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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B1)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-12-17
(45)【発行日】2024-12-25
(54)【発明の名称】加圧システム
(51)【国際特許分類】
B29C 43/32 20060101AFI20241218BHJP
B30B 15/00 20060101ALI20241218BHJP
B29C 43/02 20060101ALI20241218BHJP
【ＦＩ】
B29C43/32
B30B15/00 G
B29C43/02
【請求項の数】
8
(21)【出願番号】P 2023175901
(22)【出願日】2023-10-11
【審査請求日】2023-10-25
【早期審査対象出願】
(73)【特許権者】
【識別番号】000226242
【氏名又は名称】日機装株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100141173
【弁理士】
【氏名又は名称】西村 啓一
(72)【発明者】
【氏名】中塚 聡
(72)【発明者】
【氏名】森 隆博
(72)【発明者】
【氏名】森永 高広
【審査官】岩▲崎▼ 則昌
(56)【参考文献】
【文献】特開２０２０－０２８９８０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１７－１９９８１２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１７－１９６６４５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１０－０６２４６８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００８－１２０６１３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００６－０３５４３０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００４－０５８３４９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００３－３００２２０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０１－１２５２０９（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２０１４／０５１０１４（ＷＯ，Ａ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ２９Ｃ ４３／３２
Ｂ３０Ｂ １５／００
Ｂ２９Ｃ ４３／０２
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
ワークに対する加圧処理と、前記ワークに対する前記加圧処理に関連する関連処理と、を実行する加圧システムであって、前記加圧処理が実行される加圧エリアと、
前記加圧エリアに隣接した位置に前記加圧エリアを挟み込むように配置されて、前記関連処理が実行される２つの関連エリアと、
前記ワークを収容する２つのチャンバユニットと、
２つの前記チャンバユニットを同時に往復搬送するチャンバ搬送装置と、
前記加圧エリアと前記関連エリアそれぞれとに配置される昇降装置と、
前記加圧エリアに配置されて、前記ワークを加熱する押圧ユニットと、
前記関連エリアに配置されて、前記チャンバユニットに収容されている前記加圧処理前の前記ワークを予備加熱する予備加熱処理を前記関連処理として実行する予備加熱ユニットと、
前記関連エリアに配置されて、前記チャンバユニットに収容されている前記加圧処理後の前記ワークを冷却する冷却処理を前記関連処理として実行する冷却ユニットと、
前記関連エリアに隣接する待機エリアと、前記関連エリアと、の間で前記予備加熱ユニットを往復搬送する熱ユニット搬送装置と、
を有してなり、
前記加圧エリアに配置される前記昇降装置は、前記押圧ユニットを昇降して、
前記関連エリアに配置される前記昇降装置は、前記予備加熱ユニットおよび／または前記冷却ユニットを昇降して、
前記加圧エリアと前記関連エリアそれぞれとは、
前記昇降装置の上方に、前記押圧ユニットと、前記予備加熱ユニットおよび／または前記冷却ユニットと、が昇降可能な昇降空間と、
前記昇降空間よりも上方に位置する上部空間と、
を備えて、
２つの前記チャンバユニットは、前記加圧エリアの前記上部空間と、前記関連エリアの前記上部空間と、の間を往復搬送されて、
前記チャンバ搬送装置は、
前記加圧エリアの前記上部空間と、前記関連エリアそれぞれの前記上部空間と、に配置されて、
一方の前記チャンバユニットが前記加圧エリアに位置しているとき、他方の前記チャンバユニットが一方の前記関連エリアに位置するように、かつ、
他方の前記チャンバユニットが前記加圧エリアに位置しているとき、一方の前記チャンバユニットが他方の前記関連エリアに位置するように、前記チャンバユニットを往復搬送して、
前記加圧処理前の前記チャンバユニットが前記関連エリアに位置しているとき、
前記熱ユニット搬送装置は、前記予備加熱ユニットを、前記冷却ユニットと前記チャンバユニットとの間に搬送して、
前記昇降装置は、前記冷却ユニットと前記予備加熱ユニットとを上昇させることにより、前記予備加熱ユニットを前記チャンバユニットに当接させて、
前記加圧処理後の前記チャンバユニットが前記関連エリアに位置しているとき、
前記昇降装置は、前記冷却ユニットを上昇させることにより、前記冷却ユニットを前記チャンバユニットに当接させて、
前記冷却処理において、
前記予備加熱ユニットは、前記待機エリアに位置する、
加圧システム。
【請求項2】
前記チャンバユニットは、前記ワークが載置されて、前記加圧処理において、前記ワークを下方から加圧する下加圧ユニットとして機能する載置台と、
前記載置台の上方に配置されて、前記加圧処理において、前記ワークを上方から加圧する上加圧ユニットとして機能する天井部材と、
水平方向において、前記ワークの全周を取り囲むように配置されて、前記載置台と前記天井部材と共に前記ワークが収容される収容室を区画する周壁部材と、
を備えて、
前記関連エリアにおいて、
前記昇降装置は、前記ワークが載置されている前記載置台を昇降可能であり、
前記昇降装置の上昇に基づいて前記載置台が前記周壁部材に取り付けられて、前記加圧処理前の前記ワークが前記収容室に収容される収容処理が前記関連処理として実行されて、
前記昇降装置の下降に基づいて前記載置台が前記周壁部材から取り外されて、前記加圧処理後の前記ワークが前記収容室から取り出される取出処理が前記関連処理として実行される、
請求項１に記載の加圧システム。
【請求項3】
前記予備加熱処理は、前記収容処理の後に実行されて、前記収容処理において、
前記ワークが載置されている前記載置台は、前記昇降装置の上方に配置されて、
前記天井部材と前記周壁部材とは、前記載置台の上方に配置されて、
前記取出処理において、
前記予備加熱ユニットは、前記待機エリアに位置する、
請求項２に記載の加圧システム。
【請求項4】
前記ワークが前記載置台に搬入されるワーク搬入処理、および前記載置台から前記ワークが搬出されるワーク搬出処理、が実行されるワーク搬送エリアと、前記ワーク搬送エリアと前記関連エリアとの間で前記ワークが載置された前記載置台を往復搬送する台搬送装置と、
を有してなり、
上方視において、前記載置台の搬送方向は、前記予備加熱ユニットの搬送方向と同じであり、
前記予備加熱ユニットの搬送経路は、前記載置台の搬送経路の下方に配置される、
請求項３に記載の加圧システム。
【請求項5】
前記関連処理と前記加圧処理とが実行される前の前記ワークが配置されるワーク搬入エリアと、前記関連処理と前記加圧処理とが実行された後の前記ワークが配置されるワーク搬出エリアと、
前記ワーク搬入エリアから前記ワークが一方の前記載置台に搬入される第１ワーク搬入処理、および前記一方の前記載置台から前記ワークが前記ワーク搬出エリアに搬出される第１ワーク搬出処理、が実行される第１ワーク搬送エリアと、
前記ワーク搬入エリアから前記ワークが他方の前記載置台に搬入される第２ワーク搬入処理、および前記他方の前記載置台から前記ワークが前記ワーク搬出エリアに搬出される第２ワーク搬出処理、が実行される第２ワーク搬送エリアと、
前記第１ワーク搬入処理と、前記第１ワーク搬出処理と、前記第２ワーク搬入処理と、前記第２ワーク搬出処理と、を実行するワーク搬送装置と、
を有してなり、
前記ワーク搬送装置は、
前記ワーク搬入エリアと前記第１ワーク搬送エリアとの間と、前記ワーク搬入エリアと前記第２ワーク搬送エリアとの間と、を移動して、前記載置台に前記ワークを搬入するワーク搬入装置と、
前記ワーク搬出エリアと前記第１ワーク搬送エリアとの間と、前記ワーク搬出エリアと前記第２ワーク搬送エリアとの間と、を移動して、前記載置台から前記ワークを搬出するワーク搬出装置と、
を備えて、
前記ワーク搬入装置が前記ワーク搬入エリアに位置しているとき、前記ワーク搬出装置は、前記第１ワーク搬送エリアまたは前記第２ワーク搬送エリアに位置して、
前記ワーク搬出装置が前記ワーク搬出エリアに位置しているとき、前記ワーク搬入装置は、前記第１ワーク搬送エリアまたは前記第２ワーク搬送エリアに位置する、
請求項２に記載の加圧システム。
【請求項6】
前記加圧エリアに配置されて、前記加圧処理を実行する加圧装置、を有してなり、
前記加圧装置は、
前記加圧処理において、前記チャンバユニットの下方から上昇することにより前記載置台に当接して、前記載置台と共に前記下加圧ユニットとして機能する前記押圧ユニット、
を備える、
請求項２に記載の加圧システム。
【請求項7】
前記収容室は、前記収容室の内部圧力が前記チャンバユニットの外部空間の外部圧力よりも低い減圧雰囲気であり、前記載置台は、前記周壁部材の下方に配置されて、前記内部圧力と前記外部圧力との圧力差により前記周壁部材に取り付けられる、
請求項２に記載の加圧システム。
【請求項8】
前記収容室の雰囲気は、前記収容室の内部圧力が前記チャンバユニットの外部空間の外部圧力と同じになるようにガスが充填されるガス雰囲気であり、前記チャンバユニットは、
前記載置台を前記周壁部材に固定する固定部材、
を備える、
請求項２に記載の加圧システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、加圧システムに関する。
【背景技術】
【0002】
従来から、被加圧物（例えば、電子部品など）を加圧するために、加圧装置が用いられている。例えば、特許文献１に開示された加圧装置は、上加圧ユニットおよび下加圧ユニットを備えて、上加圧ユニットおよび下加圧ユニットにより被加圧物を挟持・加圧すると共に、下加圧ユニットが備える熱ユニットにより被加圧物を加熱する。同加圧装置では、被加圧物の加圧および加熱が完了した後は、加圧状態のまま被加工物は冷却されて、被加圧物は冷却後に取り出される。同加圧装置では、１つの熱ユニットにより被加圧物が加熱および冷却される。そのため、熱ユニットによる加熱と冷却の切り替えに時間が必要となり、加圧処理ごとの処理時間が長期化していた。
【0003】
特許文献２に開示された加圧装置では、下加圧ユニットは、予め加熱されている加熱ユニット、および、予め冷却されている冷却ユニットを備える。加熱ユニットおよび冷却ユニットは、被加圧物を保持した上加圧ユニットに対して移動可能に構成されていて、加圧処理の進行状況に応じて、適宜切り替えられる。そのため、下加圧ユニットによる加熱と冷却の切り替え時間が短縮されて、処理時間も短縮される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【文献】特開２００７－８９６号公報
【文献】特開２０１７－１９９８１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、特許文献１，２に開示された加圧装置では、被加圧物に対する各処理（加熱・加圧・冷却）が実行されている間、被加圧物は、上加圧ユニットと下加圧ユニットとに挟持されている。そのため、各処理が開始されてから終了するまでの間、同加圧装置は処理中の被加圧物のみに対応する専用機となる。その結果、加圧処理中は、次の加圧処理用の被加圧物は加圧装置にセットできない。すなわち、加圧処理と次の加圧処理との間に長い時間が必要となる。
【0006】
ここで、加圧処理の前処理として被加圧物に予備加熱処理を実行することにより、処理時間の短縮が見込まれる。また、加圧処理から冷却処理を分離して、加圧処理の後処理として被加圧物に冷却処理を実行することによっても、処理時間の短縮が見込まれる。このように、加圧処理に関連する処理（以下「関連処理」という。）が加圧装置で実行可能となることにより、加圧装置における処理時間が短縮されると共に、加圧処理間の時間も短縮可能となる。しかしながら、同加圧装置において、関連処理の実行は容易ではない。また、仮に、関連処理が実行できたとしても、同加圧装置では被加圧物は加圧処理中のみ密封されるため、関連処理中の被加圧物は大気に曝されてしまい、被加圧物が酸化し得る。そのため、関連処理用のチャンバ、および、同チャンバ内を満たす大量の不活性ガス（例えば、窒素ガス）が必要となる。
【0007】
