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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-12-25
(45)【発行日】2025-01-09
(54)【発明の名称】研磨物品及びその使用方法
(51)【国際特許分類】
B24D 7/06 20060101AFI20241226BHJP
B24D 3/18 20060101ALI20241226BHJP
B24D 3/04 20060101ALI20241226BHJP
B24D 3/06 20060101ALI20241226BHJP
H01L 21/304 20060101ALI20241226BHJP
【ＦＩ】
B24D7/06
B24D3/18
B24D3/04
B24D3/06 Z
H01L21/304 622F
H01L21/304 631
【請求項の数】
9
(21)【出願番号】P 2022534267
(86)(22)【出願日】2021-01-05
(65)【公表番号】
(43)【公表日】2023-02-02
(86)【国際出願番号】 US2021012194
(87)【国際公開番号】W WO2021141904
(87)【国際公開日】2021-07-15
【審査請求日】2022-06-06
(31)【優先権主張番号】62/957,626
(32)【優先日】2020-01-06
(33)【優先権主張国・地域又は機関】US
【前置審査】
(73)【特許権者】
【識別番号】391010770
【氏名又は名称】サンーゴバン アブレイシブズ，インコーポレイティド
(73)【特許権者】
【識別番号】507169495
【氏名又は名称】サン－ゴバン アブラジフ
(74)【代理人】
【識別番号】110003281
【氏名又は名称】弁理士法人大塚国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】ヴェダンタム、ラムヌジャム
(72)【発明者】
【氏名】テンペレリ、アレクサンドル
【審査官】マキロイ 寛済
(56)【参考文献】
【文献】特許第４２１６０２５（ＪＰ，Ｂ２）
【文献】国際公開第２００９／０４６０９１（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開平１１－２０７６３５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平１０－１５１５７１（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ２４Ｄ ７／０６
Ｂ２４Ｄ ３／１８
Ｂ２４Ｄ ３／０４
Ｂ２４Ｄ ３／０６
Ｈ０１Ｌ ２１／３０４
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１の表面を有する基板と；前記第１の表面に取り付けられた複数の研磨体と、
を含む研磨物品であって、
しかも、前記複数の研磨体は：
ガラス質結合材料を含む第１の研磨体；および
金属結合材料を含む第２の研磨体
を含み、
しかも、前記第１の研磨体および前記第２の研磨体は、異なる少なくとも１つの研磨特性を有し、しかも、前記研磨特性は、結合組成、結合量、気孔率含有量、孔径分布、平均孔径、平均研磨粒子径、研磨粒子組成、またはそれらの任意の組み合わせを含む群から選択され、前記第１の研磨体は前記第２の研磨体から離間して配置されており、
前記複数の研磨体は、前記第１の研磨体と前記第２の研磨体とを交互に配置することを含み、
前記研磨物品は、０．０８ｃｃ以上で０．４ｃｃ以下の前記第１の研磨体と前記第２の研磨体との間の摩耗率の差を有する、研磨物品。
【請求項2】
前記第１の研磨体は、下記：前記第１の研磨体の総体積に対して、少なくとも１２ｖｏｌ％で２８ｖｏｌ％以下の第１の含有量の超砥粒；
前記第１の研磨体の総体積に対して、少なくとも５２ｖｏｌ％で６８ｖｏｌ％以下の第１の含有量の気孔率；および
前記第１の研磨体の総体積に対して、少なくとも６ｖｏｌ％で１８ｖｏｌ％以下の第１の含有量の結合材料であって、ガラス質材料を含む結合材料、
を含む、請求項１記載の研磨物品。
【請求項3】
前記研磨物品は、下記：最大荷重時の平均圧縮応力が５０ＭＰａ以上で５００ＭＰａ以下であること、を有する、請求項１に記載の研磨物品。
【請求項4】
最大荷重時の平均圧縮応力が少なくとも５０ＭＰａであることを特徴とする、請求項１に記載の研磨物品。
【請求項5】
最大荷重時の平均圧縮応力が５００ＭＰａ以下であることを特徴とする、請求項１に記載の研磨物品。
【請求項6】
前記第１の研磨体は、少なくとも０．０８ｃｃの摩耗率指数を含むことを特徴とする、請求項１記載の研磨物品。
【請求項7】
前記第１の研磨体は、１．０ｃｃ以下の摩耗率指数を含むことを特徴とする、請求項１記載の研磨物品。
【請求項8】
前記第２の研磨体は、少なくとも０．２５ｃｃの摩耗率指数を含むことを特徴とする、請求項１記載の研磨物品。
【請求項9】
前記第２の研磨体は、１．０ｃｃ以下の摩耗率指数を含むことを特徴とする、請求項１記載の研磨物品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
技術分野
以下は、研磨物品（研磨用物品）、特に結合された研磨剤セグメントを含む研磨物品に関するものである。
以下は、研磨物品（研磨用物品）、特に結合された研磨剤セグメントを含む研磨物品に関するものである。
【背景技術】
【0002】
背景技術
鋸引き、穴開け、研磨、清掃、彫刻、研削など、ワークピースから材料を除去する一般的な機能を持つ様々な研磨工具が、過去一世紀にわたって様々な産業向けに開発されてきた。電子デバイスの製造では、ウェーハの表面を研削して、その上に電子デバイスを蒸着するための準備をすることがある。また、電子デバイスの形成後、ダイシングの前にウェーハの裏面を研削することもある。一般に、ある種の研削処理を行うために利用される物品は砥石であり、砥石は一般に研磨セグメントを含む。
鋸引き、穴開け、研磨、清掃、彫刻、研削など、ワークピースから材料を除去する一般的な機能を持つ様々な研磨工具が、過去一世紀にわたって様々な産業向けに開発されてきた。電子デバイスの製造では、ウェーハの表面を研削して、その上に電子デバイスを蒸着するための準備をすることがある。また、電子デバイスの形成後、ダイシングの前にウェーハの裏面を研削することもある。一般に、ある種の研削処理を行うために利用される物品は砥石であり、砥石は一般に研磨セグメントを含む。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0003】
業界では、研削性能を向上させることができる砥石材料の改良が求められ続けている。
【図面の簡単な説明】
【0004】
図面の簡単な記述
本開示は、添付の図面を参照することによって、よりよく理解され、その多数の特徴および利点が当業者に明らかにされ得る。
本開示は、添付の図面を参照することによって、よりよく理解され、その多数の特徴および利点が当業者に明らかにされ得る。
【発明を実施するための形態】
【0005】
好ましい実施形態の詳細な説明
図と組み合わせた以下の説明は、本明細書で提供される教示を理解するのを助けるために提供される。以下の開示は、本教示の特定の実施および実施形態に焦点を当てる。この焦点は、教示を説明するのを助けるために提供され、教示の範囲または適用性を制限するものとして解釈されるべきではない。しかしながら、他の教示を本願で確実に使用することができる。
図と組み合わせた以下の説明は、本明細書で提供される教示を理解するのを助けるために提供される。以下の開示は、本教示の特定の実施および実施形態に焦点を当てる。この焦点は、教示を説明するのを助けるために提供され、教示の範囲または適用性を制限するものとして解釈されるべきではない。しかしながら、他の教示を本願で確実に使用することができる。
【0006】
本明細書で使用されるように、用語「備える」、「構成する」、「含む」、「包含する」、「有する」、「含む」、又はその他の変形は、非排他的な包含をカバーすることを意図している。例えば、特徴のリストから構成される方法、物品、又は装置は、必ずしもそれらの特徴のみに限定されるものではなく、明示的にリストされていない他の特徴又は当該方法、物品、又は装置に固有の特徴を含んでもよい。さらに、明示的に反対を表明しない限り、「または」は包括的な「または」を指し、排他的な「または」を指さない。例えば、条件ＡまたはＢは、以下のいずれか１つによって満たされる：Ａが真（または存在）でＢが偽（または存在しない）、Ａが偽（または存在しない）でＢが真（または存在）、ＡおよびＢの両方が真（または存在）。
【0007】
また、「１つ」または「１つの」の使用は、本明細書に記載される要素および構成要素を説明するために採用される。これは、単に便宜上、および本発明の範囲の一般的な感覚を与えるために行われるものである。本明細書は、そうでないことが明らかでない限り、１つまたは少なくとも１つを含み、単数形は複数形も含み、またはその逆もまた含むと読むべきである。例えば、本明細書において、単一の項目が記載されている場合、単一の項目の代わりに複数の項目が使用されてもよい。同様に、本明細書において２つ以上の項目が記載されている場合、１つの項目をその２つ以上の項目に置き換えて使用することができる。
