２
実施の形態２では、実施の形態１にかかるラミネータ２の加圧部の別の形態を有するラミネータ２ａについて説明する。なお、実施の形態２の説明において、実施の形態１とおなじ構成要素に関しては、実施の形態１と同じ符号を付して説明を省略する。

【0035】

図６に実施の形態２にかかるラミネータ２ａにおける気流の流れを説明する図を示す。図６に示すように、ラミネータ２ａでは、固定盤２５が端部が天面よりも下がるテーパ形状を有する傾斜端面２５ａを有する。このように、加圧部において、ファン２０に対向する面の端部に傾斜端面２５ａを設けることでファン２０から供給される下方気流の流速を低下させることなく底面ＨＯＵ２側に流すことができる。

【0036】

上記説明より、実施の形態２にかかるラミネータ２ａでは、端部が天面よりも下がるテーパ形状を有する傾斜端面２５ａを固定盤２５に設ける。テーパ形状の角度は特に限定されないが、水平面に対して５度～７５度の範囲とすることが好ましい。このようにすることで、ファン２０から供給される下方気流の流速を低下させることなく底面ＨＯＵ２側に流すことができる。これにより、筐体内の異物をより好適に筐体外に排出することができる。

【0037】

実施の形態３
実施の形態３では、実施の形態１にかかるラミネータ２の側面ＨＯＵ３、ＨＯＵ４の別の形態を有するラミネータ２ｂについて説明する。なお、実施の形態３の説明において、実施の形態１とおなじ構成要素に関しては、実施の形態１と同じ符号を付して説明を省略する。

【0038】

図７に実施の形態３にかかるラミネータ２ｂにおける気流の流れを説明する図を示す。図７に示すように、実施の形態３では、ラミネータ２ｂの側面ＨＯＵ３、ＨＯＵ４に筐体内の空気を排出する排気口となるルーバＬＯＵを有する。そして、図７に示すように、実施の形態３にかかるラミネータ２ｂでは、ファン２０から供給する下降気流の流れを調整し、上側熱板２１等の熱源に起因して発生する排気気流を側面に設けたルーバＬＯＵから排出する。

【0039】

上記説明より、実施の形態３にかかるラミネータ２ｂでは、側面ＨＯＵ３、ＨＯＵ４にルーバＬＯＵを設けることでファン２０から供給する下降気流の流れを調整することができる。これにより、筐体内の異物をより好適に筐体外に排出することができる。

【0040】

実施の形態４
実施の形態４では、実施の形態１にかかるラミネータ２の別の形態となるラミネータ２ｃについて説明する。図８に実施の形態４にかかるラミネータ２ｃの構成図を示す。被成形品はキャリアフィルムにより搬送されるが、キャリアフィルムはポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等の樹脂フィルムであるため、静電気が発生しやすく、筐体内のゴミをキャリアフィルムや被積層体に吸着しやすい。それにより、被積層体の成形時のクリーン度が低下するおそれがある。

【0041】

そこで、図８に示すように、実施の形態４にかかる積層成形システムでは、ファン２０に加えて除電機構７０を備える点が上述の実施の形態とは異なる。なお、実施の形態４の説明において、実施の形態１で説明した構成要素と同じ構成要素については実施の形態１と同じ符号を付して説明を省略する。

【0042】

図９を参照して除電機構７０の主な構成を説明する。除電機構７０は、ファン２０から送出される清浄な気流を受け入れる吸入口７１、除電のためのイオン７２を発生させるイオン発生装置７３、イオン７２を気流と共に筐体内に送出する送出口７４、ファン２０側及び筐体側をそれぞれ気密に接続するシール部７５を含む。

【0043】

イオン発生装置７３により生成されるイオンの数は、時間が経過すればするほど少なくなるという性質がある。そのため、ファン２０の送出風速は、速い方が好ましい。しかし、風速が過剰に速い場合、筐体内の気流が乱れやすくなり、積層成形システムの動作を妨げるおそれがある。そのため、ファン２０より送出される気流は、風速が０．１～１．５メートル毎秒（ｍ／ｓｅｃ）、風量が０．５～２５立米毎分（ｍ^３／ｍｉｎ）の範囲であることが好ましく、風速が０．３～１．０メートル毎秒（ｍ／ｓｅｃ）、風量が５～２０立米毎分（ｍ^３／ｍｉｎ）の範囲であることがさらに好ましい。なお、風量と風速は、１０分間の計測における平均値を用いることが好ましい。

