特許 7636037 バルブ装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2025-02-17

(45)【発行日】2025-02-26

(54)【発明の名称】バルブ装置

(51)【国際特許分類】

   F16K 31/122 20060101AFI20250218BHJP

【ＦＩ】

F16K31/122

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2023538289

(86)(22)【出願日】2022-05-12

(86)【国際出願番号】 JP2022020127

(87)【国際公開番号】W WO2023007907

(87)【国際公開日】2023-02-02

【審査請求日】2023-11-21

(31)【優先権主張番号】P 2021125167

(32)【優先日】2021-07-30

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】390033857

【氏名又は名称】株式会社フジキン

(74)【代理人】

【識別番号】110002468

【氏名又は名称】弁理士法人後藤特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】渡辺 一誠

(72)【発明者】

【氏名】中田 知宏

(72)【発明者】

【氏名】篠原 努

【審査官】山崎 孔徳

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１３－１８５６７７（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０２０／２６１９５２（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ１６Ｋ ３１／１２２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

流路が形成される流路ブロックと、
前記流路を開閉する弁体と、
ケースと、前記ケースに収容され、流体流路が形成されるピストンと、前記ピストンと一体に軸方向に移動することにより前記弁体を開位置又は閉位置に移動させるステムと、前記ケースと前記ピストンとによって取り囲まれる流体導入室と、駆動流体を前記流体流路を介して前記流体導入室に供給する継手と、を有するアクチュエータと、を備え、
前記継手は、前記ピストンと隙間なく連結して設けられる、
バルブ装置。

【請求項2】

前記継手は、前記ピストン及び前記ステムと一体に前記軸方向に移動する際に前記ケースと摺接しない、
請求項１に記載のバルブ装置。

【請求項3】

前記ケースの一端には、貫通孔が形成され、
前記継手の外周面と前記貫通孔の内周面との間には、クリアランスが形成される、
請求項２に記載のバルブ装置。

【請求項4】

前記継手は、前記ピストン及び前記ステムと一体に前記軸方向に移動する際に前記ケースからはみ出ない、
請求項１に記載のバルブ装置。

【請求項5】

前記ケースは、
キャップと、
前記キャップ及び前記流路ブロックの両方に連結されるボンネットと、を有し、
前記ステムは、全体が前記ボンネットに収容される、
請求項１に記載のバルブ装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、バルブ装置に関する。

【背景技術】

【0002】

ＪＰ２０１２－２６５４４Ａには、流路が形成される流路ブロックと、流路を開閉する弁体と、ケースと、ケースに収容されるピストンと、ピストンと一体に軸方向に移動することにより弁体を開位置又は閉位置に移動させるステムと、駆動エアをピストンに供給する継手であって、ケースの頂壁に取り付けられるワンタッチ継手と、を有するアクチュエータと、を備えるバルブ装置が開示されている。

【発明の概要】

【0003】

しかしながら、ＪＰ２０１２－２６５４４Ａに記載のバルブ装置では、ピストンが流路ブロックから離間する方向へ移動する際に継手とピストンとの間に供給される駆動エアの圧力がピストンの上端において下方へ作用するため、ピストンの上方への移動を阻害するおそれがある。特に、小型バルブ装置では、ピストンが流路ブロックから離間する方向へ移動する際に継手とピストンとの間に供給される駆動エアの圧力による悪影響が顕著となってしまう。

【0004】

本発明は、この問題点に着目してなされたものであり、ピストンが流路ブロックから離間する方向へ移動する際に継手とピストンとの間に供給される駆動流体の圧力による悪影響を抑制できるバルブ装置を提供することを目的とする。

【0005】

本発明のある態様によれば、流路が形成される流路ブロックと、前記流路を開閉する弁体と、ケースと、前記ケースに収容され、流体流路が形成されるピストンと、前記ピストンと一体に軸方向に移動することにより前記弁体を開位置又は閉位置に移動させるステムと、前記ケースと前記ピストンとによって取り囲まれる流体導入室と、駆動流体を前記流体流路を介して前記流体導入室に供給する継手と、を有するアクチュエータと、を備え、前記継手は、前記ピストンと隙間なく連結して設けられる。

【0006】

この態様によれば、ピストンが流路ブロックから離間する方向へ移動する際に継手とピストンとの間に供給される駆動流体の圧力による悪影響を抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】図１は、本発明の実施形態に係るバルブ装置を示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0008】

