特許 7634357 産業用ロボットの制御装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2025-02-13

(45)【発行日】2025-02-21

(54)【発明の名称】産業用ロボットの制御装置

(51)【国際特許分類】

   B25J 19/06 20060101AFI20250214BHJP

【ＦＩ】

B25J19/06

【請求項の数】 4

(21)【出願番号】P 2020186501

(22)【出願日】2020-11-09

(65)【公開番号】P2022076197

(43)【公開日】2022-05-19

【審査請求日】2023-10-12

(73)【特許権者】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002505

【氏名又は名称】弁理士法人航栄事務所

(72)【発明者】

【氏名】向井 公久

【審査官】國武 史帆

(56)【参考文献】

【文献】特開平１１－１１３２７４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１０－０７１５９２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００４－１０９０５６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００１－２８２３０１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２５Ｊ １／００ － ２１／０２

Ｈ０２Ｐ １／００ － ３１／００

Ｈ０２Ｈ １／００ － ９９／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

電源に直列接続された複数種類の安全装置と接続可能に構成された産業用ロボットの制御装置であって、
前記安全装置は、配線路の電気的な遮断と、前記遮断からの復帰とを手動で切替可能なものであり、
前記複数種類の安全装置の各々の出力側端子に接続され、前記電源からの電力供給を受けている第一状態と前記電源からの電力供給が停止されている第二状態のどちらであるかを検出する検出回路と、
前記検出回路の出力に基づいて通知を行う制御部と、を備え、
前記制御部は、複数の前記検出回路が前記第二状態を示す検出結果を出力している場合には、当該複数の検出回路の各々が前記出力側端子に接続された前記安全装置の各々の確認を促す通知を一度に行う産業用ロボットの制御装置。

【請求項2】

請求項１記載の産業用ロボットの制御装置であって、
前記制御部は、前記電源から最も遠い位置に配置された１つの前記検出回路のみが前記第二状態を示す検出結果を出力している場合には、当該検出回路が前記出力側端子に接続された前記安全装置の確認を促す通知を行う産業用ロボットの制御装置。
産業用ロボットの制御装置。

【請求項3】

請求項１又は２記載の産業用ロボットの制御装置であって、
前記複数種類の安全装置は、前記産業用ロボットを囲う安全柵に設けられる第一安全装置と、前記安全柵及び教示操作端末とは異なる場所に設けられる第二安全装置と、を含み、
前記第二安全装置は、前記第一安全装置よりも前記電源側に配置される産業用ロボットの制御装置。

【請求項4】

請求項３記載の産業用ロボットの制御装置であって、
前記複数種類の安全装置は、教示操作端末に設けられる第三安全装置を更に含み、
前記第三安全装置は、前記第二安全装置よりも前記電源側に配置される産業用ロボットの制御装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、産業用ロボットの制御装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、その作動によりロボットを停止させるための安全装置を複数備える産業用ロボットが記載されている。この産業用ロボットは、前記安全装置を直列接続し、前記複数の安全装置の内ある安全装置が作動したことを周辺機器に出力するか否かを、前記周辺機器に出力を行うためのリレー接点を動作させるためのリレーコイルの一端を前記複数の安全装置の接続点の何れかに自在に接続することで選択可能としている。前記リレーコイルの一端を接続した接続点の一方側にあるいずれかの安全装置が作動した場合には作動したことを前記周辺機器に出力し、前記接続点の他方側にあるいずれかの安全装置が作動した場合には作動したことを前記周辺機器に出力しないようにしている。

【0003】

特許文献２には、ロボットを制御するロボット制御装置が記載されている。このロボット制御装置は、ロボットの各々の関節軸を駆動するモータの負荷を検出する負荷検出部と、ロボットの各々の関節軸における軸速度を検出する速度検出部と、ロボットが非常停止したときに、当該非常停止の発生原因を特定する停止原因特定部と、非常停止の発生原因とモータの負荷または軸速度とを互いに関連付けて記録する記録部と、を備えている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２００７－００１０１２号公報

【文献】特開２０１７－１００２００号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

特許文献１の産業用ロボットは、安全装置の作動を検出するためのリレーコイルの接続先を必要に応じて変更することができる。しかし、リレーコイルの接続先の変更が頻繁に発生することになり、生産現場での作業効率の低下につながる。特許文献２は、ロボットの内部における非常停止の発生原因を特定するものであり、ロボットに接続される安全装置の作動状態を検出するものではない。

【0006】

本発明の目的は、産業用ロボットを停止させるための安全装置のうちのどの安全装置が作動しているのかを効率的に確認可能とすることにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

