特許 7632361 センサ検査装置およびセンサ検査方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2025-02-10

(45)【発行日】2025-02-19

(54)【発明の名称】センサ検査装置およびセンサ検査方法

(51)【国際特許分類】

   G01N 3/20 20060101AFI20250212BHJP

   H10N 30/30 20230101ALI20250212BHJP

   H10N 30/857 20230101ALI20250212BHJP

   H02N 2/18 20060101ALI20250212BHJP

   G01N 5/02 20060101ALN20250212BHJP

【ＦＩ】

G01N3/20

H10N30/30

H10N30/857

H02N2/18

G01N5/02 A

【請求項の数】 18

(21)【出願番号】P 2022045212

(22)【出願日】2022-03-22

(65)【公開番号】P2023016681

(43)【公開日】2023-02-02

【審査請求日】2023-10-13

(31)【優先権主張番号】P 2021120093

(32)【優先日】2021-07-21

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000006231

【氏名又は名称】株式会社村田製作所

(74)【代理人】

【識別番号】110000970

【氏名又は名称】弁理士法人 楓国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】宮本 昌幸

(72)【発明者】

【氏名】林 信行

(72)【発明者】

【氏名】田中 俊行

(72)【発明者】

【氏名】大西 克己

【審査官】前田 敏行

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１７－０４１５０１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０５－０３１６９３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１５－１１８０３２（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１５／０４１１９８（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｎ ３／２０

Ｈ１０Ｎ ３０／３０

Ｈ１０Ｎ ３０／８５７

Ｈ０２Ｎ ２／１８

Ｇ０１Ｎ ５／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

天面が開口している筐体と、
前記筐体の開口面を塞ぎ、平膜状のセンサが載置されたときに、前記センサを吸着する吸着部材であって、前記吸着または押圧により歪まない剛体部分と、歪む弾性体部分と、に渡って前記センサを設置する吸着部材と、
前記吸着部材の前記弾性体部分を撓ませる撓み機構と、
前記筐体の外部に位置し、前記吸着部材の前記弾性体部分が撓むことによって撓む前記センサの出力を測定する測定部と、
前記センサの出力端子に前記測定部を電気的に接続する接続部と、
を備え、
前記筐体内および前記剛体部分内に前記接続部が位置する、
センサ検査装置。

【請求項2】

前記センサの長手方向一端部は前記剛体部分に設置され、他端部は前記弾性体部分に設置される、
請求項１に記載のセンサ検査装置。

【請求項3】

前記撓み機構は、前記吸着部材の表面のうち、前記センサが吸着されている第１領域以外の第２領域を押圧し、
前記第２領域の位置は、前記センサが曲げセンサである場合に該センサの中心軸上であり、前記センサがねじりセンサである場合に該センサの側方である
請求項１または請求項２に記載のセンサ検査装置。

【請求項4】

前記吸着部材は、平面視して前記センサの外周に吸着孔を有し、
前記センサを覆うカバーフィルムを吸着する、
請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載のセンサ検査装置。

【請求項5】

天面が開口している筐体と、
前記筐体の開口面を塞ぎ、平膜状のセンサが載置されたときに、前記センサを吸着する吸着部材と、
前記吸着部材を撓ませる撓み機構と、
前記筐体の外部に位置し、前記吸着部材が撓むことによって撓む前記センサの出力を測定する測定部と、
前記センサが前記吸着部材上に載置されたときに、前記センサを覆う弾性体フィルムを含むカバーフィルムと、
を備え、
前記吸着部材は、平面視して前記センサの外周に吸着孔を有し、
前記センサが前記吸着部材上に載置されたときに、前記吸着部材は、前記吸着孔を介して前記弾性体フィルムを吸着する、
センサ検査装置。

【請求項6】

カバーフィルムは、弾性体フィルムと剛体フィルムとを含む、
請求項４または請求項５に記載のセンサ検査装置。

【請求項7】

断面視して前記剛体フィルムと前記センサの間に空間がある、
請求項６に記載のセンサ検査装置。

【請求項8】

前記吸着孔は、平面視して前記センサに重なり前記センサを吸着する第１吸着孔と、平面視して前記空間に重なる第２吸着孔と、を有する、
請求項７に記載のセンサ検査装置。

【請求項9】

１以上の弾性体パットを、さらに備え、
前記１以上の弾性体パットのそれぞれは、第１吸引孔を有し、
前記第１吸引孔は、前記第１吸着孔または前記第２吸着孔に接続される、
請求項８に記載のセンサ検査装置。

【請求項10】

前記第１吸引孔は、前記第１吸着孔に接続される、
請求項９に記載のセンサ検査装置。

【請求項11】

前記第１吸引孔は、前記第２吸着孔に接続される、
請求項９に記載のセンサ検査装置。

【請求項12】

１以上の吸引ポンプを、さらに備え、
前記１以上の吸引ポンプのそれぞれは、第２吸引孔を有し、
前記第２吸引孔は、前記第１吸引孔に接続される、
請求項９乃至請求項１１のいずれか１項に記載のセンサ検査装置。

【請求項13】

前記１以上の弾性体パットのそれぞれは、前記筐体にシール固定されている、
請求項９乃至請求項１２のいずれか１項に記載のセンサ検査装置。

【請求項14】

前記１以上の弾性体パットは、第１弾性体パットと第２弾性体パットとを含み、
前記第１弾性体パットは、第３吸引孔を有し、
前記第２弾性体パットは、第４吸引孔を有し、
前記第３吸引孔は、前記第１吸着孔に接続され、
前記第４吸引孔は、前記第２吸着孔に接続される、
請求項９に記載のセンサ検査装置。

【請求項15】

第１吸引ポンプと第２吸引ポンプとを、さらに備え、
前記第１吸引ポンプは、第５吸引孔を有し、
前記第２吸引ポンプは、第６吸引孔を有し、
前記第５吸引孔は、前記第３吸引孔に接続され、
前記第６吸引孔は、前記第４吸引孔に接続される、
請求項１４に記載のセンサ検査装置。

【請求項16】

前記第１弾性体パットおよび前記第２弾性体パットのそれぞれは、前記筐体にシール固定されている、
請求項１４または請求項１５に記載のセンサ検査装置。

【請求項17】

センサを吸着部材に吸着し、前記吸着または押圧により前記吸着部材が歪まない剛体部分と、前記吸着部材が歪む弾性体部分と、に渡って前記センサを前記吸着部材に設置する吸着工程と、
前記吸着部材の前記弾性体部分を撓ませる撓み工程と、
前記吸着部材の前記弾性体部分が撓むことによって撓む前記センサの出力を測定する測定工程と、
を備えたセンサ検査方法。