【0008】
特に定義しない限り、本明細書で使用される全ての技術用語および科学用語は、本発明が属する技術分野の通常の技術者によって一般的に理解されるのと同じ意味を有する。材料、方法、および実施例は、例示に過ぎず、限定することを意図していない。特定の材料および処理行為に関する特定の詳細が記載されていない限り、かかる詳細は、製造技術内の参考書および他の情報源に見出され得る従来のアプローチを含むことができる。
【0009】
以下、研磨物品、より詳細には、１つ以上の研磨体、特に、異なる研磨特性を有する研磨体を含む研磨物品を対象とする。研磨体は、結合材料の三次元体積内に含まれる研磨粒子を有する、結合研磨体の形態であることができる。研磨物品は、被研磨物を研磨するのに適していてもよく、特に、硬質材料、より詳細には、サファイア又は炭化ケイ素ウェーハのような硬質単結晶材料の研磨に適している。
【0010】
本明細書の実施形態の研磨物品は、特定の材料除去作業において利用することができる。例えば、研磨物品は、研磨物品を１つ又は複数のウェーハに対して相対的に移動させることによって１つ又は複数のウェーハから同時に材料を除去する工程を含む材料除去作業において利用することができる。特定の実施態様では、研磨物品を１つ以上のウェーハに対して相対的に移動させる工程は、静止位置に保持され得る１つ以上のウェーハに対して研磨物品を相対的に回転させることを含むことができる。他の実施態様では、研磨物品を１つ以上のウェーハに対して相対的に移動させる工程は、複数のウェーハを研磨物品に対して相対的に回転させることを含むことができ、このウェーハは静止した位置に保持されてもよい。このようなプロセスにおいて、研磨物品間の相対的な移動は、研磨物品及び／又は１つ以上のウェーハの互いに対する相対的な移動を含むことができることが理解されるであろう。
【0011】
実施形態において、研磨物品１００は、基板１０１の主要な平面表面１０２に結合された第１の研磨体１０３及び第２の研磨体１０４を含むことができる。実施形態では、研磨物品は、複数の第１の研磨体１０３及び複数の第２の研磨体１０４を含む複数の研磨体を含むことができる。
【0012】
実施形態において、第１の研磨体及び第２の研磨体は、異なる少なくとも１つの研磨特性を有することができ、研磨特性は、結合組成、結合量、気孔率含有量、孔径分布、平均孔径、平均研磨粒子径、研磨粒子組成、又はそれらの任意の組み合わせの群から選択される。第１の研磨体及び第２の研磨体について特定の特性を選択することで、研磨物品の性能を向上させることができると考えられている。
【0013】
一実施形態において、第１の研磨体は、結合材料中の研磨粒子を含むことができる。
【0014】
実施形態において、第１の研磨体は、研磨物品の改良された性能及び／又は製造を促進し得る特定の種類の研磨粒子を含むことができる。実施形態において、第１の研磨体は、酸化物、炭化物、窒化物、硼化物、ダイヤモンドを含む研磨粒子を含むことができる。実施形態において、第１の研磨体は、超砥粒を含んでなる研磨粒子を含むことができる。実施形態において、第１の研磨体は、ダイヤモンドを含む研磨粒子を含むことができる。
【0015】
実施形態では、第１の研磨体は、研磨物品の改良された性能及び／又は製造を促進し得る研磨粒子の特定の含有量を含むことができる。実施形態において、第１の研磨体は、第１の研磨体の総体積に対して少なくとも１０ｖｏｌ％、又は第１の研磨体の総体積に対して少なくとも１２ｖｏｌ％又は少なくとも１４ｖｏｌ％又は少なくとも１６ｖｏｌ％又は少なくとも１８ｖｏｌ％又は少なくとも２０ｖｏｌ％の砥粒の第１の含有量を含むことができる。実施形態において、第１の研磨体は、第１の研磨体の総体積に対して３０ｖｏｌ％以下の研磨粒子の第１の含有量、又は第１の研磨体の総体積に対して２８ｖｏｌ％以下又は２６ｖｏｌ％以下又は２４ｖｏｌ％以下又は２２ｖｏｌ％以下の研磨粒子を含むことができる。研磨粒子の第１の含有量は、例えば、少なくとも１２ｖｏｌ％かつ２４ｖｏｌ％以下、または少なくとも１８ｖｏｌ％かつ２２ｖｏｌ％以下を含むがこれらに限定されない、上述の最小値と最大値との間のいずれであってもよいことが理解されよう。
【0016】
実施形態において、第１の研磨体は、研磨物品の改善された性能及び／又は製造を促進し得る特定の気孔率を含むことができる。実施形態において、第１の研磨体は、第１の研磨体の総体積に対して少なくとも５０ｖｏｌ％又は少なくとも５２ｖｏｌ％又は少なくとも５４ｖｏｌ％又は少なくとも５６ｖｏｌ％又は少なくとも５８ｖｏｌ％の気孔率を含むことができる。実施形態において、第１の研磨体は、第１の研磨体の総体積に対して、７０ｖｏｌ％以下、６８ｖｏｌ％以下、又は６６ｖｏｌ％以下、又は６４ｖｏｌ％以下、又は６２ｖｏｌ％以下の気孔率を含むことができる。第１の研磨体の気孔率は、例えば、少なくとも５０ｖｏｌ％かつ６６ｖｏｌ％以下、又は少なくとも５２ｖｏｌ％かつ７０ｖｏｌ％以下を含むがこれらに限定されない、上述の最小値と最大値のいずれかの間にあることができることが理解されよう。
【0017】
実施形態では、第１の研磨体は、研磨物品の改良された性能及び／又は製造を促進し得る特定の結合材料を含むことができる。実施形態において、第１の研磨体は、ガラス質結合材料、金属結合材料、又は樹脂結合材料を含む結合材料を含むことができる。実施形態において、第１の研磨体は、ガラス質結合材料を含む結合材料を含むことができる。実施形態において、第１の研磨体は、ガラス質結合材料を含む結合材料を含むことができる。
【0018】
実施形態では、第１の研磨体は、研磨物品の改良された性能及び／又は製造を促進し得る結合材の特定の含有量を含むことができる。実施形態において、第１の研磨体は、第１の研磨体の総体積に対して少なくとも５ｖｏｌ％又は少なくとも６ｖｏｌ％又は少なくとも８ｖｏｌ％又は第１の研磨体の総体積に対して少なくとも１０ｖｏｌ％の結合材の第１の含有量を含むことができる。実施形態では、第１の研磨体は、第１の研磨体の総体積に対して２０ｖｏｌ％以下、又は１８ｖｏｌ％以下、又は１６ｖｏｌ％以下、又は１４ｖｏｌ％以下の結合材料の第１の含有量を含むことができる。結合材料の第１の含有量は、例えば、少なくとも５ｖｏｌ％及び２０ｖｏｌ％以下、又は少なくとも６ｖｏｌ％及び１８ｖｏｌ％以下を含むがこれらに限定されない、上述の最小値と最大値のいずれかの間であってもよいことが理解されるであろう。
【0019】
実施形態において、第１の研磨体は、充填剤を含んでもよい。実施形態において、第１の研磨体は、研磨物品の改良された性能及び／又は製造を促進し得る特定のタイプのフィラーを含んでもよい。実施形態において、第１の研磨体は、微粒子、繊維、無機材料、有機材料、又はそれらの組み合わせを含む充填材を含んでもよい。実施形態において、第１の研磨体は、耐摩耗性粒子を含む充填材を含んでもよい。実施形態において、第１の研磨体は、タングステン、鉄、チタン、ダイヤモンド、炭化物、窒化物、硼化物、酸化物、又はこれらの組み合わせを含むフィラーを含んでもよい。実施形態において、第１の研磨体は、アルミナ球体を含むフィラーを含んでもよい。
【0020】
実施形態において、第１の研磨体は、研磨物品の改良された性能及び／又は製造を促進し得る特定の含有量の充填剤を含むことができる。実施形態において、第１の研磨体は、少なくとも０．５ｖｏｌ％、少なくとも１ｖｏｌ％、少なくとも２ｖｏｌ％、少なくとも４ｖｏｌ％、又は少なくとも６ｖｏｌ％のフィラーの第１の含有量を含むことができる。実施形態において、第１の研磨体は、２０ｖｏｌ％以下、１８ｖｏｌ％以下、１６ｖｏｌ％以下、１４ｖｏｌ％以下、又は１２ｖｏｌ％以下のフィラーの第１の含有量を含むことができる。フィラーの第１の含有量は、例えば、少なくとも１ｖｏｌ％及び２０ｖｏｌ％以下、又は少なくとも６ｖｏｌ％及び１８ｖｏｌ％以下を含むがこれらに限定されない、上述の最小値と最大値のいずれかの間であってもよいことが理解されるであろう。
【0021】
実施形態において、第２の研磨体は、結合材料中の研磨粒子を含むことができる。
【0022】
実施形態において、第２の研磨体は、研磨物品の改良された性能及び／又は製造を促進し得る特定の種類の研磨粒子を含むことができる。実施形態において、第２の研磨体は、酸化物、炭化物、窒化物、硼化物、ダイヤモンドを含む研磨粒子を含むことができる。実施形態において、第２の研磨体は、超砥粒を含んでなる研磨粒子を含むことができる。実施形態において、第２の研磨体は、ダイヤモンドを含む研磨粒子を含むことができる。
【0023】
実施形態では、第２の研磨体は、研磨物品の改良された性能及び／又は製造を促進し得る研磨粒子の特定の含有量を含むことができる。実施形態において、第２の研磨体は、第２の研磨体の総体積に対して少なくとも０．５ｖｏｌ％又は第２の研磨体の総体積に対して少なくとも１ｖｏｌ％の研磨粒子の第２の含有量を含むことができる。実施形態において、第２の研磨体は、第２の研磨体の総体積に対して８ｖｏｌ％以下、又は７ｖｏｌ％以下、又は６ｖｏｌ％以下、又は５ｖｏｌ％以下、又は４ｖｏｌ％以下、又は３ｖｏｌ％以下の第２の砥粒含有量を含むことができる。研磨粒子の第２の含有量は、例えば、少なくとも０．５ｖｏｌ％かつ７ｖｏｌ％以下、または少なくとも１ｖｏｌ％かつ６ｖｏｌ％以下を含むがこれらに限定されない、上述の最小値と最大値のいずれかの間であってもよいことが理解されるであろう。
