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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2025-01-29
(45)【発行日】2025-02-06
(54)【発明の名称】撮像装置、および、内視鏡
(51)【国際特許分類】
G02B 7/02 20210101AFI20250130BHJP
A61B 1/00 20060101ALI20250130BHJP
A61B 1/04 20060101ALI20250130BHJP
【ＦＩ】
G02B7/02 Z
G02B7/02 B
A61B1/00 731
A61B1/04 530
【請求項の数】
3
(21)【出願番号】P 2023536243
(86)(22)【出願日】2021-07-19
(86)【国際出願番号】 JP2021027025
(87)【国際公開番号】W WO2023002542
(87)【国際公開日】2023-01-26
【審査請求日】2023-09-25
(73)【特許権者】
【識別番号】000000376
【氏名又は名称】オリンパス株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110004185
【氏名又は名称】インフォート弁理士法人
(74)【代理人】
【識別番号】110002907
【氏名又は名称】弁理士法人イトーシン国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】萩原 碩
【審査官】門田 宏
(56)【参考文献】
【文献】国際公開第２０２０／１８３６００（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開２０１０－１０３４９３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１０－０８０５９１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１９－０６６６１０（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｇ０２Ｂ ７／０２
Ａ６１Ｂ １／００
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
それぞれがガラス基板を含む複数の光学素子を有し、前記複数の光学素子のうち、第１の主面と、前記第１の主面の反対側の第２の主面と、を有する第１の光学素子だけが、外縁の四隅の少なくともいずれかに、前記第１の主面から前記第２の主面に至る溝を有し、前記溝に第１の樹脂が配設されている第１のガラス基板と、前記第２の主面に配設されている樹脂レンズと、を有する、レンズユニットと、撮像素子を有する撮像ユニットと、を具備し、
前記レンズユニットは、入射面と前記入射面の反対側の出射面とを有し、前記第１の光学素子の前記第１の主面が前記レンズユニットの前記入射面を構成し、前記複数の光学素子のうちの前記第１の光学素子以外の光学素子の出射面が前記レンズユニットの前記出射面を構成しており、
前記撮像ユニットは、前記レンズユニットの前記出射面に配設されていることを特徴とする撮像装置。
【請求項2】
前記第１のガラス基板は、前記四隅の全てに前記溝を有し、
前記第１の樹脂は、全ての前記溝に配設されていることを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
【請求項3】
撮像装置を有し、前記撮像装置は、
それぞれがガラス基板を含む複数の光学素子を有し、前記複数の光学素子のうち、第１の主面と、前記第１の主面の反対側の第２の主面と、を有する第１の光学素子だけが、外縁の四隅の少なくともいずれかに、前記第１の主面から前記第２の主面に至る溝を有し、前記溝に第１の樹脂が配設されている第１のガラス基板と、前記第２の主面に配設されている樹脂レンズと、を有する、レンズユニットと、
撮像素子を有する撮像ユニットと、を具備し、