【請求項18】

センサを吸着部材に吸着する吸着工程と、
前記吸着部材を撓ませる撓み工程と、
前記吸着部材が撓むことによって撓む前記センサの出力を測定する測定工程と、
を備え、
前記吸着部材は、平面視して前記センサの外周に吸着孔を有し、
前記センサを覆うカバーフィルムを吸着する、
センサ検査方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、センサの出力を検査するセンサ検査装置およびセンサ検査方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、センサの出力を検査するセンサ検査方法が各種提案されている。センサは、製造された後、電子機器に搭載される前に、適正な出力を行うかどうか検査する必要がある。例えば特許文献１には、ポリマー圧電体フィルム（以下、圧電体フィルムと称する。）の両面に第１電極と第２電極を設けた板状のセンサと、そのセンサの検査方法とが開示されている。

【0003】

特許文献１の検査方法では、センサの下面の両端が固定され、センサの上面の中心が押圧される。これにより、圧電体フィルムが厚み方向に撓み、圧電体フィルムの第１電極と第２電極とに電荷が生じる。このセンサは、圧電体フィルムの第１電極と第２電極との間に生じる電圧を検出することで、押圧されたことや押圧量を検出する。

【0004】

特許文献１の検査方法は、このセンサが出力する電圧を検出することで、適正な出力を行うかどうか検査できる。

【0005】

特許文献２には、センサを吸着部材の表面に吸着させて、吸着部材の表面のうち、センサが吸着されている第１領域以外の第２領域を押圧することで、センサを傷付けずに出力を検査できるセンサ検査方法が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【文献】特開平５－１０２４５８号

【文献】特開２０１７－０４１５０１号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

検査時にセンサの出力をより向上させることが望まれている。

【0008】

本発明は、センサの出力を向上させたセンサ検査装置およびセンサ検査方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

センサ検査装置は、センサを吸着し、前記吸着または押圧により歪まない剛体部分と、歪む弾性体部分と、に渡って前記センサを設置する吸着部材と、前記吸着部材の前記弾性体部分を撓ませる撓み機構と、前記吸着部材の前記弾性体部分が撓むことによって撓む前記センサの出力を測定する測定部と、を備える。

【0010】

センサは、吸着部材のうち歪まない剛体部分と歪む弾性体部分とに渡って配置されているため、吸着部材が厚み方向に撓むと、剛体部分を支点として、弾性体部分の一方面（表主面）の全てが伸張される。したがって、センサ検査装置は、センサの出力を最大化して測定することができる。

【発明の効果】

【0011】

本発明のセンサ検査方法およびセンサ検査装置は、センサの出力を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】第１の実施形態の検査方法で検査される圧電センサ１００の平面図である。

【図2】図１に示すＡ－Ａ線の断面図である。

【図3】図３（Ａ）は、図１に示す圧電センサ１００のセンサ部１６に備えられる圧電フィルム３１の平面図の一例である。図３（Ｂ）は、図１に示す圧電センサ１００のセンサ部１６に備えられる圧電フィルム３１の平面図の一例である。

【図4】第１の実施形態の検査方法で用いられるセンサ検査装置１５の平面図である。

【図5】図４に示すＢ－Ｂ線の断面図である。

【図6】図４に示す吸着板１５０の一部を押圧している様子を示すＢ－Ｂ線の断面図である。

【図7】図７（Ａ）は、圧電センサ１００が曲げセンサである場合のセンサ検査装置１５の斜視図であり、図７（Ｂ）は、平面図である。

【図8】図８（Ａ）は、圧電センサ１００が捻りセンサである場合のセンサ検査装置１５の斜視図であり、図８（Ｂ）は、平面図である。

【図9】図９（Ａ）は、カバーフィルム７０の透過斜視図であり、図９（Ｂ）は、カバーフィルム７０の平面図であり、図９（Ｃ）は図９（Ｂ）に示すＡ－Ａ線の断面図である。

【図10】カバーフィルム７０を取り付ける場合のセンサ検査装置１５の平面図である。

【図11】図１１（Ａ）は、図１０に示すＡ－Ａ線の断面図であり、図１１（Ｂ）は、図１０に示すＢ－Ｂ線の断面図である。

【図12】第１の実施形態に係るセンサ検査方法のフローチャートである。

【図13】弾性体フィルム７１からなるカバーフィルム７０を用いる場合の一部断面図である。

【図14】カバーフィルム７０を上下逆に用いる場合の一部断面図である。

【図15】第１の変形例に係るセンサ検査装置１５ａの平面図である。

【図16】図１５に示すＢ－Ｂ線の断面図である。

【図17】吸引ポンプ１５９が、複数の吸着孔１５１から弾性体パット１３０の内部を減圧し、センサ部１６を吸着している様子を示すＢ－Ｂ線の断面図である。

【図18】図１５に示す吸着板１５０の一部を押圧している様子を示すＢ－Ｂ線の断面図である。

【図19】カバーフィルム７０を取り付ける場合のセンサ検査装置１５ａの平面図である。

【図20】図１９に示すＢ－Ｂ線の断面図である。

【図21】吸引ポンプ１５９が、複数の吸着孔１５１から弾性体パット１３０の内部を減圧し、センサ部１６を吸着している様子を示すＢ－Ｂ線の断面図である。

【図22】カバーフィルム７０を取り付ける場合のセンサ検査装置１５ｂの平面図である。

【図23】図２２に示すＢ－Ｂ線の断面図である。

【図24】カバーフィルム７０を取り付ける場合のセンサ検査装置１５ｃの平面図である。

【図25】図２４に示すＢ－Ｂ線の断面図である。

【図26】カバーフィルム７０を取り付ける場合のセンサ検査装置１５ｄの平面図である。

【図27】図２６に示すＢ－Ｂ線の断面図である。

【図28】第５の変形例に係るセンサ検査装置１５ｅの平面図である。

【図29】図２８に示すＢ－Ｂ線の断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

［第１の実施形態］
以下、本発明の第１の実施形態の検査方法について説明する。まず、本実施形態の検査方法で検査される圧電センサについて説明する。

【0014】

図１は、第１の実施形態の検査方法で検査される圧電センサ１００の平面図である。図２は、図１に示すＡ－Ａ線の断面図である。図３（Ａ）は、図１に示す圧電センサ１００のセンサ部１６に備えられる圧電フィルム３１の平面図の一例である。図３（Ｂ）は、図１に示す圧電センサ１００のセンサ部１６に備えられる圧電フィルム３１の平面図の一例である。

