7610046 リニアテーブル装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-12-23

(45)【発行日】2025-01-07

(54)【発明の名称】リニアテーブル装置

(51)【国際特許分類】

   F16C 29/08 20060101AFI20241224BHJP

【ＦＩ】

F16C29/08

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2023575976

(86)(22)【出願日】2023-09-13

(86)【国際出願番号】 JP2023033451

【審査請求日】2023-12-08

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】000170853

【氏名又は名称】黒田精工株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001379

【氏名又は名称】弁理士法人大島特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】大森 達登

(72)【発明者】

【氏名】岩▲崎▼ 喜実

【審査官】倉田 和博

(56)【参考文献】

【文献】特開２００９－０３４７３６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－２６６１５１（ＪＰ，Ａ）

【文献】実開平０３－０３３０４１（ＪＰ，Ｕ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ１６Ｃ ２９／０８

Ｆ１６Ｈ ２５／２４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

一つの軸線方向に沿って延在する凹溝を有するベース部材と、
前記凹溝内に設けられ、前記軸線方向に沿って移動する可動部を有する駆動装置と、
前記凹溝の開口を塞ぐように前記軸線方向に沿って延在し、前記ベース部材に固定された両端部を有する帯状のシートプレートと、
前記可動部に連結され、前記シートプレート上を移動する可動テーブルと、を備え、
前記可動テーブルは、
前記シートプレートの一部を前記ベース部材から離反する方向に湾曲させた状態で収容するシート収容室と、
当該可動テーブルの移動方向における前記シート収容室の前後に設けられた一対のローラとを有し、
前記ローラの各々は、前記軸線方向に直交して前記シートプレートを横切る方向に延在する回転軸線周りに回転可能に設けられ、前記シートプレートの、前記ベース部材から離反する側の面に当接する複数の当接部及び隣接する前記当接部間の外周に形成された少なくとも１つの周溝を含むローラ本体部と、前記ローラ本体部の回転軸線方向の両端に前記ローラ本体部と一体的に設けられた軸受係合軸部とを有し、
前記可動テーブルは、更に、軸受室と、前記軸受室に設けられ、前記軸受係合軸部を回転可能に支持する軸受部とを有し、
前記ローラの各々は、更に、前記ローラ本体部と前記軸受係合軸部との間に前記軸受係合軸部よりも大径で、前記軸受室内に位置する大径部を含み、
前記大径部及び前記軸受係合軸部と前記可動テーブルとが協働して前記大径部と前記軸受室の内周面との間の、他と比べて隙間が狭くなった部分によってラビリンスシールを構成するリニアテーブル装置。

【請求項2】

一つの軸線方向に沿って延在する凹溝を有するベース部材と、
前記凹溝内に設けられ、前記軸線方向に沿って移動する可動部を有する駆動装置と、
前記凹溝の開口を塞ぐように前記軸線方向に沿って延在し、前記ベース部材に固定された両端部を有する帯状のシートプレート、
前記可動部に連結され、前記シートプレート上を移動する可動テーブルと、を備え、
前記可動テーブルは、
前記シートプレートの一部を前記ベース部材から離反する方向に湾曲させた状態で収容するシート収容室と、
当該可動テーブルの移動方向における前記シート収容室の前後に設けられた一対のローラとを有し、
前記ローラの各々は、前記軸線方向に直交して前記シートプレートを横切る方向に延在する回転軸線周りに回転可能に設けられ、前記シートプレートの、前記ベース部材から離反する側の面に当接する複数の当接部及び隣接する前記当接部間の外周に形成された少なくとも１つの周溝を含むローラ本体部と、前記ローラ本体部の回転軸線方向の両端に前記ローラ本体部と一体的に設けられた軸受係合軸部とを有し、
前記可動テーブルは、更に、前記軸受係合軸部を回転可能に支持する軸受部と、前記シートプレートの両側の各側縁に沿って前記軸線方向に延在する一対のサイドメンバと、前記一対のローラ間において前記シートプレートが接触することなく通過し、前記一対のサイドメンバ間に延在して当該一対のサイドメンバを互いに接合するクロスメンバと、前記一対のサイドメンバの各々の一方の端部及び他方の端部の各々に取り付けられ、前記軸受部を保持する４個の軸受保持ブロックと、前記一対のサイドメンバ、前記クロスメンバ及び前記軸受保持ブロックの前記ベース部材から離反する側を覆うべく前記一対のサイドメンバに固定されたカバー部材とを有し、
前記カバー部材は前記一対のサイドメンバ及び前記４個の軸受保持ブロックと協働して前記シート収容室を画定するリニアテーブル装置。

【請求項3】

前記軸受保持ブロックの各々は、互いに直交する３面を有し、前記３面が対応する前記サイドメンバの一方の端部及び他方の端部に設けられた互いに直交する３面に面接触している請求項２に記載のリニアテーブル装置。

