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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2025-02-17
(45)【発行日】2025-02-26
(54)【発明の名称】積層コイル部品
(51)【国際特許分類】
H01F 17/00 20060101AFI20250218BHJP
H01F 17/04 20060101ALI20250218BHJP
【ＦＩ】
H01F17/00 D
H01F17/00 C
H01F17/04 A
【請求項の数】
12
(21)【出願番号】P 2024530396
(86)(22)【出願日】2023-05-29
(86)【国際出願番号】 JP2023019918
(87)【国際公開番号】W WO2024004484
(87)【国際公開日】2024-01-04
【審査請求日】2024-06-07
(31)【優先権主張番号】P 2022102909
(32)【優先日】2022-06-27
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(73)【特許権者】
【識別番号】000006231
【氏名又は名称】株式会社村田製作所
(74)【代理人】
【識別番号】100145403
【弁理士】
【氏名又は名称】山尾 憲人
(74)【代理人】
【識別番号】100221501
【弁理士】
【氏名又は名称】式見 真行
(72)【発明者】
【氏名】小澤 怜治
【審査官】秋山 直人
(56)【参考文献】
【文献】特開２００４－２４７５７７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０２１－１７４８１７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００１－２６７１２７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００４－１９３５１２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００５－２１６９４２（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｆ １７／００
Ｈ０１Ｆ １７／０４
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
複数の絶縁体層と複数のコイル導体層が積層された積層体と、前記積層体の表面に設けられ、前記コイル導体層と電気的に接続された外部電極と
を含む積層コイル部品であって、
前記複数の絶縁体層は磁性体であり、
前記複数のコイル導体層は、電気的に接続されコイルを形成し、
前記コイルの軸は、実装面に対して略平行であり、
前記積層体の長手方向の寸法は、１．８ｍｍ以上２．２ｍｍ以下であり、幅方向の寸法は、１．０５ｍｍ以上１．４５ｍｍ以下であり、
前記コイルのターン数をｘ、前記コイル導体層間の距離をｙ（ｍｍ）とした場合に、（ｘ、ｙ）は、Ａ１（５４，０．００５）、Ｂ１（５４，０．０１）、Ｃ１（４２，０．０１）、Ｄ１（４２，０．０２）、Ｅ１（３６，０．０２）、Ｆ１（３６，０．０３）、Ｇ１（３０，０．０３）、Ｈ１（３０，０．０４）、Ｉ１（２４，０．０４）、Ｊ１（２４，０．０５）、Ｋ１（１８，０．０５）、Ｌ１（１８，０．０１）、Ｍ１（１２，０．０１）、Ｎ１（１２，０．００５）で囲まれる領域以内にある、
積層コイル部品。
【請求項2】
前記（ｘ、ｙ）は、Ａ１（５４，０．００５）、Ｂ１（５４，０．０１）、Ｃ１（４２，０．０１）、Ｄ１（４２，０．０２）、Ｅ１（３６，０．０２）、Ｆ１（３６，０．０３）、Ｈ１（３０，０．０４）、Ｏ１（２４，０．０３）、Ｐ１（２４，０．０１）、Ｌ１（１８，０．０１）、Ｑ１（１８，０．００５）で囲まれる領域以内にある、請求項１に記載の積層コイル部品。
【請求項3】
前記積層体の高さ方向の寸法は、１．０５ｍｍ以上１．４５ｍｍ以下である、請求項１に記載の積層コイル部品。
【請求項4】
１０ＭＨｚ以上１ＧＨｚ以下の周波数帯でのインピーダンスが３００Ω以上である、請求項１に記載の積層コイル部品。
【請求項5】
複数の絶縁体層と複数のコイル導体層が積層された積層体と、前記積層体の表面に設けられ、前記コイル導体層と電気的に接続された外部電極と
を含む積層コイル部品であって、
前記複数の絶縁体層は磁性体であり、
前記複数のコイル導体層は、電気的に接続されコイルを形成し、
前記コイルの軸は、実装面に対して略平行であり、
前記積層体の長手方向の寸法は、３．０ｍｍ以上３．４ｍｍ以下であり、幅方向の寸法は、１．４ｍｍ以上１．８ｍｍ以下であり、
前記コイルのターン数をｘ、前記コイル導体層間の距離をｙ（ｍｍ）とした場合に、（ｘ、ｙ）は、Ａ２（８４，０．００５）、Ｂ２（８４，０．０１）、Ｃ２（７５，０．０１）、Ｄ２（７５，０．０２）、Ｅ２（５４，０．０２）、Ｆ２（５４，０．０３）、Ｇ２（４２，０．０３）、Ｈ２（４２，０．０４）、Ｉ２（３６，０．０４）、Ｊ２（３６，０．０５）、Ｋ２（３０，０．０５）、Ｌ２（３０，０．０６）、Ｍ２（１８，０．０６）、Ｎ２（１８，０．０３）、Ｏ２（１２，０．０３）、Ｐ２（１２，０．０１）、Ｑ２（１８，０．０１）、Ｒ２（１８，０．００５）で囲まれる領域以内にある、
積層コイル部品。
【請求項6】
前記（ｘ、ｙ）は、Ａ２（８４，０．００５）、Ｂ２（８４，０．０１）、Ｃ２（７５，０．０１）、Ｄ２（７５，０．０２）、Ｅ２（５４，０．０２）、Ｆ２（５４，０．０３）、Ｇ２（４２，０．０３）、Ｈ２（４２，０．０４）、Ｉ２（３６，０．０４）、Ｊ２（３６，０．０５）、Ｋ２（３０，０．０５）、Ｌ２（３０，０．０６）、Ｓ２（２４，０．０６）、Ｔ２（２４，０．０４）、Ｕ２（１８，０．０３）、Ｖ２（２４，０．０２）、Ｗ２（３６，０．０２）、Ｘ２（３６，０．０１）、Ｙ２（５４，０．０１）、Ｚ２（５４，０．００５）で囲まれる領域以内にある、請求項５に記載の積層コイル部品。
【請求項7】
前記積層体の高さ方向の寸法は、１．４ｍｍ以上１．８ｍｍ以下である、請求項５に記載の積層コイル部品。
【請求項8】
１０ＭＨｚ以上１ＧＨｚ以下の周波数帯でのインピーダンスが３００Ω以上である、請求項５に記載の積層コイル部品。
【請求項9】
複数の絶縁体層と複数のコイル導体層が積層された積層体と、前記積層体の表面に設けられ、前記コイル導体層と電気的に接続された外部電極と
を含む積層コイル部品であって、
前記複数の絶縁体層は磁性体であり、
前記複数のコイル導体層は、電気的に接続されコイルを形成し、
前記コイルの軸は、実装面に対して略平行であり、
前記積層体の長手方向の寸法は、３．０ｍｍ以上３．４ｍｍ以下であり、幅方向の寸法は、２．３ｍｍ以上２．７ｍｍ以下であり、
前記コイルのターン数をｘ、前記コイル導体層間の距離をｙ（ｍｍ）とした場合に、（ｘ、ｙ）は、Ａ３（８４，０．００５）、Ｂ３（８４，０．０１）、Ｃ３（７５，０．０１）、Ｄ３（７５，０．０２）、Ｅ３（５４，０．０２）、Ｆ３（５４，０．０３）、Ｇ３（４２，０．０３）、Ｈ３（４２，０．０４）、Ｉ３（３６，０．０４）、Ｊ３（３６，０．０５）、Ｋ３（３０，０．０５）、Ｌ３（３０，０．０６）、Ｍ３（１２，０．０６）、Ｎ３（１８，０．０５）、Ｏ３（１８，０．０４）、Ｐ３（２４，０．０４）、Ｑ３（２４，０．０３）、Ｒ３（３６，０．０３）、Ｓ３（３６，０．０２）、Ｅ３（５４，０．０２）、Ｔ３（５４，０．０１）、Ｃ３（７５，０．０１）、Ｕ３（７５，０．００５）で囲まれる領域以内にある、
