特許 7606483 エアシャワー装置およびエアシャワー装置の制御方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-12-17

(45)【発行日】2024-12-25

(54)【発明の名称】エアシャワー装置およびエアシャワー装置の制御方法

(51)【国際特許分類】

   F24F 9/00 20060101AFI20241218BHJP

   F24F 11/61 20180101ALI20241218BHJP

   B08B 5/02 20060101ALI20241218BHJP

【ＦＩ】

F24F9/00 J

F24F11/61

B08B5/02 Z

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2022034768

(22)【出願日】2022-03-07

(65)【公開番号】P2023130220

(43)【公開日】2023-09-20

【審査請求日】2024-02-06

(73)【特許権者】

【識別番号】502129933

【氏名又は名称】株式会社日立産機システム

(74)【代理人】

【識別番号】110001689

【氏名又は名称】青稜弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】八木 星弥

(72)【発明者】

【氏名】鈴木 朋行

(72)【発明者】

【氏名】矢田 洋一

【審査官】広瀬 雅治

(56)【参考文献】

【文献】特開２０２１－０２５６９１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２０－１３９６７０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２１－１３９６２１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－０７４４３７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－０９６３８２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－０９７７７５（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１２／００４０６００（ＵＳ，Ａ１）

【文献】韓国登録特許第１０－１３３３６３５（ＫＲ，Ｂ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ２４Ｆ ９／００

Ｆ２４Ｆ １１／６１

Ｂ０８Ｂ ５／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

前室側扉と清浄室側扉とを備え、入場者に対しエアジェットを噴射する機能を備えたエアシャワー室と、前記エアシャワー室に人が入場したことを検知するセンサと、前記前室側扉の開閉状態を検知する前室側扉スイッチと、前記清浄室側扉の開閉状態を検知する清浄室側扉スイッチと、前記センサ、前記前室側扉スイッチおよび前記清浄室側扉スイッチの検知信号を利用して、前記エアシャワー室内の人が清浄室への入室者である場合に前記エアジェットを作動する制御を行なう制御部と、を備えたエアシャワー装置であって、
前記制御部は、前記前室側扉スイッチが検知する開閉時間を前半と後半に２分した後半時間内に前記センサが入場者を検知した場合、および前記開閉時間を経過後所定時間内に前記センサが前記入場者を検知した場合に、前記入室者と判断し前記エアジェットを作動させるようにしたエアシャワー装置。

【請求項2】

請求項１に記載されたエアシャワー装置において、
前室側扉スイッチの検知信号を利用し、前記開閉時間をカウントする扉タイマと、前記センサが入場者を検知した場合にカウントが停止し初期化されるセンサタイマとを設け、前記制御部は、前記扉タイマのカウント値と、前記センサタイマのカウント値を用いて、前記入室者を判断し、前記エアジェットを作動させるよう制御することを特徴とするエアシャワー装置。

【請求項3】

請求項２に記載されたエアシャワー装置において、
前記制御部は、前記開閉時間を前半と後半に２分割するための設定値を設定し、前記扉タイマのカウント値を前記設定値で除した値を判定値とし、前記センサタイマのカウント値と前記判定値とを比較し、前記センサタイマの前記カウント値が前記判定値より小さい場合には、前記入室者と判断しエアジェットを作動させることを特徴とするエアシャワー装置。

【請求項4】

請求項１に記載されたエアシャワー装置において、前記エアシャワー室の内部に、動作に関する設定およびガイダンス表示のための表示設定部を設けたことを特徴とするエアシャワー装置。

【請求項5】

前室側扉と清浄室側扉とを備え、入室者に対しエアジェットを噴射する機能を備えたエアシャワー室と、前記エアシャワー室に人が入場したことを検知するセンサと、前記前室側扉の開閉状態を検知する前室側扉スイッチと、前記清浄室側扉の開閉状態を検知する清浄室側扉スイッチとを備え、前記センサ、前記前室側扉スイッチおよび前記清浄室側扉スイッチの検知信号により、前記エアシャワー室内の人が清浄室への入室者である場合に前記エアジェットを作動する制御を行なうエアシャワー装置の制御方法であって、
前記前室側扉スイッチが検知する開閉時間を前半と後半に２分した後半時間内に前記センサが入場者を検知した場合、および前記開閉時間を経過後所定時間内に前記センサが前記入場者を検知した場合に、前記入室者と判断し前記エアジェットを作動させるようにしたエアシャワー装置の制御方法。

