特許 7619850 静電成膜装置、および、静電成膜方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2025-01-14

(45)【発行日】2025-01-22

(54)【発明の名称】静電成膜装置、および、静電成膜方法

(51)【国際特許分類】

   H01M 4/139 20100101AFI20250115BHJP

【ＦＩ】

H01M4/139

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2021043013

(22)【出願日】2021-03-17

(65)【公開番号】P2022142813

(43)【公開日】2022-10-03

【審査請求日】2023-12-05

(73)【特許権者】

【識別番号】000003207

【氏名又は名称】トヨタ自動車株式会社

(73)【特許権者】

【識別番号】520184767

【氏名又は名称】プライムプラネットエナジー＆ソリューションズ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000028

【氏名又は名称】弁理士法人明成国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】嶋崎 汀

(72)【発明者】

【氏名】渡邉 正樹

(72)【発明者】

【氏名】松山 美由紀

(72)【発明者】

【氏名】大久保 壮吉

(72)【発明者】

【氏名】上薗 知之

(72)【発明者】

【氏名】宮島 桃香

【審査官】佐宗 千春

(56)【参考文献】

【文献】特開２０２０－１４９８６２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平７－１２１０３２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－２２４９１２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－００３２５６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－１４５７０９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｍ ４／００－４／６２

Ｈ０１Ｇ １１／８６

Ｂ０５Ｄ

Ｂ０５Ｃ

Ｇ０３Ｇ

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

静電成膜装置であって、
磁極を有するマグネットローラであって、成膜材料である電極粒子が付着した磁性を有するキャリアを磁力により吸着させるマグネットローラと、
前記マグネットローラと離間して設けられたバックアップローラであって、前記キャリアから分離した前記電極粒子が成膜される被成膜面を表面に有するバックアップローラと、を備え、
前記バックアップローラの内部には、前記マグネットローラの前記磁極と反発する反発磁極を有する反発磁極部材であって、前記マグネットローラと前記バックアップローラとの間に位置する飛翔領域において磁界変化を生じさせる反発磁極部材が設けられている、静電成膜装置。

【請求項2】

請求項１に記載の静電成膜装置であって、
前記マグネットローラは、前記電極粒子が付着した前記キャリアを吸着する筒状部材と、
前記筒状部材の内部に設けられ、前記磁極を有する磁極部材と、を有し、
前記反発磁極部材は、前記磁極と前記反発磁極とが周期的に対向するように回転可能に構成されている、静電成膜装置。

【請求項3】

請求項２に記載の静電成膜装置であって、
前記磁極と前記反発磁極とが１秒間当たりに対向する回数は、２０回以上２７０回以下である、静電成膜装置。

【請求項4】

請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載の静電成膜装置であって、
前記バックアップローラは、回転軸を有し、
前記反発磁極部材は、前記内部のうちで前記回転軸と前記マグネットローラとの間に位置する、静電成膜装置。

【請求項5】

静電成膜方法であって、
（ａ）磁性を有するキャリアであって成膜材料である電極粒子が付着した前記キャリアを、磁極の磁力によってマグネットローラに吸着させる工程と、
（ｂ）前記キャリアから前記電極粒子を分離させて、前記電極粒子をバックアップローラの被成膜面に付着させる工程と、を備え、
前記工程（ｂ）は、前記バックアップローラの内部に有する前記磁極と反発する反発磁極によって、前記マグネットローラと前記バックアップローラとの間に位置する飛翔領域において磁界変化を生じさせて前記キャリアを振動させる工程を含む、静電成膜方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、静電成膜装置、および、静電成膜方法の技術に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、現像装置において、磁界発生手段としてのマグネットローラを内側に備えた現像剤担持体の表面に、現像剤を担持して搬送することで、現像剤担持体と対向する感光ドラムの表面にトナー像を現像する技術が知られている（特許文献１）。現像剤は、トナーと、磁性を有するキャリアとを備える。この技術では、キャリアがマグネットローラの磁束に拘束された状態で、摩擦帯電したトナーが静電的にキャリアに拘束され磁気穂を形成する。そして、磁気穂を感光ドラムと接触させてトナーを感光ドラムに供給することで、トナー像を現像する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１７－１２９６０７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

リチウムイオン電池等に用いられる電極を成膜する技術として、例えば、電極粒子を含むペーストを帯状金属箔の表面に塗布して乾燥させる湿式成膜がある。本願発明者らは、特許文献１に記載された磁界発生手段を備える現像装置によってトナー像を現像する技術を電極の成膜に適用することを検討した。特許文献１に記載された技術を電極の成膜に適用する場合、電極粒子がキャリアから分離しづらく、高い成膜効率を得ることができない場合が生じ得る。よって、マグネットローラから電極粒子をより多く飛翔させて、成膜効率を向上させることのできる技術が望まれる。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本開示は、以下の形態として実現することが可能である。

【0006】

（１）本開示の一形態によれば、静電成膜装置が提供される。この静電成膜装置は、磁極を有するマグネットローラであって、成膜材料である電極粒子が付着した磁性を有するキャリアを磁力により吸着させるマグネットローラと、前記マグネットローラと離間して設けられたバックアップローラであって、前記キャリアから分離した前記電極粒子が成膜される被成膜面を表面に有するバックアップローラと、を備え、前記バックアップローラの内部には、前記マグネットローラの前記磁極と反発する反発磁極を有する反発磁極部材であって、前記マグネットローラと前記バックアップローラとの間に位置する飛翔領域において磁界変化を生じさせる反発磁極部材が設けられている。この形態によれば、飛翔領域において、磁極と反発する反発磁極とによって磁界変化を生じさせる。そのため、電極粒子が付着したキャリアを磁界変化によって振動させることができる。この振動によってキャリアに対して静電的に拘束された電極粒子をキャリアから分離しやすくできるので、成膜効率を向上させることができる。
（２）上記形態であって、前記マグネットローラは、前記電極粒子が付着した前記キャリアを吸着する筒状部材と、前記筒状部材の内部に設けられ、前記磁極を有する磁極部材と、を有し、前記反発磁極部材は、前記磁極と前記反発磁極とが周期的に対向するように回転可能に構成されていてもよい。この形態によれば、反発磁極部材が周期的に回転することで、磁界変化を容易に生じさせることができる。
（３）上記形態であって、前記磁極と前記反発磁極とが１秒間当たりに対向する回数は、２０回以上２７０回以下であってもよい。この形態によれば、成膜効率をより一層向上させることができる。
（４）上記形態であって、前記バックアップローラは、回転軸を有し、前記反発磁極部材は、前記内部のうちで前記回転軸と前記マグネットローラとの間に位置してもよい。この形態によれば、反発磁極部材をバックアップローラの内部全体に設ける場合と比べて、反発磁極部材を小型化できる。これにより、同一の駆動力に対する単位時間当たりの反発磁極部材の回転数を効率的に増大できる。
（５）本開示の他の形態によれば、静電成膜方法が提供される。この静電成膜方法は、（ａ）磁性を有するキャリアであって成膜材料である電極粒子が付着した前記キャリアを、磁極の磁力によってマグネットローラに吸着させる工程と、（ｂ）前記キャリアから前記電極粒子を分離させて、前記電極粒子をバックアップローラの被成膜面に付着させる工程と、を備え、前記工程（ｂ）は、前記バックアップローラの内部に有する前記磁極と反発する反発磁極によって、前記マグネットローラと前記バックアップローラとの間に位置する飛翔領域において磁界変化を生じさせて前記キャリアを振動させる工程を含む。この形態によれば、飛翔領域において、磁極と反発する反発磁極とによって周期的な磁界変化を生じさせる。そのため、電極粒子が付着したキャリアを磁界変化によって振動させることができる。この振動によってキャリアに対して静電的に拘束された電極粒子をキャリアから分離しやすくできるので、成膜効率を向上させることができる。
本開示は、上記の静電成膜装置、および、静電成膜方法以外の種々の形態で実現することが可能である。例えば、静電成膜装置の製造方法や静電成膜装置の制御方法、その制御方法を実現するコンピュータプログラム、そのコンピュータプログラムを記録した一時的でない記録媒体等の形態で実現することができる。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】本実施形態の静電成膜装置の概略構成を示す図。

【図2】本実施形態の成膜部における各構成要素の位置関係を説明するための図。

【図3】成膜部における電極粒子とキャリアとの挙動を説明するための図。

【図4】電極粒子の成膜量と磁気振動数との関係を示すグラフ。

【発明を実施するための形態】

【0008】

Ａ．実施形態：
図１は、本実施形態の静電成膜装置１の概略構成を示す図である。図１では、静電成膜装置１を側面から見たときの状態を示している。静電成膜装置１は、成膜材料である電極粒子Ｅが付着した磁性を有するキャリアＣを、マグネットローラ２０の磁力により吸着し、磁界変化を利用して電極粒子Ｅが付着したキャリアＣを振動させる。この振動と、マグネットローラ２０の回転に伴う遠心力により、静電成膜装置１は、キャリアＣから電極粒子Ｅを分離させることで電極粒子Ｅの集合体としての電極を成膜する。静電成膜装置１は、例えば、シート状の電極を成膜する。シート状の電極は、例えば、リチウムイオン電池などの二次電池用の電極として用いられる。静電成膜装置１は、供給部２と、成膜部３と、回収部４と、調整部５と、定着部６と、制御装置７と、を備える。電極粒子Ｅは、供給部２、成膜部３、調整部５、定着部６の順に搬送される。つまり、本実施形態では、供給部２が電極粒子Ｅの搬送方向における上流側である。また、定着部６が電極粒子Ｅの搬送方向における下流側である。また、以下において、重力方向を下側、重力方向とは反対方向を上側とする。

【0009】

供給部２は、静電成膜装置１の搬送方向において成膜部３よりも上流側に設けられる。供給部２は、電極粒子ＥとキャリアＣを後述する成膜部３に供給する。供給部２は、混合体貯留室２００と、３つの供給室２１１，２１２，２１３とを備える。以下において、まず、電極粒子ＥおよびキャリアＣについて説明する。

