特許 7607164 清浄装置、清浄システム、及び清浄方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-12-18

(45)【発行日】2024-12-26

(54)【発明の名称】清浄装置、清浄システム、及び清浄方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20241219BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20241219BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 T

H01L21/304 648D

H01L21/304 645A

H01L21/304 648E

【請求項の数】 15

(21)【出願番号】P 2024029924

(22)【出願日】2024-02-29

【審査請求日】2024-03-04

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】000190116

【氏名又は名称】信越ポリマー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100128381

【弁理士】

【氏名又は名称】清水 義憲

(74)【代理人】

【識別番号】100171583

【弁理士】

【氏名又は名称】梅景 篤

(72)【発明者】

【氏名】畑 亮也

【審査官】渡井 高広

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０１０／００７６５７（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０２４－００２０９８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－０５０５１８（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１７／０３３５４６（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１９－１０２７２７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１４－１０７２９６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－１８７８６６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２２－１５９７７９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１４－０３８８８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１２－２０４６４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特表２０２１－５２１６５６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－３５１８６８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－２３９００６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－１９２６８４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１１－２７４２８２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６７３

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

開口とパネルを収納する内部空間とを有する容器本体と、前記開口を閉塞する蓋体と、を備える収納容器の前記内部空間を清浄化する清浄装置であって、
前記蓋体が外された状態の前記開口を閉塞する閉塞体であって、前記内部空間にガスが導入される給気口、及び前記内部空間からガスが排出される排気口が設けられている本体部と、前記本体部と前記容器本体との間を封止する封止部材とを有する閉塞体と、
前記給気口を介して前記内部空間にガスを供給する給気装置と、
前記蓋体が外された状態の前記開口を前記閉塞体が気密に閉塞するように、前記容器本体と前記閉塞体とを相対的に移動させ、前記容器本体を前記封止部材に押し当てる第１移動機構と、
を備える、清浄装置。

【請求項2】

前記容器本体が載置されるとともに、前記容器本体を第１方向に移動するステージを含む載置台を更に備え、
前記閉塞体は、前記載置台の前記第１方向における端縁に設けられ、
前記第１移動機構は、前記ステージを含む、請求項１に記載の清浄装置。

【請求項3】

前記載置台は、前記容器本体を前記ステージに固定するクランプ機構を更に含む、請求項２に記載の清浄装置。

【請求項4】

前記蓋体を吸着する吸着パッドを有し、前記蓋体の施錠及び解錠を操作する開閉機構を更に備える、請求項２に記載の清浄装置。

【請求項5】

前記閉塞体及び前記開閉機構と前記容器本体とを前記第１方向と交差する第２方向に相対的に移動させる第２移動機構を更に備え、
前記閉塞体と前記開閉機構とは、前記第２方向に配列されている、請求項４に記載の清浄装置。

【請求項6】

開口とパネルを収納する内部空間とを有する容器本体と、前記開口を閉塞する蓋体と、を備える収納容器の前記内部空間を清浄化する清浄装置であって、
前記蓋体が外された状態の前記開口を閉塞する閉塞体であって、前記内部空間にガスが導入される給気口と、前記内部空間からガスが排出される排気口とを有する閉塞体と、
前記給気口を介して前記内部空間にガスを供給する給気装置と、
前記内部空間の気圧を計測する気圧計と、
を備え、
前記閉塞体は、前記気圧計が接続される計測口を更に有する、清浄装置。

【請求項7】

前記内部空間から前記排気口を介してガスを排出する排気装置を更に備える、請求項１～請求項６のいずれか一項に記載の清浄装置。

【請求項8】

前記内部空間の気圧が陽圧を維持するように、前記給気装置又は前記排気装置を制御する制御装置を更に備える、請求項７に記載の清浄装置。

【請求項9】

前記給気装置は、前記容器本体の底板に設けられた給気バルブを更に介して前記内部空間にガスを供給する、請求項１～請求項６のいずれか一項に記載の清浄装置。

【請求項10】

前記給気装置は、パーティクル除去用のフィルタを有する、請求項１～請求項６のいずれか一項に記載の清浄装置。

【請求項11】

前記内部空間から排出されたガスに含まれるパーティクルを計数するパーティクルカウンタを更に備える、請求項１～請求項６のいずれか一項に記載の清浄装置。

【請求項12】

前記内部空間の気圧を計測する気圧計を更に備え、
前記閉塞体は、前記気圧計が接続される計測口を更に有する、請求項１～請求項５のいずれか一項に記載の清浄装置。

【請求項13】

請求項１～請求項６のいずれか一項に記載の清浄装置と、
前記収納容器と、
を備える、清浄システム。

【請求項14】

開口とパネルを収納する内部空間とを有する容器本体と、前記開口を閉塞する蓋体と、を備える収納容器の前記内部空間を清浄化する清浄方法であって、
前記蓋体が外された状態の前記開口を閉塞する閉塞体であって、前記内部空間にガスが導入される給気口、及び前記内部空間からガスが排出される排気口が設けられている本体部と、前記本体部と前記容器本体との間を封止する封止部材とを有する閉塞体で、前記蓋体が外された状態の前記開口を気密に閉塞することと、
前記閉塞体の前記給気口を介して前記内部空間にガスを供給することと、
を含み、
前記開口を気密に閉塞することは、移動機構が前記容器本体と前記閉塞体とを相対的に移動させ、前記容器本体を前記封止部材に押し当てることにより行われる、清浄方法。

【請求項15】

開口とパネルを収納する内部空間とを有する容器本体と、前記開口を閉塞する蓋体と、を備える収納容器の前記内部空間を清浄化する清浄方法であって、
前記蓋体が外された状態の前記開口を閉塞する閉塞体であって、前記内部空間にガスが導入される給気口と、前記内部空間からガスが排出される排気口と、前記内部空間の気圧を計測する気圧計が接続される計測口とを有する閉塞体で、前記蓋体が外された状態の前記開口を閉塞することと、
前記閉塞体の前記給気口を介して前記内部空間にガスを供給することと、
前記気圧計を用いて前記計測口を介して前記内部空間の気圧を計測することと、
を含む、清浄方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、清浄装置、清浄システム、及び清浄方法に関する。

【背景技術】

【0002】

収納容器の内部空間をガスにより清浄化する技術が知られている。例えば、特許文献１に記載の基板収納容器においては、容器本体を閉塞する蓋体の内壁面に設けられたガス噴出部からリテーナにガスを吹き付けることにより、リテーナに付着したパーティクルが吹き落とされる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０２１－１４５００８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載の技術では、蓋体にガス噴出部を設ける必要があり、さらに外部から容器本体の給気バルブに供給されたガスを蓋体のガス噴出部まで導入するための流路を設ける必要がある。本技術分野においては、清浄化のための追加の構造を収納容器に設けることなく、収納容器の内部空間を清浄化することが望まれている。

【0005】

本開示は、清浄化のための追加の構造を収納容器に設けることなく、収納容器の内部空間を清浄化することができる清浄装置、清浄システム、及び清浄方法を説明する。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示の一側面に係る清浄装置は、開口とパネルを収納する内部空間とを有する容器本体と、開口を閉塞する蓋体と、を備える収納容器の内部空間を清浄化する清浄装置である。この清浄装置は、蓋体が外された状態の開口を閉塞する閉塞体であって、内部空間にガスが導入される給気口と、内部空間からガスが排出される排気口とを有する閉塞体と、給気口を介して内部空間にガスを供給する給気装置と、を備える。

【0007】

この清浄装置では、蓋体が外された状態の容器本体の開口が、給気口と排気口とを有する閉塞体によって閉塞され、給気装置によって給気口を介して容器本体の内部空間にガスが供給される。これにより、内部空間内のパーティクルがガスとともに排気口から排出される。このように、蓋体に代えて清浄化のための閉塞体を用いることにより、収納容器の内部空間が清浄化されるので、収納容器には清浄化のための追加の構造を設ける必要がない。言い換えると、上記清浄装置によれば、清浄化のための追加の構造を収納容器に設けることなく、収納容器の内部空間を清浄化することが可能となる。

【0008】

上記清浄装置は、内部空間から排気口を介してガスを排出する排気装置を更に備えてもよい。この構成によれば、排気口からガスが排出されやすくなる。したがって、内部空間の清浄効率を向上させることが可能となる。

【0009】

上記清浄装置は、内部空間の気圧が陽圧を維持するように、給気装置又は排気装置を制御する制御装置を更に備えてもよい。内部空間の気圧が陽圧であると、外部から内部空間にパーティクルが入り込む可能性が低減される。したがって、内部空間の清浄効率を向上させることが可能となる。

【0010】

上記清浄装置は、蓋体が外された状態の開口を閉塞体が閉塞するように、容器本体と閉塞体とを相対的に移動させる第１移動機構を更に備えてもよい。この構成によれば、第１移動機構によって、閉塞体で開口が閉塞される。このため、開口を閉塞体で閉塞する作業時間を短縮することができ、外部から内部空間にパーティクルが入り込む可能性が低減される。したがって、内部空間の清浄効率を向上させることが可能となる。

