特許 7618737 正圧を利用してウェーハまたはダイの位置を保持する移動載置装置および方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2025-01-10

(45)【発行日】2025-01-21

(54)【発明の名称】正圧を利用してウェーハまたはダイの位置を保持する移動載置装置および方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20250114BHJP

   H01L 21/52 20060101ALI20250114BHJP

   H01L 21/683 20060101ALI20250114BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

H01L21/52 F

H01L21/68 N

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2023105894

(22)【出願日】2023-06-28

(65)【公開番号】P2024155656

(43)【公開日】2024-10-31

【審査請求日】2023-06-28

(31)【優先権主張番号】112115053

(32)【優先日】2023-04-21

(33)【優先権主張国・地域又は機関】TW

(73)【特許権者】

【識別番号】515086986

【氏名又は名称】梭特科技股▲分▼有限公司

(74)【代理人】

【識別番号】110002066

【氏名又は名称】弁理士法人筒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】盧▲彦▼豪

【審査官】久宗 義明

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１７－０２４１５０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２１－０１９１３７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－１１４３４３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２２－１０３０４７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０８－１９５４２８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｈ０１Ｌ ２１／５２

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

正圧を利用してウェーハまたはダイの位置を保持する移動載置装置であって、
前記移動載置装置は、吸着パッド及び保持装置を備え、
前記吸着パッドは、負圧を発生させ、前記負圧によってウェーハまたは複数のダイの上面を吸着し、
前記保持装置は、前記吸着パッドの底部に設置され、下蓋と吸気管を備え、
前記下蓋は前記吸着パッドの本体の底部に設置され、第二チャンバが形成され、
前記吸気管は前記下蓋に設置され、前記第二チャンバと連通しており、
前記吸気管は、外気を前記第二チャンバの内部に導入して正圧を発生させ、前記下蓋が前記正圧によって前記ウェーハまたは前記複数のダイの底面を上に吹き付けて作用する、
移動載置装置。

【請求項2】

前記吸着パッドは、前記本体と、上蓋と、排気管と、を備え、
前記本体に複数のスルーホールが設けられ、
前記上蓋は前記本体の頂部に設置され、前記複数のスルーホールと連通している第一チャンバが形成され、
前記排気管は前記上蓋に設置され、第一チャンバと連通しており、
前記排気管は、前記第一チャンバの内部と前記複数のスルーホールの内部における空気を外へ排出させ、前記負圧を発生させ、前記本体が前記負圧によって前記ウェーハまたは前記複数のダイの上面を吸着する、
請求項１に記載の移動載置装置。

【請求項3】

前記本体の周りにおける頂部と前記下蓋の周りにおける底部を挟むクランプ機構を、さらに備える、請求項１に記載の移動載置装置。

【請求項4】

前記保持装置は、周方向回りに沿って前記本体の周りにおける底部と前記下蓋の周りにおける頂部との間の隙間に設置されるシールをさらに備える、
請求項１または３に記載の移動載置装置。

【請求項5】

正圧を利用してウェーハまたはダイの位置を保持する移動載置方法であって、
（ａ）吸着パッドが負圧を発生させ、前記負圧によってウェーハまたは複数のダイの上面を吸着する工程と、
（ｂ）保持装置の下蓋が前記吸着パッドの本体の底部に移動され、前記保持装置の吸気管は、外気を前記保持装置の下蓋の第二チャンバの内部に導入し、正圧を発生させ、前記下蓋が前記正圧によって前記ウェーハまたは前記複数のダイの底面を上に吹き付けて作用する工程と、
（ｃ）前記吸着パッドが前記負圧をオフさせ、前記吸着パッドの上蓋が前記本体から離れるように上昇し、前記吸着パッドの一部または全部が前記保持装置と同期に基板の上方に移動する工程と、
（ｄ）前記上蓋は前記本体の頂部に近づくように移動され、前記吸着パッドが前記負圧を発生させ、前記負圧によって前記ウェーハまたは前記複数のダイの上面を吸着し、前記保持装置が前記正圧をオフさせ且つ前記吸着パッドから離脱する工程と、
（ｅ）前記吸着パッドは、前記ウェーハまたは前記複数のダイの底面が前記基板に接触するまで下降する工程と、
（ｆ）前記吸着パッドは、前記負圧をオフさせ、前記ウェーハまたは前記複数のダイから離脱し、前記ウェーハまたは前記複数のダイが前記基板に結合される工程と、
を備える、
移動載置方法。

