特許 7618712 基板処理装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2025-01-10

(45)【発行日】2025-01-21

(54)【発明の名称】基板処理装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/304 20060101AFI20250114BHJP

   B08B 3/02 20060101ALI20250114BHJP

【ＦＩ】

H01L21/304 644Z

B08B3/02 B

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2023026185

(22)【出願日】2023-02-22

(65)【公開番号】P2024119352

(43)【公開日】2024-09-03

【審査請求日】2023-10-06

(73)【特許権者】

【識別番号】000207551

【氏名又は名称】株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス

(74)【代理人】

【識別番号】100093056

【弁理士】

【氏名又は名称】杉谷 勉

(74)【代理人】

【識別番号】100142930

【弁理士】

【氏名又は名称】戸高 弘幸

(74)【代理人】

【識別番号】100175020

【弁理士】

【氏名又は名称】杉谷 知彦

(74)【代理人】

【識別番号】100180596

【弁理士】

【氏名又は名称】栗原 要

(74)【代理人】

【識別番号】100195349

【弁理士】

【氏名又は名称】青野 信喜

(72)【発明者】

【氏名】篠原 智之

(72)【発明者】

【氏名】船橋 和雅

【審査官】佐藤 靖史

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１７－０１７２０１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０８－３１８２２６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０８－０１０７１９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４

Ｂ０８Ｂ ３／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ブラシを用いて基板を洗浄する基板処理装置であって、
基板を水平姿勢で保持する基板保持部と、
前記基板保持部で保持された前記基板を洗浄するブラシと、
前記ブラシを着脱可能に保持するブラシ保持部と、
前記ブラシ保持部が先端部に設けられたアームと、
前記ブラシ保持部から前記ブラシを回収するブラシ回収部と、
未使用の前記ブラシを保管し、保管された未使用の前記ブラシを前記ブラシ保持部に取り付けるブラシ取り付け部であって、保管中の未使用の前記ブラシを収容するブラシ収容容器を備える前記ブラシ取り付け部と、
前記基板保持部で保持された前記基板上の処理位置と、前記ブラシ回収部と、前記ブラシ取り付け部との間で、前記アームを介して前記ブラシを移動させるブラシ移動機構と、
前記ブラシ収容容器に液体を供給する液体供給部と、
を備え、
前記ブラシ収容容器は、貯留された前記液体に未使用の前記ブラシを浸漬させて、保管することを特徴とする基板処理装置。

【請求項2】

請求項１に記載の基板処理装置において、
前記ブラシ取り付け部は、前記ブラシ収容容器を水平移動させる水平移動部を更に備えていることを特徴とする基板処理装置。

【請求項3】

請求項１に記載の基板処理装置において、
前記ブラシ回収部は、取り外された使用済みの前記ブラシを回収するブラシ回収容器を備えることを特徴とする基板処理装置。

【請求項4】

請求項１から３のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記ブラシ回収部は、前記ブラシを取り外すための取り外し部材を備えていることを特徴とする基板処理装置。

【請求項5】

ブラシを用いて基板を洗浄する基板処理装置であって、
基板を水平姿勢で保持する基板保持部と、
前記基板保持部で保持された前記基板を洗浄するブラシと、
前記ブラシを着脱可能に保持するブラシ保持部と、
前記ブラシ保持部が先端部に設けられたアームと、
前記ブラシ保持部から前記ブラシを回収するブラシ回収部と、
未使用の前記ブラシを保管し、保管された未使用の前記ブラシを前記ブラシ保持部に取り付けるブラシ取り付け部と、
前記基板保持部で保持された前記基板上の処理位置と、前記ブラシ回収部と、前記ブラシ取り付け部との間で、前記アームを介して前記ブラシを移動させるブラシ移動機構と、
を備え、
前記ブラシ取り付け部は、前記ブラシ回収部に隣接して配置されることを特徴とする基板処理装置。

【請求項6】

ブラシを用いて基板を洗浄する基板処理装置であって、
基板を水平姿勢で保持する基板保持部と、
前記基板保持部で保持された前記基板を洗浄するブラシと、
前記ブラシを着脱可能に保持するブラシ保持部と、
前記ブラシ保持部が先端部に設けられたアームと、
前記ブラシ保持部から前記ブラシを回収するブラシ回収部と、
未使用の前記ブラシを保管し、保管された未使用の前記ブラシを前記ブラシ保持部に取り付けるブラシ取り付け部と、
前記基板保持部で保持された前記基板上の処理位置と、前記ブラシ回収部と、前記ブラシ取り付け部との間で、前記アームを介して前記ブラシを移動させるブラシ移動機構と、
前記ブラシ回収部と前記ブラシ取り付け部の間に設けられ、前記ブラシ回収部と前記ブラシ取り付け部とを隔てる隔離部と、
を備えていることを特徴とする基板処理装置。

【請求項7】

ブラシを用いて基板を洗浄する基板処理装置であって、
基板を水平姿勢で保持する基板保持部と、
前記基板保持部で保持された前記基板を洗浄するブラシと、
前記ブラシを着脱可能に保持するブラシ保持部と、
前記ブラシ保持部が先端部に設けられたアームと、
前記ブラシ保持部から前記ブラシを回収するブラシ回収部と、
未使用の前記ブラシを保管し、保管された未使用の前記ブラシを前記ブラシ保持部に取り付けるブラシ取り付け部と、
前記基板保持部で保持された前記基板上の処理位置と、前記ブラシ回収部と、前記ブラシ取り付け部との間で、前記アームを介して前記ブラシを移動させるブラシ移動機構と、
を備え、
前記ブラシ保持部は、
鉛直に延びる中心軸に沿って形成された円柱状の穴部と、
前記穴部の内側の側壁に設けられると共に、前記中心軸周りに配置された３個の開口部と、
前記３個の開口部から前記穴部にそれぞれ突出する３個の突出部と、
前記突出部の外側に設けられ、前記突出部を前記中心軸の方向に付勢する付勢部と、
を備え、
前記ブラシは、
前記基板を洗浄するための洗浄面を有するブラシ本体と、
前記洗浄面の反対側から前記ブラシ本体を支持するブラシ支持部と、
前記ブラシ支持部から前記洗浄面の反対側に突出する円柱部と、
前記円柱部の側壁でかつ前記円柱部の軸周りに設けられた凹みと長手凹みと、を備え、
前記長手凹みは、円周方向に長手に凹んでおり、
前記ブラシ保持部の前記穴部に前記円柱部を挿入した場合に、前記凹みは、前記３個の突出部のうちの１個の突出部を収容し、また、前記長手凹みは、残りの２個の突出部のうち少なくとも１つの突出部を収容することを特徴とする基板処理装置。

【請求項8】

ブラシを用いて基板を洗浄する基板処理装置であって、
基板を水平姿勢で保持する基板保持部と、
前記基板保持部で保持された前記基板を洗浄するブラシと、
前記ブラシを着脱可能に保持するブラシ保持部と、
前記ブラシ保持部が先端部に設けられたアームと、
前記ブラシ保持部から前記ブラシを回収するブラシ回収部と、
未使用の前記ブラシを保管し、保管された未使用の前記ブラシを前記ブラシ保持部に取り付けるブラシ取り付け部と、
前記基板保持部で保持された前記基板上の処理位置と、前記ブラシ回収部と、前記ブラシ取り付け部との間で、前記アームを介して前記ブラシを移動させるブラシ移動機構と、
を備え、
前記ブラシは、
前記基板を洗浄するための洗浄面を有するブラシ本体と、
前記洗浄面の反対側から前記ブラシ本体を支持するブラシ支持部と、を備え、
前記ブラシ支持部は、
前記洗浄面との反対側に、予め設定された水平方向に延びるガイドと、
前記ガイドに設けられた開口部と、
前記開口部から外側に突出する突出部と、
前記ブラシ支持部の外周面に設けられるボタン部と、
前記ボタン部の押し込み量によって前記突出部の突出幅を調整する突出幅調整機構と、を有し、
前記ブラシ保持部は、
前記水平方向に移動可能に前記ガイドを保持するガイド保持部と、
前記ガイド保持部に設けられて前記突出部を収容する凹みと、を備え、
前記ボタン部を押し込んだ場合は、前記突出幅調整機構が前記突出部を前記開口部から内側に後退させることで、前記ブラシが前記ブラシ保持部に対して前記水平方向に移動することができる状態になり、
前記ボタン部を押し込まない場合は、前記突出幅調整機構が前記開口部から外側に前記突出部を突出させることで、前記突出部を前記凹みに収容させて、前記ブラシの前記水平方向の移動を規制することができる状態になることを特徴とする基板処理装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、基板を処理する基板処理装置に関する。基板は、例えば、半導体基板、ＦＰＤ（Flat Panel Display）用の基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、セラミック基板、太陽電池用基板などが挙げられる。ＦＰＤは、例えば、液晶表示装置、有機ＥＬ（electroluminescence）表示装置などが挙げられる。

【背景技術】

【0002】

基板処理装置は、ブラシを用いて基板を洗浄する。ブラシは、定期的に交換が必要である。ブラシは、一般的に、操作者の手作業によって交換される。しかし、ブラシ交換により、基板処理装置の稼働率が低下して生産性が悪化するという課題がある。そのため、ブラシを自動的に交換できる装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

【0003】

特許文献１には、複数個のブラシを保持するブラシ保持枠を備えたスクラバ洗浄装置が開示されている。ブラシ保持枠は、複数個の保持溝が形成されている。スクラバ洗浄装置は、ブラシ保持枠の空きの保持溝でブラシヘッドからブラシを外す。外されたブラシは、その保持溝に保持される。その後、スクラバ洗浄装置は、ブラシ保持枠に保持される別のブラシをブラシヘッドの下方に移動させ、その別のブラシをブラシヘッドに取り付ける。

【0004】

特許文献２，３には、待機ポットに横に並んで配置された複数個のブラシのうちの所望のブラシをブラシチャックで択一的に保持することができるブラシ洗浄装置が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開平０８－３１８２２６号公報