以下、添付図面を参照しながら本発明の実施形態（以下、本実施形態と称する）について説明する。本明細書においては、全体を通じて、同一の要素には同一の符号を付する。

【0009】

（バルブ装置の構成）
まず、図１を参照しながら本実施形態に係るバルブ装置１について説明する。図１は、バルブ装置１を示す断面図である。図１において、ワンタッチ継手６５を非断面で示している。

【0010】

本実施形態に係るバルブ装置１は、半導体の製造に用いられる流体制御装置（図示しない）に設けられる。流体制御装置は、ＡＬＤ（Ａｔｏｍｉｃ Ｌａｙｅｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ／すなわち、原子層堆積）法によって半導体ウェハ等の基板に所定の薄膜を形成する薄膜生成工程に用いられる。

【0011】

図１に示すように、バルブ装置１は、流路ブロック２、弁体としてのダイヤフラム３、弁体押さえとしてのダイヤフラム押さえ４、スペーサ５及びアクチュエータ６を備える。バルブ装置１は、駆動流体としての駆動エアをアクチュエータ６に供給することによりダイヤフラム３の開閉を行うエアオペレートバルブである。

【0012】

流路ブロック２は、流路としての流体流入流路２１、流体流出流路２２及びアクチュエータ６を構成するケース６１のボンネット６１２（後述する）が収容される凹部２３を有する。

【0013】

流体流入流路２１の一端としての上端及び流体流出流路２２の一端としての上端は、凹部２３を介して連通する。流体流入流路２１の一端の周縁には、円環状の弁座２４が設けられる。流路ブロック２は、凹部２３を形成する周壁２３１を備える。周壁２３１の内周面には、ボンネット６１２に螺合する雌ねじ２３２が形成される。

【0014】

ダイヤフラム３は、弁座２４から離間又は弁座２４に押圧されて流体流入流路２１を開閉するためのシート状の弁体である。ダイヤフラム３は、流路側とアクチュエータ６側とを隔てる隔膜部材である。また、ダイヤフラム３は、自然状態においてアクチュエータ６側（図１の上側）に向かって隆起する円弧状に形成され、例えば、ニッケル合金薄板等からなる。通常、ダイヤフラム３は、ダイヤフラム押さえ４によって弁座２４に押さえられる。

【0015】

ダイヤフラム押さえ４は、ダイヤフラム３を弁座２４に押さえるための円柱状の押さえ部材である。ダイヤフラム押さえ４は、ボンネット６１２に収容される。ダイヤフラム押さえ４は、一端としての上端がアクチュエータ６を構成するステム６４（後述する）と当接されるとともに、他端としての下端がダイヤフラム３と対向する。

【0016】

スペーサ５は、ダイヤフラム３の外周縁を押さえるための円環状の押さえアダプタである。スペーサ５は、流路ブロック２の凹部２３の底面とボンネット６１２の下端との間に設けられる。ダイヤフラム３の外周縁は、スペーサ５と凹部２３の底面との間で保持され、ボンネット６１２を周壁２３１の雌ねじ２３２にねじ込むことにより固定される。スペーサ５の内周側には、ダイヤフラム３と接触するダイヤフラム押さえ４の下端が挿通される。

【0017】

アクチュエータ６は、ボンネット６１２の第２収容室６１２ｆ（後述する）に収容されたダイヤフラム押さえ４を介してダイヤフラム３を弁座２４に押圧又は離間させることにより、流体流入流路２１と流体流出流路２２とを遮断又は連通させる。アクチュエータ６は、ケース６１、ピストン６２、コイルばね６３、ステム６４及び継手としてのワンタッチ継手６５を有する。なお、本実施形態では、ステム６４は、ピストン６２とは異なる部品として説明しているが、これに限定されるものではなく、例えば、ピストン６２の一部としてもよい。

【0018】

ケース６１は、ピストン６２、コイルばね６３、ステム６４及びワンタッチ継手６５を収容するための枠部材である。ケース６１は、流路ブロック２の上方に設けられる。また、ケース６１は、上ケースとしての略有底円筒状のキャップ６１１と、ねじ螺合によってキャップ６１１に連結される下ケースとしてのボンネット６１２と、を有する。

