特許 7628717 接着装置及び該接着装置を有する接着設備

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2025-02-03

(45)【発行日】2025-02-12

(54)【発明の名称】接着装置及び該接着装置を有する接着設備

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/52 20060101AFI20250204BHJP

【ＦＩ】

H01L21/52 G

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2023001158

(22)【出願日】2023-01-06

(65)【公開番号】P2023138322

(43)【公開日】2023-10-02

【審査請求日】2023-01-06

(31)【優先権主張番号】111110121

(32)【優先日】2022-03-18

(33)【優先権主張国・地域又は機関】TW

(73)【特許権者】

【識別番号】514019132

【氏名又は名称】萬潤科技股▲ふん▼有限公司

(74)【代理人】

【識別番号】100099759

【弁理士】

【氏名又は名称】青木 篤

(74)【代理人】

【識別番号】100123582

【弁理士】

【氏名又は名称】三橋 真二

(74)【代理人】

【識別番号】100092624

【弁理士】

【氏名又は名称】鶴田 準一

(74)【代理人】

【識別番号】100114018

【弁理士】

【氏名又は名称】南山 知広

(74)【代理人】

【識別番号】100153729

【弁理士】

【氏名又は名称】森本 有一

(72)【発明者】

【氏名】ツァイ チュン ホン

(72)【発明者】

【氏名】ワン アン ティェン

(72)【発明者】

【氏名】チェン コアン リン

(72)【発明者】

【氏名】リー シー ミン

【審査官】佐藤 靖史

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０１１／１０５１０４（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２００９－０２６９０４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－３５２０５４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－３１０８７８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／５２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

フレキシブルキャリアテープに剥離可能に接着され、且つ、カバーテープに覆われてテープアセンブリを形成する複数の接着パッドをベース部材に接着する接着装置であって、
搬送手段と、
前記搬送手段に取り付けられて前記接着パッドを前記ベース部材の上表面に接着する接着手段と、を備え、
前記接着手段は、前記テープアセンブリが配置される供給リールと、接着ヘッドとを有するように構成されており、
前記テープアセンブリの前記供給リールから引き出された部分である操作部が供給経路に供給され、
前記接着ヘッドは、前記供給経路に配置されて前記操作部を入力側と出力側に仕切るように構成され、
前記接着ヘッドが作動されて前記テープアセンブリの前記入力側に移動する際、前記接着パッドの１つの表面側が前記キャリアテープから離れると共に、該接着パッドの他の１つの表面側が前記ベース部材の前記上表面に接着され、
前記接着パッドの１つの表面側が前記接着ヘッドに当接することにより、前記キャリアテープと前記接着パッドとを前記ベース部材に押圧する前記接着ヘッドの下向きの移動の結果として、
前記接着ヘッドは、前記供給リールのリール軸を回転軸として回転して作業位置から接着位置に移動する、ことを特徴とする接着装置。

【請求項2】

前記接着手段は縦接着台を有し、前記リール軸は前記縦接着台の一側に配置されていると共に、所定のＹ方向に沿って回転可能に前記縦接着台を通過し、且つ、前記縦接着台の反対側に取り付けられた位置決め台に取り付けられている上、前記位置決め台の一側に取り付けられるドライバーにより断続的に回転駆動されるように構成されており、
前記搬送手段は、縦リール台を有するリールアセンブリを有し、前記位置決め台が前記縦リール台に固定されることにより、前記接着手段は前記縦リール台と共に移動することを特徴とする請求項１に記載の接着装置。

【請求項3】

前記搬送手段は、縦搬送台と、前記縦搬送台に対して移動可能に前記縦搬送台に取り付けられるリールアセンブリと、を有しており、
前記リールアセンブリは、縦リール台と、回転可能に前記縦リール台に取り付けられて前記カバーテープと前記接着パッドとが引き剥がされたキャリアテープを巻き取る第１のリールと、回転可能に前記縦リール台に取り付けられて前記キャリアテープから引き剥がされた前記カバーテープを巻き取る第２のリールと、を有するように構成されており、
前記接着手段は、前記供給リールが回転可能に取り付けられる縦接着台を有し、前記縦接着台は前記縦リール台に移動可能に構成され、且つ、前記第１のリールと前記第２のリールを前記供給リールに対して移動できないように保持する、ことを特徴とする請求項１に記載の接着装置。

【請求項4】

前記リールアセンブリは、前記接着手段に連結して前記リールアセンブリの所定のＺ方向における移動に対応して前記接着手段を移動させるドライバーもしくは弾力部材を有する、ことを特徴とする請求項３に記載の接着装置。

【請求項5】

前記接着手段は、前記供給リールと前記接着ヘッドとの間に配置されるシフトレバーを有し、前記シフトレバーがドライバーにより作動されると、所定のＺ方向に沿って移動して前記テープアセンブリの前記操作部を押圧して前記入力側にある前記操作部を水平状態に移行させる、ことを特徴とする請求項１に記載の接着装置。

【請求項6】

前記接着ヘッドは、前記回転軸を中心として互いに反対する第１のトルク及び第２のトルクを受けて移動し、前記第１のトルクにより動かされる前記接着ヘッドの回転運動は調整可能である、ことを特徴とする請求項１に記載の接着装置。