【文献】特開平０８－０１０７１９号公報

【文献】特開平１０－２２３５８４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかし、従来の装置は次の問題がある。例えば特許文献１において、取り外された使用済みのブラシは、ブラシ保持枠に保持される。この場合、使用済みのブラシと未使用のブラシとが横に並んだ状態になる。また、ブラシ保持枠の保持溝は、取り外した使用済みのブラシを保持した後に、未使用のブラシを保持する可能性がある。そのため、未使用のブラシに使用済みのブラシのパーティクルが付着する可能性がある。

【0007】

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、未使用のブラシにパーティクルが付着することを防止しながら、ブラシを自動的に交換できる基板処理装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。本発明に係る基板処理装置は、ブラシを用いて基板を洗浄する基板処理装置であって、基板を水平姿勢で保持する基板保持部と、前記基板保持部で保持された前記基板を洗浄するブラシと、前記ブラシを着脱可能に保持するブラシ保持部と、前記ブラシ保持部が先端部に設けられたアームと、前記ブラシ保持部から前記ブラシを回収するブラシ回収部と、未使用の前記ブラシを保管し、保管された未使用の前記ブラシを前記ブラシ保持部に取り付けるブラシ取り付け部であって、保管中の未使用の前記ブラシを収容するブラシ収容容器を備える前記ブラシ取り付け部と、前記基板保持部で保持された前記基板上の処理位置と、前記ブラシ回収部と、前記ブラシ取り付け部との間で、前記アームを介して前記ブラシを移動させるブラシ移動機構と、前記ブラシ収容容器に液体を供給する液体供給部と、を備え、前記ブラシ収容容器は、貯留された前記液体に未使用の前記ブラシを浸漬させて、保管することを特徴とするものである。

【0009】

本発明に係る基板処理装置によれば、ブラシ回収部とブラシ取り付け部とが分けられているので、使用済みのブラシと未使用のブラシとを同じ領域で取り扱わない。これにより、取り外された使用済みのブラシから未使用のブラシを離した状態で扱うことができる。したがって、未使用のブラシにパーティクルが付着することを防止しながら、ブラシを自動的に交換できる。
また、ブラシ取り付け部にブラシ収容容器を備えることで、ブラシ取り付け部とブラシ回収部を隔てることができる。そのため、使用済みのブラシ起因のパーティクルが、ブラシ取り付け部で扱う未使用のブラシに付着することを確実に防止することができる。
また、保管中の未使用のブラシが乾燥すると、例えば、未使用のブラシの細かな隙間にパーティクルが入る可能性がある。パーティクルがその隙間に入り込むと、パーティクルの除去には、長時間を要する。そのため、未使用のブラシをブラシ保持部に取り付けた後、製品となる基板のブラシ洗浄を行うまで、長時間を費やしてしまう可能性がある。そのため、基板処理装置の稼働率が低下して生産性が悪化してしまう。しかし、本発明によれば、液体供給部が保管中の未使用のブラシに液体を供給するので、保管中の未使用のブラシの乾燥を防止することができる。そのため、保管中の未使用のブラシの細かな隙間にパーティクルが入ることを防止することができる。

【0014】

また、上述の基板処理装置において、前記ブラシ取り付け部は、前記ブラシ収容容器を水平移動させる水平移動部を更に備えていることが好ましい。

【0015】

平面視における移動経路上に複数の未使用のブラシを搬送することができる。

【0016】

また、上述の基板処理装置において、前記ブラシ回収部は、取り外された使用済みの前記ブラシを回収するブラシ回収容器を備えることが好ましい。

【0017】

ブラシ回収部にブラシ回収容器を備えることで、ブラシ取り付け部とブラシ回収部を隔てることができる。そのため、使用済みのブラシ起因のパーティクルが、ブラシ取り付け部で扱う未使用のブラシに付着することを確実に防止することができる。

【0018】

また、上述の基板処理装置において、前記ブラシ回収部は、前記ブラシを取り外すための取り外し部材を備えていることが好ましい。

【0019】

取り外し部材を用いてブラシ保持部から使用済みのブラシを取り外し、そのブラシをブラシ回収容器に回収することができる。

【0020】

また、本発明に係る基板処理装置は、ブラシを用いて基板を洗浄する基板処理装置であって、基板を水平姿勢で保持する基板保持部と、前記基板保持部で保持された前記基板を洗浄するブラシと、前記ブラシを着脱可能に保持するブラシ保持部と、前記ブラシ保持部が先端部に設けられたアームと、前記ブラシ保持部から前記ブラシを回収するブラシ回収部と、未使用の前記ブラシを保管し、保管された未使用の前記ブラシを前記ブラシ保持部に取り付けるブラシ取り付け部と、前記基板保持部で保持された前記基板上の処理位置と、前記ブラシ回収部と、前記ブラシ取り付け部との間で、前記アームを介して前記ブラシを移動させるブラシ移動機構と、を備え、前記ブラシ取り付け部は、前記ブラシ回収部に隣接して配置されることを特徴とするものである。

【0021】

本発明に係る基板処理装置によれば、ブラシ回収部とブラシ取り付け部とが分けられているので、使用済みのブラシと未使用のブラシとを同じ領域で取り扱わない。これにより、取り外された使用済みのブラシから未使用のブラシを離した状態で扱うことができる。したがって、未使用のブラシにパーティクルが付着することを防止しながら、ブラシを自動的に交換できる。
また、ブラシ回収部で使用済みのブラシを取り外した後に未使用のブラシを素早く取り付けることができる。また、ブラシ取り付け部がブラシ回収部に隣接した状態でも、取り外された使用済みのブラシから未使用のブラシを離すことができる。

【0022】

また、本発明に係る基板処理装置は、ブラシを用いて基板を洗浄する基板処理装置であって、基板を水平姿勢で保持する基板保持部と、前記基板保持部で保持された前記基板を洗浄するブラシと、前記ブラシを着脱可能に保持するブラシ保持部と、前記ブラシ保持部が先端部に設けられたアームと、前記ブラシ保持部から前記ブラシを回収するブラシ回収部と、未使用の前記ブラシを保管し、保管された未使用の前記ブラシを前記ブラシ保持部に取り付けるブラシ取り付け部と、前記基板保持部で保持された前記基板上の処理位置と、前記ブラシ回収部と、前記ブラシ取り付け部との間で、前記アームを介して前記ブラシを移動させるブラシ移動機構と、前記ブラシ回収部と前記ブラシ取り付け部の間に設けられ、前記ブラシ回収部と前記ブラシ取り付け部とを隔てる隔離部と、を備えていることを特徴とするものである。

【0023】

本発明に係る基板処理装置によれば、ブラシ回収部とブラシ取り付け部とが分けられているので、使用済みのブラシと未使用のブラシとを同じ領域で取り扱わない。これにより、取り外された使用済みのブラシから未使用のブラシを離した状態で扱うことができる。したがって、未使用のブラシにパーティクルが付着することを防止しながら、ブラシを自動的に交換できる。
また、ブラシ回収部とブラシ回収容器の間に隔離部を備えることで、ブラシ取り付け部とブラシ回収部を隔てることができる。そのため、使用済みのブラシ起因のパーティクルが、ブラシ取り付け部で扱う未使用のブラシに付着することを防止することができる。

【0024】

また、本発明に係る基板処理装置は、ブラシを用いて基板を洗浄する基板処理装置であって、基板を水平姿勢で保持する基板保持部と、前記基板保持部で保持された前記基板を洗浄するブラシと、前記ブラシを着脱可能に保持するブラシ保持部と、前記ブラシ保持部が先端部に設けられたアームと、前記ブラシ保持部から前記ブラシを回収するブラシ回収部と、未使用の前記ブラシを保管し、保管された未使用の前記ブラシを前記ブラシ保持部に取り付けるブラシ取り付け部と、前記基板保持部で保持された前記基板上の処理位置と、前記ブラシ回収部と、前記ブラシ取り付け部との間で、前記アームを介して前記ブラシを移動させるブラシ移動機構と、を備え、前記ブラシ保持部は、鉛直に延びる中心軸に沿って形成された円柱状の穴部と、前記穴部の内側の側壁に設けられると共に、前記中心軸周りに配置された３個の開口部と、前記３個の開口部から前記穴部にそれぞれ突出する３個の突出部と、前記突出部の外側に設けられ、前記突出部を前記中心軸の方向に付勢する付勢部と、を備え、前記ブラシは、前記基板を洗浄するための洗浄面を有するブラシ本体と、前記洗浄面の反対側から前記ブラシ本体を支持するブラシ支持部と、前記ブラシ支持部から前記洗浄面の反対側に突出する円柱部と、前記円柱部の側壁でかつ前記円柱部の軸周りに設けられた凹みと長手凹みと、を備え、前記長手凹みは、円周方向に長手に凹んでおり、前記ブラシ保持部の前記穴部に前記円柱部を挿入した場合に、前記凹みは、前記３個の突出部のうちの１個の突出部を収容し、また、前記長手凹みは、残りの２個の突出部のうち少なくとも１つの突出部を収容することを特徴とするものである。

【0025】

本発明に係る基板処理装置によれば、ブラシ回収部とブラシ取り付け部とが分けられているので、使用済みのブラシと未使用のブラシとを同じ領域で取り扱わない。これにより、取り外された使用済みのブラシから未使用のブラシを離した状態で扱うことができる。したがって、未使用のブラシにパーティクルが付着することを防止しながら、ブラシを自動的に交換できる。
また、長手凹みは、円周方向に長手に凹んでおり、３個の突出部のうちの２個の突出部を収容することができる。そのため、例えば、ブラシ保持部の穴部にブラシの円柱部を挿入した際に、３個の突出部のうちの１つは、長手凹みに収容される。そのため、ブラシ保持部に対するブラシの上下方向の移動を規制させることできる。