【0019】

キャップ６１１は、円筒状の周壁６１１ａと、周壁６１１ａの一端としての上端に設けられる円板状の頂壁６１１ｂと、を有する。

【0020】

周壁６１１ａの他端側としての下端側の外周面には、ボンネット６１２に螺合する雄ねじ６１１ｃが形成される。ケース６１の一端としての頂壁６１１ｂの中央には、ステム６４の軸方向（図１の上下方向）に貫通する貫通孔６１１ｄが形成される。貫通孔６１１ｄには、駆動エア供給制御部（図示しない）とワンタッチ継手６５とを連結するための可撓性チューブ（図示しない）が挿通される。

【0021】

頂壁６１１ｂには、貫通孔６１１ｄを取り囲むようにコイルばね６３の一端としての上端を保持する保持面としての円環面６１１ｅが形成される。コイルばね６３は、上端が円環面６１１ｅに当接するとともに他端としての下端がピストン６２に当接するように圧縮状態で円環面６１１ｅとピストン６２との間に形成されるばね収容空間６６に収容される。

【0022】

頂壁６１１ｂには、貫通孔６１１ｄと干渉しないようにキャップ６１１を回転させる回転治具が係合する一対の係合穴６１１ｆが形成される。

【0023】

ボンネット６１２は、ねじ螺合によってキャップ６１１及び流路ブロック２の両方に連結されるものである。ボンネット６１２は、円筒状の周壁６１２ａと、周壁６１２ａの下端に設けられるボンネット本体６１２ｂと、を有する。

【0024】

周壁６１２ａの一端側としての上端側の内周面には、雄ねじ６１１ｃに螺合する雌ねじ６１２ｃが形成される。周壁６１２ａの他端側としての下端側の内周面には、第１シール材としてのＯリング６７の外周面が当接する当接面６１２ｄが形成される。

【0025】

ボンネット本体６１２ｂの一端としての上端の中央部分には、第２シール材としてのＯリング６８を収容する第１収容室６１２ｅが形成される。そして、Ｏリング６８が第１収容室６１２ｅに収容された状態において、第１収容室６１２ｅの内周面とＯリング６８の外周面とは、当接する。ボンネット本体６１２ｂの他端としての下端の中央部分には、ダイヤフラム押さえ４を収容する第２収容室６１２ｆが形成される。ボンネット本体６１２ｂには、第１収容室６１２ｅと第２収容室６１２ｆとを連通するとともにステム６４が挿通される挿通孔６１２ｇが形成される。

【0026】

また、ボンネット本体６１２ｂの下端側の外周面には、周壁２３１の雌ねじ２３２に螺合する雄ねじ６１２ｈが設けられる。さらに、ボンネット本体６１２ｂには、挿通孔６１２ｇと外部とを連通するエア抜き孔６１２ｉがステム６４の径方向に沿って形成される。

【0027】

ピストン６２は、円板状のピストン本体６２１と、ピストン本体６２１の一端としての上端に設けられる連結部６２２と、連結部６２２及びピストン本体６２１に形成される流体流路としてのエア流路６２３と、を有する。

【0028】

ピストン本体６２１は、摺接面としての外周面がＯリング６７の内周面と摺接する。ピストン本体６２１の上端側には、ピストン本体６２１の外周面から突出する円環状のフランジ６２１ａが設けられる。フランジ６２１ａとボンネット本体６１２ｂの上端面との間には、Ｏリング６７が収容される。

【0029】

ピストン本体６２１の一端面としての上端面の中央部分には、ピストン本体６２１の上端面から突出する筒状（具体的には、円筒状）の連結部６２２が設けられる。ピストン本体６２１の上端面には、連結部６２２を取り囲むようにコイルばね６３の下端を保持する保持面としての円環面６２１ｂが形成される。連結部６２２の内周面には、ワンタッチ継手６５の雄ねじ６５２ａ（後述する）に螺合する雌ねじ６２２ａが形成される。

【0030】

エア流路６２３は、駆動エアを後述する流体導入室としてのエア導入室６９に導入するための流路である。エア流路６２３は、上下方向に（すなわち、ステム６４の軸方向）沿って延在するように連結部６２２及びピストン本体６２１に形成される軸方向流路６２３ａと、軸方向流路６２３ａとエア導入室６９とを連通するようにピストン本体６２１及びステム６４に形成される連通流路６２３ｂと、を有する。

