特許 7645002 アクチュエータ装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2025-03-05

(45)【発行日】2025-03-13

(54)【発明の名称】アクチュエータ装置

(51)【国際特許分類】

   F16H 25/24 20060101AFI20250306BHJP

   F16J 3/02 20060101ALI20250306BHJP

【ＦＩ】

F16H25/24 L

F16J3/02 A

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2023188295

(22)【出願日】2023-11-02

(65)【公開番号】P2025009687

(43)【公開日】2025-01-20

【審査請求日】2023-11-02

(31)【優先権主張番号】112124342

(32)【優先日】2023-06-29

(33)【優先権主張国・地域又は機関】TW

(73)【特許権者】

【識別番号】518435873

【氏名又は名称】東佑達自動化科技股▲ふん▼有限公司

【住所又は居所原語表記】Ｎｏ．５５， Ｘｉｎｊｉ ３ｒｄ Ｒｄ．， Ａｎｎａｎ Ｄｉｓｔ．， Ｔａｉｎａｎ Ｃｉｔｙ， ７０９４７ Ｔａｉｗａｎ

(74)【代理人】

【識別番号】100099759

【弁理士】

【氏名又は名称】青木 篤

(74)【代理人】

【識別番号】100123582

【弁理士】

【氏名又は名称】三橋 真二

(74)【代理人】

【識別番号】100092624

【弁理士】

【氏名又は名称】鶴田 準一

(74)【代理人】

【識別番号】100114018

【弁理士】

【氏名又は名称】南山 知広

(74)【代理人】

【識別番号】100153729

【弁理士】

【氏名又は名称】森本 有一

(72)【発明者】

【氏名】ツォン クン チョン

(72)【発明者】

【氏名】スー ミン チー

【審査官】鷲巣 直哉

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２００９／０３４８０４（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１３－００７４４４（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１４／１１５６４８（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１７－０７２１９７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－１８６９７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１９／００４８９８８（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ１６Ｈ ２５／２４

Ｆ１６Ｊ ３／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

軸線方向に沿って延伸する台座ユニットと、前記軸線方向に沿って前記台座ユニットに対して移動可能に取り付けられるスライダーユニットと、圧力調節手段と、駆動手段とを備えたアクチュエータ装置であって、
前記台座ユニットは、軸線方向に沿って延伸し、且つ、収容空間を囲む台座本体と、前記台座本体の１つの端部に接続されると共に、外部から前記収容空間まで延伸する通気孔と第１のオイル注入孔と前記収容空間まで延伸するように前記第１のオイル注入孔に取り付けられるオイル注入ノズルとを有する第１のサイドブロックと、前記軸線方向において前記１つの端部の反対側にある他の１つの端部に接続される第２のサイドブロックと、を有するように構成されており、
前記スライダーユニットは、前記軸線方向に沿って移動できるように前記台座ユニットに取り付けられるスライドブロックと、前記スライドブロックに接続される受動部材と、前記オイル注入ノズルに連通するように、前記スライドブロックと前記台座ユニットとの間に配置される接続孔と、を有するように構成されており、
前記圧力調節手段は、前記第１のサイドブロックの前記通気孔に配置されることにより、前記収容空間から前記台座ユニット外への片方向にのみ空気を排出するように構成されており、
前記駆動手段は前記台座ユニットに配置されると共に、前記スライダーユニットの前記台座ユニットに対する相対移動を駆動するように構成されており、
前記台座ユニットの前記第１のサイドブロックには、前記台座本体に固定されるオイル注入台と、前記台座本体の前記オイル注入台の反対側に固定される空気排出台と、を有し、前記通気孔は、前記空気排出台に形成される第１の孔部と、前記オイル注入台に形成される第２の孔部と、を有し、前記第１のオイル注入孔及び前記オイル注入ノズルは、前記オイル注入台に配置されることを特徴とするアクチュエータ装置。