本発明は、加圧処理間の時間が短縮可能で、加圧処理の関連処理が実行可能な加圧システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明の一実施態様における加圧システムは、ワークに対する加圧処理と、前記ワークに対する前記加圧処理に関連する関連処理と、を実行する加圧システムであって、前記加圧処理が実行される加圧エリアと、前記加圧エリアに隣接した位置に前記加圧エリアを挟み込むように配置されて、前記関連処理が実行される２つの関連エリアと、前記ワークを収容する２つのチャンバユニットと、２つの前記チャンバユニットを同時に往復搬送するチャンバ搬送装置と、前記加圧エリアと前記関連エリアそれぞれとに配置される昇降装置と、前記関連エリアに配置されて、前記チャンバユニットに収容されている前記加圧処理前の前記ワークを予備加熱する予備加熱処理を前記関連処理として実行する予備加熱ユニットと、前記関連エリアに配置されて、前記チャンバユニットに収容されている前記加圧処理後の前記ワークを冷却する冷却処理を前記関連処理として実行する冷却ユニットと、前記関連エリアに隣接する待機エリアと、前記関連エリアと、の間で前記予備加熱ユニットを往復搬送する熱ユニット搬送装置と、を有してなり、前記加圧エリアに配置される前記昇降装置は、前記押圧ユニットを昇降して、前記関連エリアに配置される前記昇降装置は、前記予備加熱ユニットおよび／または前記冷却ユニットを昇降して、前記加圧エリアと前記関連エリアそれぞれとは、前記昇降装置の上方に、前記押圧ユニットと、前記予備加熱ユニットおよび／または前記冷却ユニットと、が昇降可能な昇降空間と、前記昇降空間よりも上方に位置する上部空間と、を備えて、２つの前記チャンバユニットは、前記加圧エリアの前記上部空間と、前記関連エリアの前記上部空間と、の間を往復搬送されて、前記チャンバ搬送装置は、前記加圧エリアの前記上部空間と、前記関連エリアそれぞれの前記上部空間と、に配置されて、一方の前記チャンバユニットが前記加圧エリアに位置しているとき、他方の前記チャンバユニットが一方の前記関連エリアに位置するように、かつ、他方の前記チャンバユニットが前記加圧エリアに位置しているとき、一方の前記チャンバユニットが他方の前記関連エリアに位置するように、前記チャンバユニットを往復搬送して、前記加圧処理前の前記チャンバユニットが前記関連エリアに位置しているとき、前記熱ユニット搬送装置は、前記予備加熱ユニットを、前記冷却ユニットと前記チャンバユニットとの間に搬送して、前記昇降装置は、前記冷却ユニットと前記予備加熱ユニットとを上昇させることにより、前記予備加熱ユニットを前記チャンバユニットに当接させて、前記加圧処理後の前記チャンバユニットが前記関連エリアに位置しているとき、前記昇降装置は、前記冷却ユニットを上昇させることにより、前記冷却ユニットを前記チャンバユニットに当接させて、前記冷却処理において、前記予備加熱ユニットは、前記待機エリアに位置する、加圧システムである。
【発明の効果】
【0009】
本発明によれば、加圧処理間の時間が短縮可能で、加圧処理の関連処理が実行可能な加圧システムを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【0010】
【発明を実施するための形態】
【0011】
本発明に係る加圧システム（以下「本システム」という。）の実施の形態が、以下に説明される。以下の説明において、各図面は、適宜参照される。各図面において、同一の部材および要素については同一の符号が付されて、重複する説明は省略される。また、各要素の寸法比率は、説明の便宜上、誇張されている場合が有り、各図面に示されている比率に限定されない。
【0012】
以下の説明および図面において、特に断りがない限り、空間において相互に直交する３軸をそれぞれＸ軸、Ｙ軸、およびＺ軸としたとき、「Ｘ軸方向」はＸ軸に沿う方向であり、例えば、左右方向である。「Ｙ軸方向」は、Ｙ軸に沿う方向であり、例えば、前後方向である。「Ｚ軸方向」は、Ｚ軸に沿う方向であり、上下方向である。また、「＋Ｘ軸方向」は左方であり、「－Ｘ軸方向」は右方であり、「＋Ｙ軸方向」は前方であり、「－Ｙ軸方向」は後方であり、「＋Ｚ軸方向」は上方であり、「－Ｚ軸方向」は下方である。以下の説明において、上下方向を除く方向の特定には、主に、Ｘ軸方向（＋Ｘ軸方向、－Ｘ軸方向）およびＹ軸方向（＋Ｙ軸方向、－Ｙ軸方向）が用いられる。
【0013】
本発明では、加圧処理に関連する処理（以下「関連処理」という。）を実行する機能が加圧装置に対して追加されて、加圧処理を含む複数の処理を実行する本システムが構成されている。また、加圧処理においてワークを加圧する上加圧ユニットの一部、および、下加圧ユニットの一部により、ワークが収容されているチャンバユニットが２つ形成されている。２つのチャンバユニットは本システム内に配置されている加圧エリアと関連エリアとの間を交互に往復搬送されて、ワークに対して各エリアに対応する処理が実行される。その結果、本発明は、チャンバユニットを往復搬送することにより、ワークに対する関連処理を実行可能である。また、本発明は、加圧処理と次の加圧処理との間（加圧処理間）の時間を短縮可能である。さらに、本発明は、１つの関連エリアにおいて、複数種の関連処理を実行することにより、ワークに対する複数種の関連処理を実行可能である。各用語の説明および各部材の具体的な構成は、後述される。
【0014】
「加圧処理」は、ワークに対して上下方向から圧力を加えて、ワークに所定の加工（例えば、圧縮、圧接、シンタリング接合など）を実行する処理である。加圧処理は、加圧のみが実行される処理、および加圧および加熱が実行される処理を含む。
【0015】
「ワーク」は、本システムにおいて加圧される対象（すなわち、被加圧物）であり、例えば、シート状の基材（セラミックグリーンシートなど）、電子部品、回路などが搭載されている基板、などである。
【0016】
「関連処理」は、本システムにおいて加圧処理に関連する処理であり、加圧処理の実行前にワークに対して必要な前処理（例えば、ワークの収容、ワークの予備加熱など）、および加圧処理の実行後にワークに対して必要な後処理（例えば、ワークの冷却、ワークの取り出しなど）を含む。本実施の形態において、関連処理は、前処理として収容処理および予備加熱処理を含み、後処理として冷却処理および取出処理を含む。各処理の詳細は、後述される。
【0017】
●加圧システム●
●加圧システムの構成
図１は、本システム１の実施の形態を示す模式斜視図である。
図２は、本システム１の機能ブロック図である。
図１では、後述される各エリアの境界が、太い一点鎖線により示されている。
●加圧システムの構成
図１は、本システム１の実施の形態を示す模式斜視図である。
図２は、本システム１の機能ブロック図である。
図１では、後述される各エリアの境界が、太い一点鎖線により示されている。
【0018】
本システム１は、ワークＷに対して、加圧処理および関連処理を実行する。本システム１は、筐体２、制御装置３、第１冷却装置４、第１予備加熱装置５、第２冷却装置６、第２予備加熱装置７、加圧装置８、搬送装置９、雰囲気調整装置１０、および２つのチャンバユニット２０を有してなる。以下の説明において、チャンバユニット２０それぞれが区別されるとき、一方のチャンバユニット２０およびその構成部材には符号「Ａ」が付されて、他方のチャンバユニット２０およびその構成部材には符号「Ｂ」が付される。
【0019】
本システム１では、２つのワークＷに対して、交互に加圧処理および関連処理が実行される。以下の説明において、ワークＷそれぞれが区別されるとき、一方のワークＷは「第１ワークＷ１」と称呼されて、他方のワークＷは「第２ワークＷ２（図４参照。以下同じ。）」と称呼される。
【0020】
筐体２は、制御装置３、第１冷却装置４、第１予備加熱装置５、第２冷却装置６、第２予備加熱装置７、加圧装置８、搬送装置９、雰囲気調整装置１０、および２つのチャンバユニット２０を収容する。
【0021】
図３は、本システム１の模式平面図である。
同図では、説明の便宜上、本システム１の一部の構成の図示が省略されている。また、同図では、後述されるベース部材Ｂ１が半透明な状態で示されていて、第１冷却装置４が二点鎖線で示されている。以下の説明では、図１～図２も適宜参照される。
同図では、説明の便宜上、本システム１の一部の構成の図示が省略されている。また、同図では、後述されるベース部材Ｂ１が半透明な状態で示されていて、第１冷却装置４が二点鎖線で示されている。以下の説明では、図１～図２も適宜参照される。
【0022】
上方視において、筐体２の形状は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向（以下「ＸＹ軸方向」という。）に沿う矩形状であり、中空の直方体状である。筐体２は、水平な床面に配置されている。以下の説明において、「水平方向」は、床面に対して平行な方向であり、ＸＹ軸方向に平行な方向である。また、水平方向は、完全な水平だけでなく、床面の僅かな傾斜、および本システム１を構成している各部品の製造公差および組立公差による誤差（僅かな傾斜）を含む。
【0023】
上方視において、筐体２の内部の空間は、第１エリアＡ１、第２エリアＡ２、第３エリアＡ３、第４エリアＡ４、第５エリアＡ５、第６エリアＡ６、第７エリアＡ７、第８エリアＡ８、および第９エリアＡ９に区分されている。換言すれば、本システム１は、第１エリアＡ１～第９エリアＡ９を有してなる。本明細書において、第１エリアＡ１～第９エリアＡ９それぞれが特に区別されないとき、これらは単に「エリア」と称呼される。
【0024】
各エリアのうち、第２エリアＡ２～第４エリアＡ４、および第８エリアＡ８は、第１ワークＷ１を取り扱う第１系統を構成している。第５エリアＡ５～第８エリアＡ８は、第２ワークＷ２を取り扱う第２系統を構成している。
【0025】
「第１エリアＡ１」は、各処理前のワークＷが配置されている（待機している）エリアである。第１エリアＡ１には、ベルトコンベアａ１１が配置されている。第１エリアＡ１は、本発明におけるワーク搬入エリアの一例である。
【0026】
「第２エリアＡ２」は、第４エリアＡ４に搬送される各処理前のワークＷが第１ワークＷ１として配置されるエリアであり、かつ、第４エリアＡ４から搬送される各処理後の第１ワークＷ１が配置されるエリアである。第２エリアＡ２は、本発明における第１ワーク搬送エリアの一例である。
【0027】
「第３エリアＡ３」は、第１ワークＷ１への加圧処理、冷却処理、および取出処理において、第１予備加熱装置５が待機（位置）しているエリアである。第３エリアＡ３は、本発明における待機エリアの一例である。
【0028】
「第４エリアＡ４」は、第１ワークＷ１への関連処理（収容処理、予備加熱処理、冷却処理、および取出処理）が実行されるエリアである。第４エリアＡ４は、本発明における一方の関連エリアの一例である。
【0029】
「第５エリアＡ５」は、各処理前のワークＷが第２ワークＷ２として配置されるエリアであり、かつ、第７エリアＡ７から搬送される各処理後の第２ワークＷ２が配置されるエリアである。第５エリアＡ５は、本発明における第２ワーク搬送エリアの一例である。
【0030】
「第６エリアＡ６」は、第２ワークＷ２への加圧処理、冷却処理、および取出処理において、第２予備加熱装置７が待機（位置）しているエリアである。第６エリアＡ６は、本発明における待機エリアの一例である。
【0031】
「第７エリアＡ７」は、第２ワークＷ２への関連処理（収容処理、予備加熱処理、冷却処理、および取出処理）が実行されるエリアである。第７エリアＡ７は、本発明における他方の関連エリアの一例である。
【0032】
「第８エリアＡ８」は、ワークＷへの加圧処理が実行されるエリアである。第８エリアＡ８は、本発明における加圧エリアの一例である。
【0033】
「第９エリアＡ９」は、例えば、各処理後のワークＷが配置されているエリアである。第９エリアＡ９には、ベルトコンベアａ９１が配置されている。第９エリアＡ９は、本発明におけるワーク搬出エリアの一例である。
【0034】
上方視において、第２エリアＡ２～第８エリアＡ８は、第１エリアＡ１と第９エリアＡ９との間に配置されている。第２エリアＡ２は、第１エリアＡ１の＋Ｘ軸方向に隣接して配置されている。第３エリアＡ３は、第２エリアＡ２の＋Ｙ軸方向に隣接して配置されている。第４エリアＡ４は、第３エリアＡ３の＋Ｙ軸方向に隣接して配置されている。第５エリアＡ５は、第２エリアＡ２の＋Ｘ軸方向に配置されていて、第９エリアＡ９の－Ｘ軸方向に隣接して配置されている。第６エリアＡ６は、第５エリアＡ５の＋Ｙ軸方向に隣接して配置されている。第７エリアＡ７は、第６エリアＡ６の＋Ｙ軸方向に隣接して配置されている。第８エリアＡ８は、第４エリアＡ４の＋Ｘ軸方向に隣接して配置されていて、第７エリアＡ７の－Ｘ軸方向に隣接して配置されている。すなわち、Ｘ軸方向において、第８エリアＡ８は、第４エリアＡ４と第７エリアＡ７との間に挟み込まれるように配置されている。
【0035】
制御装置３は、本システム１全体の動作を制御する。制御装置３は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）３ａなどのプロセッサ、ＣＰＵ３ａの作業領域として機能するＲＡＭ（Random Access Memory）３ｂなどの揮発性メモリ、および、制御プログラムなどの各種情報を記憶するＲＯＭ（Read Only Memory）３ｃなどの不揮発性メモリ、を備える。
【0036】
【0037】
第１冷却装置４は、チャンバユニット２０Ａに収容されている加圧処理後の第１ワークＷ１を冷却する。第１冷却装置４は、テーブル４０、冷却ユニット４１、および昇降装置４２を備える。第１冷却装置４は、第４エリアＡ４に配置されている。
【0038】
テーブル４０は、冷却ユニット４１が載置される台である。テーブル４０の形状は、例えば、上方視においてＸＹ軸方向に沿う４辺を有する八角形状であり（図１１参照）、板状である。
【0039】
冷却ユニット４１は、テーブル４０の上方に配置されていて、テーブル４０に取り付けられている。冷却ユニット４１は、本体部４１ａ、断熱部材４１ｂ、および複数の冷媒流路Ｃ１を備える。本体部４１ａは、冷媒流路Ｃ１を保護する。本体部４１ａは、例えば、高い熱伝導性を有する金属（例えば、銅合金）製である。上方視において、本体部４１ａの形状は、例えば、テーブル４０と同じ形状である（図１１参照）。断熱部材４１ｂは、本体部４１ａの周囲（水平方向の全周および下方向。以下同じ。）を覆い、本体部４１ａの結露を抑制している。冷媒流路Ｃ１は、冷媒（不図示。以下同じ。）が流れる流路である。冷媒は、冷却装置により冷却されていて、冷媒流路Ｃ１と冷却装置（不図示。以下同じ。）との間で循環されている。冷却ユニット４１の上面４１ｃは、水平方向に平行な平面状である。
【0040】
昇降装置４２は、テーブル４０および冷却ユニット４１を昇降させる。昇降装置４２は、例えば、公知のシリンダである。
【0041】
第１予備加熱装置５は、チャンバユニット２０Ａに収容されている第１ワークＷ１を後述される予備加熱温度まで加熱する。第１予備加熱装置５は、テーブル５０、予備加熱ユニット５１、および熱ユニット搬送装置５２を備える。
【0042】
テーブル５０は、予備加熱ユニット５１が載置される台である。テーブル５０は、本体部５０ａおよび取付部５０ｂを備える。本体部５０ａの形状は、例えば、板状である。上方視において、本体部５０ａの形状はテーブル４０および冷却ユニット４１と相似形であり、本体部５０ａはテーブル４０および冷却ユニット４１よりも僅かに大きい（図１１参照）。本体部５０ａの－Ｙ軸方向側の端部は、－Ｙ軸方向側に矩形板状に延出されていて、取付部５０ｂを構成している。
【0043】