【0015】

図１に示すように、圧電センサ１００は、センサ部１６と、部品実装部３８と、回路部品３９と、を備えている。部品実装部３８は、フレキシブルプリント基板３０の一部である。フレキシブルプリント基板３０は、図１、図２に示すように、基板部３６及び基板部３７と部品実装部３８とからなる。フレキシブルプリント基板３０の材料は、ポリイミド等の樹脂である。

【0016】

部品実装部３８の表主面には、導体パターンである、第１端子３２及び第２端子３３が形成されている。さらに、部品実装部３８の表主面には、回路部品３９及び出力端子３９０が実装されている。

【0017】

図１、図２に示すように、第１端子３２の第１の端は、第１検出電極３４に接続されている。一方、第１端子３２の第２の端は、回路部品３９に接続されている。そして、第２端子３３の第１の端は、第２検出電極３５に接続されている。一方、第２端子３３の第２の端は、回路部品３９に接続されている。

【0018】

したがって、回路部品３９は、図１、図２に示すように、第１端子３２及び第２端子３３を介して第１検出電極３４と第２検出電極３５とに接続されている。また、回路部品３９は、出力端子３９０に接続されている。

【0019】

次に、センサ部１６は、図２に示すように、圧電フィルム３１、粘着剤層９１、粘着剤層９２、第１検出電極３４、第２検出電極３５、基板部３６、及び基板部３７を備える。

【0020】

図２に示すように、第１検出電極３４、第２検出電極３５、圧電フィルム３１、基板部３６、及び基板部３７は、それぞれ平板状で厚み方向に対向する表主面および裏主面を備える。なお、図２中の上側面を表主面、下側面を裏主面と称する。

【0021】

図２に示すように、基板部３７、第２検出電極３５、粘着剤層９１、圧電フィルム３１、粘着剤層９２、第１検出電極３４、及び基板部３６は、この順に表主面側から裏主面側にかけて積層されている。

【0022】

具体的には、圧電フィルム３１の表主面に第２検出電極３５が粘着剤層９１を介して積層され、第２検出電極３５の表主面にさらに基板部３７が積層されている。また、圧電フィルム３１の裏主面に第１検出電極３４が粘着剤層９２を介して積層され、第１検出電極３４の裏主面にさらに基板部３６が積層されている。

【0023】

なお、第２検出電極３５、第１検出電極３４、圧電フィルム３１、基板部３７、および基板部３６は、それぞれの平面視した外形状が概略長方形状である。基板部３７および基板部３６の外形状は、圧電フィルム３１の外形状より若干大きい。

【0024】

基板部３７の裏主面には、第２検出電極３５が形成されており、基板部３６の表主面には、第１検出電極３４が形成されている。そして、図２に示すように、第１検出電極３４の表主面には、圧電フィルム３１が粘着剤層９２によって貼付されている。また、第２検出電極３５の裏主面には、圧電フィルム３１が粘着剤層９１によって貼付されている。

【0025】

なお、粘着剤層９１及び粘着剤層９２は、例えばアクリル系粘着剤で構成される。

【0026】

次に、圧電フィルム３１の構成について詳述する。

【0027】

圧電センサ１００を曲げセンサとして用いる場合、図３（Ａ）に示すように、圧電フィルム３１は、長辺および短辺に対して約４５°を成す方向１９へ分子配向している。圧電センサ１００を捻りセンサとして用いる場合、図３（Ｂ）に示すように、圧電フィルム３１は、長辺または短辺に平行な方向１９１へ分子配向している。圧電フィルム３１は、ポリ乳酸等のキラル高分子を主材料とするフィルムである。ポリ乳酸は、Ｌ型ポリ乳酸（ＰＬＬＡ）またはＤ型ポリ乳酸（ＰＤＬＡ）のどちらでもよい。

【0028】

ポリ乳酸は、主鎖が螺旋構造を有するキラル高分子であり、所定の軸方向に配向させることで圧電性を発現する性質を有している。この圧電性は、フィルムの厚み方向を第１軸とし、ポリ乳酸の分子が配向する方向を第３軸として圧電テンソル成分ｄ１４で表わされる。

【0029】

圧電フィルム３１は、長辺および短辺に対して交差する方向にポリ乳酸の分子が配向する方向を配置すれば、長辺または短辺の方向の伸縮により分極が生じる。例えば図３（Ａ）では長辺および短辺に対する約４５°方向を、ポリ乳酸の分子が配向する方向とすることで、長辺または短辺の方向の伸縮により分極が生じ、圧電センサ１００を曲げた場合に出力が現れる。

【0030】

圧電フィルム３１は、長辺および短辺にポリ乳酸の分子が配向する方向が一致する様に配置すれば、長辺または短辺に対して交差する方向の伸縮により分極が生じる。例えば図３（Ｂ）では長辺に対する約０°方向を、ポリ乳酸の分子が配向する方向とすることで、長辺または短辺に交差する方向の伸縮により分極が生じ、圧電センサ１００を捻った場合に出力が現れる。

【0031】

ただし、圧電フィルム３１における方向１９の角度は、長辺および短辺に対して正確な４５°や０°に限られることなく、４５°または０°に近い任意の角度とすることができる。方向１９の角度が、長辺および短辺に対して４５°または０°に近い角度であるほど、曲げまたは捻りの力を効率的に検出することができる。

【0032】

したがって、本発明でいう略４５°とは、例えば４５°±１０°程度の４５°を中心とする所定範囲の角度をいう。略０°とは、例えば０°±１０°程度の０°を中心とする所定範囲の角度をいう。これらの具体的な角度は、変位センサの用途や各部の特性などに基づいて全体の設計に応じて適宜決定するとよい。

【0033】

なお、圧電フィルム３１は、ポリフッ化ビニルデン（ＰＶＤＦ）を主材料とするフィルムであってもよい。ただし、ＰＬＬＡやＰＤＬＡのようなキラル高分子を主材料とする圧電フィルム３１の圧電性は、ＰＶＤＦやＰＺＴ等の強誘電体のようにイオンの分極によって発現するものではなく、分子の特徴的な構造である螺旋構造に由来するものである。