【0024】
実施形態において、第２の研磨体は、研磨物品の改良された性能及び／又は製造を促進し得る特定の気孔率を含むことができる。実施形態において、第２の研磨体は、第２の研磨体の総体積に対して４５ｖｏｌ％、又は少なくとも５０％又は少なくとも５５ｖｏｌ％又は少なくとも６０ｖｏｌ％又は少なくとも６３ｖｏｌ％又は少なくとも６６ｖｏｌ％、第２の研磨体の総体積に対して気孔率を含むことができる。実施形態において、第２の研磨体は、第２の研磨体の総体積に対して８０ｖｏｌ％以下、又は７８ｖｏｌ％以下、又は７５ｖｏｌ％以下、及び７２ｖｏｌ％以下、又は７０ｖｏｌ％以下の気孔率を含むことができる。第２の研磨体の気孔率は、例えば、少なくとも５０ｖｏｌ％かつ７８ｖｏｌ％以下、又は少なくとも５５ｖｏｌ％かつ７０ｖｏｌ％以下を含むがこれらに限定されない、上述の最小値と最大値との間のいずれであってもよいことが理解されよう。
【0025】
実施形態では、第２の研磨体は、研磨物品の改良された性能及び／又は製造を促進し得る結合材の特定の含有量を含むことができる。実施形態において、第２の研磨体は、第２の研磨体の総体積に対して少なくとも２０ｖｏｌ％、又は少なくとも２２ｖｏｌ％、又は少なくとも２５ｖｏｌ％、又は少なくとも２８ｖｏｌ％の結合材料の第２の含有量を含むことができる。実施形態では、第２の研磨体は、第２の研磨体の総体積に対して４５ｖｏｌ％以下、又は４０ｖｏｌ％以下、又は３８ｖｏｌ％以下、又は３６ｖｏｌ％以下、又は３２ｖｏｌ％以下の結合材料の第２の含有量を含むことができる。結合材料の第２の含有量は、例えば、少なくとも２０ｖｏｌ％及び４０ｖｏｌ％以下、又は少なくとも２２ｖｏｌ％及び４５ｖｏｌ％以下を含むがこれらに限定されない、上述の最小値と最大値のいずれかの間であってもよいことが理解されるであろう。
【0026】
実施形態において、第２の研磨体は、充填剤を含んでもよい。実施形態において、第２の研磨体は、研磨物品の改良された性能及び／又は製造を促進し得る特定のタイプのフィラーを含んでもよい。実施形態において、第２の研磨体は、微粒子、繊維、無機材料、有機材料、又はそれらの組み合わせを含む充填材を含んでもよい。実施形態において、第２の研磨体は、耐摩耗性粒子を含む充填材を含んでもよい。実施形態において、第２の研磨体は、タングステン、鉄、チタン、ダイヤモンド、炭化物、窒化物、硼化物、酸化物、又はこれらの組み合わせを含むフィラーを含んでもよい。実施形態において、第２の研磨体は、アルミナ球体を含むフィラーを含んでもよい。
【0027】
実施形態では、第２の研磨体は、研磨物品の改良された性能及び／又は製造を促進し得る特定の含有量の充填剤を含むことができる。実施形態において、第２の研磨体は、第２の研磨体の総体積に対して１０ｖｏｌ％以下、又は第２の研磨体の総体積に対して８ｖｏｌ％以下、又は第２の研磨体の総体積に対して６ｖｏｌ％以下、又は第２の研磨体の総体積に対して４ｖｏｌ％以下、又は２ｖｏｌ％以下のフィラー含有量を含むことができる。実施形態において、第２の研磨体は、第２の研磨体がフィラーを含まない、フィラーフリーであってよい。フィラーの第２の含有量は、例えば、少なくとも１ｖｏｌ％及び２０ｖｏｌ％以下、又は少なくとも６ｖｏｌ％及び１８ｖｏｌ％以下を含むがこれらに限定されない、上述の最小値と最大値の間のいずれであってもよいことが理解されよう。
【0028】
実施形態において、第１の研磨体は、研磨物品の改良された性能及び／又は製造を促進し得る特定の摩耗率指数を有することができる。摩耗率指数は、研磨体の同じ材料から形成されたパックを炭化ケイ素紙（３２０グリット）に対して３０Ｎの力で５秒間回転させ（１５０ＲＰＭ）、除去された材料の量を測定することによって決定することができる。実施形態において、第１の研磨体は、少なくとも０．０５ｃｃまたは少なくとも０．０６ｃｃまたは少なくとも０．０７ｃｃまたは少なくとも０．０８ｃｃまたは少なくとも０．０９ｃｃまたは少なくとも０．１０ｃｃの摩耗率指数を有することが可能である。実施形態において、第１の研磨体は、１．０ｃｃ以下、０．９０ｃｃ以下、０．８０ｃｃ以下、０．６０ｃｃ以下、０．５０ｃｃ以下、０．４０ｃｃ以下、０．３０ｃｃ以下、０．２０ｃｃ以下の摩耗率指数を有することが可能である。第１の研磨体の摩耗率指数は、例えば、少なくとも０．１ｃｃと０．９ｃｃ以下とを含むがこれに限定されない、上述の最小値と最大値との間のいずれであってもよいことが理解されよう。
【0029】
実施形態において、第２の研磨体は、研磨物品の改良された性能及び／又は製造を促進し得る特定の摩耗率指数を有することができる。実施形態において、第２の研磨体は、少なくとも０．２５ｃｃ又は少なくとも０．２６ｃｃ又は少なくとも０．２７ｃｃ又は少なくとも０．２８ｃｃ又は少なくとも０．２９ｃｃ又は少なくとも０．３０ｃｃの摩耗率指数を有することができる。実施形態において、第２の研磨体は、１．０ｃｃ以下、０．９０ｃｃ以下、０．８０ｃｃ以下、０．６０ｃｃ以下、０．５０ｃｃ以下の大きさの摩耗率指数を有し得る。第２の研磨体の摩耗率指数は、例えば、少なくとも０．２５ｃｃと０．９ｃｃ以下とを含むがこれに限定されない、上述の最小値と最大値との間のいずれであってもよいことが理解されよう。
【0030】
実施形態において、研磨物品は、研磨物品の改良された性能及び／又は製造を容易にし得る、第１の研磨体と第２の研磨体との間の特定の摩耗率の差を有することができる。実施形態において、摩耗率の差は、少なくとも０．０８ｃｃ又は少なくとも０．１０ｃｃ又は少なくとも０．１５ｃｃ又は少なくとも０．１８ｃｃ又は少なくとも０．２０ｃｃであり得る。実施形態において、摩耗率の差は、少なくとも５％、少なくとも１０％、又は少なくとも１５％とすることができる。実施形態において、摩耗率の差は、１．０ｃｃ以下、０．９０ｃｃ以下、０．８０ｃｃ以下、０．６０ｃｃ以下、０．５０ｃｃ以下、０．４０ｃｃ以下とすることができる。一実施形態では、摩耗率の差は、低い方の摩耗率の２００％以下とすることができる。摩耗率の差は、例えば、少なくとも少なくとも０．０８ｃｃ及び下限摩耗率の２００％以下を含むがこれに限定されない、上述の最小値と最大値のいずれかの間であってもよいことが理解されよう。
【0031】
実施形態において、研磨物品は、研磨物品の改良された性能及び／又は製造を容易にし得る、第１の研磨体と第２の研磨体との間の特定の摩耗率の差を有することができる。実施形態において、摩耗率の差は、少なくとも０．０８ｃｃ又は少なくとも０．１０ｃｃ又は少なくとも０．１５ｃｃ又は少なくとも０．１８ｃｃ又は少なくとも０．２０ｃｃであり得る。実施形態において、摩耗率の差は、少なくとも５％、少なくとも１０％、又は少なくとも１５％とすることができる。実施形態において、摩耗率の差は、１．０ｃｃ以下、０．９０ｃｃ以下、０．８０ｃｃ以下、０．６０ｃｃ以下、０．５０ｃｃ以下、０．４０ｃｃ以下とすることができる。一実施形態では、摩耗率の差は、低い方の摩耗率の２００％以下とすることができる。摩耗率の差は、例えば、少なくとも少なくとも０．０８ｃｃ及び下限摩耗率の２００％以下を含むがこれに限定されない、上述の最小値と最大値のいずれかの間であってもよいことが理解されよう。
【0032】
実施形態において、研磨物品は、研磨物品の改良された性能及び／又は製造を容易にし得る、最大荷重における特定の平均圧縮応力を有することができる。実施形態において、最大荷重における平均圧縮応力は、少なくとも５０ＭＰａ又は少なくとも６０ＭＰａ又は少なくとも７０ＭＰａ又は少なくとも８０ＭＰａａａ又は少なくとも９０ＭＰａ又は少なくとも１００ＭＰａ又は少なくとも１１０ＭＰａ又は少なくとも１２０ＭＰａ又は少なくとも１３０ＭＰａ又は少なくとも１４０ＭＰａ又は少なくとも１５０とすることができる。実施形態において、最大荷重における平均圧縮応力は、４５０ＭＰａ以下、４００ＭＰａ以下、３８０ＭＰａ以下、３５０ＭＰａ以下、３２０ＭＰａ以下、３００ＭＰａ以下、２８０ＭＰａ以下、２５０ＭＰａ以下、２２０ＭＰａ以下、及び２００ＭＰａ以下とすることが可能である。最大荷重時の平均圧縮応力は、例えば、少なくとも少なくとも５０ＭＰＡおよび２００ＭＰａを超えないことを含むが、これに限定されない、上述の最小値と最大値との間のいずれであってもよいことが理解されよう。
【0033】
第１の研磨体及び第２の研磨体は、図１又は図２のいずれかに提供されるように、互いに対して径方向に交互に配置することができる。図１または図２のいずれかに提供されるように、第１の研磨体および第２の研磨体を互いに対して半径方向に交互に配置することができる。研磨体の他の配置を利用することができることは理解されよう。例えば、第１および第２ボディの交互のグループ分けを有することが好適であり得る。第１のグルーピングが複数の第１の研磨体を含み、第２のグルーピングが複数の第２の研磨体を含み、グルーピングが互いに対して交互になるようなものである。グルーピングは、任意の数の研磨体を含むことができる。第１の研磨体のグルーピングは、第２の研磨体のグルーピングと同じ数の研磨体を有することができ、又は異なる数の研磨体を有することができる。グループ内の研磨体は、その間に異なる種類の他の研磨体が介在することなく、互いにすぐに隣接していることができる。研磨体は、ランダムに配置されてもよい。研磨体は、ランダムに配向されてもよいし、非ランダムに配向されてもよい。非ランダムな配向の非限定的な例としては、図２の扇状配向及び図１の円周方向配向が挙げられる。
