特許 7612249 ワイヤボンディングシステム、検査装置、ワイヤボンディング方法、および、プログラム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-12-27

(45)【発行日】2025-01-14

(54)【発明の名称】ワイヤボンディングシステム、検査装置、ワイヤボンディング方法、および、プログラム

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/60 20060101AFI20250106BHJP

【ＦＩ】

H01L21/60 301Z

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2023523743

(86)(22)【出願日】2021-05-25

(86)【国際出願番号】 JP2021019712

(87)【国際公開番号】W WO2022249262

(87)【国際公開日】2022-12-01

【審査請求日】2023-11-09

【新規性喪失の例外の表示】特許法第３０条第２項適用 令和３年２月１７日に、「ｈｔｔｐｓ：／／ｗｗｗ．ｙａｍａｈａ－ｍｏｔｏｒ－ｒｏｂｏｔｉｃｓ－ｏｎｌｉｎｅ－ｅｘｐｏ－２０２１．ｊｐ」にて公開。

(73)【特許権者】

【識別番号】519294332

【氏名又は名称】株式会社新川

(74)【代理人】

【識別番号】100079108

【弁理士】

【氏名又は名称】稲葉 良幸

(74)【代理人】

【識別番号】100109346

【弁理士】

【氏名又は名称】大貫 敏史

(74)【代理人】

【識別番号】100117189

【弁理士】

【氏名又は名称】江口 昭彦

(74)【代理人】

【識別番号】100134120

【弁理士】

【氏名又は名称】内藤 和彦

(72)【発明者】

【氏名】笠間 広幸

【審査官】西村 治郎

(56)【参考文献】

【文献】特開平０７－０３７９２６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００１－１１８８８０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００４－１８６５９１（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１５／１２２４１１（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開平０９－１８９５３１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０８－０６４６２９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０７－３２１１３２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１０－１９９９１５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－１８６０８７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

電子部品に対してワイヤボンディングによりワイヤが圧着された圧着ボール径に関する情報を取得する取得部であって、前記圧着ボール径に関する情報は、ワイヤボンディング時における前記電子部品に対するワイヤの先端のボール部の押し付け量を含む前記取得部と、
前記取得部により取得した前記圧着ボール径に関する情報を記憶する第１記憶部と、
前記第１記憶部から読み出した前記圧着ボール径に関する情報に基づいて、ワイヤボンディングの品質を検査する検査部と、
前記圧着ボール径に関する情報についての検査基準を設定する基準設定部と、
前記ボール部の押し付け量と前記圧着ボール径との相関を示す相関データを記憶する第２記憶部と、
を備え、
前記基準設定部は、予め設定された前記圧着ボール径の標準データに基づいて、前記第２記憶部から読み出した前記相関データを参照して、前記ボール部の押し付け量についての閾値を前記検査基準として設定し、
前記検査部は、前記取得部により取得した前記ボール部の押し付け量と、前記基準設定部により設定された閾値とを比較して、前記ワイヤボンディングの品質を検査する、
ワイヤボンディングシステム。

【請求項2】

前記検査部によるワイヤボンディングの品質の検査結果が所定条件を満たさない場合、ワイヤボンディングの品質の検査結果を報知する報知部をさらに備える、
請求項１に記載のワイヤボンディングシステム。

【請求項3】

前記報知部は、前記電子部品におけるワイヤボンディングの位置に関する情報と対応付けて、前記検査部によるワイヤボンディングの品質の検査結果を報知する、
請求項２に記載のワイヤボンディングシステム。

【請求項4】

前記基準設定部は、前記第１記憶部に記憶された前記圧着ボール径に関する情報の情報量が所定量以上となった場合、前記圧着ボール径に関する情報についての検査基準を設定する、
請求項１に記載のワイヤボンディングシステム。