【0031】

軸方向流路６２３ａは、雌ねじ６２２ａの下端と接続され、先端がピストン本体６２１に入り込むように形成される。連通流路６２３ｂは、軸方向流路６２３ａの先端とエア導入室６９とを連通するようにステム６４の軸方向に対して傾斜して形成される。

【0032】

ステム６４は、ピストン６２と一体に軸方向に移動することによりダイヤフラム押さえ４を介してダイヤフラム３を開位置又は閉位置に移動させるステムである。ピストン本体６２１の他端面としての下端面の中央部分には、ピストン本体６２１の下端面から突出するステム６４が設けられる。本実施形態では、ステム６４は、ピストン６２と一体形成されているが、これに限定されるものではなく、例えば、ピストン６２と別体形成されてもよい。

【0033】

ステム６４は、第１収容室６１２ｅ及び挿通孔６１２ｇを順に挿通し、先端が第２収容室６１２ｆに入り込むように形成される。ステム６４は、摺接面としての外周面がＯリング６８の内周面と摺接する。ステム６４の先端には、ダイヤフラム押さえ４が当接される。これにより、ダイヤフラム押さえ４は、ステム６４と一体に軸方向に移動することができる。

【0034】

エア導入室６９は、ボンネット６１２、ピストン本体６２１、ステム６４、Ｏリング６７及びＯリング６８により取り囲まれる領域である。

【0035】

ワンタッチ継手６５は、可撓性チューブとピストン６２の連結部６２２とを連結するための継手である。ワンタッチ継手６５は、ピストン６２の連結部６２２と連結して設けられる。これにより、ケース６１のキャップ６１１にワンタッチ継手６５を連結させるための連結構造を設ける必要がないため、キャップ６１１の構造の簡素化を図ることができる。

【0036】

また、ワンタッチ継手６５は、筒状（具体的には、円筒状）の継手本体６５１と、継手本体６５１の他端としての下端に設けられる筒状（具体的には、円筒状）の螺合部６５２と、継手本体６５１及び螺合部６５２の内周側に形成される継手流路６５３と、を有する。螺合部６５２の外周面には、連結部６２２の雌ねじ６２２ａに螺合する雄ねじ６５２ａが形成される。螺合部６５２は、外径が継手本体６５１の外径よりも小さい。継手流路６５３は、両端がそれぞれ可撓性チューブの流路及びピストン６２のエア流路６２３（具体的には、軸方向流路６２３ａ）と連通する。

【0037】

継手本体６５１の一端としての上端と可撓性チューブの先端との連結箇所は、シーリングされる。そして、螺合部６５２の雄ねじ６５２ａを連結部６２２の雌ねじ６２２ａに螺合させることにより、ワンタッチ継手６５がピストン６２の連結部６２２と連結される。これにより、ワンタッチ継手６５とピストン６２との間に存在する隙間をなくすことができるため、ピストン６２が流路ブロック２から離間して上方へ移動する際にワンタッチ継手６５とピストン６２との間に供給される駆動エアの圧力による悪影響を抑制することができる。

【0038】

また、ピストン６２とキャップ６１１との間、及び、キャップ６１１の貫通孔６１１ｄとワンタッチ継手６５との間をそれぞれシーリングする必要がなく、ピストン６２の先端とキャップ６１１との間、及び、貫通孔６１１ｄとワンタッチ継手６５との間をそれぞれシーリングするための構造（具体的には、Ｏリングを含む）をなくすことができる。この結果、キャップ６１１の構造の簡素化をより図ることができる。

【0039】

さらに、螺合部６５２の外周側に位置する継手本体６５１の下端の環状面（円環状面）には、環状（円環状）のシール材が設けられることが好ましい。これにより、ワンタッチ継手６５とピストン６２の連結部６２２とが雄ねじ６５２ａと雌ねじ６２２ａとの螺合によって連結された状態において、シール材を連結部６２２の先端面に当接させることで、継手本体６５１の下端と連結部６２２の先端との連結箇所をシーリングすることができる。

【0040】

本実施形態では、ワンタッチ継手６５は、雄ねじ６５２ａと雌ねじ６２２ａとの螺合によってピストン６２の連結部６２２と連結されているが、これに限定されるものではなく、例えば、嵌合又は接着等によってピストン６２の連結部６２２と連結されてもよい。