【請求項6】

請求項５に記載されたエアシャワー装置の制御方法において、
前記前室側扉スイッチの検知信号を利用し、前記開閉時間をカウントする扉タイマと、前記センサが入場者を検知した場合にカウントが停止し初期化されるセンサタイマとを設けておき、前記扉タイマのカウント値と、前記センサタイマのカウント値を用いて、前記入室者を判断し、前記エアジェットを作動させるよう制御することを特徴とするエアシャワー装置の制御方法。

【請求項7】

請求項６に記載されたエアシャワー装置の制御方法において、
前記開閉時間を前半と後半に２分割するための設定値を設定し、前記扉タイマのカウント値を前記設定値で除した値を判定値とし、前記センサタイマのカウント値と前記判定値とを比較し、前記センサタイマの前記カウント値が前記判定値より小さい場合には、前記入室者と判断しエアジェットを作動させることを特徴とするエアシャワー装置の制御方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、エアシャワー装置およびエアシャワー装置の制御方法に関する。

【背景技術】

【0002】

エアシャワー装置は、半導体、精密機械等の製造や、食品の加工などを行うための清浄室の出入口に設置され、清浄室に入退場する人（使用者等）に付着した塵埃や花粉などをエアジェットで除去し、塵埃等を清浄室に持ち込ませないようにするための装置である。

【0003】

一般的なエアシャワー装置は、エアジェットを噴射するためのエアジェット機構を有するエアシャワー室と、エアシャワー室の入口側（清浄室と反対側）に設けた前室側扉と、清浄室への入退室を行なうための清浄室側扉とを備えている。さらに、エアシャワー装置は、エアシャワー室内に人が居ること（入場者有）を検知するための人検知用のセンサと、前室側扉の開閉状態を検出する前室側扉スイッチと、清浄室側扉の開閉状態を検知する清浄室側扉スイッチとを備えている。また、前室側扉スイッチ、清浄室側扉スイッチ、およびセンサの検知信号を用いてエアシャワー室内にいる人が「入室者」（清浄室へ入室する人）であるか、反対にエアシャワー室から外に出ていく「退室者」（清浄室から出てエアシャワー室から外部に退室する人）であるかを判断して、エアジェットの動作制御や扉の開閉制御を実施する制御部を備えている。

【0004】

そもそも、エアシャワー装置は、人に付着した塵埃や、花粉などを清浄室内に持ち込むことを防止するための装置であるため、入室者（清浄室へ入室する人）に対しては、必ずエアジェットを作動させて（エアを噴出させて）塵埃等の除去を行った後に清浄室への入室を許可する制御が必要となる。一方、清浄室からの退室者は、原則として塵埃等を除去する必要がないため、エアジェットを作動させず、そのまま退場を許可しても良い。そのため、通常、エアシャワー装置は、入室者に対してはエアジェットを作動させ、退室者に対してはエアジェットを作動させないように制御している場合が多い。

【0005】

このような制御を行なうエアシャワー装置は、例えば、特開平６－１０１８８２号公報（特許文献１）に開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【文献】特開平６－１０１８８２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

ところで、一般的なエアシャワー装置の制御では、「入室者」を判定しエアジェットを作動させる（制御部がエアジェット機構を駆動しエアを噴出させる）のは、前室側扉スイッチの開閉時間（扉が開き始めてから完全に閉じるまでの時間）が経過した直後に、センサが人を検知した場合に、その人が入室者であると判断してエアジェットを作動させている。

【0008】

しかしながら、この制御方法では、人（使用者等）が前室側扉からエアシャワー室に入場する際に、前室側扉が完全に閉じる前の時点において、人がセンサの検知範囲を通過して清浄室側扉の前に移動しているような場合には、制御部は正常に「入室者」と判断することができずエアジェットを作動させることができない。つまり、前室側扉の開閉途中にセンサが入場者（人）を検知しても、エアシャワー室内にいる人を入室者であると判定しない状態となり、エアジェットを作動させることはできない。このような場合には、清浄室へ塵埃等を持ち込む、いわゆる「すり抜け動作」となる。