積層コイル部品。
【請求項10】
１０ＭＨｚ以上１ＧＨｚ以下の周波数帯でのインピーダンスが３００Ω以上である、請求項９に記載の積層コイル部品。
【請求項11】
前記コイル導体層の厚みは、１０μｍ以上２５μｍ以下である、請求項１～１０のいずれか１項に記載の積層コイル部品。
【請求項12】
前記コイルは、引出部により、前記外部電極に電気的に接続される、請求項１～１０のいずれか１項に記載の積層コイル部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、積層コイル部品に関する。
【背景技術】
【0002】
近年、大電流を流すことができるコイル部品への注目が高まっている。例えば、特許文献１では、巻芯部ならびにかかる巻芯部の端部に設けられた鍔部を有する、ドラム状コアと、巻芯部に巻回された、ワイヤと、前記ワイヤの端部が接続される、端子電極と、を備えたコイル部品が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開２０２０－１０９７８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
特許文献１に記載のような積層コイル部品では、コイル部が磁性体で覆われていないため、磁束の漏れが大きく、他の部品と一緒に基板に実装すると他の部品に磁束が干渉するおそれがある。したがって、大電流を流しても広い周波数帯でインピーダンスを取得することが難しい。一方、磁性体中にコイルが配置された積層コイル部品は、磁束の漏れが小さいため好ましい。
【0005】
本開示の目的は、大電流を流すことができ、広い周波数帯でインピーダンスが取得することができる積層コイル部品を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本開示は、以下の態様を含む。
［１］ 複数の絶縁体層と複数のコイル導体層が積層された積層体と、
前記積層体の表面に設けられ、前記コイル導体層と電気的に接続された外部電極と
を含む積層コイル部品であって、
前記複数の絶縁体層は磁性体であり、
前記複数のコイル導体層は、電気的に接続されコイルを形成し、
前記コイルの軸は、実装面に対して略平行であり、
前記積層体の長手方向の寸法は、１．８ｍｍ以上２．２ｍｍ以下であり、幅方向の寸法は、１．０５ｍｍ以上１．４５ｍｍ以下であり、
前記コイルのターン数をｘ、前記コイル導体層間の距離をｙ（ｍｍ）とした場合に、（ｘ、ｙ）は、Ａ１（５４，０．００５）、Ｂ１（５４，０．０１）、Ｃ１（４２，０．０１）、Ｄ１（４２，０．０２）、Ｅ１（３６，０．０２）、Ｆ１（３６，０．０３）、Ｇ１（３０，０．０３）、Ｈ１（３０，０．０４）、Ｉ１（２４，０．０４）、Ｊ１（２４，０．０５）、Ｋ１（１８，０．０５）、Ｌ１（１８，０．０１）、Ｍ１（１２，０．０１）、Ｎ１（１２，０．００５）で囲まれる領域以内にある、
積層コイル部品。
［２］ 前記（ｘ、ｙ）は、Ａ１（５４，０．００５）、Ｂ１（５４，０．０１）、Ｃ１（４２，０．０１）、Ｄ１（４２，０．０２）、Ｅ１（３６，０．０２）、Ｆ１（３６，０．０３）、Ｈ１（３０，０．０４）、Ｏ１（２４，０．０３）、Ｐ１（２４，０．０１）、Ｌ１（１８，０．０１）、Ｑ１（１８，０．００５）で囲まれる領域以内にある、上記［１］に記載の積層コイル部品。
［３］ 前記積層体の高さ方向の寸法は、１．０５ｍｍ以上１．４５ｍｍ以下である、上記［１］または［２］に記載の積層コイル部品。
［４］ １０ＭＨｚ以上１ＧＨｚ以下の周波数帯でのインピーダンスが３００Ω以上である、上記［１］～［３］のいずれか１項に記載の積層コイル部品。
［５］ 複数の絶縁体層と複数のコイル導体層が積層された積層体と、
前記積層体の表面に設けられ、前記コイル導体層と電気的に接続された外部電極と
を含む積層コイル部品であって、
前記複数の絶縁体層は磁性体であり、
前記複数のコイル導体層は、電気的に接続されコイルを形成し、
前記コイルの軸は、実装面に対して略平行であり、
前記積層体の長手方向の寸法は、３．０ｍｍ以上３．４ｍｍ以下であり、幅方向の寸法は、１．４ｍｍ以上１．８ｍｍ以下であり、
前記コイルのターン数をｘ、前記コイル導体層間の距離をｙ（ｍｍ）とした場合に、（ｘ、ｙ）は、Ａ２（８４，０．００５）、Ｂ２（８４，０．０１）、Ｃ２（７５，０．０１）、Ｄ２（７５，０．０２）、Ｅ２（５４，０．０２）、Ｆ２（５４，０．０３）、Ｇ２（４２，０．０３）、Ｈ２（４２，０．０４）、Ｉ２（３６，０．０４）、Ｊ２（３６，０．０５）、Ｋ２（３０，０．０５）、Ｌ２（３０，０．０６）、Ｍ２（１８，０．０６）、Ｎ２（１８，０．０３）、Ｏ２（１２，０．０３）、Ｐ２（１２，０．０１）、Ｑ２（１８，０．０１）、Ｒ２（１８，０．００５）で囲まれる領域以内にある、
積層コイル部品。
［６］ 前記（ｘ、ｙ）は、Ａ２（８４，０．００５）、Ｂ２（８４，０．０１）、Ｃ２（７５，０．０１）、Ｄ２（７５，０．０２）、Ｅ２（５４，０．０２）、Ｆ２（５４，０．０３）、Ｇ２（４２，０．０３）、Ｈ２（４２，０．０４）、Ｉ２（３６，０．０４）、Ｊ２（３６，０．０５）、Ｋ２（３０，０．０５）、Ｌ２（３０，０．０６）、Ｓ２（２４，０．０６）、Ｔ２（２４，０．０４）、Ｕ２（１８，０．０３）、Ｖ２（２４，０．０２）、Ｗ２（３６，０．０２）、Ｘ２（３６，０．０１）、Ｙ２（５４，０．０１）、Ｚ２（５４，０．００５）で囲まれる領域以内にある、上記［５］に記載の積層コイル部品。
［７］ 前記積層体の高さ方向の寸法は、１．４ｍｍ以上１．８ｍｍ以下である、上記［５］または［６］に記載の積層コイル部品。
［８］ １０ＭＨｚ以上１ＧＨｚ以下の周波数帯でのインピーダンスが３００Ω以上である、上記［５］～［７］のいずれか１項に記載の積層コイル部品。
［９］ 複数の絶縁体層と複数のコイル導体層が積層された積層体と、
前記積層体の表面に設けられ、前記コイル導体層と電気的に接続された外部電極と
を含む積層コイル部品であって、
前記複数の絶縁体層は磁性体であり、
前記複数のコイル導体層は、電気的に接続されコイルを形成し、
前記コイルの軸は、実装面に対して略平行であり、
前記積層体の長手方向の寸法は、３．０ｍｍ以上３．４ｍｍ以下であり、幅方向の寸法は、２．３ｍｍ以上２．７ｍｍ以下であり、
前記コイルのターン数をｘ、前記コイル導体層間の距離をｙ（ｍｍ）とした場合に、（ｘ、ｙ）は、Ａ３（８４，０．００５）、Ｂ３（８４，０．０１）、Ｃ３（７５，０．０１）、Ｄ３（７５，０．０２）、Ｅ３（５４，０．０２）、Ｆ３（５４，０．０３）、Ｇ３（４２，０．０３）、Ｈ３（４２，０．０４）、Ｉ３（３６，０．０４）、Ｊ３（３６，０．０５）、Ｋ３（３０，０．０５）、Ｌ３（３０，０．０６）、Ｍ３（１２，０．０６）、Ｎ３（１８，０．０５）、Ｏ３（１８，０．０４）、Ｐ３（２４，０．０４）、Ｑ３（２４，０．０３）、Ｒ３（３６，０．０３）、Ｓ３（３６，０．０２）、Ｅ３（５４，０．０２）、Ｔ３（５４，０．０１）、Ｃ３（７５，０．０１）、Ｕ３（７５，０．００５）で囲まれる領域以内にある、