予備加熱ユニット５１は、本体部５０ａの上方に配置されていて、本体部５０ａに取り付けられている。予備加熱ユニット５１は、本体部５１ａ、断熱部材５１ｂ、および複数のヒータＨ１を備える。本体部５１ａは、ヒータＨ１を保護する。本体部５１ａは、例えば、高い熱伝導性を有する金属（例えば、銅合金）製である。本体部５１ａの形状は、例えば、上方視においてＸＹ軸方向に沿う矩形状であり（図１１参照）、直方体状である。上方視において、本体部５１ａは、本体部５０ａよりも小さい。断熱部材５１ｂは、本体部５１ａの周囲を覆い、ヒータＨ１の熱の周囲への漏れを抑制している。ヒータＨ１は、本体部５１ａの内部に配置されている。予備加熱ユニット５１の上面５１ｃは、水平方向に平行な平面状である。
【0044】
熱ユニット搬送装置５２は、テーブル５０および予備加熱ユニット５１を第３エリアＡ３と第４エリアＡ４との間で往復搬送する。熱ユニット搬送装置５２は、例えば、モータ（不図示。以下同じ。）、動力伝達機構５２ａ、連結部材５２ｂ、昇降部材５２ｃ、複数のローラ５２ｄ、および一対のレール部材Ｒ１，Ｒ２を備える。
【0045】
動力伝達機構５２ａは、例えば、モータの回転運動を直線運動に変換する公知のボールねじである。動力伝達機構５２ａは、Ｙ軸方向に沿うように第３エリアＡ３および第４エリアＡ４（第３エリアＡ３側の部分）に配置されている。連結部材５２ｂは、動力伝達機構５２ａに取り付けられて、Ｙ軸方向に往復移動可能である。昇降部材５２ｃの上端は、取付部５０ｂに取り付けられている。昇降部材５２ｃは、連結部材５２ｂに対してテーブル５０と共に上下方向に昇降可能に、連結部材５２ｂに支持されている。ローラ５２ｄは、レール部材Ｒ１，Ｒ２の上に載せられていて、回転することによりテーブル５０および予備加熱ユニット５１の搬送を補助する。ローラ５２ｄは、本体部５０ａのＸ軸方向側の両側面に均等に取り付けられている。レール部材Ｒ１，Ｒ２は、テーブル５０および予備加熱ユニット５１がＹ軸方向に水平移動可能となるように、ローラ５２ｄを介してテーブル５０および予備加熱ユニット５１を支持している。レール部材Ｒ１，Ｒ２は、Ｙ軸方向に沿うように、第３エリアＡ３および第４エリアＡ４に配置されている。レール部材Ｒ１，Ｒ２は、筐体２に支持されている。
【0046】
ローラ５２ｄがレール部材Ｒ１，Ｒ２の上に載置されることにより、テーブル５０および予備加熱ユニット５１はレール部材Ｒ１，Ｒ２に、Ｙ軸方向に往復移動可能に支持されている。連結部材５２ｂがＹ軸方向に往復移動することにより、テーブル５０および予備加熱ユニット５１は第３エリアＡ３と第４エリアＡ４との間を往復搬送される。後述のとおり、テーブル５０および予備加熱ユニット５１は、第１ワークＷ１の加圧処理、冷却処理、および取出処理において第３エリアＡ３に配置されていて、第１ワークＷ１の収容処理および予備加熱処理において第４エリアＡ４に配置されている。
【0047】
【0048】
第２冷却装置６は、チャンバユニット２０Ｂに収容されている加圧処理後の第２ワークＷ２を冷却する。第２冷却装置６の構成は第１冷却装置４の構成と共通するため、その詳細な説明は省略される。第２冷却装置６は、テーブル６０、冷却ユニット６１、および昇降装置６２を備える。第２冷却装置６は、第７エリアＡ７に配置されている。
【0049】
テーブル６０および昇降装置６２の構成は、テーブル４０および昇降装置４２の構成と共通する。
【0050】
冷却ユニット６１は、本体部６１ａ、断熱部材６１ｂ、上面６１ｃ、および複数の冷媒流路Ｃ２を備える。本体部６１ａ、断熱部材６１ｂ、上面６１ｃ、および複数の冷媒流路Ｃ２それぞれの構成は、本体部４１ａ、断熱部材４１ｂ、上面４１ｃ、および複数の冷媒流路Ｃ１それぞれの構成と共通する。
【0051】
第２予備加熱装置７は、チャンバユニット２０Ｂに収容されている第２ワークＷ２を後述される予備加熱温度まで加熱する。第２予備加熱装置７の構成は第１予備加熱装置５の構成と共通するため、その詳細な説明は省略される。第２予備加熱装置７は、テーブル７０、予備加熱ユニット７１、および熱ユニット搬送装置７２を備える。
【0052】
テーブル７０は、本体部７０ａおよび取付部７０ｂを備える。本体部７０ａおよび取付部７０ｂそれぞれの構成は、本体部５０ａおよび取付部５０ｂそれぞれの構成と共通する。
【0053】
予備加熱ユニット７１は、本体部７１ａ、断熱部材７１ｂ、上面７１ｃ、および複数のヒータＨ２を備える。本体部７１ａ、断熱部材７１ｂ、上面７１ｃ、およびヒータＨ２それぞれの構成は、本体部５１ａ、断熱部材５１ｂ、上面５１ｃ、およびヒータＨ１それぞれの構成と共通する。
【0054】
熱ユニット搬送装置７２は、例えば、モータ（不図示。以下同じ。）、動力伝達機構７２ａ、連結部材７２ｂ、昇降部材７２ｃ、複数のローラ７２ｄ、および一対のレール部材Ｒ３，Ｒ４を備える。動力伝達機構７２ａは、Ｙ軸方向に沿うように第６エリアＡ６および第７エリアＡ７（第６エリアＡ６側の部分）に配置されている。レール部材Ｒ３，Ｒ４は、Ｙ軸方向に沿うように、第６エリアＡ６および第７エリアＡ７に配置されている。レール部材Ｒ３，Ｒ４は、筐体２に支持されている。
【0055】
ローラ７２ｄがレール部材Ｒ３，Ｒ４の上に載置されることにより、テーブル７０および予備加熱ユニット７１はレール部材Ｒ３，Ｒ４に、Ｙ軸方向に往復移動可能に支持されている。連結部材７２ｂがＹ軸方向に往復移動することにより、テーブル７０および予備加熱ユニット７１は第６エリアＡ６と第７エリアＡ７との間を往復搬送される。後述のとおり、テーブル７０および予備加熱ユニット７１は、第２ワークＷ２の加圧処理、冷却処理、および取出処理において第６エリアＡ６に配置されていて、第２ワークＷ２の収容処理および予備加熱処理において第７エリアＡ７に配置されている。
【0056】
以下の説明において、図１～図４が適宜参照される。
加圧装置８は、チャンバユニット２０に収容されているワークＷを加圧する。加圧装置８は、下ベース部材８０、熱ユニット８１、および昇降装置８２を備える。加圧装置８は、第８エリアＡ８に配置されている。
加圧装置８は、チャンバユニット２０に収容されているワークＷを加圧する。加圧装置８は、下ベース部材８０、熱ユニット８１、および昇降装置８２を備える。加圧装置８は、第８エリアＡ８に配置されている。
【0057】
下ベース部材８０は、熱ユニット８１を支持する。下ベース部材８０は、例えば、高い剛性を有する金属（例えば、ステンレス鋼）製である。下ベース部材８０の形状は、例えば、上方視においてＸＹ軸方向に沿う矩形状であり、直方体状である。
【0058】
熱ユニット８１は、下ベース部材８０の上方に配置されていて、下ベース部材８０に取り付けられている。熱ユニット８１は、本体部８１ａ、断熱部材８１ｂ、複数のヒータＨ３、および複数の冷媒流路Ｃ３を備える。本体部８１ａは、ヒータＨ３および冷媒流路Ｃ３を保護する。本体部８１ａは、例えば、高い剛性を有する金属（例えば、炭素鋼）製である。本体部８１ａの形状は、上方向視においてＸＹ軸方向に沿う矩形状であり、直方体状である。断熱部材８１ｂは、本体部８１ａの周囲を覆うと共に、本体部８１ａを上下に２分割するように配置されている。断熱部材８１ｂは、ヒータＨ３の熱の周囲への漏れ、および、本体部８１ａの結露を抑制している。ヒータＨ３は、ワークＷが加圧されるとき、ワークＷを加熱する。ヒータＨ３は、本体部８１ａの上半部内に配置されている。冷媒流路Ｃ３は、本体部８１ａの下半部を冷却する冷媒が流れる流路である。冷媒は、冷却装置により冷却されていて、冷媒流路Ｃ１と冷却装置との間で循環されている。冷媒流路Ｃ３は、本体部８１ａの下半部内に配置されている。熱ユニット８１の上面８１ｃは、水平方向に平行な平面状である。熱ユニット８１は、下ベース部材８０の上方に配置されていて、下ベース部材８０に取り付けられている。熱ユニット８１は、本発明における押圧ユニットの一例である。
【0059】
昇降装置８２は、下ベース部材８０および熱ユニット８１を昇降させる。昇降装置８２は、例えば、公知の油圧シリンダである。
【0060】
搬送装置９は、ワークＷおよびチャンバユニット２０を搬送する。搬送装置９は、ワーク搬送装置９０、台搬送装置９３、およびチャンバ搬送装置９６を備える。
【0061】
【0062】
ワーク搬送装置９０は、第１エリアＡ１に位置しているワークＷを第２エリアＡ２および第５エリアＡ５に搬入して、第２エリアＡ２および第５エリアＡ５に搬送された加圧処理後のワークＷを第９エリアＡ９に搬出する。ワーク搬送装置９０は、ワーク搬入装置９１、ワーク搬出装置９２、駆動機構（不図示。以下同じ。）、および一対のレール部材Ｒ５，Ｒ６を備える。
【0063】
ワーク搬入装置９１は、第１エリアＡ１に待機しているワークＷを第２エリアＡ２および第５エリアＡ５に搬入する。ワーク搬入装置９１は、支持部材９１ａ、昇降装置９１ｂ、および保持部材９１ｃを備える。支持部材９１ａは、昇降装置９１ｂを支持している。支持部材９１ａは、Ｘ軸方向に往復移動可能にレール部材Ｒ５，Ｒ６に支持されている。昇降装置９１ｂは、保持部材９１ｃを昇降させる。保持部材９１ｃは、ワークＷを（例えば、吸着）保持する。保持部材９１ｃは、昇降装置９１ｂの下端部に取り付けられている。
【0064】
ワーク搬出装置９２は、第２エリアＡ２および第５エリアＡ５に搬送された加圧処理後のワークＷを第９エリアＡ９に搬出する。ワーク搬出装置９２は、支持部材９２ａ、昇降装置９２ｂ、および保持部材９２ｃを備える。支持部材９２ａ、昇降装置９２ｂ、および保持部材９２ｃそれぞれの構成は支持部材９１ａ、昇降装置９１ｂ、および保持部材９１ｃの構成それぞれと共通するため、これらの詳細な説明は省略される。
【0065】
駆動機構は、ワーク搬入装置９１およびワーク搬出装置９２を個別にＸ軸方向に往復搬送するための動力を生成して、ワーク搬入装置９１およびワーク搬出装置９２に伝達する。駆動機構は、例えば、公知のモータおよびボールねじを備える。
【0066】
レール部材Ｒ５，Ｒ６は、Ｘ軸方向に沿うように、第１エリアＡ１、第２エリアＡ２、第５エリアＡ５、および第９エリアＡ９の上部空間に配置されている。レール部材Ｒ５，Ｒ６は、筐体２に支持されている。ワーク搬入装置９１およびワーク搬出装置９２は、Ｘ軸方向に往復移動可能に、レール部材Ｒ５，Ｒ６に支持されている。ワーク搬入装置９１は、ワーク搬出装置９２よりも－Ｘ軸方向側に配置されている。
【0067】
台搬送装置９３は、第２エリアＡ２と第４エリアＡ４との間で第１ワークＷ１を往復搬送すると共に、第５エリアＡ５と第７エリアＡ７との間で第２ワークＷ２を往復搬送する。台搬送装置９３は、第１台搬送装置９４および第２台搬送装置９５を備える。
【0068】
第１台搬送装置９４は、第２エリアＡ２と第４エリアＡ４との間で第１ワークＷ１を往復搬送する。第１台搬送装置９４は、搬送台９４ａ、駆動機構（不図示。以下同じ。）および一対のレール部材Ｒ７，Ｒ８を備える。
【0069】
搬送台９４ａは、後述される載置台２１Ａと共に第１ワークＷ１を搬送する。搬送台９４ａの形状は、上方視において矩形枠状であり、板状である。搬送台９４ａは、上方視においてＸＹ軸方向に沿う４辺を有する八角形状の中央孔９４ｂを備える。上方視において、中央孔９４ｂの形状は本体部５０ａと相似形であり、中央孔９４ｂはローラ５２ｄが取り付けられているテーブル５０よりも大きい（図１１参照）。搬送台９４ａの下面のうち、Ｘ軸方向側の端部は、例えば、レール部材Ｒ７，Ｒ８と摺動可能に噛み合うように（例えば、凹凸形状）構成されている。搬送台９４ａは、レール部材Ｒ７，Ｒ８に対してＹ軸方向に摺動可能である。
【0070】
なお、本発明において、搬送台９４ａの形状は、第１ワークＷ１を搬送可能、かつ、後述される収容処理、予備加熱処理、冷却処理、および取出処理が実行可能な形状であればよく、本実施の形態に限定されない。
【0071】
駆動機構は、搬送台９４ａをＹ軸方向に往復搬送するための動力を生成して、搬送台９４ａに伝達する。駆動機構は、例えば、公知のモータおよびボールねじを備える。
【0072】
レール部材Ｒ７，Ｒ８は、Ｙ軸方向に沿うように、第２エリアＡ２、第３エリアＡ３、および第４エリアＡ４に配置されている。上下方向において、レール部材Ｒ７，Ｒ８は、レール部材Ｒ１，Ｒ２よりも上方に配置されている。レール部材Ｒ７，Ｒ８は、筐体２に支持されている。搬送台９４ａは、Ｙ軸方向に往復移動可能に、レール部材Ｒ７，Ｒ８の上に載置されている。すなわち、搬送台９４ａは、第２エリアＡ２と第４エリアＡ４との間で往復搬送される。上方視において、搬送台９４ａ（載置台２１Ａ、第１ワークＷ１）の搬送経路は、予備加熱ユニット５１の搬送経路と重複している。すなわち、予備加熱ユニット５１の搬送経路は、搬送台９４ａ（載置台２１Ａ、第１ワークＷ１）の搬送経路の下方に配置されている。
【0073】
第２台搬送装置９５は、第５エリアＡ５と第７エリアＡ７との間で第２ワークＷ２を往復搬送する。第２台搬送装置９５は、搬送台９５ａ、駆動機構（不図示。以下同じ。）および一対のレール部材Ｒ９，Ｒ１０を備える。
【0074】
搬送台９５ａは、後述される載置台２１Ｂと共に第２ワークＷ２を搬送する。搬送台９５ａの構成は搬送台９４ａの構成と共通するため、その詳細な説明は省略される。搬送台９５ａは、中央孔９４ｂと同一形状の中央孔９５ｂを備える。上方視において、中央孔９５ｂの形状は本体部７０ａと相似形であり、中央孔９５ｂはローラ７２ｄが取り付けられているテーブル７０よりも大きい。
【0075】
駆動機構は、搬送台９５ａをＹ軸方向に往復搬送するための動力を生成して、搬送台９５ａに伝達する。駆動機構は、例えば、公知のモータおよびボールねじを備える。
【0076】
レール部材Ｒ９，Ｒ１０は、Ｙ軸方向に沿うように、第５エリアＡ５、第６エリアＡ６、および第７エリアＡ７に配置されている。上下方向において、レール部材Ｒ９，Ｒ１０は、レール部材Ｒ３，Ｒ４よりも上方に配置されている。レール部材Ｒ９，Ｒ１０は、筐体２に支持されている。搬送台９５ａは、Ｙ軸方向に往復移動可能に、レール部材Ｒ９，Ｒ１０の上に載置されている。すなわち、搬送台９５ａは、第５エリアＡ５と第７エリアＡ７との間で往復搬送される。上方視において、搬送台９５ａ（載置台２１Ｂ、第２ワークＷ２）の搬送経路は、予備加熱ユニット７１の搬送経路と重複している。すなわち、予備加熱ユニット７１の搬送経路は、搬送台９５ａ（載置台２１Ｂ、第２ワークＷ２）の搬送経路の下方に配置されている。
【0077】
以下の説明において、図３～図５は、適宜参照される。
チャンバ搬送装置９６は、第４エリアＡ４または第７エリアＡ７と、第８エリアＡ８と、の間で２つのチャンバユニット２０を同時に往復搬送する。チャンバ搬送装置９６は、２つの連結部材９６ａ，９６ｂ、複数の固定部材９６ｃ、駆動機構（不図示。以下同じ。）、ベース部材９６ｄ、および一対のレール部材Ｒ１１，Ｒ１２を備える。
