特許 7643770 プリズムおよび外観検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2025-03-03

(45)【発行日】2025-03-11

(54)【発明の名称】プリズムおよび外観検査装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/95 20060101AFI20250304BHJP

【ＦＩ】

G01N21/95 Z

【請求項の数】 4

(21)【出願番号】P 2024205902

(22)【出願日】2024-11-27

【審査請求日】2024-11-27

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】594066648

【氏名又は名称】有限会社フィット

(74)【代理人】

【識別番号】100125690

【弁理士】

【氏名又は名称】小平 晋

(72)【発明者】

【氏名】長岡 暢

(72)【発明者】

【氏名】代田 浩一

【審査官】村田 顕一郎

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１９－１６８３０５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－１９５３３２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２１－０５１０３２（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許第４６３４２７３（ＵＳ，Ａ）

【文献】欧州特許出願公開第２２８０２７０（ＥＰ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｎ ２１／８４－２１／９５８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

被検査体の外観検査を行うための外観検査装置で使用されるプリズムであって、
前記被検査体を載置可能な平面状の載置面と、前記載置面から前記プリズムの内部に入射した光を反射する第１反射面および第２反射面とが形成され、
前記載置面に直交する方向を前記プリズムの軸方向とし、前記軸方向に直交する方向を前記プリズムの径方向とし、前記軸方向の一方側を第１方向側とし、前記第１方向側の反対側を第２方向側とすると、
前記第１反射面および前記第２反射面は、前記載置面の前記第２方向側に配置されるとともに、前記載置面から前記プリズムの内部に入射した光を前記第１方向側に反射し、
前記軸方向から見たときの前記第１反射面の形状および前記第２反射面の形状は、円環状になっており、
前記第２反射面は、前記第１反射面の外周側に配置されるとともに、前記軸方向から見たときに前記第１反射面と同心円状に配置され、
前記第１反射面は、前記径方向の外側に向かうにしたがって前記第２方向側に向かうように傾斜する傾斜面となっており、
前記第２反射面は、前記径方向の外側に向かうにしたがって前記第１方向側に向かうように傾斜する傾斜面となっていることを特徴とするプリズム。

【請求項2】

前記プリズムの軸心を含む前記プリズムの縦断面において、前記第１反射面および前記第２反射面は、２本の直線によって表され、
前記径方向に対する前記第１反射面の傾斜角度と前記径方向に対する前記第２反射面の傾斜角度とが等しくなっていることを特徴とする請求項１記載のプリズム。

【請求項3】

請求項１または２に記載のプリズムと、前記プリズムの前記第１方向側に配置される撮影機構とを備えることを特徴とする外観検査装置。

【請求項4】

前記被検査体は、Ｏリングであり、
前記載置面に載置される前記Ｏリングは、前記軸方向から見たときに、前記第１反射面と同心円状に配置されるとともに、前記第１反射面または前記第２反射面と重なる位置に配置されることを特徴とする請求項３記載の外観検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、被検査体の外観検査を行うための外観検査装置で使用されるプリズムに関する。また、本発明は、かかるプリズムを備える外観検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、Ｏリングの外観検査を行うための外観検査装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の外観検査装置は、Ｏリングが載る載置面が形成される透明板と、透明板の下側に配置される拡散反射板と、透明板および拡散反射板が載る回転ステージと、Ｏリングの内上面に拡散照明光を照射するリング状の内照明手段と、Ｏリングの内上面を撮影する内カメラと、Ｏリングの外上面に拡散照明光を照射するリング状の外照明手段と、Ｏリングの外上面を撮影する外カメラとを備えている。特許文献１に記載の外観検査装置では、回転ステージによってＯリングを回転させながら、内カメラと外カメラとによってＯリングの一部分の画像を順次撮影する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１９－１６８３０５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載の外観検査装置では、環状に形成されるＯリングの内周側および外周側の外観を検査することが可能になっている。しかしながら、特許文献１に記載の外観検査装置では、Ｏリングの外観検査を行うときに、回転ステージによってＯリングを回転させながら、内カメラと外カメラとによってＯリングの一部分の画像を順次撮影する必要があるため、Ｏリングの外観検査に時間がかかる。