積層コイル部品。
［１０］ １０ＭＨｚ以上１ＧＨｚ以下の周波数帯でのインピーダンスが３００Ω以上である、上記［９］に記載の積層コイル部品。
［１１］ 前記コイル導体層の厚みは、１０μｍ以上２５μｍ以下である、上記［１］～［１０］のいずれか１項に記載の積層コイル部品。
［１２］ 前記コイルは、引出部により、前記外部電極に電気的に接続される、上記［１］～［１１］のいずれか１項に記載のコイル部品。
［１］ 複数の絶縁体層と複数のコイル導体層が積層された積層体と、
前記積層体の表面に設けられ、前記コイル導体層と電気的に接続された外部電極と
を含む積層コイル部品であって、
前記複数の絶縁体層は磁性体であり、
前記複数のコイル導体層は、電気的に接続されコイルを形成し、
前記コイルの軸は、実装面に対して略平行であり、
前記積層体の長手方向の寸法は、１．８ｍｍ以上２．２ｍｍ以下であり、幅方向の寸法は、１．０５ｍｍ以上１．４５ｍｍ以下であり、
前記コイルのターン数をｘ、前記コイル導体層間の距離をｙ（ｍｍ）とした場合に、（ｘ、ｙ）は、Ａ１（５４，０．００５）、Ｂ１（５４，０．０１）、Ｃ１（４２，０．０１）、Ｄ１（４２，０．０２）、Ｅ１（３６，０．０２）、Ｆ１（３６，０．０３）、Ｇ１（３０，０．０３）、Ｈ１（３０，０．０４）、Ｉ１（２４，０．０４）、Ｊ１（２４，０．０５）、Ｋ１（１８，０．０５）、Ｌ１（１８，０．０１）、Ｍ１（１２，０．０１）、Ｎ１（１２，０．００５）で囲まれる領域以内にある、
積層コイル部品。
［２］ 前記（ｘ、ｙ）は、Ａ１（５４，０．００５）、Ｂ１（５４，０．０１）、Ｃ１（４２，０．０１）、Ｄ１（４２，０．０２）、Ｅ１（３６，０．０２）、Ｆ１（３６，０．０３）、Ｈ１（３０，０．０４）、Ｏ１（２４，０．０３）、Ｐ１（２４，０．０１）、Ｌ１（１８，０．０１）、Ｑ１（１８，０．００５）で囲まれる領域以内にある、上記［１］に記載の積層コイル部品。
［３］ 前記積層体の高さ方向の寸法は、１．０５ｍｍ以上１．４５ｍｍ以下である、上記［１］または［２］に記載の積層コイル部品。
［４］ １０ＭＨｚ以上１ＧＨｚ以下の周波数帯でのインピーダンスが３００Ω以上である、上記［１］～［３］のいずれか１項に記載の積層コイル部品。
［５］ 複数の絶縁体層と複数のコイル導体層が積層された積層体と、
前記積層体の表面に設けられ、前記コイル導体層と電気的に接続された外部電極と
を含む積層コイル部品であって、
前記複数の絶縁体層は磁性体であり、
前記複数のコイル導体層は、電気的に接続されコイルを形成し、
前記コイルの軸は、実装面に対して略平行であり、
前記積層体の長手方向の寸法は、３．０ｍｍ以上３．４ｍｍ以下であり、幅方向の寸法は、１．４ｍｍ以上１．８ｍｍ以下であり、
前記コイルのターン数をｘ、前記コイル導体層間の距離をｙ（ｍｍ）とした場合に、（ｘ、ｙ）は、Ａ２（８４，０．００５）、Ｂ２（８４，０．０１）、Ｃ２（７５，０．０１）、Ｄ２（７５，０．０２）、Ｅ２（５４，０．０２）、Ｆ２（５４，０．０３）、Ｇ２（４２，０．０３）、Ｈ２（４２，０．０４）、Ｉ２（３６，０．０４）、Ｊ２（３６，０．０５）、Ｋ２（３０，０．０５）、Ｌ２（３０，０．０６）、Ｍ２（１８，０．０６）、Ｎ２（１８，０．０３）、Ｏ２（１２，０．０３）、Ｐ２（１２，０．０１）、Ｑ２（１８，０．０１）、Ｒ２（１８，０．００５）で囲まれる領域以内にある、
積層コイル部品。
［６］ 前記（ｘ、ｙ）は、Ａ２（８４，０．００５）、Ｂ２（８４，０．０１）、Ｃ２（７５，０．０１）、Ｄ２（７５，０．０２）、Ｅ２（５４，０．０２）、Ｆ２（５４，０．０３）、Ｇ２（４２，０．０３）、Ｈ２（４２，０．０４）、Ｉ２（３６，０．０４）、Ｊ２（３６，０．０５）、Ｋ２（３０，０．０５）、Ｌ２（３０，０．０６）、Ｓ２（２４，０．０６）、Ｔ２（２４，０．０４）、Ｕ２（１８，０．０３）、Ｖ２（２４，０．０２）、Ｗ２（３６，０．０２）、Ｘ２（３６，０．０１）、Ｙ２（５４，０．０１）、Ｚ２（５４，０．００５）で囲まれる領域以内にある、上記［５］に記載の積層コイル部品。
［７］ 前記積層体の高さ方向の寸法は、１．４ｍｍ以上１．８ｍｍ以下である、上記［５］または［６］に記載の積層コイル部品。
［８］ １０ＭＨｚ以上１ＧＨｚ以下の周波数帯でのインピーダンスが３００Ω以上である、上記［５］～［７］のいずれか１項に記載の積層コイル部品。
［９］ 複数の絶縁体層と複数のコイル導体層が積層された積層体と、
前記積層体の表面に設けられ、前記コイル導体層と電気的に接続された外部電極と
を含む積層コイル部品であって、
前記複数の絶縁体層は磁性体であり、
前記複数のコイル導体層は、電気的に接続されコイルを形成し、
前記コイルの軸は、実装面に対して略平行であり、
前記積層体の長手方向の寸法は、３．０ｍｍ以上３．４ｍｍ以下であり、幅方向の寸法は、２．３ｍｍ以上２．７ｍｍ以下であり、
前記コイルのターン数をｘ、前記コイル導体層間の距離をｙ（ｍｍ）とした場合に、（ｘ、ｙ）は、Ａ３（８４，０．００５）、Ｂ３（８４，０．０１）、Ｃ３（７５，０．０１）、Ｄ３（７５，０．０２）、Ｅ３（５４，０．０２）、Ｆ３（５４，０．０３）、Ｇ３（４２，０．０３）、Ｈ３（４２，０．０４）、Ｉ３（３６，０．０４）、Ｊ３（３６，０．０５）、Ｋ３（３０，０．０５）、Ｌ３（３０，０．０６）、Ｍ３（１２，０．０６）、Ｎ３（１８，０．０５）、Ｏ３（１８，０．０４）、Ｐ３（２４，０．０４）、Ｑ３（２４，０．０３）、Ｒ３（３６，０．０３）、Ｓ３（３６，０．０２）、Ｅ３（５４，０．０２）、Ｔ３（５４，０．０１）、Ｃ３（７５，０．０１）、Ｕ３（７５，０．００５）で囲まれる領域以内にある、
積層コイル部品。
［１０］ １０ＭＨｚ以上１ＧＨｚ以下の周波数帯でのインピーダンスが３００Ω以上である、上記［９］に記載の積層コイル部品。
［１１］ 前記コイル導体層の厚みは、１０μｍ以上２５μｍ以下である、上記［１］～［１０］のいずれか１項に記載の積層コイル部品。
［１２］ 前記コイルは、引出部により、前記外部電極に電気的に接続される、上記［１］～［１１］のいずれか１項に記載のコイル部品。
【発明の効果】
【0007】
本開示は、大電流を流すことができ、広い周波数帯でインピーダンスが取得することができる積層コイル部品を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、本開示について、図面を参照しながら詳細に説明する。但し、積層コイル部品および各構成要素の形状および配置等は、図示する例に限定されない。
【0010】
本実施形態の積層コイル部品１の斜視図を図１に、断面図を図２に示す。但し、下記実施形態の積層コイル部品および各構成要素の形状および配置等は、図示する例に限定されない。各図面中、同一の機能を有する部材には、同一符号を付している場合がある。各図面が示す部材の大きさや位置関係等は、説明を明確にするため、誇張して示している場合もある。
【0011】