【0026】

また、本発明に係る基板処理装置は、ブラシを用いて基板を洗浄する基板処理装置であって、基板を水平姿勢で保持する基板保持部と、前記基板保持部で保持された前記基板を洗浄するブラシと、前記ブラシを着脱可能に保持するブラシ保持部と、前記ブラシ保持部が先端部に設けられたアームと、前記ブラシ保持部から前記ブラシを回収するブラシ回収部と、未使用の前記ブラシを保管し、保管された未使用の前記ブラシを前記ブラシ保持部に取り付けるブラシ取り付け部と、前記基板保持部で保持された前記基板上の処理位置と、前記ブラシ回収部と、前記ブラシ取り付け部との間で、前記アームを介して前記ブラシを移動させるブラシ移動機構と、を備え、上述の基板処理装置において、前記ブラシは、前記基板を洗浄するための洗浄面を有するブラシ本体と、前記洗浄面の反対側から前記ブラシ本体を支持するブラシ支持部と、を備え、前記ブラシ支持部は、前記洗浄面との反対側に、予め設定された水平方向に延びるガイドと、前記ガイドに設けられた開口部と、前記開口部から外側に突出する突出部と、前記ブラシ支持部の外周面に設けられるボタン部と、前記ボタン部の押し込み量によって前記突出部の突出幅を調整する突出幅調整機構と、を有し、前記ブラシ保持部は、前記水平方向に移動可能に前記ガイドを保持するガイド保持部と、前記ガイド保持部に設けられて前記突出部を収容する凹みと、を備え、前記ボタン部を押し込んだ場合は、前記突出幅調整機構が前記突出部を前記開口部から内側に後退させることで、前記ブラシが前記ブラシ保持部に対して前記水平方向に移動することができる状態になり、前記ボタン部を押し込まない場合は、前記突出幅調整機構が前記開口部から外側に前記突出部を突出させることで、前記突出部を前記凹みに収容させて、前記ブラシの前記水平方向の移動を規制することができる状態になることを特徴とするものである。

【0027】

本発明に係る基板処理装置によれば、ブラシ回収部とブラシ取り付け部とが分けられているので、使用済みのブラシと未使用のブラシとを同じ領域で取り扱わない。これにより、取り外された使用済みのブラシから未使用のブラシを離した状態で扱うことができる。したがって、未使用のブラシにパーティクルが付着することを防止しながら、ブラシを自動的に交換できる。
また、ブラシは、予め設定された水平方向に延びるガイドを備える。ブラシ保持部は、その水平方向に移動可能にガイドを保持するガイド保持部を備える。そのため、ブラシ保持部に対する上下方向および回転方向のブラシの移動を規制することができる。また、突出部を凹みに収容させることで、上述の水平方向の移動も規制することができる。

【発明の効果】

【0028】

本発明に係る基板処理装置によれば、未使用のブラシにパーティクルが付着することを防止しながら、ブラシを自動的に交換できる。

【図面の簡単な説明】

【0029】

【図1】実施例１に係る基板処理装置の概略構成を示す側面図である。

【図2】実施例１に係る基板処理装置の平面図である。

【図3】（ａ）は、ブラシとブラシ保持部を示す縦断面図であり、（ｂ）は、ブラシの斜視図である。

【図4】（ａ）は、円柱部に設けられた凹みと長手凹みを示す横断面図であり、（ｂ）は、円柱部の側壁の部分的な展開図であり、（ｃ）は、凹みと長手凹みに３個の鋼球が収まった状態を示す横断面図である。

【図5】長手凹みの効果を説明するための横断面図である。

【図6】（ａ）は、取り外し部材を示す平面図であり、（ｂ）は、取り外し部材を示す正面図である。

【図7】ブラシ交換部の概略構成を示す縦断面図である。

【図8】（ａ）は、実施例２に係るブラシ交換部の縦断面図であり、（ｂ）は、ブラシ交換部の平面図である。

【図9】（ａ）は、実施例３に係るブラシとブラシ保持部の側面図であり、（ｂ）は、ブラシ保持部の斜視図である。

【図10】（ａ）、（ｂ）は、ブラシとブラシ保持部の横断面図である。

【図11】実施例３に係るブラシ交換部の平面図である。

【図12】実施例３に係るブラシ交換部の概略構成を示す縦断面図である。

【図13】（ａ）～（ｃ）は、実施例３に係るブラシ交換を説明するための縦断面図である。

【図14】変形例に係る取り外し部材を示す側面図である。

【図15】変形例に係るブラシとブラシ保持部を示す縦断面図である。

【図16】変形例に係るブラシとブラシ保持部を示す縦断面図である。

【図17】変形例に係るブラシ交換部を示す縦断面図である。

【図18】変形例に係る基板処理装置を示す平面図である。

【実施例1】

【0030】

以下、図面を参照して本発明の実施例１を説明する。図１は、基板処理装置１の概略構成を示す側面図である。図２は、基板処理装置１の平面図である。

【0031】

（１）基板処理装置の基本構成
図１、図２を参照する。基板処理装置１は、ブラシ２５を用いて基板Ｗを洗浄する。基板処理装置１は、保持回転部３、カップ５、処理液供給部７、ブラシ機構９および制御部１０１を備える。なお、保持回転部３は、本発明の基板保持部に相当する。

【0032】

保持回転部３は、基板Ｗを水平姿勢で保持して基板Ｗを鉛直軸ＡＸ１周りに回転させる。基板Ｗは、円板状に形成されている。保持回転部３は、スピンチャック１１と回転駆動部１３を備えている。回転駆動部１３は、電動モータを備える。回転駆動部１３は、基板Ｗを保持するスピンチャック１１を鉛直軸ＡＸ１周りに回転させる。

【0033】

スピンチャック１１は、図２に示すように、スピンベース１５および３本以上（例えば６本）の保持ピン１７を備える。スピンベース１５は、円板状に形成される。鉛直軸ＡＸ１は、スピンベース１５（すなわち基板Ｗ）の中心を通過する。６本の保持ピン１７は、スピンベース１５の上面の周縁部に等間隔に立設される。また、６本の保持ピン１７のうちの例えば一方側に配置された３本の保持ピン１７Ａは各々、自身を通過する鉛直軸周りに回転する。これにより、スピンチャック１１は、６本の保持ピン１７によって基板Ｗの周縁を挟み込むことで、基板Ｗを保持する。なお、スピンチャック１１は、この説明のメカニカルチャックだけでなく、真空チャックまたは静電チャックであってもよい。

【0034】

カップ５は、保持回転部３で保持された水平姿勢の基板Ｗの外周を囲むように構成される。カップ５は、例えば基板Ｗの回転により飛散した処理液を受けるものである。カップ５は、昇降可能に構成される。

【0035】

処理液供給部７は、処理液ノズル１９、処理液配管２１、処理液供給源２３および開閉弁Ｖ１を備える。処理液ノズル１９は、保持回転部３で保持された基板Ｗに処理液を吐出する。処理液は、例えば脱イオン水（ＤＩＷ）などの純水が用いられる。処理液配管２１は、処理液ノズル１９と処理液供給源２３を接続する。処理液供給源２３は、処理液配管２１を通じて処理液ノズル１９に処理液を供給する。開閉弁Ｖ１は、処理液配管２１に設けられる。開閉弁Ｖ１は、処理液の供給とその供給の停止を行う。

【0036】

ブラシ機構９は、ブラシ２５、ブラシ保持部２７、シャフト２９、アーム３１および電動モータ３３を備える。ブラシ２５は、保持回転部３で保持された基板Ｗを洗浄するためのものである。ブラシ保持部２７は、ブラシ２５を着脱可能に保持する。なお、ブラシ２５およびブラシ保持部２７の詳細は後述する。

【0037】

ブラシ保持部２７の上端部は、鉛直方向に延びるシャフト２９の下端部に固定される。シャフト２９の上部は、水平方向に延びるアーム３１によって鉛直軸ＡＸ２周りに回転可能に保持される。シャフト２９は、例えばベルトまたはギヤを介して、電動モータ３３によって鉛直軸ＡＸ２周りに回転される。ブラシ２５、ブラシ保持部２７およびシャフト２９は、アーム３１の先端部（先端側）に設けられる。

【0038】

ブラシ機構９は、更に、昇降機構３５と旋回駆動部３７を備える。昇降機構３５は、ブラシ２５、ブラシ保持部２７およびアーム３１等を昇降させる。昇降機構３５は、ガイドレール３９と昇降駆動部４１を備える。アーム３１の基端部は、ガイドレール３９によって昇降可能に滑り接触される。ガイドレール３９は、アーム３１を上下方向に案内する。昇降駆動部４１は、例えば電動モータとねじ軸を備える。なお、昇降駆動部４１はエアシリンダであってもよい。

【0039】

旋回駆動部３７は、保持回転部３で保持された基板Ｗ、およびカップ５の外側に設けられる。旋回駆動部３７は、ブラシ２５、ブラシ保持部２７、アーム３１および昇降機構３５等を鉛直軸ＡＸ３周りに旋回させる。旋回駆動部３７は電動モータを備える。図２に示すように、昇降機構３５および旋回駆動部３７は、保持回転部３で保持された基板Ｗ上の処理位置と、待機ポット４３と、ブラシ交換部４５（ブラシ回収部７９およびブラシ取り付け部８１）との間で、アーム３１を介してブラシ２５を移動させる。なお、昇降機構３５および旋回駆動部３７は、本発明のブラシ移動機構に相当する。

【0040】

（２）ブラシを着脱させるための構成
図３（ａ）は、ブラシ２５とブラシ保持部２７を示す縦断面図である。図３（ｂ）は、ブラシ２５の斜視図である。ブラシ保持部２７は、円筒部材５１、穴部５３、３個の開口部５５、３個の鋼球５７、ボール収容部５９および付勢部６１を備える。なお、鋼球５７は、本発明の突出部に相当する。

【0041】

円筒部材５１の上部５１Ａの外径は、円筒部材５１の下部５１Ｂの外径よりも小さい。穴部５３は、鉛直に延びる中心軸（すなわち鉛直軸ＡＸ２）に沿って円柱状に形成される。穴部５３の上端には、シャフト２９の下端部が連結される。これにより、シャフト２９に円筒部材５１が固定される。

【0042】

円筒部材５１には、３個のボール収容部５９が形成される。３個のボール収容部５９は鉛直軸周りに等間隔（１２０°）で配置される。ボール収容部５９は、穴部５３の内側の側壁５３Ａに開口部５５を有しており、３個のボール収容部５９に収容された３個の鋼球５７は、開口部５５から一部が突出するように構成される。

