特許 7622463 液体吐出ヘッド、および液体吐出装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2025-01-20

(45)【発行日】2025-01-28

(54)【発明の名称】液体吐出ヘッド、および液体吐出装置

(51)【国際特許分類】

   B41J 2/14 20060101AFI20250121BHJP

【ＦＩ】

B41J2/14 607

B41J2/14 301

B41J2/14 611

【請求項の数】 15

(21)【出願番号】P 2021022330

(22)【出願日】2021-02-16

(65)【公開番号】P2022124599

(43)【公開日】2022-08-26

【審査請求日】2024-01-11

(73)【特許権者】

【識別番号】000002369

【氏名又は名称】セイコーエプソン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100179475

【弁理士】

【氏名又は名称】仲井 智至

(74)【代理人】

【識別番号】100216253

【弁理士】

【氏名又は名称】松岡 宏紀

(74)【代理人】

【識別番号】100225901

【弁理士】

【氏名又は名称】今村 真之

(72)【発明者】

【氏名】平井 栄樹

(72)【発明者】

【氏名】塩沢 優

(72)【発明者】

【氏名】森 政貴

【審査官】長田 守夫

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１７－８１１３１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１４－１７７０９２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－１８２７９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－３０２７０（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２００８／００４３０６３（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特開２０１８－３０３７４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ４１Ｊ ２／０１－２／２１５

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１電極、第２電極、および圧電体を含み、前記第１電極、前記第２電極、および前記圧電体が積層される積層方向において、前記圧電体が前記第１電極と前記第２電極との間に設けられる圧電素子と、
前記圧電素子に対して前記積層方向の一方側に設けられる振動板であって、前記圧電素子の駆動により変形する振動板と、
前記振動板に対して前記積層方向の前記一方側に設けられる圧力室基板であって、前記振動板の変形により容積が変化する圧力室が複数設けられる圧力室基板と、
配線基板と、
を有する液体吐出ヘッドであって、
前記積層方向と交差する方向を第１方向としたとき、
前記第１電極は、前記第１方向に並ぶ複数の前記圧力室に対して個別に設けられ、
前記第２電極は、前記複数の前記圧力室に対して共通に設けられ、
前記第１電極は、前記圧電体に対して前記積層方向の前記一方側に設けられ、
前記第２電極は、前記圧電体に対して前記積層方向の他方側に設けられ、
前記配線基板と前記第１電極とを電気的に接続する個別リード電極と、
前記配線基板と前記第２電極とを電気的に接続する共通リード電極と、
前記圧力室の温度を検出するための温度検知部と、
前記配線基板と前記温度検知部とを電気的に接続する測定用リード電極と、
を更に有することを特徴とする液体吐出ヘッド。

【請求項2】

前記温度検知部は、前記第１電極と同じ材料で形成されていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項3】

前記温度検知部は、前記第２電極と同じ材料で形成されていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項4】

前記温度検知部は、前記個別リード電極および前記共通リード電極のいずれかと同じ材料で形成されていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項5】

前記複数の前記圧力室が形成する複数の圧力室群に対応して設けられる複数の前記温度検知部を有することを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項6】

前記積層方向と交差する方向を第１方向としたとき、
前記複数の前記圧力室は、複数の前記圧力室が前記第１方向に並ぶ圧力室列を形成し、
前記複数の前記圧力室群は、前記圧力室列の前記第１方向の一方側に位置する複数の前記圧力室が形成する第１圧力室群と、前記圧力室列の前記第１方向の他方側に位置する複数の前記圧力室が形成する第２圧力室群と、を含むことを特徴とする請求項５に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項7】

前記積層方向と交差する方向を第１方向、前記積層方向および前記第１方向と交差する方向を第２方向としたとき、
前記複数の前記圧力室群は、複数の前記圧力室が前記第１方向に並ぶ第１圧力室列と、前記第１圧力室列に対して前記第２方向に離れ、複数の前記圧力室が前記第１方向に並ぶ第２圧力室列と、を含むことを特徴とする請求項５に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項8】

前記積層方向と交差する方向を第１方向、前記積層方向および前記第１方向と交差する方向を第２方向としたとき、
前記複数の前記圧力室は、複数の前記圧力室が前記第１方向に並ぶ第１圧力室列と、前記第１圧力室列に対して前記第２方向に離れ、複数の前記圧力室が前記第１方向に並ぶ第２圧力室列と、を形成し、
前記複数の前記圧力室群は、前記第１圧力室列の前記第１方向の一方側に位置する複数の前記圧力室が形成する第１圧力室群と、前記第１圧力室列の前記第１方向の他方側に位置する複数の前記圧力室が形成する第２圧力室群と、前記第２圧力室列の前記第１方向の前記一方側に位置する複数の前記圧力室が形成する第３圧力室群と、前記第２圧力室列の前記第１方向の前記他方側に位置する複数の前記圧力室が形成する第４圧力室群と、を含むことを特徴とする請求項５に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項9】

前記配線基板はヘッド回路を備え、前記ヘッド回路は、前記個別リード電極を介して、液体の吐出量に対応して変化する駆動電圧を前記第１電極に対して印加し、前記共通リード電極を介して、液体の吐出量に関わらず一定の保持電圧を前記第２電極に対して印加することが可能であることを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項10】

前記共通リード電極は、前記第１方向において、前記個別リード電極と前記測定用リード電極との間に設けられることを特徴とする請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項11】

前記測定用リード電極は、前記第１方向において、前記個別リード電極と前記共通リード電極との間に設けられることを特徴とする請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項12】

前記温度検知部の電気抵抗値を取得する抵抗取得部と、
前記抵抗取得部で取得された前記電気抵抗値に基づいて、前記圧電素子の駆動に際した温度を取得する温度取得部と、を更に有することを特徴とする請求項１から請求項１１のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項13】

前記抵抗取得部は、二端子測定法および四端子測定法のいずれかによって、前記電気抵抗値を取得することを特徴とする請求項１２に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項14】

前記温度検知部の材料における温度と電気抵抗値の対応関係を予め記憶する記憶部を更に有し、
前記温度取得部は、前記記憶部に記憶された前記対応関係と、前記抵抗取得部で取得された前記電気抵抗値と、に基づいて、前記圧電素子の駆動に際した温度を取得することを特徴とする請求項１３に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項15】

請求項１から請求項１４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドと、
前記液体吐出ヘッドからの液体の吐出動作を制御する制御部と、を有することを特徴とする液体吐出装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、液体吐出ヘッド、および液体吐出装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、圧電素子と、圧力室と、圧力室と連通するノズルとを有する液体吐出ヘッドが開示されている。この液体吐出ヘッドは、液体吐出装置の一例であるプリンターに備えられ、制御部が圧電素子を駆動させることで圧力室の容積を変化させ、圧力室に供給された液体の一例であるインクをノズルから吐出する。また、プリンターには、液体吐出ヘッドが取り付けられるキャリッジの側面に、液体吐出ヘッドの外部の環境温度を測定する温度センサーが設けられている。そして、制御部は、温度センサーに測定される環境温度に基づいて圧電素子を駆動制御する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１１－１０４９１６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１のような液体吐出装置では、温度センサーが液体吐出ヘッドの外部に設けられている。このため、温度センサーにより測定される温度と圧力室内のインクの温度との差が液体吐出ヘッド内の温度と圧力室内のインクの温度との差と比較して大きくなる虞がある。この場合、液体吐出装置は、圧力室内のインクの温度に適した液体吐出ヘッドの吐出制御を行なえない虞がある。

【課題を解決するための手段】

【0005】

液体吐出ヘッドは、第１電極、第２電極、および圧電体を含み、前記第１電極、前記第２電極、および前記圧電体が積層される積層方向において、前記圧電体が前記第１電極と前記第２電極との間に設けられる圧電素子と、前記圧電素子に対して前記積層方向の一方側に設けられる振動板であって、前記圧電素子の駆動により変形する振動板と、前記振動板に対して前記積層方向の前記一方側に設けられる圧力室基板であって、前記振動板の変形により容積が変化する圧力室が複数設けられる圧力室基板と、配線基板と、前記配線基板と前記第１電極とを電気的に接続する第１配線と、前記配線基板と前記第２電極とを電気的に接続する第２配線と、前記配線基板と電気的に接続され、前記圧力室の温度を検出するための温度検知部と、を有する。

【0006】

液体吐出装置は、前記液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドからの液体の吐出動作を制御する制御部と、を有する。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】本開示の一実施形態としての液体吐出ヘッドを備える液体吐出装置の概略構成を示すブロック図。

【図2】液体吐出ヘッドの詳細構成を示す分解斜視図。

【図3】液体吐出ヘッドを示す平面図。

【図4】図３に示した液体吐出ヘッドのＩＶ－ＩＶ断面を示す断面図。

【図5】図４に示した液体吐出ヘッドの要部詳細図。

【図6】図３に示した液体吐出ヘッドのＶＩ－ＶＩ断面を示す断面図。

【図7】実施形態２に係る液体吐出ヘッドの要部詳細図。

【図8】実施形態３に係る液体吐出ヘッドの要部詳細図。

【図9】実施形態４に係る液体吐出ヘッドを示す平面図。

【図10】実施形態４に係る液体吐出ヘッドの変形例を示す平面図。

【図11】実施形態４に係る液体吐出ヘッドの変形例を示す平面図。

【図12】実施形態５に係る液体吐出ヘッドを示す平面図。

【図13】他の実施形態に係る液体吐出ヘッドの要部詳細図。

【図14】他の実施形態に係る液体吐出ヘッドの断面図。

【発明を実施するための形態】

【0008】

以下、本発明を実施形態に基づいて説明する。各図において同一部材には同一符号を付し、重複する説明は省略する。

【0009】

また、各図においてＸ、Ｙ、Ｚは、互いに直交する３つの空間軸を表している。本明細書では、これらの軸に沿った方向をＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向とする。向きを特定する場合には、正の方向を「＋」、負の方向を「－」として、方向表記に正負の符合を併用し、各図の矢印が向かう向きを＋方向、矢印の反対方向を－方向として説明する。またＺ方向は、鉛直方向を示し、＋Ｚ方向は鉛直下向き、－Ｚ方向は鉛直上向きを示す。さらに、正方向及び負方向を限定しない３つのＸ、Ｙ、Ｚの空間軸については、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸として説明する。

