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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2025-01-08
(45)【発行日】2025-01-17
(54)【発明の名称】質量分析装置
(51)【国際特許分類】
H01J 49/02 20060101AFI20250109BHJP
H01J 49/24 20060101ALI20250109BHJP
【ＦＩ】
H01J49/02 500
H01J49/24
【請求項の数】
6
(21)【出願番号】P 2023552677
(86)(22)【出願日】2021-10-08
(86)【国際出願番号】 JP2021037483
(87)【国際公開番号】W WO2023058248
(87)【国際公開日】2023-04-13
【審査請求日】2024-03-22
(73)【特許権者】
【識別番号】000001993
【氏名又は名称】株式会社島津製作所
(74)【代理人】
【識別番号】100108523
【弁理士】
【氏名又は名称】中川 雅博
(74)【代理人】
【識別番号】100125704
【弁理士】
【氏名又は名称】坂根 剛
(74)【代理人】
【識別番号】100187931
【弁理士】
【氏名又は名称】澤村 英幸
(72)【発明者】
【氏名】坂越 祐介
【審査官】藤田 健
(56)【参考文献】
【文献】国際公開第２０１３／１６８２２０（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開２００１－３４４９５４（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平８－０７７９６２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１２－００３９４６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００５－１２４３２６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００４－０２２１３４（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｊ ４９／００
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
試料の質量分析に用いられる真空容器と、分析対象の試料を検出する検出器と、
前記検出器を保持する緩衝材と、
前記緩衝材を前記真空容器に押圧する押圧部材と、
前記押圧部材による前記緩衝材の押し潰し量を規制する潰し量規制機構とを備え、
前記真空容器は、互いに対向する第１の側壁と第２の側壁とを含み、
前記真空容器の内部を真空にするための真空ポンプが前記第１の側壁の外面に取り付けられ、
前記押圧部材は、前記第２の側壁の内面に取り付けられることにより前記緩衝材を押圧する、質量分析装置。
【請求項2】
前記潰し量規制機構は、筒状部材を含み、前記押圧部材は、ねじを含み、前記筒状部材と前記緩衝材とが挿通された状態で前記真空容器に螺合されることにより、前記緩衝材を前記真空容器に押圧する、請求項１記載の質量分析装置。
【請求項3】
試料の質量分析に用いられる真空容器と、
分析対象の試料を検出する検出器と、
前記検出器を保持する緩衝材と、
前記緩衝材を前記真空容器に押圧する押圧部材と、
前記押圧部材による前記緩衝材の押し潰し量を規制する潰し量規制機構とを備え、
前記緩衝材は、第１の緩衝材と第２の緩衝材とを含み、
前記押圧部材は、前記第１の緩衝材を前記真空容器に押圧する第１の押圧部材と、前記第２の緩衝材を前記真空容器に押圧する第２の押圧部材とを含み、
前記潰し量規制機構は、前記第１の押圧部材による前記第１の緩衝材の押し潰し量を規制する第１の潰し量規制機構と、前記第２の押圧部材による前記第２の緩衝材の押し潰し量を規制する第２の潰し量規制機構とをさらに含み、
前記検出器は、前記第１の緩衝材と前記第２の緩衝材とにより狭持され、前記第１の緩衝材および前記第２の緩衝材にそれぞれ当接する第１の切欠部および第２の切欠部が形成された基部を含む、質量分析装置。