前記レンズユニットは、入射面と前記入射面の反対側の出射面とを有し、前記第１の光学素子の前記第１の主面が前記レンズユニットの前記入射面を構成し、前記複数の光学素子のうちの前記第１の光学素子以外の光学素子の出射面が前記レンズユニットの前記出射面を構成しており、
前記撮像ユニットは、前記レンズユニットの前記出射面に配設されていることを特徴とする内視鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ハイブリッドレンズ素子を有するレンズユニットを含む撮像装置、および、ハイブリッドレンズ素子を有するレンズユニット含む撮像装置を有する内視鏡に関する。
【背景技術】
【0002】
内視鏡の先端部に配設される撮像装置のレンズユニットは、低侵襲化のため細径化が重要である。
【0003】
国際公開第２０１７／２０３５９２号には、それぞれが複数の光学素子を含む光学ウエハを積層した積層ウエハを切断することによって、ウエハレベル積層体である細径のレンズユニットを効率良く製造する方法が開示されている。
【0004】
ガラスウエハに複数の樹脂レンズが配設されたハイブリッドレンズウエハを含む積層ウエハは、切断するときに、ガラスウエハに欠けが生じることがある。このため、ハイブリッドレンズを含むレンズユニットの製造が容易ではない。また、切断されたハイブリッドレンズのガラス基板に欠けがあるとレンズユニットの信頼性が低下するおそれがあった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【文献】国際公開第２０１７／２０３５９２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
本発明の実施形態は、製造が容易で信頼性の高い撮像装置、および、製造が容易で信頼性の高い内視鏡を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
実施形態の撮像装置は、それぞれがガラス基板を含む複数の光学素子を有し、前記複数の光学素子のうち、第１の主面と、前記第１の主面の反対側の第２の主面と、を有する第１の光学素子だけが、外縁の四隅の少なくともいずれかに、前記第１の主面から前記第２の主面に至る溝を有し、前記溝に第１の樹脂が配設されている第１のガラス基板と、前記第２の主面に配設されている樹脂レンズと、を有する、レンズユニットと、撮像素子を有する撮像ユニットと、を具備し、前記レンズユニットは、入射面と前記入射面の反対側の出射面とを有し、前記第１の光学素子の前記第１の主面が前記レンズユニットの前記入射面を構成し、前記複数の光学素子のうちの前記第１の光学素子以外の光学素子の出射面が前記レンズユニットの前記出射面を構成しており、前記撮像ユニットは、前記レンズユニットの前記出射面に配設されている。
【0009】
実施形態の内視鏡は、撮像装置を有し、前記撮像装置は、それぞれがガラス基板を含む複数の光学素子を有し、前記複数の光学素子のうち、第１の主面と、前記第１の主面の反対側の第２の主面と、を有する第１の光学素子だけが、外縁の四隅の少なくともいずれかに、前記第１の主面から前記第２の主面に至る溝を有し、前記溝に第１の樹脂が配設されている第１のガラス基板と、前記第２の主面に配設されている樹脂レンズと、を有する、レンズユニットと、撮像素子を有する撮像ユニットと、を具備し、前記レンズユニットは、入射面と前記入射面の反対側の出射面とを有し、前記第１の光学素子の前記第１の主面が前記レンズユニットの前記入射面を構成し、前記複数の光学素子のうちの前記第１の光学素子以外の光学素子の出射面が前記レンズユニットの前記出射面を構成しており、前記撮像ユニットは、前記レンズユニットの前記出射面に配設されている。
【発明の効果】
【0012】
本発明の実施形態によれば、製造が容易で信頼性の高い撮像装置、製および、造が容易で信頼性の高い内視鏡を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【0013】