【0043】

上述の構成ではボール収容部５９は、３個であったが、４個以上であってもよい。また、鋼球５７は、例えばステンレス鋼など鉄で構成されるが、他の金属または樹脂であってもよい。鋼球５７の個数は、３個であったが、４個以上であってもよい。

【0044】

３個のボール収容部５９に収容された３個の鋼球５７は、付勢部６１によって支持される。付勢部６１は、円筒部材５１の上部５１Ａの外周を囲うように設けられる。付勢部６１は、円筒状のケース部６３と、押し込み部６５と、円筒状のばね部材（弾性部材）６７とを備える。ばね部材６７は、上下方向のスリットを有して、ばね部材６７の横断面がＣ状になっていてもよい。ケース部６３の上端部の内壁は、円筒部材５１の上部５１Ａの外壁に到達するように形成される。ケース部６３の下端は、円筒部材５１の下部５１Ｂの上面に接触する。ケース部６３は、ばね部材６７が配置される空間ＳＰ１を形成する。

【0045】

押し込み部６５は、当接部６５Ａと規制部６５Ｂによって一体的に構成される。当接部６５Ａは、平面視で、円環形状の部材であって、下面から上面に向かって中空部の断面積が小さくなるように内周面にテーパを有している。また、当接部６５Ａは、上下方向Ｚにおいて、ばね部材６７と円筒部材５１の間に配置される。規制部６５Ｂは、平面視で、当接部６５Ａより外径が小さく、当接部６５Ａと内径が同じ円環形状であって、当接部６５Ａの上面から延出されるように形成される。ばね部材６７は、例えばステンレス鋼などの金属で形成される。ばね部材６７は、水平方向において、ケース部６３と規制部６５Ｂの間に配置される。当接部６５Ａの内周面およびばね部材６７は、３個の鋼球５７をそれぞれ内周側（３個の開口部５５側）に押し込む。

【0046】

ブラシ２５は、ブラシ保持部２７に対して着脱可能である。図３（ｂ）に示すように、ブラシ２５は、ブラシ本体６９、ブラシ支持部７１および円柱部７３を備える。ブラシ本体６９は、例えばＰＶＡ（ポリビニルアルコール、polyvinyl alcohol）のスポンジブラシが用いられる。ブラシ本体６９は円柱状に形成される。ブラシ本体６９は、基板Ｗを洗浄するための洗浄面６９Ａを有する。ブラシ支持部７１は、洗浄面６９Ａの反対側からブラシ本体６９を支持する。ブラシ支持部７１も円柱状に形成される。円柱部７３は、ブラシ支持部７１から洗浄面６９Ａの反対側に延びる。円柱部７３は、ブラシ支持部７１に固定される。円柱部７３の外周面７３Ａには、凹み７５と、凹み７５と比較して円柱部７３の円周方向に長い凹みである長手凹み７７が形成される。

【0047】

図４（ａ）は、円柱部に設けられた凹み７５と長手凹み７７を示す横断面図である。図４（ｂ）は、円柱部７３の側壁（外周面）７３Ａの部分的な展開図である。図４（ｃ）は、凹み７５と長手凹み７７に３個の鋼球５７が収まった状態を示す横断面図である。

【0048】

凹み７５の上下方向Ｚの長さおよび水平方向の幅は、開口部５５から部分的に突出する鋼球５７の略半球状の部分の長さ（上下方向Ｚ）および幅（水平方向）と略同じになるように形成される。また、長手凹み７７の上下方向Ｚの長さも同様に、開口部５５から部分的に突出する鋼球５７の略半球状の部分の長さ（上下方向Ｚ）と略同じになるように形成される。

【0049】

図４（ｂ）に示すように、長手凹み７７は、円周方向に長手に凹んでいる。図４（a）および図４（ｂ）に示すように、ブラシ保持部２７の穴部５３にブラシ２５の円柱部７３を挿入した場合、凹み７５は、３個の鋼球５７のうちの第１の鋼球５７Ａを収容する。また、長手凹み７７は、その両端部で残りの２個の鋼球５７Ｂ，５７Ｃを収容する。なお、円柱部７３が中空（円筒状）である場合、凹み７５および長手凹み７７は、貫通する孔部であってもよい。

【0050】

凹み７５と長手凹み７７に３個の鋼球５７が収まることで、ブラシ保持部２７に対してブラシ２５の上下方向および円周方向の移動が規制される。円周方向の移動の規制は、第１の鋼球５７Ａが凹み７５に収容されることだけでなく、２個の鋼球５７Ｂ，５７Ｃが長手凹み７７に収容されることによっても行われる。図４（ａ）において、鋼球５７Ｂ，５７Ｃが鉛直軸ＡＸ２周りに回転する場合、第２の鋼球５７Ｂの時計回りの回転は、長手凹み７７の第１端７７Ａで規制され、第３の鋼球５７Ｃの反時計回りの回転は、第２端７７Ｂで規制される。

【0051】

なお、ブラシ保持部２７の穴部５３にブラシ２５の円柱部７３を挿入する際に、各鋼球５７は、円柱部７３によって外周側に押されることで、開口部５５から穴部５３側に突出しない状態になる。具体的には、押し込み部６５は、ばね部材６７によって鉛直方向に移動可能な状態で支持されている。また、押し込み部６５の当接部６５Ａは、平面視で下面から上面に向かって中空部の断面積が小さくなるようなテーパ形状を内周面に有する。そのため、鋼球５７によって内周面が外側に向かって押された際には、押された力の向き(水平方向)が鉛直方向の上向きに変換される。そのため、押し込み部６５が鉛直方向の上向きに移動することで、鋼球５７が円筒部材５１の側壁５３Ａより内側に収容される。その後、３個の開口部５５と２個の凹み７５，７７とが対向するときに、押し込み部６５とばね部材６７の復元力により、３個の鋼球５７が３個の開口部５５から部分的に突出する。具体的には、押し込み部６５による下向き(鉛直方向)の力が、テーパ形状の内周面により、内周面から内側に向かう力(水平方向)に変換される。これにより、テーパ形状の内周面により付勢された３個の鋼球５７が各開口部５５から部分的に突出することで、凹み７５および長手凹み７７に収容され、また、ブラシ２５の移動が規制される。

【0052】

また、図３（ａ）において、ブラシ保持部２７からブラシ２５を取り外すときは、ブラシ２５を下方に引っ張る。所定の引っ張り力により、円柱部７３が３個の鋼球５７を外側に押し込む。これにより、３個の鋼球５７は、開口部５５から穴部５３側に突出しない状態になる。そのため、ブラシ保持部２７からブラシ２５を取り外すことができる。

【0053】

ここで、図５を参照しながら長手凹み７７の効果について説明する。例えば、円柱部７３に長手凹み７７が設けられておらず、３個の鋼球５７に対応する「３個の凹み７５」が１２０°間隔で鉛直軸ＡＸ４周りに配置されていると仮定する。この場合、ブラシ２５をブラシ保持部２７に取り付ける際に、３個の鋼球５７を３個の凹み７５に収めることが難しい。ブラシ２５の円柱部７３をブラシ保持部２７の穴部５３に挿入した際に、３個の鋼球５７が３個の凹み７５に収まっていなければ、円柱部７３が穴部５３から抜けてしまう場合がある。

【0054】

これに対し、本実施例の円柱部７３には、凹み７５と長手凹み７７が設けられる。図５に示すように、ブラシ２５の円柱部７３をブラシ保持部２７の穴部５３に挿入した際に、少なくとも１個の鋼球５７が長手凹み７７に収容される。そのため、ブラシ２５の上下方向の移動が規制される。そのため、円柱部７３が穴部５３から抜けてしまうことを防止できる。その後、例えば、ブラシ２５の鉛直軸ＡＸ２周りの回転により、ブラシ保持部２７に対してブラシ２５が円周方向に滑ることで、３個の鋼球５７が凹み７５と長手凹み７７に収まり、ブラシ２５の回転が規制される。また、ブラシ２５を確実に保持することができる。

【0055】

（３）ブラシ交換部の構成
図２を参照する。ブラシ交換部４５は、使用済みのブラシ２５Ａ（ブラシ２５）を未使用のブラシ２５Ｂに交換するためのものである。未使用のブラシ２５Ｂは、ブラシ２５と同様に構成される。例えば、未使用のブラシ２５Ｂのブラシ本体６９は、ブラシ２５のブラシ本体６９のように、ＰＶＡのスポンジブラシである。待機ポット４３は保持回転部３の周囲に配置されたカップ５の外側に配置される。

【0056】

ブラシ交換部４５は、平面視で、保持回転部３で保持された基板Ｗ、およびカップ５を介して、待機ポット４３の反対側に設けられる。また、ブラシ交換部４５は、保持回転部３で保持された基板Ｗ、およびカップ５の外側の位置に配置される。ブラシ交換部４５は、ブラシ回収部７９とブラシ取り付け部８１を備える。

【0057】

（３－１）ブラシ回収部
ブラシ回収部７９では、ブラシ保持部２７からブラシ２５が取り外される。ブラシ回収部７９は、取り外し部材８３とブラシ回収容器８５を備える。取り外し部材８３は、ブラシ回収容器８５の上方に設けられる。取り外し部材８３は、平面視で、ブラシ機構９によるブラシ２５の水平移動の経路ＲＴ上に配置される。

【0058】

図６（ａ）は、取り外し部材８３を示す平面図である。図６（ｂ）は、図６（ａ）の矢印ＡＲ１の方向から見た取り外し部材８３を示す正面図である。取り外し部材８３は、ブラシ２５を取り外す際に、ブラシ２５の上面に当接することで、ブラシ２５の高さ方向の位置（動き）を規制するための部材である。図６（ａ）に示すように、取り外し部材８３は、１個の基礎部分８３Ａと、その基礎部分８３Ａから分かれた２個の引っ掛け部分８３Ｂ，８３Ｃとを有し、Ｕ字状または二叉フォーク状で構成される。