【請求項7】

前記接着ヘッドは円柱状に形成されて、前記テープアセンブリの前記操作部を通す下側入力経路と、前記テープアセンブリの前記操作部を通す上側出力経路との交差点に配置されており、前記下側入力経路と前記上側出力経路は９０度未満の角度で互いに交差し、前記接着ヘッド及び前記リール軸を通過する線は、前記リール軸を通過し、且つ、所定のＺ軸方向に延伸する縦線と４５度～９０度の範囲内にある角度を成す、ことを特徴とする請求項２に記載の接着装置。

【請求項8】

フレキシブルキャリアテープに剥離可能に接着され、且つ、カバーテープに覆われてテープアセンブリを形成する複数の接着パッドをベース部材に接着する接着設備であって、
前記ベース部材を保持して所定のＸ方向に沿って延伸する搬送経路を有する供給及び保持枠と、
前記搬送経路に取り付けられ、且つ、所定のＹ方向に移動可能に構成されたサスペンディングキャリアを有する搬送レール手段と、
前記サスペンディングキャリアと共に移動できるように前記サスペンディングキャリアに配置され、前記サスペンディングキャリアに対して前記Ｘ方向に沿って前記接着パッドを前記ベース部材の上表面に接着させる接着装置と、を備えており、
前記接着装置は、前記テープアセンブリが配置される供給リールと、接着ヘッドとを有するように構成されており、
前記テープアセンブリの前記供給リールから引き出された部分である操作部が供給経路に供給され、
前記接着ヘッドは、前記供給経路に配置されて前記操作部を入力側と出力側に仕切るように構成され、
前記接着ヘッドが作動されて前記テープアセンブリの前記入力側に移動する際、前記接着パッドの１つの表面側が前記キャリアテープから離れると共に、該接着パッドの他の１つの表面側が前記ベース部材の前記上表面に接着され、
前記接着パッドの１つの表面側が前記接着ヘッドに当接することにより、前記キャリアテープと前記接着パッドとを前記ベース部材に押圧する前記接着ヘッドの下向きの移動の結果として、
前記接着ヘッドは、前記供給リールのリール軸を回転軸として回転して作業位置から接着位置に移動する、ことを特徴とする接着設備。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は接着設備に関し、特に、接着パッドをベース部材に接着する接着設備に関する。

【背景技術】

【0002】

従来のＩＣパッケージ処理では、基板に接着剤を塗布し、ダイを基板に接着し、サーマルグルーをダイに塗布してから、基板とダイを覆う放熱シンクを装着する工程が行われる。また、サーマルグルーを塗布する代わりに、熱伝導材により作成された熱伝導パッドを用いる方法もある。この場合、熱伝導パッドの下表面側にあるカバーフィルムを引き剥がしてその下表面側をダイの上表面に接着してから、熱伝導パッドの上表面側にあるカバーフィルムを引き剥がして放熱シンクをその上表面に接着する。しかし、このような熱伝導パッドを手動で接着するプロセスは大量生産には不向きであり、また製品の品質が損なわれることにもつながる。

【0003】

一方、例えば特許文献１には、熱伝導パッドを基板にあるダイの上表面に自動接着する接着方法及び接着設備が開示されている。該従来の接着方法及び接着設備は、熱伝導パッドが接着されたキャリアテープに回転する円柱状の接着ヘッドを当てることにより熱伝導パッドをベース部材に接着させてから、接着ヘッドが元の位置に戻ると共に、キャリアテープを熱伝導パッドから引き剥がすという２段階の工法が取られているので、更なる効率向上の余地がある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】台湾特許第Ｉ７１６９０６号明細書

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

従って、本発明の目的は、従来技術の少なくとも１つの欠点を解決する接着装置及び該接着装置を有する接着設備を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記目的を達成すべく、本発明は、フレキシブルキャリアテープに剥離可能に接着された上、カバーテープに覆われてテープアセンブリを形成する複数の接着パッドをベース部材に接着する接着装置であって、搬送手段と、前記搬送手段に取り付けられて前記接着パッドを前記ベース部材の上表面に接着する接着手段と、を備え、前記接着手段は、前記テープアセンブリが配置される供給リールと、接着ヘッドとを有するように構成されており、前記テープアセンブリの前記供給リールからから引き出された部分である操作部が供給経路に供給され、前記接着ヘッドは、前記供給経路に配置されて前記操作部を入力側と出力側に仕切るように構成され、前記接着ヘッドが作動されて前記テープアセンブリの前記入力側に移動する際、前記接着パッドの１つの表面側が前記キャリアテープから離れると共に、該接着パッドの他の１つの表面側が前記ベース部材の前記上表面に接着される、ことを特徴とする接着装置を提供する。