【図1】第１実施形態の撮像装置の斜視図である。
【図3】第１実施形態の撮像装置の製造方法のフローチャートである。
【図4A】第１実施形態の撮像装置の製造方法を説明するための平面図である。
【図5A】第１実施形態の撮像装置の製造方法を説明するための平面図である。
【図6A】第１実施形態の撮像装置の製造方法を説明するための平面図である。
【図7A】第１実施形態の撮像装置の製造方法を説明するための平面図である。
【図8】第１実施形態の撮像装置の製造方法を説明するための分解断面図である。
【図9】第１実施形態の撮像装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図10】第２実施形態の撮像装置の斜視図である。
【図12】第３実施形態のレンズユニットの斜視図である。
【図13】第３実施形態のレンズユニットの製造方法を説明するための断面図である。
【図14】第４実施形態の撮像装置の斜視図である。
【図15】第５実施形態の内視鏡の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【0014】
＜第１実施形態＞
図１、図２に示す実施形態の撮像装置２は、実施形態のレンズユニット１と撮像ユニット６０とを含む。符号Ｏは、レンズユニット１の光軸を示す。撮像ユニット６０はレンズユニット１が集光した被写体像を受光して撮像信号に変換する。
図１、図２に示す実施形態の撮像装置２は、実施形態のレンズユニット１と撮像ユニット６０とを含む。符号Ｏは、レンズユニット１の光軸を示す。撮像ユニット６０はレンズユニット１が集光した被写体像を受光して撮像信号に変換する。
【0015】
なお、以下の説明において、各実施形態に基づく図面は、模式的なものである。各部分の厚さと幅との関係、夫々の部分の厚さの比率および相対角度などは現実の構成とは異なる。図面の相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれている。一部の構成要素の図示を省略する。
【0016】
レンズユニット１は、入射面１ＳＡを有する第１の光学素子１０と、第２の光学素子２０と、第３の光学素子３０と、入射面１ＳＡの反対側の出射面１ＳＢを有する第４の光学素子４０と、を具備する略直方体である。第１の光学素子１０と第２の光学素子２０と第３の光学素子３０と第４の光学素子４０とは、この順に積層されている。
【0017】
第１の光学素子１０は、入射面１ＳＡである第１の主面１１ＳＡと第１の主面１１ＳＡの反対側の第２の主面１１ＳＢを有する第１のガラス基板１１を基体とする。第１の光学素子１０は、第２の主面１１ＳＢに、凹レンズである樹脂レンズ１２を有するハイブリッドレンズ素子である。第２の主面１１ＳＢには、クロムまたはチタンを主成分とする金属からなる絞り層４５が配設されている。
【0018】
第２の光学素子２０は、第３の主面２１ＳＡと第３の主面２１ＳＡの反対側の第４の主面２１ＳＢを有する第２のガラス基板２１を基体とする。第３の主面２１ＳＡは第２の主面１１ＳＢと対向配置されている。第２の光学素子２０は、第３の主面２１ＳＡに、凸レンズである樹脂レンズ２２を有するハイブリッドレンズ素子である。
【0019】
第３の光学素子３０は、第５の主面３１ＳＡと第５の主面３１ＳＡの反対側の第６の主面３１ＳＢを有する第３のガラス基板３１を基体とする。第５の主面３１ＳＡは第４の主面２１ＳＢと対向配置されている。第３の光学素子３０は、第５の主面３１ＳＡに、凸レンズである樹脂レンズ３２を有するハイブリッドレンズ素子である。
【0020】
第４の光学素子４０は、第７の主面４１ＳＡと第７の主面４１ＳＡの反対側の、出射面１ＳＢである第８の主面４１ＳＢを有する第４のガラス基板である。第７の主面４１ＳＡは第６の主面３１ＳＢと対向配置されている。第４の光学素子４０は、不要な赤外線（例えば波長７００ｎｍ以上の光）を除去するガラスフィルタである。
【0021】
第１のガラス基板１１、第２のガラス基板２１、第３のガラス基板３１、第４のガラス基板（第４の光学素子）４０は、例えば、ホウ珪酸ガラス、石英ガラス、または、サファイアガラスからなる。