【請求項4】

前記ベース部材は、前記シート収容室に連通する内部空間を含み、前記内部空間を負圧にする空気吸引口を有する請求項１又は２に記載のリニアテーブル装置。

【請求項5】

前記ベース部材は、前記開口の両側縁に沿って前記軸線方向に延在し、前記シートプレートを磁気的に吸着する磁気部を有する請求項１又は２に記載のリニアテーブル装置。

【請求項6】

前記駆動装置は、前記ベース部材に回転可能に支持されて前記軸線方向に延在するボールねじ軸と、前記ボールねじ軸にねじ係合するボールナットとを有し、
前記可動部は前記ボールナットを含んでいる請求項１又は２に記載のリニアテーブル装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、リニアテーブル装置に関し、更に詳細にはシートプレートを含むリニアテーブル装置に関する。

【背景技術】

【0002】

リニアテーブル装置として、軸線方向に延在する凹溝を有するベース部材と、凹溝の開口を塞ぐように軸線方向に沿って延在し、ベース部材に固定された両端部を有する帯状のシートプレートとを有し、可動テーブルが、シートプレートの一部をベース部材から離反する方向に湾曲させた状態で収容するシート収容室と、可動テーブルの移動方向におけるシート収容室の前後に設けられたシートプレート案内部とを含むものが知られている（例えば、特許文献１）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】実開平０２－０４３１４２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

可動テーブルの移動により発生する摩耗粉等のパーティクルを回収するために、可動テーブルの移動下においてシート収容室外からシート収容室内に流れる空気の流れが生じる。この場合、シートプレート案内部が、シート収容室外からシート収容室内に流れる空気の流れの障壁になり、空気の流れを阻害する。このため、空気流によるパーティクルの回収が阻害される。

【0005】

本発明は、以上の背景に鑑み、リニアテーブル装置において、シート収容室外からシート収容室内に流れる空気の流れが阻害されることを抑制することを課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記課題を解決するために本発明のある態様は、リニアテーブル装置であって、一つの軸線方向に沿って延在する凹溝を有するベース部材と、前記凹溝内に設けられ、前記軸線方向に沿って移動する可動部を有する駆動装置と、前記凹溝の開口を塞ぐように前記軸線方向に沿って延在し、前記ベース部材に固定された両端部を有する帯状のシートプレートと、前記可動部に連結され、前記シートプレート上を移動する可動テーブルとを備え、前記可動テーブルは、前記シートプレートの一部を前記ベース部材から離反する方向に湾曲させた状態で収容するシート収容室と、当該可動テーブルの移動方向における前記シート収容室の前後に設けられた一対のローラとを有し、前記ローラの各々は、前記軸線方向に直交して前記シートプレートを横切る方向に延在する回転軸線周りに回転可能に設けられ、前記シートプレートにおける前記ベース部材から離反する側の面に当接し、外周に形成された少なくとも１つの周溝を含む。

【0007】

この態様によれば、シート収容室外からシート収容室内に流れる空気の流れがローラによって阻害されることが抑制される。

【0008】

上記の態様において、前記ベース部材は、前記シート収容室に連通する内部空間を含み、前記内部空間を負圧にする空気吸引口を有していてもよい。

【0009】

この態様によれば、シート収容室外とシート収容室内との圧力差が生じ、圧力差によってシート収容室外からシート収容室内に確実に空気が流れる。

【0010】

上記の態様において、前記ベース部材は、前記開口の両側縁に沿って延在し、前記シートプレートを磁気的に吸着する磁気部を有していてもよい。

【0011】

この態様によれば、シートプレートによって凹溝の開口を塞ぐことが良好に行われる。

【0012】

上記の態様において、前記ローラの各々は、前記シートプレートと当接する当接部及び前記周溝を含むローラ本体部と、前記ローラ本体部の回転軸線方向の両端に前記ローラ本体部と一体的に設けられた軸受係合軸部とを有し、前記可動テーブルは前記軸受係合軸部を回転可能に支持する軸受部を有していてよい。

【0013】

この態様によれば、ローラの部品点数及び組立工程が増大することが抑制される。

【0014】

上記の態様において、前記ローラの各々は、更に、前記ローラ本体部と前記軸受係合軸部との間に前記軸受係合軸部よりも大径の大径部を含んで前記ローラ本体部と前記軸受部との間にラビリンスシールを構成していてもよい。