【0059】

ブラシ保持部２７からブラシ２５を取り外すとき、ブラシ機構９は、先ず、２個の引っ掛け部分８３Ｂ，８３Ｃの間にブラシ保持部２７を通す。その後、ブラシ機構９は、ブラシ保持部２７を上昇させる。これにより、図６（ｂ）に示すように、ブラシ２５は、２個の引っ掛け部分８３Ｂ，８３Ｃによって上方への移動が妨げられ、また、ブラシ保持部２７は、ブラシ２５と分離されながら上昇される。したがって、ブラシ２５は、ブラシ保持部２７から取り外される。取り外されたブラシ２５は、取り外し部材８３（引っ掛け部分８３Ｂ，８３Ｃ）により保持されない。そのため、ブラシ２５は、取り外し位置から落下してブラシ回収容器８５に回収される。

【0060】

図７は、ブラシ交換部４５の概略構成を示す縦断面図である。ブラシ回収容器８５は、未使用のブラシ２５Ｂの保管位置（高さ）Ｐ１１よりも低い位置に、使用済みのブラシ２５Ａを回収する。すなわち、ブラシ回収容器８５の内側の底面８５Ａは、保管位置Ｐ１１よりも低い位置に設けられる。また、ブラシ回収容器８５は、取り外し部材８３の２個の引っ掛け部分８３Ｂ，８３Ｃの下方に設けられる。ブラシ回収容器８５は、基板処理装置１の基台８７に対して着脱可能である。そのため、使用済みのブラシ２５Ａを収容した状態でブラシ回収容器８５を持ち運ぶことができる。

【0061】

（３－２）ブラシ取り付け部
図２を参照する。ブラシ取り付け部８１は、未使用のブラシ２５Ｂをブラシ保持部２７に取り付ける。ブラシ取り付け部８１は、ブラシ回収部７９に隣接して配置される。ブラシ取り付け部８１は、ブラシ回収部７９と異なる位置に配置される。

【0062】

図７を参照する。ブラシ取り付け部８１は、１個又は複数個（例えば３個）の未使用のブラシ２５Ｂを保管する。ブラシ取り付け部８１は、ブラシ収容容器９１および液排出容器９３を備える。また、液体供給部８９は、ブラシ収容容器９１に液体を供給する。

【0063】

液体供給部８９は、液体ノズル９５、液体配管９７、液体供給源９８および開閉弁Ｖ２を備える。液体ノズル９５は、ブラシ収容容器９１に、液体として、例えば脱イオン水（ＤＩＷ）などの純水を供給する。液体ノズル９５からの純水は、未使用のブラシ２５Ｂに直接当ててもよいし、直接当てなくてもよい。液体供給源９８は、液体配管９７を通じて液体ノズル９５に純水を供給する。開閉弁Ｖ２は、液体配管９７に設けられる。開閉弁Ｖ２は、純水の供給およびその供給の停止を行う。

【0064】

ブラシ収容容器９１は、液体供給部８９の液体ノズル９５から供給された純水を貯留する。ブラシ収容容器９１は、貯留された純水に３個の未使用のブラシ２５Ｂのブラシ本体６９を浸漬させながら保管中の３個の未使用のブラシ２５Ｂを収容する。ブラシ収容容器９１は、例えば、底が浅いトレイ状に形成される。ブラシ収容容器９１は、未使用のブラシ２５Ｂを保管しているときに、液体ノズル９５から純水が供給され続ける。これにより、未使用のブラシ２５Ｂを浸す純水の清浄度を保つことができる。なお、ブラシ回収容器８５の側壁のうち、ブラシ取り付け部８１に対向する側壁Ｗ１と、ブラシ収容容器９１のうちブラシ回収部７９と対向する側壁Ｗ２が本発明における隔離部に相当する。当該構成によれば、ブラシ回収部７９とブラシ取り付け部８１を隔てることができる。そのため、使用済みのブラシ２５Ａ起因のパーティクルが、ブラシ取り付け部８１で扱う未使用のブラシ２５Ｂに付着することを確実に防止することができる。

【0065】

液排出容器９３は、ブラシ収容容器９１を収容する。すなわち、ブラシ収容容器９１の側方の外周は、液排出容器９３の内壁に囲まれる。液排出容器９３の底部には、排出口９３Ａが設けられる。したがって、液排出容器９３は、ブラシ収容容器９１の上側開口部からオーバーフローした純水を受け入れながら、その純水を排出する。なお、液排出容器９３のうちブラシ回収部７９と対向する側壁Ｗ３が本発明の隔離部に相当する。すなわち、側壁Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３の少なくとも１つが本発明の隔離部に相当する。

【0066】

図２に示すように、例えば３個の未使用のブラシ２５Ｂは、平面視で、ブラシ保持部２７の移動経路ＲＴ上に配置される。ブラシ収容容器９１は、各未使用のブラシ２５Ｂを予め設定された位置で保管できるように、例えば凹みなどの案内が設けられている。

【0067】

（４）基板処理装置の制御部
基板処理装置１は、制御部１０１と記憶部（図示しない）を備える。制御部１０１は、基板Ｗの処理およびブラシ交換を制御する。制御部１０１は、例えば中央演算処理装置（ＣＰＵ）などの１つ以上のプロセッサを備える。記憶部は、例えば、ＲＯＭ（Read-Only Memory）、ＲＡＭ（Random-Access Memory）、およびハードディスクの少なくとも１つを備えている。記憶部は、制御部１０１が基板処理装置１の各構成を制御するために必要なコンピュータプログラムを記憶する。

【0068】

（５）基板処理装置の動作
次に、基板処理装置１の動作について説明する。図２に示すように、通常、ブラシ保持部２７で保持されたブラシ２５は、待機ポット４３で待機される。まず、通常の基板Ｗの裏面のブラシ洗浄について説明する。

【0069】

（５－１）通常の基板Ｗの裏面のブラシ洗浄
図示しない搬送ロボットは保持回転部３のスピンチャック１１上に基板Ｗを搬送する。搬送された基板Ｗの電子回路が形成されるデバイス面（表面）は、下向きであり、その基板Ｗの非デバイス面（裏面）は、上向きである。保持回転部３は、搬送された基板Ｗを保持し、その基板Ｗを鉛直軸ＡＸ１周りに回転させる。開閉弁Ｖ１が開かれると、処理液ノズル１９から基板Ｗの裏面（すなわち上面）に処理液が吐出される。その後、ブラシ機構９は、ブラシ２５を鉛直軸ＡＸ２周りに回転させながら、ブラシ２５を鉛直軸ＡＸ３周りに揺動し、かつ処理液が吐出された基板Ｗの裏面にブラシ２５を作用させることで、基板Ｗの裏面を洗浄する。

【0070】

基板Ｗの裏面の洗浄後、ブラシ機構９は、ブラシ２５を待機ポット４３に戻し、また、開閉弁Ｖ１を閉じることで、処理液の吐出を停止させる。処理液の吐出を停止した後、保持回転部３は、基板Ｗを高速回転させることで、基板Ｗを乾燥させる。その後、保持回転部３は、基板Ｗの回転を停止させ、また、基板Ｗの保持を解放する。その後、図示しない搬送ロボットは、ブラシ２５で洗浄された基板Ｗをスピンチャック１１から搬送する。

【0071】

（５－２）ブラシ交換
次に、ブラシ交換について説明する。ブラシ機構９は、待機ポット４３からカップ５の外側の位置Ｐ１（図７参照）にブラシ２５を保持するブラシ保持部２７を移動させる。その後、ブラシ機構９の昇降機構３５は、位置Ｐ１から位置Ｐ２にブラシ保持部２７を下降させる。その後、ブラシ機構９の旋回駆動部３７は、位置Ｐ２から位置Ｐ３にブラシ保持部２７を鉛直軸ＡＸ３周りに旋回させる。これにより、ブラシ保持部２７は、ブラシ回収部７９の取り外し部材８３の２個の引っ掛け部分８３Ｂ，８３Ｃの間に移動される。

【0072】

その後、昇降機構３５は、位置Ｐ３から位置Ｐ４にブラシ保持部２７を上昇させる。この際、ブラシ２５は、２個の引っ掛け部分８３Ｂ，８３Ｃによって上方への移動が制限される。そのため、ブラシ保持部２７のみが位置Ｐ４に上昇される一方、ブラシ２５がブラシ保持部２７から取り外される。取り外されたブラシ２５は、取り外し部材８３による取り外し位置から落下して、使用済みのブラシ２５Ａとしてブラシ回収容器８５に回収される。

【0073】

その後、旋回駆動部３７は、位置Ｐ４から位置Ｐ５にブラシ保持部２７を鉛直軸ＡＸ３周りに旋回される。位置Ｐ５は、ブラシ収容容器９１において保管中の３個の未使用のブラシ２５Ｂのうちの１個の未使用のブラシ２５Ｂの上方の位置である。ブラシ保持部２７が位置Ｐ５に移動された後、昇降機構３５は、ブラシ保持部２７を下降させる。これにより、ブラシ保持部２７の穴部５３に未使用のブラシ２５Ｂの円柱部７３が挿入される。また、円柱部７３に設けられた凹み７５と長手凹み７７に３個の鋼球５７が収まることで、ブラシ保持部２７に対して未使用のブラシ２５Ｂが上下方向および回転方向（鉛直軸ＡＸ２周りの回転方向）が固定される。

【0074】

その後、昇降機構３５は、未使用のブラシ２５Ｂを保持するブラシ保持部２７を位置Ｐ６に上昇させる。その後、ブラシ機構９は、位置Ｐ６から例えば待機ポット４３に未使用のブラシ２５Ｂを移動させる。未使用のブラシ２５Ｂは、洗浄度を高めるために初期汚染を取り除く処理が行われた後に、基板Ｗの裏面のブラシ洗浄を行う。

【0075】

本実施例によれば、ブラシ回収部７９とブラシ取り付け部８１とが分けられているので、使用済みのブラシ２５Ａと未使用のブラシ２５Ｂとを同じ領域で取り扱わない。これにより、取り外された使用済みのブラシ２５Ａから未使用のブラシ２５Ｂを離すことができる。したがって、未使用のブラシ２５Ｂにパーティクルが付着することを防止しながら、ブラシ２５を自動的に交換できる。