【0010】

電極粒子Ｅは、反磁性体であり、後述する磁極部材２１や反発磁極部材６０による磁力によって吸着されない。さらに、電極粒子Ｅは、電子伝導性を有し、活物質を含む。正極の電極を成膜する場合、電極粒子Ｅは正極の活物質を含む。正極の活物質としては、種々の酸化物、例えば、リチウムコバルト複合酸化物、リチウムマンガン複合酸化物が用いられる。また、負極の電極を成膜する場合、電極粒子Ｅは負極の活物質を含む。負極の活物質は、例えば、炭素系材料、チタン酸リチウム系材料、酸化物系材料、合金系材料、リチウム金属系材料が用いられる。なお、電極を構成する電極粒子Ｅは、本開示に限定されるものではなく、電子伝導性を有するものであればよい。また、電極粒子Ｅは、同極の活物質同士であれば２種以上の活物質を含んでもよい。

【0011】

キャリアＣは、磁性体であるフェライト系粒子に非金属である樹脂被覆を施して構成されている。非金属の樹脂被覆は、導電性を有することが好ましい。キャリアＣは、磁性を有するため、後述するマグネットローラ２０の磁力によって引き寄せられて、後述する筒状部材３０の表面に吸着される。

【0012】

電極粒子ＥとキャリアＣとは、攪拌装置によって混合されて、電極粒子ＥがキャリアＣに付着して混合体ＥＣとなった状態で静電成膜装置１に供給される。具体的には、電極粒子ＥがキャリアＣとの摩擦によって負に帯電し、キャリアＣの表面に分散した状態で静電的に付着することで混合体ＥＣが形成される。なお、混合体ＥＣは、磁性を有するキャリアＣを含むため、磁性体として機能する。

【0013】

続いて、供給部２の各構成要素とその機能について説明する。混合体貯留室２００は、供給部２において、後述する第１供給室２１１よりも上流側に設けられる。混合体貯留室２００は、混合体ＥＣを貯留する。混合体ＥＣは、図示しない通路により、混合体貯留室２００へと供給される。さらに、混合体ＥＣは、混合体貯留室２００と後述する第１供給室２１１とが連通する連通口２０１を通じて、混合体貯留室２００から後述する第１供給室２１１へと供給される。

【0014】

供給室２１１，２１２，２１３は、供給部２において、混合体貯留室２００の下流側にこの順で設けられる。供給室２１１，２１２，２１３は、混合体貯留室２００から供給される混合体ＥＣを後述する成膜部３に向けて搬送し、後述する成膜部３に供給する。以下において、３つの供給室２１１，２１２，２１３は、それぞれを第１供給室２１１、第２供給室２１２、第３供給室２１３と呼ぶ。

【0015】

第１供給室２１１は、混合体貯留室２００から供給される混合体ＥＣを受容し、第２供給室２１２に供給する。第１供給室２１１は、混合体貯留室２００の下流側、かつ、第２供給室２１２の上流側に設けられる。第１供給室２１１は、半円筒形状であり、上部が開口した形状を成す。第１供給室２１１のうち、混合体貯留室２００の連通口２０１が位置する側には、後述する第２壁部２１６よりも高さが高い第１壁部２１５が形成されている。第１供給室２１１は、複数の羽を有する第１回転翼２２１を備える。本実施形態では、第１回転翼２２１は、６つの羽を有する。第１回転翼２２１の６つの羽は、図示しない中心軸から放射状に広がる形状を成す。また、第１回転翼２２１は、後述する制御装置７の制御により、図示しない中心軸を中心として回転する。第１回転翼２２１の回転方向は、混合体ＥＣを第２供給室２１２へと供給できる向きである。図１では、第１回転翼２２１は搬送方向と同じ方向に回転している。これにより、混合体貯留室２００から供給される混合体ＥＣは、第１供給室２１１における第１回転翼２２１の回転により、第２供給室２１２へと供給される。

【0016】

第２供給室２１２は、第１供給室２１１から供給される混合体ＥＣを受容し、成膜部３に供給する。第２供給室２１２は、第１供給室２１１の下流側、かつ、第３供給室２１３の上流側に設けられる。本実施形態では、供給室２１１，２１２，２１３のうち、第２供給室２１２が後述する汲み上げ磁極Ｎ１の最も近くに位置する。第２供給室２１２は、半円筒形状であり、上部が開口した形状を成す。第１供給室２１１と第２供給室２１２との間には、両者を隔てる間仕切りとしての第２壁部２１６が形成されている。第２供給室２１２は、第１回転翼２２１と同様の形状を成す第２回転翼２２２を備える。第２回転翼２２２は、第２供給室２１２と成膜部３との位置関係により、混合体ＥＣが良好に供給できる方向に回転させることが好ましい。本実施形態では、第２回転翼２２２は、後述する制御装置７の制御により、図示しない中心軸を中心として第１回転翼２２１と同じ方向に回転する。これにより、第１供給室２１１から供給される混合体ＥＣは、第２供給室２１２における第２回転翼２２２の回転により、成膜部３へと供給される。成膜部３に供給される混合体ＥＣは、後述するマグネットローラ２０の磁極の1つである汲み上げ磁極Ｎ１の磁力によって引き寄せられ、後述する筒状部材３０の表面に吸着される。このとき、第２供給室２１２から供給される混合体ＥＣの一部は、筒状部材３０の表面に吸着されず、第２供給室２１２内に戻るほか、後述する第３壁部２１７を超えて第３供給室２１３へ流入する。

【0017】

第３供給室２１３は、第２回転翼２２２の回転により後述する第３壁部２１７を超えて第３供給室２１３に流入した混合体ＥＣを受容し、第２供給室２１２に供給する。第３供給室２１３は、半円筒形状であり、上部が開口した形状を成す。第２供給室２１２と第３供給室２１３との間には、両者を隔てる間仕切りとしての第３壁部２１７が形成されている。また、第３供給室２１３と後述する回収室４２０との間には、両者を隔てる第４壁部２１８が形成されている。第３供給室２１３は、第１回転翼２２１と同様の形状を成す第３回転翼２２３を備える。第３回転翼２２３は、第２回転翼２２２の回転方向とは反対の方向に回転させることが好ましい。本実施形態では、第３回転翼２２３は、後述する制御装置７の制御により、図示しない中心軸を中心として第２回転翼２２２とは反対の方向に回転する。これにより、第２回転翼２２２の回転により第３壁部２１７を越えて第３供給室２１３に流入した混合体ＥＣを第２供給室２１２に供給することができる。

【0018】

成膜部３は、静電成膜装置１において、供給部２よりも上流側、かつ、後述する調整部５よりも下流側に設けられる。成膜部３では、供給部２から供給される混合体ＥＣを後述するマグネットローラ２０に吸着させる工程と、後述するバックアップローラ５０と対向する位置に向けて搬送する工程とが実行される。さらに、成膜部３では、後述する飛翔領域３００において電極粒子ＥをキャリアＣから分離させ、後述する被成膜面６８に電極粒子Ｅを成膜する工程が実行される。成膜部３の詳細構成は後述する。

【0019】

図２は、本実施形態の成膜部３における各構成要素の位置関係を説明するための図である。図２では、静電成膜装置１の成膜部３を正面から見たときの状態を模式的に示している。図２では、静電成膜装置１の内部構成も模式的に示している。成膜部３は、マグネットローラ２０と、バックアップローラ５０と、反発磁極部材６０と、図１に示す接地部材８０と、これらの土台となる台座１８と、を備える。以下において、成膜部３における各構成要素とその位置関係とを説明する。なお、成膜部３における電極粒子ＥとキャリアＣとの挙動については、後述する。以下において、まず成膜部３の各構成要素およびその位置関係について説明する。

【0020】

マグネットローラ２０は、筒状部材３０と、磁界発生手段としての磁極部材２１と、図１に示す規制部材２５と、図示しない電圧供給部と、図示しない電気配線と、を備える。

【0021】

筒状部材３０は、後述する磁極部材２１の磁力により、混合体ＥＣを吸着して搬送する表面を有する。筒状部材３０は、円筒形状を成す。筒状部材３０は、導電性の非磁性材料で形成され、例えば、アルミニウムや非磁性ステンレス鋼で形成される。筒状部材３０の長手方向は、台座１８に対して水平となる方向である。筒状部材３０は、筒状部材本体３１と、第１軸部３２とにより構成される。筒状部材本体３１は、後述する磁極部材２１を内包する。第１軸部３２は、筒状部材３０の回転軸である筒回転軸Ｏ１を形成する。第１軸部３２は台座１８から垂直方向に立設する第１支持部材３３により回転可能に支持され、これにより、筒状部材３０は支持される。なお、筒状部材３０は、後述する制御装置７の制御により、筒回転軸Ｏ１回りに回転する。後述の図３において図示するが、本実施形態では、筒状部材３０の回転方向は、第２回転翼２２２の回転方向とは反対の方向である。である。また、本実施形態では、筒回転軸Ｏ１が延びる方向は、水平方向である。

【0022】

磁極部材２１は、筒状部材３０の内部に設けられる。磁極部材２１は、筒状部材３０より径が小さく設けられた磁極部材本体２１ａと、第２軸部２２と、により構成される。磁極部材２１の長手方向は、筒状部材３０と同様に、水平方向である。

【0023】

磁極部材本体２１ａは、複数の磁石で構成され、それぞれに磁極Ｎ１，Ｓ１，Ｎ２，Ｓ２，Ｎ３を有する。磁極部材本体２１ａは、後述する第２軸部２２を中心として放射状に形成される。磁極部材本体２１ａの詳細については、図３を用いて後述する。

