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特許7624251近距離無線通信を活用した半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システム｛Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｓｔｏｒａｇｅ Ｃｏｎｔａｉｎｅｒ Ｍａｎａｇｅｍｅｎｔ Ｓｙｓｔｅｍ ｆｏｒ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｐｒｏｃｅｓｓ｝
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2025-01-22
(45)【発行日】2025-01-30
(54)【発明の名称】近距離無線通信を活用した半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システム｛Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｓｔｏｒａｇｅ Ｃｏｎｔａｉｎｅｒ Ｍａｎａｇｅｍｅｎｔ Ｓｙｓｔｅｍ ｆｏｒ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｐｒｏｃｅｓｓ｝
(51)【国際特許分類】
H01L 21/02 20060101AFI20250123BHJP
B24B 49/10 20060101ALI20250123BHJP
B24B 57/02 20060101ALI20250123BHJP
H01L 21/027 20060101ALI20250123BHJP
H01L 21/304 20060101ALN20250123BHJP
【ＦＩ】
H01L21/02 Z
B24B49/10
B24B57/02
H01L21/30 564Z
H01L21/304 621
【請求項の数】
8
(21)【出願番号】P 2023211372
(22)【出願日】2023-12-14
(65)【公開番号】P2025009726
(43)【公開日】2025-01-20
【審査請求日】2023-12-14
(31)【優先権主張番号】10-2023-0085808
(32)【優先日】2023-07-03
(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR
(73)【特許権者】
【識別番号】520307702
【氏名又は名称】セミコン テク グローバル リミテッド
(74)【代理人】
【識別番号】100083138
【弁理士】
【氏名又は名称】相田 伸二
(74)【代理人】
【識別番号】100189625
【弁理士】
【氏名又は名称】鄭 元基
(74)【代理人】
【識別番号】100196139
【弁理士】
【氏名又は名称】相田 京子
(74)【代理人】
【識別番号】100199004
【弁理士】
【氏名又は名称】服部 洋
(72)【発明者】
【氏名】ホン スンショク
(72)【発明者】
【氏名】ムン スンショク
(72)【発明者】
【氏名】キム キョンス
(72)【発明者】
【氏名】ジャン セヒョン
【審査官】金田 孝之
(56)【参考文献】
【文献】米国特許出願公開第２００６／０２５５１３８（ＵＳ，Ａ１）
【文献】特開２００５－１７８８９９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００１－２１７２１７（ＪＰ，Ａ）
【文献】米国特許出願公開第２００９／０２４３８５６（ＵＳ，Ａ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｌ ２１／００ －２１／１６
Ｈ０１Ｌ ２１／３０４
Ｂ２４Ｂ ４９／１０
Ｂ２４Ｂ ５７／０２
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
半導体工程に使用される薬液が収容される薬液貯蔵容器に収容された薬液を半導体工程が行われる領域に供給し、上記薬液貯蔵容器に関連した複数の情報を生成する薬液供給アセンブリ、及び上記薬液供給アセンブリで生成された複数の情報の転送を受けて上記薬液供給アセンブリの運用状況を判断するモニタリング管理部、
を含み、
上記薬液供給アセンブリは、
上記薬液貯蔵容器に脱着可能に設けられ、該当薬液貯蔵容器のノズル関連情報が保存されたノズル識別タグを含むノズル装着ユニット、
上記薬液貯蔵容器を内側に安置させることができるように設けられ、上記薬液貯蔵容器の安置有無を示す容器安置情報と、上記薬液貯蔵容器に予め装着された容器識別タグから近距離無線通信を介して容器関連情報を取得する容器安置ユニット、及び
近距離無線通信を介して上記ノズル識別タグから上記ノズル関連情報を取得して上記容器安置ユニット側に転送するノズル情報取得ユニット、
を含み、
上記ノズル装着ユニットは、
上記薬液貯蔵容器の少なくとも一部の周囲を囲み、上記ノズル識別タグが備えられる第１ノズル装着パート、及び
上記薬液貯蔵容器の残りの周囲を囲む形態で上記第１ノズル装着パートに結合される第２ノズル装着パート、
を含む、
半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システム。
【請求項2】
上記容器安置ユニットは、内部に上記薬液貯蔵容器が安置される安置空間が形成された容器ホルダー、及び
上記容器ホルダーに備えられ上記安置空間内に上記薬液貯蔵容器が位置しているかを認識することによって容器安置情報を生成し、上記容器関連情報及び上記ノズル関連情報を取得して上記モニタリング管理部に転送する通信ボード、
を含む、
請求項１に記載の半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システム。
【請求項3】
上記ノズル情報取得ユニットは、上記ノズル識別タグを識別して上記ノズル関連情報を取得し、上記ノズル関連情報を上記容器安置ユニット側に転送する識別アンテナ、及び
上記識別アンテナを固定させる固定ブラケット、
を含む、
請求項１に記載の半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システム。
【請求項4】
上記薬液供給アセンブリは、マウントフレームをさらに含み、上記マウントフレームには複数の上記ノズル情報取得ユニット及び上記容器安置ユニットが互いに１：１でマッチングされるように備えられ、
上記薬液供給アセンブリは複数の薬液貯蔵容器を導入させることができるように形成される、
請求項１に記載の半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システム。
【請求項5】
上記複数のノズル情報取得ユニット及び上記複数の容器安置ユニットから取得した上記容器安置情報、上記容器関連情報及び上記ノズル関連情報を区分して上記モニタリング管理部に個別転送し、上記モニタリング管理部によって生成された無線通信ホストプロトコル情報を区分して上記複数のノズル情報取得ユニット及び上記複数の容器安置ユニットに個別転送するゲートウェイをさらに含む、
請求項４に記載の半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システム。
【請求項6】
上記容器安置情報を受信し、上記薬液貯蔵容器が上記容器安置ユニットにローディング／アンローディングされる過程に係る現況及びエラー発生状況をモニタリングするプリチェッカー端末機をさらに含む、請求項１記載の半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システム。
【請求項7】
上記プリチェッカー端末機は、上記容器安置情報を受信し、上記薬液貯蔵容器が上記容器安置ユニットにローディング／アンローディングされる過程でアラームを発生させるアラーム部を含む、
請求項６に記載の半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システム。
【請求項8】
上記モニタリング管理部が上記薬液供給アセンブリに対して既に設定されたエラー状況が発生したものと判断された場合、上記モニタリング管理部の制御命令によって音を再生してアラームを行うサウンド生成装置をさらに含む、請求項１に記載の半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムに関する。より詳細には、近距離無線通信を活用して半導体工程用薬液貯蔵容器をより効果的に管理及びモニタリングできるシステムに関する。
【背景技術】
【0002】
一般的に、フォトリソグラフィ工程は、一連の半導体製造工程が先行されたウェーハをコーティング装置のスピンチャック（Ｓｐｉｎ Ｃｈｕｃｋ）上に位置させてフォトレジスト（Ｐｈｏｔｏｒｅｓｉｓｔ）をコーティング（Ｃｏａｔｉｎｇ）する工程を含む。