【0009】

そこで、本発明の目的は、このような課題を解決すること、すなわち、前室側扉の開閉終了時前に人がエアシャワー室に入場した場合であっても入室者と判断し確実にエアジェットを作動させることができるエアシャワー装置およびエアシャワー装置の制御方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0010】

上記目的を達成するために、本発明は、その一例を挙げると、前室側扉と清浄室側扉とを備え、入場者に対しエアジェットを噴射する機能を備えたエアシャワー室と、前記エアシャワー室に人が入場したことを検知するセンサと、前記前室側扉の開閉状態を検知する前室側扉スイッチと、前記清浄室側扉の開閉状態を検知する清浄室側扉スイッチと、前記センサ、前記前室側扉スイッチおよび前記清浄室側扉スイッチの検知信号を利用して、前記エアシャワー室内の人が清浄室への入室者である場合に前記エアジェットを作動する制御を行なう制御部とを、備えたエアシャワー装置であって、前記制御部は、前記前室側扉スイッチが検知する開閉時間を前半と後半に２分した後半時間内に前記センサが入場者を検知した場合、および前記開閉時間を経過後所定時間内に前記センサが前記入場者を検知した場合に、前記入室者と判断し前記エアジェットを作動させるようにしたエアシャワー装置である。

【0011】

また、本発明の他の例を挙げると、前室側扉と清浄室側扉とを備え、入室者に対しエアジェットを噴射する機能を備えたエアシャワー室と、前記エアシャワー室に人が入場したことを検知するセンサと、前記前室側扉の開閉状態を検知する前室側扉スイッチと、前記清浄室側扉の開閉状態を検知する清浄室側扉スイッチとを備え、前記センサ、前記前室側扉スイッチおよび前記清浄室側扉スイッチの検知信号により、前記エアシャワー室内の人が清浄室への入室者である場合に前記エアジェットを作動する制御を行なうエアシャワー装置の制御方法であって、前記前室側扉スイッチが検知する開閉時間を前半と後半に２分した後半時間内に前記センサが入場者を検知した場合、および前記開閉時間を経過後所定時間内に前記センサが前記入場者を検知した場合に、前記入室者と判断し前記エアジェットを作動させるようにしたエアシャワー装置の制御方法である。

【発明の効果】

【0012】

本発明によれば、前室側扉の開閉時間内に人がエアシャワー室に入場した場合にも、確実にエアジェットを作動させることができるエアシャワー装置およびエアシャワー装置の制御方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】本発明の実施例におけるエアシャワー装置を示す断面平面図である。

【図2】実施例１における入退室判定動作を説明するためのタイムチャートである。

【図3】実施例１におけるエアシャワー装置の制御フローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下、本発明を具体的な実施例により詳細に説明する。なお、本発明は、以下に説明する実施例に限定されるものではない。また、以下の説明に使用する図面において、同一の機器には同じ符号（番号）を用いており、既に説明した機器や動作についての重複する説明を省略する場合がある。また、以下の説明において、エアシャワー室から清浄室に入室する人を「入室者」と称し、清浄室からエアシャワー室内を移動して室外に出ていく人を「退室者」と称する。さらに、エアシャワー室に入場している人は「入場者」と称する。

【0015】

≪実施例≫
図１は、発明の実施例におけるエアシャワー装置の断面平面図である。図２は、実施例１における入退室判定動作を説明するためのタイムチャートである。図３は、実施例１におけるエアシャワー装置の制御フローチャートである。