【請求項5】

前記基準設定部は、予め設定された前記圧着ボール径の標準データに基づいて、前記第２記憶部から読み出した前記相関データを参照して、前記標準データに対応する前記ボール部の押し付け量を特定し、前記特定したボール部の押し付け量を含む数値範囲を前記検査基準として設定し、
前記検査部は、前記取得部により取得した前記ボール部の押し付け量が前記検査基準として設定された数値範囲内にあるか否かに基づいて、前記ワイヤボンディングの品質を検査する、
請求項１に記載のワイヤボンディングシステム。

【請求項6】

電子部品に対してワイヤボンディングによりワイヤが圧着された圧着ボール径に関する情報を取得する取得部であって、前記圧着ボール径に関する情報は、ワイヤボンディング時における前記電子部品に対するワイヤの先端のボール部の押し付け量を含む前記取得部と、
前記取得部により取得した前記圧着ボール径に関する情報を記憶する第１記憶部と、
前記第１記憶部から読み出した前記圧着ボール径に関する情報に基づいて、ワイヤボンディングの品質を検査する検査部と、
前記圧着ボール径に関する情報についての検査基準を設定する基準設定部と、
前記ボール部の押し付け量と前記圧着ボール径との相関を示す相関データを記憶する第２記憶部と、
を備え、
前記基準設定部は、予め設定された前記圧着ボール径の標準データに基づいて、前記第２記憶部から読み出した前記相関データを参照して、前記ボール部の押し付け量についての閾値を前記検査基準として設定し、
前記検査部は、前記取得部により取得した前記圧着ボール径に関する情報に基づいて、前記基準設定部により設定された検査基準を参照して、前記ワイヤボンディングの品質を検査する、
検査装置。

【請求項7】

電子部品に対してワイヤボンディングによりワイヤが圧着された圧着ボール径に関する情報を取得する工程であって、前記圧着ボール径に関する情報は、ワイヤボンディング時における前記電子部品に対するワイヤの先端のボール部の押し付け量を含む取得工程と、
前記取得した前記圧着ボール径に関する情報を第１記憶部に記憶する工程と、
前記第１記憶部から読み出した前記圧着ボール径に関する情報に基づいて、ワイヤボンディングの品質を検査する検査工程と、
前記圧着ボール径に関する情報についての検査基準を設定する基準設定工程と、
前記ボール部の押し付け量と前記圧着ボール径との相関を示す相関データを第２記憶部に記憶する工程と、
を備え、
前記基準設定工程では、予め設定された前記圧着ボール径の標準データに基づいて、前記第２記憶部から読み出した前記相関データを参照して、前記ボール部の押し付け量についての閾値を前記検査基準として設定し、
前記検査工程では、前記取得工程で取得した前記圧着ボール径に関する情報に基づいて、前記基準設定工程で設定された検査基準を参照して、前記ワイヤボンディングの品質を検査する、
ワイヤボンディング方法。

【請求項8】

一又は複数のコンピュータに、
電子部品に対してワイヤボンディングによりワイヤが圧着された圧着ボール径に関する情報を取得する処理であって、前記圧着ボール径に関する情報は、ワイヤボンディング時における前記電子部品に対するワイヤの先端のボール部の押し付け量を含む取得処理と、
前記取得した前記圧着ボール径に関する情報を第１記憶部に記憶する処理と、
前記第１記憶部から読み出した前記圧着ボール径に関する情報に基づいて、ワイヤボンディングの品質を検査する検査処理と、
前記圧着ボール径に関する情報についての検査基準を設定する基準設定処理と、
前記ボール部の押し付け量と前記圧着ボール径との相関を示す相関データを第２記憶部に記憶する処理と、
を実行させ、
前記基準設定処理では、予め設定された前記圧着ボール径の標準データに基づいて、前記第２記憶部から読み出した前記相関データを参照して、前記ボール部の押し付け量についての閾値を前記検査基準として設定する処理と、
前記検査処理では、前記取得処理で取得した前記圧着ボール径に関する情報に基づいて、前記基準設定処理で設定された検査基準を参照して、前記ワイヤボンディングの品質を検査する処理と、
を実行させる、
プログラム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ワイヤボンディングシステム、検査装置、ワイヤボンディング方法、および、プログラムに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、基板に実装された電子部品に対してワイヤの一端をボンディングし、リードフレームの電極に対してワイヤの他端をボンディングすることで、電子部品とリードフレームとの間にワイヤを配線するワイヤボンディング装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０２０－１１９９８８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、従来の技術においては、ワイヤボンディングの品質の確認方法についてなお改善の余地があった。

