特許 7624699 吸着装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2025-01-23

(45)【発行日】2025-01-31

(54)【発明の名称】吸着装置

(51)【国際特許分類】

   B25J 15/06 20060101AFI20250124BHJP

【ＦＩ】

B25J15/06 A

B25J15/06 E

【請求項の数】 3

(21)【出願番号】P 2021000651

(22)【出願日】2021-01-06

(65)【公開番号】P2022106009

(43)【公開日】2022-07-19

【審査請求日】2023-10-10

(73)【特許権者】

【識別番号】599002043

【氏名又は名称】学校法人 名城大学

(74)【代理人】

【識別番号】110000497

【氏名又は名称】弁理士法人グランダム特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】芦澤 怜史

(72)【発明者】

【氏名】大原 賢一

【審査官】神山 貴行

(56)【参考文献】

【文献】実開平０５－０１６０８４（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特開平０５－３１５４３４（ＪＰ，Ａ）

【文献】実開平０５－０５６３７６（ＪＰ，Ｕ）

【文献】国際公開第２０１６／１５７４２２（ＷＯ，Ａ１）

【文献】国際公開第２００４／０６７２３４（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２５Ｊ １／００－２１／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

圧力差によって被吸着面に吸着する吸着装置であって、
外部空間よりも減圧される空間を内部に形成するとともに、前記空間に連通し且つ外面に開口する複数のセルを形成したケース部材と、
前記ケース部材の外面を覆うとともに、前記複数のセルのそれぞれに対応した複数の位置において厚さ方向に貫通する貫通孔を形成した弾性を有するシート部材と、
前記ケース部材における外面よりも内部側の位置において複数の前記貫通孔のそれぞれに臨んで配置されており、前記シート部材が弾性変形して前記セル内に進入した際に前記シート部材が当接可能な当接面を有するストッパ部材と、
を備えており、
前記ストッパ部材は、前記セルとの間に隙間を形成しつつ、前記ケース部材に取り付けられており、
前記セルの開口は、外方に向けて拡開して形成されていることを特徴とする吸着装置。

【請求項2】

圧力差によって被吸着面に吸着する吸着装置であって、
外部空間よりも減圧される空間を内部に形成するとともに、前記空間に連通し且つ外面に開口する複数のセルを形成したケース部材と、
前記ケース部材の外面を覆うとともに、前記複数のセルのそれぞれに対応した複数の位置において厚さ方向に貫通する貫通孔を形成した弾性を有するシート部材と、
前記ケース部材における外面よりも内部側の位置において複数の前記貫通孔のそれぞれに臨んで配置されており、前記シート部材が弾性変形して前記セル内に進入した際に前記シート部材が当接可能な当接面を有するストッパ部材と、
を備えており、
前記セルと前記ストッパ部材との間の隙間の断面積は、前記貫通孔の断面積よりも大きいことを特徴とする吸着装置。

【請求項3】

前記セルの開口は、外方に向けて拡開して形成されていることを特徴とする請求項２に記載の吸着装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は吸着装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

特許文献１は従来の吸着装置を開示している。この吸着装置は吸着体を備えている。吸着体は変形部を備えている。変形部は、吸着対象物に当接した状態において、負圧吸引されることによって対象物から離間する方向、すなわち吸着体の内部側に凹状に変形される。これによって、変形した変形部と対象物との間には、外部よりも減圧された密閉空間が形成される。吸着装置は、このようにして生じさせた密閉空間の内部の圧力と外部空間の圧力との差によって、対象物を吸着することができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１５－２０８８０１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１の場合、例えばリーク等によって密閉空間内に外部から空気が侵入してしまうと、外部空間との圧力差が解消され、吸着状態を維持することができなくなってしまう。