【0011】

上記清浄装置は、容器本体が載置されるとともに、容器本体を第１方向に移動するステージを含む載置台を更に備えてもよい。閉塞体は、載置台の第１方向における端縁に設けられてもよい。第１移動機構は、ステージを含んでもよい。この構成によれば、ステージによって、容器本体を閉塞体に向かって第１方向に移動させることができる。このため、閉塞体を第１方向に移動させる必要がないので、給気装置と閉塞体との第１方向における距離の変化が抑制される。したがって、給気装置と閉塞体との間に設けられるガスを供給するための給気管の長さを短くすることができる。

【0012】

載置台は、容器本体をステージに固定するクランプ機構を更に含んでもよい。この構成によれば、クランプ機構によって容器本体がステージに固定されるので、容器本体を閉塞体にしっかりと押し当てることができ、閉塞体が開口をより確実に閉塞することができる。これにより、外部から内部空間にパーティクルが入り込む可能性が低減されるので、内部空間の清浄効率を向上させることが可能となる。

【0013】

上記清浄装置は、蓋体を吸着する吸着パッドを有し、蓋体の施錠及び解錠を操作する開閉機構を更に備えてもよい。この構成によれば、蓋体が吸着パッドにより保持された状態で、蓋体の施錠及び解錠を操作することができる。このため、蓋体の施錠及び解錠に要する時間を短縮することができ、外部から内部空間にパーティクルが入り込む可能性が低減される。したがって、内部空間の清浄効率を向上させることが可能となる。

【0014】

上記清浄装置は、閉塞体及び開閉機構と容器本体とを第１方向と交差する第２方向に相対的に移動させる第２移動機構を更に備えてもよい。閉塞体と開閉機構とは、第２方向に配列されていてもよい。この構成によれば、第２移動機構は開閉機構及び閉塞体を一体的に移動させることができる。よって、開閉機構及び閉塞体を第２方向に移動するだけで、蓋体を施錠及び解錠するための状態と、内部空間を清浄化するための状態とを切り替えることができる。

【0015】

給気装置は、容器本体の底板に設けられた給気バルブを更に介して内部空間にガスを供給してもよい。この構成によれば、閉塞体の給気口だけでなく、容器本体の底板に設けられた給気バルブを介して内部空間にガスが供給されるので、内部空間内にガスが行き渡りやすくなる。したがって、内部空間の清浄効率を向上させることが可能となる。

【0016】

給気装置は、パーティクル除去用のフィルタを有してもよい。この構成によれば、給気装置が供給するガスに含まれるパーティクルの量を減らすことができるので、内部空間に入り込むパーティクルは少なくなる。したがって、内部空間の清浄効率を向上させることが可能となる。

【0017】

上記清浄装置は、内部空間から排出されるガスに含まれるパーティクルを計数するパーティクルカウンタを更に備えてもよい。内部空間から排出されるガスに含まれるパーティクルの量は、内部空間に含まれるパーティクルの量と相関があるといえる。したがって、パーティクルカウンタの計数値によって内部空間の清浄度を推測することができる。

【0018】

上記清浄装置は、内部空間の気圧を計測する気圧計を更に備えてもよい。閉塞体は、気圧計が接続される計測口を更に有してもよい。例えば、排気口に排気装置が接続されていると、排気口から排出されるガスの圧力は当該排気装置によって高められてしまい、当該圧力が内部空間の気圧から乖離するおそれがある。上記構成によれば、気圧計は排気口とは異なる計測口に接続されているので、排気装置に起因する気圧の測定誤差を軽減することができる。

【0019】

本開示の別の側面に係る清浄システムは、上記清浄装置と、収納容器と、を備える。この清浄システムは、上述の清浄装置を備えているので、清浄化のための追加の構造を収納容器に設けることなく、収納容器の内部空間を清浄化することが可能となる。

【0020】

本開示の更に別の側面に係る清浄方法は、開口とパネルを収納する内部空間とを有する容器本体と、開口を閉塞する蓋体と、を備える収納容器の内部空間を清浄化する方法である。この清浄方法は、蓋体が外された状態の開口を閉塞する閉塞体であって、内部空間にガスが導入される給気口と、内部空間からガスが排出される排気口とを有する閉塞体で、蓋体が外された状態の開口を閉塞することと、閉塞体の給気口を介して内部空間にガスを供給することと、を含む。

【0021】

この清浄方法では、蓋体が外された状態の容器本体の開口が、給気口と排気口とを有する閉塞体によって閉塞され、給気口を介して容器本体の内部空間にガスが供給される。これにより、内部空間内のパーティクルがガスとともに排気口から排出される。このように、蓋体に代えて清浄化のための閉塞体を用いることにより、収納容器の内部空間が清浄化されるので、収納容器には清浄化のための追加の構造を設ける必要がない。言い換えると、上記清浄装置によれば、清浄化のための追加の構造を収納容器に設けることなく、収納容器の内部空間を清浄化することが可能となる。

【発明の効果】

【0022】

本開示によれば、清浄化のための追加の構造を収納容器に設けることなく、収納容器の内部空間を清浄化することができる。

【図面の簡単な説明】

【0023】

【図1】図１は、一実施形態に係る清浄システムの斜視図である。

【図2】図２は、図１に示されるパネル収納容器の分解斜視図である。

【図3】図３は、図１に示されるパネル収納容器の底面図である。

【図4】図４は、図１に示される清浄装置の斜視図である。

【図5】図５は、図１に示される清浄装置のブロック図である。

【図6】図６は、図４に示されるステージの斜視図である。

【図7】図７は、図４に示されるドアの斜視図である。

【図8】図８は、図１のＶＩＩＩ－ＶＩＩＩ線に沿った断面図である。

【図9】図９は、図４に示される清浄装置が行う清浄方法を示すフローチャートである。

【図10】図１０は、図９の蓋体の取外し処理を詳細に説明するフローチャートである。

【図11】図１１は、図９の蓋体の取付処理を詳細に説明するフローチャートである。

【図12】図１２の（ａ）は、パネル収納容器を準備する処理を説明するための模式図である。図１２の（ｂ）及び図１２の（ｃ）は、蓋体の取外し処理を説明するための模式図である。図１２の（ｄ）及び図１２の（ｅ）は、開口を閉塞体で閉塞する処理を説明するための模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0024】

以下、図面を参照しながら本開示の実施形態が詳細に説明される。なお、図面の説明において同一要素には同一符号が付され、重複する説明は省略される。各図には、ＸＹＺ座標系が示される。Ｙ軸方向（第１方向）は、Ｘ軸方向及びＺ軸方向（第２方向）と交差（ここでは、直交）する方向である。Ｚ軸方向は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向と交差（ここでは、直交）する方向である。一例として、Ｘ軸方向は、左右方向（幅方向）であり、Ｙ軸方向は、前後方向（奥行方向）であり、Ｚ軸方向は、上下方向（高さ方向）である。

【0025】

図１を参照しながら、一実施形態に係る清浄システムを説明する。図１は、一実施形態に係る清浄システムの斜視図である。図１に示される清浄システム１００は、パネル収納容器１０１（収納容器）の内部空間Ｖ（図２参照）を清浄化するためのシステムである。清浄システム１００は、清浄装置１と、パネル収納容器１０１と、を含む。

【0026】

清浄装置１は、パネル収納容器１０１の内部空間Ｖを清浄化する装置である。清浄装置１は、パネル収納容器１０１の内部空間Ｖにガスを供給することにより、内部空間Ｖに含まれるパーティクルを除去することができる。清浄装置１は、例えば、クリーンルーム内に設置されている。清浄装置１の詳細は後述する。

【0027】

パネル収納容器１０１は、複数のパネルを収納するための容器である。パネル収納容器１０１は、例えば、ＳＥＭＩ（Semiconductor Equipment and Materials International）規格に準拠している。パネル収納容器１０１は、例えば、ＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）と称され、工場内でパネルを移送するために用いられる。パネルの例としては、液晶パネル用のガラス基板、及び電子部品を搭載したパネルが挙げられる。パネルは、矩形状を呈する。パネルのサイズの例としては、５１０ｍｍ×５１５ｍｍ及び６００ｍｍ×６００ｍｍが挙げられる。パネル収納容器１０１に収納可能なパネルの枚数は、任意に定められており、例えば、６枚でもよく、１２枚でもよく、１６枚でもよく、２４枚でもよい。

【0028】

パネル収納容器１０１は、例えば、電子部品アセンブリを製造する製造装置に使用される。電子部品アセンブリは、例えば、ガラス板及びステンレス板といった大型のキャリアパネル上に多数の電子部品を搭載する工程、これらの電子部品をエポキシ樹脂等で封止する工程、封止された電子部品をパネル形態でキャリアパネルから剥がす工程、及びパネル形態の電子部品を個別に切り出す工程等を経て製造される。パネル収納容器１０１は、これらの工程間でパネルを移送するために用いられる。