【請求項6】

工程（ａ）において、
前記吸着パッドの排気管が、前記吸着パッドの前記本体の第一チャンバの内部と前記本体の複数のスルーホールの内部における空気を外へ排出させ、前記負圧を発生させ、前記本体が前記負圧によって前記ウェーハまたは前記複数のダイの上面を吸着する工程をさらに備える、
請求項５に記載の移動載置方法。

【請求項7】

工程（ｂ）において、
クランプ機構は前記本体の周りにおける頂部と前記下蓋の周りにおける底部を挟む工程をさらに備え、
工程（ｃ）において、
排気管が第一チャンバの内部と複数のスルーホールの内部における空気の外への排出を中止し、前記負圧をオフさせる工程と、
前記上蓋が前記本体から離れるように上昇する工程と、
前記本体、前記保持装置、クランプ機構が同期に前記基板の上方に移動する工程と、
前記上蓋が前記本体の頂部に近づくように移動する工程と、をさらに備え、
工程（ｄ）において、
前記排気管が、前記第一チャンバの内部と前記複数のスルーホールの内部における空気を外へ排出させ、前記負圧を発生させ、前記本体が前記負圧によって前記ウェーハまたは前記複数のダイを吸着する工程と、
前記排気管が外気の前記第二チャンバへの導入を中止し、前記正圧をオフさせる工程と、
前記クランプ機構が前記本体と前記上蓋から離れる工程と、
前記保持装置が前記吸着パッドから離脱するように下降する工程と、をさらに備える、
請求項５に記載の移動載置方法。

【請求項8】

工程（ｂ）において、
前記保持装置のシールは、周方向回りに沿って前記本体の周りにおける底部と前記下蓋の周りにおける頂部との間の隙間を消す、
請求項５または７に記載の移動載置方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は移動載置装置および方法に関し、特に正圧を利用してウェーハまたはダイの位置を保持する移動載置装置および方法に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体の加工プロセスにおいて、ウェーハまたはダイは、通常、移動載置装置によって基板上に搬送される必要がある。以下、２つの従来の移動載置装置および方法について説明する。

【0003】

１つ目の移動載置装置は、第一吸着パッドおよび第二吸着パッドを備え、それに対応する移動載置方法として、第一吸着パッドが負圧を発生させ、負圧によってウェーハまたは複数のダイの上面を吸着する工程と、第一吸着パッドが第二吸着パッドの上に移動する工程と、第一吸着パッドは、ウェーハまたは前記複数のダイの底面が第二吸着パッドに接触するまで下降する工程と、第二吸着パッドが負圧を発生させ、負圧によってウェーハまたは前記複数のダイの底面を吸着する工程と、第一吸着パッドが負圧をオフさせ、ウェーハまたは前記複数のダイから離脱する工程と、第二吸着パッドが基板の上に移動し、１８０度を回転し、ウェーハまたは前記複数のダイの該上面が下に向く工程と、第二吸着パッドは、ウェーハまたは前記複数のダイの該上面が基板に接触するまで下降する工程と、第二吸着パッドが負圧をオフさせ、ウェーハまたは前記複数のダイから離脱し、ウェーハまたは前記複数のダイが基板上に結合される工程と、を備える。

【0004】

しかしながら、第一吸着パッドがウェーハまたは前記複数のダイを第二吸着パッドに受け渡す期間において、ウェーハまたは前記複数のダイの位置の精度ずれにより、ウェーハまたは前記複数のダイが基板上に載置されている位置の精度ずれが生じてしまう場合がある。