（１）
電源に直列接続された複数種類の安全装置と接続可能に構成された産業用ロボットの制御装置であって、
前記安全装置は、配線路の電気的な遮断と、前記遮断からの復帰とを手動で切替可能なものであり、
前記複数種類の安全装置の各々の出力側端子に接続され、前記電源からの電力供給を受けている第一状態と前記電源からの電力供給が停止されている第二状態のどちらであるかを検出する検出回路と、
前記検出回路の出力に基づいて通知を行う制御部と、を備え、
前記制御部は、複数の前記検出回路が前記第二状態を示す検出結果を出力している場合には、当該複数の検出回路の各々が前記出力側端子に接続された前記安全装置の各々の確認を促す通知を一度に行う産業用ロボットの制御装置。

【0008】

（１）によれば、安全装置毎に検出回路が設けられるため、検出回路の出力に基づいて、どの安全装置の作動状態を優先的に確認すべきかを判断することが可能になる。このような判断にしたがってユーザに通知を行うことで、ロボットの動作復帰までの作業を効率的に行うことができる。
また、例えば３つある検出回路のうちの２つの検出回路の出力のみが第二状態を示す場合には、この２つの検出回路が出力側端子に接続された安全装置の確認を促す通知のみが行われる。このため、この３つの検出回路に対応する全ての安全装置の確認をユーザが行う必要はなく、安全確認等の作業効率を高めることができる。

【0009】

（２）
（１）記載の産業用ロボットの制御装置であって、
前記制御部は、前記電源から最も遠い位置に配置された１つの前記検出回路のみが前記第二状態を示す検出結果を出力している場合には、当該検出回路が前記出力側端子に接続された前記安全装置の確認を促す通知を行う産業用ロボットの制御装置。

【0010】

（２）によれば、１つの検出回路の出力のみが第二状態を示す場合、つまり、複数の安全装置のうちの電源から最も遠い位置に配置された装置だけが作動（配線路を遮断）している場合には、この装置の確認を促す通知が行われる。このため、全ての安全装置の確認をユーザが行う必要はなく、安全確認等の作業効率を高めることができる。

【0015】

（３）
（１）又は（２）記載の産業用ロボットの制御装置であって、
前記複数種類の安全装置は、前記産業用ロボットを囲う安全柵に設けられる第一安全装置と、前記安全柵及び教示操作端末とは異なる場所に設けられる第二安全装置と、を含み、
前記第二安全装置は、前記第一安全装置よりも前記電源側に配置される産業用ロボットの制御装置。

【0016】

（３）によれば、ユーザによる復帰操作が忘れられがちな第二安全装置が、復帰操作が忘れられにくい第一安全装置よりも電源側に配置されている。このため、例えば、第一安全装置と第二安全装置の両方が作動している場合でも、第二安全装置の確認を優先的に行うようユーザに促すことができる。これにより、第二安全装置を確実に復帰させた状態でロボットを起動でき、ロボット起動までの時間を短縮できる。

【0017】

（４）
（３）記載の産業用ロボットの制御装置であって、
前記複数種類の安全装置は、教示操作端末に設けられる第三安全装置を更に含み、
前記第三安全装置は、前記第二安全装置よりも前記電源側に配置される産業用ロボットの制御装置。

【0018】

（４）によれば、使用頻度の低い教示操作端末に設けられる第三安全装置が最も電源側に配置される。第三安全装置に接続される検出回路の出力は第一状態を示すことが多くなる。使用頻度の低い第三安全装置が例えば最も電源から遠い位置に配置されていると、最も電源側に配置された安全装置が非通電状態となった場合に、第三安全装置の状態確認も必要になる場合がある。しかし、（４）のように、第三安全装置が第一安全装置及び第二安全装置よりも電源側に配置されることで、このような非効率な状態を防ぐことができる。

【発明の効果】

【0019】

本発明によれば、産業用ロボットを停止させるための安全装置のうちのどの安全装置が作動しているのかを効率的に確認可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】ロボットシステムに含まれる産業用ロボットの概略構成を示す図である。

【図2】ロボットシステムに含まれるロボット制御装置と教示操作端末の概略構成を示す図である。

【図3】図１の産業用ロボットを含む生産ライン（ロボットシステム）のレイアウトの一例を示す平面模式図である。

【図4】図３に示すロボットシステムの電気的構成の一例を示す模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0021】

以下、本発明の制御装置の一実施形態であるロボット制御装置２００を含むロボットシステムについて、図面を参照しながら説明する。

【0022】

［ロボットシステムの構成］
図１は、ロボットシステムに含まれる産業用ロボット１００の概略構成を示す図である。図２は、図１の産業用ロボット１００に接続されるロボット制御装置２００と、ロボット制御装置２００に接続される教示操作端末４００の概略構成を示す図である。図２における“ＦＲ”は教示操作端末４００の正面図を示し、“ＢＫ”は教示操作端末４００の背面図を示している。図３は、図１の産業用ロボット１００を含む生産ライン（ロボットシステム）のレイアウトの一例を示す平面模式図である。

