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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B1)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2025-02-19
(45)【発行日】2025-02-28
(54)【発明の名称】オゾン発生装置
(51)【国際特許分類】
   C01B 13/11 20060101AFI20250220BHJP
【FI】
C01B13/11 J
【請求項の数】 1
(21)【出願番号】P 2023178972
(22)【出願日】2023-10-17
【審査請求日】2023-10-18
【早期審査対象出願】
(73)【特許権者】
【識別番号】504132962
【氏名又は名称】原田 哲男
(73)【特許権者】
【識別番号】521415789
【氏名又は名称】日研輝工株式会社
(73)【特許権者】
【識別番号】513042469
【氏名又は名称】大分精密工業株式会社
(72)【発明者】
【氏名】原田 哲男
(72)【発明者】
【氏名】賀来 誠
(72)【発明者】
【氏名】遠入 勝好
(72)【発明者】
【氏名】郷士 哲也
【審査官】山本 吾一
(56)【参考文献】
【文献】特開2009-091209(JP,A)
【文献】特開2017-120697(JP,A)
【文献】特開2020-066536(JP,A)
【文献】特開2021-165452(JP,A)
(58)【調査した分野】(Int.Cl.,DB名)
C01B 13/00
A61L 9/00
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
石英管パイプ式放電管(200)の石英パイプ(202)に高周波電源(21)から高周波電流を供給すると共にAirポンプ(22)からAirを供給してオゾンガスを発生させるオゾン発生装置であって、
前記石英管パイプ式放電管(200)の石英パイプ(202)の外表面に、予めW又はMo又はZr又はNbのいずれか一つと、及びTi又はCr又はNiのいずれか一つとの二種類の金属を蒸着コーティングし、
更に前記石英管パイプ(202)の内表面に、硼酸と塩化銅の粉体フラックスを融解焼付けコーティングし、
この前記蒸着コーティング及び前記融解焼付けコーティングした前記石英パイ プ(202)の空気導入側にエゼクター(203)を接続し、出側にネオジ磁石(204)を配置した磁石室(205)を接続したことを特徴とするオゾン発生装置
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、オゾン発生装置に関するものである。
【背景技術】
【0002】
オゾン発生放電管に金属イオンを付着させて連続雷を落とす方法として、AIP法(:真空中のアーク放電によってターゲット金属を蒸発・イオン化させて、被処理物である母材に薄膜をコーティングする技術)による鍍金と琺瑯方式のフラックスにて焼付法にて石英パイプに金属イオンを溶着させる方法がある。
従来の技術は、石英パイプに100%金属イオンは付けていない。空気は非常に電気を通さない。一般にオゾンは積乱雲中で生まれる。数万ボルト(数百万ボルト~数千万ボルト)であり一般の大気中の雷は室中で放電し地上に達する。
これと同じことを石英ガラス管の中で作ることによってオゾンOが発生する。
【0003】
雷は仮に3本の木が高さ20m、10m、5mとあったとすると、雷はまず20mの木に落ちる。
外径15mm×内径13mm×長50mmの短管の中で連続的にこの凸凹の落差を作らない限り絶縁体の空気の中でコロナ放電を発生させることは非常に高い高周波電源が必要になる。かと言って石英(SiO)は非常にエッチングも困難であるHF(弗素)に30分浸してもμm単位の薄厚も無理である。王水(硝酸-1)(塩酸-3)を作って実験したが発明者らが思う凸凹は生まれなかった。王水+クロム酸、王水+佛酸、王水+三価鉄などの実験結果も凸凹1/100も不可能で限界であった。(金属イオン付着の為のアンカー効果のためにエッチングが必要であった。)
【0004】
石英パイプに硝子ビーズ噴射のエッチングで凹凸は作れるため、焼付フラックス(一種の琺瑯)は100%密着した。CuBFコーティング後800℃でも焼付はCuBF+HBOは100%成功したが、テトラフルオロ硼酸銅(Cu+BF)2:45%溶液が凹凸に100%付着するが単品では焼付かない。(CHN-C-N(CH化合体にしないと焼付は出来なかった。
【0005】
本発明者は特許第6111385号にてガラス鍍金方法を開発した為、並みの技術では不可能と思われた。そこでまず高価な塩化パラジウム(PdC12)、(TRC12)、(PtC12)等を使わないことにした。ガラスピーズエッチングにて数μm単位で表面内面の凹凸が作れるためである。還元剤無しで考えたのは、焼付と言う鍍金と違う為である。650~800℃の琺瑯の世界であり、電気伝導率をupするにはギリギリNiイオン迄である。CuCl、Cu(BF、CuCOと確実に銅イオンを入れる必要は沿岸放電を低い電圧にて起こす為である。一般の銀鑞フラックス、KHF、KBF、HBO、Na、KF、NaFとの組み合わせから入ったが単純に言うと鑞付と琺瑯は温度もフラックスも似ているが混合すればするほど密着性が悪かった。
SiOは弗化物、塩化物のフラックスが入ると受け付けなかった。
【0006】
SiO+HBOのみ受け付けると言う発見であった
BOは180~800℃迄フラックスとしての酸化を守る。その為H+Oは分解して蒸発してしまい残ったBのみがSiO+Bの化合ガラスになる為である。CuCl、Cu(BFのみ銅色カラーを示した。発明者らは鍍金から離れることが出来ず通常の化学鍍金では高価なPdClを使ってもSiOには鍍金が不可能であった。
高温炉中にSUS304の容器の中にMAX800℃迄は酸素は入ってこなく、SUS304容器が高温酸化にてOを喰うため(B)が残る。Bは融点2076℃、沸点4000℃、と単体は600~800℃と反応は不可能であるがカーケンドル効果にSiO+Bのガラスが作られる。この時金属イオンのCuイオンが付着することが判明した。
【0007】
