特許 7607187 質量分析計のサンプラーコーンおよびインターフェース、ならびにそれらを互いに密封する方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-12-19

(45)【発行日】2024-12-27

(54)【発明の名称】質量分析計のサンプラーコーンおよびインターフェース、ならびにそれらを互いに密封する方法

(51)【国際特許分類】

   H01J 49/06 20060101AFI20241220BHJP

   H01J 49/10 20060101ALI20241220BHJP

   H01J 49/42 20060101ALI20241220BHJP

【ＦＩ】

H01J49/06 700

H01J49/10 500

H01J49/42 150

H01J49/42

【請求項の数】 41

(21)【出願番号】P 2021522983

(86)(22)【出願日】2019-10-24

(65)【公表番号】

(43)【公表日】2022-01-14

(86)【国際出願番号】 IB2019059140

(87)【国際公開番号】W WO2020084570

(87)【国際公開日】2020-04-30

【審査請求日】2022-10-21

(31)【優先権主張番号】62/750,114

(32)【優先日】2018-10-24

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(73)【特許権者】

【識別番号】524317345

【氏名又は名称】パーキンエルマー サイエンティフィック カナダ アンリミテッド ライアビリティ カンパニー

(74)【代理人】

【識別番号】100103610

【弁理士】

【氏名又は名称】▲吉▼田 和彦

(74)【代理人】

【識別番号】100109070

【弁理士】

【氏名又は名称】須田 洋之

(74)【代理人】

【識別番号】100119013

【弁理士】

【氏名又は名称】山崎 一夫

(74)【代理人】

【識別番号】100130937

【弁理士】

【氏名又は名称】山本 泰史

(74)【代理人】

【識別番号】100144451

【弁理士】

【氏名又は名称】鈴木 博子

(74)【代理人】

【識別番号】100224672

【弁理士】

【氏名又は名称】深田 孝徳

(72)【発明者】

【氏名】バディエイ ハミッド

(72)【発明者】

【氏名】チャン ブライアン

【審査官】小林 幹

(56)【参考文献】

【文献】実開平０４－０６９８４６（ＪＰ，Ｕ）

【文献】カナダ国特許出願公開第０２２２０５７７（ＣＡ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｊ ４０／００－４９／４８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

質量分析計アセンブリであって、
凸部を備える第１の表面を含む、質量分析器コーンと、
前記凸部を受け入れるように構成された凹部を備える第２の表面を含む質量分析器と、
前記第１の表面と前記第２の表面との間に配置される平坦な金属ガスケットと、を含み、
前記第１の表面および前記第２の表面は、前記質量分析器に結合された前記質量分析器コーンに基づいて前記凹部に前記平坦な金属ガスケットを圧潰することによって液密なシールを提供するように構成されている、質量分析計アセンブリ。

【請求項2】

前記質量分析器コーンは、前記質量分析器上の第２のネジ山に結合するように構成された第１のネジ山をさらに含む、請求項１に記載の質量分析計アセンブリ。

【請求項3】

前記平坦な金属ガスケットは、０．１ｍｍ～０．５ｍｍの厚さを含む、請求項１に記載の質量分析計アセンブリ。

【請求項4】

前記凸部、前記凹部、および前記平坦な金属ガスケットの各々が、同じ熱膨張係数を有する材料を含む、請求項１に記載の質量分析計アセンブリ。

【請求項5】

前記平坦な金属ガスケットは、軟質金属ガスケットをさらに含む、請求項１に記載の質量分析計アセンブリ。

【請求項6】

前記平坦な金属ガスケットは、０．２ｍｍ～０．２５ｍｍの厚さを含み、前記凸部が、０．２ｍｍ～１ｍｍ未満の高さを有する三角形の凸部として構成され、前記凹部が、０．２ｍｍ～１ｍｍ未満の深さを有する三角形の凹部として構成されている、請求項１に記載の質量分析計アセンブリ。

【請求項7】

質量分析器コーンを質量分析器インターフェースに密封する方法であって、前記方法が、
前記質量分析器コーンの第１の表面の凸部を前記質量分析器インターフェースの第２の表面の凹部に挿入し、前記質量分析器コーンの凸部と前記質量分析器インターフェースの凹部との間に平坦な金属ガスケットを圧潰することによって、前記質量分析器コーンを前記質量分析器インターフェースに結合して、前記質量分析器コーンと前記質量分析器インターフェースとの間に液密なシールを提供することを含む、方法。

【請求項8】

前記質量分析器コーンの第１のネジ山を前記質量分析器インターフェースの第２のネジ山に締め付けることにより、前記凸部と前記凹部との間の前記平坦な金属ガスケットが圧潰される、請求項７に記載の方法。

【請求項9】

前記平坦な金属ガスケットは、０．２ｍｍ～０．２５ｍｍの厚さを含み、前記凸部が、０．２ｍｍ～１ｍｍ未満の高さを有する三角形の凸部として構成され、前記凹部が、０．２ｍｍ～１ｍｍ未満の深さを有する三角形の凹部として構成されている、請求項７に記載の方法。

【請求項10】

前記凸部、前記凹部、および前記平坦な金属ガスケットの各々が、同じ熱膨張係数を有する材料を含む、請求項７に記載の方法。

【請求項11】

前記平坦な金属ガスケットは、軟質金属ガスケットをさらに含む、請求項７に記載の方法。

【請求項12】

質量分析計であって、
凸部を備える第１の表面を含む質量分析器コーンと、
前記凸部を受け入れる凹部を備える第２の表面を含む質量分析器インターフェースと、
前記第１の表面と前記第２の表面との間に配置される平坦な金属ガスケットと、
質量分析器と、を含み、
前記第１の表面および前記第２の表面は、前記質量分析器インターフェースに結合された前記質量分析器コーンに基づいて前記凹部に前記平坦な金属ガスケットを圧潰することによって液密なシールを提供するように構成されている、質量分析計。

【請求項13】

イオン化源に流体的に結合されたサンプル導入デバイスをさらに含み、前記イオン化源が、前記質量分析器コーンのオリフィスに流体的に結合されている、請求項１２に記載の質量分析計。

【請求項14】

検出器をさらに含む、請求項１３に記載の質量分析計。

【請求項15】

前記イオン化源が、誘導結合プラズマを含む、請求項１４に記載の質量分析計。

【請求項16】

前記質量分析器が、少なくとも１つの四重極を含む、請求項１５に記載の質量分析計。

【請求項17】

前記検出器が、電子増倍管を含む、請求項１６に記載の質量分析計。

【請求項18】

前記平坦な金属ガスケットは、０．１ｍｍ～０．５ｍｍの厚さを含む、請求項１２に記載の質量分析計。

【請求項19】

キットであって、
質量分析器の第２の表面の凹部によって受け入れられるように構成された凸部を備える第１の表面を含む質量分析器コーンと、
前記第１の表面と前記第２の表面との間に載置されるようにサイズ設定および構成された平坦な金属ガスケットと、
前記第１の表面は、質量分析器に結合された前記質量分析器コーンに基づいて前記凹部に前記平坦な金属ガスケットを圧潰することによって液密なシールを提供するように構成されている、キット。

【請求項20】

前記質量分析器をさらに含む、請求項１９に記載のキット。

【請求項21】

前記質量分析器コーンのネジ山を前記質量分析器のネジ山に締め付けて前記平坦な金属ガスケットを圧潰し、液密なシールを提供するためのプリセットトルクを含むツールをさらに含む、請求項２０に記載のキット。

【請求項22】

質量分析計サンプラーコーンであって、
サンプルオリフィスであって、イオンを含む流体ビームを前記サンプルオリフィスに提供するイオン化源に流体的に結合するように構成された、サンプルオリフィスと、
質量分析器の第２の表面の凹部により受け入れられるように構成された凸部を備える第１の表面であって、前記質量分析器に結合された前記サンプラーコーンに基づいて前記凹部に平坦な金属ガスケットを圧潰することによって液密なシールを提供するように構成されている第１の表面と、を含む、質量分析計サンプラーコーン。

【請求項23】

前記サンプラーコーンが、前記質量分析器上のネジ山に結合するように構成されたネジ山をさらに含む、請求項２２に記載の質量分析計サンプラーコーン。

【請求項24】

質量分析器コーンに結合するように構成された質量分析器インターフェースであって、前記質量分析器インターフェースが、第１の表面を含み、前記第１の表面が、質量分析器コーンの凸部を受け入れるように構成され、前記質量分析器インターフェースに結合された前記質量分析器コーンに基づいて凹部に平坦な金属ガスケットを圧潰することを可能にすることによって液密なシールを提供するように構成された凹部を備えている、質量分析器インターフェース。

【請求項25】

前記質量分析器インターフェースが、前記質量分析器コーン上のネジ山に結合するように構成されたネジ山をさらに含む、請求項２４に記載の質量分析器インターフェース。

【請求項26】

前記凸部および前記凹部は、それぞれ三角形の断面を有する、請求項１に記載の質量分析計アセンブリ。

【請求項27】

前記凸部および前記凹部は、それぞれ正方形の断面又は長方形の断面を有する、請求項１に記載の質量分析計アセンブリ。

【請求項28】

前記質量分析器コーンは、サンプラーコーンを含む、請求項１に記載の質量分析計アセンブリ。

【請求項29】

前記凸部および前記凹部は、それぞれ三角形の断面を有する、請求項７に記載の質量分析器コーンを質量分析器インターフェースに密封する方法。

【請求項30】

前記凸部および前記凹部は、それぞれ正方形の断面又は長方形の断面を有する、請求項７に記載の質量分析器コーンを質量分析器インターフェースに密封する方法。

【請求項31】

前記質量分析器コーンは、サンプラーコーンを含む、請求項７に記載の質量分析器コーンを質量分析器インターフェースに密封する方法。

【請求項32】

前記凸部および前記凹部は、それぞれ三角形の断面を有する、請求項１２に記載の質量分析計。

【請求項33】

前記凸部および前記凹部は、それぞれ正方形の断面又は長方形の断面を有する、請求項１２に記載の質量分析計。

【請求項34】

前記質量分析器コーンは、サンプラーコーンを含む、請求項１２に記載の質量分析計。

【請求項35】

前記凸部は、三角形の断面を有する、請求項１９に記載のキット。

【請求項36】

前記凸部は、正方形の断面又は長方形の断面を有する、請求項１９に記載のキット。

【請求項37】

前記質量分析器コーンは、サンプラーコーンを含む、請求項１９に記載のキット。

【請求項38】

前記凸部は、三角形の断面を有する、請求項２２に記載の質量分析計サンプラーコーン。

【請求項39】

前記凸部は、正方形の断面又は長方形の断面を有する、請求項２２に記載の質量分析計サンプラーコーン。

【請求項40】

前記凹部は、三角形の断面を有する、請求項２４に記載の質量分析器インターフェース。

【請求項41】

前記凹部は、正方形の断面又は長方形の断面を有する、請求項２４に記載の質量分析器インターフェース。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

シールを提供するために一緒に使用され得る質量分析計のサンプラーコーン、金属ガスケット、およびインターフェースの特定の構成。

【0002】

優先権出願
本出願は、２０１８年１０月２４日に提出された米国特許仮出願第６２／７５０，１１４号の優先権および利益を主張し、その開示全体は、あらゆる目的のために参照により本明細書に組み込まれる。

【背景技術】

【0003】

質量分析計の分析には、大気圧よりも極めて低い圧力で動作する様々な真空ステージが必要となっている。システム内の様々な構成要素間において、リークが発生する場合があり、質量測定における不正確さおよび精度の低減につながる可能性がある。

【発明の概要】

【0004】

一態様では、質量分析計アセンブリは、サンプラーコーン、質量分析器インターフェース、およびガスケットを含む。一部の例では、サンプラーコーンは、イオンを含む流体ビームをサンプルオリフィスに提供するイオン化源に流体的に結合するように構成されたサンプルオリフィスを含み、サンプラーコーンは、サンプラーコーンの表面上の第１の表面特徴部を含む。特定の例では、質量分析器インターフェースは、サンプラーコーンに結合するように構成することができ、質量分析器インターフェースは、インターフェースの表面上の第２の表面特徴部を含む。一部の構成では、ガスケットは、第１の表面特徴部と第２の表面特徴部との間に存在し得、第１の表面特徴部は、ガスケットの第１の表面に力を与え、第２の表面特徴部は、ガスケットの第２の表面に力を与え、サンプラーコーンがインターフェースに結合されている場合に、サンプラーコーンとインターフェースとの間に実質的に液密なシール（または液密シール）を提供する。

