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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2025-02-07
(45)【発行日】2025-02-18
(54)【発明の名称】紫外線照射装置
(51)【国際特許分類】
F21S 2/00 20160101AFI20250210BHJP
G01N 21/01 20060101ALI20250210BHJP
F21Y 115/10 20160101ALN20250210BHJP
F21Y 115/30 20160101ALN20250210BHJP
【ＦＩ】
F21S2/00 311
F21S2/00 350
G01N21/01 D
F21Y115:10
F21Y115:30
【請求項の数】
4
(21)【出願番号】P 2020197671
(22)【出願日】2020-11-27
(65)【公開番号】P2022085794
(43)【公開日】2022-06-08
【審査請求日】2023-11-27
(73)【特許権者】
【識別番号】514054029
【氏名又は名称】株式会社飯田照明
(73)【特許権者】
【識別番号】503420833
【氏名又は名称】学校法人常翔学園
(74)【代理人】
【識別番号】100167438
【弁理士】
【氏名又は名称】原田 淳司
(74)【代理人】
【識別番号】100166800
【弁理士】
【氏名又は名称】奥山 裕治
(72)【発明者】
【氏名】飯田 史朗
(72)【発明者】
【氏名】板谷 賢二
(72)【発明者】
【氏名】小橋 弘
(72)【発明者】
【氏名】宮原 彰
(72)【発明者】
【氏名】堀江 昌朗
【審査官】河村 勝也
(56)【参考文献】
【文献】特開２００５－１１８２０７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００９－２８９９０６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００６－０８７４７２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１４－２１０４３０（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｆ２１Ｓ ２／００
Ｇ０１Ｎ ２１／０１
Ｆ２１Ｙ １１５／１０
Ｆ２１Ｙ １１５／３０
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
紫外線を出射する紫外線光源部と、前記紫外線光源部から出射される前記紫外線の照射位置を知らせるガイド光光源部とを備え、
前記紫外線光源部から出射された前記紫外線に対して第１光学処理を行う第１光学部材を着脱可能に装着できる第１光学マウント部と、前記第１光学マウント部を通過した前記紫外線に対して第２光学処理を行う第２光学部材を着脱可能に装着できる第２光学マウント部と、前記紫外線光源部とを１つのユニットとして備え、
前記第１光学マウント部は、筒状の第１マウント本体内に前記第１光学部材を収容し、前記第１光学部材は、コリメートレンズと、所定形状の断面形状の第１貫通孔を有する第１ピンホール体とであり、
前記第２光学マウント部は、筒状部内に前記第２光学部材を収容し、前記第２光学部材は、前記第１ピンホール体の前記第１貫通孔と同じ形状であって前記第１貫通孔よりも小さい第２貫通孔を有する第２ピンホール体である
紫外線照射装置。
【請求項2】
前記ガイド光光源部が出射するガイド光は可視光である請求項１に記載の紫外線照射装置。
【請求項3】
前記紫外線の照射を停止させる非常停止ボタンと、前記非常停止ボタンが作動した際に、前記紫外線光源部から出射された前記紫外線を遮蔽するシャッタとをさらに備える請求項１又は２に記載の紫外線照射装置。
【請求項4】
前記シャッタは、前記紫外線光源部に対して前記紫外線の光路と直交する方向の一方側に配され、前記ガイド光光源部は、前記光路と直交する方向の他方側に配されている
請求項３に記載の紫外線照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、紫外線を照射する照射装置に関するものである。
【背景技術】
【0002】
紫外線照射装置は、例えば、蛍光粒子、蛍光粒子を用いて流体が存在する場において流体の動き／運動を可視化し検査するための検査装置として利用されることがある（例えば、特許文献１）。
この検査装置は、２９０ｎｍ～４０５ｎｍの主に紫外波長を有する光を照射する１以上の光源と、前記光源から照射された紫外線または可視光を、集束または、発散させるレンズと、流体が存在する場を撮影する撮像部と、を備える。
この検査装置は、２９０ｎｍ～４０５ｎｍの主に紫外波長を有する光を照射する１以上の光源と、前記光源から照射された紫外線または可視光を、集束または、発散させるレンズと、流体が存在する場を撮影する撮像部と、を備える。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特許第６７１３５９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
特許文献１の装置として、紫外線を照射するレーザー装置を利用する場合、その照射位置が分かり難いという課題がある。
本発明が解決しようとする課題は、紫外線のレーザーを照射する場合に、その照射位置が分かりやすい紫外線照射装置を提供することにある。
本発明が解決しようとする課題は、紫外線のレーザーを照射する場合に、その照射位置が分かりやすい紫外線照射装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本発明の一態様である紫外線照射装置は、紫外線を出射する紫外線光源部と、前記紫外線光源部から出射される前記紫外線の照射位置を知らせるガイド光光源部とを備える。
【発明の効果】
【0006】
本発明の紫外線照射装置によれば、ガイド光を出射するため、紫外線の位置が分かりやすい。
【図面の簡単な説明】
【0007】
【図1】実施形態に係る照射装置の斜視図であり、（ａ）は前側上方から見た図であり、（ｂ）は後側上方から見た図である。
【図2】照射装置から上筐体を取り外した状態の斜視図であり、（ａ）は前側上方から見た図であり、（ｂ）は後側上方から見た図である。
【図3】上筐体を取り外した照射装置の断面図である。
【図4】紫外線光源部、装着板、第１マウント部を光源側ベースから取り外した状態の断面斜視図であり、（ａ）は前側下方から見た図であり、（ｂ）は後側上方から見た図である。
【図5】ガイド光光源部、装着板、第２マウント部をガイド装着部材から取り外した状態の斜視図であり、（ａ）は前側下方から見た図であり、（ｂ）は後側上方から見た図である。
【図6】（ａ）は第１マウント部の断面図であり、（ｂ）は第１マウント部から第１光学部材、第１固定部材を取り外した状態を後側上方から見た斜視図であり、（ｃ）は第１マウント部から第１光学部材、第１固定部材を取り外した状態を前側下方から見た斜視図である。