【0041】

継手本体６５１は、外径が貫通孔６１１ｄの内径よりも小さい。すなわち、継手本体６５１の外周面と貫通孔６１１ｄの内周面との間には、クリアランスが形成される。これにより、ワンタッチ継手６５は、ピストン６２及びステム６４と一体に軸方向に移動する際に貫通孔６１１ｄに入り込むものの、貫通孔６１１ｄと摺接しないため、ワンタッチ継手６５と貫通孔６１１ｄとの摺接による摺接抵抗を抑制することができる。この結果、アクチュエータ６の応答性を向上させることができる。すなわち、ダイヤフラム３の開弁又は閉弁の時間を短縮させることができる。

【0042】

クリアランスは、コイルばね６３を収容するばね収容空間６６と外部とを連通する。これにより、ばね収容空間６６と外部とを連通するエア抜き孔を形成する必要がないため、キャップ６１１の構造の簡素化をさらに図ることができる。

【0043】

継手本体６５１は、ピストン６２及びステム６４と一体に軸方向に移動する際にキャップ６１１の頂壁６１１ｂからはみ出ない。これにより、ワンタッチ継手６５がケース６１からはみ出るようにケース６１の頂壁６１１ｂに取り付けられたバルブ装置に比べ、軸方向におけるバルブ装置１の小型化を図ることができる。

【0044】

（バルブ装置の動作）
次に、バルブ装置１の動作について説明する。

【0045】

駆動エア供給制御部が駆動エアをバルブ装置１のアクチュエータ６に供給する場合、駆動エアは、順に可撓性チューブ、ワンタッチ継手６５の継手流路６５３及びピストン６２のエア流路６２３を経由してエア導入室６９に導入される。

【0046】

これにより、エア導入室６９の容積が増大するように、ピストン６２は、コイルばね６３の付勢力に抗してワンタッチ継手６５、ステム６４と一体に上方へ移動する。そして、ダイヤフラム３は、自身の復元力によってダイヤフラム押さえ４とともに上昇することで弁座２４から離間する。すなわち、ダイヤフラム３は、ピストン６２、ワンタッチ継手６５、ステム６４及びダイヤフラム押さえ４の上昇によって流体流入流路２１を開放する。このため、気化されたプロセスガス等の流体は、流体流入流路２１から弁座２４とダイヤフラム３との間に形成される隙間を経由して流体流出流路２２に供給される。

【0047】

一方、駆動エア供給制御部が駆動エアをバルブ装置１のアクチュエータ６に供給しない場合、ピストン６２は、コイルばね６３の付勢力によってステム６４と一体に下方へ移動する。そして、ダイヤフラム３は、ステム６４の下方移動によってダイヤフラム押さえ４を介して弁座２４に押圧される。すなわち、ダイヤフラム３は、ピストン６２、ワンタッチ継手６５、ステム６４及びダイヤフラム押さえ４の移動によって流体流入流路２１を閉塞する。このため、気化されたプロセスガス等の流体は、流体流入流路２１から流体流出流路２２に供給されない。

【0048】

エア導入室６９の容積は、ピストン６２、ワンタッチ継手６５、ステム６４及びダイヤフラム押さえ４の移動によって減少する。このとき、エア導入室６９のエアは、順にエア流路６２３、継手流路６５３及び可撓性チューブを経由して駆動エア供給制御部に導出される。

【0049】

このように、駆動エア供給制御部は、バルブ装置１のアクチュエータ６への駆動エアの供給を制御することにより、弁座２４に対するダイヤフラム３の開閉を切り替えることができる。したがって、このようなバルブ装置１によれば、流体流入流路２１から流体流出流路２２への流体供給の制御が可能となる。なお、本実施形態では、バルブ装置１は、常時閉（ノーマル・クローズ）のバルブ装置からなっているが、これに限定されるものではなく、例えば、常時開（ノーマル・オープン）のバルブ装置からなってもよい。