【0005】

本発明は、上記従来の実情に鑑みてなされたものであって、被吸着面に吸着した状態を良好に維持できる吸着装置を提供することを解決すべき課題としている。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の吸着装置は、圧力差によって被吸着面に吸着する吸着装置であって、
外部空間よりも減圧される空間を内部に形成するとともに、前記空間に連通し且つ外面に開口する複数のセルを形成したケース部材と、
前記ケース部材の外面を覆うとともに、前記複数のセルのそれぞれに対応した複数の位置において厚さ方向に貫通する貫通孔を形成した弾性を有するシート部材と、
前記ケース部材における外面よりも内部側の位置において複数の前記貫通孔のそれぞれに臨んで配置されており、前記シート部材が弾性変形して前記セル内に進入した際に前記シート部材が当接可能な当接面を有するストッパ部材と、
を備えることを特徴とする。

【0007】

この吸着装置は、ケース部材の内部の空間を減圧すると、この空間の減圧された圧力が複数のセルを介してシート部材の内面側（セル側）に作用する。シート部材には各セルに対応した位置において貫通孔が形成されているため、これらの貫通孔を介してシート部材の外面側も減圧される。これによって、吸着装置は、シート部材の下面と被吸着面との間を減圧し、外部空間との圧力差を生じさせることができる。

【0008】

また、シート部材の外面と被吸着面との間に空気が侵入したとしても、貫通孔を介してケース部材内の空間に吸引することができる。その結果、外部空間との圧力差が生じた状態を良好に維持することができる。

【0009】

また、複数のセルのうちのいずれかにおいて、被吸着面上のスルーホールやクラック等を介して過大な空気の流れが生じた場合には、空気の流入による圧力差によってシート部材が弾性変形する。弾性変形したシート部材は、セル内に進入してストッパ部材の当接面に当接する。これにより、貫通孔が閉塞されて空間内の減圧状態が維持され、他のセルにおける外部空間との圧力差が維持される。その結果、空気が流入しない他のセルにおいて、外部空間との圧力差を良好に維持することができる。

【0010】

したがって、本発明に係る吸着装置は、被吸着面に吸着した状態を良好に維持することができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】実施例１に係る吸着装置を模式的に示す断面図である。

【図2】実施例１に係る吸着装置を模式的に示す分解断面図である。

【図3】実施例１に係る吸着装置を被吸着面に吸着させた状態を模式的に示す図（その１）である。

【図4】実施例１に係る吸着装置を被吸着面に吸着させた状態を模式的に示す図（その２）である。

【図5】実施例２に係る吸着装置を模式的に示す断面図である。

【図6】他の実施形態に係る吸着装置を説明するための図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

本発明における好ましい実施の形態を説明する。
本発明の吸着装置において、前記セルの開口は、外方に向けて拡開して形成されているとよい。この場合、シート部材が弾性変形してセル内に進入した際、セルの開口周縁によって屈曲したシート部材に作用する応力集中を緩和することができる。その結果、シート部材の損傷を抑制することができる。

【0013】

本発明の吸着装置において、前記セルと前記ストッパ部材との間の隙間面積は、前記貫通孔の断面積よりも大きいことが好ましい。この場合、ケース部材の内部の空間から貫通孔までの間における圧力損失を抑制できるので、ケース部材の内部空間の圧力を貫通孔に有効に作用させることができる。すなわち、セルとストッパ部材との間の隙間面積が貫通孔の断面積よりも小さい場合、セルとストッパ部材との間の隙間がボトルネックとなり、ケース部材の内部空間の圧力を貫通孔に有効に作用させることができない。これに対し、セルとストッパ部材との間の隙間面積が貫通孔の断面積よりも大きくすることで、内部空間の圧力を貫通孔に有効に作用させることができる。

【0014】

次に、本発明の吸着装置を具体化した実施例１及び実施例２について、図面を参照しつつ説明する。なお、以下の説明においては、便宜上、図１から図６の各図に表れた吸着装置の上下方向をそのまま上方、下方と定義する。すなわち、以下の説明における吸着装置の上下方向とは、水平面に平行な被吸着面に吸着している際の姿勢における上下方向である。但し、本発明に係る吸着装置における使用時の向きについてはこの限りではない。