【0015】

この態様によれば、軸受部に発生するパーティクルが軸受部の外部に飛散することが抑制される。

【0016】

上記の態様において、前記可動テーブルは、前記シートプレートの両側の各側縁に沿って前記軸線方向に延在する一対のサイドメンバと、前記一対のローラ間において前記シートプレートが接触することなく通過し、前記一対のサイドメンバ間に延在して当該一対のサイドメンバを互いに接合するクロスメンバと、前記一対のサイドメンバの各々の一方の端部及び他方の端部の各々に取り付けられ、前記軸受部を保持する４個の軸受保持ブロックと、前記一対のサイドメンバ、前記クロスメンバ及び前記軸受保持ブロックの前記ベース部材から離反する側を覆うべく前記一対のサイドメンバに固定されたカバー部材とを有し、前記カバー部材は前記一対のサイドメンバ及び前記４個の軸受保持ブロックと協働して前記シート収容室を画定していてもよい。

【0017】

この態様によれば、パーティクルが可動テーブルの外部に飛散することが抑制される。

【0018】

上記の態様において、前記軸受保持ブロックの各々は、互いに直交する３面を有し、前記３面が対応する前記サイドメンバの一方の端部及び他方の端部に設けられた互いに直交する３面に面接触している。

【0019】

この態様によれば、各軸受保持ブロックのサイドメンバに対する取付位置が容易に高精度に設定される。

【0020】

上記の態様において、前記駆動装置は、前記ベース部材に回転可能に支持されて前記軸線方向に延在するボールねじ軸と、前記ボールねじ軸にねじ係合するボールナットとを有し、前記可動部は前記ボールナットを含んでいてもよい。

【0021】

この態様によれば、可動テーブルの駆動が高精度に行われる。

【発明の効果】

【0022】

以上の態様によれば、シート収容室外からシート収容室内に流れる空気の流れが阻害されることが抑制される。

【図面の簡単な説明】

【0023】

【図1】本発明によるリニアテーブル装置の実施形態を示す斜視図

【図2】本実施形態によるリニアテーブル装置の要部の拡大斜視図

【図3】図１の線ＩＩＩ－ＩＩＩに沿った拡大断面図

【図4】図３の線ＩＶ－ＩＶに沿った断面図

【図5】図３の線Ｖ－Ｖに沿った断面図

【図6】本実施形態によるリニアテーブル装置の拡大斜視図

【発明を実施するための形態】

【0024】

以下に、本発明によるリニアテーブル装置の実施形態を、図１～図６を参照して説明する。なお、以下の実施形態の説明では、説明の便宜上、互いに直交する各上下、左右及び前後の各方向を図に示されているように定義する。

【0025】

図１に示されているように、リニアテーブル装置１０はベース部材１２を有する。ベース部材１２は、一つの軸線方向に沿って、本実施形態では前後方向に延在する直線状のレール部材１４と、レール部材１４の前端及び後端に固定された前端部材１６及び後端部材１８と、レール部材１４の上部に設けられた上部カバー２０とを有し、これらの内側に内部空間３０（図３参照）を画定している。前後方向はレール部材１４の長手方向になり、これより以降の説明では、前後方向をレール部材１４の長手方向と云うことがある。

【0026】

レール部材１４は、図３に示されているように底壁１４Ａ及び底壁１４Ａの左右両側に設けられた左右の側壁１４Ｂ及び１４Ｃを有し、上方が開口した凹溝２２を形成している。つまり、レール部材１４は、底壁１４Ａ及び左右の側壁１４Ｂ、１４Ｃにより、凹形断面形状を形成し、上方が開口した凹溝２２を画定している。

【0027】

上部カバー２０は左右に分割された左側部材２４及び右側部材２６を有する。左側部材２４及び右側部材２６は、縦片部２４Ａ、２６Ａ及び縦片部２４Ａ、２６Ａの各々の上端から互いに近付く方向に延出した平板状の横片部２４Ｂ、２６Ｂを備え、各々鉤形断面形状を有する。左側部材２４及び右側部材２６は、縦片部２４Ａ、２６Ａを対応する側壁１４Ｂ及び１４Ｃに固定され、且つ前端及び後端を前端部材１６及び後端部材１８に固定され、横片部２４Ｂと２６Ｂとの間にレール部材１４の長手方向に延在する帯状の開口２８を画定している。

【0028】

これにより、本実施形態では、上部カバー２０の開口２８が、凹溝２２の上側を外方に向けて開放する、凹溝２２の実質的な開口をなす。

【0029】

リニアテーブル装置１０は、凹溝２２内を、レール部材１４の左右の側壁１４Ｂ及び１４Ｃの各々に設けられた左右のリニアボールベアリング３２に案内されてレール部材１４の延在方向に移動可能なスライダ３４と、スライダ３４をレール部材１４の長手方向に駆動する駆動装置３６とを有する。