図１および図２に示されるように、本実施形態の積層コイル部品１は、略直方体形状を有する積層コイル部品である。積層コイル部品１において、図１のＬ軸に垂直な面を「端面」と称し、Ｗ軸に垂直な面を「側面」と称し、Ｔ軸に垂直な面を「上面」および「下面」と称する。積層コイル部品１は、下面において基板等の他の電子部品に実装される。即ち、積層コイル部品１の下面は、実装面である。積層コイル部品１は、概略的には、複数の絶縁体層と複数のコイル導体層が積層された積層体２と、積層体２の表面に設けられた外部電極４，５とを含む。積層体２は、絶縁体部６と、絶縁体部６に埋設されたコイル７を含む。絶縁体部６は、複数の絶縁体層が積層されて形成される。コイル７は、複数のコイル導体層８が積層され、積層方向に隣接するコイル導体層同士が接続導体により接続されて形成される。外部電極４，５は、それぞれ、積層体２の一方の端面と４つの側面の一部に連続して設けられる。コイル７のコイルの軸は、積層体２の積層方向、即ち、上記絶縁体層およびコイル導体層８の積層方向は、実装面、即ち積層コイル部品の下面に対して略平行である。
【0012】
上記した本実施形態の積層コイル部品１を以下に説明する。本実施形態では、絶縁体部６がフェライト材料から形成される態様について説明する。
【0013】
本実施形態の積層コイル部品１において、積層体２は、絶縁体部６とコイル７から構成される。
【0014】
絶縁体部６は、複数の絶縁体層を積層することにより形成される。
【0015】
絶縁体部６は、好ましくは磁性体、さらに好ましくは焼結フェライトから構成される。上記焼結フェライトは、主成分として、少なくともＦｅ、Ｎｉ、およびＺｎを含む。焼結フェライトは、さらにＣｕを含んでいてもよい。
【0016】
一の態様において、上記焼結フェライトは、主成分として、少なくともＦｅ、Ｎｉ、ＺｎおよびＣｕを含む。好ましくは、上記焼結フェライトは、Ｎｉ－Ｃｕ－Ｚｎ系フェライトである。
【0017】
上記焼結フェライトにおいて、Ｆｅ含有量は、Ｆｅ２Ｏ３に換算して、好ましくは４０．０モル％以上４９．５モル％以下（主成分合計基準、以下も同様）であり、より好ましくは４５．０モル％以上４９．５モル％以下であり得る。
【0018】
上記焼結フェライトにおいて、Ｚｎ含有量は、ＺｎＯに換算して、好ましくは２．０モル％以上３５．０モル％以下（主成分合計基準、以下も同様）であり、より好ましくは１０．０モル％以上３０．０モル％以下であり得る。
【0019】
上記焼結フェライトにおいて、Ｃｕ含有量は、ＣｕＯに換算して、好ましくは６．０モル％以上１３．０モル％以下（主成分合計基準、以下も同様）であり、より好ましくは７．０モル％以上１０．０モル％以下である。
【0020】
上記焼結フェライトにおいて、Ｎｉ含有量は、特に限定されず、上記した他の主成分であるＦｅ、ＺｎおよびＣｕの残部とし得る。例えば、Ｎｉ含有量は、ＮｉＯに換算して、好ましくは１０．０モル％以上４５．０モル％以下である。
【0021】
一の態様において、上記焼結フェライトは、Ｆｅは、Ｆｅ２Ｏ３に換算して４０．０モル％以上４９．５モル％以下、Ｚｎは、ＺｎＯに換算して２．０モル％以上３５．０モル％以下、Ｃｕは、ＣｕＯに換算して６．０モル％以上１３．０モル％以下、Ｎｉは、ＮｉＯに換算して、１０．０モル％以上４５．０モル％以下である。
【0022】
本開示において、上記焼結フェライトは、さらに添加成分を含んでいてもよい。焼結フェライトにおける添加成分としては、例えばＭｎ、Ｃｏ、Ｓｎ、Ｂｉ、Ｓｉ等が挙げられるが、これに限定されるものではない。Ｍｎ、Ｃｏ、Ｓｎ、ＢｉおよびＳｉの含有量（添加量）は、主成分（Ｆｅ（Ｆｅ２Ｏ３換算）、Ｚｎ（ＺｎＯ換算）、Ｃｕ（ＣｕＯ換算）およびＮｉ（ＮｉＯ換算））の合計１００重量部に対して、それぞれ、Ｍｎ３Ｏ４、Ｃｏ３Ｏ４、ＳｎＯ２、Ｂｉ２Ｏ３、およびＳｉＯ２に換算して、０．１重量部以上１重量部以下であることが好ましい。また、上記焼結フェライトは、さらに製造上不可避な不純物を含んでいてもよい。
【0023】
絶縁体部６の比透磁率は、好ましくは３以上８００以下、より好ましくは１００以上４００以下、さらに好ましくは１００以上２００以下であり得る。
【0024】
上記したように、上記コイル７は、コイル導体層８がコイル状に相互に電気的に接続されることにより構成されている。積層方向に互いに隣接するコイル導体層８は、絶縁体部６を貫通する接続導体（例えば、ビア導体）により接続されている。上記コイル７は、引出部により、外部電極４，５に電気的に接続される。
【0025】
コイル導体層８を構成する材料は、特に限定されないが、例えば、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｐｄ、Ｎｉ等が挙げられる。上記コイル導体層８を構成する材料は、好ましくはＡｇまたはＣｕ、より好ましくはＡｇである。導電性材料は、１種のみであっても、２種以上であってもよい。
【0026】
コイル導体層８の厚みは、好ましくは５μｍ以上５０μｍ以下、より好ましくは１０μｍ以上２５μｍ以下であり得る。コイル導体層８の厚みを大きくすることにより、コイル導体層８の抵抗値がより小さくなり、より大電流に対応できる積層コイル部品を得ることができる。ここにコイル導体層の厚みとは、積層方向（図２ではＬ方向）に沿ったコイル導体層の厚みをいう。
【0027】
コイル導体層８の幅は、好ましくは１００μｍ以上６００μｍ以下、より好ましくは２００μｍ以上４００μｍ以下であり得る。コイル導体層８の幅を大きくすることにより、コイル導体層８の抵抗値がより小さくなり、より大電流に対応できる積層コイル部品を得ることができる。ここにコイル導体層の幅とは、コイルの巻き方向および積層方向に垂直なコイル導体層の幅をいう。
【0028】
上記コイル導体層の厚みは、以下のようにして測定することができる。
チップのＬＴ面を研磨紙に向けた状態で研磨を行い、コイル導体層のＷ寸中央部で研磨を停止する。その後、マイクロスコープで観察を行い、コイル導体層の厚みを、マイクロスコープに付属している測定機能にて測定する。コイル導体層の厚みは、ＬＴ断面におけるコイル導体層幅方向（図２ではＴ方向）のコイル導体層中央部において測定する。
チップのＬＴ面を研磨紙に向けた状態で研磨を行い、コイル導体層のＷ寸中央部で研磨を停止する。その後、マイクロスコープで観察を行い、コイル導体層の厚みを、マイクロスコープに付属している測定機能にて測定する。コイル導体層の厚みは、ＬＴ断面におけるコイル導体層幅方向（図２ではＴ方向）のコイル導体層中央部において測定する。
【0029】
上記コイル導体層の幅は、以下のようにして測定することができる。
チップのＴＷ面を研磨紙に向けた状態で研磨を行い、コイル導体層のＬ寸中央部で研磨を停止する。その後、マイクロスコープで観察を行い、コイル導体層の幅を、マイクロスコープに付属している測定機能にて測定する。
チップのＴＷ面を研磨紙に向けた状態で研磨を行い、コイル導体層のＬ寸中央部で研磨を停止する。その後、マイクロスコープで観察を行い、コイル導体層の幅を、マイクロスコープに付属している測定機能にて測定する。
【0030】
上記接続導体は、上記絶縁体層を貫通するように設けられる。接続導体を構成する材料は、コイル導体層８に関して記載した材料であり得る。上記接続導体を構成する材料は、コイル導体層８を構成する材料と同じであっても異なっていてもよい。好ましい態様において、上記接続導体を構成する材料は、コイル導体層８を構成する材料と同じである。好ましい態様において、上記接続導体を構成する材料は、Ａｇである。
【0031】