100%の硼珪酸ガラスは熱膨張率は3×10-6/Kと通常のガラスの1/3のため熱衝撃にも強い。何回も水令、加熱を繰り返しても割れ無いという利点があるが、100%石英ガラス中に超微量のBが入る為鍍金が可能となるのだろうと思うが、放電率をupするためであり、外径15mm×内径13mm×長50mmの表面に0.5μm程度と思う。600~800℃にての焼付は琺瑯と言える。
そこで従来特許文献で紹介されている技術を紹介する。
【0008】
特許文献1の装置は日本の大手メーカの大出力オゾン発生装置である。この装置は全部水冷方式である。水道水の殺菌用はairの代わりに純酸素を使用して一瞬に多量のオゾンを発生させて、注入殺菌のため使用するものは食品工場など10と大きな建物一体を夜間に殺菌する。0.1~0.5ppmの人体ギリギリ、ゴキブリ、ネズミ対策として1ppm~5ppm処理する為本発明のように病院大室でも85m3である空冷式で0.01~0.03 ppm内に入るように設計のため全部空冷方式である。(建屋容積÷2.14=xppmが基本である。)
【0009】
特許文献2の装置は、オゾン発生電極の放電空隙間の冷却を向上させるため高圧電極側の水冷化と誘電体冷却が同時に可能となるため発熱を抑えることを可能にしたものである。
本発明は空冷方式である
【0010】
特許文献3のオゾン発生器は、石英パイプの内外に通電Airの絶縁体を被せてコロナ放電にてmax1000g/h程度で5ppm以内の小型オゾン発生器であるが、外側パイプにイオン化した金属を鍍金し更に800~1000メッシュの銅の金網を巻き付けて(+)陽極の空冷式オゾン発生器である。超大型とすると10000~50000PPM/hとなり装置全体を水冷しなければならない。
本発明はmax5ppm以内の装置である(16時間半減を常に計算に入れている)
【0011】
特許文献4の装置は、水冷冷却式で放電ギャップ間でオゾンを発生させる方式である。このため保持器がブロック方式でオゾン発生ブロックを積層できるが冷媒(水)の注口と排出口をブロック保持器のいなかに穴明きと接続し、又ここを通過するオゾンガスの封孔処理が困難である。水冷式に対して本発明では穴冷却である。
【0012】
特許文献5の装置はオゾン発生装置をモジュール化して多段に重ねた大型の装置である。この各モジュール体は一個一個が水路で冷却されている大型の水冷方式である。このため接続部の漏水対策と組み立て及び絶縁機構も必要で大変である。
【0013】
特許文献6のオゾン発生器は、セラミック版に高圧電極を(+)→(-)に流すタイプで冷却水を使用する通路とオゾンガス通路の分離がなされ保持器がセラミックとガラス誘導体にて作られている。これに比し本発明のセラミック発生器は非常に単純で沿岸連続コロナ放電をするために金属イオン(Cr+W)を外に、Cu+Pを内に入れることで小型であるがmax1000g/hのオゾンを発生させる超小型である。(0.01ppm/h~0.05ppm/hが人体に無害な量であることを解明し実際におむつに入れて活用できた。
【公知文献】
【特許文献】
【0014】
【文献】特許第351334号 三菱電機
【文献】特願2003-160312号 三菱電機
【文献】特許第3641608号 東芝、三菱電気
【文献】特許第3900662号 石川島播磨
【文献】特許第3278663号 住友精密
【文献】特許第3513134号 三菱電機
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0015】
石英パイプSiOに鍍金することは通常の化学鍍金では非常に困難である。その為AIPやCVDのような一回真空の部屋でターゲット(+)と(-)にて高電圧を掛けることで一瞬にてターゲットは電気エネルギーで沸点に達して蒸発金属イオンとしてコーティング物体(-)に向かって密着する、これがAIP(アークイオンプレーティング法)でありCVDのようにガス(CO、N)分子の分離作用にて密着させるためMAX1000℃±100℃の高温である。反面AIPはMAX600℃と中温である。このAIPのターゲットにWやMoなどの金属を同時発射して、Cr+W、Ti+W、Cr+Mo、Ti+Mo、と二種類を例えば母材の石英パイプの外と一部中まで同時にコーティングする。
本発明は低濃度のオゾンを発生して、オゾン混入による室内健康環境管理、等々の優れた利用効果を呈するオゾン発生装置の製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0016】
上記課題を満足させる本発明における主な特徴の技術は次の(1)の通りである。
(1)、石英管パイプ式放電管(200)の石英パイプ(202)に高周波電源(21)から高周波電流を供給すると共にAirポンプ(22)からAirを供給してオゾンガスを発生させるオゾン発生装置であって、
前記石英管パイプ式放電管(200)の石英パイプ(202)の外表面に、予めW又はMo又はZr又はNbのいずれか一つと、及びTi又はCr又はNiのいずれか一つとの二種類の金属を蒸着コーティングし、
更に前記石英管パイプ(202)の内表面に、硼酸と塩化銅の粉体フラックスを融解焼付けコーティングし、
この前記蒸着コーティング及び前記融解焼付けコーティングした前記石英パイプ(202)の空気導入側にエゼクター(203)を接続し、出側にネオジ磁石(204)を配置した磁石室(205)を接続したことを特徴とするオゾン発生装置
【0017】
即ち本発明は、安価な材料により低濃度のオゾンを発生して、室内へのオゾン混入による室内健康環境管理の実現等々の優れた利用効果を呈する。後述の「発明の効果」により本発明を詳細に説明する。
【図面の簡単な説明】
【0018】
図1】本発明のAIP装置の実施例を示す概略説明図である。
図2】本発明のAIP装置における2つのターゲットの縦断面説明図(1)と(3)、平面説明図(2)と(4)である。
図3図1及び図2のAIP装置の母材114にしたSiOパイプに蒸発・イオン化した金属を蒸着し、オゾン発生装置に装着する石英パイプ式放電管のモデルを示す縦断面説明図である。
図4図3に示す石英パイプ式放電管を内装した世界最小の小型オゾン発生装置の全体簡略説明図である。
図5石英パイプの内壁面への溶融焼き付けコーティング工程(琺瑯焼き付けコーティング)を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【0019】
次に本発明の実施形態を具体的に図1図5及び表1と共に詳細に説明する。