【0015】

また、以下の各実施例では、被吸着対象としてプリント配線基板Ｓ（以下、単に基板Ｓとも表記する）を例示する。図１に示すように、基板Ｓは薄板状をなしており、上面Ａを被吸着面として吸着される。基板Ｓには、例えば種類に応じた任意の位置に、上面Ａから板厚方向に貫通するスルーホールＴ（図４参照）が形成され得る。

【0016】

＜実施例１＞
図１及び図２に示すように、実施例１に係る吸着装置１は、ケース部材１０、シート部材２０、及びストッパ部材３０を備えている。ケース部材１０は、下面壁１０Ａ、上面壁１０Ｂ、及び側面壁１０Ｃを有して内部に空間Ｒを形成する。ケース部材１０は複数（図１では、３つ）のセル１１を形成している。各セル１１は、上部において空間Ｒに連通し、下部においてケース部材１０の外面に開口している。なお、吸着装置１において、複数のセル１１は、図１に表れる左右方向の配列のみならず、この方向及び上下方向のそれぞれに対して直交する方向においても配列されている。

【0017】

ケース部材１０は吸気孔１２を形成している。吸気孔１２は、真空ポンプ、エゼクタ等の図示しない減圧手段に接続されている。ケース部材１０は、吸気孔１２から空間Ｒ内の空気を吸引することによって、空間Ｒを外部の空間よりも減圧する。

【0018】

本実施例において、ケース部材１０は、ケース本体１３及びプレート１４を有して構成されている。図１及び図２に示すように、ケース本体１３はケース部材１０における上面壁１０Ｂ及び側面壁１０Ｃを構成し、プレート１４はケース部材１０における下面壁１０Ａを構成する。ケース本体１３及びプレート１４は、それぞれアルミニウム合金等の金属製である。ケース本体１３及びプレート１４は、空間Ｒを減圧した状態やそれによって被吸着面に吸着した状態であっても、形状を維持し得る所定の剛性を有している。

【0019】

ケース本体１３は、平面視矩形状をなすとともに、下方に開口する凹状に形成されている。プレート１４は、ケース本体１３と同等の大きさの平面視矩形状の板状をなしている。プレート１４は、ケース本体１３の下面に取り付けられてケース本体１３の開口を塞ぐ。ケース部材１０は、これらケース本体１３及びプレート１４を組み合わせることによって空間Ｒを形成している。ケース本体１３とプレート１４との間には、気密を確保するための図示しないシール部材が介在している。

【0020】

ケース部材１０において、複数のセル１１は、下面壁１０Ａを構成するプレート１４に形成されている。複数のセル１１は、プレート１４を上下に貫通する断面円形状の貫通孔として形成されている。各セル１１の大きさは、直径約５ｍｍである。また、ケース部材１０において、吸気孔１２は、ケース本体１３における上面壁１０Ｂを構成する部分を上下に貫通して形成されている。

【0021】

図３に示すように、本実施例において、各セル１１の下面開口１１Ａは、下方（外方）に向けて拡開して形成されている。具体的には、各セル１１の下面開口１１Ａはテーパ状に拡開している。下面開口１１ＡはいわゆるＣ面取り状に拡開して形成されており、そのテーパ面の傾斜角度はセル１１の軸に対して約４５°に設定されている。

【0022】

図１及び図３に示すように、シート部材２０はケース部材１０の下面壁１０Ａの外面を覆う。シート部材２０は、ケース部材１０における各セル１１が形成されている部分においては、各セル１１の下面開口１１Ａを覆っている。シート部材２０は、弾性変形によってセル１１内に進入し得る所定の弾性を有している。シート部材２０は複数の貫通孔２１を形成している。複数の貫通孔２１は、各セル１１に対応した位置においてシート部材２０の厚さ方向に貫通して形成されている。本実施例において、シート部材２０の下面２０Ａは、被吸着面に吸着する際に被吸着面に対向して接触する吸着面である。すなわち、実施例１に係る吸着装置１は、シート部材２０の下面２０Ａを基板Ｓの上面Ａに接触させることによって吸着する。

