特許 7640591 異常検出装置、異常検出方法、及びプログラム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2025-02-25

(45)【発行日】2025-03-05

(54)【発明の名称】異常検出装置、異常検出方法、及びプログラム

(51)【国際特許分類】

   G01S 7/497 20060101AFI20250226BHJP

【ＦＩ】

G01S7/497

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2022579597

(86)(22)【出願日】2022-02-03

(86)【国際出願番号】 JP2022004201

(87)【国際公開番号】W WO2022168903

(87)【国際公開日】2022-08-11

【審査請求日】2023-08-02

(31)【優先権主張番号】P 2021015536

(32)【優先日】2021-02-03

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000005016

【氏名又は名称】パイオニア株式会社

(73)【特許権者】

【識別番号】520001073

【氏名又は名称】パイオニアスマートセンシングイノベーションズ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100110928

【弁理士】

【氏名又は名称】速水 進治

(74)【代理人】

【識別番号】100127236

【弁理士】

【氏名又は名称】天城 聡

(72)【発明者】

【氏名】細井 研一郎

(72)【発明者】

【氏名】岩井 智昭

【審査官】安井 英己

(56)【参考文献】

【文献】特開２００１－３４３４５７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－１６０５４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２０－０１６４８１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－１４４１８６（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０２０／０１４１７１６（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特開２０２０－０５６６６２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－０８６１８２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｓ ７／４８－ ７／５１，

Ｇ０１Ｓ １７／００－１７／９５

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

光源と、
前記光源からの光を所定の範囲内で繰り返し走査する制御部と、
対象物における前記光の反射光を検出する受光部と、
前記受光部により検出された反射光を用いて当該反射光の反射点までの距離を算出するデータ生成部と、
を備える測定装置の異常を検出する異常検出装置であって、
前記受光部により検出された反射光の強度及び前記距離の少なくとも一方を用いて、前記光の照射方向が固定される異常又は前記光の走査範囲が狭くなる異常の有無を判断する異常検出部と、
を備え、
前記異常検出部は、一走査内における前記光の強度および前記距離の少なくとも一方のばらつきが基準範囲内であるときに、前記制御部は異常であると判断し、前記距離が基準値以下の場合は、前記制御部が異常であるとは判断しない、異常検出装置。

【請求項2】

光源と、
前記光源からの光を所定の範囲内で繰り返し走査する制御部と、
対象物における前記光の反射光を検出する受光部と、
前記受光部により検出された反射光を用いて当該反射光の反射点までの距離を算出するデータ生成部と、
を備える測定装置の異常を検出する異常検出装置であって、
前記受光部により検出された反射光の強度及び前記距離の少なくとも一方を用いて、前記光の照射方向が固定される異常又は前記光の走査範囲が狭くなる異常の有無を判断する異常検出部と、
前記距離の分布を用いて、反射点を有する対象物の種類を推定する種類推定部と、
を備え、
前記異常検出部は、前記種類の推定結果と、前記距離の分布に基づいて推定される前記対象物の形状と、を用いて、前記制御部の異常の有無を判断する、異常検出装置。

【請求項3】

請求項１に記載の異常検出装置において、
前記異常検出部は、前記反射光の強度及び前記距離の少なくとも一方において、一走査内におけるすべての値が前記基準範囲内のときに、前記制御部は異常であると判断する、異常検出装置。

【請求項4】

光源と、
前記光源からの光を所定の範囲内で繰り返し走査する制御部と、
対象物における前記光の反射光を検出する受光部と、
前記受光部により検出された前記反射光を用いて当該反射光の反射点までの距離を算出するデータ生成部と、
を備える測定装置の異常を検出する異常検出装置であって、
前記受光部により検出された反射光の強度及び前記距離の少なくとも一方を用いて、前記光の照射方向が固定される異常又は前記光の走査範囲が狭くなる異常の有無を判断する異常検出部と、
を備え、
前記異常検出部は、
複数の前記走査それぞれにおいて、前記反射光の強度及び前記距離の少なくとも一方の分布を特定し、
前記複数の走査それぞれにおける前記分布の比較結果を用いて前記制御部の異常の有無を判断し、前記距離が基準値以下の場合は、前記制御部が異常であるとは判断しない、異常検出装置。