【0007】

また、本発明は、フレキシブルキャリアテープに剥離可能に接着され、且つ、カバーテープに覆われてテープアセンブリを形成する複数の接着パッドをベース部材に接着する接着設備であって、前記ベース部材を保持して所定のＸ方向に沿って延伸する搬送経路を有する供給及び保持枠と、前記搬送経路に取り付けられ、且つ、所定のＹ方向に移動可能に構成されたサスペンディングキャリアを有する搬送レール手段と、前記サスペンディングキャリアと共に移動できるように前記サスペンディングキャリアに配置され、前記サスペンディングキャリアに対して前記Ｘ方向に沿って前記接着パッドを前記ベース部材の前記上表面に接着させる接着装置と、を備えており、前記接着装置は、前記テープアセンブリが配置される供給リールと、接着ヘッドとを有するように構成されており、前記テープアセンブリの前記供給リールから引き出された部分である操作部が供給経路に供給され、前記接着ヘッドは、前記供給経路に配置されて前記操作部を入力側と出力側に仕切るように構成され、前記接着ヘッドが作動されて前記テープアセンブリの前記入力側に移動する際、前記接着パッドの１つの表面側が前記キャリアテープから離れると共に、該接着パッドの他の１つの表面側が前記ベース部材の前記上表面に接着される、ことを特徴とする接着設備をも提供する。

【発明の効果】

【0008】

本発明の接着設備は、Ｘ方向に延伸する搬送経路を有し、且つベース部材を供給／保持する供給及び保持枠と、前記搬送経路の上方に配置されてＹ方向に移動できるサスペンディングキャリアを有する搬送レール手段と、を備え、前記接着装置は、前記サスペンディングキャリアと共に移動するように該サスペンディングキャリアに配置され、且つ、前記サスペンディングキャリアに対してＸ方向に移動して接着パッドをベース部材の上表面に接着するので、従来の接着方法及び接着設備より高い効率を持つ。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】チップパッケージ構造が示される模式図である。

【図2】ベース部材及び熱伝導パッドが示される模式図である。

【図3】テープアセンブリの模式図である。

【図4】本発明の実施形態の接着設備が示される斜視図である。

【図5】同実施形態における固定具及び該固定具の操作手段が示される模式図である。

【図6】同実施形態における接着装置が示される分解斜視図である。

【図7】同接着装置における搬送手段が示される分解斜視図である。

【図8】同接着装置における接着手段が示される斜視図である。

【図9】同接着装置における接着手段の他の角度の斜視図である。

【図10】同接着手段の拡大斜視図である。

【図11】テープアセンブリが取り付けられた同接着装置の斜視図である。

【図12】テープアセンブリが取り付けられた同接着装置の前面模式図である。

【図13】テープアセンブリの入力経路と出力経路が示される模式図である。

【図14】シフトレバーがテープアセンブリを押圧する様子が示される模式図である。

【図15】他の実施形態の接着装置におけるガイドホイールが示される一部拡大斜視図である。

【図16】同実施形態における接着手段が示される一部拡大斜視図である。

【図17】更に他の実施形態の接着設備が示される斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

具体的説明に入る前に、本発明において同じ役割を担う構成要素に関しては、全く同じものでなくても、同じ符号が振り分けられている。また、以下の説明における「前」、「後」、「左」、「右」、「上」、「下」、「Ｘ方向」、「Ｙ方向」、「Ｚ方向」などの用語は、各部材の間の相対的位置関係をわかりやすく説明するために用いられるものであり、本発明の構成を限定するものではない。

【0011】

図１に示されるように、本発明の接着設備は、ベース部材Ａにパッドを接着するものであり、ベース部材Ａとしては、例えばウェハＡ１に配置されるダイである。ウェハＡ１は、ウェハＡ１を囲む包囲枠Ａ３を有するフィルムＡ２に配置される。ウェハＡ１は、行列に配置される複数のベース部材Ａに分割される。複数のベース部材Ａは、互いに離れるように水平面に配置される。パッド接着処理においては図２に示されるように、例えば熱伝導パッドとしての接着パッドＡ４が、各ベース部材Ａの上表面に接着される。

【0012】

図３に示されるように、１つの実施形態では、複数の接着パッドＡ４が所定の長さ方向に沿って配列するように剥離可能にフレキシブルキャリアテープＡ４１（以下単に「キャリアテープ」とも）に接着され、且つ、カバーテープＡ４２により覆われている。すなわち、キャリアテープＡ４１とカバーテープＡ４２との間に各接着パッドＡ４が挟まれ、且つ、前記長さ方向において隣接する接着パッドＡ４同士は間を開けて配列されている。各接着パッドＡ４の２つの表面側はそれぞれ剥離可能にキャリアテープＡ４１とカバーテープＡ４２とに接着されている。キャリアテープＡ４１の両側周縁の近くに、それぞれ１列のピンホールＡ４１１が形成され、且つ、該２列のピンホールＡ４１１の間の距離は、接着パッドＡ４の幅より広くなっており、各接着パッドＡ４は、該２列のピンホールＡ４１１の間に対応する箇所で、キャリアテープＡ４１に接着されている。このキャリアテープＡ４１は軸孔Ａ４３１を有するスリーブＡ４３に巻き付けられてテープアセンブリＡ４４を構成する。