チャンバ搬送装置９６は、第４エリアＡ４または第７エリアＡ７と、第８エリアＡ８と、の間で２つのチャンバユニット２０を同時に往復搬送する。チャンバ搬送装置９６は、２つの連結部材９６ａ，９６ｂ、複数の固定部材９６ｃ、駆動機構（不図示。以下同じ。）、ベース部材９６ｄ、および一対のレール部材Ｒ１１，Ｒ１２を備える。
【0078】
連結部材９６ａ，９６ｂの形状は、例えば、角柱状である。固定部材９６ｃは、例えば、Ｌ字状の固定具である。連結部材９６ａ，９６ｂは、後述される２つの上側ユニット２２（チャンバユニット２０）がＸ軸方向に並ぶように、複数の固定部材９６ｃにより後述されるベース部材２３（チャンバユニット２０）それぞれの上面に固定されている。連結部材９６ａ，９６ｂの下面は、例えば、レール部材Ｒ１１，Ｒ１２と摺動可能に噛み合うように（例えば、凹凸形状）構成されている。連結部材９６ａ，９６ｂは、レール部材Ｒ１１，Ｒ１２に対してＸ軸方向に摺動可能である。連結部材９６ａ，９６ｂは、例えば、骨組み（不図示）を介して、ベース部材９６ｄに支持されている。
【0079】
駆動機構は、２つのチャンバユニット２０をＸ軸方向に往復搬送するための動力を生成して、２つのチャンバユニット２０に伝達する。駆動機構は、例えば、重量物である２つのチャンバユニット２０を同時に搬送可能な動力を生成可能なモータ、およびモータの動力を伝達可能な動力伝達機構（例えば、ギア、スプロケット、チェーンなど）を備える。
【0080】
ベース部材９６ｄは、連結部材９６ａ，９６ｂを支持する。ベース部材９６ｄの形状は、例えば、上方視においてＸＹ軸方向に沿う矩形状であり、直方体状である。ベース部材９６ｄは、第８エリアＡ８における熱ユニット８１の上方、すなわち、第８エリアＡ８における上部空間に配置されている。ベース部材９６ｄは、例えば、筐体２に取り付けられている。後述のとおり、ベース部材９６ｄには加圧処理において所定の加圧力を受けるため、ベース部材９６ｄは同加圧力に耐え得る強度を有するように設計されている。ベース部材９６ｄは、加圧処理において、上側ユニット２２の一部と共に上加圧ユニット８Ｕを構成している。ベース部材９６ｄの下面の中央部は、下方へ向けて直方体状に突出していて、受部９６ｅを構成している。受部９６ｅは、加圧処理時にチャンバユニット２０が当接されて、チャンバユニット２０を介して所定の加圧力を受ける。受部９６ｅの下面９６ｆは、水平方向に平行な平面状である。
【0081】
雰囲気調整装置１０は、後述される収容室２０Ｒの雰囲気を調整する。雰囲気調整装置１０は、真空ポンプＰ、減圧系配管Ｌｐ、ガス系配管Ｌｇ、２つの弁Ｖ１，Ｖ２、および２つの接続配管Ｌｃ１，Ｌｃ２を備える。雰囲気調整装置１０は、収容室２０Ｒの雰囲気を減圧雰囲気（真空雰囲気）または不活性ガス雰囲気へと調整可能に構成されている。
【0082】
真空ポンプＰは、収容室２０Ｒ内の雰囲気を減圧雰囲気（真空雰囲気）に調整する。真空ポンプＰは、公知の真空ポンプである。真空ポンプＰは、減圧系配管Ｌｐ、２つの弁Ｖ１，Ｖ２を介して、後述される貫通孔２７ｃに接続されている。
【0083】
減圧系配管Ｌｐは、真空ポンプＰに接続されている配管である。ガス系配管Ｌｇは、不活性ガス（例えば、窒素ガス）の供給配管（不図示。以下同じ。）に接続されている配管である。減圧系配管Ｌｐおよびガス系配管Ｌｇは２つの枝管に分岐していて、各枝管は対応する弁Ｖ１，Ｖ２を介して対応する接続配管Ｌｃ１，Ｌｃ２に接続されている。弁Ｖ１，Ｖ２は、接続配管Ｌｃ１，Ｌｃ２に対する減圧系配管Ｌｐおよびガス系配管Ｌｇの接続を切り替える公知の電磁弁である。接続配管Ｌｃ１は弁Ｖ１と対応する貫通孔２７ｃＡとに接続される配管であり、接続配管Ｌｃ２は弁Ｖ２と対応する貫通孔２７ｃＢとに接続される配管である。
【0084】
【0085】
チャンバユニット２０は、ワークＷを収容して、第４エリアＡ４または第７エリアＡ７と第８エリアＡ８との間を往復搬送される。チャンバユニット２０は、載置台２１、上側ユニット２２、および収容室２０Ｒを備える。
【0086】
載置台２１は、ワークＷを搬送すると共に、収容室２０Ｒを区画する。後述のとおり、載置台２１は、ワークＷの搬送プレートとして機能すると共に、ワークＷが加圧されるとき下加圧ユニット８Ｄとして機能する。載置台２１は、例えば、高い熱伝導性を有する金属（例えば、銅合金）製である。載置台２１の形状は、上方視においてＸＹ軸方向に沿う矩形状であり、板状である。載置台２１は、後述される本システム１の動作において加えられる力に耐えられる程度の強度を有すると共に、ワークＷの加熱／冷却時の載置台２１の熱容量が比較的小さくなるような厚みを有する。載置台２１の上面２１ａおよび下面２１ｂの形状は、水平方向に平行な平面状である。載置台２１は、上側ユニット２２（サイド部材２７）に対して着脱可能に構成されている。
【0087】
上側ユニット２２は、ワークＷを上方から覆う。上側ユニット２２は、ベース部材２３、上型２４、枠部材２５、加圧パッド２６、サイド部材２７、第１ばね部材２８、第２ばね部材２９、および２つのシール部材３０，３１を備える。後述のとおり、ベース部材２３、上型２４、および加圧パッド２６は、ワークＷが加圧されるとき上加圧ユニット８Ｕとして機能する。
【0088】
ベース部材２３は、上型２４、第１ばね部材２８、および第２ばね部材２９を支持する。ベース部材２３は、例えば、高い剛性を有する金属（例えば、ステンレス鋼）製である。ベース部材２３の形状は、上方視においてＸＹ軸方向に沿う矩形状であり、上下方向に扁平な直方体状である。ベース部材２３の下面２３ａおよび上面２４ｂは、水平方向に平行な平面状である。
【0089】
上型２４は、加圧パッド２６を介して、上方からワークＷを加圧する。上型２４は、例えば、高い剛性を有する金属（例えば、ステンレス鋼）製である。上型２４は、ベース部材２３の下方に配置されていて、ベース部材２３の下面２３ａに取り付けられている。上型２４の形状は、下方視においてベース部材２３よりも小さくＸＹ軸方向に沿う矩形状であり、直方体状である。上型２４の下面２４ａは、水平方向に平行な平面状である。
【0090】
なお、本発明において、上型２４は、ベース部材２３と一体に成型されていてもよい。
【0091】
枠部材２５は、加圧パッド２６を保持する。枠部材２５は、例えば、高い剛性を有する金属（例えば、ステンレス鋼）製である。下方視において、枠部材２５の形状は、ＸＹ軸方向に沿う矩形状であり、枠状である。すなわち、下方視において、枠部材２５の中央には、矩形状の内部空間が形成されている。水平方向において、枠部材２５は、上型２４を囲むように配置されている。すなわち、内部空間には、上型２４が配置されている。上下方向において、枠部材２５の下端部２５ａは、上型２４の下面２４ａよりも下方に位置している。枠部材２５は、第１ばね部材２８を介して、上型２４に対して上下方向に相対移動可能に、ベース部材２３に支持されている。枠部材２５は、枠部材２５の外周面２５ｂを一周するように形成されている溝部２５ｃを備える。
【0092】
加圧パッド２６は、ワークＷが加圧されるとき、ワークＷの表面の形状に追従するように変形して、ワークＷを均等に加圧すると共に、収容室２０Ｒを区画する。加圧パッド２６は、枠部材２５の下端部２５ａに保持されていて、上型２４の下方に配置されている。加圧パッド２６は、柔軟層２６ａおよび断熱層２６ｂを備える。
【0093】
柔軟層２６ａは、ワークＷが加圧されるとき、上型２４からの圧力をワークＷへ均等に伝達する。柔軟層２６ａは、例えば、公知の高い流動性および低い反発弾性率を有する弾性体材料製である。柔軟層２６ａは、例えば、柔軟層２６ａの上下に配置されている２枚の膜部材（不図示。以下同じ。）の間に充填されている。膜部材の外縁部が全周に亘って枠部材２５の下端部２５ａに保持されることにより、水平方向において、柔軟層２６ａは、枠部材２５の下端部２５ａに囲まれている。
【0094】
断熱層２６ｂは、ワークＷが加圧されるとき、上型２４からの圧力をワークＷへ均等に伝達すると共に、熱ユニット８１からの熱の柔軟層２６ａへの伝達を抑制する。断熱層２６ｂは、例えば、公知の高い柔軟性および低い熱伝導性を有する繊維素材製である。断熱層２６ｂは、柔軟層２６ａの下方に、柔軟層２６ａに隣接して配置されている。断熱層２６ｂは、例えば、断熱層２６ｂの上下に配置されている２枚の膜部材（不図示。以下同じ。）の間に充填されている。膜部材の外縁部が全周に亘って枠部材２５の下端部２５ａに保持されることにより、水平方向において、断熱層２６ｂは、枠部材２５の下端部２５ａに囲まれている。
【0095】
なお、本発明において、後述される本加熱の温度が柔軟層２６ａの耐熱温度よりも低いとき、加圧パッド２６は、断熱層２６ｂを備えていなくてもよい。
【0096】
サイド部材２７は、収容室２０Ｒを区画する。サイド部材２７は、例えば、高い剛性を有する金属（例えば、ステンレス鋼）製である。下方視において、サイド部材２７の形状は、ＸＹ軸方向に沿う矩形状であり、枠状である。すなわち、下方視において、サイド部材２７の中央には、矩形状の内部空間が形成されている。水平方向において、サイド部材２７は、枠部材２５を囲むように配置されている。すなわち、内部空間には、枠部材２５（上型２４、加圧パッド２６）が配置されている。サイド部材２７は、第２ばね部材２９を介して、上型２４および枠部材２５に対して上下方向に相対移動可能に、ベース部材２３に支持されている。サイド部材２７は、サイド部材２７の下面２７ａに形成されている溝部２７ｂ、および、サイド部材２７の内面および外面に開口している貫通孔２７ｃを備える。
【0097】
第１ばね部材２８は、枠部材２５を上型２４に対して上下方向に相対移動可能に支持する。第１ばね部材２８は、ベース部材２３と枠部材２５との間に配置されていて、ベース部材２３の下面２３ａおよび枠部材２５の上面２５ｄに取り付けられている。
【0098】
第２ばね部材２９は、サイド部材２７を上型２４および枠部材２５に対して上下方向に相対移動可能に支持する。第２ばね部材２９は、ベース部材２３とサイド部材２７との間に配置されていて、ベース部材２３の下面２３ａおよびサイド部材２７の上面２７ｄに取り付けられている。
【0099】
シール部材３０，３１は、枠部材２５とサイド部材２７との間、および載置台２１とサイド部材２７との間を気密に封止する。シール部材３０，３１は、例えば、公知のＯ－リングである。シール部材３０は溝部２５ｃに配置されていて、枠部材２５とサイド部材２７とに当接している。シール部材３１は溝部２７ｂに配置されていて、載置台２１とサイド部材２７とに当接している。
【0100】
収容室２０Ｒは、チャンバユニット２０内に形成されている、ワークＷが収容される空間である。収容室２０Ｒは、載置台２１、枠部材２５、加圧パッド２６、サイド部材２７、およびシール部材３０，３１により区画される密閉空間である。収容室２０Ｒは、貫通孔２７ｃを介して、接続配管Ｌｃ１または接続配管Ｌｃ２に連通している。載置台２１は収容室２０Ｒを区画する床部材として機能していて、加圧パッド２６は収容室２０Ｒを区画する天井部材として機能していて、サイド部材２７は収容室２０Ｒを区画する周壁部材として機能している。加圧パッド２６は本発明における天井部材の一例であり、サイド部材２７は本発明における周壁部材の一例である。
【0101】
【0102】
ここで、前提として、チャンバユニット２０Ａを構成する上側ユニット２２Ａは第４エリアＡ４に位置していて、チャンバユニット２０Ａを構成する載置台２１Ａは第２エリアＡ２に位置している搬送台９４ａの上に載置されている。チャンバユニット２０Ｂを構成する上側ユニット２２Ｂは第８エリアＡ８に位置していて、チャンバユニット２０Ｂを構成する載置台２１Ｂは第５エリアＡ５に位置している搬送台９５ａの上に載置されている。
【0103】
【0104】
先ず、制御装置３は、ワーク搬入装置９１の動作を制御して、第１エリアＡ１に待機しているワークＷを第１ワークＷ１として第２エリアＡ２に位置している載置台２１Ａの上に搬入する（第１ワーク搬入処理）。具体的には、ワーク搬入装置９１は第１エリアＡ１に移動して、昇降装置９１ｂが保持部材９１ｃをワークＷに向けて降下させる。次いで、保持部材９１ｃはワークＷを保持して、昇降装置９１ｂが保持部材９１ｃを上昇させる。次いで、ワーク搬入装置９１は第２エリアＡ２に移動して、昇降装置９１ｂが保持部材９１ｃを載置台２１Ａに向けて降下させる。次いで、保持部材９１ｃがワークＷの保持を解除する。このとき、ワークＷの角部が載置台２１Ａの上に載置されることにより、ワークＷ（第１ワークＷ１）は載置台２１Ａの上に載置されている。次いで、昇降装置９１ｂは、保持部材９１ｃを上昇させる。
【0105】
【0106】
次いで、制御装置３は、第１台搬送装置９４の動作を制御して、載置台２１Ａが載置されている搬送台９４ａを第４エリアＡ４に搬送する。すなわち、第１ワークＷ１は、第４エリアＡ４に搬送される。また、制御装置３は、熱ユニット搬送装置５２の動作を制御して、テーブル５０および予備加熱ユニット５１を第４エリアＡ４に搬送する。このとき、テーブル５０および予備加熱ユニット５１は冷却ユニット４１の上方に配置されていて、載置台２１Ａ、第１ワークＷ１および搬送台９４ａは予備加熱ユニット５１の上方に配置されている。すなわち、テーブル５０および予備加熱ユニット５１は、冷却ユニット４１と載置台２１Ａとの間に搬送されている。また、上側ユニット２２Ａは、載置台２１Ａおよび第１ワークＷ１の上方に配置されている。
【0107】
図１１は、図１０の第４エリアＡ４の模式平面図である。
同図では、説明の便宜上、搬送台９４ａが着色されて示されていて、載置台２１Ａが半透明で示されていて、テーブル４０および冷却ユニット４１の外縁が二点鎖線で示されていて、レール部材Ｒ１，Ｒ２が破線で示されている。
同図では、説明の便宜上、搬送台９４ａが着色されて示されていて、載置台２１Ａが半透明で示されていて、テーブル４０および冷却ユニット４１の外縁が二点鎖線で示されていて、レール部材Ｒ１，Ｒ２が破線で示されている。
【0108】
図１１に示されているように、上方視において、載置台２１Ａ、テーブル４０、冷却ユニット４１、本体部５０ａ、予備加熱ユニット５１、および搬送台９４ａそれぞれの中心の位置は略同じ位置になるように配置されている。上方視において、テーブル４０、冷却ユニット４１、本体部５０ａ、取付部５０ｂ、予備加熱ユニット５１、およびローラ５２ｄは、中央孔９４ｂの中に配置されている。上方視において、テーブル４０および冷却ユニット４１は、レール部材Ｒ１，Ｒ２の間に配置されている。
【0109】
上方視において、テーブル４０、冷却ユニット４１、本体部５０ａ、および中央孔９４ｂそれぞれの形状は、相似形である。中央孔９４ｂは、本体部５０ａ、冷却ユニット４１、およびテーブル４０よりも大きい。本体部５０ａは、冷却ユニット４１およびテーブル４０よりも大きい。
【0110】
【0111】
