特許 7625297 テープ剥離装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2025-01-24

(45)【発行日】2025-02-03

(54)【発明の名称】テープ剥離装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20250127BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

【請求項の数】 2

(21)【出願番号】P 2023208964

(22)【出願日】2023-12-12

【審査請求日】2024-08-20

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】591182950

【氏名又は名称】大宮工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100095407

【弁理士】

【氏名又は名称】木村 満

(74)【代理人】

【識別番号】100138955

【弁理士】

【氏名又は名称】末次 渉

(72)【発明者】

【氏名】宮地 英治

(72)【発明者】

【氏名】北村 彰

【審査官】内田 正和

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１６－０２５１５１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－０２９４３４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２３－１１２８６３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２３－０２４１８６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１の接着テープを介して第１リングフレームにマウントされた平板状のワークを第２の接着テープを介して第２のリングフレームにマウントする転写工程の際に、前記ワークに前記第２の接着テープが貼り付けられた後に前記第１の接着テープを前記ワークおよび前記第１のリングフレームから剥離するテープ剥離装置であって、
両面にそれぞれ前記第１の接着テープ、前記第２の接着テープが貼り付けられて前記第１のリングフレーム及び前記第２のリングフレームに固定されている前記ワークが載置される載置ステージと、
前記第１のリングフレームと前記第１の接着テープとの間に差し込み部材を差し込んで前記第１のリングフレームから前記第１の接着テープの一部を剥離する差し込み装置と、
前記第１の接着テープの剥離した部位を狭持しつつ前記ワークの面に沿って移動可能なクランプ装置と、
前記第１の接着テープを押さえつつ前記ワークの面に沿って移動可能な押圧装置と、を備え、
前記載置ステージが固定された状態で、前記クランプ装置の移動によって前記第１の接着テープが前記押圧装置によって鋭角に折り返されつつ前記ワークおよび前記第１のリングフレームから剥離され、
前記押圧装置は、前記クランプ装置の移動に伴って前記第１の接着テープが引っ張られる力により従動する、
ことを特徴とするテープ剥離装置。

【請求項2】

第１の接着テープを介してリングフレームにマウントされた平板状のワークを第２の接着テープを介して前記リングフレームにマウントする転写工程の際に、前記ワークおよび前記リングフレームに前記第２の接着テープが貼り付けられた後に前記第１の接着テープを前記ワークおよび前記リングフレームから剥離するテープ剥離装置であって、
両面にそれぞれ前記第１の接着テープ、前記第２の接着テープが貼り付けられて前記リングフレームに固定されている前記ワークが載置される載置ステージと、
前記リングフレームと前記第１の接着テープとの間に差し込み部材を差し込んで前記リングフレームから前記第１の接着テープの一部を剥離する差し込み装置と、
前記第１の接着テープの剥離した部位を狭持しつつ前記ワークの面に沿って移動可能なクランプ装置と、
前記第１の接着テープを押さえつつ前記ワークの面に沿って移動可能な押圧装置と、を備え、
前記載置ステージが固定された状態で、前記クランプ装置の移動によって前記第１の接着テープが前記押圧装置によって鋭角に折り返されつつ前記ワークおよび前記リングフレームから剥離され、
前記押圧装置は、前記クランプ装置の移動に伴って前記第１の接着テープが引っ張られる力により従動する、
ことを特徴とするテープ剥離装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、テープ剥離装置に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体装置の製造工程においては、接着テープを介してリングフレームにマウントされた半導体ウエハを、他の接着テープを介して他のリングフレームにマウントする、所謂転写が行われることがある。

【0003】

例えば、半導体ウエハをダイシング後、チップの表裏を反転させる場合や、パターン形成面をダイシングテープに貼り付けてマウントしておき、ダイボンド時にチップの表裏を反転させる場合などである。したがって、転写においては、半導体ウエハを転写先のリングフレームにマウントした後、転写元の接着テープを半導体ウエハから剥離することが行われる。

【0004】

また、転写は、一枚のリングフレームを介して行われる形態もある。この場合、転写元接着テープを介してリングフレームにマウントされている半導体ウエハに対し、転写元接着テープが貼られていない面に転写先接着テープを貼り付けた後、転写元接着テープを半導体ウエハから剥離する。