【0044】

イオン発生装置７３がイオンを生成する方法は特に限定されず、例えば電極針に電流を印加する方法（コロナ放電法）やＸ線等の電磁波を空気中に照射する方法が用いられ得る。これにより、空気中にイオンを発生させ、微粒子やキャリアフィルム等を効率よく除電することができる。なお、電極針に電流を印加する場合は、直流であっても交流であってもよいが、交流パルス電流とする事が好ましい。

【0045】

シール部７５は、ファン２０と吸入口７１、送出口７４と筐体とを気密に接続するために設けられる。接続を気密にする手段は特に限定されないが、樹脂やゴム等の弾性を有しかつ密着性を有するパッキンを用いることが好ましい。なお、シール部７５は、ファン２０や筐体に設けられていてもよい。

【0046】

上記説明より実施の形態４にかかる積層成形システムでは、ファン２０に加えて除電機構７０を備えることで、筐体内のクリーン度をより高めることができる。

【0047】

実施の形態５
実施の形態５では、実施の形態１にかかるラミネータ２の別の形態となるラミネータについて説明する。被積層体の成形時のクリーン度は、積層成形システムのメンテナンスやフィルタの劣化等により、経時的に変化し得る。それにより、被積層体の成形時のクリーン度が一時的に低下し、清浄な環境での積層成形を妨げるおそれがある。そこで、実施の形態５にかかる積層成形システムでは、ラミネータ２にクリーン度監視装置８０を備える点が上述の実施の形態とは異なる。

【0048】

図１０を参照してクリーン度監視装置８０の主な構成を説明する。クリーン度監視装置８０は、ラミネータ２の筐体内の空気を取り込む吸入部８１、取り込んだ空気中の微粒子の量や大きさを計測する計測部８２、計測後の空気を排出する排出部８３、計測部での計測結果を送信する通信部８４、通信された計測結果を表示する出力部８５を含む。

【0049】

次に、クリーン度監視装置８０の原理を説明する。ラミネータ２の筐体内の空気は、吸入部８１より取り込まれ、計測部８２に送られる。計測部８２は、空気にレーザ光を照射することで光の散乱を発生させる。そのような散乱光は、計測部８２に設けられた受光素子によって検出され、電気信号に変換される。この電気信号は通信部８４を介して出力部８５に送られ、出力部８５は電気信号（電圧）の大きさを空気中の微粒子の大きさ、電気信号の数を空気中の微粒子の数として集計し、例えば経時的な波形として表示する。計測後の空気は排出部８３から排出される。なお、筐体内の空気の取り込みや排出はポンプを用いて行ってもよい。

【0050】

出力部８５は、所定の閾値を超える大きさもしくは量の微粒子が確認された場合には、アラームや回転灯の点灯等の方法により警報を発出してもよい。警報が発出された場合、フィルタの交換等を行う。

【0051】

上記説明より実施の形態５にかかる積層成形システムでは、クリーン度監視装置８０を備えることで、筐体内のクリーン度をより高めることができる。

【0052】

なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。

【符号の説明】

【0053】

１ フィルム巻出し機
２ ラミネータ
３ 平坦化プレス装置
４ 平坦化プレス装置
５ フィルム巻取り機
１０ ファン
１１ 上側キャリアフィルム供給ロール
１２ 下側キャリアフィルム供給ロール
２０ ファン
２１ 上側熱板
２２ 下側熱板
２３ 断熱板
２４ 断熱板
２５ 固定盤
２６ 可動盤
２６ａ ハウジング部
２７ タイバ
２８ ベース盤
２９ 駆動部
２９ａ 駆動ユニット
２９ｂ シリンダ
２９ｃ ラム
３０ ファン
３１ 上側熱板
３２ 下側熱板
４０ ファン
４１ 上側熱板
４２ 下側熱板
５０ ファン
５１ 上側キャリアフィルム巻取りロール
５２ 下側キャリアフィルム巻取りロール
７０ 除電機構
７１ 吸入口
７２ イオン
７３ イオン発生装置
７４ 送出口
７５ シール部
８０ クリーン度監視装置
８１ 吸入部
８２ 計測部
８３ 排出部
８４ 通信部
８５ 出力部
ＨＯＵ１ 天面
ＨＯＵ２ 底面
ＨＯＵ３ 側面
ＨＯＵ４ 側面
ＬＯＵ ルーバ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】