特許 7627519 インクジェットヘッドノズル検査用フィルム供給装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2025-01-29

(45)【発行日】2025-02-06

(54)【発明の名称】インクジェットヘッドノズル検査用フィルム供給装置

(51)【国際特許分類】

   H10K 71/13 20230101AFI20250130BHJP

   H10K 50/10 20230101ALI20250130BHJP

   H10K 50/844 20230101ALI20250130BHJP

   B05C 11/00 20060101ALI20250130BHJP

   B05C 5/00 20060101ALI20250130BHJP

   B41J 2/165 20060101ALI20250130BHJP

【ＦＩ】

H10K71/13

H10K50/10

H10K50/844

B05C11/00

B05C5/00 101

B41J2/165 501

【請求項の数】 14

(21)【出願番号】P 2023540044

(86)(22)【出願日】2021-09-02

(65)【公表番号】

(43)【公表日】2024-01-12

(86)【国際出願番号】 KR2021011850

(87)【国際公開番号】W WO2022158675

(87)【国際公開日】2022-07-28

【審査請求日】2023-06-29

(31)【優先権主張番号】10-2021-0007189

(32)【優先日】2021-01-19

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(73)【特許権者】

【識別番号】523225128

【氏名又は名称】ユニジェット カンパニー，リミテッド

(74)【代理人】

【識別番号】110000338

【氏名又は名称】弁理士法人 ＨＡＲＡＫＥＮＺＯ ＷＯＲＬＤ ＰＡＴＥＮＴ ＆ ＴＲＡＤＥＭＡＲＫ

(72)【発明者】

【氏名】イ，ソン ジン

(72)【発明者】

【氏名】パク，ジョン フン

(72)【発明者】

【氏名】メン，ホ

(72)【発明者】

【氏名】シム，セ ヒョン

【審査官】小久保 州洋

(56)【参考文献】

【文献】米国特許出願公開第２０２０／０３７６８３０（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特開２０１６－１９２４０７（ＪＰ，Ａ）

【文献】韓国公開特許第１０－２０１６－００８３４２０（ＫＲ，Ａ）

【文献】韓国公開特許第１０－２００７－００７０５０６（ＫＲ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１９／０２３５８０３（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特開２０１９－０５９１６６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ１０Ｋ ５０／００ － １０２／２０

Ｂ４１Ｊ ２／１６５

Ｂ０５Ｃ １１／００

Ｂ０５Ｃ ５／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

グローブボックス内に備えられるインクジェット装備のヘッドノズルから噴射されるインク滴の吐出状態を検査するための検査フィルムを供給するインクジェットヘッドノズル検査用フィルム供給装置であり、
前記インクジェット装備の前記ヘッドノズルのメンテナンスを行うための前記グローブボックス内のメンテナンス領域に設置される固定ベースと、前記固定ベースの一側上部に固定される四角ボックス状の筐体と、前記筐体の上部に取り付けられる供給マニホールドとを含んで構成されるカートリッジ締結部と、
一側が開放された四角ボックス状に形成され、下面が前記固定ベースの上面に安着すると共に開放された部分が前記筐体に安着して前記カートリッジ締結部に締結可能に構成されるカバーボックスと、前記カバーボックスの他側に複数の連結棒によって締結される外側プレートと、前記カバーボックスの上部と前記外側プレートの上部にわたって締結される接続マニホールドと、前記接続マニホールドの上部に組み立てられるテストベッドと、前記カバーボックスと前記外側プレートとの間に互いに平行に備えられて入れ替え可能な検査フィルム供給ロールが取り付けられる巻出しローラ、及び入れ替え可能な検査フィルム回収ロールが取り付けられる巻取りローラと、を含んで形成されるカートリッジ部と、を含んで構成されるインクジェットヘッドノズル検査用フィルム供給装置。

【請求項2】

前記供給マニホールドは、
正圧を提供される正圧ポートと連結される少なくとも一つの正圧供給孔と、負圧を提供される負圧ポートと連結される少なくとも一つの負圧供給孔とを含んで構成され、
前記接続マニホールドは、
前記正圧供給孔の正圧を提供されるように前記正圧供給孔に接続される少なくとも一つの正圧接続孔と、前記正圧接続孔の正圧を前記テストベッドに提供する正圧排出孔と、前記負圧供給孔の負圧を提供されるように前記負圧供給孔に接続される少なくとも一つの負圧接続孔と、前記負圧接続孔の負圧を前記テストベッドに提供する負圧排出孔とを含んで構成されることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドノズル検査用フィルム供給装置。

【請求項3】

前記筐体の内部には、
回転駆動部と、前記回転駆動部の回転力によって回転しながら前記筐体の外部に露出される駆動ギヤとが備えられ、
前記巻取りローラは、
前記カバーボックスの開放された部分に露出されて前記駆動ギヤと噛み合う被動ギヤが軸結合されるように構成されることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドノズル検査用フィルム供給装置。

【請求項4】

前記カートリッジ部は、
前記カバーボックスと前記外側プレートとの間に前記巻取りローラと平行に備えられ、前記カバーボックスの開放された部分に露出される伝達ギヤが軸結合される被動摩擦ローラを含んで構成され、
前記カートリッジ締結部は、
前記伝達ギヤと噛み合う測定ギヤと、前記測定ギヤと軸結合される回転ディスクと、前記回転ディスクの回転量を感知するフォトセンサとを含んで構成されることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドノズル検査用フィルム供給装置。

【請求項5】

前記固定ベースの上面にはガイドレールが形成され、前記カバーボックスと前記外側プレートの下面には前記ガイドレールによってガイドされるガイダーが備えられることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドノズル検査用フィルム供給装置。