【0005】

特定の実施形態では、サンプラーコーンの第１の表面特徴部は、凹部を含み、質量分析器インターフェースの第２の表面特徴部は、凸部を含み、凹部は、凸部と係合し、凹部と凸部との間のガスケットを圧潰して、サンプラーコーンが質量分析器インターフェースに結合されるときに、サンプラーコーンとインターフェースとの間に実質的に液密なシール（または液密シール）を提供するように構成されている。他の実施形態では、サンプラーコーンの第１の表面特徴部は、凸部を含み、インターフェースの第２の表面特徴部は、凹部を含み、凸部は、凹部と係合し、凹部と凸部との間のガスケットを圧潰して、サンプラーコーンが質量分析器インターフェースに結合されるときに、サンプラーコーンとインターフェースとの間に実質的に液密なシール（または液密シール）を提供するように構成されている。一部の例では、サンプラーコーンは、質量分析器インターフェース上のネジ山に結合するように構成されたネジ山をさらに含む。他の例では、サンプラーコーンの第１の表面特徴部は、第１の凸部を含み、質量分析器インターフェースの第２の表面特徴部は、第２の凸部を含み、第１の凸部は、ガスケットの第１の表面に力を与えるように構成され、第２の凸部は、ガスケットの第２の表面に力を与えるように構成されて、ガスケットを圧縮して、サンプラーコーンと質量分析器インターフェースとの間に実質的に液密なシール（または液密シール）を提供する。特定の実施形態では、サンプラーコーンおよび質量分析器インターフェースのうちの少なくとも１つは、追加の表面特徴部をさらに含む。他の実施形態では、ガスケットは、約０．１ｍｍ～約０．５ｍｍの厚さを有する金属ガスケットを含む。一部の例では、第１の表面特徴部、第２の表面特徴部、およびガスケットは各々、実質的に同様の熱膨張係数を有する材料を含む。他の例では、ガスケットは多層金属ガスケットである。

【0006】

一部の実施形態では、ガスケットは、約０．２ｍｍ～約０．２５ｍｍの厚さを含み、第１の表面特徴部は、１ｍｍ未満の高さを有する三角形の凸部として構成され、第２の表面特徴部は、１ｍｍ未満の高さを有する三角形の凸部として構成されている。

【0007】

他の実施形態では、ガスケットは、約０．２ｍｍ～約０．２５ｍｍの厚さを含み、第１の表面特徴部は、１ｍｍ未満の高さを有する三角形の凸部として構成され、第２の表面特徴部は、１ｍｍ未満の深さを有する三角形の凹部として構成されている。

【0008】

一部の構成では、ガスケットは、約０．２ｍｍ～約０．２５ｍｍの厚さを含み、第１の表面特徴部は、１ｍｍ未満の深さを有する三角形の凹部として構成され、第２の表面特徴部は、１ｍｍ未満の高さを有する三角形の凸部として構成されている。

【0009】

別の態様では、サンプラーコーンを質量分析器インターフェースに密封する方法が記載されている。一部の場合では、この方法は、サンプラーコーンの第１の表面特徴部と質量分析器インターフェースの第２の表面特徴部との間の金属ガスケットを圧潰して、サンプラーコーンと質量分析器インターフェースとの間に実質的に液密なシール（または液密シール）を提供することにより、サンプラーコーンを質量分析器インターフェースに結合して、サンプラーコーンと質量分析器インターフェースとの間に実質的に液密なシール（または液密シール）を提供することを含む。

【0010】

一部の例では、この方法は、サンプラーコーンの第１のネジ山を質量分析器インターフェースの第２のネジ山に締め付けることにより、第１の表面特徴部と第２の表面特徴部との間の金属ガスケットを圧潰することを含む。一部の場合では、サンプラーコーンの第１の表面特徴部は、凹部を含み、質量分析器インターフェースの第２の表面特徴部は、凸部を含み、凹部は、凸部と係合し、凹部と凸部との間のガスケットを圧潰して、サンプラーコーンがインターフェースに結合されるときに、サンプラーコーンとインターフェースとの間に実質的に液密なシール（または液密シール）を提供するように構成されている。他の例では、サンプラーコーンの第１の表面特徴部は、凸部を含み、質量分析器インターフェースの第２の表面特徴部は、凹部を含み、凸部は、凹部と係合し、凹部と凸部との間のガスケットを圧潰して、サンプラーコーンが質量分析器インターフェースに結合されるときに、サンプラーコーンとインターフェースとの間に実質的に液密なシール（または液密シール）を提供するように構成されている。一部の実施形態では、サンプラーコーンの第１の表面特徴部は、第１の凸部を含み、質量分析器インターフェースの第２の表面特徴部は、第２の凸部を含み、第１の凸部は、ガスケットの第１の表面に力を与えるように構成され、第２の凸部は、ガスケットの第２の表面に力を与えるように構成されて、ガスケットを圧縮して、実質的に液密なシール（または液密シール）を提供する。

【0011】

一部の例では、ガスケットは、約０．２ｍｍ～約０．２５ｍｍの厚さを含み、第１の表面特徴部は、１ｍｍ未満の高さを有する三角形の凸部として構成され、第２の表面特徴部は、１ｍｍ未満の高さを有する三角形の凸部として構成されている。

【0012】

特定の例では、第１の表面特徴部、第２の表面特徴部、およびガスケットは各々、実質的に同様の（または同じ）熱膨張係数を有する材料を含む。一部の例では、ガスケットは多層金属ガスケットである。

【0013】

別の態様では、質量分析計は、イオンを含む流体ビームをサンプルオリフィスに提供するイオン化源に流体的に結合するように構成されたサンプルオリフィスを含むサンプラーコーンであって、サンプラーコーンが、サンプラーコーンの表面上の第１の表面特徴部を含む、サンプラーコーンと、サンプラーコーンに結合するように構成された質量分析器インターフェースであって、質量分析器インターフェースが、質量分析器インターフェースの表面上の第２の表面特徴部を含む、質量分析器インターフェースと、第１の表面特徴部と第２の表面特徴部との間のガスケットであって、第１の表面特徴部が、ガスケットの第１の表面に力を与え、第２の表面特徴部が、ガスケットの第２の表面に力を与え、サンプラーコーンが質量分析器インターフェースに結合されている場合に、サンプラーコーンとインターフェースとの間に実質的に液密なシール（または液密シール）を提供する、ガスケットと、質量分析器と、を含む。

【0014】

特定の構成では、質量分析計は、イオン化源に流体的に結合されたサンプル導入デバイスを含み、イオン化源は、サンプラーコーンのオリフィスに流体的に結合されている。他の構成では、質量分析計は、検出器を含む。一部の例では、イオン化源は、誘導結合プラズマを含む。特定の例では、質量分析器は、少なくとも１つの四重極を含む。一部の実施形態では、検出器は、電子増倍管を含む。一部の例では、サンプラーコーンの第１の表面特徴部は、凹部を含み、質量分析器インターフェースの第２の表面特徴部は、凸部を含み、凹部は、凸部と係合し、凹部と凸部との間のガスケットを圧潰して、サンプラーコーンが質量分析器インターフェースに結合されるときに、サンプラーコーンと質量分析器インターフェースとの間に実質的に液密なシール（または液密シール）を提供するように構成されている。他の例では、サンプラーコーンの第１の表面特徴部は、凸部を含み、質量分析器インターフェースの第２の表面特徴部は、凹部を含み、凸部は、凹部と係合し、凹部と凸部との間のガスケットを圧潰して、サンプラーコーンが質量分析器インターフェースに結合されるときに、サンプラーコーンとインターフェースとの間に実質的に液密なシール（または液密シール）を提供するように構成されている。他の実施形態では、サンプラーコーンの第１の表面特徴部は、第１の凸部を含み、質量分析器インターフェースの第２の表面特徴部は、第２の凸部を含み、第１の凸部は、ガスケットの第１の表面に力を与えるように構成され、第２の凸部は、ガスケットの第２の表面に力を与えるように構成されて、ガスケットを圧縮して、サンプラーコーンと質量分析器インターフェースとの間に実質的に液密なシール（または液密シール）を提供する。一部の実施形態では、ガスケットは、約０．１ｍｍ～約０．５ｍｍの厚さを含む。

【0015】

別の態様では、キットは、イオンを含む流体ビームをサンプルオリフィスに提供するイオン化源に流体的に結合するように構成されたサンプルオリフィスを含むサンプラーコーンであって、サンプラーコーンが、質量分析計のインターフェース上の第２の表面特徴部と係合するように構成された第１の表面特徴部を含む、サンプラーコーンと、サンプラーコーンの第１の表面特徴部とインターフェースの第２の表面特徴部との間に載置されるようにサイズ設定および配置され、サンプラーコーンが質量分析計のインターフェースに結合されるときに、サンプラーコーンの第１の表面特徴部とインターフェースの第２の表面特徴部との間で圧潰されるように構成されている、ガスケット、例えば金属ガスケットと、サンプラーコーンおよび金属ガスケットを使用してサンプラーコーンを質量分析計のインターフェースに結合し、サンプラーコーンと質量分析計のインターフェースとの間に実質的に液密なシール（または液密シール）を提供するための書面または電子的インストラクションと、を含む。一部の例では、キットはインターフェースを含む。他の例では、キットは、サンプラーコーンのネジ山をインターフェースのネジ山に締め付けて金属ガスケットを圧潰し、実質的に液密なシールを提供するためのプリセットトルクを含むツールを含む。

【0016】

別の態様では、質量分析計サンプラーコーンは、サンプルオリフィスであって、イオンを含む流体ビームをサンプルオリフィスに提供するイオン化源に流体的に結合するように構成された、サンプルオリフィスと、サンプラーコーンの表面上の第１の表面特徴部であって、第１の表面特徴部が、金属ガスケットの表面に力を与えて、サンプラーコーンの第１の表面特徴部と質量分析器インターフェースの第２の表面特徴部との間で金属ガスケットを圧潰して、サンプラーコーンと質量分析器との間に実質的に液密なシール（または液密シール）を提供するように構成されている、第１の表面特徴部と、を含む。

【0017】

特定の実施形態では、サンプラーコーンの第１の表面特徴部は、凹部を含む。他の実施形態では、サンプラーコーンの第１の表面特徴部は、凸部を含む。一部の例では、サンプラーコーンは、質量分析器インターフェース上のネジ山に結合するように構成されたネジ山をさらに含む。

【0018】

追加の態様では、サンプラーコーンに結合するように構成された質量分析計インターフェースは、第１の表面特徴部を含み、第１の表面特徴部が、金属ガスケットの表面に力を与えて、質量分析計インターフェースの第１の表面特徴部とサンプラーコーンの第２の表面特徴部との間で金属ガスケットを圧潰して、サンプラーコーンと質量分析計インターフェースとの間に実質的に液密なシール（または液密シール）を提供するように構成されている。

【0019】

一部の例では、質量分析計インターフェースの第１の表面特徴部は、凹部を含む。他の例では、質量分析計インターフェースコーンの第１の表面特徴部は、凸部を含む。一部の例では、質量分析計インターフェースは、サンプラーコーン上のネジ山に結合するように構成されたネジ山をさらに含む。

【0020】

別の態様では、サンプルオリフィスおよび表面特徴部を含む質量分析計サンプラーコーンが記載されている。一部の構成では、サンプルオリフィスは、イオンを含む流体ビームをサンプルオリフィスに提供するイオン化源に流体的に結合するように構成されている。特定の例では、サンプラーコーンは、サンプラーコーンの表面上の表面特徴部を含み、表面特徴部は、サンプラーコーンの表面特徴部と質量分析計のインターフェースの表面特徴部との間の金属ガスケットと係合かつ圧潰して、サンプラーコーンと質量分析器のインターフェースとの間に実質的に液密なシールを提供するように構成されている。

【0021】

特定の実施形態では、サンプラーコーンの表面特徴部は、凹部を含み、インターフェースの表面特徴部は、凸部を含み、凹部は、凸部と係合し、サンプラーコーンがインターフェースに締め付けられるときに、凹部と凸部との間の金属ガスケットを圧潰するように構成されている。他の実施形態では、サンプラーコーンの表面特徴部は、凸部を含み、インターフェースの表面特徴部は、凹部を含み、凸部は、凹部と係合し、サンプラーコーンがインターフェースに締め付けられるときに、凹部と凸部との間の金属ガスケットを圧潰するように構成されている。