【請求項4】
前記第１の緩衝材と前記第２の緩衝材とは、上下方向に並ぶように配置される、請求項３記載の質量分析装置。
【請求項5】
前記第１の緩衝材には、前記第１の切欠部と当接する第１の溝部が形成され、前記第２の緩衝材には、前記第２の切欠部と当接する第２の溝部が形成される、請求項３または４記載の質量分析装置。
【請求項6】
前記真空容器は、前記押圧部材が取り付けられる取付具を含み、前記押圧部材は、前記取付具に取り付けられることにより前記緩衝材を押圧する、請求項１～４のいずれか一項に記載の質量分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、質量分析装置に関する。
【背景技術】
【0002】
試料に含まれる成分の質量を分析する分析装置として質量分析装置が知られている。例えば、特許文献１に記載された質量分析装置においては、真空チャンバ内にイオン源、イオン分離装置および検出部が配置される。真空チャンバ内は真空ポンプにより真空化される。
【0003】
イオン源により分析対象の試料から生成されたイオンは、イオン分離装置により質量ごとに分離される。イオン分離装置により分離されたイオンは、質量に対応する時間差で検出部により順次検出され、検出強度を示す検出信号が出力される。検出信号に基づいて、イオンの質量と検出強度との関係を示すマスプロファイルデータが生成される。
【文献】特開２０２０－０８７５７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
一般に、真空チャンバ内を真空化するための真空ポンプは、真空チャンバに取り付けられる。また、ターボ分子ポンプ等の真空ポンプは、１分間に数万回程度の振動数で振動する。したがって、真空ポンプの振動は、真空チャンバを通して検出部、または検出部に接続されたケーブルに伝達する。検出部等に伝達する振動が大きい場合、振動に起因する電気ノイズが検出信号に混入することにより、検出信号のＳ／Ｎ（信号／ノイズ）比が低下する。
【0005】
また、検出部等に伝達する振動の大きさは、真空ポンプの取り付け作業者により異なるため、マスプロファイルデータを高い再現性で得ることは容易ではない。そのため、真空ポンプの振動の影響を低減させることが求められる。
【0006】
本発明の目的は、真空ポンプの振動の影響が低減された質量分析装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明の一態様は、試料の質量分析に用いられる真空容器と、分析対象の試料を検出する検出器と、前記検出器を保持する緩衝材と、前記緩衝材を前記真空容器に押圧する押圧部材と、前記押圧部材による前記緩衝材の押し潰し量を規制する潰し量規制機構とを備え、前記真空容器は、互いに対向する第１の側壁と第２の側壁とを含み、前記真空容器の内部を真空にするための真空ポンプが前記第１の側壁の外面に取り付けられ、前記押圧部材は、前記第２の側壁の内面に取り付けられることにより前記緩衝材を押圧する、質量分析装置に関する。
本発明の他の態様は、試料の質量分析に用いられる真空容器と、分析対象の試料を検出する検出器と、前記検出器を保持する緩衝材と、前記緩衝材を前記真空容器に押圧する押圧部材と、前記押圧部材による前記緩衝材の押し潰し量を規制する潰し量規制機構とを備え、前記緩衝材は、第１の緩衝材と第２の緩衝材とを含み、前記押圧部材は、前記第１の緩衝材を前記真空容器に押圧する第１の押圧部材と、前記第２の緩衝材を前記真空容器に押圧する第２の押圧部材とを含み、前記潰し量規制機構は、前記第１の押圧部材による前記第１の緩衝材の押し潰し量を規制する第１の潰し量規制機構と、前記第２の押圧部材による前記第２の緩衝材の押し潰し量を規制する第２の潰し量規制機構とをさらに含み、前記検出器は、前記第１の緩衝材と前記第２の緩衝材とにより狭持され、前記第１の緩衝材および前記第２の緩衝材にそれぞれ当接する第１の切欠部および第２の切欠部が形成された基部を含む、質量分析装置に関する。