【0005】

さらに、前記複数のダイの位置の精度ずれのため、一部のダイが第二吸着パッドのスルーホールに完全に合わせていないことにより、第二吸着パッドが該一部のダイを吸着する力が大幅に弱くなってしまい、第二吸着パッドが移動する期間において、いくつのダイが第二吸着パッドから離脱して下に落ちてしまう場合もある。

【0006】

２つ目の移動載置装置は、第一吸着パッド、ステージ、および第二吸着パッドを備える。第二の移動載置方法として、第一吸着パッドが負圧を発生させ、負圧によってウェーハまたは複数のダイの上面を吸着する工程と、第一吸着パッドがステージの上に移動する工程と、第一吸着パッドは、ウェーハまたは前記複数のダイの底面がステージに接触するまで下降する工程と、第一吸着パッドが負圧をオフさせ、ウェーハまたは前記複数のダイから離脱する工程と、ステージが第二吸着パッドの下に移動する工程と、第二吸着パッドは、ウェーハまたは前記複数のダイの上面が第二吸着パッドに接触するまで下降する工程と、第二吸着パッドが負圧を発生させ、負圧によってウェーハまたは前記複数のダイの上面を吸着する工程と、第二吸着パッドが基板の上に移動する工程と、第二吸着パッドは、ウェーハまたは前記複数のダイの底面が基板に接触するまで下降する工程と、第二吸着パッドが、負圧をオフさせ、ウェーハまたは前記複数のダイから離脱し、ウェーハまたは前記複数のダイが基板上に結合される工程と、を備える。

【0007】

しかしながら、第一吸着パッドがウェーハまたは前記複数のダイをステージに、並びにステージがウェーハまたは前記複数のダイを第二吸着パッドに受け渡す期間において、ウェーハまたは前記複数のダイの位置の精度ずれにより、ウェーハまたは前記複数のダイが基板上に載置されている位置の精度ずれが生じてしまう場合がある。

【0008】

さらに、前記複数のダイの位置の精度ずれのため、一部のダイが第二吸着パッドのスルーホールに完全に合わせていないことにより、第二吸着パッドが移動する期間において、いくつのダイが第二吸着パッドから離脱して下に落ちてしまう場合もある。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0009】

本発明の主な目的は、ウェーハまたはダイが基板上に載置される位置の精度ずれを回避できる、正圧を利用してウェーハまたはダイの位置を保持する移動載置装置および方法を提供することである。

【0010】

本発明の他の目的は、ダイが吸着パッドから離脱して下に落ちてしまうことを防止することができる、正圧を利用してウェーハまたはダイの位置を保持する移動載置装置および方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0011】

前述した目的を達成するために、本発明は、吸着パッドと保持装置を備え、正圧を利用してウェーハまたはダイの位置を保持する移動載置装置を提供する。前記吸着パッドが負圧を選択的に発生させ、前記負圧によってウェーハまたは複数のダイの上面を吸着する。前記保持装置が前記吸着パッドの底部に設置され、正圧を選択的に発生させ、前記正圧によって前記ウェーハまたは前記複数のダイの底面を上に吹き付けて作用する。

【0012】

本発明の実施例において、前記吸着パッドは、本体と、上蓋と、排気管と、を備え、前記本体に複数のスルーホールが設けられ、前記上蓋は前記本体の頂部に設置され、前記複数のスルーホールと連通している第一チャンバが形成され、前記排気管は前記上蓋に設置され、第一チャンバと連通しており、前記第一チャンバの内部と前記複数のスルーホールの内部における空気を外へ排出させ、前記負圧を発生させ、前記本体が前記負圧によって前記ウェーハまたは前記複数のダイの上面を吸着する。

【0013】

また、前記保持装置は、下蓋と吸気管を備え、前記下蓋は前記本体の底部に設置され、第二チャンバが形成され、前記吸気管は前記下蓋に設置され、前記第二チャンバと連通しており、前記吸気管は、外気を前記第二チャンバの内部に導入して正圧を発生させ、前記下蓋が前記正圧によって前記ウェーハまたは前記複数のダイの底面を上に吹き付けて作用する。