【0022】

一部の例では、サンプラーコーンは、インターフェース上のネジ山に結合するように構成されたネジ山をさらに含む。

【0023】

他の例では、サンプラーコーンの表面特徴部は、円形の凹部を含み、インターフェースの表面特徴部は、円形の凸部を含み、円形の凹部は、金属ガスケットを介して円形の凸部と係合し、円形の凹部と円形の凸部との間の金属ガスケットを圧潰して、サンプラーコーンと質量分析器のインターフェースとの間に実質的に液密なシール（または液密シール）を提供するように構成されている。一部の例では、円形の凹部は１ｍｍ未満の深さを含み、金属ガスケットは０．５ｍｍ未満の厚さを含む。

【0024】

他の例では、サンプラーコーンは、金属ガスケットと同様の材料を含む。一部の実施形態では、サンプラーコーンは、アルミニウム、ニッケル、プラチナ、またはプラチナチップを備えたニッケルベースのうちの１つ以上を含む。

【0025】

特定の実施形態では、サンプラーコーンは、サンプラーコーンの内径がサンプルオリフィスからサンプラーコーンの表面特徴部が存在するサンプラーコーンのベースまで増加する円錐形を含む。

【0026】

他の実施形態では、サンプラーコーンは、サンプラーコーン上の第２の表面特徴部を含み、第２の表面特徴部は、表面特徴部から分離されている。

【0027】

追加の態様では、質量分析計インターフェースは、サンプラーコーンの第２のネジ山に結合するように構成された第１のネジ山を含む。一部の例では、インターフェースは、サンプラーコーン上の第２の表面特徴部と係合するように構成された第１の表面特徴部をさらに含む。一部の構成では、第１の表面特徴部および第２の表面特徴部は、第１の表面特徴部と第２の表面特徴部との間に位置決めされた金属ガスケットを圧潰して、サンプラーコーンの第２のネジ山がインターフェースの第１のネジ山に嵌合する場合に、サンプラーコーンとインターフェースとの間に実質的に液密なシール（または液密シール）を提供する。

【0028】

一部の実施形態では、インターフェースの第１の表面特徴部は、凹部を含み、サンプラーコーンの第２の表面特徴部は、凸部を含み、凹部は、凸部と係合し、サンプラーコーンがインターフェースに締め付けられるときに、凹部と凸部との間の金属ガスケットを圧潰するように構成されている。

【0029】

他の実施形態では、インターフェースの第１の表面特徴部は、凸部を含み、サンプラーコーンの第２の表面特徴部は、凹部を含み、凸部は、凹部と係合し、サンプラーコーンがインターフェースに締め付けられるときに、凹部と凸部との間の金属ガスケットを圧潰するように構成されている。

【0030】

追加の実施形態では、インターフェースの第１の表面特徴部は、円形の凹部を含み、サンプラーコーンの第２の表面特徴部は、円形の凸部を含み、円形の凹部は、円形の凸部と係合し、円形の凹部と円形の凸部との間の金属ガスケットを圧潰して、サンプラーコーンと質量分析器のインターフェースとの間に実質的に液密なシール（または液密シール）を提供するように構成されている。一部の例では、円形の凹部は１ｍｍ未満の深さを含み、金属ガスケットは０．５ｍｍ未満の厚さを含む。

【0031】

他の例では、インターフェースの第１の表面特徴部は、円形の凸部を含み、サンプラーコーンの第２の表面特徴部は、円形の凹部を含み、円形の凸部は、円形の凹部と係合し、円形の凸部と円形の凹部との間の金属ガスケットを圧潰して、サンプラーコーンと質量分析器のインターフェースとの間に実質的に液密なシール（または液密シール）を提供するように構成されている。

【0032】

一部の実施形態では、インターフェースは、金属ガスケットと同様の材料を含む。他の実施形態では、インターフェースはアルミニウムを含む。

【0033】

一部の例では、質量分析計インターフェースは、インターフェース上の第２の表面特徴部を含み、第２の表面特徴部は、表面特徴部から分離されている。

【0034】

一部の実施形態では、インターフェースは、インターフェースとサンプラーコーンとの間にゴム製のＯリングを使用せずにサンプラーコーンに結合するように構成されている。

【0035】

別の態様では、質量分析計は、イオンを含む流体ビームをサンプルオリフィスに提供するイオン化源に流体的に結合するように構成されたサンプルオリフィスを含むサンプラーコーンを含み、サンプラーコーンは、第１のネジ山および第１の表面特徴部を含む。質量分析計はまた、金属ガスケット、および質量分析器に結合され、サンプラーコーンの第１のネジ山に結合するように構成された第２のネジ山を含むインターフェースを含み得、インターフェースは、サンプラーコーンの第１の表面特徴部と係合するように構成された第２の表面特徴部をさらに含み、サンプラーコーンの第１のネジ山がインターフェースの第２のネジ山に嵌合される場合、金属ガスケットは、第１の表面特徴部と第２の表面特徴部との間で圧潰され、サンプラーコーンとインターフェースとの間に実質的に液密なシール（または液密シール）を提供する。

【0036】

特定の実施形態では、質量分析計は、サンプル導入デバイス、イオン化源、および検出器を含み、サンプル導入デバイスは、イオン化源に流体的に結合され、サンプラーコーンのサンプルオリフィスは、イオン化源に流体的に結合され、質量分析器は、検出器に流体的に結合されている。一部の実施形態では、イオン化源は、誘導結合プラズマを含む。他の例では、質量分析器は、少なくとも１つの四重極を含む。一部の実施形態では、検出器は、電子増倍管を含む。他の例では、検出器は飛行時間デバイスを含む。

【0037】

特定の実施形態では、サンプラーコーンの第１の表面特徴部は、凹部を含み、インターフェースの第２の表面特徴部は、凹部と係合するように構成された凸部を含み、金属ガスケットは、凹部と凸部との間に位置決めされ、サンプラーコーンの第１のネジ山がインターフェースの第２のネジ山に嵌合する場合に圧潰される。

【0038】

一部の例では、サンプラーコーンの第１の表面特徴部は、凸部を含み、インターフェースの第２の表面特徴部は、凸部と係合するように構成された凹部を含み、金属ガスケットは、凸部と凹部との間に位置決めされ、サンプラーコーンの第１のネジ山がインターフェースの第２のネジ山に嵌合する場合に圧潰される。

【0039】

他の例では、サンプラーコーンの第１の表面特徴部は、円形の凹部を含み、インターフェースの第２の表面特徴部は、円形の凹部と係合するように構成された円形の凸部を含み、金属ガスケットは、円形の凹部と円形の凸部との間に位置決めされ、サンプラーコーンの第１のネジ山がインターフェースの第２のネジ山に嵌合する場合に圧潰される。

【0040】

さらなる実施形態では、サンプラーコーンの第１の表面特徴部は、円形の凸部を含み、インターフェースの第２の表面特徴部は、円形の凸部と係合するように構成された円形の凹部を含み、金属ガスケットは、円形の凸部と円形の凹部との間に位置決めされ、サンプラーコーンの第１のネジ山がインターフェースの第２のネジ山に嵌合する場合に圧潰される。

【0041】

別の態様では、キットは、サンプラーコーン、金属ガスケット、およびサンプラーコーンならびにガスケットを使用するためのインストラクションを含む。一部の実施形態では、キットのサンプラーコーンは、イオンを含む流体ビームをサンプルオリフィスに提供するイオン化源に流体的に結合するように構成されたサンプルオリフィスを含み、サンプラーコーンは、インターフェース上の第２の表面特徴部と係合するように構成された第１の表面特徴部を含む。一部の実施形態では、金属ガスケットは、サンプラーコーンの第１の表面特徴部とインターフェースの第２の表面特徴部との間に載置されるようにサイズ設定および配置され、サンプラーコーンが質量分析器のインターフェースに結合される場合に、サンプラーコーンの第１の表面特徴部とインターフェースの第２の表面特徴部との間で圧潰されるように構成され得る。特定の例では、キットは、サンプラーコーンおよび金属ガスケットを使用してサンプラーコーンを質量分析器のインターフェースに結合し、サンプラーコーンと質量分析器のインターフェースとの間に実質的に液密なシール（または液密シール）を提供するためのインストラクションを含む。

【0042】

一部の例では、キットはまた、インターフェースを含み得る。他の例では、キットは、サンプラーコーンを過剰締め付けせずに、サンプラーコーンをインターフェースに締め付けて金属ガスケットを圧潰して、実質的に液密なシール（または液密シール）を提供するためのプリセットトルクを含むツールを含み得る。

【0043】

追加の態様では、サンプラーコーンを質量分析器インターフェースに結合して、サンプラーコーンと質量分析器インターフェースとの間に実質的に液密なシール（または液密シール）を提供する方法が提供される。一部の例では、この方法は、サンプラーコーンの第１の表面特徴部と質量分析器インターフェースの第２の表面特徴部との間の金属ガスケットを圧潰して、サンプラーコーンと質量分析器インターフェースとの間に実質的に液密なシール（または液密シール）を提供することを含む。他の例では、この方法は、サンプラーコーンの第１のネジ山を質量分析器インターフェースの第２のネジ山に選択されたトルク値で締め付けることにより、第１の表面特徴部と第２の表面特徴部との間の金属ガスケットを圧潰することを含む。

【0044】

追加の機能、態様、実施形態、および構成について、以下でより詳細に説明する。

【0045】

特定の実施形態および構成は、以下の添付の図を参照して説明される。

【図面の簡単な説明】

【0046】

【図1】一部の例による、サンプラーコーンおよびインターフェースの図である。

【図2A】サンプラーコーン、金属ガスケット、およびインターフェースの分解図である。

【図2B】特定の構成に従って、図２Ａの構成要素が互いに組み付けられていることを示す図である。

【図2C】サンプラーコーン、金属ガスケット、およびインターフェースの分解図である。

【図2D】特定の構成に従って、図２Ｃの構成要素が互いに組み付けられていることを示す図である。

【図3】一部の実施形態による、凸部として構成された表面特徴部を含むサンプラーコーン、および凹部として構成された表面特徴部を含むインターフェースの図である。

【図4】一部の実施形態による、凹部として構成された表面特徴部を含むサンプラーコーン、および凹部として構成された表面特徴部を含むインターフェースの図である。

【図5】特定の実施形態による、凸部として構成された表面特徴部を含むサンプラーコーン、および凸部として構成された表面特徴部を含むインターフェースの図である。

【図6A】特定の例による、上面が凸部を含む金属ガスケットの図である。

【図6B】特定の例による、上面がＵ字形を含む金属ガスケットの図である。

【図6C】特定の例による、上面および下面が各々Ｕ字形を含む金属ガスケットの図である。

【図6D】特定の例による、上面がＵ字形を含み、下面が凸部を含む金属ガスケットの図である。

【図6E】一部の構成による、上面が下面とは異なる長さを有するガスケットの図である。

【図6F】特定の例による、各表面に凹部を含むガスケットの図である。

【図6G】一部の実施形態による、各表面でオフセットされた凹部を含むガスケットの図である。

【図6H】一部の例による、ガスケットの表面全体に異なる材料を含むガスケットの図である。

【図6I】一部の例による、ガスケットの表面全体に異なる厚さを含むガスケットの図である。

【図7A】ガスケットの分断図であり、２つの構成要素が各々表面特徴部を含む。

【図7B】一部の例による、図７Ａの構成要素の組み付け図である。

【図8A】特定の例による、ガスケットに圧縮力を与え得る平坦面を備えた表面特徴部を各々が含む、２つの構成要素の組み付け図である。

【図8B】一部の例による、２つの構成要素の組み付け図であり、一方の構成要素が平坦面を有する表面特徴部を含み、他方の構成要素がガスケットに圧縮力を与え得る尖鋭端部または先端部を有する表面特徴部を含む。

【図9A】一部の例による、２つの構成要素の組み付け図であり、各構成要素がガスケットに圧縮力を与え得る２つ以上の表面特徴部を含む。

【図9B】一部の例による、２つの構成要素の組み付け図であり、各構成要素がガスケットに圧縮力を与え得る２つ以上の表面特徴部を含み、少なくとも１つの表面特徴部がオフセットされている。

【図10】一部の実施形態による、質量分析計の特定の構成要素の図である。

【図11】特定の実施形態による、サンプラーコーンの嵌合面上の第１の表面特徴部および第２の表面特徴部を含むサンプラーコーンの図である。

【図12】一部の例による、ガスケットを介してサンプラーコーンおよびインターフェースを互いに結合して、それらの間に実質的に液密なシールを提供する方法を示すフローチャートである。