【0013】

図４に示されるように、接着設備の１つの実施形態としては、マシンベース１００と、Ｘ方向に沿って延伸してベース部材Ａの供給及び保持を行う搬送経路１０を有する供給及び保持枠１と、搬送経路１０の上方に配置されていると共に、Ｙ方向に沿って移動できるサスペンディングキャリア２２を有する搬送レール手段２と、接着装置３と、下検知ユニット４と、を備えている。

【0014】

供給及び保持枠１は固定具１１を有する。固定具１１が有する複数の吸引部１１１は、同一の円心を共有する複数の環状溝であり、且つ、負圧を提供することで吸引効果を発揮する。供給及び保持枠１は、Ｙ方向において互いに離間する２つの側面フレーム１２と、各側面フレーム１２にそれぞれ配置されて対応する側面フレーム１２と共に合計２つのレール１４を構成する２つのベルト１３と、を有する。搬送経路１０はこの２つのレール１４の間に構成され、図１に示される包囲枠Ａ３及びウェハＡ１を有するフィルムＡ２をＸ方向に沿って搬送して固定具１１に供給する。フィルムＡ２は固定具１１の吸引部１１１により保持されて固定具１１と共にＺ方向に沿って移動する。

【0015】

搬送レール手段２はＸ方向において互いに離間して搬送経路１０と交差する２つのガントリークレーン２１を有する。

【0016】

各ガントリークレーン２１はＺ方向に沿って延伸し、且つ搬送経路１０の両側に配置される２つの支持脚２１１と、Ｙ方向に沿って延伸するように２つの支持脚２１１に支持されるサスペンディングビーム２１２と、を有する。サスペンディングビーム２１２には、例えばリニアモーターにより構成されるＹ軸ドライバー２１３が配置される。サスペンディングキャリア２２はＸ方向に沿って延伸するようにサスペンディングビーム２１２に配置される。サスペンディングキャリア２２は、両端がそれぞれＹ軸ドライバー２１３による駆動されることにより、サスペンディングビーム２１２に対してＹ方向に沿って移動する。サスペンディングキャリア２２には、例えばリニアモーターにより構成されるＸ軸ドライバー２２１が配置される。

【0017】

接着装置３は供給及び保持枠１の上方において、移動可能にサスペンディングキャリア２２に配置される。接着装置３はＸ軸ドライバー２２１の駆動により、Ｘ方向に沿ってサスペンディングキャリア２２に対して移動し、接着パッドＡ４の接着を実行する。

【0018】

下検知ユニット４は上方に向かって撮影するレンズとイメージセンサー（例えばＣＣＤ）を有する画像取り込み部４１と、画像取り込み部４１に隣接するように配置された光源４２と、を有する。

【0019】

図４と図５に示されるように、固定具１１は吸引部１１１により保持されるベース部材Ａ(図１参照）を間接的に加熱する加熱部材１１２を有する。台座１１３は複数の垂直スペーサー１１３１を有する。これら複数の垂直スペーサー１１３１は固定具１１が支持されるように配置されると共に、マシンベース１００の下方に配置される移動部材１１４が有する複数の回転シャフト１１４１と共に移動するように構成されている。マシンベース１００に配置される位置決め部材１１５が有する複数の回転スリーブ１１５１には、各回転シャフト１１４１が移動可能に挿通されている。

【0020】

位置決め部材１１５は複数のサポート部材１１６１により位置決め台１１６に固定されている。例えばモータにより構成されるドライバー１１７は位置決め台１１６の下側に配置され、且つ、スクリューシャフト１１７１を回転駆動することにより、移動部材１１４をＺ方向に沿って移動させて台座１１３及び固定具１１の移動を駆動する。

【0021】

図６に示されるように、接着装置３は搬送手段３１と搬送手段３１に配置されて搬送手段３１と共に移動して接着パッドＡ４の接着処理を実行する接着手段３２とを有する。

【0022】

図６と図７に示されるように、搬送手段３１は板状の縦搬送台３１１と、縦搬送台３１１がＺ方向に沿って可動的に取り付けられている縦レール台３１２と、縦搬送台３１１に対してＸ方向に沿って移動可能に縦搬送台３１１に取り付けられるリールアセンブリ３１３と、縦搬送台３１１に配置されていると共に、該縦搬送台３１１の縦レール台３１２に対する偏位を駆動する偏位校正アセンブリ３１４と、を有する。

【0023】

縦搬送台３１１はいずれもＸ方向に沿って延伸し、且つ、Ｚ方向において互いに離間する２つのスライドレール３１１１と、該２つのスライドレール３１１１の間に配置され、且つ、ドライバー３１１２により駆動されるスクリューボルト３１１３と、を有する。縦搬送台３１１は通過作業空間３１１４と、通過作業空間３１１４の一側に配置されるサポートブラケット３１１５と、を有する。サポートブラケット３１１５は縦搬送台３１１から突起し、且つ、通過作業空間３１１４の上側及び下側にそれぞれ位置する２つの回転突起３１１５１と、Ｚ方向に沿って延伸して該２つの回転突起３１１５１に接続される回転シャフト３１１５２と、を有する。縦搬送台３１１は更に上検知ユニット３１１６を有する。上検知ユニット３１１６は下方に向かって撮影するレンズとイメージセンサーを有する画像取り込み部３１１６１と、画像取り込み部３１１６１の下方に配置される光源３１１６２と、を有する。