【0014】

また、前述した移動載置装置は、前記本体の周りにおける頂部と前記下蓋の周りにおける底部を挟むクランプ機構をさらに備える。

【0015】

また、前記保持装置は、周方向回りに沿って前記本体の周りにおける底部と前記下蓋の周りにおける頂部との間の隙間に設置されるシールをさらに含む。

【0016】

前述した目的を達成するために、本発明は正圧を利用してウェーハまたはダイの位置を保持する移動載置方法を提供し、(ａ)吸着パッドが負圧を発生させ、前記負圧によってウェーハまたは前記複数のダイの上面を吸着する工程と、(ｂ)保持装置が前記吸着パッドの底部に移動して正圧を発生させ、前記正圧によって前記ウェーハまたは前記複数のダイの底面を上に吹き付けて作用する工程と、(ｃ)前記吸着パッドが前記負圧をオフさせ、前記吸着パッドの一部または全部が前記保持装置と同期に基板の上方に移動する工程と、(ｄ)前記吸着パッドが前記負圧を発生させ、前記負圧によって前記ウェーハまたは前記複数のダイの上面を吸着し、前記保持装置が前記正圧をオフさせ且つ前記吸着パッドから離脱する工程と、(ｅ)前記吸着パッドは、前記ウェーハまたは前記複数のダイの底面が前記基板に接触するまで下降する工程と、(ｆ)前記吸着パッドは、前記負圧をオフさせ、前記ウェーハまたは前記複数のダイから離脱し、前記ウェーハまたは前記複数のダイが基板に結合される工程と、を備える。

【0017】

また、工程(ａ)において、前記吸着パッドの排気管により、前記吸着パッドの本体の第一チャンバの内部と前記本体の複数のスルーホールの内部における空気を外へ排出させ、前記負圧を発生させ、前記本体が前記負圧によって前記ウェーハまたは前記複数のダイの上面を吸着する工程をさらに備える。

【0018】

また、工程(ｂ)において、保持装置の下蓋が前記本体の底部に移動する工程と、前記保持装置の吸気管は、外気を前記保持装置の下蓋の第二チャンバの内部に導入して正圧を発生させ、前記下蓋が前記正圧によって前記ウェーハまたは前記複数のダイの底面を上に吹き付けて作用する工程と、をさらに備える。

【0019】

また、工程(ｂ)において、クランプ機構は前記本体の周りにおける頂部と前記下蓋の周りにおける底部を挟む工程をさらに備え、工程(ｃ)において、前記排気管による前記第一チャンバの内部と前記複数のスルーホールの内部における空気の外への排出を中止し、前記負圧をオフさせる工程と、前記上蓋が前記本体から離れるように上昇する工程と、前記本体、前記保持装置、クランプ機構が同期に前記基板の上方に移動する工程と、前記上蓋が前記本体の頂部に近づくように移動する工程と、をさらに備え、工程(ｄ)において、前記排気管により、前記第一チャンバの内部と前記複数のスルーホールの内部における空気を外へ排出させ、前記負圧を発生させ、前記本体が前記負圧によって前記ウェーハまたは前記複数のダイを吸着する工程と、前記排気管による外気の前記第二チャンバへの導入を中止し、前記正圧をオフさせる工程と、前記クランプ機構が前記本体と前記上蓋から離れる工程と、前記保持装置が前記吸着パッドから離脱するように下降する工程と、をさらに備える。

【0020】

また、工程(ｂ)において、前記保持装置のシールは、周方向回りに沿って前記本体の周りにおける底部と前記下蓋の周りにおける頂部との間の隙間を消す。

【発明の効果】

【0021】

本発明の効果として、該ウェーハまたは前記複数のダイが吸着パッドから基板に移動載置されている期間、１つの吸着パッドによって該ウェーハまたは前記複数のダイを吸着しながら移動し、それと同時に吸着パッド上の前記ウェーハまたは前記複数のダイの位置は保持装置からの正圧によりずれずに保持されることができ、他の吸着パッドに受け渡ししたり、ステージと他の吸着パッドに順序に受け渡ししたりする必要はなく、受け渡し回数を効果的に減少させ、前記ウェーハまたは前記複数のダイが基板上に載置される位置の精度ずれを回避できるようになる。

