特許 7619525 弁装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2025-01-14

(45)【発行日】2025-01-22

(54)【発明の名称】弁装置

(51)【国際特許分類】

   F16K 31/02 20060101AFI20250115BHJP

   B81B 3/00 20060101ALI20250115BHJP

【ＦＩ】

F16K31/02 Z

B81B3/00

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2024514880

(86)(22)【出願日】2023-03-28

(86)【国際出願番号】 JP2023012525

(87)【国際公開番号】W WO2023199742

(87)【国際公開日】2023-10-19

【審査請求日】2024-04-18

(31)【優先権主張番号】P 2022065329

(32)【優先日】2022-04-11

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000004260

【氏名又は名称】株式会社デンソー

(73)【特許権者】

【識別番号】000003609

【氏名又は名称】株式会社豊田中央研究所

(74)【代理人】

【識別番号】110001128

【氏名又は名称】弁理士法人ゆうあい特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】三ツ橋 拓也

(72)【発明者】

【氏名】河本 陽一郎

(72)【発明者】

【氏名】小原 公和

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 勇気

(72)【発明者】

【氏名】小宅 教文

(72)【発明者】

【氏名】廣田 靖樹

(72)【発明者】

【氏名】山内 崇史

【審査官】菊地 牧子

(56)【参考文献】

【文献】特開２０２０－１４３７８６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特表２０１１－５３０６８３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ１６Ｋ ３１／０２

Ｂ８１Ｂ ３／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１外層（Ｙ１１）と、
第２外層（Ｙ１３）と、
前記第１外層と前記第２外層に挟まれると共に流体が流通する流体室（Ｙ１９）を形成する中間層（Ｙ１２）と、を備え、
前記第１外層または前記第２外層には、前記流体室と連通可能な第１流路孔（Ｙ１６）が形成され、
前記第１外層または前記第２外層には、前記流体室と連通可能な第２流路孔（Ｙ１７、Ｙ１７１～Ｙ１７５）が形成され、
前記中間層は、通電の有無に応じて自らの温度が変化することで変位する駆動部（Ｙ１２３、Ｙ１２４、Ｙ１２５）と、
前記駆動部が変位したときに、前記駆動部に付勢されると共に前記駆動部の変位を増幅する変位増幅部材（Ｙ１３１）と、
前記変位増幅部材によって増幅された変位を力点（ＹＶ１）で受けることで、支点部（Ｙ１２６）を中心に回転する可動部（Ｙ１２７）と、
前記可動部が回転する際に前記可動部の作用点（ＹＶ３）から付勢されて前記流体室内で動くことで前記流体室に対する前記第２流路孔の開度を調整する弁体（Ｙ１２８）と、を有する、弁装置。

【請求項2】

前記支点部は第１支点部であり、
前記力点は第１力点であり、
前記駆動部が変位したときに、前記駆動部によって前記変位増幅部材が第２力点（ＹＶ２）で付勢されて前記変位増幅部材が第２支点部（Ｙ１３２）を中心に回転することで、前記変位増幅部材が前記第１力点で前記可動部を付勢し、
前記第２支点部から前記第１力点までの距離は、前記第２支点部から前記第２力点までの距離よりも長い、請求項１に記載の弁装置。

【請求項3】

前記変位増幅部材は、前記可動部の長手方向に沿って伸び、
前記第２力点よりも、前記第１力点の方が、前記第１支点部に近い位置にある、請求項２に記載の弁装置。

【請求項4】

前記変位増幅部材は、前記駆動部が通電されたときに、前記駆動部に付勢されると共に通電されて自らの温度が上昇して膨張することで、前記駆動部の変位を増幅する、請求項１ないし３のいずれか１つに記載の弁装置。

【請求項5】

前記第２流路孔は、複数のサブ流路孔（Ｙ１７１～Ｙ１７５）を有し、
前記弁体は、複数のサブ弁体（８１～８５）と、前記複数のサブ弁体を補強するための補強部（８６）とを有し、
前記複数のサブ弁体は、前記流体室内で動くことでそれぞれ前記複数のサブ流路孔の前記第１流路孔に対する開度を調整し、
前記補強部は、前記複数のサブ弁体のうち複数に繋がっている、請求項１ないし３のいずれか１つに記載の弁装置。

【発明の詳細な説明】

【関連出願への相互参照】

【0001】

本出願は、２０２２年４月１１日に出願された日本特許出願番号２０２２－０６５３２９号に基づくもので、ここにその記載内容が参照により組み入れられる。

【技術分野】

【0002】

本開示は、弁装置に関する。

【背景技術】

【0003】

特許文献１には、通電の有無に応じて自らの温度が変化することで変位する駆動部と、駆動部の変位を梃子の原理で増幅する可動部と、可動部によって増幅された変位が伝達されることで動いて流路孔を開閉する弁体とを有するＭＥＭＳバルブが開示されている。ＭＥＭＳは、Micro Electro Mechanical Systemsの略称である。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】米国特許９５０５６０８号

【発明の概要】

【0005】

特許文献１に記載のＭＥＭＳバルブにおいて、開弁時の開口面積を更に大きくすることが望ましい場合があるが、発明者の検討によれば、そのためには、可動部を長くする等によりＭＥＭＳバルブの体格が大きくなってしまう恐れがある。このことは、ＭＥＭＳバルブに限らず、梃子の原理を利用して弁体を動かす弁装置全般においても言える。本開示は、通電の有無に応じた温度変化によって発生する駆動部の変位を梃子の原理で増幅して弁体に伝える弁装置において、体格の増大を抑制しつつ開弁時の開口面積を増大させること、あるいは、開弁時の開口面積の低減を抑制しつつ体格を低減することを目的とする。

【0006】

本開示の１つの観点によれば、弁装置は、
第１外層と、
第２外層と、
前記第１外層と前記第２外層に挟まれると共に流体が流通する流体室を形成する中間層と、を備え、
前記第１外層または前記第２外層には、前記流体室と連通可能な第１流路孔が形成され、
前記第１外層または前記第２外層には、前記流体室と連通可能な第２流路孔が形成され、
前記中間層は、通電の有無に応じて自らの温度が変化することで変位する駆動部と、
前記駆動部が変位したときに、前記駆動部に付勢されると共に前記駆動部の変位を増幅する変位増幅部材と、
前記変位増幅部材によって増幅された変位を力点で受けることで、支点部を中心に回転する可動部と、
前記可動部が回転する際に前記可動部の作用点から付勢されて前記流体室内で動くことで前記流体室に対する前記第２流路孔の開度を調整する弁体と、を有する。

【0007】

このように、梃子の原理を利用する可動部に加え、変位増幅部材が駆動部の変位を増幅するので、弁装置の体格の増大を抑制しつつ開弁時の開口面積を増大させること、あるいは、開弁時の開口面積の低減を抑制しつつ体格を低減することが、可能になる。

【0008】

なお、各構成要素等に付された括弧付きの参照符号は、その構成要素等と後述する実施形態に記載の具体的な構成要素等との対応関係の一例を示すものである。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】マイクロバルブの正面図である。

【図2】マイクロバルブの側面図である。

【図3】マイクロバルブの部品展開図である。

【図4】非通電時のマイクロバルブの第１外層を省略した正面図である。

【図5】電位および電流が表された中間層の正面図である。

【図6】通電時の中間層の正面図である。

【図7】従来と梃子２段との違いを表す概念図である。

【図8】第２実施形態に係る非通電時のマイクロバルブの第１外層を省略した正面図である。

【図9】電位および電流が表された中間層の正面図である。

【図10】第３実施形態におけるマイクロバルブの部品展開図である。

【図11】非通電時のマイクロバルブの第１外層を省略した正面図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