【0024】

第２軸部２２は、磁極部材本体２１ａよりも径が小さくなるよう設けられる。磁極部材２１は、磁極部材２１の第２軸部２２を、第１支持部材３３により支持することで、筒状部材３０の内部に固定されている。なお、本実施形態では、磁極部材２１は、回転することなく固定されている。なお、磁極部材２１は、筒状部材３０の内部において回転することなく固定されていればよく、磁極部材２１を支持する位置および数は、本開示に限られるものではない。

【0025】

規制部材２５は、磁極部材２１の磁力により筒状部材３０の表面に吸着された混合体ＥＣのうち、過剰分を脱落させる。規制部材２５の詳細は、図３を用いて後述する。

【0026】

電圧供給部は、図示しないが、マグネットローラ２０、特に筒状部材３０に電圧を供給する電圧供給装置を含む。マグネットローラ２０と図示しない電圧供給部は、図示しない電気配線により接続される。マグネットローラ２０は、図示しない電気配線を介して、電圧供給部から予め定められた電圧を印加される。電極粒子Ｅの成膜時におけるマグネットローラ２０に対する電圧の印加の態様については、後述する。なお、マグネットローラ２０における各構成要素の形状、形成位置、大きさ、および、回転の態様は本開示に限られるものではない。

【0027】

バックアップローラ５０は、バックアップローラ５０の表面に被成膜面６８を有し、後述する箔Ｆを搬送する。バックアップローラ５０は、マグネットローラ２０と離間して設けられる。図２で示す例では、バックアップローラ５０は、マグネットローラ２０の上側に設けられている。また、図２では、マグネットローラ２０の表面における一部とバックアップローラ５０の表面における一部とは対向している。バックアップローラ５０は、円筒形状を成す。バックアップローラ５０は、金属等の導電性材料で形成され、例えば、アルミニウムで形成される。バックアップローラ５０の長手方向は、水平方向である。

【0028】

バックアップローラ５０は、バックアップローラ本体５１と、第３軸部５２と、により構成される。バックアップローラ本体５１は、後述する反発磁極部材６０を内包する。バックアップローラ５０は、バックアップローラ回転軸Ｏ３を形成する第３軸部５２を有する。図２では、第３軸部５２は、バックアップローラ本体５１より径が小さくなるよう設けられている。第３軸部５２は、台座１８から垂直方向に立設する第３支持部材５３により回転可能に支持され、これにより、バックアップローラ５０は支持される。バックアップローラ５０は、後述する制御装置７の制御により、バックアップローラ５０の中心軸であるバックアップローラ回転軸Ｏ３回りに回転する。本実施形態では、バックアップローラ５０の回転方向は、マグネットローラ２０の回転方向とは反対方向である。また、本実施形態では、バックアップローラ回転軸Ｏ３が延びる方向は、水平方向である。

【0029】

バックアップローラ５０は、バックアップローラ５０の表面のうち、マグネットローラ２０と対向する位置において、キャリアＣから分離した電極粒子Ｅが成膜される被成膜面６８を有する。本実施形態では、図１に示すように、被成膜面６８に沿うように長尺状の箔Ｆが連続的に供給される。すなわち、キャリアＣから分離した電極粒子Ｅは、被成膜面６８に直接成膜されるのではなく、被成膜面６８上に供給される箔Ｆ上に成膜される。箔Ｆは、金属等の導電性材料で形成され、例えば、アルミニウムにより形成される。箔Ｆはシート状の電極の土台としての機能を有する。箔Ｆと、箔Ｆ上に成膜された電極粒子Ｅとしての成形前電極Ｉと、は後述する定着部６において押圧され、箔Ｆと電極粒子Ｅとが密着して一体となることで、シート状の電極が製造される。

【0030】

なお、バックアップローラ５０は、反発磁極部材６０よりも径が大きければよく、バックアップローラ５０の各構成要素の形状、形成位置、大きさ、および、回転の態様は本開示に限定されるものではない。

【0031】

反発磁極部材６０は、バックアップローラ５０の内部のうち、バックアップローラ回転軸Ｏ３とマグネットローラ２０との間に設けられている。本実施形態では、反発磁極部材６０は、バックアップローラ回転軸Ｏ３よりも下側に設けられている。反発磁極部材６０は、磁界発生手段である。反発磁極部材６０は、磁極部材２１が有する後述する対向磁極Ｎ２と反発磁極部材６０が有する反発磁極Ｎとが対向する対向位置と、後述する対向磁極Ｎ２と反発磁極Ｎとが対向しない非対向位置と、に変位可能に構成される。本実施形態では、固定された位置に存在する後述する対向磁極Ｎ２に対して、反発磁極Ｎを有する反発磁極部材６０を回転させることで、対向位置と非対向位置とに変位可能としている。反発磁極部材６０は、反発磁極部材本体６０ａと、反発磁極回転軸Ｏ４を形成する第４軸部６２とを有する。反発磁極部材６０の長手方向は、バックアップローラ５０と同様に、水平方向である。

【0032】

反発磁極部材本体６０ａは、複数の磁石で構成される。図１で示すように、反発磁極部材本体６０ａを構成する磁石は、それぞれに反発磁極Ｎを有する。図１および図２に示すように、反発磁極部材本体６０ａを構成する複数の磁石は板状であり、第４軸部６２により支持される。

【0033】

第４軸部６２は、バックアップローラ５０の内部において、回転可能に支持される。このとき、反発磁極部材本体６０ａは、後述する制御装置７の制御により、反発磁極回転軸Ｏ４回りに回転する。本実施形態では、反発磁極部材６０は、マグネットローラ２０とは反対の方向に回転する。反発磁極回転軸Ｏ４が延びる方向は、水平方向である。なお、反発磁極部材本体６０ａを構成する磁石の数および形成位置は、これに限られるものではない。反発磁極部材本体６０ａは、後述する対向磁極Ｎ２と対向して反発する反発磁極Ｎを有していればよい。反発磁極部材本体６０ａは、例えば、５つの磁石により構成され、５つの磁極を有してもよい。反発磁極部材本体６０ａの詳細については、図３を用いて後述する。

【0034】

反発磁極部材６０の各構成要素の形状、形成位置、大きさ、回転の態様、対向位置と非対向位置との変位手段は、上記に限定されるものではない。反発磁極部材６０は、バックアップローラ５０よりも径が小さく設けられ、対向磁極Ｎ２と反発磁極Ｎとが対向する対向位置と、対向磁極Ｎ２と反発磁極Ｎとが対向しない非対向位置と、に変位可能に構成されればよい。

【0035】

図１に戻り、静電成膜装置１が備える他の構成要素について説明する。回収部４は、磁極部材２１の磁力により筒状部材３０の表面に吸着されていた混合体ＥＣが離脱した際に、離脱した混合体ＥＣを回収する。回収部４は、排出部材４１０と、回収室４２０とを備える。

【0036】

排出部材４１０は、上述のように離脱した混合体ＥＣを受容し、回収室４２０へと導く。以下において、排出部材４１０のうち、マグネットローラ２０が位置する側を先端側とする。また、排出部材４１０の先端側とは反対側に位置する部分を基端側とする。排出部材４１０の先端側は、磁極部材２１が有する複数の磁極Ｎ１，Ｓ１，Ｎ２，Ｓ２，Ｎ３のうち、後述する離脱磁極Ｎ３と汲み上げ磁極Ｎ１との間であって、筒状部材３０の表面と対向するように設けられる。また、排出部材４１０の基端側は、第４壁部２１８において、回収室４２０の一部と当接する部分に設けられ、回収室４２０の一部に固定されている。なお、排出部材４１０の形状は、本開示に限られるものではない。排出部材４１０は、マグネットローラ２０から離脱した混合体ＥＣを回収室へと導くことができる形状であればよい。

【0037】

回収室４２０は、排出部材４１０の基端側に設けられる。回収室４２０は、排出部材４１０を伝って供給される混合体ＥＣを回収する空間である。このようにして、回収部４は、キャリアＣと、成膜部３においてキャリアＣから分離しなかった電極粒子Ｅと、を回収する。なお、回収室４２０に回収された電極粒子ＥおよびキャリアＣは、図示しない連結部材により、供給部２に供給してもよい。このようにすると、回収室４２０に回収された電極粒子ＥおよびキャリアＣを簡便に再利用することができる。

【0038】

調整部５は、成膜部３において箔Ｆ上に成膜された電極粒子Ｅとしての成形前電極Ｉの状態を確認し、膜の厚み等の調整を行う。調整部５は、厚み補正部材５１０と、押圧部材５２０と、センサ５３０と、キャリア除去装置５４０と、を備える。本実施形態では、厚み補正部材５１０と、押圧部材５２０と、センサ５３０と、キャリア除去装置５４０とは、静電成膜装置１の搬送方向において、この順に設けられている。なお、調整部５の各構成要素および配置される順番は、本開示に限られるものではない。例えば、調整部５に列挙した構成要素は必須ではなく、調整部５は別の構成要素を付加的に備えてもよい。また、各構成要素は本実施形態とは異なる順に配置されてもよい。

【0039】

厚み補正部材５１０は、被成膜面６８における箔Ｆ上に成膜された成形前電極Ｉの厚みを規制する。厚み補正部材５１０は、いわゆるスクレーバである。厚み補正部材５１０の先端は、成形前電極Ｉの外表面と対向するよう設けられる。また、厚み補正部材５１０は、被成膜面６８から成形前電極Ｉの外表面までの厚み方向において、予め定められた距離の分だけ被成膜面６８から離れた位置に設けられる。ここで、バックアップローラ５０が回転しながら、厚み補正部材５１０の先端が成形前電極Ｉの表面に接触することで、予め定められた厚みを超える部分は削ぎ落とされる。すなわち、厚み補正部材５１０により、被成膜面６８における箔Ｆ上に成膜された成形前電極Ｉは予め定められた厚みに規制される。