【請求項2】

前記駆動手段は、前記空気排出台の前記オイル注入台に面する側の反対側において配置される回転駆動部と、
前記回転駆動部により回転駆動されると共に、前記受動部材に螺合して前記回転駆動部からの駆動力を前記受動部材に伝搬して前記受動部材を前記軸線方向に沿って駆動する動力出力軸と、
前記スライドブロックに接続される内側端部から前記第２のサイドブロック外に露出する外側端部まで延伸し、前記スライドブロックと共に前記動力出力軸に対して移動可能、且つ、管内に前記動力出力軸が挿通する中空パイプと、を有し、
前記動力出力軸の前記回転駆動部から離れた先端に可動リングが取り付けられることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ装置。

【請求項3】

前記台座ユニットは、前記第２のサイドブロックに第２のオイル注入孔が形成され、前記第２のオイル注入孔を経由して前記第２のサイドブロックと前記中空パイプとの間にオイルを注入できることを特徴とする請求項２に記載のアクチュエータ装置。

【請求項4】

前記台座ユニットの前記第２のサイドブロックは、前記台座本体に繋がっているサイドブロック本体と、前記サイドブロック本体に取り付けられるサイドキャップとを有し、前記サイドブロック本体と前記サイドキャップとの間に、前記中空パイプに連通するオイル貯蔵室が画成されていることを特徴とする請求項３に記載のアクチュエータ装置。

【請求項5】

前記スライダーユニットは、前記スライドブロックに配置されると共に、それぞれ複数のビーズからなるビーズセットを有する２つのビーズベアリング手段と、前記接続孔及び前記接続孔と前記ビーズベアリング手段とを連通させるオイル案内溝が形成されるオイル案内台と、を有することを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ装置。

【請求項6】

前記圧力調節手段は、バルブ本体と、前記バルブ本体内に取り付けられて前記収容空間から前記台座ユニットの外側への空気の流れのみを可能とする片方向フィルムと、を有することを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ装置。

【請求項7】

前記圧力調節手段における前記片方向フィルムはポリテトラフルオロエチレンにより構成されることを特徴とする請求項６に記載のアクチュエータ装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、アクチュエータ装置に関し、特に、リニアアクチュエータ装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には除湿器を設けることでアクチュエータ装置内の湿度を下げる技術が記載されている。

【0003】

また、特許文献２にはハウジング本体とフロントカバとの間にフロントカバ用シール部材を挟み、ハウジング本体とリアカバとの間にリアカバ用シール部材を挟むことで、防塵・防水性能を向上させる技術が記載されている。

【0004】

このように、特許文献２ではハウジングの外側に位置する第１ロッド用シール部材とハウジングの内側に位置する第２ロッド用シール部材とがフロントカバに配置されており、塵や水などの異物が第１ロッド用シール部材を突破して侵入しても、第２ロッド用シール部材により遮断されるので、塵や水がハウジング本体の両端から進入することを防いでアクチュエータの防塵・防水性能を向上させることができる。

【0005】

この他、第１ロッド用シール部材の後端側にソフトワイパが配置され、ハウジングの内部において生じるオイルや粉末などの異物を拭き取り、ハウジングの外部への漏れを防止することができる。

【0006】

しかしながら、上記従来の技術には、相対運動を実行する部材の間において防塵・防水効果を発揮する構成が記載されていない。例えば、特許文献２において、スライドブロックが駆動される際、ハウジング本体の中に空気の流れが発生するため、ハウジング本体は厳密な気密性能を発揮することが出来ず、優れた防塵・防水効果を発揮することが出来ない。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【文献】特許第６０２５６２５号