【0005】

本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、ワイヤボンディングの品質の確認方法の利便性を高めることができるワイヤボンディングシステム、検査装置、ワイヤボンディング方法、および、プログラムを提供するものである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の一態様におけるワイヤボンディングシステムは、電子部品に対してワイヤボンディングによりワイヤが圧着された圧着ボール径に関する情報を取得する取得部と、取得部により取得した圧着ボール径に関する情報を記憶する第１記憶部と、第１記憶部から読み出した圧着ボール径に関する情報に基づいて、ワイヤボンディングの品質を検査する検査部と、を備える。

【0007】

本発明の一態様における検査装置は、ワイヤボンディングにより電子部品に対してワイヤが圧着された圧着ボール径に関する情報を第１記憶部から読み出し、読み出した圧着ボール径に関する情報に基づいて、ワイヤボンディングの品質を検査する検査部を備える。

【0008】

また、本発明の一態様におけるワイヤボンディング方法は、電子部品に対してワイヤボンディングによりワイヤが圧着された圧着ボール径に関する情報を取得する工程と、取得した圧着ボール径に関する情報を第１記憶部に記憶する工程と、第１記憶部から読み出した圧着ボール径に関する情報に基づいて、ワイヤボンディングの品質を検査する工程と、を含む。

【0009】

また、本発明の一態様におけるプログラムは、一又は複数のコンピュータに、電子部品に対してワイヤボンディングによりワイヤが圧着された圧着ボール径に関する情報を取得する処理と、取得した圧着ボール径に関する情報を第１記憶部に記憶する処理と、第１記憶部から読み出した圧着ボール径に関する情報に基づいて、ワイヤボンディングの品質を検査する処理と、を実行させる。

【発明の効果】

【0010】

本発明により、ワイヤボンディングの品質の確認方法の利便性を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】第１実施形態に係るワイヤボンディング装置の構成を示す図である。

【図2】第１実施形態に係るワイヤボンディング装置の制御構成を示す図である。

【図3】第１実施形態に係るワイヤボンディング装置におけるワイヤボンディングの品質の検査結果の報知処理の一例を示すフローチャートである。

【図4】第２実施形態に係るワイヤボンディング装置の制御構成を示す図である。

【図5】ボール部の押し付け量と圧着ボール径との相関を示す相関データの一例を示す図である。

【図6】第２実施形態に係るワイヤボンディング装置における検査基準の設定処理の一例を示すフローチャートである。

【図7】第２実施形態に係るワイヤボンディング装置におけるワイヤボンディングの品質の検査結果の報知処理の一例を示すフローチャートである。

【図8】一搬送ごとのワイヤボンディングの対象エリアの一例を説明するための図である。

【図9】ワイヤボンディングの品質の検査結果の表示の一例を示す図である。

【図10】第４実施形態に係る検査装置の構成を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

＜第１実施形態＞
以下、図面を参照して、第１実施形態に係るワイヤボンディング装置について説明する。

【0013】

図１に示すように、ワイヤボンディング装置１０は、例えば、ステージ１１と、ＸＹテーブル１２と、ボンディングヘッド１３と、ボンディングアーム１４と、キャピラリ１５（ボンディングツールの一例）と、放電電極１６と、クランパ１７とを備える。

【0014】

ステージ１１には、半導体チップ５０を実装した基板５１が載置されている。ステージ１１には、基板５１に形成されたリードフレーム（図示略）を加熱するヒータ（図示略）が内蔵されている。ヒータは、ワイヤボンディングの実行時にリードフレームを加熱する。