【請求項6】

前記筐体と前記カバーボックスの互いに向かい合う面には前記カートリッジ締結部に対する前記カートリッジ部の取り付け位置をガイドするためのガイド突起と、前記ガイド突起が挿入されるガイドブッシングとがそれぞれ備えられることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドノズル検査用フィルム供給装置。

【請求項7】

前記巻出しローラは、
前記巻出しローラと軸結合されて前記カバーボックスの開放された部分に露出されるプーリーと、前記プーリーに巻かれて所定の摩擦力を発生する摩擦ワイヤと、前記摩擦ワイヤの両端を固定する固定ブラケットと、を含んで構成される摩擦手段によって摩擦支持されるように構成されることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドノズル検査用フィルム供給装置。

【請求項8】

前記巻出しローラは、
前記カバーボックスの上に回転可能に支持される第１巻出し体と、前記外側プレートの上に回転可能に支持される第２巻出し体で構成され、
前記巻取りローラは、
前記カバーボックスの上に回転可能に支持される第１巻取り体と、前記外側プレートの上に回転可能に支持される第２巻取り体で構成されることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドノズル検査用フィルム供給装置。

【請求項9】

前記複数の連結棒は、前記カバーボックスと前記外側プレートから取り外し可能に構成され、前記カバーボックスと前記外側プレートから前記複数の連結棒が取り外される際、前記カバーボックスから前記外側プレートが取り外されるように構成されることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドノズル検査用フィルム供給装置。

【請求項10】

前記巻出しローラと巻取りローラには、
前記検査フィルム供給ロールまたは前記検査フィルム回収ロールの相対回転を防止するように、前記検査フィルムの一部分がかかって挿入される回転防止突起が形成されることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドノズル検査用フィルム供給装置。

【請求項11】

前記巻出しローラと巻取りローラの両端には、
前記検査フィルム供給ロールまたは前記検査フィルム回収ロールの離脱を防止する円形フランジが一体に形成されることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドノズル検査用フィルム供給装置。

【請求項12】

前記接続マニホールドの両側には支持ブラケットがそれぞれ備えられ、前記支持ブラケットの上部には前記検査フィルムの水平状態を維持するために上部がラウンド状に形成されるフィルム支持バーが備えられることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドノズル検査用フィルム供給装置。

【請求項13】

前記筐体と前記カバーボックスには前記カートリッジ締結部に対する前記カートリッジ部の取り付け状態を固定するために互いに締結可能な締結手段がそれぞれ備えられることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドノズル検査用フィルム供給装置。

【請求項14】

前記検査フィルムの表面には多孔性のインク滴安着層が備えられることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドノズル検査用フィルム供給装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明はインクジェットヘッドノズル検査装置に関し、より詳しくは、グローブボックス内に備えられるインクジェット装備のヘッドノズルから噴射されるインク滴の吐出状態を検査するための検査フィルムの入れ替えを迅速で簡便に行うことができるインクジェットヘッドノズル検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

最近、インクジェット技術が発展されるにつれ、ディスプレイ半導体分野などのような多様な分野でインクジェット技術が使用されている。

【0003】

例えば、ＬＣＤ、カラーフィルタ（Ｃｏｌｏｒ ｆｉｌｔｅｒ）、ＯＬＥＤ ＲＧＢ、ＯＬＥＤ ＴＦＥ（Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｅｎｃａｐｓｕｌａｔｉｏｎ）など、非常に小さい領域にインクをプリントするか精密コーティングをする工程などにインクジェット技術が使用されおり、カラーフィルタまたはＯＬＥＤ ＲＧＢは数十または数マイクロサイズのバンク（ｂａｎｋ）内に正確に定量のインク滴を弾着させて各色を表現するように適用されており、このような場合の物理的誤差は１％未満であるべきである。

【0004】

上述したように、インクジェット技術を利用して精密な工程を行うためには、インクジェット装備のヘッドノズルから吐出されるインク滴が正確な方向に吐出される状態が維持されるべきである。

【0005】

よって、前記ヘッドノズルのインク滴の吐出状態を周期的に検査して前記ヘッドノズルから吐出されるインク滴が正確な方向ではない斜線方向に吐出されるか吐出されないなどの問題が発生しないようにし、問題が発生したら不良ノズルは使用を中止して他のノズルを利用して補正するなどのメンテナンスを行うべきである。

【0006】

前記ヘッドノズルのインク滴の吐出状態を周期的に検査するための方法として、インク滴が吐出される時点にビジョン装置を利用してインク滴の吐出状態、速度などを観察し、ヘッドノズルのインク滴の吐出状態が正常であるのかを判断する方法がある。

【0007】

しかし、上述した方法は多数のノズルから吐出されるインク滴を一々ビジョン装置で撮影し判断すべきであるため時間がかかるという短所があり、それを補完するための技術が開発されている。

【0008】

インクジェットヘッドの備えられる多数のノズルから吐出されるインク滴の吐出状態を速く検査するための技術として、特許文献１に開示の「基板処理装置、吐出量測定ユニット、並びに基板処理方法」がある。

【0009】

しかし、上述したような「基板処理装置、吐出量測定ユニット、並びに基板処理方法」は、特定ガス雰囲気で密閉構成されるグローブボックス内に前記基盤処理装置が設置されており、前記吐出量測定ユニットも前記グローブボックス内に設置されているため、供給ローラと回収ローラを新しい供給ローラと回収ローラに入れ替える作業がグローブボックス内で行われるべきであるため非常に煩わしいという問題点がある。

【0010】

よって、供給ローラと回収ローラを迅速に入れ替え、インク滴の吐出状態を迅速に検査する技術が求められている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0011】