【文献】特許第５９６８７３２号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

従って、本発明は相対運動を実行する部材の間においても防塵・防水効果を有するアクチュエータ装置の提供を目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上記目的を達成すべく、本発明は、軸線方向に沿って延伸する台座ユニットと、前記軸線方向に沿って前記台座ユニットに対して移動可能に取り付けられるスライダーユニットと、圧力調節手段と、駆動手段とを備えたアクチュエータ装置であって、
前記台座ユニットは、軸線方向に沿って延伸し、且つ、収容空間を囲む台座本体と、前記台座本体の１つの端部に接続されると共に、外部から前記収容空間まで延伸する通気孔と第１のオイル注入孔と前記収容空間まで延伸するように前記第１のオイル注入孔に取り付けられるオイル注入ノズルとを有する第１のサイドブロックと、前記軸線方向において前記１つの端部の反対側にある他の１つの端部に接続される第２のサイドブロックと、を有するように構成されており、
前記スライダーユニットは、前記軸線方向に沿って移動できるように前記台座ユニットに取り付けられるスライドブロックと、前記スライドブロックに接続される受動部材と、前記オイル注入ノズルに連通するように、前記スライドブロックと前記台座ユニットとの間に配置される接続孔と、を有するように構成されており、
前記圧力調節手段は、前記第１のサイドブロックに形成される通気孔を有することにより、前記収容空間から前記台座ユニット外への片方向にのみ空気を排出するように構成されており、
前記駆動手段は前記台座ユニットに配置されると共に、前記スライダーユニットの前記台座ユニットに対する相対移動を駆動するように構成されることを特徴とするアクチュエータ装置。を提供する。

【発明の効果】

【0010】

上記構成によると、本発明は駆動手段の駆動によりスライダーユニットが第１のサイドブロックに接近すると、第１のサイドブロックの第１のオイル注入孔及びオイル注入ノズルはスライダーユニットに対してオイルを供給し、且つ、スライダーユニットが台座ユニットに対して移動する際において生じるスリップストリームは圧力調節手段を経由して外に排出されるので、台座ユニットの内部の圧力を調整して、優れた防塵・防水効果を発揮することが出来る。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】本発明のアクチュエータ装置の実施例が示される斜視図である。

【図2】同実施例の分解斜視図である。

【図3】同実施例におけるオイル案内台の斜視図である。

【図4】同実施例におけるオイル案内台の斜視図である。

【図5】同実施例の断面図である。

【図6】図５の一部の拡大説明図である。

【図7】図５の他の一部の拡大説明図である。

【図8】図６におけるＶＩＩＩ－ＶＩＩＩ線に沿った断面図である。

【図9】図６におけるＩＸ－ＩＸ線に沿った断面図である。

【図10】図７におけるＸ－Ｘ線に沿った断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下では各図面を参照して本発明の各部構成について詳しく説明する。

【0013】

図１と図２に示されるように、図示される本発明のアクチュエータ装置の実施例は、軸線方向Ｘに沿って延伸する台座ユニット１０と、軸線方向Ｘに沿って台座ユニット１０に対して移動可能に取り付けられるスライダーユニット２０と、圧力調節手段３０と、駆動手段４０と、を備える。

【0014】

図５～図９をも併せて参照すると、台座ユニット１０は、軸線方向Ｘに沿って延伸し、且つ、収容空間１１１を囲む台座本体１１と、台座本体１１の１つの端部に接続されると共に、外部から収容空間１１１まで延伸する通気孔１５と第１のオイル注入孔１３１と収容空間１１１まで延伸するように第１のオイル注入孔１３１に取り付けられるオイル注入ノズル１３２とを有する第１のサイドブロック１２と、台座本体１１の軸線方向Ｘにおいて上記１つの端部の反対側にある他の１つの端部に接続される第２のサイドブロック１６と、を有するように構成されている。

【0015】

台座ユニット１０の第１のサイドブロック１２には、台座本体１１に固定されるオイル注入台１３と、台座本体１１のオイル注入台１３の反対側に固定される空気排出台１４と、を有し、第１のオイル注入孔１３１及びオイル注入ノズル１３２は、オイル注入台１３に配置される。通気孔１５は、空気排出台１４に形成される第１の孔部１５１と、オイル注入台１３に形成される第２の孔部１５２と、を有する。

【0016】

図７と図１０をも併せて参照すると、台座ユニット１０の第２のサイドブロック１６は、台座本体１１に繋がっているサイドブロック本体１６１と、サイドブロック本体１６１に取り付けられるサイドキャップ１６２とを有し、サイドブロック本体１６１とサイドキャップ１６２との間に、中空パイプ４３（後述）に連通するオイル貯蔵室１６３が画成されている。また、第２のサイドブロック１６に第２のオイル注入孔１６４が形成され、第２のオイル注入孔１６４を経由して第２のサイドブロック１６と中空パイプ４３（後述）との間にオイルを注入できる。