【0030】

駆動装置３６は、前端部材１６、後端部材１８に回転可能な支持された軸端を含み、レール部材１４の長手方向（前後方向）に延在するボールねじ軸３８と、スライダ３４に固定され、ボールねじ軸３８にねじ係合するボールナット４０（可動部）とを有する。駆動装置３６は、後端部材１８に配置された電動モータ（不図示）によってボールねじ軸３８が回転駆動されることにより、ボールナット４０をレール部材１４の長手方向に直線移動させる。このボールナット４０の直線移動により、スライダ３４はリニアボールベアリング３２に案内されてレール部材１４に対してレール部材１４の長手方向に高い位置精度をもって略水平に移動する。

【0031】

これにより、本実施形態では、スライダ３４及びボールナット４０が、凹溝２２内に設けられてレール部材１４の長手方向に移動する駆動装置３６の可動部をなす。

【0032】

ベース部材１２には帯状のシートプレート４４が取り付けられている。シートプレート４４は、所要の弾性を有する磁性体、例えば、フェライト系やマルテンサイト系のステンレス鋼等により構成され、図１に示されているように、開口２８を塞ぐように、レール部材１４の長手方向に沿って延在し、ねじ４６によって前端部材１６及び後端部材１８に固定された両端部４４Ａ、４４Ｂを有する。

【0033】

シートプレート４４は、図２に示されているように、両側の各側縁４４Ｃが上部カバー２０の左側部材２４及び右側部材２６の横片部２４Ｂ、２６Ｂ上をオーバラップする左右方向長を有する。横片部２４Ｂ、２６Ｂの各々がシートプレート４４とオーバラップする部分の上面には帯状の磁気シート（磁気部）２５がレール部材１４の長手方向に沿って貼り付けられている。

【0034】

シートプレート４４の両側縁４４Ｃは、後述する可動テーブル５０のシート収容室７０内に位置する部分以外においては、対応する磁気シート２５に磁気的に吸着する。これにより、シートプレート４４は、シート収容室７０内に位置する部分以外においては、横片部２４Ｂ、２６Ｂ上を密着状態でレール部材１４の長手方向に沿って略水平な平板状に延在し、開口２８を塞ぐ。

【0035】

リニアテーブル装置１０は可動テーブル５０を有する。可動テーブル５０は、図２～図６に示されているように、シートプレート４４の左右両側の各側縁４４Ｃに沿って互いに平行に前後方向に延在する一対のサイドメンバ５２と、一対のサイドメンバ５２間に延在して各サイドメンバ５２の前後方向の中間部の下部を互いに接合するクロスメンバ５６と、各サイドメンバ５２の前端（一方の端部）にねじ５８によって固定された一対の前側軸受保持ブロック６０と、各サイドメンバ５２の後端（他方の端部）にねじ６２によって固定された一対の後側軸受保持ブロック６４と、サイドメンバ５２、クロスメンバ５６、前側軸受保持ブロック６０及び後側軸受保持ブロック６４のベース部材１２から離反する側（上側）を覆うべく、ねじ６６によってサイドメンバ５２の上部に固定された下方開放の直方形箱状のカバー部材６８とを有し、平面視で矩形をなしている。

【0036】

カバー部材６８は、一対のサイドメンバ５２、前側軸受保持ブロック６０及び後側軸受保持ブロック６４と協働して、これらの内側に、下方に向けて開口したシート収容室７０（図５参照）を画定する。カバー部材６８は、更に、一対のサイドメンバ５２、前側軸受保持ブロック６０及び後側軸受保持ブロック６４と協働して、これらの外側を取り囲む矩形枠状の外周空間６９を画定している。シート収容室７０と外周空間６９とは下側において互いに連通している。

【0037】

クロスメンバ５６は、シートプレート４４と接触しない範囲で可及的に大きい横断面積をもって左右のサイドメンバ５２を互いに剛固に接合すべく、図５に示されているように、略水平な上面の５６Ａの前側及び後側の各々がシートプレート４４の湾曲形状に倣う方向に傾斜した傾斜面５６Ｂ、５６Ｃになっている。

【0038】

可動テーブル５０はクロスメンバ５６の下部から下方に延出し、開口２８を上下方に通過するくびれ部７２Ａを含む連結部７２を有する。可動テーブル５０は連結部７２によってスライダ３４の上部に一体的に連結されている。これにより、可動テーブル５０はスライダ３４と一体的に前後方向に略水平に移動する。可動テーブル５０のくびれ部７２Ａよりも上側はシートプレート４４上をレール部材１４の長手方向（前後方向）に略水平に移動する。

【0039】

各サイドメンバ５２はカバー部材６８を上下に貫通してカバー部材６８の上方に露出した部分を含む複数の取付座部７４を有する。取付座部７４にはリニアテーブル装置１０による移動対象物（不図示）が取り付けられる。