【0016】

まず、図１を用いて、エアシャワー装置の全体構成を説明する。図１において、エアシャワー室１は、前室側扉３、清浄室側扉４、両側の側壁２１および２２と天井（図示せず）などにより構成される。エアシャワー室１の側壁２１および２２には、エアジェット機構２１ａおよび２２ａがそれぞれ設置され、制御部８によりエアジェット機構が駆動制御されエアジェットを噴射する。前室側扉スイッチ５は、前室側扉３の開閉状態（開閉時間）を検知するために設置されており、前室側扉３が開き始めてから閉じるまでの開閉時間中はＯＮ状態を維持する。同様に、清浄室側扉スイッチ６も、清浄室側扉４の開閉時間を検知するために設置されており、清浄室側扉４が開き始めてから閉じるまでの開閉時間中はＯＮ状態を維持する。また、前室側扉３は、ドアノブ３０を備えている。人１００は、このドアノブ３０を操作して前室側扉３を開きエアシャワー室１に入場すること、および反対にエアシャワー室１から退場することができる。同様に、清浄室側扉４にも、ドアノブ４０が設けられている。人１００は、このドアノブ４０を使用して清浄室側扉４を開きエアシャワー室１から清浄室に入室すること、および反対に清浄室から退室のためにエアシャワー室１に入場することができる。

【0017】

センサ７は、エアシャワー室１に入場した人１００（入場者）を検知するために設けられている。制御部８は、このセンサ７の検知信号を入力されることで、エアシャワー室１内に人１００がいるか否か（入場者の有無）を判断することができる。この実施例におけるセンサ７は、例えば、投光器と受光器で構成され、人１００が入場していないとき、側壁２１側から投光される光を側壁２２側に設けた受光器で受光するようにしており、人がその光を遮ることにより、人１００がエアシャワー室１内に入場したことを検知する。なお、センサ７は、光を用いるものに限らず、赤外線を感知するものなどでも良い。つまり、センサ７は、エアシャワー室１内に人が入場した（人が存在する）ことを検知することができるものであればどのようなものでも良い。

【0018】

制御部８は、エアシャワー装置全体を制御するために設けられ、前室側扉スイッチ５、清浄室側扉スイッチ６およびセンサ７の検知信号を入力し、入室者、退室者の判断を行ない、エアジェット機構を駆動制御し、エアジェットを作動させるものである。この実施例では、制御部８は、全体をコンパクト化するために側壁２１内に設けた例を示しているが、他の側壁２２側に設けても、あるいは外部に設けても良い。この制御部８は、ＰＬＣや、マイクロプロセッサなど、通常の計算機の機能を有する機器で実現することができる。

【0019】

この実施例では、制御部８内に、前室側扉スイッチ５の検知信号を利用して、前室側扉３の開放から閉鎖までの開閉時間（開放時間）をカウントする扉タイマ１０と、前室側扉３開放中にセンサ７が入場者を検知していない間の時間をカウントするセンサタイマ１１とを備えている。そのため、図１では制御部８を示す符号の横に「(１０,１１)」として記載している。制御部８は、扉タイマ１０のカウント値と、センサタイマ１１のカウント値とを利用して、エアシャワー室１への入場者が「入室者」であるか否かを判断し、入室者と判断した場合にエアジェットを作動させる。この具体的な判断方法（判定処理動作）については後述する。

【0020】

また、表示設定部９は、エアシャワー室１の側壁２１に設置されており、エアシャワー装置の動作に関する設定を行なうこと、および使用者に対する注意事項（ガイダンス）などを表示すること、などのために設けられている。

【0021】

なお、この実施例では、前室側扉３と、清浄室側扉４は、手動式の扉としているが、モータにより扉を自動で開け閉めする自動扉でもシートシャッタ式の扉でも構わない。また、この実施例では、扉は前室側と清浄室側に１枚ずつ設置する場合を示しているが、例えば、前室側扉が２枚以上のエアシャワー室や、清浄室側扉が２枚以上であるようなエアシャワー室の場合でも、本発明を実施することができる。

【0022】

次に、エアシャワー装置の動作について図１および図２を用いて説明する。まず、人１００（使用者等）が、前室側扉３からエアシャワー室１に入場する場合の動作について説明する。人１００が前室側扉３のドアノブ３０に手をかけ扉を開き始めると、前室側扉スイッチ５は、オフ（ＯＦＦ）状態からオン（ＯＮ）状態に変化する。人１００は、前室側扉３が一定開度以上開き入場が可能になった時点でエアシャワー室１に入場することができる。ここで、前室側扉スイッチ５は、前室側扉３がわずかでも開いている時間内（開閉時間Ｔ）において、ＯＮ状態を維持するようになっている。この状態を、図２の（１）に示す。