【0005】

そこで、本発明の課題は、被検査体の外観検査を行うための外観検査装置で使用されるプリズムにおいて、たとえば、Ｏリング等の環状の被検査体の内周側および外周側の外観検査を行うことが可能であっても、外観検査装置での被検査体の検査時間を短縮することが可能となるプリズムを提供することにある。また、本発明の課題は、かかるプリズムを備える外観検査装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記の課題を解決するため、本発明のプリズムは、被検査体の外観検査を行うための外観検査装置で使用されるプリズムであって、被検査体を載置可能な平面状の載置面と、載置面からプリズムの内部に入射した光を反射する第１反射面および第２反射面とが形成され、載置面に直交する方向をプリズムの軸方向とし、軸方向に直交する方向をプリズムの径方向とし、軸方向の一方側を第１方向側とし、第１方向側の反対側を第２方向側とすると、第１反射面および第２反射面は、載置面の第２方向側に配置されるとともに、載置面からプリズムの内部に入射した光を第１方向側に反射し、軸方向から見たときの第１反射面の形状および第２反射面の形状は、円環状になっており、第２反射面は、第１反射面の外周側に配置されるとともに、軸方向から見たときに第１反射面と同心円状に配置され、第１反射面は、径方向の外側に向かうにしたがって第２方向側に向かうように傾斜する傾斜面となっており、第２反射面は、径方向の外側に向かうにしたがって第１方向側に向かうように傾斜する傾斜面となっていることを特徴とする。

【0007】

本発明のプリズムでは、被検査体を載置可能な載置面からプリズムの内部に入射した光を第１方向側に反射する第１反射面および第２反射面の、プリズムの軸方向から見たときの形状は円環状になっており、第２反射面は、第１反射面の外周側に配置されるとともに、軸方向から見たときに第１反射面と同心円状に配置されている。また、本発明では、第１反射面は、プリズムの径方向の外側に向かうにしたがって第２方向側に向かうように傾斜する傾斜面となっており、第２反射面は、プリズムの径方向の外側に向かうにしたがって第１方向側に向かうように傾斜する傾斜面となっている。

【0008】

そのため、本発明のプリズムが使用される外観検査装置では、プリズムの第１方向側に撮影機構を配置すれば、たとえば、Ｏリング等の環状の被検査体の検査が行われるときに、載置面に直接、または、透明なガラス板等を介して載置される被検査体の第１方向側の部分の全体の画像を直接、撮影機構で撮影することが可能になるとともに、第１反射面に映る被検査体の内周側かつ第２方向側の部分の全体の画像と、第２反射面に映る被検査体の外周側かつ第２方向側の部分の全体の画像とを撮影機構で撮影することが可能になる。すなわち、本発明のプリズムが使用される外観検査装置では、プリズムの第１方向側に撮影機構を配置すれば、環状の被検査体の全体の画像を一度に撮影することが可能になる。したがって、本発明のプリズムを外観検査装置に使用すれば、Ｏリング等の環状の被検査体の内周側および外周側の外観検査を行うことが可能であっても、外観検査装置での被検査体の検査時間を短縮することが可能になる。

【0009】

また、本発明のプリズムを外観検査装置に使用すれば、被検査体を裏返しにしなくても、被検査体の第２方向側の部分の画像を撮影することが可能になるため、外観検査装置での被検査体の検査時間をより短縮することが可能になる。さらに、本発明のプリズムを外観検査装置に使用すれば、第２反射面に映る被検査体の外周面の画像を撮影することが可能になるため、被検査体を精度良く検査することが可能になる。また、本発明のプリズムを外観検査装置に使用すれば、プリズムの第１方向側に撮影機構を配置することで、環状の被検査体の全体の画像を一度に撮影することが可能になるため、外観検査装置の構成を簡素化することが可能になる。

【0010】

本発明において、たとえば、プリズムの軸心を含むプリズムの縦断面において、第１反射面および第２反射面は、２本の直線によって表され、径方向に対する第１反射面の傾斜角度と径方向に対する第２反射面の傾斜角度とが等しくなっている。

【0011】

本発明のプリズムは、プリズムの第１方向側に配置される撮影機構を備える外観検査装置に用いることができる。この外観検査装置では、Ｏリング等の環状の被検査体の内周側および外周側の外観検査を行うことが可能であっても、被検査体の検査時間を短縮することが可能になる。

【0012】

本発明において、たとえば、被検査体は、Ｏリングであり、載置面に載置されるＯリングは、軸方向から見たときに、第１反射面と同心円状に配置されるとともに、第１反射面または第２反射面と重なる位置に配置される。