【0022】

さらに、吸着パッド上の前記複数のダイの位置ずれがないため、前記複数のダイは前記複数のスルーホールとの位置合わせが保持されることができ、吸着パッドが前記複数のダイに対する吸着力が変わらず、前記複数のダイは吸着パッドから外れて下に落ちてしまうことは殆どない。

【図面の簡単な説明】

【0023】

【図1】本発明に係る装置の斜視分解図である。

【図2】本発明に係る装置の断面図である。

【図3】本発明に係る方法のフローチャートである。

【図4】本発明に係る方法の工程Ｓ１００の模式図である。

【図5A】本発明に係る方法の工程Ｓ２００の模式図である。

【図5B】本発明に係る方法の工程Ｓ２００の模式図である。

【図5C】本発明に係る方法の工程Ｓ２００の模式図である。

【図5D】本発明に係る方法の工程Ｓ２００の模式図である。

【図6A】本発明に係る方法の工程Ｓ３００の模式図である。

【図6B】本発明に係る方法の工程Ｓ３００の模式図である。

【図6C】本発明に係る方法の工程Ｓ３００の模式図である。

【図6D】本発明に係る方法の工程Ｓ３００の模式図である。

【図7A】本発明に係る方法の工程Ｓ４００の模式図である。

【図7B】本発明に係る方法の工程Ｓ４００の模式図である。

【図7C】本発明に係る方法の工程Ｓ４００の模式図である。

【図7D】本発明に係る方法の工程Ｓ４００の模式図である。

【図7E】本発明に係る方法の工程Ｓ４００の模式図である。

【図8A】本発明に係る方法の工程Ｓ５００の模式図である。

【図8B】本発明に係る方法の工程Ｓ５００の模式図である。

【図9A】本発明に係る方法の工程Ｓ６００の模式図である。

【図9B】本発明に係る方法の工程Ｓ６００の模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0024】

以下、本発明の実施形態を図面と符号に基づいてより詳しく説明し、当業者が本明細書を研読した後に実施できるようにする。

【0025】

図１は本発明に係る装置の斜視分解図で、図２は本発明に係る装置の断面図である。図１および図２に示すように、本発明は、正圧を利用してウェーハまたはダイの位置を保持する移動載置装置を提供し、吸着パッド１０と、保持装置２０と、クランプ機構３０と、を備える。吸着パッド１０は、本体１１と、上蓋１２と、排気管１３と、を備え、本体１１に複数のスルーホール１１１が設けられる。

【0026】

上蓋１２は本体１１の頂部に設置され、前記複数のスルーホール１１１と連通している第一チャンバ１２１が形成される。排気管１３は上蓋１２に設置され、第一チャンバ１２１と連通している。保持装置２０は、下蓋２１と、吸気管２２と、シール２３とを備える。下蓋２１は本体１１の底部に設置され、第二チャンバ２１１が形成される。吸気管２２下蓋２１に設置され、第二チャンバ２１１と連通している。

【0027】

シール２３は周方向回りに沿って本体１１の周りにおける底部と下蓋２１の周りにおける頂部との間の隙間に設置される。クランプ機構３０は、本体１１の両側の頂部をそれぞれ挟む２つの第一クランプ３１と、下蓋２１の両側の底部をそれぞれ挟む２つの第二クランプ３２と、を備える。

【0028】

図１示すように、好ましい実施例においては、吸着パッド１０の形状は矩形である。しかしながら、吸着パッド１０の形状は、これに限らず、例えば円形と他の相応しい形状してもよい。