ここで、フォトレジストは、レジン（Ｒｅｓｉｎ）と光によって活性化がなされる感応剤としてのインヒビター（Ｉｎｈｉｂｉｔｏｒ）と液状（Ｌｉｑｕｉｄ ｓｔａｔｅ）の溶剤（Ｓｏｌｖｅｎｔ）を含んでなる。
そしてフォトレジストは、ガラス瓶で製作された容器に収容された状態で容器キャップに結合されるフォトレジスト供給管（テフロンチューブ）を介してフォトレジスト供給ラインに供給され、フォトレジスト供給ラインに供給されたフォトレジストは、多数のバルブと中間タンクを経由してコーティング装置に供給されることができる。
またフォトリソグラフィ工程では、正確な量のフォトレジストを容器に充填するために、フォトレジストの濃度、汚染及びその他の品質要件を確認するようになり、容器内にフォトレジストを充填した以降は、フォトレジストが収容された容器を半導体製造装備内に備えられる薬液供給装置に連結するようになる。
ただし、このように容器を設置する過程で、作業者のミスによってキャップを混用して他の容器に誤って装着したり、容器が正しい位置に正確に安置されない場合が発生したりもする。
この場合、該当設備で進められる工程全体が中断されることにより、非常に大きいロスが発生するようになるのはもちろん、適切でなかった薬液の供給によって既に製造された製品を廃棄しなければならない場合もあった。
したがって、このような問題点を解決するための方法が要求される。
ここで、フォトレジストは、レジン（Ｒｅｓｉｎ）と光によって活性化がなされる感応剤としてのインヒビター（Ｉｎｈｉｂｉｔｏｒ）と液状（Ｌｉｑｕｉｄ ｓｔａｔｅ）の溶剤（Ｓｏｌｖｅｎｔ）を含んでなる。
そしてフォトレジストは、ガラス瓶で製作された容器に収容された状態で容器キャップに結合されるフォトレジスト供給管（テフロンチューブ）を介してフォトレジスト供給ラインに供給され、フォトレジスト供給ラインに供給されたフォトレジストは、多数のバルブと中間タンクを経由してコーティング装置に供給されることができる。
またフォトリソグラフィ工程では、正確な量のフォトレジストを容器に充填するために、フォトレジストの濃度、汚染及びその他の品質要件を確認するようになり、容器内にフォトレジストを充填した以降は、フォトレジストが収容された容器を半導体製造装備内に備えられる薬液供給装置に連結するようになる。
ただし、このように容器を設置する過程で、作業者のミスによってキャップを混用して他の容器に誤って装着したり、容器が正しい位置に正確に安置されない場合が発生したりもする。
この場合、該当設備で進められる工程全体が中断されることにより、非常に大きいロスが発生するようになるのはもちろん、適切でなかった薬液の供給によって既に製造された製品を廃棄しなければならない場合もあった。
したがって、このような問題点を解決するための方法が要求される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】韓国公開特許第１０－２０１４－００４７６３６号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
本発明は、上述した従来技術の問題点を解決するために案出された発明であって、半導体工程で使用される薬液が貯蔵される薬液貯蔵容器の移動経路を把握し、ノズルの混用を防止する一方、薬液貯蔵容器の流通期限、廃棄可否を自動で判断することによって、効果的な半導体工程管理を行うことができるようにするための目的を有する。
本発明の課題は、上で言及した課題に制限されず、言及されていないまた他の課題は、下記の記載から当業者に明確に理解され得るものである。
本発明の課題は、上で言及した課題に制限されず、言及されていないまた他の課題は、下記の記載から当業者に明確に理解され得るものである。
【課題を解決するための手段】
【0005】
上記の目的を達成するための本発明の近距離無線通信を活用した半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムは、半導体工程に使用される薬液が収容される薬液貯蔵容器に収容された薬液を半導体工程が行われる領域に供給し、上記薬液貯蔵容器に関連した複数の情報を生成する薬液供給アセンブリ、及び上記薬液供給アセンブリで生成された複数の情報の転送を受けて上記薬液供給アセンブリの運用状況を判断するモニタリング管理部を含み、上記薬液供給アセンブリは、上記薬液貯蔵容器に脱着可能に設けられ、該当薬液貯蔵容器のノズル関連情報が保存されたノズル識別タグを含むノズル装着ユニット、上記薬液貯蔵容器を内側に安置させることができるように設けられ、上記薬液貯蔵容器の安置有無を示す容器安置情報と、上記薬液貯蔵容器に予め装着された容器識別タグから近距離無線通信を介して容器関連情報を取得する容器安置ユニット、及び近距離無線通信を介して上記ノズル識別タグから上記ノズル関連情報を取得して上記容器安置ユニット側に転送するノズル情報取得ユニットを含む。
このとき上記ノズル装着ユニットは、上記薬液貯蔵容器の少なくとも一部の周囲を囲み、上記ノズル識別タグが備えられる第１ノズル装着パート、及び上記薬液貯蔵容器の残りの周囲を囲む形態で上記第１ノズル装着パートに結合される第２ノズル装着パートを含む。
そして上記容器安置ユニットは、内部に上記薬液貯蔵容器が安置される安置空間が形成された容器ホルダー、及び上記容器ホルダーに備えられ上記安置空間内に上記薬液貯蔵容器が位置しているかを認識することによって容器安置情報を生成し、上記容器関連情報及び上記ノズル関連情報を取得して上記モニタリング管理部に転送する通信ボードを含むことができる。
また上記ノズル情報取得ユニットは、上記ノズル識別タグを識別して上記ノズル関連情報を取得し、上記ノズル関連情報を上記容器安置ユニット側に転送する識別アンテナ、及び上記識別アンテナを固定させる固定ブラケットを含むことができる。
一方上記薬液供給アセンブリは、マウントフレームをさらに含み、上記マウントフレームには複数の上記ノズル情報取得ユニット及び上記容器安置ユニットが互いに１：１でマッチングされるように備えられ、上記薬液供給アセンブリは複数の薬液貯蔵容器を導入させることができるように形成されることができる。
さらに本発明は、上記複数のノズル情報取得ユニット及び上記複数の容器安置ユニットから取得した上記容器安置情報、上記容器関連情報及び上記ノズル関連情報を区分して上記モニタリング管理部に個別転送し、上記モニタリング管理部によって生成された無線通信ホストプロトコル情報を区分して上記複数のノズル情報取得ユニット及び上記複数の容器安置ユニットに個別転送するゲートウェイをさらに含むことができる。
これとともに本発明は、上記容器安置情報を受信し、上記薬液貯蔵容器が上記容器安置ユニットにローディング／アンローディングされる過程に係る現況及びエラー発生状況をモニタリングするプリチェッカー端末機をさらに含むことができる。
このとき上記プリチェッカー端末機は、上記容器安置情報を受信し、上記薬液貯蔵容器が上記容器安置ユニットにローディング／アンローディングされる過程でアラームを発生させるアラーム部を含むことができる。
このとき上記ノズル装着ユニットは、上記薬液貯蔵容器の少なくとも一部の周囲を囲み、上記ノズル識別タグが備えられる第１ノズル装着パート、及び上記薬液貯蔵容器の残りの周囲を囲む形態で上記第１ノズル装着パートに結合される第２ノズル装着パートを含む。
そして上記容器安置ユニットは、内部に上記薬液貯蔵容器が安置される安置空間が形成された容器ホルダー、及び上記容器ホルダーに備えられ上記安置空間内に上記薬液貯蔵容器が位置しているかを認識することによって容器安置情報を生成し、上記容器関連情報及び上記ノズル関連情報を取得して上記モニタリング管理部に転送する通信ボードを含むことができる。
また上記ノズル情報取得ユニットは、上記ノズル識別タグを識別して上記ノズル関連情報を取得し、上記ノズル関連情報を上記容器安置ユニット側に転送する識別アンテナ、及び上記識別アンテナを固定させる固定ブラケットを含むことができる。
一方上記薬液供給アセンブリは、マウントフレームをさらに含み、上記マウントフレームには複数の上記ノズル情報取得ユニット及び上記容器安置ユニットが互いに１：１でマッチングされるように備えられ、上記薬液供給アセンブリは複数の薬液貯蔵容器を導入させることができるように形成されることができる。
さらに本発明は、上記複数のノズル情報取得ユニット及び上記複数の容器安置ユニットから取得した上記容器安置情報、上記容器関連情報及び上記ノズル関連情報を区分して上記モニタリング管理部に個別転送し、上記モニタリング管理部によって生成された無線通信ホストプロトコル情報を区分して上記複数のノズル情報取得ユニット及び上記複数の容器安置ユニットに個別転送するゲートウェイをさらに含むことができる。