【発明の効果】

【0013】

以上のように、本発明のプリズムを外観検査装置に使用すれば、たとえば、Ｏリング等の環状の被検査体の内周側および外周側の外観検査を行うことが可能であっても、外観検査装置での被検査体の検査時間を短縮することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】（Ａ）は、本発明の実施の形態にかかる外観検査装置の構成を説明するための概略図であり、（Ｂ）は、（Ａ）に示すプリズムの平面図であり、（Ｃ）は、（Ａ）に示す被検査体およびプリズムの断面図であり、（Ｄ）は、（Ａ）に示すプリズムの底面図である。

【図2】図１に示すプリズムの構成を説明するための図である。

【図3】図１に示す撮影機構で撮影される画像を説明するための図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

【0016】

（外観検査装置およびプリズムの構成）
図１（Ａ）は、本発明の実施の形態にかかる外観検査装置１の構成を説明するための概略図であり、図１（Ｂ）は、図１（Ａ）に示すプリズム３の平面図であり、図１（Ｃ）は、図１（Ａ）に示すＯリング２およびプリズム３の断面図であり、図１（Ｄ）は、図１（Ａ）に示すプリズム３の底面図である。図２は、図１に示すプリズム３の構成を説明するための図である。図３は、図１に示すカメラ４で撮影される画像を説明するための図である。

【0017】

外観検査装置１は、被検査体２の外観検査を行うための装置である。本形態の被検査体２は、環状に形成されるＯリングである。したがって、以下では、被検査体２を「Ｏリング２」とする。Ｏリング２はゴムで形成されている。外力が作用していないときのＯリング２の形状は円環状となっている。外観検査装置１では、Ｏリング２の表面の傷や歪みの有無、および、Ｏリング２の表面への異物の付着の有無等が検査される。外観検査装置１は、プリズム３を備えている。すなわち、プリズム３は、外観検査装置１で使用される。外観検査装置１は、プリズム３に加えて、プリズム３の上側に配置される撮影機構としてのカメラ４を備えている。本形態の外観検査装置１は、１台のカメラ４を備えている。

【0018】

カメラ４は、Ｏリング２の真上に配置されている。カメラ４は、カメラ４の光軸が上下方向（鉛直方向、図１（Ａ）のＺ方向）と一致するように設置されている。カメラ４の光軸は、たとえば、プリズム３に形成される後述の載置面３ｃに載置されたＯリング２の軸心を通過している。上下方向において、Ｏリング２とカメラ４との間には、Ｏリング２に光を当てるための照明機構（図示省略）が配置されている。すなわち、外観検査装置１は、照明機構を備えている。照明機構は、明視野照明機構であり、真上からＯリング２に直接、光を当てる。また、照明機構は、たとえば、リング状に形成されるリング照明であり、カメラ４の撮影の支障にならない位置に配置されている。

【0019】

プリズム３は、たとえば、透明なガラスまたは樹脂で形成されている。プリズム３は、上下方向（鉛直方向、図１（Ａ）のＺ方向））を軸方向とするとともに軸方向の長さが短い扁平な略円錐台状に形成されている。具体的には、プリズム３は、プリズム３の上側の約半分の部分を構成する扁平な円柱状（円板状）の部分と、プリズム３の下側の約半分の部分を構成するとともに下側に向かうにしたがって外径が次第に小さくなる扁平な円錐台状の部分とによって構成されている。上下方向（すなわち、プリズム３の軸方向）に直交する方向は、プリズム３の径方向となっている。

【0020】

プリズム３は、支持部材（図示省略）に取り付けられている。プリズム３の中心には、上下方向でプリズム３を貫通する貫通穴３ａが形成されている。プリズム３の下面側には、上側に向かって窪む凹部３ｂが形成されている。凹部３ｂは、プリズム３の下面側の中心に形成されている。凹部３ｂは、上側に向かうにしたがって外径が次第に小さくなる円錐台状に形成されている。凹部３ｂの上端には、貫通穴３ａの下端が繋がっている。