本発明の他の態様は、試料の質量分析に用いられる真空容器と、分析対象の試料を検出する検出器と、前記検出器を保持する緩衝材と、前記緩衝材を前記真空容器に押圧する押圧部材と、前記押圧部材による前記緩衝材の押し潰し量を規制する潰し量規制機構とを備え、前記緩衝材は、第１の緩衝材と第２の緩衝材とを含み、前記押圧部材は、前記第１の緩衝材を前記真空容器に押圧する第１の押圧部材と、前記第２の緩衝材を前記真空容器に押圧する第２の押圧部材とを含み、前記潰し量規制機構は、前記第１の押圧部材による前記第１の緩衝材の押し潰し量を規制する第１の潰し量規制機構と、前記第２の押圧部材による前記第２の緩衝材の押し潰し量を規制する第２の潰し量規制機構とをさらに含み、前記検出器は、前記第１の緩衝材と前記第２の緩衝材とにより狭持され、前記第１の緩衝材および前記第２の緩衝材にそれぞれ当接する第１の切欠部および第２の切欠部が形成された基部を含む、質量分析装置に関する。
【発明の効果】
【0008】
本発明によれば、真空ポンプの振動の影響を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【発明を実施するための形態】
【0010】
（１）質量分析装置の構成
以下、実施の形態に係る質量分析装置について図面を参照しながら詳細に説明する。図１は、一実施の形態に係る質量分析装置の構成を示す模式図である。図１に示すように、質量分析装置１００は、真空容器１１０、真空ポンプ１２０、イオンレンズ１３０、四重極マスフィルタ１４０、検出器１５０、電源回路１６０および処理部１７０を備える。
以下、実施の形態に係る質量分析装置について図面を参照しながら詳細に説明する。図１は、一実施の形態に係る質量分析装置の構成を示す模式図である。図１に示すように、質量分析装置１００は、真空容器１１０、真空ポンプ１２０、イオンレンズ１３０、四重極マスフィルタ１４０、検出器１５０、電源回路１６０および処理部１７０を備える。
【0011】
真空容器１１０は、例えば金属により形成され、グラウンド電位に維持される。また、真空容器１１０は、イオンが飛行する方向に延びる略直方体形状を有する。以下の説明では、幅方向に対抗する真空容器１１０の一対の側壁をそれぞれ側壁１１１，１１２と呼ぶ。真空ポンプ１２０は、例えばターボ分子ポンプであり、真空容器１１０の側壁１１１の外面に取り付けられる。また、真空容器１１０においてイオンが飛行する方向を下流と定義し、その反対方向を上流と定義する。
【0012】
真空容器１１０は、上流に位置するイオン化室１０１と、下流に位置する分析室１０２とを含む。イオン化室１０１には、例えば図示しない液体クロマトグラフが接続され、液体クロマトグラフから測定対象の液体試料が供給される。イオン化室１０１においては、例えば図示しないＥＳＩプローブ（エレクトロスプレイイオン化用プローブ）により、液体試料に電荷が付与されつつ液体試料が噴霧される。これにより、液体試料中の成分がイオン化室１０１内でイオン化する。通常は、各成分の１価のイオンが生成される。
【0013】
分析室１０２は、真空ポンプ１２０により例えば真空度（１０－２～１０－３Ｐａ）の真空状態に維持される。分析室１０２には、イオンレンズ１３０、四重極マスフィルタ１４０および検出器１５０が上流から下流に向かってこの順で配置される。イオン化室１０１内で生成されたイオンは、分析室１０２のイオンレンズ１３０に導かれる。イオンレンズ１３０に導かれたイオンは、軸Ａｘに平行に飛行するように収束されるとともにイオンレンズ１３０を通過する。
【0014】
四重極マスフィルタ１４０は、４本のロッド電極１４１～１４４を含む。ロッド電極１４１とロッド電極１４２とが軸Ａｘに関して対称に配置され、ロッド電極１４３とロッド電極１４４とが軸Ａｘに関して対称に配置される。ロッド電極１４１～１４４は、軸Ａｘから距離ｒ離れた位置に等角度間隔で設けられる。これにより、ロッド電極１４１～１４４で囲まれる円筒状の空間ＳＰが形成される。空間ＳＰは、軸Ａｘの方向に延びる。
【0015】