【0050】

（作用効果）
次に、本実施形態による作用効果について説明する。

【0051】

本実施形態に係るバルブ装置１は、流体流入流路２１及び流体流出流路２２が形成される流路ブロック２と、流体流入流路２１と流体流出流路２２との間を開閉するダイヤフラム３と、ケース６１と、ケース６１に収容され、エア流路６２３が形成されるピストン６２と、ピストン６２と一体に軸方向に移動することによりダイヤフラム３を開位置又は閉位置に移動させるステム６４と、ケース６１とピストン６２とによって取り囲まれるエア導入室６９と、エア流体をエア流路６２３を介してエア導入室６９に供給するワンタッチ継手６５と、を有するアクチュエータ６と、を備え、ワンタッチ継手６５は、ピストン６２と連結して設けられる。

【0052】

この構成によれば、ワンタッチ継手６５とピストン６２との間に存在する隙間をなくすことができるため、ピストン６２が流路ブロック２から離間する方向へ移動する際にワンタッチ継手６５とピストン６２との間に供給される駆動エアの圧力による悪影響を抑制することができる。

【0053】

また、ピストン６２とキャップ６１１との間、及び、キャップ６１１とワンタッチ継手６５との間をそれぞれシーリングする必要がなく、ピストン６２の先端とキャップ６１１との間、及び、キャップ６１１とワンタッチ継手６５との間をそれぞれシーリングするための構造（具体的には、Ｏリングを含む）をなくすことができる。この結果、ケース６１を構成するキャップ６１１の構造の簡素化をより図ることができる。

【0054】

本実施形態では、ワンタッチ継手６５は、ピストン６２及びステム６４と一体に軸方向に移動する際にケース６１と摺接しない。

【0055】

また、本実施形態では、ケース６１の流路ブロック２とは反対である側の一端としてのキャップ６１１の頂壁６１１ｂには、貫通孔６１１ｄが形成され、ワンタッチ継手６５の外周面と貫通孔６１１ｄの内周面との間には、クリアランスが形成される。

【0056】

これらの構成によれば、ワンタッチ継手６５は、ピストン６２及びステム６４と一体に軸方向に移動する際に貫通孔６１１ｄに入り込むものの、貫通孔６１１ｄと摺接しないため、ワンタッチ継手６５と貫通孔６１１ｄとの摺接による摺接抵抗を抑制することができる。この結果、アクチュエータ６の応答性を向上させることができる。

【0057】

また、本実施形態では、ワンタッチ継手６５は、ピストン６２及びステム６４と一体に軸方向に移動する際にケース６１からはみ出ない。

【0058】

この構成によれば、ワンタッチ継手６５がケース６１からはみ出るようにケース６１の頂壁６１１ｂに取り付けられたバルブ装置に比べ、軸方向におけるバルブ装置１の小型化を図ることができる。

【0059】

また、本実施形態では、ケース６１は、キャップ６１１と、キャップ６１１及び流路ブロック２の両方に連結されるボンネット６１２と、を有し、ステム６４は、全体がボンネット６１２に収容される。

【0060】

この構成によれば、流路ブロック２と連結されるボンネット６１２を、ケース６１を構成する下ケースとして、ケース６１を構成する上ケースとしてのキャップ６１１と連結させることで、下ケースとボンネット６１２との一体化を図ることができるため、バルブ装置１を構成する部品の簡素化を図ることができる。

【0061】

また、ステム６４全体がボンネット６１２に収容されるため、軸方向におけるバルブ装置１の小型化をより図ることができる。そして、小型化が図られたバルブ装置１では、ピストン６２が流路ブロック２から離間する方向へ移動する際にワンタッチ継手６５とピストン６２との間に供給される駆動エアの圧力によって顕著となった悪影響を抑制することができる。

【0062】

以上、本実施形態について説明したが、上述した実施形態は、本発明の適用例の一部を示したに過ぎず、本発明の技術的範囲を上述した実施形態の具体的構成に限定する趣旨ではない。

【0063】

本願は２０２１年７月３０日に日本国特許庁に出願された特願２０２１－１２５１６７に基づく優先権を主張し、この出願の全ての内容は参照により本明細書に組み込まれる。

【符号の説明】

【0064】

１ バルブ装置
２ 流体ブロック
３ ダイヤフラム（弁体）
６ アクチュエータ
２１ 流体流入流路（流路）
２２ 流体流出流路（流路）
６１ ケース
６２ ピストン
６４ ステム
６５ ワンタッチ継手（継手）
６９ エア導入室（流体導入室）
６１１ キャップ
６１２ ボンネット
６１１ｄ 貫通孔
６２３ エア流路（流体流路）

【図1】