【0076】

また、ブラシ取り付け部８１は、保管中の未使用のブラシ２５Ｂを収容するブラシ収容容器９１を備えている。

【0077】

ブラシ取り付け部８１にブラシ収容容器９１を備えることで、ブラシ取り付け部８１とブラシ回収部７９を隔てることができる。そのため、使用済みのブラシ２５Ａ起因のパーティクルが、ブラシ取り付け部８１で扱う未使用のブラシ２５Ｂに付着することを確実に防止することができる。

【0078】

また、ブラシ取り付け部８１は、保管中の未使用のブラシ２５Ｂに純水を供給する液体供給部８９を備えている。

【0079】

保管中の未使用のブラシ２５Ｂが乾燥すると、例えば未使用のブラシ２５Ｂの細かな隙間にパーティクルが入る可能性がある。パーティクルがその隙間に入り込むと、パーティクルを取り出すのが大変である。そのため、未使用のブラシ２５Ｂをブラシ保持部２７に取り付けた後、製品となる基板Ｗのブラシ洗浄を行うまで、長時間を費やしてしまう可能性がある。そのため、基板処理装置１の稼働率が低下して生産性が悪化してしまう。しかし、本実施例によれば、液体供給部８９が保管中の未使用のブラシ２５Ｂに純水を供給するので、保管中の未使用のブラシ２５Ｂの乾燥を防止することができる。そのため、保管中の未使用のブラシ２５Ｂの細かな隙間にパーティクルが入ることを防止することができる。

【0080】

また、ブラシ回収部７９は、取り外された使用済みのブラシ２５Ａを回収するブラシ回収容器８５を備えている。

【0081】

ブラシ回収部７９にブラシ回収容器８５を備えることで、ブラシ取り付け部８１とブラシ回収部７９を隔てることができる。そのため、使用済みのブラシ２５Ａ起因のパーティクルが、ブラシ取り付け部８１で扱う未使用のブラシ２５Ｂに付着することを確実に防止することができる。

【0082】

また、ブラシ回収部７９は、ブラシ２５を取り外すための取り外し部材８３を備えている。

【0083】

取り外し部材８３を用いることで、ブラシ保持部２７からブラシ２５を取り外し、使用済みのブラシ２５Ａとしてブラシ回収容器８５に回収することができる。

【0084】

また、ブラシ取り付け部８１は、ブラシ回収部７９に隣接して配置される。

【0085】

ブラシ回収部７９で使用済みのブラシ２５Ａを取り外した後に素早く未使用のブラシ２５Ｂを取り付けることができる。また、ブラシ取り付け部８１がブラシ回収部７９に隣接した状態でも、取り外された使用済みのブラシ２５Ａから未使用のブラシ２５Ｂを離すことができる。

【0086】

また、ブラシ回収部７９とブラシ取り付け部８１の間に、前記ブラシ回収部７９と前記ブラシ取り付け部８１とを隔てるブラシ回収容器８５の側壁Ｗ１、ブラシ収容容器９１の側壁Ｗ２または液排出容器９３の側壁Ｗ３を備えている。当該構成によれば、ブラシ回収部７９とブラシ取り付け部８１を隔てることができる。そのため、使用済みのブラシ２５Ａ起因のパーティクルが、ブラシ取り付け部８１で扱う未使用のブラシ２５Ｂに付着することを確実に防止することができる。

【0087】

また、長手凹み７７は、円周方向に長手に凹んでおり、３個の鋼球５７のうちの２個の鋼球５７を収容することができる。そのため、例えば、ブラシ保持部２７の穴部５３にブラシ２５の円柱部７３を挿入した際に、３個の鋼球５７のうちの１つは、長手凹み７７に収容される。そのため、ブラシ保持部２７に対するブラシ２５の上下方向の移動を規制させることできる。そのため、ブラシ２５がブラシ保持部２７から外れてしまうことを防止することができる。

【実施例2】

【0088】

次に、図面を参照して本発明の実施例２を説明する。なお、実施例１と重複する説明は省略する。実施例１では、保管される未使用のブラシ２５Ｂの位置は一定であった。すなわち、未使用のブラシ２５Ｂを収容するブラシ収容容器９１の位置は、固定されていた。この点、ブラシ収容容器９１は、図２のＸ方向に移動されるように構成されてもよい。

【0089】

図８（ａ）は、実施例２に係るブラシ交換部４５の縦断面図である。図８（ｂ）は、ブラシ交換部４５の平面図である。ブラシ取り付け部８１は、更に、ブラシ収容容器９１をＸ方向に水平移動させる水平移動部１１１を備える。水平移動部１１１は、例えば、液排出容器９３の内壁に取り付けられる。

【0090】

水平移動部１１１は、スライダ１１３、ガイドレール１１５、ねじ軸１１７および電動モータ１１９を備える。スライダ１１３は、例えば、ブラシ収容容器９１の下面に固定される。ガイドレール１１５およびねじ軸１１７は各々、Ｘ方向に延びるように配置される。ガイドレール１１５は、スライダ１１３を貫通する。ねじ軸１１７は、スライダ１１３の内ねじ１１３Ａと噛み合う。電動モータ１１９の出力軸１１９Ａは、ねじ軸１１７の一端に連結される。電動モータ１１９がねじ軸１１７を正方向に回転させると、スライダ１１３およびブラシ収容容器９１が＋Ｘ方向に前進する。電動モータ１１９がねじ軸１１７を逆方向に回転させると、スライダ１１３およびブラシ収容容器９１が－Ｘ方向に後退する。

【0091】

図８（ｂ）において、例えば符号１２１で示す未使用のブラシ２５Ｂを用いてブラシ交換を行う場合に、水平移動部１１１は、ブラシ収容容器９１をＸ方向に移動させて、平面視で移動経路ＲＴと重なる位置に、符号１２１で示す未使用のブラシ２５Ｂを移動させる。そして、ブラシ機構９は、ブラシ２５が取り外されたブラシ保持部２７を符号１２１で示す未使用のブラシ２５Ｂの上方に移動させる。その後、ブラシ機構９は、ブラシ保持部２７を下降させることで、未使用のブラシ２５Ｂをブラシ保持部２７に取り付ける。

【0092】

本実施例によれば、ブラシ取り付け部８１は、ブラシ収容容器９１を水平移動させる水平移動部１１１を更に備えている。平面視における移動経路ＲＴ上に任意の未使用のブラシ２５Ｂを搬送することができる。そのため、ブラシ収容容器９１に多くの未使用のブラシ２５Ｂを収容して保管することができる。

【0093】

なお、本実施例において、水平移動部１１１は、液排出容器９３を水平移動させずに、ブラシ収容容器９１を水平移動させた。この点、水平移動部１１１は、ブラシ収容容器９１および液排出容器９３を一体的に水平移動させてもよい。

【実施例3】

【0094】

次に、図面を参照して本発明の実施例３を説明する。なお、実施例１，２と重複する説明は省略する。実施例１，２では、ブラシ２５（未使用のブラシ２５Ｂ）に対してブラシ保持部２７を上下に移動させることで、ブラシ交換が行われた。この点、ブラシ１２５（未使用のブラシ１２５Ｂ）に対してブラシ保持部１２７を横に移動させることで、ブラシ交換が行われてもよい。

【0095】

（６）ブラシを着脱させるための構成
図９（ａ）は、ブラシ１２５とブラシ保持部１２７の側面図である。図９（ｂ）は、ブラシ保持部１２７の斜視図である。図１０（ａ）、図１０（ｂ）は、図９（ａ）の矢印Ｂのように見たときのブラシ１２５とブラシ保持部１２７の横断面図である。また、図１０（ａ）は、ボタン１４１を押していないときの動作を説明するための図である。図１０（ｂ）は、ボタン１４１を押したときの動作を説明するための図である。

【0096】

図９（ａ）を参照する。ブラシ１２５は、ブラシ保持部１２７に対して着脱可能である。ブラシ１２５は、ブラシ本体６９、ブラシ支持部１２９、ガイド１３１、２個の開口部１３３、２個の鋼球５７、空間ＳＰ２、ボール収容部１３５、弾性部材１３７、カム１３９およびボタン１４１を備える。

【0097】

ブラシ支持部１２９は、洗浄面６９Ａの反対側からブラシ本体６９を支持する。ガイド１３１は、洗浄面６９Ａと反対側のブラシ支持部１２９の面（上面）に設けられる。ガイド１３１は、ブラシ支持部１２９の上面から上向きに突出する部材である。ガイド１３１は、予め設定された水平方向ＨＤ１に長手の形状で形成される。

【0098】

図１０（ａ）を参照する。ガイド１３１は、内部に空間ＳＰ２を備える。ガイド１３１において水平方向ＨＤ１と平行な２つの側面には、ボール収容部１３５が形成される。また、ガイド１３１の外側の側面のうち、ボール収容部１３５に対向する部分に、開口部１３３が形成される。２個のボール収容部１３５には、２個の鋼球５７が収容される。２個のボール収容部１３５に収容された２個の鋼球５７は、カム１３９を介して弾性部材１３７によって支持される。これにより、２個の鋼球５７は、２個の開口部１３３から外側に部分的にそれぞれ突出する。

【0099】

ボタン１４１は、ブラシ支持部１２９の外周面（外側の側壁）に設けられる。すなわち、ボタン１４１は、空間ＳＰ２からブラシ支持部１２９の外周面に突出するように設けられる。ボタン１４１もカム１３９を介して弾性部材１３７によって支持される。弾性部材１３７は、空間ＳＰ２の奥側の内壁１４３で支持される。弾性部材１３７は例えば、ばねである。

【0100】

カム１３９は、空間ＳＰ２において、ボタン１４１と弾性部材１３７で挟まれて配置される。カム１３９およびボタン１４１は、ガイド１３１が延びる水平方向ＨＤ１に沿って移動可能である。カム１３９は、２個の傾斜面１３９Ａを備える。２個の傾斜面１３９Ａは、平面視において、カム１３９の移動方向と直交する両側の側面に形成される。２個の傾斜面１３９Ａは、平面視において、弾性部材１３７側でカム１３９が太くなるように形成される。２個の傾斜面１３９Ａは、２個の鋼球５７に接触する。