次いで、制御装置３は、昇降装置４２の動作を制御して、テーブル４０、冷却ユニット４１、テーブル５０、予備加熱ユニット５１、載置台２１Ａ、および第１ワークＷ１を上昇させる。具体的には、昇降装置４２は、冷却ユニット４１（上面４１ｃ）がテーブル５０（下面５０ｃ）に当接するまで、テーブル４０および冷却ユニット４１を上昇させる。このとき、冷却ユニット４１は、レール部材Ｒ１，Ｒ２の間に通される。次いで、昇降装置４２は、予備加熱ユニット５１（上面５１ｃ）が載置台２１Ａ（下面２１ｂＡ）に当接するまで、テーブル４０および冷却ユニット４１と共に、テーブル５０および予備加熱ユニット５１を上昇させる。このとき、ローラ５２ｄはレール部材Ｒ１，Ｒ２から離れて、昇降部材５２ｃ（図５参照）はテーブル５０の上昇に伴い上昇して、テーブル４０はレール部材Ｒ１，Ｒ２の間に通されて、予備加熱ユニット５１は中央孔９４ｂ内に通される。次いで、昇降装置４２は、載置台２１Ａが上側ユニット２２Ａ（シール部材３１Ａ）に密着するまで、テーブル４０、冷却ユニット４１、および予備加熱ユニット５１と共に、載置台２１Ａを上昇させる。このとき、載置台２１Ａと上側ユニット２２Ａとの間には収容室２０ＲＡが形成されていて、第１ワークＷ１は収容室２０ＲＡに収容されている。
【0112】
なお、テーブル５０は、上昇中、冷却ユニット４１の上に載置されている状態である。そのため、冷却ユニット４１に対するテーブル５０の位置は、僅かな傾斜や振動により、変動し得る。そのため、本発明において、冷却ユニット４１の上面４１ｃおよびテーブル５０の下面５０ｃには、相互に嵌め合わされる凹凸部が形成されていてもよい（好ましくは、後述される冷却処理のため、凹部は上面４１ｃに形成される）。
【0113】
【0114】
次いで、雰囲気調整装置１０は、真空ポンプＰおよび弁Ｖ１を動作させて、収容室２０ＲＡ内の雰囲気を不活性ガスで置換した後に、収容室２０ＲＡの雰囲気を減圧雰囲気にする。このとき、真空圧（収容室２０ＲＡとチャンバユニット２０Ａの外部空間との圧力差）により、載置台２１Ａがサイド部材２７Ａに密着して（取り付けられて）、第２ばね部材２９Ａが収縮して載置台２１Ａおよびサイド部材２７Ａが上昇する。すなわち、上下方向において、枠部材２５Ａおよび加圧パッド２６Ａは、載置台２１Ａ（第１ワークＷ１）に接近する。換言すれば、枠部材２５Ａおよび加圧パッド２６Ａは、載置台２１Ａに対して相対的に下降する。そして、最終的に、加圧パッド２６Ａが第１ワークＷ１に接触して、第１ワークＷ１は真空圧に応じた加圧力により予備加圧される。また、枠部材２５Ａは、載置台２１Ａに当接している。予備加圧により、加圧パッド２６Ａは第１ワークＷ１の表面の形状に応じて変形して、第１ワークＷ１は載置台２１Ａおよび加圧パッド２６Ａに保持される。ここで、予備加圧において第１ワークＷ１に加えられる加圧力は、加圧処理において第１ワークＷ１に加えられる加圧力よりも十分に小さい。このように、第４エリアＡ４において、載置台２１Ａが上側ユニット２２Ａ（サイド部材２７Ａ）に取り付けられることにより、チャンバユニット２０Ａが組み立てられて、第１ワークＷ１がチャンバユニット２０Ａに収容される（収容処理）。チャンバユニット２０Ａが組み立てられたとき、載置台２１Ａは第１ワークＷ１の下方に配置されていて、加圧パッド２６Ａは第１ワークＷ１の上方に配置されていて、水平方向においてサイド部材２７Ａは第１ワークＷ１の全周を取り囲むように配置されている。次いで、昇降装置４２は、予備加熱ユニット５１が載置台２１Ａに当接するように、テーブル４０、冷却ユニット４１、テーブル５０、および予備加熱ユニット５１を上昇させる。
【0115】
次いで、制御装置３は予備加熱ユニット５１の動作を制御して、第１ワークＷ１に予備加熱処理を実行する。具体的には、昇降装置４２は、予備加熱ユニット５１が載置台２１Ａに当接している状態を所定時間維持する。ここで、予備加熱ユニット５１は、予め既定の予備加熱温度まで加熱されている。そのため、予備加熱ユニット５１からの熱は、載置台２１Ａを介して、第１ワークＷ１に伝達される。
【0116】
「予備加熱処理」は、加圧処理の前に予めワークＷを所定の予備加熱温度まで加熱する処理である。予備加熱処理は、加圧処理におけるワークＷの加熱時間を短縮するために、加圧処理の前に実行される前処理である。予備加熱温度は、後述される本加熱温度（例えば、約３００℃）よりも低い温度（例えば、約２００℃）である。
【0117】
【0118】
次いで、所定時間の経過後、制御装置３は、昇降装置４２の動作を制御して、テーブル４０、冷却ユニット４１、テーブル５０、および予備加熱ユニット５１を下降させる。このとき、昇降部材５２ｃ（図５参照）はテーブル５０の下降に伴い下降して、ローラ５２ｄがレール部材Ｒ１，Ｒ２に当接して、テーブル５０はローラ５２ｄを介してレール部材Ｒ１，Ｒ２の上に載置される。
【0119】
次いで、制御装置３は、チャンバ搬送装置９６の動作を制御して、チャンバユニット２０Ａを第４エリアＡ４から第８エリアＡ８に搬送すると同時に、上側ユニット２２Ｂを第８エリアＡ８から第７エリアＡ７に搬送する。その結果、チャンバユニット２０Ａは第８エリアＡ８に位置していて、上側ユニット２２Ｂは第７エリアＡ７に位置している。
【0120】
次いで、制御装置３は、加圧装置８の動作を制御して、第１ワークＷ１に加圧処理を実行する。
【0121】
具体的には、昇降装置８２は、熱ユニット８１（上面８１ｃ）がチャンバユニット２０Ａ（載置台２１Ａの下面２１ｂＡ）に当接するまで、下ベース部材８０および熱ユニット８１を上昇させる。ついで、昇降装置８２は、第１ワークＷ１に所定の加圧力（以下「本加圧力」という。）が加えられるまで、下ベース部材８０および熱ユニット８１を上昇させる。このとき、載置台２１Ａは枠部材２５Ａおよびサイド部材２７Ａと共に上昇して、上型２４Ａが枠部材２５Ａおよびサイド部材２７Ａに対して相対的に下降する。そのため、上型２４Ａは、加圧パッド２６Ａを下方へ向けて押圧して、加圧パッド２６Ａは第１ワークＷ１の表面の形状に追従するように変形して、第１ワークＷ１を均等に加圧する。その結果、第１ワークＷ１は下方から載置台２１Ａに押圧されて、上方から加圧パッド２６Ａ（上型２４Ａ）に押圧される。
【0122】
第１ワークＷ１が加圧されるとき、チャンバユニット２０Ａは、昇降装置８２によりレール部材Ｒ１１，Ｒ１２から僅かに持ち上げられて、ベース部材９６ｄの受部９６ｅに当接する。すなわち、ベース部材９６ｄはチャンバユニット２０Ａの上方への移動を規制して、チャンバユニット２０Ａは熱ユニット８１およびベース部材９６ｄにより挟圧される。このとき、ベース部材９６ｄおよび下ベース部材８０は、昇降装置８２による本加圧力を受ける、いわゆるボルスタとして機能している。その結果、第１ワークＷ１には本加圧力が加えられると共に、第１ワークＷ１に加えられる本加圧力は安定する。このように、ベース部材２３Ａ単独では無く、２つのベース部材２３Ａ，９６ｄが加圧処理における本加圧力を受けることにより、ベース部材２３Ａの厚みは、ベース部材２３Ａ単独で本加圧力を受ける場合と比較して薄くなるように設計できる。そのため、チャンバユニット２０Ａ（上側ユニット２２Ａ）の重量は軽くでき、これらの搬送に必要な動力は抑えられる。また、レール部材Ｒ１１，Ｒ１２に本加圧力が加えられないため、レール部材Ｒ１１，Ｒ１２には本加圧力に基づく負荷は加えられない。
【0123】
このように、加圧処理において、チャンバユニット２０Ａのうち、ベース部材２３Ａ、上型２４Ａ、および加圧パッド２６Ａは、ベース部材９６ｄと共に第１ワークＷ１を上方から加圧する上加圧ユニット８Ｕとして機能している。また、チャンバユニット２０Ａのうち、載置台２１Ａは、下ベース部材８０および熱ユニット８１と共に第１ワークＷ１を下方から加圧する下加圧ユニット８Ｄとして機能している。
【0124】
【0125】
次いで、昇降装置８２は、第１ワークＷ１に本加圧力が加えられている状態を所定時間維持する。ここで、熱ユニット８１の上半部は、予め既定の加熱温度（以下「本加圧温度」という。例えば、約３００℃）まで加熱されている。そのため、熱ユニット８１からの熱は、載置台２１Ａを介して、第１ワークＷ１に伝達される。このとき、熱ユニット８１からの熱は、枠部材２５Ａおよび第１ワークＷ１を介して、加圧パッド２６Ａにも伝達される。前述のとおり、柔軟層２６ａＡの下方には断熱層２６ｂＡが配置されているため、熱ユニット８１からの熱は断熱層２６ｂＡにより柔軟層２６ａＡへは伝達され難い。すなわち、柔軟層２６ａＡは、断熱層２６ｂＡにより、熱的に保護されている。
【0126】
第１ワークＷ１への加圧処理が実行されているとき、制御装置３は、熱ユニット搬送装置５２（図５参照）の動作を制御して、テーブル５０および予備加熱ユニット５１を第３エリアＡ３に搬送する。
【0127】
なお、本発明において、テーブル５０および予備加熱ユニット５１の第３エリアＡ３への搬送は、チャンバユニット２０Ａの第８エリアＡ８への搬送と同時に実行されていてもよい。
【0128】
第１ワークＷ１への加圧処理が実行されているとき、制御装置３は、ワーク搬入装置９１の動作を制御して、第１エリアＡ１に待機しているワークＷを第２ワークＷ２として第５エリアＡ５に位置している載置台２１Ｂの上に搬入する（第２ワーク搬入処理）。次いで、制御装置３は、第２台搬送装置９５および熱ユニット搬送装置７２の動作を制御して、第２ワークＷ２、載置台２１Ｂ、搬送台９５ａ、テーブル７０、および予備加熱ユニット７１を第７エリアＡ７に搬送する。次いで、制御装置３は、昇降装置６２、および雰囲気調整装置１０の動作を制御して、前述した第１ワークＷ１の収容処理と同様に、チャンバユニット２０Ｂを組み立てて、第２ワークＷ２を収容室２０ＲＢに収容させる（収容処理）。このとき、チャンバユニット２０Ｂは、第７エリアＡ７に位置している。
【0129】
【0130】
次いで、所定時間の経過後、制御装置３は、昇降装置８２の動作を制御して、下ベース部材８０および熱ユニット８１を下降させる。また、制御装置３は、昇降装置６２の動作を制御して、テーブル６０、冷却ユニット６１、テーブル７０、および予備加熱ユニット７１を下降させる。このとき、昇降部材７２ｃ（図６参照）はテーブル７０の下降に伴い下降して、ローラ７２ｄがレール部材Ｒ３，Ｒ４に当接して、テーブル７０はローラ７２ｄを介してレール部材Ｒ３，Ｒ４の上に載置される。
【0131】
次いで、制御装置３は、チャンバ搬送装置９６の動作を制御して、チャンバユニット２０Ａを第８エリアＡ８から第４エリアＡ４に搬送すると同時に、チャンバユニット２０Ｂを第７エリアＡ７から第８エリアＡ８に搬送する。その結果、チャンバユニット２０Ａは第４エリアＡ４に位置していて、チャンバユニット２０Ｂは第８エリアＡ８に位置している。
【0132】
次いで、制御装置３は、第１冷却装置４の動作を制御して第１ワークＷ１に冷却処理を実行すると共に、加圧装置８の動作を制御して第２ワークＷ２に加圧処理を実行する。ここで、第２ワークＷ２の加圧処理は第１ワークＷ１の加圧処理と共通するため、その詳細な説明は省略される。
【0133】
「冷却処理」は、加圧処理後のワークＷを所定の温度（例えば、約１００℃）まで冷却する処理である。冷却処理は、加圧処理後におけるワークＷを冷却するために加熱処理の後に実行される加圧処理の後処理である。
【0134】
具体的には、昇降装置４２は、冷却ユニット４１（上面４１ｃ）がチャンバユニット２０Ａ（載置台２１Ａの下面２１ｂＡ）に当接するまで、テーブル４０および冷却ユニット４１を上昇させる。このとき、テーブル４０および冷却ユニット４１は、レール部材Ｒ１，Ｒ２，Ｒ７，Ｒ８の間、および中央孔９４ｂに通される。次いで、昇降装置４２は、冷却ユニット４１が載置台２１Ａに当接している状態を所定時間維持する。ここで、冷却ユニット４１は、予め既定の一次冷却温度（例えば、約２０℃）まで冷却されている。そのため、第１ワークＷ１は、載置台２１Ａを介して、冷却ユニット４１により所定の温度（例えば、約１００℃）前後まで冷却される。
【0135】
【0136】
ここで、加圧処理において、チャンバユニット２０Ｂのうち、ベース部材２３Ｂ、上型２４Ｂ、および加圧パッド２６Ｂは、ベース部材９６ｄと共に第２ワークＷ２を上方から加圧する上加圧ユニット８Ｕとして機能している。また、チャンバユニット２０Ｂのうち、載置台２１Ｂは、下ベース部材８０および熱ユニット８１と共に第２ワークＷ２を下方から加圧する下加圧ユニット８Ｄとして機能している。
【0137】
次いで、所定時間の経過後、昇降装置４２は、テーブル４０を降下させて、冷却処理を終了させる。次いで、制御装置３は、雰囲気調整装置１０および昇降装置４２の動作を制御して、第１ワークＷ１をチャンバユニット２０Ａから取り出す。具体的には、雰囲気調整装置１０は、真空ポンプＰおよび弁Ｖ１を動作させて、収容室２０ＲＡの雰囲気を不活性ガスでパージして、収容室２０ＲＡの雰囲気を不活性ガス雰囲気（大気圧）にする。このとき、真空圧が無くなり、第２ばね部材２９Ａが伸長して載置台２１Ａおよびサイド部材２７Ａが下降する。すなわち、上下方向において、枠部材２５Ａおよび加圧パッド２６Ａは、載置台２１Ａから遠ざかる。換言すれば、枠部材２５Ａおよび加圧パッド２６Ａは、載置台２１Ａに対して相対的に上昇する。そして、載置台２１Ａが上側ユニット２２Ａから取り外し可能となる。次いで、昇降装置４２は、テーブル４０、冷却ユニット４１、載置台２１Ａ、および第１ワークＷ１を降下させて、載置台２１Ａを上側ユニット２２Ａから取り外すと共に、第１ワークＷ１をチャンバユニット２０Ａから取り出す（取出処理）。このように、第４エリアＡ４において、載置台２１Ａが上側ユニット２２Ａから取り外されることにより、チャンバユニット２０Ａの組み立てが解除されて、第１ワークＷ１がチャンバユニット２０Ａから取り出される（取出処理）。加圧処理後の第１ワークＷ１が載置されている載置台２１Ａは、搬送台９４ａの上に載置される。
【0138】
なお、本発明において、収容室２０Ｒのパージは、エアを用いて行われていてもよい。
【0139】
【0140】
次いで、制御装置３は、第１台搬送装置９４の動作を制御して、載置台２１Ａが載置されている搬送台９４ａを第２エリアＡ２に搬送する。すなわち、加圧処理後の第１ワークＷ１は、第２エリアＡ２に搬送される。
【0141】
以下の説明において、図２、図３、図７、および図９～図１８も適宜参照される。
次いで、制御装置３は、ワーク搬出装置９２の動作を制御して、第１エリアＡ１に搬送された第１ワークＷ１を第９エリアＡ９に搬出する（第１ワーク搬出処理）。具体的には、ワーク搬出装置９２は第１エリアＡ１に移動して、昇降装置９２ｂが保持部材９２ｃを第１ワークＷ１に向けて降下させる。次いで、保持部材９２ｃは第１ワークＷ１を保持して、昇降装置９２ｂが保持部材９２ｃを上昇させる。