【0010】

１．実施形態１
本実施形態において、液体吐出装置５００は、インクジェット式プリンターとして構成され、印刷用紙Ｐにインクを吐出して画像を形成する。インクは液体の一例である。なお、印刷用紙Ｐに代えて、樹脂フィルム、布帛等の任意の種類の媒体を、インクの吐出対象としてもよい。

【0011】

図１に示すように、液体吐出装置５００は、液体吐出ヘッド５１０と、インクタンク５５０と、搬送機構５６０と、移動機構５７０と、制御部５８０とを備える。

【0012】

液体吐出ヘッド５１０は、多数のノズル２１を有し、＋Ｚ方向にインクを吐出して印刷用紙Ｐ上に画像を形成する。また、液体吐出ヘッド５１０は、温度検知部の一例である抵抗配線４０１を有する。液体吐出ヘッド５１０の詳細構成は後述する。吐出するインクとしては、例えば、ブラック、シアン、マゼンタ、イエローの合計４色のインクを吐出してもよい。なお、上記４色に限らずライトシアン、ライトマゼンタ、ホワイトなど、任意の色のインクを吐出してもよい。液体吐出ヘッド５１０は、移動機構５７０が有する後述のキャリッジ５７２に搭載され、キャリッジ５７２の移動と共に主走査方向に往復移動する。本実施形態において、主走査方向は、＋Ｘ方向および－Ｘ方向である。

【0013】

インクタンク５５０は、液体吐出ヘッド５１０から吐出するインクを収容する。インクタンク５５０は、キャリッジ５７２には搭載されていない。インクタンク５５０と液体吐出ヘッド５１０とは、樹脂製のチューブ５５２によって接続されており、かかるチューブ５５２を介してインクタンク５５０から液体吐出ヘッド５１０へとインクが供給される。なお、インクタンク５５０に代えて、可撓性フィルムで形成された袋状の液体パックを用いてもよい。

【0014】

搬送機構５６０は、印刷用紙Ｐを副走査方向に搬送する。副走査方向は、主走査方向であるＸ軸方向と直交する方向であり、本実施形態では、＋Ｙ方向および－Ｙ方向である。搬送機構５６０は、３つの搬送ローラー５６２が装着された搬送ロッド５６４と、搬送ロッド５６４を回転駆動する搬送用モーター５６６とを備える。搬送用モーター５６６が搬送ロッド５６４を回転駆動することにより、複数の搬送ローラー５６２が回転して印刷用紙Ｐが副走査方向における＋Ｙ方向に搬送される。なお、搬送ローラー５６２の数は３つに限らず任意の数であってもよい。また、搬送機構５６０を複数備える構成としてもよい。

【0015】

移動機構５７０は、上述のキャリッジ５７２に加えて、搬送ベルト５７４と、移動用モーター５７６と、プーリー５７７とを備える。キャリッジ５７２は、インクを吐出可能な状態で液体吐出ヘッド５１０を搭載する。キャリッジ５７２は、搬送ベルト５７４に取り付けられている。搬送ベルト５７４は、移動用モーター５７６とプーリー５７７との間に架け渡されている。移動用モーター５７６が回転駆動することにより、搬送ベルト５７４は、主走査方向に往復移動する。これにより、搬送ベルト５７４に取り付けられているキャリッジ５７２も、主走査方向に往復移動する。

【0016】

制御部５８０は、液体吐出装置５００の全体を制御する。例えば、制御部５８０は、キャリッジ５７２の主走査方向に沿った往復動作や、印刷用紙Ｐの副走査方向に沿った搬送動作、液体吐出ヘッド５１０の吐出動作を制御する。また、本実施形態において、制御部５８０は、液体吐出ヘッド５１０が有する温度検知部により測定される測定値に基づいて、後述する圧力室１２の温度を検出する。また、制御部５８０は、後述の圧電素子３００の駆動制御部としても機能する。すなわち、制御部５８０は、検出した圧力室１２の温度に基づく駆動信号を液体吐出ヘッド５１０に出力して圧電素子３００を駆動させることにより、印刷用紙Ｐへのインクの吐出を制御する。制御部５８０は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）またはＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の１または複数の処理回路と半導体メモリー等の１または複数の記憶回路とにより構成されてもよい。

【0017】

図２に示すように、液体吐出ヘッド５１０は、Ｚ軸方向、より具体的は＋Ｚ方向にインク滴を噴射するものである。液体吐出ヘッド５１０は、圧力室基板１０と、連通板１５と、ノズルプレート２０と、コンプライアンス基板４５と、後述する振動板５０と、後述する圧電素子３００と、保護基板３０と、ケース部材４０と、配線基板１２０と、を構成部材として有する。また、圧力室基板１０、連通板１５、ノズルプレート２０、コンプライアンス基板４５、振動板５０、圧電素子３００、保護基板３０、およびケース部材４０は、積層されることで、液体吐出ヘッド５１０を形成する積層部材の一例とも言える。

【0018】

圧力室基板１０は、例えば、シリコン基板、ガラス基板、ＳＯＩ基板、各種セラミック基板等からなる。圧力室基板１０は、基板の一例とも言える。

【0019】

図３に示すように、圧力室基板１０には、複数の圧力室１２がＹ軸方向に沿って並ぶ圧力室列が、Ｘ軸方向に２列配置されている。換言すると、液体吐出ヘッド５１０は、複数の圧力室１２を有し、複数の圧力室１２は、複数の圧力室１２がＹ軸方向に沿って並ぶ圧力室列を形成する。Ｙ軸方向は第１方向の一例であり、Ｘ軸方向は第２方向の一例である。また、圧力室列は圧力室群の一例である。なお、２列の圧力室列のうち、＋Ｘ方向側となる圧力室列を第１圧力室列、第１圧力室列とＸ軸方向において－Ｘ方向に離れる圧力室列を第２圧力室列とも言う。＋Ｘ方向は第２方向の一方の一例であり、－Ｘ方向は第２方向の他方の一例である。なお、図３は、液体吐出ヘッド５１０の平面図であるが、圧力室基板１０周辺の構成を記載し、説明の便宜上、保護基板３０、ケース部材４０も省略している。

【0020】

各圧力室列を構成する複数の圧力室１２は、Ｘ軸方向の位置が同じ位置となるように、Ｙ軸方向に沿った直線上に配置されている。Ｙ軸方向で互いに隣り合う圧力室１２は、図６に示す隔壁１１によって区画されている。もちろん、圧力室１２の配置は特に限定されるものではない。例えば、Ｙ軸方向に並ぶ複数の圧力室１２の配置は、各圧力室１２を１つ置きにＸ軸方向にずれた位置とする、いわゆる千鳥配置となっていてもよい。

【0021】

また本実施形態の圧力室１２は、＋Ｚ方向からの平面視においてＸ軸方向の長さがＹ軸方向の長さよりも長い、例えば、長方形に形成されている。もちろん、＋Ｚ方向からの平面視における圧力室１２の形状は、特に限定されず、平行四辺形状、多角形状、円形状、オーバル形状等であってもよい。なお、ここでいうオーバル形状とは、長方形状を基本として長手方向の両端部を半円状とした形状をいい、角丸長方形状、楕円形状、卵形状などが含まれるものとする。

【0022】

図２、図４に示すように、圧力室基板１０の＋Ｚ方向側には、連通板１５とノズルプレート２０及びコンプライアンス基板４５とが順次積層されている。

【0023】

連通板１５には、圧力室１２とノズル２１とを連通するノズル連通路１６が設けられている。また連通板１５には、複数の圧力室１２が連通する共通液室となるマニホールド１００の一部を構成する第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８が設けられている。第１マニホールド部１７は、連通板１５をＺ軸方向に貫通して設けられている。また、第２マニホールド部１８は、連通板１５をＺ軸方向に貫通することなく、＋Ｚ方向側の面に開口して設けられている。

【0024】

さらに連通板１５には、圧力室１２のＸ軸方向の一方の端部に連通する供給連通路１９が圧力室１２の各々に独立して設けられている。供給連通路１９は、第２マニホールド部１８と各圧力室１２とを連通して、マニホールド１００内のインクを各圧力室１２に供給する。

【0025】

連通板１５としては、シリコン基板、ガラス基板、ＳＯＩ基板、各種セラミック基板、金属基板等を用いることができる。金属基板としては、例えば、ステンレス基板等が挙げられる。なお連通板１５は、熱膨張率が圧力室基板１０と略同一の材料を用いることが好ましい。これにより、圧力室基板１０及び連通板１５の温度が変化した際、熱膨張率の違いに起因する圧力室基板１０及び連通板１５の反りを抑制することができる。

【0026】

ノズルプレート２０は、連通板１５の圧力室基板１０とは反対側、すなわち、＋Ｚ方向側の面に設けられている。ノズルプレート２０には、各圧力室１２にノズル連通路１６を介して連通するノズル２１が形成されている。

【0027】

本実施形態では、複数のノズル２１は、Ｙ軸方向に沿って一列となるように並んで配置されている。そしてノズルプレート２０には、これら複数のノズル２１が列設されたノズル列がＸ軸方向に離れて２列設けられている。２列のノズル列は第１圧力室列、第２圧力室列にそれぞれ対応する。各列の複数のノズル２１は、Ｘ軸方向の位置が同じ位置となるように配置されている。なおノズル２１の配置は特に限定されるものではない。例えば、Ｙ軸方向に並んで配置されるノズル２１は、１つ置きにＸ軸方向にずれた位置に配置されていてもよい。