【0101】

図９（ｂ）を参照する。ブラシ保持部１２７は、ガイド保持部１４５と２個の凹み１４７を備える。ガイド保持部１４５は、ガイド１３１が延びる水平方向ＨＤ１に移動可能にガイド１３１を保持する。ガイド保持部１４５の下面には、水平方向に直線に延びる溝部１４９が設けられる。溝部１４９の２個の側壁１４９Ａには、２個の凹み１４７がそれぞれ設けられる。すなわち、２個の凹み１４７は、ガイド保持部１４５に設けられて２個の鋼球５７を収容する。２個の凹み１４７は、対向して配置される。なお、凹み１４７の上下方向Ｚの長さおよび水平方向の幅は、凹み７５と同様に形成される。

【0102】

溝部１４９は、例えばアリ溝のように構成される。そのため、溝部１４９の下端の幅ＷＤ１は、溝部１４９の上端の幅ＷＤ２よりも狭くなっている（幅ＷＤ１＜幅ＷＤ２）。ブラシ支持部１２９のガイド１３１は、溝部１４９の形状に合わせて形成される。そのため、ガイド１３１は、溝部１４９の長手方向の両端から進入できる。

【0103】

ガイド１３１が溝部１４９に収まったときに、ブラシ１２５（ガイド１３１）は、ブラシ保持部１２７（溝部１４９）に対して上下方向および回転方向の移動が規制される。ただし、ガイド１３１は、溝部１４９の長手方向に沿って移動可能である。そこで、２個の鋼球５７が溝部１４９の２個の凹み１４７に収まることで、溝部１４９に対するガイド１３１の水平移動が制限される。

【0104】

次に、ブラシ１２５の操作を説明する。図１０（ｂ）を参照する。ボタン１４１を押し込んだ場合は、弾性部材１３７側にカム１３９が移動される。そのため、ボタン１４１は、カム１３９を介して弾性部材１３７を弾性変形させる。また、カム１３９の移動に伴って、２個の傾斜面１３９Ａも弾性部材１３７側に移動される。そのため、２個の開口部１３３から外側に２個の鋼球５７を押す力が解放される。そのため、２個の鋼球５７は、開口部１３３から内側（空間ＳＰ２側）に後退することができる。これにより、ブラシ１２５がブラシ保持部１２７に対して水平方向ＨＤ１に移動できる状態になる。

【0105】

図１０（ａ）を参照する。ボタン１４１を押し込まない場合は、弾性部材１３７の復元力により、ボタン１４１側にカム１３９が移動される。カム１３９の移動に伴って、２個の傾斜面１３９Ａもボタン１４１側に移動される。そのため、２個の傾斜面１３９Ａは、２個の開口部１３３から外側に２個の鋼球５７を押す。すなわち、弾性部材１３７の復元力は、２個の開口部１３３から外側に２個の鋼球５７を部分的に突出させる。これにより、２個の鋼球５７を２個の凹み１４７に収容させて、ブラシ１２５の水平方向ＨＤ１の移動を規制することができる状態になる。なお、本構成において、弾性部材１３７およびカム１３９が本発明における、ボタン部の押し込み量によって突出部の突出幅（突出量）を調整する突出幅調整機構に相当する。

【0106】

（７）ブラシ交換部の構成
図１１は、実施例３に係るブラシ交換部４５の平面図である。図１２は、実施例３に係るブラシ交換部４５の概略構成を示す縦断面図である。

【0107】

図１１、図１２を参照する。先ず、実施例１との共通点について簡単に説明する。ブラシ交換部４５は、ブラシ回収部７９とブラシ取り付け部８１を備える。また、ブラシ回収部７９は、ブラシ回収容器８５を備える。ブラシ取り付け部８１は、１個又は複数個（例えば３個）の未使用のブラシ１２５Ｂを保管する。なお、未使用のブラシ１２５Ｂは、ブラシ１２５と同様に構成される。ブラシ取り付け部８１は、液体供給部８９、ブラシ収容容器９１および液排出容器９３を備える。

【0108】

次に、実施例１との相違点について説明する。ブラシ取り付け部８１は、ブラシ移動機構１５１を備える。ブラシ移動機構１５１は、ブラシ載置部１５３、プッシャ１５５、昇降部１５７および水平移動部（リニアアクチュエータ）１５９を備える。

【0109】

ブラシ載置部１５３は、予め設定された水平方向ＨＤ２に延びるように構成される。ブラシ載置部１５３には、水平方向ＨＤ２に沿って、３個の未使用のブラシ１２５Ｂが１列で載置される。ブラシ載置部１５３の水平方向ＨＤ２に延びる２個の側壁１５３Ａは、３個の未使用のブラシ１２５Ｂを水平方向ＨＤ２に沿って案内する。各未使用のブラシ１２５Ｂは、ガイド１３１の長手方向（水平方向ＨＤ１）が水平方向ＨＤ２に平行になるように配置される。

【0110】

なお、平面視でブラシ載置部１５３の先端がブラシ１２５の移動経路ＲＴ上に位置するときに、水平方向ＨＤ２が接線方向に延びるようにブラシ載置部１５３が配置される。

【0111】

プッシャ１５５は、押し部材１５５Ａと水平移動部（リニアアクチュエータ）１５５Ｂを備える。水平移動部１５５Ｂは、ロッドＲＤを備え、更に、電動モータ又はエアシリンダを備える。ロッドＲＤの先端部には、押し部材１５５Ａが設けられる。水平移動部１５５Ｂは、押し部材１５５Ａを水平方向ＨＤ２に沿って前進および後退させる。これにより、プッシャ１５５は、３個の未使用のブラシ１２５Ｂを押すことで、先頭の未使用のブラシ１２５Ｂを交換位置Ｐ２１に移動させる。

【0112】

昇降部１５７は、ブラシ載置部１５３およびプッシャ１５５を昇降させる。アーム１６１は、ブラシ載置部１５３と昇降部１５７を接続させる。これにより、昇降部１５７は、ブラシ載置部１５３に載置された３個の未使用のブラシ１２５Ｂをブラシ収容容器９１に貯留される純水に浸漬させたり、その純水から引き上げたりすることができる。なお、プッシャ１５５は、アーム１６１上に設けられる。

【0113】

水平移動部１５９は、ブラシ載置部１５３、プッシャ１５５および昇降部１５７を水平方向ＨＤ２に沿って前進および後退させる。水平移動部１５９は、ブラシ載置部１５３の先端をブラシ回収部７９とブラシ取り付け部８１の境界位置Ｐ２３に位置させる。なお、昇降部１５７および水平移動部１５９は各々、電動モータ又はエアシリンダを備える。

【0114】

（８）ブラシ交換
次に、ブラシ交換について説明する。図１３（ａ）を参照する。ブラシ載置部１５３に載置された３個の未使用のブラシ１２５Ｂは、ブラシ収容容器９１に貯留される純水に浸漬される。液体ノズル９５（図１２参照）は、ブラシ収容容器９１に純水を吐出し続ける。

【0115】

図１３（ｂ）を参照する。ブラシ移動機構１５１の昇降部１５７（図１２参照）は、ブラシ載置部１５３を上昇させることで、３個の未使用のブラシ１２５Ｂを純水から引き上げる。その後、ブラシ移動機構１５１の水平移動部１５９は、ブラシ載置部１５３を前進させて、ブラシ載置部１５３の先端を境界位置Ｐ２３に位置させる。

【0116】

一方、ブラシ機構９は、待機ポット４３（図２参照）から先頭の未使用のブラシ１２５Ｂの隣りに、ブラシ保持部１２７が保持するブラシ１２５を移動させる。この際、ブラシ１２５のガイド１３１の延長線上に先頭の未使用のブラシ１２５Ｂのガイド１３１が位置するように、ブラシ１２５が位置される。

【0117】

その後、ブラシ機構９は、ブラシ１２５のボタン１４１を先頭の未使用のブラシ１２５Ｂの外周面に押し当てる。これにより、ブラシ１２５のボタン１４１が押し込まれて、ブラシ１２５の２個の鋼球５７（図１０（ｂ）参照）が２個の開口部１３３の内側に後退する。そのため、ブラシ１２５は、ブラシ保持部１２７の溝部１４９に沿って移動可能な状態になる。その後、ブラシ機構９は、ブラシ１２５と先頭の未使用のブラシ１２５Ｂのそれぞれのガイド１３１に沿ってブラシ保持部１２７を水平移動させる。

【0118】

図１３（ｃ）を参照する。ブラシ保持部１２７の溝部１４９からブラシ１２５が外れると、ブラシ１２５は、落下して、使用済みのブラシ１２５Ａとしてブラシ回収容器８５に回収される。ブラシ保持部１２７が先頭の未使用のブラシ１２５Ｂのガイド１３１に沿って移動しているとき、先頭の未使用のブラシ１２５Ｂのボタン１４１は、先頭の隣の未使用のブラシ１２５Ｂの外周面に接触している。しかし、先頭の未使用のブラシ１２５Ｂのボタン１４１は、押し込まれていない。そのため、先頭の未使用のブラシ１２５Ｂの２個の鋼球５７がブラシ保持部１２７の２個の凹み１４７に収容されることで、先頭の未使用のブラシ１２５Ｂの水平方向ＨＤ２の移動が規制される。すなわち、先頭の未使用のブラシ１２５Ｂがブラシ保持部１２７に取り付けられる。その後、ブラシ保持部１２７に取り付けられた未使用のブラシ１２５Ｂは、初期汚染を取り除く処理が行われた後に、基板Ｗの裏面のブラシ洗浄を行う。

【0119】

なお、先頭の未使用のブラシ１２５Ｂがブラシ保持部１２７に取り付けられた後、矢印ＡＲ２で示す未使用のブラシ１２５Ｂは、プッシャ１５５によって交換位置Ｐ２１に移動される。また、ブラシ移動機構１５１は、ブラシ交換を行わない場合は、ブラシ載置部１５３に載置された未使用のブラシ１２５Ｂをブラシ収容容器９１に貯留された純水に浸漬させる。