【0015】

ＸＹテーブル１２は、ボンディングヘッド１３に連結されている。ボンディングヘッド１３は、図示しない昇降機構を介して、ボンディングアーム１４に連結されている。ボンディングアーム１４は、ボンディングヘッド１３から水平方向に突出するアームである。ボンディングアーム１４の先端にはキャピラリ１５が連結されている。キャピラリ１５は、ＸＹテーブル１２によるボンディングヘッド１３の水平方向への移動、および、昇降機構によるボンディングヘッド１３の上下方向への移動に伴って、ステージ１１に載置された半導体チップ５０に対して水平方向および上下方向に相対移動可能に構成されている。

【0016】

ボンディングアーム１４には、超音波振動子が内蔵されている。超音波振動子は、ワイヤボンディングの実行時に電圧が印加されることで、ボンディングアーム１４の先端に連結されたキャピラリ１５に超音波振動を付与する。

【0017】

キャピラリ１５は、ステージ１１に対して上下方向において対向しており、上下方向に貫通する貫通孔を有している。キャピラリ１５の貫通孔には、金線などのワイヤ６０が挿通されている。キャピラリ１５の近傍には放電電極１６が配置されている。

【0018】

放電電極１６は、電圧が印加されることで、ワイヤ６０の先端との間で放電を生じさせ、ワイヤ６０の先端部を溶融してボール部６１を形成する。

【0019】

クランパ１７は、キャピラリ１５の上方に設けられ、キャピラリ１５の貫通孔に挿通されたワイヤ６０を挟持可能に構成されている。

【0020】

そして、ワイヤボンディング装置１０は、放電電極１６への電圧の印加に伴ってワイヤ６０の第１端に形成されたボール部６１を半導体チップ５０に押し付ける。そして、ワイヤボンディング装置１０は、ワイヤ６０の第１端を半導体チップ５０に対してボンディングした後、キャピラリ１５を移動してワイヤ６０を湾曲させ、ワイヤ６０の一部を基板５１の端子に対して上下方向において対向させる。続いて、ワイヤボンディング装置１０は、放電電極１６への電圧の印加に伴ってワイヤ６０の当該一部を基板５１の端子に押し付ける。そして、ワイヤボンディング装置１０は、ワイヤ６０の当該一部を基板５１の端子に対してボンディングした後、クランパ１７によりワイヤ６０を挟持した状態でキャピラリ１５を上方に移動させることでワイヤ６０を切断する。

【0021】

次に、ワイヤボンディング装置１０の制御構成について説明する。

【0022】

図２に示すように、ワイヤボンディング装置１０は、例えば、制御部１１０と、記憶部１２０とを備える。

【0023】

制御部１１０は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）などのハードウェアプロセッサがプログラム（ソフトウェア）を実行することにより実現される。また、これらの構成要素のうち一部または全部は、ＬＳＩ（Large Scale Integration）やＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）、ＦＰＧＡ（Field-Programmable Gate Array）、ＧＰＵ（Graphics Processing Unit）などのハードウェア（回路部：circuitryを含む）によって実現されてもよいし、ソフトウェアとハードウェアの協働によって実現されてもよい。プログラムは、予めワイヤボンディング装置１０のＨＤＤやフラッシュメモリなどの記憶装置に格納されていてもよいし、ＤＶＤやＣＤ－ＲＯＭなどの着脱可能な記憶媒体に格納されており、記憶媒体がドライブ装置に装着されることでワイヤボンディング装置１０のＨＤＤやフラッシュメモリにインストールされてもよい。

【0024】

記憶部１２０は、不揮発性の記憶媒体であり、例えばＨＤＤ（Hard Disk Drive）によって構成されている。記憶部１２０は、ワイヤボンディング装置１０の制御や処理を実行するプログラムの他にも、制御や演算に用いられる様々なパラメータ値、関数、ルックアップテーブル等を格納している。プロセス情報１２１および検査基準１２２は、制御や演算に用いられるパラメータ値の一例である。