図1に示す本発明用のAIP装置は、不活性ガスN、COの吸引パージ及びN、COガス排出を可能にした真空チャンバー100に、アーク電源101、102とする2個の円盤状のターゲット103,104と、バイアス電源105とするコーティング物(母材:本例はオゾン発生用の石英(SiO )パイプ式放電管)の載置ターンテーブル106を配置してある。
図2の(1)~(4)において、前記一方のターゲット103は、電気伝導率の良好なCuピース107を座にしてW製又はMo製の電極108又は112間に円柱の蒸発用の金属としてCr109又は113を設け、図2の(2)(4)に示すように、これらを円周方向に所定の間隔で埋め込んである。
【0020】
前記他方のターゲット104も同様に、電気伝導率の良好なCuピース110を座にしてW製又はMo製の電極112間に円柱の蒸発用の金属としてTi113を設け、これらを円周方向に所定の間隔で埋め込んである。
この二種類のターゲット103,104から同時にアーク放電によって前記電極のW又はMo及び蒸発用の各金属Cr109,Ti113を蒸発させてテーブル106上の母材114(被コーティング物)に発射して母材114にW又はMo及び前記蒸発用の各金属Cr109,Ti113を薄膜に蒸着コーティングする。
【0021】
前記AIP用ターゲットは単体の純金属に近い、一般にCrやTi、Zrであり、粉体焼結タイプで作るため微々たる元素V、Ta、Nb等も入るが極端に融点の違う組み合わせのターゲットは特殊品であり、2個の最小単位でも数10万円する。一例としてCrターゲット中に径10mmのWを入れると6.2%の面積比であるがCr中にWの粒子が入った薄膜が作れる。図1に示すAIP装置のようにターゲットの中央部が電気特性で良く発熱するからである。Wの沸点は5555℃、Crの沸点は2672℃と2倍以上の差である。下部のリン酸青銅(Cu-P)に圧入することで通電性を良くしてターゲットに2倍以上の通電をすることで沸点が高くても溶解した。
【0022】
(2)、ターゲット103,104となるメイン金属113と蒸着金属109とその物理定数を表1に示す
即ち、AIPで表面処理して硬度向上のため表1に記載の金属が主である。
表1に示すメイン金属113:Cr、Ti、Niの中に蒸着金属109:W、Mo,Zr、Nbを入ることは可能である。
AIPのターゲットとして使うメイン金属:113の物理的定数の通り、電気抵抗が大で高融点であり比例して沸点も高い。一回真空として置換ガスにN2やCO2の分子ガスを使って窒化処理しやすい金属、また炭素を入れる炭化物を作りやすい金属が主力で、90%以上が硬化層による耐摩耗効果をupするのが目的である。
表1から明らかなように、ターゲット103,104は、電極材料109:W又はMo又はZr又はNbのいずれかの電極間に蒸発用の金属113:Ti又はCr又はNiのいずれかを埋め込む事により母材:石英(SiO 2) パイプ114の外表面にW又はMo又はZr又はNbのいずれかとTi又はCr又はNiのいずれかの二種類の金属を蒸着コーティングすることが可能であることは言うまでもない。
【0023】
【表1】
<母材114が石英パイプの場合の例>
石英パイプは外表面と両端面に金属イオンを蒸着する事でオゾン発生装置の通電性を良くする。
SiOは絶縁体に近い誘電率1MHZ:3.7~3.9
SiOの絶縁破壊電圧 KV/mm 25~40
SiOの体積抵抗 Ωcm 1016
セラミックスAlの誘電率1MHZ:9.5~10
セラミックスの絶縁破壊電圧 KV/mm 10~14
セラミックスの体積抵抗 Ωcm 1014
100%Al並みの通電の悪い事が空気破壊をするために電気コンデンサー的働きをすることでO2→O+O→O+O2→O3が生まれる最大の原因である。その中で金属Cr=1310-62cm、W=1310-62mと悪いのであるがSiO、Alは問題のならないくらい通電性が悪いため連続に的電気流す為SiOに鍍金をすることは、非常に困難であるが発明者は別途成功している。
【0024】
(3)、AIP法では石英パイプの内側面は数%のコーティングの為、オゾン発生器管の石英パイプ:外径15mm×内径13mm×長50mmでも両小口5mm迄がコーティングであり、石英パイプの内側はコーティングが不可能である。連続に従来は空気が絶縁のため高周波電圧を高くしてO中に高電圧を掛けることでO+O→O+OによりオゾンOが生まれるが石英パイプの内側が伝導体ならば連続沿岸放電が低い電圧で可能である。外面はAIPでイオン化可能な金属を蒸着コーティングし内面は薄金属(Cu+P)を焼き付けコーティングすることで通電性を良くし低い電圧にてOを発生することが可能である。
化電着させる為パイプの穴の中:内面までのコーティングは可能である。小口両端の2~3mmの範囲迄である。
このこと図4に示すモデルで実証している。つまり前記母材114の一例の石英パイプ製(外径15mm×内径13mm×長さ38mm)放電管200にした例で、その内面に(Cu-P)0.1mmの板厚のリン銅板のスプリング201をそのスプリング力で石英パイプ202の内面に密着させて浴岸放電を連続して発生させるためであり、高周波電源の長寿命化を図っている。設計値の70%の能力でOが生まれる。
Cu-PはCuのスプリング鋼とも言われる程バネ力が強いため石英パイプ202内面に100%密着して電気は安定して流れる。
【0025】
(4)、放電管200の入口をエゼクター203方式とすることで高電圧にて加熱されるため約30%の入口airを増しOの発生量も増し且つ出口には合計9000~9800Gのネオジ磁石204の中を通すことでOの分解を遅くした。Oの半減期は16時間であるが0.01~0.02PPM/hと薄いオゾンOのため強力に保持する。
石英パイプ202内の空気が高温高圧で一瞬にて破壊されて通電しOが生れるわけであるが、従来のパイプ一本式は瞬間破壊され膨張した空気は圧力が30%以上upするため、空気吸入側はエゼクター203方式で該30%膨張圧に耐えられるよう空気を必要とする分カバーする方式を採用している。
かつ膨張圧力が速度upに繋がる為、出側は一次空気を受け止めるネオジ磁石204配置の磁場室205を設置してOの分解を抑えている。
磁場室205は全体が9000ガウスのネオジ磁石の磁力線の中にありOの半減期が16時間と短い為、大気中0.01~0.05ppm以内が日本の安全基準である3~5分運転、15~20分休み運転のため弱いオゾンOの分解を遅くするために電磁解放とするためである。