【0029】

吸着パッド１０の材質は、ゴム、金属、プラスチックあるいは多孔質セラミックスなどであってもよいが、これに限らない。

【0030】

シール２３はＯリングまたはゴムスペーサであってもよいが、これに限らない。

【0031】

図３は本発明に係る方法のフローチャートで、図４は本発明に係る方法の工程Ｓ１００の模式図で、図５Ａ～５Ｄは本発明に係る方法の工程Ｓ２００の模式図で、図６Ａ～６Ｄは本発明に係る方法の工程Ｓ３００の模式図で、図７Ａ～７Ｅは本発明に係る方法の工程Ｓ４００の模式図で、図８Ａおよび図８Ｂは本発明に係る方法の工程Ｓ５００の模式図で、図９Ａおよび図９Ｂは本発明に係る方法の工程Ｓ６００の模式図である。本発明は、正圧を利用してウェーハまたはダイの位置を保持する移動載置方法を提供し、以下の工程を備える。

【0032】

工程Ｓ１００にいて、図３および図４に示すように、吸着パッド１０が負圧１４を発生させ、負圧１４によって複数のダイ４０の上面を吸着する。より具体的に、工程Ｓ１００において、排気管１３は、第一チャンバ１２１の内部と前記複数のスルーホール１１１の内部における空気を外へ排出させ、負圧１４を発生させ、本体１１が負圧１４によって前記複数のダイ４０の上面を吸着する工程をさらに備える。

【0033】

工程Ｓ２００において、図３および図５Ａ～５Ｄに示すように、保持装置２０は吸着パッド１０の底部に近づくように移動して正圧２４を発生させ、正圧２４によって前記複数のダイ４０の底面を上に吹き付けて作用する。

【0034】

より詳細には、工程Ｓ２００において、図５Ａに示すように、保持装置２０が吸着パッド１０の下方に移動する工程Ｓ２１０と、図５Ｂに示すように、保持装置２０は、下蓋２１が本体１１の底部に近づくように上昇し、かつ、シール２３が周方向回りに沿って本体１１の周りにおける底部と下蓋２１の周りにおける頂部との間の隙間を消す工程Ｓ２２０と、図５Ｃに示すように、前記複数の第一クランプ３１は本体１１の両側の頂部をそれぞれ挟んで、かつ前記複数の第二クランプ３２は下蓋２１の両側の底部をそれぞれ挟む工程Ｓ２３０と、図５Ｄに示すように、吸気管２２は、外気を第二チャンバ２１１に導入して正圧２４を発生させ、下蓋２１が正圧２４によって前記複数のダイ４０の底面を上に吹き付けて作用する工程Ｓ２４０と、をさらに備える。

【0035】

工程Ｓ３００において、図３および図６Ａ～６Ｄに示すように、吸着パッド１０が負圧１４をオフさせ、吸着パッド１０の一部または全部が保持装置２０と同期に基板５０の上方に移動する。具体的に、工程Ｓ３００において、図６Ａに示すように、排気管１３が第一チャンバ１２１の内部と前記複数のスルーホール１１１の内部における空気の外への排出を中止し、負圧１４をオフさせる工程Ｓ３１０と、図６Ｂに示すように、上蓋１２が本体１１から離れるように上昇する工程Ｓ３２０と、図６Ｃに示すように、本体１１、保持装置２０、クランプ機構３０が同期に基板５０の上方に移動する工程Ｓ３３０と、図６Ｄに示すように、上蓋１２は本体１１の頂部に近づくように移動する工程Ｓ３４０と、をさらに備える。

【0036】

工程Ｓ４００において、図３および図７Ａ～図７Ｅに示すように、吸着パッド１０が負圧１４を発生し、負圧１４によって前記複数のダイ４０の上面を吸着し、保持装置２０が正圧２４をオフさせ且つ吸着パッド１０から離脱する。

【0037】

より詳細には、工程Ｓ４００において、図７Ａに示すように、排気管１３により、第一チャンバ１２１の内部と前記複数のスルーホール１１１の内部における空気を外へ排出させ、負圧１４を発生させ、本体１１が負圧１４によって前記複数のダイ４０を吸着する工程Ｓ４１０と、図７Ｂに示すように、吸気管２２は、第二チャンバ２１１への外気の導入を中止し、正圧２４をオフさせる工程Ｓ４２０と、図７Ｃに示すように、前記複数の第一クランプ３１は本体１１から離れるように上昇し、かつ前記複数の第二クランプ３２は上蓋１２から離れるように下降するに工程Ｓ４３０と、図７Ｄおよび図７Ｅに示すように、保持装置２０は、吸着パッド１０から離脱するように下降する工程Ｓ４４０と、をさらに備える。