【文献】韓国公開特許 第１０－２０１６－００８３４２０号（２０１６年０７月１２日）

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0012】

前記従来技術による問題点を解決するための本発明の目的は、グローブボックス内に備えられるインクジェット装備のヘッドノズルから噴射されるインク滴の吐出状態を検査するための検査フィルムの入れ替えを迅速で簡便に行うようにして検査時間を短縮するインクジェットヘッドノズル検査装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0013】

前記技術的課題を解決するための本発明のインクジェットヘッドノズル検査装置は、インクジェット装備のヘッドノズルのメンテナンスを行うためのグローブボックス内のメンテナンス領域に設置される固定ベースと、前記固定ベースの一側上部に固定される四角ボックス状の筐体と、前記筐体の上部に取り付けられる供給マニホールドとを含んで構成されるカートリッジ締結部と、一側が開放された四角ボックス状に形成され、下面が前記固定ベースの上面に安着すると共に開放された部分が前記筐体に安着して前記カートリッジ締結部に締結可能に構成されるカバーボックスと、前記カバーボックスの他側に複数の連結棒によって締結される外側プレートと、前記カバーボックスの上部と前記外側プレートの上部にわたって締結される接続マニホールドと、前記接続マニホールドの上部に組み立てられるテストベッドと、前記カバーボックスと前記外側プレートとの間に互いに平行に備えられて入れ替え可能な検査フィルム供給ロールが取り付けられる巻出しローラ、及び入れ替え可能な検査フィルム回収ロールが取り付けられる巻取りローラと、を含んで構成される。

【0014】

好ましくは、前記供給マニホールドは、正圧を提供される正圧ポートと連結される少なくとも一つの正圧供給孔と、負圧を提供される負圧ポートと連結される少なくとも一つの負圧供給孔とを含んで構成され、前記接続マニホールドは、前記正圧供給孔の正圧を提供されるように前記正圧供給孔に接続される少なくとも一つの正圧接続孔と、前記正圧接続孔の正圧を前記テストベッドに提供する正圧排出孔と、前記負圧供給孔の負圧を提供されるように前記負圧供給孔に接続される少なくとも一つの負圧接続孔と、前記負圧接続孔の負圧を前記テストベッドに提供する負圧排出孔とを含んで構成される。

【0015】

好ましくは、前記筐体の内部には、回転駆動部と、前記回転駆動部の回転力によって回転しながら前記筐体の外部に露出される駆動ギヤとが備えられ、前記巻取りローラは、前記カバーボックスの開放された部分に露出されて前記駆動ギヤと噛み合う被動ギヤが軸結合されるように構成される。

【0016】

好ましくは、前記カートリッジ部は、前記カバーボックスと前記外側プレートとの間に前記巻取りローラと平行に備えられ、前記カバーボックスの開放された部分に露出される伝達ギヤが軸結合される被動摩擦ローラを含んで構成され、前記カートリッジ締結部は、前記伝達ギヤと噛み合う測定ギヤと、前記測定ギヤと軸結合される回転ディスクと、前記回転ディスクの回転量を感知するフォトセンサとを含んで構成される。

【0017】

好ましくは、前記固定ベースの上面にはガイドレールが形成され、前記カバーボックスと前記外側プレートの下面には前記ガイドレールによってガイドされるガイダーが備えられる。

【0018】

好ましくは、前記筐体と前記カバーボックスの互いに向かい合う面には前記カートリッジ締結部に対する前記カートリッジ部の取り付け位置をガイドするためのガイド突起と、前記ガイド突起が挿入されるガイドブッシングとがそれぞれ備えられる。

【0019】

好ましくは、前記巻出しローラは、前記巻出しローラと軸結合されて前記カバーボックスの開放された部分に露出されるプーリーと、前記プーリーに巻かれて所定の摩擦力を発生する摩擦ワイヤと、前記摩擦ワイヤの両端を固定する固定ブラケットとを含んで構成される摩擦手段によって摩擦支持されるように構成される。

【0020】

好ましくは、前記巻出しローラは、前記カバーボックスの上に回転可能に支持される第１巻出し体と、前記外側プレートの上に回転可能に支持される第２巻出し体で構成され、前記巻取りローラは、前記カバーボックスの上に回転可能に支持される第１巻取り体と、前記外側プレートの上に回転可能に支持される第２巻取り体で構成される。

【0021】

好ましくは、前記複数の連結棒は、前記カバーボックスと前記外側プレートから取り外し可能に構成され、前記カバーボックスと前記外側プレートから前記複数の連結棒が取り外される際、前記カバーボックスから前記外側プレートが取り外されるように構成される。

【0022】

好ましくは、前記巻出しローラと巻取りローラには、前記検査フィルム供給ロールまたは検査フィルム回収ロールの相対回転を防止するように、前記検査フィルムの一部分がかかって挿入される回転防止突起が形成される。

【0023】

好ましくは、前記巻出しローラと巻取りローラの両端には、前記検査フィルム供給ロールまたは検査フィルム回収ロールの離脱を防止する円形フランジが一体に形成される。

【0024】

好ましくは、前記接続マニホールドの両側には支持ブラケットがそれぞれ備えられ、前記支持ブラケットの上部には前記検査フィルムの水平状態を維持するために上部がラウンド状に形成されるフィルム支持バーが備えられる。

【0025】

好ましくは、前記筐体と前記カバーボックスには前記カートリッジ締結部に対する前記カートリッジ部の取り付け状態を固定するために互いに締結可能な締結手段がそれぞれ備えられる。