【0034】
実施形態では、複数の第１の研磨体は、第１の表面積ＳＡ１を提供することができ、複数の第２の研磨体は、第２の研磨表面積ＳＡ２を提供する。実施形態において、研磨物品は、研磨物品の改善された性能及び／又は製造を提供するＳＡ１／ＳＡ２の特定の比を含むことができる。実施形態において、ＳＡ１／ＳＡ２は、少なくとも０．１、又は少なくとも０．２、又は少なくとも０．３、又は少なくとも０．４、又は少なくとも０．５とすることができる。実施形態において、ＳＡ１／ＳＡ２は、１０以下、または９以下、または８以下、または７以下、または６以下、または５以下とすることができる。ＳＡ１／ＳＡ２は、例えば、少なくとも０．１及び１０以下、少なくとも０．３及び７以下、又は少なくとも０．５及び８以下を含むがこれらに限定されない、上述の最小値と最大値のいずれかの間にあることができることが理解されるであろう。
【0035】
多くの異なる態様および実施形態が可能である。それらの態様および実施形態のいくつかが本明細書に記載されている。本明細書を読んだ後、当業者は、それらの態様および実施形態が例示に過ぎず、本発明の範囲を限定するものではないことを理解するであろう。実施形態は、以下に列挙する実施形態のうちのいずれか１つ以上に従ってもよい。
【0036】
実施形態
実施形態１．
基板に結合された第１の研磨体を含む研磨物品であって、該第１の研磨体は、第１の研磨体の総体積に対して少なくとも１０ｖｏｌ％、３０ｖｏｌ％以下の研磨粒子の第１の含有量；第１の研磨体の総体積に対して少なくとも５０ｖｏｌ％、７０ｖｏｌ％以下の多孔性の第１の含有量；第１の研磨体の総体積に対して少なくとも５ｖｏｌ％、２０ｖｏｌ％以下の結合材の第１の含有量（結合材がガラス質材料を含む）を含み；及び基板に結合した第２の研磨体を含み、第２の研磨体が：金属を含む結合材；および、第１の研磨体の研磨粒子の第１の含有量とは異なる第２の研磨体中の研磨粒子の第２の含有量；第１の研磨体の気孔率の第１の含有量とは異なる第２の研磨体中の気孔率の第２の含有量；または第１の研磨体の結合材の第１の含有量とは異なる第２の研磨体中の結合材の第２の含有量のうちの少なくとも１つを含んでいる、研磨物品。
実施形態１．
基板に結合された第１の研磨体を含む研磨物品であって、該第１の研磨体は、第１の研磨体の総体積に対して少なくとも１０ｖｏｌ％、３０ｖｏｌ％以下の研磨粒子の第１の含有量；第１の研磨体の総体積に対して少なくとも５０ｖｏｌ％、７０ｖｏｌ％以下の多孔性の第１の含有量；第１の研磨体の総体積に対して少なくとも５ｖｏｌ％、２０ｖｏｌ％以下の結合材の第１の含有量（結合材がガラス質材料を含む）を含み；及び基板に結合した第２の研磨体を含み、第２の研磨体が：金属を含む結合材；および、第１の研磨体の研磨粒子の第１の含有量とは異なる第２の研磨体中の研磨粒子の第２の含有量；第１の研磨体の気孔率の第１の含有量とは異なる第２の研磨体中の気孔率の第２の含有量；または第１の研磨体の結合材の第１の含有量とは異なる第２の研磨体中の結合材の第２の含有量のうちの少なくとも１つを含んでいる、研磨物品。
【0037】
実施形態２．
基板に結合された第１の研磨体を含む研磨物品であって、第１の研磨体は、砥粒と、ガラス質材料を含む結合材とを含む研磨粒子を含み、基板に結合された第２の研磨体を含み、第２の研磨体は、砥粒と、少なくとも一つの非ガラス相材料を含む結合材とを含む研磨粒子を含み、第１の研磨体と第２の研磨体との摩耗率の差が少なくとも０．０８ｃｃである、研磨物品。
基板に結合された第１の研磨体を含む研磨物品であって、第１の研磨体は、砥粒と、ガラス質材料を含む結合材とを含む研磨粒子を含み、基板に結合された第２の研磨体を含み、第２の研磨体は、砥粒と、少なくとも一つの非ガラス相材料を含む結合材とを含む研磨粒子を含み、第１の研磨体と第２の研磨体との摩耗率の差が少なくとも０．０８ｃｃである、研磨物品。
【0038】
実施形態３．
第１表面を含む基板と；第１表面に取り付けられた複数の研磨体を含む研磨物品であって、複数の研磨体が、第１の研磨体；及び第２の研磨体を含み、第１の研磨体及び第２の研磨体は、異なる少なくとも１つの研磨特性を有し、研磨特性は、結合組成、結合量、気孔率内容、孔径分布、平均孔径、平均研磨粒子径、研磨粒子組成、又はそれらの任意の組み合わせの群から選択され、複数の研磨体は、第１の研磨体と第２の研磨体との交互配置を含む、研磨物品。
第１表面を含む基板と；第１表面に取り付けられた複数の研磨体を含む研磨物品であって、複数の研磨体が、第１の研磨体；及び第２の研磨体を含み、第１の研磨体及び第２の研磨体は、異なる少なくとも１つの研磨特性を有し、研磨特性は、結合組成、結合量、気孔率内容、孔径分布、平均孔径、平均研磨粒子径、研磨粒子組成、又はそれらの任意の組み合わせの群から選択され、複数の研磨体は、第１の研磨体と第２の研磨体との交互配置を含む、研磨物品。
【0039】
実施形態４．
第１の表面を含む基板；第１の表面に取り付けられた複数の研磨体を含む研磨物品であって、複数の研磨体は、第１の研磨体；及び第２の研磨体を含み、第１の研磨体及び第２の研磨体は、異なる少なくとも１つの研磨特性を有し、研磨特性は、結合組成、結合量、気孔率含有量、孔径分布、平均孔径、平均研磨粒子径、研磨粒子組成、又はそれらの任意の組み合わせの群から選択され、第１の研磨体及び第２の研磨体は、第１の研磨体と第２の研磨体間の摩耗率の差が少なくとも０．０８ｃｃ；および最大荷重時の平均圧縮応力が少なくとも５０ＭＰａである、研磨物品。
第１の表面を含む基板；第１の表面に取り付けられた複数の研磨体を含む研磨物品であって、複数の研磨体は、第１の研磨体；及び第２の研磨体を含み、第１の研磨体及び第２の研磨体は、異なる少なくとも１つの研磨特性を有し、研磨特性は、結合組成、結合量、気孔率含有量、孔径分布、平均孔径、平均研磨粒子径、研磨粒子組成、又はそれらの任意の組み合わせの群から選択され、第１の研磨体及び第２の研磨体は、第１の研磨体と第２の研磨体間の摩耗率の差が少なくとも０．０８ｃｃ；および最大荷重時の平均圧縮応力が少なくとも５０ＭＰａである、研磨物品。
【0040】
実施形態５．
第１の研磨体は、第１の研磨体の総体積に対して少なくとも１２ｖｏｌ％、２８ｖｏｌ％以下の研磨粒子の第１の含有量と、第１の研磨体の総体積に対して少なくとも５２ｖｏｌ％、６８ｖｏｌ％以下の多孔性の第１の含有量と、第１の研磨体の総体積に対して少なくとも６ｖｏｌ％、１８ｖｏｌ％以下の結合材料の第１の含有量とを含み、結合材料がガラス質材料を含む、先の実施形態のいずれかの研磨物品。
第１の研磨体は、第１の研磨体の総体積に対して少なくとも１２ｖｏｌ％、２８ｖｏｌ％以下の研磨粒子の第１の含有量と、第１の研磨体の総体積に対して少なくとも５２ｖｏｌ％、６８ｖｏｌ％以下の多孔性の第１の含有量と、第１の研磨体の総体積に対して少なくとも６ｖｏｌ％、１８ｖｏｌ％以下の結合材料の第１の含有量とを含み、結合材料がガラス質材料を含む、先の実施形態のいずれかの研磨物品。
【0041】
実施形態６．
第１の研磨体は、第１の研磨体の総体積に対して少なくとも１０ｖｏｌ％、又は第１の研磨体の総体積に対して少なくとも１２ｖｏｌ％又は少なくとも１４ｖｏｌ％又は少なくとも１６ｖｏｌ％又は少なくとも１８ｖｏｌ％又は少なくとも２０ｖｏｌ％の研磨粒子の第１の含有量を含む、先のいずれかの実施形態に記載の研磨物品。
第１の研磨体は、第１の研磨体の総体積に対して少なくとも１０ｖｏｌ％、又は第１の研磨体の総体積に対して少なくとも１２ｖｏｌ％又は少なくとも１４ｖｏｌ％又は少なくとも１６ｖｏｌ％又は少なくとも１８ｖｏｌ％又は少なくとも２０ｖｏｌ％の研磨粒子の第１の含有量を含む、先のいずれかの実施形態に記載の研磨物品。
【0042】
実施形態７．
第１の研磨体は、第１の研磨体の総体積に対して３０ｖｏｌ％以下、又は２８ｖｏｌ％以下、又は２６ｖｏｌ％以下、又は２４ｖｏｌ％以下、又は２２ｖｏｌ％以下の研磨粒子の第１の含有量を含む、先の実施形態のいずれかの研磨物品。
第１の研磨体は、第１の研磨体の総体積に対して３０ｖｏｌ％以下、又は２８ｖｏｌ％以下、又は２６ｖｏｌ％以下、又は２４ｖｏｌ％以下、又は２２ｖｏｌ％以下の研磨粒子の第１の含有量を含む、先の実施形態のいずれかの研磨物品。
【0043】
実施形態８．
第１の研磨体は、第１の研磨体の総体積に対して、少なくとも５０ｖｏｌ％又は少なくとも５２ｖｏｌ％又は少なくとも５４ｖｏｌ％又は少なくとも５６ｖｏｌ％又は少なくとも５８ｖｏｌ％の多孔性の第１の含有量を含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