【0028】

ノズルプレート２０の材料としては、特に限定されず、例えば、シリコン基板、ガラス基板、ＳＯＩ基板、各種セラミック基板、金属基板を用いることができる。金属基板としては、例えば、ステンレス基板等が挙げられる。さらにノズルプレート２０の材料としては、ポリイミド樹脂のような有機物などを用いることもできる。ただし、ノズルプレート２０は、連通板１５の熱膨張率と略同一の材料を用いることが好ましい。これにより、ノズルプレート２０及び連通板１５の温度が変化した際、熱膨張率の違いに起因するノズルプレート２０及び連通板１５の反りを抑制することができる。

【0029】

コンプライアンス基板４５は、ノズルプレート２０と共に、連通板１５の圧力室基板１０とは反対側、すなわち、＋Ｚ方向側の面に設けられている。このコンプライアンス基板４５は、ノズルプレート２０の周囲に設けられ、連通板１５に設けられた第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８の開口を封止する。コンプライアンス基板４５は、本実施形態では、可撓性を有する薄膜からなる封止膜４６と、金属等の硬質の材料からなる固定基板４７と、を具備する。固定基板４７のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４８となっている。このため、マニホールド１００の一方面は、可撓性を有する封止膜４６のみで封止されたコンプライアンス部４９となっている。

【0030】

一方、圧力室基板１０のノズルプレート２０等とは反対側、すなわち－Ｚ方向側の面には、詳しくは後述するが、振動板５０と、この振動板５０を撓み変形させて圧力室１２内のインクに圧力変化を生じさせる圧電素子３００とが積層されている。換言すると、振動板５０は圧電素子３００に対してＺ軸方向の＋Ｚ方向に設けられ、圧力室基板１０は振動板５０に対してＺ軸方向の＋Ｚ方向に設けられている。Ｚ軸方向は積層方向の一例であり、＋Ｚ方向は積層方向の一方の一例であり、－Ｚ方向は積層方向の他方の一例である。なお、図４は液体吐出ヘッド５１０の全体構成を説明するための図であり、圧電素子３００の構成については簡略化して示している。

【0031】

圧力室基板１０の－Ｚ方向側の面には、さらに、圧力室基板１０と略同じ大きさを有する保護基板３０が接着剤等によって接合されている。保護基板３０は、圧電素子３００を保護する空間である保持部３１を有する。保持部３１は、Ｙ軸方向に並んで配置された圧電素子３００の列毎に独立して設けられたものであり、Ｘ軸方向に２つ並んで形成されている。また、保護基板３０には、Ｘ軸方向に並んで配置された２つの保持部３１の間にＺ軸方向に貫通する貫通孔３２が設けられている。

【0032】

また、保護基板３０上には、複数の圧力室１２に連通するマニホールド１００を圧力室基板１０と共に画成するケース部材４０が固定されている。ケース部材４０は、－Ｚ方向からの平面視において上述した連通板１５と略同一形状を有し、保護基板３０に接合されると共に、上述した連通板１５にも接合されている。

【0033】

このようなケース部材４０は、圧力室基板１０及び保護基板３０を収容可能な深さの空間である収容部４１を保護基板３０側に有する。この収容部４１は、保護基板３０の圧力室基板１０に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、収容部４１に圧力室基板１０及び保護基板３０が収容された状態で収容部４１のノズルプレート２０側の開口面が連通板１５によって封止されている。

【0034】

またケース部材４０には、Ｘ軸方向における収容部４１の両外側に、第３マニホールド部４２がそれぞれ画成されている。そして、連通板１５に設けられた第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８と、第３マニホールド部４２と、によって本実施形態のマニホールド１００が構成されている。マニホールド１００は、Ｙ軸方向に亘って連続して設けられており、各圧力室１２とマニホールド１００とを連通する供給連通路１９は、Ｙ軸方向に並んで配置されている。

【0035】

また、ケース部材４０には、マニホールド１００に連通して各マニホールド１００にインクを供給するための供給口４４が設けられている。さらにケース部材４０には、保護基板３０の貫通孔３２に連通して配線基板１２０が挿通される接続口４３が設けられている。

【0036】

このような本実施形態の液体吐出ヘッド５１０では、チューブ５５２を介してインクタンク５５０と接続された供給口４４からインクを取り込み、マニホールド１００からノズル２１に至るまで内部をインクで満たした後、ヘッド回路１２１から、圧力室１２に対応するそれぞれの圧電素子３００に、駆動信号に基づく電圧を印加する。これにより圧電素子３００と共に振動板５０がたわみ変形して各圧力室１２内の圧力が高まり、各ノズル２１からインク滴が噴射される。

【0037】

以下、上述の振動板５０、圧電素子３００を含む、圧力室基板１０の－Ｚ方向側に積層形成される構成について詳しく説明する。液体吐出ヘッド５１０は、圧力室基板１０の－Ｚ方向側に積層される構成として、振動板５０、圧電素子３００に加え、個別リード電極９１、共通リード電極９２、測定用リード電極９３、および抵抗配線４０１を有する。

【0038】

図４から図６に示すように、振動板５０は、圧力室基板１０側に設けられた酸化シリコンからなる弾性膜５１と、弾性膜５１上に設けられた酸化ジルコニウム膜からなる絶縁体膜５２と、で構成されている。圧力室１２等の液体流路は、圧力室基板１０を＋Ｚ方向側の面から異方性エッチングすることにより形成されており、圧力室１２等の液体流路の－Ｚ方向側の面は、弾性膜５１で構成されている。

【0039】

なお振動板５０の構成は特に限定されるものではない。振動板５０は、例えば、弾性膜５１と絶縁体膜５２との何れか一方で構成されていてもよく、さらには、弾性膜５１及び絶縁体膜５２以外のその他の膜が含まれていてもよい。その他の膜の材料としては、シリコン、窒化ケイ素等が挙げられる。

【0040】

圧電素子３００は、圧力室１２内のインクに圧力変化を生じさせる圧電アクチュエーターの一例である。この圧電素子３００は、振動板５０側である＋Ｚ方向側から－Ｚ方向側に向かって順次積層された第１電極６０と、圧電体７０と、第２電極８０とを有する。換言すると、圧電素子３００は、第１電極６０、第２電極８０、および圧電体７０を含み、第１電極６０、第２電極８０、および圧電体７０が積層されるＺ軸方向において、圧電体７０が第１電極６０と第２電極８０との間に設けられる。

【0041】

第１電極６０および第２電極８０は、いずれも配線基板１２０と電気的に接続され、配線基板１２０に実装されるヘッド回路１２１から供給される駆動信号に応じた電圧を、圧電体７０に印加する。第１電極６０には、インクの吐出量に応じて異なる駆動電圧が供給され、第２電極８０には、インクの吐出量に関わらず、一定の保持電圧が供給される。なお、インクの吐出量が圧力室１２の必要な容積変化量となる。これにより、第１電極６０と第２電極８０との間に電位差が生じて、圧電体７０が変形する。すなわち、圧電素子３００が駆動されることにより、振動板５０が変形または振動し、圧力室１２の容積が変化することにより、圧力室１２に収容されているインクに圧力が付与され、ノズル連通路１６を介してノズル２１からインクが吐出される。

【0042】

圧電素子３００のうち、第１電極６０と第２電極８０との間に電圧を印加した際に、圧電体７０に圧電歪みが生じる部分を活性部３１０と称する。これに対して、圧電体７０に圧電歪みが生じない部分を非活性部３２０と称する。すなわち、圧電素子３００のうち、圧電体７０が第１電極６０と第２電極８０とで挟まれた部分が活性部３１０であり、圧電体７０が第１電極６０と第２電極８０とで挟まれていない部分が非活性部３２０である。また圧電素子３００を駆動させた際、実際にＺ軸方向に変位する部分を可撓部と称し、Ｚ方向に変位しない部分を非可撓部と称する。すなわち、圧電素子３００のうち、圧力室１２にＺ軸方向で対向する部分が可撓部となり、圧力室１２の外側部分が非可撓部となる。なお、活性部３１０は能動部、非活性部３２０は非能動部とも言う。

【0043】

一般的には、活性部３１０の何れか一方の電極を活性部３１０毎に独立する個別電極とし、他方の電極を複数の活性部３１０に共通する共通電極として構成する。本実施形態では、第１電極６０が個別電極を構成し、第２電極８０が共通電極を構成している。

【0044】

具体的には、第１電極６０は、圧電体７０に対して、Ｚ軸方向の＋Ｚ方向側に設けられ、圧力室１２毎に切り分けられて活性部３１０毎に独立する個別電極を構成する。すなわち、第１電極６０は、複数の圧力室１２に対して個別に設けられる。第１電極６０は、Ｙ軸方向において、圧力室１２の幅よりも狭い幅で形成されている。すなわち、Ｙ軸方向において、第１電極６０の端部は、圧力室１２に対向する領域の内側に位置している。

【0045】

また第１電極６０の＋Ｘ方向の端部６０ａ及び－Ｘ方向の端部６０ｂは、それぞれ圧力室１２の外側に配置されている。例えば、第１圧力室列では、図５に示すように、第１電極６０の端部６０ａは、圧力室１２の＋Ｘ方向の端部１２ａよりも＋Ｘ方向側となる位置に配置されている。第１電極６０の端部６０ｂは、圧力室１２の－Ｘ方向の端部１２ｂよりも－Ｘ方向側となる位置に配置されている。