【0023】

本実施例の場合、シート部材２０は、ケース部材１０の平面形状と同等の大きさの略矩形状のシート状に形成してなる。シート部材２０は、弾性を有するゲル状高分子材料からなる。ゲル状高分子材料としては、例えば、炭化水素で構成される高分子材料が挙げられる。具体的には、スチレン系、ポリウレタン系、ポリエステル系、オレフィン系等の熱可塑性エラストマーであることができる。シート部材２０の厚さは、０．５ｍｍ程度である。貫通孔２１の大きさは、直径１ｍｍ程度であり、セル１１の内径の約０．２倍の大きさの直径で形成されている。

【0024】

図１及び図３に示すように、ストッパ部材３０は、ケース部材１０の下面壁１０Ａの下面（ケース部材の外面）よりも上側（ケース部材の内部側）の奥まった位置において、貫通孔２１に臨んで配置されている。ストッパ部材３０は当接面３０Ａを有している。当接面３０Ａは、シート部材２０が弾性変形してセル１１内に進入した際にシート部材２０が当接可能である。

【0025】

本実施例の場合、ストッパ部材３０は、図１に示すように、複数のセル１１のそれぞれに対応して複数設けられている。各ストッパ部材３０は、それぞれに対応するセル１１を上方から覆ってケース部材１０の下面壁１０Ａの内面（上面）に固定されている。各ストッパ部材３０は、下方に向かって段階的に縮径する円柱状をなしている。具体的には、図２及び図３に示すように、各ストッパ部材３０は、上側に位置する頭部３１と、下側に位置する脚部３２と、を有している。ストッパ部材３０は、脚部３２をセル１１に挿入し、頭部３１の嵌合部３１Ａをセル１１の上端部に嵌め込んで、ケース部材１０の下面壁１０Ａに取り付けられている。

【0026】

図２及び図３に示すように、頭部３１は、セル１１の内径よりも大きな外径を有する円柱状に形成されている。頭部３１の下端部には嵌合部３１Ａが形成されている。嵌合部３１Ａは、頭部３１における上端側の部分よりも縮径して形成されている。頭部３１は、嵌合部３１Ａにおいて、セル１１の内径と略同等の内径を有している。頭部３１は切欠き部３１Ｂを形成している。吸着装置１は、この切欠き部３１Ｂによって、ストッパ部材３０とセル１１との間の隙間を形成してセル１１と空間Ｒとの連通を確保している。

【0027】

図２及び図３に示すように、切欠き部３１Ｂは、頭部３１の下端側の部分を周方向において部分的に切り欠いて形成している。具体的には、切欠き部３１Ｂは、頭部３１の周方向において４箇所が均等配置されており、それぞれ約４５°の角度幅で扇状に切欠かれている。この切欠き部３１Ｂによって、本実施例の吸着装置１は、セル１１内の空間を空間Ｒに連通させている。切欠き部３１Ｂによって形成されるセル１１内の空間と空間Ｒを連通する空間は、本発明に係るセルとストッパ部材との間の隙間に相当する。この隙間の断面積（隙間面積）は、貫通孔２１の断面積よりも十分に大きく設定されている。切欠き部３１Ｂは、ストッパ部材３０の軸方向において、嵌合部３１Ａの軸方向の長さの約２倍の長さで形成されている。

【0028】

図２及び図３に示すように、脚部３２は、頭部３１の外径及びセル１１の内径のいずれよりも小さな外径の円柱状に形成されている。具体的には、脚部３２の外径は約３ｍｍであり、セル１１の内径の約０．６倍である。したがって、脚部３２の外周面とセル１１の内周面との間の隙間の断面積は、シート部材２０における貫通孔２１の断面積よりも十分な大きさで形成されている。脚部３２は、頭部３１と略同軸に、頭部３１の下端から下方に延びて設けられている。脚部３２の下端面は上述の当接面３０Ａとされている。

【0029】

次に、上記構成の吸着装置１の作用について説明する。
吸着装置１を用いて基板Ｓを吸着する際には、図３に示すように、まず、吸着装置１における吸着面であるシート部材２０の下面２０Ａを基板Ｓの上面Ａに接触させる。シート部材２０は、弾性を有するゲル状高分子材料からなるため基板Ｓの上面Ａの表面形状に沿った形状に容易に変形し、セル１１内の空間、ひいてはこれに連通する空間Ｒの気密性を確保することができる。