【0023】

図３に示すロボットシステムは、産業用ロボット１００と、ロボット制御装置２００と、上位装置３００と、教示操作端末（ティーチングペンダント）４００と、安全柵５００と、液晶ディスプレイの製造装置５５０と、から構成されている。ロボットシステムにおける各種の装置及び器具類は、有線又は無線によって電気的に接続されたり、シリアルケーブルを用いて電気的に接続されたりしている。

【0024】

産業用ロボット１００は、ワークとして液晶ディスプレイ用ガラス基板１０（以下、「ガラス基板１０」とする。）を搬送するための搬送用ロボットである。産業用ロボット１００は、基台１１と、回転ユニット１２と、コラム１３と、スライダ１４（アーム１５を支持する支持部材）と、２本のアーム１５と、から構成されている。また、アーム１５は、その先端にハンド１６を備えている。ハンド１６は、フォーク部１６ａとハンド基端部１６ｂを有しており、フォーク部１６ａの上にガラス基板１０を載せて搬送するものである。

【0025】

回転ユニット１２は、コラム１３が設立されるベース部材であり、基台１１に回転可能に配置されている。回転ユニット１２がＺ軸周りに回転することによって、アーム１５及びハンド１６を旋回させて、ハンド１６の向きを変えることができるようになっている。また、回転ユニット１２は、図示しない水平移動機構により、図中のＹ軸方向へ基台１１上を移動可能となっている。さらに、スライダ１４は、コラム１３の側面で上下にスライド移動可能（図中のＺ軸方向へ移動可能）となるように構成されている。

【0026】

２本のアーム１５は、図示しない回転駆動源により、ハンド１６を、ガラス基板１０の取り出し・供給方向に移動させる。この際、アーム１５は、その機構上、ハンド１６が一方向を向いて、アーム１５を伸ばしきった伸張位置と、折り畳んだ状態の縮み位置との間を直線移動するように、伸縮動作を行う。すなわち、本実施形態では、図中のＸ方向でハンド１６が往復移動することになる。そして、伸張位置に位置する製造装置５５０（図２参照）に対してガラス基板１０を収納し、または縮み位置へガラス基板１０を搬出するように動作する。

【0027】

上述のように、産業用ロボット１００は、ガラス基板１０を搬送するための搬送用ロボットであり、特に大型のガラス基板１０をワークとして搬送することに適した大型のロボットである。ガラス基板１０は、例えば、１辺が約３ｍの略正方形状で、相当の重量を有するものである。従って、非常停止する場合には、スライダ１４の落下やアーム１５の飛び出しなど危険動作の可能性がある。つまり、図２の作業領域Ｒに作業者が立ち入る場合は非常に危険であり、こういった危険動作を確実に制動する必要がある。

【0028】

なお、図３に示した産業用ロボット１００は、図１に示した産業用ロボット１００よりも一層大型のガラス基板１０を搬送するものであって、ガラス基板１０のサイズに応じてフォーク部１６ａを６つとしている。また、図３に示した産業用ロボット１００の回転ユニット１２は、コラム１３の設立される位置とは回転直径の反対側にバランサー１７を有し、回転時の重量を均衡させている。

【0029】

このような産業用ロボット１００は、安全柵５００と液晶ディスプレイの製造装置５５０に囲まれた場所（作業領域Ｒ）に設置されている。

【0030】

ロボット制御装置２００は、産業用ロボット１００とシリアルケーブル等の有線によって電気的に接続されている。ロボット制御装置２００は、サーボモータ（図示しない）によって図中のＸ軸，Ｙ軸，Ｚ軸及びθ軸の各軸方向へ移動駆動される産業用ロボット１００をサーボ制御している。ロボット制御装置２００は、図３の例では安全柵５００内に配置されているが、安全柵５００の外側に配置されていてもよく、そのレイアウトはロボットシステムの必要により適宜変更可能である。

【0031】

上位装置３００は、数レーンからなるラインの中央制御部として機能するものである。より具体的に、上位装置３００は、産業用ロボット１００および製造装置５５０などの周辺装置を含む生産ライン（ロボットシステム）全体を制御する外部制御盤として構成される。上位装置３００は、ロボット制御装置２００と電気的に接続されて、安全柵５００の外側に配置されている。また、上位装置３００は、製造装置５５０などの周辺装置と電気的に接続される。上位装置３００には、非常停止スイッチ等の産業用ロボット１００を非常停止させるための非常停止デバイスが設けられる場合がある。