【0046】

第１電極６０の材料は特に限定されないが、例えば、白金（Ｐｔ）、イリジウム（Ｉｒ）、金（Ａｕ）、チタン（Ｔｉ）といった金属、ＩＴＯと略される酸化インジウムスズといった導電性金属酸化物等の導電材料が用いられる。或いは、白金（Ｐｔ）、イリジウム（Ｉｒ）、金（Ａｕ）、チタン（Ｔｉ）等の複数の材料が積層されて形成されてもよい。本実施形態では、第１電極６０として白金（Ｐｔ）を用いた。

【0047】

圧電体７０は、図３に示すように、Ｘ軸方向の長さを所定長さとして、Ｙ軸方向に亘って連続して設けられている。すなわち圧電体７０は、所定の厚さで圧力室１２の並設方向に沿って連続して設けられている。圧電体７０の厚さは特に限定されないが、１０００ナノメートルから４０００ナノメートル程度の厚さで形成される。

【0048】

また、図５に示すように、圧電体７０のＸ軸方向の長さは、圧力室１２の長手方向であるＸ軸方向の長さよりも長い。このため、圧力室１２のＸ軸方向の両側では、圧電体７０は、圧力室１２の外側まで延在している。このように、圧電体７０がＸ軸方向において圧力室１２の外側まで延在していることで、振動板５０の強度が向上する。したがって、活性部３１０を駆動させて圧電素子３００を変位させた際、振動板５０や圧電素子３００にクラック等が発生するのを抑制することができる。

【0049】

また、例えば、第１圧力室列では、図５に示すように、圧電体７０の＋Ｘ方向の端部７０ａは、第１電極６０の端部６０ａよりも外側となる＋Ｘ方向側に位置している。すなわち、第１電極６０の端部６０ａは圧電体７０によって覆われている。一方、圧電体７０の－Ｘ方向の端部７０ｂは、第１電極６０の端部６０ｂよりも内側となる＋Ｘ方向側に位置しており、第１電極６０の端部６０ｂは、圧電体７０では覆われていない。

【0050】

なお、圧電体７０には、図３および図６に示すように、各隔壁１１に対応して他の領域よりも厚さが薄い部分である溝部７１が形成されている。本実施形態の溝部７１は、圧電体７０をＺ軸方向に完全に除去することで形成されている。すなわち、圧電体７０が他の領域よりも厚さの薄い部分を有するとは、圧電体７０がＺ軸方向に完全に除去されたものも含む。もちろん、溝部７１の底面に圧電体７０が他の部分よりも薄く形成されていてもよい。

【0051】

また、溝部７１のＹ軸方向の長さ、つまり溝部７１の幅は、隔壁１１の幅と同一もしくは、それより広くなっている。本実施形態では、溝部７１の幅は、隔壁１１の幅よりも広くなっている。

【0052】

このような溝部７１は、－Ｚ方向側からの平面視において、矩形状となるように形成されている。もちろん、溝部７１の－Ｚ方向側からの平面視した形状は、矩形状に限定されず、５角形以上の多角形状であってもよく、円形状や楕円形状等であってもよい。

【0053】

圧電体７０に溝部７１を設けることにより、振動板５０の圧力室１２のＹ軸方向の端部に対向する部分、いわゆる振動板５０の腕部の剛性が抑えられるため、圧電素子３００をより良好に変位させることができる。

【0054】

圧電体７０としては、第１電極６０上に形成される電気機械変換作用を示す強誘電性セラミックス材料からなるペロブスカイト構造の結晶膜、所謂ペロブスカイト型結晶が挙げられる。圧電体７０の材料としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の強誘電性圧電材料や、これに酸化ニオブ、酸化ニッケル又は酸化マグネシウム等の金属酸化物を添加したもの等を用いることができる。具体的には、チタン酸鉛（ＰｂＴｉＯ₃）、チタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ₃）、ジルコニウム酸鉛（ＰｂＺｒＯ₃）、チタン酸鉛ランタン（（Ｐｂ，Ｌａ），ＴｉＯ₃）、ジルコン酸チタン酸鉛ランタン（（Ｐｂ，Ｌａ）（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ₃）又は、マグネシウムニオブ酸ジルコニウムチタン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）（Ｍｇ，Ｎｂ）Ｏ₃）等を用いることができる。本実施形態では、圧電体７０として、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を用いた。

【0055】

また、圧電体７０の材料としては、鉛を含む鉛系の圧電材料に限定されず、鉛を含まない非鉛系の圧電材料を用いることもできる。非鉛系の圧電材料としては、例えば、鉄酸ビスマス（（ＢｉＦｅＯ₃）、略「ＢＦＯ」）、チタン酸バリウム（（ＢａＴｉＯ₃）、略「ＢＴ」）、ニオブ酸カリウムナトリウム（（Ｋ，Ｎａ）（ＮｂＯ₃）、略「ＫＮＮ」）、ニオブ酸カリウムナトリウムリチウム（（Ｋ，Ｎａ，Ｌｉ）（ＮｂＯ₃））、ニオブ酸タンタル酸カリウムナトリウムリチウム（（Ｋ，Ｎａ，Ｌｉ）（Ｎｂ，Ｔａ）Ｏ₃）、チタン酸ビスマスカリウム（（Ｂｉ１／２Ｋ１／２）ＴｉＯ₃、略「ＢＫＴ」）、チタン酸ビスマスナトリウム（（Ｂｉ１／２Ｎａ１／２）ＴｉＯ₃、略「ＢＮＴ」）、マンガン酸ビスマス（ＢｉＭｎＯ₃、略「ＢＭ」）、ビスマス、カリウム、チタン及び鉄を含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物（ｘ［（ＢｉｘＫ１－ｘ）ＴｉＯ₃］－（１－ｘ）［ＢｉＦｅＯ₃］、略「ＢＫＴ－ＢＦ」）、ビスマス、鉄、バリウム及びチタンを含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物（（１－ｘ）［ＢｉＦｅＯ₃］－ｘ［ＢａＴｉＯ₃］、略「ＢＦＯ－ＢＴ」）や、これにマンガン、コバルト、クロムなどの金属を添加したもの（（１－ｘ）［Ｂｉ（Ｆｅ１－ｙＭｙ）Ｏ₃］－ｘ［ＢａＴｉＯ₃］（Ｍは、Ｍｎ、ＣｏまたはＣｒ））等が挙げられる。

【0056】

第２電極８０は、図３、図５、図６に示すように、圧電体７０に対して、第１電極６０とは反対側であるＺ軸方向の－Ｚ方向側に設けられ、複数の活性部３１０に共通する共通電極を構成する。すなわち、第２電極８０は、複数の圧力室１２に対して共通に設けられる。第２電極８０は、Ｘ軸方向の長さを所定長さとして、Ｙ軸方向に亘って連続して設けられている。この第２電極８０は、溝部７１の内面、すなわち圧電体７０の溝部７１の側面上及び溝部７１の底面である絶縁体膜５２上にも設けられている。なお溝部７１内に関しては、第２電極８０は、溝部７１の内面の一部のみに設けられていてもよく、溝部７１の内面の全面に亘って設けられていなくてもよい。

【0057】

また、例えば、第１圧力室列では、図５に示すように、第２電極８０の＋Ｘ方向の端部８０ａは、圧電体７０で覆われている第１電極６０の端部６０ａよりも外側となるように＋Ｘ方向側に配置されている。すなわち第２電極８０の端部８０ａは、圧力室１２の端部１２ａよりも外側となる＋Ｘ方向側で、第１電極６０の端部６０ａよりも外側となる＋Ｘ方向側に位置している。本実施形態では、第２電極８０の端部８０ａは、Ｘ軸方向において、圧電体７０の端部７０ａと実質的に一致している。このため、活性部３１０の＋Ｘ方向の端部、すなわち活性部３１０と非活性部３２０との境界は、第１電極６０の端部６０ａによって規定されている。

【0058】

一方、第２電極８０の－Ｘ方向の端部８０ｂは、圧力室１２の－Ｘ方向の端部１２ｂよりも外側となる－Ｘ方向側に配置されているが、圧電体７０の端部７０ｂよりも内側となる＋Ｘ方向側に配置されている。上述のように圧電体７０の端部７０ｂは、第１電極６０の端部６０ｂよりも＋Ｘ方向側となる内側に位置している。したがって第２電極８０の端部８０ｂは、第１電極６０の端部６０ｂよりも＋Ｘ方向側となる圧電体７０上に位置している。このため、第２電極８０の端部８０ｂの－Ｘ方向側には、圧電体７０の表面が露出された部分が存在する。

【0059】

このように第２電極８０の端部８０ｂは、圧電体７０の端部７０ｂ及び第１電極６０の端部６０ｂよりも＋Ｘ方向側に配置されているため、活性部３１０の－Ｘ方向の端部、すなわち活性部３１０と非活性部３２０との境界は、第２電極８０の端部８０ｂによって規定される。

【0060】

第２電極８０の材料は特に限定されないが、第１電極６０と同様に、例えば、白金（Ｐｔ）、イリジウム（Ｉｒ）、金（Ａｕ）、チタン（Ｔｉ）といった金属、ＩＴＯと略される酸化インジウムスズといった導電性金属酸化物等の導電材料が用いられる。或いは、白金（Ｐｔ）、イリジウム（Ｉｒ）、金（Ａｕ）、チタン（Ｔｉ）等の複数の材料が積層されて形成されてもよい。本実施形態では、第２電極８０としてイリジウム（Ｉｒ）を用いた。

【0061】

また、第２電極８０の端部８０ｂの外側、すなわち第２電極８０の端部８０ｂのさらに－Ｘ方向側には、第２電極８０と同一層となるが、第２電極８０とは電気的に不連続となる配線部８５が設けられている。また、配線部８５は、第２電極８０の端部８０ｂと接触しないように間隔を空けた状態で、圧電体７０上から圧電体７０よりも－Ｘ方向に延設された第１電極６０上に亘って形成されている。この配線部８５は、活性部３１０毎に独立して設けられている。すなわち、配線部８５は、Ｙ軸方向に沿って所定の間隔で複数配置されている。なお配線部８５は、第２電極８０とは別の層で形成されていてもよいが、第２電極８０と同一層で形成することが好ましい。これにより、配線部８５の製造工程を簡略化してコストの低減を図ることができる。