次いで、制御装置３は、ワーク搬出装置９２の動作を制御して、第１エリアＡ１に搬送された第１ワークＷ１を第９エリアＡ９に搬出する（第１ワーク搬出処理）。具体的には、ワーク搬出装置９２は第１エリアＡ１に移動して、昇降装置９２ｂが保持部材９２ｃを第１ワークＷ１に向けて降下させる。次いで、保持部材９２ｃは第１ワークＷ１を保持して、昇降装置９２ｂが保持部材９２ｃを上昇させる。
【0142】
次いで、ワーク搬出装置９２は第９エリアＡ９に移動して、昇降装置９２ｂが保持部材９２ｃをベルトコンベアａ９１に降下させる。次いで、保持部材９２ｃが第１ワークＷ１の吸着を解除する。このとき、第１ワークＷ１は、ベルトコンベアａ９１の上に載置されている。次いで、昇降装置９２ｂは、保持部材９２ｃを上昇させる。
【0143】
次いで、制御装置３は、ワーク搬入装置９１、第１台搬送装置９４、および熱ユニット搬送装置５２の動作を制御して、次の第１ワークＷ１、載置台２１Ａ、搬送台９４ａ、テーブル５０、および予備加熱ユニット５１を第４エリアＡ４に搬送する。次いで、制御装置３は、昇降装置４２、および雰囲気調整装置１０の動作を制御して、チャンバユニット２０Ａを組み立てて、次の第１ワークＷ１を収容室２０ＲＡに収容する。ここで、第２ワークＷ２の加圧処理が既に終了しているとき、下ベース部材８０および熱ユニット８１は下降していて、チャンバユニット２０Ｂは第８エリアＡ８に位置している。
【0144】
次いで、制御装置３は、昇降装置４２、加圧装置８、およびチャンバ搬送装置９６の動作を制御して次の第１ワークＷ１に加圧処理を実行すると共に、第２冷却装置６、第２台搬送装置９５、およびワーク搬出装置９２の動作を制御して加圧処理後の第２ワークＷ２を第９エリアＡ９に搬出する（冷却処理、取出処理、第２ワーク搬出処理）。次いで、第２ワークＷ２が搬入されて、以降は、前述された第１ワークＷ１への各処理（冷却処理、取出処理、第１ワーク搬出処理、第１ワーク搬入処理、収容処理、予備加熱処理、加圧処理、・・・）および第２ワークＷ２への各処理（収容処理、予備加熱処理、加圧処理、冷却処理、取出処理、第２ワーク搬出処理、・・・）が繰り返される。
【0145】
図１９は、ワーク搬送装置９０の動作を説明する模式平面図である。
同図は、説明の便宜上、ベルトコンベアａ１１，ａ９１、載置台２１Ａ，２１Ｂ、ワーク搬入装置９１、ワーク搬出装置９２、第１ワークＷ１、および第２ワークＷ２の輪郭のみを示していて、レール部材Ｒ５，Ｒ６を一点鎖線で示している。同図の矢印は、載置台２１Ａ，２１Ｂ、ワーク搬入装置９１、ワーク搬出装置９２の移動を示している。
同図は、説明の便宜上、ベルトコンベアａ１１，ａ９１、載置台２１Ａ，２１Ｂ、ワーク搬入装置９１、ワーク搬出装置９２、第１ワークＷ１、および第２ワークＷ２の輪郭のみを示していて、レール部材Ｒ５，Ｒ６を一点鎖線で示している。同図の矢印は、載置台２１Ａ，２１Ｂ、ワーク搬入装置９１、ワーク搬出装置９２の移動を示している。
【0146】
第１ワークＷ１が載置台２１Ａに搬入されるとき、ワーク搬入装置９１は、第１エリアＡ１から第２エリアＡ２に移動する。このとき、ワーク搬出装置９２は、第９エリアＡ９に位置している。次いで、ワーク搬入装置９１は、第２エリアＡ２から第１エリアＡ１に移動する。
【0147】
次いで、第２ワークＷ２が載置台２１Ｂに搬入されるとき、ワーク搬入装置９１は、第１エリアＡ１から第５エリアＡ５に移動する。次いで、ワーク搬入装置９１は、第５エリアＡ５から第１エリアＡ１に移動する。
【0148】
次いで、加圧処理後の第１ワークＷ１が第２エリアＡ２に搬送されたとき、ワーク搬出装置９２は、第９エリアＡ９から第２エリアＡ２に移動する。このとき、ワーク搬入装置９１は第１エリアＡ１に位置している。次いで、ワーク搬出装置９２は、第２エリアＡ２から第９エリアＡ９に移動する。このとき、ワーク搬入装置９１は、第１エリアＡ１から第２エリアＡ２に移動して、第１エリアＡ１に戻る。
【0149】
次いで、加圧処理後の第２ワークＷ２が第５エリアＡ５に搬送されたとき、ワーク搬出装置９２は、第９エリアＡ９から第５エリアＡ５に移動する。このとき、ワーク搬入装置９１は第１エリアＡ１に位置している。次いで、ワーク搬出装置９２は、第５エリアＡ５から第９エリアＡ９に移動する。このとき、ワーク搬入装置９１は、第１エリアＡ１から第５エリアＡ５に移動して、第１エリアＡ１に戻る。
【0150】
このように、ワークＷの搬入および搬出において、ワーク搬入装置９１は第１エリアＡ１と第２エリアＡ２との間および第１エリアと第５エリアＡ５との間を移動して、ワーク搬出装置９２は第９エリアＡ９と第２エリアＡ２との間および第９エリアＡ９と第５エリアＡ５との間を移動する。ワーク搬入装置９１およびワーク搬出装置９２は、相互に干渉しないように連動することにより、一対のレール部材Ｒ５，Ｒ６に案内されて、Ｘ軸方向に往復移動をしている。
【0151】
以上説明された動作において、本システム１は、ワークＷの搬入処理、収容処理、予備加熱処理、加圧処理、冷却処理、取出処理、およびワークＷの搬出処理を第１ワークＷ１の第１系統および第２ワークＷ２の第２系統の２系統で交互に実行して、一方のワークＷの加圧処理と並行して他方のワークＷの関連処理を実行する。その結果、本システム１では、あるワークＷ（例えば、第１ワークＷ１）に対する加圧処理と、その次のワークＷ（例えば、第２ワークＷ２）に対する加圧処理と、の間に必要な時間は、１系統でワークの加圧処理を実行する従来の加圧装置における同時間よりも大幅に短縮される。また、本システム１では、加圧処理と並行して、加圧処理の前処理および後処理（関連処理）も実行できる。
【0152】
また、本システム１では、加圧処理の前処理として予備加熱処理が実行されている。そのため、本システム１における加圧処理は、予備加熱処理が実行できない従来の加圧装置における加圧処理よりも短時間で実行可能である。そして、本システム１では、加圧処理と冷却処理とが分離されている。そのため、本システム１における加圧処理は、加圧処理と冷却処理とが分離できない従来の加圧装置における加圧処理よりも短時間で実行可能である。このように、本システム１では、関連処理として収容処理、予備加熱処理、冷却処理、および取出処理が第４エリアＡ４および第７エリアＡ７で交互に実行可能である。そのため、本システム１においてワークＷの搬入から搬出までに必要な総時間は、従来の加圧装置に必要な総時間よりも短縮される。すなわち、本システム１では、複数の関連処理を加圧処理と並行して交互に実行することにより、加圧処理間の時間は、関連処理が実行不可能な従来の加圧装置における同時間よりも短縮される。
【0153】
さらに、本システム１では、ワークＷの向きは、いずれの処理においても同じである。すなわち、本システム１による処理の前後の処理において、ワークＷの向きが同じとなる。
【0154】
さらにまた、本システム１では、ワークＷがチャンバユニット２０に収容されている間、搬送中も含めて常に、雰囲気調整装置１０による収容室２０Ｒの雰囲気の調整が可能である。そのため、収容室２０Ｒの減圧雰囲気は、常に、維持されている。この構成では、ワークＷは、予備加熱処理、加圧処理、および冷却処理において、外気に曝されず、酸化しない。
【0155】
さらにまた、本システム１では、上側ユニット２２が第４エリアＡ４に位置しているとき、搬送台９４ａを第２エリアＡ２に移動させて、予備加熱ユニット５１を第３エリアＡ３に移動させることにより、第４エリアＡ４において、上側ユニット２２のメンテナンス（特に、部材の交換）が可能な空間が確保できる。第７エリアＡ７でも同様に同空間が確保できる。そのため、第８エリアＡ８において、メンテナンス用のスペースが不要となる。したがって、第８エリアＡ８（筐体２）の高さ方向の小型化が実現可能である。
【0156】
さらにまた、本システム１では、レール部材Ｒ１～Ｒ４，Ｒ７～Ｒ１０それぞれは、Ｙ軸方向に沿うように、相互に並行に配置されている。レール部材Ｒ１，Ｒ２はレール部材Ｒ７，Ｒ８の上方に配置されていて、レール部材Ｒ３，Ｒ４はレール部材Ｒ９，Ｒ１０の上方に配置されている。すなわち、上方視において、搬送台９４ａ，９５ａ（載置台２１）の搬送方向は予備加熱ユニット５１，７１の搬送方向と同じであり、予備加熱ユニット５１，７１の搬送経路は搬送台９４ａ，９５ａ（載置台２１）の搬送経路の下方に配置されている。また、上方視において、レール部材Ｒ１１，Ｒ１２は、Ｘ軸方向に沿うように配置されていて、レール部材Ｒ１～Ｒ４，Ｒ７～Ｒ１０と直交している。すなわち、予備加熱ユニット５１，７１の搬送方向は、チャンバユニット２０の搬送方向と直交している。そして、この直交する領域（第４エリアＡ４および第７エリアＡ７）において、複数種の関連処理が実行される。さらに、Ｘ軸方向において、予備加熱ユニット５１，７１の搬送経路それぞれは、互いに対向するような位置に平行に配置されている。この構成では、各エリアを筐体２内にコンパクトに配置されているため、筐体２の床面積の小型化が実現可能である。
【0157】
なお、本発明において、ワークＷがワーク搬入装置９１に搬入されるときからチャンバユニット２０に収容されるまでの間のいずれかのタイミングにおいて、ワークＷの上には、貼付防止シート（不図示。以下同じ。）が被せられていてもよい。貼付防止シートは、加熱処理後のワークＷの加圧パッド２６への貼り付きを防止するシートである。貼付防止シートは、例えば、後述される本加熱の温度に対する耐熱性を有する合成樹脂（例えば、ＰＴＦＥ（polytetrafluoroethylene））製のシートである。
【0158】
●まとめ
以上説明された実施の形態によれば、本システム１は、第８エリアＡ８、第４エリアＡ４、第７エリアＡ７、２つのチャンバユニット２０、およびチャンバ搬送装置９６を有してなる。第４エリアＡ４および第７エリアＡ７は、第８エリアＡ８に隣接した位置に第８エリアＡ８を挟み込むように配置されている。チャンバユニット２０は、ワークＷを収容して、第４エリアＡ４または第７エリアＡ７の上部空間と第８エリアＡ８の上部空間との間を往復搬送される。チャンバ搬送装置９６の連結部材９６ａ，９６ｂは、２つのチャンバユニット２０に連結されている。チャンバ搬送装置９６は、一方のチャンバユニット２０Ｂが第８エリアＡ８に位置しているとき、他方のチャンバユニット２０Ａが第４エリアＡ４に位置するように、かつ、他方のチャンバユニット２０Ａが第８エリアＡ８に位置しているとき、一方のチャンバユニット２０Ｂが第７エリアＡ７に位置するように、チャンバユニット２０を往復搬送する。この構成では、第１ワークＷ１の加圧処理が実行されているとき、第２ワークＷ２の関連処理（収容処理、予備加圧処理、冷却処理、および取出処理）が実行可能である。すなわち、本システム１は、２つのワークＷに対して、加圧処理と関連処理それぞれを、交互かつ同時に実行可能である。その結果、本システム１では、加圧処理間の時間は短縮可能である。
以上説明された実施の形態によれば、本システム１は、第８エリアＡ８、第４エリアＡ４、第７エリアＡ７、２つのチャンバユニット２０、およびチャンバ搬送装置９６を有してなる。第４エリアＡ４および第７エリアＡ７は、第８エリアＡ８に隣接した位置に第８エリアＡ８を挟み込むように配置されている。チャンバユニット２０は、ワークＷを収容して、第４エリアＡ４または第７エリアＡ７の上部空間と第８エリアＡ８の上部空間との間を往復搬送される。チャンバ搬送装置９６の連結部材９６ａ，９６ｂは、２つのチャンバユニット２０に連結されている。チャンバ搬送装置９６は、一方のチャンバユニット２０Ｂが第８エリアＡ８に位置しているとき、他方のチャンバユニット２０Ａが第４エリアＡ４に位置するように、かつ、他方のチャンバユニット２０Ａが第８エリアＡ８に位置しているとき、一方のチャンバユニット２０Ｂが第７エリアＡ７に位置するように、チャンバユニット２０を往復搬送する。この構成では、第１ワークＷ１の加圧処理が実行されているとき、第２ワークＷ２の関連処理（収容処理、予備加圧処理、冷却処理、および取出処理）が実行可能である。すなわち、本システム１は、２つのワークＷに対して、加圧処理と関連処理それぞれを、交互かつ同時に実行可能である。その結果、本システム１では、加圧処理間の時間は短縮可能である。
【0159】
また、以上説明された実施の形態によれば、本システム１は、第４エリアＡ４に配置されている昇降装置４２、および第７エリアＡ７に配置されている昇降装置６２を有してなる。チャンバユニット２０は、載置台２１、加圧パッド２６、およびサイド部材２７を備える。載置台２１は、ワークＷの下方に配置されていて、下加圧ユニット８Ｄとして機能している。加圧パッド２６は、ワークＷの上方に配置されていて、上加圧ユニット８Ｕとして機能している。サイド部材２７は、水平方向においてワークＷの全周を囲むように配置されていて、載置台２１および加圧パッド２６と共に収容室２０Ｒを区画している。第４エリアＡ４および第７エリアＡ７において、昇降装置４２，６２は、ワークＷが載置されている載置台２１を昇降可能である。昇降装置４２，６２の上昇に基づいて載置台２１がサイド部材２７に取り付けられて、収容処理が関連処理として実行される。一方、昇降装置４２，６２の下降に基づいて載置台２１がサイド部材２７から取り外されて、取出処理が関連処理として実行される。この構成では、本システム１では、チャンバユニット２０（収容室２０Ｒ）に収容されているワークＷに対して加圧処理が実行可能である。さらに、加圧処理が実行される第８エリアＡ８に上下加圧ユニット８Ｕ，８Ｄとして機能しているチャンバユニット２０が据え付けられておらず、第４エリアＡ４および第７エリアＡ７に搬送されている。また、第４エリアＡ４および第７エリアＡ７において、収容処理および取出処理が関連処理として実行される。そのため、本システム１では、加圧装置８内ではなく、第４エリアＡ４および第７エリアＡ７での上側ユニット２２のメンテナンスが実行可能となり、上側ユニット２２のメンテナンス性が向上する。
【0160】
さらに、以上説明された実施の形態によれば、本システム１は、冷却ユニット４１，６１を有してなる。冷却ユニット４１は、第４エリアＡ４に配置されていて、第１ワークＷ１の冷却処理を関連処理として実行する、冷却ユニット６１は、第７エリアＡ７に配置されていて、第２ワークＷ２の冷却処理を関連処理として実行する。加圧処理後のチャンバユニット２０が第４エリアＡ４または第７エリアＡ７に位置しているとき、昇降装置４２，６２は、冷却ユニット４１，６１を上昇させることにより、冷却ユニット４１，６１を載置台２１に当接させる。この構成では、第４エリアＡ４および第７エリアＡ７の上部空間はチャンバユニット２０の搬送のみに使用可能となり、上部空間における部材構成は簡素化可能である。また、加圧処理と冷却処理とが並行して同時に実行可能となり、加圧処理間の時間は短縮可能である。