【0017】

図６と図８をも併せて参照すると、スライダーユニット２０は、軸線方向Ｘに沿って移動できるように台座ユニット１０に取り付けられるスライドブロック２１と、スライドブロック２１に接続される受動部材２２と、スライドブロック２１に配置されると共に、それぞれ複数のビーズからなるビーズセット２４を有する２つのビーズベアリング手段２３と、接続孔２５１及び接続孔２５１とビーズベアリング手段２３とを連通させるオイル案内溝２５２が形成されるオイル案内台２５と、を有する。接続孔２５１は、オイル注入ノズル１３２に連通し、且つ、スライドブロック２１と台座ユニット１０との間に配置されるように、オイル案内台２５に形成される。

【0018】

圧力調節手段３０は、第１のサイドブロック１２に形成される通気孔１５に配置され、収容空間１１１から台座ユニット１０外への片方向にのみ空気を排出するように構成されている。圧力調節手段３０は、バルブ本体３１と、バルブ本体３１内に取り付けられて収容空間１１１から台座ユニット１０の外側への空気の流れのみを可能とする片方向フィルム３２と、を有し、圧力調節手段３０における片方向フィルム３２はポリテトラフルオロエチレンにより構成されることができる。

【0019】

駆動手段４０は台座ユニット１０に配置されると共に、スライダーユニット２０の台座ユニット１０に対する相対移動を駆動するように構成される。

【0020】

具体的には、駆動手段４０は、空気排出台１４のオイル注入台１３に面する側の反対側において配置される回転駆動部４１と、回転駆動部４１により回転駆動されると共に、受動部材２２に螺合して回転駆動部４１からの駆動力を受動部材２２に伝搬して受動部材２２を軸線方向Ｘに沿って駆動する動力出力軸４２と、スライドブロック２１に接続される内側端部４３１から第２のサイドブロック１６外に露出する外側端部４３２まで延伸し、スライドブロック２１と共に動力出力軸４２に対して移動可能、且つ、管内に動力出力軸４２が挿通する中空パイプ４３と、を有する。

【0021】

動力出力軸４２は、空気排出台１４の第１の孔部１５１及びオイル注入台１３の第２の孔部１５２に挿し込まれる連接部分４２１と、連接部分４２１の反対側にある先端部分４２２と、先端部分４２２（すなわち、回転駆動部４１から離れた先端）に取り付けられる可動リング４２３と、を有する。

【0022】

中空パイプ４３は、スライドブロック２１に接続される内側端部４３１と、内側端部４３１の反対側に位置し、且つ、第２のサイドブロック１６を挿通して第２のサイドブロック１６の外側に露出する外側端部４３２と、内側端部４３１から外側端部４３２まで延伸する外周面４３３と、外周面４３３の反対側（内側）において中空部４３４を囲む内周面４３５と、を有する。第２のサイドブロック１６のオイル貯蔵室１６３は中空パイプ４３の外周面４３３に隣接し、そして第２のオイル注入孔１６４を経由して中空パイプ４３と第２のサイドブロックとの間の空間に対してオイルを供給することができる。動力出力軸４２側の可動リング４２３の外周面が可動的に中空パイプ４３の内周面４３５に当接することにより、動力出力軸４２のサポートを受けていない先端部分４２２の揺動を抑えてその安定性を向上させることができる。

【0023】

以下は図１及び図５～図７を参照し、本発明のアクチュエータ装置の稼働状態について詳しく説明する。まず、台座ユニット１０に取り付けられるスライダーユニット２０は、受動部材２２が駆動手段４０の動力出力軸４２に螺合するため、回転駆動部４１が起動されて動力出力軸４２を回転駆動すると、動力出力軸４２の回転により受動部材２２及びスライドブロック２１（すなわち、スライダーユニット２０）を軸線方向Ｘに沿って台座ユニット１０に対して移動させることが出来、これにより加工物を搬送したり、または直線状の推進力を提供したりすることができる。