【0034】

したがって、キラル高分子は、ＰＶＤＦ等の他のポリマーや、圧電結晶薄膜を用いた圧電セラミックスのように、ポーリング処理によって圧電性を発現させる必要がなく、また、ＰＶＤＦ等は経時的に圧電定数の変動が見られ、場合によっては圧電定数が著しく低下する場合があるが、キラル高分子の圧電定数は経時的に極めて安定している。

【0035】

さらには、キラル高分子は、他の強誘電性の圧電体で生じる焦電性が生じることがない。したがって、キラル高分子を主材料とする圧電フィルム３１は、曲げまたは捻りの検出時に検出位置の温度に依存することなく曲げまたは捻りの力のみに応じた検出電圧を得ることができる。

【0036】

また、キラル高分子はポリマーであり、柔軟性を有するので、圧電セラミックスのように、大きな変位で破損することがない。したがって、キラル高分子を主材料とする圧電フィルム３１は、変位量が大きくても破損することがなく、確実に変位量を検出することができる。

【0037】

以上の圧電センサ１００は、製造された後、電子機器に搭載される前に例えば、押圧されたときに適正な電圧を出力するかどうか（すなわち良品か不良品か）検査する必要がある。ここで、圧電センサ１００が押圧されたときに適正な電圧を出力した場合、その圧電センサ１００は良品と判定できる。

【0038】

以下、圧電センサ１００の検査方法について説明する。圧電センサ１００の検査方法はセンサ検査装置１５を用いる。

【0039】

図４は、第１の実施形態の検査方法で用いられるセンサ検査装置１５の平面図である。図５は、図４に示すＢ－Ｂ線の断面図である。

【0040】

図４、図５に示すように、圧電センサ１００のセンサ部１６は、センサ検査装置１５にセットされる。具体的には、圧電センサ１００のセンサ部１６は、吸着板１５０上に載置され、圧電センサ１００の出力端子３９０は、センサ検査装置１５の測定部１５８に接続される。

【0041】

センサ検査装置１５は、図４、図５に示すように、ピエゾアクチュエータ１２０と、吸着板１５０と、筐体１５２と、吸引ポンプ１５９と、測定部１５８と、を備える。吸着板１５０は、本発明の吸着部材の一例である。ピエゾアクチュエータ１２０は、本発明の撓み機構の一例である。

【0042】

筐体１５２は、天面が開口する直方体形状からなる。筐体１５２には、図４、図５に示すように、筐体１５２の開口面を塞ぐよう吸着板１５０が載置されている。筐体１５２の材料は、例えばアルミニウムである。

【0043】

吸着板１５０は、複数の吸着孔１５１を有する。吸着板１５０の材料は、例えばＳＵＳ（ステンレススチール）である。吸着板１５０は、筐体１５２とともに真空室１５５を形成する。筐体１５２の側面には通気孔（不図示）が設けられている。真空室１５５は通気孔を介して吸引ポンプ１５９の吸引孔に接続する。

【0044】

次に、センサ検査装置１５は、圧電センサ１００のセンサ部１６が複数の吸着孔１５１を塞ぐよう載置された状態で吸引ポンプ１５９を駆動する。この結果、真空室１５５が吸引ポンプ１５９により減圧する。これにより、センサ部１６が複数の吸着孔１５１に吸引され、吸着板１５０に吸着される。このとき、センサ部１６は、仮に厚み方向に反っていても、吸着板１５０に吸着されるため、平らな形状となる。

【0045】

図６は、図４に示す吸着板１５０の一部を押圧している様子を示すＢ－Ｂ線の断面図である。なお、図６では、センサ部１６及び吸着板１５０が撓む様子を説明するため、これらの撓みを強調して示している。

【0046】

センサ検査装置１５は、図６に示すように、吸着板１５０の表面のうちセンサ部１６が吸着されている第１領域以外の第２領域を、ピエゾアクチュエータ１２０の先端部１２１で押圧する。これにより、吸着板１５０は、厚み方向に撓む。吸着板１５０は、伸縮しない（応力の発生しない）中立面８０を境に、収縮する部分と伸張する部分が生じる。なお、ピエゾアクチュエータ１２０の先端部１２１は、振動させてもよい。この場合、吸着板１５０は、厚み方向に振動する。

【0047】

ここで、吸着板１５０が厚み方向に撓むと、センサ部１６も厚み方向に撓む。すなわち、第１検出電極３４と第２検出電極３５との間に、押圧力の大きさ（圧電フィルム３１の伸長量）に応じた電圧値の検出電圧が、押圧力の方向に応じた電圧極性で生じる。この検出電圧は、押圧検出信号として第１端子３２及び第２端子３３を介して回路部品３９へ入力する（図１参照）。センサ検査装置１５の測定部１５８は、回路部品３９の出力端子３９０から検出電圧を測定する。

【0048】

なお、そのため、本実施形態の検査方法は、センサ部１６を押圧しなくても、センサ部１６の出力を測定できる。したがって、本実施形態の検査方法は、圧電センサ１００を傷付けずに出力を検査できる。

【0049】

また、センサ部１６は、厚み方向に反っていても、吸着板１５０に吸着されるため、平らな形状となる。そのため、本実施形態の検査方法は、センサ部１６の個体差によらず、センサ部１６の出力を測定できる。

【0050】

そして、センサ部１６は、吸着または押圧によりセンサ部１６が歪まない剛体部分６０と、センサ部１６が歪む弾性体部分６１と、に渡って吸着部材である吸着板１５０に配置されている。つまり、センサ部１６は、長辺方向の端部を支点として片持ち支持される。

【0051】

仮に、センサ部１６が平面視して全て弾性体部分６１に重なって配置されていると、吸着板１５０を押圧した際に、圧電フィルム３１が伸張する部分および収縮する部分が存在するため、出力が小さくなる。しかし、本実施形態のセンサ部１６の圧電フィルム３１は、吸着板１５０が押圧されて厚み方向に撓むと、剛体部分６０を支点として、弾性体部分６１の一方面（表主面）の全てが伸張される。図６に示す様に、吸着板１５０のうちセンサ部１６を吸着している一方面（表主面）は、応力の中立面８０よりもＺ方向側であり、全てが伸張される。したがって、圧電フィルム３１も一方面に伸張される。これにより、センサ検査装置１５は、センサ部１６の出力を最大化して測定することができる。

【0052】

なお、図５、６の例では、吸着板１５０のうち平面視して筐体１５２に接して重なる部分が剛体部分６０であり、筐体１５２に接していない部分が弾性体部分６１となっているが、吸着板１５０の一部に高い強度を持たせることで筐体１５２に接していない部分を剛体部分６０とすることもできる。