【0026】
(5)、石英パイプ202のSiOは100%載らない。かつPdのような高価な還元剤は必要とせず。硼酸(180~800℃)と塩化銅(650℃)を各粉体で50対50の配合としMAX700℃で30分保持して加熱鍍金を可能にした。フラックスでもなく単なる2種類を混合しただけのフラックス状にしておきこのフラックス上に石英パイプを対流方式で融解焼付けた。この方式はSiO+H3BO+CuClが付着した状態のため、安定した熱付着鍍金でなくバラつきがあるが始めて高価なAIP、CVDを使わずとも焼き付け鍍金が可能である。
別途後述する鍍金法が手順であり、かつ最終工程のみ850℃にて焼付いた。
800℃付近はCuBF4(硼弗化銅)を使う。石英パイプ202のエッチングとしてハロゲンのF,CL,Brは必要である。硼酸とCuCl(塩化銅)、H3BO(硼酸)とCuBF4(硼弗化銅)はMAX800℃迄である。
オゾン発生放電管の石英パイプ202に100%鍍金は通常の方法では載らないと断言する。エッチング方法(ハロゲン-HF)でもSiOは無理である。そのためAIP法に走ったのであるが他の方法として琺瑯があり琺瑯は700~800℃で焼付ける。琺瑯のように粘性があると石英パイプ202の内面にスプリング力を使ってCu-P箔を密着させることは無理である。液体焼付フラックスであることが、10回塗布焼付でも1μm~2μmの薄膜である。100%液体状の焼付フラックスであることが重要である。
発明者は特許第4736105号の液体フラックスの通り鑞付フラックスを液体状で作る技術を持つため可能であるが、SiOには超難問であった。加熱炉の中でHBO(硼酸:180~800℃)迄、単体蒸発はするので液体にする為にCuCl(塩化銅 650℃)を加えてこの2つを別容器に入れて自身の蒸発イオン化で一応の鍍金は可能であるが850℃と長時間掛かるため生産性に欠ける。
【0027】
(6)、発明者は、足掛け3年で石英(SiO2)に数多くチャレンジしてきたが500~800℃の熱を掛けないと融着はなかった。100%ハロゲンフラックス中に金属イオン(Xn,Cu,Ni.Sn.Sb,Cr,Fe)を入れて、そして安定のためシアン(Nc)化迄実験したが100%鍍金は数100回実験したが不可能であった。焼付けフラックス(一種類の琺瑯)は100%琺瑯状。SiO2がMAX1800℃迄耐える為、ガラス状の釉薬に近いフラックスとなった。SiO2はMAX1800℃まで耐えるため600~800℃での釉薬を作れば高価なAIP,CVD処理の必要はない。
鑞付けのフラックスとは言えず琺瑯に近いフラックスである。
発明者は42年間、溶接棒メーカで主として鑞付けにたって、フラックスを開発してきたため、比較的抵抗なくSiOも攻略できると考えていた。セラミックスの鑞付フラックスの延長程度と考えたが足掛け3年も掛かった。最大の理由は無機還元触媒となるPd、Ir、Pt、Ru等の白族を使わないと決めていたことにある。ガラスの鍍金でもPdClは使う。金より高いものは使わない。コスト的に1g30,000円以上するのは自動車の触媒だから可能で、数万円の装置にこんな高価な金属は使えない。前述(0025)では一応成功している為、成分を示すが100%液体状のため、1μm~2μm厚にするには10回程度の焼付が掛かる。SiO程度のオゾン発生装置であればこの程度の液体フラックスでも銅焼き付けは可能である。
【0028】
(7)、液体フラックスの焼付け(MAX850℃)方式で石英パイプ202の鍍金は可能になったが5回の焼付けで厚みが1μmであった。石英パイプ202の鍍金はCVD、AIP以外では100%不可能に近いことが、あしがかり3年の実験で判明したことは加熱(700~800℃)による焼付コーティングであった。
前述で作った最終工程の液体フラックスは、1回max130ccと火付850℃で焼付るため小瓶の中の大気中で次第に濃縮していく。小瓶が径15×径13×50mm長さのため小瓶の中で大気中850℃で焼付て小瓶の中で急冷すると液体フラックスが焼付く(100℃)。次第に濃くなるため5~6回の焼付で1μm厚になる。
ものが小さいだけに大量に作ることはしていない。
化学鍍金のようには考えていない。一個一個の反応もランダムのためである。
手作りの焼付鍍金である。琺瑯と似ているのは800~850℃でのガスバーナによる焼付である。高周波のように全面360°一度にできれば理想的であるが資金不足である。最終液体フラックス1回付ける毎にArガスを注入封入しながら850℃迄upすれば酸化銅とならない為、完全なるOの発生管用の放電管は作れる。
【0029】
(8)、オームの法則:E(電圧)=I(電流)×R(抵抗)である。
イ、0.01~0.05mg/h:人体に無害・・100%おしめ用
ロ、10~30mg/h:病室に1~2名のおしめ患者のみの大室では臭いがきついため2~3分の濃度で運転30分休みとする。大室の容量10m×5m×8m=400m÷2.14=186.9mg/h、186.9mg/h÷3/60=9.345mg/h÷30=0.31mg/h
ハ、病院中のおむつ回収室(10日~14日保管する室):5m×5m×5m=125m
500mgから600mg/h 125m÷2.14=58.4mg/h
60分-3分-60分-3分の運転
58.4÷3=19.47mg÷60=0.32mg/h
1台でこのようにOをコントロールする。
そのため数々の実験にて電流.01~0.18Ampereと超微細にコントロール すると、
R=950~980Vである。
ニ、介護度4~5人のおしめを装着している人々の苦しみは自分の臭いを含めて他の4~5人の方からの複合臭である。オゾンOでこの臭いを消すと病室独特の臭いが復活するのである。森林の香りで癒しのリラックスエッセンシャルオイルを同時に噴霧することで動けない病人の方々に芳香浴を提供する。このオイルは木材乾燥材の排出蒸気から精油回収したローコストのオイルを使う。
四六時中おしめを装着している介護度4~5人の苦しみは自分の臭いも含めて他の4~5人からの複合臭に悩まされる。オゾンでこの臭いを消すと病室独特の清潔な臭いが復活する。そして森林の香りで癒されるリラックスエッセンシャルオイルを同時に噴射することで動けぬ病人の方々に芳香浴を提供する。このオイルは木材乾燥機から回収した精油したローコストの物を推奨する。
【0030】