【0024】

スライダーユニット２０が台座ユニット１０に対して相対移動する際、内側端部４３１がスライドブロック２１に接続される中空パイプ４３は、スライドブロック２１と共に移動するので、挿通する第２のサイドブロック１６及び動力出力軸４２に対して移動するようになる。

【0025】

駆動されるスライダーユニット２０が台座ユニット１０の中間部（第１のサイドブロック１２よりの位置）にあるオイル注入位置に移動し、スライダーユニット２０側のオイル案内台２５が台座ユニット１０側のオイル注入ノズル１３２に向かい合い、且つ互いに接続するようになると、第１のオイル注入孔１３１及びオイル注入ノズル１３２を経由してオイルを注入することによって、オイル案内溝２５２に通じて各ビーズベアリング手段２３に対してオイルを供給し、スライドブロック２１と台座ユニット１０との相対移動はオイルが補充されたビーズベアリング手段２３の働きによりスムーズに行うことができる。
また、第２のオイル注入孔１６４を経由してオイルを注入する場合、注入されるオイルはオイル貯蔵室１６３に提供され、そして、オイル貯蔵室１６３が中空パイプ４３の外周面４３３に隣接するので、中空パイプ４３と第２のサイドブロック１６との間の空間に対してオイルを供給することが出来、台座ユニット１０と中空パイプ４３との相対移動はよりスムーズに行うことができる。

【0026】

特に、スライダーユニット２０が台座ユニット１０に対して移動する際、収容空間１１１の中にスリップストリームが生じるので、圧力調節手段３０のバルブ本体３１にある片方向フィルム３２を用いて収容空間１１１内の空気圧に合わせて収容空間１１１から空気を通気孔１５から台座ユニット１０の外部に排出するように調整すると共に、水や塵などが圧力調節手段３０を経由して収容空間１１１内に進入することを防ぐことができるので、防塵・防水性能を向上させることができる。

【0027】

従って、本発明は全体の配置関係を利用して、ＩＰ（Ｉｎｇｒｅｓｓ Ｐｒｏｔｅｃｔｉｏｎ）６８の防塵・防水性能を発揮することができる。

【0028】

以上をまとめると、本発明のアクチュエータ装置は単純な構造を有するため組立も比較的に容易となる上、十分な防塵・防水性能を発揮することもできるので、相対運動を実行する部材の間においても防塵・防水効果を有するアクチュエータ装置を提供する目的を確実に達成することができる。