【0024】

縦レール台３１２は搬送レール手段２のサスペンディングキャリア２２に配置されると共に、Ｚ方向に沿って延伸する２つのスライドレール３１２１と、駆動モーター３１２２により駆動されてスライドレール３１２１に沿って移動するスライドシート３１２３と、を有する。スライドシート３１２３はＹ方向に沿って縦搬送台３１の通過作業空間３１１４を貫通し、且つ、回転シャフト３１１５２が回転可能に取り付けられることにより、縦搬送台３１１を保持しながらＺ方向に移動することができる突起シート３１２４を有する。

【0025】

リールアセンブリ３１３は、縦搬送台３１１のスライドレール３１１１に沿って移動可能にスライドレール３１１１に取り付けられてスクリューボルト３１１３と共にＸ方向に沿って移動する板状の縦リール台３１３１と、回転可能に縦リール台３１３１に取り付けられてカバーテープＡ４２と接着パッドＡ４とが引き剥がされるキャリアテープＡ４１(図３参照）を巻き取る第１のリール３１３２と、回転可能に縦リール台３１３１に取り付けられてキャリアテープＡ４１から引き剥がされたカバーテープＡ４２を巻き取る第２のリール３１３３と、を有する。更に、リールアセンブリ３１３は、Ｚ方向に沿って作動する例えば空気シリンダーであるドライバー３１３４と、例えば圧縮ばねである弾力部材３１３５と、を有する。

【0026】

偏位校正アセンブリ３１４は、駆動モーター３１４１と、駆動モーター３１４１により駆動される四節リンク機構により構成されるリンケージ手段３１４２と、を有する。駆動モーター３１４１の出力端に固定バー３１４２１が取り付けられ、固定バー３１４２１に平行する可動バー３１４２２に形成される軸孔３１４２３に取り付けられる回転シャフト３１１５２はＺ方向に沿って延伸する。駆動モーター３１４１のＸ方向の両側にそれぞれ配置される２つの保持具３１４３が、縦レール台３１２が有する突起シート３１２４の両側にそれぞれ固定されることにより、偏位校正アセンブリ３１４は突起シート３１２４と共に移動する。

【0027】

図８と図９に示されるように、接着手段３２は板状の縦接着台３２１と、回転可能に縦接着台３２１の一側に取り付けられる供給リール３２２と、縦接着台３２１の前記一側の反対側に取り付けられる位置決め台３２３と、を有する。テープアセンブリＡ４４は供給リール３２２（図１１参照）に配置され、テープアセンブリＡ４４の供給リール３２２から引き出された部分である操作部が操作されて供給経路に供給される。供給リール３２２はＹ方向に沿って回転可能に縦接着台３２１を通過し、且つ、位置決め台３２３に取り付けられているリール軸３２２１を有する。リール軸３２２１は位置決め台３２３に配置される例えばモータであるドライバー３２３１により断続的に回転駆動される。また、位置決め台３２３はリールアセンブリ３１３（図７参照）が有する縦リール台３１３１の下部に固定装着されており、これにより、接着手段３２はＸ方向に沿ってリールアセンブリ３１３と共に移動することができる。また、縦接着台３２１は、第１のリール３１３２及び第２のリール３１３３が供給リール３２２に対して移動不能に保持されている際において、リール軸３２２１の回転軸を中心として位置決め台３２３及び縦リール台３１３１（図７参照）に対して揺動することができる。更に、接着手段３２は縦接着台３２１（図９参照）の下部にシフトレバー３２４を有する。シフトレバー３２４は縦接着台３２１からＹ方向に沿って供給リール３２２から離れるように延伸する。シフトレバー３２４は縦接着台３２１に配置される例えば空気シリンダにより構成されたドライバー３２４１により駆動され、Ｚ方向に沿って縦接着台３２１に対して移動して供給リール３２２から離れる。更に、縦接着台３２１の一側に配置される調整部材３２１１は供給リール３２２に隣接し、且つ、縦雄ねじ部を有する。接着手段３２は更に縦接着台３２１の供給リール３２２と同じ側に配置されるキャリアブラケット３２５を有する。