（第１実施形態）
以下、第１実施形態について説明する。図１、図２、図３に示すように、マイクロバルブＹ１は、板形状の弁部品であり、主として半導体チップによって構成されている。したがって、マイクロバルブＹ１を小型に構成できる。マイクロバルブＹ１の板厚は例えば２ｍｍであり、厚さ方向に直交する長手方向の長さは例えば１０ｍｍであり、長手方向にも厚さ方向にも直交する短手方向の長さは例えば５ｍｍであるが、サイズはこれに限定されない。マイクロバルブＹ１への供給電力が切り替わることで、マイクロバルブＹ１の流路構成が変化する。マイクロバルブＹ１は、例えば、それ自体が流体（例えば、気体、液体）の流路を開閉する弁であってもよいし、他の弁を駆動するパイロット弁であってもよい。

【0011】

マイクロバルブＹ１は、いずれも半導体である第１外層Ｙ１１、中間層Ｙ１２、第２外層Ｙ１３を備えたＭＥＭＳバルブである。第１外層Ｙ１１、中間層Ｙ１２、第２外層Ｙ１３は、それぞれが概ね同じ外形を有する長方形の板形状の部材であり、第１外層Ｙ１１、中間層Ｙ１２、第２外層Ｙ１３の順に積層されている。すなわち、中間層Ｙ１２が、第１外層Ｙ１１と第２外層Ｙ１３に両側から挟まれている。第１外層Ｙ１１、中間層Ｙ１２、第２外層Ｙ１３のうち、第２外層Ｙ１３が、バルブケーシングＹ２の底壁に最も近い側に配置される。後述する第１外層Ｙ１１、中間層Ｙ１２、第２外層Ｙ１３の構造は、化学的エッチング等の半導体製造プロセスによって形成される。

【0012】

第１外層Ｙ１１は、導電性の半導体部材の表面に非導電性の酸化膜が形成された電極ポート層である。第１外層Ｙ１１には、図３に示すように、表裏に貫通する２つの貫通孔Ｙ１４、Ｙ１５が形成されている。この貫通孔Ｙ１４、Ｙ１５に、それぞれ、電気配線のマイクロバルブＹ１側端が挿入される。なお、他の例として、貫通孔Ｙ１４、Ｙ１５は、両方が第２外層Ｙ１３に形成されていてもよいし、一方が第１外層Ｙ１１に形成され、他方が第２外層Ｙ１３に形成されてもよい。

【0013】

第２外層Ｙ１３は、導電性の半導体部材の表面に非導電性の酸化膜が形成された流路穴層である。第２外層Ｙ１３には、図３、図４に示すように、表裏に貫通する第１流路孔Ｙ１６、第２流路孔Ｙ１７が形成されている。第１流路孔Ｙ１６、第２流路孔Ｙ１７の各々の水力直径は、例えば０．１ｍｍ以上かつ３ｍｍ以下であるが、これに限定されない。なお、他の例として、第１流路孔Ｙ１６、第２流路孔Ｙ１７は、両方が第１外層Ｙ１１に形成されていてもよいし、一方が第１外層Ｙ１１に形成され、他方が第２外層Ｙ１３に形成されてもよい。

【0014】

中間層Ｙ１２は、導電性の半導体部材であり、第１外層Ｙ１１と第２外層Ｙ１３に挟まれたアクチュエータ層である。中間層Ｙ１２は、第１外層Ｙ１１の酸化膜と第２外層Ｙ１３の酸化膜に接触するので、第１外層Ｙ１１と第２外層Ｙ１３とも電気的に非導通である。中間層Ｙ１２は、図４に示すように、第１固定部Ｙ１２１、第２固定部Ｙ１２２、複数本の第１リブＹ１２３、複数本の第２リブＹ１２４、脊柱Ｙ１２５、第１支点部Ｙ１２６、可動部Ｙ１２７、弁体Ｙ１２８を有している。さらに中間層Ｙ１２は、変位増幅部材Ｙ１３１、第２支点部Ｙ１３２、第３固定部Ｙ１３３、第４固定部Ｙ１３４を有している。

【0015】

第１固定部Ｙ１２１、第２固定部Ｙ１２２、第３固定部Ｙ１３３、第４固定部Ｙ１３４は、第１外層Ｙ１１、第２外層Ｙ１３に対して接着等で固定された部材である。第１固定部Ｙ１２１は、第２固定部Ｙ１２２、第１リブＹ１２３、第２リブＹ１２４、脊柱Ｙ１２５、第１支点部Ｙ１２６、可動部Ｙ１２７、弁体Ｙ１２８、変位増幅部材Ｙ１３１、第２支点部Ｙ１３２、第３固定部Ｙ１３３、第４固定部Ｙ１３４を同じ１つの流体室Ｙ１９内にスリットで隔てて囲むように形成されている。流体室Ｙ１９は、第１固定部Ｙ１２１、第１外層Ｙ１１、第２外層Ｙ１３によって囲まれた室である。第１固定部Ｙ１２１、第１外層Ｙ１１、第２外層Ｙ１３は、全体として基部に対応する。なお、電気配線は複数の第１リブＹ１２３および複数の第２リブＹ１２４の温度を変化させて変位させるための電気配線である。

【0016】

第１固定部Ｙ１２１の第１外層Ｙ１１および第２外層Ｙ１３に対する固定は、流体がこの流体室Ｙ１９から第１流路孔Ｙ１６、第２流路孔Ｙ１７以外を通ってマイクロバルブＹ１から漏出することを抑制するような形態で、行われている。第２固定部Ｙ１２２は、第１固定部Ｙ１２１に取り囲まれると共に、スリットを介して第１固定部Ｙ１２１と第４固定部Ｙ１３４から離れて配置される。

【0017】

第３固定部Ｙ１３３は、第１固定部Ｙ１２１に取り囲まれると共に、第１固定部Ｙ１２１、可動部Ｙ１２７、第１リブＹ１２３からスリットを介して離れて配置される。また、第３固定部Ｙ１３３は、第２固定部Ｙ１２２からも離れている。第３固定部Ｙ１３３は、複数本の第１リブＹ１２３と可動部Ｙ１２７の間に配置されている。

【0018】

第４固定部Ｙ１３４は、第１固定部Ｙ１２１に取り囲まれると共に、第１固定部Ｙ１２１、第２固定部Ｙ１２２、第２リブＹ１２４、変位増幅部材Ｙ１３１から、スリットを介して離れて配置される。また、第４固定部Ｙ１３４は、第３固定部Ｙ１３３からも離れている。第４固定部Ｙ１３４は、複数本の第２リブＹ１２４と可動部Ｙ１２７の間に配置されている。

【0019】

複数本の第１リブＹ１２３、複数本の第２リブＹ１２４、脊柱Ｙ１２５、第１支点部Ｙ１２６、可動部Ｙ１２７、弁体Ｙ１２８、第２支点部Ｙ１３２は、第１外層Ｙ１１、第２外層Ｙ１３に対して固定されておらず、第１外層Ｙ１１、第２外層Ｙ１３に対して変位可能である。

【0020】

脊柱Ｙ１２５は、中間層Ｙ１２の矩形形状の短手方向に伸びる細長い棒形状を有している。したがって、脊柱Ｙ１２５は、変位増幅部材Ｙ１３１の長手方向および可動部Ｙ１２７の長手方向に対して交差する方向に伸びている。脊柱Ｙ１２５の長手方向の一端は、変位増幅部材Ｙ１３１に接続されている。

【0021】

複数本の第１リブＹ１２３は、脊柱Ｙ１２５の長手方向に直交する方向における脊柱Ｙ１２５の一方側に配置される。そして、複数本の第１リブＹ１２３は、脊柱Ｙ１２５の長手方向に、スリットを隔てて並んでいる。各第１リブＹ１２３は、細長い棒形状を有しており、温度に応じて伸縮可能となっている。