【0030】

この状態で吸気孔１２から真空引きし、空間Ｒ内を圧力Ｐ１に減圧する。この時、空間Ｒ内の圧力Ｐ１は、各セル１１を介してシート部材２０に作用する。また、シート部材２０には各セル１１に対応する位置において貫通孔２１が形成されていることから、空間Ｒ内の圧力Ｐ１は、各セル１１と貫通孔２１とを介して基板Ｓの上面Ａに直接的に作用する。これに対し、上面Ａとは反対側の面である基板Ｓの下面には、空間Ｒの外部の圧力である圧力Ｐ０が作用している（図３参照）。このように、吸着装置１は、基板Ｓの上面Ａに作用する空間Ｒ内の圧力Ｐ１と、基板Ｓにおける上面Ａとは反対側の面に作用する外部空間の圧力Ｐ０と、の圧力差によって、基板Ｓを吸着することができる。

【0031】

また、吸着装置１は、貫通孔２１を形成したことによって、吸着面であるシート部材２０の下面２０Ａと基板Ｓの上面Ａとの間を圧力Ｐ１に減圧した状態を維持することが可能である。例えば、従来のようにシート部材に貫通孔が形成されていない場合、シート部材と被吸着面との間に形成される密閉空間にリーク等によって空気が侵入すると、外部空間との圧力差が減少して吸着状態を維持することができない。これに対し、吸着装置１は、基板Ｓの上面Ａとシート部材２０の下面２０Ａとの間の空気を貫通孔２１から空間Ｒ内に吸引することによって、基板Ｓの上面Ａとシート部材２０の下面２０Ａとの間にリークする空気を吸引し続けるなどして、基板Ｓの表裏における圧力差を維持可能である。

【0032】

また、吸着装置１において、シート部材２０及びストッパ部材３０は、空間Ｒに過大な空気が流入しようとした際にこれを阻止する弁機構として機能する。例えば、図４に示すように、複数のセル１１のいずれかの近傍にスルーホールＴが位置した場合、このスルーホールＴから貫通孔２１、セル１１内の空間を介して、空間Ｒ内に流入する空気の流れが生じる。この時、シート部材２０の下面２０Ａ側と、セル１１の下面開口１１Ａに面するシート部材２０の上面側との間には圧力差が発生する。シート部材２０は、この圧力差によって弾性変形し、セル１１内に進入する。

【0033】

そして、弾性変形したシート部材２０は、ストッパ部材３０の当接面３０Ａに当接し、貫通孔２１が閉塞される。これによって、空間Ｒへの空気の流入が阻止され、空間Ｒ内の減圧状態が維持される。このように、吸着装置１は、スルーホールＴが近傍に位置するセル１１においてはシート部材２０を弾性変形させて貫通孔２１を閉塞して空間Ｒの真空破壊を回避する。そして、吸着装置１は、スルーホールＴが近傍に位置しない他のセル１１において、基板Ｓの吸着を実現する。

【0034】

なお、このようにシート部材２０が弾性変形してセル１１内に進入した場合、シート部材２０には屈曲による応力が作用する。吸着装置１では、セル１１の下面開口１１Ａが下方に向けて拡開して形成されていることから、セル１１の下面開口１１Ａの周縁で屈曲されたシート部材２０に対して作用する応力集中が緩和される。また、弾性変形してセル１１内に進入したシート部材２０は、ストッパ部材３０の当接面３０Ａに当接する。このため、シート部材２０がそれ以上に過大に変形するのが抑制される。このように、吸着装置１では、シート部材２０が弾性変形によって損傷するのを抑制するようにしている。

【0035】

また、一般的に、基板におけるスルーホールは、基板の品種等に応じて、異なる位置に異なる数で形成され得る。基板上のクラック等の発生の有無や発生箇所については、個々の基板によって異なる。吸着装置１は、上述のようにして複数のセル１１のいずれかによってスルーホールやクラック等に起因する空気のリークを阻止しつつ他のセル１１によって吸着状態を維持することによって、種々の品種の基板に対応して吸着することが可能である。