【0161】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、取出処理は、冷却処理の後に実行される。取出処理において、昇降装置４２，６２は、載置台２１に当接している冷却ユニット４１，６１を載置台２１と共に下降させる。この構成では、冷却処理と取出処理とを連続して、同じエリアで実行可能である。その結果、筐体２の床面積の小型化が実現可能である。
【0162】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、本システム１は、予備加熱ユニット５１，７１、および熱ユニット搬送装置５２，７２を有してなる。予備加熱ユニット５１，７１は、チャンバユニット２０に収容されているワークＷを予備加熱する。熱ユニット搬送装置５２，７２は、第４エリアＡ４（第７エリアＡ７）に隣接する第３エリアＡ３（第６エリアＡ６）と、第４エリアＡ４（第７エリアＡ７）と、の間で予備加熱ユニット５１（予備加熱ユニット７１）を往復搬送する。予備加熱処理は、収容処理の後に連続して実行される。収容処理において、ワークＷが載置されている載置台２１は昇降装置４２，６２の上方に配置されていて、加圧パッド２６およびサイド部材２７は載置台２１の上方に配置されている。熱ユニット搬送装置５２，７２は、予備加熱ユニット５１，７１を、冷却ユニット４１，６１と載置台２１との間に搬送する。次いで、昇降装置４２，６２は、冷却ユニット４１，６１および予備加熱ユニット５１，７１と共に載置台２１を上昇させる。冷却処理および取出処理において、熱ユニット搬送装置５２，７２は、予備加熱ユニット５１，７１を第３エリアＡ３（第６エリアＡ６）に搬送する。この構成では、本システム１は、予備加熱ユニット５１を第４エリアＡ４に進退させることにより、第４エリアＡ４において、予備加熱処理および冷却処理を関連処理として個別に実行可能である。第７エリアＡ７においても同様に、本システム１は、予備加熱処理および冷却処理を関連処理として個別に実行可能である。また、本システム１は、予備加熱処理を収容処理の直後に連続して実行可能であり、冷却処理を加圧処理の後に連続して実行可能であり、取出処理を冷却処理の直後に連続して実行可能である。その結果、各処理間の切替時間が短縮可能となり、加圧処理間の時間は短縮可能である。
【0163】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、上方視において、予備加熱ユニット５１，７１の搬送方向（Ｙ軸方向）は、チャンバユニット２０の搬送方向（Ｘ軸方向）と直交している。チャンバユニット２０の搬送方向において、予備加熱ユニット５１，７１の搬送方向それぞれは、互いに対向するような位置に平行に配置されている。この構成では、筐体２の床面積の小型化が実現可能である。
【0164】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、本システム１は、第２エリアＡ２、第５エリアＡ５、第１台搬送装置９４、および第２台搬送装置９５を有してなる。第２エリアＡ２および第５エリアＡ５では、ワーク搬入処理およびワーク搬出処理が実行される。第１台搬送装置９４は、第２エリアＡ２と第４エリアＡ４との間で第１ワークＷ１が載置された載置台２１Ａを往復搬送する。第２台搬送装置９５は、第５エリアＡ５と第７エリアＡ７との間で第２ワークＷ２が載置された載置台２１Ｂを往復搬送する。上方視において、載置台２１Ａ，２１Ｂの搬送方向は予備加熱ユニット５１，７１の搬送方向と同じであり、予備加熱ユニット５１，７１の搬送経路は載置台２１Ａ，２１Ｂの搬送経路の下方に配置されている。この構成では、共通した床面積内で予備加熱ユニット５１，７１の搬送経路および載置台２１Ａ，２１Ｂの搬送経路それぞれが立体的に配置されるため、筐体２の床面積のさらなる小型化が実現可能である。
【0165】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、本システム１は、第１エリアＡ１、第９エリアＡ９、ワーク搬送装置９０を有してなる。第１エリアＡ１には関連処理および加圧処理前のワークＷが配置されていて、関連処理および加圧処理後のワークＷが配置されている。第２エリアＡ２では、第１ワーク搬入処理および第１ワーク搬出処理が実行される。第５エリアＡ５では、第２ワーク搬入処理および第２ワーク搬出処理が実行される。ワーク搬送装置９０は、第１ワーク搬入処理、第１ワーク搬出処理、第２ワーク搬入処理、および第２ワーク搬出処理を実行する。ワーク搬送装置９０は、ワーク搬入装置９１およびワーク搬出装置９２を備える。ワーク搬入装置９１は、第１エリアＡ１と第２エリアＡ２との間、および第１エリアＡ１と第５エリアＡ５との間を移動して、載置台２１にワークＷを搬入する。ワーク搬出装置９２は、第９エリアＡ９と第２エリアＡ２との間、および第９エリアＡ９と第５エリアＡ５との間を移動して、載置台２１からワークＷを搬出する。ワーク搬入装置９１が第１エリアＡ１に位置しているとき、ワーク搬出装置９２は第２エリアＡ２または第５エリアＡ５に位置していて、ワーク搬出装置９２が第９エリアＡ９に位置しているとき、ワーク搬入装置９１は第２エリアＡ２または第５エリアＡ５に位置している。この構成では、一対のレール部材Ｒ５，Ｒ６によりワーク搬入装置９１およびワーク搬出装置９２が案内可能となり、筐体２の床面積の小型化が実現可能である。また、１つのワーク搬入装置９１で第１ワークＷ１および第２ワークＷ２を搬入して、１つのワーク搬出装置９２で第１ワークＷ１および第２ワークＷ２を搬出するため、ワーク搬送装置９０の部品点数は削減可能である。
【0166】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、本システム１は、第８エリアＡ８に配置されていて、加圧処理を実行する加圧装置８を有してなる。加圧装置８は、加圧処理において、チャンバユニット２０の下方から上昇することにより載置台２１に当接して、載置台２１と共に下加圧ユニット８Ｄとして機能する熱ユニット８１を備える。この構成では、第８エリアＡ８の上部空間はチャンバユニット２０の搬送のみに使用可能となり、上部空間における部材構成は簡素化可能となる。また、ワークＷに本加圧力を加える機構の大半（特に、昇降装置８２）がチャンバユニット２０の下方に配置されるため、筐体２の高さ方向の小型化が実現可能である。
【0167】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、収容室２０Ｒの雰囲気は、収容室２０Ｒの内部圧力がチャンバユニット２０の外部空間の外部圧力よりも低い減圧雰囲気である。載置台２１は、サイド部材２７の下方に配置されていて、圧力差によりサイド部材２７に取り付けられている。この構成では、載置台２１をサイド部材２７に取り付けるための個別の部材は不要となる。すなわち、チャンバユニット２０の部品点数は削減可能である。また、各処理において、ワークＷは外気に曝されない。
【0168】
●変形例●
次に、本システム１の変形例が、先に説明した実施の形態（以下「第１実施形態」という。）と異なる点を中心に、以下に説明される。本変形例では、チャンバユニットの構成、および収容室の雰囲気が第１実施形態と異なる。以下の変形例において、説明の便宜上、第１実施形態と同じ部材、および、共通する機能を有する部材には、第１実施形態と同じ符号が付されている。以下の変形例において、図１～図８は、適宜参照される。
次に、本システム１の変形例が、先に説明した実施の形態（以下「第１実施形態」という。）と異なる点を中心に、以下に説明される。本変形例では、チャンバユニットの構成、および収容室の雰囲気が第１実施形態と異なる。以下の変形例において、説明の便宜上、第１実施形態と同じ部材、および、共通する機能を有する部材には、第１実施形態と同じ符号が付されている。以下の変形例において、図１～図８は、適宜参照される。
【0169】
図２０は、変形例に係るチャンバユニット２０Ｘの模式断面図である。
【0170】
チャンバユニット２０Ｘは、載置台２１、上側ユニット２２Ｘ、および収容室２０Ｒを備える。上側ユニット２２Ｘは、ベース部材２３、上型２４、枠部材２５、加圧パッド２６、サイド部材２７、第１ばね部材２８、第２ばね部材２９、２つのシール部材３０，３１、および複数の固定部材３２を備える。
【0171】
固定部材３２は、載置台２１をサイド部材２７（上側ユニット２２Ｘ）に固定する。固定部材３２は、サイド部材２７の下部の外周面２７ｆに取り付けられている。固定部材３２は、例えば、支持部３２ａ、本体部３２ｂ、および公知のラチェット機構（不図示。以下同じ。）を備える。支持部３２ａは、本体部３２ｂを固定位置と開放位置との間で回転可能に支持している。本体部３２ｂの形状は、例えば、側方視においてＬ字状である。本体部３２ｂは、例えば、ラチェット機構により、開放位置側へは回転可能であり固定位置側へは回転不可能であり、ラチェット機構が解除されると固定位置へ回転可能である。本体部３２ｂが固定位置に位置しているとき、本体部３２ｂの一部は、載置台２１およびサイド部材２７の下方に位置していて、載置台２１を支持可能である。本体部３２ｂが開放位置に位置しているとき、本体部３２ｂの一部は、サイド部材２７の側方に位置していて、載置台２１を支持不可能である。
【0172】
チャンバユニット２０ＸにワークＷが収容されているとき、収容室２０Ｒの雰囲気は、雰囲気調整装置１０により不活性ガス雰囲気に調整されている。すなわち、収容室２０Ｒには、収容室２０Ｒの内部圧力が外部圧力（大気圧）と同じになるように不活性ガスが充填されている。この場合、真空圧が生じていないため、載置台２１は、固定位置に回転した固定部材３２によりサイド部材２７（上側ユニット２２Ｘ）に固定されている。前述のとおり、収容室２０Ｒの雰囲気は、第４エリアＡ４、第７エリアＡ７、および第８エリアＡ８で維持可能である。そのため、載置台２１とシール部材３１との間には、僅かに隙間が生じていてもよい。
【0173】
この構成では、収容室２０Ｒの雰囲気は不活性ガス雰囲気であるため、ワークＷは、予備加熱処理、加圧処理、および冷却処理において外気に曝されず、酸化しない。また、必要となる不活性ガスの量は、収容室２０Ｒの容積の量（数回の置換が行われる場合、同容積に置換回数を乗算した量）に抑えられる。
【0174】
なお、本変形例において、ワークＷが酸化しない（酸化し難い）材質製の場合、収容室２０Ｒには、エアが充填されていてもよい。
【0175】
また、本変形例において、固定部材３２の構成は、支持部３２ａ、本体部３２ｂ、および公知のラチェット機構に限定されない。すなわち、例えば、固定部材３２は、側方視において矩形の「Ｃ字」状でもよい。この場合、例えば、サイド部材２７の下端部２７ｅの外周面２７ｆには固定部材３２が嵌め込まれる凹部又は凸部が形成されていて、固定部材３２はサイド部材２７の下端部２７ｅおよび載置台２１の外縁部を挟み込む。また、例えば、固定部材３２は、載置台２１の外縁部とサイド部材２７とを締結するボルトでもよい。第１冷却装置４および第２冷却装置６は、固定部材３２の取付機構および取外機構を備えていてもよい。
【0176】
●その他の実施形態●
なお、本発明において、本システム１は、第１冷却装置４および／または第１予備加熱装置５を備えていなくてもよい。同様に、本システム１は、第２冷却装置６および／または第２予備加熱装置７を備えていなくてもよい。具体的には、例えば、加圧処理において冷却処理も実行されていてもよい。この場合でも、加圧処理と平行して収容処理および取出処理が実行可能であり、加圧処理間の処理時間は従来の加圧装置よりも短縮可能である。また、この場合、本システム１は、例えば、第１ワークＷ１に対して第２ワークＷ２と異なる処理（第１ワークＷ１の本加圧温度を第２ワークＷ２の本加圧温度と異ならせて、一方にのみ予備加熱処理を実行するなど）を実行可能である。
なお、本発明において、本システム１は、第１冷却装置４および／または第１予備加熱装置５を備えていなくてもよい。同様に、本システム１は、第２冷却装置６および／または第２予備加熱装置７を備えていなくてもよい。具体的には、例えば、加圧処理において冷却処理も実行されていてもよい。この場合でも、加圧処理と平行して収容処理および取出処理が実行可能であり、加圧処理間の処理時間は従来の加圧装置よりも短縮可能である。また、この場合、本システム１は、例えば、第１ワークＷ１に対して第２ワークＷ２と異なる処理（第１ワークＷ１の本加圧温度を第２ワークＷ２の本加圧温度と異ならせて、一方にのみ予備加熱処理を実行するなど）を実行可能である。
【0177】
また、本発明において、加圧装置８は、熱ユニット８１を備えていなくてもよい。
【0178】
さらに、本発明において、チャンバ搬送装置９６の構成は、チャンバユニット２０および上側ユニット２２が第４エリアＡ４、第７エリアＡ７、および第８エリアＡ８の上部空間を搬送可能に構成されていればよく、第１実施形態に限定されない。すなわち、例えば、チャンバユニット２０（上側ユニット２２）が、動力源およびレール部材Ｒ１１，Ｒ１２上を転動可能な駆動輪を備えていてもよい。また、例えば、レール部材Ｒ１１，Ｒ１２には、ベース部材２３と当接可能な複数のローラが取り付けられていてもよい。さらに、例えば、チャンバ搬送装置９６は、ベース部材２３に着脱可能に構成されている係止部材、および第４エリアＡ４および第７エリアＡ７と第８エリアＡ８との間で係止部材を移動させる移動機構を備えていてもよい。
【0179】
さらにまた、各図面において、説明の便宜上、チャンバユニット２０に収容されているワークＷの形状は、１枚の平板状に示されているが、これに限定されない。すなわち、例えば、チャンバユニット２０には複数の被加圧物から構成される１セットのワークＷが収容されていてもよい。また、例えば、１セットのワークＷを構成する被加圧物それぞれの形状は、同じでもよく、あるいは、異なっていてもよい。
【0180】
さらにまた、本発明において、熱ユニット搬送装置５２，７２の構成は、テーブル５０，７０および予備加熱ユニット５１，７１の搬送・昇降、および昇降装置４２，６２による冷却ユニット４１，６１の昇降に予備加熱ユニット５１，７１が干渉しない構成であればよく、第１実施形態に限定されない。
【0181】
さらにまた、本発明において、熱ユニット搬送装置５２，７２の搬送方向および搬送経路は、第１実施形態に限定されない。すなわち、例えば、熱ユニット搬送装置５２，７２の搬送方向および搬送経路は、Ｘ軸方向に沿っていてもよい。
【0182】
さらにまた、本発明において、熱ユニット搬送装置７２の搬送経路は、第７エリアＡ７から＋Ｙ軸方向に延出されるように配置されていてもよい。
【0183】