【0022】

各第１リブＹ１２３は、その長手方向の一端で第１固定部Ｙ１２１に接続され、他端で脊柱Ｙ１２５に接続される。そして、各第１リブＹ１２３は、第１固定部Ｙ１２１側から脊柱Ｙ１２５側に近付くほど、脊柱Ｙ１２５の長手方向の変位増幅部材Ｙ１３１側に向けてオフセットされるよう、脊柱Ｙ１２５に対して斜行している。そして、複数の第１リブＹ１２３は、互いに対して平行に伸びている。

【0023】

複数本の第２リブＹ１２４は、脊柱Ｙ１２５の長手方向に直交する方向における脊柱Ｙ１２５の他方側に配置される。そして、複数本の第２リブＹ１２４は、脊柱Ｙ１２５の長手方向にスリットを隔てて並んでいる。各第２リブＹ１２４は、細長い棒形状を有しており、温度に応じて伸縮可能となっている。

【0024】

各第２リブＹ１２４は、その長手方向の一端で第２固定部Ｙ１２２に接続され、他端で脊柱Ｙ１２５に接続される。そして、各第２リブＹ１２４は、第２固定部Ｙ１２２側から脊柱Ｙ１２５側に近付くほど、脊柱Ｙ１２５の長手方向の変位増幅部材Ｙ１３１側に向けてオフセットされるよう、脊柱Ｙ１２５に対して斜行している。そして、複数の第２リブＹ１２４は、互いに対して平行に伸びている。

【0025】

複数本の第１リブＹ１２３、複数本の第２リブＹ１２４、脊柱Ｙ１２５は、全体として、駆動部に対応する。

【0026】

第２支点部Ｙ１３２は、脊柱Ｙ１２５と非直交かつ平行に伸びる棒形状を有している。第２支点部Ｙ１３２の一端は変位増幅部材Ｙ１３１に接続されており、他端は第３固定部Ｙ１３３に接続されている。第２支点部Ｙ１３２の延伸方向と変位増幅部材Ｙ１３１の長手方向は、互いに交差している。第２支点部Ｙ１３２の側面は、すなわち、第２支点部Ｙ１３２の延伸方向に交差する方向における第２支点部Ｙ１３２の端面は、スリットに面している。

【0027】

変位増幅部材Ｙ１３１は、脊柱Ｙ１２５および第２支点部Ｙ１３２に対して約９０°で交差する方向に伸びる細長い棒形状を有している。変位増幅部材Ｙ１３１は、温度に応じて伸縮可能となっている。また、変位増幅部材Ｙ１３１の大部分は、可動部Ｙ１２７の長手方向に沿って伸びている。また、変位増幅部材Ｙ１３１の第２支点部Ｙ１３２とは反対側の端部は、可動部Ｙ１２７側に折れ曲がり、折れ曲がった先で可動部Ｙ１２７に接続されている。なお、変位増幅部材Ｙ１３１のうち、可動部Ｙ１２７の長手方向に沿って伸びている部分は、直線的に伸びていてもよいし、緩やかにカーブしていてもよいし、蛇行して全体として可動部Ｙ１２７の長手方向に沿って伸びていてもよい。なお、変位増幅部材Ｙ１３１のうち、可動部Ｙ１２７の長手方向に沿って伸びている部分は、全体として、可動部Ｙ１２７の長手方向に対して４５°未満であればよい。

【0028】

ここで、第２支点部Ｙ１３２と、第１力点ＹＶ１と、第２力点ＹＶ２との位置関係について説明する。第１力点ＹＶ１は、変位増幅部材Ｙ１３１と可動部Ｙ１２７の接続箇所である。第２力点ＹＶ２は、脊柱Ｙ１２５と変位増幅部材Ｙ１３１の接続箇所である。

【0029】

第２支点部Ｙ１３２、第２力点ＹＶ２、第１力点ＹＶ１は、変位増幅部材Ｙ１３１の長手方向に沿って、変位増幅部材Ｙ１３１の第２支点部Ｙ１３２側の端部から可動部Ｙ１２７側の端部に向けて、この順に並んでいる。したがって、第２支点部Ｙ１３２から第１力点ＹＶ１までの距離は、第２支点部Ｙ１３２から第２力点ＹＶ２までの距離よりも長い。この関係は、ここでいう距離が直線距離であっても成立し、ここでいう距離が変位増幅部材Ｙ１３１の長手方向に沿った距離であっても成立する。

【0030】

第１支点部Ｙ１２６は、可動部Ｙ１２７に交差して伸びる棒形状を有している。第１支点部Ｙ１２６の延伸方向の一端は、可動部Ｙ１２７に接続されている。第１支点部Ｙ１２６の延伸方向の他端は、第４固定部Ｙ１３４に接続されている。第１支点部Ｙ１２６の側面は、すなわち、第１支点部Ｙ１２６の延伸方向に交差する方向における第１支点部Ｙ１２６の端面は、スリットに面している。

【0031】

可動部Ｙ１２７は、中間層Ｙ１２の長手方向に沿って伸びる細長い棒形状を有している。可動部Ｙ１２７の一方側の端部は、第１支点部Ｙ１２６に接続されている。可動部Ｙ１２７の第１支点部Ｙ１２６側とは反対側の端部は、弁体Ｙ１２８に接続されている。可動部Ｙ１２７の第１支点部Ｙ１２６側の端部から弁体Ｙ１２８側の端部までの、中間層Ｙ１２の長手方向に沿った長さは、中間層Ｙ１２の長手方向の全長の１／２以上である。このように可動部Ｙ１２７を長く形成することで、可動部Ｙ１２７による梃子の作用を大きくすることができる。

【0032】

ここで、第１支点部Ｙ１２６と、第１力点ＹＶ１と、作用点ＹＶ３との位置関係について説明する。作用点ＹＶ３は、可動部Ｙ１２７と弁体Ｙ１２８の接続箇所である。第２力点ＹＶ２は、可動部Ｙ１２７にとっては力点であり、変位増幅部材Ｙ１３１にとっては作用点である。

【0033】

第１支点部Ｙ１２６、第１力点ＹＶ１、作用点ＹＶ３は、可動部Ｙ１２７の長手方向に沿って、可動部Ｙ１２７の第１支点部Ｙ１２６側の端部から弁体Ｙ１２８側の端部に向けて、この順に並んでいる。したがって、第１支点部Ｙ１２６から作用点ＹＶ３までの距離は、第１支点部Ｙ１２６から第１力点ＹＶ１までの距離よりも長い。この関係は、ここでいう距離が直線距離であっても成立し、ここでいう距離が可動部Ｙ１２７の長手方向に沿った距離であっても成立する。

【0034】

弁体Ｙ１２８は、その外形が、可動部Ｙ１２７の長手方向に対して概ね９０°の方向に伸びる、すなわち、中間層Ｙ１２の短手方向に伸びる、矩形形状を有している。この弁体Ｙ１２８は、流体室Ｙ１９内において可動部Ｙ１２７と一体に動くことができる。そして、弁体Ｙ１２８は、中間層Ｙ１２の表裏に貫通する窓孔Ｙ１２０を囲む枠形状となっている。したがって、窓孔Ｙ１２０も、弁体Ｙ１２８と一体的に移動する。窓孔Ｙ１２０は、流体室Ｙ１９の一部である。弁体Ｙ１２８は、上記のように動くことで、第２流路孔Ｙ１７の窓孔Ｙ１２０に対する開度を変更する。第１流路孔Ｙ１６は、窓孔Ｙ１２０に対して（すなわち、流体室Ｙ１９に対して）常に開状態で連通している。

【0035】

また、第１固定部Ｙ１２１のうち、複数の第１リブＹ１２３と接続する部分の近傍の第１印加点Ｙ１２９には、図３に示した第１外層Ｙ１１の貫通孔Ｙ１４を通る電気配線のマイクロバルブＹ１側端が接続される。また、第２固定部Ｙ１２２の第２印加点Ｙ１３０には、図３に示した第１外層Ｙ１１の貫通孔Ｙ１５を通る電気配線のマイクロバルブＹ１側端が接続される。これら電気配線によって、マイクロバルブＹ１への通電、非通電の切り替えが行われる。