【0036】

以上のように、実施例１に係る吸着装置１は、ケース部材１０、シート部材２０、及びストッパ部材３０を備えている。ケース部材１０は内部に空間Ｒを形成する。この空間Ｒは外部の空間よりも減圧される。ケース部材１０は複数のセル１１を形成している。複数のセル１１は、空間Ｒに連通するとともにケース部材１０の下面壁１０Ａの下面に開口している。シート部材２０は、セル１１内に弾性変形自在にケース部材１０の下面壁１０Ａの下面を覆う。シート部材２０は貫通孔２１を形成している。貫通孔２１は、複数のセル１１のそれぞれに対応した複数の位置において厚さ方向に貫通している。ストッパ部材３０は、ケース部材１０における下面壁１０Ａの下面よりも内部側の位置において、各貫通孔２１に臨んで配置されている。ストッパ部材３０は当接面３０Ａを有している。当接面３０Ａは、シート部材２０が弾性変形してセル１１内に進入した際にシート部材２０が当接可能である。

【0037】

このような構成により、吸着装置１は、ケース部材１０の内部の空間Ｒを減圧すると、この空間Ｒの減圧された圧力が複数のセル１１を介してシート部材２０の内面側（セル１１側）に作用する。シート部材２０には各セル１１に対応した位置において貫通孔２１が形成されているため、これらの貫通孔２１を介してシート部材２０の外面側である下面２０Ａ側も減圧される。これによって、吸着装置１は、シート部材２０の下面２０Ａと被吸着面である基板Ｓの上面Ａとの間を減圧し、外部空間との圧力差を生じさせることができる。

【0038】

また、シート部材２０の下面２０Ａと被吸着面である基板Ｓの上面Ａとの間に空気が侵入したとしても、貫通孔２１を介してケース部材１０内の空間Ｒに吸引することができる。その結果、外部空間との圧力差が生じた状態を良好に維持することができる。

【0039】

また、スルーホールＴ等を介して過大な空気の流れが生じたセル１１においては、空気の流入による圧力差によってシート部材２０が弾性変形し、セル１１内に進入してストッパ部材３０の当接面３０Ａに当接する。これにより、貫通孔２１が閉塞されて空間Ｒ内の減圧状態が維持され、他のセル１１における外部空間との圧力差が維持される。その結果、空気が流入しない他のセル１１において、外部空間との圧力差を良好に維持することができる。

【0040】

したがって、吸着装置１は、被吸着面に吸着した状態を良好に維持することができる。

【0041】

また、吸着装置１において、セル１１の下面開口１１Ａは、下方に向けて拡開して形成されている。このため、シート部材２０が弾性変形してセル１１内に進入した際、セル１１の下面開口１１Ａの周縁によって屈曲したシート部材２０に作用する応力集中を緩和することができる。その結果、シート部材２０の損傷を抑制することができる。

【0042】

また、吸着装置１において、ストッパ部材３０には切欠き部３１Ｂが形成されており、セル１１とストッパ部材３０との間の隙間を形成している。そして、この隙間面積は、シート部材２０に形成した貫通孔２１の断面積よりも大きい。このため、ケース部材１０の内部の空間Ｒから貫通孔２１までの間における圧力損失を抑制でき、空間Ｒの圧力を貫通孔２１に有効に作用させることができる。

【0043】

＜実施例２＞
次に、実施例２に係る吸着装置２０１について説明する。吸着装置２０１は、図５に示すように、実施例１の吸着装置１の構成に加えて、吸着面部５０を備えている点において、実施例１と相違する。以下の説明において、実施例１と同一の構成は同一の符号を付して詳細な説明を省略する。

