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特許7646029圧電振動素子及び圧電デバイス

書誌要約請求の範囲詳細な説明課題実施例実施するための形態図面の説明

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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2025-03-06

(45)【発行日】2025-03-14

(54)【発明の名称】圧電振動素子及び圧電デバイス

(51)【国際特許分類】

H03H 9/19 20060101AFI20250307BHJP

【ＦＩ】

H03H9/19 F

【請求項の数】 17

(21)【出願番号】P 2023564993

(86)(22)【出願日】2022-11-29

(86)【国際出願番号】 JP2022043912

(87)【国際公開番号】W WO2023100851

(87)【国際公開日】2023-06-08

【審査請求日】2024-05-07

(31)【優先権主張番号】P 2021194001

(32)【優先日】2021-11-30

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000006633

【氏名又は名称】京セラ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100135828

【弁理士】

【氏名又は名称】飯島康弘

(72)【発明者】

【氏名】後藤正彦

(72)【発明者】

【氏名】村山智紀

(72)【発明者】

【氏名】内田翔平

(72)【発明者】

【氏名】石川広幸

【審査官】石田昌敏

(56)【参考文献】

【文献】特開２００３－０６０４８０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－０７３２００（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－１４０８８７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２０－１９１５７９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００２－３７４１４６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－００６９０１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００２－３７４１３５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０３Ｈ９／００－９／７４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

平面視において互いに異なる領域を構成する振動部及び固定部を有している圧電素板であって、前記振動部が、第１側に面している第１面と、前記第１側とは反対側の第２側に面している第２面とを有しており、前記固定部が、前記第１側に面している第３面と、前記第２側に面している第４面とを有しており、前記第３面が、前記第１面よりも前記第１側に高くなっており、前記第４面が、前記第２面よりも前記第２側に高くなっている圧電素板と、
前記第１面に重なっている第１励振電極と、
前記第１励振電極から引き出されて前記第３面に重なっている第１引出電極と、
を有しており、
前記圧電素板は、前記第３面から前記第２側に窪む第１凹部を有しており、
前記第１凹部は、平面視において前記第３面の前記第１面の側の第１縁部を切り欠いており、
前記第１引出電極は、前記第１面から前記第１凹部を経由して前記第３面へ至る部分を有しており、
前記第１縁部は、
平面視において前記振動部に対して第１方向の一方側に位置している第１部分縁部と、
平面視において前記振動部に対して前記第１方向に直交する第２方向の一方側に位置しており、前記第１部分縁部と隅部を構成する第２部分縁部と、を有しており、
前記第１凹部は、前記隅部において前記第１部分縁部及び前記第２部分縁部の少なくとも一方を切り欠いている
圧電振動素子。

【請求項2】

前記第１部分縁部は、前記第１方向に見て前記第１励振電極を含む全ての励振電極の全体に亘る長さで、前記第３面から前記第２側に窪まずに且つ平面視で切り欠かれずに延びている第１主部を有しており、
前記第２部分縁部は、前記第２方向に見て前記全ての励振電極の全体に亘る長さで、前記第３面から前記第２側に窪まずに且つ平面視で切り欠かれずに延びている第２主部を有しており、
前記第１凹部は、平面視において前記第１主部及び前記第２主部の少なくとも一方に対する切欠きになっている
請求項１に記載の圧電振動子。

【請求項3】

前記圧電素板はＡＴカットの水晶片であり、
前記第１側は＋Ｙ’側であり、前記第１凹部は、前記振動部に対して＋Ｘ側に位置する前記第１部分縁部と、前記振動部に対して－Ｚ’側に位置する前記第２部分縁部とが成す前記隅部に位置している、又は
前記第１側は－Ｙ’側であり、前記第１凹部は、前記振動部に対して＋Ｘ側に位置する前記第１部分縁部と、前記振動部に対して＋Ｚ’側に位置する前記第２部分縁部とが成す前記隅部に位置している
請求項１に記載の圧電振動子。

【請求項4】

平面視において互いに異なる領域を構成する振動部及び固定部を有している圧電素板であって、前記振動部が、第１側に面している第１面と、前記第１側とは反対側の第２側に面している第２面とを有しており、前記固定部が、前記第１側に面している第３面と、前記第２側に面している第４面とを有しており、前記第３面が、前記第１面よりも前記第１側に高くなっている圧電素板と、
前記第１面に重なっている第１励振電極と、
前記第１励振電極から引き出されて前記第３面に重なっている第１引出電極と、
を有しており、
前記圧電素板は、前記第３面から前記第２側に窪む第１凹部を有しており、
前記第１凹部は、平面視において前記第３面の前記第１面の側の第１縁部を切り欠いており、
前記第１引出電極は、前記第１面から前記第１凹部を経由して前記第３面へ至る部分を有しており、
前記第１縁部は、
平面視において前記振動部に対して第１方向の一方側に位置している第１部分縁部と、
平面視において前記振動部に対して前記第１方向に直交する第２方向の一方側に位置しており、前記第１部分縁部と隅部を構成する第２部分縁部と、を有しており、
前記第１凹部は、前記隅部において前記第１部分縁部及び前記第２部分縁部の少なくとも一方を切り欠いており、
前記第３面は、
前記第１縁部を有している第１領域と、
平面視において前記第１領域に対して前記第１面とは反対側に位置しており、前記第１領域よりも前記第１側に高くなっている第２領域と、を有しており、
前記第１引出電極は、前記第１領域を経由して前記第２領域へ至っており、
前記圧電素板は、前記第２領域から前記第２側に窪む第２領域凹部を有しており、
前記第２領域凹部は、平面視において前記第２領域の前記第１領域側の第２領域縁部を切り欠いており、
前記第１引出電極は、前記第１凹部から前記第２領域凹部を経由して前記第２領域へ至っている
圧電振動素子。