【0053】

上述した様に、圧電センサ１００は、長辺方向に沿った伸縮により分極する曲げセンサとして用いることもできるし、長辺方向または短辺方向に交差する方向の伸縮により分極する捻りセンサとして用いることもできる。本実施形態のセンサ検査装置１５は、圧電センサ１００が曲げセンサである場合でも捻りセンサである場合でも出力を測定することができる。

【0054】

図７（Ａ）は、圧電センサ１００が曲げセンサである場合のセンサ検査装置１５の斜視図であり、図７（Ｂ）は、平面図である。圧電センサ１００が曲げセンサである場合、ピエゾアクチュエータ１２０は、弾性体部分６１のうちセンサ部１６の中心軸上を押圧する。ピエゾアクチュエータ１２０が弾性体部分６１のうちセンサ部１６の中心軸上を押圧すると、センサ部１６の長辺方向に沿った方向の伸張量が大きくなる。したがって、曲げセンサである圧電センサ１００の出力を大きくすることができる。

【0055】

一方、図８（Ａ）は、圧電センサ１００が捻りセンサである場合のセンサ検査装置１５の斜視図であり、図８（Ｂ）は、平面図である。圧電センサ１００が捻りセンサである場合、ピエゾアクチュエータ１２０は、弾性体部分６１のうちセンサ部１６の中心軸上から外れた、センサ部１６の側方を押圧する。ピエゾアクチュエータ１２０が弾性体部分６１のうちセンサ部１６の中心軸上から外れた、センサ部１６の側方を押圧すると、センサ部１６の長辺および短辺に交差する方向の伸張量が大きくなる。したがって、捻りセンサである圧電センサ１００の出力を大きくすることができる。

【0056】

この様に、本実施形態のセンサ検査装置１５は、圧電センサ１００のモード（曲げセンサであるか捻りセンサであるか）に応じて、最適な押圧位置でセンサ部１６の出力を最大化して測定することができる。

【0057】

次に、カバーフィルム７０を用いる場合のセンサ検査装置１５について説明する。図９（Ａ）は、カバーフィルム７０の透過斜視図であり、図９（Ｂ）は、カバーフィルム７０の平面図であり、図９（Ｃ）は図９（Ｂ）に示すＡ－Ａ線の断面図である。図１０は、カバーフィルム７０を取り付ける場合のセンサ検査装置１５の平面図である。図１１（Ａ）は、図１０に示すＡ－Ａ線の断面図である。図１１（Ｂ）は、図１０に示すＢ－Ｂ線の断面図である。図１２は、第１の実施形態に係るセンサ検査方法のフローチャートである。

【0058】

この例に係るセンサ検査装置１５は、さらに吸引ポンプ１５９Ａを備える。筐体１５２は、それぞれ独立した真空室１５５および真空室１５５Ａを形成する。吸引ポンプ１５９は、平面視してセンサ部１６を載置する位置に重なる真空室１５５を減圧する。吸引ポンプ１５９Ａは、センサ部１６を載置する位置の外周に重なる真空室１５５Ａを減圧する。

【0059】

カバーフィルム７０は、弾性体フィルム７１と剛体フィルム７２とを有する。剛体フィルム７２は、平面視して天面および底面が開口する直方体形状からなる。剛体フィルム７２には、天面の開口を塞ぐよう平板状の弾性体フィルム７１が貼り付けられている。弾性体フィルム７１の平面視した面積と剛体フィルム７２を平面視した面積は略同一である。カバーフィルム７０は、剛体フィルム７２の開口部に相当する空間が形成される。

【0060】

弾性体フィルム７１および剛体フィルム７２は、同一の素材（例えばＰＥＴ：ポリエチレンテレフタラート）であってもよいし、それぞれ異なる素材であってもよい。

【0061】

カバーフィルム７０は、圧電センサ１００の検査時に、当該空間内にセンサ部１６を収納して覆う様にセンサ部１６に被せられる。図１２に示す様に、検査時には、まず圧電センサ１００のセンサ部１６が吸着板１５０上に載置され、圧電センサ１００の出力端子３９０は、センサ検査装置１５の測定部１５８に接続される（Ｓ１１）。

【0062】

次に、吸引ポンプ１５９は、複数の吸着孔１５１から真空室１５５を減圧し、センサ部１６を吸着する（Ｓ１２）。これにより、センサ部１６が吸着板１５０に吸着され、仮固定される。

【0063】

そして、作業者は、カバーフィルム７０をセンサ部１６に被せる様にして吸着板１５０の上面に載置する（Ｓ１３）。カバーフィルム７０は、剛体フィルム７２により形状が固定されているため、作業者はカバーフィルム７０をセンサ部１６に被せる様に、カバーフィルム７０の位置を容易に合わせることができる。

【0064】

次に、吸引ポンプ１５９Ａは、真空室１５５Ａを減圧し、カバーフィルム７０を吸着する（Ｓ１４）。そして、センサ検査装置１５は、ピエゾアクチュエータ１２０で吸着板１５０の上面の弾性体部分６１を押圧し（Ｓ１５）、測定を行う（Ｓ１６）。

【0065】

カバーフィルム７０は、吸着板１５０に接して、平面視してカバーフィルム７０の外周に配置される剛体フィルム７２と、剛体フィルム７２の上面を覆う弾性体フィルム７１と、からなる。そのため、カバーフィルム７０をセンサ部１６に被せると、図１１（Ｂ）に示す様に、断面視して剛体フィルム７２とセンサ部１６との間には空間７５が生じる。空間７５は、吸着孔１５１Ａを介して真空室１５５Ａに連通する。

【0066】

吸着孔は、平面視してセンサ部１６に重なりセンサ部１６を吸着する吸着孔１５１と、平面視して空間７５に重なる吸着孔１５１Ａとを有する。そのため、吸引ポンプ１５９Ａが真空室１５５Ａを減圧すると空間７５も減圧される。これにより、センサ検査装置１５は、カバーフィルム７０を吸着板１５０に吸着することができる。

【0067】

仮に、センサ部１６に局所的に大きい反りが存在すると、吸着孔１５１だけではセンサ部１６を吸着板１５０に対して均一に吸着できない可能性がある。しかし、カバーフィルム７０の弾性体フィルム７１は、平面視してセンサ部１６に重なっていてセンサ部１６を均一に覆うため、空間７５の減圧によりセンサ部１６の上面全体が吸着板１５０に押しつけられる。したがって、センサ部１６は、吸着板１５０の上面に均一に保持される。よって、センサ検査装置１５は、正確な測定を行うことができる。また、カバーフィルム７０は、弾性体フィルム７１および剛体フィルム７２からなり、剛体フィルム７２により形状を保持しているため、センサ部１６をより均一に押しつけることができる。