【図7】第２マウント部を出射口側ベースから取り外した状態の断面斜視図であり、（ａ）は前側下方から見た図であり、（ｂ）は後側上方から見た図である。
【発明を実施するための形態】
【0008】
＜概要＞
実施形態の一態様に係る紫外線照射装置は、紫外線を出射する紫外線光源部と、前記紫外線光源部から出射される前記紫外線の照射位置を知らせるガイド光光源部とを備える。
実施形態の別態様に係る紫外線照射装置において、前記ガイド光光源部が出射するガイド光は可視光である。これにより、照射位置が使用者に視認されやすくできる。
実施形態の別態様に係る紫外線照射装置において、前記紫外線光源部から出射された前記紫外線に対して第１光学処理を行う第１光学部材を着脱可能に装着できる第１光学マウント部と、前記第１光学マウント部を通過した前記紫外線に対して第２光学処理を行う第２光学部材を着脱可能に装着できる第２光学マウント部と、前記紫外線光源部とを１つのユニットとして備える。これにより、光軸を合わせる作業等を簡易化できる。
実施形態の別態様に係る紫外線照射装置において、前記第１光学マウント部は、筒状の第１マウント本体内に前記第１光学部材を収容し、前記第１光学部材は、コリメートレンズと、所定形状の断面形状の第１貫通孔を有する第１ピンホール体とであり、前記第２光学マウント部は、筒状部内に前記第２光学部材を収容し、前記第２光学部材は、前記第１ピンホール体の前記第１貫通孔と同じ形状であって前記第１貫通孔よりも小さい第２貫通孔を有する第２ピンホール体である。これにより、ノイズの少ない照射光が得られる。
実施形態の別態様に係る紫外線照射装置において、前記紫外線の照射を停止させる非常停止ボタンと、前記非常停止ボタンが作動した際に、前記紫外線光源部から出射された前記紫外線を遮蔽するシャッタとをさらに備える。これにより、安全性を向上できる。
実施形態の別態様に係る紫外線照射装置において、前記シャッタは、前記紫外線光源部に対して前記紫外線の光路と直交する方向の一方側に配され、前記ガイド光光源部は、前記光路と直交する方向の他方側に配されている。これにより、光路と直交する方向の寸法を小型化できる。
実施形態の一態様に係る紫外線照射装置は、紫外線を出射する紫外線光源部と、前記紫外線光源部から出射される前記紫外線の照射位置を知らせるガイド光光源部とを備える。
実施形態の別態様に係る紫外線照射装置において、前記ガイド光光源部が出射するガイド光は可視光である。これにより、照射位置が使用者に視認されやすくできる。
実施形態の別態様に係る紫外線照射装置において、前記紫外線光源部から出射された前記紫外線に対して第１光学処理を行う第１光学部材を着脱可能に装着できる第１光学マウント部と、前記第１光学マウント部を通過した前記紫外線に対して第２光学処理を行う第２光学部材を着脱可能に装着できる第２光学マウント部と、前記紫外線光源部とを１つのユニットとして備える。これにより、光軸を合わせる作業等を簡易化できる。
実施形態の別態様に係る紫外線照射装置において、前記第１光学マウント部は、筒状の第１マウント本体内に前記第１光学部材を収容し、前記第１光学部材は、コリメートレンズと、所定形状の断面形状の第１貫通孔を有する第１ピンホール体とであり、前記第２光学マウント部は、筒状部内に前記第２光学部材を収容し、前記第２光学部材は、前記第１ピンホール体の前記第１貫通孔と同じ形状であって前記第１貫通孔よりも小さい第２貫通孔を有する第２ピンホール体である。これにより、ノイズの少ない照射光が得られる。
実施形態の別態様に係る紫外線照射装置において、前記紫外線の照射を停止させる非常停止ボタンと、前記非常停止ボタンが作動した際に、前記紫外線光源部から出射された前記紫外線を遮蔽するシャッタとをさらに備える。これにより、安全性を向上できる。
実施形態の別態様に係る紫外線照射装置において、前記シャッタは、前記紫外線光源部に対して前記紫外線の光路と直交する方向の一方側に配され、前記ガイド光光源部は、前記光路と直交する方向の他方側に配されている。これにより、光路と直交する方向の寸法を小型化できる。
【0009】
＜実施形態＞
以下に実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
１．全体構成
主に図１～図３を用いて説明する。
紫外線照射装置（以下、「照射装置」とする）１は、少なくとも、紫外線を出射する紫外線光源部３０と、紫外線光源部３０から出射された紫外線の照射位置を知らせるガイド光を出射するガイド光光源部３１とを備える。これにより、紫外線の照射位置を把握できる。
主に図２及び図３を用いて説明する。
紫外線を出射する方向を出射方向とし、照射装置１の設置面に対して直交する方向を直交方向とし、出射方向と直交方向とに直交する方向を幅方向とする。ここでは、照射装置１の設置面は水平面であり、出射方向は前後方向（出射する側が前側である）となり、直交方向は上下方向となり、幅方向は左右方向となる。但し、照射装置１の設置の仕方によっては、前後方向、上下方向、左右方向でなくなる場合もある。
紫外線光源部３０は光源側ベース３２に装着されている。ここでのガイド光光源部３１も光源側ベース３２に装着されている。これにより、紫外線光源部３０とガイド光光源部３１の位置合わせを容易に行える。
照射装置１は、紫外線光源部３０から出射された紫外線に対して第１光学処理を行う第１光学部材（３３，４３）を着脱可能に装着できる第１マウント部３４を光源側ベース３２に備える。これにより、第１光学部材（３３，４３）と紫外線光源部３０との位置（光軸）合わせを容易に行える。さらに、ユーザの用途に合わせた第１光学部材（３３，４３）又は第１光学部材（３３，４３）を備える第１マウント部３４を準備することで、ユーザが容易に用途に合わせて第１光学部材（３３，４３）又は第１マウント部３４を交換できる。また、第１光学部材（３３，４３）又は第１マウント部３４の交換に際して、交換後の第１光学部材（３３，４３）又は第１マウント部３４と紫外線光源部３０との位置合わせが不要となる。
以下に実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
１．全体構成
主に図１～図３を用いて説明する。
紫外線照射装置（以下、「照射装置」とする）１は、少なくとも、紫外線を出射する紫外線光源部３０と、紫外線光源部３０から出射された紫外線の照射位置を知らせるガイド光を出射するガイド光光源部３１とを備える。これにより、紫外線の照射位置を把握できる。
主に図２及び図３を用いて説明する。
紫外線を出射する方向を出射方向とし、照射装置１の設置面に対して直交する方向を直交方向とし、出射方向と直交方向とに直交する方向を幅方向とする。ここでは、照射装置１の設置面は水平面であり、出射方向は前後方向（出射する側が前側である）となり、直交方向は上下方向となり、幅方向は左右方向となる。但し、照射装置１の設置の仕方によっては、前後方向、上下方向、左右方向でなくなる場合もある。