これとともに本発明は、上記容器安置情報を受信し、上記薬液貯蔵容器が上記容器安置ユニットにローディング／アンローディングされる過程に係る現況及びエラー発生状況をモニタリングするプリチェッカー端末機をさらに含むことができる。
このとき上記プリチェッカー端末機は、上記容器安置情報を受信し、上記薬液貯蔵容器が上記容器安置ユニットにローディング／アンローディングされる過程でアラームを発生させるアラーム部を含むことができる。
【0006】
さらに本発明は、上記モニタリング管理部が上記薬液供給アセンブリに対して既に設定されたエラー状況が発生したものと判断された場合、上記モニタリング管理部の制御命令によって音を再生してアラームを行うサウンド生成装置をさらに含むことができる。
【発明の効果】
【0007】
上記の課題を解決するための本発明の近距離無線通信を活用した半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムは、薬液貯蔵容器に装着されるノズル装着ユニット及び薬液貯蔵容器が安置される容器安置ユニットからそれぞれ生成されて近距離無線通信によって収集されたノズル関連情報、容器安置情報及び容器関連情報をモニタリング管理部が転送を受けて活用することによって効果的な半導体工程管理を行うことができるという長所を有する。
特に本発明は、モニタリング管理部が薬液貯蔵容器の移動経路を把握し、ノズルキャップの混用を防止する一方、薬液貯蔵容器の流通期限、廃棄可否を自動で判断し、工程失敗の原因を抜本的に取除くことによって、工程運用過程における全体費用を大きく節減し、生産性を向上することができる。
本発明の効果は、以上で言及した効果に制限されず、言及されないまた他の効果は、請求の範囲の記載から当業者に明確に理解され得るものである。
特に本発明は、モニタリング管理部が薬液貯蔵容器の移動経路を把握し、ノズルキャップの混用を防止する一方、薬液貯蔵容器の流通期限、廃棄可否を自動で判断し、工程失敗の原因を抜本的に取除くことによって、工程運用過程における全体費用を大きく節減し、生産性を向上することができる。
本発明の効果は、以上で言及した効果に制限されず、言及されないまた他の効果は、請求の範囲の記載から当業者に明確に理解され得るものである。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】本発明の第１実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムが適用されたウェーハ加工装置の形態を示した図である。
【図2】本発明の第１実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムにおいて、薬液供給アセンブリの形態を示した図である。
【図3】本発明の第１実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムにおいて、薬液供給アセンブリに薬液貯蔵容器が安置される形態を示した図である。
【図4】本発明の第１実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムにおいて、ノズル装着ユニットの構造を示した図である。
【図5】本発明の第１実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムにおいて、ノズル情報取得ユニットの構造を示した図である。
【図6】本発明の第１実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムにおいて、容器安置ユニットの構造を示した図である。
【図7】本発明の第１実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムの全体構成要素、及びこれらの間のデータの流れを概略的に示した図である。
【図8】本発明の第２実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムにおいて、ノズル情報取得ユニットの構造を示した図である。
【図9】本発明の第２実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムにおいて、ノズル情報取得ユニットの構造を示した図である。
【図10】本発明の第２実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムにおいて、薬液供給アセンブリに薬液貯蔵容器を安置させる過程を示した図である。
【図11】本発明の第２実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムにおいて、薬液供給アセンブリに薬液貯蔵容器を安置させる過程を示した図である。
【図12】本発明の第３実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムにおいて、容器旋回ユニットの構造を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【0009】
本明細書で、ある構成要素（または領域、層、部分など）が、他の構成要素「上にある」、「連結される」、または「結合される」との言及される場合に、それは他の構成要素上に直接配置／連結／結合されることができるか、またはそれらの間に第３の構成要素が配置されることもできるということを意味する。
同一の図面符号は同一の構成要素を指す。また、図面において、構成要素の厚さ、比率、及び寸法は、技術的内容の効果的な説明のために誇張されたものである。
「及び／または」は関連した構成が定義できる1つ以上の組み合わせを全て含む。
第１、第２等の用語は、多様な構成要素を説明するのに使用され得るが、上記構成要素は上記用語によって限定されてはならない。上記用語は、1つの構成要素を他の構成要素から区別する目的でのみ使用される。例えば、本発明の権利範囲を逸脱せずに第１構成要素は第２構成要素と命名されることができ、似たように第２構成要素も第１構成要素と命名され得る。単数の表現は、文脈上明白に異なって意図しない限り、複数の表現を含む。
また、「下に」、「下側に」、「上に」、「上側に」などの用語は、図面に示された構成の関連関係を説明するために使用される。上記用語は相対的な概念であって、図面に表示された方向を基準として説明される。
別に定義されない限り、本明細書で使用された全ての用語（技術用語及び科学用語含む）は、本発明が属する技術分野の当業者によって一般的に理解されるものと同一の意味を有する。また、一般的に使用される辞書で定義された用語のような用語は、関連技術の脈絡での意味と一致する意味を有するものと解釈されるべきであり、理想的又はあまりにも形式的な意味で解釈されない限り、明示的にここで定義される。
「含む」または「有する」などの用語は、明細書上に記載された特徴、数字、段階、動作、構成要素、部品またはこれらの組合せが存在することを指定しようとするものであって、1つまたはそれ以上の他の特徴や数字、段階、動作、構成要素、部分品またはこれらの組合せの存在または付加の可能性を予め排除しないものと理解されなければならない。
以下、図面を参照して本発明の実施例を詳しく説明することにする。
図１は、本発明の第１実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムが適用されたウェーハ加工装置１の形態を示した図である。
図１に示されたようなウェーハ加工装置１００は、ウェーハを加工するための多様な構成要素を含むことができる。
同一の図面符号は同一の構成要素を指す。また、図面において、構成要素の厚さ、比率、及び寸法は、技術的内容の効果的な説明のために誇張されたものである。
「及び／または」は関連した構成が定義できる1つ以上の組み合わせを全て含む。
第１、第２等の用語は、多様な構成要素を説明するのに使用され得るが、上記構成要素は上記用語によって限定されてはならない。上記用語は、1つの構成要素を他の構成要素から区別する目的でのみ使用される。例えば、本発明の権利範囲を逸脱せずに第１構成要素は第２構成要素と命名されることができ、似たように第２構成要素も第１構成要素と命名され得る。単数の表現は、文脈上明白に異なって意図しない限り、複数の表現を含む。
また、「下に」、「下側に」、「上に」、「上側に」などの用語は、図面に示された構成の関連関係を説明するために使用される。上記用語は相対的な概念であって、図面に表示された方向を基準として説明される。
別に定義されない限り、本明細書で使用された全ての用語（技術用語及び科学用語含む）は、本発明が属する技術分野の当業者によって一般的に理解されるものと同一の意味を有する。また、一般的に使用される辞書で定義された用語のような用語は、関連技術の脈絡での意味と一致する意味を有するものと解釈されるべきであり、理想的又はあまりにも形式的な意味で解釈されない限り、明示的にここで定義される。