【0005】

転写元の接着テープの剥離に際しては、主に、剥離用テープを用いて半導体ウエハ及び転写元リングフレームから転写元のテープを剥離することが行われている（例えば、特許文献１）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【文献】特開２０１３－２１９０８７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

剥離用テープは、使用後、転写元接着テープとともに廃棄される。このため、半導体装置の製造コストが高くなる一因でもあるとともに、廃棄物の増加につながっている。

【0008】

本発明は上記事項に鑑みてなされたものであり、その目的は、剥離用テープを用いずに転写元接着テープを剥離可能なテープ剥離装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明の第１の観点に係るテープ剥離装置は、
第１の接着テープを介して第１リングフレームにマウントされた平板状のワークを第２の接着テープを介して第２のリングフレームにマウントする転写工程の際に、前記ワークに前記第２の接着テープが貼り付けられた後に前記第１の接着テープを前記ワークおよび前記第１のリングフレームから剥離するテープ剥離装置であって、
両面にそれぞれ前記第１の接着テープ、前記第２の接着テープが貼り付けられて前記第１のリングフレーム及び前記第２のリングフレームに固定されている前記ワークが載置される載置ステージと、
前記第１のリングフレームと前記第１の接着テープとの間に差し込み部材を差し込んで前記第１のリングフレームから前記第１の接着テープの一部を剥離する差し込み装置と、
前記第１の接着テープの剥離した部位を狭持しつつ前記ワークの面に沿って移動可能なクランプ装置と、
前記第１の接着テープを押さえつつ前記ワークの面に沿って移動可能な押圧装置と、を備え、
前記載置ステージが固定された状態で、前記クランプ装置の移動によって前記第１の接着テープが前記押圧装置によって鋭角に折り返されつつ前記ワークおよび前記第１のリングフレームから剥離され、
前記押圧装置は、前記クランプ装置の移動に伴って前記第１の接着テープが引っ張られる力により従動する、
ことを特徴とする。

【0010】

本発明の第２の観点に係るテープ剥離装置は、
第１の接着テープを介してリングフレームにマウントされた平板状のワークを第２の接着テープを介して前記リングフレームにマウントする転写工程の際に、前記ワークおよび前記リングフレームに前記第２の接着テープが貼り付けられた後に前記第１の接着テープを前記ワークおよび前記リングフレームから剥離するテープ剥離装置であって、
両面にそれぞれ前記第１の接着テープ、前記第２の接着テープが貼り付けられて前記リングフレームに固定されている前記ワークが載置される載置ステージと、
前記リングフレームと前記第１の接着テープとの間に差し込み部材を差し込んで前記リングフレームから前記第１の接着テープの一部を剥離する差し込み装置と、
前記第１の接着テープの剥離した部位を狭持しつつ前記ワークの面に沿って移動可能なクランプ装置と、
前記第１の接着テープを押さえつつ前記ワークの面に沿って移動可能な押圧装置と、を備え、
前記載置ステージが固定された状態で、前記クランプ装置の移動によって前記第１の接着テープが前記押圧装置によって鋭角に折り返されつつ前記ワークおよび前記リングフレームから剥離され、
前記押圧装置は、前記クランプ装置の移動に伴って前記第１の接着テープが引っ張られる力により従動する、
ことを特徴とする。

【発明の効果】

【0012】

本発明によれば、剥離用テープを用いずに転写元接着テープを剥離可能なテープ剥離装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】図１（Ａ）、（Ｂ）は、テープ剥離装置の対象となる被処理体を説明する斜視図である。

【図2】テープ剥離装置の概略構成を示す平面図である。

【図3】テープ剥離装置の概略構成を示す正面図である。

【図4】テープ剥離装置の概略構成を示す側面図である。

【図5】図２のＡ－Ａ’断面図である。

【図6】テープ剥離装置の動作を説明する図である。

【図7】テープ剥離装置の動作を説明する図である。

【図8】テープ剥離装置の動作を説明する図である。

【図9】テープ剥離装置の動作を説明する図である。

【図10】テープ剥離装置の動作を説明する図である。

【図11】テープ剥離装置の動作を説明する図である。

【図12】テープ剥離装置の動作を説明する図である。

【図13】テープ剥離装置の動作を説明する図である。

【図14】図１４（Ａ）、（Ｂ）は、テープ剥離装置の対象となる他の被処理体を説明する斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

