特許7621617成膜装置と半導体装置の製造方法

発明の名称　成膜装置と半導体装置の製造方法

出願人　株式会社デンソー　（識別番号 4260）

　　　　特許公開件数ランキング 17 位（266件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 15 位（302件）（共同出願を含む）

出願人　トヨタ自動車株式会社　（識別番号 3207）

　　　　特許公開件数ランキング 3 位（1303件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1 位（1043件）（共同出願を含む）

出願人　株式会社ミライズテクノロジーズ　（識別番号 520124752）

　　　　特許公開件数ランキング 11616 位（35件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 9444 位（52件）（共同出願を含む）

出願人　国立大学法人京都工芸繊維大学　（識別番号 504255685）

　　　　特許公開件数ランキング 1594 位（6件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 889 位（6件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7621617

公報発行日　2025年1月27

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7621617

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