「含む」または「有する」などの用語は、明細書上に記載された特徴、数字、段階、動作、構成要素、部品またはこれらの組合せが存在することを指定しようとするものであって、1つまたはそれ以上の他の特徴や数字、段階、動作、構成要素、部分品またはこれらの組合せの存在または付加の可能性を予め排除しないものと理解されなければならない。
以下、図面を参照して本発明の実施例を詳しく説明することにする。
図１は、本発明の第１実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムが適用されたウェーハ加工装置１の形態を示した図である。
図１に示されたようなウェーハ加工装置１００は、ウェーハを加工するための多様な構成要素を含むことができる。
【0010】
例えば、ウェーハ加工装置１は、ウェーハの切断、研磨、エッチング、コーティングなどを含む多様な加工工程が行われる複数の工程領域を含むことができる。
その中でも本実施例でのウェーハ加工装置１は、ウェーハ上にフォトレジスト（Ｐｈｏｔｏｒｅｓｉｓｔ）をコーティング（Ｃｏａｔｉｎｇ）する工程領域を含むことができ、これによりウェーハにフォトレジストのような薬液を供給するための1つ以上の薬液供給アセンブリ１００がウェーハ加工装置１内に備えられることができる。
そしてウェーハ加工装置１には、薬液供給アセンブリ１００とともに、薬液供給アセンブリ１００の運用状況を判断するモニタリング管理部２００が備えられることができ、薬液供給アセンブリ１００及びモニタリング管理部２００は、共に半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムを構成するようになる。
以下では、本発明による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムについて詳細に説明することにする。
図２は本発明の第１実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムにおいて、薬液供給アセンブリ１００の形態を示した図であり、図３は本発明の第１実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムにおいて、薬液供給アセンブリ１００に薬液貯蔵容器１０が安置される形態を示した図である。
図２及び図３に示されたように、本実施例で薬液供給アセンブリ１００は、薬液貯蔵容器１０に収容された薬液を半導体工程が行われる領域に供給する役割を行い、細部的にはノズル装着ユニット１２０、容器安置ユニット１３０、ノズル情報取得ユニット１４０及びマウントフレーム１１０を含む。
その中でも本実施例でのウェーハ加工装置１は、ウェーハ上にフォトレジスト（Ｐｈｏｔｏｒｅｓｉｓｔ）をコーティング（Ｃｏａｔｉｎｇ）する工程領域を含むことができ、これによりウェーハにフォトレジストのような薬液を供給するための1つ以上の薬液供給アセンブリ１００がウェーハ加工装置１内に備えられることができる。
そしてウェーハ加工装置１には、薬液供給アセンブリ１００とともに、薬液供給アセンブリ１００の運用状況を判断するモニタリング管理部２００が備えられることができ、薬液供給アセンブリ１００及びモニタリング管理部２００は、共に半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムを構成するようになる。
以下では、本発明による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムについて詳細に説明することにする。
図２は本発明の第１実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムにおいて、薬液供給アセンブリ１００の形態を示した図であり、図３は本発明の第１実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムにおいて、薬液供給アセンブリ１００に薬液貯蔵容器１０が安置される形態を示した図である。
図２及び図３に示されたように、本実施例で薬液供給アセンブリ１００は、薬液貯蔵容器１０に収容された薬液を半導体工程が行われる領域に供給する役割を行い、細部的にはノズル装着ユニット１２０、容器安置ユニット１３０、ノズル情報取得ユニット１４０及びマウントフレーム１１０を含む。
【0011】
本実施例で薬液貯蔵容器１０は、薬液が収容される薬液貯蔵ボディ１１と、このような薬液収容ボディ１１の上部に脱着可能に備えられて薬液貯蔵ボディ１１に収容された薬液を工程領域に供給する役割を行うノズルキャップ１２を含む形態を有する。
ノズル装着ユニット１２０は、薬液貯蔵容器１０に脱着可能に設けられ、該当薬液貯蔵容器１０のノズル関連情報が保存されたノズル識別タグを含む。
そして本実施例でノズル装着ユニット１２０は、薬液貯蔵容器１０のノズルキャップ１２に隣接して装着されるものとしたが、これは本実施例で制限されるものではない。
容器安置ユニット１３０は、薬液貯蔵容器１０を内側に安置させることができるように設けられ、薬液貯蔵容器１０の安置有無を示す容器安置情報と、薬液貯蔵容器１０に予め装着された容器識別タグ１３から近距離無線通信を介して容器関連情報を取得する。
本実施例の場合、容器識別タグ１３は、薬液貯蔵容器１０の薬液貯蔵ボディ１１部分に備えられるものとし、容器安置ユニット１３０は内側に安置された薬液貯蔵容器１０の容器識別タグ１３を識別することになる。
このとき容器安置ユニット１３０及び容器識別タグ１３の間に適用される無線通信方式は、ＲＦＩＤ（Ｒａｄｉｏ Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ Ｉｄｅｎｔｉｆｉｃａｔｉｏｎ）であり得るが、これに制限されるものではなく、ブルートゥース（Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ）、ジグビー（Ｚｉｇｂｅｅ）、ワイファイ（ＷｉＦｉ）、ＵＷＢ（Ｕｌｔｒａ－Ｗｉｄｅｂａｎｄ）などのように多様な無線通信方式が適用され得ることはもちろんである。
ノズル情報取得ユニット１４０は、近距離無線通信を介してノズル装着ユニット１２０のノズル識別タグからノズル関連情報を取得し、これを容器安置ユニット１３０側に転送する役割を行う。
本実施例でノズル情報取得ユニット１４０及びノズル識別タグの間に適用される無線通信方式は同様にＲＦＩＤであり得、併せて上に羅列した多様な無線通信方式が適用され得ることはもちろんである。
またノズル情報取得ユニット１４０と容器安置ユニット１３０間のデータ転送過程も、やはり上に羅列された無線通信方式のうちいずれか1つであり得、または有線通信方式でもあり得る。
マウントフレーム１１０は、容器安置ユニット１３０及びノズル情報取得ユニット１４０を設置するための基本的な骨組み構造を提供する。
本実施例でマウントフレーム１１０には、複数のノズル情報取得ユニット１４０及び容器安置ユニット１３０が互いに１：１でマッチングされるように備えられ、薬液供給アセンブリ１００は複数の薬液貯蔵容器１０を導入させることができるように形成されることができる。
ノズル装着ユニット１２０は、薬液貯蔵容器１０に脱着可能に設けられ、該当薬液貯蔵容器１０のノズル関連情報が保存されたノズル識別タグを含む。
そして本実施例でノズル装着ユニット１２０は、薬液貯蔵容器１０のノズルキャップ１２に隣接して装着されるものとしたが、これは本実施例で制限されるものではない。
容器安置ユニット１３０は、薬液貯蔵容器１０を内側に安置させることができるように設けられ、薬液貯蔵容器１０の安置有無を示す容器安置情報と、薬液貯蔵容器１０に予め装着された容器識別タグ１３から近距離無線通信を介して容器関連情報を取得する。
本実施例の場合、容器識別タグ１３は、薬液貯蔵容器１０の薬液貯蔵ボディ１１部分に備えられるものとし、容器安置ユニット１３０は内側に安置された薬液貯蔵容器１０の容器識別タグ１３を識別することになる。
このとき容器安置ユニット１３０及び容器識別タグ１３の間に適用される無線通信方式は、ＲＦＩＤ（Ｒａｄｉｏ Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ Ｉｄｅｎｔｉｆｉｃａｔｉｏｎ）であり得るが、これに制限されるものではなく、ブルートゥース（Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ）、ジグビー（Ｚｉｇｂｅｅ）、ワイファイ（ＷｉＦｉ）、ＵＷＢ（Ｕｌｔｒａ－Ｗｉｄｅｂａｎｄ）などのように多様な無線通信方式が適用され得ることはもちろんである。
