特許 7622517 ショット処理装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2025-01-20

(45)【発行日】2025-01-28

(54)【発明の名称】ショット処理装置

(51)【国際特許分類】

   B24C 3/20 20060101AFI20250121BHJP

   B24C 9/00 20060101ALI20250121BHJP

【ＦＩ】

B24C3/20

B24C9/00 H

【請求項の数】 10

(21)【出願番号】P 2021057182

(22)【出願日】2021-03-30

(65)【公開番号】P2022154254

(43)【公開日】2022-10-13

【審査請求日】2024-01-12

(73)【特許権者】

【識別番号】000191009

【氏名又は名称】新東工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100161425

【弁理士】

【氏名又は名称】大森 鉄平

(74)【代理人】

【識別番号】100190470

【弁理士】

【氏名又は名称】谷澤 恵美

(72)【発明者】

【氏名】平尾 通章

【審査官】須中 栄治

(56)【参考文献】

【文献】特開２０００－２６３４４６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１５－０７７６３８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２０－１６５５０７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－１４９２１５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２１－０２８２１６（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許第０５２７２８９７（ＵＳ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２４Ｃ１／００－１１／００

Ｆ１６Ｈ２７／０８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

対象物にショット処理を行うショット処理装置であって、
前記対象物が載置される自転テーブルと、
前記自転テーブルを回転させる駆動部と、
検出部と、を備え、
前記自転テーブルは、自転軸と、前記自転軸に固定された第１歯車と、を有し、
前記駆動部は、駆動軸と、前記駆動軸に固定された第２歯車と、を有し、
前記第１歯車及び前記第２歯車は、互いに噛み合うように配置されており、
前記第１歯車は、歯欠部を有する間欠歯車であり、回転の基準位置を示すマークであって、前記歯欠部により構成されているマークを有し、
前記検出部は、前記第１歯車と前記第２歯車との接触による振動の検出、又は、前記第１歯車の歯先の位置に照射されたレーザを検出することで前記マークを検出する、
ショット処理装置。

【請求項2】

前記検出部は、前記第１歯車と前記第２歯車との接触による振動を検出する、
請求項１に記載のショット処理装置。

【請求項3】

前記第１歯車は、３つ以上の前記歯欠部を有する、
請求項１又は２に記載のショット処理装置。

【請求項4】

前記第１歯車では、前記歯欠部と前記歯欠部との間に歯が配置されている、
請求項３に記載のショット処理装置。

【請求項5】

前記自転テーブルは、前記自転軸の回転抵抗を調整する抵抗調整部を更に有する、
請求項１～４のいずれか一項に記載のショット処理装置。

【請求項6】

前記自転テーブルは、前記自転軸を回転可能に支持する軸受と、前記自転軸と前記軸受との間に配置されたシール部材と、を有し、
前記抵抗調整部は、前記シール部材により構成されている、
請求項５に記載のショット処理装置。

【請求項7】

前記自転軸の回転抵抗は、前記シール部材の数により調整される、
請求項６に記載のショット処理装置。

【請求項8】

前記自転テーブルが配置された公転テーブルを更に備える、
請求項１～７のいずれか一項に記載のショット処理装置。

【請求項9】

前記公転テーブルには、周方向に沿って複数の前記自転テーブルが配置されている、
請求項８に記載のショット処理装置。

【請求項10】

前記駆動部は、ショット処理が行われる領域に位置する前記自転テーブルごとに設けられている、
請求項９に記載のショット処理装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、ショット処理装置に関する。

【背景技術】

【0002】

対象物のスケール落としやバリ取りや面粗度調整等を行うショットブラスト加工、又は、疲労強度向上等を行うショットピーニング加工等の表面加工として、対象物に向けてショット媒体を投射して衝突させるショット処理が知られている。ショット処理を行うショット処理装置は、例えば、特許文献１に開示されている。特許文献１に記載の装置では、ワークが載置される小テーブルが大テーブルに対して回転可能であり、大テーブルがキャビネットに対して回転可能である。これにより、ワークは自公転可能となっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特公平７－５３３４４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載の装置では、小テーブルが公転するので、小テーブルの自転軸に駆動部を直結させることが困難である。そこで、小テーブルの自転軸をベルトで間接的に駆動する構成が考えられる。しかしながら、この構成では、ベルトの駆動力が小テーブルの自転軸に正確に伝わっているか把握できない。よって、自転軸の位相及び回転数を検出することができない。