積層体２の長手方向の寸法（Ｌ方向の長さ）は、好ましくは、１．８ｍｍ以上３．４ｍｍ以下、幅方向の寸法（Ｗ方向の長さ）は、１．０５ｍｍ以上２．７ｍｍ以下であり得る。
【0032】
一の態様において、積層体２の長手方向の寸法は、１．８ｍｍ以上２．２ｍｍ以下であり、幅方向の寸法は、１．０５ｍｍ以上１．４５ｍｍ以下であり得る。
【0033】
別の態様において、積層体２の長手方向の寸法は、３．０ｍｍ以上３．４ｍｍ以下であり、幅方向の寸法は、１．４ｍｍ以上１．８ｍｍ以下であり得る。
【0034】
別の態様において、積層体２の長手方向の寸法は、３．０ｍｍ以上３．４ｍｍ以下であり、幅方向の寸法は、２．３ｍｍ以上２．７ｍｍ以下であり得る。
【0035】
積層体２の高さ方向の寸法は、一の態様において１．０５ｍｍ以上１．４５ｍｍ以下であり、別の態様において１．４ｍｍ以上１．８ｍｍ以下、さらに別の態様において２．３ｍｍ以上２．７ｍｍ以下であり得る。
【0036】
コイル７のターン数は、好ましくは１２以上８４以下であり得る。
【0037】
上記コイルのターン数は、いわゆるコイルの巻き数を意味する。即ち、ターン数は、コイルが３６０°巻回する度に１増加する。
【0038】
積層体２におけるコイル導体層間の距離は、好ましくは０．００５ｍｍ以上０．０６ｍｍ以下、より好ましくは０．００５ｍｍ以上０．０４ｍｍ以下である。
【0039】
上記コイル導体層間の距離は、以下のようにして測定することができる。
チップのＬＴ面を研磨紙に向けた状態で研磨を行い、コイル導体層のＷ寸中央部で研磨を停止する。その後、マイクロスコープで観察を行い、コイル導体層同士の最短距離（図２における「ｄ」）を、マイクロスコープに付属している測定機能にて測定する。断面におけるすべてのコイル導体層同士の最短距離を測定し、その平均を「コイル導体層間の距離」とする。
チップのＬＴ面を研磨紙に向けた状態で研磨を行い、コイル導体層のＷ寸中央部で研磨を停止する。その後、マイクロスコープで観察を行い、コイル導体層同士の最短距離（図２における「ｄ」）を、マイクロスコープに付属している測定機能にて測定する。断面におけるすべてのコイル導体層同士の最短距離を測定し、その平均を「コイル導体層間の距離」とする。
【0040】
一の態様において、積層体２の長手方向の寸法は、１．８ｍｍ以上２．２ｍｍ以下であり、幅方向の寸法は、１．０５ｍｍ以上１．４５ｍｍ以下であり、積層体２のコイル７のターン数をｘ、コイル導体層間の距離をｙ（ｍｍ）とした場合に、（ｘ、ｙ）は、図４に示すように、Ａ１（５４，０．００５）、Ｂ１（５４，０．０１）、Ｃ１（４２，０．０１）、Ｄ１（４２，０．０２）、Ｅ１（３６，０．０２）、Ｆ１（３６，０．０３）、Ｇ１（３０，０．０３）、Ｈ１（３０，０．０４）、Ｉ１（２４，０．０４）、Ｊ１（２４，０．０５）、Ｋ１（１８，０．０５）、Ｌ１（１８，０．０１）、Ｍ１（１２，０．０１）、Ｎ１（１２，０．００５）で囲まれる領域以内にある。
【0041】
好ましい態様において、積層体２の長手方向の寸法は、１．８ｍｍ以上２．２ｍｍ以下であり、幅方向の寸法は、１．０５ｍｍ以上１．４５ｍｍ以下であり、積層体２のコイル７のターン数をｘ、コイル導体層間の距離をｙ（ｍｍ）とした場合に、（ｘ、ｙ）は、図５に示すように、Ａ１（５４，０．００５）、Ｂ１（５４，０．０１）、Ｃ１（４２，０．０１）、Ｄ１（４２，０．０２）、Ｅ１（３６，０．０２）、Ｆ１（３６，０．０３）、Ｈ１（３０，０．０４）、Ｏ１（２４，０．０３）、Ｐ１（２４，０．０１）、Ｌ１（１８，０．０１）、Ｑ１（１８，０．００５）で囲まれる領域以内にある。
【0042】
一の態様において、積層体２の長手方向の寸法は、３．０ｍｍ以上３．４ｍｍ以下であり、幅方向の寸法は、１．４ｍｍ以上１．８ｍｍ以下であり、積層体２のコイル７のターン数をｘ、コイル導体層間の距離をｙ（ｍｍ）とした場合に、（ｘ、ｙ）は、図６に示すように、Ａ２（８４，０．００５）、Ｂ２（８４，０．０１）、Ｃ２（７５，０．０１）、Ｄ２（７５，０．０２）、Ｅ２（５４，０．０２）、Ｆ２（５４，０．０３）、Ｇ２（４２，０．０３）、Ｈ２（４２，０．０４）、Ｉ２（３６，０．０４）、Ｊ２（３６，０．０５）、Ｋ２（３０，０．０５）、Ｌ２（３０，０．０６）、Ｍ２（１８，０．０６）、Ｎ２（１８，０．０３）、Ｏ２（１２，０．０３）、Ｐ２（１２，０．０１）、Ｑ２（１８，０．０１）、Ｒ２（１８，０．００５）で囲まれる領域以内にある。
【0043】
好ましい態様において、積層体２の長手方向の寸法は、３．０ｍｍ以上３．４ｍｍ以下であり、幅方向の寸法は、１．４ｍｍ以上１．８ｍｍ以下であり、積層体２のコイル７のターン数をｘ、コイル導体層間の距離をｙ（ｍｍ）とした場合に、（ｘ、ｙ）は、図７に示すように、Ａ２（８４，０．００５）、Ｂ２（８４，０．０１）、Ｃ２（７５，０．０１）、Ｄ２（７５，０．０２）、Ｅ２（５４，０．０２）、Ｆ２（５４，０．０３）、Ｇ２（４２，０．０３）、Ｈ２（４２，０．０４）、Ｉ２（３６，０．０４）、Ｊ２（３６，０．０５）、Ｋ２（３０，０．０５）、Ｌ２（３０，０．０６）、Ｓ２（２４，０．０６）、Ｔ２（２４，０．０４）、Ｕ２（１８，０．０３）、Ｖ２（２４，０．０２）、Ｗ２（３６，０．０２）、Ｘ２（３６，０．０１）、Ｙ２（５４，０．０１）、Ｚ２（５４，０．００５）で囲まれる領域以内にある。
【0044】
一の態様において、積層体２の長手方向の寸法は、３．０ｍｍ以上３．４ｍｍ以下であり、幅方向の寸法は、２．３ｍｍ以上２．７ｍｍ以下であり、積層体２のコイル７のターン数をｘ、コイル導体層間の距離をｙ（ｍｍ）とした場合に、（ｘ、ｙ）は、図８に示すように、Ａ３（８４，０．００５）、Ｂ３（８４，０．０１）、Ｃ３（７５，０．０１）、Ｄ３（７５，０．０２）、Ｅ３（５４，０．０２）、Ｆ３（５４，０．０３）、Ｇ３（４２，０．０３）、Ｈ３（４２，０．０４）、Ｉ３（３６，０．０４）、Ｊ３（３６，０．０５）、Ｋ３（３０，０．０５）、Ｌ３（３０，０．０６）、Ｍ３（１２，０．０６）、Ｎ３（１８，０．０５）、Ｏ３（１８，０．０４）、Ｐ３（２４，０．０４）、Ｑ３（２４，０．０３）、Ｒ３（３６，０．０３）、Ｓ３（３６，０．０２）、Ｅ３（５４，０．０２）、Ｔ３（５４，０．０１）、Ｃ３（７５，０．０１）、Ｕ３（７５，０．００５）で囲まれる領域以内にある。
【0045】
本開示の積層コイル部品は、上記の積層体の寸法、および（ｘ、ｙ）を満たすことにより、大電流を流すことができ、広い周波数帯でインピーダンスが取得することができる。
【0046】
外部電極４，５は、積層体２の両端面を覆うように設けられる。上記外部電極は、導電性材料、好ましくはＡｕ、Ａｇ、Ｐｄ、Ｎｉ、ＳｎおよびＣｕから選択される１種またはそれ以上の金属材料から構成される。
【0047】
外部電極４，５は、単層であっても、多層であってもよい。一の態様において、上記外部電極は、多層、好ましくは２層以上４層以下、例えば３層であり得る。
【0048】
一の態様において、外部電極４，５は多層であり、ＡｇまたはＰｄを含む層、Ｎｉを含む層、またはＳｎを含む層を含み得る。好ましい態様において、外部電極４，５は、ＡｇまたはＰｄを含む層、Ｎｉを含む層、およびＳｎを含む層からなる。好ましくは、上記の各層は、コイル導体層側から、ＡｇまたはＰｄ、好ましくはＡｇを含む層、Ｎｉを含む層、Ｓｎを含む層の順で設けられる。好ましくは、上記ＡｇまたはＰｄを含む層はＡｇペーストまたはＰｄペーストを焼き付けた層であり、上記Ｎｉを含む層およびＳｎを含む層は、めっき層であり得る。