【0040】

各前側軸受保持ブロック６０は、図４に示されているように、左右方向に延在し、対応するサイドメンバ５２の前端面５２Ａに面接触する後面６１Ａを含む端片部６０Ａと、端片部６０Ａから後方に延出し、対応するサイドメンバ５２の内側面５２Ｂに面接触する外側面６１Ｂを含む側片部６０Ｂとを有し、対応するサイドメンバ５２の前端の角部に係合する平面視で鉤形形状を有する。

【0041】

各前側軸受保持ブロック６０は、図２に示されているように、対応するサイドメンバ５２の前端の下縁に沿って形成された鉤形切欠部５３に係合する凸部６０Ｃを有する。各凸部６０Ｃは対応する鉤形切欠部５３の下面５２Ｃに面接触する上面６１Ｃを含む。

【0042】

つまり、各前側軸受保持ブロック６０は、図６に示されているように、互いに直交する前後方向、左右方向及び上下方向の３面（後面６１Ａ、外側面６１Ｂ、上面６１Ｃ）が対応するサイドメンバ５２の前端角部の互いに直交する３面（前端面５２Ａ、内側面５２Ｂ、下面５２Ｃ）に各々面接触することにより、対応するサイドメンバ５２に対する前後方向、左右方向及び上下方向の各取付位置を容易且つ精度よく一義的に設定される。

【0043】

各前側軸受保持ブロック６０の側片部６０Ｂは、図４に示されているように、内方に向けて開口した軸受室６０Ｄを有し、軸受室６０Ｄに嵌挿されたボール軸受（軸受部）７６を保持している。

【0044】

ここで言う「内方に向けて」は、各前側軸受保持ブロック６０の側片部６０Ｂがサイドメンバ５２に隣接する側から遠ざかる方向であり、左右一対の前側軸受保持ブロック６０の側片部６０Ｂが互いに対向する方向である。

【0045】

左右一対の前側軸受保持ブロック６０間には前側ローラ８０が配置されている。前側ローラ８０は、シートプレート４４を左右方向に横切る方向に延在する回転軸線を有し、ローラ本体部８２と、ローラ本体部８２の回転軸線方向の左右両端にローラ本体部８２と一体的に設けられた軸受係合軸部８４とを有する。

【0046】

ローラ本体部８２は、図４に示されているように中心軸線方向に等間隔をおいた３箇所の各々に形成された当接部８２Ａと、隣接する当接部８２Ａ間に形成された周溝８２Ｂとを有する。各当接部８２Ａはシートプレート４４の上面４４Ｅと当接する。周溝８２Ｂは、ローラ本体部８２の外周の、中心軸線方向に等間隔をおいた２箇所に設けられ、各々、凹形の溝断形状を有する空間を画定する。

【0047】

各前側軸受保持ブロック６０に設けられた左右一対のボール軸受７６の各々は前側ローラ８０の対応する軸受係合軸部８４を左右方向に延在する回転軸線周りに回転可能に支持している。

【0048】

各後側軸受保持ブロック６４は、図４に示されているように、左右方向に延在し、対応するサイドメンバ５２の後端面５２Ｄに面接触する前面６５Ａを含む端片部６４Ａ及び端片部６４Ａから前方に延出し、対応するサイドメンバ５２の内側面５２Ｂに面接触する外側面６５Ｂを含む側片部６４Ｂとを有し、平面視で対応するサイドメンバ５２の後端の角部に係合する鉤形形状を有する。

【0049】

各後側軸受保持ブロック６４は、図２に示されているように、対応するサイドメンバ５２の後端の下縁に沿って形成された鉤形切欠部５５に係合する凸部６４Ｃを有する。各凸部６４Ｃは対応する鉤形切欠部５５の下面５２Ｅに面接触する上面６５Ｃを含む。

【0050】

つまり、各後側軸受保持ブロック６４は、図６に示されているように、互いに直交する前後方向、左右方向及び上下方向の３面（前面６５Ａ、外側面６５Ｂ、上面６５Ｃ）が対応するサイドメンバ５２の後端角部の互いに直交する３面（後端面５２Ｄ、内側面５２Ｂ、下面５２Ｅ）に各々面接触することにより、対応するサイドメンバ５２に対する前後方向、左右方向及び上下方向の各取付位置を容易且つ精度よく一義的に設定される。

【0051】

各後側軸受保持ブロック６４の側片部６４Ｂは、図４に示されているように、内方に向けて開口した軸受室６４Ｄを有し、軸受室６４Ｄに嵌挿されたボール軸受（軸受部）７８を保持している。

【0052】

ここで言う「内方に向けて」は、各後側軸受保持ブロック６４の側片部６４Ｂがサイドメンバ５２に隣接する側から遠ざかる方向であり、左右一対の後側軸受保持ブロック６４の側片部６４Ｂが互いに対向する方向である。