【0028】

図１０に示されるように、キャリアブラケット３２５は、テープアセンブリＡ４４の操作部を通す下側入力経路３２５１と、テープアセンブリＡ４４の操作部を通す上側出力経路３２５２とを画成するように構成されている。具体的には、下側入力経路３２５１には複数の変換ローラー３２５３が取り付けられ、上側出力経路３２５２には１つの変換ローラー３２５４が取り付けられている。縦接着台３２１には、Ｙ方向に延伸するガイドホイール３２６が上側出力経路３２５２に位置するように配置されている。ガイドホイール３２６は２つの端面に２つの包囲ピン部３２６１を有し、そして該２つの包囲ピン部３２６１の間に回転部３２６２が配置されている。ガイドホイール３２６は駆動モーター３２６３により回転駆動される。テープ押さえブラケット３２７がガイドホイール３２６に隣接するように配置される。テープ押さえブラケット３２７は矩形状であり、Ｙ方向に沿って延伸する中央シャフト３２７２と、中央シャフト３２７２の両端部にそれぞれ取り付けられると共に、２つの包囲ピン部３２６１に対応する２つのホイールスリーブ３２７１と、中央シャフト３２７２の両側にそれぞれ配置されてＹ方向に延伸する２つの押圧シャフト３２７３と、を有する。中央シャフト３２７２の両端部には２つの連結具３２７４が配置されている。縦接着台３２１の隣にある１つの連結具３２７４が縦接着台３２１にある２つのスライドレール３２７５に沿ってスライド可能なスライダー３２７６に固定されることにより、テープ押さえブラケット３２７はガイドホイール３２６から放射状に離れ／接近することができる。また、この連結具３２７４の内側に配置される係合ピン３２７７は、縦接着台３２１にある２つのスライドレール３２７５の間に形成されたロック孔３２７８内に弾性的に挿入することによって、テープ押さえブラケット３２７をガイドホイール３２６の近くに維持することができる。

【0029】

キャリアブラケット３２５は、供給スペース３２５５を挟んで縦接着台３２１から離れている側面装着部３２５６と、側面装着部３２５６と縦接着台３２１との間に配置される複数の交差部材３２５７と、を有する。変換ローラー３２５３も側面装着部３２５６と縦接着台３２１との間に配置されている。複数の交差部材３２５７のうち、最も上方に位置する１つは、第１の接続部材３２５７１及び第２の接続部材３２５７２を有し、ドライバー３１３４が有するシリンダピストン３１３４１の下端と、弾力部材３１３５（図７参照）の下端とが、それぞれ第１の接続部材３２５７１と第２の接続部材３２５７２とに接続することで、接着手段３２をリールアセンブリ３１３に接続し、リールアセンブリ３１３の移動に対応して接着手段３２をＺ方向に移動させる。更に、接着手段３２はキャリアブラケット３２５の供給リール３２２（図８参照）から離れた端部に配置される装着ブラケット３２８を有する。装着ブラケット３２８には、円棒状に形成されてＹ方向に延伸する接着ヘッド３２８１が取り付けられている。接着ヘッド３２８１は供給経路内にあると共に供給スペース３２５５内に配置され、且つ、下側入力経路３２５１と上側出力経路３２５２との交差点に位置する。下側入力経路３２５１と上側入力経路３２５２は９０度未満の角度で互いに交差している。

【0030】

図１１～図１３に示されるように、接着手段３２が有する縦接着台３２１はリール軸３２２１の回転軸を中心として揺動可能である。

【0031】

図１２に示されるように、通常状態では、接着ヘッド３２８１はＺ方向に沿ってリール軸３２２１を通過する縦線Ｚの、時計方向の左側に配置されている。接着ヘッド３２８１及びリール軸３２２１を通過する線Ｌは、縦線Ｚと４５度～９０度の範囲内にある角度θを成すように交差する。ドライバー３１３４が有するシリンダピストン３１３４１は、リール軸３２２１と間を開けて、接着手段３２をリール軸３２２１から見る反時計方向の下方への第１のトルクを接着ヘッド３２８１に与えるように押して作動することにより、調整部材３２１１を縦リール台３１３１の下端縁に当接させる。この段階では、接着ヘッド３２８１はリール軸３２２１から見る時計方向の作業位置３２８２の下方に位置する。この際、圧縮ばねである弾力部材３１３５は接着手段３２の一部の重量をサポートする。従って、弾力部材３１３５はリール軸３２２１から見る時計方向の第２のトルクを接着ヘッド３２８１に与える。第１のトルクは第２のトルクに反対する。第１のトルクによる接着ヘッド３２８１の変位は作業位置の高さを決定し、そしてこの作業位置は調整部材３２１１により調整可能である。

【0032】

テープアセンブリＡ４４が供給リール３２２に巻き付けられる際、カバーテープＡ４２はキャリアテープＡ４１から引き剥がされて第２のリール３１３３に巻き付けられる。キャリアテープＡ４１は、接着パッドＡ４が下方に面しながら、下側入力経路３２５１に沿って各変換ローラー３２５３及び接着ヘッド３２８１を通過してから上側出力経路３２５２に沿ってガイドホイール３２６の包囲ピン部３２６１を通過するように供給され、第１のリール３１３２に巻き付けられる。図１１に示されるように、押圧シャフト３２７３はガイドホイール３２６を通過するキャリアテープＡ４１を押さえつけるように作動する。