【0036】

ここで、マイクロバルブＹ１の作動について説明する。マイクロバルブＹ１への通電が行われていない状態では、中間層Ｙ１２は図４に示した状態になっている。このとき、第１流路孔Ｙ１６は窓孔Ｙ１２０に対して開口（例えば全開、半開）の状態となり、第２流路孔Ｙ１７は弁体Ｙ１２８に塞がれることで窓孔Ｙ１２０に対して全閉の状態となる。このときの弁体Ｙ１２８の位置を、非通電時位置という。

【0037】

マイクロバルブＹ１への通電が開始されると、電気配線によって第１印加点Ｙ１２９、第２印加点Ｙ１３０の間に電圧が印加される。ここでは、一例として、第１印加点Ｙ１２９が１２Ｖ、第２印加点Ｙ１３０が０Ｖとなる電圧が印可されるとするが、これに限られない。

【0038】

電圧が印可されると、図５に示すように、中間層Ｙ１２において、第２固定部Ｙ１２２の電位が１２Ｖとなり、第１固定部Ｙ１２１の電位が０Ｖとなる。したがって、第２固定部Ｙ１２２が、複数の第２リブＹ１２４、複数の第１リブＹ１２３を介して、第１固定部Ｙ１２１と導通する。その結果、複数の第１リブＹ１２３、複数の第２リブＹ１２４の各々において、破線矢印のように電流が流れる。この電流によって、複数の第１リブＹ１２３、複数の第２リブＹ１２４が発熱する。その結果、複数の第１リブＹ１２３、複数の第２リブＹ１２４の各々が、その長手方向に膨張する。

【0039】

なお、第３固定部Ｙ１３３、第４固定部Ｙ１３４、可動部Ｙ１２７、弁体Ｙ１２８の電位は、脊柱Ｙ１２５と同様の電位、すなわち、１２Ｖの半分の６Ｖ程度になる。そして、変位増幅部材Ｙ１３１、可動部Ｙ１２７、弁体Ｙ１２８には、電流が流れない。したがって、変位増幅部材Ｙ１３１では、通電に起因した発熱も、その発熱に起因した膨張もない。

【0040】

このような熱的な膨張の結果、複数の第１リブＹ１２３、複数の第２リブＹ１２４は、脊柱Ｙ１２５を第２力点ＹＶ２側に付勢する。付勢された脊柱Ｙ１２５は、第２力点ＹＶ２において、変位増幅部材Ｙ１３１を押す。その結果、変位増幅部材Ｙ１３１は、第２支点部Ｙ１３２を支点として、第２支点部Ｙ１３２を中心に回転する。変位増幅部材Ｙ１３１の第２支点部Ｙ１３２とは反対側の端部も、第１力点ＹＶ１において、可動部Ｙ１２７を押す方向に、移動する。

【0041】

このように第１力点ＹＶ１において変位増幅部材Ｙ１３１から付勢された可動部Ｙ１２７は、第１支点部Ｙ１２６を支点として、第１支点部Ｙ１２６を中心に回転する。その結果、可動部Ｙ１２７の第１支点部Ｙ１２６とは反対側の端部に接続された弁体Ｙ１２８も、その長手方向の、変位増幅部材Ｙ１３１が可動部Ｙ１２７を押す側に、移動する。移動した後の弁体Ｙ１２８の位置を、通電時位置という。

【0042】

図６に示すように、弁体Ｙ１２８が通電時位置にあるとき、第１流路孔Ｙ１６は窓孔Ｙ１２０に対して開口（例えば全開、半開）の状態であり、第２流路孔Ｙ１７も弁体Ｙ１２８に第１流路孔Ｙ１６は窓孔Ｙ１２０に対して開口（例えば全開、半開）した状態となる。

【0043】

したがってこの場合、マイクロバルブＹ１の外部から第１流路孔Ｙ１６を通って流体が窓孔Ｙ１２０内に流入し、更に窓孔Ｙ１２０から第２流路孔Ｙ１７を通って流体がマイクロバルブＹ１の外部に流出することができる。また、これとは逆の流体の流れも可能となる。すなわち、マイクロバルブＹ１の外部にあって第１流路孔Ｙ１６と連通する不図示の流路と、マイクロバルブＹ１の外部にあって第２流路孔Ｙ１７と連通する不図示の他の流路とが、窓孔Ｙ１２０を介して連通する。

【0044】

このようなマイクロバルブＹ１への通電時、第１印加点Ｙ１２９、第２印加点Ｙ１３０を介してマイクロバルブＹ１に供給される電力が大きいほど、非通電時位置に対する弁体Ｙ１２８の移動量も大きくなる。これは、マイクロバルブＹ１に供給される電力が高いほど、第１リブＹ１２３、第２リブＹ１２４の温度が高くなり、膨張度合いが大きいからである。例えば第１印加点Ｙ１２９、第２印加点Ｙ１３０へ印加される電圧がＰＷＭ制御される場合、電圧のデューティ比が大きいほど非通電時に対する弁体Ｙ１２８の移動量も大きくなる。

【0045】

また、マイクロバルブＹ１への通電が停止されたときは、電気配線から第１印加点Ｙ１２９、第２印加点Ｙ１３０への電圧印加が停止される。すると、複数の第１リブＹ１２３、複数の第２リブＹ１２４を電流が流れなくなり、複数の第１リブＹ１２３、複数の第２リブＹ１２４の温度が低下する。その結果、複数の第１リブＹ１２３、複数の第２リブＹ１２４の各々が、その長手方向に収縮する。

【0046】

このような熱的な収縮の結果、複数の第１リブＹ１２３、複数の第２リブＹ１２４は、脊柱Ｙ１２５を第２力点ＹＶ２側とは反対側に付勢する。付勢された脊柱Ｙ１２５は、第２力点ＹＶ２側において、変位増幅部材Ｙ１３１を脊柱Ｙ１２５側に引っ張る。その結果、変位増幅部材Ｙ１３１は、第２支点部Ｙ１３２を支点として、第２支点部Ｙ１３２を中心に回転する。その結果、変位増幅部材Ｙ１３１の第２支点部Ｙ１３２とは反対側の端部も、第１力点ＹＶ１において、可動部Ｙ１２７を引っ張る方向に、移動する。

【0047】

このように第１力点ＹＶ１において変位増幅部材Ｙ１３１から付勢された可動部Ｙ１２７は、第１支点部Ｙ１２６を支点として、第１支点部Ｙ１２６を中心に回転する。その結果、可動部Ｙ１２７の第１支点部Ｙ１２６とは反対側の端部に接続された弁体Ｙ１２８も、その長手方向の、変位増幅部材Ｙ１３１が可動部Ｙ１２７を引っ張る側に、移動する。その移動の結果、弁体Ｙ１２８は、非通電時位置に戻って停止する。このとき、マイクロバルブＹ１の外部にあって第１流路孔Ｙ１６と連通する不図示の流路と、マイクロバルブＹ１の外部にあって第２流路孔Ｙ１７と連通する不図示の他の流路との、窓孔Ｙ１２０を介した連通が、遮断される。

【0048】

以上のように、可動部Ｙ１２７は、第１支点部Ｙ１２６を支点とし、第１力点ＹＶ１を力点とし、作用点ＹＶ３を作用点とする梃子として機能する。上述の通り、中間層Ｙ１２の板面に平行な面内における第１支点部Ｙ１２６から第１力点ＹＶ１までの直線距離よりも、第１支点部Ｙ１２６から作用点ＹＶ３までの直線距離の方が、長い。したがって、第１力点ＹＶ１の移動量よりも、作用点ＹＶ３の移動量の方が大きくなる。したがって、第１力点ＹＶ１における変位増幅部材Ｙ１３１の変位量が、梃子によって増幅されて弁体Ｙ１２８に伝わる。