【0029】

図２及び図３を参照しながらパネル収納容器１０１を詳細に説明する。図２は、図１に示されるパネル収納容器の分解斜視図である。図３は、図１に示されるパネル収納容器の底面図である。図２に示されるように、パネル収納容器１０１は、容器本体１０２と、蓋体１０３と、ハンドル１０４と、を含む。

【0030】

容器本体１０２は、正面（前面）が開放された直方体形状の容器である。言い換えると、容器本体１０２は、前面に開口１０２ａが設けられたフロントオープンボックス型の容器である。容器本体１０２は、複数のパネルを収納する内部空間Ｖを有する。具体的には、容器本体１０２は、複数のパネルを上下方向に互いに間隔を空けて積層した状態で収納する。開口１０２ａを介してパネルが容器本体１０２に出し入れされる。

【0031】

容器本体１０２は、天板１２１と、底板１２２と、一対の側壁１２３と、背面壁１２４と、フランジ１２５と、台座部１２７（図３参照）と、を含む。

【0032】

天板１２１、底板１２２、側壁１２３、及び背面壁１２４は、矩形状の板材である。天板１２１と底板１２２とは、上下方向において互いに向かい合っており、実質的に平行に配置されている。一対の側壁１２３は、左右方向において互いに向かい合っており、実質的に平行に配置されている。背面壁１２４は、蓋体１０３が開口１０２ａを閉塞している状態で蓋体１０３と前後方向において向かい合う。天板１２１、底板１２２、側壁１２３、及び背面壁１２４のうちの互いに隣り合う２つの部材は、連結されている。天板１２１、底板１２２、一対の側壁１２３、及び背面壁１２４によって、内部空間Ｖが画定される。

【0033】

フランジ１２５は、矩形状の枠体であって、天板１２１の前端、底板１２２の前端、及び一対の側壁１２３の前端にわたって設けられている。フランジ１２５によって、開口１０２ａが画定される。フランジ１２５の上枠部及び下枠部のそれぞれには、左右方向に離間して配列された２つの施錠穴１２５ｈが設けられている。上枠部の施錠穴１２５ｈと下枠部の施錠穴１２５ｈとは上下方向において互いに向かい合う位置に設けられている。

【0034】

台座部１２７は、容器本体１０２のベースとなる部分である。台座部１２７は、底板１２２の下面に設けられる。台座部１２７は、複数の柱状の支持部材を組み合わせることによって構成されている。

【0035】

蓋体１０３は、容器本体１０２の開口１０２ａを閉塞するための部材である。蓋体１０３は、ガスケット等の封止部材を介して容器本体１０２の開口１０２ａを気密に閉塞する。蓋体１０３は、開口１０２ａを画定するフランジ１２５に着脱自在に取り付けられる。蓋体１０３は、蓋本体１３１と、カバー部材１３２と、施錠機構１３３と、を含む。

【0036】

蓋本体１３１は、蓋体１０３の本体部分である。蓋本体１３１は、矩形状の板材である。カバー部材１３２は、蓋本体１３１の前面を覆う部材である。カバー部材１３２は、矩形状の板材である。カバー部材１３２には鍵穴１３２ｈが設けられている。鍵穴１３２ｈには、不図示の鍵が挿入される。

【0037】

施錠機構１３３は、鍵穴１３２ｈに挿入された鍵が操作されることによって、蓋体１０３を施錠又は解錠する。施錠機構１３３は、不図示のラッチを含む。蓋体１０３がフランジ１２５に取り付けられた状態で、鍵の操作によりラッチがフランジ１２５に設けられた施錠穴１２５ｈに嵌入されることによって蓋体１０３が施錠される。蓋体１０３が施錠されている状態で、鍵の操作によりラッチが施錠穴１２５ｈから引き抜かれることよって蓋体１０３が解錠される。

【0038】

一対のハンドル１０４は、搬送装置がパネル収納容器１０１を搬送する際に用いられる部材である。一対のハンドル１０４は、天板１２１の左右両端部に設けられる。搬送装置が一対のハンドル１０４を把持してパネル収納容器１０１を持ち上げることにより、搬送装置はパネル収納容器１０１を搬送し得る。

【0039】

容器本体１０２、蓋体１０３、及び一対のハンドル１０４は、金属材料又は樹脂材料で成形される複数の部品を組み合わせることによって構成される。樹脂材料の成形材料に含まれる樹脂の例としては、熱可塑性樹脂が挙げられる。熱可塑性樹脂の例としては、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、液晶ポリマー、ポリメタクリル酸メチル等のアクリル樹脂、及びアクリロニトリルブタジエンスチレン共重合体が挙げられる。樹脂材料の成形材料に含まれる樹脂として、これらのアロイが用いられてもよい。

【0040】

これらの樹脂には、導電物質、及び各種帯電防止剤が添加されてもよい。導電物質は、例えば、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、又は導電性ポリマー等からなる。帯電防止剤としては、アニオン系、カチオン系、及び非イオン系等の帯電防止剤が用いられ得る。ベンゾトリアゾール系、サリシレート系、シアノアクリレート系、オキザリックアシッドアニリド系、及びヒンダードアミン系の紫外線吸収剤が添加されてもよい。剛性を向上させるガラス繊維又は炭素繊維等も選択的に添加されてもよい。

【0041】

パネル収納容器１０１は、シャフト１６１と、シャフト１６２と、を更に含む。シャフト１６１，１６２は、前後方向に延びる部材である。シャフト１６１は、パネルの左右方向における中央部を支持するために用いられる。シャフト１６２は、パネルの左右端部を支持するために用いられる。シャフト１６１の後端部は、背面壁１２４の内面に設けられた支柱に固定されている。シャフト１６２の後端部は、背面壁１２４の内面に設けられた別の支柱に固定されている。シャフト１６２は、側壁１２３の内面に設けられた支持部材によって支持されている。同じ高さに設けられた１つのシャフト１６１と２つのシャフト１６２とによって、１枚のパネルを収納する収納段が形成される。シャフト１６１は、左右方向において２つのシャフト１６２の間に配置されている。

【0042】

図３に示されるように、パネル収納容器１０１は、ベース基板１５１と、取付プレート１５２と、取付プレート１５３と、位置決め部材１５４と、給気バルブ１５５と、排気バルブ１５６と、を更に含む。

【0043】

ベース基板１５１は、位置決め部材１５４、給気バルブ１５５、及び排気バルブ１５６を取り付けるための基板である。ベース基板１５１は、矩形状の板材である。ベース基板１５１は、台座部１２７の下方に設けられている。ベース基板１５１には、給気バルブ１５５又は排気バルブ１５６を取り付けるための貫通孔１５１ｈが設けられている。ベース基板１５１には、４つの貫通孔１５１ｈが設けられている。４つの貫通孔１５１ｈは、ベース基板１５１の四隅付近に設けられている。

【0044】

取付プレート１５２，１５３は、位置決め部材１５４をベース基板１５１に取り付けるための部材である。取付プレート１５２，１５３は、板状部材である。取付プレート１５２には、位置決め部材１５４を露出させるための２つの貫通孔１５２ｇが設けられている。取付プレート１５２には、２つの貫通孔１５２ｇの間に、パネル収納容器１０１を固定するために用いられる貫通孔１５２ｈが更に設けられている。取付プレート１５２には、２つの貫通孔１５２ｈが設けられている。２つの貫通孔１５２ｈは、左右方向に並んでいる。各貫通孔１５２ｈは、例えば、左右方向に延びる矩形状の長孔である。

【0045】

取付プレート１５３は、ベース基板１５１の後部分の下面に設けられる。取付プレート１５３には、位置決め部材１５４を露出させるための貫通孔１５３ｇが設けられている。位置決め部材１５４は、搬送装置又は加工装置等の外部装置がパネル収納容器１０１（容器本体１０２）の位置決めを行うために用いられる部材である。位置決め部材１５４は、Ｖ字状の板材である。位置決め部材１５４は、底板１２２に向かって（上方に）窪むように、ベース基板１５１の取付孔に嵌め合わされている。位置決め部材１５４のＶ字面によってＶ字状の溝が画定される。Ｖ字面には、耐摩耗性の表面処理が施されている。パネル収納容器１０１は、３つの位置決め部材１５４を含む。

【0046】

給気バルブ１５５及び排気バルブ１５６は、パネル収納容器１０１の内部（内部空間Ｖ）の清浄性及び低湿度を保つために用いられる。給気バルブ１５５は、内部空間Ｖにガスを供給するための機構である。排気バルブ１５６は、内部空間Ｖからガスを排出するための機構である。本実施形態では、パネル収納容器１０１は、２つの給気バルブ１５５と、２つの排気バルブ１５６と、を含む。給気バルブ１５５及び排気バルブ１５６は、底板１２２に設けられ、底板１２２とベース基板１５１との間に配置されている。

【0047】

２つの給気バルブ１５５は、後方に位置する２つの貫通孔１５１ｈからそれぞれ露出するように設けられている。各給気バルブ１５５は、底板１２２に設けられた貫通孔及びベース基板１５１に設けられた貫通孔１５１ｈを介して、内部空間Ｖにガスを供給する。２つの排気バルブ１５６は、前方に位置する２つの貫通孔１５１ｈからそれぞれ露出するように設けられている。各排気バルブ１５６は、底板１２２に設けられた貫通孔及びベース基板１５１に設けられた貫通孔１５１ｈを介して、内部空間Ｖからガスを排出する。