【0049】
本開示の積層コイル部品は、１０ＭＨｚ以上１ＧＨｚ以下の周波数帯でのインピーダンスは、好ましくは３００Ω以上、より好ましくは５００Ω以上であり得る。
【0050】
本開示の積層コイル部品は、好ましくは５００ｍＡ以上、より好ましくは１．０Ａ以上以下の電流を流すことができる。本開示の積層コイル部品に電流を流すことができる電流値の上限は、特に限定されないが、例えば６Ａ以下である。
【0051】
上記した本実施形態の積層コイル部品１の製造方法を以下に説明する。本実施形態では、絶縁体部６がフェライト材料から形成される態様について説明する。但し、積層コイル部品１の製造方法は、下記する例に限定されない。
【0052】
（１）磁性材料の調製
【0053】
まず、フェライト材料を準備する。フェライト材料は、例えば、主成分としてＦｅ、Ｚｎ、Ｃｕ、およびＮｉを含む。通常、上記フェライト材料の主成分は、実質的にＦｅ、Ｚｎ、ＣｕおよびＮｉの酸化物（理想的には、Ｆｅ２Ｏ３、ＺｎＯ、ＮｉＯおよびＣｕＯ）から成る。
【0054】
フェライト材料として、Ｆｅ２Ｏ３、ＺｎＯ、ＣｕＯ、ＮｉＯ、および必要に応じて添加成分を所定の組成になるように秤量し、混合および粉砕する。例えば、所定の組成の配合原料を、純水およびＰＳＺ（部分安定化ジルコニア）ボールと共にボールミルに入れ、湿式で４～８時間混合粉砕する。粉砕したフェライト材料を乾燥し、仮焼し、仮焼粉末を得る。例えば、水分を蒸発乾燥させた後、７００℃以上８００℃以下の温度で２時間以上５時間以下仮焼することにより、仮焼粉末を得る。
【0055】
上記フェライト材料において、Ｆｅ含有量は、Ｆｅ２Ｏ３に換算して、好ましくは４０．０モル％以上４９．５モル％以下（主成分合計基準、以下も同様）であり、より好ましくは４５．０モル％以上４９．５モル％以下であり得る。
【0056】
上記フェライト材料において、Ｚｎ含有量は、ＺｎＯに換算して、好ましくは２．０モル％以上３５．０モル％以下（主成分合計基準、以下も同様）であり、より好ましくは１０．０モル％以上３０．０モル％以下であり得る。
【0057】
上記フェライト材料において、Ｃｕ含有量は、ＣｕＯに換算して、好ましくは６．０モル％以上１３．０モル％以下（主成分合計基準、以下も同様）であり、より好ましくは７．０モル％以上１０．０モル％以下である。
【0058】
上記フェライト材料において、Ｎｉ含有量は、特に限定されず、上記した他の主成分であるＦｅ、ＺｎおよびＣｕの残部とし得る。例えば、Ｎｉ含有量は、ＮｉＯに換算して、好ましくは１０．０モル％以上４５．０モル％以下である。
【0059】
一の態様において、上記フェライト材料は、Ｆｅは、Ｆｅ２Ｏ３に換算して４０．０モル％以上４９．５モル％以下、Ｚｎは、ＺｎＯに換算して２．０モル％以上３５．０モル％以下、Ｃｕは、ＣｕＯに換算して６．０モル％以上１３．０モル％以下、Ｎｉは、ＮｉＯに換算して、１０．０モル％以上４５．０モル％以下である。
【0060】
本開示において、上記フェライト材料は、さらに添加成分を含んでいてもよい。フェライト材料における添加成分としては、例えばＭｎ、Ｃｏ、Ｓｎ、Ｂｉ、Ｓｉ等が挙げられるが、これに限定されるものではない。Ｍｎ、Ｃｏ、Ｓｎ、ＢｉおよびＳｉの含有量（添加量）は、主成分（Ｆｅ（Ｆｅ２Ｏ３換算）、Ｚｎ（ＺｎＯ換算）、Ｃｕ（ＣｕＯ換算）およびＮｉ（ＮｉＯ換算））の合計１００重量部に対して、それぞれ、Ｍｎ３Ｏ４、Ｃｏ３Ｏ４、ＳｎＯ２、Ｂｉ２Ｏ３、およびＳｉＯ２に換算して、０．１重量部以上１重量部以下であることが好ましい。また、上記フェライト材料は、さらに製造上不可避な不純物を含んでいてもよい。
【0061】
なお、上記焼結フェライトにおけるＦｅ含有量（Ｆｅ２Ｏ３換算）、Ｍｎ含有量（Ｍｎ２Ｏ３換算）、Ｃｕ含有量（ＣｕＯ換算）、Ｚｎ含有量（ＺｎＯ換算）およびＮｉ含有量（ＮｉＯ換算）は、焼成前のフェライト材料におけるＦｅ含有量（Ｆｅ２Ｏ３換算）、Ｍｎ含有量（Ｍｎ２Ｏ３換算）、Ｃｕ含有量（ＣｕＯ換算）、Ｚｎ含有量（ＺｎＯ換算）およびＮｉ含有量（ＮｉＯ換算）と実質的に相違ないと考えて差し支えない。
【0062】
（２）フェライトシートの調製
作製した仮焼粉末をＰＳＺメディアとともにボールミルに入れ、さらにポリビニルブチラール系等の有機バインダ、エタノール、トルエン等の有機溶剤、及び可塑剤を入れ、混合する。次に、ドクターブレード法等で、膜厚が２０μｍ以上５０μｍ以下のシート状に成形加工し、これを矩形状に打ち抜きグリーンシートを作製する。
作製した仮焼粉末をＰＳＺメディアとともにボールミルに入れ、さらにポリビニルブチラール系等の有機バインダ、エタノール、トルエン等の有機溶剤、及び可塑剤を入れ、混合する。次に、ドクターブレード法等で、膜厚が２０μｍ以上５０μｍ以下のシート状に成形加工し、これを矩形状に打ち抜きグリーンシートを作製する。
【0063】
（３）コイル導体層用導電性ペーストの調製
【0064】
まず、導電性材料を準備する。導電性材料としては、例えば、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｐｄ、Ｎｉ等が挙げられ、好ましくはＡｇまたはＣｕ、より好ましくはＡｇである。所定量の導電性材料の粉末を秤量し、所定量の溶剤（オイゲノールなど）、樹脂（エチルセルロースなど）、および分散剤と、プラネタリーミキサー等で混錬した後、３本ロールミル等で分散することで、コイル導体層用導電性ペーストを作製することができる。
【0065】
（４）コイルパターンの作製
上記で得られたグリーンシートに、レーザー照射を行い所定箇所にビアホールを形成する。導電性ペーストをスクリーン印刷することで、ビアホールに導電性ペーストを充填するとともに、コイル導体層のパターンを形成する。例えば、図３（ａ）～（ｌ）に示すにように、グリーンシート２１ａ～２１ｌに、ビアホールを形成し、ビア導体パターン３１ａ～３１ｌ、コイル導体層パターン３２ｃ～３２ｊを形成する。
上記で得られたグリーンシートに、レーザー照射を行い所定箇所にビアホールを形成する。導電性ペーストをスクリーン印刷することで、ビアホールに導電性ペーストを充填するとともに、コイル導体層のパターンを形成する。例えば、図３（ａ）～（ｌ）に示すにように、グリーンシート２１ａ～２１ｌに、ビアホールを形成し、ビア導体パターン３１ａ～３１ｌ、コイル導体層パターン３２ｃ～３２ｊを形成する。
【0066】
（５）未焼成積層体の作製
上記で得られたコイルパターンを形成したグリーンシートを所定の順番で積み重ねる。具体的には、図３（ａ）～（ｂ）に示すように、ビア導体パターンを形成したグリーンシートを積層する。積層するグリーンシートは、積層コイル部品の外装を形成し、ビア導体パターンは、引出部を形成する。なお、かかる工程において、積層するグリーンシートの数は、所望の外装の厚みに応じて適宜選択できる。ついで、図３（ｃ）～（ｊ）に示すにように、ビア導体パターンおよびコイル導体パターンを形成したグリーンシートを積層する。図３（ｃ）～（ｆ）のグリーンシートにより形成されるコイルパターンは、ターン数が３である。なお、かかる工程において、積層するグリーンシートの数は、所望のターン数に応じて適宜選択できる。ついで、図３（ｋ）～（ｌ）に示すように、ビア導体パターンを形成したグリーンシートを積層する。積層するグリーンシートは、積層コイル部品の外装を形成し、ビア導体パターンは、引出部を形成する。なお、かかる工程において、積層するグリーンシートの数は、所望の外装の厚みに応じて適宜選択できる。このようにして積層したグリーンシートを熱圧着して、未焼成の積層ブロックを作製する。