【0005】

本開示は、自転軸の位相及び回転数を検出することが可能なショット処理装置を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示の一側面に係るショット処理装置は、対象物にショット処理を行う。ショット処理装置は、対象物が載置される自転テーブルと、自転テーブルを回転させる駆動部と、検出部と、を備える。自転テーブルは、自転軸と、自転軸に固定された第１歯車と、を有する。駆動部は、駆動軸と、駆動軸に固定された第２歯車と、を有する。第１歯車及び第２歯車は、互いに噛み合うように配置されている。第１歯車は、回転の基準位置を示すマークを有する。検出部は、マークを検出する。

【0007】

このショット処理装置では、自転テーブルの自転軸に固定された第１歯車は、回転の基準位置を示すマークを有する。したがって、検出部でマークを検出することにより、自転軸の位相及び回転数を検出することができる。

【0008】

本開示の一実施形態において、第１歯車は、歯欠部を有する間欠歯車であってもよい。マークは、歯欠部により構成されていてもよい。この場合、第１歯車と第２歯車との接触による振動が歯欠部では生じないので、検出部で検出された振動波形に基づき、マークを検出することができる。この結果、自転軸の位相及び回転数を検出することができる。

【0009】

本開示の一実施形態において、検出部は、第１歯車と第２歯車との接触による振動を検出してもよい。この場合、検出された振動からマークを検出することができる。

【0010】

本開示の一実施形態において、第１歯車は、３つ以上の歯欠部を有してもよい。この場合、振動波形により自転軸の回転方向を検出することができる。

【0011】

本開示の一実施形態において、第１歯車では、歯欠部と歯欠部との間に歯が配置されていてもよい。この場合、駆動部の回転力が自転軸に伝達され易い。

【0012】

本開示の一実施形態において、自転テーブルは、自転軸の回転抵抗を調整する抵抗調整部を更に有してもよい。この場合、第１歯車の回転速度を安定させ、第１歯車と第２歯車とを常に噛み合った状態とすることができる。

【0013】

本開示の一実施形態において、自転テーブルは、自転軸を回転可能に支持する軸受と、転軸と軸受との間に配置されたシール部材と、を有してもよい。抵抗調整部は、シール部材により構成されてもよい。この場合、シール部材の接触抵抗により自転軸の回転抵抗を調整することができる。

【0014】

本開示の一実施形態において、自転軸の回転抵抗は、シール部材の数により調整されてもよい。この場合、シール部材の接触抵抗の大きさを容易に調整することができる。

【0015】

本開示の一実施形態において、上記ショット処理装置は、自転テーブルが配置された公転テーブルを更に備えてもよい。この場合、対象物を公転させることができる。

【0016】

本開示の一実施形態において、公転テーブルには、周方向に沿って複数の自転テーブルが配置されていてもよい。この場合、複数の対象物に対してショット処理を順次行うことができる。

【0017】

本開示の一実施形態において、駆動部は、ショット処理が行われる領域に位置する自転テーブルごとに設けられていてもよい。この場合、対象物を自転させながらショット処理を行うことができる。

【発明の効果】

【0018】

本開示に係るショット処理装置によれば、自転軸の位相及び回転数を検出することができる。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】図１は、実施形態に係るショット処理装置を模式的に示す平面図である。

【図2】図２は、図１のショット処理装置の内部構成を模式的に示す端面図である。

【図3】図３は、図２の一部拡大図である。

【図4】図４は、第１歯車及び第２歯車を示す平面図である。

【図5】図５は、振動波形を示すグラフである。

【図6】図６は、変形例に係る第１歯車を示す平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0020】

以下、添付図面を参照して、実施形態について詳細に説明する。説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一符号を用い、重複する説明を省略する。

【0021】

図１～図３に示される実施形態に係るショット処理装置１は、対象物Ｗにショット処理を行う装置である。ショット処理装置１は、例えば、ショットブラスト装置、ショットピーニング装置である。ショットブラスト装置としては、エアブラスト装置及び遠心式のブラスト装置が挙げられる。ショット処理装置１は、筐体２と、投射装置３と、公転テーブル４と、複数の自転テーブル５と、複数の駆動部６と、検出部１０とを備える。ショット処理装置１は、例えば、マルチテーブル式エアブラスト装置である。