ノズル情報取得ユニット１４０は、近距離無線通信を介してノズル装着ユニット１２０のノズル識別タグからノズル関連情報を取得し、これを容器安置ユニット１３０側に転送する役割を行う。
本実施例でノズル情報取得ユニット１４０及びノズル識別タグの間に適用される無線通信方式は同様にＲＦＩＤであり得、併せて上に羅列した多様な無線通信方式が適用され得ることはもちろんである。
またノズル情報取得ユニット１４０と容器安置ユニット１３０間のデータ転送過程も、やはり上に羅列された無線通信方式のうちいずれか1つであり得、または有線通信方式でもあり得る。
マウントフレーム１１０は、容器安置ユニット１３０及びノズル情報取得ユニット１４０を設置するための基本的な骨組み構造を提供する。
本実施例でマウントフレーム１１０には、複数のノズル情報取得ユニット１４０及び容器安置ユニット１３０が互いに１：１でマッチングされるように備えられ、薬液供給アセンブリ１００は複数の薬液貯蔵容器１０を導入させることができるように形成されることができる。
【0012】
そしてマウントフレーム１１０は、複数の容器安置ユニット１３０が設置され得るように互いに区画された複数の容器設置領域が形成された下部フレーム１１４と、このような下部フレーム１１４に連結され、複数のノズル情報取得ユニット１４０を設置できるように設けられた上部フレーム１１１を含む形態で形成される。
特に本実施例で下部フレーム１１４は、上部フレーム１１１を中心に複数の容器設置領域が互いに対称となる形態で配置され、上部フレーム１１１には複数のノズル情報取得ユニット１４０が互いに対称となる形態で配置される。
ただし、マウントフレーム１１０の形態もやはり本実施例以外の形態で多様に設計変更され得ることはもちろんである。
以下では、ノズル装着ユニット１２０、容器安置ユニット１３０、ノズル情報取得ユニット１４０の詳細構造についてより詳細に説明することにする。
図４は、本発明の第１実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムにおいて、ノズル装着ユニット１２０の構造を示した図である。
図４に示されたように、本実施例でノズル装着ユニット１２０は、第１ノズル装着パート１２０ａ及び第２ノズル装着パート１２０ｂを含む。
第１ノズル装着パート１２０ａは、薬液貯蔵容器１０の少なくとも一部の周囲を囲み、ノズル識別タグ１２２が備えられる。このときノズル識別タグ１２２は、該当薬液貯蔵容器１０のノズルキャップ１２に関連した情報であるノズル関連情報を保存している。
そして第２ノズル装着パート１２０ｂは、薬液貯蔵容器１０の残りの周囲を囲む形態で第１ノズル装着パート１２０ａに結合される形態を有する。
すなわちノズル装着ユニット１２０は、第１ノズル装着パート１２０ａ及び第２ノズル装着パート１２０ｂが薬液貯蔵容器１０に互いに脱着可能に結合されることができる。
また本実施例の場合、第１ノズル装着パート１２０ａ及び第２ノズル装着パート１２０ｂは、薬液貯蔵容器１０のノズルキャップ１２に隣接して装着される。
そして本実施例で第１ノズル装着パート１２０ａは、細部的にはノズル識別タグ１２２が備えられるタグ装着部１２１と、このようなタグ装着部１２１の両側に枝分かれし、第２ノズル装着パート１２０ｂと結合可能に形成される第１結合部１２３を含む。
このとき薬液貯蔵容器１０のノズルキャップ１２側には、陥没した安置溝１２ａが形成されることができ、第１ノズル装着パート１２０ａの第１結合部１２３には安置溝１２ａに挿入されて固定力を高める安置段部１２４が形成されることができる。
第２ノズル装着パート１２０ｂは、細部的には第１ノズル装着パート１２０ａの反対側で薬液貯蔵容器１０の残りの周囲を囲む容器密着部１２５と、このような容器密着部１２５の両側に設けられ第１ノズル装着パート１２０ａと結合可能に形成される第２結合部１２６を含む。
特に本実施例で下部フレーム１１４は、上部フレーム１１１を中心に複数の容器設置領域が互いに対称となる形態で配置され、上部フレーム１１１には複数のノズル情報取得ユニット１４０が互いに対称となる形態で配置される。
ただし、マウントフレーム１１０の形態もやはり本実施例以外の形態で多様に設計変更され得ることはもちろんである。
以下では、ノズル装着ユニット１２０、容器安置ユニット１３０、ノズル情報取得ユニット１４０の詳細構造についてより詳細に説明することにする。
図４は、本発明の第１実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムにおいて、ノズル装着ユニット１２０の構造を示した図である。
図４に示されたように、本実施例でノズル装着ユニット１２０は、第１ノズル装着パート１２０ａ及び第２ノズル装着パート１２０ｂを含む。
第１ノズル装着パート１２０ａは、薬液貯蔵容器１０の少なくとも一部の周囲を囲み、ノズル識別タグ１２２が備えられる。このときノズル識別タグ１２２は、該当薬液貯蔵容器１０のノズルキャップ１２に関連した情報であるノズル関連情報を保存している。
そして第２ノズル装着パート１２０ｂは、薬液貯蔵容器１０の残りの周囲を囲む形態で第１ノズル装着パート１２０ａに結合される形態を有する。
すなわちノズル装着ユニット１２０は、第１ノズル装着パート１２０ａ及び第２ノズル装着パート１２０ｂが薬液貯蔵容器１０に互いに脱着可能に結合されることができる。
また本実施例の場合、第１ノズル装着パート１２０ａ及び第２ノズル装着パート１２０ｂは、薬液貯蔵容器１０のノズルキャップ１２に隣接して装着される。
そして本実施例で第１ノズル装着パート１２０ａは、細部的にはノズル識別タグ１２２が備えられるタグ装着部１２１と、このようなタグ装着部１２１の両側に枝分かれし、第２ノズル装着パート１２０ｂと結合可能に形成される第１結合部１２３を含む。
このとき薬液貯蔵容器１０のノズルキャップ１２側には、陥没した安置溝１２ａが形成されることができ、第１ノズル装着パート１２０ａの第１結合部１２３には安置溝１２ａに挿入されて固定力を高める安置段部１２４が形成されることができる。
第２ノズル装着パート１２０ｂは、細部的には第１ノズル装着パート１２０ａの反対側で薬液貯蔵容器１０の残りの周囲を囲む容器密着部１２５と、このような容器密着部１２５の両側に設けられ第１ノズル装着パート１２０ａと結合可能に形成される第２結合部１２６を含む。
【0013】
図５は、本発明の第１実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムにおいて、ノズル情報取得ユニット１４０の構造を示した図である。
図４に示されたように、本実施例でノズル情報取得ユニット１４０は、識別アンテナ１４１及び固定ブラケット１４２を含む。
識別アンテナ１４１は、上述したノズル装着ユニット１２０のノズル識別タグ１２１を識別してノズル関連情報を取得し、ノズル関連情報を容器安置ユニット１３０側に転送するように備えられる。
そして固定ブラケット１４２は、このような識別アンテナ１４１をマウントフレーム１１０に固定させる役割を行う。
本実施例で固定ブラケット１４２は、識別アンテナ１４１の後面を囲む後面固定部１４３と、後面固定部１４３の両側から前方に延長され、その間にノズル装着ユニット１２０の第１ノズル装着パート１２０ａが位置する一対のガイド部１４４と、後面固定部１４３の下端から後方に曲がった形態で延長されマウントフレーム１１０側に締結されるフレーム締結部１４５を含む形態を有する。
このとき一対のガイド部１４４は、薬液貯蔵容器１０を容器安置ユニット１３０に安置させる過程で、ノズル装着ユニット１２０の第１ノズル装着パート１２０ａに設けられたノズル識別タグ１２１が識別アンテナ１４１に対向することができるようにガイドする役割を行う。
図４に示されたように、本実施例でノズル情報取得ユニット１４０は、識別アンテナ１４１及び固定ブラケット１４２を含む。
識別アンテナ１４１は、上述したノズル装着ユニット１２０のノズル識別タグ１２１を識別してノズル関連情報を取得し、ノズル関連情報を容器安置ユニット１３０側に転送するように備えられる。
そして固定ブラケット１４２は、このような識別アンテナ１４１をマウントフレーム１１０に固定させる役割を行う。
本実施例で固定ブラケット１４２は、識別アンテナ１４１の後面を囲む後面固定部１４３と、後面固定部１４３の両側から前方に延長され、その間にノズル装着ユニット１２０の第１ノズル装着パート１２０ａが位置する一対のガイド部１４４と、後面固定部１４３の下端から後方に曲がった形態で延長されマウントフレーム１１０側に締結されるフレーム締結部１４５を含む形態を有する。
このとき一対のガイド部１４４は、薬液貯蔵容器１０を容器安置ユニット１３０に安置させる過程で、ノズル装着ユニット１２０の第１ノズル装着パート１２０ａに設けられたノズル識別タグ１２１が識別アンテナ１４１に対向することができるようにガイドする役割を行う。
【0014】