電源回路１６０は、直流電圧＋Ｕと高周波交流電圧＋Ｖｃｏｓωｔとの加算電圧＋（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）をロッド電極１４１，１４２に印加する。また、電源回路１６０は、直流電圧－Ｕと高周波交流電圧－Ｖｃｏｓωｔとの加算電圧－（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）をロッド電極１４３，１４４に印加する。これにより、空間ＳＰ内に四重極電場が形成される。ここで、Ｕは直流電圧の値であり、Ｖは高周波交流電圧の振幅（最大値）であり、ωは角周波数であり、ｔは時間である。加算電圧＋（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）と加算電圧－（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）とは、互いに１８０°ずれた位相を有する。
【0016】
イオンレンズ１３０を通過したイオンは、空間ＳＰに導かれ、空間ＳＰ内の四重極電場によりＭａｔｈｉｅｕの方程式に従って空間ＳＰ内で振動する。空間ＳＰ内のイオンが不安定に振動する場合、空間ＳＰ内のイオンは四重極マスフィルタ１４０の空間ＳＰを通過することができない。特定の質量電荷比を有するイオンは、空間ＳＰ内で安定的に振動し、空間ＳＰを通過することができる。
【0017】
検出器１５０は、例えば電子増倍管である。検出器１５０は、四重極マスフィルタ１４０の空間ＳＰを通過したイオンを検出し、検出強度を示す検出信号を出力する。なお、検出器１５０におけるグラウンド電極は、１本の接続線によりグラウンド電位に維持された真空容器１１０に接続される。処理部１７０は、例えばＣＰＵ（中央演算処理装置）を含み、検出器１５０により出力された検出信号を処理することにより、イオンの質量電荷比と検出強度との関係を示すマススペクトルを作成する。
【0018】
（２）検出器の固定方法
以下、検出器１５０の固定方法について説明する。図２は、検出器１５０の構成を示す模式的斜視図である。図２に示すように、検出器１５０は、真空容器１１０に固定されるための基部１５１を含む。基部１５１は、平板形状を有し、垂直な姿勢で配置される。基部１５１の上端には、略半円形状を有する２つの切欠部１５２が所定の間隔で形成される。基部１５１の下端には、略半円形状を有する２つの切欠部１５２が所定の間隔で形成される。
以下、検出器１５０の固定方法について説明する。図２は、検出器１５０の構成を示す模式的斜視図である。図２に示すように、検出器１５０は、真空容器１１０に固定されるための基部１５１を含む。基部１５１は、平板形状を有し、垂直な姿勢で配置される。基部１５１の上端には、略半円形状を有する２つの切欠部１５２が所定の間隔で形成される。基部１５１の下端には、略半円形状を有する２つの切欠部１５２が所定の間隔で形成される。
【0019】
図３は、真空容器１１０の下流端部における内部の構造を示す部分拡大図である。図３に示すように、検出器１５０は、基部１５１が軸Ａｘに沿うように真空容器１１０（分析室１０２）の下流端部に配置される。基部１５１が真空容器１１０に取り付けられることにより、検出器１５０が真空容器１１０に固定される。本例では、検出器１５０は、真空容器１１０の一部である取付具１０を介して、真空容器１１０に固定される。
【0020】
図４は、取付具１０の構成を示す図である。図４に示すように、取付具１０は、上下方向に延びる平板状の基部１１を有する。基部１１の上端部および下端部の各々には、略水平に屈曲された屈曲部１２が設けられる。上側の屈曲部１２の端部には、下方に突出する２つの取付片１３が所定の間隔で設けられる。下側の屈曲部１２の端部には、上方に突出する２つの取付片１３が所定の間隔で設けられる。各取付片１３には、ねじ孔１４が形成される。４つのねじ孔１４は、検出器１５０の基部１５１に形成された４つの切欠部１５２（図２）にそれぞれ対応する。
【0021】
基部１１は、複数（図４の例では４個）のねじ１５により真空容器１１０に取り付けられる。これにより、取付具１０が真空容器１１０に固定される。また、検出器１５０が取付具１０に取り付けられることにより、検出器１５０が真空容器１１０に固定される。本例では、検出器１５０は、真空ポンプ１２０（図１）が取り付けられる真空容器１１０の側壁１１１と対向する側壁１１２の内面に固定される。
【0022】