本実施の形態に係るテープ剥離装置について図を参照しつつ説明する。テープ剥離装置は、転写元接着テープを介して転写元リングフレームにマウントされている半導体ウエハやチップ等の平板状のワークを、転写先接着テープを介して転写先リングフレームにマウントする転写工程において用いられる。具体的には、テープ剥離装置は、図１（Ａ）に示すように、ワークＷに転写先接着テープＴＡ２が貼り付けられた状態から、図１（Ｂ）に示すように、転写元接着テープＴＡ１をワークＷおよび転写元リングフレームＲＦ１から剥離するために用いられる。

【0015】

なお、本明細書において、図１（Ａ）に示す状態、即ち、ワークＷの両面にそれぞれ転写元接着テープＴＡ１、転写先接着テープＴＡ２が接着されて転写元リングフレームＲＦ１、転写先リングフレームＲＦ２それぞれに固定されている状態のものを被処理体Ｏｐと記す。

【0016】

テープ剥離装置１は、図２～図５に示すように、ベース１０、載置ステージ２０、差し込み装置３０、クランプ装置４０、押圧装置５０、制御装置（不図示）を備える。

【0017】

ベース１０には、載置ステージ２０、差し込み装置３０、クランプ装置４０、押圧装置５０等が配置される土台である。

【0018】

載置ステージ２０は、被処理体Ｏｐが載置される台である。載置ステージ２０には、被処理体Ｏｐの形状、具体的には、転写元リングフレームＲＦ１、転写先リングフレームＲＦ２の形状に応じた枠２１が立設している。また、載置ステージ２０には、吸気孔２２が形成されており、吸気孔２２はポンプ等の減圧装置（不図示）につながっている。吸気孔２２を介した減圧および枠２１により、転写元接着テープＴＡ１の剥離動作中、載置ステージ２０に載置された被処理体Ｏｐの位置ずれを抑制することができる。なお、枠２１、吸気孔２２のほか、被処理体Ｏｐの位置ずれを抑制できれば、どのような構成であってもよい。

【0019】

差し込み装置３０は、差し込み部材３１を備える。差し込み装置３０は、不図示のモータ等の駆動源によってＸ方向およびＺ方向に移動可能である。差し込み部材３１は、Ｘ方向に延びる薄い平板状の部材である。差し込み部材３１の先端は、凸状に湾曲している。また、差し込み部材３１は、先端がやや下方を向いて延びるように設置されている。差し込み装置３０は、移動することにより、転写元リングフレームＲＦ１と転写元接着テープＴＡ１との間に差し込み部材３１を差し込み、転写元リングフレームＲＦ１に接着されている転写元接着テープＴＡ１の一部を剥離する。差し込み部材３１は、アルミ等の金属や硬質樹脂等、転写元接着テープＴＡ１の部分剥離の際に歪まない程度の強度を有する素材から形成される。

【0020】

クランプ装置４０は、差し込み装置３０によって剥離された転写元接着テープＴＡ１の剥離部位を狭持する。クランプ装置４０は、スライダー４１、昇降装置４２、クランプ固定部４３、クランプ回動部４４を備える。

【0021】

スライダー４１は、ベース１０の両側に配置されており、クランプ装置４０をＸ方向に移動させる移動機構を備える。クランプ装置４０は、載置ステージ２０を跨ぎ、双方のスライダー４０に掛け渡されるようにして支持され、スライダー４１によってＸ方向に移動可能に構成されている。スライダー４１は、クランプ装置４０をＸ方向に移動させることができればどのような構成であってもよく、例えば、エアシリンダーや油圧シリンダー、モータ等の駆動源と歯車等の伝達部材とを備える構成などが挙げられる。