【0023】

さて、通常の入室の場合は、人１００は、前室側扉３が閉じた時点以降（開閉時間経過後）にセンサ７の検知範囲を通過し、清浄室側扉４に向けて移動する。この移動の途中において、センサ７がＯＮになり人（入場者）を検知する。この状態を示しているのが、図２の（２）である。この場合、制御部８は、その人１００は、清浄室に入室する人、すなわち「入室者」であると判断し、エアジェットを作動させる。

【0024】

しかし、人１００がエアシャワー室１に入場する際に、前室側扉３が閉じる前に急いで清浄室側扉４の前に移動するような場合、前室側扉３が全閉となる前（開閉時間経過前）にセンサ７の検知範囲を通過するので、制御部８は入場者を「入室者」と判断することができず、エアジェットを作動させることができないという不具合が従前からあった。そのため、この発明の実施例では、前室側扉３が開き始めてから全閉となるまでの時間（開閉時間）内にセンサ７が人を検知（ＯＮ動作）した場合にも、一定の条件を満たす場合には、その人は清浄室に入室する「入室者」と判断してエアジェットを作動させるよう制御する。

【0025】

ここで、人１００が前室側扉３を開いてエアシャワー室１に入場し、その後、清浄室に入室する場合の状況を考察する。清浄室に入室しようとする人１００は、前室側扉３を開きエアシャワー室１に入場してくるが、前室側扉３が一定開度以上開いた状態（通常は、全開またはそれに近い状態になった状態）になった後でなければ入場することはできない。すなわち、図２の（１）に示すように、いくら急いで入場しようとしても、前室側扉３の開閉時間Ｔの内の前半の時間Ｔ１での入場は扉の開度が足りないので実質的には不可能であり、開閉時間の後半の時間Ｔ２において入場することが可能になる。

【0026】

そこで、この実施例では、図２の（３）に示すように、開閉時間Ｔの後半時間Ｔ２の時間中にセンサ７が人１００を感知してＯＮになった場合には、入室者であると判断するように制御する。つまり、制御部８は、図２の（３）のような場合にも、入室者と判断してエアジェットを作動させるように制御する。これにより、前室側扉３の開閉時間Ｔ内に人１００が入場しセンサ７がＯＮした場合も、入室者と判断することが可能となり、入室者に対し確実にエアジェットを作動させることができる。これにより、従来問題となっていた、すり抜け動作による清浄室への塵埃等の持ち込みを防止することができる。

【0027】

このように、エアシャワー室１内にいる入場者は、従前から行われているように前室側扉３の開閉時間Ｔを経過後所定時間内にセンサ７がＯＮになった場合(図２の（２）に示す場合)に「入室者」と判断してエアジェットを作動させるだけでなく、前室側扉３の開閉時間の後半部分の時間帯Ｔ２においてセンサ７がＯＮになった場合（図２の（３）の場合）にも「入室者」と判断してエアジェットを作動させる。

【0028】

この実施例では、これ以外の場合は、基本的に入室者とは判断せず、エアジェットを作動させないように制御する。入室者と判断しない場合は、いくつかの場合がある。入室者と判断しない場合の具体例を、図２の（４）、（５）に示している。

【0029】

まず、図２の（４）の場合について説明する。図２の（４）の場合は、前室側扉スイッチ５がＯＮ動作している時間（開閉時間Ｔ）を過ぎて所定時間経過後も、センサ７がＯＮしない場合である。つまり、人１００がドアノブ３０に手をかけ、前室側扉３を開こうとして前室側扉スイッチ５はＯＮとなったが、何らかの都合で人１００がエアシャワー室１に入場せず、開閉時間経過後の所定時間経過後もセンサ７がＯＮしなかった場合などが考えられる。言い換えると、図２の（４）の場合は、エアシャワー室１への入室動作のうち前室側扉３を開け閉めしただけの場合や、入場してから前室側扉３を閉めるまでの間にセンサ７をＯＮさせずに前室側に退室した場合の動作である。この場合は、制御部８は、入室者と判断せずエアジェットは作動させない。