図５は、検出器１５０の固定方法を説明するための図である。図５に示すように、本例では、取付具１０の各ねじ孔１４に対応する緩衝材２０、スペーサ３０および押圧部材４０を用いて検出器１５０が取付具１０に取り付けられる。すなわち、本例では、検出器１５０は、４個の緩衝材２０、４個のスペーサ３０および４個の押圧部材４０により取付具１０に取り付けられる。
【0023】
緩衝材２０は、例えばゴム部材により形成される。緩衝材２０は、弾性を有しかつ真空環境での使用に耐える材料であれば、他の材料により形成されてもよい。緩衝材２０は、筒状を有する。緩衝材２０の外径ｒ１は、検出器１５０の切欠部１５２の半径ｒ２よりも大きい。緩衝材２０の外周面の軸方向における略中央部には、溝部２１が形成される。溝部２１における緩衝材２０の外径は、検出器１５０の切欠部１５２の半径よりもわずかに大きい。
【0024】
スペーサ３０は、例えばステンレスまたはアルミニウムにより形成される。スペーサ３０は、剛性を有しかつ真空環境での使用に耐える材料であれば、他の材料により形成されてもよい。スペーサ３０は、筒状部材の例であり、筒状部３１およびフランジ部３２を含む。筒状部３１は、円筒形状を有する。筒状部３１の外径は、緩衝材２０の内径よりもわずかに小さい。軸方向において、筒状部３１の長さは、緩衝材２０の長さよりもわずかに小さい。フランジ部３２は、筒状部３１の基端から外方に突出する。フランジ部３２の外径は、緩衝材２０の内径よりも大きい。
【0025】
押圧部材４０は、例えば雄ねじであり、ねじ部４１および頭部４２を含む。ねじ部４１の外径は、スペーサ３０の内径よりもわずかに小さい。軸方向において、ねじ部４１の長さは、スペーサ３０の長さよりも大きい。頭部４２は、略円板形状のねじ頭であり、ねじ部４１の基端に設けられる。頭部４２の外径は、スペーサ３０の内径よりも大きい。
【0026】
スペーサ３０の筒状部３１は、緩衝材２０に挿入される。また、押圧部材４０のねじ部４１は、スペーサ３０の基端側からスペーサ３０に挿入される。この場合、押圧部材４０のねじ部４１の先端が、スペーサ３０の先端から突出する。この状態で、押圧部材４０のねじ部４１の先端が、取付具１０の対応するねじ孔１４に螺合される。
【0027】
この固定方法においては、押圧部材４０が締め付けられることにより、頭部４２がスペーサ３０のフランジ部３２を押圧部材４０の進行方向に押圧する。そのため、緩衝材２０は、取付具１０の取付片１３とフランジ部３２とにより圧し潰された状態で狭持される。また、スペーサ３０の筒状部３１の先端が取付片１３に当接することにより、緩衝材２０の押し潰し量が一定値に規制される。このように、スペーサ３０は、押圧部材４０による緩衝材２０の押し潰し量を規制する潰し量規制機構として機能する。
【0028】
緩衝材２０およびスペーサ３０が挿通された各押圧部材４０が、取付具１０の対応するねじ孔１４に螺合される。これにより、取付具１０の上側の２個の取付片１３に２個の緩衝材２０がそれぞれ取り付けられる。また、取付具１０の下側の２個の取付片１３に２個の緩衝材２０がそれぞれ取り付けられる。
【0029】
検出器１５０の基部１５１に形成された上側の２個の切欠部１５２は、上側の２個の緩衝材２０の溝部２１にそれぞれ嵌め込まれる。検出器１５０の基部１５１に形成された下側の２個の切欠部１５２は、下側の２個の緩衝材２０の溝部２１にそれぞれ嵌め込まれる。この場合、基部１５１が上側の２個の緩衝材２０と下側の２個の緩衝材２０とにより狭持される。これにより、検出器１５０が真空容器１１０に固定される。
【0030】
（３）効果
本実施の形態に係る質量分析装置１００においては、複数の緩衝材２０が、複数の押圧部材４０により試料の質量分析に用いられる真空容器１１０にそれぞれ押圧される。分析対象の試料を検出する検出器１５０が複数の緩衝材２０により保持される。そのため、真空ポンプ１２０による振動が真空容器１１０に伝達される場合でも、その振動は各緩衝材２０により減衰される。これにより、検出器１５０または検出器１５０に接続された図示しないケーブルに大きい振動が伝達されることが防止される。