第１の研磨体は、第１の研磨体の総体積に対して、少なくとも５０ｖｏｌ％又は少なくとも５２ｖｏｌ％又は少なくとも５４ｖｏｌ％又は少なくとも５６ｖｏｌ％又は少なくとも５８ｖｏｌ％の多孔性の第１の含有量を含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
【0044】
実施形態９．
第１の研磨体は、第１の研磨体の総体積に対して、７０ｖｏｌ％以上６８ｖｏｌ％以下、又は６６ｖｏｌ％以上６４ｖｏｌ％以下、又は６２ｖｏｌ％以下の多孔性の第１の含有量を含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
第１の研磨体は、第１の研磨体の総体積に対して、７０ｖｏｌ％以上６８ｖｏｌ％以下、又は６６ｖｏｌ％以上６４ｖｏｌ％以下、又は６２ｖｏｌ％以下の多孔性の第１の含有量を含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
【0045】
実施形態１０．
第１の研磨体は、第１の研磨体の総体積に対して少なくとも５ｖｏｌ％又は少なくとも６ｖｏｌ％又は少なくとも８ｖｏｌ％又は第１の研磨体の総体積に対して少なくとも１０ｖｏｌ％の結合材料の第１の含有量を含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
第１の研磨体は、第１の研磨体の総体積に対して少なくとも５ｖｏｌ％又は少なくとも６ｖｏｌ％又は少なくとも８ｖｏｌ％又は第１の研磨体の総体積に対して少なくとも１０ｖｏｌ％の結合材料の第１の含有量を含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
【0046】
実施形態１１．
第１の研磨体は、第１の研磨体の総体積に対して２０ｖｏｌ％以下または１８ｖｏｌ％以下または１６ｖｏｌ％以下または１４ｖｏｌ％以下の結合材料の第１の含有量を含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
第１の研磨体は、第１の研磨体の総体積に対して２０ｖｏｌ％以下または１８ｖｏｌ％以下または１６ｖｏｌ％以下または１４ｖｏｌ％以下の結合材料の第１の含有量を含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
【0047】
実施形態１２．
第１の研磨体は、少なくとも０．５ｖｏｌ％または少なくとも１ｖｏｌ％または少なくとも２ｖｏｌ％または少なくとも４ｖｏｌ％または少なくとも６ｖｏｌ％のフィラーの第１の含有量を含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
第１の研磨体は、少なくとも０．５ｖｏｌ％または少なくとも１ｖｏｌ％または少なくとも２ｖｏｌ％または少なくとも４ｖｏｌ％または少なくとも６ｖｏｌ％のフィラーの第１の含有量を含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
【0048】
実施形態１３．
第１の研磨体は、２０ｖｏｌ％以下または１８ｖｏｌ％以下または１６ｖｏｌ％以下または１４ｖｏｌ％以下または１２ｖｏｌ％以下のフィラーの第１の含有量を含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
第１の研磨体は、２０ｖｏｌ％以下または１８ｖｏｌ％以下または１６ｖｏｌ％以下または１４ｖｏｌ％以下または１２ｖｏｌ％以下のフィラーの第１の含有量を含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
【0049】
実施形態１４．
第１の研磨体は、微粒子、繊維、無機材料、有機材料、またはそれらの組み合わせを含むフィラーを含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
第１の研磨体は、微粒子、繊維、無機材料、有機材料、またはそれらの組み合わせを含むフィラーを含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
【0050】
実施形態１５．
第１の研磨体は、耐摩耗性粒子を含むフィラーを含む、先行する実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
第１の研磨体は、耐摩耗性粒子を含むフィラーを含む、先行する実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
【0051】
実施形態１６．
第１の研磨体は、タングステン、鉄、チタン、ダイヤモンド、炭化物、窒化物、ホウ化物、酸化物、又はそれらの任意の組み合わせを含む群から選択される充填剤を含む、先のいずれかの実施形態に記載の研磨物品。
第１の研磨体は、タングステン、鉄、チタン、ダイヤモンド、炭化物、窒化物、ホウ化物、酸化物、又はそれらの任意の組み合わせを含む群から選択される充填剤を含む、先のいずれかの実施形態に記載の研磨物品。
【0052】
実施形態１７．
第１の研磨体は、アルミナ球体を含む充填材を含む、前記実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
第１の研磨体は、アルミナ球体を含む充填材を含む、前記実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
【0053】
実施形態１８．
第２の研磨体は、第２の研磨体の総体積に対して少なくとも０．５ｖｏｌ％、８ｖｏｌ％以下の研磨粒子の第２の含有量と、第２の研磨体の総体積に対して少なくとも４５ｖｏｌ％、８０ｖｏｌ％以下の多孔性の第２の含有量と、第２の研磨体の総体積に対して少なくとも２０ｖｏｌ％、４５ｖｏｌ％以下の結合材の第２の含有量とを含む、先の実施形態のいずれかの研磨物品。
第２の研磨体は、第２の研磨体の総体積に対して少なくとも０．５ｖｏｌ％、８ｖｏｌ％以下の研磨粒子の第２の含有量と、第２の研磨体の総体積に対して少なくとも４５ｖｏｌ％、８０ｖｏｌ％以下の多孔性の第２の含有量と、第２の研磨体の総体積に対して少なくとも２０ｖｏｌ％、４５ｖｏｌ％以下の結合材の第２の含有量とを含む、先の実施形態のいずれかの研磨物品。
【0054】
実施形態１９．
第２の研磨体は、第２の研磨体の総体積に対して少なくとも０．５ｖｏｌ％又は第２の研磨体の総体積に対して少なくとも１ｖｏｌ％の研磨粒子の第２の含有量を含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
第２の研磨体は、第２の研磨体の総体積に対して少なくとも０．５ｖｏｌ％又は第２の研磨体の総体積に対して少なくとも１ｖｏｌ％の研磨粒子の第２の含有量を含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
【0055】
実施形態２０．
第２の研磨体は、第２の研磨体の総体積に対して８ｖｏｌ％以下、又は７ｖｏｌ％以下、又は６ｖｏｌ％以下、又は５ｖｏｌ％以下、又は４ｖｏｌ％以下、又は３ｖｏｌ％以下の研磨粒子の第２の含有量を含む、先の実施形態のいずれかの研磨物品。
第２の研磨体は、第２の研磨体の総体積に対して８ｖｏｌ％以下、又は７ｖｏｌ％以下、又は６ｖｏｌ％以下、又は５ｖｏｌ％以下、又は４ｖｏｌ％以下、又は３ｖｏｌ％以下の研磨粒子の第２の含有量を含む、先の実施形態のいずれかの研磨物品。
【0056】
実施形態２１．
第２の研磨体は、第２の研磨体の総体積に対して少なくとも４５ｖｏｌ％、又は少なくとも５０％又は少なくとも５５ｖｏｌ％又は少なくとも６０ｖｏｌ％又は少なくとも６３ｖｏｌ％又は少なくとも６６ｖｏｌ％、及び第２の研磨体の総体積に対して第２の多孔性の含有量を含む、先の実施形態のいずれかの研磨用品。
第２の研磨体は、第２の研磨体の総体積に対して少なくとも４５ｖｏｌ％、又は少なくとも５０％又は少なくとも５５ｖｏｌ％又は少なくとも６０ｖｏｌ％又は少なくとも６３ｖｏｌ％又は少なくとも６６ｖｏｌ％、及び第２の研磨体の総体積に対して第２の多孔性の含有量を含む、先の実施形態のいずれかの研磨用品。
【0057】
実施形態２２．
第２の研磨体は、第２の研磨体の総体積に対して８０ｖｏｌ％以下、又は７８ｖｏｌ％以下、又は７５ｖｏｌ％以下、及び７２ｖｏｌ％以下、又は７０ｖｏｌ％以下の第２の多孔性の含有量を含む、先の実施形態のいずれかの研磨物品。
第２の研磨体は、第２の研磨体の総体積に対して８０ｖｏｌ％以下、又は７８ｖｏｌ％以下、又は７５ｖｏｌ％以下、及び７２ｖｏｌ％以下、又は７０ｖｏｌ％以下の第２の多孔性の含有量を含む、先の実施形態のいずれかの研磨物品。
【0058】
実施形態２３．
第２の研磨体は、第２の研磨体の総体積に対して少なくとも２０ｖｏｌ％又は少なくとも２２ｖｏｌ％又は少なくとも２５ｖｏｌ％又は少なくとも２８ｖｏｌ％の結合材料の第２の含有量を含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
第２の研磨体は、第２の研磨体の総体積に対して少なくとも２０ｖｏｌ％又は少なくとも２２ｖｏｌ％又は少なくとも２５ｖｏｌ％又は少なくとも２８ｖｏｌ％の結合材料の第２の含有量を含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
【0059】
実施形態２４．