【0049】

更に、変位増幅部材Ｙ１３１は、第２支点部Ｙ１３２を支点とし、第２力点ＹＶ２を力点とし、第１力点ＹＶ１を作用点とする梃子として機能する。上述の通り、中間層Ｙ１２の板面に平行な面内における第２支点部Ｙ１３２から第２力点ＹＶ２までの直線距離よりも、第２支点部Ｙ１３２から第１力点ＹＶ１までの直線距離の方が、長い。したがって、第２力点ＹＶ２の移動量よりも、第１力点ＹＶ１の移動量の方が大きくなる。したがって、複数の第１リブＹ１２３、複数の第２リブＹ１２４の熱的な膨張による脊柱Ｙ１２５の変位量が、梃子によって増幅されて可動部Ｙ１２７に伝わる。

【0050】

このように、変位増幅部材Ｙ１３１、可動部Ｙ１２７という直列に接続された２つの梃子が作用する。すなわち、脊柱Ｙ１２５の変位量が、変位増幅部材Ｙ１３１で増幅され、更に可動部Ｙ１２７で増幅されて、弁体Ｙ１２８に伝達される。

【0051】

このように構成されたマイクロバルブＹ１は、電磁弁およびステッピングモータと比べて容易に小型化できる。その理由の１つは、マイクロバルブＹ１が上述の通り半導体チップにより形成されていることである。また、上述の通り、梃子を利用して熱的な膨張による変位量が増幅されることも、そのような梃子を利用せずに電磁弁またはステッピングモータを利用する弁装置と比べた場合、小型化に寄与する。また、複数本の第１リブＹ１２３、複数本の第２リブＹ１２４の変位は熱に起因して発生するので、騒音低減効果が高い。

【0052】

また、梃子を利用しているので、熱的な膨張による変位量を弁体Ｙ１２８の移動量より抑えることができるので、弁体Ｙ１２８を駆動するための消費電力も低減することができる。また、電磁弁の駆動時における衝撃音を無くすことができるので、騒音を低減することができる。

【0053】

また、脊柱Ｙ１２５が変位したときに、変位増幅部材Ｙ１３１は、脊柱Ｙ１２５に付勢されると共に脊柱Ｙ１２５部の変位を増幅して可動部Ｙ１２７に伝達する。このように、梃子の原理を利用する可動部Ｙ１２７に加え、変位増幅部材Ｙ１３１が脊柱Ｙ１２５の変位を増幅する。したがって、マイクロバルブＹ１の体格の増大を抑制しつつ開弁時の開口面積を増大させること、あるいは、開弁時の開口面積の低減を抑制しつつ体格を低減することが、可能になる。

【0054】

例えば、図７の左側に示すように、特許文献１のＭＥＭＳバルブのように梃子が矢印で示すように１個しかない場合に比べ、図７の右側の弁装置の矢印に示すように梃子を直列に２段用いた方が、脊柱の変位量に対する弁体の移動量の増幅度は大きくなる。

【0055】

（１）また、脊柱Ｙ１２５が変位したときに、脊柱Ｙ１２５によって変位増幅部材Ｙ１３１が第２力点ＹＶ２で付勢されて変位増幅部材Ｙ１３１が第２支点部Ｙ１３２を中心に回転することで、変位増幅部材Ｙ１３１が第１力点ＹＶ１で可動部Ｙ１２７を付勢する。そして、第２支点部Ｙ１３２から第１力点ＹＶ１までの距離は、第２支点部Ｙ１３２から第２力点ＹＶ２までの距離よりも長い。すなわち、変位増幅部材Ｙ１３１も可動部Ｙ１２７とは別に梃子として働く。これにより、梃子の原理を利用して更にマイクロバルブＹ１の開弁時の開口面積の増大化または体格の低減を実現することができる。

【0056】

（２）また、変位増幅部材Ｙ１３１は、可動部Ｙ１２７の長手方向に沿って伸びる。そして、第２力点ＹＶ２よりも、第１力点ＹＶ１の方が、第１支点部Ｙ１２６に近い位置にある。これにより、変位増幅部材Ｙ１３１によって増幅された変位を可動部Ｙ１２７に伝達する箇所（すなわち第１力点ＹＶ１）を、より第１支点部Ｙ１２６に近づけることができる。これにより、可動部Ｙ１２７における梃子の作用による変位の増幅量が増大する。

【0057】

（第２実施形態）
次に第２実施形態について説明する。本実施形態は、第１実施形態に対して、中間層Ｙ１２の構造が異なっている。具体的には、図８に示すように、第１実施形態で第２固定部Ｙ１２２と第４固定部Ｙ１３４を隔てていたスリットが廃され、第２固定部Ｙ１２２と第４固定部Ｙ１３４が接続されている。その他の構造は、第１実施形態と同様である。

【0058】

以下、本実施形態のマイクロバルブＹ１の作動について説明する。マイクロバルブＹ１への通電が行われていない状態では、中間層Ｙ１２は図８に示した状態になっている。このとき、複数本の第１リブＹ１２３、複数本の第２リブＹ１２４、脊柱Ｙ１２５、変位増幅部材Ｙ１３１、可動部Ｙ１２７、弁体Ｙ１２８の位置は、第１実施形態において通電が行われていないときと同じである。

【0059】

マイクロバルブＹ１への通電が開始されると、電気配線によって第１印加点Ｙ１２９、第２印加点Ｙ１３０の間に電圧が印加される。ここでは、一例として、第１印加点Ｙ１２９が１２Ｖ、第２印加点Ｙ１３０が０Ｖとなる電圧が印可されるとするが、これに限られない。

【0060】

電圧が印可されると、図９に示すように、中間層Ｙ１２において、第２固定部Ｙ１２２の電位が１２Ｖとなり、第１固定部Ｙ１２１の電位が０Ｖとなる。その結果、第１実施形態と同様、複数の第１リブＹ１２３、複数の第２リブＹ１２４の各々において、破線矢印のように電流が流れる。この電流によって、複数の第１リブＹ１２３、複数の第２リブＹ１２４が発熱する。その結果、複数の第１リブＹ１２３、複数の第２リブＹ１２４の各々が、その長手方向に膨張する。

【0061】

また、第２固定部Ｙ１２２と第４固定部Ｙ１３４が接続されているので、第４固定部Ｙ１３４の電位も１２Ｖになる。したがって、第２固定部Ｙ１２２が、第４固定部Ｙ１３４、第１支点部Ｙ１２６、可動部Ｙ１２７、変位増幅部材Ｙ１３１、脊柱Ｙ１２５、複数の第１リブＹ１２３を介して、第１固定部Ｙ１２１と導通する。したがって、変位増幅部材Ｙ１３１において、破線矢印のように、第１力点ＹＶ１から脊柱Ｙ１２５へ電流が流れる。この電流によって、変位増幅部材Ｙ１３１が発熱し、その長手方向に膨張する。なお、第３固定部Ｙ１３３の電位は、６Ｖよりも高く１２Ｖよりも低い中間電位となる。

【0062】

複数の第１リブＹ１２３、複数の第２リブＹ１２４の膨張により、第１実施形態と同様、複数の第１リブＹ１２３、複数の第２リブＹ１２４は、脊柱Ｙ１２５を第２力点ＹＶ２側に付勢する。付勢された脊柱Ｙ１２５は、第２力点ＹＶ２において、変位増幅部材Ｙ１３１を押す。これにより、変位増幅部材Ｙ１３１は、第２支点部Ｙ１３２を支点として、第２支点部Ｙ１３２を中心に回転する。その結果、変位増幅部材Ｙ１３１の第２支点部Ｙ１３２とは反対側の端部も、第１力点ＹＶ１において、可動部Ｙ１２７を押す方向に、移動する。