【0062】

また、圧電素子３００を構成する第１電極６０と第２電極８０とには、第１電極６０には個別リード電極９１が接続され、第２電極８０には駆動用共通電極である共通リード電極９２がそれぞれ電気的に接続されている。個別リード電極９１は第１配線の一例であり、共通リード電極９２は第２配線の一例である。個別リード電極９１及び共通リード電極９２の圧電素子３００に接続された端部とは反対側の端部には、可撓性を有する配線基板１２０が電気的に接続されている。配線基板１２０には、制御部５８０および図示しない電源回路と接続するための複数の配線が形成されている。本実施形態において、配線基板１２０は、例えば、ＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）により構成されている。なお、ＦＰＣに代えて、ＦＦＣ（Flexible Flat Cable）など、可撓性を有する任意の基板により構成されてもよい。

【0063】

本実施形態では、個別リード電極９１及び共通リード電極９２は、保護基板３０に形成された貫通孔３２内に露出するように延設され、この貫通孔３２内で配線基板１２０と電気的に接続されている。配線基板１２０には、圧電素子３００を駆動するためのスイッチング素子を有するヘッド回路１２１が実装されている。

【0064】

個別リード電極９１及び共通リード電極９２は、本実施形態では、同一層からなるが、電気的に不連続となるように形成されている。これにより、個別リード電極９１と共通リード電極９２とをそれぞれ個別に形成する場合に比べて、製造工程を簡略化してコストを低減することができる。もちろん、個別リード電極９１と共通リード電極９２とを異なる層で形成するようにしてもよい。

【0065】

個別リード電極９１及び共通リード電極９２の材料は、導電性を有する材料であれば特に限定されず、例えば、金（Ａｕ）、銅（Ｃｕ）、チタン（Ｔｉ）、タングステン（Ｗ）、ニッケル（Ｎｉ）、クロム（Ｃｒ）、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）等を用いることができる。本実施形態では、個別リード電極９１及び共通リード電極９２として金（Ａｕ）を用いた。また、個別リード電極９１及び共通リード電極９２は、第１電極６０及び第２電極８０や振動板５０との密着性を向上する密着層を有していてもよい。

【0066】

個別リード電極９１は、活性部３１０毎、すなわち、第１電極６０毎に設けられたものである。図５に示すように、例えば、第１圧力室列では、個別リード電極９１は、配線部８５を介して、圧電体７０の外側に設けられた第１電極６０の端部６０ｂ付近に接続され、圧力室基板１０上、実際には振動板５０上まで－Ｘ方向に引き出されている。

【0067】

一方、図３に示すように、例えば、第１圧力室列では、共通リード電極９２は、Ｙ軸方向の両端部において、圧電体７０上の共通電極を構成する第２電極８０上から振動板５０上にまで－Ｘ方向に引き出されている。また、共通リード電極９２は、延設部９２ａ、および延設部９２ｂを有する。図３、図５に示すように、例えば、第１圧力室列では、延設部９２ａは、圧力室１２の端部１２ａに対応する領域にＹ軸方向に沿って延設され、延設部９２ｂは、圧力室１２の端部１２ｂに対応する領域にＹ軸方向に沿って延設される。これら延設部９２ａ、および延設部９２ｂは、複数の活性部３１０に対してＹ軸方向に亘って連続して設けられている。

【0068】

また、延設部９２ａ、および延設部９２ｂは、Ｘ軸方向において、圧力室１２の内側から圧力室１２の外側まで延設されている。本実施形態では、圧電素子３００の活性部３１０は、圧力室１２のＸ軸方向の両端部において圧力室１２の外側まで延設されており、延設部９２ａ、および延設部９２ｂは、この活性部３１０上を圧力室１２の外側まで延設されている。

【0069】

図５に示すように、振動板５０の－Ｚ方向側の面には、抵抗配線４０１（第１抵抗配線）が設けられる。抵抗配線４０１は、圧力室１２の温度を検出するための温度検知部の一例である。本実施形態の温度検知部は、金属や半導体等の電気抵抗値が温度によって変化する特性を利用したものである。抵抗配線４０１の材料は、電気抵抗値が温度依存性を有する材料であれば特に限定されず、例えば、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、イリジウム（Ｉｒ）、アルミニウム（Ａｌ）、銅（Ｃｕ）、チタン（Ｔｉ）、タングステン（Ｗ）、ニッケル（Ｎｉ）、クロム（Ｃｒ）等を用いることができる。このうち、白金（Ｐｔ）は、温度による抵抗値変化が大きく、安定性と精度が高いという観点から抵抗配線４０１の材料として好適に採用できる。なお、電気抵抗値は、測定される温度検知部の測定値の一例である。本実施形態では、抵抗配線４０１を、第１電極６０と同層とし、第１電極６０とは電気的に不連続となるように、振動板５０の－Ｚ方向側の面に積層形成している。よって、抵抗配線４０１の材料は第１電極６０と同じ白金（Ｐｔ）である。これにより、抵抗配線４０１を、第１電極６０と別に形成する場合に比べて、製造工程を簡略化してコストを低減することができる。もちろん、抵抗配線４０１を第１電極６０と異なる層で形成するようにしてもよい。

【0070】

図３に示すように、抵抗配線４０１は連続しており、Ｘ軸方向において＋Ｘ方向側となる抵抗配線４０１の一端は、測定用リード電極９３ａと接続され、Ｘ軸方向において－Ｘ方向側となる抵抗配線４０１の他端は、測定用リード電極９３ｂと接続される。これにより、抵抗配線４０１は、配線基板１２０と電気的に接続され、制御部５８０は、抵抗配線４０１の電気抵抗値を測定可能になる。測定用リード電極９３ａおよび測定用リード電極９３ｂを含む測定用リード電極９３は、抵抗配線４０１の配線基板１２０との接続部の一例である。また、本実施形態では、抵抗配線４０１は、圧電体７０に覆われており、Ｚ軸方向において、振動板５０と圧電体７０との間に位置する。

【0071】

抵抗配線４０１は、Ｘ軸方向において＋Ｘ方向側となる第１圧力室列側蛇行パターンと、Ｘ軸方向において－Ｘ方向側となる第２圧力室列側蛇行パターンと、を備える。第１圧力室列側蛇行パターンは、－Ｚ方向から見て、第１圧力室列を構成する各圧力室１２と連通する供給連通路１９と重なる位置において、Ｙ軸方向に沿って蛇行している。第２圧力室列側蛇行パターンは、－Ｚ方向から見て、第２圧力室列を構成する各圧力室１２と連通する供給連通路１９と重なる位置においてＹ軸方向に沿って蛇行している。すなわち、抵抗配線４０１は、複数の圧力室１２が形成する第１圧力室列に対応する第１圧力室列側蛇行パターンと、複数の圧力室１２が形成する第２圧力室列に対応する第２圧力室列側蛇行パターンと、を備える。また、図４、図５に示すように、圧力室１２の－Ｚ方向側の端部と抵抗配線４０１とのＺ軸方向における距離は、圧力室１２のＺ軸方向における寸法より短い。また、例えば、第１圧力室列では、圧力室１２の＋Ｘ方向の端部１２ａと抵抗配線４０１とのＸ軸方向における最長距離は、圧力室１２のＸ軸方向における寸法より短い。このため、抵抗配線４０１の電気抵抗値は、圧力室１２の温度変化に対応して変化しやすい。

【0072】

測定用リード電極９３ａおよび測定用リード電極９３ｂを含む測定用リード電極９３は、本実施形態では、個別リード電極９１および共通リード電極９２と同一層からなるが、電気的に不連続となるように形成されている。これにより、測定用リード電極９３を、個別リード電極９１および共通リード電極９２と個別に形成する場合に比べて、製造工程を簡略化してコストを低減することができる。もちろん、測定用リード電極９３を、個別リード電極９１および共通リード電極９２と異なる層で形成するようにしてもよい。

【0073】

測定用リード電極９３の材料は、導電性を有する材料であれば特に限定されず、例えば、金（Ａｕ）、銅（Ｃｕ）、チタン（Ｔｉ）、タングステン（Ｗ）、ニッケル（Ｎｉ）、クロム（Ｃｒ）、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）等を用いることができる。本実施形態では、測定用リード電極９３として金（Ａｕ）を用いた。よって、測定用リード電極９３の材料は、個別リード電極９１および共通リード電極９２と同じ材料である。また、測定用リード電極９３は、抵抗配線４０１や振動板５０との密着性を向上する密着層を有していてもよい。

【0074】

本実施形態では、測定用リード電極９３は、保護基板３０に形成された貫通孔３２内に露出するように延設され、この貫通孔３２内で配線基板１２０と電気的に接続されている。これにより、制御部５８０は、配線基板１２０を介して、抵抗配線４０１の電気抵抗値を取得可能になる。本実施形態では、制御部５８０は、抵抗配線４０１の電気抵抗値と温度との対応関係を予め記憶している。そして、制御部５８０は、圧電素子３００の駆動に際して、抵抗配線４０１の電気抵抗値を測定し、抵抗配線４０１の電気抵抗値と温度との対応関係に基づいて、圧力室１２の温度を検出する。