【0048】

次に、図４～図８を参照しながら清浄装置１を説明する。図４は、図１に示される清浄装置の斜視図である。図５は、図１に示される清浄装置のブロック図である。図６は、図４に示されるステージの斜視図である。図７は、図４に示されるドアの斜視図である。図８は、図１のＶＩＩＩ－ＶＩＩＩ線に沿った断面図である。図４及び図５に示されるように、清浄装置１は、載置台２と、ドア３と、昇降機構４（第２移動機構）と、給気装置５と、排気装置６と、気圧計７と、パーティクルカウンタ８と、ガイドモニタ９と、制御装置１０と、筐体１１と、給気管１２（図８参照）と、排気管１３（図８参照）と、配管１４（図８参照）と、給気管１５（図８参照）と、排気管１６（図８参照）と、送気装置１７と、給気管１８（図８参照）と、を含む。

【0049】

筐体１１は、クリーンルーム内の床面に設置されており、上下方向に延びる直方体形状を有する。筐体１１は、給気装置５、排気装置６、気圧計７、パーティクルカウンタ８、及び送気装置１７を収容している。筐体１１は、上下方向及び左右方向に広がる面１１ａを有する。

【0050】

載置台２は、パネル収納容器１０１が載置される台である。載置台２は、筐体１１と並んで設けられ、面１１ａと向かい合っている。なお、パネル収納容器１０１の説明と同様に、清浄装置１の説明においても、筐体１１から載置台２に向かう向きを「後」と称し、載置台２から筐体１１に向かう向きを「前」と称することとする。載置台２は、台座部２１と、天面部材２２と、移動機構２３（第１移動機構）と、クランプ機構２４と、を含む。

【0051】

台座部２１は、後述するステージ２６を前後方向に移動可能に支持する部分である。台座部２１は、クリーンルーム内の床面に設置されており、上下方向に延びる直方体形状を有する。台座部２１は、例えば、制御装置１０を収容している。天面部材２２は、台座部２１の上に設けられている。天面部材２２は、平面視で台座部２１よりもひと回り大きい矩形状の外形を有する。天面部材２２は、左右方向における中央部分２２ａがその両側よりも上方に突出した形状を有する。

【0052】

移動機構２３は、パネル収納容器１０１（容器本体１０２）を前後方向に移動する機構である。移動機構２３は、一対のレール２５と、ステージ２６と、を含む。一対のレール２５は、中央部分２２ａの上に設けられている。各レール２５は、前後方向に直線状に延びる棒状の部材である。一対のレール２５は、左右方向に互いに離れて、実質的に平行に配置されている。一対のレール２５は、ステージ２６の移動経路を規定する。

【0053】

ステージ２６は、パネル収納容器１０１（容器本体１０２）が載置される板状の部材である。具体的には、前後方向において蓋体１０３が面１１ａと向かい合うように、ステージ２６上にパネル収納容器１０１が載置される。ステージ２６は、中央部分２２ａの上に設けられ、一対のレール２５に挟まれている。ステージ２６は、一対のレール２５に沿って前後方向に移動する。ステージ２６は、ステージ２６に載置されているパネル収納容器１０１（容器本体１０２）を前後方向に移動する。ステージ２６の前後方向における可動域は、例えば、７０ｍｍである。移動機構２３は、ステージ２６を駆動する不図示の駆動機器を更に含む。駆動機器としては、例えば、電動式、空圧式、又は油圧式のアクチュエータが用いられる。

【0054】

ここで、図６を参照しながら、ステージ２６を詳細に説明する。図６に示されるように、ステージ２６は、本体部６１と、位置決めピン６２と、給気ポート６３と、排気ポート６４と、を含む。

【0055】

本体部６１は、ステージ２６の本体を成す板状の部分である。本体部６１は、パネル収納容器１０１（容器本体１０２）がステージ２６に載置されている状態で、容器本体１０２の底板１２２と上下方向において向かい合う載置面６１ａを有する。

【0056】

位置決めピン６２は、載置面６１ａに設けられ、載置面６１ａから上方に突出している。ステージ２６は、位置決め部材１５４と同数（本実施形態では、３本）の位置決めピン６２を含む。３本の位置決めピン６２は、パネル収納容器１０１の３つの位置決め部材１５４にそれぞれ対応する位置に配置されている。

【0057】

給気ポート６３は、給気バルブ１５５を介して、内部空間Ｖにガスを導入する部分である。給気ポート６３は、例えば、給気装置５に接続され、給気装置５から供給されたガスを内部空間Ｖに導入する。ステージ２６は、給気バルブ１５５と同数（本実施形態では、２つ）の給気ポート６３を含む。２つの給気ポート６３は、２つの給気バルブ１５５にそれぞれ対応する位置に配置されている。言い換えると、容器本体１０２がステージ２６に固定されている状態で、各給気ポート６３は、対応する給気バルブ１５５に接続される。

【0058】

排気ポート６４は、排気バルブ１５６を介して、内部空間Ｖからガスを排出するための部分である。排気ポート６４は、例えば、排気装置６に接続されている。排気装置６が動作することによって、排気バルブ１５６及び排気ポート６４を通って内部空間Ｖからガスが排出される。ステージ２６は、排気バルブ１５６と同数（本実施形態では、２つ）の排気ポート６４を含む。２つの排気ポート６４は、２つの排気バルブ１５６にそれぞれ対応する位置に配置されている。言い換えると、容器本体１０２がステージ２６に固定されている状態で、各排気ポート６４は、対応する排気バルブ１５６に接続される。

【0059】

図４及び図５に戻って、清浄装置１の説明を続ける。クランプ機構２４は、容器本体１０２をステージ２６に固定する機構である。クランプ機構２４は、一対のクランプ部材２４ａを有する。各クランプ部材２４ａは、Ｔ字状の形状を有する。より詳細には、各クランプ部材２４ａは、載置面６１ａから上方に延びる軸部と、当該軸部の先端に連結され、軸部と交差する方向に延びている先端部とを有する。各クランプ部材２４ａの先端部は、パネル収納容器１０１（容器本体１０２）を固定していない状態では、左右方向に延び、パネル収納容器１０１（容器本体１０２）を固定している状態では、前後方向に延びる。２つのクランプ部材２４ａは、前方に設けられた２本の位置決めピン６２の間において、左右方向に配列されている。なお、各クランプ部材２４ａは、Ｌ字状の形状を有してもよい。

【0060】

クランプ機構２４は、クランプ部材２４ａを駆動する不図示の駆動機器を更に含む。駆動機器としては、例えば、電動式、空圧式、又は油圧式のアクチュエータが用いられる。当該駆動機器は、クランプ部材２４ａの軸部を中心として、クランプ部材２４ａを回転させる。クランプ機構２４は、パネル収納容器１０１の貫通孔１５２ｈに挿入されたクランプ部材２４ａを、クランプ部材２４ａの軸部を中心として回転させることにより、クランプ部材２４ａの先端部を取付プレート１５２の上面に引っ掛けることによって容器本体１０２をステージ２６に固定する。

【0061】

ドア３は、蓋体１０３の開閉を行うとともに、蓋体１０３が外された状態の開口１０２ａを閉塞する部材である。ドア３は、載置台２の前後方向における端縁（本実施形態では前端）に設けられている。ここで、図７を参照しながら、ドア３を詳細に説明する。図７に示されるように、ドア３は、開閉機構３１と、閉塞体３２と、を含む。開閉機構３１と閉塞体３２とは、上下方向に配列されており、一体化されている。ドア３は、ステージ２６と前後方向において向かい合う面３ａを有する。

【0062】

開閉機構３１は、蓋体１０３の施錠及び解錠を操作する機構である。開閉機構３１は、本体部３３と、枠体３４と、吸着パッド３５と、ラッチ操作機構３６と、を含む。本体部３３は、矩形状の板材である。本体部３３は、ステージ２６と前後方向において向かい合う面３３ａを有する。面３３ａは、面３ａよりも前方に位置する。枠体３４は、面３３ａの周縁に沿って設けられた環状の部材であり、面３３ａを取り囲んでいる。枠体３４は、フランジ１２５を挿入可能な形状を有し、フランジ１２５の外形よりもわずかに大きい。

【0063】

吸着パッド３５は、蓋体１０３を吸着する部材である。本実施形態では、開閉機構３１は、４個の吸着パッド３５を有する。４個の吸着パッド３５は、面３３ａの四隅に設けられている。４個の吸着パッド３５は、カバー部材１３２の四隅に設けられた４つのパッド１３２ａにそれぞれ対応する位置に配置されている。吸着パッド３５は、容器本体１０２から取り外された蓋体１０３を保持する。