【0063】

それに加え、変位増幅部材Ｙ１３１が通電されて温度が上昇することで、変位増幅部材Ｙ１３１の長手方向の長さが増大する。したがって、その増大した分だけ、第１力点ＹＶ１における可動部Ｙ１２７の変位量が増大する。すなわち変位増幅部材Ｙ１３１は、複数の第１リブＹ１２３、複数の第２リブＹ１２４が通電されたときに、脊柱Ｙ１２５に付勢されると共に通電されて自らの温度が上昇して膨張することで、脊柱Ｙ１２５の変位を更に増幅して可動部Ｙ１２７に伝達する。

【0064】

このように第１力点ＹＶ１において変位増幅部材Ｙ１３１から付勢された可動部Ｙ１２７は、第１支点部Ｙ１２６を支点として、第１支点部Ｙ１２６を中心に回転する。その結果、可動部Ｙ１２７の第１支点部Ｙ１２６とは反対側の端部に接続された弁体Ｙ１２８も、その長手方向の、変位増幅部材Ｙ１３１が可動部Ｙ１２７を押す側に、移動する。弁体Ｙ１２８がこの通電時位置にあるときの第１流路孔Ｙ１６、第２流路孔Ｙ１７の開口の状態については、第１実施形態と同じである。

【0065】

また、マイクロバルブＹ１への通電が停止されたときは、電気配線から第１印加点Ｙ１２９、第２印加点Ｙ１３０への電圧印加が停止される。すると、複数の第１リブＹ１２３、複数の第２リブＹ１２４を電流が流れなくなり、複数の第１リブＹ１２３、複数の第２リブＹ１２４の温度が低下する。その結果、複数の第１リブＹ１２３、複数の第２リブＹ１２４の各々が、その長手方向に収縮する。それと同時に変位増幅部材Ｙ１３１を電流が流れなくなり、変位増幅部材Ｙ１３１の温度が低下し、その長手方向に収縮する。

【0066】

このような熱的な収縮の結果、複数の第１リブＹ１２３、複数の第２リブＹ１２４は、脊柱Ｙ１２５を第２力点ＹＶ２側とは反対側に付勢する。付勢された脊柱Ｙ１２５は、第２力点ＹＶ２側において、変位増幅部材Ｙ１３１を脊柱Ｙ１２５側に引っ張る。その結果、変位増幅部材Ｙ１３１は、第２支点部Ｙ１３２を支点として、第２支点部Ｙ１３２を中心に回転する。その結果、変位増幅部材Ｙ１３１の第２支点部Ｙ１３２とは反対側の端部も、第１力点ＹＶ１において、可動部Ｙ１２７を引っ張る方向に、移動する。その際、変位増幅部材Ｙ１３１の長手方向の長さが減少するので、その分、第１力点ＹＶ１において、可動部Ｙ１２７の変位量が増大する。

【0067】

このように第１力点ＹＶ１において変位増幅部材Ｙ１３１から付勢された可動部Ｙ１２７は、第１支点部Ｙ１２６を支点として、第１支点部Ｙ１２６を中心に回転する。その結果、可動部Ｙ１２７の第１支点部Ｙ１２６とは反対側の端部に接続された弁体Ｙ１２８も、その長手方向の、変位増幅部材Ｙ１３１が可動部Ｙ１２７を引っ張る側に、移動する。その移動の結果、弁体Ｙ１２８は、所定の非通電時位置に戻って停止する。このとき、第１実施形態と同様、マイクロバルブＹ１の外部にあって第１流路孔Ｙ１６と連通する不図示の流路と、マイクロバルブＹ１の外部にあって第２流路孔Ｙ１７と連通する不図示の他の流路との、窓孔Ｙ１２０を介した連通が、遮断される。

【0068】

（１）以上の通り、変位増幅部材Ｙ１３１は、脊柱Ｙ１２５が通電されたときに、脊柱Ｙ１２５に付勢されると共に通電されて自らの温度が上昇して膨張することで、脊柱Ｙ１２５の変位を増幅する。このようになっていることで、変位増幅部材Ｙ１３１は、梃子として働くのみならず、通電によって伸縮することで、脊柱Ｙ１２５の変位を増幅する。すなわち、より強く脊柱Ｙ１２５の変位を増幅することができる。また、本実施形態において、第１実施形態と同様の構成および作用からは、同様の効果が得られる。

【0069】

（第３実施形態）
次に第３実施形態について、図１０、図１１を用いて説明する。本実施形態は、第１実施形態に対して、中間層Ｙ１２、第２外層Ｙ１３の構造が異なっている。

【0070】

具体的には、第２外層Ｙ１３においては、第１流路孔Ｙ１６の形状が、第２外層Ｙ１３の短手方向に伸びる長方形形状となっている。また、第２外層Ｙ１３においては、第１実施形態の単一の第２流路孔Ｙ１７に代えて、複数のサブ流路孔Ｙ１７１、Ｙ１７２、Ｙ１７３、Ｙ１７４、Ｙ１７５が設けられている。

【0071】

これらサブ流路孔Ｙ１７１～Ｙ１７５は、第１流路孔Ｙ１６に対して第２外層Ｙ１３の長手方向にずれた位置に配置されている。また、サブ流路孔Ｙ１７１～Ｙ１７５は、第２外層Ｙ１３の短手方向に一列に並んでいる。また、サブ流路孔Ｙ１７１～Ｙ１７５の各々は、長方形形状を有し、第２外層Ｙ１３の長手方向に伸びている。これらサブ流路孔Ｙ１７１～Ｙ１７５が、全体として、第２流路孔を構成する。

【0072】

また、中間層Ｙ１２の構造は、以下の点で第１実施形態と異なっている。まず、本実施形態の流体室Ｙ１９は、第１流路孔Ｙ１６およびサブ流路孔Ｙ１７１～Ｙ１７５に対して連通するように形成されている。

【0073】

また、本実施形態の弁体Ｙ１２８の形状は、第１実施形態に対して異なっている。具体的には、本実施形態の弁体Ｙ１２８は、ベース部８０と、複数のサブ弁体８１、８２、８３、８４、８５と、これら複数のサブ弁体８１～８５を補強する８個の補強部８６とを有している。ベース部８０と、サブ弁体８１～８５と、複数の補強部８６は、全体として一体に形成されているが、他の例として、別体に形成された後に接合されてもよい。

【0074】

なお、図１０、図１１では、サブ弁体８１～８５の数が５個であるが、他の例として、２個以上４個以下でもよいし、６個以上でもよい。また、図１０、図１１の例では、補強部８６の数は８個であるが、他の例として７個以下（例えば１個、２個）であってもよいし、９個以上であってもよい。また、サブ弁体８１～８５のうちどの隣り合うサブ弁体間にも、それらに接続される２個の補強部８６が設けられているが、隣り合うサブ弁体間に設けられる補強部８６の数は２個に限られない。また、サブ弁体８１～８５のうち一部の隣り合うサブ弁体間にのみ、補強部８６が設けられていてもよい。

【0075】

ベース部８０は、作用点ＹＶ３において可動部Ｙ１２７と接続すると共に、中間層Ｙ１２の短手方向に伸びる部材である。サブ弁体８１～８５は、中間層Ｙ１２の短手方向に一列に離間して並んでいる。また、サブ弁体８１～８５の各々の長手方向は、中間層Ｙ１２の長手方向に伸びている。また、サブ弁体８１～８５の各々の長手方向の可動部Ｙ１２７側の端部は、ベース部８０に接続されている。

【0076】

また、サブ弁体８１～８５の各々には、中間層Ｙ１２の厚さ方向における一方側端から他方側端まで貫通すると共に中間層Ｙ１２の長手方向に伸びる貫通孔８１ａ、８２ａ、８３ａ、８４ａ、８５ａが形成されている。したがって、サブ弁体８１～８５は、それぞれ、貫通孔８１ａ～８５ａを環状に囲む枠体である。