【0026】

前記技術的課題を解決するための本発明のインクジェットヘッドノズル検査装置は、インクジェット装備が内蔵されるグローブボックス内に設置されるカートリッジ締結部と、前記インクジェット装備のヘッドノズルのインク滴の吐出状態を検査するためのテストベッドが備えられ、前記テストベッドの上部に検査フィルムを供給するように入れ替え可能な検査フィルム供給ロールと検査フィルム回収ロールが取り付けられ、前記カートリッジ締結部に着脱可能に構成されるカートリッジ部と、を含む。

【0027】

好ましくは、前記カートリッジ締結部は、前記インクジェット装備のヘッドノズルのメンテナンスを行うための前記グローブボックス内にのメンテナンス領域に設置される。

【0028】

好ましくは、前記カートリッジ締結部は、正圧を提供される正圧ポートと連結される少なくとも一つの正圧供給孔と、負圧を提供される負圧ポートと連結される少なくとも一つの負圧供給孔とを含んで構成され、前記正圧供給孔の正圧と前記負圧供給孔の負圧は前記カートリッジ部に提供される。

【0029】

好ましくは、前記カートリッジ締結部は、回転駆動部と、前記回転駆動部の回転力によって回転する駆動ギヤとを含んで構成され、前記駆動ギヤの回転力が前記カートリッジ部に提供される。

【0030】

好ましくは、前記カートリッジ締結部は、前記検査フィルム供給ロールから巻き出される検査フィルムと摩擦によって回転するように前記カートリッジ部に備えられる被動摩擦ローラの回転力を提供されて回転する測定ギヤと、前記測定ギヤと連結されて回転する回転ディスクと、前記回転ディスクの回転量を感知するフォトセンサとを含んで構成され、前記フォトセンサで感知された前記回転ディスクの回転量に基づいて前記検査フィルム供給ロールから巻き出された検査フィルムの巻き出し量を算出するように構成される。

【0031】

好ましくは、前記カートリッジ締結部は、前記カートリッジ部の取り付け位置をガイドするための少なくとも一つの取り付けガイドが備えられる。

【0032】

好ましくは、前記カートリッジ部は、前記カートリッジ締結部から正圧を提供される少なくとも一つの正圧接続孔と、前記カートリッジ締結部から負圧を提供される少なくとも一つの負圧接続孔とを含んで構成され、前記カートリッジ締結部から前記正圧接続孔に供給される正圧と前記カートリッジ締結部から前記負圧接続孔に供給される負圧は前記テストベッドの上部に供給される。

【0033】

好ましくは、前記カートリッジ部は、前記検査フィルム供給ロールが取り付けられる巻出しローラと、前記巻出しローラに取り付けられる検査フィルム供給ロールの検査フィルムを巻き取る検査フィルム回収ロールが取り付けられる巻取りローラとを含んで構成され、前記巻取りローラは前記カートリッジ締結部から回転力を提供されて回転するように構成され、前記巻出しローラは摩擦手段によって摩擦支持されるように構成される。

【0034】

好ましくは、前記巻出しローラに取り付けられる検査フィルム供給ロールから巻き出される検査フィルムの検査表面が前記テストベッドの反対側を向かうように移送された後、前記巻取りローラに取り付けられる検査フィルム回収ロールに巻き取られるように構成される。

【0035】

好ましくは、前記カートリッジ部は、前記検査フィルム供給ロールから巻き出される検査フィルムと摩擦によって回転する被動摩擦ローラを含んで構成され、前記被動摩擦ローラの回転力が前記カートリッジ締結部側に提供される。

【0036】

好ましくは、前記カートリッジ締結部は、正圧を提供される正圧ポートと連結される少なくとも一つの正圧供給孔と、負圧を提供される負圧ポートと連結される少なくとも一つの負圧供給孔とを含んで構成され、前記カートリッジ部は、前記正圧供給孔の正圧を提供されるように前記正圧供給孔に接続される少なくとも一つの正圧接続孔と、前記負圧供給孔の負圧を提供されるように前記負圧供給孔に接続される少なくとも一つの負圧接続孔とを含んで構成され、前記正圧接続孔に供給される正圧と前記負圧供給孔に供給される負圧は前記テストベッドの上部に供給されて前記検査フィルムを浮き上がらせるように構成される。

【0037】

好ましくは、前記カートリッジ締結部は、回転駆動部と、前記回転駆動部の回転力によって回転する駆動ギヤとを含んで構成され、前記カートリッジ部は、前記検査フィルム供給ロールが取り付けられる巻出しローラと、前記巻出しローラに取り付けられる検査フィルム供給ロールの検査フィルムを巻き取る検査フィルム回収ロールが取り付けられる巻取りローラとを含んで構成され、前記巻出しローラは摩擦手段によって摩擦支持されるように構成され、前記巻取りローラには被動ギヤが軸結合され、前記駆動ギヤの回転力が前記被動ギヤに伝達されて前記巻取りローラが回転駆動するように構成される。

【0038】

好ましくは、前記カートリッジ部は、前記検査フィルム供給ロールから巻き出される検査フィルムと摩擦によって回転する被動摩擦ローラを含んで構成され、前記被動摩擦ローラには伝達ギヤが軸結合され、前記カートリッジ締結部は、前記伝達ギヤの回転力を伝達されて回転する測定ギヤと、前記測定ギヤと連結されて回転する回転ディスクと、前記回転ディスクの回転量を感知するフォトセンサとを含んで構成され、前記フォトセンサで感知された前記回転ディスクの回転量に基づいて前記検査フィルム供給ロールから巻き出された検査フィルムの巻き出し量を算出するように構成される。