【請求項5】

光源と、
前記光源からの光を所定の範囲内で繰り返し走査する制御部と、
対象物における前記光の反射光を検出する受光部と、
前記受光部により検出された反射光を用いて当該反射光の反射点までの距離を算出するデータ生成部と、
を備える測定装置の異常を検出する異常検出方法であって、
コンピュータが、
前記受光部により検出された反射光の強度及び前記距離の少なくとも一方を用いて、前記光の照射方向が固定される異常又は前記光の走査範囲が狭くなる異常の有無を判断する処理を実行し、
前記処理において、一走査内における前記反射光の強度及び前記距離の少なくとも一方のばらつきが基準範囲内であるときに、前記制御部は異常であると判断し、前記距離が基準値以下の場合は、前記制御部が異常であるとは判断しない、異常検出方法。

【請求項6】

光源と、
前記光源からの光を所定の範囲内で繰り返し走査する制御部と、
対象物における前記光の反射光を検出する受光部と、
前記受光部により検出された前記反射光を用いて当該反射光の反射点までの距離を算出するデータ生成部と、
を備える測定装置の異常を検出する異常検出方法であって、
コンピュータが、
前記受光部により検出された反射光の強度及び前記距離の少なくとも一方を用いて、前記光の照射方向が固定される異常又は前記光の走査範囲が狭くなる異常の有無を判断する異常検出処理と、
前記距離の分布を用いて、反射点を有する対象物の種類を推定する種類推定処理と、
を実行し、
前記異常検出処理において、前記コンピュータが、前記種類の推定結果と、前記距離の分布に基づいて推定される前記対象物の形状と、を用いて、前記制御部の異常の有無を判断する、異常検出方法。

【請求項7】

光源と、
前記光源からの光を所定の範囲内で繰り返し走査する制御部と、
対象物における前記光の反射光を検出する受光部と、
前記受光部により検出された反射光を用いて当該反射光の反射点までの距離を算出するデータ生成部と、
を備える測定装置の異常を検出する異常検出装置としてコンピュータを機能させるプログラムであって、
前記コンピュータに、
前記受光部により検出された反射光の強度及び前記距離の少なくとも一方を用いて、前記光の照射方向が固定される異常又は前記光の走査範囲が狭くなる異常の有無を判断する機能であって、一走査内における前記反射光の強度及び前記距離の少なくとも一方のばらつきが基準範囲内であるときに、前記制御部は異常であると判断し、前記距離が基準値以下の場合は、前記制御部が異常であるとは判断しない異常検出機能を持たせるプログラム。

【請求項8】

光源と、
前記光源からの光を所定の範囲内で繰り返し走査する制御部と、
対象物における前記光の反射光を検出する受光部と、
前記受光部により検出された前記反射光を用いて当該反射光の反射点までの距離を算出するデータ生成部と、
を備える測定装置の異常を検出する異常検出装置としてコンピュータを機能させるプログラムであって、
前記コンピュータに、
前記受光部により検出された反射光の強度及び前記距離の少なくとも一方を用いて、前記光の照射方向が固定される異常又は前記光の走査範囲が狭くなる異常の有無を判断する異常検出機能と、
前記距離の分布を用いて、反射点を有する対象物の種類を推定する種類推定機能と、
を持たせ、
前記異常検出機能は、前記種類の推定結果と、前記距離の分布に基づいて推定される前記対象物の形状と、を用いて、前記制御部の異常の有無を判断する、プログラム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、測定装置の異常を検知する異常検出装置、異常検出方法、及びプログラムに関する。

【背景技術】

【0002】

近年は、光学的手法で対象物までの距離を測定する測定装置の用途が広がっている。このような測定装置の検査を行う方法としては、例えば特許文献１に記載の方法がある。特許文献１に記載の方法は、測定装置の光軸のずれを測定するための方法であり、前方板及び後方板を有する光軸調整装置を用いることが記載されている。前方板は後方板より前に位置しており、測定装置から照射された光を透過させるための孔を有している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０２０－５６６６２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

光学的な測定装置は、光の照射方向を制御する制御部を有している。この制御部に異常が生じた場合、測定装置は光の照射方向を制御できなくなる。本発明が解決しようとする課題の一例は、光学的な手法を用いる測定装置において、光の照射方向を制御する制御部の異常を検知することにある。