【0029】

以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
また、本開示は以下の発明を含む。
第１の態様は、
軸線方向に沿って延伸する台座ユニットと、前記軸線方向に沿って前記台座ユニットに対して移動可能に取り付けられるスライダーユニットと、圧力調節手段と、駆動手段とを備えたアクチュエータ装置であって、
前記台座ユニットは、軸線方向に沿って延伸し、且つ、収容空間を囲む台座本体と、前記台座本体の１つの端部に接続されると共に、外部から前記収容空間まで延伸する通気孔と第１のオイル注入孔と前記収容空間まで延伸するように前記第１のオイル注入孔に取り付けられるオイル注入ノズルとを有する第１のサイドブロックと、前記軸線方向において前記１つの端部の反対側にある他の１つの端部に接続される第２のサイドブロックと、を有するように構成されており、
前記スライダーユニットは、前記軸線方向に沿って移動できるように前記台座ユニットに取り付けられるスライドブロックと、前記スライドブロックに接続される受動部材と、前記オイル注入ノズルに連通するように、前記スライドブロックと前記台座ユニットとの間に配置される接続孔と、を有するように構成されており、
前記圧力調節手段は、前記第１のサイドブロックの前記通気孔に配置されることにより、前記収容空間から前記台座ユニット外への片方向にのみ空気を排出するように構成されており、
前記駆動手段は前記台座ユニットに配置されると共に、前記スライダーユニットの前記台座ユニットに対する相対移動を駆動するように構成されることを特徴とするアクチュエータ装置である。
第２の態様は、
前記台座ユニットの前記第１のサイドブロックには、前記台座本体に固定されるオイル注入台と、前記台座本体の前記オイル注入台の反対側に固定される空気排出台と、を有し、前記通気孔は、前記空気排出台に形成される第１の孔部と、前記オイル注入台に形成される第２の孔部と、を有し、前記第１のオイル注入孔及び前記オイル注入ノズルは、前記オイル注入台に配置されることを特徴とする第１の態様におけるアクチュエータ装置である。
第３の態様は、
前記駆動手段は、前記空気排出台の前記オイル注入台に面する側の反対側において配置される回転駆動部と、
前記回転駆動部により回転駆動されると共に、前記受動部材に螺合して前記回転駆動部からの駆動力を前記受動部材に伝搬して前記受動部材を前記軸線方向に沿って駆動する動力出力軸と、
前記スライドブロックに接続される内側端部から前記第２のサイドブロック外に露出する外側端部まで延伸し、前記スライドブロックと共に前記動力出力軸に対して移動可能、且つ、管内に前記動力出力軸が挿通する中空パイプと、を有し、
前記動力出力軸の前記回転駆動部から離れた先端に可動リングが取り付けられることを特徴とする第２の態様におけるアクチュエータ装置である。
第４の態様は、
前記台座ユニットは、前記第２のサイドブロックに第２のオイル注入孔が形成され、前記第２のオイル注入孔を経由して前記第２のサイドブロックと前記中空パイプとの間にオイルを注入できることを特徴とする第１の態様におけるアクチュエータ装置である。
第５の態様は、
前記台座ユニットの前記第２のサイドブロックは、前記台座本体に繋がっているサイドブロック本体と、前記サイドブロック本体に取り付けられるサイドキャップとを有し、前記サイドブロック本体と前記サイドキャップとの間に、前記中空パイプに連通するオイル貯蔵室が画成されていることを特徴とする第４の態様におけるアクチュエータ装置である。
第６の態様は、
前記スライダーユニットは、前記スライドブロックに配置されると共に、それぞれ複数のビーズからなるビーズセットを有する２つのビーズベアリング手段と、前記接続孔及び前記接続孔と前記ビーズベアリング手段とを連通させるオイル案内溝が形成されるオイル案内台と、を有することを特徴とする第１の態様におけるアクチュエータ装置である。
第７の態様は、
前記圧力調節手段は、バルブ本体と、前記バルブ本体内に取り付けられて前記収容空間から前記台座ユニットの外側への空気の流れのみを可能とする片方向フィルムと、を有することを特徴とする第１の態様におけるアクチュエータ装置である。
第８の態様は、
前記圧力調節手段における前記片方向フィルムはポリテトラフルオロエチレンにより構成されることを特徴とする第７の態様におけるアクチュエータ装置である。

【符号の説明】

【0030】

１０ 台座ユニット
１１ 台座本体
１１１ 収容空間
１２ 第１のサイドブロック
１３ オイル注入台
１３１ 第１のオイル注入孔
１３２ オイル注入ノズル
１４ 空気排出台
１５ 通気孔
１５１ 第１の孔部
１５２ 第２の孔部
１６ 第２のサイドブロック
１６１ サイドブロック本体
１６２ サイドキャップ
１６３ オイル貯蔵室
１６４ 第２のオイル注入孔
２０ スライダーユニット
２１ スライドブロック
２２ 受動部材
２３ ビーズベアリング手段
２４ ビーズセット
２５ オイル案内台
２５１ 接続孔
２５２ オイル案内溝
３０ 圧力調節手段
３１ バルブ本体
３２ 片方向フィルム
４０ 駆動手段
４１ 回転駆動部
４２ 動力出力軸
４２１ 連接部分
４２２ 先端部分
４２３ 可動リング
４３ 中空パイプ
４３１ 内側端部
４３２ 外側端部
４３３ 外周面
４３４ 中空部
４３５ 内周面
Ｘ 軸線方向

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】