【0039】

前記技術的課題を解決するための本発明のインクジェットヘッドノズル検査装置で使用される検査フィルムの表面には多孔性のインク滴安着層が備えられる。

【発明の効果】

【0040】

上述したような本発明は、グローブボックス内に備えられるインクジェット装備のヘッドノズルから噴射されるインク滴の吐出状態を検査するための検査フィルムの入れ替えを迅速で簡便に行うようにして検査時間を短縮するという利点がある。

【0041】

本発明の効果は前記で言及した効果に限らず、言及されていない他の効果は以下の記載から通常の技術者に明確に理解されるはずである。

【図面の簡単な説明】

【0042】

【図1】本発明の一実施例によるインクジェットヘッドノズル検査装置を示す一側方向の斜視図である。

【図2】本発明の一実施例によるインクジェットヘッドノズル検査装置を示す多側方向の斜視図である。

【図3】本発明の一実施例によるインクジェットヘッドノズル検査装置を示す一部分解斜視図である。

【図4】本発明の一実施例によるインクジェットヘッドノズル検査装置のカートリッジ締結部の内部を示す斜視図である。

【図5】本発明の一実施例によるインクジェットヘッドノズル検査装置のカートリッジ部の一部構成を示す分解斜視図である。

【図6】本発明の一実施例によるインクジェットヘッドノズル検査装置のカートリッジ部に備えられるテストベッド部分を示す分解斜視図である。

【図7】本発明の一実施例によるインクジェットヘッドノズル検査装置を示す断面図である。

【図8】本発明の一実施例によるインクジェットヘッドノズル検査装置のカートリッジ部に備えられる検査フィルム部分を示す断面図である。

【図9】本発明の一実施例によるインクジェットヘッドノズル検査装置のカートリッジ締結部にカートリッジ部が締結される過程を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0043】

本発明はその技術的思想または主要な特性から逸脱せずに他の様々な形態で実施され得る。よって、本発明の実施例は全ての点で単なる例示に過ぎず、限定的に解釈してはならない。

【0044】

第１、第２などの用語は多様な構成要素を説明するのに使用されるが、前記構成要素は前記用語に限定されない。

【0045】

前記用語は一つの構成要素を他の構成要素から区別する目的にのみ使用される。例えば、本発明の権利範囲を逸脱しないながらも第１構成要素は第２構成要素と命名されてもよく、類似して第２構成要素も第１構成要素と命名されてもよい。

【0046】

及び／またはという用語は、複数項目の組み合わせまたは複数項目のうちいずれかの項目を含む。

【0047】

ある構成要素が他の構成要素に「連結されて」いるか「接続されて」いると言及されれば、その他の構成要素に直接連結されているか、または接続されていてもよいが、中間に他の構成要素が存在する可能性もあると理解すべきである。

【0048】

その反面、ある構成要素が他の構成要素に「直接連結」されているか「直接接続」されていると言及されれば、その中間に他の構成要素が存在しないと理解すべきである。

【0049】

本出願で使用された用語は単に特定の実施例を説明するために使用されたものであって、本発明を限定する意図ではない。単数の表現は、文脈上明白に異なるように意味しない限り、複数の表現を含む。

【0050】

本出願において、「含む」または「備える」、「有する」などの用語は明細書の上に記載された特徴、数字、ステップ、動作、構成要素、部品またはこれらを組み合わせたものが存在することを指定するものであって、一つまたはそれ以上の他の特徴や数字、ステップ、動作、構成要素、部品またはこれらを組み合わせたものの存在または付加可能性を予め排除しないと理解すべきである。

【0051】

異なるように定義されない限り、ここで使用される技術的か科学的な用語を含む全ての用語は、本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者によって一般的に理解されるものと同じ意味を有する。

【0052】

一般的に使用される辞書に定義されているものと同じ用語は、関連技術の文脈上で有する意味と一致する意味を有すると解釈すべきであり、本出願で明白に定義しない限り、理想的なまたは過度に形式的な意味で解釈されない。

【0053】

以下、添付した図面を参照して本発明による好ましい実施例を詳細に説明するが、図面符号に関係なく同じであるか対応する構成要素は同じ参照番号を与えてそれに関する重複する説明は省略する。

【0054】

本発明を説明するに当たって、関連する公知技術に関する具体的な説明が本発明の要旨を不明確する恐れがあると判断される場合、その詳細な説明を省略する。

【0055】

本発明の一実施例によるインクジェットヘッドノズル検査装置は、図１乃至図３に示したように、カートリッジ締結部１００とカートリッジ部２００で構成される。

【0056】

まず、前記カートリッジ締結部１００について詳細に説明する。

【0057】

前記カートリッジ締結部１００はインクジェット装備が内蔵されるグローブボックス内に設置され、前記カートリッジ部２００が着脱可能に構成される。

【0058】

詳しくは、前記カートリッジ締結部１００は、前記グローブボックスの内部空間のうち前記インクジェット装備のヘッドノズルのメンテナンスを行うためのメンテナンス領域、つまり、作業者がグローブボックスを利用して接近可能な領域に設置される。

【0059】

前記カートリッジ締結部１００は、図１乃至図４に示したように、固定ベース１１０と、筐体１２０と、供給マニホールド１３０を含んで構成される。

【0060】

前記固定ベース１１０は前記カートリッジ締結部１００がグローブボックス内に設置されるように構成される部分であって、前記固定ベース１１０はインクジェット装備のヘッドノズルのメンテナンスを行うためのグローブボックス内のメンテナンス領域に設置される。