【0021】

また、プリズム３には、Ｏリング２を載置可能な平面状の載置面３ｃと、載置面３ｃからプリズム３の内部に入射した光を反射する第１反射面３ｄおよび第２反射面３ｅとが形成されている。載置面３ｃは、上下方向に直交する平面である。すなわち、プリズム３の軸方向である上下方向は、載置面３ａに直交する方向となっている。また、本形態の上側（図１（Ａ）のＺ１方向側）は、プリズム３の軸方向の一方側である第１方向側となっており、下側（図１（Ａ）のＺ２方向側）は、プリズム３の軸方向の他方側である第２方向側となっている。

【0022】

載置面３ｃは、プリズム３の上面を構成しており、上側を向いている。載置面３ｃは、円形状に形成されている。本形態では、Ｏリング２は、載置面３ｃに直接、載置される。第１反射面３ｄおよび第２反射面３ｅは、載置面３ｃの下側に配置されている。第１反射面３ｄおよび第２反射面３ｅは、載置面３ｃからプリズム３の内部に入射した光を上側に反射する。上下方向から見たときの第１反射面３ｄの形状および第２反射面３ｅの形状は円環状になっている。第２反射面３ｅは、第１反射面３ｄの外周側に配置されるとともに、上下方向から見たときに、第１反射面３ｄと同心円状に配置されており、上下方向から見たときに、第１反射面３ｄを囲んでいる。第１反射面３ｄおよび第２反射面３ｅは、上下方向から見たときに、貫通穴３ａと同心円状に配置されている。

【0023】

第１反射面３ｄは、円錐台状に形成される凹部３ｂの側面を構成している。第１反射面３ｄは、プリズム３の径方向の外側に向かうにしたがって下側に向かうように傾斜する傾斜面となっている。上下方向から見たときに、第１反射面３ｄは、貫通穴３ａを囲んでいる。第２反射面３ｅは、円錐台状に形成されるプリズム３の下側部分の側面を構成している。第２反射面３ｅは、プリズム３の径方向の外側に向かうにしたがって上側に向かうように傾斜する傾斜面となっている。

【0024】

円環状に形成される第２反射面３ｅの内径は、円環状に形成される第１反射面３ｄの外径よりも若干大きくなっている。たとえば、第１反射面３ｄの外径は２１ｍｍ程度となっており、第２反射面３ｅの内径は２２ｍｍ程度となっている。また、第２反射面３ｅの外径は５０ｍｍ程度となっている。プリズム３の径方向における第１反射面３ｄと第２反射面３ｅとの間には、上下方向に直交する円環状の平面である円環面３ｆが形成されている。プリズム３の径方向における円環面３ｆの幅は狭くなっている。

【0025】

図１（Ｃ）等に示すように、プリズム３の軸心を含むプリズム３の縦断面において、第１反射面３ｄおよび第２反射面３ｅは、２本の直線によって表される。本形態では、プリズム３の径方向に対する第１反射面３ｄの傾斜角度θ１（図２（Ａ）参照）とプリズム３の径方向に対する第２反射面３ｅの傾斜角度θ２（図２（Ａ）参照）とが等しくなっている。傾斜角度θ１、θ２は、たとえば、１５°程度である。プリズム３の縦断面の下面の形状は、Ｗ形状となっている。

【0026】

外観検査装置１で検査されるＯリング２の外径Ｄ（図１（Ｃ）参照）は、たとえば、３０ｍｍまたは２０ｍｍである。載置面３ｃに載置されるＯリング２は、上下方向から見たときに、第１反射面３ｄと同心円状に配置される。すなわち、Ｏリング２は、上下方向から見たときに、貫通穴３ａ、第１反射面３ｄおよび第２反射面３ｅと同心円状に配置されるように載置面３ｃに載置される。たとえば、Ｏリング２の外形が３０ｍｍである場合には、載置面３ｃに載置されるＯリング２は、上下方向から見たときに、第２反射面３ｅと重なる位置に配置され（図２（Ａ）参照）、Ｏリング２の外形が２０ｍｍである場合には、載置面３ｃに載置されるＯリング２は、上下方向から見たときに、第１反射面３ｄと重なる位置に配置される（図２（Ｂ）参照）。

【0027】

図２に示すように、第１反射面３ｄは、照明機構から射出されて上側からプリズム３に入射した光をＯリング２の内周側かつ下側の部分に向かって反射するとともに、Ｏリング２で反射した光をカメラ４に向かって上側に反射する。第２反射面３ｅは、照明機構から射出されて上側からプリズム３に入射した光をＯリング２の外周側かつ下側の部分に向かって反射するとともに、Ｏリング２で反射した光をカメラ４に向かって上側に反射する。