本実施の形態に係る質量分析装置１００においては、複数の緩衝材２０が、複数の押圧部材４０により試料の質量分析に用いられる真空容器１１０にそれぞれ押圧される。分析対象の試料を検出する検出器１５０が複数の緩衝材２０により保持される。そのため、真空ポンプ１２０による振動が真空容器１１０に伝達される場合でも、その振動は各緩衝材２０により減衰される。これにより、検出器１５０または検出器１５０に接続された図示しないケーブルに大きい振動が伝達されることが防止される。
【0031】
また、各押圧部材４０による緩衝材２０の押し潰し量は、対応するスペーサ３０により規制される。この場合、検出器１５０または検出器１５０に接続されたケーブルに伝達される振動の大きさは、真空ポンプ１２０の取り付け作業者により異なることなく一様となる。その結果、質量分析における真空ポンプ１２０の振動の影響を低減することができる。
【0032】
押圧部材４０は、筒状を有するスペーサ３０と筒状を有する緩衝材２０とが挿通された状態で、真空容器１１０の取付具１０のねじ孔１４に螺合される。そのため、簡単な構成で押圧部材４０による緩衝材２０の押し潰し量を規制することができる。また、押圧部材４０は、真空ポンプ１２０が取り付けられる側壁１１１と対向する側壁１１２の内面に取り付けられるので、真空ポンプ１２０から検出器１５０に伝達される振動をより小さくすることができる。
【0033】
検出器１５０は、上側の２つの緩衝材２０と、下側の２つの緩衝材２０とにより狭持される。したがって、検出器１５０をより確実に保持することができる。ここで、検出器１５０の基部１５１の各切欠部１５２と、対応する緩衝材２０の溝部２１とが当接する。この場合、検出器１５０をより安定的に保持することができる。また、検出器１５０は、取付具１０を介して真空容器１１０の側壁１１２の内面に取り付けられるので、真空容器１１０の内部における検出器１５０の配置の自由度が向上する。
【0034】
（４）変形例
本実施の形態において、スペーサ３０が押圧部材４０による緩衝材２０の押し潰し量を規制する潰し量規制機構として設けられるが、実施の形態はこれに限定されない。他の潰し量規制機構が設けられる場合、スペーサ３０は設けられなくてもよい。
本実施の形態において、スペーサ３０が押圧部材４０による緩衝材２０の押し潰し量を規制する潰し量規制機構として設けられるが、実施の形態はこれに限定されない。他の潰し量規制機構が設けられる場合、スペーサ３０は設けられなくてもよい。
【0035】
図６は、第１の変形例における検出器１５０の固定方法を説明するための図である。図６に示すように、第１の変形例においては、各押圧部材４０に対応するねじ孔１４は、貫通孔ではなく底部１４ａを有する有底孔である。また、スペーサ３０が設けられない。
【0036】
本例においては、押圧部材４０が締め付けられることにより、押圧部材４０の頭部４２が緩衝材２０を押圧部材４０の進行方向に押圧する。そのため、緩衝材２０は、取付具１０の取付片１３と頭部４２とにより圧し潰された状態で狭持される。また、押圧部材４０のねじ部４１の先端がねじ孔１４の底部１４ａに当接することにより、緩衝材２０の押し潰し量が一定値に規制される。したがって、ねじ孔１４の底部１４ａが潰し量規制機構として機能する。
【0037】
図７は、第２の変形例における検出器１５０の固定方法を説明するための図である。図７に示すように、押圧部材４０は、段付ねじであり、ねじ部４１と頭部４２との間に円柱形状を有する段差部４３を含む。また、スペーサ３０が設けられない。段差部４３の外径は、ねじ部４１の外径よりも大きく、緩衝材２０の内径よりもわずかに小さい。軸方向において、段差部４３の長さは、緩衝材２０の長さよりもわずかに小さい。
【0038】
ねじ部４１は、段差部４３の先端から突出する。頭部４２は、段差部４３の基端に設けられる。ねじ部４１の突出長さは、軸方向における段差部４３の長さよりも小さい。その他のねじ部４１および段差部４３の寸法的特徴は、図５におけるねじ部４１および段差部４３の寸法的特徴とそれぞれ同様である。
【0039】
本例においては、押圧部材４０が締め付けられることにより、押圧部材４０の頭部４２が緩衝材２０を押圧部材４０の進行方向に押圧する。そのため、緩衝材２０は、取付具１０の取付片１３と頭部４２とにより圧し潰された状態で狭持される。また、押圧部材４０の段差部４３の先端が取付片１３に当接することにより、緩衝材２０の押し潰し量が一定値に規制される。したがって、押圧部材４０の段差部４３が潰し量規制機構として機能する。