さらに、一対のガイド部１４４のうち少なくともいずれか1つは、識別アンテナ１４１の前面の一部を囲む形態で後面固定部１４３から折曲がり、識別アンテナ１４１を安定的に固定させることができる。
また識別アンテナ１４１は、平板形態で形成され、固定ブラケット１４２の上部側で結合するか分離可能に形成されることができる。
図６は、本発明の第１実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムにおいて、容器安置ユニット１３０の構造を示した図である。
図６に示されたように、本実施例で容器安置ユニット１３０は、容器ホルダー１３１及び通信ボード１３３を含む。
容器ホルダー１３１は、その内部に薬液貯蔵容器１０が安置される安置空間１３２が形成される。本実施例で容器ホルダー１３１は、全体的に薬液貯蔵容器１０の下部側で薬液貯蔵ボディ１１の周囲を囲む形態で形成された形態を有する。
通信ボード１３３は、このような容器ホルダー１３１に備えられ安置空間１３２内に薬液貯蔵容器１０が位置しているかを認識することによって容器安置情報を生成し、これと共に容器関連情報及びノズル関連情報を取得して後述するモニタリング管理部２００（図７参照）に転送する役割を行う。
このとき通信ボード１３３は、安置空間１３２内に薬液貯蔵容器１０が位置しているかを感知するために安置空間１３２側に露出した容器感知センサ１３４を含むことができる。容器感知センサ１３４としては、前方の事物を感知するための公知のセンサうちずれか1つが適用され得る。
また通信ボード１３３は、薬液貯蔵容器１０に予め装着された容器識別タグ１３（図３参照）から近距離無線通信を介して容器関連情報を取得するために安置空間１３２側に露出した識別プローブ１３５を含むことができる。
これと共に通信ボード１３３は、上述した識別アンテナ１４１で取得したノズル関連情報の転送を受けることができる。
また識別アンテナ１４１は、平板形態で形成され、固定ブラケット１４２の上部側で結合するか分離可能に形成されることができる。
図６は、本発明の第１実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムにおいて、容器安置ユニット１３０の構造を示した図である。
図６に示されたように、本実施例で容器安置ユニット１３０は、容器ホルダー１３１及び通信ボード１３３を含む。
容器ホルダー１３１は、その内部に薬液貯蔵容器１０が安置される安置空間１３２が形成される。本実施例で容器ホルダー１３１は、全体的に薬液貯蔵容器１０の下部側で薬液貯蔵ボディ１１の周囲を囲む形態で形成された形態を有する。
通信ボード１３３は、このような容器ホルダー１３１に備えられ安置空間１３２内に薬液貯蔵容器１０が位置しているかを認識することによって容器安置情報を生成し、これと共に容器関連情報及びノズル関連情報を取得して後述するモニタリング管理部２００（図７参照）に転送する役割を行う。
このとき通信ボード１３３は、安置空間１３２内に薬液貯蔵容器１０が位置しているかを感知するために安置空間１３２側に露出した容器感知センサ１３４を含むことができる。容器感知センサ１３４としては、前方の事物を感知するための公知のセンサうちずれか1つが適用され得る。
また通信ボード１３３は、薬液貯蔵容器１０に予め装着された容器識別タグ１３（図３参照）から近距離無線通信を介して容器関連情報を取得するために安置空間１３２側に露出した識別プローブ１３５を含むことができる。
これと共に通信ボード１３３は、上述した識別アンテナ１４１で取得したノズル関連情報の転送を受けることができる。
【0015】
すなわち通信ボード１３３は、容器安置情報、容器関連情報及びノズル関連情報を収集し、これを後述するモニタリング管理部２００に転送するようになる。
図７は、本発明の第１実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムの全体構成要素及びこれらの間のデータの流れを概略的に示した図である。
図７に示されたように、薬液供給アセンブリ１００の容器安置ユニット１３０は、薬液貯蔵容器１０から容器安置情報、容器関連情報を生成し、またノズル情報取得ユニット１４０がノズル装着ユニット１２０から識別したノズル関連情報を収集し、このようなそれぞれの情報はモニタリング管理部２００側に転送される。
本実施例で薬液供給アセンブリ１００には、薬液貯蔵容器１０が複数備えられるため、それぞれの薬液貯蔵容器１０ごとに対応する容器安置情報、容器関連情報及びノズル関連情報が生成されてモニタリング管理部２００側に転送されることができる。
そしてモニタリング管理部２００は、容器安置情報、容器関連情報及びノズル関連情報の転送を受けて、薬液供給アセンブリ１００の運用状況を判断するようになり、モニタリング管理部２００側で処理される全てのデータは運用サーバ６００側に保存されることができる。
さらに本実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムは、ゲートウェイ４００、プリチェッカー端末機３００、サウンド生成装置５００をさらに含むことができる。
ゲートウェイ４００は、容器安置ユニット１３０からモニタリング管理部２００側にデータが転送される過程で、複数の容器安置情報、容器関連情報及びノズル関連情報を区分してモニタリング管理部２００に個別転送し、またモニタリング管理部２００によって生成された無線通信ホストプロトコル情報を区分して複数のノズル情報取得ユニット１４０及び複数の容器安置ユニット１３０に個別転送する役割を行う。
プリチェッカー端末機３００は、容器安置情報を受信して、薬液貯蔵容器１０が容器安置ユニット１３０にローディング／アンローディングされる過程に係る現況及びエラー発生状況をモニタリングするように備えられる。
図７は、本発明の第１実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムの全体構成要素及びこれらの間のデータの流れを概略的に示した図である。
図７に示されたように、薬液供給アセンブリ１００の容器安置ユニット１３０は、薬液貯蔵容器１０から容器安置情報、容器関連情報を生成し、またノズル情報取得ユニット１４０がノズル装着ユニット１２０から識別したノズル関連情報を収集し、このようなそれぞれの情報はモニタリング管理部２００側に転送される。
本実施例で薬液供給アセンブリ１００には、薬液貯蔵容器１０が複数備えられるため、それぞれの薬液貯蔵容器１０ごとに対応する容器安置情報、容器関連情報及びノズル関連情報が生成されてモニタリング管理部２００側に転送されることができる。
そしてモニタリング管理部２００は、容器安置情報、容器関連情報及びノズル関連情報の転送を受けて、薬液供給アセンブリ１００の運用状況を判断するようになり、モニタリング管理部２００側で処理される全てのデータは運用サーバ６００側に保存されることができる。
さらに本実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムは、ゲートウェイ４００、プリチェッカー端末機３００、サウンド生成装置５００をさらに含むことができる。
ゲートウェイ４００は、容器安置ユニット１３０からモニタリング管理部２００側にデータが転送される過程で、複数の容器安置情報、容器関連情報及びノズル関連情報を区分してモニタリング管理部２００に個別転送し、またモニタリング管理部２００によって生成された無線通信ホストプロトコル情報を区分して複数のノズル情報取得ユニット１４０及び複数の容器安置ユニット１３０に個別転送する役割を行う。
プリチェッカー端末機３００は、容器安置情報を受信して、薬液貯蔵容器１０が容器安置ユニット１３０にローディング／アンローディングされる過程に係る現況及びエラー発生状況をモニタリングするように備えられる。
【0016】
このときプリチェッカー端末機３００は、容器安置情報を受信して、薬液貯蔵容器１０が容器安置ユニットにローディング／アンローディングされる過程で、音または光を介したアラームを発生させるアラーム部を含むことができる。
サウンド生成装置５００は、モニタリング管理部２００が薬液供給アセンブリ１００に対して既に設定されたエラー状況が発生したものと判断された場合、モニタリング管理部2００の制御命令によって音を再生してアラームを行う役割を行う。
このため本実施例のサウンド生成装置５００は、音信号を増幅させるアンプ５１０と、音を再生するスピーカー５２０を含むことができる。
以上のとおり、本発明による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムは、薬液貯蔵容器１０に装着されるノズル装着ユニット１２０及び薬液貯蔵容器１０が安置される容器安置ユニット１３０からそれぞれ生成されて近距離無線通信によって収集されたノズル関連情報、容器安置情報及び容器関連情報をモニタリング管理部２００が転送を受けて活用することにより、効果的な半導体工程管理を行うことができる。