第２の研磨体は、第２の研磨体の総体積に対して４５ｖｏｌ％以下、又は４０ｖｏｌ％以下、又は３８ｖｏｌ％以下、又は３６ｖｏｌ％以下、又は３２ｖｏｌ％以下の結合材料の第２の含有量を含む、先の実施形態のいずれかの研磨物品。
第２の研磨体は、第２の研磨体の総体積に対して４５ｖｏｌ％以下、又は４０ｖｏｌ％以下、又は３８ｖｏｌ％以下、又は３６ｖｏｌ％以下、又は３２ｖｏｌ％以下の結合材料の第２の含有量を含む、先の実施形態のいずれかの研磨物品。
【0060】
実施形態２５．
第２の研磨体は、第２の研磨体の総体積に対して１０ｖｏｌ％以下、又は第２の研磨体の総体積に対して８ｖｏｌ％以下、又は第２の研磨体の総体積に対して６ｖｏｌ％以下、又は第２の研磨体の総体積に対して４ｖｏｌ％以下、又は２ｖｏｌ％以下の第２の充填剤含有量を含む、先の実施形態のいずれかの研磨用品。
第２の研磨体は、第２の研磨体の総体積に対して１０ｖｏｌ％以下、又は第２の研磨体の総体積に対して８ｖｏｌ％以下、又は第２の研磨体の総体積に対して６ｖｏｌ％以下、又は第２の研磨体の総体積に対して４ｖｏｌ％以下、又は２ｖｏｌ％以下の第２の充填剤含有量を含む、先の実施形態のいずれかの研磨用品。
【0061】
実施形態２６．
第２の研磨体はフィラーを含まない、先行する実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
第２の研磨体はフィラーを含まない、先行する実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
【0062】
実施形態２７．
第２の研磨体は、微粒子、繊維、無機材料、有機材料、またはそれらの組み合わせを含む充填材を含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
第２の研磨体は、微粒子、繊維、無機材料、有機材料、またはそれらの組み合わせを含む充填材を含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
【0063】
実施形態２８．
第２の研磨体は、耐摩耗性粒子を含む充填材を含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
第２の研磨体は、耐摩耗性粒子を含む充填材を含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
【0064】
実施形態２９．
第２の研磨体は、タングステン、鉄、チタン、ダイヤモンド、炭化物、窒化物、ホウ化物、酸化物、又はそれらの任意の組み合わせを含む群から選択されるフィラーを含む、先の実施形態のいずれかの研磨物品。
第２の研磨体は、タングステン、鉄、チタン、ダイヤモンド、炭化物、窒化物、ホウ化物、酸化物、又はそれらの任意の組み合わせを含む群から選択されるフィラーを含む、先の実施形態のいずれかの研磨物品。
【0065】
実施形態３０．
第２の第１の研磨体は、アルミナ球体を含むフィラーを含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
第２の第１の研磨体は、アルミナ球体を含むフィラーを含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
【0066】
実施形態３１．
研磨物品は、第１の研磨体と第２の研磨体との間の摩耗率の差が少なくとも０．０８ｃｃであり、１．０ｃｃ以下であり、最大荷重における平均圧縮応力が少なくとも５０ＭＰａであり、５００ＭＰａ以下である、先行実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
研磨物品は、第１の研磨体と第２の研磨体との間の摩耗率の差が少なくとも０．０８ｃｃであり、１．０ｃｃ以下であり、最大荷重における平均圧縮応力が少なくとも５０ＭＰａであり、５００ＭＰａ以下である、先行実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
【0067】
実施形態３２．
第１の研磨体の結合材料は、ガラス質結合材料、金属結合材料、または樹脂結合材料を含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
第１の研磨体の結合材料は、ガラス質結合材料、金属結合材料、または樹脂結合材料を含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
【0068】
実施形態３３．
第１の研磨体の結合材料は、ガラス質結合材料を含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
第１の研磨体の結合材料は、ガラス質結合材料を含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
【0069】
実施形態３４．
第１の研磨体の結合材料は、金属結合材料を含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
第１の研磨体の結合材料は、金属結合材料を含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
【0070】
実施形態３５．
第１の研磨体の結合材料は、樹脂結合材料を含む、前記実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
第１の研磨体の結合材料は、樹脂結合材料を含む、前記実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
【0071】
実施形態３６．
前記第１の研磨体の結合材は、ガラス質結合材を含む、前記実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
前記第１の研磨体の結合材は、ガラス質結合材を含む、前記実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
【0072】
実施形態３７．
第１の研磨体は、少なくとも０．０５ｃｃ又は少なくとも０．０６ｃｃ又は少なくとも０．０７ｃｃ又は少なくとも０．０８ｃｃ又は少なくとも０．０９ｃｃ又は少なくとも０．１０ｃｃの摩耗率指数を含む、先の実施形態のいずれかの研磨物品。
第１の研磨体は、少なくとも０．０５ｃｃ又は少なくとも０．０６ｃｃ又は少なくとも０．０７ｃｃ又は少なくとも０．０８ｃｃ又は少なくとも０．０９ｃｃ又は少なくとも０．１０ｃｃの摩耗率指数を含む、先の実施形態のいずれかの研磨物品。
【0073】
実施形態３８．
第１の研磨体は、１．０ｃｃ以下、０．９０ｃｃ以下、０．８０ｃｃ以下、０．６０ｃｃ以下、０．５０ｃｃ以下、０．４０ｃｃ以下、０．３０ｃｃ以下、０．２０ｃｃ以下の摩耗率指数を含む、先の実施形態のいずれかの研磨物品。
第１の研磨体は、１．０ｃｃ以下、０．９０ｃｃ以下、０．８０ｃｃ以下、０．６０ｃｃ以下、０．５０ｃｃ以下、０．４０ｃｃ以下、０．３０ｃｃ以下、０．２０ｃｃ以下の摩耗率指数を含む、先の実施形態のいずれかの研磨物品。
【0074】
実施形態３９．
第２の研磨体の結合材料は、ガラス質結合材料、金属結合材料、または樹脂結合材料を含む、前記実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
第２の研磨体の結合材料は、ガラス質結合材料、金属結合材料、または樹脂結合材料を含む、前記実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
【0075】
実施形態４０．
第２の研磨体の結合材料は、ガラス質結合材料を含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
第２の研磨体の結合材料は、ガラス質結合材料を含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
【0076】
実施形態４１．
第２の研磨体の結合材料は、非ガラス質結合材料を含む、前記実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
第２の研磨体の結合材料は、非ガラス質結合材料を含む、前記実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
【0077】
実施形態４２．
第２の研磨体の結合材料は、金属結合材料を含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
第２の研磨体の結合材料は、金属結合材料を含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
【0078】
実施形態４３．
前記第２の研磨体の結合材料は、樹脂結合材料を含む、前記実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
前記第２の研磨体の結合材料は、樹脂結合材料を含む、前記実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
【0079】
実施形態４４．