【0022】

筐体２は中空の箱型形状を有し、内部空間Ｓを規定している。筐体２は、内部空間Ｓに公転テーブル４及び複数の自転テーブル５を収容している。筐体２は、底壁２ａ、上壁２ｂ及び複数の側壁２ｃを有している。図１では、上壁２ｂが図示されていない。底壁２ａ及び上壁２ｂは、互いに対向している。複数の側壁２ｃは、底壁２ａ及び上壁２ｂの対向方向に延在し、底壁２ａと上壁２ｂとを互いに接続している。以下では、底壁２ａ及び上壁２ｂの対向方向を上下方向とも言うが、対向方向は重力方向と異なる方向であってもよい。

【0023】

投射装置３は、ショット媒体を投射する装置である。投射装置３は、筐体２の一つの側壁２ｃに取り付けられている。投射装置３は、内部空間Ｓのうち、この一つの側壁２ｃ寄りの領域Ｒに位置する対象物Ｗに対してショット媒体を投射し、ショット処理を行う。本実施形態では、図２に示されるように、２つの投射装置３Ａ，３Ｂが上下方向に並んで配置されている。投射装置３Ａは、対象物Ｗに対し、斜め上方からショット媒体を投射可能に設けられている。投射装置３Ｂは、対象物Ｗに対し、斜め下方からショット媒体を投射可能に設けられている。投射装置３Ａ，３Ｂは、対象物Ｗに対し、例えば、斜め４５度の角度でショット媒体を投射する。

【0024】

公転テーブル４及び複数の自転テーブル５は、内部空間Ｓに配置されている。公転テーブル４及び複数の自転テーブル５は、図１に示されるように、平面視で円形状をそれぞれ有している。公転テーブル４の直径は、自転テーブル５の直径よりも大きい。公転テーブル４は、上下方向に沿って延びる中心軸の周りに回転可能に構成されている。公転テーブル４は、筐体２の外部に設けられたモータ（不図示）と直結されており、当該モータにより回転駆動される。公転テーブル４には、複数の自転テーブル５（ステーション）が互いに離間して配置されている。複数の自転テーブル５は、公転テーブル４の周方向に沿って一定間隔をあけて配置されている。

【0025】

公転テーブル４は、例えば、間欠的に回転する。公転テーブル４は、一定時間ごとに一定角度ずつ回転する。公転テーブル４の一回の回転角度は、自転テーブル５の数をｎとすると、（３６０／ｎ）度である。公転テーブル４は、ｎ回の回転で一回転、すなわち、３６０度回転する。本実施形態では、自転テーブル５の数は１０であり、複数の自転テーブル５は、公転テーブル４の中心軸の周りに３６度の間隔で配置されている。公転テーブル４の一度の回転角度は、３６度である。公転テーブル４は、１０回の回転で一回転する。

【0026】

自転テーブル５は、図３に示されるように、中心軸Ｃ１の周りに回転可能に公転テーブル４に保持されている。中心軸Ｃ１は、公転テーブル４の中心軸と平行に設定されている。自転テーブル５は、対象物Ｗが載置される載置面５ａを有している。対象物Ｗは、公転テーブル４及び自転テーブル５により自公転可能となっている。

【0027】

自転テーブル５は、第１歯車７、自転軸１１、軸受１２、ボールベアリング１３、及び、シール部材１４を有している。第１歯車７については、後述する。自転軸１１は、円柱状部材である。自転軸１１は、一体的に形成された第１円柱部１１ａ及び第２円柱部１１ｂを含む。第１円柱部１１ａの一端は、自転軸１１の一端を構成し、載置面５ａが設けられている。第１円柱部１１ａの他端は、第２円柱部１１ｂの一端と接続されている。第２円柱部１１ｂの他端は、自転軸１１の他端を構成し、第１歯車７に固定されている。

【0028】

軸受１２は、自転軸１１を包囲する円筒部材であり、自転軸１１を回転可能に支持している。第１円柱部１１ａの外周面と軸受１２の内周面との間には、２つのボールベアリング１３が配置されている。第２円柱部１１ｂの外周面と軸受１２の内周面との間には、２つのシール部材１４が配置されている。シール部材１４は、第２円柱部１１ｂと軸受１２との間をシールしている。シール部材１４は、例えば、Ｖリングである。シール部材１４は、投射装置３から投射されたショット媒体が軸受１２の内部に入り込むことを防いでいる。また、シール部材１４は、ボールベアリング１３に用いられる潤滑剤が内部空間Ｓに流出することを防いでいる。シール部材１４は、公転テーブル４と第１円柱部１１ａの外周面との間にも設けられ、この間をシールしていてもよい。この場合、ショット媒体が軸受１２の内部に入り込むこと、及び、潤滑剤が内部空間Ｓに流出することが更に抑制される。