【0022】
第１の光学素子１０と第２の光学素子２０、第２の光学素子２０と第３の光学素子３０、および、第３の光学素子３０と第４の光学素子４０、は、それぞれ樹脂からなる接着層５０によって接着されている。
【0023】
なお、本発明のレンズユニットの構成は、本実施形態のレンズユニット１の構成に限定されるものではなく、仕様に応じて設定される。例えば、レンズユニットが、レンズ素子だけなく、レンズ間の距離を規定するスペーサ素子および複数の絞り層を有していてもよい。
【0024】
第４の光学素子４０の第８の主面４１ＳＢ（出射面１ＳＢ）には、撮像ユニット６０が接着層５１によって、接着されている。撮像ユニット６０は、撮像素子６１にカバーガラス６３が接着層６２によって、接着されている。レンズユニット１は被写体像を撮像素子６１に結像する。撮像素子６１は、ＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）受光素子、またはＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）である。
【0025】
第１の光学素子１０の第１のガラス基板１１は、第１の主面１１ＳＡ（第２の主面１１ＳＢ）の外縁の４隅に、第１の主面１１ＳＡから第２の主面１１ＳＢに至る切り欠き部である溝Ｔ１１がある。溝Ｔ１１には第１の樹脂５５が充填されている。第１の樹脂５５（以下、「樹脂５５」ともいう。）が充填された、第１の主面１１ＳＡ（第２の主面１１ＳＢ）は略正方形である。これに対して、第２の光学素子２０、第３の光学素子３０、第４の光学素子４０は、第１の樹脂５５を有さない。
【0026】
後述するように、第１のガラス基板１１は、ガラスウエハ１１Ｗの切断によって作製される。ガラスウエハ１１Ｗは、第１のガラス基板１１の四隅となる領域（切断線が交差する領域）には孔Ｈ１１があり、孔Ｈ１１には第１の樹脂５５が充填されている（図８参照）。孔Ｈ１１は、切断によって溝Ｔ１１となっている。切断時に欠けが発生しやすい四隅に第１の樹脂５５が充填されているため、レンズユニット１および撮像装置２は、製造が容易であり、かつ、ガラス基板に欠けがないため、信頼性が高い。なお、第１のガラス基板１１は、レンズユニット１の複数のガラス基板のうち、切断時に最も欠けが発生しやすい入射面１ＳＡを有するガラス基板である。
【0027】
＜製造方法＞
レンズユニット１は、それぞれに複数の光学素子がマトリックス状に配設されている複数のレンズウエハを積層した積層ウエハ１Ｗを切断することによって製造される略直方体のウエハレベル光学ユニットである。
レンズユニット１は、それぞれに複数の光学素子がマトリックス状に配設されている複数のレンズウエハを積層した積層ウエハ１Ｗを切断することによって製造される略直方体のウエハレベル光学ユニットである。
【0028】
以下、図３のフローチャートにそって、積層ウエハ１Ｗに複数の撮像ユニット６０を配設した積層ウエハ２Ｗの切断によって撮像装置２を製造する方法を例に説明する。
【0029】
＜工程Ｓ１０＞孔形成
図４Ａ、図４Ｂに示すように、ガラスウエハ１１Ｗは、第１の主面１１ＳＡと第１の主面１１ＳＡの反対側の第２の主面１１ＳＢを有する。ガラスウエハ１１Ｗに格子状に複数の孔Ｈ１１を形成する。孔Ｈ１１は、エッチング加工、または、ドリル加工を用いて形成される。
図４Ａ、図４Ｂに示すように、ガラスウエハ１１Ｗは、第１の主面１１ＳＡと第１の主面１１ＳＡの反対側の第２の主面１１ＳＢを有する。ガラスウエハ１１Ｗに格子状に複数の孔Ｈ１１を形成する。孔Ｈ１１は、エッチング加工、または、ドリル加工を用いて形成される。
【0030】
ＫＯＨ溶液、または、ＴＭＡＨ（水酸化テトラメチルアンモニウム）溶液などのアルカリ水溶液を用いた等方性ウエットエッチング加工では、孔Ｈ１１の壁面は傾斜している。例えば、第１の主面１１ＳＡの開口は、第２の主面１１ＳＢよりも大きい、一方、ドリル加工および深堀り反応性イオンエッチング（Ｄ－ＲＩＥ）加工では、孔Ｈ１１の壁面は第１の主面１１ＳＡに対して垂直となる。孔Ｈ１１の開口は、矩形でもよい。