【0030】

次に、図２の（５）の場合について説明する。図２の（５）の場合は、前室側扉スイッチ５がＯＮした直後に、センサ７がＯＮ動作している。すでに説明したように、人１００が前室側扉３からエアシャワー室１に入場する場合、前室側扉スイッチ５がＯＮ動作した直後では、前室側扉３は十分な開度がない（人が通過できるような開度になっていない）ので、センサ７がＯＮしても前室側扉３からの入場者ではないことは明らかであり、入室者とは判断しない。図２の（５）の場合は、清浄室側扉４側からの退室者が、エアシャワー室１内を急ぎ移動し、センサ７の設置位置を通過するのとほぼ同時に前室側扉３を開こうとした場合が考えられる。つまり、前室側扉３の前にいる人の入場は困難なので、退室者が、センサ７のＯＮとほぼ同じか、わずかに後のタイミングで前室側扉３を開こうとした場合しか考えられないためである。なお、退室者であるか否かは、清浄室側扉スイッチ６が作動（ＯＮ）した後にセンサ７がＯＮするので、それによってより確実に退室者であることを判断することができる。いずれにしても、この実施例では、制御部８は、図２の（５）のような場合は「入室者」とは判断（判定）せず、エアジェットを作動させない。

【0031】

なお、この実施例では、図２の（５）のような場合、上記した理由により、入室者と判断せずエアジェットを作動させないが、前室側扉３の開閉時間Ｔ内であれば、前半の時間Ｔ１でセンサ７がＯＮした場合にもエアジェットを作動させるように制御することも可能である。そのように制御すれば、本来の入室者でない場合でもエアジェットを作動させる場合も含まれるため、エアジェットの無駄な作動になる可能性はあるが、すり抜け動作をより確実に防止する効果が期待でき、清浄室への塵埃等の持ち込みをより確実に防ぐことができる。

【0032】

次に、図２の（６）の場合について説明する。図２の（６）は、センサ７が複数回動作する例を示している。これは、入室者と退室者がエアシャワー室１内にほぼ同時期に入場し、すれ違う場合などにおいて生じる。退室者は、図２の（５）と同様に、エアシャワー室１に入場して前室側扉３を押しながら室外に移動することになるので、退室者は前室側扉３を開きながら移動するときセンサ７がＯＮになり、前室側扉の開度が十分開いた状態でセンサ７がＯＦＦになる。前室側扉３からエアシャワー室１に入場しようとする人は、退室者が室外に出た後、退室者が開いた前室側扉３の開度を保持しながら入場する場合がある。その場合、入室しようとする人１００は、その後にエアシャワー室１内を移動して清浄室側扉４の方向に移動する。その際、センサ７がＯＮし入場者を検知する。上述したように、センサ７がＯＮするタイミングは、前室側扉３の開閉時間Ｔの後半の時間Ｔ２内になるため、制御部８は、このような場合は入室者と判断し、エアジェットを作動させる。このように、多人数での入退室や、エアシャワー室１内で入場者が動くなど、センサ７が複数回ＯＮしても、センサ７が前室側扉の開閉時間の後半（後半時間Ｔ２）にＯＮすれば、エアシャワー室１内にいる人１００は「入室者」であると判断し、エアジェットを作動させることができる。

【0033】

次に、前室側扉３が開いている間に人１００がセンサ７の検知範囲を通過して清浄室側扉４の直前に移動し、その後に前室側扉３が閉じられた場合でもエアジェットを作動させるための動作、すなわち、図２の（３）の動作を判断するための判定をタイマを用いて実現する方法について説明する。まず、前室側扉３が開かれると、前室側扉スイッチ５がＯＮし、扉タイマ１０，センサタイマ１１のカウントを開始する。扉タイマ１０は前室側扉３の開放時間をカウントするタイマで、センサタイマ１１は前室側扉３開放中にセンサ７がＯＦＦしている間の時間をカウントするタイマである。

【0034】

図１で示すように、人１００がエアシャワー室１に入場し、センサ７の検知範囲を通過して清浄室側扉４の直前に立つ。この時、センサタイマ１１は、センサ７のＯＮ、つまり人１００の検知によりカウントが停止し初期化される。そして、人１００がセンサ７の検知範囲を通過したことにより、再びカウントを開始する。それとほぼ同時あるいはわずかな後に、前室側扉３が閉まる。前室側扉３が閉じたとき、扉タイマ１０のカウント値を設定値１２で除算し判定値１３とする。そして、判定値１３とセンサタイマ１１のカウント値とを比較し、センサタイマ１１のカウント値が判定値１３より小さい場合、センサ７をＯＮさせた人１００は「入室者」と判断し、エアジェットを作動させる。また、その際、扉タイマ１０，センサタイマ１１を初期化する。