【0022】

昇降装置４２は、コの字状のクランプ装置４０の中央部分に、載置ステージ側へ向いて延びるように設置されている。クランプ固定部４３は、昇降装置４２を介してクランプ装置４０に接続されている。昇降装置４２は、クランプ固定部４３を昇降可能であればどのような構成であってもよく、例えば、エアシリンダーや油圧シリンダー、モータ等の駆動源と歯車等の伝達部材とを備える構成などが挙げられる。

【0023】

クランプ固定部４３には、クランプ回動部４４が回動可能に配置されている。クランプ回動部４４はＹ方向を軸にして回動する。クランプ回動部４４が回動することにより、クランプ固定部４３とクランプ回動部４４とで転写元接着テープＴＡ１を狭持したり開放したりできる。クランプ固定部４３およびクランプ回動部４４の中央部は差し込み部材３１が干渉しないよう切り欠かれた形状をしている。

【0024】

押圧装置５０は、転写元接着テープＴＡ１の剥離動作中、被処理体Ｏｐを上から押さえつつ移動し、転写元接着テープＴＡ１のスムーズで綺麗な剥離を実現する。押圧装置５０は、ベース１０の両側に設置されたスライダー５２に掛け渡されるようにして支持されている。スライダー５２は、Ｘ軸方向に移動可能な機構を備えており、押圧装置５０は、スライダー５２によってＸ方向に移動可能である。

【0025】

押圧装置５０には、押さえ部材５１が回動可能に設置されている。押さえ部材５１はＹ方向を軸にして回動する。押さえ部材５１の回動により、被処理体Ｏｐに当接して被処理体Ｏｐを上から押さえたり、開放したりすることができる。

【0026】

スライダー５２の移動機構は、転写元接着テープＴＡ１を剥離している際は、クランプ装置４０が転写元接着テープＴＡ１を引っ張る力に従動して移動するように構成されている。このような移動機構として、エアシリンダーが挙げられる。転写元接着テープＴＡ１を剥離している際、内部のエアシリンダー内のエアを開放状態にすることで、押圧装置５０は外部の力によって従動して移動することになる。なお、同様の目的を達するならば、エアシリンダーのみに限られることはない。

【0027】

制御装置は、差し込み装置３０、クランプ装置４０、押圧装置５０の各動作を制御する。

【0028】

続いて、テープ剥離装置１の動作について、図６～１３を参照しつつ説明する。なお、図６～１３では、説明の容易化のため、構成を簡略化して示している。まず、図６に示すように、被処理体Ｏｐを載置ステージ２０に載置する。被処理体Ｏｐが載置ステージ２０に載置された後、吸気孔２２を介して吸気され、被処理体Ｏｐが載置ステージ２０に密着し、以後の位置ずれが抑制される。

【0029】

ついで、図７に示すように、押圧装置５０が差し込み装置３０の方へ移動する。そして、押さえ部材５１が紙面上反時計回りに回動し、被処理体Ｏｐを押さえる。

【0030】

その後、差し込み装置３０が移動する。差し込み部材３１の先端が転写元リングフレームＲＦ１の表面に接触し、転写元リングフレームＲＦ１の表面をスライドするようにして、差し込み装置３０は転写元接着テープＴＡ１に向けて移動する。

【0031】

図８に示すように、引き続き、差し込み装置３０が紙面上左方向へ移動していくことで、差し込み部材３１が転写元リングフレームＲＦ１と転写元接着テープＴＡ１との間に入り込んでゆき、転写元接着テープＴＡ１の縁が剥離される。差し込み装置３０は、転写元接着テープＴＡ１を所定量剥離した後、移動を停止する。

【0032】

続いて、図９に示すように、クランプ回動部４４が回動し、クランプ固定部４３とクランプ回動部４４とで転写元接着テープＴＡ１の剥離された箇所を狭持する。

【0033】

そして、図１０に示すように、クランプ固定部４３およびクランプ回動部４４が転写元接着テープＴＡ１を狭持したまま、転写元接着テープＴＡ１のたるみを取るようにＺ方向、Ｘ方向に移動する。