特に本発明は、モニタリング管理部２００が薬液貯蔵容器１０の移動経路を把握し、ノズルキャップ１２の混用を防止する一方、薬液貯蔵容器１０の流通期限、廃棄可否を自動で判断し、工程失敗の原因を抜本的に取除くことにより、工程運用過程における全体費用を大きく節減し、生産性を向上することができる。
サウンド生成装置５００は、モニタリング管理部２００が薬液供給アセンブリ１００に対して既に設定されたエラー状況が発生したものと判断された場合、モニタリング管理部2００の制御命令によって音を再生してアラームを行う役割を行う。
このため本実施例のサウンド生成装置５００は、音信号を増幅させるアンプ５１０と、音を再生するスピーカー５２０を含むことができる。
以上のとおり、本発明による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムは、薬液貯蔵容器１０に装着されるノズル装着ユニット１２０及び薬液貯蔵容器１０が安置される容器安置ユニット１３０からそれぞれ生成されて近距離無線通信によって収集されたノズル関連情報、容器安置情報及び容器関連情報をモニタリング管理部２００が転送を受けて活用することにより、効果的な半導体工程管理を行うことができる。
特に本発明は、モニタリング管理部２００が薬液貯蔵容器１０の移動経路を把握し、ノズルキャップ１２の混用を防止する一方、薬液貯蔵容器１０の流通期限、廃棄可否を自動で判断し、工程失敗の原因を抜本的に取除くことにより、工程運用過程における全体費用を大きく節減し、生産性を向上することができる。
【0017】
以下では、本発明の他の実施例について説明することにする。このとき以下説明される各実施例において、上述の第１実施例と同一に備えられる構成要素についての重複する説明は省略することとする。
図８及び図９は、本発明の第２実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムにおいて、ノズル情報取得ユニット１４０の構造を示した図である。
図８及び図９に示された本発明の第２実施例で、ノズル情報取得ユニット１４０は、上述の第１実施例と同じく識別アンテナ１４１及び固定ブラケット１４２を含み、また固定ブラケット１４２は後面固定部１４３、一対のガイド部１４４及びフレーム締結部１４５を含む。
そして本実施例のノズル情報取得ユニット１４０は追加的に、固定ブラケット１４２を所定範囲で水平移動させるためのスライドモジュール１４６をさらに含むという特徴を有する。
具体的には、本実施例で固定ブラケット１４２のフレーム締結部１４５は、マウントフレーム１１０の上部フレーム１１１に設けられたマウント部１１２の上部側に固定され、このときマウント部１１２には横方向に長く貫通形成された連結スリット１１３が形成されることができる。
このときスライドモジュール１４６は、マウント部１１２の下部側に備えられ、連結スリット１１３を介して固定ブラケット１４２に連結された形態を有する。
そして本実施例でスライドモジュール１４６は、スライド部材１４７、弾性部材１４９及び固定部材１４８を含むことができる。
スライド部材１４７は、少なくとも一部が連結スリット１１３を貫通して、マウント部１１２の上部側に位置した固定ブラケット１４２のフレーム締結部１４５に連結される。このためスライド部材１４７及び固定ブラケット１４２は、連結スリット１１３の長さ方向に沿って横方向に水平移動可能に形成されることができる。
また弾性部材１４９は、一対がこのようなスライド部材１４７を中心に両側にそれぞれ配置される。
図８及び図９は、本発明の第２実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムにおいて、ノズル情報取得ユニット１４０の構造を示した図である。
図８及び図９に示された本発明の第２実施例で、ノズル情報取得ユニット１４０は、上述の第１実施例と同じく識別アンテナ１４１及び固定ブラケット１４２を含み、また固定ブラケット１４２は後面固定部１４３、一対のガイド部１４４及びフレーム締結部１４５を含む。
そして本実施例のノズル情報取得ユニット１４０は追加的に、固定ブラケット１４２を所定範囲で水平移動させるためのスライドモジュール１４６をさらに含むという特徴を有する。
具体的には、本実施例で固定ブラケット１４２のフレーム締結部１４５は、マウントフレーム１１０の上部フレーム１１１に設けられたマウント部１１２の上部側に固定され、このときマウント部１１２には横方向に長く貫通形成された連結スリット１１３が形成されることができる。
このときスライドモジュール１４６は、マウント部１１２の下部側に備えられ、連結スリット１１３を介して固定ブラケット１４２に連結された形態を有する。
そして本実施例でスライドモジュール１４６は、スライド部材１４７、弾性部材１４９及び固定部材１４８を含むことができる。
スライド部材１４７は、少なくとも一部が連結スリット１１３を貫通して、マウント部１１２の上部側に位置した固定ブラケット１４２のフレーム締結部１４５に連結される。このためスライド部材１４７及び固定ブラケット１４２は、連結スリット１１３の長さ方向に沿って横方向に水平移動可能に形成されることができる。
また弾性部材１４９は、一対がこのようなスライド部材１４７を中心に両側にそれぞれ配置される。
【0018】
そして固定部材１４８もやはり一対が設けられ固定ブラケット１４２のフレーム締結部１４５の両側下部にそれぞれ備えられ、このため一対の固定部材１４８は、それぞれ対応する方向に位置した弾性部材１４９の外側を固定させることができる。
一方、図９に示されたように、本実施例で固定ブラケット１４２の一対のガイド部１４４は、上部の一部が傾斜した形態で形成されて、下部から上部にいくほど次第に外側に広がる形態で形成される。
このような本実施例のノズル情報取得ユニット１４０の形態によって、薬液供給アセンブリ１００に薬液貯蔵容器１０を安置させる過程は次のように進められることができる。
図１０及び図１１は、本発明の第２実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムにおいて、薬液供給アセンブリ１００に薬液貯蔵容器１０を安置させる過程を示した図である。
図１０及び図１１に示されたように、薬液供給アセンブリ１００に薬液貯蔵容器１０を安置させる過程では、作業者のミスまたは装備の誤差／エラーによって薬液貯蔵容器１０が多少回転した状態で導入されることがあり得る。このような場合、ノズル装着ユニット１２０に備えられたノズル識別タグ１２２がノズル情報取得ユニット１４０の方向に正面で向かい合わず、ずれた状態で備えられ、認識率が低下したり認識が不可能な状態で維持される可能性がある。
ただし、前述のように本実施例のノズル情報取得ユニット１４０は、一対のガイド部１４４の上部一部が傾斜した形態で形成され、下部から上部にいくほど次第に外側に広がる形態で形成されるため、薬液貯蔵容器１０が多少回転した状態で導入される場合、タグ装着部１２１がガイド部１４４の傾斜面に接触し得る。
これにより、図１１の（ａ）に示されたように、ノズル情報取得ユニット１４０の固定ブラケット１４２は、タグ装着部１２１が接触したガイド部１４４が位置した方向側に水平移動するようになる。
一方、図９に示されたように、本実施例で固定ブラケット１４２の一対のガイド部１４４は、上部の一部が傾斜した形態で形成されて、下部から上部にいくほど次第に外側に広がる形態で形成される。
このような本実施例のノズル情報取得ユニット１４０の形態によって、薬液供給アセンブリ１００に薬液貯蔵容器１０を安置させる過程は次のように進められることができる。
図１０及び図１１は、本発明の第２実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムにおいて、薬液供給アセンブリ１００に薬液貯蔵容器１０を安置させる過程を示した図である。
図１０及び図１１に示されたように、薬液供給アセンブリ１００に薬液貯蔵容器１０を安置させる過程では、作業者のミスまたは装備の誤差／エラーによって薬液貯蔵容器１０が多少回転した状態で導入されることがあり得る。このような場合、ノズル装着ユニット１２０に備えられたノズル識別タグ１２２がノズル情報取得ユニット１４０の方向に正面で向かい合わず、ずれた状態で備えられ、認識率が低下したり認識が不可能な状態で維持される可能性がある。
ただし、前述のように本実施例のノズル情報取得ユニット１４０は、一対のガイド部１４４の上部一部が傾斜した形態で形成され、下部から上部にいくほど次第に外側に広がる形態で形成されるため、薬液貯蔵容器１０が多少回転した状態で導入される場合、タグ装着部１２１がガイド部１４４の傾斜面に接触し得る。