【0029】

シール部材１４は、自転軸１１の回転抵抗を調整する抵抗調整部を構成している。自転軸１１の回転抵抗は、例えば、シール部材１４の数により調整される。自転軸１１の回転抵抗は、シール部材１４の数が増えると大きくなる。シール部材１４は、数以外にも、例えば、幅、厚さ、形状、素材、又はこれらの組み合わせにより自転軸１１の回転抵抗を調整してもよい。

【0030】

軸受１２の一端は、例えば、ボルト（不図示）により公転テーブル４の下面４ａに固定されている。軸受１２が公転テーブル４に固定されることにより、自転テーブル５が公転テーブル４に保持されている。公転テーブル４には、自転テーブル５の自転軸１１を貫通させる貫通孔が設けられている。自転テーブル５は、載置面５ａが公転テーブル４から突出するように公転テーブル４に取り付けられている。

【0031】

駆動部６は、自転テーブル５を回転させる。駆動部６は、ショット処理が行われる領域Ｒに位置する自転テーブル５ごとに設けられている。すなわち、駆動部６の数は、領域Ｒに位置する自転テーブル５の数と同じである。本実施形態では、領域Ｒに５つの自転テーブル５が位置する。したがって、ショット処理装置１は、５つの駆動部６を備えている。駆動部６は、筐体２に取り付けられている。

【0032】

駆動部６は、第２歯車８、駆動軸２１、軸受２２、ボールベアリング２３、及び、シール部材２４を有している。第２歯車８については、後述する。駆動軸２１は、自転軸１１と同じ構成を有している。すなわち、駆動軸２１は、円柱状部材である。駆動軸２１の中心軸Ｃ２は、自転軸１１の中心軸Ｃ１と平行に設定されている。駆動軸２１は、一体的に形成された第１円柱部２１ａ及び第２円柱部２１ｂを含む。第１円柱部２１ａの一端は、駆動軸２１の一端を構成し、モータＭに接続されている。モータＭは、筐体２の外部に設けられている。駆動軸２１には、駆動軸２１の回転角度を検出するためのエンコーダが設けられている。もしくは、モータＭとしてサーボモータを用いてもよい。第１円柱部２１ａの他端は、第２円柱部２１ｂの一端と接続されている。第２円柱部２１ｂの他端は、駆動軸２１の他端を構成し、第２歯車８に固定されている。

【0033】

軸受２２は、軸受１２と同じ構成を有している。すなわち、軸受２２は、駆動軸２１を包囲する円筒部材であり、駆動軸２１を回転可能に支持している。第１円柱部２１ａの外周面と軸受２２の内周面との間には、２つのボールベアリング２３が配置されている。第２円柱部２１ｂの外周面と軸受２２の内周面との間には、１つのシール部材２４が配置されている。シール部材２４は、第２円柱部２１ｂと軸受２２との間をシールしている。シール部材２４は、例えば、Ｖリングである。シール部材２４は、投射装置３から投射されたショット媒体が軸受２２の内部に入り込むことを防いでいる。また、シール部材２４は、ボールベアリング２３に用いられる潤滑剤が内部空間Ｓに流出することを防いでいる。

【0034】

軸受２２の一端は、例えば、ボルト（不図示）により筐体２の底壁２ａの内面に固定されている。軸受２２が筐体２に固定されることにより、駆動部６が筐体２に保持されている。底壁２ａには、駆動部６の駆動軸２１を貫通させる貫通孔が設けられている。駆動部６は、第１円柱部２１ａの一端が底壁２ａから突出し、筐体２の外部に設けられたモータＭに直結されている。

【0035】

図４を参照して、第１歯車７及び第２歯車８について説明する。図４に示されるように、第１歯車７及び第２歯車８は、互いに噛み合うように配置されている。第２歯車８は、周方向に沿って配置された複数の歯８ａを有している。複数の歯８ａは、等間隔で設けられている。第１歯車７は、周方向に沿って配置された複数の歯７ａを有している。第１歯車７は、間欠歯車であり、歯７ａが設けられていない歯欠部７ｂを有する以外は、第２歯車８と同形状を有している。すなわち、第１歯車７の外径及び第２歯車８の外径は、互いに同等である。歯７ａ及び歯８ａは、互いに同形状である。