【0075】

例えば、温度検知部が液体吐出ヘッド５１０の外部に設けられていると、温度検知部により測定される温度と圧力室１２内の温度との差が、液体吐出ヘッド５１０内の温度と圧力室１２内の温度との差と比較して大きくなる虞がある。この場合、液体吐出装置５００は、圧力室１２内のインクの温度に適した液体吐出ヘッド５１０の吐出制御を行なえない虞がある。本実施形態では、抵抗配線４０１は、液体吐出ヘッド５１０の構成部材である振動板５０に積層して設けられている。すなわち、抵抗配線４０１が液体吐出ヘッド５１０内に設けられている。これによれば、液体吐出ヘッド５１０は、抵抗配線４０１を有するので、液体吐出ヘッド５１０の外部環境の温度を測定する場合と比較して、測定される抵抗配線４０１の電気抵抗値に基づき検出される温度と圧力室１２内の温度との差を小さくすることができる。また、これによれば、液体吐出装置５００は、圧力室１２内のインクの温度に適した液体吐出ヘッド５１０の吐出制御を行ないやすい。

【0076】

以上述べたように、実施形態１に係る液体吐出ヘッド５１０、および実施形態１に係る液体吐出装置５００によれば、以下の効果を得ることができる。

【0077】

液体吐出ヘッド５１０は、第１電極６０、第２電極８０、および圧電体７０を含み、第１電極６０、第２電極８０、および圧電体７０が積層されるＺ軸方向において、圧電体７０が第１電極６０と第２電極８０との間に設けられる圧電素子３００と、圧電素子３００に対してＺ軸方向の＋Ｚ方向側に設けられる振動板５０と、振動板５０に対してＺ軸方向の＋Ｚ方向側に設けられる圧力室基板１０であって、圧電素子３００の駆動による振動板５０の変形により容積が変化する圧力室１２が複数設けられる圧力室基板１０と、配線基板１２０と、配線基板１２０と第１電極６０とを電気的に接続する個別リード電極９１と、配線基板１２０と第２電極８０とを電気的に接続する共通リード電極９２と、配線基板１２０と電気的に接続され、圧力室１２の温度を検出するための抵抗配線４０１と、を有する。これによれば、液体吐出ヘッド５１０は、抵抗配線４０１を有するので、液体吐出ヘッド５１０の外部環境の温度を測定する場合と比較して、測定される抵抗配線４０１の測定値に基づき検出される温度と圧力室１２内の温度との差を小さくすることができる。

【0078】

抵抗配線４０１は、第１電極６０と同じ材料で形成されている。これによれば、抵抗配線４０１を形成する場合に第１電極６０と同じ工程で形成しやすい。

【0079】

第１電極６０は、Ｙ軸方向に並ぶ複数の圧力室１２に対して個別に設けられ、第２電極８０は、前記複数の前記圧力室１２に対して共通に設けられ、第１電極６０は、圧電体７０に対してＺ軸方向の＋Ｚ方向側に設けられ、第２電極８０は、圧電体７０に対してＺ軸方向の－Ｚ方向側に設けられる。これによれば、必要なインクの吐出量に応じた圧電素子３００の駆動を容易に行える。

【0080】

配線基板１２０はヘッド回路１２１を備え、ヘッド回路１２１は、個別リード電極９１を介して、インクの吐出量に対応して変化する駆動電圧を第１電極６０に対して印加し、共通リード電極９２を介して、インクの吐出量に関わらず一定の保持電圧を第２電極８０に対して印加することが可能である。これによれば、インクの必要な吐出量に応じた圧電素子３００の駆動を容易に行える。

【0081】

個別リード電極９１は、Ｙ軸方向において、共通リード電極９２と測定用リード電極９３との間に設けられる。これによれば、第１電極６０、第２電極８０、および抵抗配線４０１を配線基板１２０と効率よく接続できる。

【0082】

液体吐出装置５００は、液体吐出ヘッド５１０と、液体吐出ヘッド５１０からのインクの吐出動作を制御する制御部５８０と、を有する。これによれば、液体吐出ヘッド５１０の吐出動作を制御可能な構成を容易に実現できる。

【0083】

２．実施形態２
次に、本開示の一実施形態としての実施形態２の液体吐出ヘッド５１０が備える抵抗配線４５１について説明する。なお、実施形態１の液体吐出ヘッド５１０と共通する部分については、同一符号を付して、その説明を省略する。

【0084】

実施形態１の抵抗配線４０１は、第１電極６０と同層とし、第１電極６０とは電気的に不連続となるように、振動板５０の－Ｚ方向側の面に積層形成されていた。これに対して、本実施形態の抵抗配線４５１は、図７に示すように、圧電体７０の－Ｚ方向側の面に設けられる。抵抗配線４５１は、圧力室１２の温度を検出するための温度検知部の一例である。抵抗配線４５１の材料は、電気抵抗値が温度依存性を有する材料であれば特に限定されず、例えば、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、イリジウム（Ｉｒ）、アルミニウム（Ａｌ）、銅（Ｃｕ）、チタン（Ｔｉ）、タングステン（Ｗ）、ニッケル（Ｎｉ）、クロム（Ｃｒ）等を用いることができる。本実施形態では、抵抗配線４５１を、第２電極８０と同層とし、第２電極８０とは電気的に不連続となるように、圧電体７０の－Ｚ方向側の面に積層形成している。よって、抵抗配線４５１の材料は第２電極８０と同じイリジウム（Ｉｒ）である。これにより、抵抗配線４５１を、第２電極８０と別に形成する場合に比べて、製造工程を簡略化してコストを低減することができる。もちろん、抵抗配線４５１を第２電極８０と異なる層で形成するようにしてもよい。

【0085】

以上述べたように、実施形態２に係る液体吐出ヘッド５１０によれば、抵抗配線４５１は、第２電極８０と同じ材料で形成されているので、抵抗配線４５１を形成する場合に第２電極８０と同じ工程で形成しやすい。

【0086】

３．実施形態３
次に、本開示の一実施形態としての実施形態３の液体吐出ヘッド５１０が備える抵抗配線４６１について説明する。なお、実施形態１の液体吐出ヘッド５１０と共通する部分については、同一符号を付して、その説明を省略する。

【0087】

実施形態１の抵抗配線４０１は、第１電極６０と同層とし、第１電極６０とは電気的に不連続となるように、振動板５０の－Ｚ方向側の面に積層形成されていた。これに対して、本実施形態の抵抗配線４６１は、図８に示すように、圧電体７０の－Ｚ方向側の面に設けられる。抵抗配線４６１は、圧力室１２の温度を検出するための温度検知部の一例である。抵抗配線４６１の材料は、電気抵抗値が温度依存性を有する材料であれば特に限定されず、例えば、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、イリジウム（Ｉｒ）、アルミニウム（Ａｌ）、銅（Ｃｕ）、チタン（Ｔｉ）、タングステン（Ｗ）、ニッケル（Ｎｉ）、クロム（Ｃｒ）等を用いることができる。

【0088】

本実施形態では、抵抗配線４６１を、測定用リード電極９３ａおよび測定用リード電極９３ｂを含む測定用リード電極９３と同層とし、測定用リード電極９３と電気的に連続となるように、圧電体７０の－Ｚ方向側の面に積層形成している。すなわち、抵抗配線４６１は測定用リード電極９３と同一配線である。このため、本実施形態の抵抗配線４６１は、個別リード電極９１および共通リード電極９２と同一層からなるが、電気的に不連続となるように形成されている。よって、抵抗配線４６１の材料は個別リード電極９１、および共通リード電極９２と同じ材料である金（Ａｕ）である。これにより、抵抗配線４６１を、個別リード電極９１および共通リード電極９２と個別に形成する場合に比べて、製造工程を簡略化してコストを低減することができる。もちろん、抵抗配線４６１を、個別リード電極９１、共通リード電極９２、および測定用リード電極９３と異なる層で形成するようにしてもよい。

【0089】

以上述べたように、実施形態３に係る液体吐出ヘッド５１０によれば、抵抗配線４６１は、個別リード電極９１および共通リード電極９２のいずれかと同じ材料で形成されているので、抵抗配線４６１を形成する場合に個別リード電極９１および共通リード電極９２のいずれかと同じ工程で形成しやすい。

【0090】

４．実施形態４
次に、本開示の一実施形態としての実施形態４の液体吐出ヘッド５１０が備える抵抗配線について説明する。なお、実施形態１の液体吐出ヘッド５１０と共通する部分については、同一符号を付して、その説明を省略する。

【0091】

実施形態１の抵抗配線４０１は、複数の圧力室１２が形成する第１圧力室列に対応する第１圧力室列側蛇行パターンと、複数の圧力室１２が形成する第２圧力室列に対応する第２圧力室列側蛇行パターンと、を備えていた。すなわち、実施形態１の液体吐出ヘッド５１０は、第１圧力室列および第２圧力室列に対応する１つの抵抗配線４０１を有していた。これに対して、本実施形態の液体吐出ヘッド５１０は、図９から図１１に示すように、複数の圧力室１２が形成する複数の圧力室群に対応して設けられる複数の温度検知部を有してもよい。これによれば、液体吐出ヘッド５１０は、複数の圧力室１２の温度を複数の群に分けて検出することができる。

【0092】

本実施形態では、図９に示すように、第１圧力室列のＹ軸方向における中央より－Ｙ方向側に位置する複数の圧力室１２が形成する圧力室群を第１圧力室群Ｇ１、第１圧力室列のＹ軸方向における中央より＋Ｙ方向側に位置する複数の圧力室１２が形成する圧力室群を第２圧力室群Ｇ２、第２圧力室列のＹ軸方向における中央より－Ｙ方向側に位置する複数の圧力室１２が形成する圧力室群を第３圧力室群Ｇ３、第２圧力室列のＹ軸方向における中央より＋Ｙ方向側に位置する複数の圧力室１２が形成する圧力室群を第４圧力室群Ｇ４として説明する。なお、－Ｙ方向は第１方向における一方の一例であり、＋Ｙ方向は第１方向における他方の一例である。