(9)、O濃度500~600mmg/hと超濃いがタイマー設定ミスしない限り高濃度に適した所は多くある。一例として機械加工の切削油の臭いは消え、工場内に排泄される0.015~0.018mg/hのオゾンは機械室の臭いを全て消す。
【発明の効果】
【0031】
本発明における、石英パイプ式を装着したオゾン発生器は小型空冷式である。
しかも小型であるが長期間(5~6年間)連続運転のため、(日本は梅雨がある)湿度対策の放電管とする必要があり、石英パイプ(SiO)はまず鍍金は不可能と言ってよい。発明者は溶接棒メーカに42年、鑞フラックスと異種材との接合技術開発部で数々のフラックスガスと金属の溶接とか、その他石英(SiO)の鍍金溶液と溶媒を開発したが鍍金では不可能と思い、他に開発したのが琺瑯に近い釉薬状態の物であった。450~850℃迄50度違いの実験の結果、硼酸(HBO)単体と銅イオンCu(BF、CuCl、CuCO等を650~850℃で焼付けるとSiOに銅の釉薬を載せれた。
【0032】
琺瑯焼付方式は放電管が外径15mm×内径13mm×長50mmと小さいため保持器の点付部が毛細管であり、かつ保持器が本当の点となり厚く付く。内面にはCu+Pの薄板を入る為内面保持が出来ず炉中に立てて保持する治具も一回限りであり、手間が掛かる。その為AIP-Ti+W、Cr+Wの両方を作ったが、Tiの比電気抵抗-4.2×10-6Ωcm、Wは12.4×10-6Ωcm,
Crの比電気抵抗-13×10-6Ωcm
Crの主力のターゲットに6.3%のWを埋め込み同時に発熱極ターゲットはWがCr族のため可能である。
2種類同時に発射イオンにてコーティングしている。熱伝導率(Cal・cm-3.scc-1(C),Cr=0.16 W=0.13とこれ迄似ている、沸点Cr=2500℃、W=5555℃と高いため、イオン化可能粒子としてはCrの3~10倍大きいことが外周面(15mm)に凹凸を作る。Wのみ凸と出る。(これはAIP電極の間に高融点金属を埋めこみターゲットにしたためである。)
【0033】
前述したが雷は高いところに落ちる。凸粒子は避雷針的役目をする。外径15mmの外周面積比6.3%の凸部がある為その上を800~1000メッシユの銅の金網で二重三重に巻くことで
点接触のため雷は6.3%の避雷針に向かって連続的に落ちる。パイプの内径側にはCu+P 0.1%厚み412.7~12.8の円筒をつくるためパイプが(+)表と裏の関係で絶縁となる。SiO2の石英パイプの絶縁を簡単に破って高圧のコロナ放電を可能にした。
(-)極のギャップは0.4mmであり火花放電でもなくグロー放電でもなく、コロナ放電に近く火花が見えない。
空気では絶縁体であり高圧電気中のみOが分解しO+Oとなり分解しない。
+O→Oが生ずる。空気は21%のOと78%のNガスである。N→N+Nに分解する。H梅雨時は湿度も高いのでHO→H+H+O+N+Nとなると、(OH)NX(O)が付く。NH(アンモニア)などは生まれているはずである。そのため地球に地場があることで紫外線UVA,UVB,UVCの3種からオゾンが守れているので我々人類は約35億年前に陸地にあがり35億年かかって我々人類が生まれた。Oを守るため次の工程で9000Gの磁場体をOが通ることで極力紫外線を押さえた。
【0034】
最大病室:5m×5m×8m=200mの中におしめをした人が7人いたと仮定すると、どのくらいのオゾン量を室内に噴射すれば良いか、仮に500mg/hと1000mg/hにて計算すると、
1)、500÷200÷2.14=1.168ppm
おしめまでの距離一人平均5mとすると 1.168÷5=0.2336ppm
実際は46×5mmのホース内径4mmである。)ホース全長の二乗で減衰する。
1.168÷25=0.047ppm
2)、1000÷200÷2.14=1.168ppm÷25=0.0935ppm→約0.1であり、5分噴霧し15分休みで十分にOは分解する。 0.1×0.25/16=0.0016ppm 15分後は超安全区域の Oの半減期16時間のため以上500mg~1000mg/hでも時間差(タイマーセットの連続運転)で病室のおしめ臭いは吸収される。
【0035】
8人まではOKであるが7人としたのは、一つの噴射管でオシリを洗う場合、清掃のため霧状の水の中にオゾンガスが入ることで一晩にヒドロラジカル(OH)となるのでOより強力なおしりの水(湿気)と反応するためである。
従来の水で拭く方法は100%消毒をしていないため特に女性は尿道と肛門の穴が近いのでおしめを嵌めた人は尿道を通過した雑菌により膀胱の中で細菌が繁殖し、膀胱の粘膜に炎症を起こす病名「膀胱炎」となる。女性の方は尿道が短く細菌が膀胱迄簡単に到達してしまう。
介護度4~5の方はつらい病気である。看護士も臭いから解き放される。また患者のおしりのカブレも無く良い清潔度を保持する。
現状の入院看護する人は、一日一人4~5回のおしめ交換である。7人×5回×病室10=45回も臭いと不潔さとの戦いである。 御世話をする人には頭のさがる思いである。今は亡き妻は1年半も御世話になった。このことがこの発明に繋がっている。100%「おしめ」無く死を迎えることの出来る人は本当に幸せです。100%人間はいずれ死亡します。病院のベッドでおしめをした自分を想像して見てください。おしりのプライバシイはあるのでしょうか?
臭いの無いおしめ交換となると看護人も病室に入る看護婦も室中のおしめから発生する臭いが無いと見舞い人も助かる。
【0036】
膀胱炎になる原因は入院患者の免疫力の低下に乗じ細菌が膀胱へと達し発症するが男性と比較して女性は身体構造の違いにより尿道が短いのが原因である。おしめ患者の女性に対する霧吹き上の水とOが混合して情勢の御尻おむつ交換後の御尻湿度が充分であり、従来は水洗浄拭きであり洗浄なるが雑菌は除去不可能である。
女性は、月経、妊娠、出産、閉経等がある為、男性と比較して泌尿器疾患になり易い傾向がある。頻尿、尿漏れ、かゆみ、発熱、血尿等と常に膀胱炎をおこしやすい。今は抗菌薬があるため3~4日で症状が良くなるが尿量が少なく膀胱内で菌が繁殖しやすくなる看護度4~5の方々は自分で動くことも話をすることも出来ずの、生かされている状態がある。人間ではない植物人間に近い。家族に方も見舞いの人も病室内の臭さに足踏みする。植物人間となると100%病院側が膀胱炎と判断するのは血尿が出てからである。腎臓迄感染を起こすこともあり、本発明による噴霧オゾンではヒドロラジカル(OH)Oの2~3倍の強力な殺菌作用である。
【0037】