【0036】

複数の歯７ａは、歯欠部７ｂ以外の部分において、周方向に沿って等間隔で配置されている。歯７ａ及び歯欠部７ｂは、周方向に沿って等間隔で配置されている。歯欠部７ｂを介して隣り合う歯７ａ同士の間隔は、歯欠部７ｂを介することなく隣り合う歯７ａ同士の間隔よりも長い。歯欠部７ｂは、回転の基準位置を示すマークを構成している。

【0037】

検出部１０は、歯欠部７ｂにより構成されるマークを検出する。検出部１０は、例えば、マークの検出された角度を自転軸１１の０度として認識する。検出部１０は、例えば、第１歯車７と第２歯車８との接触による振動を検出する振動計である。検出部１０は、自転テーブル５及び駆動部６の組み合わせごとに設けられている。すなわち、検出部１０の数は、自転テーブル５及び駆動部６の組み合わせの数と同じである。本実施形態では、ショット処理装置１は、５つの検出部１０を備える。複数の検出部１０は、例えば、筐体２の外部において、対応する駆動部６の近傍に配置されている。

【0038】

図５は、第１歯車と第２歯車との接触による振動波形を示すグラフである。横軸は時間を示す。縦軸は振動加速度（ｄＢ）を示す。図５に示されるように、第１歯車７と第２歯車８との接触による振動は、間欠的に発生する。歯欠部７ｂがない場合に発生する振動の周期は、回転数×歯数で決定される。上述のように、歯欠部７ｂを介して隣り合う歯７ａ同士の間隔は、歯欠部７ｂを介することなく隣り合う歯７ａ同士の間隔よりも長い。よって、振動の間隔により歯欠部７ｂを検出することができる。図５において、破線により示される部分には振動がないので、この部分が歯欠部７ｂであるとわかる。

【0039】

以上説明したように、ショット処理装置１では、自転テーブル５の自転軸１１に固定された第１歯車７は、回転の基準位置を示すマークを有する。したがって、検出部１０でマークを検出することにより、自転軸１１の回転の基準位置が検出できる。これにより、自転軸１１の回転数、及び、回転の位相（基準位置からの回転角度）といった回転状態を検出することができる。よって、自転テーブル５を特定角度で停止させれば、対象物Ｗの特定位置のみにショット処理を行ったり、特定位置に重点的にショット処理を行ったりすることが可能となる。これにより、不要部への投射を削減し、生産性の向上、ショット媒体等のランニングコストの低減、省エネ効果が期待できる。

【0040】

第１歯車７は、歯欠部７ｂを有する間欠歯車である。マークは、歯欠部７ｂにより構成されている。このため、第１歯車７と第２歯車８との接触による振動が歯欠部７ｂでは生じない。検出部１０は、第１歯車７と第２歯車８との接触による振動を検出する振動計である。したがって、検出部１０により検出された振動波形に基づき、歯欠部７ｂを検出することができる。これにより、自転軸１１の位相及び回転数を検出することができる。振動波形によれば、ボールベアリング１３，２３の損耗状態が把握できるので、ボールベアリング１３，２３が破損する前にメンテナンスすることが可能となる。

【0041】

自転テーブル５は、自転軸１１の回転抵抗を調整する抵抗調整部を有している。自転軸１１の回転抵抗が低すぎると、自転軸１１の回転速度が安定せず、第１歯車７と第２歯車８とが常に噛み合った状態にならないおそれがある。抵抗調整部によれば、自転軸１１の回転速度を安定させ、第１歯車７と第２歯車８とが常に噛み合った状態にすることができる。

【0042】

自転テーブル５は、自転軸１１を回転可能に支持する軸受１２と、自転軸１１と軸受１２との間に配置された２つのシール部材１４と、を有している。シール部材１４は、自転軸１１の外周面に設けられ、軸受１２の内面と接している。抵抗調整部は、シール部材１４により構成されている。このため、シール部材１４の接触抵抗により自転軸１１の回転抵抗を調整することができる。

【0043】

自転軸１１の回転抵抗は、シール部材１４の数により調整されている。このため、シール部材１４の接触抵抗の大きさを容易に調整することができる。

【0044】

ショット処理装置１は、自転テーブル５が配置された公転テーブル４を備えている。このため、対象物Ｗを公転させることができる。

【0045】

公転テーブル４には、周方向に沿って複数の自転テーブル５が配置されている。公転テーブル４の公転により複数の自転テーブル５はショット処理が行われる領域Ｒに順次送られる。このため、複数の対象物Ｗに対してショット処理を順次行うことができる。