【0053】

左右一対の後側軸受保持ブロック６４間には後側ローラ９０が配置されている。後側ローラ９０は、シートプレート４４を左右方向に横切る方向に延在する回転軸線（中心軸線）を有し、ローラ本体部９２と、ローラ本体部９２の回転軸線方向の左右両端にローラ本体部９２と一体的に設けられた軸受係合軸部９４とを有する。

【0054】

ローラ本体部９２は、図４に示されているように中心軸線方向に等間隔をおいた３箇所の各々に形成された当接部９２Ａと、隣接する当接部９２Ａ間に形成された周溝９２Ｂとを有する。各当接部９２Ａはシートプレート４４の上面４４Ｅと当接する。周溝９２Ｂは、ローラ本体部９２の外周の、中心軸線方向に等間隔をおいた２箇所に設けられ、各々、凹形の溝断形状を有する空間を画定する。

【0055】

前側ローラ８０と後側ローラ９０とは同一構成である。前側ローラ８０はローラ本体部８２及び軸受係合軸部８４を含む全体を切削加工等により一体成形されている。後側ローラ９０はローラ本体部９２及び軸受係合軸部９４を含む全体を切削加工等により一体成形されている。

【0056】

各後側軸受保持ブロック６４に設けられた一対のボール軸受７８の各々は後側ローラ９０の対応する軸受係合軸部９４を左右方向に延在する回転軸線周りに回転可能に支持している。

【0057】

前側ローラ８０の各周溝８２Ｂ及び後側ローラ９０の各周溝９２Ｂは切削加工に形成されていてよく、複数の周溝８２Ｂを有する前側ローラ８０の全体及び複数の周溝９２Ｂを有する後側ローラ９０全体は、各々、１ブロックの一つの部品である。これにより、ローラ本体部８２及びローラ本体部９２の各々に複数の周溝８２Ｂ、９２Ｂが設けられても、前側ローラ８０、後側ローラ９０の組立工程及び部品点数が増加することがない。

【0058】

更に、ローラ本体部８２と軸受係合軸部８４、ローラ本体部９２と軸受係合軸部９４とが、各々一体構造であることにより、前側ローラ８０及び後側ローラ９０の各々の組立工程及び部品点数が増加することもなく、前側ローラ８０及び後側ローラ９０の各々に組立誤差が生じることがない。

【0059】

ローラ本体部８２と軸受係合軸部８４、ローラ本体部９２と軸受係合軸部９４とが、各々一体構造であっても、左右一対の前側軸受保持ブロック６０及び後側軸受保持ブロック６４の各々が左右のサイドメンバ５２とは別体であることにより、前側ローラ８０、後側ローラ９０の左右のサイドメンバ５２に対する組付けが困難になることがない。前側ローラ８０の組付けは、前側ローラ８０の左右の軸受係合軸部８４の各々に前側軸受保持ブロック６０を取付け、前側ローラ８０と左右の前側軸受保持ブロック６０との組立体をねじ５８によって左右のサイドメンバ５２の前端に組み付ける手順で行われればよい。同様に、後側ローラ９０の組付けは、後側ローラ９０の左右の軸受係合軸部９４の各々に後側軸受保持ブロック６４を取付け、後側ローラ９０と左右の後側軸受保持ブロック６４との組立体をねじ６２によって左右のサイドメンバ５２の後端に組付ける手順で行われればよい。

【0060】

前側ローラ８０と後側ローラ９０とは、互いに平行に延在する回転軸線周りに各々回転可能であり、クロスメンバ５６の前方と後方とに位置して、換言すると、可動テーブル５０の移動方向におけるシート収容室７０の前後に設けられて前後一対である。換言すると、クロスメンバ５６は前側ローラ８０と後側ローラ９０との各々の間に前後方向の間隔をおいて位置する。

【0061】

各サイドメンバ５２に対する各前側軸受保持ブロック６０及び各後側軸受保持ブロック６４の取付位置の精度が高いことにより、各サイドメンバ５２に対するボール軸受７６、７８の位置精度が高くなり、ついては可動テーブル５０に対する前側ローラ８０及び後側ローラ９０の各々の位置精度が高くなる。これにより、前側ローラ８０及び後側ローラ９０の各々がシートプレート４４に対して所期通りに有効に作用する。

【0062】

シート収容室７０は、前側ローラ８０、後側ローラ９０及びクロスメンバ５６を収容している。

【0063】

シートプレート４４は、前端部材１６に対する固定部と後端部材１８に対する固定部との間に余剰部分が生じるよう、ねじ４６による前端部材１６に対する固定部とねじ４６による後端部材１８に対する固定部との間の前後方向長（長手方向長）よりも長い前後方向長（長手方向長）を有する。