【図13】一部の構成による、サンプラーコーンの底面の周縁部に凹部またはディンプルを示すサンプラーコーンの断面図である。

【図14】特定の実施形態による、凸部、金属ガスケット、および溝を含むインターフェースを含むサンプラーコーンの図である。

【図15A】実質的に液密なシールを提供するために使用され得る２つの構成要素およびガスケットを示す。

【図15B】実質的に液密なシールを提供するために使用され得る２つの構成要素およびガスケットを示す。

【0047】

本開示の利点を考慮すると、図に示される様々な構成要素が必ずしも一定の縮尺で示されていないことが当業者によって認識されるであろう。理解を深めるために、特定の特徴部が拡大されるか、または歪んでいる場合がある。例えば、ある構成要素が別の構成要素にどのように結合しているか、またはどのように力を印加しているかをより良好に示すために、ガスケットの厚さが増加している場合がある。例示的なガスケットの厚さが説明されており、特定のガスケットの厚さが、図に示されている構成要素の相対的なサイズに基づいて図に示されている例示的な構成から意図されるものではない。

【発明を実施するための形態】

【0048】

高度研磨面または平坦面を必要とせずに、質量分析計インターフェースを備えたシールの形成に使用され得るサンプリングコーンの特定の構成が説明される。例えば、平坦な金属ガスケットは、サンプラーコーンの各々の表面特徴部とインターフェースとの間に位置決めされ得、表面特徴部間で圧潰して、サンプラーコーンをインターフェースに密封するのに寄与し得る。特定の例では、サンプラーコーンおよび／またはインターフェースは、平坦面と高度研磨面との間に作成されたシールに依存する必要はなく、代替として、任意選択的にサンプラーコーンの表面特徴部および／またはインターフェースの表面特徴部と組み合わせた圧潰シールアプローチを実装して、サンプラーコーンへインターフェースを密封することができる。シールは、２つの構成要素間の液密シールの生成に寄与する圧潰ワッシャまたはガスケットを用いて、サンプラーコーンをインターフェースまでトルクダウンすることによって提供することができる。サンプラーコーンをインターフェースに締め付けると、金属ガスケットの少なくとも一部が、少なくともある程度まで歪むか、または「圧潰」され、構成要素間にシールが提供される。以下でより詳細に述べるように、金属ガスケットの一部または全てを他の構成要素間に挟持するかまたは圧潰することにより、実質的に液密なシールを提供するのに寄与し得る。

【0049】

本明細書では、特定の場合において、「凸部」または「凹部」について言及されている。これらの用語は、よりユーザフレンドリな説明を提供しており、表面特徴部の存在を意味している。当該表面特徴部は、凸部の場合、表面の上に少なくともある程度位置決めされているか、または凹部の場合、表面を貫いて表面に沿って一部の開放空間が設けられている。特定の構成に関して指定されていない限り、特定の形状、幅、高さ、長さ、または構成は、これらの用語の使用によって要求されることを意図していない。また、「実質的に液密なシール」も言及されており、これは、サンプラーコーン／インターフェース表面から質量分析器の真空ステージにガスがほとんど漏出しないか、またはまったく漏出しないような、サンプラーコーンとインターフェースとの間のシールを指す。必要に応じて、サンプラーコーンとインターフェースとの間のシールは液密であり、サンプラーオリフィスを除くサンプラーコーンとインターフェースとの間の任意の空間からゼロガスを質量分析器に引き込むことができる。

【0050】

特定の実施形態では、質量分析計（ＭＳ）の特定の構成要素の一般的な概略図が図１に示されている。サンプラーコーン１１０は、質量分析器のインターフェースの縁部１２０に結合されるものとして示されている。いずれの特定の構成に拘束されることを望むものではなく、インターフェースは、一般に、イオン化されたサンプルが質量分析器部分に導入される地点または領域である。このインターフェースにより、ＭＳのイオン化デバイスまたはイオン生成ステージとＭＳの質量分析器ステージとの流体結合が可能になる。例えば、誘導結合プラズマ（ＩＣＰ）がイオン化源として使用される場合、トーチからイオンが出て、トーチは、プラズマ内で生成されたイオン、光子、および他の種を含む高温流体ストリーム、例えば高温ガスストリームの形態でＩＣＰを維持する。次に、流体ストリームは、サンプラーコーン１１０に衝突する。多くの異なる構成が存在しているが、サンプラーコーン１１０は、小さなオリフィスを備えた水冷コーンとして構成されることが多く、水冷コーンを使用して、ＩＣＰからの流体ストリーム全体のごく一部のみが質量分析器ステージに入ることが可能となる。既存の流体ストリームの温度は非常に高温であることが多いが、サンプラーコーン１１０の下流では、圧力が低減しているため、温度は極めて低い。サンプラーコーンオリフィス全体の圧力差によって、超音速膨張が生じる。温度の低下は、超音速膨張の結果であり、熱の形態のプラズマエネルギーが自由噴射領域内で方向付けられた速度に変換される。流体の一部は、サンプラーコーン１１０を通過することが可能となり、流体ストリームのさらなる閉じ込め／選択のためにスキマーコーン１１５に供給されることが多く、質量分析器の下流の構成要素、例えば、レンズ、衝突セル、イオンガイド、イオンデフレクタ、質量フィルタなどに供給され得る。質量分析器は、粗引きポンプ１３０およびターボポンプ１４０などの１つ以上の真空ポンプを使用して、大気圧の圧力よりも極めて低い圧力に維持することができる。

【0051】

特定の例では、ポンプ１３０、１４０を使用して質量分析器の異なるステージで真空を維持するために、サンプリングコーン１１０とインターフェースの縁部１２０との間の液密シールが必要とされるため、流体は、サンプラーコーン１１０の小さなオリフィスを通ってのみ質量分析器に入る。

【0052】

特定の実施形態では、ゴム製のＯリングを使用したサンプラーコーンのインターフェースへの結合に関連する問題を回避または低減するために、本明細書に記載の特定の構成には、有利には、インターフェースの表面上または表面内で好適な形状または表面特徴部と係合し得るか、または別様で受容し得る、サンプラーコーンの表面上または表面内の好適な形状または表面特徴部が含まれる。他の例では、サンプラーコーンは、２つ以上の構成要素間にガスケットを挟持するか、または圧潰して、実質的に液密なシールを提供するように構成され得る。例えば、薄い金属圧潰ガスケット、ワッシャ、またはシールを、サンプラーコーンの表面特徴部とインターフェースとの間に位置決めすることができるため、サンプラーコーンの表面特徴部をインターフェースの表面特徴部に係合させると、薄い金属製ガスケットが圧潰され、サンプラーコーンとインターフェースとの間にシールが提供される。代替的に、表面特徴部の互いに近接した載置によって薄い金属圧潰ガスケットが挟持または圧潰されるように、薄い金属圧潰ガスケット、ワッシャ、またはシールをサンプラーコーンの表面特徴部間に位置決めして、実質的に液密なシールを実現することができる。好適に構成されたサンプラーコーンおよび／またはインターフェースとともに金属ガスケット／シールを使用することにより、改善されたシールおよび熱伝達を実現することができる。加えて、金属ガスケット／シールを使用することで、サンプラーコーンおよびインターフェースに高度研磨嵌合面を有する必要がなくなる。例えば、表面凸部が存在するサンプラーコーンおよび／またはインターフェースの表面は、非平坦面であり得る。さらに、表面特徴部は、任意の特定の形状または配列を有する必要はなく、例えば、所与の領域で力を増幅して、ガスケットと構成要素との間の接触点（複数可）でのシールを強化するように設計することができる。

【0053】

特定の例では、図２Ａを参照して、サンプラーコーン／金属ガスケット／インターフェース縁部の側縁部の断面の分解図が示されている。サンプラーコーン２１０は、表面特徴部２１２、例えば凸部を含み、表面特徴部２１２は、この例では、インターフェース２２０上の表面特徴部２２２、例えば溝または凹部と係合し得る。金属ガスケット２１５は、構成要素２１０と構成要素２２０との間に、かつ表面特徴部２１２、２２２に隣接して位置決めすることができる。ネジ山（図示せず）を介してサンプラーコーン２１０をインターフェース２２０に締め付けると、金属ガスケット２１５は、凸部２１２が締め付けプロセスから溝２２２と係合するときに、溝２２２に圧潰される。締め付けプロセスの結果により、サンプラーコーン２１０とインターフェース２２０との間の実質的に液密なシールが得られる。金属ガスケット２１５は、溝２２２内に存在し、サンプラーコーン２１０およびインターフェース２２０の嵌合面に及ぶように示されている。特定の構成では、金属ガスケット２１５は、一般に、溝２２２に圧潰され、サンプラーコーン２１０および２２０の嵌合面の間に少なくともある程度留まるように、サイズ設定され、配置されている。かかる場合、サンプラーコーン２１０およびインターフェース２２０の表面は、サンプラーコーン２１０がインターフェース２２０に密封されているときに必ずしも接触している必要はない。

【0054】

特定の実施形態では、サンプラーコーンおよびインターフェースの特徴部の形状は、図２Ａおよび図２Ｂに示される形状である必要はなく、他の多くの形状が可能である。図２Ｃおよび図２Ｄを参照すると、サンプラーコーン２５０は、表面上にディンプル、溝、または凹部２５２を含む表面特徴部を含み、金属ガスケット２５５の一部と係合するように構成されている。インターフェース２６０は、表面上のボスまたは凸部２６２を含む表面特徴部を含み、サンプラーコーン２５０の凹部２５２に挿入するように構成されている。図示していないが、サンプラーコーン２５０は、典型的には、インターフェース２６０上のネジ山に嵌合して、サンプラーコーン２５０をインターフェース２６０に結合するネジ山を含む。図２Ｃの構成要素を使用する場合、金属ガスケット２５０は、サンプラーコーン２５０をインターフェース２６０に通す前に、サンプラーコーン２５０とインターフェース２６０との間に載置され得る。サンプラーコーン２５０をインターフェース２６０に締め付けると、サンプラーコーン２５０の表面特徴部２５２とインターフェース２６０の表面特徴部２６２との間の金属ガスケット２５５の圧縮／圧潰が生じる（図２Ｄを参照）。金属ガスケット２５５は、サンプラーコーン２５０とインターフェース２６０との間の空間を密封するように作用して、サンプラーコーン２５０とインターフェース２６０との間に実質的に液密なシールを提供し、質量分析器の真空領域における減圧の実現および維持に寄与する。サンプラーコーン２５０およびインターフェース２６０に示される表面特徴部は、典型的には三次元であるため、サンプラーコーン２５０をインターフェース２６０に締め付けると、表面特徴部２５２、２６２と、表面特徴部２５２、２６２との間に挟持された金属ガスケット２５５が係合することになる。

【0055】

サンプラーコーンおよびインターフェースに存在するネジ山は、サンプラーコーンをインターフェースに結合するために使用されるものとして上で説明されているが、他の構成も可能である。例えば、ネジ山を含むサンプラーコーンの周囲に保持リングが存在し、サンプラーコーン上にネジ山は存在しない場合がある。別の構成では、サンプラーコーンの外周に複数のネジまたはボルト（または他の種類の外部留め具）があり、シールラインから離れている。留め具が締め付けられ、コーンがインターフェースに押圧されることにより、表面特徴部間の金属ガスケットが圧潰される。他の例では、真空マニホールド内の真空圧自体を使用して、サンプラーコーンをインターフェースに対して引き寄せ、金属ガスケットを圧潰して、いずれの外部留め具またはネジ山を使用せずにシールを提供することができる。サンプラーコーンは、多くの異なる種類の材料および典型的な材料を含み得、これらは、一般に、サンプラーコーンのサンプルオリフィスを通過するか、または別様でサンプラーコーンの表面に接触するイオンまたは他の分析物に対して不活性および非反応性である。例えば、サンプラーコーンは、アルミニウム、ニッケル、プラチナ、またはプラチナチップを備えたニッケルベースのうちの１つ以上を含んでもよい。インターフェースは、サンプラーコーンと同様の材料、例えば、アルミニウム、ニッケル、プラチナなどを含み得るが、インターフェース材料は、サンプラーコーンおよび／または存在するスキマーコーンの材料と同じである必要はない。