【0077】

図１１に示すように、サブ弁体８１～８５の内周縁は、それぞれ、サブ流路孔Ｙ１７１～Ｙ１７５の外周縁を外側から全周に亘って囲むことができるよう、サブ流路孔Ｙ１７１～Ｙ１７５の外周縁よりも広く形成されている。

【0078】

また、サブ弁体８１～８５の各々は、中間層Ｙ１２の厚さ方向の一端において第１外層Ｙ１１に接触し他端において第２外層Ｙ１３に接触する。これによりサブ弁体８１～８５は、流体室Ｙ１９においてそれぞれ貫通孔８１ａ～８５ａとそれ以外の部分との間をシールする。

【0079】

補強部８６の各々は、サブ弁体８１～８５のうち隣り合ういずれか２つのサブ弁体の間で、それら２つのサブ弁体に両端で繋がるよう、中間層Ｙ１２の短手方向に伸びている。なお、他の例として、１つの補強部８６が三又以上に分かれてサブ弁体８１～８５のうち３つ以上に繋がっていてもよい。これら補強部８６により、弁体Ｙ１２８全体の強度が向上している。各補強部８６は、第１外層Ｙ１１と第２外層Ｙ１３のうち一方または両方と離間している。すなわち、各補強部８６は流体室Ｙ１９内で流体のシールとしては機能しない。

【0080】

以下、本実施形態のマイクロバルブＹ１の作動について説明する。マイクロバルブＹ１への通電が行われていない状態では、中間層Ｙ１２は図１１に示した状態になっている。このとき、第１流路孔Ｙ１６は流体室Ｙ１９に対して連通しているが、サブ流路孔Ｙ１７１～Ｙ１７５は、それぞれ、サブ弁体８１～８５に囲まれている。したがって、流体室Ｙ１９において、第１流路孔Ｙ１６に対してサブ流路孔Ｙ１７１～Ｙ１７５がサブ弁体８１～８５によって遮断されている。このときの弁体Ｙ１２８の位置を、非通電時位置という。この場合、マイクロバルブＹ１は閉弁状態となっている。

【0081】

マイクロバルブＹ１への通電が開始されると、電気配線によって第１印加点Ｙ１２９、第２印加点Ｙ１３０の間に電圧が印加される。電圧が印可されると、中間層Ｙ１２において、第１実施形態と同様に、第１リブＹ１２３、第２リブＹ１２４の各々において電流が流れる。この電流によって、複数の第１リブＹ１２３、複数の第２リブＹ１２４が発熱する。その結果、第１リブＹ１２３、第２リブＹ１２４の各々が、その長手方向に膨張する。

【0082】

複数の第１リブＹ１２３、複数の第２リブＹ１２４の膨張により、複数の第１リブＹ１２３、複数の第２リブＹ１２４は、脊柱Ｙ１２５を第２力点ＹＶ２側に付勢する。付勢された脊柱Ｙ１２５は、第２力点ＹＶ２において、変位増幅部材Ｙ１３１を押す。これにより、変位増幅部材Ｙ１３１は、第２支点部Ｙ１３２を支点として、第２支点部Ｙ１３２を中心に回転する。その結果、変位増幅部材Ｙ１３１の第２支点部Ｙ１３２とは反対側の端部も、第１力点ＹＶ１において、可動部Ｙ１２７を押す方向に、移動する。

【0083】

これにより可動部Ｙ１２７は、第１支点部Ｙ１２６を支点として、第１支点部Ｙ１２６を中心に回転する。その結果、弁体Ｙ１２８の全体が、その長手方向の、変位増幅部材Ｙ１３１が可動部Ｙ１２７を押す向きに、第１支点部Ｙ１２６を中心に、回転する。

【0084】

これにより、サブ弁体８１～８５も同様に第１支点部Ｙ１２６を中心に回転する。その回転の結果、貫通孔８１ａ～８５ａの位置が変化し、貫通孔８１ａ～８５ａとサブ流路孔Ｙ１７１～Ｙ１７５の相対位置関係が変化する。具体的には、サブ流路孔Ｙ１７１～Ｙ１７５の一部または全部が、それぞれ、貫通孔８１ａ～８５ａからはみ出す。その結果、流体室Ｙ１９において、第１流路孔Ｙ１６がサブ流路孔Ｙ１７１～Ｙ１７５と連通する。

【0085】

このときの弁体Ｙ１２８の位置を、通電時位置という。この場合、マイクロバルブＹ１は開弁状態となっている。このとき、マイクロバルブＹ１の外部、第１流路孔Ｙ１６、流体室Ｙ１９、サブ流路孔Ｙ１７１～Ｙ１７５、マイクロバルブＹ１の外部を、この順に、あるいはこの逆順に、流体が流通する。

【0086】

なお、通電量が変化すると、サブ流路孔Ｙ１７１～Ｙ１７５のうちそれぞれ貫通孔８１ａ～８５ａからはみ出す部分のサイズが変化する。したがって、通電量を変化させることで、マイクロバルブＹ１内の流体の流量を調整することができる。

【0087】

また、マイクロバルブＹ１への通電が停止されたときは、電気配線から第１印加点Ｙ１２９、第２印加点Ｙ１３０への電圧印加が停止される。すると、複数の第１リブＹ１２３、複数の第２リブＹ１２４を電流が流れなくなり、複数の第１リブＹ１２３、複数の第２リブＹ１２４の温度が低下する。その結果、複数の第１リブＹ１２３、複数の第２リブＹ１２４の各々が、その長手方向に収縮する。このような熱的な収縮の結果、第１実施形態と同様の機序で、弁体Ｙ１２８は、所定の非通電時位置に戻って停止する。このような作動により、サブ弁体８１～８５は、流体室Ｙ１９内で動くことでそれぞれサブ流路孔Ｙ１７１～Ｙ１７５の第１流路孔Ｙ１６に対する開度を調整する。

【0088】

（１）以上説明した通り、サブ弁体８１～８５を補強するための補強部８６は、複数のサブ弁体８１～８５のうち複数に繋がっている。このようになっていることで、補強部８６により、流体室Ｙ１９内に流入する流体の圧力に対する弁体Ｙ１２８の強度が増す。

【0089】

なお、第１実施形態に対する本実施形態のような変更は、第２実施形態にも適用可能である。また、本実施形態において、第１、第２実施形態と同様の構成および作用（例えば変位増幅部材Ｙ１３１による梃子作用）からは、同様の効果が得られる。

【0090】

（他の実施形態）
本開示は上記した実施形態に限定されるものではなく、適宜変更が可能である。また、上記各実施形態は、互いに無関係なものではなく、組み合わせが明らかに不可な場合を除き、適宜組み合わせが可能である。また、上記各実施形態において、実施形態を構成する要素は、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではない。また、上記各実施形態において、実施形態の構成要素の個数、数値、量、範囲等の数値が言及されている場合、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに特定の数に限定される場合等を除き、その特定の数に限定されるものではない。特に、ある量について複数個の値が例示されている場合、特に別記した場合および原理的に明らかに不可能な場合を除き、それら複数個の値の間の値を採用することも可能である。また、上記各実施形態において、構成要素等の形状、位置関係等に言及するときは、特に明示した場合および原理的に特定の形状、位置関係等に限定される場合等を除き、その形状、位置関係等に限定されるものではない。また、本開示は、上記各実施形態に対する以下のような変形例および均等範囲の変形例も許容される。なお、以下の変形例は、それぞれ独立に、上記実施形態に適用および不適用を選択できる。すなわち、以下の変形例のうち任意の組み合わせを、上記実施形態に適用することができる。