【0040】

押圧部材５２０は、被成膜面６８において箔Ｆ上に成膜された成形前電極Ｉを押圧し、成膜された電極粒子Ｅの厚みを一定にする。本実施形態では、押圧部材５２０は、後述する制御装置７の制御により、図示しない中心軸を中心に回転するロール状の形状を成す。本実施形態では、押圧部材５２０の回転方向は、バックアップローラ５０の回転方向と同じである。押圧部材５２０は、絶縁体材料により形成され、例えば、ゴムで形成される。押圧部材５２０は、バックアップローラ５０の被成膜面６８上の成形前電極Ｉと接触する接触面を備える。押圧部材５２０の接触面は、バックアップローラ５０の表面と対向するように平行に設けられる。押圧部材５２０は、図示しない中心軸を中心に回転しながら成形前電極Ｉの表面と接触する。本実施形態では、押圧部材５２０は、バックアップローラ５０の回転方向とは反対の方向に回転する。ここで、成形前電極Ｉの厚み方向において、押圧部材５２０と成形前電極Ｉの表面との距離は、厚み補正部材５１０と成形前電極Ｉの表面との距離よりも短くすることが好ましい。このようにすると、厚み補正部材５１０によって予め定められた厚みに規制された箔Ｆ上の成形前電極Ｉを、押圧部材５２０の接触面と接触させたときに、成形前電極Ｉの厚みが均一になる。

【0041】

センサ５３０は、被成膜面６８における箔Ｆ上に成膜された成形前電極Ｉの状態、例えば、表面の凹凸や厚み、キャリアＣの混入の有無、異物の混入の有無などを検出する。センサ５３０は、検出した情報を制御装置７に伝達する。

【0042】

キャリア除去装置５４０は、成膜部３における成膜に際し、成形前電極ＩにキャリアＣが混入した場合に、成形前電極ＩからキャリアＣを除去する。キャリア除去装置５４０は、例えば、磁石で構成され、成形前電極Ｉと対向するよう設けられる。成形前電極Ｉが箔Ｆとともに搬送方向に搬送され、箔Ｆ上の成形前電極Ｉがキャリア除去装置５４０と対向すると、成形前電極Ｉに混入した磁性を有するキャリアＣは、キャリア除去装置５４０の磁力によりキャリア除去装置５４０に吸着される。これに対して、本実施形態における箔Ｆはアルミニウムで構成されるため磁性を有さず、成形前電極Ｉを構成する電極粒子Ｅは反磁性体である。そのため、箔Ｆおよび成形前電極Ｉは、キャリア除去装置５４０による磁力に引き寄せられず、キャリア除去装置５４０に吸着しない。このようにすれば、成形前電極Ｉに混入したキャリアＣを除去し、箔Ｆ上の電極粒子Ｅの純度を向上させることができる。なお、箔Ｆとして磁性を有する金属箔を使用する場合には、キャリア除去装置５４０の磁力による箔Ｆの浮き上がりを防止するためのローラを設ければよい。この場合、例えば、箔Ｆの搬送方向において、キャリア除去装置５４０の上流側と下流側とに一対のローラを設ける。なお、キャリア除去装置５４０は、成形前電極Ｉに混入したキャリアＣに関する情報、例えば、混入箇所や混入量を、センサで認識し、制御装置７を介して取得してもよい。

【0043】

定着部６は、箔Ｆと箔Ｆ上に成膜された成形前電極Ｉとを押圧し、箔Ｆと成形前電極Ｉとを密着させ、一体化させる。定着部６は、搬送方向において、調整部５の下流側に設けられる。定着部６は、定着ローラ６１０，６２０を備える。定着ローラ６１０，６２０は、箔Ｆと箔Ｆ上に成膜された成形前電極Ｉとを搬送方向に挟み込む一対のローラである。すなわち、定着ローラ６１０，６２０は、箔Ｆ側に位置する一面と、一面とは反対側に位置し成形前電極Ｉ側としての他面と、にそれぞれ設けられる。定着ローラ６１０，６２０は、後述する制御装置７の制御により、箔Ｆの搬送速度に同期して回転するとともに、図示しない加熱装置にて箔Ｆと成形前電極Ｉとを加熱する。そして、定着部６は、対を成す定着ローラ６１０と定着ローラ６２０との間を、箔Ｆと成形前電極Ｉとが通過する際に、圧力および熱を加えて、成形前電極Ｉを箔Ｆに定着させる。これにより、箔Ｆと成形前電極Ｉとが一体になることで、シート状の電極が製造される。

【0044】

接地部材８０は、導電性を有するバックアップローラ５０および箔Ｆを無電荷にする。接地部材８０は、接地（アース）されている。接地部材８０は、バックアップローラ５０のバックアップローラ本体５１と当接し、バックアップローラ５０の電荷を無電荷の状態に保つ。

【0045】

制御装置７は、以上において説明した静電成膜装置１の各構成要素に対して、駆動力を与えて制御する。図１では、制御装置７と電気的に接続されて制御される静電成膜装置１の各構成要素のうち、電気的な接続の態様の一部を代表して模式的に図示している。具体的には、制御装置７は、第１回転翼２２１と、第２回転翼２２２と、第３回転翼２２３と、筒状部材３０と、バックアップローラ５０と、反発磁極部材６０と、押圧部材５２０と、定着ローラ６１０，６２０と、に駆動力を与える。これにより、静電成膜装置１の各構成要素２２１，２２２，２２３，３０，５０，６０，５２０，６１０，６２０は、回転する。制御装置７は、図示しないモータを含む。制御装置７と各構成要素２２１，２２２，２２３，３０，５０，６０，５２０，６１０，６２０とは、電気配線により接続されている。なお、静電成膜装置１の各構成要素２２１，２２２，２２３，３０，５０，６０，５２０，６１０，６２０の回転速度は、制御装置７のモータの回転数により制御される。

【0046】

以上で説明した静電成膜装置１を前提として、成膜部３における各構成要素の詳細および電極粒子ＥとキャリアＣとの挙動について説明する。

【0047】

図３は、成膜部３における電極粒子ＥとキャリアＣとの挙動を説明するための図である。図３では、静電成膜装置１の成膜部３を側面から見たときの状態を模式的に示している。また、図３では、被成膜面６８に搬送される長尺状の箔Ｆは、バックアップローラ５０と当接する部分のみを模式的に示している。以下において、まず、磁極部材２１が有する各磁極Ｎ１，Ｓ１，Ｎ２，Ｓ２，Ｎ３の構成ついて説明する。

【0048】

前述の通り、磁極部材２１において、磁界発生手段として機能する磁極部材本体２１ａは、複数の磁石で構成され、それぞれに磁極Ｎ１，Ｓ１，Ｎ２，Ｓ２，Ｎ３を有する。本実施形態では、磁極部材本体２１ａは５つの磁石によって構成される。すなわち、磁極部材本体２１ａの磁極の数は５つである。５つの磁石は、図３に示すように、板状を成し、第２軸部２２を中心として放射状に広がる形状を成す。以下において、磁極部材本体２１ａを構成する各磁石と第２軸部２２とが当接する部分を第１基端部とする。また、各磁石において第１基端部とは反対側に位置する部分、すなわち、筒状部材３０の内表面と対向する部分を第１先端部とする。磁極部材本体２１ａの磁極Ｎ１，Ｓ１，Ｎ２，Ｓ２，Ｎ３は、各磁石の第１先端部に位置する。

【0049】

磁極部材本体２１ａの各磁極Ｎ１，Ｓ１，Ｎ２，Ｓ２，Ｎ３は、汲み上げ磁極Ｎ１と、第１搬送磁極Ｓ１と、対向磁極Ｎ２と、第２搬送磁極Ｓ２と、離脱磁極Ｎ３である。汲み上げ磁極Ｎ１と、第１搬送磁極Ｓ１と、対向磁極Ｎ２と、第２搬送磁極Ｓ２と、離脱磁極Ｎ３とは、筒状部材３０の内部において、この順に設けられる。

【0050】

汲み上げ磁極Ｎ１は、図１に示すように、第２供給室２１２の上側において、第２供給室２１２と対向する位置に設けられる。本実施形態では、汲み上げ磁極Ｎ１の極性は、Ｎ極である。

【0051】

対向磁極Ｎ２は、反発磁極部材６０と対向する位置に設けられる。すなわち、対向磁極Ｎ２は、バックアップローラ５０の被成膜面６８および被成膜面６８に供給される箔Ｆと対向する。本実施形態では、対向磁極Ｎ２の極性は、Ｎ極である。

【0052】

第１搬送磁極Ｓ１は、汲み上げ磁極Ｎ１と対向磁極Ｎ２との間に設けられる。本実施形態では、第１搬送磁極Ｓ１の極性は、汲み上げ磁極Ｎ１と対向磁極Ｎ２とは異なるＳ極である。

【0053】

離脱磁極Ｎ３は、汲み上げ磁極Ｎ１と隣り合う位置、かつ、筒状部材３０の表面と排出部材４１０の先端とが対向する位置よりも第２搬送磁極Ｓ２側に設けられる。本実施形態では、離脱磁極Ｎ３の極性は、離脱磁極Ｎ３と隣り合う汲み上げ磁極Ｎ１と同極のＮ極である。

【0054】

第２搬送磁極Ｓ２は、対向磁極Ｎ２と離脱磁極Ｎ３との間に設けられる。本実施形態では、第２搬送磁極Ｓ２の極性は、対向磁極Ｎ２と離脱磁極Ｎ３とは異なるＳ極である。

【0055】

なお、磁極部材本体２１ａが有する複数の磁極Ｎ１，Ｓ１，Ｎ２，Ｓ２，Ｎ３の位置および数は、これに限られるものではない。磁極部材本体２１ａが有する磁極は、後述する反発磁極Ｎと対向する位置に後述する反発磁極Ｎと同極の対向磁極Ｎ２を有し、マグネットローラ２０により混合体ＥＣを搬送する部分は、異極の磁極同士が隣り合うように位置すればよい。