【0056】

一部の実施形態では、金属ガスケット２１５、２５５は各々、ほぼ平坦面の金属リングとして構成することができるか、またはサンプラーコーン上の形状を概ね反映する他の形状を有することができる。例えば、金属ガスケット２１５、２５５は各々、円形、楕円形、または他の形状を有することができる。金属ガスケット２１５、２５５は各々、単層ガスケットまたは多層ガスケットとして構成することもできる。必要に応じて、２つ以上の個別のガスケットを使用することもできる。全ての場合に必要なわけではないが、金属ガスケットは、軟質金属材料を含むことができ、軟質金属材料は、サンプラーコーンのネジ山がインターフェースのネジ山に締め付けられるときに少なくともある程度圧潰または圧縮し得る。例えば、金属ガスケット２１５、２５５は各々、アルミニウム、ニッケル、真鍮、純白金、金、銅、または他の遷移金属を独立して含むことができ、これらは、サンプラーコーンのインターフェースへの締め付けに使用される力を印加すると、少なくともある程度圧潰され得る。本明細書に記載されているように、過剰締め付けして金属ガスケットを変形または破壊し、いずれのシールも破壊しないように、プリセットトルク制限を備えたツールを使用して、サンプラーコーンを好適な程度にインターフェースに締め付けることができる。金属ガスケットはまた、必要に応じて、サンプラーコーンからインターフェースへの（またはその逆の）熱伝達を可能にし得る。金属ガスケットの厚さは、例えば、約０．１ｍｍから約０．５ｍｍまで変化し得るが、これらの値は単なる例示であり、必要に応じて、より薄い厚さまたはより大きな厚さを使用することができる。金属ガスケットの厚さは、典型的に、非平坦面サンプラーコーンおよび／またはインターフェースに存在する表面特徴部の深さおよび／または高さに基づいてサイズ設定される。例えば、サンプラーコーンの凹部は約０．２～１ｍｍの深さであり、インターフェースの凸部またはボスの高さは約０．２～１ｍｍの高さであってもよい。金属ガスケットは、インターフェースの凸部がサンプラーコーンの凹部に結合されたときに存在し得る空間の少なくとも一部を占有するようにサイズ設定され得、例えば、金属ガスケットが圧縮または圧潰された後、金属ガスケットは、サンプラーコーンおよびインターフェースの表面特徴部の実質的に全ての表面に接触し得る。以下でより詳細に説明するように、金属ガスケットは、全ての領域で同じ厚さである必要はなく、ガスケットの表面全体で同じ材料から生成される必要はない。さらに、ガスケットは、指標、窪み、または他の表面特徴部を含み得、これは、必要に応じて特定の部位または領域にガスケットを位置決めするのに寄与する。

【0057】

他の構成では、サンプラーコーンは凹部を有する必要はないが、代替として凸部またはボスを含むことができる。１つの図が図３に示されており、サンプラーコーン３１０は、表面特徴部を含み、表面特徴部は、金属ガスケット３２０を介してインターフェース３３０の非平面嵌合面上の溝または凹部３３２に結合する非平面嵌合面上の凸部３１２を含む。これらの構成要素のネジ山を介してサンプラーコーン３１０をインターフェース３３０に締め付けると、表面特徴部３１２と表面特徴部３３２との間の金属ガスケット３２０が圧潰され、構成要素３１０と構成要素３３０との間の液密シールが促進される。上記のように、サンプラーコーンおよびインターフェースのネジ山以外の構成も使用され得る。金属ガスケット３２０は、ガスケット２２０と同様に構成することができる。例えば、金属ガスケット３２０は、単層ガスケットまたは多層ガスケットであり得る。金属ガスケット３２０は、軟質金属材料を含み得、軟質金属材料は、サンプラーコーン３１０がインターフェース３３０に締め付けられるときに、少なくともある程度まで圧潰または圧縮し得る。一部の例では、金属ガスケット３２０は、アルミニウム、ニッケル、真鍮、純白金、金、銅、または他の遷移金属を含み得、これらは、サンプラーコーン３１０のネジ山をインターフェース３３０のネジ山に締め付けるために使用される力を印加すると、少なくともある程度まで圧縮し得る。本明細書に記載されるように、過剰締め付けして金属ガスケット３２０を変形させて、いずれのシールも破壊しないように、プリセットトルク制限を備えたツールを使用して、サンプラーコーン３１０を好適な程度にインターフェース３３０に締め付けることができる。金属ガスケット３２０はまた、必要に応じて、サンプラーコーン３１０からインターフェース３３０への（またはその逆の）熱伝達を可能にし得る。ガスケット３２０の厚さは、例えば、約０．１ｍｍから約０．５ｍｍまで変化し得るが、これらの値は単なる例示であり、必要に応じて、より薄い厚さまたはより大きな厚さを使用することができる。ガスケットの厚さは、典型的に、サンプラーコーン３１０および／またはインターフェース３３０の非平坦面表面に存在する任意の表面特徴部の深さおよび／または高さに基づいてサイズ設定される。例えば、インターフェース３３０の凹部は約０．２～１ｍｍであり得、サンプラーコーン３１０の凸部またはボスの高さは約０．２～１ｍｍであり得る。金属ガスケット３２０は、サンプラーコーンの凸部がインターフェースの凹部に結合されたときに存在し得る空間の少なくとも一部を占有するようにサイズ設定され得、例えば、金属ガスケットが圧縮または圧潰された後、金属ガスケットは、サンプラーコーンおよびインターフェースの表面特徴部の実質的に全ての表面に接触し得る。

【0058】

特定の実施形態では、サンプラーコーンおよびインターフェースは各々、金属ガスケットに嵌合／係合するように設計された凹部または他の内向き表面特徴部を有し得る。かかる場合、ガスケットの厚さ自体が増加し得るか、またはガスケットの厚さが金属ガスケットの表面全体で変化し得るため、ガスケットが圧潰または圧縮されると、ガスケットは、サンプラーコーンおよびインターフェースの各々の凹部に押圧される。図４に示されるように、サンプラーコーン４１０は、表面特徴部を含み、表面特徴部は、金属ガスケット４２０を介してインターフェース４３０の表面上の凹部４３２に結合する表面上の凹部４１２を含む。これらの構成要素のネジ山を介してサンプラーコーン４１０をインターフェース４３０に締め付けると、表面特徴部４１２と表面特徴部４３２との間の金属ガスケット４２０が圧縮され、構成要素４１０と構成要素４３０との間の実質的に液密なシールまたは液密シールが促進される。上記のように、サンプラーコーンおよびインターフェースのネジ山以外の構成も使用され得る。金属ガスケット４２０は、凹部４１２および４３２に押圧される。例えば、金属ガスケット４２０は、縁部よりも厚い中央本体を有するサイズにサイズ設定され得、サンプラーコーン４１０がインターフェース４３０に結合された場合にガスケット４２０の一部が凹部４１２、４３２を占有することが可能となる。代替的に、ガスケットの中央領域が凹部４１２、４３２の空間の少なくとも一部を占有するように、複数の異なるサイズのガスケットを積層させることができる。特定の実施形態では、金属ガスケット４２０は、単層ガスケットまたは多層ガスケットであり得る。金属ガスケット４２０は、軟質金属材料を含み得、軟質金属材料は、サンプラーコーン４１０がインターフェース４３０に締め付けられるときに、少なくともある程度まで圧縮し得る。一部の例では、金属ガスケット４２０は、アルミニウム、ニッケル、真鍮、純白金、金、銅、または他の遷移金属を含み得、これらは、サンプラーコーン４１０のネジ山をインターフェース４３０のネジ山に締め付けるために使用される力を印加すると、少なくともある程度まで圧潰または圧縮し得る。本明細書に記載されるように、過剰締め付けして金属ガスケット４２０を変形させて、いずれのシールも破壊しないように、プリセットトルク制限を備えたツールを使用して、サンプラーコーン４１０を好適な程度にインターフェース４３０に締め付けることができる。金属ガスケット４２０はまた、必要に応じて、サンプラーコーン４１０からインターフェース４３０への（またはその逆の）熱伝達を可能にし得る。ガスケット４２０の厚さは、例えば、約０．１ｍｍから約０．５ｍｍまで変化し得るが、これらの値は単なる例示であり、必要に応じて、より薄い厚さまたはより大きな厚さを使用することができる。ガスケットの厚さは、典型的に、サンプラーコーン４１０および／またはインターフェース４３０の表面に存在する凹部の深さに基づいてサイズ設定される。例えば、インターフェース４３０およびサンプラーコーン４１０の凹部は、各々独立して約０．２～１ｍｍの深さであってもよい。金属ガスケット４２０は、インターフェースの凹部がサンプラーコーンの凹部に結合された場合に存在し得る空間の少なくとも一部を占有するようにサイズ設定され得、例えば、金属ガスケットが圧縮または圧潰された後、金属ガスケットは、サンプラーコーンおよびインターフェースの表面特徴部の実質的に全ての表面に接触し得る。凹部４１２、４３２は、平坦面の凹部面を有する必要はなく、代替として、必要に応じて多くの異なる配列および形状を採用することができ、先細の凹部形状の表面、尖鋭状の凹部形状の表面などが含まれる。

【0059】

特定の実施形態では、サンプラーコーンおよびインターフェースは各々、金属ガスケットに嵌合／係合するように設計された凸部または他の外向き表面特徴部を有することができる。図５に示されるように、サンプラーコーン５１０は、表面特徴部を含み、表面特徴部は、金属ガスケット５２０を介してインターフェース５３０の表面上の凸部５３２に結合する表面上の凸部５１２を含む。これらの構成要素のネジ山を介してサンプラーコーン５１０をインターフェース５３０に締め付けると、表面特徴部５１２と表面特徴部５３２との間の金属ガスケット５２０が圧縮され、構成要素５１０と構成要素５３０との間の実質的に液密なシールまたは液密シールが促進される。上記のように、サンプラーコーンおよびインターフェースのネジ山以外の構成も使用され得る。金属ガスケット５２０は、ガスケット２２０、３２０、または４２０と同様に構成することができる。例えば、金属ガスケット５２０は、単層ガスケットまたは多層ガスケットであり得る。金属ガスケット５２０は、軟質金属材料を含み得、軟質金属材料は、サンプラーコーン５１０がインターフェース５３０に締め付けられるときに、少なくともある程度まで圧縮し得る。一部の例では、金属ガスケット５２０は、アルミニウム、ニッケル、真鍮、純白金、金、銅、または他の遷移金属を含み得、これらは、サンプラーコーン５１０のネジ山をインターフェース５３０のネジ山に締め付けるために使用される力を印加すると、少なくともある程度まで圧潰または圧縮し得る。本明細書に記載されるように、過剰締め付けして金属ガスケット５２０を変形させて、いずれのシールも破壊しないように、プリセットトルク制限を備えたツールを使用して、サンプラーコーン５１０を好適な程度にインターフェース５３０に締め付けることができる。金属ガスケット５２０はまた、必要に応じて、サンプラーコーン５１０からインターフェース５３０への（またはその逆の）熱伝達を可能にし得る。ガスケット５２０の厚さは、例えば、約０．１ｍｍから約０．５ｍｍまで変化し得るが、これらの値は単なる例示であり、必要に応じて、より薄い厚さまたはより大きな厚さを使用することができる。ガスケットの厚さは、典型的に、サンプラーコーン５１０および／またはインターフェース５３０の表面に存在する凸部の高さに基づいてサイズ設定される。例えば、インターフェース５３０およびサンプラーコーン５１０上の凸部は、各々独立して約０．２～１ｍｍの高さであってもよい。金属ガスケット５２０は、サンプラーコーン５１０とインターフェース５３０との嵌合面が結合された場合に、凸部５１２、５３２の各々の幅に及ぶようにサイズ設定することができる。凸部５１２、５３２は平坦面である必要はなく、代替として、必要に応じて多くの異なる配列および形状を採用することができ、例えば、尖鋭状の凸部、先細の凸部、台形の凸部、または必ずしも平坦面ではない他の形状の凸部が含まれる。