【0040】
（５）他の実施の形態
（ａ）上記実施の形態において、検出器１５０は取付具１０を介して真空容器１１０の側壁に固定されるが、実施の形態はこれに限定されない。取付具１０のねじ孔１４と同様のねじ孔が真空容器１１０の側壁に設けられる場合には、検出器１５０は、取付具１０を介さずに真空容器１１０の側壁に直接固定されてもよい。
（ａ）上記実施の形態において、検出器１５０は取付具１０を介して真空容器１１０の側壁に固定されるが、実施の形態はこれに限定されない。取付具１０のねじ孔１４と同様のねじ孔が真空容器１１０の側壁に設けられる場合には、検出器１５０は、取付具１０を介さずに真空容器１１０の側壁に直接固定されてもよい。
【0041】
（ｂ）上記実施の形態において、検出器１５０は真空ポンプ１２０が取り付けられる側壁１１１と対向する側壁１１２に固定されるが、実施の形態はこれに限定されない。検出器１５０は、側壁１１２とは異なる側壁に固定されてもよいし、真空ポンプ１２０が取り付けられる側壁１１１に固定されてもよい。
【0042】
（ｃ）上記実施の形態において、検出器１５０は上側の２つの緩衝材２０と下側の２つの緩衝材２０とにより狭持されるが、実施の形態はこれに限定されない。検出器１５０は、２つの緩衝材２０により狭持されてもよい。検出器１５０を教示する２つの緩衝材２０は、上下方向に並ぶように配置されてもよいし、水平方向に並ぶように配置されてもよい。また、検出器１５０は、１つの緩衝材２０により保持されてもよい。
【0043】
（ｄ）上記実施の形態において、検出器１５０の基部１５１に緩衝材２０と当接するための切欠部１５２が形成されるが、実施の形態はこれに限定されない。基部１５１に切欠部１５２が形成されなくてもよい。
【0044】
（ｅ）上記実施の形態において、緩衝材２０に検出器１５０の基部１５１と当接するための溝部２１が形成されるが、実施の形態はこれに限定されない。緩衝材２０に溝部２１が形成されなくてもよい。
【0045】
（６）態様
上記の複数の例示的な実施の形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。
上記の複数の例示的な実施の形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。
【0046】
（第１項）一態様に係る質量分析装置は、
試料の質量分析に用いられる真空容器と、
分析対象の試料を検出する検出器と、
前記検出器を保持する緩衝材と、
前記緩衝材を前記真空容器に押圧する押圧部材と、
前記押圧部材による前記緩衝材の押し潰し量を規制する潰し量規制機構とを備えてもよい。
試料の質量分析に用いられる真空容器と、
分析対象の試料を検出する検出器と、
前記検出器を保持する緩衝材と、
前記緩衝材を前記真空容器に押圧する押圧部材と、
前記押圧部材による前記緩衝材の押し潰し量を規制する潰し量規制機構とを備えてもよい。
【0047】
この質量分析装置においては、緩衝材が押圧部材により試料の質量分析に用いられる真空容器に押圧され、分析対象の試料を検出する検出器が緩衝材により保持される。そのため、真空ポンプによる振動が真空容器に伝達される場合でも、その振動は緩衝材により減衰される。これにより、検出器または検出器に接続されたケーブルに大きい振動が伝達されることが防止される。
【0048】
また、押圧部材による緩衝材の押し潰し量は潰し量規制機構により規制されるので、検出器または検出器に接続されたケーブルに伝達される振動の大きさは、真空ポンプの取り付け作業者により異なることなく一様となる。その結果、質量分析における真空ポンプの振動の影響を低減することができる。
【0049】
（第２項）第１項に記載の質量分析装置において、
前記潰し量規制機構は、筒状部材を含み、
前記押圧部材は、ねじを含み、前記筒状部材と前記緩衝材とが挿通された状態で前記真空容器に螺合されることにより、前記緩衝材を前記真空容器に押圧してもよい。
前記潰し量規制機構は、筒状部材を含み、