【0120】

本実施例によれば、ブラシ１２５は、予め設定された水平方向ＨＤ１に延びるガイド１３１を備える。ブラシ保持部１２７は、その水平方向ＨＤ１に移動可能にガイド１３１を保持するガイド保持部１４５を備える。そのため、ブラシ保持部１２７に対する上下方向および回転方向のブラシ１２５の移動を規制することができる。また、２個の鋼球５７を２個の凹み１４７に収容させることで、上述の水平方向ＨＤ１の移動も規制することができる。そのため、ブラシ１２５がブラシ保持部１２７から外れてしまうことを防止することができる。

【0121】

なお、本実施例において、３個の未使用のブラシ１２５Ｂは、水平方向ＨＤ２に沿って直線状に１列に配置された。この点、３個の未使用のブラシ１２５Ｂは、平面視で円弧状の移動経路ＲＴ上に沿って円弧状に配置されてもよい。この場合、ガイド１３１および溝部１４９は、平面視で、円弧状の移動経路ＲＴに沿って円弧状に延びるように形成されてもよい。

【0122】

また、本実施例において、図１３（ｂ）に示すように、ブラシ保持部１２７からブラシ１２５を取り外す際に、ブラシ１２５のボタン１４１を先頭の未使用のブラシ１２５Ｂの外周面に押し付けていた。この点、図１４に示すように、使用済みのブラシ１２５Ａ（ブラシ１２５）と先頭の未使用のブラシ１２５Ｂの接触を避けるために、ブラシ回収部７９は、ブラシ回収容器８５の上方に、ブラシ１２５を取り外すための取り外し部材１６３を備えていてもよい。

【0123】

この変形例の場合、図１４に示すようにブラシ機構９は、ブラシ１２５のボタン１４１を取り外し部材１６３に押し付けて規制（ロック）を解除し、ブラシ１２５をスライドさせる。これにより、ブラシ保持部１２７からブラシ１２５を取り外す。その後、ブラシ機構９は、ブラシ保持部１２７を先頭の未使用のブラシ１２５Ｂに移動させて、ブラシ保持部１２７に先頭の未使用のブラシ１２５Ｂを取り付ける。なお、この変形例の場合、ブラシ移動機構１５１の水平移動部１５９は備えなくてもよい。

【0124】

また、本実施例において、ブラシ収容容器９１を備えず、液体ノズル９５から霧状に純水を３個の未使用のブラシ１２５Ｂに直接スプレーしてもよい。また、本実施例において、鋼球５７および凹み１４７の各個数は、２個に限定されない。例えば、鋼球５７および凹み１４７の各個数は、１個であってもよい。また、例えば１個の鋼球５７および１個の凹み１４７は、ガイド１３１の上面および、この上面に対向する溝部１４９の底面（幅ＷＤ２の面）に設けられてもよい。

【0125】

本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。

【0126】

（１）上述した実施例１では、ブラシ保持部２７は、３個の鋼球５７および付勢部６１等を備え、また、ブラシ２５は、円柱部７３を備えた。この点、図１５に示すように、ブラシ保持部２７は、凹み７５および長手凹み７７を有する円柱部７３を備えてもよい。また、ブラシ２５は、３個の鋼球５７および付勢部６１等を備えてもよい。

【0127】

具体的に説明する。ブラシ２５は、基板Ｗを洗浄するための洗浄面６９Ａを有するブラシ本体６９と、洗浄面６９Ａの反対側からブラシ本体６９を支持するブラシ支持部７１と、鉛直に延びる中心軸（鉛直軸ＡＸ４）に沿って形成された円柱状の穴部５３と、穴部５３の内側の側壁５３Ａに設けられると共に、中心軸周りに配置された３個の開口部５５と、３個の開口部５５から穴部５３にそれぞれ突出する３個の鋼球５７を備える。３個の鋼球５７は、付勢部６１によって支持される。

【0128】

ブラシ保持部２７は、突出する円柱部７３と、円柱部７３の側壁７３Ａでかつ円柱部７３の鉛直軸ＡＸ２周りに設けられた凹み７５と長手凹み７７と、を備える。長手凹み７７は、円周方向に長手に凹んでいる。ブラシ２５の穴部５３に円柱部７３を挿入した場合に、凹み７５は、３個の鋼球５７のうちの１個の鋼球５７を収容し、また、長手凹み７７は、その両端部で残りの２個の鋼球５７を収容する。

【0129】

また、図１６に示すように、ブラシ２５の円柱部１６５は、３個の鋼球５７および付勢部６１を備えてもよい。また、ブラシ保持部２７の穴部５３は、凹み７５および長手凹み７７を備えていてもよい。凹み７５は、３個の鋼球５７のうちの１個の鋼球５７を収容し、また、長手凹み７７は、その両端部で残りの２個の鋼球５７を収容する。

【0130】

なお、ブラシ２５が図１６に示す穴部５３（凹み７５および長手凹み７７を有する）を備えてもよい。これに対し、ブラシ保持部２７が図１６に示す円柱部１６５（３個の鋼球５７と付勢部６１等を有する）を備えてもよい。

【0131】

（２）上述した各実施例および変形例（１）では、ブラシ回収部７９とブラシ取り付け部８１は、横に並んで配置された。しかし、本発明は当該構成に限定されない。例えば、図１７に示すように、ブラシ取り付け部８１は、ブラシ回収部７９の上方に配置されていてもよい。また、平面視において、ブラシ取り付け部８１は、ブラシ回収部７９の一部又は全部の領域と重複していてもよい。本実施例では、ブラシ取り付け部８１のブラシ収容容器９１および液排出容器９３の各々の底面（底壁）および側壁が本発明における隔離部に相当する。

【0132】

（３）上述した各実施例および各変形例では、ブラシ機構９は、鉛直軸ＡＸ３周りにブラシ２５（１２５）およびブラシ保持部２７（１２７）を旋回させた。この点、図１８に示すように、ブラシ機構９は、ブラシ２５（１２５）およびブラシ保持部２７（１２７）を直線状に移動させる水平移動部（リニアアクチュエータ）１７９を備えていてもよい。水平移動部１７９は、電動モータを備える。また、ブラシ機構９は、２個の水平移動部１７９を備えて、ブラシ２５等をＸＹ方向に移動させてもよい。なお、水平移動部１７９は、本発明のブラシ移動機構に相当する。

【0133】

（４）上述した実施例１および各変形例では、ブラシ収容容器９１は、保持回転部３およびカップ５に対して、取り外し部材８３よりも遠くに配置された。この点、ブラシ収容容器９１は、保持回転部３およびカップ５に対して、取り外し部材８３よりも近くに配置されてもよい。すなわち、保持回転部３、ブラシ収容容器９１および取り外し部材８３（ブラシ回収容器８５）の順番に配置されてもよい。

【0134】

（５）上述した各実施例および各変形例では、ブラシ交換部４５は、保持回転部３を介して、待機ポット４３の反対側に配置された。この点、ブラシ交換部４５は、待機ポット４３側に配置されてもよい。例えば、待機ポット４３は、ブラシ交換部４５と保持回転部３の間に配置されていてもよい。

【0135】

（６）上述した各実施例および各変形例では、突出部としての各鋼球５７は、球体であったが、球体に限られない。例えば、半球、円柱、又は多面体であってもよい。

【0136】

（７）上述した各実施例および各変形例では、ブラシ本体６９は、ＰＶＡのスポンジブラシで構成されたが、これに限定されない。ブラシ本体６９は、炭化ケイ素（ＳｉＣ）、酸化セリウム（ＣｅＯ２）、シリカ（ＳｉＯ２）、ダイヤモンドの砥粒が分散された例えばＰＶＡの樹脂体であってもよい。

【0137】

（８）上述した各実施例および各変形例では、ブラシ取り付け部８１は、ブラシ本体６９を乾燥させないために液体供給部８９を備えた。液体（例えば純水）の供給が不要の場合、ブラシ取り付け部８１は、液体供給部８９を備えなくてもよい。

【0138】

（９）上述した各実施例および各変形例では、本発明の隔離部は、例えばブラシ回収容器８５の一部であったが、容器の一部に限定されない。例えば、ブラシ回収部７９とブラシ取り付け部８１の間に、隔離部として隔壁（例えば板状）を設けてもよい。また、この隔壁および側壁Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３の少なくとも１つの上端は、取り外し部材８３よりも高くなるように構成されていてもよい。

【0139】

（１０）上述した各実施例および各変形例では、ブラシ取り付け部８１は、ブラシ収容容器９１と液排出容器９３を備えていた。この点、必要により、ブラシ取り付け部８１は、液排出容器９３を備えていなくてもよい。この場合、例えば、ブラシ収容容器９１は、純水を排出する排出口９３Ａを備えていてもよい。

【符号の説明】

【0140】

１ … 基板処理装置
３ … 保持回転部
９ … ブラシ機構
２５，１２５ … ブラシ
２５Ａ，１２５Ａ … 使用済みのブラシ
２５Ｂ，１２５Ｂ … 未使用のブラシ
２７，１２７ … ブラシ保持部
３１ … アーム
３５ … 昇降機構
３７ … 旋回駆動部
４５ … ブラシ交換部
５３ … 穴部
５３Ａ … 側壁
５５ … 開口部
５７ … 鋼球
６１ … 付勢部
６９ … ブラシ本体
６９Ａ … 洗浄面
７１，１２９ … ブラシ支持部
７３，１６５ … 円柱部
７３Ａ … 側壁
７５，１４７ … 凹み
７７ … 長手凹み
７９ … ブラシ回収部
８１ … ブラシ取り付け部
８３，１６３ … 取り外し部材
８５ … ブラシ回収容器
８９ … 液体供給部
９１ … ブラシ収容容器
１０１ … 制御部
１１１ … 水平移動部
１３１ … ガイド
１３３ … 開口部
１３７ … 弾性部材
１４１ … ボタン
１４５ … ガイド保持部
１４９ … 溝部
１４９Ａ … 側壁
１７９ … 水平移動部
ＲＴ … 経路
ＡＸ２ … 鉛直軸

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】