【請求項5】

前記第１引出電極は、
前記第１励振電極から延び出て前記第１凹部を通過する配線部と、
前記第２領域に重なっている部分を有しており、前記第１縁部に沿う方向において前記配線部よりも広がっているパッド部と、を有している
請求項４に記載の圧電振動素子。

【請求項6】

平面視において互いに異なる領域を構成する振動部及び固定部を有している圧電素板であって、前記振動部が、第１側に面している第１面と、前記第１側とは反対側の第２側に面している第２面とを有しており、前記固定部が、前記第１側に面している第３面と、前記第２側に面している第４面とを有しており、前記第３面が、前記第１面よりも前記第１側に高くなっている圧電素板と、
前記第１面に重なっている第１励振電極と、
前記第１励振電極から引き出されて前記第３面に重なっている第１引出電極と、
を有しており、
前記圧電素板は、前記第３面から前記第２側に窪む第１凹部を有しており、
前記第１凹部は、平面視において前記第３面の前記第１面の側の第１縁部を切り欠いており、
前記第１引出電極は、前記第１面から前記第１凹部を経由して前記第３面へ至る部分を有しており、
前記第１縁部は、
平面視において前記振動部に対して第１方向の一方側に位置している第１部分縁部と、
平面視において前記振動部に対して前記第１方向に直交する第２方向の一方側に位置しており、前記第１部分縁部と隅部を構成する第２部分縁部と、を有しており、
前記第１凹部は、前記隅部において前記第１部分縁部及び前記第２部分縁部の少なくとも一方を切り欠いており、
前記第３面は、
前記第１縁部を有している第１領域と、
平面視において前記第１領域に対して前記第１面とは反対側に位置しており、前記第１領域よりも前記第１側に高くなっている第２領域と、を有しており、
前記第１引出電極は、前記第１領域を経由して前記第２領域へ至っており、
前記第１領域は、平面視において前記振動部を囲んでおり、
前記第２領域は、平面視において、前記振動部及び前記第１領域に対して、前記第１方向の一方側又は両側に位置しており、前記第２方向の両側のいずれにも位置していない
圧電振動素子。

【請求項7】

平面視において互いに異なる領域を構成する振動部及び固定部を有している圧電素板であって、前記振動部が、第１側に面している第１面と、前記第１側とは反対側の第２側に面している第２面とを有しており、前記固定部が、前記第１側に面している第３面と、前記第２側に面している第４面とを有しており、前記第３面が、前記第１面よりも前記第１側に高くなっている圧電素板と、
前記第１面に重なっている第１励振電極と、
前記第１励振電極から引き出されて前記第３面に重なっている第１引出電極と、
を有しており、
前記圧電素板は、前記第３面から前記第２側に窪む第１凹部を有しており、
前記第１凹部は、平面視において前記第３面の前記第１面の側の第１縁部を切り欠いており、
前記第１引出電極は、前記第１面から前記第１凹部を経由して前記第３面へ至る部分を有しており、
前記第１縁部は、
平面視において前記振動部に対して第１方向の一方側に位置している第１部分縁部と、
平面視において前記振動部に対して前記第１方向に直交する第２方向の一方側に位置しており、前記第１部分縁部と隅部を構成する第２部分縁部と、を有しており、
前記第１凹部は、前記隅部において前記第１部分縁部及び前記第２部分縁部の少なくとも一方を切り欠いており、
前記第３面は、
前記第１縁部を有している第１領域と、
平面視において前記第１領域に対して前記第１面とは反対側に位置しており、前記第１領域よりも前記第１側に高くなっている第２領域と、を有しており、
前記第１引出電極は、前記第１領域を経由して前記第２領域へ至っており、
前記圧電素板は、前記第１領域と前記第２領域との間にて、前記圧電素板を厚さ方向に貫通する貫通孔を有している
圧電振動素子。

【請求項8】

前記第２面に重なっている第２励振電極と、
前記第２励振電極から引き出されて前記第４面に重なっている第２引出電極と、
前記第１励振電極から前記第１引出電極とは異なる方向へ引き出されて前記第３面に重なっている第３引出電極と、
前記第２励振電極から前記第２引出電極とは異なる方向へ引き出されて前記第４面に重なっている第４引出電極と、
を更に有しており、
前記固定部は、平面視において前記振動部を囲んでおり、
前記第１引出電極は、前記第１励振電極に対して、前記第１部分縁部の側かつ前記第２部分縁部の側に位置する部分を有しており、
前記第２引出電極は、前記第２励振電極に対して、前記第１部分縁部の側かつ前記第２部分縁部とは反対側に位置する部分を有しており、
前記第３引出電極は、前記第１励振電極に対して、前記第１部分縁部の側とは反対側かつ前記第２部分縁部の側に位置する部分を有しており、
前記第４引出電極は、前記第２励振電極に対して、前記第１部分縁部とは反対側かつ前記第２部分縁部とは反対側に位置する部分を有している
請求項４に記載の圧電振動素子。