【0034】

図１１に示すように、更に、クランプ固定部４３およびクランプ回動部４４がＸ方向へ移動し、転写元接着テープＴＡ１が押さえ部材５１の先端で鋭角に折り返される。

【0035】

そして、図１２に示すように、クランプ固定部４３およびクランプ回動部４４が移動していくことで、転写元接着テープＴＡ１は押さえ部材５１によって鋭角に折り返されつつ剥離されていく。上述したように、クランプ固定部４３およびクランプ回動部４４がＸ方向に移動しながら転写元接着テープＴＡ１を引っ張る力によって押圧装置５０も従動しつつＸ方向に移動するので、転写元接着テープＴＡ１は順次ワークＷおよび転写元リングフレームＲＦ１から剥離されていく。

【0036】

そして、図１３に示すように、転写元接着テープＴＡ１が剥離され、次いで、クランプ固定部４３およびクランプ回動部４４の狭持を開放し、不図示の回収箱等に剥離した転写元接着テープＴＡ１を回収する。その後、差し込み装置３０、クランプ装置４０、押圧装置５０は元の位置に戻り、転写元リングフレームＲＦ１を載置ステージ１０から取り外すとともに、ワークＷがマウントされた転写先リングフレームＲＦ２を載置ステージ２０から取り外す。そして、新たな被処理体Ｏｐを載置ステージ２０に載置して上記動作を繰り返す。

【0037】

このように、テープ剥離装置１では、剥離用テープを用いずに転写元接着テープＴＡ１を剥離している。このため、剥離用テープを用いる場合に要する製造コストを低減できるとともに、廃棄物の排出も抑えられる。

【0038】

本発明は、本発明の広義の精神と範囲を逸脱することなく、様々な実施の形態及び変形が可能とされるものである。また、上述した実施の形態は、本発明を説明するためのものであり、本発明の範囲を限定するものではない。例えば、上記では、差し込み装置３０とクランプ装置４０をそれぞれ別の装置とした形態について説明したが、クランプ装置４０に差し込み装置３０が組み込まれた形態であってもよい。

【0039】

また、上記では、転写元リングフレームＲＦ１から転写先リングフレームＲＦ２へワークＷが転写される形態について説明したが、テープ剥離装置１は、一枚のリングフレームのみが用いられた被処理体Ｏｐに対しても適用できる。具体的には、図１４（Ａ）に示すように、リングフレームＲＦおよびワークＷの両面に転写元接着テープＴＡ１、転写先接着テープＴＡ２がそれぞれ貼り付けられた被処理体Ｏｐに対しても、テープ剥離装置１は、上記と同じ動作によって、転写元接着テープＴＡ１を剥離し、図１４（Ｂ）に示す状態にすることができる。

【符号の説明】

【0040】

１ シート剥離装置
１０ ベース
２０ 載置ステージ
２１ 枠
２２ 吸気孔
３０ 差し込み装置
３１ 差し込み部材
４０ クランプ装置
４１ スライダー
４２ 昇降装置
４３ クランプ固定部
４４ クランプ回動部
５０ 押圧装置
５１ 押さえ部材
５２ スライダー
Ｏｐ 被処理体
ＲＦ リングフレーム
ＲＦ１ 転写元リングフレーム
ＲＦ２ 転写先リングフレーム
ＴＡ１ 転写元接着テープ
ＴＡ２ 転写先接着テープ
Ｗ ワーク

【要約】

【課題】剥離用テープを用いずに転写元接着テープを剥離可能なテープ剥離装置を提供する。
【解決手段】テープ剥離装置１は、第１の接着テープを介して第１リングフレームにマウントされた平板状のワークを第２の接着テープを介して第２のリングフレームにマウントする転写工程の際に、ワークに第２の接着テープが貼り付けられた後に第１の接着テープをワークおよび第１のリングフレームから剥離するテープ剥離装置であって、第１のリングフレームと第１の接着テープとの間に差し込み部材３１を差し込んで第１のリングフレームから第１の接着テープの一部を剥離する差し込み装置３０と、第１の接着テープの剥離した部位を狭持しつつワークの面に沿って移動可能なクランプ装置４０と、第１の接着テープを押さえつつワークの面に沿って移動可能な押圧装置５０と、を備える。
【選択図】図２

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】