【0032】

教示操作端末４００は、産業用ロボット１００に位置情報を教示するためのものであり、ロボット制御装置２００にシリアルケーブル等の有線によって接続されている。教示操作端末４００は、産業用ロボット１００の自動運転モード（Ｒｅｍｏｔｅモード）と教示モード（Ｔｅａｃｈモード）とを切り替える信号を発するモード切替スイッチ４２０と、教示モードにおける教示の際に、産業用ロボット１００のサーボモータの駆動電流を有効にする信号を発するサーボオンスイッチ４２１と、非常停止命令に対応する非常停止信号を発する非常停止スイッチ４１０と、イネーブルスイッチ４３０と、を備えている。非常停止スイッチ４１０とイネーブルスイッチ４３０は、それぞれ、産業用ロボット１００を非常停止させるための非常停止デバイスである。教示操作端末４００において非常停止スイッチ４１０とイネーブルスイッチ４３０のいずれかは省略してもよい。以下では、教示操作端末４００に設けられた１つ又は複数の非常停止デバイスのことを総称して第三安全装置ＳＦ３と記載する。

【0033】

図２に示すように、教示操作端末４００には、表面中央に出力部としてＬＣＤディスプレイ４０５が設けられている。非常停止スイッチ４１０は、ＬＣＤディスプレイ４０５の右上方に設けられている。また、モード切替スイッチ４２０およびサーボオンスイッチ４２１は、ＬＣＤディスプレイ４０５の上方のスイッチ群に設けられている。また、このスイッチ群には、その他の作動モードを切替える各種切替スイッチが含まれている。また、ＬＣＤディスプレイ４０５の右方には、複数のキー（スイッチ）が設けられている。これらは、教示のために産業用ロボット１００を現在位置から所定の目標位置へ移動させるためのスイッチである。具体的には複数のキーは、Ｘ軸，Ｙ軸，Ｚ軸及びθ軸の各軸方向へ移動させる、Ｘ軸ジョグ送り動作キー、Ｙ軸ジョグ送り動作キー、Ｚ軸ジョグ送り動作キー等である。

【0034】

イネーブルスイッチ４３０は、教示操作端末４００の背面側方に設けられている。イネーブルスイッチ４３０の近傍には、作業者が把持するための把持部４３５が設けられている（図２参照）。イネーブルスイッチ４３０は、作業者が軽く握るとＯＮし、作業者が離したり強く握ったりするとＯＦＦになる、危険回避のためのスイッチである。イネーブルスイッチ４３０は、作業者が把持部４３５を把持して操作するときに、同時に押すことができるように、把持部４３５と一体または近接して設けられていることが望ましい。イネーブルスイッチ４３０は、教示操作端末４００の握り部裏面などに取り付けられていてもよく、デッドマンスイッチとも呼ばれるものである。

【0035】

なお、上述した各動作キーおよび動作モード切替スイッチ等の配置は一例であって、図２に示すものと異なる配置態様・操作態様（例えばレバースイッチ式など）になっていてもよい。

【0036】

安全柵５００は、産業用ロボット１００の動作範囲内に作業者が不用意に入らないようにし、作業者の安全を確保するために設けられている。より具体的には、図３に示すように、周辺装置として３台の液晶ディスプレイの製造装置５５０が、安全柵５００の四方のうち三方の一部を開口した位置に、産業用ロボット１００を囲むように設置される。そして、安全柵５００と製造装置５５０とによって、産業用ロボット１００の作業領域Ｒが形成されている。なお、製造装置５５０に替えて、他の製造ラインと接続するためのコンベア装置またはその接続装置や複数のガラス基板１０を積層載置し収納する基板カセット装置を配置してもよい。

【0037】

安全柵５００には開閉扉５１０が設けられており、開閉扉５１０の開閉状態を検知するインターロック装置５１１が取り付けられている。インターロック装置５１１は、産業用ロボット１００を非常停止させるための非常停止デバイスである。ロボットシステムでは、自動運転モード（Ｒｅｍｏｔｅモード）において作業者が安全柵５００の開閉扉５１０を開けた場合、インターロック装置５１１が作動して産業用ロボット１００が非常停止するようになっている。安全柵５００には開閉扉５１０が複数設けられる場合もある。この場合には、各開閉扉５１０にインターロック装置５１１が取り付けられる。以下では、安全柵５００に設けられた１つ又は複数のインターロック装置５１１のことを総称して第一安全装置ＳＦ１と記載する。