【0064】

ラッチ操作機構３６は、蓋体１０３の施錠及び解錠を操作する。ラッチ操作機構３６は、鍵穴１３２ｈと同数（本実施形態では、２つ）の鍵３６ａを含む。各鍵３６ａは、面３３ａから後方に突出している。各鍵３６ａの先端は、Ｔ字状の形状を有する。２つの鍵３６ａは、２つの鍵穴１３２ｈにそれぞれ対応する位置に配置されている。ラッチ操作機構３６は、鍵３６ａを鍵穴１３２ｈに挿入し、鍵３６ａを回転することによって、蓋体１０３のラッチを操作する。ラッチ操作機構３６は、鍵３６ａを駆動する不図示の駆動機器を更に含む。駆動機器としては、例えば、電動式、空圧式、又は油圧式のアクチュエータが用いられる。

【0065】

閉塞体３２は、蓋体１０３が外された状態の開口１０２ａを閉塞する部材である。閉塞体３２は、開閉機構３１の上方に位置する。閉塞体３２は、本体部３７と、封止部材３８と、を含む。本体部３７は、矩形状の板材である。本体部３７の外形は、蓋体１０３の外形よりも大きい。本体部３７は、ステージ２６と前後方向において向かい合う面３７ａを有する。面３７ａは、面３ａよりもわずかに前方に位置する。

【0066】

封止部材３８は、本体部３７と容器本体１０２との間を封止する部材である。封止部材３８は、面３７ａに設けられている。封止部材３８は、フランジ１２５の前端と実質的に同じ矩形環状の形状を有する。封止部材３８がフランジ１２５の前端の全周にわたって押し当てられることによって、容器本体１０２の開口１０２ａが気密に閉塞される。封止部材３８は、例えば、弾性部材によって構成されている。封止部材３８を構成する弾性部材の例としては、フッ素ゴム、ＥＰＤＭ（エチレンプロピレンゴム）、シリコーンゴム、ウレタン、及びエラストマーが挙げられる。封止部材３８の後端の前後方向における位置は、面３３ａの前後方向における位置と実質的に同一である。

【0067】

本体部３７には、給気口３７ｂと、排気口３７ｃと、計測口３７ｄと、が設けられている。給気口３７ｂは、本体部３７を前後方向に貫通する貫通孔である。給気口３７ｂを介して、内部空間Ｖにガスが導入される。排気口３７ｃは、本体部３７を前後方向に貫通する貫通孔である。排気口３７ｃを介して内部空間Ｖからガスが排出される。計測口３７ｄは、本体部３７を前後方向に貫通する貫通孔である。計測口３７ｄには、気圧計７が接続される。

【0068】

給気口３７ｂ、排気口３７ｃ、及び計測口３７ｄは、面３７ａのうちの封止部材３８に囲まれている部分に設けられている。具体的には、給気口３７ｂ、計測口３７ｄ、及び排気口３７ｃは、その順に、面３７ａのうちの封止部材３８に囲まれている部分の対角線上に配列されている。計測口３７ｄは、面３７ａのうちの封止部材３８に囲まれている部分の中心と実質的に同じ位置に設けられている。給気口３７ｂと排気口３７ｃとは、面３７ａのうちの封止部材３８に囲まれている部分の中心に対して、実質的に点対称となる位置に設けられている。

【0069】

図４及び図５に戻って、清浄装置１の説明を続ける。昇降機構４は、ドア３（開閉機構３１及び閉塞体３２）を上下方向に移動する機構である。昇降機構４は、ガイド部材４１を含む。ガイド部材４１は、上下方向及び左右方向に広がる板状の部材である。ガイド部材４１は、載置台２の前端に設けられ、天面部材２２から上方に延びている。ガイド部材４１の左右方向における長さは、天面部材２２の左右方向における長さと実質的に同じである。ガイド部材４１は、ドア３の移動経路を規定する。ガイド部材４１には、窓４１ａが設けられている。窓４１ａは、ガイド部材４１を前後方向に貫通しており、開閉機構３１又は閉塞体３２を露出させる。

【0070】

昇降機構４は、ガイド部材４１に沿ってドア３を昇降する不図示の駆動機器を更に含む。駆動機器としては、例えば、電動式、空圧式、又は油圧式のアクチュエータが用いられる。ドア３の上下方向における可動域は、例えば、４００ｍｍである。昇降機構４は、ドア３を昇降することによって、ドア３の上下方向における位置を、開閉機構３１が窓４１ａから露出する第１位置と閉塞体３２が窓４１ａから露出する第２位置との間で切り替える。例えば、昇降機構４は、開閉機構３１によって蓋体１０３が解錠された後、ドア３の上下方向における位置を第１位置から第２位置に切り替える。例えば、昇降機構４は、内部空間Ｖが清浄化された後、ドア３の上下方向における位置を第２位置から第１位置に切り替える。

【0071】

給気装置５は、内部空間Ｖにガスを供給する装置である。ガスは、例えば、ＣＤＡ（Clean Dry Air）である。ＣＤＡは、ＪＩＳＢ８３９２に準拠している乾燥した空気（ドライエアー）であって、当該ドライエアーに含まれる０．０１μｍ以上の粒径を有するパーティクルのうちの９９％以上のパーティクルを濾過することによって得られる気体である。ドライエアーとしては、例えば、ＪＩＳＢ８３９２に規定される等級１のドライエアーが用いられる。給気装置５が供給するガスは、窒素ガス及びアルゴンガス等の不活性ガスであってもよい。ここでは、安全性向上及びコスト削減の観点から、ＣＤＡが用いられる。

【0072】

図８に示されるように、給気装置５は、給気管１２によって給気口３７ｂに接続され、給気管１５によって給気ポート６３に接続されている。例えば、給気口３７ｂに接続されている給気管１２と、給気ポート６３に接続されている給気管１５とは、給気装置５に接続されている不図示の主給気管に接続されている。給気装置５は、給気管１２及び給気口３７ｂを介して内部空間Ｖにガスを供給する。給気装置５は、給気管１５、給気ポート６３、及び給気バルブ１５５を介して内部空間Ｖにガスを供給してもよい。

【0073】

給気装置５は、給気管１８を介してガスを供給してもよい。本実施形態では、清浄装置１は、２本の給気管１８を含む。２本の給気管１８は、載置台２の前面を前後方向に貫通する不図示の２つの貫通孔にそれぞれ挿通されている。これらの２つの貫通孔は、ドア３の位置が第２位置であるときに、開閉機構３１の面３３ａと向かい合う位置に設けられている。２つの貫通孔は、例えば、面３３ａの対角線上の二隅に向かい合っている。給気管１８は、給気装置５に接続されている不図示の主給気管に接続されている。

【0074】

給気装置５は、ファン５１と、フィルタ５２と、を含む。制御装置１０によってファン５１の回転数が調整され、これにより給気装置５の給気流量が調整される。フィルタ５２は、パーティクル除去用のフィルタである。上述のドライエアーがフィルタ５２を通過することにより、ドライエアーから０．０１μｍ以上の粒径を有するパーティクルのうちの９９％以上のパーティクルが除去され、これによりＣＤＡが得られる。

【0075】

排気装置６は、内部空間Ｖからガスを排出する装置である。図８に示されるように、排気装置６は、排気管１３によって排気口３７ｃに接続され、排気管１６によって排気ポート６４に接続されている。例えば、排気口３７ｃに接続されている排気管１３と、排気ポート６４に接続されている排気管１６とは、排気装置６に接続されている不図示の主排気管に接続されている。排気装置６は、排気口３７ｃ及び排気管１３を介して内部空間Ｖからガスを排出する。排気装置６は、排気バルブ１５６、排気ポート６４、及び排気管１６を介して内部空間Ｖからガスを排出してもよい。排気装置６は、例えば、排風機を含む。制御装置１０によって排気装置６の排気流量が調整される。

【0076】

送気装置１７は、筐体１１内のクリーン環境を維持するための装置である。送気装置１７は、筐体１１内の上部に設けられる。送気装置１７は、例えば、ファン及びフィルタを含むＦＦＵ（Fan Filter Unit）である。制御装置１０によってファンの回転数が調整され、これにより送気装置１７の送気流量が調整される。フィルタは、パーティクル等の異物を取り除く。送気装置１７が筐体１１の内部空間に送気することによって、筐体１１の内部空間の気圧が上昇し、筐体１１の内部空間が陽圧状態に維持される。

【0077】

気圧計７は、内部空間Ｖの気圧を計測する機器である。気圧計７は、配管１４によって計測口３７ｄと気密に接続されている。気圧計７は、気圧の計測値を所定の時間間隔で制御装置１０に出力する。パーティクルカウンタ８は、内部空間Ｖから排出されたガス（排気ガス）に含まれるパーティクルを計数する機器である。パーティクルカウンタ８は、排気装置６に接続されている不図示の主排気管に接続されている。パーティクルカウンタ８は、パーティクルのカウント値を所定の時間間隔で制御装置１０に出力する。