【0060】

特定の実施形態では、本明細書に記載の金属ガスケットは平坦面である必要はない。例えば、金属ガスケットは、サンプラーコーンおよび／またはインターフェースの表面特徴部に結合するように構成されたそれ自体の形状または表面特徴部を有してもよい。ガスケット６１０が上面に凸部６１２を含む１つの図が図６Ａに示されている。別の構成が図６Ｂに示されており、ガスケット６２０は、サンプラーコーンまたはインターフェースからの凸部と係合するように構成されたＵ字形の特徴部６２２を含む。追加の構成が図６Ｃに示されており、ガスケット６３０は、上面および下面の各々にＵ字形の特徴部６２３、６２４を含む。Ｕ字形の特徴部６３２、６３４の各々は、サンプラーコーンまたはインターフェースからの凸部に係合し得る。Ｕ字形の特徴部６３２、６３４は、図６Ｃに示されるように互いの下に位置決めされる必要はない。別の構成が図６Ｄに示されており、ガスケット６４０は、上面のＵ字形の特徴部６４２および下面の凸部６４４を含む。追加の構成が図６Ｅに示されており、ガスケット６５０の上面６５２の長さは、ガスケット６５０の底面６５４の長さよりも短い。別の構成が図６Ｆに示されており、ガスケット６６０は、非平坦面の凹部６６２、６６４を含み、非平坦面の凹部６６２、６６４は、サンプラーコーン、インターフェース、または他の構成要素上の凸部を受容するために使用され得る。ガスケットに凹部、凸部、または他の特徴部が存在する場合、特徴部を同じ垂直軸に位置決めする必要はない。図６Ｇを参照すると、オフセットされた凹部６７２、６７４を含むガスケット６７０が示されている。凹部をオフセットすることにより、サンプラーコーン、インターフェース、または他の構成要素の凸部（または他の形状の特徴部）を受容するように設計された領域に、ガスケットの厚さを増加させることができる。必要に応じて、他のガスケットの形状、表面特徴部、および構成も使用することができる。様々な金属ガスケット表面特徴部は、例えば、特徴部を中実の金属本体に機械加工し、次に金属ガスケットを所望の形状に成形、トリミング、切断などして、サンプラーコーンおよび／またはインターフェースに結合することによって生成することができる。

【0061】

特定の実施形態では、ガスケットの表面全体が同じ材料から生成される必要はない。例えば、ガスケットの嵌合領域の表面で使用されている材料を、コーン、インターフェース、または他の構成要素で使用されている材料と一致させ、それにより、材料の熱膨張率にほとんどまたは全く差がなく、例えば、熱膨張係数にほとんどまたは全く不一致がなく、広い温度範囲にわたって実質的に液密なシールを維持することが望ましい場合がある。図６Ｈに示されるように、ガスケット６８０は、コーン、インターフェース、または他の構成要素と接触するように設計されたガスケット６８０の表面の第１の材料６８２と、第１の材料６８２とは異なり、ガスケット６８０の他の領域に存在する第２の材料６８４と、を含む。代替的に、ガスケットの嵌合面の材料は、室温から動作温度に加熱すると膨張し、ガスケットの表面とコーン、インターフェース、または他の構成要素の表面との間に存在し得る任意の隙間を充満させるように選択することができる。結合される構成要素が異なる材料を含む場合、例えば、サンプラーコーン上の表面特徴部が第１の材料を含み、インターフェース上の表面特徴部が異なる材料を含む場合、ガスケットの各表面上に好適な材料が存在する多層ガスケットを使用して、異なる材料の熱的不一致から生じ得る任意の漏出を最小限に抑えることができる。

【0062】

他の構成では、ガスケットはその表面全体にわたって同じ厚さを有する必要はない。図６Ｉを参照すると、ガスケット６９０が示されており、ガスケット６９０は、領域６９２で、ガスケット６９０の他の領域よりも薄い厚さを含んでいる。本明細書に記載されるように、ガスケット全体の厚さは変動してもよく、例示的な範囲には、約０．１ｍｍ～約１ｍｍが含まれ、例えば、約０．１ｍｍ～約０．５ｍｍ、または約０．２ｍｍ～約０．４ｍｍ、または約０．２ｍｍ～約０．３ｍｍ、もしくは約０．２ｍｍ、０．２１ｍｍ、０．２２ｍｍ、０．２３ｍｍ、０．２４ｍｍ、または０．２５ｍｍが含まれる。必要に応じて、コーン、インターフェース、または他の構成要素への嵌合が意図されていないガスケット６９０の領域は、領域６９２より厚くてもよい。代替的に、領域６９２は、代替として、ガスケット６９０の他の領域よりも厚い場合がある。

【0063】

特定の例では、ガスケットとコーン、インターフェース、または他の構成要素の表面特徴部とを一緒に構成して、構成要素間に所望の密閉力が与えられ得る。図７Ａを参照すると、表面凸部７１２を含む第１の構成要素７１０、例えばサンプラーコーンと、表面凸部７２２およびガスケット７３０を含む第２の構成要素７２０、例えばインターフェースと、を含む特定の構成要素の分解図または分断図が示されている。凸部７１２、７２２は、様々な構成要素上に存在し得る。例えば、一方の凸部は、サンプラーコーン上に存在し得、他方の凸部は、インターフェースまたは他の構成要素上に存在し得る。２つの構成要素７１０および７２０が互いに接合されると、構成要素７１０は、凸部７１２を介してガスケット７３０の上面７３２に力を与え得る。構成要素７２０は、凸部７２２を介してガスケット７３０の底面７３４に力を与え得る。凸部７１２、７２２の全体的な形状に応じて、凸部７１２、７２２がガスケットと接触するガスケットの特定の領域で、ガスケット７３０に印加される力を増幅または集束させることが可能となり得る。例えば、減少した表面積に同じ力を印加し、ガスケット７３０の両面に力を印加することにより、構成要素７１０と構成要素７２０との間により良好なシールを提供することが可能となる。ガスケット７３０の正確な厚さは、約０．１ｍｍ～約１ｍｍ、例えば、約０．２ｍｍ～約０．５ｍｍで変化し得る。一部の例では、ガスケットの厚さは、約０．２ｍｍ、約０．２５ｍｍ、または約０．２ｍｍ～約０．２５ｍｍの厚さであり得る。ガスケットの厚さは、ガスケット７３０の表面全体にわたって同じである必要はない。さらに、凸部７１２、７２２に示される三角形の形状は必須ではなく、例えば、正方形、長方形、六角形、八角形などを含む他の幾何学的形状を、必要に応じて使用することができる。加えて、凸部７１２、７２２の各々が、ガスケット７３０の表面と係合し得る尖鋭状または先端状の表面を含み得るとしても、凸部７１２、７２２の全体的な幾何学的形状は、同じである必要はない。同様に、凸部７１２、７２２の形状は、三角形である必要はなく、代替として、形状の端部または頂点がガスケット７３０の表面と係合し得る他の形状を採用することができる。凸部７１２、７２２の正確な寸法は変化し得、同じである必要はない。例えば、凸部７１２、７２２は、１ｍｍ未満の高さを含んでもよい。

【0064】

他の例では、ガスケットの表面に力を印加するために使用される凸部は、非平坦面である必要はない。例えば、図８Ａに示されるように、凸部８１０、８２０は、それぞれ平坦面８１２、８２２を含み得る。これらは、ガスケット８３０の各表面に力を与えるために使用され得る。凸部は、位置合わせされている必要はなく、同じ垂直面にある必要もなく、または同じ凸部である必要もない。図８Ｂを参照すると、凸部８６０は、平坦面８６２を含み、平坦面８６２により、ガスケットの上面８８２に力が印加され得る。凸部８７０は、鋭利な点状部分または先端８７２を含み、これは、ガスケット８８０の底面８８４に力を与え得る。先端８７２はまた、凸部８６０の平坦面８６２の中央からわずかにオフセットされている。表面８６２および先端８７２は、ガスケット８８０に同じ力を与える必要はないが、望ましくは、様々な構成要素間に実質的に液密なシールを提供するのに十分な力が、表面８６２および先端８７２を通して与えられる。ガスケット８８０の正確な厚さは、約０．１ｍｍ～約１ｍｍ、例えば、約０．２ｍｍ～約０．５ｍｍで変化し得る。一部の例では、ガスケットの厚さは、約０．２ｍｍ、約０．２５ｍｍ、または約０．２ｍｍ～約０．２５ｍｍの厚さであり得る。ガスケットの厚さは、ガスケット８８０の表面全体にわたって同じである必要はない。さらに、凸部８１２、８２２および８６２について示される四面体形状は必須ではなく、例えば、正方形、長方形、六角形、八角形などを含む他の幾何学的形状を、必要に応じて使用することができる。同様に、凸部８７２の形状は、三角形である必要はなく、代替として、形状の端部または頂点がガスケット８８０の表面と係合し得る他の形状を採用することができる。凸部８１２、８２２、８６２、８７２の正確な寸法は変化し得、同じである必要はない。例えば、凸部８１２、８２２、８６２、８７２は、１ｍｍ未満の高さを含んでもよい。

【0065】

他の構成では、１つ以上の構成要素、例えば、サンプラーコーンおよびインターフェースのうちの１つ以上に、複数の凸部または凹部を使用することが望ましい場合がある。多くの様々な構成が可能であるが、ある構成が図９Ａに示されており、凸部９１２、９１４は、構成要素９１０、例えば、サンプラーコーン上に存在し、凸部９２２、９２４は、別の構成要素９２０、例えば、インターフェース上に存在している。ガスケット９３０が存在し得、ガスケット９３０は、第１の構成要素９１０と第２の構成要素９２０との間にシールを提供するために使用することができる。この構成では、凸部９１２および９２２は、同じ垂直軸に沿って位置合わせされ、それらの間のガスケット９３０の領域に力を与える。同様に、凸部９１４および９２４は、同じ垂直軸に沿って位置合わせされ、それらの間のガスケット９３０の領域に力を与える。しかしながら、必要に応じて、凸部の１つ以上は、図９Ｂに示されるようにオフセットされてもよい。ここで、凸部９２６は、凸部９１４からオフセットされるように示されている。凸部９１２、９１４、９２２、９２４、および９２６は、同じ形状または配列を有する必要はない。例えば、凸部９１２、９１４、９２２、９２４、および９２６のうちの１つ以上は、他の凸部とは異なる形状、例えば、平坦面を含み得る。ガスケット９３０の正確な厚さは、約０．１ｍｍ～約１ｍｍ、例えば、約０．２ｍｍ～約０．５ｍｍで変化し得る。一部の例では、ガスケットの厚さは、約０．２ｍｍ、約０．２５ｍｍ、または約０．２ｍｍ～約０．２５ｍｍの厚さであり得る。ガスケットの厚さは、ガスケット９３０の表面全体にわたって同じである必要はない。構成要素９１０、９２０の各々に２つの凸部が示されているが、構成要素のうちの１つは、ガスケットと係合し得る表面特徴部として、単一の凸部または３つ以上の凸部を有してもよい。必要に応じて、構成要素９１０、９２０の各々は、ガスケットと係合し得る表面特徴部として３つ以上の凸部を含んでもよい。凸部９１２、９２２、９２２、９２４、および９２６の正確な寸法は変化し得、同じである必要はない。例えば、凸部９１２、９２２、９２２、９２４、および９２６は、１ｍｍ未満の高さを含んでもよい。

【0066】

特定の実施形態では、サンプラーコーンおよび金属ガスケット、ならびにガスケットを使用して本明細書に記載の実質的に液密なシールを提供し得る他のデバイスは、多くの異なる構成要素またはステージを含む質量分析計システムで使用することができる。質量分析計１０００が、サンプル導入デバイス１０１０、イオン化デバイス／イオン化源１０２０、質量分析器１０３０、および検出器１０４０を含む１つの図が図１０に示されている。一部の場合では、サンプル導入デバイス１０１０は、誘導ネブライザー、非誘導ネブライザー、またはそれら２つのハイブリッド、同心型、クロスフロー型、エントレイン型、Ｖ溝型、平行経路型、強化平行経路型、フローブラー型もしくは圧電ネブライザー、スプレーチャンバー、ガスクロマトグラフィーデバイスなどのクロマトグラフィーデバイス、またはイオン化デバイス／イオン化源１０２０にサンプルを提供し得る他のデバイスとして構成することができる。

【0067】

一部の構成では、イオン化デバイス／イオン化源１０２０には、サンプル導入デバイス１０１０から流体を受容し、流体サンプル中の分析物をイオン化／噴霧し得る多くの異なる種類のデバイスが含まれてもよい。一部の例では、イオン化デバイス／イオン化源１０２０には、トーチおよび誘導デバイスを使用して生成し得る誘導結合プラズマ、容量結合プラズマ、電子イオン化デバイス、化学イオン化デバイス、電界イオン化源、例えば、高速原子衝撃、電界脱離、レーザー脱離、プラズマ脱離、熱脱離、電気流体力学的イオン化／脱離などのために構成されたそれらのソース、サーモスプレーもしくはエレクトロスプレーイオン化源または他の種類のイオン化源が含まれてもよい。多くの異なる種類のイオン化デバイス／イオン化源１０２０が使用され得るが、イオン化デバイス／イオン化源１０２０は、典型的に、サンプル中の分析物イオンをイオン化し、それらを流体ビームでサンプラーコーンの下流および質量分析器７３０に提供し得、そこで、イオン／原子は、異なる質量電荷比に基づいて分離／選択され得る。例えば、米国特許第１０，０９６，４５７号、同第９，９４２，９７４号、同第９，８４８，４８６号、同第９，８１０，６３６号、同第９，６８６，８４９号、およびパーキンエルマー・ヘルス・サイエンス社（マサチューセッツ州ウォルサム）またはパーキンエルマー・ヘルス・サイエンス・カナダ社（ウッドブリッジ、カナダ）が所有する他の特許には、様々な種類のイオン化デバイス／イオン化源および関連する構成要素が含まれている。