【0046】

駆動部６は、ショット処理が行われる領域Ｒに位置する自転テーブル５ごとに設けられている。このため、対象物Ｗを自転させながらショット処理を行うことができる。よって、ショット処理を対象物Ｗの表面全体に均一に行うことができる。駆動部６は、自転テーブル５の自転軸１１に直結されておらず、筐体２に固定されている。駆動部６は公転しないので、配線が容易である。

【0047】

モータＭ及び検出部１０は内部空間Ｓではなく、筐体２の外部に設けられている。このため、モータＭ及び検出部１０では、ショット媒体による損傷のおそれがない。

【0048】

ショット処理装置１では、第１歯車７及び第２歯車８を用いて自転テーブル５の自転軸１１を回転させるので、ベルトのようにスリップすることがない。これにより、対象物Ｗを正確に回転させることができるので、均一なショット処理が可能となる。

【0049】

本発明は必ずしも上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。

【0050】

図６は、変形例に係る第１歯車を示す平面図である。図６に示されるように、変形例に係る第１歯車７Ａは、３つの歯欠部７ｂを有している。第１歯車７Ａでは、周方向において、第１歯欠部７ｂと第２歯欠部７ｂとの間隔と、第２歯欠部７ｂと第３歯欠部７ｂとの間隔とが互いに異なるように３つの歯欠部７ｂが配置されている。第１歯車７Ａを用いると、振動波形により自転軸１１の回転方向を検出することができる。

【0051】

具体的には、例えば、第１歯車７Ａには、時計回りで、歯欠部７ｂ、歯７ａ、歯７ａ、歯欠部７ｂ、歯７ａ、歯欠部７ｂの順で３つの歯欠部７ｂが配置されている。振動波形において、振動無し、有り、有り、無し、有り、無しの順であれば、第１歯車７Ａの回転方向が時計回りであることがわかる。振動波形において、振動無し、有り、無し、有り、有り、無しの順であれば、第１歯車７Ａの回転方向が反時計回りであることがわかる。

【0052】

第１歯車７Ａでは、歯欠部７ｂと歯欠部７ｂとの間に１つ以上の歯７ａが配置されている。歯欠部７ｂが連続して配置されていると、第１歯車７と第２歯車８とが常に噛み合った状態にならず、駆動部６の回転力が自転軸１１に伝達されないおそれがある。第１歯車７Ａでは、複数の歯欠部７ｂを有していても、歯欠部７ｂが連続して配置されていないので、駆動部６の回転力が自転軸１１に伝達され易い。第１歯車７Ａは、２つ、又は４つ以上の歯欠部７ｂを有していてもよい。

【0053】

上記実施形態では、検出部１０は振動計であるが、検出部１０は、例えば、第１歯車７の歯先の位置に照射されたレーザを検出することにより、第１歯車７の歯７ａ及び歯欠部７ｂを検出する光検出器であってもよい。光検出器は、内部空間Ｓにおいてレーザを検出可能な位置に設けられる。この場合、第１歯車７は、歯欠部７ｂの代わりに、高さが低い歯７ａを有していてもよい。高さが低い歯７ａは、レーザが照射される歯先が欠けた状態であるため、マークを構成し得る。また、高さが低い歯７ａは、歯先以外の部分によって、駆動部６の回転力を自転軸１１に伝達することができる。

【0054】

検出部１０は、近接センサであり、近接センサにより検出可能なマークを自転軸１１に設けてもよい。近接センサは、内部空間Ｓにおいて、第１歯車７に照射されたレーザを検出可能な位置に設けられる。

【0055】

ショット処理装置１は、複数の自転テーブル５を備えるが、少なくとも１つの自転テーブル５を備えればよい。

【0056】

ショット処理装置１では、駆動部６は、ショット処理が行われる領域Ｒに位置する自転テーブル５に設けられているが、駆動部６は、対象物Ｗの搬出ステーションとなる自転テーブル５に設けてもよい。この場合、位相（向き）を一定にした状態で対象物Ｗを次工程に搬出することができる。

【0057】

上記実施形態及び変形例は、適宜組み合わされてもよい。

【符号の説明】

【0058】

１…ショット処理装置、２…筐体、３…投射装置、４…公転テーブル、５…自転テーブル、６…駆動部、７…第１歯車、７ａ…歯、７ｂ…歯欠部、８…第２歯車、１０…検出部、１１…自転軸、１２…軸受、１４…シール部材、２１…駆動軸、Ｒ…領域、Ｗ…対象物。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】