【課題を解決するための手段】

【0005】

請求項１に記載の発明は、光源と、
前記光源からの光を所定の範囲内で繰り返し走査する制御部と、
前記光の反射光を検出する受光部と、
前記反射光を用いて当該反射光の反射点までの距離を算出するデータ生成部と、
を備える測定装置の異常を検出する異常検出装置であって、
前記反射光の強度及び前記距離の少なくとも一方を用いて、前記制御部の異常の有無を判断する異常検出部と、
を備える異常検出装置である。

【0006】

請求項１０に記載の発明は、
光源と、
前記光源からの光を所定の範囲内で繰り返し走査する制御部と、
前記光の反射光を検出する受光部と、
前記反射光を用いて当該反射光の反射点までの距離を算出するデータ生成部と、
を備える測定装置の異常を検出する異常検出方法であって、
コンピュータが、一走査内における前記反射光の強度及び前記距離の少なくとも一方を用いて、前記制御部の異常の有無を判断する、異常検出方法である。

【0007】

請求項１１に記載の発明は、光源と、
前記光源からの光を所定の範囲内で繰り返し走査する制御部と、
前記光の反射光を検出する受光部と、
前記反射光を用いて当該反射光の反射点までの距離を算出するデータ生成部と、
を備える測定装置の異常を検出する異常検出装置としてコンピュータを機能させるプログラムであって、
前記コンピュータに、一走査内における前記反射光の強度及び前記距離の少なくとも一方を用いて、前記制御部の異常の有無を判断する異常検出機能を持たせるプログラムである。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】実施形態に係る異常検出装置の構成を、測定装置の構成と共に示す図である。

【図2】測定装置の制御部が正常に動いているときの、光の照射範囲の一例を示す図である。

【図3】測定装置の制御部が正常に動いているときの、測定データの一例を示す図である。

【図4】測定装置の制御部が異常になったときの、光の照射範囲の第１例を示す図である。

【図5】測定装置が図４に示した状態になったときの測定データの一例を示す図である。

【図6】測定装置の制御部が異常になったときの、光の照射範囲の第２例を示す図である。

【図7】測定装置の制御部が異常になったときの、光の照射範囲の第２例を示す図である。

【図8】測定装置が図６又は図７に示した状態になったときの測定データの一例を示す図である。

【図9】測定装置の制御部が異常であると判断するための他の条件を説明するための図である。

【図10】異常検出装置のハードウェア構成例を示す図である。

【図11】異常検出部が行う処理の一例を示すフローチャートである。

【図12】図１の変形例を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。

【0010】

図１は、実施形態に係る異常検出装置２０の構成を、測定装置１０の構成と共に示す図である。異常検出装置２０は、測定装置１０が有する制御部１２０の異常を検知する装置である。

【0011】

まず、測定装置１０の構成について説明する。測定装置１０は、光源１１０、発光制御部１１２、制御部１２０、受光部１３０、及びデータ生成部１４０を有している。

【0012】

光源１１０は例えばレーザダイオードなどの発光素子を有している。発光制御部１１２は、光源１１０の発光タイミングを制御する。

【0013】

制御部１２０は、光源１１０からの光の照射方向を制御する。具体的には、制御部１２０は、可動反射部１２２及び駆動制御部１２４を有している。可動反射部１２２は、光源１１０からの光を反射する。可動反射部１２２の向きは可変である。例えば可動反射部１２２は、２次元で光の照射方向を制御できる。駆動制御部１２４は、可動反射部１２２の向きを制御する。可動反射部１２２は、例えばＭＥＭＳを有している。この場合、可動反射部１２２は、互いに交わる２つの方向に可動であってもよい。そして制御部１２０は、光源１１０からの光を所定の範囲内で繰り返し走査する。

【0014】

受光部１３０は、制御部１２０によって照射された光が反射点によって反射された光（以下、反射光と記載）を電気信号に変換する。この電気信号は、例えば電圧値（又は電流値）の大きさによって反射光の強度を示している。