【0068】

一部の例では、質量分析器１０３０は、一般にサンプルの性質、所望の分解能などに応じて多数の形態をとることができる。例示的な質量分析器には、例えば、四重極または他のロッドアセンブリなどの１つ以上のロッドアセンブリが含まれてもよい。質量分析器１０３０には、１つ以上のコーン、例えば、スキマーコーン、サンプリングコーン、インターフェース、イオンガイド、衝突セル、レンズ、およびイオン化デバイス／イオン化源１０２０から受信した入射ビームをサンプリングするために使用され得る他の構成要素が含まれてもよい。様々な構成要素を選択することは、干渉種を除去し、光子を除去し、別様でイオンを含む流入流体から所望のイオンを選択するのに寄与し得る。一部の例では、質量分析器１０３０は、飛行時間デバイスであってもよいか、またはそれを含んでもよい。一部の場合では、質量分析器１０３０は、それ自体の無線周波数発生器を含んでもよい。特定の例では、質量分析器１０３０は、走査型質量分析器、（例えば、単集束および二重集束ＭＳデバイスで使用するための）磁気セクター分析計、四重極質量分析器、イオントラップ分析計（例えば、サイクロトロン、四重極イオントラップ）、飛行時間型分析装置（例えば、マトリックス支援レーザー脱離イオン化飛行時間型分析装置）、および異なる質量電荷比で種を分離し得る他の好適な質量分析器であり得る。必要に応じて、質量分析器１０３０は、イオン化デバイス／イオン化源１０２０から受容されるイオンを選択および／または識別するために、直列に配置された２つ以上の異なるデバイス、例えば、タンデムＭＳ／ＭＳデバイスまたはトリプル四重極デバイスを含んでもよい。質量分析器に存在し得る様々な構成要素は、例えば、米国特許第１０，０３２，６１７号、同第９，９１６，９６９号、同第９，６１３，７８８号、同第９，５８９，７８０号、同第９，３６８，３３４号、同第９，１９０，２５３号など、パーキンエルマー・ヘルス・サイエンス社（マサチューセッツ州ウォルサム）またはパーキンエルマー・ヘルス・サイエンス・カナダ社（ウッドブリッジ、カナダ）が現在所有している特許に記載されている。

【0069】

一部の例では、検出器１０４０は、既存の質量分析計で使用され得る任意の好適な検出デバイスであってもよく、例えば、電子増倍管、ファラデーカップ、コーティングされた写真乾板、シンチレーション検出器、マルチチャネルプレートなど、および本開示の利点を考慮して当業者によって選択される他の好適なデバイスであってもよい。質量分析計で使用され得る例示的な検出器は、例えば、米国特許第９，８９９，２０２号、同第９，３８４，９５４号、同第９，３５５，８３２号、同第９，２６９，５５２号、およびパーキンエルマー・ヘルス・サイエンス社（マサチューセッツ州ウォルサム）またはパーキンエルマー・ヘルス・サイエンス・カナダ社（ウッドブリッジ、カナダ）が現在所有している他の特許に記載されている。

【0070】

特定の例では、質量分析計システムはまた、プロセッサ１０５０を含んでもよく、プロセッサ１０５０は、典型的には、マイクロプロセッサおよび／またはコンピュータ、ならびに質量分析計１０００に導入されたサンプルの分析のための好適なソフトウェアの形態をとる。プロセッサ１０５０は、質量分析器１０３０および検出器１０４０に電気的に結合されるように示されているが、図１０に示されている他の構成要素に電気的に結合して、システム１０００の様々な構成要素を一般に制御または操作することもできる。一部の実施形態では、プロセッサ１０５０は、例えば、コントローラ内に、またはスタンドアロンプロセッサとして存在して、システム１０００を使用する様々な動作モードのために、システム１０００の動作を制御および調整することができる。この目的のために、プロセッサは、システム１０００の構成要素の各々、例えば、１つ以上のポンプ、１つ以上の電圧源、ロッドなど、ならびにシステム７００に含まれる任意の他の電圧源に電気的に結合することができる。

【0071】

特定の構成では、プロセッサ１０５０は、１つ以上のコンピュータシステム、および／または例えば、マイクロプロセッサならびに／もしくはシステムを操作するため、例えば、イオン源、ポンプ、質量分析器、検出器などの電圧を制御するための好適なソフトウェアを含む一般的なハードウェア回路に存在してもよい。一部の例では、システム７００の任意の１つ以上の構成要素は、それ自体のそれぞれのプロセッサ、オペレーティングシステム、およびその構成要素の操作を可能にする他の機能を含んでもよい。プロセッサは、システムに統合することができるか、またはプロセッサは、システムの構成要素に電気的に結合された１つ以上のアクセサリボード、プリント回路基板、もしくはコンピュータ上に存在してもよい。プロセッサは、典型的に、１つ以上のメモリユニットに電気的に結合されて、システムの他の構成要素からデータを受信し、必要に応じて、または所望により、様々なシステムパラメータを調整できるようにする。プロセッサは、汎用コンピュータの一部、例えば、Ｕｎｉｘ(登録商標)、Ｉｎｔｅｌ ＰＥＮＴＩＵＭ(登録商標)タイプのプロセッサ、Ａｐｐｌｅ Ａシリーズプロセッサ、Ｍｏｔｏｒｏｌａ ＰｏｗｅｒＰＣ、Ｓｕｎ ＵｌｔｒａＳＰＡＲＣ、Ｈｅｗｌｅｔｔ－Ｐａｃｋａｒｄ ＰＡ－ＲＩＳＣプロセッサ、または他の種類のプロセッサをベースにしたものであってもよい。本技術の様々な実施形態によれば、任意の種類のコンピュータシステムのうちの１つ以上を使用することができる。さらに、システムは、単一のコンピュータに接続され得るか、または通信ネットワークによって接続された複数のコンピュータに分散され得る。ネットワーク通信を含む他の機能が実施され得ること、および本技術は、特定の機能または機能のセットを有することに限定されないことを理解されたい。汎用コンピュータシステムで実行される特殊なソフトウェアとして、様々な態様を実装することができる。コンピュータシステムは、ディスクドライブ、メモリ、またはデータを保存するための他のデバイスなどの１つ以上のメモリデバイスに接続されたプロセッサを含み得る。典型的に、メモリは、混合ガスを使用して様々なモードでシステムを操作している際に、プログラム、キャリブレーション、およびデータを保存するために使用される。コンピュータシステムの構成要素は、相互接続デバイスによって結合することができ、相互接続デバイスには、１つ以上のバス（例えば、同じマシン内に統合された構成要素間）および／またはネットワーク（例えば、別々の個別のマシンに存在する構成要素間）が含まれ得る。相互接続デバイスにより、システムの構成要素間で交換される通信（例えば、信号、データ、命令）が提供される。コンピュータシステムは、典型的に、処理時間内、例えば、数ミリ秒、数マイクロ秒以下でコマンドを受信および／または発行して、システム１０００の迅速な制御を可能にし得る。例えば、コンピュータ制御を実装して、真空圧を制御し、質量分析器に提供される電圧を制御することができる。プロセッサは、典型的に、電源に電気的に結合されており、電源は、例えば、直流電源、交流電源、バッテリー、燃料電池もしくは他の電源、または電源の組み合わせであり得る。電源は、システムの他の構成要素と共有され得る。システムはまた、１つ以上の入力デバイス、例えば、キーボード、マウス、トラックボール、マイクロフォン、タッチスクリーン、手動スイッチ（例えば、オーバーライドスイッチ）、および１つ以上の出力デバイス、例えば、印刷デバイス、ディスプレイスクリーン、スピーカを含んでもよい。加えて、システムは、（相互接続デバイスに加えて、またはその代替として）コンピュータシステムを通信ネットワークに接続する１つ以上の通信インターフェースを含んでもよい。システムはまた、システムに存在する様々な電気機器から受信した信号を変換するための好適な回路を含んでもよい。かかる回路は、プリント回路基板上に存在し得るか、または好適なインターフェース、例えば、シリアルＡＴＡインターフェース、ＩＳＡインターフェース、ＰＣＩインターフェースなどを介して、もしくは１つ以上の無線インターフェース（Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ、Ｗｉ－Ｆｉ、近距離無線通信、その他の無線プロトコルおよび／またはインターフェースなど）を介してプリント回路基板に電気的に結合された別個のボードもしくはデバイス上に存在し得る。

【0072】

特定の実施形態では、本明細書に記載のシステムで使用される記憶システムとして、典型的には、コードが保存され得るコンピュータ可読および書込可能な不揮発性記録媒体が挙げられる。これらは、プロセッサによって実行されるプログラム、またはプログラムによって処理される媒体上または媒体内に保存されている情報によって使用され得る。媒体は、例えば、ハードディスク、ソリッドステートドライブまたはフラッシュメモリであってもよい。典型的に、プロセッサは、不揮発性記録媒体から、プロセッサによる情報へのアクセスが媒体よりも高速な別のメモリにデータを読み込ませて操作する。このメモリは、典型的に、ダイナミックランダムアクセスメモリ（ＤＲＡＭ）またはスタティックメモリ（ＳＲＡＭ）などの揮発性のランダムアクセスメモリである。これらは、ストレージシステム内またはメモリシステム内にあってもよい。プロセッサは。、一般的に、集積回路メモリ内のデータを操作し、処理が完了した後にデータを媒体にコピーする。媒体と集積回路メモリ要素との間のデータ移動を管理するための様々な機構が知られており、本技術はそれに限定されない。また、本技術は特定のメモリシステムまたはストレージシステムに限定されない。特定の実施形態では、システムはまた、特別にプログラミングされた、特別な目的のハードウェア、例えば、特定用途向け集積回路（ＡＳＩＣ）またはフィールドプログラマブルゲートアレイ（ＦＰＧＡ）を含んでもよい。本技術の態様は、ソフトウェア、ハードウェア、ファームウェア、またはそれらの任意の組み合わせで実装されてもよい。さらに、かかる方法、行為、システム、システム要素、およびそれらの構成要素は、上記のシステムの一部として、または独立した構成要素として実装されてもよい。特定のシステムは、本技術の様々な態様が実践され得る１つの種類のシステムとして例として説明されているが、態様は、説明されたシステムで実装されることに限定されないことを理解されたい。異なるアーキテクチャまたは構成要素を有する１つ以上のシステム上で、様々な態様が実践されてもよい。システムには、高水準コンピュータプログラミング言語を使用してプログラム可能な汎用コンピュータシステムが含まれてもよい。システムはまた、特別にプログラミングされた特別な目的のハードウェアを使用して実装されてもよい。システムでは、プロセッサは、典型的に、市販のプロセッサ、例えば、Ｉｎｔｅｌ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎから入手可能な有名なＰｅｎｔｉｕｍ(登録商標)クラスのプロセッサである。他の多くのプロセッサも市販されている。かかるプロセッサは通常、オペレーティングシステムを実行するものであり、オペレーティングシステムは、例えば、マイクロソフトコーポレーションから入手可能な、Ｗｉｎｄｏｗｓ ９５、Ｗｉｎｄｏｗｓ ９８、Ｗｉｎｄｏｗｓ ＮＴ、Ｗｉｎｄｏｗｓ２０００（Ｗｉｎｄｏｗｓ ＭＥ）、Ｗｉｎｄｏｗｓ ＸＰ、Ｗｉｎｄｏｗｓ Ｖｉｓｔａ、Ｗｉｎｄｏｗｓ ７、Ｗｉｎｄｏｗｓ ８、もしくはＷｉｎｄｏｗｓ１０のオペレーティングシステム、ＭＡＣ ＯＳ Ｘ、例えば、Ｓｎｏｗ Ｌｅｏｐａｒｄ、Ｌｉｏｎ、Ｍｏｕｎｔａｉｎ Ｌｉｏｎ、またはＡｐｐｌｅから入手可能なその他のバージョン、Ｓｕｎ Ｍｉｃｒｏｓｙｓｔｅｍｓから入手可能なＳｏｌａｒｉｓオペレーティングシステム、または様々なのソースから入手可能なＵＮＩＸ(登録商標)またはＬｉｎｕｘ(登録商標)オペレーティングシステムであってもよい。他の多くのオペレーティングシステムが使用されてもよく、特定の実施形態では、コマンドまたは命令の単純なセットがオペレーティングシステムとして機能してもよい。