【0091】

（変形例１）
上記各実施形態では、複数本の第１リブＹ１２３、複数本の第２リブＹ１２４、変位増幅部材Ｙ１３１は、通電されることで発熱し、その発熱によって自らの温度が上昇することで膨張する。しかし、これら部材は、温度が変化すると長さが変化する形状記憶材料から構成されていてもよい。

【0092】

（変形例２）
上記各実施形態では、弁体Ｙ１２８が移動することで、窓孔Ｙ１２０に対する第２流路孔Ｙ１７の開度が変化して、窓孔Ｙ１２０に対する第１流路孔Ｙ１６の開度が前回に維持されるようになっている。しかし、必ずしもこのようになっておらずともよい。

【0093】

例えば、弁体Ｙ１２８が移動することで、窓孔Ｙ１２０に対する第２流路孔Ｙ１７の開度および窓孔Ｙ１２０に対する第１流路孔Ｙ１６の開度の両方が連動して調整されてもよい。

【0094】

（変形例３）
上記各実施形態では、マイクロバルブＹ１の外部から窓孔Ｙ１２０に連通可能な孔は第１流路孔Ｙ１６、第２流路孔Ｙ１７の２つであった。しかし、マイクロバルブＹ１の外部から窓孔Ｙ１２０に連通す３番目以降の流路孔があってもよい。３番目以降の流路孔も、弁体Ｙ１２８の動きによって開度が調整されてもよいし、調整されなくてもよい。

【0095】

（変形例４）
マイクロバルブＹ１の形状やサイズは、上記実施形態で示したものに限られない。マイクロバルブＹ１は、極微小流量制御可能で、かつ、流路内に存在する微小ゴミを詰まらせないような水力直径の第１流路孔Ｙ１６、第２流路孔Ｙ１７を有していればよい。

【0096】

（変形例５）
上記実施形態では、変位増幅部材Ｙ１３１は、１個の梃子から構成されている。しかし、変位増幅部材Ｙ１３１は、直列に連接された複数の梃子から構成されていてもよい。

【0097】

（変形例６）
上記実施形態では、通電の有無に応じた温度変化によって発生する駆動部の変位を梃子の原理で増幅して弁体に伝える弁装置の一例としてＭＥＭＳバルブが例示されている。しかし、このような弁装置は、ＭＥＭＳバルブ以外のものであってもよい。

【0098】

（変形例７）
上記第２実施形態では、変位増幅部材Ｙ１３１は、梃子として作用することで脊柱Ｙ１２５の変位量を増幅して可動部Ｙ１２７に伝達すると同時に、通電されて長手方向に膨張、収縮することで脊柱Ｙ１２５の変位量を増幅して可動部Ｙ１２７に伝達する。しかし、変位増幅部材Ｙ１３１は、作用せず、通電されて長手方向に膨張、収縮することのみによって脊柱Ｙ１２５の変位量を増幅して可動部Ｙ１２７に伝達してもよい。

【0099】

（変形例８）
上記実施形態では、第２力点ＹＶ２よりも、第１力点ＹＶ１の方が、第１支点部Ｙ１２６に近い位置にある。しかし、必ずしもこのようになっておらずともよい。すなわち、第２力点ＹＶ２の方が、第１力点ＹＶ１よりも、第１支点部Ｙ１２６に近い位置にあってもよい。

【0100】

そのような例としては、図４において、変位増幅部材Ｙ１３１を脊柱Ｙ１２５、第２力点ＹＶ２の部分を中心として紙面上下反転させたものがある。この例では、変位増幅部材Ｙ１３１の回転の中心となる第２支点部Ｙ１３２が脊柱Ｙ１２５よりも第２固定部Ｙ１２２側に配置され、変位増幅部材Ｙ１３１と可動部Ｙ１２７の接続点である第１力点ＹＶ１が脊柱Ｙ１２５よりも弁体Ｙ１２８側に配置される。

【0101】

このような例では、第２固定部Ｙ１２２から弁体Ｙ１２８に向けて第１支点部Ｙ１２６、第２支点部Ｙ１３２、第２力点ＹＶ２、第１力点ＹＶ１の順に並ぶが、これであっても、変位増幅部材Ｙ１３１が梃子として機能する。なお、上記第１、第２実施形態では、第２固定部Ｙ１２２から弁体Ｙ１２８に向けて第１支点部Ｙ１２６、第１力点ＹＶ１、第２力点ＹＶ２、第２支点部Ｙ１３２、の順に並んでいる。

【0102】

（変形例９）
また、上記変形例８に対して、第２固定部Ｙ１２２から弁体Ｙ１２８に向けて第２支点部Ｙ１３２、第２力点ＹＶ２、第１支点部Ｙ１２６、第１力点ＹＶ１の順に並ぶよう変更してもよい。すなわち、変形例８に対して第１支点部Ｙ１２６の位置を第１力点ＹＶ１に近づくようずらしてもよい。この例では、変形例８とは異なり、第２力点ＹＶ２よりも、第１力点ＹＶ１の方が、第１支点部Ｙ１２６に近い位置にあるように、第１支点部Ｙ１２６の位置を設定することもできる。

【0103】

（本開示の特徴）
［開示１］
第１外層（Ｙ１１）と、
第２外層（Ｙ１３）と、
前記第１外層と前記第２外層に挟まれると共に流体が流通する流体室（Ｙ１９）を形成する中間層（Ｙ１２）と、を備え、
前記第１外層または前記第２外層には、前記流体室と連通可能な第１流路孔（Ｙ１６）が形成され、
前記第１外層または前記第２外層には、前記流体室と連通可能な第２流路孔（Ｙ１７、Ｙ１７１～Ｙ１７５）が形成され、
前記中間層は、通電の有無に応じて自らの温度が変化することで変位する駆動部（Ｙ１２３、Ｙ１２４、Ｙ１２５）と、
前記駆動部が変位したときに、前記駆動部に付勢されると共に前記駆動部の変位を増幅する変位増幅部材（Ｙ１３１）と、
前記変位増幅部材によって増幅された変位を力点（ＹＶ１）で受けることで、支点部（Ｙ１２６）を中心に回転する可動部（Ｙ１２７）と、
前記可動部が回転する際に前記可動部の作用点（ＹＶ３）から付勢されて前記流体室内で動くことで前記流体室に対する前記第２流路孔の開度を調整する弁体（Ｙ１２８）と、を有する、弁装置。
［開示２］
前記支点部は第１支点部であり、
前記力点は第１力点であり、
前記駆動部が変位したときに、前記駆動部によって前記変位増幅部材が第２力点（ＹＶ２）で付勢されて前記変位増幅部材が第２支点部（Ｙ１３２）を中心に回転することで、前記変位増幅部材が前記第１力点で前記可動部を付勢し、
前記第２支点部から前記第１力点までの距離は、前記第２支点部から前記第２力点までの距離よりも長い、開示１に記載の弁装置。
［開示３］
前記変位増幅部材は、前記可動部の長手方向に沿って伸び、
前記第２力点よりも、前記第１力点の方が、前記第１支点部に近い位置にある、開示２に記載の弁装置。
［開示４］
前記変位増幅部材は、前記駆動部が通電されたときに、前記駆動部に付勢されると共に通電されて自らの温度が上昇して膨張することで、前記駆動部の変位を増幅する、開示１ないし３のいずれか１つに記載の弁装置。
［開示５］
前記第２流路孔は、複数のサブ流路孔（Ｙ１７１～Ｙ１７５）を有し、
前記弁体は、複数のサブ弁体（８１～８５）と、前記複数のサブ弁体を補強するための補強部（８６）とを有し、
前記複数のサブ弁体は、前記流体室内で動くことでそれぞれ前記複数のサブ流路孔の前記第１流路孔に対する開度を調整し、
前記補強部は、前記複数のサブ弁体のうち複数に繋がっている、開示１ないし４のいずれか１つに記載の弁装置。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】