【0025】

プロセス情報１２１は、ワイヤボンディングの実行時に測定される情報である。プロセス情報１２１は、例えば、半導体チップ５０の端子または基板５１の端子に対してワイヤボンディングによりワイヤ６０が圧着された圧着ボール径に関する情報を含む。圧着ボール径に関する情報は、ワイヤボンディングの品質を示す情報である。圧着ボール径に関する情報は、例えば、荷重、ＵＳ電流、スパーク電圧、スパーク電流、ボール部６１の押し付け量、観測情報を含む。荷重は、ワイヤボンディングの実行時にキャピラリ１５から半導体チップ５０の端子または基板５１の端子に対して作用する荷重に関する情報である。ＵＳ電流は、ワイヤボンディングの実行時に超音波振動子に流れる電流に関する情報である。スパーク電圧は、ワイヤボンディングの実行時に放電電極１６に印加される電圧に関する情報である。スパーク電流は、ワイヤボンディングの実行時に放電電極１６に流れる電流に関する情報である。ボール部６１の押し付け量は、ワイヤボンディング時における半導体チップ５０の端子または基板５１の端子に対するワイヤ６０の先端のボール部６１の押し付け量に関する情報である。観測情報は、半導体チップ５０の端子または基板５１の端子に対するワイヤ６０の圧着部位の画像情報を含む。

【0026】

検査基準１２２は、ワイヤボンディングの品質を検査する際に用いる情報であり、例えば、圧着ボール径に関する情報についての閾値である。

【0027】

制御部１１０は、例えば、取得部１１１と、検査部１１２と、報知部１１３とを備える。

【0028】

取得部１１１は、半導体チップ５０の端子または基板５１の端子に対してワイヤボンディングによりワイヤ６０が圧着された圧着ボール径に関する情報を取得する。取得部１１１は、例えば、ワイヤボンディングの実行時に圧着ボール径に関する情報を取得したとき、取得した情報をプロセス情報１２１として記憶部１２０に格納する。

【0029】

検査部１１２は、記憶部１２０から読み出した圧着ボール径に関する情報に基づいて、ワイヤボンディングの品質を検査する。検査部１１２は、例えば、取得部１１１により取得した圧着ボール径に関する情報に基づいて、記憶部１２０に格納された検査基準１２２を参照して、ワイヤボンディングの品質を検査する。検査部１１２は、例えば、取得部１１１により取得した圧着ボール径に関する情報と記憶部１２０に検査基準１２２として格納された閾値とを比較して、ワイヤボンディングの品質を検査する。

【0030】

報知部１１３は、検査部１１２によるワイヤボンディングの品質の検査結果が所定条件を満たさない場合、ワイヤボンディングの品質の検査結果を報知する。報知部１１３は、例えば、ワイヤボンディングの品質が不良であるとの検査結果が検査部１１２により出力された場合、検査部１１２によるワイヤボンディングの品質の検査結果を報知する。

【0031】

次に、第１実施形態に係るワイヤボンディング装置１０におけるワイヤボンディングの品質の検査結果の報知処理について、図３に示すフローチャートを参照して説明する。図３に示すフローチャートは、例えば、ユーザによりワイヤボンディングの品質の確認要求があった場合に開始される。

【0032】

図３に示すように、ワイヤボンディング装置１０は、記憶部１２０にプロセス情報１２１として格納された圧着ボール径に関する情報を取得する（ステップＳ１０）。

【0033】

次に、ワイヤボンディング装置１０は、ステップＳ１０において取得した圧着ボール径に関する情報が所定条件を満たすか否かを判定する（ステップＳ１１）。ワイヤボンディング装置１０は、圧着ボール径に関する情報が所定条件を満たすと判定した場合（ステップＳ１１＝ＹＥＳ）、ワイヤボンディングの品質の検査結果を報知することなく、図３に示すフローチャートの処理を終了する。一方、ワイヤボンディング装置１０は、圧着ボール径に関する情報が所定条件を満たさないと判定した場合（ステップＳ１１＝ＮＯ）、ワイヤボンディングの品質の検査結果を報知し（ステップＳ１２）、図３に示すフローチャートの処理を終了する。