【0015】

データ生成部１４０は、光源１１０による光の発光タイミング、及び受光部１３０による反射光の受光タイミングを用いて、測定装置１０から反射点までの距離を算出する。そしてデータ生成部１４０は、測定データを生成する。この測定データは、制御部１２０による光の照射方向を示す情報、並びにその方向における反射点までの距離及び反射光の強度を含んでいる。

【0016】

次に、異常検出装置２０について説明する。異常検出装置２０は、異常検出部２１０を有している。異常検出部２１０は、データ生成部１４０が生成した測定データを取得する。そして異常検出部２１０は、複数の測定データそれぞれが有している反射点までの距離及び反射光の強度の少なくとも一方を用いて、制御部１２０の異常の有無を判断する。

【0017】

図２は、測定装置１０の制御部１２０が正常に動いているときの、光の照射範囲の一例を示す図である。上記したように、制御部１２０は、２次元（水平方向及び垂直方向）で光の照射方向を制御できる。このため、測定装置１０による光の照射範囲は２次元（以下、所定の範囲と記載）になる。そして測定装置１０は、この所定の範囲内において、光を繰り返し走査する。この際、測定装置１０は、離散的に光を照射する。そして測定データは複数のピクセルのデータによって構成される。ここで、複数の光の照射方向のそれぞれがピクセルに相当している。

【0018】

図３は、測定装置１０の制御部１２０が正常に動いているときの、測定データの一例を示す図である。測定データは、複数のピクセル別に、光の照射方向を示すデータ（以下、ピクセル方位情報と記載）、そのピクセルにおける測定装置１０から反射点までの距離、及び受光部１３０が受光した反射光の強度を含んでいる。ピクセル方位情報は、水平方向の照射角度を示す情報（以下、水平方位角情報と記載）及び垂直方向の照射角度を示す情報（以下、垂直方位角情報と記載）を含んでいる。

【0019】

そして、測定装置１０による光の走査範囲（上記した所定の範囲）には、互いに異なる物（人の場合もある）が含まれている場合が多い。また、ほとんどの物は、表面に凹凸を有している。このため、ほとんどの場合、一走査内において、少なくとも一つのピクセルにおける反射光の強度及び前記距離の少なくとも一方は、残りのピクセルにおける当該少なくとも一方とは異なる値をとる。

【0020】

また、測定装置１０が移動している場合、及び測定装置１０の測定範囲に人や車両などの移動体が出入りする場合において、第１のタイミングで行われた走査における測定データと、第２のタイミングで行われた走査における測定データとを比較した場合、少なくとも一つのピクセルにおける反射光の強度及び前記距離の少なくとも一方は、残りのピクセルにおける当該少なくとも一方とは異なる値をとる。

【0021】

そして異常検出装置２０の異常検出部２１０は、一走査内における反射光の強度及び距離の少なくとも一方を用いて、制御部１２０の異常の有無を判断する。また異常検出部２１０は、複数の走査のそれぞれで得られた測定データを比較することにより、制御部１２０の異常の有無を判断する。以下、これらの具体例について説明する。

【0022】

図４は、測定装置１０の制御部１２０が異常になったときの、光の照射範囲の第１例を示す図である。図５は、測定装置１０が図４に示した状態になったときの測定データの一例を示す図である。

【0023】

測定装置１０の制御部１２０が光の照射方向を全く変更できなくなった場合（例えば可動反射部１２２が水平方向及び垂直方向のいずれにおいても動かなくなった場合）、駆動制御部１２４は光の照射方向を２次元に走査しようとしているにもかかわらず、測定装置１０からの光の照射方向はある方向に固定される。この場合、図４に示すように、一走査内における反射光の強度及び前記距離の少なくとも一方（図４に示す例では双方）は、すべてのピクセルにおいてほぼ同一の値になる。そこで異常検出装置２０の異常検出部２１０は、一走査内における距離及び反射光の強度の少なくとも一方のばらつきが第１の基準範囲内であるときに、制御部１２０は異常であると判断する。ここで、「ばらつき」は、例えば最大値と最小値の差であるが、他の統計的指標によって示されてもよい。

【0024】

なお、異常検出部２１０は、距離及び反射光の強度の少なくとも一方（双方の場合を含む）において、一走査内におけるすべての値が第２の基準範囲内であるときに、制御部１２０は異常であると判断する場合もある。このような場合は、例えば測定装置１０が固定されており、測定装置１０の照射方向がある方向に固定された場合における距離及び反射光の強度が既知の場合である。そしてこの既知の値を含むように、第２の基準範囲が設定される。