【0038】

工程Ｓ５００において、図３、図８Ａおよび図８Ｂに示すように、吸着パッド１０は、前記複数のダイ４０の底面が基板５０に接触するまで下降する。

【0039】

工程Ｓ６００において、図３、図９Ａおよび図９Ｂに示すように、吸着パッド１０は、負圧１４をオフさせ、前記複数のダイ４０から離脱し、前記複数のダイ４０が基板５０上に結合される。

【0040】

具体的に、工程Ｓ６００において、図９Ａに示すように、排気管１３が第一チャンバ１２１の内部と前記複数のスルーホール１１１の内部における空気の外への排出を中止し、負圧１４をオフさせる工程Ｓ６１０と、図９Ｂに示すように、吸着パッド１０が、前記複数のダイ４０から離脱するように上昇し、前記複数のダイ４０が基板５０上に結合され工程Ｓ６２０と、を備える。

【0041】

他の変更実施例として、本発明に係る移動載置装置および方法の移動載置対象は、ウェーハであってもよい(図示せず)。

【0042】

以上のように、ウェーハまたは前記複数のダイ４０が吸着パッド１０から基板５０に移動載置される期間において、本発明は１つの吸着パッド１０によってウェーハまたは前記複数のダイ４０を吸着して移動し、それと同時に吸着パッド１０上のウェーハまたは前記複数のダイ４０の位置は保持装置２０からの正圧によりずれずに保持されることができ、他の吸着パッドに再受け渡ししたり、ステージと他の吸着パッドに順序に受け渡ししたりする必要がなく、受け渡し回数を効果的に減少させ、ウェーハまたは前記複数のウェーハ４０が基板５０上に載置される位置の精度ずれを回避できるようになる。

【0043】

さらに、吸着パッド１０上の前記複数のダイ４０の位置ずれがないため、前記複数のダイ４０が前記複数のスルーホール１１１との位置合わせたが保持することができ、吸着パッド１０が前記複数のダイ４０に対する吸着力が変わらず、前記複数のダイ４４は吸着パッド１０から外れて下に落ちてしまうことは殆どない。

【0044】

なお、吸着パッド１０の移動時の重量を低減するため、本体１１と上蓋１２とは分離可能である。

【0045】

また、クランプ機構３０は、本体１１が上蓋１２の移動による影響を受けないように本体１１と下蓋２１を固定することができ、また本体１１と下蓋２１の同期移動にも役に立つ。

【0046】

特筆すべきなのは、シール２３は、第二チャンバ２１１の空気が隙間を通って外へのリークを防止し、正圧２４の圧力低下を回避することができる。

【0047】

上述したものは、本発明を説明するための好ましい実施例にすぎず、これにより本発明に対するいかなる形式上の制限をすることは意図していなく、同じ発明の主旨の下でなされた本発明に関するいかなる修飾または変更は、いずれも本発明の意図的な保護の範疇に含まれるべきである。

【符号の説明】

【0048】

１０ 吸着パッド
１１ 本体
１１１ スルーホール
１２ 上蓋
１２１ 第一チャンバ
１３ 排気管
１４ 負圧
２０ 保持装置
２１ 下蓋
２１１ 第二チャンバ
２２ 吸気管
２３ シール
２４ 正圧
３０ クランプ機構
３１ 第一クランプ
３２ 第二クランプ
４０ ダイ
５０ 基板
Ｓ１００～Ｓ６００ 工程
Ｓ２１０～Ｓ２４０ 工程
Ｓ３１０～Ｓ３４０ 工程
Ｓ４１０～Ｓ４４０ 工程
Ｓ６１０、Ｓ６２０ 工程

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5A】

【図5B】

【図5C】

【図5D】

【図6A】

【図6B】

【図6C】

【図6D】

【図7A】

【図7B】

【図7C】

【図7D】

【図7E】

【図8A】

【図8B】

【図9A】

【図9B】