【0034】

＜第２実施形態＞
第２実施形態以降では第１実施形態と共通の事柄についての記述を省略し、異なる点についてのみ説明する。特に、同様の構成による同様の作用効果については実施形態毎には逐次言及しない。

【0035】

図４に示すように、第２実施形態に係るワイヤボンディング装置１０Ａの制御部１１０Ａは、例えば、取得部１１１、検査部１１２、および、報知部１１３に加え、基準設定部１１４をさらに備える。

【0036】

基準設定部１１４は、記憶部１２０Ａにプロセス情報１２１として記憶された圧着ボール径に関する情報の情報量が所定量以上となった場合、圧着ボール径に関する情報についての検査基準１２２を設定する。基準設定部１１４は、例えば、ボール部６１の押し付け量と圧着ボール径との相関を示す相関データ１２３を記憶部１２０Ａから読み出し、読み出した相関データ１２３を参照して、ボール部６１の押し付け量についての閾値を検査基準１２２として設定する。

【0037】

検査部１１２は、例えば、取得部１１１により取得したボール部６１の押し付け量と基準設定部１１４により検査基準１２２として設定された閾値とを比較して、ワイヤボンディングの品質を検査する。

【0038】

図５は、ボール部６１の押し付け量と圧着ボール径との相関を示す相関データ１２３の一例を示している。同図に示すように、ボール部６１の押し付け量と圧着ボール径との間には正の相関があり、ボール部６１の押し付け量が大きいほど、圧着ボール径が大きくなる。

【0039】

基準設定部１１４は、例えば、予め設定された圧着ボール径の標準データに基づいて、記憶部１２０Ａから読み出した相関データ１２３を参照して、標準データに対応するボール部６１の押し付け量を特定し、特定したボール部６１の押し付け量を含む数値範囲を検査基準１２２として設定する。

【0040】

検査部１１２は、例えば、取得部１１１により取得したボール部６１の押し付け量が検査基準１２２として設定された数値範囲内にあるか否かに基づいて、ワイヤボンディングの品質を検査する。

【0041】

次に、第２実施形態に係るワイヤボンディング装置１０Ａにおける検査基準１２２の設定処理について、図６に示すフローチャートを参照して説明する。図６に示すフローチャートは、例えば、プロセス情報１２１が取得される毎に開始される。

【0042】

図６に示すように、ワイヤボンディング装置１０Ａは、圧着ボール径に関する情報の情報量が所定量以上であるか否かを判定する（ステップＳ２０）。ワイヤボンディング装置１０Ａは、圧着ボール径に関する情報の情報量が所定量以上である場合（ステップＳ２０＝ＹＥＳ）、ボール部６１の押し付け量と圧着ボール径との相関を示す相関データ１２３を記憶部１２０Ａから読み出す（ステップＳ２１）。次に、ワイヤボンディング装置１０Ａは、圧着ボール径の標準データに基づいて、相関データ１２３を参照して、標準データに対応するボール部６１の押し付け量を特定する（ステップＳ２２）。次に、ワイヤボンディング装置１０Ａは、先のステップＳ２２において特定したボール部６１の押し付け量を含む数値範囲を検査基準１２２として設定し（ステップＳ２３）、図６に示すフローチャートを終了する。