【0068】

ただし、カバーフィルム７０が剛体フィルム７２を含むことは必須ではない。図１３は、弾性体フィルム７１からなるカバーフィルム７０を用いる場合の一部断面図である。この場合も、断面視して弾性体フィルム７１とセンサ部１６との間には空間７５が生じる。そのため、吸引ポンプ１５９Ａが真空室１５５Ａを減圧すると空間７５も減圧される。よって、図１３に示す様に、剛体フィルム７２が無い場合でも、センサ検査装置１５は、センサ部１６を吸着板１５０に均一に押しつけることができる。

【0069】

また、図１４に示す様に、カバーフィルム７０を上下逆に用いる場合でも、センサ検査装置１５は、センサ部１６を吸着板１５０に均一に押しつけることができる。図１４は、カバーフィルム７０を上下逆に用いる場合の一部断面図である。この場合も、断面視して弾性体フィルム７１とセンサ部１６との間には空間７５が生じる。そのため、吸引ポンプ１５９Ａが真空室１５５Ａを減圧すると空間７５も減圧される。よって、図１４に示す様に、カバーフィルム７０を上下逆にした場合でも、センサ検査装置１５は、センサ部１６を吸着板１５０に均一に押しつけることができる。また、カバーフィルム７０を上下逆にした場合でも、カバーフィルム７０は、剛体フィルム７２により形状が固定されているため、作業者はカバーフィルム７０をセンサ部１６に被せる様に、カバーフィルム７０の位置を容易に合わせることができる。

【0070】

なお、図１０～図１４に示したセンサ検査装置１５でも、図４および図５に示した様に、センサ部１６の一部は、剛体部分６０と、弾性体部分６１と、に渡って吸着板１５０に配置されてもよい。

【0071】

［第１の変形例］
以下、本発明の第１の変形例に係るセンサ検査装置１５ａについて説明する。なお、第１の変形例に係るセンサ検査装置１５ａについては、第１の実施形態に係るセンサ検査装置１５と異なる部分のみ説明し、後は省略する。なお、吸着孔１５１は、本発明の第１吸着孔の一例である。また、吸着孔１５１Ａは、本発明の第２吸着孔の一例である。

【0072】

図１５は、第１の変形例に係るセンサ検査装置１５ａの平面図である。図１６は、図１５に示すＢ－Ｂ線の断面図である。図１７は、吸引ポンプ１５９が、複数の吸着孔１５１から弾性体パット１３０の内部を減圧し、センサ部１６を吸着している様子を示すＢ－Ｂ線の断面図である。

【0073】

センサ検査装置１５ａは、弾性体パット１３０をさらに備えている点において、センサ検査装置１５と相違する。なお、本変形例では、弾性体パット１３０は、１つである。なお、本変形例では、吸引ポンプ１５９の吸引孔は、本発明の第２吸引孔の一例である。

【0074】

弾性体パット１３０は、図１５に示すように、平面視して、複数の吸着孔１５１と重なる。また、弾性体パット１３０は、図１６に示すように、吸着板１５０の下面に取り付けられる。すなわち、弾性体パット１３０は、真空室１５５に設けられる。弾性体パット１３０は、弾性部材である。したがって、弾性体パット１３０は、弾性変形する。

【0075】

弾性体パット１３０は、図１６に示すように、吸引孔１３１を有する。なお、本変形例では、吸引孔１３１は、本発明の第１吸引孔の一例である。吸引孔１３１は、複数の吸着孔１５１に接続される。

【0076】

吸引孔１３１は、図１７に示すように、筐体１５２の一部（例えば、図１７に示すように、筐体１５２の底面に設けた孔）を介して吸引ポンプ１５９の吸引孔に接続される。このとき、弾性体パット１３０は、真空室１５５から独立した真空室１５５Ｂを形成する。

【0077】

次に、センサ検査装置１５ａは、圧電センサ１００のセンサ部１６が複数の吸着孔１５１を塞ぐよう載置された状態で吸引ポンプ１５９を駆動する。この結果、真空室１５５Ｂが吸引ポンプ１５９により減圧する。これにより、センサ部１６が複数の吸着孔１５１に吸引され、吸着板１５０に吸着される。このとき、センサ部１６は、仮に厚み方向に反っていても、吸着板１５０に吸着されるため、平らな形状となる。

【0078】

図１８は、図１５に示す吸着板１５０の一部を押圧している様子を示すＢ－Ｂ線の断面図である。なお、図１８では、センサ部１６、吸着板１５０および弾性体パット１３０が撓む様子を説明するため、これらの撓みを強調して示している。

【0079】

センサ検査装置１５ａは、図１８に示すように、吸着板１５０の表面のうちセンサ部１６が吸着されている第１領域以外の第２領域を、ピエゾアクチュエータ１２０の先端部１２１で押圧する。吸着板１５０が厚み方向に撓むと、センサ部１６および弾性体パット１３０も厚み方向に撓む。このとき、弾性体パット１３０は、弾性変形する。

【0080】

次に、カバーフィルム７０を用いる場合のセンサ検査装置１５ａについて説明する。図１９は、カバーフィルム７０を取り付ける場合のセンサ検査装置１５ａの平面図である。図２０は、図１９に示すＢ－Ｂ線の断面図である。図２１は、吸引ポンプ１５９が、複数の吸着孔１５１から弾性体パット１３０の内部を減圧し、センサ部１６を吸着している様子を示すＢ－Ｂ線の断面図である。

【0081】

この例に係るセンサ検査装置１５ａは、図１９に示すように、さらに吸引ポンプ１５９Ａを備える。弾性体パット１３０は、図２０に示すように、吸着板１５０の下面に取り付けられる。また、吸引孔１３１は、複数の吸着孔１５１に接続される。なお、本変形例では、吸引孔１３１は、吸着孔１５１Ａに接続されない。

【0082】

弾性体パット１３０は、独立した真空室１５５Ｂを形成する。これにより、本変形例では、筐体１５２は、図２０に示すように、真空室１５５Ａを形成していない。したがって、本変形例では、筐体１５２は、図２０に示すように、真空室１５５のみ形成する。本変形例では、図２１に示すように、筐体１５２および弾性体パット１３０が、それぞれ独立した真空室１５５および真空室１５５Ｂを形成する。