【0056】

次に、磁極部材本体２１ａが有する各磁極Ｎ１，Ｓ１，Ｎ２，Ｓ２，Ｎ３の機能と、マグネットローラ２０による混合体ＥＣの搬送時における電極粒子ＥとキャリアＣとの挙動について説明する。

【0057】

まず、混合体ＥＣはマグネットローラ２０に吸着される。混合体ＥＣがマグネットローラ２０へ吸着される吸着態様は以下の通りである。図１に示すように、供給部２には、負に帯電した電極粒子ＥがキャリアＣに対して静電的に付着した混合体ＥＣが供給される。この混合体ＥＣは、混合体貯留室２００と第１供給室２１１とを経由して、第２供給室２１２へと搬送される。第２供給室２１２に搬送された混合体ＥＣは、第２回転翼２２２の回転により、第２回転翼２２２が有する複数の羽に押し上げられて、マグネットローラ２０に近づく。このとき、第２供給室２１２の最も近くに位置する磁極は、汲み上げ磁極Ｎ１である。汲み上げ磁極Ｎ１の極性はＮ極であり、Ｎ極の磁極は、磁力により磁性体を引き寄せる性質を有する。また、磁性を有するキャリアＣと電極粒子Ｅとの混合物である混合体ＥＣは、前述した通り磁性体として機能している。そのため、混合体ＥＣは、磁力が加わると、加わった磁力により引き寄せられたり反発したりする状態であり、その挙動は磁力線に追従する。ここで言う磁力線とは、各磁極の周囲に生じる磁界の分布を仮想的に表す線のことである。これにより、第２供給室２１２の第２回転翼２２２によって押し上げられた混合体ＥＣは、第２供給室２１２の最も近くに位置する汲み上げ磁極Ｎ１の磁力によりマグネットローラ２０側に引き寄せられる。さらに、汲み上げ磁極Ｎ１に引き寄せられた混合体ＥＣは、磁極部材２１の外形を構成する筒状部材３０の表面のうち、汲み上げ磁極Ｎ１と対向する位置に吸着される。

【0058】

筒状部材３０の表面に吸着された混合体ＥＣは、磁力線の向きに追従した形状を成す。具体的には、汲み上げ磁極Ｎ１と対向する位置に吸着された混合体ＥＣは、図３に示すように、汲み上げ磁極Ｎ１と筒状部材３０とが対向する位置から遠ざかる方向に向かって、立ち上がる。このとき、混合体ＥＣは、キャリアＣを軸とし、このキャリアＣに電極粒子Ｅが付着した稲穂形状を成す磁気穂を形成する。すなわち、稲穂における穂軸が本実施形態におけるキャリアＣに相当する。また、稲穂における籾が本実施形態における電極粒子Ｅに相当する。図３に示す例では、汲み上げ磁極Ｎ１と対向する位置に吸着された混合体ＥＣは、７つのキャリアＣに複数の電極粒子Ｅが付着した状態である。このとき、筒状部材３０の回転に伴い、混合体ＥＣは、筒状部材３０の表面に吸着された状態で、稲穂形状を磁力線に追従した形状に変化させながら、図３に示すように、マグネットローラ２０の回転方向に搬送される。

【0059】

汲み上げ磁極Ｎ１と第１搬送磁極Ｓ１との間には、規制部材２５が設けられている。このとき、マグネットローラ２０の搬送工程において、マグネットローラ２０に吸着された混合体ＥＣの長さを予め定められた長さに規制するため、規制部材２５が筒状部材３０の表面から予め定められた距離だけ離間した位置に設けられる。また、規制部材２５は、先端側が筒状部材３０の表面と対向するように設けられるため、筒状部材３０が回転すると、マグネットローラ２０に吸着された混合体ＥＣは、規制部材２５の先端側と接触する。そして、予め定められた長さを超えて過剰に吸着されたキャリアＣおよび電極粒子Ｅは、規制部材２５の先端側との接触により切り離され、脱落する。これにより、マグネットローラ２０に吸着された混合体ＥＣは、その混合体ＥＣの長さが均一化された状態で第１搬送磁極Ｓ１に向けて搬送される。なお、マグネットローラ２０に吸着された混合体ＥＣのうち、規制部材２５により切り離されて脱落した電極粒子ＥとキャリアＣとは、供給室２１１～２１３に受容され、再び汲み上げ磁極Ｎ１に供給される。なお、規制部材２５の形状および形成位置は、本開示に限られるものではない。規制部材２５は、筒状部材３０の回転方向において、汲み上げ磁極Ｎ１と対向磁極Ｎ２との間であって、マグネットローラ２０に吸着された混合体ＥＣと対向する位置に設ければよい。規制部材２５は、例えば、第１搬送磁極Ｓ１と対向磁極Ｎ２との間に位置してもよい。

【0060】

さらに、筒状部材３０の回転により、マグネットローラ２０に吸着された混合体ＥＣは、その形状を磁力線に追従させながら第１搬送磁極Ｓ１に搬送される。汲み上げ磁極Ｎ１と第１搬送磁極Ｓ１とは、磁極の極性が異なる。仮に、第１搬送磁極Ｓ１に位置する磁極が汲み上げ磁極Ｎ１と同じＮ極である場合、汲み上げ磁極Ｎ１と隣り合う磁極との間に反発する磁界が生じ、マグネットローラ２０に吸着された混合体ＥＣがマグネットローラ２０から離脱してしまう。これに対して、本実施形態では、汲み上げ磁極Ｎ１とは異なる極性の第１搬送磁極Ｓ１を設けることで、混合体ＥＣを反転させながら搬送している。筒状部材３０の表面のうち、汲み上げ磁極Ｎ１と第１搬送磁極Ｓ１との中央付近では、混合体ＥＣは磁力線に追従して弓状に湾曲した形状を成している。つまり、混合体ＥＣの基端と先端とは、汲み上げ磁極Ｎ１と対向する位置に吸着される時点と、第１搬送磁極Ｓ１と対向する位置に吸着される時点との間で反転している。

【0061】

第１搬送磁極Ｓ１と対向する位置に搬送された混合体ＥＣは、さらに、マグネットローラ２０とバックアップローラ５０とが対向する位置に向けて搬送され、筒状部材３０の表面において、対向磁極Ｎ２に近接する領域に到達する。対向磁極Ｎ２を内包するマグネットローラ２０とバックアップローラ５０との間の領域において、電極粒子ＥがキャリアＣから分離して飛翔することで、箔Ｆ上に付着する。よって、マグネットローラ２０とバックアップローラ５０との間に位置するこの領域を飛翔領域３００とも呼ぶ。なお、第１搬送磁極Ｓ１と対向磁極Ｎ２とは、磁極の極性が異なっている。そのため、マグネットローラ２０に吸着された混合体ＥＣが第１搬送磁極Ｓ１から対向磁極Ｎ２へと搬送されるときの態様は、前述した搬送態様と同様である。

【0062】

前述の通り、反発磁極部材６０において、磁界発生手段として機能する反発磁極部材本体６０ａは、複数の磁石で構成され、それぞれに反発磁極Ｎを有する。本実施形態では、反発磁極部材本体６０ａは４つの磁石で構成される。すなわち、本実施形態の反発磁極部材本体６０ａは４つの反発磁極Ｎを有する。反発磁極部材本体６０ａにおける４つの反発磁極Ｎの機能は同一であるため、図３において同じ符号を付している。反発磁極部材本体６０ａを構成する４つの磁石は、図３に示すように、板状を成し、第４軸部６２を中心として放射状に広がった形状を成す。本実施形態では、反発磁極部材本体６０ａを構成する４つの磁石は等間隔に設けられている。以下において、反発磁極部材本体６０ａを構成する各磁石と第４軸部６２とが当接する部分を第２基端部とする。また、各磁石において第２基端部とは反対側に位置する部分、すなわち、筒状部材３０の内表面と対向する部分を第２先端部とする。反発磁極部材本体６０ａの４つの反発磁極Ｎは、各磁石の第２先端部に位置する。

【0063】

反発磁極Ｎは、対向磁極Ｎ２と対向して反発する磁極である。すなわち、対向磁極Ｎ２の極性はＮ極であるため、反発磁極Ｎも対向磁極Ｎ２と同極のＮ極である。以下において、静電成膜装置１を用いた静電成膜方法と、飛翔領域３００における混合体ＥＣの挙動と電極粒子Ｅの成膜態様と、について説明する。

【0064】

飛翔領域３００に搬送された混合体ＥＣは、以下の２つの力により、混合体ＥＣを構成する電極粒子Ｅの一部がキャリアＣから分離する。

【0065】

１つ目の力は、遠心力である。具体的には、筒状部材３０の回転に伴う遠心力により、混合体ＥＣを構成する電極粒子Ｅの一部がキャリアＣから分離する。遠心力による分離態様では、後述する被成膜面６８上の箔Ｆに電極粒子Ｅが静電的に付着する成膜よりも、混合体ＥＣにおける電極粒子ＥとキャリアＣとの静電的拘束が優位となりやすい。すなわち、静電的に拘束された電極粒子ＥがキャリアＣから分離しづらい。よって、電極粒子Ｅの成膜において、高い成膜効率を得ることができない場合が生じ得る。

【0066】

これに対して、本実施形態の静電成膜装置１は、以下に示す２つ目の力を追加的に発生させる。２つ目の力は、飛翔領域３００において周期的な磁界変化を生じさせてキャリアＣを振動させる力である。具体的には、以下の通りである。対向磁極Ｎ２と反発磁極Ｎとは同極のＮ極同士であり、対向磁極Ｎ２と反発磁極Ｎとが対向するときには、両者が発する磁力により形成される磁界同士がぶつかり合い、両者の間に反発する方向の磁界が生じる。ここで、磁極部材２１は回転することなく、固定されており、反発磁極部材６０は反発磁極回転軸Ｏ４を中心に回転している。これにより、飛翔領域３００において、反発磁極Ｎは、固定された位置に存在する対向磁極Ｎ２に対して周期的に対向する。