紫外線光源部３０は光源側ベース３２に装着されている。ここでのガイド光光源部３１も光源側ベース３２に装着されている。これにより、紫外線光源部３０とガイド光光源部３１の位置合わせを容易に行える。
照射装置１は、紫外線光源部３０から出射された紫外線に対して第１光学処理を行う第１光学部材（３３，４３）を着脱可能に装着できる第１マウント部３４を光源側ベース３２に備える。これにより、第１光学部材（３３，４３）と紫外線光源部３０との位置（光軸）合わせを容易に行える。さらに、ユーザの用途に合わせた第１光学部材（３３，４３）又は第１光学部材（３３，４３）を備える第１マウント部３４を準備することで、ユーザが容易に用途に合わせて第１光学部材（３３，４３）又は第１マウント部３４を交換できる。また、第１光学部材（３３，４３）又は第１マウント部３４の交換に際して、交換後の第１光学部材（３３，４３）又は第１マウント部３４と紫外線光源部３０との位置合わせが不要となる。
【0010】
照射装置１は、紫外線光源部３０から出射され且つ第１マウント部３４を通過した紫外線に対して第２光学処理を行う第２光学部材（４６）を着脱可能に装着できる第２マウント部３６を出射口側ベース３７に備える。これにより、ユーザの用途に合わせた第２光学部材又は第２光学部材を備える第２マウント部３６を準備することで、ユーザが容易に用途に合わせて第２光学部材又は第２マウント部３６を交換できる。また、第２光学部材又は第２マウント部３６の交換に際して、交換後の第２光学部材又は第２マウント部３６と出射口側ベース３７との位置合わせが不要となる。
ここで、第１光学処理、第１光学部材（３３，４３）、第１マウント部３４、第２光学処理、第２光学部材（４６）及び第２マウント部３６は、互いに区別するために、便宜上「第１」又は「第２」を付し、「第１」を「光源側」とし、「第２」を「出射口側」としてもよい。
光源側ベース３２と出射口側ベース３７とは主ベース３８に固定され、紫外線光源部３０、ガイド光光源部３１、第１マウント部３４及び第２マウント部３６が１つのユニット（以下、照射ユニットとする）３として構成される。これにより、照射ユニット３を筐体８に組み込む際に、光軸の調整が容易になり、生産性の向上が図れる。また、一体化されているため、光軸のズレが小さい照射装置１が得られる。結果的に、安価で高品質な照射装置１を提供できる。
ここで、第１光学処理、第１光学部材（３３，４３）、第１マウント部３４、第２光学処理、第２光学部材（４６）及び第２マウント部３６は、互いに区別するために、便宜上「第１」又は「第２」を付し、「第１」を「光源側」とし、「第２」を「出射口側」としてもよい。
光源側ベース３２と出射口側ベース３７とは主ベース３８に固定され、紫外線光源部３０、ガイド光光源部３１、第１マウント部３４及び第２マウント部３６が１つのユニット（以下、照射ユニットとする）３として構成される。これにより、照射ユニット３を筐体８に組み込む際に、光軸の調整が容易になり、生産性の向上が図れる。また、一体化されているため、光軸のズレが小さい照射装置１が得られる。結果的に、安価で高品質な照射装置１を提供できる。
【0011】
照射装置１は、照射ユニット３、回路ユニット６及びファンユニット７を筐体８内に備える。ここでの照射装置１は、図外の電源制御装置と電気的に接続され、電源制御装置からの操作により紫外線、ガイド光を出射する。このため、照射装置１は、電源制御装置用のコネクタ５を筐体８に備える。
なお、照射装置１の出射口は、出射口側ベース３７の前側に第２マウント部３６に装着されると当該第２マウント部３６により構成され、第２マウント部３６が装着されないと出射口側ベース３７に設けられた紫外線用貫通孔３７１ａにより構成される。
以下、各ユニット等について説明する。
なお、照射装置１の出射口は、出射口側ベース３７の前側に第２マウント部３６に装着されると当該第２マウント部３６により構成され、第２マウント部３６が装着されないと出射口側ベース３７に設けられた紫外線用貫通孔３７１ａにより構成される。
以下、各ユニット等について説明する。
【0012】
２．各ユニット
（１）照射ユニット
照射ユニット３は、上述のように、紫外線光源部３０、ガイド光光源部３１、光源側ベース３２、第１マウント部３４、第２マウント部３６、出射口側ベース３７及び主ベース３８を備える他、さらに、放熱部４０、遮蔽部４１を備えてもよい。また、第１マウント部３４は、第１光学部材（３３，４３）を備えてもよいし、備えなくてもよい。第２マウント部３６は、第２光学部材（４６）を備えてもよいし、備えなくてもよい。
（１）照射ユニット
照射ユニット３は、上述のように、紫外線光源部３０、ガイド光光源部３１、光源側ベース３２、第１マウント部３４、第２マウント部３６、出射口側ベース３７及び主ベース３８を備える他、さらに、放熱部４０、遮蔽部４１を備えてもよい。また、第１マウント部３４は、第１光学部材（３３，４３）を備えてもよいし、備えなくてもよい。第２マウント部３６は、第２光学部材（４６）を備えてもよいし、備えなくてもよい。
【0013】
（１－１）紫外線出射部
紫外線光源部３０は、図４に示すように、紫外線を出射するレーザー（レーザーダイオード）３０１により構成され、支持板３０３により支持されている。紫外線光源部３０の装着は、光源側ベース３２の貫通孔３２１ａにレーザー３０１が挿入され、後方からレーザー３０１を支持する支持板３０３が光源側ベース３２に固定されることで行われる。
レーザー３０１は、例えば、波長が３５５～３９５ｎｍ、出力が２００～５００ｍＷである。出射光の形状（レーザー形状）はドットであり、出射光の直径（ビーム径）は１～４ｍｍである。
支持板３０３はガイド光の光路上に貫通孔３０３ａを有する。
紫外線光源部３０は、図４に示すように、紫外線を出射するレーザー（レーザーダイオード）３０１により構成され、支持板３０３により支持されている。紫外線光源部３０の装着は、光源側ベース３２の貫通孔３２１ａにレーザー３０１が挿入され、後方からレーザー３０１を支持する支持板３０３が光源側ベース３２に固定されることで行われる。
レーザー３０１は、例えば、波長が３５５～３９５ｎｍ、出力が２００～５００ｍＷである。出射光の形状（レーザー形状）はドットであり、出射光の直径（ビーム径）は１～４ｍｍである。
支持板３０３はガイド光の光路上に貫通孔３０３ａを有する。
【0014】
（１－２）ガイド光出射部
ガイド光光源部３１は、可視光（例えば、赤色光、緑色光、青色光等である）を出射する。ガイド光光源部３１は、例えば、ＬＥＤやレーザー等により構成される。ここでは、図５に示すように、赤色光を出射するＬＥＤ３１１により構成されている。
ＬＥＤ３１１はガイド装着部材３１３の貫通孔３１３ａに挿入され、後方からＬＥＤ３１１を支持する支持板３１５がガイド装着部材３１３に固定される。なお、ガイド装着部材３１３は光源側ベース３２に固定される。
ガイド光光源部３１は、紫外線光源部３０の光軸と近い位置に配される。ここでは、紫外線の出射方向と直交する上下方向の他方側（上側）に配されている。紫外線がコリメートレンズ３３により平行光に変換される場合は、ガイド光の光軸が紫外線と平行となるように、ガイド光光源部３１を設けるのが好ましい。これにより、ガイド光を基準して、紫外線の照射位置を高い精度で知ることができる。