【0025】

図６及び図７は、測定装置１０の制御部１２０が異常になったときの、光の照射範囲の第２例を示す図である。図８は、測定装置１０が図６又は図７に示した状態になったときの測定データの一例を示す図である。

【0026】

測定装置１０の制御部１２０は、水平方向（図６（Ａ）に相当）又は垂直方向（図６（Ｂ）に相当）にのみ光の照射方向を制御できなくなる場合もある。また、制御部１２０は、垂直方向（図７（Ａ）に相当）又は水平方向（図７（Ｂ）に相当）において、光の走査範囲が狭くなることがある。このような場合、図８に示すように、複数の走査それぞれの測定データを比較した時、これら測定データは互いに類似（又はほとんど同じ）になる。言い換えると、同じような測定データが繰り返し得られることになる。そこで異常検出装置２０の異常検出部２１０は、複数の走査それぞれの測定データの差が第３の基準範囲以内になったときに、制御部１２０は異常であると判断する。

【0027】

より具体的には、図６に示した例において、各走査で得られた測定データ内において、水平方向（図６（Ａ）に相当）又は垂直方向（図６（Ｂ）に相当）にのみ距離及び強度は変化するが、垂直方向（図６（Ａ）に相当）又は水平方向（図６（Ｂ）に相当）においては距離及び強度はほぼ同じ値になる（言い換えると、ばらつきが第１の基準範囲内になる）。このようになることも、制御部１２０は異常であると判断するための条件に含まれてもよい。

【0028】

また、図７に示した例において、各走査で得られた測定データ内において、水平方向（図７（Ａ）に相当）又は垂直方向（図７（Ｂ）に相当）においては距離及び強度は大きく変化するが、垂直方向（図７（Ａ）に相当）又は水平方向（図７（Ｂ）に相当）においては距離及び強度はあまり変化しない（言い換えると、ばらつきが第１の基準範囲よりも大きい第４の基準範囲内になる）。このようになることも、制御部１２０は異常であると判断するための条件に含まれてもよい。

【0029】

なお、一走査で得られた測定データは、反射光の強度及び距離の分布を示している。このため、異常検出部２１０は、複数の走査それぞれにおけるこの分布の比較結果が基準を満たしたときに、制御部が異常であると判断している、ともいえる。

【0030】

なお、図４～図８に示した例において、測定データ示す距離が基準値以下（例えば１ｍ以下、好ましくは５０ｃｍ以下、さらに好ましくは２０ｃｍ以下）の場合、異常検出部２１０は、上記した条件を満たしていたとしても、制御部１２０は異常であるとは判断しない。その理由は、反射点を構成する対象物が測定装置１０に近接していた場合、測定装置１０による光の照射範囲の全体が同一の対象物で占められることがあり得るためである。この場合、制御部１２０が正常であったとしても、測定データは上記した条件を満たし得る。

【0031】

図９は、測定装置１０の制御部１２０が異常であると判断するための他の条件を説明するための図である。測定データを処理すると、距離の分布を用いて、反射点を有する対象物の外形及びその種類を推定することができる。制御部１２０は、この種類の推定結果と、距離の分布に基づいて推定される対象物の形状と、を用いて、制御部の異常の有無を判断する。

【0032】

例えば図９（Ａ）は、制御部１２０が正常な状態における対象物（この例では人）の外形を示している。一方、制御部１２０が図７（Ｂ）の状態になった場合、対象物の外形は、水平方向に引き伸ばされた形に歪む。そこで、制御部１２０は、対象物の種類別に、基準となる外形を示す外形情報を保持しておく。そして制御部１２０は、測定データが示す対象物の外形と、種類別の外形情報とを比較し、最も近い形状を有する種類を特定する。そして制御部１２０は、測定データが示す対象物の外形の、特定した種類の外形情報に対する歪みを特定し、この歪みの有無及び歪みの方向を用いて、制御部１２０の異常の有無及びその異常の種類を判断する。具体的には、制御部１２０は、対象物の外形が水平方向に引き伸ばされた形に歪んだ場合、水平方向（図７（Ｂ）に相当）において、光の走査範囲が狭くなっていると判断する。また制御部１２０は、対象物の外形が垂直方向に引き伸ばされた形に歪んだ場合、垂直方向（図７（Ａ）に相当）において、光の走査範囲が狭くなっていると判断する。

