特許7622975研磨ディスク、研磨ユニットおよび研磨装置

発明の名称　研磨ディスク、研磨ユニットおよび研磨装置

出願人　ニューレジストン株式会社　（識別番号 111258）

　　　　特許公開件数ランキング 1457 位（5件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12849 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7622975

公報発行日　2025年1月28

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7622975

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