【0064】

シートプレート４４は、上述の長さ設定により、図２及び図５に示されているように、シート収容室７０において、磁気シート２５の磁気吸着から離れ、ベース部材１２から離反する方向（上方向）に円弧状に湾曲する湾曲部４５を生成する。換言すると、シート収容室７０は、前側ローラ８０と後側ローラ９０との間においてシートプレート４４の一部をベース部材１２から離反する方向に湾曲させた状態で、つまり湾曲部４５を収容する。

【0065】

湾曲部４５はシートプレート４４の上述の余剰部分に自身の弾性により生じる。シートプレート４４が有する所要の弾性は、可動テーブル５０の前後方向に伴って湾曲部４５の発生位置がシートプレート４４の前後方向に変化することに適した弾性である。

【0066】

クロスメンバ５６は、ベース部材１２から離反する方向に膨出した山形の横断面形状を有する。

【0067】

シートプレート４４は、前側ローラ８０及び後側ローラ９０の下側を前後方向にくぐり、通常状態ではカバー部材６８の平らな上壁部６８Ａの下方を、所定の高さを有する正常状態の湾曲部４５によってクロスメンバ５６に接触することなくクロスメンバ５６の上方を前後方向に通過する。

【0068】

上部カバー２０の左側部材２４の前後２箇所には、図１及び図３に示されているように、空気吸引口１３を有するニップル１５が取り付けられている。空気吸引口１３には吸引ポンプ等による負圧源（不図示）が接続される。

【0069】

ベース部材１２の内部空間３０は、図３に示されているように、可動テーブル５０に対応する前後方向位置において、連結部７２の周りの空間及び開口２８によってシート収容室７０に連通している。これにより、外周空間６９、内部空間３０及びシート収容室７０が負圧状態になる。

【0070】

可動テーブル５０の移動により生じたパーティクルは、内部空間３０及びシート収容室７０が負圧状態であることにより、内部空間３０及びシート収容室７０に回収され、シート収容室７０から可動テーブル５０の外部に飛散することが抑制された状態で、空気吸引口１３から外部に排出される。

【0071】

前側ローラ８０のローラ本体部８２の当接部８２Ａ及び後側ローラ９０のローラ本体部９２の当接部９２Ａの各々は、シートプレート４４におけるベース部材１２から離反する側の面、つまり上面４４Ｅに転動可能に当接している。ローラ本体部８２、９２は、シートプレート４４に対して僅かな押圧力をもって当接すればよい。ローラ本体部８２及びローラ本体部９２の各々がシートプレート４４の上面４４Ｅに当接する位置は、図５に示されているように、シートプレート４４が磁気シート２５との磁気吸着から離れた位置よりも前後方向に僅かにシート収容室７０側に偏倚した位置である。

【0072】

シートプレート４４は、湾曲部４５が発生する開始位置及び終了位置の近傍において、自身の弾性変形によって僅かな押圧力をもってローラ本体部８２、９２の当接部８２Ａ、９２Ａと当接することにより、湾曲部４５が振動等によって不要に変形することが抑制される。このことにより、湾曲部４５の形状が安定し、シートプレート４４が湾曲部４５以外の部分において磁気シート２５に安定して磁気吸着し、シートプレート４４による開口２８の閉塞が安定して行われる。

【0073】

前側ローラ８０及び後側ローラ９０の各周溝８２Ｂ、９２Ｂは、ローラ本体部８２、９２の各々の配置部において、シート収容室７０の内部とシート収容室７０の外部、つまり外周空間６９とを互いに連通する空気通路になる。

【0074】

これにより、ローラ本体部８２、９２が前後方向の空気の流れの障壁になり難く、外周空間６９からシート収容室７０内に流れようとする空気の流れが阻害されることが抑制される。この結果、ローラ本体部８２、９２の各々の配置部において外周空間６９からシート収容室７０内に流れる空気の流量が、周溝８２Ｂ、９２Ｂがない場合に比して増大する。

【0075】

このことにより、ローラ本体部８２、９２の各々の配置部において、外周空間６９からシート収容室７０内に流れる空気流により摩耗粉等のパーティクルがシート収容室７０に回収されることが良好に行われるようになる。

【0076】

前側ローラ８０及び後側ローラ９０の各々は、図４に示されているように、ローラ本体部８２、９２と各軸受係合軸部８４、９４との間に、ローラ本体部８２、９２の外径より小さい外径の小径部８６、９６と、小径部８６、９６及び軸受係合軸部８４、９４の外径よりも大きい外径（大径）の大径部８８、９８とを、ローラ本体部８２、９２側から軸受係合軸部８４、９４に向けて順に有する。大径部８８、９８は、軸受室６０Ｄ、６４Ｄの内径よりも僅かに小さい外径を有し、軸受室６０Ｄ、６４Ｄ内に位置している。