女性の陰部に付着している大便中の菌(80%が大腸菌)が尿道を通って膀胱内に侵入して増殖し、膀胱炎を起こすが女性の尿道は3~4cm,男性は20~25cmある、大便の菌は目に見えないが陰毛や膣付近に100%付着している。おしめ中もオゾンO3はこれらの菌を殺し続けて、膀胱炎迄発展しなにくい。月経のある人は湿ったパッドの着装時間が長いとかかる。
本発明のおしめに対する考えは人間として、人間らしさの快復にある。看護人も臭いから解放され、しかも恥部の洗浄も清潔であり膀胱炎を防げる。
【0038】
看護度4~5の方は自然排尿、排便が出来ないためおむつ処理である。尿は直接尿道かを通して膀胱迄ビニールパイプが毎日交換の24時間に一回の交換で1日分の尿量を測定し、主として腎臓より排出される。腎臓機能低下又高い時には疑われる病気で、慢性腎臓病などの機能障害(CKD)は心筋梗塞や脳卒中、末期腎不全と言った重大な病気の判断とする。
その為毎日の交換ホースとなる。女性は尿道が短いので雑菌の侵入が簡単で膀胱炎が発生し易い。おしりの中に0.02~0.03ppmのオゾン注入を24時間なされていたら尿道近辺の雑菌は死滅するので安全である。
クレアチンの数値は筋肉量に比例する。寝たきり看護度4~5の方々は寝たきりのため食事から取れる高たんぱく質の摂取量の判断とされる、次第にやせ細る病人はクレアチンが生きている証でもある。
男性ならクレアチンの数値が1.2と女性ならば1.0を超えると注意が必要である。
常に清潔に保持することは腎臓も守ることになる。オゾンO注入は(0.01~0.03ppm)で5分注入、15分休みを繰り返して、24時間連続運転することで、消臭と清潔が保たれる。
発明者は亡き妻の生存中に看護ながら数々の実験をし、特許第6596620号、同6674670号を取得したのも妻が人間らしく介護入院生活が出来たらと言う一念からでした。
自分のおしめの臭いはある程度我慢できるが室内の他人様の数々混じりあった臭いはキツク異様であり我慢に耐えがたく苦しいものである。
にもかかわらず看護人のおしめ交換の努力には頭がさり感謝に耐えない。こう言う人たちの努力を少しでも緩和策としてはおしめ中の臭いを消すことであり、且つおしめ患者の臭いから開放することである。「森林浴」として檜オイル、杉オイル等をオゾンガス(:0.01~0.05ppm/h)と共に噴射することで病室を100%おしめの臭いから解放可能である。おしめ交換の時、木質酢酸(各種精油が混合している)でおむつ交換後の御尻をタオルで拭き、お尻の清浄も木質酢酸の殺菌効果がある為、健康が保持可能である。
【0039】
AIPの真空硬化膜は主として硬化層を作る為、主としてNガス中のイオン粒子にて、TiN、TiAlN、TiCN、CrN、ZrCrN迄が今迄のコーティングであり、ターゲットであった。Cr100%ターゲットの中で面積比6.3%のWイオンをCr約94%、W約6%の二種類同時にイオン化して石英パイプに蒸着すると言う図2の(1)~(4)に示す新しい前記二種類のターゲット103,104を作り実験した。図2の(5)はアーク放電で凹凸状になったターゲットを示す。
アーク放電のため直径が10μm程度のアークスポットに10~10A/cmに及ぶ高密度の電流が集中させるのでジュール熱として4000~10000kと言う高温を発生しカソード材料を瞬時に溶融蒸発させる難融金属:W(タングステン:5555℃)、Mo(モリブデン:4639℃)も比較的容易に蒸発させる。今回Cr+Wと言う凹凸粒子イオンが面白いコロナ放電とし、W粒の殺菌効果は銀、銅、亜鉛、コバルト、ニッケルのような抗菌性があるかは実験しとして未確認であるが金属イオンに湿度が加わるとイオン差にて殺菌作用は出る。文献ではCr、Mo、Znには抗菌性があるとあるのでWはCr系のためであると思われる。
【0040】
放電にはコロナ放電、グロー放電、火花放電、アーク放電の4種類である。
オゾンはコロナ放電、グロー放電でも発生する。放電は電極間に掛かる電位差を高くすると電極間に存在する空気が絶縁崩壊し電流が流れるのでO→O+O→O+O→Oと21%の空気中酸素と反応してOガスが生まれる。CrとWの融点は1対2に近く両者間で約6%の電位差のイオン数がかつ中央に張り付いたCu-Pの0.1mm厚×35mm長さのパイプ状の中で沿岸放電となる時間が6%ほど遅れて出る。凹凸イオン化電流がコロナ放電をランダムにするので逆に強弱.強弱がオゾン化力を向上させる。かつ太陽から吹き付ける陽子イオンをオゾン層が守るように900Gの磁場を通すことで従来にないオゾンを作る。
【0041】
凹凸イオン電流にてOが生まれるが従来は、同径穴より入り同径穴からオゾンがでるパイプが主である。高熱により空気膨張は流速を早くするだけでOの発生が悪かった。その為30%近く膨張する空気をカバーする為ベンチュリー管方式のエゼクター201で空気を供給し、一定流を保持することで従来のmax30%を向上した。
空冷式O発生器として石英ガラスを使うため全面金属イオンはAIPで100%無理でありCVDは保護膜が硬いので急熱急冷に耐えられるが実験してないためオゾンの発生量も不明である。
【0042】
足掛け3年掛かって開発した焼付用の液体フラックスは図5に示す溶融焼き付けコーティング工程(琺瑯焼き付けコーティングとも言う)で一応成功している。
【0043】
図5における工程8のエッチング液の成分と配合は
1)、塩化アンモニウムNHCl:75g/200ccアルコール
2)、弗化アンモニウムNHF.HF:20g/200ccアルコール
3)、メタノールCHOH:140cc
4)、Tiエッチング液HCl(50cc)+NHF.HF(20g)+水(100cc)
(特許第7108984号で紹介のエッチング液)
又工程10の4-2C-3Aは特許第4736105号で紹介の液体フラックスの成分と配合は
1)、酸性弗化カリウムKHF:50g/CHOH 200cc
2)、硼弗化カリウムKBF:50g/CHOH 200cc
3)、弗化カリウムKF:30g/CHOH 200cc
4)、硼酸H2BO3:50g/CHOH 200cc
5)、メタノールCHOH:200cc
又工程11のDMAB-2(PdClの代用)の成分と配合は
1)、硫酸ジェチル(CO)SO:60cc
2)、ヒドラジン水和物(NHNH・HO):50cc
3)、1-1’-1’’-ニトリロトリ2-プロパノール[(CH.CH(OH)CH)]N:5g
4)、トリメチルボラン(70%)-(C)B:80cc