【0028】

Ｏリング２で反射してから第１反射面３ｄでさらに反射した後、カメラ４に向かう光は、Ｏリング２の内周側を通過する。第１反射面３ｄの傾斜角度θ１は、Ｏリング２で反射してから第１反射面３ｄでさらに反射した後、カメラ４に向かう光が、Ｏリング２に遮られないように設定されている。Ｏリング２で反射してから第２反射面３ｅでさらに反射した後、カメラ４に向かう光は、Ｏリング２の外周側を通過する。第２反射面３ｅの傾斜角度θ２は、Ｏリング２で反射してから第２反射面３ｅでさらに反射した後、カメラ４に向かう光が、Ｏリング２に遮られないように設定されている。

【0029】

たとえば、外形が３０ｍｍのＯリング２の外観検査が外観検査装置１で行われる場合、カメラ４では、Ｏリング２の上側部分の全体の画像Ｐ１が直接撮影されるとともに、第１反射面３ｄに映るＯリング２の内周側かつ下側の部分の全体の画像Ｐ２と、第２反射面３ｅに映るＯリング２の外周側かつ下側の部分の全体の画像Ｐ３とが撮影される（図３参照）。すなわち、Ｏリング２の外観検査が外観検査装置１で行われる場合、カメラ４では、Ｏリング２の全体の画像が一度に撮影される。画像Ｐ１～Ｐ３は、円環状の画像であり、同心円状に配置される。また、画像Ｐ２は、画像Ｐ１の内周側に配置され、画像Ｐ３は、画像Ｐ１の外周側に配置される。

【0030】

外形が２０ｍｍのＯリング２の外観検査が外観検査装置１で行われる場合でも同様に、カメラ４では、Ｏリング２の上側部分の全体の画像が直接撮影されるとともに、第１反射面３ｄに映るＯリング２の内周側かつ下側の部分の全体の画像と、第２反射面３ｅに映るＯリング２の外周側かつ下側の部分の全体の画像とが撮影される。なお、カメラ４には、パーソナルコンピュータ（ＰＣ）が電気的に接続されている。ＰＣには、カメラ４で撮影された画像が送信される。ＰＣは、カメラ４で撮影された画像に基づいて、Ｏリング２の表面の傷や歪みの有無を判定したり、Ｏリング２の表面への異物の付着の有無を判定したりする。

【0031】

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、載置面３ｃからプリズム３の内部に入射した光を上側に反射する第１反射面３ｄおよび第２反射面３ｅの、上下方向から見たときの形状は円環状になっており、第２反射面３ｅは、第１反射面３ｄの外周側に配置されるとともに、上下方向から見たときに第１反射面３ｄと同心円状に配置されている。また、本形態では、第１反射面３ｄは、プリズム３の径方向の外側に向かうにしたがって下側に向かうように傾斜する傾斜面となっており、第２反射面３ｅは、プリズム３の径方向の外側に向かうにしたがって上側に向かうように傾斜する傾斜面となっている。

【0032】

そのため、本形態では、上述のように、Ｏリング２の上側部分の全体の画像Ｐ１がカメラ４で直接撮影されるとともに、第１反射面３ｄに映るＯリング２の内周側かつ下側の部分の全体の画像Ｐ２と、第２反射面３ｅに映るＯリング２の外周側かつ下側の部分の全体の画像Ｐ３とがカメラ４で撮影される。すなわち、本形態では、Ｏリング２の全体の画像がカメラ４で一度に撮影される。したがって、本形態では、環状に形成されるＯリング２の内周側および外周側の外観検査を行うことが可能であっても、外観検査装置１でのＯリング２の検査時間を短縮することが可能になる。

【0033】

また、本形態では、Ｏリング２を上下反転させなくても、Ｏリング２の下側部分の画像をカメラ４で撮影することが可能になるため、外観検査装置１でのＯリング２の検査時間をより短縮することが可能になる。また、本形態では、第２反射面３ｅに映るＯリング２の外周面の画像をカメラ４で撮影することが可能になるため、Ｏリング２を精度良く検査することが可能になる。さらに、本形態では、プリズム３の上側にカメラ４を配置することで、環状に形成されるＯリング２の全体の画像を一度に撮影することが可能になるため、外観検査装置１の構成を簡素化することが可能になる。