【請求項9】

平面視において互いに異なる領域を構成する振動部及び固定部を有している圧電素板であって、前記振動部が、第１側に面している第１面と、前記第１側とは反対側の第２側に面している第２面とを有しており、前記固定部が、前記第１側に面している第３面と、前記第２側に面している第４面とを有しており、前記第３面が、前記第１面よりも前記第１側に高くなっている圧電素板と、
前記第１面に重なっている第１励振電極と、
前記第１励振電極から引き出されて前記第３面に重なっている第１引出電極と、
を有しており、
前記圧電素板は、前記第３面から前記第２側に窪む第１凹部を有しており、
前記第１凹部は、平面視において前記第３面の前記第１面の側の第１縁部を切り欠いており、
前記第１引出電極は、前記第１面から前記第１凹部を経由して前記第３面へ至る部分を有しており、
前記第１縁部は、
平面視において前記振動部に対して第１方向の一方側に位置している第１部分縁部と、
平面視において前記振動部に対して前記第１方向に直交する第２方向の一方側に位置しており、前記第１部分縁部と隅部を構成する第２部分縁部と、を有しており、
前記第１凹部は、前記隅部において前記第１部分縁部及び前記第２部分縁部の少なくとも一方を切り欠いており、
前記第１縁部は、
前記振動部を挟んで前記第１部分縁部に対向する第３部分縁部と、
前記振動部を挟んで前記第２部分縁部に対向する第４部分縁部と、を有しており、
前記圧電素板は、平面視において、前記第１部分縁部、前記第２部分縁部、前記第３部分縁部及び前記第４部分縁部が構成する４つの隅部に、前記第３面から前記第２側に窪み、前記第１縁部を切り欠く、前記第１凹部を含む合計で４つの凹部を有している
圧電振動素子。

【請求項10】

【請求項11】

【請求項12】

【請求項13】

【請求項14】

【請求項15】

【請求項16】

【請求項17】

請求項１～１６のいずれか１項に記載の圧電振動素子と、
前記圧電振動素子が実装されているパッケージと、
を有している圧電デバイス。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、圧電振動素子及び圧電デバイスに関する。

【背景技術】

【0002】

圧電デバイスとして、例えば、水晶振動子及び水晶発振器が知られている。これらの圧電デバイスは、交流電圧の印加によって振動する圧電振動素子を有している。圧電振動素子は、例えば、板状の圧電素板（例えば水晶素板）と、圧電素板の１対の主面（板形状の最も広い面。板形状の表裏。以下、同様。）に位置している１対の励振電極と、１対の励振電極から引き出された１対の引出電極とを有している。１対の引出電極は、例えば、導電性の接合材によってパッケージのパッドに接合される。これにより、圧電振動素子がパッケージに実装される。そして、１対の引出電極に交流電圧が印加されることによって、１対の励振電極によって圧電素板に交流電圧が印加される。

【0003】

特許文献１では、圧電素板として、平面視において互いに異なる領域を構成する振動部及び固定部を有するものを開示している。振動部は、例えば、１対の励振電極を有している部位であり、平板状である。固定部は、例えば、１対の引出電極が設けられる部位であり、振動部よりも厚い。特許文献１では、さらに、圧電素板は、固定部の振動部側の縁部に凹部を有している。引出電極は、上記凹部を経由して振動部から固定部へ至っている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０２０－１９１５７９号公報

【発明の概要】

【0005】

本開示の一態様に係る圧電振動素子は、圧電素板と、第１励振電極と、第１引出電極と、を有している。前記圧電素板は、平面視において互いに異なる領域を構成する振動部及び固定部を有している。前記振動部は、第１側に面している第１面と、前記第１側とは反対側の第２側に面している第２面とを有している。前記固定部は、前記第１側に面している第３面と、前記第２側に面している第４面とを有している。前記第３面は、前記第１面よりも前記第１側に高くなっている。前記第１励振電極は、前記第１面に重なっている。前記第１引出電極は、前記第１励振電極から引き出されて前記第３面に重なっている。前記圧電素板は、前記第３面から前記第２側に窪む第１凹部を有している。前記第１凹部は、平面視において前記第３面の前記第１面の側の第１縁部を切り欠いている。前記第１引出電極は、前記第１面から前記第１凹部を経由して前記第３面へ至る部分を有している。

【0006】

一例において、前記第１縁部は、第１部分縁部と、第２部分縁部とを有している。前記第１部分縁部は、平面視において前記振動部に対して第１方向の一方側に位置している。前記第２部分縁部は、平面視において前記振動部に対して前記第１方向に直交する第２方向の一方側に位置しており、前記第１部分縁部と隅部を構成する。前記第１凹部は、前記隅部において前記第１部分縁部及び前記第２部分縁部の少なくとも一方を切り欠いている。

【0007】

一例において、前記第１凹部の、前記第１縁部に沿う方向の大きさを幅というとき、前記第１凹部の、平面視において前記第１縁部に交差する側面は、前記第１凹部の幅が前記第１側ほど大きくなる向きで、前記第１凹部の底部から前記第３面に亘って傾斜する傾斜面を有している。前記引出電極は、前記第１凹部の底部から前記傾斜面を経由して前記第３面へ至る部分を有している。

【0008】

本開示の一態様に係る圧電デバイスは、上記圧電振動素子と、前記圧電振動素子が実装されているパッケージと、を有している。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】第１実施形態に係る水晶振動素子の斜視図。

【図2】図１の領域IIを拡大して示す平面図。

【図3】図２の領域IIIを拡大して示す平面図。

【図4】図３のIV－IV線における断面図。

【図5】図３のＶ－Ｖ線における断面図。

【図6】図１の水晶振動素子の応用例を示す斜視図。

【図7】図６のVII－VII線における断面図。

【図8】引出電極及び凹部の他の例を示す平面図。

【図9A】固定部の位置の他の例を示す模式的な平面図。

【図9B】固定部の位置の更に他の例を示す模式的な平面図。

【図10】固定部の厚みの他の例を示す断面図。

【図11】第２実施形態に係る水晶振動素子の斜視図。

【図12】図１２のXII－XII線における断面図。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、実施形態に係る水晶振動素子（以下、単に「水晶素子」ということがある。）について、図面を参照して説明する。なお、以下の説明で用いられる図は模式的なものであり、図面上の寸法比率等は現実のものとは必ずしも一致していない。同様に、図面相互の寸法比率等についても必ずしも一致していない。平面視は、特に断りが無い限り、図１等に示すＸＹ’Ｚ’座標系のＹ’方向に平行に見ることを指す。