【0033】

図４、図１２、図１３に示されるように、接着処理において上検知ユニット３１１６が下方に向かってベース部材Ａの画像を撮影してから、接着装置３が下検知ユニット４に接近することで、下検知ユニット４は上方に向かってキャリアテープＡ４１の下側にある接着パッドＡ４を検知する。接着パッドＡ４の画像を撮影する処理においては、図１４に示されるように、供給リール３２２と接着ヘッド３２８１との間に配置されるシフトレバー３２４は、キャリアテープＡ４１の操作部を下側入力経路３２５１に沿って下方へ押圧することでキャリアテープＡ４１の操作部を入力側において斜め状態から水平状態（点線参照）に移行させる。従って、下検知ユニット４は接着パッドＡ４の姿勢を精確に検知することができる。続いて、シフトレバー３２４は上方に移動して元の位置に戻り、キャリアテープＡ４１は斜め状態（場合により、キャリアテープＡ４１を水平状態に維持することも可能である）に戻る。ベース部材Ａの姿勢と接着パッドＡ４との間に偏位が存在することを上検知ユニット３１１６と下検知ユニット４とにより検知された場合、偏位校正アセンブリ３１４は縦搬送台３１１を縦レール台３１２に対して斜め且つ水平に移動することで接着ヘッド３２８１を偏位させて接着パッドＡ４の姿勢をベース部材Ａに対応するように校正する。

【0034】

次いで、図１２と図１３に示されるように、縦レール台３１２は縦搬送台３１１を下方に駆動してリールアセンブリ３１３と接着手段３２とをベース部材Ａの上方にある所定の位置に移動する。この段階では、接着パッドＡ４の１つの表面側は作業位置にある接着ヘッド３２８１と位置が揃って且つ接着ヘッド３２８１に当接している。キャリアテープＡ４１と接着パッドＡ４とをベース部材Ａに押圧する接着ヘッド３２８１のＺ方向に沿う下向きの移動の結果として発生する上方に向かう反力により、ドライバー３１３４のシリンダピストン３１３４１を少し上昇させて下方への押圧力を緩和し、接着ヘッド３２８１を時計方向で上方に向けさせて接着位置３２８３に移動させることができる。この段階では、調整部材３２１１は縦リール台３１３１から離れている。従って、キャリアテープＡ４１の操作部は接着ヘッド３２８１を通過し、接着ヘッド３２８１により下側入力経路３２５１にある入力側と、上側出力経路３２５２側にある出力側とに仕切られる。

【0035】

キャリアテープＡ４１の供給移動が下側入力経路３２５１で止まり、そしてリールアセンブリ３１３の縦リール台３１３１は、Ｘ方向においてスライドレール３１１１（図７参照）に沿って移動して第１のリール３１３２と第２のリール３１３３と接着手段３２とをＸ方向に沿って移動させる。接着ヘッド３２８１は転がりながらＸ方向に移動してキャリアテープＡ４１を通過し、キャリアテープＡ４１の下方にある接着パッドＡ４を間接的に押圧し、上側出力経路３２５２に隣接する側から下側入力経路３２５１の反対側に転がる。この段階では、ガイドホイール３２６及び第１のリール３１３２はキャリアテープＡ４１を巻き取り、そして接着パッドＡ４はキャリアテープＡ４１により接着ヘッド３２８１の下側に搬送される。従って、キャリアテープＡ４１が下側入力経路３２５１から上側出力経路３２５２へ移動される際、接着パッドＡ４の１つの表面側がキャリアテープＡ４１から離れる一方、該接着パッドＡ４の他の１つの表面側はベース部材Ａの上表面に接着される。

【0036】

図１５と図１６に示されるように、本発明の変化例において、接着設備はキャリアテープＧ及び接着パッドを有するテープアセンブリを備える。例えば、キャリアテープはピンホールが形成されておらず、そして比較的に幅狭く形成されている。空気シリンダにより構成されたドライバー５１は、ガイドホイール３２６に隣接するように縦接着台３２１に配置されている。テープ押圧部材５２は、ドライバー５１により駆動されて回転部３２６２を通過するキャリアテープＧに当接して押圧することで押圧ローラー５２１を有する。上側出力経路３２５２に位置するように装着ブラケット３２８に配置される安定部材５３は、下側入力経路３２５１から供給されるキャリアテープＧが通過できる通路５３１を有する。キャリアテープＧは接着ヘッド３２８１の下方及び通路５３１を通過して上側出力経路３２５２に供給される。

【0037】

図１７に示されるように、他の実施形態では接着設備は接着パッドを基板Ｈ１のダイＨ２に接着させるものである。図４に示されるように、接着設備は搬送レール手段２と上記の実施例に類似する接着装置３とを備える。接着設備が有する２つの供給及び保持枠６は、Ｘ方向において互いに離間するようにマシンベース１００に配置されている。各供給及び保持枠６は、固定具６１を有する。固定具６１は複数の矩形の吸引部６１１を有し、いずれも負圧を提供できるように構成されている。各供給及び保持枠６は、いずれもＸ方向において互いに離間する２つの側面フレーム６２と、２つの側面フレーム６２にそれぞれ配置された２つのベルト６３と、を有する。各側面フレーム６２及び該側面フレーム６２に配置されるベルト６３は、共に２つのレール６４を画成する。この２つのレール６４の間にＹ方向に延伸する搬送経路６０が形成される。搬送経路６０によりダイＨ２を有するベース部材Ｈを搬送して固定具６１において基板Ｈ１に接着することができる。ベース部材Ｈは固定具６１の吸引部６１１に保持され、固定具６１と共にＺ方向に移動できる。２つの供給及び保持枠６の先端に配置される可動レールブラケット７は、Ｘ方向に沿ってＸ方向レール台８を移動可能である。可動レールブラケット７は、Ｘ方向において互いに離間する２つの側面フレーム７１と、２つの側面フレーム７１にそれぞれ配置されている２つのベルト７２と、を有する。２つのベルト７２は、それぞれ対応の側面フレーム７１と共に合計２つのレール７３を画成する。２つのレール７３の間に形成される搬送経路７０はＹ方向に延伸する。可動レールブラケット７は搬送経路７０に沿って、いずれか１つの供給及び保持枠６が有する搬送経路６０と共に移動する。下検知ユニット４は、供給及び保持枠６が有する搬送経路６０の間に配置され、且つ光源４２の上方に選択的に移動して上検知ユニット３１１６を下検知ユニット４に配列させる可動配列台４３を有する。