【0061】

詳しくは、前記固定ベース１１０は、グローブボックス内のメンテナンス領域上で平面上Ｘ軸またはＹ軸方向に移動可能なステージに設置される。

【0062】

前記固定ベース１１０の上面には前記カートリッジ部２００の取り付けをガイドするためのガイドレール１１１が形成され、前記カートリッジ部２００には前記ガイドレール１１１に沿ってスライド可能な第１ガイダー２１１と第２ガイダーが備えられ、前記ガイドレール１１１によって前記カートリッジ部２００が取り付けられる際に取り付け位置にガイドされる。

【0063】

詳しくは、前記カートリッジ部２００を構成するカバーボックス２１０の下面に第１ガイダー２１１が備えられ、前記カートリッジ部２００を構成する外側プレート２２０の下面に第２ガイダー２２１が備えられる。

【0064】

前記筐体１２０は前記固定ベース１１０の一側上部に固定されている部分であって、四角ボックス状に形成される。

【0065】

図３及び図４に示したように、前記筐体１２０の内部には、回転駆動部１２１と、前記回転駆動部１２１の回転力によって回転し、前記筐体１２０の下部に露出される駆動ギヤ１２３が備えられる。

【0066】

前記回転駆動部１２１はモータ、減速機などの回転駆動のための手段であり、前記回転駆動部１２１はグローブボックス内の電源提供装置から電源を提供されて回転力を発生する。

【0067】

前記駆動ギヤ１２３は前記回転駆動部１２１の駆動軸に軸結合されて回転される部分であって、前記駆動ギヤ１２３は前記カートリッジ部２００が締結される方向に向かって前記筐体１２０の外部に露出されるように構成される。

【0068】

前記カートリッジ締結部１１０とカートリッジ部２００を締結する際、前記回転駆動部１２１によって回転駆動する前記駆動ギヤ１２３の回転力が前記カートリッジ部２００に提供される。

【0069】

一方、図４に示したように、前記筐体１２０の内部には前記カートリッジ部２００に備えられる被動摩擦ローラ２４５の回転力を提供されて回転する測定ギヤ１２５ａが備えられ、前記測定ギヤ１２５ａと連結されて回転する回転ディスク１２５ｂと、前記回転ディスク１２５ｂの回転量を感知するフォトセンサ１２５ｃとを含んで備えられる。

【0070】

例えば、軸受などの転がり手段に回転可能に支持される回転軸の一側に前記測定ギヤ１２５ａが軸結合し、前記回転軸の他側に前記回転ディスク１２５ｂが軸結合されることで、前記測定ギヤ１２５ａが回転する際に前記回転ディスク１２５ｂが一体に回転される。

【0071】

前記フォトセンサ１２５ｃは前記回転ディスク１２５ｂの回転量を感知し、感知された前記回転ディスク１２５ｂの回転量に基づいて前記被動摩擦ローラ２４５の回転量を算出する。

【0072】

前記被動摩擦ローラ２４５は検査フィルム供給ロールＲ１から巻き出される検査フィルムＦと摩擦によって回転する部分であって、前記被動摩擦ローラ２４５の回転量を算出することで前記検査フィルム供給ロールＲ１から巻き出された検査フィルムＦの巻き出し量を算出する。

【0073】

前記カートリッジ部２００が取り付けられる前記筐体１２の対応面にはガイド突起１２７が備えられ、前記ガイド突起１２７に対応する前記カートリッジ部２００の対応部にはガイドブッシング２１７が備えられ、前記ガイド突起１２７と前記ガイドブッシング２１７によって前記カートリッジ締結部１００に対する前記カートリッジ部２００の取り付け位置がガイドされる。

【0074】

詳しくは、前記筐体１２０と向かい合う前記カートリッジ部２００のカバーボックス２１０の対応面に前記ガイドブッシング２１７が備えられる。

【0075】

一方、前記筐体１２０の側面部分には前記カートリッジ部２００のカバーボックス２１０と締結するための第１締結手段１９０が備えられ、第１締結手段１９０と対応する前記カバーボックス２１０の対応部分には第２締結手段２９０が備えられ、前記第１締結手段１９０と第２締結手段２９０によって前記カートリッジ締結部１００に対する前記カートリッジ部２００の取り付け状態を固定させる。

【0076】

前記供給マニホールド１３０は前記筐体１２０の上部に取り付けられる。

【0077】

前記供給マニホールド１３０の一側にはグローブボックス内の正圧提供装置と連結されて正圧を提供される正圧ポート１３１ａと、グローブボックス内の負圧提供装置と連結されて負圧を提供される負圧ポート１３２ａが備えられる。

【0078】

前記供給マニホールド１３０の他側には前記正圧ポート１３１ａと連結される正圧が供給される正圧供給孔１３１ｂと、前記負圧ポート１３２ａと連結される負圧が供給される負圧供給孔１３２ｂが備えられる。

【0079】

本実施例の供給マニホールド１３０は２つの正圧ポート１３１ａと正圧供給孔１３１ｂ、一つの負圧ポート１３２ａと負圧供給孔１３２ｂが備えられる場合について例示したが、前記正圧ポート１３１ａ、負圧ポート１３２ａ、正圧供給孔１３１ｂ、負圧供給孔１３２ｂの個数は多様に変更されてもよい。

【0080】

前記カートリッジ締結部１１０とカートリッジ部２００を締結する際、前記正圧供給孔１３１ｂの正圧と前記負圧供給孔１３２ｂの負圧は前記カートリッジ部２００の接続マニホールド２３０に提供される。

【0081】

次に、前記カートリッジ部２００について詳細に説明する。

【0082】

前記カートリッジ部２００は、前記インクジェット装備のヘッドノズルをインク滴の吐出状態を検査するためのテストベッド２３５が備えられ、前記テストベッド２３５の上部に検査フィルムＦを供給するために検査フィルム供給ロールＲ１と検査フィルム回収ロールＲ２が取り付けられる。