前記押圧部材は、ねじを含み、前記筒状部材と前記緩衝材とが挿通された状態で前記真空容器に螺合されることにより、前記緩衝材を前記真空容器に押圧してもよい。
【0050】
この場合、簡単な構成で押圧部材による緩衝材の押し潰し量を規制することができる。
【0051】
（第３項）第１項または第２項に記載の質量分析装置において、
前記真空容器は、互いに対向する第１の側壁と第２の側壁とを含み、
前記真空容器の内部を真空にするための真空ポンプが前記第１の側壁の外面に取り付けられ、
前記押圧部材は、前記第２の側壁の内面に取り付けられることにより前記緩衝材を押圧してもよい。
前記真空容器は、互いに対向する第１の側壁と第２の側壁とを含み、
前記真空容器の内部を真空にするための真空ポンプが前記第１の側壁の外面に取り付けられ、
前記押圧部材は、前記第２の側壁の内面に取り付けられることにより前記緩衝材を押圧してもよい。
【0052】
この場合、真空ポンプから検出器に伝達される振動をより小さくすることができる。
【0053】
（第４項）第１項～第３項のいずれか一項に記載の質量分析装置において、
前記緩衝材は、第１の緩衝材と第２の緩衝材とを含み、
前記押圧部材は、前記第１の緩衝材を前記真空容器に押圧する第１の押圧部材と、前記第２の緩衝材を前記真空容器に押圧する第２の押圧部材とを含み、
前記潰し量規制機構は、前記第１の押圧部材による前記第１の緩衝材の押し潰し量を規制する第１の潰し量規制機構と、前記第２の押圧部材による前記第２の緩衝材の押し潰し量を規制する第２の潰し量規制機構とをさらに含み、
前記検出器は、前記第１の緩衝材と前記第２の緩衝材とにより狭持されてもよい。
前記緩衝材は、第１の緩衝材と第２の緩衝材とを含み、
前記押圧部材は、前記第１の緩衝材を前記真空容器に押圧する第１の押圧部材と、前記第２の緩衝材を前記真空容器に押圧する第２の押圧部材とを含み、
前記潰し量規制機構は、前記第１の押圧部材による前記第１の緩衝材の押し潰し量を規制する第１の潰し量規制機構と、前記第２の押圧部材による前記第２の緩衝材の押し潰し量を規制する第２の潰し量規制機構とをさらに含み、
前記検出器は、前記第１の緩衝材と前記第２の緩衝材とにより狭持されてもよい。
【0054】
この場合、第１の緩衝材および第２の緩衝材により検出器をより確実に保持することができる。
【0055】
（第５項）第４項に記載の質量分析装置において、
前記第１の緩衝材と前記第２の緩衝材とは、上下方向に並ぶように配置されてもよい
この場合、検出器をさらに確実に保持することができる。
前記第１の緩衝材と前記第２の緩衝材とは、上下方向に並ぶように配置されてもよい
この場合、検出器をさらに確実に保持することができる。
【0056】
（第６項）第４項または第５項に記載の質量分析装置において、
前記検出器は、前記第１の緩衝材および前記第２の緩衝材にそれぞれ当接する第１の切欠部および第２の切欠部が形成された基部を含んでもよい。
前記検出器は、前記第１の緩衝材および前記第２の緩衝材にそれぞれ当接する第１の切欠部および第２の切欠部が形成された基部を含んでもよい。
【0057】
この場合、検出器をより安定的に保持することができる。
【0058】
（第７項）第６項に記載の質量分析装置において、
前記第１の緩衝材には、前記第１の切欠部と当接する第１の溝部が形成され、
前記第２の緩衝材には、前記第２の切欠部と当接する第２の溝部が形成されてもよい。
前記第１の緩衝材には、前記第１の切欠部と当接する第１の溝部が形成され、
前記第２の緩衝材には、前記第２の切欠部と当接する第２の溝部が形成されてもよい。
【0059】
この場合、検出器をさらに安定的に保持することができる。
【0060】
（第８項）第１項～第７項のいずれか一項に記載の質量分析装置において、
前記真空容器は、前記押圧部材が取り付けられる取付具を含み、
前記押圧部材は、前記取付具に取り付けられることにより前記緩衝材を押圧してもよい。
前記真空容器は、前記押圧部材が取り付けられる取付具を含み、
前記押圧部材は、前記取付具に取り付けられることにより前記緩衝材を押圧してもよい。
【0061】
この場合、検出器の配置の自由度が向上する。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】