【0078】

ガイドモニタ９は、入出力装置として機能する装置（コントロールパネル）である。ガイドモニタ９は、筐体１１の側面に設けられている。ガイドモニタ９は、ＧＵＩ（Graphical User Interface）によって、各種情報を表示し、ユーザ（作業者）の操作を受け付ける。ガイドモニタ９は、制御装置１０から受け取った情報を表示する。ガイドモニタ９は、ユーザの操作を受け付けると、当該操作内容を示す情報を制御装置１０に出力する。

【0079】

制御装置１０は、清浄装置１を統括制御する装置（コントローラ）である。制御装置１０は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等のプロセッサと、ＲＡＭ（Random Access Memory）及びＲＯＭ（Read Only Memory）等のメモリと、ネットワークカード等の通信インターフェースと、を含むコンピュータとして構成されている。制御装置１０は、例えば、移動機構２３、クランプ機構２４、開閉機構３１、昇降機構４、給気装置５、排気装置６、気圧計７、パーティクルカウンタ８、ガイドモニタ９、及び送気装置１７を制御する。

【0080】

次に、図９～図１２の（ｅ）を参照しながら、清浄装置１が行う清浄方法を説明する。図９は、図４に示される清浄装置が行う清浄方法を示すフローチャートである。図１０は、図９の蓋体の取外し処理を詳細に説明するフローチャートである。図１１は、図９の蓋体の取付処理を詳細に説明するフローチャートである。図１２の（ａ）は、パネル収納容器を準備する処理を説明するための模式図である。図１２の（ｂ）及び図１２の（ｃ）は、蓋体の取外し処理を説明するための模式図である。図１２の（ｄ）及び図１２の（ｅ）は、開口を閉塞体で閉塞する処理を説明するための模式図である。

【0081】

図９に示される一連の処理は、例えば、ガイドモニタ９において、ユーザが清浄開始の操作を行うことによって開始される。なお、ユーザは、ガイドモニタ９において、終了条件を設定してもよい。ユーザは、終了条件として、例えば、パーティクルカウンタ８のカウント値の目標値を設定する。ユーザは、ガイドモニタ９において、給気装置５の給気流量及び排気装置６の排気流量を設定してもよい。清浄方法の開始時において、ドア３の上下方向における位置は、第１位置に設定されている。制御装置１０は、送気装置１７を制御して、筐体１１の陽圧状態を維持し続けている。

【0082】

まず、制御装置１０は、清浄対象となるパネル収納容器１０１を準備する（ステップＳ１）。ステップＳ１では、制御装置１０は、不図示の搬送装置を制御して、パネル収納容器１０１をステージ２６上に載置する。このとき、図１２の（ａ）に示されるように、蓋体１０３が窓４１ａと前後方向において向かい合うとともに、ステージ２６の各位置決めピン６２が対応する位置決め部材１５４のＶ字状の溝に収容されるようにパネル収納容器１０１がステージ２６上に載置される。これにより、ステージ２６の各給気ポート６３が対応する給気バルブ１５５に接続され、ステージ２６の各排気ポート６４が対応する排気バルブ１５６に接続され、各クランプ部材２４ａが対応する貫通孔１５２ｈに挿入される。

【0083】

この状態で、制御装置１０は、クランプ機構２４を制御して、パネル収納容器１０１をステージ２６に固定する。具体的には、クランプ機構２４は、クランプ部材２４ａの先端部を取付プレート１５２の上面に引っ掛けることによってパネル収納容器１０１をステージ２６に固定する。

【0084】

続いて、制御装置１０は、蓋体１０３の取外し処理を行う（ステップＳ２）。ステップＳ２では、図１２の（ｂ）に示されるように、制御装置１０は、移動機構２３を制御して、フランジ１２５が窓４１ａを介して開閉機構３１の枠体３４に挿入され、カバー部材１３２のパッド１３２ａが開閉機構３１の吸着パッド３５に当接するまで、ステージ２６を前方に移動する（ステップＳ２１）。そして、制御装置１０は、開閉機構３１を制御して、開閉機構３１の吸着パッド３５に蓋体１０３を吸着させる（ステップＳ２２）。具体的には、吸着パッド３５は、カバー部材１３２のパッド１３２ａを吸着する。

【0085】

その状態で、制御装置１０は、開閉機構３１を制御して、ラッチ操作機構３６の鍵３６ａを鍵穴１３２ｈに挿入し、鍵３６ａを回転することによって、蓋体１０３を解錠する（ステップＳ２３）。そして、図１２の（ｃ）に示されるように、制御装置１０は、移動機構２３を制御して、フランジ１２５が枠体３４から引き抜かれるまで、ステージ２６を後方に移動する（ステップＳ２４）。このとき、吸着パッド３５が蓋体１０３を吸着しているので、蓋体１０３が容器本体１０２から外れる。

【0086】

続いて、制御装置１０は、容器本体１０２の開口１０２ａを閉塞体３２で閉塞する（ステップＳ３）。ステップＳ３では、図１２の（ｄ）に示されるように、まず、制御装置１０は、昇降機構４を制御してドア３を下降させ、ドア３の上下方向における位置を第１位置から第２位置に切り替える。そして、図１２の（ｅ）に示されるように、制御装置１０は、移動機構２３を制御して、フランジ１２５の前端が閉塞体３２の封止部材３８に当接するまで、ステージ２６を前方に移動する。これにより、封止部材３８がフランジ１２５の前端の全周にわたって押し当てられ、容器本体１０２の開口１０２ａが閉塞体３２によって気密に閉塞される。

【0087】

続いて、制御装置１０は、容器本体１０２の内部空間Ｖを清浄化する（ステップＳ４）。ステップＳ４では、制御装置１０は、予め設定された給気流量が得られるように給気装置５を制御するとともに、予め設定された排気流量が得られるように排気装置６を制御する。そして、制御装置１０は、気圧計７及びパーティクルカウンタ８に計測を開始させる。これにより、給気管１２及び給気口３７ｂを介して給気装置５から内部空間Ｖにガス（ＣＤＡ）が供給されるとともに、給気管１５、給気ポート６３、及び給気バルブ１５５を介して給気装置５から内部空間Ｖにガス（ＣＤＡ）が供給される。給気装置５から供給されたガスにより内部空間Ｖ内の部材に付着しているパーティクルが払い落とされる。そして、払い落とされたパーティクルがガスとともに、排気口３７ｃ及び排気管１３を介して、又は、排気バルブ１５６、排気ポート６４、及び排気管１６を介して内部空間Ｖから排出される。このとき、給気装置５は、給気管１８を介して蓋体１０３の裏面（蓋体１０３が容器本体１０２に取り付けられた状態で内部空間Ｖと向かい合う面）にガスを吹き付ける。これにより、蓋体１０３の裏面に付着したパーティクルが吹き落とされる。

【0088】

なお、この例では、給気流量は、排気流量よりも大きい値に設定されているので、内部空間Ｖの気圧は、容器本体１０２の外側の気圧よりも大きい陽圧となる。このため、容器本体１０２の外部から内部空間Ｖにパーティクルが入り込む可能性が低減される。

【0089】

続いて、制御装置１０は、終了条件が満たされたか否かを判定する（ステップＳ５）。ここでは、終了条件として、パーティクルカウンタ８のカウント値が、予め設定された目標値を下回ったことを例示する。制御装置１０は、パーティクルカウンタ８から出力されたカウント値が目標値よりも大きい場合に、終了条件が満たされていないと判定し（ステップＳ５：ＮＯ）、終了条件が満たされるまでステップＳ４及びステップＳ５を繰り返す。

【0090】

一方、制御装置１０は、パーティクルカウンタ８から出力されたカウント値が目標値よりも小さい場合に、終了条件が満たされたと判定し（ステップＳ５：ＹＥＳ）、清浄化を終了する（ステップＳ６）。ステップＳ６では、制御装置１０は、給気装置５、排気装置６、気圧計７、及びパーティクルカウンタ８の動作を停止する。

【0091】

続いて、制御装置１０は、蓋体１０３の取付処理を行う（ステップＳ７）。ステップＳ７では、図１１に示されるように、制御装置１０は、移動機構２３を制御して、フランジ１２５の前端が窓４１ａよりも後方に位置するように、ステージ２６を後方に移動する（ステップＳ７１）。そして、制御装置１０は、昇降機構４を制御してドア３を上昇させ、ドア３の上下方向における位置を第２位置から第１位置に切り替える（ステップＳ７２）。

【0092】

ここで、筐体１１の内部空間は陽圧に維持されているので、ドア３を上昇させているときに、筐体１１の内部空間が外部空間と一時的に連通しても、筐体１１の外部空間から内部空間にパーティクルが入り込む可能性が低減される。

【0093】

そして、制御装置１０は、移動機構２３を制御して、フランジ１２５が窓４１ａを介して開閉機構３１の枠体３４に挿入され、開閉機構３１の吸着パッド３５によって保持されている蓋体１０３がフランジ１２５に取り付けられるまで、ステージ２６を前方に移動する（ステップＳ７３）。その状態で、制御装置１０は、開閉機構３１を制御して、ラッチ操作機構３６の鍵３６ａを鍵穴１３２ｈに挿入し、鍵３６ａを回転することによって、蓋体１０３を施錠する（ステップＳ７４）。そして、制御装置１０は、開閉機構３１を制御して、開閉機構３１の吸着パッド３５による吸着を解除し、蓋体１０３を解放する（ステップＳ７５）。