第２の研磨体の結合材料は、金属結合材料を含む、前記実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
第２の研磨体の結合材料は、金属結合材料を含む、前記実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
【0080】
実施形態４５．
第２の研磨体は、少なくとも０．２５ｃｃ又は少なくとも０．２６ｃｃ又は少なくとも０．２７ｃｃ又は少なくとも０．２８ｃｃ又は少なくとも０．２９ｃｃ又は少なくとも０．３０ｃｃの摩耗率指数を含む、先の実施形態のいずれかの研磨用品。
第２の研磨体は、少なくとも０．２５ｃｃ又は少なくとも０．２６ｃｃ又は少なくとも０．２７ｃｃ又は少なくとも０．２８ｃｃ又は少なくとも０．２９ｃｃ又は少なくとも０．３０ｃｃの摩耗率指数を含む、先の実施形態のいずれかの研磨用品。
【0081】
実施形態４６．
第２の研磨体は、１．０ｃｃ以下または０．９０ｃｃ以下または０．８０ｃｃ以下または０．６０ｃｃ以下または０．５０ｃｃ以下の摩耗率指数を含む、先の実施形態のいずれかの研磨物品。
第２の研磨体は、１．０ｃｃ以下または０．９０ｃｃ以下または０．８０ｃｃ以下または０．６０ｃｃ以下または０．５０ｃｃ以下の摩耗率指数を含む、先の実施形態のいずれかの研磨物品。
【0082】
実施形態４７．
第１の研磨体と第２の研磨体との間の摩耗率の差は、低い方の摩耗率の２００％よりも大きくない、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
第１の研磨体と第２の研磨体との間の摩耗率の差は、低い方の摩耗率の２００％よりも大きくない、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
【0083】
実施形態４８．
第１の研磨体と第２の研磨体との間の摩耗率の差は、少なくとも５％または少なくとも１０％または少なくとも１５％である、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
第１の研磨体と第２の研磨体との間の摩耗率の差は、少なくとも５％または少なくとも１０％または少なくとも１５％である、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
【0084】
実施形態４９．
第１の研磨体と第２の研磨体との間の摩耗率の差は、少なくとも０．０８ｃｃまたは少なくとも０．１０ｃｃまたは少なくとも０．１５ｃｃまたは少なくとも０．１８ｃｃまたは少なくとも０．２０ｃｃである、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
第１の研磨体と第２の研磨体との間の摩耗率の差は、少なくとも０．０８ｃｃまたは少なくとも０．１０ｃｃまたは少なくとも０．１５ｃｃまたは少なくとも０．１８ｃｃまたは少なくとも０．２０ｃｃである、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
【0085】
実施形態５０．
第１の研磨体と第２の研磨体との間の摩耗率の差は、１．０ｃｃより大きくないか、０．９０ｃｃより大きくないか、０．８０ｃｃより大きくないか、０．６０ｃｃより大きくないか、０．５０ｃｃより大きくないか、０．４０ｃｃより大きくない、いずれかの先の実施形態の研磨物品。
第１の研磨体と第２の研磨体との間の摩耗率の差は、１．０ｃｃより大きくないか、０．９０ｃｃより大きくないか、０．８０ｃｃより大きくないか、０．６０ｃｃより大きくないか、０．５０ｃｃより大きくないか、０．４０ｃｃより大きくない、いずれかの先の実施形態の研磨物品。
【0086】
実施形態５１．
第１の研磨体は、最大荷重における平均圧縮応力が、少なくとも５０ＭＰａまたは少なくとも６０ＭＰａまたは少なくとも７０ＭＰａまたは少なくとも８０ＭＰａまたは少なくとも９０ＭＰａまたは少なくとも１００ＭＰａまたは少なくとも１１０ＭＰａまたは少なくとも１２０ＭＰａまたは少なくとも１３０ＭＰａまたは少なくとも１４０ＭＰａまたは少なくとも１５０ＭＰａを含む、先の実施形態のいずれかの研磨物品。
第１の研磨体は、最大荷重における平均圧縮応力が、少なくとも５０ＭＰａまたは少なくとも６０ＭＰａまたは少なくとも７０ＭＰａまたは少なくとも８０ＭＰａまたは少なくとも９０ＭＰａまたは少なくとも１００ＭＰａまたは少なくとも１１０ＭＰａまたは少なくとも１２０ＭＰａまたは少なくとも１３０ＭＰａまたは少なくとも１４０ＭＰａまたは少なくとも１５０ＭＰａを含む、先の実施形態のいずれかの研磨物品。
【0087】
実施形態５２．
第１の研磨体は、最大荷重における平均圧縮応力が４５０ＭＰａ以下、４００ＭＰａ以下、３８０ＭＰａ以下、３５０ＭＰａ以下、３２０ＭＰａ以下、３００ＭＰａ以下、２８０ＭＰａ以下、２５０ＭＰａ以下、２２０ＭＰａ以下、及び２００ＭＰａ以下を含む、先のいずれかの実施形態に記載の研磨物品。
第１の研磨体は、最大荷重における平均圧縮応力が４５０ＭＰａ以下、４００ＭＰａ以下、３８０ＭＰａ以下、３５０ＭＰａ以下、３２０ＭＰａ以下、３００ＭＰａ以下、２８０ＭＰａ以下、２５０ＭＰａ以下、２２０ＭＰａ以下、及び２００ＭＰａ以下を含む、先のいずれかの実施形態に記載の研磨物品。
【0088】
実施形態５３．
基板の主要な平面表面に取り付けられた複数の研磨体をさらに含み、複数の研磨体は、複数の第１の研磨体及び複数の第２の研磨体を含み、第１の研磨体及び第２の研磨体は、互いに対して放射状に交互に配置されている、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
基板の主要な平面表面に取り付けられた複数の研磨体をさらに含み、複数の研磨体は、複数の第１の研磨体及び複数の第２の研磨体を含み、第１の研磨体及び第２の研磨体は、互いに対して放射状に交互に配置されている、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
【0089】
実施形態５４．
基板の主要な平面表面に取り付けられた複数の研磨体をさらに備え、複数の研磨体は、複数の第１の研磨体及び複数の第２の研磨体を含み、複数の第１の研磨体は、第１の研磨表面積ＳＡ１を提供し、複数の第２の研磨体は、第２の研磨表面積ＳＡ２を提供し、第２の研磨表面積に対する第１の研磨表面積、ＳＡ１／ＳＡ２が、少なくとも０．１、または少なくとも０．２、または少なくとも０．３、または少なくとも０．４、または少なくとも０．５である。
基板の主要な平面表面に取り付けられた複数の研磨体をさらに備え、複数の研磨体は、複数の第１の研磨体及び複数の第２の研磨体を含み、複数の第１の研磨体は、第１の研磨表面積ＳＡ１を提供し、複数の第２の研磨体は、第２の研磨表面積ＳＡ２を提供し、第２の研磨表面積に対する第１の研磨表面積、ＳＡ１／ＳＡ２が、少なくとも０．１、または少なくとも０．２、または少なくとも０．３、または少なくとも０．４、または少なくとも０．５である。
【0090】
実施形態５５．
基板の主要な平面表面に取り付けられた複数の研磨体をさらに備え、複数の研磨体は、複数の第１の研磨体及び複数の第２の研磨体を含み、前記実施形態のいずれかの研磨物品であって、前記複数の研磨体は、複数の第１の研磨体及び複数の第２の研磨体を含む、研磨物品。複数の第１の研磨体は、第１の研磨表面積ＳＡ１を提供し、複数の第２の研磨体は、第２の研磨表面積ＳＡ２を提供し、第１の研磨表面積から第２の研磨表面積までのＳＡ１／ＳＡ２は、１０以下、または９以下、または８以下、または７以下、または６以下、または５以下である、方法である。
基板の主要な平面表面に取り付けられた複数の研磨体をさらに備え、複数の研磨体は、複数の第１の研磨体及び複数の第２の研磨体を含み、前記実施形態のいずれかの研磨物品であって、前記複数の研磨体は、複数の第１の研磨体及び複数の第２の研磨体を含む、研磨物品。複数の第１の研磨体は、第１の研磨表面積ＳＡ１を提供し、複数の第２の研磨体は、第２の研磨表面積ＳＡ２を提供し、第１の研磨表面積から第２の研磨表面積までのＳＡ１／ＳＡ２は、１０以下、または９以下、または８以下、または７以下、または６以下、または５以下である、方法である。
【0091】
実施形態５６．
複数の研磨体は、第１の研磨体及び第２の研磨体のランダムな配置を含む、先行する実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
複数の研磨体は、第１の研磨体及び第２の研磨体のランダムな配置を含む、先行する実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
【0092】
実施形態５７．
複数の研磨体は、第１の研磨体及び第２の研磨体の非ランダムな配置を含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
複数の研磨体は、第１の研磨体及び第２の研磨体の非ランダムな配置を含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
【0093】
実施形態５８．
複数の研磨体は、第１の研磨体及び第２の研磨体の交互配置を含む、先行する実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