更に工程12の火付け液の成分と配合は
1)、硼弗化銅(45%) Cu(BF:20cc
2)、ジェチルアミノボラン(70%)(C)B:10cc
3)、酸性弗化カリウムKHF:1g
4)、硼弗化カリウムKBF:1g
5)、メタノール(CHOH):100cc
以上が工程No1~No12の手順である。石英パイプの通常鍍金では不可能である。琺瑯の釉薬を念のためテストはしたが外径15mm×内径13mm×50長さの石英パイプでは均一に塗布できず、液体フラックスと言う特許技術もあったため全て液体で焼付けるので5~6回800℃~850℃のバーナ加熱で火付た。5回焼付けで石英パイプの内外表面に1μmの鍍金厚であった。
【0044】
AIP法は主として耐摩耗を目的とするため、金属の比電気抵抗10-8Ω.cm
※ Cr(クロム) :13(28℃) ※ Fe(鉄):8.71(0℃)
※ Sn(スズ) :118.1(0℃) ※ W(タングステン):12.4(0℃)
※ Ti(チタン) :4.2(0℃) ※ Ag(銀):1.50(0℃)
※ Cu(銅) :1.55(0℃) ※ Au(金):2.04(0℃)
※ Mn(マンガン):185(20℃) ※ Al(アルミニウム):2.50(0℃)
AIP法はCr.Ti.Zr,Wと電気は流れ難い。Cu(銅)は銀に次いで電気は流れる。
火付化学鍍金法はCu+α(B)の合金であり8倍以上流れる。石英は100%不可能とされているが内外面に1μm程度のCr鍍金が可能となった。
【0045】
発明者は一般ガラスに鍍金する特許第611385号で数々の実験テストしているため石英も可能と思った。又鑞付フラックスでガラスと異種金属も成功していたので基礎は有るつもりであったが、SiOの酸化膜がこれほど強いとは思わなかった。人工的にガラスビーズで表面を荒らすアンカー効果はしていない。まったく化学エッチングだけである。試薬は弗素を含む物を主体としている。HFエッチングも実験したが今一つであり、化学鍍金は焼付けることで成功した。
【0046】
図4に示す放電管は、石英パイプ製でその外側にAl薄の粘着ノリ付けで厚み1mmn程度巻かれている。この内側は何も被覆していない。石英パイプの外が(+)で内側の隙間0.3mm~0.6mmのギャップの下にAirを吹き出す(-)極があり、高周波電圧(400~800V)が0.3~0.6mm間に電圧が掛かる為、Air電気流れ難い。絶縁体が放電爆発し、一般に沿岸放電と言う、岸に16~18回/1分間の波が確実に達することに似ているので沿岸放電と言われている。
酸素分子に太陽の紫外線(UVA,UVB、UVC)に添ってOが生まれる。
である。稲妻中で酸素原子(O)が生まれるのでオゾンOも生まれる。稲妻は積乱雲中で静電気粒子集合体が地上と雲との間に一瞬で放電する経路、いわゆるプラズマ状態で電子とプラスイオンの混在にあり、電子とプラスイオン迷向の方向に走り、空気中の酸素分子は高速の電子に叩かれて一部は酸素原子となり酸素分子と結合してオゾンが生まれる。
放電管である前記石英パイプの中でのこの現象が発生させるので、石英パイプに電気の流れ易い銅鍍金が必要である。
【0047】
地球をオゾン放電管として仮定すると、地球中芯に鉄とニッケルの合金があるため地球が回転すると磁場が生じる。太陽風はこの磁場が無いと強烈な紫外線(UVC,UVB)が地球に注がれる。35億年前に動物が海から地上に上がったことは海中の植物がOを生じオゾン層を作ったため生き延びた為である。北極、南極は磁力線の集中するところであり、太陽風の大部分は地球の磁場に沿って流れるが一部はオーロラとしてO、N、O、Nの分子と原子励起電離状態となり、原子が本来持つ軌道電子にエネルギーの高い原子が入るため励起状態となって電磁波を放出するからオーロラの赤、白、紫、緑、青と複雑な原子色を出す。放電管の中もこのような現象状態であろうと想像する。Oはこうして空気より生まれる。おしめにそのままのOは強すぎるため磁場帯電方式を採用してある。
【0048】
自然界の生命にオゾンが作用するオゾン濃度は0.02~0.03ppmで発生している。オゾン層からの対流で一部降下するため極に近い所は有害濃度に達する。
都市部は自動車の排気、工場の排気等で光化学スモッグが発生する、その主成分はオゾンである。人間の活動が自然界ではありえないオゾンを生み、紫外線(UVA)や一番弱い紫外線でも人のDNAを傷つけるという複合作用をもたらす。
下水道やプール(尿処理場、廃水処理場、半導体エッチング、パルプ漂白、食品殺菌、水族館の水浄化、水道水の臭い取り、等と大型は必要であるも病院入院患者のおしめと臭いと殺菌対策は無いに等しい。逆に尿水吸収樹子入りおしめが主力になりつつある。尿を吸収して厚く膨らみ陰部もその周辺も湿度100%近く体温も35~36℃と高く暖かくなり雑菌(大腸菌)の繁殖となる。このような現状に厚労省は人手不足対策として尿吸収おしめに拘り進めることを推奨しているが、かえって医療費のupに繋がる。安いおしめでも環境残留性のない希釈オゾンガス注入は室内湿気及び悪臭と雑菌の排除をして快適性を保持し快適な病室を実現させるべきである。
【0049】
人間は道具を使い発達させる知恵があるが地球の資源を食い物にし、活動力が地球温暖化とオゾン層破壊迄し、常に利益を求め環境破壊をしている。このまま続けると2100年には4.3℃の温度上昇をすると言われている。一方日本の電力の80%は火力発電でありCOを多量に生み出して留まることを知らない。
一方原子力発電所は80%動かず、どうしてCO2濃度を減らすのか甚だ疑問である。今の時代はさいわいにして1.4℃の上昇に終わっているが、海面上昇、砂漠化、山火事、ロシア凍土の融解によるメタンガス(CO発生の4倍の温暖化n影響する)の多量発生等々ともう地球は温暖化どころでなく沸騰状態の危機迫っている。
このようなギリギリの情勢の中でおしめ対策として顧みられて無いのが看護度4~5の寝たきりの患者の方々である。医療関係者を含め健常者でもいつおしめの世話になるかわからないから、本発明によるオゾンによるおしめ対策を早めに採用すべき時代になっていることを念頭に置くべきである。
【0050】