【0011】

（水晶素子の概要）
図１は、実施形態（より詳細には第１実施形態）に係る水晶素子１の斜視図である。図２は、図１の領域IIを拡大して示す平面図である。なお、水晶素子１は、例えば、概略、Ｘ軸に平行な中心線ＣＬ（図２）に対して１８０°回転対称の構成とされている。従って、－Ｙ’側から見た水晶素子１の斜視図は図１と同様である。

【0012】

水晶素子１は、例えば、交流電圧が印加されることによって振動を生じるものである。この振動は、例えば、一定の周波数で信号強度（例えば電圧及び／又は電流）が振動する発振信号の生成に利用される。換言すれば、水晶素子１は、例えば、水晶振動子又は水晶発振器に含まれるものである。

【0013】

水晶素子１は、水晶素板３と、水晶素板３に重なっている第１導体パターン５Ａ及び第２導体パターン５Ｂ（以下、「導体パターン５」といい、両者を区別しないことがある。）とを有している。２つの導体パターン５は、互いに短絡されていない。各導体パターン５は、励振電極７と、励振電極７から引き出されている引出電極９とを有している。すなわち、水晶素子１は、１対の励振電極７と、１対の励振電極７と接続されている１対の引出電極９とを有している。

【0014】

１対の引出電極９は、水晶素子１の実装に寄与する。具体的には、例えば、後述する図７に示すように、引出電極９とパッケージ１０３のパッド１１１とが、導電性の接合材からなるバンプ１０５によって接合されることにより、水晶素子１がパッケージ１０３に実装される。なお、水晶素子１は、パッケージ１０３以外の部材（例えば回路基板）に実装されてもよいが、実施形態の説明では、便宜上、パッケージ１０３に実装されることを前提とした表現をすることがある。パッケージ１０３を介して１対の引出電極９に交流電圧が印加されると、１対の励振電極７によって水晶素板３に交流電圧（電界）が印加される。これにより、水晶素板は振動する。

【0015】

水晶素板３は、１対の励振電極７によって励振される振動部１１と、１対の引出電極９によってパッケージ１０３に固定される固定部１３とを有している。固定部１３は、振動部１１よりも厚くされている。これにより、例えば、振動部１１を薄くして高い周波数の振動を可能にしつつ、固定部１３によって水晶素板３の強度を確保することができる。

【0016】

水晶素板３は、固定部１３の＋Ｙ’側及び－Ｙ’側の表面を窪ませる１つ以上（図示の例では複数）の凹部１５を有している。凹部１５は、平面視において固定部１３の振動部１１側の縁部２１ａを切り欠いている。引出電極９は、振動部１１の表面から凹部１５を経由して固定部１３の表面へ至っている部分を有している。なお、凹部１５の縁部も固定部１３の縁部の一種であるが、以下の説明では、特に断りが無い限り、また、特に矛盾等が生じない限り、固定部１３の縁部（縁部２１ａ）の語は、凹部１５の縁部を含まないものとする。

【0017】

上記のような凹部１５は、後に詳述するように種々の効果を奏することができる。一例として、固定部１３と振動部１１との間の段差における引出電極９の導通の信頼性を向上させることができる。その理由については後述する。

【0018】

凹部１５の具体的な構成は適宜なものとされてよい。本実施形態における凹部１５は、例えば、以下のような新たな構成を有している。
・振動部１１の隅部に位置している（後述する図１１の凹部６１５Ａ）
・凹部１５の側面のうち、縁部２１ａに交差する第１側面１５ｂ（後述）が結晶面を有している。
・第１側面１５ｂが水晶素板３の厚さ方向（Ｙ’方向）に対して傾斜している。
・凹部１５の幅（Ｚ’方向の長さ）が所定部位の寸法と比較して相対的に大きい。
・凹部１５の平面視における奥行き（Ｘ方向の長さ）が所定部位の寸法と比較して相対的に大きい。
・凹部１５の底面１５ａ（後述）が平面視において固定部１３の内部に入り込んでいる。なお、これは、これまでの説明からすれば当然のように見える。このような態様に該当しない態様としては、例えば、凹部１５の平面視における奥側（図示の例では＋Ｘ側）の第３側面１５ｄ（後述）が、奥側（＋Ｘ側）から振動部１１側（－Ｘ側）ほど低くなるように傾斜しつつ振動部１１側へ広がって、固定部１３の振動部１１側の縁部２１ａにまで至る態様（当該態様も本開示に係る技術に含まれてよい。）が挙げられる。

【0019】

実施形態に係る凹部１５は、上記のような構成を備えることによって、後に詳述するように種々の効果を奏することができる。一例として、上述した引出電極９の導通の信頼性を向上させる効果の増大が挙げられる。その理由については後述する。