【0067】

対向磁極Ｎ２と反発磁極Ｎとが対向した対向位置から、反発磁極部材６０の回転により、対向磁極Ｎ２と反発磁極Ｎとの距離が遠ざかる場合を考える。この場合、対向磁極Ｎ２と反発磁極Ｎとの間に生じる反発する方向の磁界の強度は、対向位置の場合と比べて、対向磁極Ｎ２と反発磁極Ｎとの距離に比例しながら弱くなっていく。前述した非対向位置のうち、対向磁極Ｎ２と反発磁極Ｎとの距離が最も離れたとき、両者の間に生じる反発する方向の磁界の強度は最小となる。一方、反発磁極部材６０がさらに回転すると、対向磁極Ｎ２と反発磁極Ｎとの距離が再び近づいていく。このとき、対向磁極Ｎ２と反発磁極Ｎとの間に生じる反発する方向の磁界の強度は、反発磁極Ｎが対向磁極Ｎ２に近づくにつれて強くなる。そして、再び対向磁極Ｎ２と反発磁極Ｎとが対向する対向位置になると、両者の間に生じる反発する方向の磁界の強度は最大となる。このようにして、静電成膜装置１は、飛翔領域３００において、周期的な磁界変化を生じさせる。

【0068】

磁界変化が混合体ＥＣに与える影響を考える際には、対向磁極Ｎ２および反発磁極Ｎの周囲に生じる磁界の分布を仮想的に表す磁力線を用いると理解が容易になる。上記のように、周期的な磁界変化を生じさせると、マグネットローラ２０に吸着された混合体ＥＣは、周期的な磁界変化に伴う磁力線の変化に追従して、混合体ＥＣの形状が変化する。具体的には、対向磁極Ｎ２と反発磁極Ｎとが対向する対向位置、すなわち反発する方向の磁界の強度が最大の場合、両者の間に形成される反発する方向の磁界は、両者を分断するような磁力線で描かれる。そのため、マグネットローラ２０に吸着された混合体ＥＣは、この磁力線に追従し、混合体ＥＣにおいて軸を成すキャリアＣが倒れた状態になる。図３では、対向位置において、反発する方向の磁界の強度が最大になったときの混合体ＥＣの形状を実線で模式的に示している。これに対して、対向磁極Ｎ２と反発磁極Ｎとの距離が最も離れた状態、すなわち反発する方向の磁界の強度が最小の場合、両者の磁力線は互いを遮ることなく存在する。つまり、対向磁極Ｎ２と反発磁極Ｎとを分断するような磁界は発生しない。そのため、マグネットローラ２０に吸着された混合体ＥＣは、非対向位置のうち、対向磁極Ｎ２と反発磁極Ｎとの距離が最も離れた状態のとき、混合体ＥＣにおいて軸を成すキャリアＣは立ち上がった状態になる。図３では、非対向位置において、反発する方向の磁界の強度が最小となったときの混合体ＥＣの形状を点線で模式的に示している。このように、周期的な磁界変化に伴い、マグネットローラ２０に吸着された混合体ＥＣは、キャリアＣが混合体ＥＣの軸を成した状態で、まるで埃叩きのように、倒れたり立ち上がったりを繰り返す。すなわち、周期的な磁界変化に伴い、マグネットローラ２０に吸着された状態において、混合体ＥＣは振動する。図３では、飛翔領域３００において、この振動により混合体ＥＣの軸を成すキャリアＣが揺れるときの振れを模式的に両矢印で示している。ここで、混合体ＥＣは磁性体であるため、周期的な磁界変化に伴う混合体ＥＣの振動は、磁気振動とも言える。

【0069】

ここで、混合体ＥＣは、キャリアＣに電極粒子Ｅが付着した状態である。そのため、上記のように、飛翔領域３００において、周期的な磁界変化に伴い、キャリアＣが磁気振動することで混合体ＥＣ全体に磁気振動が伝播する。これにより、電極粒子Ｅの一部がキャリアＣから分離する。このとき、混合体ＥＣの磁気振動によって電極粒子Ｅの一部がキャリアＣから分離する態様は、混合体ＥＣを構成するキャリアＣに付着した電極粒子Ｅが磁気振動により、振り落とされる状態である。すなわち、磁気振動により電極粒子Ｅの一部がキャリアＣから分離する場合には、キャリアＣから分離した一部の電極粒子Ｅが被成膜面６８上の箔Ｆに向けて飛翔するとも言える。なお、図３に示す例では、飛翔領域３００において、キャリアＣから分離して飛翔した電極粒子Ｅを飛翔電極粒子Ｅ１として示している。

【0070】

本実施形態における反発磁極部材６０は、バックアップローラ５０の内部のうち、バックアップローラ回転軸Ｏ３とマグネットローラ２０との間に設けられる。このようにすると、反発磁極部材６０をバックアップローラ５０の内部全体に設ける場合と比べて、反発磁極部材６０を小型化できる。これにより、同一の駆動力に対する単位時間当たりの反発磁極部材６０の回転数を効率的に増大できる。すなわち、反発磁極部材６０を小型化することで、後述する磁気振動数を効率的に増大できる。

【0071】

続いて、前述した２つの力としての遠心力と磁気振動による力との少なくとも一方により、キャリアＣから分離した電極粒子Ｅとしての飛翔電極粒子Ｅ１が、被成膜面６８に搬送される箔Ｆ上に成膜される態様について説明する。

【0072】

マグネットローラ２０は、前述した通り、マグネットローラ２０に電圧を供給するための図示しない電圧供給部と接続されている。本実施形態では、図示しない電圧供給部は、マグネットローラ２０に対し、２５５０Ｖの直流電圧を印加している。一方、バックアップローラ５０は、前述した通り、接地部材８０と接続されている。本実施形態では、バックアップローラ５０は、接地部材８０により接地（アース）されているため、電圧は０Ｖである。これにより、静電成膜装置１は、マグネットローラ２０とバックアップローラ５０との間に電位差が設けられた状態である。なお、マグネットローラ２０に印加する電圧はこれに限られるものではなく、例えば、直流電圧に交流電圧を重畳したものを印加してもよい。

【0073】

上記のように、静電成膜装置１では、混合体ＥＣを吸着して搬送するマグネットローラ２０と、被成膜面６８を表面に備えるバックアップローラ５０との間には電位差が設けられる。そのため、負に帯電した飛翔電極粒子Ｅ１は、マグネットローラ２０からバックアップローラ５０へ向かう静電力（クーロン力）を受ける。具体的には、負に帯電した飛翔電極粒子Ｅ１がバックアップローラ５０に近づくと、静電誘導により、バックアップローラ５０の表面には正電荷が集まる。このとき、バックアップローラ５０は、接地部材８０により接地（アース）されている。そのため、バックアップローラ５０における負電荷は大地に流れ、大地からの自由電子の正電荷とバックアップローラ５０の負電荷とが中和し、あたかも、バックアップローラ５０の負電荷は大地に流れたかのように消滅する。その結果、バックアップローラ５０の表面は、正に帯電した状態となる。これにより、遠心力と磁気振動による力との少なくとも一方に起因してキャリアＣから分離した飛翔電極粒子Ｅ１は、静電力によってバックアップローラ５０の被成膜面６８に向かって飛翔し、被成膜面６８に搬送される箔Ｆ上に付着することで、成膜される。

【0074】

なお、マグネットローラ２０とバックアップローラ５０との間に生じる静電力は、キャリアＣから分離した電極粒子Ｅとしての飛翔電極粒子Ｅ１を箔Ｆ上に成膜する工程に加えて、キャリアＣから電極粒子Ｅを分離させる工程にも寄与する。すなわち、キャリアＣに付着した電極粒子Ｅを分離させる２つの力において、マグネットローラ２０とバックアップローラ５０との間に生じる静電力は、キャリアＣから電極粒子Ｅが分離するのを促進する方向に働く。

【0075】

飛翔領域３００に搬送された混合体ＥＣは、さらに、筒状部材３０の回転により、第２搬送磁極Ｓ２に搬送される。続いて、第２搬送磁極Ｓ２に搬送された混合体ＥＣは、筒状部材３０の回転により、離脱磁極Ｎ３へと搬送される。このときの混合体ＥＣの搬送態様は、前述した汲み上げ磁極Ｎ１から第１搬送磁極Ｓ１を経由して対向磁極Ｎ２へと搬送される搬送態様と同様であるため、説明を省略する。

【0076】

離脱磁極Ｎ３に搬送された混合体ＥＣは、筒状部材３０の回転により、汲み上げ磁極Ｎ１が位置する方向に搬送される。この搬送過程において、離脱磁極Ｎ３と汲み上げ磁極Ｎ１とは同極であるため、離脱磁極Ｎ３と汲み上げ磁極Ｎ１との間には反発する方向の磁界が形成される。この離脱磁極Ｎ３と汲み上げ磁極Ｎ１との間を分断するように形成される反発する方向の磁界は、両者の境界に無磁力帯を形成する。これにより、マグネットローラ２０に吸着された混合体ＥＣはマグネットローラ２０から離脱する。

【0077】

以上で説明した静電成膜装置１によれば、混合体ＥＣを吸着して搬送するマグネットローラ２０の内部に磁極部材２１を備える。この磁極部材２１は、磁極部材本体２１ａが備える複数の磁極Ｎ１，Ｓ１，Ｎ２，Ｓ２，Ｎ３のうち、飛翔領域３００に位置する磁極としての対向磁極Ｎ２を備える。一方、被成膜面６８を有するバックアップローラ５０は、内部に反発磁極部材６０を備える。この反発磁極部材６０は、対向磁極Ｎ２と対向して反発する磁極としての反発磁極Ｎを備える。この対向磁極Ｎ２と反発磁極Ｎとが周期的に対向することで、静電成膜装置１は、周期的な磁界変化を生じさせている。すなわち、マグネットローラ２０に吸着された状態において、静電成膜装置１は、筒状部材３０の回転に伴う遠心力に加えて、磁界変化により混合体ＥＣを磁気振動させることでキャリアＣから電極粒子Ｅを振り落とす力を生じさせる。