【0035】

センサタイマ１１のカウント値が判定値１３以上である場合、入室者と判断せず、エアジェットは作動させない。そして、その際、扉タイマ１０，センサタイマ１１を初期化させる。センサタイマ１１のカウント値が判定値１３より小さい場合に、入室者と判断しエアジェットを作動させる。これは、図２の（３）の場合に相当する。つまり、前室側扉３の開閉時間Ｔにおいて、後半の時間Ｔ２内にセンサ７がＯＮしていることになる。

【0036】

ここで、設定値１２を設けた理由は、前室側扉３の開閉時間Ｔを前半時間Ｔ１と後半時間Ｔ２とに２分割する場合に、その分割の時間割合を変化させるためである。したがって、設定値１２を設けず、単純に開閉時間Ｔを２で割り、Ｔ１＝Ｔ２としても良い。なお、設定値１２は、前室側扉３の開放時間を前後半でおおよそ２分割するための値であり、予め定めて制御部８内に記憶しておけば良く、あるいは表示設定部９を使用して制御部８に記憶設定しても良い。

【0037】

次に、人１００が扉を開けて入退室するときの動作について説明する。人１００の入退室の動作は大きく分けて扉を開ける動作、人が移動する動作、扉を閉める動作の３要素で構成されている。ここで、扉の種類のうち、例えば手動扉の場合は扉に備えつけられているドアクローザ機構により開けた扉は自動で閉められるうえ、油圧により開ける時間と閉める時間はほぼ等しくなる。図２の（１）に示すように、扉を開く際の扉の開きを手で保持・固定する動作を無視し、入退室の時間を扉の開け閉めする時間（開閉時間Ｔ）のみとすると、扉を開けて全開するまでを前半時間Ｔ１、全開の時点で中間、全開してから全閉までを後半時間Ｔ２と分けることができる。エアシャワー室１の手動扉は、一般的にエアシャワー室１に対して扉を室外側へ開いての開閉になるので、入退室どちらの場合でも人１００は全開時点でエアシャワー室１の外側にいることになる。通常、前室側扉３の全開またはほぼ全開になった後、人１００はエアシャワー室１に入場し、センサ７を検知させることになる。また、退室しようとする人１００の場合は、清浄室側扉４を開き清浄室側扉スイッチ６をＯＮ動作させた後にセンサ７をＯＮさせ、その後、前室側扉３を開いてからエアシャワー室１の外へと抜けていく。

【0038】

ここで、自動扉やシートシャッタ式扉の場合は、人の移動のために扉の開放を一定時間保持するため、扉の開放時間を前後半で２分割すると入室動作においても後半時間Ｔ２の間にセンサ７がＯＮしない場合がある。この場合は、上述した設定値１２を表示設定部９にて小さく設定し、前半時間Ｔ１を短くすることで、入室者の判断を間違いなく行うことができる。手動扉の場合でも設定値１２を変更することで入退室判断の厳しさを変化させることができる。

【0039】

なお、清浄室側扉４を開閉してからエアシャワー室１に入場した際、つまり清浄室からエアシャワー室１を通過して前室に出る際はエアジェットを作動させないが、上記動作においてもエアジェットを作動させたい場合は制御部８の設定の変更によりエアジェットを作動させてもよい。この設定は予め設定しても表示設定部９により変更してもよい。この動作の場合も上記判定の処理を用いてエアジェットを作動させることができる。

【0040】

次に、本発明の実施例における制御部８が実施する入室動作の動作フローを、図３に示すフローチャートを用いて説明する。

【0041】

図３において、先ず、ステップＳ１の待機状態のエアシャワー装置は、ステップＳ２にて前室側扉３の開閉状態を検知する。前室側扉３が開いていなければステップＳ２を繰り返し前室側扉３が開くまで待つ。ステップＳ２において前室側扉３が開いたと判断した場合、ステップＳ３に進む。ステップＳ３にて扉タイマ１０，センサタイマ１１のカウントを開始させる。