【0031】
＜工程Ｓ２０＞樹脂充填
図５Ａ、図５Ｂに示すように、複数の孔Ｈ１１のそれぞれに第１の樹脂５５を充填する。熱硬化型または紫外線硬化型のエポキシ樹脂である第１の樹脂５５は、例えば、インクジェット法を用いて複数の孔Ｈ１１に配設されてから硬化処理が行われる。第１の樹脂５５が孔Ｈ１１から突出したり、孔Ｈ１１の周囲にも配設されたりした場合には、例えば、研磨加工またはアッシング加工が行われる。研磨加工によって、ガラスウエハ１１Ｗの主面が研磨される場合には、研磨後の厚さが仕様の厚さとなるように、ガラスウエハ１１Ｗの厚さが設定される。
図５Ａ、図５Ｂに示すように、複数の孔Ｈ１１のそれぞれに第１の樹脂５５を充填する。熱硬化型または紫外線硬化型のエポキシ樹脂である第１の樹脂５５は、例えば、インクジェット法を用いて複数の孔Ｈ１１に配設されてから硬化処理が行われる。第１の樹脂５５が孔Ｈ１１から突出したり、孔Ｈ１１の周囲にも配設されたりした場合には、例えば、研磨加工またはアッシング加工が行われる。研磨加工によって、ガラスウエハ１１Ｗの主面が研磨される場合には、研磨後の厚さが仕様の厚さとなるように、ガラスウエハ１１Ｗの厚さが設定される。
【0032】
＜工程Ｓ３０＞樹脂レンズ配設
図６Ａ、図６Ｂに示すように、ガラスウエハ１１Ｗの第２の主面１１ＳＢに、樹脂レンズ配設前に、絞り層４５が配設される。例えばスパッタ法を用いて第２の主面１１ＳＢに配設された金属層を、パターニングすることで、複数の絞り層４５が作製される。絞り層４５は、クロムまたはチタンを主成分とする。「主成分」は、９０重量％以上であることを意味する。なお、絞り層４５は必須構成要素ではない。
図６Ａ、図６Ｂに示すように、ガラスウエハ１１Ｗの第２の主面１１ＳＢに、樹脂レンズ配設前に、絞り層４５が配設される。例えばスパッタ法を用いて第２の主面１１ＳＢに配設された金属層を、パターニングすることで、複数の絞り層４５が作製される。絞り層４５は、クロムまたはチタンを主成分とする。「主成分」は、９０重量％以上であることを意味する。なお、絞り層４５は必須構成要素ではない。
【0033】
図７Ａ、図７Ｂに示すように、絞り層が配設されたガラスウエハ１１Ｗの第２の主面１１ＳＢに、樹脂レンズ１２を配設することによって第１のレンズウエハ（第１の光学素子ウエハ）１０Ｗが作製される。樹脂レンズ１２の第２の樹脂にはエネルギー硬化型樹脂を用いることが好ましい。
【0034】
エネルギー硬化型樹脂は、外部から熱、紫外線、電子線などのエネルギーを受けることによって、架橋反応あるいは重合反応が進む。エネルギー硬化型樹脂は、例えば透明な紫外線硬化型のシリコーン樹脂、エポキシ樹脂、アクリル樹脂からなる。なお「透明」とは、使用波長範囲において使用に耐えうる程度に、材料の光吸収および散乱が少ないことを意味する。
【0035】
未硬化であるため、液体状またはゲル状の樹脂をガラスウエハ１１Ｗに配設し、所定の内面形状の凹部のある金型を押し当てた状態において、紫外線を照射し樹脂を硬化するモールド法よって樹脂レンズ１２は作製される。なお、ガラスと樹脂の界面密着強度を向上させるために、樹脂配設前のガラスウエハにシランカップリング処理等を行うことが好ましい。
【0036】
モールド法を用いることによって製造される樹脂レンズの外面形状は金型の内面形状が転写されるために、スペーサを兼ねた外周部を有する構成および非球面レンズが容易に作製できる。
【0037】
＜工程Ｓ４０＞ウエハ積層
図８に示す、レンズウエハ２０Ｗ、３０Ｗは、第１のレンズウエハ１０Ｗと同じように作製される光学素子ウエハである。レンズウエハ２０Ｗは、第３の主面２１ＳＡと第３の主面２１ＳＡの反対側の第４の主面２１ＳＢとを有するガラスウエハ２１Ｗを基体とする。第３の主面には複数の樹脂レンズ２２が配設されている。レンズウエハ３０Ｗは、第５の主面３１ＳＡと第５の主面３１ＳＡの反対側の第６の主面３１ＳＢとを有するガラスウエハ３１Ｗを基体とする。第５の主面３１ＳＡには複数の樹脂レンズ３２が配設されている。フィルタウエハである光学素子ウエハ４０Ｗは、第７の主面４１ＳＡと第７の主面４１ＳＡの反対側の第８の主面４１ＳＢとを有する。光学素子ウエハ４０Ｗは、多層膜フィルタが配設されているガラスウエハでもよい。