【0038】

ロボットシステムには、さらに、危険事態やシステムの不具合時に、産業用ロボット１００を非常停止させる非常停止信号を発する非常停止デバイスとしての非常停止機器６００が、安全柵５００及び教示操作端末４００とは異なる場所に設けられている。図３の例では、製造装置５５０に非常停止機器６００が取り付けられている。非常停止機器６００は、例えば、上位装置３００に取り付けられてもよい。非常停止機器６００は、例えば非常停止ボタンおよびこれに対応する二重化スイッチ等により構成されている。非常停止機器６００は、ロボットシステムに１つのみ設けられる場合や複数設けられる場合がある。以下では、ロボットシステムに含まれる１つ又は複数の非常停止機器６００のことを総称して第二安全装置ＳＦ２と記載する。以上のように、本形態のロボットシステムは、教示操作端末４００に設けられた第三安全装置ＳＦ３と、安全柵５００に設けられた第一安全装置ＳＦ１と、安全柵５００及び教示操作端末４００とは異なる場所に設けられた第二安全装置ＳＦ２と、の３種類の安全装置を備えている。

【0039】

［ロボットシステムの電気的構成］
図４は、図３に示すロボットシステムの電気的構成の一例を示す模式図である。図４では、第三安全装置ＳＦ３が非常停止スイッチ４１０のみによって構成され、第二安全装置ＳＦ２が１つの非常停止機器６００のみによって構成され、第一安全装置ＳＦ１が１つのインターロック装置５１１のみによって構成されている場合の例を示している。

【0040】

図４に示すように、第一安全装置ＳＦ１、第二安全装置ＳＦ２、及び第三安全装置ＳＦ３は、それぞれ、ｂ接点式のスイッチにて構成されており、電源ＶＣＣに直列接続されている。第一安全装置ＳＦ１、第二安全装置ＳＦ２、及び第三安全装置ＳＦ３は、それぞれ、産業用ロボット１００の非常停止のための作動（非常停止スイッチ４１０や非常停止機器６００であればボタン操作、インターロック装置５１１であれば開閉扉５１０の開操作）がユーザにより行われると、入力側端子と出力側端子との電気的な接続を遮断（スイッチ開）して非導通状態となる。また、第一安全装置ＳＦ１、第二安全装置ＳＦ２、及び第三安全装置ＳＦ３は、それぞれ、ユーザにより復帰操作（非常停止スイッチ４１０や非常停止機器６００であればボタン操作、インターロック装置５１１であれば開閉扉５１０の閉操作）が行われると、入力側端子と出力側端子との電気的な接続を復帰（スイッチ閉）して導通状態となる。このように、第一安全装置ＳＦ１、第二安全装置ＳＦ２、及び第三安全装置ＳＦ３は、それぞれ、配線路の電気的な遮断（非導通状態）と、この遮断からの復帰（導通状態）とを手動で切替可能なものとなっている。

【0041】

電源ＶＣＣには第三安全装置ＳＦ３の入力側端子Ｔ１が接続されている。第三安全装置ＳＦ３の出力側端子Ｔ２には、第二安全装置ＳＦ２の入力側端子Ｔ３が接続されている。第二安全装置ＳＦ２の出力側端子Ｔ４には、第一安全装置ＳＦ１の入力側端子Ｔ５が接続されている。第一安全装置ＳＦ１の出力側端子Ｔ６はロボット制御装置２００に接続されている。第三安全装置ＳＦ３は、３種類の安全装置のうちの最も電源ＶＣＣ側に配置された安全装置である。第一安全装置ＳＦ１は、３種類の安全装置のうちの最も電源ＶＣＣ側と反対側（電源ＶＣＣから最も遠い位置、最もロボット制御装置２００側）に配置された安全装置である。

【0042】

ロボット制御装置２００は、産業用ロボット１００の駆動制御及び産業用ロボット１００の非常停止制御等を行う制御部２０１を備える。制御部２０１は、中央制御装置ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）と、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）及びＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ ａｃｃｅｓｓ ｍｅｍｏｒｙ）等の記憶装置と、を備える。制御部２０１は、この記憶装置に収納された産業用ロボット１００の作動プログラムおよび作動のためのパラメータに基づく各種座標系における直線動作、回転動作、各軸動作に関する命令によって、産業用ロボット１００を駆動制御する。なお、教示操作端末４００からの信号入力は、産業用ロボット１００の作動プログラムおよび作動のためのパラメータを変更修正するためのものである。

【0043】

ロボット制御装置２００は、更に、第三安全装置ＳＦ３と第二安全装置ＳＦ２との接続ノードＮ１に接続された検出回路２０２と、第二安全装置ＳＦ２と第一安全装置ＳＦ１との接続ノードＮ２に接続された検出回路２０３と、第一安全装置ＳＦ１と接地端子との接続ノードＮ３に接続された検出回路２０４と、を備える。検出回路２０２、検出回路２０３、及び検出回路２０４は、それぞれ、電源ＶＣＣからの電力供給を受けている第一状態では検出信号を出力せず、電源ＶＣＣからの電力供給が停止されている第二状態では検出信号を出力するリレー回路によって構成されている。すなわち、検出回路２０２、検出回路２０３、及び検出回路２０４は、それぞれ、第一状態と第二状態のどちらであるかを検出する回路である。