【0083】

一方、前記カートリッジ部２００は前記カートリッジ締結部１００に締結されるか取り外されるように構成される。

【0084】

例えば、前記カートリッジ部２００は、グローブボックスと開閉ドアを介して互いに空間が連結されるか互いに空間が分離されるように構成される副室（Ａｎｔｅｃｈａｍｂｅｒ）を介して前記グローブボックス内メンテナンス領域に供給した後、作業者が前記カートリッジ締結部１００に簡単に取り付けられる。

【0085】

前記カートリッジ部２００は、図１乃至図３、図５及び図６に示したように、カバーボックス２１０、外側プレート２２０、接続マニホールド２３０、テストベッド２３５、巻出しローラ３４１と巻取りローラ２４３を含んで構成される。

【0086】

前記カバーボックス２１０は一側が開放された四角ボックス状の形状に形成され、下面が前記固定ベース１１０の上面に安着すると共に開放された部分が前記筐体１２０に安着して前記カートリッジ締結部１００に締結可能に構成される。

【0087】

前記外側プレート２２０は前記カバーボックス２１０の他側に複数の連結棒２５０によって締結され、おおよそ「Ｉ」字状に形成される。

【0088】

前記複数の連結棒２５０は前記カバーボックス２１０と前記外側プレート２２０を互いに連結するか取り外すように構成され、例えば、各連結棒２５０の一端部が前記外側プレート２２０の第１孔ｈ１を貫通してカバーボックス２１０の第２溝ｈ２に固定され、各連結棒２５０の他端部に備えられるノブ２５０ｎが前記外側プレート２２０の第１孔ｈ１にまたがるように構成される。

【0089】

よって、前記連結棒２５０の一端部が第１孔ｈ１を貫通した後、第２溝ｈ２に位置した状態で前記ノブ２５０ｎを回転させることで、前記連結棒２５０が前記カバーボックス２１０と前記外側プレート２２０が互いに一定間隔を維持した状態で締結させるようになる。

【0090】

前記連結棒２５０の一端部と前記第２溝ｈ２には、前記連結棒２５０が回転する際に互いに締結可能なボルト、ナット構造やかかり片など公知の締結構造が適用される。

【0091】

前記接続マニホールド２３０は、前記カバーボックス２１０の上部と前記外側プレート２２０の上部にわたって締結される。

【0092】

前記接続マニホールド２３０は、図６に示したように、おおよそ四角形状のブロック状に形成され、前記供給マニホールド１３０の正圧供給孔１３１ｂの正圧を提供されるように前記正圧供給孔１３１ｂに接続される少なくとも一つの正圧接続孔２３１ａと、前記正圧接続孔２３１ａの正圧を前記テストベッド２３５に提供する正圧排出孔２３１ｂと、前記供給マニホールド１３０の負圧供給孔１３２ｂの負圧を提供されるように前記負圧供給孔１３２ｂに接続される少なくとも一つ負圧接続孔２３２ａと、前記負圧接続孔２３２ａの負圧を前記テストベッド２３５に提供する負圧排出孔２３２ｂとを含んで構成される。

【0093】

つまり、カートリッジ締結部１００とカートリッジ部２００を締結する際、前記カートリッジ締結部１００の供給マニホールド１３０と前記カートリッジ部２００の接続マニホールド２３０が互いに接続され、この際、前記正圧供給孔１３１ｂと前記正圧接続孔２３１ａが互いに接続され、前記負圧供給孔１３２ｂが前記負圧接続孔２３２ａと互いに接続される。

【0094】

一方、前記正圧供給孔１３１ｂと前記正圧接続孔２３１ａとの間、前記負圧供給孔１３２ｂと前記負圧接続孔２３２ａとの間にはＯリングが備えられ、前記Ｏリングは供給マニホールド１３０や接続マニホールド２３０のうちいずれか一側に備えられる。

【0095】

前記カートリッジ締結部１００の供給マニホールド１３０から前記正圧接続孔２３１ａに供給された正圧と前記負圧接続孔２３２ａに供給された負圧は前記テストベッド２３５に提供される。

【0096】

前記テストベッド２３５は前記接続マニホールド２３０の上部に組み立てられる。

【0097】

前記テストベッド２３５は、図６に示したように、下部ブロック２３５ａと上部ブロック２３５ｂが互いに一体に構成される構造で形成され、正圧と負圧を利用して所定間隔で基板を浮き上がらせる公知の浮上装置と同じ乃至類似した構造で構成され、詳細な説明は省略する。

【0098】

前記テストベッド２３５は前記接続マニホールド２３０の正圧排出孔２３１ｂと負圧排出孔２３２ｂに連結され、前記テストベッド２３５の上部ブロックの上面に正圧と負圧が共に作用するように構成される。

【0099】

前記接続マニホールド２３０の正圧排出孔２３１ｂと負圧排出孔２３２ｂにはＯリングＯが備えられる。

【0100】

一方、前記接続マニホールド２３０の両側には支持ブラケット２３３がそれぞれ備えられ、前記支持ブラケット２３３の上部には前記検査フィルムＦの水平状態を維持するために上部がラウンド状に形成されるフィルム支持バー２３４が備えられる。

【0101】

よって、前記フィルム支持バー２３４によって前記テストベッド２３５の上部に前記検査フィルムＦの水平に維持される状態で供給され、前記テストベッド２３５の上面に作用する正圧と負圧によって前記検査フィルムＦが前記テストベッド２３５の上部に所定間隔で浮き上がった状態で維持されるようになる。