図８に示す、レンズウエハ２０Ｗ、３０Ｗは、第１のレンズウエハ１０Ｗと同じように作製される光学素子ウエハである。レンズウエハ２０Ｗは、第３の主面２１ＳＡと第３の主面２１ＳＡの反対側の第４の主面２１ＳＢとを有するガラスウエハ２１Ｗを基体とする。第３の主面には複数の樹脂レンズ２２が配設されている。レンズウエハ３０Ｗは、第５の主面３１ＳＡと第５の主面３１ＳＡの反対側の第６の主面３１ＳＢとを有するガラスウエハ３１Ｗを基体とする。第５の主面３１ＳＡには複数の樹脂レンズ３２が配設されている。フィルタウエハである光学素子ウエハ４０Ｗは、第７の主面４１ＳＡと第７の主面４１ＳＡの反対側の第８の主面４１ＳＢとを有する。光学素子ウエハ４０Ｗは、多層膜フィルタが配設されているガラスウエハでもよい。
【0038】
第１のレンズウエハ１０Ｗの樹脂レンズ１２、レンズウエハ２０Ｗの樹脂レンズ２２、および、レンズウエハ３０Ｗの樹脂レンズ３２に、転写法を用いて、それぞれ接着層５０が配設される。レンズウエハ３０Ｗの第６の主面３１ＳＢまたはフィルタウエハ４０Ｗ第７の主面４１ＳＡの少なくともいずれかにも接着層５０が配設される。
【0039】
接着層５０は、インクジェット法を用いて配設されてもよい。接着層５０は、例えば、熱硬化型のエポキシ樹脂である。樹脂レンズ２２等に配設される接着層５０は、例えば、遮光性粒子を含んでいる遮光層でもよい。光学素子ウエハ（レンズウエハ）１０Ｗ－４０Ｗが積層され、接着されることで積層ウエハ１Ｗが作製される。
【0040】
＜工程Ｓ５０＞撮像ユニット配設
光学素子ウエハ４０Ｗの第８の主面４１ＳＢに、接着層５１を用いて、複数の撮像ユニット６０を接着することによって、積層ウエハ２Ｗが作製される。撮像ユニット６０は、複数の受光回路を含む撮像素子ウエハに、透明接着剤を用いてガラスウエハを接着した撮像ウエハを切断することによって製造される。なお、積層ウエハ１Ｗに撮像ウエハを接着して積層ウエハ２Ｗが作製されてもよい。
光学素子ウエハ４０Ｗの第８の主面４１ＳＢに、接着層５１を用いて、複数の撮像ユニット６０を接着することによって、積層ウエハ２Ｗが作製される。撮像ユニット６０は、複数の受光回路を含む撮像素子ウエハに、透明接着剤を用いてガラスウエハを接着した撮像ウエハを切断することによって製造される。なお、積層ウエハ１Ｗに撮像ウエハを接着して積層ウエハ２Ｗが作製されてもよい。
【0041】
＜工程Ｓ６０＞切断
図９に示すように、積層ウエハ１Ｗは、第１のレンズウエハ１０Ｗの入射面１ＳＡ（第１の主面１１ＳＡ）が、ダイシングテープ９０等の固定部材に貼り付けられる。そして、積層ウエハ２Ｗを出射面１ＳＢ（第８の主面４１ＳＢ）の側から、第１の樹脂５５が充填された複数の孔Ｈ１１を含む切断線ＣＬにそって格子状にダイシングすることによって複数の撮像装置２（レンズユニット１）に個片化される。積層ウエハ１Ｗが切断されると孔Ｈ１１は、第１のガラス基板１１の第１の主面１１ＳＡから第２の主面１１ＳＢに至る溝Ｔ１１となる。
図９に示すように、積層ウエハ１Ｗは、第１のレンズウエハ１０Ｗの入射面１ＳＡ（第１の主面１１ＳＡ）が、ダイシングテープ９０等の固定部材に貼り付けられる。そして、積層ウエハ２Ｗを出射面１ＳＢ（第８の主面４１ＳＢ）の側から、第１の樹脂５５が充填された複数の孔Ｈ１１を含む切断線ＣＬにそって格子状にダイシングすることによって複数の撮像装置２（レンズユニット１）に個片化される。積層ウエハ１Ｗが切断されると孔Ｈ１１は、第１のガラス基板１１の第１の主面１１ＳＡから第２の主面１１ＳＢに至る溝Ｔ１１となる。
【0042】
撮像装置２は、ウエハレベル法において製造されるため、細径であり、かつ、製造が容易である。さらに、積層ウエハ１Ｗを切断するときに、ガラス基板のチッピングが特に発生しやすいのは、ダイシングテープ９０に貼り付けられている第１のレンズウエハ１０Ｗである。第１のレンズウエハ１０Ｗは、第１のガラス基板１１の四隅となる領域が孔Ｈ１１であり、さらに、孔Ｈ１１には第１の樹脂５５が充填されている。このため、レンズユニット１および撮像装置２は、製造が容易であり、かつ、ガラス基板に欠けがないため、信頼性が高い。