ガイド光に対してもガイド光学処理を行ってもよい。この場合、ガイド光学部材をガイドマウント部３１６に着脱可能に設けてもよい。なお、ガイド光の光学処理についても、第１光学処理と第２光学処理等と同様に、光学処理、光学部材、マウント部に「ガイド光」を付して区別する。
ガイドマウント部３１６を利用する場合、ガイドマウント部３１６をガイド装着部材３１３に対して着脱可能とするのが好ましい。ガイドマウント部３１６は、その小径部分３１６ａがガイド装着部材３１３の貫通孔３１３ａの前側部分に嵌合することで、着脱可能に構成される。
なお、ガイドマウント部３１６は、第１マウント部３４と同じ構成をしている。これにより、部品の共通化を図ることができる。ガイド光学部材は、照射装置１の用途、紫外線の仕様、照射面との距離等によって適宜選択できるし、備えないことも選択できる。ガイド光学部材としては、例えば、平行光に変換するコリメートレンズや、集光させる集光レンズ、拡散させる拡散レンズ等のレンズや、ガイド光の形状を調整するガイドピンホール体等がある。
ガイド光光源部３１は、可視光（例えば、赤色光、緑色光、青色光等である）を出射する。ガイド光光源部３１は、例えば、ＬＥＤやレーザー等により構成される。ここでは、図５に示すように、赤色光を出射するＬＥＤ３１１により構成されている。
ＬＥＤ３１１はガイド装着部材３１３の貫通孔３１３ａに挿入され、後方からＬＥＤ３１１を支持する支持板３１５がガイド装着部材３１３に固定される。なお、ガイド装着部材３１３は光源側ベース３２に固定される。
ガイド光光源部３１は、紫外線光源部３０の光軸と近い位置に配される。ここでは、紫外線の出射方向と直交する上下方向の他方側（上側）に配されている。紫外線がコリメートレンズ３３により平行光に変換される場合は、ガイド光の光軸が紫外線と平行となるように、ガイド光光源部３１を設けるのが好ましい。これにより、ガイド光を基準して、紫外線の照射位置を高い精度で知ることができる。
ガイド光に対してもガイド光学処理を行ってもよい。この場合、ガイド光学部材をガイドマウント部３１６に着脱可能に設けてもよい。なお、ガイド光の光学処理についても、第１光学処理と第２光学処理等と同様に、光学処理、光学部材、マウント部に「ガイド光」を付して区別する。
ガイドマウント部３１６を利用する場合、ガイドマウント部３１６をガイド装着部材３１３に対して着脱可能とするのが好ましい。ガイドマウント部３１６は、その小径部分３１６ａがガイド装着部材３１３の貫通孔３１３ａの前側部分に嵌合することで、着脱可能に構成される。
なお、ガイドマウント部３１６は、第１マウント部３４と同じ構成をしている。これにより、部品の共通化を図ることができる。ガイド光学部材は、照射装置１の用途、紫外線の仕様、照射面との距離等によって適宜選択できるし、備えないことも選択できる。ガイド光学部材としては、例えば、平行光に変換するコリメートレンズや、集光させる集光レンズ、拡散させる拡散レンズ等のレンズや、ガイド光の形状を調整するガイドピンホール体等がある。
【0015】
（１－３）光源側ベース
光源側ベース３２は、図４に示すように、紫外線の出射方向と直交する前板状部３２１を有している。前板状部３２１を出射方向（前後方向）に貫通する貫通孔３２１ａを利用して、紫外線光源部３０と第１マウント部３４とが装着される。
図３に示すように、第１マウント部３４が貫通孔３２１ａの前側の大径部分に挿入され、紫外線光源部３０が貫通孔３２１ａの後側の小径部分に挿入されている。
光源側ベース３２は、前板状部３２１の左右端部から後方へ延伸する一対の横板状部３２２を有し、当該横板状部３２２を利用してガイド光光源部３１とガイドマウント部３１６とが装着される。なお、前板状部３２１及び横板状部３２２を区別するため、便宜上、「前」又は「横」を付している。
具体的には、図３に示すように、ガイド光光源部３１とガイドマウント部３１６とを装着するガイド装着部材３１３が、光源側ベース３２の一対の横板状部３２２に固定される。なお、前板状部３２１は、ガイド光の光路上に対応する部分に貫通孔３２１ｂを有している。
前板状部３２１及び一対の横板状部３２２は、下部側が開放する門型状部３２３の上面に形成され、門型状部３２３の凹み部分３２３ａに、後述の放熱部４０が設けられている。
光源側ベース３２は、図４に示すように、紫外線の出射方向と直交する前板状部３２１を有している。前板状部３２１を出射方向（前後方向）に貫通する貫通孔３２１ａを利用して、紫外線光源部３０と第１マウント部３４とが装着される。
図３に示すように、第１マウント部３４が貫通孔３２１ａの前側の大径部分に挿入され、紫外線光源部３０が貫通孔３２１ａの後側の小径部分に挿入されている。
光源側ベース３２は、前板状部３２１の左右端部から後方へ延伸する一対の横板状部３２２を有し、当該横板状部３２２を利用してガイド光光源部３１とガイドマウント部３１６とが装着される。なお、前板状部３２１及び横板状部３２２を区別するため、便宜上、「前」又は「横」を付している。
具体的には、図３に示すように、ガイド光光源部３１とガイドマウント部３１６とを装着するガイド装着部材３１３が、光源側ベース３２の一対の横板状部３２２に固定される。なお、前板状部３２１は、ガイド光の光路上に対応する部分に貫通孔３２１ｂを有している。
前板状部３２１及び一対の横板状部３２２は、下部側が開放する門型状部３２３の上面に形成され、門型状部３２３の凹み部分３２３ａに、後述の放熱部４０が設けられている。
【0016】
（１－４）第１光学部材及び第１マウント部
主に図６を用いて説明する。
第１光学部材は、照射装置１の用途、紫外線の仕様、照射面との距離等によって適宜選択できる。第１光学部材としては、例えば、平行光に変換するコリメートレンズ３３や、集光させる集光レンズ、拡散させる拡散レンズ等のレンズや、紫外線の形状を調整する第１ピンホール体４３等がある。ここでは、コリメートレンズ３３と第１ピンホール体４３とが第１マウント部３４の貫通孔３４１に配されている。
第１マウント部３４は、筒状部３４２を有し、内部を紫外線が通過する。筒状部３４２の内側には、後側から、第１ピンホール体４３、コリメートレンズ３３が収容される。筒状部３４２の外周には段差３４３が設けられ、小径部分３４４が光源側ベース３２の貫通孔３２１ａ（図４参照）に挿入される。これにより、第１マウント部３４が光源側ベース３２に着脱可能に装着される。なお、第１ピンホール体４３、コリメートレンズ３３は、交換可能に第１固定部材４４により固定される。
第１ピンホール体４３は、第１マウント部３４の貫通孔３４１の横断面形状と同じ形状の第１板部４３１と、第１板部４３１に設けられた第１貫通孔４３３とから構成される。第１貫通孔４３３の形状は、装置の用途により適宜決定され、ここでは円形状をしている。第１貫通孔４３３の孔径は、紫外線光源部３０からの出射光の直径（ビーム径）より小さい。これにより、紫外線光源部３０から出射された出射光の形状を整えたり、径小化したりできる。