【0073】

特定の例では、プロセッサおよびオペレーティングシステムは、高レベルのプログラミング言語によるアプリケーションプログラムを記述し得るためのプラットフォームを一緒に定義することができる。本技術は、特定のシステムプラットフォーム、プロセッサ、オペレーティングシステム、またはネットワークに限定されないことを理解されたい。また、本開示の利点を考慮すると、本技術が特定のプログラミング言語またはコンピュータシステムに限定されないことは、当業者には明らかである。さらに、他の適切なプログラミング言語および他の適切なシステムも使用できることを理解されたい。特定の例では、ハードウェアまたはソフトウェアは、認知アーキテクチャ、ニューラルネットワーク、または他の好適な実装形態を実装するように構成され得る。必要に応じて、コンピュータシステムの１つ以上の部分を、通信ネットワークに結合された１つ以上のコンピュータシステムに分散させてもよい。これらのコンピュータシステムはまた、汎用コンピュータシステムであってもよい。例えば、様々な態様は、１つ以上のコンピュータシステムに分散されて、１つ以上のクライアントコンピュータにサービス（例えば、サーバー）を提供し、または分散システムの一部としてタスク全体を実施するように構成されてもよい。例えば、様々な態様は、様々な実施形態による様々な機能を実施する１つ以上のサーバシステム間で分散された構成要素を含むクライアントサーバまたは多層システム上で実施されてもよい。これらの構成要素は、実行可能なコード、中間（ＩＬなど）コード、または解釈済み（Ｊａｖａなど）のコードであってもよく、これは、通信プロトコル（ＴＣＰ／ＩＰなど）を使用して通信ネットワーク（インターネットなど）を介して通信する。また、本技術は、特定のシステムまたはシステムのグループでの実行に限定されないことも理解されたい。また、本技術は特定の分散アーキテクチャ、ネットワーク、または通信プロトコルに限定されないことを理解されたい。

【0074】

一部の場合では、様々な実施形態は、例えば、ＳＱＬ、ＳｍａｌｌＴａｌｋ、Ｂａｓｉｃ、Ｊａｖａ、Ｊａｖａｓｃｒｉｐｔ、ＰＨＰ、Ｃ＋＋、Ａｄａ、Ｐｙｔｈｏｎ、ｉＯＳ／Ｓｗｉｆｔ、Ｒｕｂｙ ｏｎ Ｒａｉｌｓ、またはＣ＃（Ｃシャープ）などのオブジェクト指向プログラミング言語を使用してプログラミングすることができる。また、他のオブジェクト指向プログラミング言語が使用されてもよい。代替的に、機能的、スクリプト化、および／または論理プログラミング言語が使用されてもよい。様々な構成が、プログラミングされていない環境（例えば、ブラウザプログラムのウィンドウで表示すると、グラフィカルユーザーインターフェース（ＧＵＩ）の側面をレンダリングするか、またはその他の機能を実施するＨＴＭＬ、ＸＭＬ、またはその他の形式で作成されたドキュメント）で実装されてもよい。特定の構成は、プログラミングされた要素もしくはプログラミングされていない要素、またはそれらの任意の組み合わせとして実装されてもよい。一部の場合では、システムには、モバイルデバイス、タブレット、ラップトップコンピュータ、または有線もしくは無線インターフェースを介して通信し、必要に応じてシステムのリモート操作を可能にする他のポータブルデバイスに存在するようなリモートインターフェースが含まれてもよい。

【0075】

一部の実施形態では、サンプラーコーンまたはインターフェースのうちの一方または両方は、２つ以上の表面特徴部を含み得る。図１１を参照すると、第１の凹部１１１０と、第１の凹部１１１０から離間した第２の凹部１１０とを含むサンプラーコーンの一部の断面が示されている。凹部１１１０、１１２０の各々は、異なるようにサイズ設定することができ、それぞれの金属ガスケット（図示せず）および／またはインターフェースからの表面特徴部と係合し、全ての表面特徴部間で金属ガスケットを圧縮するように構成され得る。必要に応じて、単一の金属ガスケットは、両方の凹部１１１０、１１２０に及んでおり、凹部１１１０、８２０が別の構成要素のそれぞれの凸部に係合する場合に圧潰され得る。インターフェースは、２つ以上の好適な表面特徴部を含み得、これらは、金属ガスケットの各々に係合／受容するか、または別様でそれらに結合することもできる。サンプラーコーンのネジ山は、インターフェースのネジ山に結合して、凹部１１１０、１１２０内のガスケットの各々を圧縮し得る。上記のように、サンプラーコーンおよびインターフェースのネジ山以外の構成も使用され得る。サンプラーコーンおよびインターフェースの２つの表面特徴部と組み合わせて２つの金属ガスケットを使用することにより、サンプラーコーンとインターフェースとの間の密封を強化することができる。必要に応じて、３つ、４つ、またはそれ以上の別個の表面特徴部が、サンプラーコーンおよびインターフェースの各々に存在し得、各々をそれぞれの金属ガスケットと係合するように構成することができる。

【0076】

特定の実施形態では、サンプラーコーン、金属ガスケット、および／またはインターフェースは、キット内に存在し得、当該キットを使用して、既存のＭＳシステムを様々な構成要素で後付けすることができる。また、適切な量のトルクを使用してサンプラーコーンをインターフェースに締め付けるために、プリセットトルクを備えたツールがキットに含まれてもよい。キットは、例えば、イオン化源に流体的に結合するように構成されたサンプルオリフィスを含むサンプラーコーンを含み得、イオン化源は、イオンを含むイオン化サンプルをサンプルオリフィスに提供し、サンプラーコーンは、インターフェース上の第２の表面特徴部と係合するように構成された第１の表面特徴部を含む。キットはまた、金属ガスケットを含み、金属ガスケットは、サンプラーコーンの第１の表面特徴部とインターフェースの第２の表面特徴部との間に載置されるようにサイズ設定および配置され、サンプラーコーンが質量分析器のインターフェースに結合される場合に、サンプラーコーンの第１の表面特徴部とインターフェースの第２の表面特徴部との間で圧潰されるように構成されてもよい。キットは、サンプラーコーンおよび金属ガスケットを使用してサンプラーコーンを質量分析器のインターフェースに結合し、サンプラーコーンと質量分析器のインターフェースとの間に実質的に液密なシールを提供するためのインストラクションをさらに含んでもよい。必要に応じて、キットはインターフェースを含んでもよい。必要に応じて、キットはまた、サンプラーコーンを過剰締め付けせずに、サンプラーコーンをインターフェースに締め付けて金属ガスケットを圧潰して実質的に液密なシールを提供するためのプリセットトルクを含むツール、例えばレンチ、ドライバー、ラチェットなどを含んでもよい。他の実施形態では、キットは、２つ以上の種類のガスケット、異なる厚さのガスケット、または異なる材料を含むガスケットを含んでもよい。

【0077】

特定の実施形態では、サンプラーコーンを質量分析器インターフェースに結合して、サンプラーコーンと質量分析器インターフェースとの間に実質的に液密なシールを提供する方法を実装することができる。この方法が図１２に示されている。この方法には、サンプラーコーン１２１０とインターフェース１２２０との間にガスケット１２３０を組み付けまたは載置して、サンプラーコーン１２０の第１の表面特徴部とインターフェース１２２０の第２の表面特徴部との間に位置決めされたガスケット１２３０を備えたアセンブリ１２５０を提供することが含まれる。組み付けられると、サンプラーコーン１２１０の第１の表面特徴部と質量分析器インターフェース１２３０の第２の表面特徴部との間の金属ガスケット１２３０を圧潰する力が与えられ、サンプラーコーン１２１０と質量分析器インターフェース１２２０との間に実質的に液密なシールを提供し、サンプラーコーン１２１０をインターフェース１２２０に組み付け、アセンブリ１２６０を形成することができる。一部の実施形態では、また、この方法には、サンプラーコーンの第１のネジ山を質量分析器インターフェースの第２のネジ山に選択されたトルク値で締め付けることにより、第１の表面特徴部と第２の表面特徴部との間の金属ガスケットを圧潰することが含まれ得る。他の例では、この方法には、サンプラーコーン１２１０およびインターフェース１２２０のうちの一方または両方の尖鋭状の表面特徴部を使用して、約０．２～約０．２５ｍｍのガスケットを圧縮することが含まれ得る。例えば、サンプラーコーン１２１０およびインターフェース１２２０は、内ネジ、外付け留め具、または他の手段を使用して互いに結合することができる。

【0078】

特定の具体例は、本明細書に記載の技術の新規性および進歩性の一部をより良好に理解するために記載されている。

【0079】

実施例１
図１３を参照すると、サンプラーコーン１３００の断面が示されている。サンプラーコーン１３００は、本体１３０５と、サンプラーコーン１３００へのサンプルの進入を可能にし得るサンプルオリフィス１３１０と、を含む。サンプラーコーン１３００のベースは、概して環状の凹部またはカット１３２０部を含み、これは、金属ガスケットを介してインターフェース（図示せず）上の凸部と係合し得る。サンプラーコーン１３００がインターフェースにネジ付けされると、インターフェースの溝が環状の凹部に押し込まれるにつれ、金属ガスケットが溝／凹部の表面の間で圧潰され、サンプラーコーン１３００とインターフェースとの間にシールが提供される。圧潰シールは、サンプラーコーンをインターフェースに結合するために使用される従来のデバイスおよび方法のように、サンプラーコーンおよびインターフェースの表面仕上げに依存することはない。

【0080】

実施例２
図１４を参照すると、サンプラーコーンおよびインターフェースの図が示されている。サンプラーコーン１４１０は、サンプラーコーンの底面から離れて延在する凸部１４１２を含む。インターフェース１４２０は、溝１４２２を含み、溝１４２２は、サンプラーコーン１４１０の凸部１４１２と係合し得る。金属ガスケット１４１５は、溝１４２２と凸部１４１２との間に位置決めされ得る。サンプラーコーン１４１０が、インターフェース上の内ネジ１４２０およびサンプラーコーン１４２０上のネジ山（図示せず）を使用してインターフェースに締め付けられると、凸部１４１２が溝１４２２に押し込まれ、ガスケット１４１５を圧潰する。このガスケット１０１５の圧潰により、サンプラーコーン１４１０とインターフェース１４２０との間に実質的に液密なシールが提供される。

【0081】

実施例３
図１５Ａを参照すると、サンプラーコーン１５１０、インターフェース１５２０、およびガスケット１５３０の分断図が示されている。サンプラーコーン１５１０は、三角形の凸部として構成された表面特徴部１５１２を含む。インターフェース１５２０はまた、三角形の凸部１５２２として構成された表面特徴部１５２２を含む。コーン１５１０がインターフェース１５２０に結合されると（図１５Ｂを参照）、凸部１５１２、１５２２の先端は、ガスケット１５３０の表面に圧縮力を与えて、これらの領域でガスケット１５３０を圧潰する。点状部分または先端を有するように凸部１５１２、１５２２を選択することにより、ガスケットの小さな領域に選択された量の力を与えることができ、これにより、結果として形成される流体シールを強化することができる。

【0082】

本明細書に開示される実施例の要素を導入するときに、冠詞「ａ」、「ａｎ」、「ｔｈｅ」、および「ｓａｉｄ」は、１つ以上の要素が存在することを意味することを意図している。「ｉｎｃｌｕｄｉｎｇ（含む）」および「ｈａｖｉｎｇ（有する）」という用語は、オープンエンドであり、列記された要素以外の追加的な要素が存在し得ることを意味することを意図している。当業者であれば、本開示の利点を考慮して、実施例の様々な構成要素が、他の実施例において様々な構成要素と交換または置換され得ることを認識するであろう。

【0083】

特定の態様、実施例、および実施形態を上で説明したが、本開示の利益を考慮すると、開示された例示的な態様、実施例、および実施形態の追加、置換、変形、および変更が可能であることが当業者によって認識されるであろう。

【図1】

【図2A】

【図2B】

【図2C】

【図2D】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6A】

【図6B】

【図6C】

【図6D】

【図6E】

【図6F】

【図6G】

【図6H】

【図6I】

【図7A】

【図7B】

【図8A】

【図8B】

【図9A】

【図9B】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15A】

【図15B】