【0043】
積層ウエハ１Ｗの切断によって製造されたレンズユニット１に、撮像ユニット６０が配設されることによって、撮像装置２が作製されてもよい。
【0044】
レンズユニット１では、第１のガラス基板１１の四隅の全てに溝Ｔ１１があり、全ての溝Ｔ１１に樹脂５５が充填されていた。しかし、第１のガラス基板１１の四隅の１つだけに溝Ｔ１１があり、１つの溝Ｔ１１に樹脂５５が充填されているレンズユニットが、第１のガラス基板１１の四隅に溝がないレンズユニットよりも、製造が容易で信頼性の高いことは言うまでも無い。すなわち、第１のガラス基板１１は、第１の主面１１ＳＡの四隅の少なくともいずれかに樹脂が充填されている溝Ｔ１１を有していればよい。
【0045】
＜第２実施形態＞
以下に説明する実施形態の撮像装置およびレンズユニットは、第１実施形態の撮像装置２およびレンズユニット１と類似しており同じ効果を有するため、同じ機能の構成要素には同じ符号を付し説明は省略する。
以下に説明する実施形態の撮像装置およびレンズユニットは、第１実施形態の撮像装置２およびレンズユニット１と類似しており同じ効果を有するため、同じ機能の構成要素には同じ符号を付し説明は省略する。
【0046】
図１０および図１１に示す本実施形態のレンズユニット１Ａは、第２のガラス基板２１、第３のガラス基板３１および第４のガラス基板４１も、第１のガラス基板１１と同じように、それぞれの四隅の第２の溝Ｔ２１、第３の溝Ｔ３１、第４の溝Ｔ４１に、それぞれ第１の樹脂５５が充填されている。
【0047】
すなわち、例えば、第２のガラス基板２１となるガラスウエハ２１Ｗには、格子状に配置された複数の孔が形成され、複数の孔に第１の樹脂５５が充填される。
【0048】
レンズユニット１Ａは、第２のガラス基板２１、第３のガラス基板３１および第４のガラス基板４１も、第１のガラス基板１１と同じように、積層ウエハの切断時に欠けが発生しにくいため、製造が容易で有り、かつ、信頼性が高い。
【0049】
＜第３実施形態＞
図１２に示す本実施形態のレンズユニット１Ｂは、樹脂レンズ１２、樹脂レンズ２２、樹脂レンズ３２および接着層５０も、外縁の四隅の角が切りかかれている。すなわち、レンズユニット１Ｂは、四隅の入射面１ＳＡから出射面１ＳＢ至る角溝Ｔ１に、第１の樹脂５５が充填されている。
図１２に示す本実施形態のレンズユニット１Ｂは、樹脂レンズ１２、樹脂レンズ２２、樹脂レンズ３２および接着層５０も、外縁の四隅の角が切りかかれている。すなわち、レンズユニット１Ｂは、四隅の入射面１ＳＡから出射面１ＳＢ至る角溝Ｔ１に、第１の樹脂５５が充填されている。
【0050】
図１３に示すように、レンズユニット１Ｂの製造方法では、第１のレンズウエハ１０Ｗ等には、積層前に孔は形成されない。積層ウエハ１Ｗの状態において、出射面１ＳＢから入射面１ＳＡに至る孔Ｈ１Ｗが格子状に形成される。開口が円形の孔Ｈ１Ｗは、例えば、ドリル９５を用いて形成される。そして、孔Ｈ１Ｗに樹脂５５を充填してから、積層ウエハ１Ｗを切断することで、孔Ｈ１Ｗは、角溝Ｔ１となる。
【0051】
レンズユニット１Ｂは、第１のレンズウエハ１０Ｗを含む複数のレンズウエハ１０Ｗ、２０Ｗ、３０Ｗ、４０Ｗに、それぞれ孔を形成し樹脂を充填するレンズユニット１Ａよりも、製造が容易で信頼性が高い。レンズユニット１Ａに撮像ユニット６０が配設されることによって撮像装置２Ａは製造される。撮像装置２Ａは撮像装置２よりも、製造が容易で信頼性が高い。
【0052】
＜第４実施形態＞
図１４に示す本実施形態のレンズユニット１Ｃは、四隅の角だけでなく、４つの側面１ＳＳのそれぞれにも、入射面１ＳＡから出射面１ＳＢに至る側面溝ＴＳ１を有し、樹脂５５が側面溝ＴＳ１にも充填されている。側面溝ＴＳ１は、角溝Ｔ１と同じように積層ウエハの孔が切断されることによって形成される。側面溝ＴＳ１の幅、すなわち、積層ウエハの孔の径は、角溝Ｔ１の幅よりも小さくてもよい。４つの側面１ＳＳの少なくともいずれかが、入射面１ＳＡから出射面１ＳＢに至る側面溝ＴＳ１を有し、樹脂５５が側面溝ＴＳ１にも充填されていてもよい。