【0094】

そして、制御装置１０は、移動機構２３を制御して、フランジ１２５が枠体３４から引き抜かれるまで、ステージ２６を後方に移動する（ステップＳ７６）。以上により、容器本体１０２に蓋体１０３が取り付けられる。

【0095】

続いて、制御装置１０は、清浄化されたパネル収納容器１０１を搬出する（ステップＳ８）。ステップＳ８では、制御装置１０は、クランプ機構２４を制御して、パネル収納容器１０１の固定を解除し、不図示の搬送装置を制御して、パネル収納容器１０１をステージ２６から搬出する。

【0096】

以上により、清浄方法の一連の処理が終了する。

【0097】

以上説明したように、清浄システム１００、清浄装置１、及び清浄装置１が行う清浄方法では、蓋体１０３が外された状態の容器本体１０２の開口１０２ａが、給気口３７ｂと排気口３７ｃとを有する閉塞体３２によって閉塞され、給気装置５によって給気口３７ｂを介して容器本体１０２の内部空間Ｖにガスが供給される。これにより、内部空間Ｖ内のパーティクルがガスとともに排気口３７ｃから排出される。このように、蓋体１０３に代えて清浄化のための閉塞体３２を用いることにより、パネル収納容器１０１の内部空間Ｖが清浄化されるので、パネル収納容器１０１には清浄化のための追加の構造を設ける必要がない。言い換えると、清浄システム１００、清浄装置１、及び清浄装置１が行う清浄方法によれば、清浄化のための追加の構造をパネル収納容器１０１に設けることなく、パネル収納容器１０１の内部空間Ｖを清浄化することが可能となる。

【0098】

底板１２２に設けられた給気バルブ１５５及び排気バルブ１５６を用いて、内部空間Ｖを清浄化することが考えられる。しかしながら、給気バルブ１５５及び排気バルブ１５６の位置は、ＳＥＭＩ規格にて定められているので、給気バルブ１５５及び排気バルブ１５６を自由に設けることはできない。給気バルブ１５５及び排気バルブ１５６は底板１２２に設けられているので、給気バルブ１５５から内部空間Ｖにガスが供給されたとしても、内部空間Ｖ内にガスが行き渡らないおそれがある。これに対し、清浄システム１００、清浄装置１、及び清浄装置１が行う清浄方法では、蓋体１０３に代えて閉塞体３２が用いられるので、給気口３７ｂ及び排気口３７ｃの数及び配置を自由に設計することができる。したがって、内部空間Ｖの清浄効率を向上させることが可能となる。

【0099】

排気装置６は、内部空間Ｖから排気口３７ｃを介してガスを排出するので、排気口３７ｃに排気装置６が接続されていない構成と比較して、排気口３７ｃからガスが排出されやすくなる。したがって、内部空間Ｖの清浄効率を向上させることが可能となる。

【0100】

給気流量は排気流量よりも大きい値に設定されているので、内部空間Ｖの気圧は、陽圧となる。このため、容器本体１０２の外部から内部空間Ｖにパーティクルが入り込む可能性が低減される。したがって、内部空間Ｖの清浄効率を向上させることが可能となる。

【0101】

移動機構２３は、ステージ２６に載置されている容器本体１０２を前後方向に移動するステージ２６を含む。ドア３の上下方向における位置が上記第２位置に設定されている場合、閉塞体３２は、載置台２の前端に位置する。この構成によれば、ステージ２６によって、容器本体１０２を閉塞体３２に向かって前方に移動させることができる。このため、開口１０２ａを閉塞体３２で閉塞する作業をユーザが行う場合と比較して、作業時間を短縮することができ、容器本体１０２の外部から内部空間Ｖにパーティクルが入り込む可能性が低減される。したがって、内部空間Ｖの清浄効率を向上させることが可能となる。さらに、上記構成によれば、閉塞体３２を前後方向に移動させる必要がないので、給気装置５と閉塞体３２との前後方向における距離の変化が抑制される。したがって、給気装置５と閉塞体３２との間に設けられるガスを供給するための給気管（給気管１２）の長さを短くすることができる。同様に、排気装置６と閉塞体３２との前後方向における距離の変化が抑制される。したがって、排気装置６と閉塞体３２との間に設けられるガスを排出するための排気管（排気管１３）の長さを短くすることができる。

【0102】

清浄装置１においては、クランプ機構２４によって容器本体１０２がステージ２６に固定される。このため、容器本体１０２が閉塞体３２に押し当てられたとしても、後方にずれることがないので、容器本体１０２を閉塞体３２にしっかりと押し当てることができ、閉塞体３２が開口１０２ａをより確実に閉塞することができる。これにより、容器本体１０２の外部から内部空間Ｖにパーティクルが入り込む可能性が低減されるので、内部空間Ｖの清浄効率を向上させることが可能となる。

【0103】

開閉機構３１は、蓋体１０３を吸着する吸着パッド３５を有し、蓋体１０３の施錠及び解錠を操作する。この構成によれば、蓋体１０３が吸着パッド３５により保持された状態で、蓋体１０３の施錠及び解錠を操作することができる。このため、蓋体１０３が吸着パッド３５に保持されていない場合と比較して、蓋体１０３の施錠及び解錠に要する時間を短縮することができ、容器本体１０２の外部から内部空間Ｖにパーティクルが入り込む可能性が低減される。したがって、内部空間Ｖの清浄効率を向上させることが可能となる。

【0104】

昇降機構４は、ドア３を昇降させる。つまり、昇降機構４は、開閉機構３１及び閉塞体３２を上下方向に移動する。この構成によれば、昇降機構４は、ドア３を移動させることによって開閉機構３１及び閉塞体３２を一体的に移動させることができる。よって、ドア３を上下方向に移動するだけで、蓋体１０３を施錠及び解錠するための状態と、内部空間Ｖを清浄化するための状態とを切り替えることができる。

【0105】

給気装置５は、容器本体１０２の底板１２２に設けられた給気バルブ１５５を更に介して内部空間Ｖにガスを供給する。この構成によれば、閉塞体３２の給気口３７ｂだけでなく、給気バルブ１５５を介して内部空間Ｖにガスが供給されるので、内部空間Ｖ内にガスが行き渡りやすくなる。したがって、内部空間Ｖの清浄効率を向上させることが可能となる。

【0106】

給気装置５は、パーティクル除去用のフィルタ５２を有し、フィルタ５２を通過したガスを供給する。この構成によれば、給気装置５が供給するガスに含まれるパーティクルの量を減らすことができるので、内部空間Ｖに入り込むパーティクルは少なくなる。したがって、内部空間Ｖの清浄効率を向上させることが可能となる。

【0107】

排気装置６は、容器本体１０２の底板１２２に設けられた排気バルブ１５６を更に介して内部空間Ｖからガスを排出する。この構成によれば、閉塞体３２の排気口３７ｃだけでなく、排気バルブ１５６を介して内部空間Ｖからガスが排出される。これにより、排気効率を向上させることができる。

【0108】

パーティクルカウンタ８は、内部空間Ｖから排出されるガスに含まれるパーティクルを計数する。内部空間Ｖから排出されるガスに含まれるパーティクルの量は、内部空間Ｖに含まれるパーティクルの量と相関があるといえる。したがって、パーティクルカウンタ８の計数値によって内部空間Ｖの清浄度を推測することができる。このため、計数値が目標値を下回った場合に、内部空間Ｖが十分に清浄化されたと判定して清浄化を終了することができる。

【0109】

例えば、排気口３７ｃに排気装置６が接続されていると、排気口３７ｃから排出されるガスの圧力は排気装置６によって高められてしまし、当該圧力が内部空間Ｖの気圧から乖離するおそれがある。清浄装置１においては、計測口３７ｄに気圧計７が接続されている。この構成によれば、気圧計７は排気口３７ｃとは異なる計測口３７ｄに接続されているので、排気装置６に起因する気圧の測定誤差を軽減することができる。例えば、ガイドモニタ９が気圧計７の計測値を表示する場合には、ユーザは内部空間Ｖの気圧をより正確に把握することができる。

【0110】

なお、本開示に係る清浄装置、清浄システム、及び清浄方法は上記実施形態に限定されない。

【0111】

パネル収納容器１０１は、工場間でパネル（基板）を輸送するために用いられるＦＯＳＢ（Front Opening Shipping Box）であってもよい。

【0112】

移動機構２３は、蓋体１０３が外された状態の開口１０２ａを閉塞体３２が閉塞するように、容器本体１０２と閉塞体３２とを相対的に移動させることができれば、移動機構２３の構成は限定されない。例えば、移動機構２３は、ステージ２６を前後方向に移動する構成に代えて、ドア３を前後方向に移動する機構であってもよい。この構成においても、移動機構２３によって、閉塞体３２で開口１０２ａが閉塞される。このため、開口１０２ａを閉塞体３２で閉塞する作業をユーザが行う場合と比較して、作業時間を短縮することができ、容器本体１０２の外部から内部空間Ｖにパーティクルが入り込む可能性が低減される。したがって、内部空間Ｖの清浄効率を向上させることが可能となる。