【0093】

例えば、図９に示すように、液体吐出ヘッド５１０は、－Ｚ方向から見て、第１圧力室列を構成する各圧力室１２と連通する供給連通路１９と重なる位置においてＹ軸方向に沿って蛇行する蛇行パターンを備える抵抗配線４０２（第２抵抗配線）と、－Ｚ方向から見て、第２圧力室列を構成する各圧力室１２と連通する供給連通路１９と重なる位置においてＹ軸方向に沿って蛇行する蛇行パターンを備える抵抗配線４０３（第３抵抗配線）と、を備えてもよい。抵抗配線４０２、および抵抗配線４０３は、圧力室１２の温度を検出するための温度検知部の一例である。また、測定用リード電極９３は、測定用リード電極９３ａ、測定用リード電極９３ｂ、測定用リード電極９３ｃ、および測定用リード電極９３ｄを含んでもよい。

【0094】

抵抗配線４０２は連続しており、抵抗配線４０２の一端は、測定用リード電極９３ａと接続され、抵抗配線４０２の他端は、測定用リード電極９３ｃと接続される。また、抵抗配線４０３は連続しており、抵抗配線４０３の一端は、測定用リード電極９３ｂと接続され、抵抗配線４０３の他端は、測定用リード電極９３ｄと接続される。これにより、抵抗配線４０２は配線基板１２０と電気的に接続され、制御部５８０は抵抗配線４０２の電気抵抗値を測定可能になる。また、抵抗配線４０３は配線基板１２０と電気的に接続され、制御部５８０は抵抗配線４０３の電気抵抗値を測定可能になる。

【0095】

この場合、複数の圧力室群は、第１圧力室列と、第２圧力室列と、を含む。これによれば、本実施形態の液体吐出ヘッド５１０は、第１圧力室列を構成する圧力室１２内のインクの温度と、第２圧力室列を構成する圧力室１２内のインクの温度と、が異なる場合に、それぞれの圧力室列を構成する圧力室１２内のインクの温度に対応する圧電素子３００の駆動を行うことができる。また、これによれば、液体吐出装置５００は、圧力室１２内のインクの温度に適した液体吐出ヘッド５１０の吐出制御をより行ないやすい。

【0096】

また、例えば、図１０に示すように、液体吐出ヘッド５１０は、－Ｚ方向から見て、第１圧力室群Ｇ１を構成する各圧力室１２と連通する供給連通路１９と重なる位置においてＹ軸方向に沿って蛇行する蛇行パターンと、第３圧力室群Ｇ３を構成する各圧力室１２と連通する供給連通路１９と重なる位置においてＹ軸方向に沿って蛇行する蛇行パターンと、を備える抵抗配線４０４（第４抵抗配線）と、－Ｚ方向から見て、第２圧力室群Ｇ２を構成する各圧力室１２と連通する供給連通路１９と重なる位置においてＹ軸方向に沿って蛇行する蛇行パターンと、第４圧力室群Ｇ４を構成する各圧力室１２と連通する供給連通路１９と重なる位置においてＹ軸方向に沿って蛇行する蛇行パターンと、を備える抵抗配線４０５（第５抵抗配線）と、を備えてもよい。抵抗配線４０４、および抵抗配線４０５は、圧力室１２の温度を検出するための温度検知部の一例である。また、測定用リード電極９３は、測定用リード電極９３ａ、測定用リード電極９３ｂ、測定用リード電極９３ｃ、および測定用リード電極９３ｄを含んでもよい。

【0097】

抵抗配線４０４は連続しており、抵抗配線４０４の一端は、測定用リード電極９３ａと接続され、抵抗配線４０４の他端は、測定用リード電極９３ｂと接続される。また、抵抗配線４０５は連続しており、抵抗配線４０５の一端は、測定用リード電極９３ｃと接続され、抵抗配線４０５の他端は、測定用リード電極９３ｄと接続される。これにより、抵抗配線４０４は配線基板１２０と電気的に接続され、制御部５８０は、抵抗配線４０４の電気抵抗値を測定可能になる。また、抵抗配線４０５は配線基板１２０と電気的に接続され、制御部５８０は抵抗配線４０５の電気抵抗値を測定可能になる。

【0098】

この場合、複数の圧力室群は、第１圧力室群Ｇ１と、第２圧力室群Ｇ２と、を含む。あるいは、複数の圧力室群は、第３圧力室群Ｇ３と、第４圧力室群Ｇ４と、を含む。これによれば、本実施形態の液体吐出ヘッド５１０は、圧力室列の一方側の圧力室群を構成する圧力室１２内のインクの温度と、圧力室列の他方側の圧力室群を構成する圧力室１２内のインクの温度と、が異なる場合に、それぞれの圧力室群を構成する圧力室１２内のインクの温度に対応する圧電素子３００の駆動を行うことができる。また、これによれば、液体吐出装置５００は、圧力室１２内のインクの温度に適した液体吐出ヘッド５１０の吐出制御をより行ないやすい。

【0099】

また、例えば、図１１に示すように、液体吐出ヘッド５１０は、－Ｚ方向から見て、第１圧力室群Ｇ１を構成する各圧力室１２と連通する供給連通路１９と重なる位置においてＹ軸方向に沿って蛇行する蛇行パターンを備える抵抗配線４０６（第６抵抗配線）と、－Ｚ方向から見て、第２圧力室群Ｇ２を構成する各圧力室１２と連通する供給連通路１９と重なる位置においてＹ軸方向に沿って蛇行する蛇行パターンを備える抵抗配線４０７（第７抵抗配線）と、第３圧力室群Ｇ３を構成する各圧力室１２と連通する供給連通路１９と重なる位置においてＹ軸方向に沿って蛇行する蛇行パターンを備える抵抗配線４０８（第８抵抗配線）と、－Ｚ方向から見て、第４圧力室群Ｇ４を構成する各圧力室１２と連通する供給連通路１９と重なる位置においてＹ軸方向に沿って蛇行する蛇行パターンを備える抵抗配線４０９（第９抵抗配線）と、を備えてもよい。抵抗配線４０６、抵抗配線４０７、抵抗配線４０８、および抵抗配線４０９、は、圧力室１２の温度を検出するための温度検知部の一例である。また、測定用リード電極９３は、測定用リード電極９３ａ、測定用リード電極９３ｂ、測定用リード電極９３ｃ、測定用リード電極９３ｄ、測定用リード電極９３ｅ、測定用リード電極９３ｆ、測定用リード電極９３ｇ、および測定用リード電極９３ｈを含んでもよい。

【0100】

抵抗配線４０６は連続しており、抵抗配線４０６の一端は、測定用リード電極９３ｅと接続され、抵抗配線４０６の他端は、測定用リード電極９３ａと接続される。また、抵抗配線４０７は連続しており、抵抗配線４０７の一端は、測定用リード電極９３ｃと接続され、抵抗配線４０７の他端は、測定用リード電極９３ｇと接続される。また、抵抗配線４０８は連続しており、抵抗配線４０８の一端は、測定用リード電極９３ｆと接続され、抵抗配線４０８の他端は、測定用リード電極９３ｂと接続される。また、抵抗配線４０９は連続しており、抵抗配線４０９の一端は、測定用リード電極９３ｄと接続され、抵抗配線４０９の他端は、測定用リード電極９３ｈと接続される。これにより、抵抗配線４０６は配線基板１２０と接続され、制御部５８０は、抵抗配線４０６の電気抵抗値を測定可能になる。また、抵抗配線４０７は配線基板１２０と接続され、制御部５８０は、抵抗配線４０７の電気抵抗値を測定可能になる。また、抵抗配線４０８は配線基板１２０と接続され、制御部５８０は、抵抗配線４０８の電気抵抗値を測定可能になる。また、抵抗配線４０９は配線基板１２０と接続され、制御部５８０は、抵抗配線４０９の電気抵抗値を測定可能になる。

【0101】

この場合、複数の圧力室群は、第１圧力室群Ｇ１と、第２圧力室群Ｇ２と、第３圧力室群Ｇ３と、第４圧力室群Ｇ４と、を含む。これによれば、本実施形態の液体吐出ヘッド５１０は、例えば、第１圧力室群Ｇ１を構成する圧力室１２内のインクの温度、第３圧力室群Ｇ３を構成する圧力室１２内のインクの温度、第２圧力室群Ｇ２を構成する圧力室１２内のインクの温度、および第４圧力室群Ｇ４を構成する圧力室１２内のインクの温度と、が異なる場合に、それぞれの圧力室群を構成する圧力室１２内のインクの温度に対応する圧電素子３００の駆動を行うことができる。また、これによれば、液体吐出装置５００は、圧力室１２内のインクの温度に適した液体吐出ヘッド５１０の吐出制御をより行ないやすい。

【0102】

５．実施形態５
次に、本開示の一実施形態としての実施形態５の液体吐出ヘッド５１０が備える測定用リード電極９３および抵抗配線４１０について説明する。なお、実施形態１の液体吐出ヘッド５１０と共通する部分については、同一符号を付して、その説明を省略する。

【0103】

実施形態１の測定用リード電極９３は測定用リード電極９３ａおよび測定用リード電極９３ｂを含み、抵抗配線４０１の一端は測定用リード電極９３ａと接続され、抵抗配線４０１の他端は測定用リード電極９３ｂと接続されていた。これに対して、図１２に示すように、本実施形態の測定用リード電極９３は測定用リード電極９３ｉおよび測定用リード電極９３ｊを含む。測定用リード電極９３ｉおよび測定用リード電極９３ｊを含む測定用リード電極９３は、抵抗配線４１０の配線基板１２０との接続部の一例である。

【0104】

また、本実施形態の液体吐出ヘッド５１０は、抵抗配線４１０を有する。抵抗配線４１０は、圧力室１２の温度を検出するための温度検知部の一例である。抵抗配線４１０は連続しており、Ｘ軸方向において＋Ｘ方向側となる抵抗配線４１０の一端は、測定用リード電極９３ｉと接続され、Ｘ軸方向において－Ｘ方向側となる抵抗配線４１０の他端は、測定用リード電極９３ｊと接続される。これにより、抵抗配線４１０は配線基板１２０と電気的に接続され、制御部５８０は、抵抗配線４１０の電気抵抗値を測定可能になる。