【0044】

なお、第三安全装置ＳＦ３にイネーブルスイッチ４３０が更に含まれる場合には、電源ＶＣＣと接続ノードＮ１の間に、イネーブルスイッチ４３０と非常停止スイッチ４１０の直列回路が接続された構成となる。このように第三安全装置ＳＦ３が複数の非常停止デバイスを含む場合には、直列接続されたこの複数の非常停止デバイスのうちの最も接続ノードＮ１側に接続された非常停止デバイスの出力側端子が、第三安全装置ＳＦ３の出力側端子を構成する。図３の例では、非常停止スイッチ４１０の出力側端子Ｔ２が、第三安全装置ＳＦ３の出力側端子を構成している。以下では、第三安全装置ＳＦ３に含まれる少なくとも１つの非常停止デバイスが非導通状態である場合に、第三安全装置ＳＦ３が非導通状態であると定義する。また、第三安全装置ＳＦ３に含まれるすべての非常停止デバイスが導通状態である場合に、第三安全装置ＳＦ３が導通状態であると定義する。

【0045】

第二安全装置ＳＦ２に複数の非常停止機器６００が含まれる場合には、接続ノードＮ１と接続ノードＮ２の間に、この複数の非常停止機器６００の直列回路が接続された構成となる。このように第二安全装置ＳＦ２が複数の非常停止デバイスを含む場合には、直列接続されたこの複数の非常停止デバイスのうちの最も接続ノードＮ２側に接続された非常停止デバイスの出力側端子が、第二安全装置ＳＦ２の出力側端子を構成する。図３の例では、非常停止機器６００の出力側端子Ｔ４が、第二安全装置ＳＦ２の出力側端子を構成している。以下では、第二安全装置ＳＦ２に含まれる少なくとも１つの非常停止デバイスが非導通状態である場合に、第二安全装置ＳＦ２が非導通状態であると定義する。また、第二安全装置ＳＦ２に含まれるすべての非常停止デバイスが導通状態である場合に、第二安全装置ＳＦ２が導通状態であると定義する。

【0046】

第一安全装置ＳＦ１に複数のインターロック装置５１１が含まれる場合には、接続ノードＮ２と接続ノードＮ３の間に、この複数のインターロック装置５１１の直列回路が接続された構成となる。このように第一安全装置ＳＦ１が複数の非常停止デバイスを含む場合には、直列接続されたこの複数の非常停止デバイスのうちの最も接続ノードＮ３側に接続された非常停止デバイスの出力側端子が、第一安全装置ＳＦ１の出力側端子を構成する。図３の例では、インターロック装置５１１の出力側端子Ｔ６が、第一安全装置ＳＦ１の出力側端子を構成している。以下では、第一安全装置ＳＦ１に含まれる少なくとも１つの非常停止デバイスが非導通状態である場合に、第一安全装置ＳＦ１が非導通状態であると定義する。また、第一安全装置ＳＦ１に含まれるすべての非常停止デバイスが導通状態である場合に、第一安全装置ＳＦ１が導通状態であると定義する。

【0047】

産業用ロボット１００を作動させるときには、第一安全装置ＳＦ１、第二安全装置ＳＦ２、及び第三安全装置ＳＦ３がいずれも導通状態になるよう各安全装置が操作される。そして、産業用ロボット１００の作動中に、第三安全装置ＳＦ３が非導通状態になると、電源ＶＣＣと接続ノードＮ１の間の配線路が遮断される。これにより、検出回路２０２、検出回路２０３、及び検出回路２０４は、いずれも電源ＶＣＣからの電力供給が停止された第二状態となり、制御部２０１には、検出回路２０２、検出回路２０３、及び検出回路２０４の各々から検出信号が入力される。

【0048】

産業用ロボット１００の作動中に、第二安全装置ＳＦ２が作動して非導通状態になると、接続ノードＮ１と接続ノードＮ２の間の配線路が遮断される。これにより、検出回路２０３及び検出回路２０４は、いずれも電源ＶＣＣからの電力供給が停止された第二状態となり、制御部２０１には、検出回路２０３及び検出回路２０４の各々から検出信号が入力される。

【0049】

産業用ロボット１００の作動中に、第一安全装置ＳＦ１が作動して非導通状態になると、接続ノードＮ２と接続ノードＮ３の間の配線路が遮断される。これにより、検出回路２０４のみが、電源ＶＣＣからの電力供給が停止された第二状態となり、制御部２０１には、検出回路２０４のみから検出信号が入力される。