第１固定部材４４は、ここでは、外周面にねじ部（図示省略）４４１を有するねじ体により構成され、中央部に貫通孔４４３を、前面にドライバー等の工具用の溝４４５をそれぞれ有している。第１固定部材４４は、第１マウント部３４の貫通孔３４１に形成されたねじ部３４６に螺合する。
第１ピンホール体４３は、第１マウント部３４内に収容されるため、第１ピンホール体をコリメートレンズ３３と別に設ける場合に比べて、部品点数が削減される。また、第１ピンホール体４３の貫通孔４４３の光軸調整が不要となり、安価な照射装置１が得られる。
第１ピンホール体４３、第１固定部材４４、第２ピンホール体４６及び第２固定部材４７は、互いに区別するために、便宜上、「第１」又は「第２」を付している。
主に図６を用いて説明する。
第１光学部材は、照射装置１の用途、紫外線の仕様、照射面との距離等によって適宜選択できる。第１光学部材としては、例えば、平行光に変換するコリメートレンズ３３や、集光させる集光レンズ、拡散させる拡散レンズ等のレンズや、紫外線の形状を調整する第１ピンホール体４３等がある。ここでは、コリメートレンズ３３と第１ピンホール体４３とが第１マウント部３４の貫通孔３４１に配されている。
第１マウント部３４は、筒状部３４２を有し、内部を紫外線が通過する。筒状部３４２の内側には、後側から、第１ピンホール体４３、コリメートレンズ３３が収容される。筒状部３４２の外周には段差３４３が設けられ、小径部分３４４が光源側ベース３２の貫通孔３２１ａ（図４参照）に挿入される。これにより、第１マウント部３４が光源側ベース３２に着脱可能に装着される。なお、第１ピンホール体４３、コリメートレンズ３３は、交換可能に第１固定部材４４により固定される。
第１ピンホール体４３は、第１マウント部３４の貫通孔３４１の横断面形状と同じ形状の第１板部４３１と、第１板部４３１に設けられた第１貫通孔４３３とから構成される。第１貫通孔４３３の形状は、装置の用途により適宜決定され、ここでは円形状をしている。第１貫通孔４３３の孔径は、紫外線光源部３０からの出射光の直径（ビーム径）より小さい。これにより、紫外線光源部３０から出射された出射光の形状を整えたり、径小化したりできる。
第１固定部材４４は、ここでは、外周面にねじ部（図示省略）４４１を有するねじ体により構成され、中央部に貫通孔４４３を、前面にドライバー等の工具用の溝４４５をそれぞれ有している。第１固定部材４４は、第１マウント部３４の貫通孔３４１に形成されたねじ部３４６に螺合する。
第１ピンホール体４３は、第１マウント部３４内に収容されるため、第１ピンホール体をコリメートレンズ３３と別に設ける場合に比べて、部品点数が削減される。また、第１ピンホール体４３の貫通孔４４３の光軸調整が不要となり、安価な照射装置１が得られる。
第１ピンホール体４３、第１固定部材４４、第２ピンホール体４６及び第２固定部材４７は、互いに区別するために、便宜上、「第１」又は「第２」を付している。
【0017】
（１－５）第２光学部材及び第２マウント部
主に、図７を用いて説明する。
第２光学部材は、第１光学部材と同様に、照射装置１の用途、紫外線の仕様、照射面との距離等によって適宜選択できる。第２光学部材としては、例えば、平行光に変換するコリメートレンズや、集光させる集光レンズ、拡散させる拡散レンズ等のレンズや、紫外線の形状を調整する第２ピンホール体４６等がある。ここでは、一方の第２マウント部３６は第２ピンホール体４６を備え、他方の第２マウント部３６は第２光学部材を備えない。
第２マウント部３６は、筒状部３６２を有し、内部を紫外線が通過する。筒状部３６２の内側には、レンズ、第２ピンホール体４６が収容可能である。ここでは、後側（紫外線光源部３０に近い側）の第２マウント部３６に第２ピンホール体４６が収容され、第２固定部材４７により固定されている（図３参照）。
筒状部３６２の外周には段差３６３が設けられ、小径部分３６４が出射口側ベース３７の紫外線用貫通孔３７１ａに嵌合する。これにより、第２マウント部３６が出射口側ベース３７に着脱可能に装着される。
第２ピンホール体４６は、第２マウント部３６の貫通孔の横断面形状と同じ形状の第２板部と、第２板部に設けられ第２貫通孔とから構成される。第２貫通孔は、第１貫通孔４３３の形状と同じである。第２マウント部３６が第１マウント部３４と同じ構成の場合（兼用する場合）、第２ピンホール体４６は、第１ピンホール体４３に対して、第２貫通孔の大きさが異なる。
第２ピンホール体４６の第２貫通孔は、第１ピンホール体４３の第１貫通孔４３３よりも小さい。これにより、紫外線光源部３０から出射された出射光（紫外線）を、ノイズの少ない径小、所定形状（例えば真円）のドット光とすることができる。
第２ピンホール体４６は、第２マウント部３６内に収容されるため、第２ピンホール体を第２マウント部と別に設ける場合に比べて、部品点数が削減される。また、第２ピンホール体４６の第２貫通孔の光軸調整が不要となり、安価な照射装置１が得られる。
第２固定部材４７は、ここでは、外周面にねじ部（図示省略）を有するねじ体により構成され、中央部に貫通孔を、前面にドライバー当の工具用の溝をそれぞれ有している。第２固定部材４７は、第２マウント部３６の貫通孔に形成されたねじ部に螺合する。
第２マウント部３６が第１マウント部３４と同じ構成の場合（兼用する場合）、第２固定部材４７は第１固定部材４４と同じ構成となる。
主に、図７を用いて説明する。
第２光学部材は、第１光学部材と同様に、照射装置１の用途、紫外線の仕様、照射面との距離等によって適宜選択できる。第２光学部材としては、例えば、平行光に変換するコリメートレンズや、集光させる集光レンズ、拡散させる拡散レンズ等のレンズや、紫外線の形状を調整する第２ピンホール体４６等がある。ここでは、一方の第２マウント部３６は第２ピンホール体４６を備え、他方の第２マウント部３６は第２光学部材を備えない。
第２マウント部３６は、筒状部３６２を有し、内部を紫外線が通過する。筒状部３６２の内側には、レンズ、第２ピンホール体４６が収容可能である。ここでは、後側（紫外線光源部３０に近い側）の第２マウント部３６に第２ピンホール体４６が収容され、第２固定部材４７により固定されている（図３参照）。
筒状部３６２の外周には段差３６３が設けられ、小径部分３６４が出射口側ベース３７の紫外線用貫通孔３７１ａに嵌合する。これにより、第２マウント部３６が出射口側ベース３７に着脱可能に装着される。
第２ピンホール体４６は、第２マウント部３６の貫通孔の横断面形状と同じ形状の第２板部と、第２板部に設けられ第２貫通孔とから構成される。第２貫通孔は、第１貫通孔４３３の形状と同じである。第２マウント部３６が第１マウント部３４と同じ構成の場合（兼用する場合）、第２ピンホール体４６は、第１ピンホール体４３に対して、第２貫通孔の大きさが異なる。
第２ピンホール体４６の第２貫通孔は、第１ピンホール体４３の第１貫通孔４３３よりも小さい。これにより、紫外線光源部３０から出射された出射光（紫外線）を、ノイズの少ない径小、所定形状（例えば真円）のドット光とすることができる。