【0020】

以下、概略、下記の順に説明を行う。
第１章第１実施形態
１．水晶素子１（図１及び図２）
１．１．水晶素板３（凹部１５以外の構成）
１．１．１．振動部１１
１．１．２．固定部１３
１．１．３．中間部１７（振動部１１と固定部１３との間の部分）
１．２．導体パターン５
１．２．１．励振電極７
１．２．２．引出電極９
１．３．凹部１５（図３～図５）
１．３．１．凹部１５全般
１．３．２．凹部１５の形状及び寸法の具体例（図示の例）
１．４．引出電極９と凹部１５との重なり
１．５．水晶素子１の製造方法
１．６．水晶素子１についてまとめ
２．水晶素子１の利用例（図６及び図７）
３．他の例
３．１．引出電極及び凹部の他の例（図８）
３．２．固定部の位置の他の例（図９Ａ及び図９Ｂ）
３．３．固定部の厚さの他の例（図１０）
第２章第２実施形態
１．水晶素子の概要
２．水晶素板
２．１．水晶素板全体及び振動部
２．２．固定部
２．３．その他
３．導体パターン
４．凹部
５．水晶素子の製造方法
６．水晶素子についてまとめ

【0021】

（第１章第１実施形態）
（１．水晶素子）
水晶素子１は、例えば、いわゆるＡＴカット型の水晶振動素子である。すなわち、水晶素板３は、ＡＴカットの水晶片である。１対の励振電極７は、水晶素板３（より詳細には振動部１１）の両面に重なっている。そして、１対の励振電極７によって振動部１１の厚み方向に電圧が印加されると、振動部１１は、いわゆる厚み滑り振動を生じる。この振動の共振周波数（換言すれば発振周波数）は、基本的に振動部１１の厚さによって規定される。水晶素子１は、基本波モードを利用するものであってもよいし、オーバートーンモードを利用するものであってもよい。本実施形態の説明では、基本波モードを利用する態様を例に取ることがある。

【0022】

水晶素子１（水晶素板３）の各種の寸法は適宜に設定されてよい。以下に寸法の範囲の例を挙げる。水晶素板３のＸ方向における長さは、５００μｍ以上１５００μｍ以下とされてよい。水晶素板３（振動部１１、固定部１３及び／又は中間部１７）のＺ’方向における長さは３００μｍ以上８００μｍ以下とされてよい。振動部１１のＸ方向における長さは、２５０μｍ以上１１５０μｍ以下（ただし、水晶素板３のＸ方向における長さよりも短い）とされてよい。振動部１１の厚さは、１６μｍ以下とされてよい。これは、ＡＴカット板において厚み滑り振動の基本波振動を利用する場合、概ね１００ＭＨｚ以上の周波数に相当する。固定部１３のＸ方向における長さは、１００μｍ以上５００μｍ以下（ただし、水晶素板３のＸ方向における長さよりも短い）とされてよい。固定部１３の厚さは、５０μｍ以下とされてよい。

【0023】

（１．１．水晶素板）
既述のように、水晶素板３は、例えば、ＡＴカットの水晶片である。すなわち、水晶においてＸ軸（電気軸）、Ｙ軸（機械軸）およびＺ軸（光軸）からなる直交座標系ＸＹＺを、Ｘ軸回りに３０°以上５０°以下（一例として、３５°１５′）回転させて直交座標系ＸＹ’Ｚ’を定義したとき、水晶素板３は、ＸＺ’平面に基本的に平行な１対の主面を有する板状である。

【0024】

Ｘ軸の正負と、水晶素子１の構成（別の観点では水晶素板３の形状）との対応関係は、図示の対応関係と逆であっても構わない。ただし、実施形態の説明では、図示の対応関係を前提とした説明を行うことがある。

【0025】

水晶素板３の平面形状は適宜に設定されてよい。図示の例では、水晶素板３の平面形状は、Ｚ’軸及びＸ軸に平行な辺を有する矩形状とされている。水晶素板３の他の平面形状としては、例えば、円形及び楕円形を挙げることができる。また、矩形の４辺のうちいずれか１つ以上を外側に膨らむ曲線状（例えば円弧）にした形状を挙げることができる。

【0026】

なお、矩形は、正方形及び狭義の長方形を含む。また、矩形又は矩形状というとき、特に断りが無い限り、角部が面取りされているなど、厳密に正方形又は長方形でなくてもよいものとする。水晶素板３の平面形状以外の他の形状の説明においても同様である。

【0027】

水晶素板３の平面形状において、Ｘ方向（厚み滑り振動において主面同士が相対的に滑る方向）が長手方向であってもよいし（図示の例）、Ｚ’方向が長手方向であってもよいし、Ｚ’方向の長さとＸ方向の長さとが同等であってもよい。図示の例では、水晶素板３は、Ｘ方向を長手方向としている。換言すれば、水晶素板３は、Ｘ軸に平行な長辺と、Ｚ’軸に平行な短辺とを有している。

【0028】

水晶素板３は、例えば、水晶をエッチングすることによって作製されてよい。この場合、エッチングに対する水晶の異方性に起因して、水晶素板３又はその各部の側面は、傾斜面（別の観点では結晶面）を有してよい。ただし、本実施形態の説明では、このような傾斜面の図示が省略されたり、傾斜面の存在を無視して形状及び寸法について説明がなされたりすることがある。この場合において、実施形態の説明で例示される水晶素板３の形状及び寸法と、傾斜面を有する実際の形状及び寸法との対応関係は、水晶素子１の特性等を考慮して合理的に判断されてよい。例えば、水晶素板３（又は各部）の側面が傾斜面を含み、その結果、＋Ｙ’側の主面と－Ｙ’側の主面とでＸＺ’平面内の位置が互いにずれている場合、そのずれの方向にもよるが、水晶素板３（又は各部）の形状及び寸法の説明は、平面透視における最大の形状及び寸法を基準にしたものと解釈されてよい。

【0029】

水晶素板３は、既述のように、平面視において互いに異なる領域を構成しており、かつ互いに厚さが異なる振動部１１及び固定部１３を有している。さらに、水晶素板３は、平面視において振動部１１と固定部１３との間の領域を構成する中間部１７を有している。中間部１７は、固定部１３側ほど厚くなっている。以下、これらの部位について説明する。