【0083】

吸引ポンプ１５９は、図２１に示すように、真空室１５５を介さずに、平面視してセンサ部１６を載置する位置に重なる真空室１５５Ｂを減圧する。吸引ポンプ１５９Ａは、真空室１５５を減圧する。吸引ポンプ１５９Ａが真空室１５５を減圧すると空間７５も減圧される。これにより、センサ検査装置１５ａは、カバーフィルム７０を吸着板１５０に吸着することができる。

【0084】

センサ検査装置１５ａによれば、センサの出力をより向上させることができる。より詳細には、弾性体パット１３０は、吸引孔１３１を有している。また、吸引孔１３１は、吸着孔１５１に接続される。また、吸引孔１３１は、吸引ポンプ１５９の吸引孔に接続される。すなわち、弾性体パット１３０は、独立した真空室１５５Ｂを形成する。これにより、筐体１５２が真空室１５５Ａを形成する必要がない。したがって、筐体１５２は、真空室１５５と真空室１５５Ａとを隔てる部分が無くてもよい。また、弾性体パット１３０は、撓みやすいため、吸着板１５０の撓みを阻害しない。これにより、吸着板１５０は、厚み方向により撓むことができる。その結果、センサ検査装置１５ａの吸着板１５０は、センサ検査装置１５の吸着板１５０よりも厚み方向により撓むことができる。その結果、センサ検査装置１５ａによれば、センサの出力をより向上させることができる。

【0085】

［第２の変形例］
以下、本発明の第２の変形例に係るセンサ検査装置１５ｂについて説明する。なお、第２の変形例に係るセンサ検査装置１５ｂについては、第１の変形例に係るセンサ検査装置１５ａと異なる部分のみ説明し、後は省略する。

【0086】

図２２は、カバーフィルム７０を取り付ける場合のセンサ検査装置１５ｂの平面図である。図２３は、図２２に示すＢ－Ｂ線の断面図である。

【0087】

センサ検査装置１５ａは、吸引孔１３１が複数の吸着孔１５１Ａに接続される点において、センサ検査装置１５と相違する。なお、本変形例では、弾性体パット１３０は、２つである。

【0088】

２つの弾性体パット１３０のそれぞれは、図２２に示すように、平面視して、複数の吸着孔１５１Ａと重なる。また、２つの弾性体パット１３０のそれぞれは、図２３に示すように、吸着板１５０の下面に取り付けられる。

【0089】

２つの弾性体パット１３０のそれぞれは、図２３に示すように、吸引孔１３１を有する。吸引孔１３１は、複数の吸着孔１５１Ａに接続される。なお、本変形例では、吸引孔１３１は、吸着孔１５１に接続されない。

【0090】

吸引孔１３１は、筐体１５２の通気孔（不図示）を介して吸引ポンプ１５９Ａ（不図示）の吸引孔に接続される。このとき、２つの弾性体パット１３０のそれぞれは、真空室１５５から独立した真空室１５５Ｂを形成する。

【0091】

吸引ポンプ１５９（不図示）は、真空室１５５を減圧する。吸引ポンプ１５９Ａ（不図示）は、真空室１５５Ａを介さずに、真空室１５５Ｂを減圧する。

【0092】

以上のようなセンサ検査装置１５ｂにおいても、センサ検査装置１５ａと同じ効果を奏する。

【0093】

［第３の変形例］
以下、本発明の第３の変形例に係るセンサ検査装置１５ｃについて説明する。なお、第３の変形例に係るセンサ検査装置１５ｃについては、第１の変形例に係るセンサ検査装置１５ａと異なる部分のみ説明し、後は省略する。

【0094】

図２４は、カバーフィルム７０を取り付ける場合のセンサ検査装置１５ｃの平面図である。図２５は、図２４に示すＢ－Ｂ線の断面図である。

【0095】

センサ検査装置１５ｂは、吸引孔１３３が複数の吸着孔１５１Ａに接続される弾性体パット１３２をさらに備えている点において、センサ検査装置１５ａと相違する。なお、本変形例では、弾性体パット１３０は、１つである。また、弾性体パット１３２は、１つである。なお、本変形例では、弾性体パット１３０は、本発明の第１弾性体パットの一例である。また、弾性体パット１３２は、本発明の第２弾性体パットの一例である。また、吸引孔１３１は、本発明の第３吸引孔の一例である。また、吸引ポンプ１５９は、本発明の第１吸引ポンプの一例である。また、吸引ポンプ１５９Ａは、本発明の第２吸引ポンプの一例である。また、吸引ポンプ１５９の吸引孔は、本発明の第５吸引孔の一例である。また、吸引ポンプ１５９Ａの吸引孔は、本発明の第６吸引孔の一例である。

【0096】

弾性体パット１３２は、図２４に示すように、平面視して、複数の吸着孔１５１Ａと重なる。また、弾性体パット１３２は、図２５に示すように、吸着板１５０の下面に取り付けられる。

【0097】

弾性体パット１３２は、図２５に示すように、吸引孔１３３を有する。吸引孔１３３は、本発明の第４吸引孔の一例である。吸引孔１３３は、複数の吸着孔１５１Ａに接続される。

【0098】

吸引孔１３１は、筐体１５２の通気孔（不図示）を介して吸引ポンプ１５９（不図示）の吸引孔に接続される。このとき、弾性体パット１３０は、真空室１５５および真空室１５５Ｃから独立した真空室１５５Ｂを形成する。また、吸引孔１３３は、筐体１５２の通気孔（不図示）を介して吸引ポンプ１５９Ａ（不図示）の吸引孔に接続される。このとき、弾性体パット１３２は、真空室１５５Ｂから独立した真空室１５５Ｃを形成する。

【0099】

吸引ポンプ１５９（不図示）は、真空室１５５を介さずに、真空室１５５Ｂを減圧する。吸引ポンプ１５９Ａ（不図示）は、真空室１５５および真空室１５５Ｃを減圧する。

【0100】

以上のようなセンサ検査装置１５ｃにおいても、センサ検査装置１５ａと同じ効果を奏する。

【0101】

［第４の変形例］
以下、本発明の第４の変形例に係るセンサ検査装置１５ｄについて説明する。なお、第４の変形例に係るセンサ検査装置１５ｄについては、第３の変形例に係るセンサ検査装置１５ｃと異なる部分のみ説明し、後は省略する。