【0044】

吸着面部５０はシート部材２０を覆う。具体的には、吸着面部５０は、シート部材２０におけるケース部材１０の外面を覆う面とは反対側の面である下面２０Ａを覆う。吸着面部５０は複数の貫通孔５１を形成している。複数の貫通孔５１は、シート部材２０に形成された複数の貫通孔２１に対応した位置において、吸着面部５０の厚さ方向に貫通して形成されている。貫通孔５１は、シート部材２０の貫通孔２１に連通している。これにより、貫通孔５１の内部の空間Ｒ５１は、貫通孔２１、セル１１内の空間を介して、ケース部材１０の内部の空間Ｒに連通している。吸着面部としては、例えば、エラストマー等からなる弾性体であることができる。この場合、被吸着面への密着性といった観点において有利である。また、吸着面部としては、エラストマーよりも硬質な樹脂製、金属製等であってもよい。吸着面部は、減圧によって圧壊しない程度の強度を有しているとよい。

【0045】

吸着装置２０１は、吸着面部５０の下面５０Ａを基板Ｓの上面Ａに接触させることによって吸着する。すなわち、吸着装置２０１における吸着面は、吸着面部５０の下面５０Ａである。吸着装置２０１は、吸着面部５０の下面５０Ａを基板Ｓの上面Ａに接触させ、この状態でケース部材１０の内部の空間Ｒを減圧することによって貫通孔５１の内部の空間Ｒ５１を減圧し、基板Ｓの上面Ａに減圧された圧力を作用させる。

【0046】

上記構成の吸着装置２０１は、実施例１の吸着装置１と同様の効果を奏する。
また、吸着装置２０１は、吸着面部５０の下面５０Ａを吸着面として基板Ｓの上面Ａに吸着することから、基板Ｓの上面Ａには、貫通孔５１の断面積の大きさに応じた吸着力が作用する。一方、シート部材２０は、空間Ｒに過大な空気が流入しようとした際には、実施例１と同様に空間Ｒ内の減圧状態を維持するための弁機構として機能する。このように、吸着装置２０１は、貫通孔５１の断面積の大きさを任意に設定することによって所望の大きさの吸着力を得つつ、シート部材２０とストッパ部材３０とによる弁機構の機能を享受できる。

【0047】

本発明は上記記述及び図面によって説明した実施例１及び実施例２に限定されるものではなく、例えば次のような形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
（１）吸着装置が吸着する被吸着面としては、上記各実施例において例示した基板の上面に限定されない。本発明に係る被吸着面は、圧力差によって吸着し得る限り、その方向や大きさ、形成されている物品の種類等については特に問わない。
（２）ケース部材の大きさ、形状、材質等は、上記各実施例において例示したものに限定されない。
（３）セルの数、大きさ、断面形状、配列形態等は上記各実施例において例示したものに限定されない。セルの開口を外方に向けて拡開することも必須ではない。例えば、図６に示すように、空間Ｒ側において拡開して形成されたセル２１１としてもよい。すなわち、セル２１１は、ケース部材の外面側において、空間Ｒ側の開口の大きさよりも小さく開口していてもよい。この場合、セル内の容積を確保しつつ、シート部材が弾性変形してセル内に進入する際の進入量を開口の大きさに合わせて自在に設定することができる。
（４）シート部材の形状、厚さ、材質等は上記各実施例において例示したものに限定されない。
（５）ストッパ部材の構成、形状、大きさ等は上記各実施例において例示したものに限定されない。ストッパ部材は、例えば、セルよりも空間の内部側に配置されていてもよい。ストッパ部材が複数のセル毎に個別に設けられることは必須ではなく、例えば複数のセルに対応して一体的に設けられていてもよい。
（６）セルの開口が拡開して形成されている場合、その拡開形態としては、例えば、いわゆるテーパ状、Ｒ面取り状等の連続的に拡開する形態や、ざぐり等の段階的に拡開する形態等であることができる。

【符号の説明】

【0048】

１，２０１…吸着装置
１０…ケース部材
１１，２１１…セル
１１Ａ…セルの下面開口（セルの開口）
２０…シート部材
２０Ａ…シート部材の下面
２１…貫通孔
３０…ストッパ部材
３０Ａ…当接面
Ａ…基板の上面（被吸着面）
Ｒ…ケース部材の内部の空間

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】