【0030】

（１．１．１．振動部）
振動部１１は、平面視において、少なくとも水晶素板３の内側の領域を含んでいる。ここでいう内側の領域は、水晶素板３の外縁から離れている領域である。より詳細には、例えば、振動部１１は、水晶素板３の平面視における図心（中心）を含む領域を含んでいてよい。確認的に記載すると、図心は、その点を通る任意の軸に対する断面一次モーメントが０になる点である。

【0031】

振動部１１の平面形状及び寸法等は適宜に設定されてよい。図示の例では、振動部１１の平面形状は、Ｚ’軸及びＸ軸に平行な辺を有する矩形状とされている。振動部１１の他の平面形状としては、例えば、円形及び楕円形を挙げることができる。また、矩形の４辺のうちいずれか１つ以上を外側に膨らむ曲線状（例えば円弧）にした形状を挙げることができる。振動部１１の平面形状において、Ｘ方向（厚み滑り振動において主面同士が相対的に滑る方向）が長手方向であってもよいし、Ｚ’方向が長手方向であってもよいし、Ｚ’方向の長さとＸ方向の長さとが同等であってもよい（図示の例）。

【0032】

振動部１１は、例えば、水晶素板３の面積（平面透視における面積）のうち、比較的広い部分を占めている。例えば、振動部１１は、水晶素板３の面積の１／２以上を占めている。ただし、振動部１１は、水晶素板３の面積の１／２未満を占めるだけであってもよい。

【0033】

振動部１１は、ＸＺ’平面に平行な平板状であり、ＸＺ’平面に平行な主面（第１面１９Ａ及び第２面１９Ｂ）を有している。第１面１９Ａは、＋Ｙ’側（水晶素板３の厚み方向の一方側）に面しており、Ｙ’軸（厚み方向）に直交している。第２面１９Ｂは、－Ｙ’側（水晶素板３の厚み方向の他方側）に面しており、Ｙ’軸（厚み方向）に直交している。別の観点では、第１面１９Ａ及び第２面１９Ｂは互いに平行である。

【0034】

（１．１．２．固定部）
固定部１３は、平面視において水晶素板３の外周側の領域の少なくとも一部を含んでいる。別の観点では、固定部１３は、中間部１７を挟んで振動部１１の外縁の少なくとも一部と隣り合っている。固定部１３と振動部１１の外縁とが隣り合う長さ（振動部１１の外縁に沿う方向の長さ）は、後述の他の例（図９Ａ及び図９Ｂ）からも理解されるように適宜に設定されてよい。図示の例では、固定部１３は、矩形状の振動部１１の１辺に亘って振動部１１と隣り合っている。

【0035】

固定部１３と振動部１１とが中間部１７を挟んで隣り合う方向は、Ｘ方向（厚み滑り振動において主面同士が相対的に滑る方向）であってもよいし（図示の例）、Ｚ’方向であってもよい。また、別の観点では、上記隣り合う方向は、振動部１１の短手方向であってもよいし、振動部１１の長手方向であってもよいし、そのような区別ができなくてもよい（図示の例）。さらに、上記隣り合う方向と水晶素板３の長手方向との関係も任意である。

【0036】

固定部１３の平面形状（本段落においては凹部１５を無視する）及び寸法等は適宜に設定されてよい。例えば、固定部１３は、一定の幅で振動部１１の外縁に沿うような形状であってもよいし（図示の例）、振動部１１側の縁部の形状と、振動部１１とは反対側の縁部の形状とが互いに異なるような形状であってもよい。図示の例では、固定部１３は、振動部１１の１辺に平行な長辺を有する矩形状とされている。

【0037】

固定部１３と振動部１１とが中間部１７を挟んで互いに隣り合っている方向に直交する方向（図示の例ではＺ’方向）において、固定部１３は、振動部１１に対して、小さくてもよいし、同等でもよいし（図示の例）、大きくてもよい。また、上記隣り合っている方向（図示の例ではＸ方向）における固定部１３の長さも任意である。図示の例では、固定部１３のＸ方向の長さは、振動部１１のＸ方向の長さよりも短い。

【0038】

固定部１３は、例えば、振動部１１と同様に、ＸＺ’平面に平行な平板状である。ただし、固定部１３は、板状と概念できる広さを有しない形状であってもよい。固定部１３は、振動部１１と同様に、ＸＺ’平面に平行な主面（第３面２１Ａ及び第４面２１Ｂ）を有している。第３面２１Ａは、＋Ｙ’側（水晶素板３の厚み方向の一方側）に面しており、Ｙ’軸（厚み方向）に直交している。第４面２１Ｂは、－Ｙ’側（水晶素板３の厚み方向の他方側）に面しており、Ｙ’軸（厚み方向）に直交している。別の観点では、第３面２１Ａ及び第４面２１Ｂは互いに平行である。さらに別の観点では、第３面２１Ａ及び第４面２１Ｂは、第１面１９Ａ及び第２面１９Ｂと平行である。

【0039】

固定部１３は、既述のように振動部１１よりも厚い。より詳細には、固定部１３は、振動部１１に対して厚み方向（Ｙ’方向）の両側に高くなっている。別の観点では、厚み方向の一方側（＋Ｙ’側）に面している第３面２１Ａは、前記一方側に面している第１面１９Ａよりも前記一方側に位置している。また、厚み方向の他方側（－Ｙ’側）に面している第４面２１Ｂは、前記他方側に面している第２面１９Ｂよりも前記他方側に位置している。

