特許7641657ウェハ表面膜層の検出方法

発明の名称　ウェハ表面膜層の検出方法

出願人　晶呈科技股▲分▼有限公司　（識別番号 517370630）

　　　　特許公開件数ランキング 3208 位（5件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 3286 位（4件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7641657

公報発行日　2025年3月7

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7641657

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