複数の研磨体は、第１の研磨体及び第２の研磨体の交互配置を含む、先行する実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
【0094】
実施形態５９．
第１の研磨体の研磨粒子は、酸化物、炭化物、窒化物、ホウ化物、ダイヤモンドを含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
第１の研磨体の研磨粒子は、酸化物、炭化物、窒化物、ホウ化物、ダイヤモンドを含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
【0095】
実施形態６０．
第１の研磨体の研磨粒子は、超研磨粒子を含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
第１の研磨体の研磨粒子は、超研磨粒子を含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
【0096】
実施形態６１．
第１の研磨体の研磨粒子は、ダイヤモンドを含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
第１の研磨体の研磨粒子は、ダイヤモンドを含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
【0097】
実施形態６２．
第２の研磨体の研磨粒子が、酸化物、炭化物、窒化物、ホウ化物、ダイヤモンドを含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
第２の研磨体の研磨粒子が、酸化物、炭化物、窒化物、ホウ化物、ダイヤモンドを含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
【0098】
実施形態６３．
第２の研磨体の研磨粒子は、超研磨粒子を含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
第２の研磨体の研磨粒子は、超研磨粒子を含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
【0099】
実施形態６４．
第２の研磨体の研磨粒子は、ダイヤモンドを含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
第２の研磨体の研磨粒子は、ダイヤモンドを含む、先の実施形態のいずれかに記載の研磨物品。
【0100】
例
以下の材料と工程を経て、タイプ２Ａ２ＴＳのホイール形状の研磨材を作製した。
以下の材料と工程を経て、タイプ２Ａ２ＴＳのホイール形状の研磨材を作製した。
【0101】
粉末金属合金と非ヨウ素化塩（Shaw's, Inc., Worcester, Mass.から入手）を金属合金：塩の重量比６５：３５で最初に混合することにより、複数の金属結合型研磨体を形成した。塩は、約７４～約２１０ミクロン（すなわち、200 U.S. Meshより粗く、70 U.S. Meshより細かい）の範囲の粒度分布を有していた。
【0102】
粉末金属合金は、約４０～４５ｗｔ％の銅粉（Sintertech International Marketing Corp, Ghent, N.Y.から入手したDendritic FSグレード、粒度－３２５メッシュ、）、約４～１０重量％のリン／銅粉（New Jersey Zinc Company, Palmerton, Pa.から入手したグレード１５０１、粒子サイズ－３２５メッシュ、）、および約４７～５３重量％の錫粉（Alcan Metal Powders, Inc, Elizabeth, N.Jから入手したグレードＭＤ１１５、粒子サイズ－１００／＋３２５メッシュ、最大０．５％、）のブレンドを含むものだった。
【0103】
Warrant ABC SuperAbrasivesミクロンサイズのダイヤモンドとして入手可能で、約３～約６ミクロンの粒度分布を有する約１～４ｗｔ％のダイヤモンド研磨剤を、金属合金／塩混合物に添加した。この混合物は、均一になるまで混合された。
【0104】
次に、この混合物を等しい部分に分け、各部分をグラファイト型に入れ、各本体が理論密度の９５％を超える目標密度になるまで、約４００～４１０℃で約８～１３分間、約２０～２５ＭＰａでホットプレスした。冷却後、塩分を除去するために、各本体を沸騰水中に約４５分間浸漬した。その後、脱イオン水（ＤＩ）で洗浄した。その後、重量減少およびエネルギー分散型Ｘ線（ＥＤＸ）測定により、実質的にすべての塩がセグメントから除去されたことが確認された。各研磨体の気孔率は約６４～６９ｖｏｌ％であった。
【0105】
各金属結合研磨体は、各研磨体の総体積に対して、超砥粒（すなわち、ダイヤモンド砥粒）の第１の含有量が１～３ｖｏｌ％、気孔率の第１の含有量が６６～７０ｖｏｌ％、結合材の第１の含有量が２８～３２ｖｏｌ％であった。
【0106】
各研磨体を必要な寸法と公差に研削した。研磨体をアルミニウム基板の主要面にエポテック３５３ＮＤＴアンバーボンディングコンパウンドで貼り付けた。
【0107】
以下の表１に提供されるように、ダイヤモンド砥粒、ホウケイ酸ガラスフリット、アルミナガラス球状フィラー粒子、及び結合剤の混合物を最初に作成することによって、複数のガラス質化結合砥粒体を形成した。すべての成分の合計重量パーセントは１００％であることが理解されよう。ガラスフリットの組成は、以下の表２に提供される。
【0108】
【表1】
【0109】
【表2】
【0110】
このフリットは，BaO, CaO, CuO, HfO2, Li2O, La2O3, MgO, NiO, SrO, TiO2, YsO3, ZnOおよびZrO2についてそれぞれ１ｗｔ％未満の含有量であった。フリット中の成分の合計は１００％であった。
【0111】
次に、この混合物を、約２５００～２７００ｐｓｉの圧力に相当する２５トンでプレスして、１つまたは複数の研磨グリーン体を形成する。次に、本体は、標準的な雰囲気において、約６８０～７２０℃の間の最大焼成温度で約２００～２２０分間焼成される。ガラス質化結合研磨体の各々は、各研磨体の総体積に対して、１８～２２ｖｏｌ％の超砥粒（すなわち、ダイヤモンド砥粒）の第１の含有量、少なくとも５４～５８ｖｏｌ％の多孔性の第１の含有量、１０～１４ｖｏｌ％の結合材料の第１の含有量、６～１２ｖｏｌ％の充填剤の第１の含有量を有していた。
【0112】
ガラス質化結合研磨体は、金属結合研磨体とほぼ同じ寸法を有し、アラルダイト２０１４及び２０１４／Ａ硬化剤を用いて基板に付着させた。ガラス質化結合研磨体及び金属結合研磨体は、図１に提供されるように、互いに対して半径方向に交互に配置された。
【0113】
上記の方法に従って、実施例の研磨物品と比較例の研磨物品を作製した。実施例の研磨物品は、約０．２～０．３ｃｃの摩耗率の差を有していた。比較例は、０．４５ｃｃを超える摩耗率の差を有していた。比較例の使用可能な寿命は、実施例の使用可能な寿命より著しく小さかった。
【0114】
利点、他の利点、及び問題に対する解決策を、特定の実施形態に関して上述してきた。しかしながら、利点、利点、問題に対する解決策、及び任意の利点、利点、又は解決策を生じさせるか又はより顕著にする可能性がある任意の特徴（複数可）は、任意の又は全ての請求項の重要、必須、又は必須の特徴として解釈されるべきではない。本明細書において、１つ以上の成分を含む材料への言及は、材料が特定された１つ以上の成分から本質的になる少なくとも１つの実施形態を含むと解釈することができる。本質的に成る」という用語は、特定されたこれらの材料を含み、材料の特性を著しく変化させない少数含有量（例えば、不純物含有量）以外の他の全ての材料を除外した組成物を含むと解釈されるであろう。さらに、又は代替的に、特定の非限定的な実施形態において、本明細書で特定される組成物のいずれかは、明示的に開示されていない材料を本質的に含まない可能性がある。本明細書の実施形態は、材料内の特定の成分の含有量の範囲を含み、所定の材料内の成分の含有量は合計１００％であることが理解されよう。
【0115】
本明細書に記載された実施形態の明細書及び図解は、様々な実施形態の構造の一般的な理解を提供することを意図している。本明細書及び図解は、本明細書に記載された構造又は方法を使用する装置及びシステムの要素及び特徴の全ての網羅的及び包括的な説明として機能することを意図していない。別々の実施形態はまた、単一の実施形態において組み合わせて提供されてもよく、逆に、簡潔にするために、単一の実施形態の文脈で説明される様々な特徴はまた、別々にまたは任意のサブコンビネーションで提供されてもよい。さらに、範囲内に記載された値への言及は、その範囲内の各値およびすべての値を含む。他の多くの実施形態は、本明細書を読んだ後に初めて当業者に明らかになる場合がある。他の実施形態は、本開示の範囲から逸脱することなく、構造的置換、論理的置換、または別の変更を行うことができるように、本開示から使用され、導出されてもよい。したがって、本開示は、制限的ではなく例示的なものとみなされる。
【図1】
【図2】