【0077】

これにより、前側ローラ８０と前側軸受保持ブロック６０との間及び後側ローラ９０と後側軸受保持ブロック６４との間の各々に無接触シールであるラビリンスシールが構成される。このラビリンスシールにより、軸受室６０Ｄ、６４Ｄ内で発生したパーティクルが軸受室６０Ｄ、６４Ｄ外に飛散することが抑制される。このことにより、軸受室６０Ｄ、６４Ｄ内で発生したパーティクルによって前側ローラ８０、後側ローラ９０の配置部分が汚染されることが抑制される。

【0078】

以上で具体的実施形態の説明を終えるが、本発明は上記実施形態に限定されることなく幅広く変形実施することができる。

【0079】

例えば、ローラ本体部８２、ローラ本体部９２の各々に設けられる周溝８２Ｂ、９２Ｂの個数は、２個に限られることなく、１個或いは３個以上の複数個であってもよい。当接部８２Ａ、９２Ａの個数は、３個に限られることなく、周溝８２Ｂ、９２Ｂの個数に従って２個以上の複数個であってもよい。当接部８２Ａ、９２Ａ及び周溝８２Ｂ、９２Ｂは、ローラ本体部８２、ローラ本体部９２の軸長に応じた個数に定められてよい。当接部８２Ａ、９２Ａ及び周溝８２Ｂ、９２Ｂは軸線方向に必ずしも等間隔に設けられる必要はない。可動テーブル５０の駆動装置３６は、ボールねじ軸３８、ボールナット４０を含むボールねじ式のものに限られることはなく、リニアモータ等のリニアアクチュエータであってもよい。

【0080】

上述の実施形態は、リニアテーブル装置１０が水平に配置された場合を想定しており、例えば、リニアテーブル装置１０が鉛直に配置された場合は、レール部材１４の延在方向は上下方向になる。

【符号の説明】

【0081】

１０ ：リニアテーブル装置
１２ ：ベース部材
１３ ：空気吸引口
１４ ：レール部材
１４Ａ ：底壁
１４Ｂ ：側壁
１４Ｃ ：側壁
１５ ：ニップル
１６ ：前端部材
１８ ：後端部材
２０ ：上部カバー
２２ ：凹溝
２４ ：左側部材
２４Ａ ：縦片部
２４Ｂ ：横片部
２５ ：磁気シート（磁気部）
２６ ：右側部材
２６Ａ ：縦片部
２６Ｂ ：横片部
２８ ：開口
３０ ：内部空間
３２ ：リニアボールベアリング
３４ ：スライダ
３６ ：駆動装置
３８ ：ボールねじ軸
４０ ：ボールナット（可動部）
４４ ：シートプレート
４４Ａ ：端部
４４Ｂ ：端部
４４Ｃ ：側縁
４４Ｅ ：上面
４５ ：湾曲部
４６ ：ねじ
５０ ：可動テーブル
５２ ：サイドメンバ
５２Ａ ：前端面
５２Ｂ ：内側面
５２Ｃ ：下面
５２Ｄ ：後端面
５２Ｅ ：下面
５３ ：鉤形切欠部
５５ ：鉤形切欠部
５６ ：クロスメンバ
５６Ａ ：上面
５６Ｂ ：傾斜面
５６Ｃ ：傾斜面
５８ ：ねじ
６０ ：前側軸受保持ブロック（軸受部）
６０Ａ ：端片部
６０Ｂ ：側片部
６０Ｃ ：凸部
６０Ｄ ：軸受室
６１Ａ ：後面
６１Ｂ ：外側面
６１Ｃ ：上面
６２ ：ねじ
６４ ：後側軸受保持ブロック（軸受部）
６４Ａ ：端片部
６４Ｂ ：側片部
６４Ｃ ：凸部
６４Ｄ ：軸受室
６５Ａ ：前面
６５Ｂ ：外側面
６５Ｃ ：上面
６６ ：ねじ
６８ ：カバー部材
６８Ａ ：上壁部
６９ ：外周空間
７０ ：シート収容室
７２ ：連結部
７２Ａ ：くびれ部
７４ ：取付座部
７６ ：ボール軸受（軸受部）
７８ ：ボール軸受（軸受部）
８０ ：前側ローラ
８２ ：ローラ本体部
８２Ａ ：当接部
８２Ｂ ：周溝
８４ ：軸受係合軸部
８６ ：小径部
８８ ：大径部
９０ ：後側ローラ
９２ ：ローラ本体部
９２Ａ ：当接部
９２Ｂ ：周溝
９４ ：軸受係合軸部
９６ ：小径部
９８ ：大径部

【要約】

【課題】空気流によるシート収容室に対するパーティクルの回収を改善すること。
【解決手段】シート収容室７０を画定する可動テーブル５０の前後に前側ローラ８０及び後側ローラ９０を有し、前側ローラ８０及び後側ローラ９０の各々の外周に周溝８２Ｂ、９２Ｂが設けられている。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】