【0078】

反発磁極部材６０の回転数を変化させて、電極粒子Ｅの成膜量の変化を測定した。図４は、電極粒子Ｅの成膜量と磁気振動数（回転数）との関係を示すグラフである。図４では、本測定の結果として、測定時の磁気振動数と、測定時の磁気振動数に対応した成膜量の値との関係性を表している。図４におけるグラフの縦軸は、被成膜面６８に搬送される箔Ｆ上に成膜された電極粒子Ｅの成膜量として、１ｃｍ^２当たりに成膜された電極粒子Ｅの重量を示している。また、図４におけるグラフの横軸は、磁気振動数を示している。また、本測定の結果から成膜効率を算出した。ここで言う成膜効率は、被成膜面６８に搬送される箔Ｆ上に成膜された電極粒子Ｅの重量を、成膜部３への電極粒子Ｅの供給量で割った値である。すなわち、成膜効率は、成膜部３への電極粒子Ｅの供給量に対して、箔Ｆ１ｃｍ^２当たりにどれだけの重量の電極粒子Ｅが成膜されたかを示す値である。本測定では、（箔Ｆ上に成膜された電極粒子Ｅの重量）／（成膜されずに回収された電極粒子Ｅの重量＋箔Ｆ上に成膜された電極粒子Ｅの重量）として成膜効率を算出した。なお、本測定において、成膜された電極粒子Ｅの重量の単位は、ミリグラム（ｍｇ）で表す。また、本測定における成膜効率の単位はｍｇ／ｃｍ^２である。

【0079】

図４のグラフを作成する前提条件として、マグネットローラ２０の外形を構成する筒状部材３０と、被成膜面６８を表面に有するバックアップローラ５０と、の最近接距離を６～１０ｍｍとした。また、マグネットローラ２０には２５５０Ｖの直流電圧を印加し、バックアップローラ５０には接地（アース）されている接地部材８０を当接させることで０Ｖとし、両者間に２５５０Ｖの電位差を設けた。キャリアＣと電極粒子Ｅとは、重量比において１０：１の比率となるように供給部２へ供給した。本測定では、成膜部３に供給される混合体ＥＣの供給量をおおよそ３０ｍｇ／ｃｍ^２とした。具体的には、混合体ＥＣの供給量は、後述する磁気振動数が０Ｈｚのとき２９．２７ｍｇ／ｃｍ^２、２０Ｈｚのときには２９．２９ｍｇ／ｃｍ^２、２００Ｈｚのときには２９．２２ｍｇ／ｃｍ^２、２６７Ｈｚとのきには２９．３１ｍｇ／ｃｍ^２であった。なお、本測定において、筒状部材３０およびバックアップローラ５０の回転速度としての周速度は、予め定められた値とし、磁気振動数に関わらず一定とした。また、反発磁極部材６０の回転速度としての周速度は、測定対象とする磁気振動数と一致するように制御装置７を構成するモータにより制御し、反発磁極部材６０の回転数を制御した。上記条件における本測定の結果を図４に示す。

【0080】

本測定における磁気振動数とは、前述した対向磁極Ｎ２と反発磁極Ｎとが１秒間当たりに対向する回数を表す。すなわち、磁気振動数は、前述した対向磁極Ｎ２と反発磁極Ｎとが対向することにより生じる、１秒間当たりの磁気振動回数でもある。以下において、本測定における磁気振動数の単位は、ヘルツ（Ｈｚ）で表す。なお、本実施形態における磁気振動数は、反発磁極部材６０が有する磁石の数およびこれに付随する反発磁極Ｎの数と、反発磁極部材６０の回転数と、に依拠する。このとき、反発磁極部材６０の回転数は、反発磁極部材６０の回転速度によって調整する。本測定では、反発磁極Ｎの数を４つとして一定にした状態において、反発磁極部材６０の回転数を変動させることで磁気振動数を調整している。

【0081】

本測定では、磁気振動数の変化に伴う成膜効率の変化を比較するため、４種類の磁気振動数で測定を行った。測定を行った４種類の磁気振動数は、図４に示すように、０Ｈｚ、２０Ｈｚ、２００Ｈｚ、２６７Ｈｚである。ここで、磁気振動数が０Ｈｚのときは、反発磁極部材６０を回転させない状態、すなわち、周期的な磁界変化を生じさせず、混合体ＥＣは磁気振動していない状態である。以下において、磁気振動数が０Ｈｚである場合と、混合体ＥＣがいくらか磁気振動している場合（磁気振動数が２０Ｈｚ，２００Ｈｚ，２６７Ｈｚ）とを比較する。

【0082】

まず、図４に示すように、磁気振動数が０Ｈｚの場合、電極粒子Ｅの成膜量は４．３９ｍｇ／ｃｍ^２であり、このときの成膜効率は約１５．０％であった。これに対して、磁気振動数を２０Ｈｚ、すなわち、対向磁極Ｎ２と反発磁極Ｎとを１秒間あたりに２０回対向させた場合、電極粒子Ｅの成膜量は４．９８ｍｇ／ｃｍ^２であり、このときの成膜効率は約１７．０％であった。これにより、混合体ＥＣを磁気振動させない場合と、混合体ＥＣを磁気振動させる場合と、では、混合体ＥＣを磁気振動させる場合の方が電極粒子Ｅの成膜量が増加した。これに付随して、混合体ＥＣを磁気振動させた場合は、混合体ＥＣを磁気振動させなかった場合と比べて、約２．０％の成膜効率の向上が見られた。

【0083】

さらに、磁気振動数を２００Ｈｚ、すなわち、対向磁極Ｎ２と反発磁極Ｎとを１秒間あたりに２００回対向させた場合、電極粒子Ｅの成膜量は５．２６ｍｇ／ｃｍ^２であり、このときの成膜効率は約１８．０％であった。つまり、磁気振動数を増大させる、すなわち、対向磁極Ｎ２と反発磁極Ｎとの１秒間当たりに対向する回数を増やすことで、電極粒子Ｅの成膜量は増加し、これに付随して、成膜効率の向上が見られた。具体的には、混合体ＥＣを磁気振動数２００Ｈｚにて磁気振動させた場合は、混合体ＥＣを磁気振動させなかった場合と比べて、成膜効率が約３．０％向上した。さらに、混合体ＥＣを磁気振動数２００Ｈｚにて磁気振動させた場合は、混合体ＥＣを磁気振動数２０Ｈｚにて磁気振動させた場合と比べて、成膜効率が約１．０％向上した。このことから、周期的な磁界変化を生じさせ、混合体ＥＣを磁気振動させることで成膜効率を向上させることができた。さらに、磁気振動数を増大させて２００Ｈｚにすると、成膜効率の更なる向上が達成された。

【0084】

ここで、磁気振動数を２００Ｈｚから増大させて２６７Ｈｚ、すなわち、対向磁極Ｎ２と反発磁極Ｎとを１秒間あたりに２６７回対向させた場合、電極粒子Ｅの成膜量は５．１３ｍｇ／ｃｍ^２であり、このときの成膜効率は約１７．５％であった。具体的には、混合体ＥＣを磁気振動数２６７Ｈｚにて磁気振動させた場合は、混合体ＥＣを磁気振動数２００Ｈｚにて磁気振動させた場合と比べて、成膜効率が約０．５％低下した。つまり、周期的な磁界変化による混合体ＥＣの磁気振動は、電極粒子Ｅの成膜量と、これに付随する成膜効率と、の向上に寄与する。しかし、磁気振動数が特定の値（以下において、閾値とする）を超えると、電極粒子Ｅの成膜量および成膜効率は低下傾向にある。すなわち、磁気振動数は、電極粒子Ｅの成膜量と成膜効率とを向上させる効果を奏するための指標であり、閾値はその最大値と言える。

【0085】

以上の結果から、混合体ＥＣを磁気振動させた場合は、混合体ＥＣを磁気振動させない場合と比べて、成膜量が最大約１９．８％向上した。これに付随して、混合体ＥＣを磁気振動させた場合は、混合体ＥＣを磁気振動させない場合と比べて、成膜効率が最大約３．０％向上した。すなわち、対向磁極Ｎ２と反発磁極Ｎとを周期的に対向させることで生じる周期的な磁界変化により、混合体ＥＣを磁気振動させると、被成膜面６８に対する電極粒子Ｅの成膜量および成膜効率が向上する。

【0086】

さらに、以上の結果から、磁界発生手段としてのマグネットローラを用いて電極粒子Ｅ等の粒子を成膜する静電成膜装置１における磁気振動数は、２０Ｈｚ以上が好ましい。また、静電成膜装置１における磁気振動数は、２７０Ｈｚ以下が好ましく、２６７Ｈｚ以下がより好ましい。換言すると、静電成膜装置１において、対向磁極Ｎ２と、対向磁極Ｎ２と対向して反発する磁極としての反発磁極Ｎと、が１秒間当たりに対向する回数は、２０回以上が好ましい。また、静電成膜装置１において、対向磁極Ｎ２と反発磁極Ｎとが１秒間当たりに対向する回数は、２７０回以下が好ましく、２６７回以下がより好ましい。