図１４に示す本実施形態のレンズユニット１Ｃは、四隅の角だけでなく、４つの側面１ＳＳのそれぞれにも、入射面１ＳＡから出射面１ＳＢに至る側面溝ＴＳ１を有し、樹脂５５が側面溝ＴＳ１にも充填されている。側面溝ＴＳ１は、角溝Ｔ１と同じように積層ウエハの孔が切断されることによって形成される。側面溝ＴＳ１の幅、すなわち、積層ウエハの孔の径は、角溝Ｔ１の幅よりも小さくてもよい。４つの側面１ＳＳの少なくともいずれかが、入射面１ＳＡから出射面１ＳＢに至る側面溝ＴＳ１を有し、樹脂５５が側面溝ＴＳ１にも充填されていてもよい。
【0053】
側面溝ＴＳ１に充填された樹脂５５は、樹脂レンズ１２、２２、３２を保護する機能を有する。
【0054】
＜第５実施形態＞
図１５に示す本実施形態の内視鏡９は、先端部９Ａと、先端部９Ａから延設された挿入部９Ｂと、挿入部９Ｂの基端側に配設された操作部９Ｃと、操作部９Ｃから延出するユニバーサルコード９Ｄと、を含む。先端部９Ａに、レンズユニット１（１Ａ―１Ｃ）を含む撮像装置２（２Ａ－２Ｃ）が配設されている。撮像装置２から出力された撮像信号は、ユニバーサルコード９Ｄを挿通するケーブルを経由することによってプロセッサ（不図示）に伝送される。また、プロセッサから撮像装置２への駆動信号も、ユニバーサルコード９Ｄを挿通するケーブルを経由することによって伝送される。
図１５に示す本実施形態の内視鏡９は、先端部９Ａと、先端部９Ａから延設された挿入部９Ｂと、挿入部９Ｂの基端側に配設された操作部９Ｃと、操作部９Ｃから延出するユニバーサルコード９Ｄと、を含む。先端部９Ａに、レンズユニット１（１Ａ―１Ｃ）を含む撮像装置２（２Ａ－２Ｃ）が配設されている。撮像装置２から出力された撮像信号は、ユニバーサルコード９Ｄを挿通するケーブルを経由することによってプロセッサ（不図示）に伝送される。また、プロセッサから撮像装置２への駆動信号も、ユニバーサルコード９Ｄを挿通するケーブルを経由することによって伝送される。
【0055】
内視鏡９は、挿入部９Ｂが軟性の軟性鏡でも、挿入部９Ｂが硬性の硬性鏡でもよい。また内視鏡９の用途は、医療用でも工業用でもよい。
【0056】
内視鏡９は、レンズユニット１（１Ａ―１Ｃ）を含む撮像装置２（２Ａ－２Ｃ）を具備するため、製造が容易で信頼性が高い。
【0057】
本発明は、上述した実施形態等に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内において種々の変更、組み合わせおよび応用が可能である。
【符号の説明】
【0058】
１、１Ａ－１Ｃ・・・レンズユニット
２・・・撮像装置
９・・・内視鏡
１０・・・第１の光学素子
１１・・・第１のガラス基板
１２・・・樹脂レンズ
２０・・・第２の光学素子
２１・・・第２のガラス基板
２２・・・樹脂レンズ
３０・・・第３の光学素子
３１・・・第３のガラス基板
３２・・・樹脂レンズ
４０・・・第４の光学素子
４５・・・絞り層
５０・・・接着層
５１・・・接着層
５５・・・第１の樹脂
６０・・・撮像ユニット
９０・・・ダイシングテープ
９５・・・ドリル
２・・・撮像装置
９・・・内視鏡
１０・・・第１の光学素子
１１・・・第１のガラス基板
１２・・・樹脂レンズ
２０・・・第２の光学素子
２１・・・第２のガラス基板
２２・・・樹脂レンズ
３０・・・第３の光学素子
３１・・・第３のガラス基板
３２・・・樹脂レンズ
４０・・・第４の光学素子
４５・・・絞り層
５０・・・接着層
５１・・・接着層
５５・・・第１の樹脂
６０・・・撮像ユニット
９０・・・ダイシングテープ
９５・・・ドリル
【図1】
【図2】
【図3】
【図4A】
【図4B】
【図5A】
【図5B】
【図6A】
【図6B】
【図7A】
【図7B】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】