上記で得られたコイルパターンを形成したグリーンシートを所定の順番で積み重ねる。具体的には、図３（ａ）～（ｂ）に示すように、ビア導体パターンを形成したグリーンシートを積層する。積層するグリーンシートは、積層コイル部品の外装を形成し、ビア導体パターンは、引出部を形成する。なお、かかる工程において、積層するグリーンシートの数は、所望の外装の厚みに応じて適宜選択できる。ついで、図３（ｃ）～（ｊ）に示すにように、ビア導体パターンおよびコイル導体パターンを形成したグリーンシートを積層する。図３（ｃ）～（ｆ）のグリーンシートにより形成されるコイルパターンは、ターン数が３である。なお、かかる工程において、積層するグリーンシートの数は、所望のターン数に応じて適宜選択できる。ついで、図３（ｋ）～（ｌ）に示すように、ビア導体パターンを形成したグリーンシートを積層する。積層するグリーンシートは、積層コイル部品の外装を形成し、ビア導体パターンは、引出部を形成する。なお、かかる工程において、積層するグリーンシートの数は、所望の外装の厚みに応じて適宜選択できる。このようにして積層したグリーンシートを熱圧着して、未焼成の積層ブロックを作製する。
【0067】
（６）焼成
次に、上記で得られた未焼成積層体ブロックを、ダイサーなどで切断して、各素体に個片化する。
次に、上記で得られた未焼成積層体ブロックを、ダイサーなどで切断して、各素体に個片化する。
【0068】
ついで、例えば９００℃以上９２０℃以下の温度で２～４時間、未焼成素体を焼成し、積層コイル部品１の積層体２を得る。
【0069】
ついで、得られた積層体２を、バレル処理することにより、素体の角を削り、丸みを形成してもよい。なお、バレル処理は、未焼成の積層体に対して行ってもよく、焼成後の積層体に対して行ってもよい。また、バレル処理は、乾式または湿式のどちらであってもよい。バレル処理は、素子同士を共擦する方法であってもよく、メディアと一緒にバレル処理する方法であってもよい。
【0070】
（７）外部電極の形成
次に、積層体２の端面にＡｇおよびガラスを含む外部電極形成用Ａｇペーストを塗布し、８００℃以上８２０℃以下で焼き付けすることで下地電極を形成する。下地電極の厚みは、好ましくは１μｍ以上１０μｍ以下、より好ましくは３μｍ以上６μｍ以下であり得る。次に、電解めっきで下地電極の上に、Ｎｉ被膜、Ｓｎ被膜を順次形成することにより、外部電極を形成し、図１に示すような積層コイル部品１が得られる。
次に、積層体２の端面にＡｇおよびガラスを含む外部電極形成用Ａｇペーストを塗布し、８００℃以上８２０℃以下で焼き付けすることで下地電極を形成する。下地電極の厚みは、好ましくは１μｍ以上１０μｍ以下、より好ましくは３μｍ以上６μｍ以下であり得る。次に、電解めっきで下地電極の上に、Ｎｉ被膜、Ｓｎ被膜を順次形成することにより、外部電極を形成し、図１に示すような積層コイル部品１が得られる。
【0071】
以上、本発明の１つの実施形態について説明したが、本実施形態は種々の改変が可能である。
【0072】
以下、本発明を実施例を挙げて説明するが、本発明はかかる実施例のみに限定されるものではない。
【実施例】
【0073】
実施例
ムラタソフトウェア株式会社の解析シミュレーションソフトウェアＦｅｍｔｅｔ（登録商標）を用いて、ターン数とコイル導体層間距離を変化させて、１０ＭＨｚ以上１ＧＨｚ以下の周波数領域において、３００Ω以上および５００Ω以上のインピーダンスが得られる領域を求めた。シミュレーションは、下記積層コイル部品Ａ、Ｂ及びＣについて行った。
積層コイル部品Ａ：長手方向の寸法＝２．０ｍｍ，幅方向の寸法＝１．２ｍｍ
積層コイル部品Ｂ：長手方向の寸法＝３．２ｍｍ，幅方向の寸法＝１．６ｍｍ
積層コイル部品Ｃ：長手方向の寸法＝３．２ｍｍ，幅方向の寸法＝２．５ｍｍ
ムラタソフトウェア株式会社の解析シミュレーションソフトウェアＦｅｍｔｅｔ（登録商標）を用いて、ターン数とコイル導体層間距離を変化させて、１０ＭＨｚ以上１ＧＨｚ以下の周波数領域において、３００Ω以上および５００Ω以上のインピーダンスが得られる領域を求めた。シミュレーションは、下記積層コイル部品Ａ、Ｂ及びＣについて行った。
積層コイル部品Ａ：長手方向の寸法＝２．０ｍｍ，幅方向の寸法＝１．２ｍｍ
積層コイル部品Ｂ：長手方向の寸法＝３．２ｍｍ，幅方向の寸法＝１．６ｍｍ
積層コイル部品Ｃ：長手方向の寸法＝３．２ｍｍ，幅方向の寸法＝２．５ｍｍ
【0074】
シミュレーション条件
ＣＡＥ（Computer Aided Engineering）ソフトウェアＦｅｍｔｅｔ（ムラタソフトウェア株式会社 登録商標）を用いてシミュレーションを実施した。はじめに、図１、２及び３に示される積層コイル部品の３Ｄモデルを作成した。積層コイル部品の長手方向の寸法を３．１００ｍｍに、幅方向および高さ方向の寸法を１．５２０ｍｍに、コイル内径を０．４５０ｍｍに、コイル導体層の幅を０．２１０ｍｍに、コイル導体層の厚みを０．０１８ｍｍに、ランド半径を０．１２５ｍｍに、ビア半径を０．０６０ｍｍに、外部電極の積層コイル部品長手方向の寸法を０．７７５ｍｍに、コイル導体層間厚を０．００５ｍｍから０．０６０ｍｍの範囲に、コイルの総ターン数を１８．００ターンから８４．００ターンの範囲に設定した。コイル導体部および外部電極の材料は銀とした。このとき、銀の比誘電率を１．０に、導電率を６．２８９×１０７Ｓ／ｍとして、チップコイル部品の素体部はフェライトとした。このとき、フェライトの比誘電率を１５に、１０ＭＨｚにおける比透磁率及びｔａｎδをそれぞれ１２５及び０．０１１６に、１００ＭＨｚにおける比透磁率及びｔａｎδをそれぞれ４２及び１．４９８０に、１ＧＨｚにおける比透磁率及びｔａｎδをそれぞれ１．４２及び８．０９７５に設定した。解析条件は電場解析の調和解析に設定し、１０ＭＨｚ、１００ＭＨｚおよび１ＧＨｚにおけるインピーダンス（｜Ｚ｜値）を求めた。（各比誘電率、導電率、比透磁率、ｔａｎδは実測値である。）
ＣＡＥ（Computer Aided Engineering）ソフトウェアＦｅｍｔｅｔ（ムラタソフトウェア株式会社 登録商標）を用いてシミュレーションを実施した。はじめに、図１、２及び３に示される積層コイル部品の３Ｄモデルを作成した。積層コイル部品の長手方向の寸法を３．１００ｍｍに、幅方向および高さ方向の寸法を１．５２０ｍｍに、コイル内径を０．４５０ｍｍに、コイル導体層の幅を０．２１０ｍｍに、コイル導体層の厚みを０．０１８ｍｍに、ランド半径を０．１２５ｍｍに、ビア半径を０．０６０ｍｍに、外部電極の積層コイル部品長手方向の寸法を０．７７５ｍｍに、コイル導体層間厚を０．００５ｍｍから０．０６０ｍｍの範囲に、コイルの総ターン数を１８．００ターンから８４．００ターンの範囲に設定した。コイル導体部および外部電極の材料は銀とした。このとき、銀の比誘電率を１．０に、導電率を６．２８９×１０７Ｓ／ｍとして、チップコイル部品の素体部はフェライトとした。このとき、フェライトの比誘電率を１５に、１０ＭＨｚにおける比透磁率及びｔａｎδをそれぞれ１２５及び０．０１１６に、１００ＭＨｚにおける比透磁率及びｔａｎδをそれぞれ４２及び１．４９８０に、１ＧＨｚにおける比透磁率及びｔａｎδをそれぞれ１．４２及び８．０９７５に設定した。解析条件は電場解析の調和解析に設定し、１０ＭＨｚ、１００ＭＨｚおよび１ＧＨｚにおけるインピーダンス（｜Ｚ｜値）を求めた。（各比誘電率、導電率、比透磁率、ｔａｎδは実測値である。）