これにより、図１１の（ａ）に示されたように、ノズル情報取得ユニット１４０の固定ブラケット１４２は、タグ装着部１２１が接触したガイド部１４４が位置した方向側に水平移動するようになる。
【0019】
この過程でスライドモジュール１４６に設けられた一対の弾性部材１４９のうち固定ブラケット１４２の水平移動した方向側に位置した弾性部材１４９は、スライド部材１４７の移動によって圧縮され、反対側に位置した弾性部材１４９は引張される。
この後、図１１の（ｂ）に示されたように、薬液貯蔵容器１０が薬液供給アセンブリ１００に完全に導入された状態では、一対の弾性部材１４９の復元力によって固定ブラケット１４２が最初の位置に再び移動するようになる。
そしてこの過程で一側のガイド部１４４は、ノズル装着ユニット１２０のタグ装着部１２１を押し出すようになり、このため薬液貯蔵容器１０は全体的に回転して、ノズル装着ユニット１２０に備えられたノズル識別タグ１２２はノズル情報取得ユニット１４０の方向に正面で向かい合うように位置が補正されることができる。
このとき一対のスライドモジュール１４６に設けられた一対の弾性部材１４９は、スライド部材１４７が中央に位置した状態で引張力と圧縮力が平衡をなす状態で備えられることができる。
したがってスライド部材１４７がいずれか一方向に水平移動した場合、スライド部材１４７は、一対の弾性部材１４９両方から復元力を提供されて、ノズル装着ユニット１２０に、より強い加圧力を印加することができる。
図１２は、本発明の第３実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムにおいて、容器旋回ユニット１５０の構造を示した図である。
図１２に示された本実施例の第３実施例は、上述の第２実施例と全体的に同一の構成要素を有することが前提とされ、薬液供給アセンブリ１００は追加で容器旋回ユニット１５０をさらに含むという特徴を有する。
容器旋回ユニット１５０は、容器安置ユニット１３０の下部に位置して薬液貯蔵容器１０の下部を支持する役割を行う。
この後、図１１の（ｂ）に示されたように、薬液貯蔵容器１０が薬液供給アセンブリ１００に完全に導入された状態では、一対の弾性部材１４９の復元力によって固定ブラケット１４２が最初の位置に再び移動するようになる。
そしてこの過程で一側のガイド部１４４は、ノズル装着ユニット１２０のタグ装着部１２１を押し出すようになり、このため薬液貯蔵容器１０は全体的に回転して、ノズル装着ユニット１２０に備えられたノズル識別タグ１２２はノズル情報取得ユニット１４０の方向に正面で向かい合うように位置が補正されることができる。
このとき一対のスライドモジュール１４６に設けられた一対の弾性部材１４９は、スライド部材１４７が中央に位置した状態で引張力と圧縮力が平衡をなす状態で備えられることができる。
したがってスライド部材１４７がいずれか一方向に水平移動した場合、スライド部材１４７は、一対の弾性部材１４９両方から復元力を提供されて、ノズル装着ユニット１２０に、より強い加圧力を印加することができる。
図１２は、本発明の第３実施例による半導体工程用薬液貯蔵容器の管理システムにおいて、容器旋回ユニット１５０の構造を示した図である。
図１２に示された本実施例の第３実施例は、上述の第２実施例と全体的に同一の構成要素を有することが前提とされ、薬液供給アセンブリ１００は追加で容器旋回ユニット１５０をさらに含むという特徴を有する。
容器旋回ユニット１５０は、容器安置ユニット１３０の下部に位置して薬液貯蔵容器１０の下部を支持する役割を行う。
【0020】
具体的には、本実施例で容器旋回ユニット１５０は、固定された状態で備えられるベース部１５１と、このようなベース部１５１に対して中心点を基準としてローテーティング可能に形成され、薬液貯蔵容器１０を支持するローテーティング部１５２を含む。
このときローテーティング部１５２の回転軸Ｒは、薬液貯蔵容器１０の中心軸と一致するように形成され、これにより上述のノズル識別タグ１２２の位置補正過程で薬液貯蔵容器１０に印加される摩擦力を最小化して円滑に回転するようにすることができる。
特に本実施例で薬液貯蔵容器１０は、薬液の円滑な供給のために中心軸が地面から多少傾いた状態で薬液供給アセンブリ１００に固定されることがあり得、これによりローテーティング部１５２の回転軸Ｒもやはり水平線Ｈに対して同一の角度θで傾いた状態を有することができる。
そしてこれのために、ベース部１５１の下面は水平線Ｈと平行に形成されて地面に接触することができ、上面はローテーティング部１５２の回転軸Ｒに対して垂直なように傾斜して形成されてローテーティング部１５２が円滑に回転するようにすることができる。
以上のとおり本発明による望ましい実施例を詳察した。先に説明された実施例以外にも、本発明がその趣旨や範疇から逸脱することなしに他の特定形態で具体化され得るという事実は、該当技術に通常の知識を有する者には自明である。そのため、上述した実施例は制限的なものではなく例示的と考えなくてはならず、このため本発明は、上述した説明に限定されず添付された請求項の範疇及びその同等の範囲内で変更されることもできる。
このときローテーティング部１５２の回転軸Ｒは、薬液貯蔵容器１０の中心軸と一致するように形成され、これにより上述のノズル識別タグ１２２の位置補正過程で薬液貯蔵容器１０に印加される摩擦力を最小化して円滑に回転するようにすることができる。
特に本実施例で薬液貯蔵容器１０は、薬液の円滑な供給のために中心軸が地面から多少傾いた状態で薬液供給アセンブリ１００に固定されることがあり得、これによりローテーティング部１５２の回転軸Ｒもやはり水平線Ｈに対して同一の角度θで傾いた状態を有することができる。
そしてこれのために、ベース部１５１の下面は水平線Ｈと平行に形成されて地面に接触することができ、上面はローテーティング部１５２の回転軸Ｒに対して垂直なように傾斜して形成されてローテーティング部１５２が円滑に回転するようにすることができる。
以上のとおり本発明による望ましい実施例を詳察した。先に説明された実施例以外にも、本発明がその趣旨や範疇から逸脱することなしに他の特定形態で具体化され得るという事実は、該当技術に通常の知識を有する者には自明である。そのため、上述した実施例は制限的なものではなく例示的と考えなくてはならず、このため本発明は、上述した説明に限定されず添付された請求項の範疇及びその同等の範囲内で変更されることもできる。
【符号の説明】
【0021】
１０：薬液貯蔵容器
１１：薬液収容ボディ
１２：ノズルキャップ
１２ａ：安置溝
１３：容器識別タグ
１００：薬液供給アセンブリ
１１０：マウントフレーム
１１１：上部フレーム
１１２：マウント部
１１３：連結スリット
１１４：下部フレーム
１２０：ノズル装着ユニット
１２０ａ：第１ノズル装着パート
１２０ｂ：第２ノズル装着パート
１２１：タグ装着部
１２２：ノズル識別タグ
１２３：第１結合部
１２４：安置段部
１２５：容器密着部
１２６：第２結合部
１３０：容器安置ユニット
１３１：容器ホルダー
１３２：安置空間
１３３：通信ボード
１３４：容器感知センサ
１３５：識別プローブ
１４０：ノズル情報取得ユニット
１４１：識別アンテナ
１４２：固定ブラケット
１４３：後面固定部
１４４：ガイド部
１４５：フレーム締結部
１４６：スライドモジュール
１４７：スライド部材
１４８：固定部材
１４９：弾性部材
１５０：容器旋回ユニット
１５１：ベース部
１５２：ローテーティング部
２００：モニタリング管理部
３００：プリチェッカー端末機
４００：ゲートウェイ
５００：サウンド生成装置
５１０：アンプ
５２０：スピーカー
６００：運営サーバ
１１：薬液収容ボディ
１２：ノズルキャップ
１２ａ：安置溝
１３：容器識別タグ
１００：薬液供給アセンブリ
１１０：マウントフレーム
１１１：上部フレーム
１１２：マウント部
１１３：連結スリット
１１４：下部フレーム
１２０：ノズル装着ユニット
１２０ａ：第１ノズル装着パート
１２０ｂ：第２ノズル装着パート
１２１：タグ装着部
１２２：ノズル識別タグ
１２３：第１結合部
１２４：安置段部
１２５：容器密着部
１２６：第２結合部
１３０：容器安置ユニット
１３１：容器ホルダー
１３２：安置空間
１３３：通信ボード
１３４：容器感知センサ
１３５：識別プローブ
１４０：ノズル情報取得ユニット
１４１：識別アンテナ
１４２：固定ブラケット
１４３：後面固定部
１４４：ガイド部
１４５：フレーム締結部
１４６：スライドモジュール
１４７：スライド部材
１４８：固定部材
１４９：弾性部材
１５０：容器旋回ユニット
１５１：ベース部
１５２：ローテーティング部
２００：モニタリング管理部
３００：プリチェッカー端末機
４００：ゲートウェイ
５００：サウンド生成装置
５１０：アンプ
５２０：スピーカー
６００：運営サーバ
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】