第２ピンホール体４６は、第２マウント部３６内に収容されるため、第２ピンホール体を第２マウント部と別に設ける場合に比べて、部品点数が削減される。また、第２ピンホール体４６の第２貫通孔の光軸調整が不要となり、安価な照射装置１が得られる。
第２固定部材４７は、ここでは、外周面にねじ部（図示省略）を有するねじ体により構成され、中央部に貫通孔を、前面にドライバー当の工具用の溝をそれぞれ有している。第２固定部材４７は、第２マウント部３６の貫通孔に形成されたねじ部に螺合する。
第２マウント部３６が第１マウント部３４と同じ構成の場合（兼用する場合）、第２固定部材４７は第１固定部材４４と同じ構成となる。
【0018】
（１－６）出射口側ベース
主に、図７を用いて説明する。
出射口側ベース３７は、板状部３７１を有し、紫外線及びガイド光の光路上に紫外線用貫通孔３７１ａ及びガイド光用貫通孔３７１ｂを有している。紫外線用貫通孔３７１ａ及びガイド光用貫通孔３７１ｂは、それぞれの光路に沿って、孔径が一定に形成されている。
ここでは、紫外線用貫通孔３７１ａには、後側部分と前側部分との両側に第２マウント部３６が装着され、一方の第２マウント部３６（後側の第２マウント部３６）には第２ピンホール体４６が収容されている。なお、他方の第２マウント部３６（前側の第２マウント部３６）には光学部材が収容されていないが、用途等によっては収容してもよい。
主に、図７を用いて説明する。
出射口側ベース３７は、板状部３７１を有し、紫外線及びガイド光の光路上に紫外線用貫通孔３７１ａ及びガイド光用貫通孔３７１ｂを有している。紫外線用貫通孔３７１ａ及びガイド光用貫通孔３７１ｂは、それぞれの光路に沿って、孔径が一定に形成されている。
ここでは、紫外線用貫通孔３７１ａには、後側部分と前側部分との両側に第２マウント部３６が装着され、一方の第２マウント部３６（後側の第２マウント部３６）には第２ピンホール体４６が収容されている。なお、他方の第２マウント部３６（前側の第２マウント部３６）には光学部材が収容されていないが、用途等によっては収容してもよい。
【0019】
（１－７）主ベース
主に、図３を用いて説明する。
主ベース３８は、照射装置１の設置面と平行な平板部３８１により構成される。主ベース３８には、前側部分に出射口側ベース３７が固定され、出射口側ベース３７よりも後方に間隔を置いた部分に光源側ベース３２が固定される。
主ベース３８において、光源側ベース３２との間に放熱部４０が設けられ、出射口側ベース３７と光源側ベース３２との間には遮蔽部４１が設けられている。なお、安価で高品質（光軸）の照射装置１の観点からは、放熱部４０や遮蔽部４１を備えなくてもよい。但し、放熱部４０を設けることで、紫外線光源部３０の発光効率を高めることができる。遮蔽部４１を設けることで、容易に紫外線の出射を一時的に停止したり、安全性を高めたりできる。
主に、図３を用いて説明する。
主ベース３８は、照射装置１の設置面と平行な平板部３８１により構成される。主ベース３８には、前側部分に出射口側ベース３７が固定され、出射口側ベース３７よりも後方に間隔を置いた部分に光源側ベース３２が固定される。
主ベース３８において、光源側ベース３２との間に放熱部４０が設けられ、出射口側ベース３７と光源側ベース３２との間には遮蔽部４１が設けられている。なお、安価で高品質（光軸）の照射装置１の観点からは、放熱部４０や遮蔽部４１を備えなくてもよい。但し、放熱部４０を設けることで、紫外線光源部３０の発光効率を高めることができる。遮蔽部４１を設けることで、容易に紫外線の出射を一時的に停止したり、安全性を高めたりできる。
【0020】
（１－８）放熱部
放熱部４０は、光源側ベース３２に熱的に結合された（密着）状態で設けられる第１冷却器４０１と、第１冷却器４０１に熱的に結合された（密着）状態で設けられる第２冷却体４０３とを備える。
第１冷却器４０１は、例えば、ペルチャ冷却器を利用し、吸熱側を光源側ベース３２に、発熱側を第２冷却体４０３にそれぞれ結合している。
第２冷却体４０３は、複数のフィンを備えるヒートシンクを利用している。第２冷却体４０３は、光源側ベース３２の門型状部３２３の内側に配され、門型状部３２３の上壁部分と第２冷却体４０３との間に第１冷却器４０１が配されている。
放熱部４０は、光源側ベース３２に熱的に結合された（密着）状態で設けられる第１冷却器４０１と、第１冷却器４０１に熱的に結合された（密着）状態で設けられる第２冷却体４０３とを備える。
第１冷却器４０１は、例えば、ペルチャ冷却器を利用し、吸熱側を光源側ベース３２に、発熱側を第２冷却体４０３にそれぞれ結合している。
第２冷却体４０３は、複数のフィンを備えるヒートシンクを利用している。第２冷却体４０３は、光源側ベース３２の門型状部３２３の内側に配され、門型状部３２３の上壁部分と第２冷却体４０３との間に第１冷却器４０１が配されている。
【0021】
（１－９）遮蔽部
主に、図２及び図３を用いて説明する。
遮蔽部４１はモータ４１１とシャッタ４１３とを備える。遮蔽部４１のモータ４１１は紫外線の光路の下方に配されている。遮蔽部４１のモータ４１１は支持板４１５により支持された状態で、支持板４１５が主ベース３８に固定される。これにより、主ベース３８と紫外線の光路との間の空間を有効に利用できる。つまり、照射装置１の小型化に寄与している。また、遮蔽部４１、紫外線の光路、ガイド光の光路とが上下方向に並ぶため、より一層、装置を小型化できる。
遮蔽部４１は、図外の非常停止ボタンが作動した際に、紫外線光源部３０から出射された紫外線をシャッタ４１３で機械的に遮蔽するように構成されている。これにより、安全性を向上できる。
主に、図２及び図３を用いて説明する。
遮蔽部４１はモータ４１１とシャッタ４１３とを備える。遮蔽部４１のモータ４１１は紫外線の光路の下方に配されている。遮蔽部４１のモータ４１１は支持板４１５により支持された状態で、支持板４１５が主ベース３８に固定される。これにより、主ベース３８と紫外線の光路との間の空間を有効に利用できる。つまり、照射装置１の小型化に寄与している。また、遮蔽部４１、紫外線の光路、ガイド光の光路とが上下方向に並ぶため、より一層、装置を小型化できる。
遮蔽部４１は、図外の非常停止ボタンが作動した際に、紫外線光源部３０から出射された紫外線をシャッタ４１３で機械的に遮蔽するように構成されている。これにより、安全性を向上できる。
【0022】
（２）コネクタ、回路ユニット、ファンユニット
主に、図２及び図３を用いて説明する。
照射装置１は、図外の電源制御装置用のコネクタ５を筐体８の後壁部８１５に備える。なお、電源制御装置とは接続ケーブルにより接続される。コネクタ５は、配線５１を介して回路ユニット６に接続される。これにより、照射装置１に必要な電力が供給される他、紫外線出射のＯＮ／ＯＦＦ信号、ガイド光出射のＯＮ／ＯＦＦ信号、非常停止信号、紫外線光源部３０の出力信号（調光信号）等が回路ユニット６に入力される。なお、回路ユニット６から、紫外線光源部３０、ガイド光光源部３１、第１冷却器４０１、遮蔽部４１、ファンユニット７に接続される配線の図示は省略している。