【0113】

開閉機構３１と閉塞体３２とは、左右方向に配列されていてもよい。この場合、清浄装置１は、昇降機構４に代えて、ドア３を左右方向に移動させる移動機構（第２移動機構）を含む。

【0114】

開閉機構３１と閉塞体３２とは、一体化されていなくてもよい。この場合、清浄装置１は、昇降機構４に代えて、開閉機構３１と閉塞体３２とを入れ替える機構を含む。

【0115】

開閉機構３１に代えて、ユーザが蓋体１０３の開閉を行ってもよい。この場合、ドア３は、開閉機構３１を含まなくてもよい。ドア３は閉塞体３２が窓４１ａから露出する位置に固定され、清浄装置１は昇降機構４を含まなくてもよい。載置台２は、クランプ機構２４を含まなくてもよい。

【0116】

給気装置５は、フィルタ５２を含まなくてもよく、給気装置５の外部において生成されたＣＤＡを供給してもよい。給気装置５は、給気口３７ｂを介して内部空間Ｖにガスを供給する限りにおいて、給気バルブ１５５を介して内部空間Ｖにガスを供給しなくてもよい。この場合、清浄装置１は、給気管１５を含まなくてもよい。

【0117】

排気装置６は、排気口３７ｃを介して内部空間Ｖからガスを排出する限りにおいて、排気バルブ１５６を介して内部空間Ｖからガスを排出しなくてもよい。この場合、清浄装置１は、排気管１６を含まなくてもよい。

【0118】

給気管１２及び給気管１５のそれぞれには、ガスの流路の開閉を行う不図示の電磁バルブが設けられていてもよい。この場合、制御装置１０は、給気管１２及び給気管１５のうちの一方又は両方を開放することによって、ガスが供給される経路を選択することができる。排気管１３及び排気管１６のそれぞれには、ガスの流路の開閉を行う不図示の電磁バルブが設けられていてもよい。この場合、制御装置１０は、排気管１３及び排気管１６のうちの一方又は両方を開放することによって、ガスが排出される経路を選択することができる。

【0119】

給気装置５によって内部空間Ｖにガスが供給されると、内部空間Ｖの気圧は容器本体１０２の外部の気圧よりも高くなり、排気口３７ｃから自然排出され得る。したがって、清浄装置１は、排気装置６を含まなくてもよい。

【0120】

気圧計７は、排気装置６に接続されている不図示の主排気管に接続されてもよく、閉塞体３２は計測口３７ｄを有していなくてもよい。この場合、気圧計７の計測値と排気装置６の排気流量とに基づいて、内部空間Ｖの気圧を算出することができる。

【0121】

清浄装置１は、気圧計７を含まなくてもよい。この場合でも、給気装置５の給気流量、排気装置６の排気流量、給気装置５の動作開始からの経過時間、及び排気装置６の動作開始からの経過時間から、内部空間Ｖの気圧は算出され得る。

【0122】

清浄装置１は、パーティクルカウンタ８を含まなくてもよい。この場合、例えば、清浄化開始からの経過時間が予め設定された時間に達したことが、ステップＳ５における終了条件として用いられてもよい。

【0123】

ガイドモニタ９の配置は、筐体１１の側面に限られず、ガイドモニタ９は、例えば、クリーンルームの外部に設けられてもよい。

【0124】

制御装置１０は、内部空間Ｖの気圧が陽圧を維持するように、給気装置５及び排気装置６の少なくともいずれかを制御してもよい。内部空間Ｖの気圧が陽圧であると、容器本体１０２の外部から内部空間Ｖにパーティクルが入り込む可能性が低減される。したがって、内部空間Ｖの清浄効率を向上させることが可能となる。

【0125】

図９～図１１に示される各処理は、ユーザが当該処理を開始するための操作を逐次入力したことに応じて実施されてもよい。

【0126】

ステップＳ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ７，Ｓ８の少なくともいずれかは、清浄装置１によって実施される代わりに、ユーザによって実施されてもよい。

【0127】

（付記）
［条項１］
開口とパネルを収納する内部空間とを有する容器本体と、前記開口を閉塞する蓋体と、を備える収納容器の前記内部空間を清浄化する清浄装置であって、
前記蓋体が外された状態の前記開口を閉塞する閉塞体であって、前記内部空間にガスが導入される給気口と、前記内部空間からガスが排出される排気口とを有する閉塞体と、
前記給気口を介して前記内部空間にガスを供給する給気装置と、
を備える、清浄装置。

【0128】

［条項２］
前記内部空間から前記排気口を介してガスを排出する排気装置を更に備える、条項１に記載の清浄装置。

【0129】

［条項３］
前記内部空間の気圧が陽圧を維持するように、前記給気装置又は前記排気装置を制御する制御装置を更に備える、条項２に記載の清浄装置。

【0130】

［条項４］
前記蓋体が外された状態の前記開口を前記閉塞体が閉塞するように、前記容器本体と前記閉塞体とを相対的に移動させる第１移動機構を更に備える、条項１～条項３のいずれか一項に記載の清浄装置。

【0131】

［条項５］
前記容器本体が載置されるとともに、前記容器本体を第１方向に移動するステージを含む載置台を更に備え、
前記閉塞体は、前記載置台の前記第１方向における端縁に設けられ、
前記第１移動機構は、前記ステージを含む、条項４に記載の清浄装置。

【0132】

［条項６］
前記載置台は、前記容器本体を前記ステージに固定するクランプ機構を更に含む、条項５に記載の清浄装置。

【0133】

［条項７］
前記蓋体を吸着する吸着パッドを有し、前記蓋体の施錠及び解錠を操作する開閉機構を更に備える、条項５又は条項６に記載の清浄装置。

【0134】

［条項８］
前記閉塞体及び前記開閉機構と前記容器本体とを前記第１方向と交差する第２方向に相対的に移動させる第２移動機構を更に備え、
前記閉塞体と前記開閉機構とは、前記第２方向に配列されている、条項７に記載の清浄装置。

【0135】

［条項９］
前記給気装置は、前記容器本体の底板に設けられた給気バルブを更に介して前記内部空間にガスを供給する、条項１～条項８のいずれか一項に記載の清浄装置。

【0136】

［条項１０］
前記給気装置は、パーティクル除去用のフィルタを有する、条項１～条項９のいずれか一項に記載の清浄装置。

【0137】

［条項１１］
前記内部空間から排出されたガスに含まれるパーティクルを計数するパーティクルカウンタを更に備える、条項１～条項１０のいずれか一項に記載の清浄装置。

【0138】

［条項１２］
前記内部空間の気圧を計測する気圧計を更に備え、
前記閉塞体は、前記気圧計が接続される計測口を更に有する、条項１～条項１１のいずれか一項に記載の清浄装置。

【0139】

［条項１３］
条項１～条項１２のいずれか一項に記載の清浄装置と、
前記収納容器と、
を備える、清浄システム。

【0140】

［条項１４］
開口とパネルを収納する内部空間とを有する容器本体と、前記開口を閉塞する蓋体と、を備える収納容器の前記内部空間を清浄化する清浄方法であって、
前記蓋体が外された状態の前記開口を閉塞する閉塞体であって、前記内部空間にガスが導入される給気口と、前記内部空間からガスが排出される排気口とを有する閉塞体で、前記蓋体が外された状態の前記開口を閉塞することと、
前記閉塞体の前記給気口を介して前記内部空間にガスを供給することと、
を含む、清浄方法。

【符号の説明】

【0141】

１…清浄装置、２…載置台、４…昇降機構（第２移動機構）、５…給気装置、６…排気装置、７…気圧計、８…パーティクルカウンタ、１０…制御装置、２３…移動機構（第１移動機構）、２４…クランプ機構、２６…ステージ、３１…開閉機構、３２…閉塞体、３５…吸着パッド、３７ｂ…給気口、３７ｃ…排気口、３７ｄ…計測口、５２…フィルタ、１００…清浄システム、１０１…パネル収納容器（収納容器）、１０２…容器本体、１０２ａ…開口、１０３…蓋体、１２２…底板、１５５…給気バルブ、Ｖ…内部空間。

【要約】

【課題】清浄化のための追加の構造を収納容器に設けることなく、収納容器の内部空間を清浄化することができる清浄装置、清浄システム、及び清浄方法を提供すること。
【解決手段】清浄装置１は、開口とパネルを収納する内部空間とを有する容器本体と、開口を閉塞する蓋体と、を備える収納容器の内部空間を清浄化する清浄装置である。清浄装置１は、蓋体が外された状態の開口を閉塞する閉塞体であって、内部空間にガスが導入される給気口と、内部空間からガスが排出される排気口とを有する閉塞体と、給気口を介して内部空間にガスを供給する給気装置と、を備える。
【選択図】図４

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】