【0040】

第１面１９Ａから第３面２１Ａまでの高さｈ１（符号は図４）と、第２面１９Ｂから第４面２１Ｂまでの高さとは、一方が他方よりも大きくてもよいし、同等であってもよい。なお、本実施形態では、両者が同等である態様を例に取る。また、これらの高さｈ１は、振動部１１の厚さｔ１（符号は図４）に対して、小さくてもよいし、同等でもよいし、大きくてもよい。

【0041】

（１．１．３．中間部）
中間部１７は、例えば、概略、振動部１１の固定部１３側の縁部、及び／又は固定部１３の振動部１１側の縁部２１ａの全体に亘っている。中間部１７の平面視における寸法は適宜に設定されてよい。例えば、固定部１３と振動部１１とが中間部１７を介して互いに隣り合っている方向に直交する方向（図示の例ではＺ’方向）において、中間部１７は、振動部１１及び／又は固定部１３に対して、小さくてもよいし、同等でもよいし（図示の例）、大きくてもよい。また、上記隣り合っている方向（図示の例ではＸ方向）における中間部１７の長さも任意である。図示の例では、中間部１７のＸ方向の長さは、固定部１３のＸ方向の長さよりも短い。

【0042】

中間部１７は、既述のように固定部１３側ほど厚くなっている。具体的には、中間部１７は、固定部１３側ほど厚くなるように傾斜している第５面２３Ａ及び第６面２３Ｂを有している。第５面２３Ａは、厚み方向の一方側（＋Ｙ’側）に面しており、振動部１１側に対して固定部１３側が前記一方側に位置する向きで第１面１９Ａに対して傾斜している。第６面２３Ｂは、厚み方向の他方側（－Ｙ’側）に面しており、振動部１１側に対して固定部１３側が前記他方側に位置する向きで第２面１９Ｂに対して傾斜している。第５面２３Ａ及び第６面２３Ｂそれぞれは、例えば、概略、一つの平面によって構成されている。

【0043】

第５面２３Ａの傾斜角及び第６面２３Ｂの傾斜角は、互いに同一であってもよいし、互いに異なっていてもよい。同一の場合は、振動部１１のうちの１対の励振電極７に挟まれている部分から漏れ伝搬した振動が、中間部１７のうちの傾斜している部分で反射する状態を、上面側と下面側とで同じにすることができる。なお、本実施形態の説明では、両者が同一である態様を例に取る。この傾斜角の具体的な大きさは適宜に設定されてよい。例えば、後述する図４に示すように、固定部１３又は振動部１１の主面の法線（別の観点ではＹ’軸）に対する第５面２３Ａ又は第６面２３Ｂの角度をθ１とする。このとき、角度θ１は、４５°よりも小さくてもよいし、４５°以上であってもよい。

【0044】

第５面２３Ａ及び第６面２３Ｂは、エッチングによって水晶素板３を形成したときに水晶のエッチングに対する異方性によって現れる結晶面であってよい。この場合に現れる結晶面（別の観点では傾斜角θ１）は、エッチングの条件によって適宜に選択されてよい。傾斜角θ１の例を挙げると、例えば、約５５°（例えば５３°以上５７°以下）である。図示の例とはＸ軸の正負が逆の場合の傾斜角θ１の例を挙げると、約２７°（例えば２５°以上２９°以下）である。

【0045】

第１面１９Ａと第５面２３Ａとは互いに交差しており、側面視若しくは断面視において（Ｚ’方向に見て）角部を構成している。特に図示しないが、この角部は、極めて微視的に見た場合に、曲線を有していたり、段差を有していたりしてもよい。この場合の曲線の長さ又は段差の高さは、例えば、０．１μｍ未満である。また、第１面１９Ａと第５面２３Ａとは、微視的に見なくても、両者の間に曲線が介在していたり、両者の間に段差が存在したりしてもよい。第１面１９Ａと第５面２３Ａとの境界について説明したが、上記の説明は、第２面１９Ｂと第６面２３Ｂとの境界に援用されてよい。

【0046】

第１面１９Ａと第５面２３Ａとの境界と、第２面１９Ｂと第６面２３Ｂとの境界とは、中間部１７と振動部１１とが隣り合う方向（図示の例ではＸ方向）における位置が一致していてもよいし、互いにずれていてもよい。位置が一致しているという場合、公差が存在してもよいことはもちろんである。

【0047】

第３面２１Ａと第５面２３Ａとは互いに交差しており、側面視若しくは断面視において（Ｚ’方向に見て）角部を構成している。特に図示しないが、この角部は、微視的に見た場合に、曲線を有していたり、段差を有していたりしてもよい。例えば、第３面２１Ａの縁部２１ａから－Ｙ’側に広がって概ねＸ軸に直交する平面を含む段差が形成されていてもよい。この段差の高さ（Ｙ’方向の大きさ）は、例えば、１μｍ未満である。第３面２１Ａと第５面２３Ａとの境界について説明したが、上記の説明は、第４面２１Ｂと第６面２３Ｂとの境界に援用されてよい。

【0048】

第３面２１Ａと第５面２３Ａとの境界と、第４面２１Ｂと第６面２３Ｂとの境界とは、固定部１３と中間部１７とが隣り合う方向（図示の例ではＸ方向）における位置が一致していてもよいし、互いにずれていてもよい。位置が一致しているという場合、公差が存在してもよいことはもちろんである。

【0049】

（１．２．導体パターン）
導体パターン５の材料は、例えば、金属とされてよい。導体パターン５は、単一の材料からなる１層の金属層によって構成されていてもよいし、互いに異なる材料からなる複数の金属層が積層されて構成されていてもよい。金属層の材料としては、例えば、ニッケル、クロム、ニクロム、チタン、金若しくは銀又はこれらを含む合金を挙げることができる。導体パターン５は、例えば、その領域（換言すれば面積）全体が同一の材料によって構成されていてもよいし、一部の領域が異なる材料によって構成されていてもよい。