オゾンガスの作り方は石英パイプの内外面に通電性を良くし為、Cuイオン焼付け鍍金後、石英パイプの外側を(+)電極とするため雷の状態(積乱雲)を作り、Cuの金網800メッシュを幅45mmとし3重に巻き付け、中パイプ石英管とAl極(-)+アルマイト処理より空気を噴射する噴射管兼空気層を打ち破る為、高周波の高電圧を掛けることでギャップ0.4~0.6mm間で放電が連続的にOを発生し、O→O+O→O+O→Oの工程が一瞬にて反応してオゾンOが発生する。地球上の自然界でオゾンは紫外線や雷放電でも生まれているため0.01~0.05ppmのオゾンを吸ったり晒されているが恐ろしいガスではない。
0.4~0.6mmの小さいギャップの中で連続放電柱はO分子ガスをOの酸素電子とし、又再結合の繰り返しにて人体に調度良いOガス放出をしている。今仮に5m×5m×2.4m=60m3の室であれば迷算すると、
200mmg/h÷60÷2.14×15/960分=0.024ppmになる。15分は略安全基準内に入っている。市販オゾン(主としてアマゾンなどの中国製)は500mg/h~1000mg/hが主体である。500mg/h÷60÷2.14×3分/960分=0.001ppm,タイマー3分セット(運転)から5分セット(休み)となる。
【0051】
地球を一個の生命体とすると「ガイヤ仮説」が成立する。今から4.2憶年前に海より地上に上陸したのは昆虫であり脊椎動物が上陸したのは約1億年前であり、海中より発する酸素ガスが3.2憶年かけて紫外線より守るオゾンガスの成立があったからである。
植物は光合成にてCO2ガスを減らし、Oガスを生み出し、今の地球である。
オゾン層が無かったら太陽からの強力な紫外線(UVA,UVB,UVC)からDNAを守れなかったため今の地球はなかったと思料する。人間はこのオゾン層も傷つけている。UVA(波長100~280mm)、UVB(波長280~315mm)、UVC(波長315~400mm)、可視光線(波長400mm~760mm)、赤外線(波長760mm以上)。「ガイヤの仮説」ではオゾン層は陸上の生命体を有害な紫外線から守る皮膚を持ち初めて生地球の筋肉や内臓と言うべき森林や草原が生きて始めて動物が生まれる。オゾン層は地球の対流にて地上に降りてくる為、殺菌作用、有機物分解作用、免疫活性化、既設のシグナルに密接に関係している。人などの高等動物はオゾンなしでは生存しない。植物が酸素を作りその酸素にてオゾンが生れる地球は生きている「ガイヤ説」である。
【0052】
図3図4が本発明の石英パイプ放電管の元になるオゾン発生装置のモデルである。心臓部全体が日本製である。オゾン発生装置は、石英管パイプ式放電管200に高周波電源21から高周波大電流を供給すると共にAirポンプ22からAirを供給してオゾンガスを発生させるものである。石英管パイプ式放電管200は石英管パイプ202にCuを焼き付けコーティングし、その外管にCu箔又はスチールウオールを巻き、石英パイプ202内壁に密着するCu+Pのスプリングパイプ201を密着してAirポンプ22からエゼクター203を介して導入空気量を増し絶縁性を破る高周波電源からの大電流を連続的に供給する方式である。また空気の熱膨張対策として石英管パイプ202の出側に磁石室205を設けて熱膨による発生Oのスピードupを磁石室205が受けてもOを磁石室205内で着磁することで外径6mm×内径4mm×長さmax10mのホースの外で0.02~0.03ppmが守られるようにした。
【0053】
健康なる人々は仕事以外のストレスが常に発生している。休みの日ぐらいゆっくりリラックスする時間は森林浴的臭いの中でリラックス出来ればどんなに幸せだろうか、森林の香りとなる芳香浴の元は、蒸留法で作られる杉、檜、等に含まれる精油の為、非常に高価である。森林の杉、檜、等は木自体が持つ水分150%が20%まで強制乾燥させることで建築材となる。精油はこの木材の乾燥釜からの排出蒸気を冷却して抽出回収する。もともと大気中に放出する蒸気である。冷却装置を取り付けることで半永久的に回収可能である。
木材の乾燥は建築材として変形や収縮による建築構造の不具合を防止するためである。
乾燥釜は永久的に運転されると思われる。そのため1回作った冷却装置が動く限り低コストの木材の精油を回収可能である。オゾンはあらゆる臭いを消すため病人の体臭や、し尿臭迄消すので病室の独特の良い臭いのみ残る。森林の香りを常に供給すればリラックス可能なため病人の方々の快復力の手助けとなる。
製材所で生まれる杉、檜、などの鋸削、樹子皮、チップより精油回収はボイラーの燃料となる為100%無駄のない製材所である。
【産業上の利用可能性】
【0054】
本発明は、前述の如くアーク放電によって金属を蒸発・イオン化させるターゲット及びオゾン発生放電管用の石英パイプや、耐摩耗性機械金属部品への金属イオンの鍍金により、おしめ用の小型オゾン供給装置による多くの要介護病患者の人々の守り、更に加湿器へのオゾン混入による室内健康環境管理、ゴルフクラブヘッドへの金属イオンの鍍金による超硬度の確保等による飛躍的な超飛距離の確保、等々の作用効果を呈して、鍍金業界及びオゾン活用産業に寄与と発展に貢献すること多大なものがある。
【符号の説明】
【0055】
100:真空チャンバー
101、102:アーク電源
103,104:ターゲット
105:バイアス電源
106:ターンテーブル
107、110:Cuピース座
108、112:W製の電極
109、113:蒸発・イオン化可能な金属
114:母材(被コーティング物:石英パイプ)
200:石英パイプ式放電管製(外径15mm×内径13mm×長さ38mm)
201:スプリング
202:石英パイプ
203:エゼクター
204:ネオジ磁石
205:磁場室
【要約】      (修正有)
【課題】低濃度のオゾンを発生して、オゾン混入による室内健康環境管理、等々の優れた利用効果を呈するオゾン発生装置の製造方法を提供する。
【解決手段】石英管パイプ式放電管(200)の石英パイプ(202)に高周波電源(21)から高周波電流を供給すると共にAirポンプ(22)からAirを供給してオゾンガスを発生させるオゾン発生装置であって、
前記石英管パイプ式放電管の石英パイプの外表面に、予めW又はMo又はZr又はNbのいずれか一つと、及びTi又はCr又はNiのいずれか一つとの二種類の金属を蒸着コーティングし、
更に前記石英管パイプの内表面に、硼酸と塩化銅の粉体フラックスを融解焼付けコーティングし、
この前記蒸着コーティング及び前記融解焼付けコーティングした前記石英パイプの空気導入側にエゼクター(203)を接続し、出側にネオジ磁石(204)を配置した磁石室(205)を接続したことを特徴とするオゾン発生装置
【選択図】図4
図1
図2
図3
図4
図5