【0043】

図７に示すように、ワイヤボンディング装置１０Ａは、記憶部１２０Ａにプロセス情報１２１として格納された圧着ボール径に関する情報を取得する（ステップＳ３０）。次に、ワイヤボンディング装置１０Ａは、記憶部１２０Ａにプロセス情報１２１として格納されたボール部６１の押し付け量を取得する（ステップＳ３１）。次に、ワイヤボンディング装置１０Ａは、先のステップＳ３１において取得されたボール部６１の押し付け量が検査基準１２２として設定された数値範囲内であるか否かを判定する（ステップＳ３２）。ワイヤボンディング装置１０Ａは、ボール部６１の押し付け量が検査基準１２２として設定された数値範囲内にはないと判定した場合（ステップＳ３２＝ＮＯ）、ワイヤボンディングの品質の検査結果を報知し（ステップＳ３３）、図７に示すフローチャートを終了する。一方、ワイヤボンディング装置１０Ａは、ボール部６１の押し付け量が検査基準１２２として設定された数値範囲内にあると判定した場合（ステップＳ３２＝ＹＥＳ）、ワイヤボンディングの品質の検査結果を報知することなく、図７に示すフローチャートを終了する。

【0044】

＜第３実施形態＞
第３実施形態に係るワイヤボンディング装置１０の報知部１１３は、半導体チップ５０の端子または基板５１の端子におけるワイヤボンディングの位置に関する情報と対応付けて、検査部１１２によるワイヤボンディングの品質の検査結果を報知する。

【0045】

第３実施形態に係るワイヤボンディング装置１０は、基板５１を間欠的に搬送しつつ、基板５１に対するワイヤボンディングを実行する。図８に示す例では、基板５１の搬送方向を第１方向とし、基板５１の搬送方向と交差する方向を第２方向とするとき、第１方向及び第２方向に並列された基板５１の群が一搬送ごとのワイヤボンディングの対象エリアとなる。

【0046】

図９は、第３実施形態に係るワイヤボンディング装置１０におけるワイヤボンディングの品質の検査結果の表示の一例を示す図である。同図に示す例では、ワイヤボンディング装置１０の報知部１１３は、各々の半導体チップ５０に対して実行されたワイヤボンディングの品質の検査結果を、各々の半導体チップ５０が実装された基板５１の位置と対応付けて表示部２００に表示している。この例では、ワイヤボンディング装置１０の報知部１１３は、各々の半導体チップ５０に対して実行されたワイヤボンディングの品質の検査結果を、ワイヤボンディングの品質が高い順に、「標準」、「警告」、「異常」として表示部２００に表示している。

【0047】

＜第４実施形態＞
図１０に示すように、第４実施形態に係る検査装置３００は、例えば、制御部３１０と、記憶部３２０とを備える。

【0048】

制御部３１０は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）などのハードウェアプロセッサがプログラム（ソフトウェア）を実行することにより実現される。また、これらの構成要素のうち一部または全部は、ＬＳＩ（Large Scale Integration）やＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）、ＦＰＧＡ（Field-Programmable Gate Array）、ＧＰＵ（Graphics Processing Unit）などのハードウェア（回路部：circuitryを含む）によって実現されてもよいし、ソフトウェアとハードウェアの協働によって実現されてもよい。プログラムは、予め検査装置３００のＨＤＤやフラッシュメモリなどの記憶装置に格納されていてもよいし、ＤＶＤやＣＤ－ＲＯＭなどの着脱可能な記憶媒体に格納されており、記憶媒体がドライブ装置に装着されることで検査装置３００のＨＤＤやフラッシュメモリにインストールされてもよい。

【0049】

記憶部３２０は、不揮発性の記憶媒体であり、例えばＨＤＤ（Hard Disk Drive）によって構成されている。記憶部３２０は、検査装置３００の制御や処理を実行するプログラムの他にも、制御や演算に用いられる様々なパラメータ値、関数、ルックアップテーブル等を格納している。プロセス情報３２１および検査基準３２２は、制御や演算に用いられるパラメータ値の一例である。

【0050】

制御部３１０は、例えば、取得部３１１と、検査部３１２と、報知部３１３とを備える。

【0051】

取得部３１１は、半導体チップ５０の端子または基板５１の端子に対してワイヤボンディングによりワイヤ６０が圧着された圧着ボール径に関する情報をワイヤボンディング装置１０から取得する。取得部３１１は、例えば、ワイヤボンディングの実行時に圧着ボール径に関する情報をワイヤボンディング装置１０から取得したとき、取得した情報をプロセス情報３２１として記憶部３２０に格納する。