主に、図２及び図３を用いて説明する。
照射装置１は、図外の電源制御装置用のコネクタ５を筐体８の後壁部８１５に備える。なお、電源制御装置とは接続ケーブルにより接続される。コネクタ５は、配線５１を介して回路ユニット６に接続される。これにより、照射装置１に必要な電力が供給される他、紫外線出射のＯＮ／ＯＦＦ信号、ガイド光出射のＯＮ／ＯＦＦ信号、非常停止信号、紫外線光源部３０の出力信号（調光信号）等が回路ユニット６に入力される。なお、回路ユニット６から、紫外線光源部３０、ガイド光光源部３１、第１冷却器４０１、遮蔽部４１、ファンユニット７に接続される配線の図示は省略している。
【0023】
回路ユニット６は、紫外線光源部３０、ガイド光光源部３１、ファンユニット７、第１冷却器４０１に供給する電力を生成したり、各信号に従って各部を制御したりするための回路を有する。なお、回路は、複数の電子部品（図示省略）が基板６１に実装されることで構成される。基板６１は、光源側ベース３２と出射口側ベース３７とに跨る状態で固定される。これにより、光源側ベース３２と出射口側ベース３７との間の空間を有効に利用できる。また、前後方向から見たときに、回路ユニット６をシャッタ４１３の可動領域と反対側に設けているため、互いに干渉することもない。
ファンユニット７は筐体８の内部の空気を排出する。ファンユニット７は、モータ７１とファン７３とから構成されている。
ファンユニット７は筐体８の内部の空気を排出する。ファンユニット７は、モータ７１とファン７３とから構成されている。
【0024】
（３）筐体
主に、図１～図３を用いて説明する。
筐体８は、図１に示すように、下筐体８１と上筐体８２とを備える。照射ユニット３、コネクタ５、回路ユニット６、ファンユニット７は下筐体８１に配される。
下筐体８１は、図２及び図３に示すように、下壁部８１１、下前壁部８１３、後壁部８１５を有している。
下壁部８１１には主ベース３８が固定される。ここでは、主ベース３８と下壁部８１１とは離間する。これにより、紫外線光源部３０からの熱により下壁部８１１が過度に熱くなるのを防止できる。なお、第２冷却体４０３と主ベース３８との間には空間（隙間）が確保されており、紫外線光源部３０からの熱が下壁部８１１に伝わり難く構成されている。
下前壁部８１３は欠け部８１３ａを上端側に有する。この欠け部８１３ａに照射ユニット３の第２マウント部３６が位置する状態で、下前壁部８１３は、主ベース３８に固定された出射口側ベース３７と接続する。なお、下前壁部８１３には、筐体８の内部に空気が入るための貫通溝８１３ｂを有する。
後壁部８１５にはコネクタ５とファンユニット７と装着されている。
上筐体８２は、図１に示すように、上壁部８２１、側壁部８２３、上前壁部８２５を有している。
上前壁部８２５は欠け部８２５ａを下端側に有する。欠け部８２５ａに照射ユニット３の第２マウント部３６が位置する状態で、上筐体８２が下筐体８１に着脱可能に装着される。
主に、図１～図３を用いて説明する。
筐体８は、図１に示すように、下筐体８１と上筐体８２とを備える。照射ユニット３、コネクタ５、回路ユニット６、ファンユニット７は下筐体８１に配される。
下筐体８１は、図２及び図３に示すように、下壁部８１１、下前壁部８１３、後壁部８１５を有している。
下壁部８１１には主ベース３８が固定される。ここでは、主ベース３８と下壁部８１１とは離間する。これにより、紫外線光源部３０からの熱により下壁部８１１が過度に熱くなるのを防止できる。なお、第２冷却体４０３と主ベース３８との間には空間（隙間）が確保されており、紫外線光源部３０からの熱が下壁部８１１に伝わり難く構成されている。
下前壁部８１３は欠け部８１３ａを上端側に有する。この欠け部８１３ａに照射ユニット３の第２マウント部３６が位置する状態で、下前壁部８１３は、主ベース３８に固定された出射口側ベース３７と接続する。なお、下前壁部８１３には、筐体８の内部に空気が入るための貫通溝８１３ｂを有する。
後壁部８１５にはコネクタ５とファンユニット７と装着されている。
上筐体８２は、図１に示すように、上壁部８２１、側壁部８２３、上前壁部８２５を有している。
上前壁部８２５は欠け部８２５ａを下端側に有する。欠け部８２５ａに照射ユニット３の第２マウント部３６が位置する状態で、上筐体８２が下筐体８１に着脱可能に装着される。
【0025】
＜変形例＞
以上、実施形態に係る照射装置を説明したが、この実施形態に限られるものではなく、例えば、以下のような変形例であってもよい。また、実施形態と変形例とを組み合わせたものでもよいし、変形例同士を組み合わせたものでもよい。また、実施形態や変形例に記載していない例や要旨を逸脱しない範囲の設計変更があっても本発明に含まれる。
以上、実施形態に係る照射装置を説明したが、この実施形態に限られるものではなく、例えば、以下のような変形例であってもよい。また、実施形態と変形例とを組み合わせたものでもよいし、変形例同士を組み合わせたものでもよい。また、実施形態や変形例に記載していない例や要旨を逸脱しない範囲の設計変更があっても本発明に含まれる。
【0026】
１．紫外線照射装置
実施形態の照射装置１は、別体の電源制御装置に接続され、電源制御装置により制御されていたが、一体として電源制御装置が組み込まれてもよい。
実施形態の照射装置１は、別体の電源制御装置に接続され、電源制御装置により制御されていたが、一体として電源制御装置が組み込まれてもよい。
【0027】
２．照射ユニット
照射ユニット３は、紫外線光源部３０、ガイド光光源部３１、光源側ベース３２、第１光学部材（３３，４３）、第１マウント部３４、第２光学部材（４６）、第２マウント部３６、出射口側ベース３７及び主ベース３８を一体で備えていたが、それぞれ別々に備えてもよい。但し、生産性、光軸のずれ等を考慮すると、一体で備えた方がよい。なお、主である紫外線の照射を着目すると、ガイド光光源部は一体で備えなくてもよい。
光源側ベース３２、出射口側ベース３７及び主ベース３８は、別体で構成されていたが、これらのベースのうち、一部又は全部が一体品で構成されてもよい。
照射ユニット３は、第１マウント部３４と２個の第２マウント部３６を備えていたが、これらすべてを備えなくてもよいし、内部に光学部材を収容しないマウント部を備えてもよい。つまり、これらは、装置の使用目的等により適宜選択されるが、これらを備える装置とした方が適用範囲が広がる。
紫外線を照射する照射ユニットの生産性や品質に着目すると、ガイド光光源部を備えなくてもよい。この場合、紫外線の光軸の調整が煩わしいという課題を解決できる。
照射ユニット３は、紫外線光源部３０、ガイド光光源部３１、光源側ベース３２、第１光学部材（３３，４３）、第１マウント部３４、第２光学部材（４６）、第２マウント部３６、出射口側ベース３７及び主ベース３８を一体で備えていたが、それぞれ別々に備えてもよい。但し、生産性、光軸のずれ等を考慮すると、一体で備えた方がよい。なお、主である紫外線の照射を着目すると、ガイド光光源部は一体で備えなくてもよい。