【0033】

図１０は、異常検出装置２０のハードウェア構成例を示す図である。異常検出装置２０は、バス１０１０、プロセッサ１０２０、メモリ１０３０、ストレージデバイス１０４０、入出力インタフェース１０５０、及びネットワークインタフェース１０６０を有する。

【0034】

バス１０１０は、プロセッサ１０２０、メモリ１０３０、ストレージデバイス１０４０、入出力インタフェース１０５０、及びネットワークインタフェース１０６０が、相互にデータを送受信するためのデータ伝送路である。ただし、プロセッサ１０２０などを互いに接続する方法は、バス接続に限定されない。

【0035】

プロセッサ１０２０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit） やＧＰＵ（Graphics Processing Unit）などで実現されるプロセッサである。

【0036】

メモリ１０３０は、ＲＡＭ（Random Access Memory）などで実現される主記憶装置である。

【0037】

ストレージデバイス１０４０は、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）、ＳＳＤ（Solid State Drive）、メモリカード、又はＲＯＭ（Read Only Memory）などで実現される補助記憶装置である。ストレージデバイス１０４０は異常検出部２１０を実現するプログラムモジュールを記憶している。プロセッサ１０２０がこれら各プログラムモジュールをメモリ１０３０上に読み込んで実行することで、そのプログラムモジュールに対応する各機能が実現される。

【0038】

入出力インタフェース１０５０は、異常検出装置２０と各種入出力機器とを接続するためのインタフェースである。例えば異常検出装置２０は、入出力インタフェース１０５０を介して測定装置１０と通信する。

【0039】

ネットワークインタフェース１０６０は、異常検出装置２０をネットワークに接続するためのインタフェースである。このネットワークは、例えばＬＡＮ（Local Area Network）やＷＡＮ（Wide Area Network）である。ネットワークインタフェース１０６０がネットワークに接続する方法は、無線接続であってもよいし、有線接続であってもよい。異常検出装置２０は、ネットワークインタフェース１０６０を介して測定装置１０と通信してもよい。

【0040】

図１１は、異常検出部２１０が行う処理の一例を示すフローチャートである。測定装置１０は、例えば一走査が終了するたびに測定データを生成し、異常検出装置２０に出力する。そして異常検出装置２０の異常検出部２１０は、測定装置１０から測定データを取得する（ステップＳ１０）と、この測定データを処理することにより、測定装置１０の制御部１２０に異常が生じているか否かを判断する（ステップＳ２０）。そして異常検出装置２０は、異常が生じていると判断した時（ステップＳ２０：Ｙｅｓ）、測定装置１０に停止指令を出力する（ステップＳ３０）。すると測定装置１０は、測定を停止する。なお、ステップＳ３０において、停止指令を出力する代わりに警告情報を出力してもよい。

【0041】

図１２は、図１の変形例を示す図である。本図に示す例において、異常検出装置２０は設けられておらず、その代わりに測定装置１０は異常検出部１５０を有している。異常検出部１５０の機能は、異常検出部２１０の機能と同様である。言い換えると、光源１１０、制御部１２０、受光部１３０、データ生成部１４０、及び異常検出部１５０は、一つの装置の中に含まれている。

【0042】

以上、本実施形態によれば、異常検出装置２０の異常検出部２１０（又は測定装置１０の異常検出部１５０）は、測定装置１０の測定データに含まれる反射光の強度及び反射点までの距離の少なくとも一方を用いて、制御部１２０に異常が生じているか否かを判断できる。

【0043】

以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。

【0044】

この出願は、２０２１年２月３日に出願された日本出願特願２０２１－０１５５３６号を基礎とする優先権を主張し、その開示の全てをここに取り込む。

【符号の説明】

【0045】

１０ 測定装置
２０ 異常検出装置
１１０ 光源
１２０ 制御部
１２２ 可動反射部
１２４ 駆動制御部
１３０ 受光部
１４０ データ生成部
２１０ 異常検出部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】