さらにまた、本発明において、テーブル４０、冷却ユニット４１、テーブル５０、および予備加熱ユニット５１の形状は、昇降装置４２による各処理（収容処理、予備加熱処理、冷却処理、取出処理）が実行可能であればよく、第１実施形態に限定されない。すなわち、例えば、上方視において、テーブル４０、冷却ユニット４１、およびテーブル５０の形状は、矩形状でもよい。同様に、テーブル６０、冷却ユニット６１、テーブル７０、および予備加熱ユニット７１の形状についても、第１実施形態に限定されない。
【0184】
●本発明の実施態様●
次に、以上説明した各実施形態から把握される本発明の実施態様について、各実施形態において記載された用語と符号とを援用しつつ、以下に記載する。
次に、以上説明した各実施形態から把握される本発明の実施態様について、各実施形態において記載された用語と符号とを援用しつつ、以下に記載する。
【0185】
本発明の第１の実施態様は、ワーク（例えば、ワークＷ）に対する加圧処理と、前記ワークに対する前記加圧処理に関連する関連処理と、を実行する加圧システム（例えば、加圧システム１）であって、前記加圧処理が実行される加圧エリア（例えば、第８エリアＡ８）と、前記第８エリアに隣接した位置に前記加圧エリアを挟み込むように配置されて、前記関連処理が実行される２つの関連エリア（例えば、第４エリアＡ４、第７エリアＡ７）と、前記ワークを収容して、前記関連エリアの上部空間と、前記加圧エリアの上部空間と、の間を往復搬送される２つのチャンバユニット（例えば、チャンバユニット２０，２０Ｘ）と、２つの前記チャンバユニットを同時に往復搬送するチャンバ搬送装置（例えば、チャンバ搬送装置９６）と、を有してなり、前記チャンバ搬送装置は、一方の前記チャンバユニットが前記加圧エリアに位置しているとき、他方の前記チャンバユニットが一方の前記関連エリアに位置するように、かつ、他方の前記チャンバユニットが前記加圧エリアに位置しているとき、一方の前記チャンバユニットが他方の前記関連エリアに位置するように、前記チャンバユニットを往復搬送する、加圧システムである。
この構成によれば、本システムは、２つのワークに対して、加圧処理と関連処理それぞれを、交互かつ同時に実行可能である。その結果、本システムでは、加圧処理間の時間は短縮可能である。
この構成によれば、本システムは、２つのワークに対して、加圧処理と関連処理それぞれを、交互かつ同時に実行可能である。その結果、本システムでは、加圧処理間の時間は短縮可能である。
【0186】
本発明の第２の実施態様は、第１の実施態様において、前記関連エリアに配置される昇降装置（例えば、昇降装置４２，６２）、を有してなり、前記チャンバユニットは、前記ワークが載置されて、前記加圧処理において、前記ワークを下方から加圧する下加圧ユニット（例えば、下加圧ユニット８Ｄ）として機能する載置台（例えば、載置台２１）と、前記載置台の上方に配置されて、前記加圧処理において、前記ワークを上方から加圧する上加圧ユニット（例えば、上加圧ユニット８Ｕ）として機能する天井部材（例えば、加圧パッド２６）と、水平方向において、前記ワークの全周を取り囲むように配置されて、前記載置台と前記天井部材と共に前記ワークが収容される収容室（例えば、収容室２０Ｒ）を区画する周壁部材（例えば、サイド部材２７）と、を備えて、前記関連エリアにおいて、前記昇降装置は、前記ワークが載置されている前記載置台を昇降可能であり、前記昇降装置の上昇に基づいて前記載置台が前記周壁部材に取り付けられて、前記加圧処理前の前記ワークが前記収容室に収容される収容処理が前記関連処理として実行されて、前記昇降装置の下降に基づいて前記載置台が前記周壁部材から取り外されて、前記加圧処理後の前記ワークが前記収容室から取り出される取出処理が前記関連処理として実行される、加圧システムである。
この構成によれば、本システムでは、チャンバユニットに収容されているワークに対して加圧処理が実行可能である。また、上側ユニットのメンテナンス性が向上する。
この構成によれば、本システムでは、チャンバユニットに収容されているワークに対して加圧処理が実行可能である。また、上側ユニットのメンテナンス性が向上する。
【0187】
本発明の第３の実施態様は、第２の実施態様において、前記関連エリアに配置されて、前記チャンバユニットに収容されている前記加圧処理後の前記ワークを冷却する冷却処理を前記関連処理として実行する冷却ユニット（例えば、冷却ユニット４１，６１）、を有してなり、前記加圧処理後の前記チャンバユニットが前記関連エリアに位置しているとき、前記昇降装置は、前記冷却ユニットを上昇させることにより、前記冷却ユニットを前記載置台に当接させる、加圧システムである。
この構成によれば、加圧処理と冷却処理とが並行して同時に実行可能となり、加圧処理間の時間は短縮可能である。
この構成によれば、加圧処理と冷却処理とが並行して同時に実行可能となり、加圧処理間の時間は短縮可能である。
【0188】
本発明の第４の実施態様は、第３の実施態様において、前記チャンバユニットに収容されている前記加圧処理前の前記ワークを予備加熱する予備加熱処理を前記関連処理として実行する予備加熱ユニット（例えば、予備加熱ユニット５１，７１）と、前記関連エリアに隣接する待機エリア（例えば、第３エリアＡ３、第６エリアＡ６）と、前記関連エリアと、の間で前記予備加熱ユニットを往復搬送する熱ユニット搬送装置（例えば、熱ユニット搬送装置５２，７２）と、を有してなり、前記予備加熱処理は、前記収容処理の後に実行されて、前記収容処理において、前記ワークが載置されている前記載置台は、前記昇降装置の上方に配置されて、前記天井部材と前記周壁部材とは、前記載置台の上方に配置されて、前記熱ユニット搬送装置は、前記予備加熱ユニットを、前記冷却ユニットと前記載置台との間に搬送して、前記昇降装置は、前記冷却ユニットと前記予備加熱ユニットと共に前記載置台を上昇させて、前記冷却処理と前記取出処理とにおいて、前記予備加熱ユニットは、前記待機エリアに位置する、加圧システムである。
この構成によれば、各処理間の切替時間が短縮可能となり、加圧処理間の時間は短縮可能である。
この構成によれば、各処理間の切替時間が短縮可能となり、加圧処理間の時間は短縮可能である。
【0189】
本発明の第５の実施態様は、第４の実施態様において、前記ワークが前記載置台に搬入されるワーク搬入処理、および前記載置台から前記ワークが搬出されるワーク搬出処理、が実行されるワーク搬送エリア（例えば、第２エリアＡ２、第５エリアＡ５）と、前記ワーク搬送エリアと前記関連エリアとの間で前記ワークが載置された前記載置台を往復搬送する台搬送装置（例えば、第１台搬送装置９４、第２台搬送装置９５）と、を有してなり、上方視において、前記載置台の搬送方向は、前記予備加熱ユニットの搬送方向と同じであり、前記予備加熱ユニットの搬送経路は、前記載置台の搬送経路の下方に配置される、加圧システムである。
この構成によれば、筐体の床面積のさらなる小型化が実現可能である。
この構成によれば、筐体の床面積のさらなる小型化が実現可能である。
【0190】
本発明の第６の実施態様は、第２の実施態様において、前記関連処理と前記加圧処理とが実行される前の前記ワークが配置されるワーク搬入エリア（例えば、第１エリアＡ１）と、前記関連処理と前記加圧処理とが実行された後の前記ワークが配置されるワーク搬出エリア（例えば、第９エリアＡ９）と、前記ワーク搬入エリアから前記ワークが一方の前記載置台に搬入される第１ワーク搬入処理、および前記一方の前記載置台から前記ワークが前記ワーク搬出エリアに搬出される第１ワーク搬出処理、が実行される第１ワーク搬送エリア（例えば、第２エリアＡ２）と、前記ワーク搬入エリアから前記ワークが他方の前記載置台に搬入される第２ワーク搬入処理、および前記他方の前記載置台から前記ワークが前記ワーク搬出エリアに搬出される第２ワーク搬出処理、が実行される第２ワーク搬送エリア（例えば、第５エリアＡ５）と、前記第１ワーク搬入処理と、前記第１ワーク搬出処理と、前記第２ワーク搬入処理と、前記第２ワーク搬出処理と、を実行するワーク搬送装置（例えば、ワーク搬送装置９０）と、を有してなり、前記ワーク搬送装置は、前記ワーク搬入エリアと前記第１ワーク搬送エリアとの間と、前記ワーク搬入エリアと前記第２ワーク搬送エリアとの間と、を移動して、前記載置台に前記ワークを搬入するワーク搬入装置（例えば、ワーク搬入装置９１）と、前記ワーク搬出エリアと前記第１ワーク搬送エリアとの間と、前記ワーク搬出エリアと前記第２ワーク搬送エリアとの間と、を移動して、前記載置台から前記ワークを搬出するワーク搬出装置（例えば、ワーク搬出装置９２）と、を備えて、前記ワーク搬入装置が前記ワーク搬入エリアに位置しているとき、前記ワーク搬出装置は、前記第１ワーク搬送エリアまたは前記第２ワーク搬送エリアに位置して、前記ワーク搬出装置が前記ワーク搬出エリアに位置しているとき、前記ワーク搬入装置は、前記第１ワーク搬送エリアまたは前記第２ワーク搬送エリアに位置する、加圧システムである。
この構成によれば、筐体の床面積の小型化が実現可能であり、ワーク搬送装置の部品点数は削減可能である。
この構成によれば、筐体の床面積の小型化が実現可能であり、ワーク搬送装置の部品点数は削減可能である。
【0191】
本発明の第７の実施態様は、第２の実施態様において、前記加圧エリアに配置されて、前記加圧処理を実行する加圧装置（例えば、加圧装置８）、を有してなり、前記加圧装置は、前記加圧処理において、前記チャンバユニットの下方から上昇することにより前記載置台に当接して、前記載置台と共に前記下加圧ユニットとして機能する押圧ユニット（例えば、熱ユニット８１）、を備える、加圧システムである。
この構成によれば、筐体の高さ方向の小型化が実現可能である。
この構成によれば、筐体の高さ方向の小型化が実現可能である。
【0192】
本発明の第８の実施態様は、第２の実施態様において、前記収容室は、前記収容室の内部圧力が前記チャンバユニットの外部空間の外部圧力よりも低い減圧雰囲気であり、前記載置台は、前記周壁部材の下方に配置されて、前記内部圧力と前記外部圧力との圧力差により前記周壁部材に取り付けられる、加圧システムである。
この構成によれば、各処理において、ワークは外気に曝されない。
この構成によれば、各処理において、ワークは外気に曝されない。
【0193】
本発明の第９の実施態様は、第２の実施態様において、前記収容室の雰囲気は、前記収容室の内部圧力が前記チャンバユニット（例えば、チャンバユニット２０Ｘ）の外部空間の外部圧力と同じになるようにガスが充填されるガス雰囲気であり、前記チャンバユニットは、前記載置台を前記周壁部材に固定する固定部材（例えば、固定部材３２）、を備える、加圧システムである。
この構成によれば、各処理において、ワークは外気に曝されない。また、必要となる不活性ガスの量は、収容室の容積の量に抑えられる。
この構成によれば、各処理において、ワークは外気に曝されない。また、必要となる不活性ガスの量は、収容室の容積の量に抑えられる。
【符号の説明】
【0194】
１ 加圧システム
２０ チャンバユニット
２０Ｒ 収容室
２１ 載置台
２６ 加圧パッド（天井部材）
２７ サイド部材（周壁部材）
４１ 冷却ユニット
４２ 昇降装置
５１ 予備加熱ユニット
５２ 熱ユニット搬送装置
６１ 冷却ユニット
６２ 昇降装置
７１ 予備加熱ユニット
７２ 熱ユニット搬送装置
８ 加圧装置
８Ｕ 上加圧ユニット
８Ｄ 下加圧ユニット
９０ ワーク搬送装置
９１ ワーク搬入装置
９２ ワーク搬出装置
９４ 第１台搬送装置
９５ 第２台搬送装置
９６ チャンバ搬送装置
２０Ｘ チャンバユニット
３２ 固定部材
Ａ１ 第１エリア（ワーク搬入エリア）
Ａ２ 第２エリア（第１ワーク搬送エリア）
Ａ３ 第３エリア（待機エリア）
Ａ４ 第４エリア（関連エリア）
Ａ５ 第５エリア（第２ワーク搬送エリア）
Ａ６ 第６エリア（待機エリア）
Ａ７ 第７エリア（関連エリア）
Ａ８ 第８エリア（加圧エリア）
Ａ９ 第９エリア（ワーク搬出エリア）
２０ チャンバユニット
２０Ｒ 収容室
２１ 載置台
２６ 加圧パッド（天井部材）
２７ サイド部材（周壁部材）
４１ 冷却ユニット
４２ 昇降装置
５１ 予備加熱ユニット
５２ 熱ユニット搬送装置
６１ 冷却ユニット
６２ 昇降装置
７１ 予備加熱ユニット
７２ 熱ユニット搬送装置
８ 加圧装置
８Ｕ 上加圧ユニット
８Ｄ 下加圧ユニット
９０ ワーク搬送装置
９１ ワーク搬入装置
９２ ワーク搬出装置
９４ 第１台搬送装置
９５ 第２台搬送装置
９６ チャンバ搬送装置
２０Ｘ チャンバユニット
３２ 固定部材
Ａ１ 第１エリア（ワーク搬入エリア）
Ａ２ 第２エリア（第１ワーク搬送エリア）
Ａ３ 第３エリア（待機エリア）
Ａ４ 第４エリア（関連エリア）
Ａ５ 第５エリア（第２ワーク搬送エリア）
Ａ６ 第６エリア（待機エリア）
Ａ７ 第７エリア（関連エリア）
Ａ８ 第８エリア（加圧エリア）
Ａ９ 第９エリア（ワーク搬出エリア）
【要約】 （修正有）
【課題】加圧処理間の時間が短縮可能で、加圧処理の関連処理が実行可能な加圧システムを提供する。
【解決手段】本発明に係る加圧システム１は、ワークＷに対する加圧処理と関連処理とを実行する加圧システムである。加圧システムは、加圧処理が実行される加圧エリアＡ８と、加圧エリアを挟み込むように配置されて関連処理が実行される２つの関連エリアＡ４，Ａ７と、ワークを収容して、関連エリアの上部空間と加圧エリアの上部空間との間を往復搬送される２つのチャンバユニット２０と、２つのチャンバユニットを同時に往復搬送するチャンバ搬送装置９６と、を有してなる。チャンバ搬送装置は、一方のチャンバユニットが加圧エリアに位置して、他方のチャンバユニットが一方の関連エリアに位置するように、かつ、他方のチャンバユニットが加圧エリアに位置して、一方のチャンバユニットが他方の関連エリアに位置するように、チャンバユニットを往復搬送する。
【選択図】図３
【解決手段】本発明に係る加圧システム１は、ワークＷに対する加圧処理と関連処理とを実行する加圧システムである。加圧システムは、加圧処理が実行される加圧エリアＡ８と、加圧エリアを挟み込むように配置されて関連処理が実行される２つの関連エリアＡ４，Ａ７と、ワークを収容して、関連エリアの上部空間と加圧エリアの上部空間との間を往復搬送される２つのチャンバユニット２０と、２つのチャンバユニットを同時に往復搬送するチャンバ搬送装置９６と、を有してなる。チャンバ搬送装置は、一方のチャンバユニットが加圧エリアに位置して、他方のチャンバユニットが一方の関連エリアに位置するように、かつ、他方のチャンバユニットが加圧エリアに位置して、一方のチャンバユニットが他方の関連エリアに位置するように、チャンバユニットを往復搬送する。
【選択図】図３
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】