【0050】

制御部２０１は、検出回路２０２、検出回路２０３、及び検出回路２０４の少なくとも１つから検出信号が入力されると、産業用ロボット１００を非常停止させる制御を行う。更に、制御部２０１は、検出回路２０２、検出回路２０３、及び検出回路２０４の出力に基づいて、第一安全装置ＳＦ１、第二安全装置ＳＦ２、及び第三安全装置ＳＦ３のうちのどの安全装置の確認を行うべきかを示す通知を行うよう制御する。通知の方法としては、例えば、上位装置３００に制御信号を送信して、上位装置３００のディスプレイにメッセージを表示させたり、上位装置３００に安全装置毎に設けられたランプのうち該当の安全装置のランプを点灯させたりする方法を採用すればよい。ロボット制御装置２００にディスプレイやランプが設けられている場合には、これらを利用して通知を行ってもよい。

【0051】

［通知方法の具体例］
以下、通知方法の具体例について説明するが、これに限定されるものではない。まず、検出回路の出力状態のパターンについて、以下に列挙する。
（パターンＡ）
パターンＡは、検出回路２０２、検出回路２０３、及び検出回路２０４のうち、１つのみから検出信号が出力されているパターンである。このパターンは、最もロボット制御装置２００側に位置する第一安全装置ＳＦ１のみが作動して非導通状態になった場合に、生じる。
（パターンＢ）
パターンＢは、検出回路２０２、検出回路２０３、及び検出回路２０４のうち、検出回路２０３と検出回路２０４の２つから検出信号が出力されているパターンである。このパターンは、第二安全装置ＳＦ２のみが作動して非導通状態になった場合、第一安全装置ＳＦ１及び第二安全装置ＳＦ２のみが作動して非導通状態になった場合に、生じる。
（パターンＣ）
パターンＣは、検出回路２０２、検出回路２０３、及び検出回路２０４の全てから検出信号が出力されているパターンである。このパターンは、第三安全装置ＳＦ３のみが作動して非導通状態になった場合、第三安全装置ＳＦ３及び第二安全装置ＳＦ２のみが作動して非導通状態になった場合、第三安全装置ＳＦ３及び第一安全装置ＳＦ１のみが作動して非導通状態になった場合、第一安全装置ＳＦ１、第二安全装置ＳＦ２、及び第三安全装置ＳＦ３が全て作動して非導通状態になった場合に、生じる。

【0052】

（第一通知制御）
制御部２０１は、パターンＡの場合には、検出信号を出力している検出回路２０４が出力側端子に接続された第一安全装置ＳＦ１の確認を促す通知を行うよう制御する。この通知を受けたユーザは、第一安全装置ＳＦ１のみが作動している状況と判断し、安全を確認した後、第一安全装置ＳＦ１が導通状態となるよう操作する。これにより、検出回路２０２、検出回路２０３、及び検出回路２０４のいずれからも検出信号が出力されない状態になると、制御部２０１は、産業用ロボット１００の作動を再開させる。

【0053】

（第二通知制御）
制御部２０１は、パターンＢの場合には、検出信号を出力している検出回路２０３及び検出回路２０４のうち、検出回路２０３が出力側端子に接続された第二安全装置ＳＦ２の確認を促す通知を行うよう制御する。この通知を受けたユーザは、第二安全装置ＳＦ２が作動している状況と判断し、安全を確認した後、第二安全装置ＳＦ２が導通状態となるよう操作する。この操作の結果、検出回路２０２、検出回路２０３、及び検出回路２０４のいずれからも検出信号が出力されない状態になると、制御部２０１は、産業用ロボット１００の作動を再開させる。
一方、この操作の結果、検出回路の出力状態がパターンＡとなる場合（つまり、第一安全装置ＳＦ１及び第二安全装置ＳＦ２が作動してパターンＢとなっていた場合）には、制御部２０１は、続けて、第一安全装置ＳＦ１の確認を促す通知を行うよう制御する。この通知を受けたユーザは、第一安全装置ＳＦ１が作動している状況と判断し、安全を確認した後、第一安全装置ＳＦ１が導通状態となるよう操作する。これにより、検出回路２０２、検出回路２０３、及び検出回路２０４のいずれからも検出信号が出力されない状態になると、制御部２０１は、産業用ロボット１００の作動を再開させる。