光源側ベース３２、出射口側ベース３７及び主ベース３８は、別体で構成されていたが、これらのベースのうち、一部又は全部が一体品で構成されてもよい。
照射ユニット３は、第１マウント部３４と２個の第２マウント部３６を備えていたが、これらすべてを備えなくてもよいし、内部に光学部材を収容しないマウント部を備えてもよい。つまり、これらは、装置の使用目的等により適宜選択されるが、これらを備える装置とした方が適用範囲が広がる。
紫外線を照射する照射ユニットの生産性や品質に着目すると、ガイド光光源部を備えなくてもよい。この場合、紫外線の光軸の調整が煩わしいという課題を解決できる。
【0028】
３．紫外線
紫外線光源部は、レーザーダイオードにより構成されていたが、ＬＥＤにより構成されてもよい。
照射面での紫外線の形状は、円形状であったが、四角形等の多角形状であってもよいし、ライン形状であってもよい。これらの形状は、マウント部に収容されるピンホール体の貫通孔の形状によって適宜変更でき、スリット状の貫通孔（貫通溝）を板部に有するスリット体も第１光学部材又は第２光学部材に含まれるとしてもよい。
紫外線光源部は、レーザーダイオードにより構成されていたが、ＬＥＤにより構成されてもよい。
照射面での紫外線の形状は、円形状であったが、四角形等の多角形状であってもよいし、ライン形状であってもよい。これらの形状は、マウント部に収容されるピンホール体の貫通孔の形状によって適宜変更でき、スリット状の貫通孔（貫通溝）を板部に有するスリット体も第１光学部材又は第２光学部材に含まれるとしてもよい。
【0029】
４．ガイド光
（１）実施形態では１個のガイド光光源部３１を備えていたが、複数個のガイド光光源部を備えてもよい。
複数個のガイド光を利用する場合、照射される紫外線が平行光であるとガイド光も紫外線と平行となるように設けるのが好ましく、紫外線が拡散光であるとガイド光は拡散光の外周を照射するように設けるのが好ましい。
複数個のガイド光を利用する場合、複数個ガイド光の照射位置を結んで形成される領域内に紫外線の照射位置があるのが好ましい。
（２）実施形態ではガイド光光源は、紫外線光源部の上側に配されていたが、他の位置に配されてもよい。但し、遮蔽部や回路ユニットとの関係で、紫外線光源部を基準して設置面と反対側に設け、設置面側に遮蔽部を設けるのが重量バランス的に好ましい。
なお、設置面と直交する方向の寸法を小さくする場合には、遮蔽部とガイド光光源部を、設置面と直交する直交方向と出射方向とに直交する幅方向に配置するのが好ましい。
（３）ガイド光光源部３１は、ガイド装着部材３１３を介して光源側ベース３２に装着しているが、紫外線光源部の熱の影響が少ない場合には直接光源側ベースに装着するようにしてもよい。
また、ガイド光光源部３１は、紫外線光源部３０の後方に配されていたが、紫外線光源部の前方に配されてもよいし、幅方向に並べて配されてもよい。
（１）実施形態では１個のガイド光光源部３１を備えていたが、複数個のガイド光光源部を備えてもよい。
複数個のガイド光を利用する場合、照射される紫外線が平行光であるとガイド光も紫外線と平行となるように設けるのが好ましく、紫外線が拡散光であるとガイド光は拡散光の外周を照射するように設けるのが好ましい。
複数個のガイド光を利用する場合、複数個ガイド光の照射位置を結んで形成される領域内に紫外線の照射位置があるのが好ましい。
（２）実施形態ではガイド光光源は、紫外線光源部の上側に配されていたが、他の位置に配されてもよい。但し、遮蔽部や回路ユニットとの関係で、紫外線光源部を基準して設置面と反対側に設け、設置面側に遮蔽部を設けるのが重量バランス的に好ましい。
なお、設置面と直交する方向の寸法を小さくする場合には、遮蔽部とガイド光光源部を、設置面と直交する直交方向と出射方向とに直交する幅方向に配置するのが好ましい。
（３）ガイド光光源部３１は、ガイド装着部材３１３を介して光源側ベース３２に装着しているが、紫外線光源部の熱の影響が少ない場合には直接光源側ベースに装着するようにしてもよい。
また、ガイド光光源部３１は、紫外線光源部３０の後方に配されていたが、紫外線光源部の前方に配されてもよいし、幅方向に並べて配されてもよい。
【0030】
５．マウント部
第１マウント部３４、第２マウント部３６及びガイドマウント部３１６は、同じ構成であってもよいし、別の構成であってもよい。同じ構成の場合、部品の共通化を図ることができる。
前後の第２マウント部３６の内、後側の第２マウント部３６に第２ピンホール体４６を設けていたが、前側の第２マウント部３６に第２ピンホール体４６を設けてもよいし、前後の第２マウント部３６のそれぞれに第２ピンホール体４６及び第３ピンホール体を設けてよい。第３ピンホール体を設ける場合、第３ピンホール体の第３貫通孔は、第２貫通孔と同じ形状であって第２貫通孔よりも小さいことが好ましい。
実施形態では、第１マウント部３４に第１光学部材（３３，４３）を収容し、第２マウント部３６に第２光学部材（４６）を収容していたが、例えば、光源側ベース３２に第１マウント部３４を設けない場合や第１マウント部３４内に第１光学部材（３３，４３）を収容しない場合、出射口側ベース３７に設けられ且つ紫外線光源部３０に近い側のマウント部３６を第１マウント部とし、当該マウント部に収容される光学部材を第１光学部材としてもよい。
第１マウント部３４、第２マウント部３６及びガイドマウント部３１６は、同じ構成であってもよいし、別の構成であってもよい。同じ構成の場合、部品の共通化を図ることができる。
前後の第２マウント部３６の内、後側の第２マウント部３６に第２ピンホール体４６を設けていたが、前側の第２マウント部３６に第２ピンホール体４６を設けてもよいし、前後の第２マウント部３６のそれぞれに第２ピンホール体４６及び第３ピンホール体を設けてよい。第３ピンホール体を設ける場合、第３ピンホール体の第３貫通孔は、第２貫通孔と同じ形状であって第２貫通孔よりも小さいことが好ましい。
実施形態では、第１マウント部３４に第１光学部材（３３，４３）を収容し、第２マウント部３６に第２光学部材（４６）を収容していたが、例えば、光源側ベース３２に第１マウント部３４を設けない場合や第１マウント部３４内に第１光学部材（３３，４３）を収容しない場合、出射口側ベース３７に設けられ且つ紫外線光源部３０に近い側のマウント部３６を第１マウント部とし、当該マウント部に収容される光学部材を第１光学部材としてもよい。
【符号の説明】
【0031】
１ 照射装置（紫外線照射装置）
３ 照射ユニット
３０ 紫外線光源部
３１ ガイド光光源部
３２ 光源側ベース
３３ コリメートレンズ
３４ 第１マウント部
３６ 第２マウント部
３７ 出射口側ベース
４３ 第１ピンホール体
４６ 第２ピンホール体
３ 照射ユニット
３０ 紫外線光源部
３１ ガイド光光源部
３２ 光源側ベース
３３ コリメートレンズ
３４ 第１マウント部
３６ 第２マウント部
３７ 出射口側ベース
４３ 第１ピンホール体
４６ 第２ピンホール体
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】