【0042】

前室側扉３が開いている間（開閉時間内）に、人１００（使用者）がエアシャワー室１内に入場する。ステップＳ４では、前室側扉３が開状態、すなわち、前室側扉スイッチ５がＯＮ動作しているか否かを判断する。その間、扉タイマ１０，センサタイマ１１のカウントを継続させる。

【0043】

ステップＳ５において、人１００が入場し、センサ７がＯＮした場合、ステップＳ６に進み、センサタイマ１１のカウントが停止・初期化される。ステップＳ７では、前室側扉３が開いているか否かを判断し、ステップＳ８にてセンサ７の検知範囲を通過しセンサ７がＯＦＦになるとステップＳ９に進む。

【0044】

ステップＳ９では、センサタイマ１１のカウントを再開する。この時、人１００がエアシャワー室１に入場していない場合や、入場したがセンサ７がＯＮしていない場合は、ステップＳ１０にて前室側扉３が閉まるまで待ち、入室していない場合は扉タイマ１０，センサタイマ１１をステップＳ１１にて初期化しステップＳ１に戻る。

【0045】

前室側扉３が閉まると扉タイマ１０，センサタイマ１１はリセットされる。ステップＳ７にて、センサ７がＯＮしているときに前室側扉３が閉まれば、ステップＳ１３にてセンサ７をＯＮさせた人１００は「入室者」と判断し、ステップＳ１４にてエアジェットを作動させる。前室側扉３を閉めたがセンサ７をＯＮにしていなかった場合は、前室側扉３が閉まった後にステップＳ１２にてセンサ７がＯＮになることで同様に入室者と判断しステップＳ１４にてエアジェットを作動させる。

【0046】

前室側扉３が閉まる前に使用者２が清浄室側扉４直前に移動し、ステップＳ５でＯＮしたセンサ７をステップＳ８にてＯＦＦすると、ステップＳ６で停止・初期化されたセンサタイマ１１がステップＳ９にて再びカウントを開始する。

【0047】

その後、ステップＳ１０で前室側扉３が閉まったとき、ステップＳ１５にて扉タイマ１０の値を設定値１２で除算し、判定値１３とする。設定値１２は扉タイマ１０の値、つまり前室側扉３の開放から閉鎖まで時間をおおよそ前半と後半に分割するための値であり、その後半の時間が判定値１３となる。

【0048】

判定値１３とセンサタイマ１１の値をステップＳ１６にて比較し、センサタイマ１１の値が判定値１３より小さい場合、入室者と判断し、扉タイマ１０，センサタイマ１１を初期化しエアジェットを作動させステップＳ１に戻る（ステップＳ１７，Ｓ１８）。

【0049】

センサタイマ１１の値が判定値１３以上の場合、入室者とは判断せず扉タイマ１０，センサタイマ１１を初期化させエアジェットは作動させない。その後ステップＳ１２に戻るがセンサ７がＯＮになればエアジェットが作動する（ステップＳ１４）。

【0050】

このように入室者であるか否かの判断を前室側扉３の開放から閉鎖までの開閉時間とセンサ７が入室者を検知していない間の時間とを比較して行うことにより、エアシャワー室１内にいる人１００が「入室者」であるか、そうでないかを判断し、エアジェットを適切に作動させることができる。

【0051】

以上説明した本発明の実施例によれば、前室側扉の開閉時間経過後にセンサがＯＮした場合の他に、開閉時間内にセンサがＯＮした場合であっても入室者と判断してエアジェットを作動させることができるので、エアジェットの無駄な作動を防ぎつつ、すり抜け動作による清浄室への塵埃等の持ち込みを防止することができる。

【符号の説明】

【0052】

１…エアシャワー室、３…前室側扉、４…清浄室側扉、５…前室側扉スイッチ、６…清浄室側扉スイッチ、７…センサ、８…制御部、９…表示設定部、１０…扉タイマ、１１…センサタイマ、１２…設定値、１３…判定値、２１…側壁、２２…側壁、２１ａ…エアジェット機構、２２ａ…エアジェット機構、１００…人

【図1】

【図2】

【図3】