【0105】

本実施形態における測定用リード電極９３は、Ｙ軸方向において個別リード電極９１と共通リード電極９２との間に設けられる。これによれば、第１電極６０、第２電極８０、および抵抗配線４１０を配線基板１２０と効率よく接続できる。

【0106】

また、本実施形態のように測定用リード電極９３を、Ｙ軸方向において個別リード電極９１と共通リード電極９２の間に設けつつ、実施形態２～実施形態４のように複数の圧力室群に対応する複数の温度検知部を設けても良い。

【0107】

本発明の上記実施形態に係る液体吐出ヘッド５１０、上記実施形態に係る液体吐出装置５００は、以上述べたような構成を有することを基本とするものであるが、本願発明の要旨を逸脱しない範囲内での部分的構成の変更や省略等を行うことも勿論可能である。また、上記実施形態および以下に説明する他の実施形態は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施することができる。以下、他の実施形態について説明する。

【0108】

上記各実施形態において、制御部５８０は、抵抗配線４０１の電気抵抗値を測定し、圧力室１２の温度を検出する機能を備えなくてもよい。そして、抵抗配線４０１の電気抵抗値を測定し、圧力室１２の温度を検出する機能を液体吐出ヘッド５１０が有してもよい。この場合、例えば、液体吐出ヘッド５１０は、温度検知部における測定値と温度の対応関係を予め記憶する記憶部ＳＡと、温度検知部における測定値を測定する測定値取得部ＭＡと、記憶部ＳＡに記憶された前記対応関係と、測定値取得部ＭＡで取得された前記測定値と、に基づいて、圧電素子３００の駆動に際した温度を取得する温度取得部ＴＡを有する温度検出回路を備えてもよい。なお、温度検知部における測定値は電気抵抗値であってもよく、この場合、測定値取得部ＭＡは、抵抗取得部ＭＡであってもよい。あるいは、液体吐出ヘッド５１０は、記憶部ＳＡ、測定値取得部ＭＡ、および温度取得部ＴＡをヘッド回路１２１に備えてもよい。そして、液体吐出ヘッド５１０は、圧電素子３００の駆動に際して、抵抗配線４０１の電気抵抗値を測定し、抵抗配線４０１の電気抵抗値と温度との対応関係に基づいて、圧力室１２の温度を検出してもよい。

【0109】

上記各実施形態において、抵抗配線４０１の電気抵抗値を測定する方法は特に限定されない。例えば、公知の二端子測定法や四端子測定法を用いることができる。

【0110】

上記各実施形態において、抵抗配線は、全ての圧力室１２に対応して設けられていなくてもよい。例えば、実施形態１において、抵抗配線４０１が、第１圧力室列を構成する複数の圧力室１２に対応して設けられ、第２圧力室列を構成する圧力室１２に対応して設けられていなくてもよい。あるいは、抵抗配線４０１が、第１圧力室列を構成する複数の圧力室１２のうち一部の圧力室１２と、第２圧力室列を構成する複数の圧力室１２のうち一部の圧力室１２と、に対応して設けられてもよい。

【0111】

上記各実施形態において、抵抗配線が備える蛇行パターンは、－Ｚ方向から見て、対応する圧力室１２と連通する供給連通路１９と重なる位置においてＹ軸方向に沿って蛇行していなくてもよい。例えば、実施形態１において、抵抗配線４０１の第１圧力室列側蛇行パターンは、－Ｚ方向から見て、第１圧力室列を構成する各圧力室１２と連通する供給連通路１９と重なる位置においてＸ軸方向に沿って蛇行していてもよい。

【0112】

上記各実施形態において、抵抗配線は、－Ｚ方向から見て、対応する圧力室１２と連通する供給連通路１９と重なる位置に設けられていれば蛇行していなくてもよい。

【0113】

上記各実施形態において、抵抗配線は、－Ｚ方向から見て、対応する圧力室１２と重なる位置を通るように設けられてもよい。例えば、実施形態１において、抵抗配線４０１が、－Ｚ方向から見て、第１電極６０に対してＹ軸方向における外側となる位置であって、かつ圧力室１２と重なる位置を通るように設けてもよい。

【0114】

上記各実施形態において、第１電極６０が共通電極であり、第２電極８０が個別電極であってもよい。この場合、第１電極６０は、圧電体７０に対して、Ｚ軸方向の＋Ｚ方向側に設けられ、複数の圧力室１２に対して共通に設けられる。また、第２電極８０は、圧電体７０に対して、Ｚ軸方向の－Ｚ方向側に設けられ、複数の圧力室１２に対して個別に設けられる。また、この場合、第１電極６０は共通リード電極９２と接続され、第２電極８０は個別リード電極９１と接続される。

【0115】

上記各実施形態において、温度検知部は、温度検知部における測定値に基づいて圧力室１２の温度を検出できるのであれば、抵抗配線でなくてもよく、例えば、熱電対であってもよい。例えば、実施形態１において、抵抗配線４０１を熱電対に替える場合、－Ｚ方向から見て、第１圧力室列および第２圧力室列を構成する複数の圧力室１２と連通する供給連通路１９と重なる位置に、熱電対を構成する２種類の金属配線の一端同士が接続される測温接点を配置してもよい。そして、一方の金属配線の他端を測定用リード電極９３ａに電気的に接続し、他方の金属配線の他端を測定用リード電極９３ｂに電気的に接続することにより、制御部５８０が、一方の金属配線の他端と他方の金属配線の他端との間の電位差である熱電対の熱起電力を測定可能になる。そして、制御部５８０は、圧電素子３００の駆動に際して、熱電対の熱起電力を測定し、熱電対の熱起電力と配線基板１２０に別途設けた温度センサーが検出する配線基板１２０付近の温度に基づいて、圧力室１２の温度を検出してもよい。また、この場合、熱電対を構成する２種類の金属配線を、第１電極６０、第２電極８０、個別リード電極９１、共通リード電極９２のうちいずれかと同層として積層形成してもよい。例えば、図１３に示すように、実施形態１において、熱電対４７１を構成する２種類の金属配線のうち一方の金属配線４７１ａを、第２電極８０と同層とし、第２電極８０とは電気的に不連続となるように、圧電体７０の－Ｚ方向側の面に積層形成する。そして、熱電対４７１を構成する他方の金属配線４７１ｂを、個別リード電極９１および共通リード電極９２と同層とし、個別リード電極９１および共通リード電極９２とは電気的に不連続となるように、金属配線４７１ａの－Ｚ方向側の面に積層形成してもよい。さらに、第２電極８０の材料を白金（Ｐｔ）とし、金属配線４７１ａの材料を白金（Ｐｔ）、金属配線４７１ｂの材料を金（Ａｕ）としてもよい。

【0116】

上記各実施形態において、ノズル２１に排出流路を連通させ、供給流路からノズル２１を介して排出流路へと液体を循環させつつ、ノズル２１からインクを吐出してもよい。例えば、図１４に示すように、－Ｘ方向側に位置する供給口４４に加え、＋Ｘ方向側に位置する排出口２００を設け、更に２つのノズル連通路１６をＸ軸方向に延在する流路で接続し、その接続部分の途中にノズル２１を設けても良い。この場合、供給口４４から供給されたインクが、－Ｘ方向側の圧力室１２、ノズル連通路１６、＋Ｘ方向側の圧力室１２の順に流れ、排出口２００から排出されるように、不図示のポンプによってインクの流れが制御される。ノズル２１からのインクの吐出を行いながら、上記のような一連のインクの供給、排出からなる循環動作を行うことにより、ノズル２１近傍でのインク蒸発に起因する粘性の増加等を抑制することができる。なお、図１４では１つのノズル２１に対して２つの圧力室１２が連通し、２つの圧電素子３００の駆動により１つのノズル２１からのインクの吐出を行う場合について説明したが、１つの圧力室１２が１つのノズル２１に連通していてもよい。例えば、図１４において、＋Ｘ方向側の圧電素子３００を設けなくてもよい。

【符号の説明】

【0117】

１０…圧力室基板、１１…隔壁、１２…圧力室、１５…連通板、１６…ノズル連通路、１７…第１マニホールド部、１８…第２マニホールド部、１９…供給連通路、２０…ノズルプレート、２１…ノズル、３０…保護基板、３１…保持部、３２…貫通孔、４０…ケース部材、４１…収容部、４２…第３マニホールド部、４３…接続口、４４…供給口、４５…コンプライアンス基板、４６…封止膜、４７…固定基板、４８…開口部、４９…コンプライアンス部、５０…振動板、５１…弾性膜、５２…絶縁体膜、６０…第１電極、７０…圧電体、７１…溝部、８０…第２電極、８５…配線部、９１…個別リード電極、９２…共通リード電極、９３，９３ａ，９３ｂ，９３ｃ，９３ｄ，９３ｅ，９３ｆ，９３ｇ，９３ｈ，９３ｉ，９３ｊ…測定用リード電極、１００…マニホールド、１２０…配線基板、１２１…ヘッド回路、３００…圧電素子、３１０…活性部、３２０…非活性部、４０１，４０２，４０３，４０４，４０５，４０６，４０７，４０８，４０９，４１０，４５１，４６１…抵抗配線、５００…液体吐出装置、５１０…液体吐出ヘッド、５５０…インクタンク、５５２…チューブ、５６０…搬送機構、５６２…搬送ローラー、５６４…搬送ロッド、５６６…搬送用モーター、５７０…移動機構、５７２…キャリッジ、５７４…搬送ベルト、５７６…移動用モーター、５７７…プーリー、５８０…制御部、Ｇ１…第１圧力室群、Ｇ２…第２圧力室群、Ｇ３…第３圧力室群、Ｇ４…第４圧力室群。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】