【0075】
得られた結果を、下記表１～表３に示す。
【0076】
表１：積層コイル部品Ａにおけるシミュレーション結果
【表1】
【0077】
表２：積層コイル部品Ｂにおけるシミュレーション結果
【表2】
【0078】
表３：積層コイル部品Ｃにおけるシミュレーション結果
【表3】
【0079】
上記の結果から、積層コイル部品Ａ～Ｃについて、３００Ω以上および５００Ω以上のインピーダンスが得られる領域は、下記通りであった。なお、コイルのターン数をｘ、前記コイル導体層間の距離をｙ（ｍｍ）とする。
【0080】
積層コイル部品Ａ、３００Ω以上
Ａ１（５４，０．００５）、Ｂ１（５４，０．０１）、Ｃ１（４２，０．０１）、Ｄ１（４２，０．０２）、Ｅ１（３６，０．０２）、Ｆ１（３６，０．０３）、Ｇ１（３０，０．０３）、Ｈ１（３０，０．０４）、Ｉ１（２４，０．０４）、Ｊ１（２４，０．０５）、Ｋ１（１８，０．０５）、Ｌ１（１８，０．０１）、Ｍ１（１２，０．０１）、Ｎ１（１２，０．００５）で囲まれる領域（図４に示す領域）
Ａ１（５４，０．００５）、Ｂ１（５４，０．０１）、Ｃ１（４２，０．０１）、Ｄ１（４２，０．０２）、Ｅ１（３６，０．０２）、Ｆ１（３６，０．０３）、Ｇ１（３０，０．０３）、Ｈ１（３０，０．０４）、Ｉ１（２４，０．０４）、Ｊ１（２４，０．０５）、Ｋ１（１８，０．０５）、Ｌ１（１８，０．０１）、Ｍ１（１２，０．０１）、Ｎ１（１２，０．００５）で囲まれる領域（図４に示す領域）
【0081】
積層コイル部品Ａ、５００Ω以上
Ａ１（５４，０．００５）、Ｂ１（５４，０．０１）、Ｃ１（４２，０．０１）、Ｄ１（４２，０．０２）、Ｅ１（３６，０．０２）、Ｆ１（３６，０．０３）、Ｈ１（３０，０．０４）、Ｏ１（２４，０．０３）、Ｐ１（２４，０．０１）、Ｌ１（１８，０．０１）、Ｑ１（１８，０．００５）で囲まれる領域（図５に示す領域）
Ａ１（５４，０．００５）、Ｂ１（５４，０．０１）、Ｃ１（４２，０．０１）、Ｄ１（４２，０．０２）、Ｅ１（３６，０．０２）、Ｆ１（３６，０．０３）、Ｈ１（３０，０．０４）、Ｏ１（２４，０．０３）、Ｐ１（２４，０．０１）、Ｌ１（１８，０．０１）、Ｑ１（１８，０．００５）で囲まれる領域（図５に示す領域）
【0082】
積層コイル部品Ｂ、３００Ω以上
Ａ２（８４，０．００５）、Ｂ２（８４，０．０１）、Ｃ２（７５，０．０１）、Ｄ２（７５，０．０２）、Ｅ２（５４，０．０２）、Ｆ２（５４，０．０３）、Ｇ２（４２，０．０３）、Ｈ２（４２，０．０４）、Ｉ２（３６，０．０４）、Ｊ２（３６，０．０５）、Ｋ２（３０，０．０５）、Ｌ２（３０，０．０６）、Ｍ２（１８，０．０６）、Ｎ２（１８，０．０３）、Ｏ２（１２，０．０３）、Ｐ２（１２，０．０１）、Ｑ２（１８，０．０１）、Ｒ２（１８，０．００５）で囲まれる領域（図６に示す領域）
Ａ２（８４，０．００５）、Ｂ２（８４，０．０１）、Ｃ２（７５，０．０１）、Ｄ２（７５，０．０２）、Ｅ２（５４，０．０２）、Ｆ２（５４，０．０３）、Ｇ２（４２，０．０３）、Ｈ２（４２，０．０４）、Ｉ２（３６，０．０４）、Ｊ２（３６，０．０５）、Ｋ２（３０，０．０５）、Ｌ２（３０，０．０６）、Ｍ２（１８，０．０６）、Ｎ２（１８，０．０３）、Ｏ２（１２，０．０３）、Ｐ２（１２，０．０１）、Ｑ２（１８，０．０１）、Ｒ２（１８，０．００５）で囲まれる領域（図６に示す領域）
【0083】
積層コイル部品Ｂ、５００Ω以上
Ａ２（８４，０．００５）、Ｂ２（８４，０．０１）、Ｃ２（７５，０．０１）、Ｄ２（７５，０．０２）、Ｅ２（５４，０．０２）、Ｆ２（５４，０．０３）、Ｇ２（４２，０．０３）、Ｈ２（４２，０．０４）、Ｉ２（３６，０．０４）、Ｊ２（３６，０．０５）、Ｋ２（３０，０．０５）、Ｌ２（３０，０．０６）、Ｓ２（２４，０．０６）、Ｔ２（２４，０．０４）、Ｕ２（１８，０．０３）、Ｖ２（２４，０．０２）、Ｗ２（３６，０．０２）、Ｘ２（３６，０．０１）、Ｙ２（５４，０．０１）、Ｚ２（５４，０．００５）で囲まれる領域（図７に示す領域）
Ａ２（８４，０．００５）、Ｂ２（８４，０．０１）、Ｃ２（７５，０．０１）、Ｄ２（７５，０．０２）、Ｅ２（５４，０．０２）、Ｆ２（５４，０．０３）、Ｇ２（４２，０．０３）、Ｈ２（４２，０．０４）、Ｉ２（３６，０．０４）、Ｊ２（３６，０．０５）、Ｋ２（３０，０．０５）、Ｌ２（３０，０．０６）、Ｓ２（２４，０．０６）、Ｔ２（２４，０．０４）、Ｕ２（１８，０．０３）、Ｖ２（２４，０．０２）、Ｗ２（３６，０．０２）、Ｘ２（３６，０．０１）、Ｙ２（５４，０．０１）、Ｚ２（５４，０．００５）で囲まれる領域（図７に示す領域）
【0084】
積層コイル部品Ｃ、３００Ω以上
Ａ３（８４，０．００５）、Ｂ３（８４，０．０１）、Ｃ３（７５，０．０１）、Ｄ３（７５，０．０２）、Ｅ３（５４，０．０２）、Ｆ３（５４，０．０３）、Ｇ３（４２，０．０３）、Ｈ３（４２，０．０４）、Ｉ３（３６，０．０４）、Ｊ３（３６，０．０５）、Ｋ３（３０，０．０５）、Ｌ３（３０，０．０６）、Ｍ３（１２，０．０６）、Ｎ３（１８，０．０５）、Ｏ３（１８，０．０４）、Ｐ３（２４，０．０４）、Ｑ３（２４，０．０３）、Ｒ３（３６，０．０３）、Ｓ３（３６，０．０２）、Ｅ３（５４，０．０２）、Ｔ３（５４，０．０１）、Ｃ３（７５，０．０１）、Ｕ３（７５，０．００５）で囲まれる領域（図８に示す領域）
Ａ３（８４，０．００５）、Ｂ３（８４，０．０１）、Ｃ３（７５，０．０１）、Ｄ３（７５，０．０２）、Ｅ３（５４，０．０２）、Ｆ３（５４，０．０３）、Ｇ３（４２，０．０３）、Ｈ３（４２，０．０４）、Ｉ３（３６，０．０４）、Ｊ３（３６，０．０５）、Ｋ３（３０，０．０５）、Ｌ３（３０，０．０６）、Ｍ３（１２，０．０６）、Ｎ３（１８，０．０５）、Ｏ３（１８，０．０４）、Ｐ３（２４，０．０４）、Ｑ３（２４，０．０３）、Ｒ３（３６，０．０３）、Ｓ３（３６，０．０２）、Ｅ３（５４，０．０２）、Ｔ３（５４，０．０１）、Ｃ３（７５，０．０１）、Ｕ３（７５，０．００５）で囲まれる領域（図８に示す領域）
【産業上の利用可能性】
【0085】
本開示の積層コイル部品は、インダクタなどとして幅広く様々な用途に使用され得る。
【符号の説明】
【0086】
１…積層コイル部品
２…積層体
４，５…外部電極
６…絶縁体部
７…コイル
８…コイル導体層
２１ａ～２１ｌ…グリーンシート
３１ａ～３１ｌ…ビア導体パターン
３２ｃ～３２ｊ…コイル導体パターン
２…積層体
４，５…外部電極
６…絶縁体部
７…コイル
８…コイル導体層
２１ａ～２１ｌ…グリーンシート
３１ａ～３１ｌ…ビア導体パターン
３２ｃ～３２ｊ…コイル導体パターン
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】