【0087】

なお、磁気振動数が閾値を超える場合に、電極粒子Ｅの成膜量と、これに付随する成膜効率とが低下する要因として、以下のことが考えられる。まず、対向磁極Ｎ２と反発磁極Ｎとの対向によって両者の間に生じる反発する方向の磁界により、混合体ＥＣはキャリアＣを軸として立ち上がることができず、筒状部材３０の表面側に沿うように倒れた状態となる。このように、混合体ＥＣが倒れた状態となった後、反発磁極部材６０の回転に伴い、対向磁極Ｎ２と反発磁極Ｎとの距離が遠ざかる。この過程において、磁気振動数が閾値以下である場合には、対向磁極Ｎ２と反発磁極Ｎとの間に生じる反発する方向の磁界の強度は弱まり、混合体ＥＣは徐々にキャリアＣを軸として立ち上がる。さらに、再び対向磁極Ｎ２と反発磁極Ｎとの距離が近づく過程において、両者の間に生じる反発する方向の磁界の強度が強まると、混合体ＥＣは再び倒れた状態となり、これを繰り返すことで、混合体ＥＣは磁気振動する。しかし、磁気振動数が閾値を超えた場合、対向磁極Ｎ２と反発磁極Ｎとが対向した後に、再び対向磁極Ｎ２と反発磁極Ｎとが対向するまでの間隔は、磁気振動数が閾値以下である場合よりも短くなる。これにより、前述のように対向磁極Ｎ２と反発磁極Ｎとの間に形成される反発する方向の磁界により混合体ＥＣが倒れた後、キャリアＣを軸として立ち上がる前に、再び対向磁極Ｎ２と反発磁極Ｎとが対向して反発する方向の磁界が生じることで、混合体ＥＣは倒れたままの状態が続く。すなわち、磁気振動数が閾値を超えた場合、混合体ＥＣは、対向磁極Ｎ２と反発磁極Ｎとが作り出す磁界の変化に追従しなくなることが考えられる。

【0088】

上記実施形態によれば、静電成膜装置１は、電極粒子Ｅが付着したキャリアＣとしての混合体ＥＣを、吸着して搬送するマグネットローラ２０を備え、マグネットローラ２０の内部に位置する対向磁極Ｎ２と、被成膜面６８を有するバックアップローラ５０の内部に位置し、対向磁極Ｎ２と対向して反発する反発磁極Ｎと、を備える。この対向磁極Ｎ２と反発磁極Ｎとが周期的に対向することで、静電成膜装置１は、周期的な磁界変化を生じさせる。すなわち、マグネットローラ２０に吸着された状態において、静電成膜装置１は、筒状部材３０の回転に伴う遠心力に加えて、磁界変化により混合体ＥＣを磁気振動させる。これにより、磁界発生手段としてのマグネットローラ２０を用いた成膜技術において、キャリアＣに対して静電的に拘束された電極粒子ＥとキャリアＣとの分離を容易にし得る。換言すると、静電成膜装置１は、キャリアＣに対して静電的に拘束された電極粒子ＥをキャリアＣから分離しやすくできる。その結果、成膜効率を向上できる。

【0089】

また、上記実施形態によれば、周期的な磁界変化を生じさせて混合体ＥＣを磁気振動させた場合は、混合体ＥＣを磁気振動させなかった場合よりも単位面積あたりの電極粒子Ｅの成膜量と、これに付随する成膜効率とが向上した。これにより、静電成膜装置１は、周期的な磁界変化を生じさせることで、キャリアＣに対して静電的に拘束された粒子をキャリアＣから分離しやすくできる。

【0090】

また、上記実施形態によれば、モータの制御により、対向磁極Ｎ２と反発磁極Ｎとが１秒間当たりに対向する回数、すなわち、磁気振動数を制御できる。この制御可能な磁気振動数は、電極粒子Ｅの成膜量と相関する。これにより、磁気振動数を制御することで、静電成膜装置１は、電極粒子Ｅの成膜量と、これに付随する成膜効率と、をより一層向上させることができる。

【0091】

Ｂ．他の実施形態：
Ｂ－１．他の実施形態１：
上記実施形態では、バックアップローラ５０の全体が接地部材８０により無電荷の状態になるように保たれていた。すなわち、バックアップローラ５０の表面に位置する被成膜面６８の全体において、被成膜面６８に搬送される箔Ｆ上にキャリアＣから分離した電極粒子Ｅが成膜されていた。しかし、本開示は、これに限られるものではない。接地部材８０の代わりに、バックアップローラ５０を一様の電荷に帯電させる帯電ローラと、被成膜面６８の一部を無電荷にするレーザ装置と、を備えてもよい。例えば、帯電ローラは、バックアップローラ５０の表面を負に帯電させる。また、レーザ装置は、例えば、トナー現像におけるレーザ照射のように、バックアップローラ５０と離間した位置に設けられ、被成膜面６８において予め定められた領域にレーザ光を照射することで除電し、被成膜面６８の一部に無電荷の領域を形成する。このような形態であっても、静電成膜装置１は、対向磁極Ｎ２と反発磁極Ｎとを備え、両者を周期的に対向させることで、周期的な磁界変化を生じさせる。これにより、磁界発生手段としてのマグネットローラ２０を用いた成膜技術において、キャリアＣに対して静電的に拘束された電極粒子ＥとキャリアＣとの分離を容易にし得る。すなわち、成膜効率を向上させることができる。さらに、このような形態であれば、被成膜面６８において、電極粒子Ｅを成膜する領域や成膜幅を制御することができる。

【0092】

Ｂ－２．他の実施形態２：
上記実施形態では、固定された位置に存在する対向磁極Ｎ２に対して、反発磁極Ｎを有する複数の磁石によって形成される反発磁極部材６０を回転させることで、対向位置と非対向位置とに変位可能としていた。しかし、本開示はこれに限られるものではない。反発磁極部材６０は、反発磁極Ｎを有する単一の磁石によって形成されてもよく、回転する代わりに、バックアップローラ５０の内部において水平方向に移動することで、対向位置と非対向位置とを変位可能にしてもよい。このような形態であっても、静電成膜装置１は、対向磁極Ｎ２と反発磁極Ｎとを備え、対向位置と非対向位置とを変位可能にすることで、電極粒子Ｅが付着したキャリアＣを磁界変化によって振動させることができる。この振動によってキャリアＣに対して静電的に拘束された電極粒子ＥをキャリアＣから分離しやすくできるので、成膜効率を向上させることができる。

【0093】

Ｂ－３．他の実施形態３：
上記実施形態では、固定された位置に存在する対向磁極Ｎ２に対して、反発磁極Ｎを有する複数の磁石によって形成される反発磁極部材６０を回転させることで、対向位置と非対向位置とに変位可能としていた。しかし、本開示はこれに限られるものではない。磁極部材２１および反発磁極部材６０は電磁石であってもよい。このような形態であっても、静電成膜装置１は、対向磁極Ｎ２と反発磁極Ｎとを備え、対向磁極Ｎ２と反発磁極Ｎとが対向する対向状態と、両者が対向しない非対向状態とを変位可能にできる。これにより、電極粒子Ｅが付着したキャリアＣを磁界変化によって振動させることができる。すなわち、この振動によってキャリアＣに対して静電的に拘束された電極粒子ＥをキャリアＣから分離しやすくできるので、成膜効率を向上させることができる。

【0094】

Ｂ－４．他の実施形態４：
上記実施形態では、反発磁極部材本体６０ａを構成する磁石の数は４つであり、板状を成していた。また、反発磁極部材本体６０ａを構成する磁石は、それぞれに反発磁極Ｎを有しているため、反発磁極部材６０が備える反発磁極Ｎの数は４つであった。これに対して、本開示はこれに限られるものではなく、反発磁極部材６０を構成する磁石の形状や数、大きさ、反発磁極Ｎの数は任意とすることができる。反発磁極部材６０は、電極粒子Ｅが付着したキャリアＣを吸着して搬送するマグネットローラ２０の内部に位置する対向磁極Ｎ２と対向して反発する反発磁極Ｎを備えればよい。このような形態であっても、静電成膜装置１は、対向磁極Ｎ２と反発磁極Ｎとを備え、両者を周期的に対向させ、周期的な磁界変化を生じさせる。これにより、磁界発生手段としてのマグネットローラ２０を用いた成膜技術において、キャリアＣに対して静電的に拘束された電極粒子ＥとキャリアＣとの分離を容易にし得る。すなわち、成膜効率を向上させることができる。さらに、このような形態であれば、反発磁極部材６０が備える磁石の形状や数、大きさを調整することで、バックアップローラ５０を小型化できる。

【0095】

本開示は、上述の実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するため に、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。

【符号の説明】

【0096】

１…静電成膜装置、２…供給部、３…成膜部、４…回収部、５…調整部、６…定着部、７…制御装置、１８…台座、２０…マグネットローラ、２１…磁極部材、２１ａ…磁極部材本体、２２…第２軸部、２５…規制部材、３０…筒状部材、３１…筒状部材本体、３２…第１軸部、３３…第１支持部材、５０…バックアップローラ、５１…バックアップローラ本体、５２…第３軸部、５３…第３支持部材、６０…反発磁極部材、６０ａ…反発磁極部材本体、６２…第４軸部、６８…被成膜面、８０…接地部材、２００…混合体貯留室、２０１…連通口、２１１…第１供給室、２１２…第２供給室、２１３…第３供給室、２１５…第１壁部、２１６…第２壁部、２１７…第３壁部、２１８…第４壁部、２２１…第１回転翼、２２２…第２回転翼、２２３…第３回転翼、３００…飛翔領域、４１０…排出部材、４２０…回収室、５１０…厚み補正部材、５２０…押圧部材、５３０…センサ、５４０…キャリア除去装置、６１０，６２０…定着ローラ、Ｃ…キャリア、Ｅ…電極粒子、Ｅ１…飛翔電極粒子、ＥＣ…混合体、Ｆ…箔、Ｉ…成形前電極、Ｎ…反発磁極、Ｎ１…汲み上げ磁極、Ｎ２…対向磁極、Ｎ３…離脱磁極、Ｏ１…筒回転軸、Ｏ３…バックアップローラ回転軸、Ｏ４…反発磁極回転軸、Ｓ１…第１搬送磁極、Ｓ２…第２搬送磁極

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】