【0102】

図２６は、カバーフィルム７０を取り付ける場合のセンサ検査装置１５ｄの平面図である。図２７は、図２６に示すＢ－Ｂ線の断面図である。

【0103】

センサ検査装置１５ｃは、吸引孔１３３が複数の吸着孔１５１Ａに接続される弾性体パット１３２を２つ備えている点において、センサ検査装置１５ｃと相違する。

【0104】

２つの弾性体パット１３２のそれぞれは、図２６に示すように、平面視して、複数の吸着孔１５１Ａと重なる。また、２つの弾性体パット１３２は、図２７に示すように、吸着板１５０の下面に取り付けられる。

【0105】

２つの弾性体パット１３２のそれぞれは、図２５に示すように、吸引孔１３３を有する。吸引孔１３３は、複数の吸着孔１５１Ａに接続される。これにより、本変形例では、全ての吸着孔１５１Ａは、吸引孔１３３に接続される。ここで、弾性体パット１３０は、真空室１５５から独立した真空室１５５Ｂを形成する。２つの弾性体パット１３２のそれぞれは、真空室１５５Ｂから独立した真空室１５５Ｃを形成する。

【0106】

吸引ポンプ１５９（不図示）は、真空室１５５を介さずに、真空室１５５Ｂを減圧する。吸引ポンプ１５９Ａ（不図示）は、真空室１５５を介さずに、真空室１５５Ｃを減圧する。

【0107】

以上のようなセンサ検査装置１５ｄにおいても、センサ検査装置１５ｃと同じ効果を奏する。

【0108】

［第５の変形例］
以下、本発明の第５の変形例に係るセンサ検査装置１５ｂについて説明する。なお、第５の変形例に係るセンサ検査装置１５ｅについては、第１の変形例に係るセンサ検査装置１５ａと異なる部分のみ説明し、後は省略する。

【0109】

図２８は、第５の変形例に係るセンサ検査装置１５ｅの平面図である。図２９は、図２８に示すＢ－Ｂ線の断面図である。

【0110】

センサ検査装置１５ｅは、弾性体パット１３０が筐体１５２にシール固定されている点において、センサ検査装置１５ａと相違する。

【0111】

本変形例では、筐体１５２の通気孔（不図示）は、筐体１５２の底面に設けられている。

【0112】

センサ検査装置１５ｅは、図２９に示すように、シール部材１３５をさらに備えている。シール部材１３５は、弾性体パット１３０を筐体１５２に固定している。シール部材１３５は、例えば、Ｏリングである。すなわち、本変形では、シール部材１３５の形状は、円筒である。その円筒の軸方向は、Ｚ軸方向である。シール部材１３５は、筐体１５２の内底面に設けられている。

【0113】

吸引孔１３１は、シール部材１３５および筐体１５２の通気孔（不図示）を介して吸引ポンプ１５９の吸引孔に接続される。

【0114】

以上のようなセンサ検査装置１５ｅにおいても、センサ検査装置１５ａと同じ効果を奏する。また、センサ検査装置１５ｅによれば、弾性体パット１３０を筐体１５２に固定することができる。また、センサ検査装置１５ｅによれば、真空室１５５Ｂを効率的に減圧することができる。より詳細には、シール部材１３５は、真空室１５５Ｂを筐体１５２に固定する。これにより、真空室１５５Ｂの密閉性を高めることができる。その結果、センサ検査装置１５ｅによれば、真空室１５５Ｂを効率的に減圧することができる。

【0115】

なお、上記実施形態および上記変形例では、圧電フィルム３１の平面形状は長方形状であるが、これに限るものではない。圧電フィルム３１の平面形状は、正方形状、円形状、台形状、平行四辺形状、四角形以上の多角形状、楕円形状、長円形状等、他の平面形状であってもよい。また、カバーフィルム７０も圧電フィルム３１の形状に合わせて、適宜調整すればよい。

【0116】

また、上記実施形態および上記変形例において吸着板１５０の材料は、ＳＵＳ（ステンレススチール）であるが、これに限るものではない。吸着板１５０の材料は、例えばガラス板でもよい。

【0117】

また、上記実施形態および上記変形例では、センサ検査装置１５は、圧電センサ１００を検査しているが、これに限るものではない。センサ検査装置１５は、その他のセンサ、例えば加速度センサなどを検査してもよい。

【0118】

また、上記実施形態および上記変形例では、押圧機構としてピエゾアクチュエータ１２０を用いているが、これに限るものではない。センサ検査装置１５は、押圧機構として、モータによって駆動する電動アクチュエータを用いてもよい。ただし、ピエゾアクチュエータ１２０は、電動アクチュエータに比べて押圧量を細かく設定することができる。ピエゾアクチュエータ１２０は、ピエゾ圧電効果によって駆動する。よって、ピエゾアクチュエータ１２０の押圧量は、ピエゾ素子に印加する電圧を変えることにより、電動アクチュエータの押圧量に比べて非常に細かく設定することができる。

【0119】

最後に、上記実施形態および上記変形例の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。例えば、センサ検査装置１５，１５ａ乃至１５ｅの構成を任意に組み合わせてもよい。また、本発明の範囲は、上記実施形態および上記変形例ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

【0120】

なお、弾性体パット１３０は、１つまたは２つに限られない。例えば、弾性体パット１３０は、複数の吸着孔１５１のそれぞれに対応して設けられてもよい。

【0121】

なお、弾性体パット１３２は、１つまたは２つに限られない。例えば、弾性体パット１３２は、複数の吸着孔１５１Ａのそれぞれに対応して設けられてもよい。

【0122】

なお、弾性体パット１３２は、筐体１５２にシール固定されていてもよい。また、弾性体パット１３０および弾性体パット１３２のそれぞれは、筐体１５２にシール固定されていてもよい。

【符号の説明】

【0123】

１５，１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄ，１５ｅ…センサ検査装置
１６…センサ部
３０…フレキシブルプリント基板
３１…圧電フィルム
３２…第１端子
３３…第２端子
３４…第１検出電極
３５…第２検出電極
３６，３７…基板部
３８…部品実装部
３９…回路部品
６０…剛体部分
６１…弾性体部分
７０…カバーフィルム
７１…弾性体フィルム
７２…剛体フィルム
７５…空間
９１，９２…粘着剤層
１００…圧電センサ
１２０…ピエゾアクチュエータ
１２１…先端部
１５０…吸着板
１５１，１５１Ａ…吸着孔
１５２…筐体
１５５，１５５Ａ…真空室
１５８…測定部
１５９，１５９Ａ…吸引ポンプ
３９０…出力端子

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】

【図25】

【図26】

【図27】

【図28】

【図29】