【0054】

（第二通知制御の変形例）
制御部２０１は、パターンＢの場合には、検出信号を出力している検出回路２０３及び検出回路２０４の各々が出力側端子に接続された第二安全装置ＳＦ２及び第一安全装置ＳＦ１の両方の確認を促す通知を行うよう制御する。この通知を受けたユーザは、第一安全装置ＳＦ１と第二安全装置ＳＦ２が作動している状況と判断し、安全を確認した後、第一安全装置ＳＦ１と第二安全装置ＳＦ２が導通状態となるよう操作する。この操作の結果、検出回路２０２、検出回路２０３、及び検出回路２０４のいずれからも検出信号が出力されない状態になると、制御部２０１は、産業用ロボット１００の作動を再開させる。
パターンＢは、第二安全装置ＳＦ２のみが作動している状況と、第二安全装置ＳＦ２と第一安全装置ＳＦ１の２種が作動している状況とを区別できない。そのため、パターンＢの場合には、本変形例の通知制御を採用することで、第二通知制御のように２段階に分けて通知を行うよりも、産業用ロボット１００の作動再開を効率よく行うことができる場合がある。一方、第二安全装置ＳＦ２のみが作動している状況においては、上記第二通知制御を採用することで、ユーザは第一安全装置ＳＦ１の確認を省略でき、効率的な作業が可能になる。

【0055】

（第三通知制御）
制御部２０１は、パターンＣの場合には、検出信号を出力している検出回路２０２、検出回路２０３、及び検出回路２０４のうち、検出回路２０２が出力側端子に接続された第三安全装置ＳＦ３の確認を促す通知を行うよう制御する。

【0056】

（第三通知制御の変形例）
制御部２０１は、パターンＣの場合には、第一安全装置ＳＦ１、第二安全装置ＳＦ２、及び第三安全装置ＳＦ３の確認を促す通知を行うよう制御する。

【0057】

［実施形態の効果］
以上のロボットシステムによれば、３種類の安全装置毎に検出回路が設けられるため、検出回路２０２、２０３、２０４の出力に基づいて、どの安全装置の作動状態を優先的に確認すべきかを判断することが可能になる。このような判断にしたがってユーザに通知を行うことで、産業用ロボット１００の動作復帰までの作業を効率的に行うことができる。

【0058】

［その他の実施の形態］
本形態のロボットシステムは３種類の安全装置を含むものとしたが、第一安全装置ＳＦ１、第二安全装置ＳＦ２、及び第三安全装置ＳＦ３のうち、第三安全装置ＳＦ３は必須ではなく省略可能である。これは、教示操作端末４００を導入しないユーザも存在するためである。

【0059】

第一安全装置ＳＦ１、第二安全装置ＳＦ２、及び第三安全装置ＳＦ３の配列は、図４に示したように、ロボットシステムにおいて使用頻度の低い教示操作端末４００に設けられる第三安全装置ＳＦ３が最も電源ＶＣＣ側に配置され、復帰操作を最も忘れにくいインターロック装置５１１を含む第一安全装置ＳＦ１が最もロボット制御装置２００側に配置され、その間に、第二安全装置ＳＦ２が配置される構成とするのが好ましい。しかし、この配列はこれに限定されるものではなく、ユーザの意図に応じて変更可能である。例えば、第一安全装置ＳＦ１と第二安全装置ＳＦ２の位置を逆にしてもよい。

【0060】

本形態のロボットシステムは、３種類の安全装置を含むものとしたが、ユーザが準備した、安全装置以外のｂ接点式のスイッチからなるデバイスを更に追加することも可能である。この場合には、例えば、このデバイスを、電源ＶＣＣと第三安全装置ＳＦ３の間に接続したり、第三安全装置ＳＦ３と第二安全装置ＳＦ２の間に接続したりすればよい。そして、この場合には、ロボット制御装置２００に、このデバイスの出力側端子に接続される検出回路を追加で設ければよい。これにより、安全装置以外のデバイスの動作状況の確認も可能になる。

【0061】

本形態では、２個のハンド１６と２本のアーム１５とが上下方向に重なるように配置されている。すなわち、本形態の産業用ロボット１００は、ダブルアームタイプのロボットである。なお、産業用ロボット１００は、１個のハンド１６と１本のアーム１５とを備えるシングルアームタイプのロボットであっても良い。さらに、本実施の形態では、ワークとしてガラス基板を搬送するダブルアーム型ロボットを例示したが、半導体ウエハ等を搬送するロボットであっても良い。また、本発明はガラス基板を搬送するロボットのシステムに限定されるものではなく、他の形式用途のロボットやその他の産業機器にも適用することができる。例えば半導体基板を搬送するロボットのシステムにも適用可能である。

【符号の説明】

【0062】

１００ 産業用ロボット
２００ ロボット制御装置
２０１ 制御部
２０２、２０３、２０４ 検出回路
３００ 上位装置
４００ 教示操作端末
４１０ 非常停止スイッチ
５００ 安全柵
５１１ インターロック装置
６００ 非常停止機器
ＳＦ１ 第一安全装置
ＳＦ２ 第二安全装置
ＳＦ３ 第三安全装置
ＶＣＣ 電源

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】