【0038】

図示されるように、接着ヘッド３２８１は供給経路に配置されてキャリアテープＡ４１の操作部を入力側と出力側とに仕切る。接着ヘッド３２８１は供給リール３２２が有するリール軸３２２１の回転軸に対して斜めに移動して作業位置３２８２に到達する。接着パッドＡ４はキャリアテープＡ４１から離れてベース部材Ａに接着される。従って、キャリアテープＡ４１が供給される際、接着ヘッド３２８１により、接着パッドＡ４はキャリアテープＡ４１から離れると共にベース部材Ａに接着されるので、接着効率のために接着ヘッド３２８１を往復回転させる必要はない。

【0039】

以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

【符号の説明】

【0040】

１ 供給及び保持枠
１０ 搬送経路
１００ マシンベース
１１ 固定具
１１１ 吸引部
１１２ 加熱部材
１１３ 台座
１１３１ 垂直スペーサー
１１４ 移動部材
１１４１ 回転シャフト
１１５ 位置決め部材
１１５１ 回転スリーブ
１１６ 位置決め台
１１６１ サポート部材
１１７ ドライバー
１２ 側面フレーム
１３ ベルト
１４ レール
２ 搬送レール手段
２１ ガントリークレーン
２１１ 支持脚
２１２ サスペンディングビーム
２１３ Ｙ軸ドライバー
２２ サスペンディングキャリア
２２１ Ｘ軸ドライバー
３ 接着装置
３１ 搬送手段
３１１ 縦搬送台
３１１１ スライドレール
３１１２ ドライバー
３１１３ スクリューボルト
３１１４ 通過作業空間
３１１５ サポートブラケット
３１１５１ 回転突起
３１１５２ 回転シャフト
３１１６ 上検知ユニット
３１１６１ 画像取り込み部
３１１６２ 光源
３１２ 縦レール台
３１２１ スライドレール
３１２２ 駆動モーター
３１２３ スライドシート
３１２４ 突起シート
３１３ リールアセンブリ
３１３１ 縦リール台
３１３２ 第１のリール
３１３３ 第２のリール
３１３４ ドライバー
３１３４１ シリンダピストン
３１３５ 弾力部材
３１４ 偏位校正アセンブリ
３１４１ 駆動モーター
３１４２ リンケージ手段
３１４２１ 固定バー
３１４２３ 軸孔
３１４３ 保持具
３２ 接着手段
３２１ 縦接着台
３２１１ 調整部材
３２２ 供給リール
３２２１ リール軸
３２３ 位置決め台
３２３１ ドライバー
３２４ シフトレバー
３２４１ ドライバー
３２５ キャリアブラケット
３２５１ 下側入力経路
３２５２ 上側出力経路
３２５３ 変換ローラー
３２５４ 変換ローラー
３２５５ 供給スペース
３２５６ 側面装着部
３２５７ 交差部材
３２５７１ 第１の接続部材
３２５７２ 第２の接続部材
３２６ ガイドホイール
３２６１ 包囲ピン部
３２６２ 回転部
３２６３ 駆動モーター
３２７ テープ押さえブラケット
３２７１ ホイールスリーブ
３２７２ 中央シャフト
３２７３ 押圧シャフト
３２７４ 連結具
３２７５ スライドレール
３２７６ スライダー
３２７７ 係合ピン
３２７８ ロック孔
３２８ 装着ブラケット
３２８１ 接着ヘッド
３２８２ 作業位置
４ 下検知ユニット
４１ 画像取り込み部
４２ 光源
４３ 可動配列台
５１ ドライバー
５２ テープ押圧部材
５２１ 押圧ローラー
５３ 安定部材
５３１ 通路
６ 供給及び保持枠
６０ 搬送経路
６１ 固定具
６１１ 吸引部
６２ 側面フレーム
６３ ベルト
６４ レール
７ 可動レールブラケット
７１ 側面フレーム
７２ ベルト
７３ レール
８ Ｘ方向レール台
Ａ ベース部材
Ａ１ ウェハ
Ａ２ フィルム
Ａ３ 包囲枠
Ａ４ 接着パッド
Ａ４１ フレキシブルキャリアテープ
Ａ４１１ ピンホール
Ａ４２ カバーテープ
Ａ４３ スリーブ
Ａ４３１ 軸孔
Ａ４４ テープアセンブリ
Ｇ キャリアテープ
Ｈ１ 基板
Ｈ２ ダイ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】