【0034】

（他の実施の形態）
上述した形態において、Ｏリング２は、載置面３ｃに直接、載置されなくても良い。たとえば、薄い平板状に形成される透明なガラス板に載置されたＯリング２が、ガラス板と一緒に載置面３ｃに載置されても良い。すなわち、Ｏリング２は、ガラス板等を介して載置面３ｃに載置されても良い。この場合には、外観検査装置１のオフラインにおいて、複数のガラス板のそれぞれに予めＯリング２を載置しておくことで、外観検査装置１にセットされるＯリング２の交換を容易に行うことが可能になる。

【0035】

上述した形態では、プリズム３の縦断面図において第１反射面３ｄは２本の直線によって表されるが、プリズム３の縦断面図において第１反射面３ｄが２本の曲線によって表されるように、第１反射面３ｄが形成されていても良い。すなわち、第１反射面３ｄは、プリズム３の径方向の内側かつ下側に向かって膨らむ凸曲面状に形成されていても良いし、プリズム３の径方向の外側かつ上側に向かって窪む凹曲面状に形成されていても良い。この場合であっても、第１反射面３ｄは、プリズム３の径方向の外側に向かうにしたがって下側に向かうように傾斜する傾斜面となっている。また、この場合には、カメラ４で撮影される画像Ｐ２の大きさを変えることが可能になる。

【0036】

同様に、プリズム３の縦断面図において第２反射面３ｅが２本の曲線によって表されるように、第２反射面３ｅが形成されていても良い。すなわち、第２反射面３ｅは、プリズム３の径方向の外側かつ下側に向かって膨らむ凸曲面状に形成されていても良いし、プリズム３の径方向の内側かつ上側に向かって窪む凹曲面状に形成されていても良い。この場合であっても、第２反射面３ｅは、プリズム３の径方向の外側に向かうにしたがって上側に向かうように傾斜する傾斜面となっている。また、この場合には、カメラ４で撮影される画像Ｐ３の大きさを変えることが可能になる。

【0037】

上述した形態において、プリズム３に円環面３ｆが形成されていなくても良い。すなわち、第２反射面３ｅの内径と第１反射面３ｄの外径とが等しくなっていても良い。また、上述した形態において、第１反射面３ｄの傾斜角度θ１と第２反射面３ｅの傾斜角度θ２とは異なっていても良い。また、上述した形態において、外観検査装置１で外観検査が行われる被検査体２は、Ｏリング以外のパッキンやガスケット等の円環状のシール部材であっても良いし、シール部材以外の円環状の部材であっても良い。また、被検査体２は、円環状以外の環状に形成されていても良いし、環状に形成されていなくても良い。たとえば、被検査体２は、Ｃ形状に形成されていても良い。また、上述した形態において、Ｏリング２に光を当てるための照明機構は、暗視野照明機構であっても良い。

【符号の説明】

【0038】

１ 外観検査装置
２ Ｏリング（被検査体）
３ プリズム
３ｃ 載置面
３ｄ 第１反射面
３ｅ 第２反射面
４ カメラ（撮影機構）
Ｚ プリズムの軸方向
Ｚ１ 第１方向側
Ｚ２ 第２方向側
θ１ 第１反射面の傾斜角度
θ２ 第２反射面の傾斜角度

【要約】

【課題】外観検査装置で使用されるプリズムにおいて、Ｏリング等の環状の被検査体の内周側および外周側の外観検査を行うことが可能であっても、外観検査装置での被検査体の検査時間を短縮することが可能となるプリズムを提供する。
【解決手段】プリズム３には、被検査体２の載置面３ｃと、載置面３ｃから入射した光を反射する第１反射面３ｄおよび第２反射面３ｅが形成されている。第１反射面３ｄおよび第２反射面３ｅは、載置面３ｃの下側に配置され、載置面３ｃから入射した光を上側に反射する。第１反射面３ｄおよび第２反射面３ｅは円環状になっており、第２反射面ｅは、第１反射面３ｄの外周側に配置されるとともに第１反射面３ｄと同心円状に配置されている。第１反射面３ｄは、径方向の外側に向かうにしたがって下側に向かうように傾斜する傾斜面であり、第２反射面３ｅは、径方向の外側に向かうにしたがって上側に向かうように傾斜する傾斜面である。
【選択図】図２

【図1】

【図2】

【図3】