【0102】

前記巻出しローラ２４１と巻取りローラ２４３は前記カバーボックス２１０と前記外側プレート２２０との間に互いに平行に備えられて入れ替え可能な検査フィルムロールが取り付けられ、詳しくは、前記巻出しローラ２４１には検査フィルム供給ロールＲ１が取り付けられ、前記巻取りローラ２４３には検査フィルム回収ロールＲ２が取り付けられる。

【0103】

前記巻出しローラ２４１は、図５及び図７に示したように、前記カバーボックス２１０の上に第１軸受Ｂ１によって回転可能に支持される第１巻出し体２４１－１と、前記外側プレート２２０の上に第２軸受Ｂ２によって回転可能に支持される第２巻出し体２４１－２に分割されて構成される。

【0104】

一方、前記巻出しローラ２４１の第１巻出し体２４１－１には、前記検査フィルム供給ロールＲ１の相対回転を防止するように前記検査フィルム供給ロールＲ１の一部分がかかって挿入される第１回転防止突起２４１－１ｐが形成される。

【0105】

そして、前記巻出しローラ２４１の両端には前記検査フィルム供給ロールＲ１の離脱を防止する第１円形フランジ２４１ｐが一体に形成される。

【0106】

前記巻出しローラ２４１は、図３に示したように、前記巻出しローラ２４１と軸結合されて前記カバーボックス２１０の開放された部分に露出されるプーリー２４１ａと、前記プーリー２４１ａに巻かれて所定の摩擦力を発生する摩擦ワイヤ２４１ｂと、前記摩擦ワイヤ２４１ｂの両端を固定する固定ブラケット２４１ｃとを含んで構成される摩擦手段によって摩擦支持されるように構成される。

【0107】

前記巻出しローラ２４１が前記摩擦手段によって摩擦支持されることで、前記検査フィルム供給ロールＲ１に巻かれている検査フィルムＦが前記巻取りローラ２４３によって繰り出される場合、前記検査フィルムＦは前記摩擦手段によって所定の張力が作用するようになる。

【0108】

前記巻取りローラ２４３は、図５及び図７に示したように、前記カバーボックス２１０の上に第３軸受Ｂ３によって回転可能に支持される第１巻取り体２４３－１と、前記外側プレート２２０の上に第４軸受Ｂ４によって回転可能に支持される第２巻取り体２４３－２に分割されて構成される。

【0109】

一方、前記巻取りローラ２４３の第１巻取り体２４３－１には前記検査フィルム回収ロールＲ２の相対回転を防止するように前記検査フィルム回収ロールＲ２の一部分がかかって挿入される第２回転防止突起２４３－１ｐが形成される。

【0110】

そして、前記巻取りローラ２４３の両端には前記検査フィルム回収ロールＲ２の離脱を防止する第２円形フランジ２４３ｐが一体に形成される。

【0111】

前記巻取りローラ２４３は、図３に示したように、前記カバーボックス２１０の開放された部分に露出されて前記駆動ギヤ１２３と噛み合う被動ギヤ２４３ｇが軸結合されるように構成される。

【0112】

前記巻取りローラ２４３は前記カートリッジ締結部１００から回転力を提供されて回転するように構成され、詳しくは、前記駆動ギヤ１２３の回転力が前記被動ギヤ２４３ｇに伝達されて前記巻取りローラ２４３が回転駆動するように構成される。

【0113】

一方、前記カバーボックス２１０と前記外側プレート２２０との間に被動摩擦ローラ２４５が更に備えられ、前記被動摩擦ローラ２４５は前記巻出しローラ２４１と平行に備えられ、前記カバーボックス２１０の開放された部分に露出される伝達ギヤ２４５ｇが軸結合するように構成される。

【0114】

詳しくは、前記被動摩擦ローラ２４５は第３孔ｈ３、第４孔ｈ４に備えられる軸受によって回転可能に支持される。

【0115】

よって、前記伝達ギヤ２４５ｇの回転力が前記測定ギヤ１２５ａに伝達され、前記測定ギヤ１２５ａに伝達された回転力が回転ディスク１２５ｂを回転させるようになって、前記回転ディスク１２５ｂの回転量をフォトセンサ１２５ｃが感知して前記検査フィルム供給ロールＲ１から巻き出された検査フィルムＦの巻き出し量を算出する。

【0116】

上述したような巻出しローラ２４１と巻取りローラ２４３の構成によって、前記巻出しローラ２４１に取り付けられる検査フィルム供給ロールＲ１から巻き出された検査フィルムＦの検査表面がテストベッド２３５で上方に向かうように移送された後、前記巻取りローラ２４３に取り付けられる検査フィルム回収ロールＲ２に巻き取られるようになる。

【0117】

一方、図８に示したように、前記検査フィルム供給ロールに巻かれている検査フィルムの表面には多孔性のインク滴安着層Ｆ２が備えられ、詳しくは、ＰＥＴフィルムＦ１の表面にＡＡＯ（Ａｎｏｄｉｃ ａｌｕｍｉｎｉｕｍ ｏｘｉｄｅ）層またはナノパーティクル（Ｎａｎｏｐａｒｔｉｃｌｅ）層がコーティングされるようにしてインク滴安着層Ｆ２を構成し、それによって、検査フィルムＦの表面に弾着されたインク滴Ｄが装置移動や振動のため位置が変わるエラーを防止することができる。

【0118】

本発明は添付した図面を参照して好ましい実施例を中心に記述したが、当業者であればこのような記載から本発明の範疇を逸脱することなく多くの多様で自明な変形が可能であることは明白である。よって、本発明の範疇はこのような多くの変形例を含むように記述された特許請求の範囲によって解釈されるべきである。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】