【0052】

検査部３１２は、記憶部３２０から読み出した圧着ボール径に関する情報に基づいて、ワイヤボンディングの品質を検査する。検査部３１２は、例えば、取得部３１１により取得した圧着ボール径に関する情報に基づいて、記憶部３２０に格納された検査基準３２２を参照して、ワイヤボンディングの品質を検査する。検査部３１２は、例えば、取得部３１１により取得した圧着ボール径に関する情報と記憶部３２０に検査基準３２２として格納された閾値とを比較して、ワイヤボンディングの品質を検査する。

【0053】

報知部３１３は、検査部３１２によるワイヤボンディングの品質の検査結果が所定条件を満たさない場合、ワイヤボンディングの品質の検査結果を報知する。報知部３１３は、例えば、ワイヤボンディングの品質が不良であるとの検査結果が検査部３１２により出力された場合、検査部３１２によるワイヤボンディングの品質の検査結果を報知する。

【0054】

なお、上記各実施形態は、以下のような形態にて実施してもよい。

【0055】

上記第２実施形態においては、検査基準１２２は、必ずしも、予め設定された圧着ボール径の標準データに基づいて特定したボール部６１の押し付け量を含む数値範囲である必要はなく、例えば、取得部１１１により取得した圧着ボール径の統計データに基づいて特定したボール部６１の押し付け量を含む数値範囲であってもよい。また、検査基準１２２は、上述のように特定したボール部６１の押し付け量よりも高い数値範囲や、上述のように特定したボール部６１の押し付け量よりも低い数値範囲であってもよい。また、検査基準１２２は、必ずしも数値範囲である必要はなく、例えば、上述のように特定したボール部６１の押し付け量を基準として設定される上限値、下限値、または、上限値と下限値との組み合わせであってもよい。

【0056】

上記第２実施形態において、相関データ１２３は、必ずしも、ボール部６１の押し付け量と圧着ボール径との相関を示すデータである必要はなく、例えば、検査部１１２がスパーク電圧に基づいてワイヤボンディングの品質を検査するのであれば、スパーク電圧と圧着ボール径との相関を示すデータを相関データ１２３としてもよい。

【0057】

上記第１～第３実施形態において、ワイヤボンディング装置１０、１０Ａに含まれる機能ブロック構成を、ワイヤボンディング装置１０、１０Ａと外部の装置との間で分散して有するワイヤボンディングシステムとして構成してもよい。

【0058】

以上、上記各実施形態に係るワイヤボンディング装置を、ワイヤ６０によって半導体チップ５０の端子と基板５１の端子とを電気的に接続する場合を例に挙げて説明した。これに代えて、上記各実施形態に係るワイヤボンディング装置を、例えば、ワイヤ６０によって半導体チップ５０の端子とリードフレームの端子とを電気的に接続することで半導体モジュールを構成する場合にも適用可能である。また、上記各実施形態に係るワイヤボンディング装置を、例えば、ワイヤ６０によって半導体チップ５０の端子など、任意の電極上にバンプを形成する場合にも適用可能である。

【符号の説明】

【0059】

１０、１０Ａ…ワイヤボンディング装置、１１…ステージ、１２…ＸＹテーブル、１３…ボンディングヘッド、１４…ボンディングアーム、１５…キャピラリ、１６…放電電極、１７…クランパ、５０…半導体チップ、５１…基板、６０…ワイヤ、６１…ボール部、１１０、１１０Ａ、３１０…制御部、１１１、３１１…取得部、１１２、３１２…検査部、１１３、３１３…報知部、１１４…基準設定部、１２０、１２０Ａ、３２０…記憶部、１２１、３２１…プロセス情報、１２２…検査基準、１２３…相関データ、２００…表示部、３００…検査装置、３２２…検査基準。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】