【0050】

（１．２．１．励振電極）
１対の励振電極７は、既述のように振動部１１に電圧を印加すべく、振動部１１の両主面に位置している。１対の励振電極７は、例えば、平面透視において概ね互いに過不足なく重なる位置、形状及び大きさを有している。ただし、互いに重複しない部位が存在しても構わない。平面視における励振電極７の位置、形状及び大きさ等は適宜に設定されてよい。

【0051】

例えば、励振電極７は、振動部１１の中央側の領域に位置している。別の観点では、励振電極７は、振動部１１の外縁から離れて位置している。励振電極７の中心は、例えば、振動部１１及び／又はその主面の中心とＺ’方向において概ね一致している。また、励振電極７の中心は、振動部１１の中心に対して、Ｘ方向において、＋Ｘ側に位置していてもよいし、一致していてもよいし、－Ｘ側に位置していてもよい。励振電極７は、例えば、振動部１１の面積の１／３以上を占めてよい。

【0052】

また、例えば、励振電極７の形状は、振動部１１の形状と類似する形状であってもよいし（図１の例）、異なる形状であってもよい。前者としては、例えば、図１の例のように、振動部１１の形状が矩形状であるのに対して、励振電極７の形状が振動部１１の長辺と平行な長辺を有する矩形状である（少なくとも一方は正方形であってもよい。）態様を挙げることができる。また、後者としては、振動部１１の形状が矩形状であるのに対して、励振電極７の形状が円形（後述する図１１の例）、楕円形又は多角形（四角形を除く）である態様を挙げることができる。

【0053】

（１．２．２．引出電極）
引出電極９は、パッケージ１０３のパッド１１１に接合されるパッド部９ａと、当該パッド部９ａを励振電極７に接続する配線部９ｂとを有している。

【0054】

各導体パターン５のパッド部９ａは、固定部１３の少なくとも下面（図７のパッド１１１側の面。以下、他の部位の面についても同様。）に重なっている。すなわち、固定部１３の下面には、１対の導体パターン５が有する１対のパッド部９ａが並んで配置されている。

【0055】

図示の例では、各導体パターン５は、固定部１３の上面（パッド１１１とは反対側の面。以下、他の部位の面についても同様。）にもパッド部９ａを有している。すなわち、各導体パターン５は、２つのパッド部９ａを有しており、１対の導体パターン５は、合計で２対のパッド部９ａを有している。これにより、例えば、水晶素子１は、１対の主面のいずれを下面にすることも可能となっている。なお、図示の例とは異なり、１対の導体パターン５は、１対のパッド部９ａのみを有していてもよい。

【0056】

水晶素子１の下面（又は上面）の１対のパッド部９ａは、Ｚ’方向に並んでいる。下面（又は上面）の１対のパッド部９ａは、例えば、水晶素板３のＸ軸に平行な中心線ＣＬに対して、概略、線対称の位置、形状及び大きさを有していてよい。下面の１対のパッド部９ａと、上面の１対のパッド部９ａとは、同一の構成とされてよい。

【0057】

各導体パターン５において、上面のパッド部９ａと水晶素子１の下面のパッド部９ａとは、各導体パターン５の、水晶素板３のＸ方向に面する側面及び／又はＺ’方向に面する側面に位置している部分（符号省略）によって接続されている。これにより、上面（又は下面）の励振電極７と下面（又は上面）のパッド部９ａとが接続される。図示の例とは異なり、上面のパッド部９ａを有していない態様においては、例えば、配線部９ｂが水晶素板３のＸ方向に面する側面及び／又はＺ’方向に面する側面に拡張されることによって、上面の励振電極７と下面のパッド部９ａとが接続されてよい。

【0058】

各パッド部９ａの具体的な位置、形状及び大きさ等は適宜に設定されてよい。図示の例では、パッド部９ａは矩形状である。図示の例とは異なり、パッド部９ａは、振動部１１とは反対側かつ固定部１３のＺ’方向の中央側に凹部を有していてもよい。図示の例では、パッド部９ａは、固定部１３だけでなく、縁部２１ａを超えて中間部１７にも重なっており、さらには、振動部１１にも重なっている。また、パッド部９ａは、固定部１３において、振動部１１とは反対側（＋Ｘ側）の端部に至っているとともに、＋Ｚ’側又は－Ｚ側の端部に至っている。パッド部９ａは、Ｘ方向の長さ及びＺ’方向の長さのいずれが他方よりも長くてもよい。パッド部９ａのＺ’方向の長さは、固定部１３のＺ’方向の長さの１／３以上であってもよいし（図示の例）、１／３未満であってもよい。

【0059】

各導体パターン５において、配線部９ｂは、例えば、励振電極７から延びて当該励振電極７が位置している面（上面又は下面）のパッド部９ａに至っている。図示の例では、上記のようにパッド部９ａは、固定部１３（より詳細には第３面２１Ａ又は第４面２１Ｂ）だけでなく、振動部１１（より詳細には第１面１９Ａ又は第２面１９Ｂ）に重なっており、ひいては、配線部９ｂは、振動部１１のみに重なり、固定部１３には重なっていない。

【0060】

配線部９ｂの具体的な位置、形状及び大きさ等は適宜に設定されてよい。図示の例では、配線部９ｂは、励振電極７の固定部１３側の縁部の端部から一定の幅でＸ方向に平行に延びている。図示の例とは異なり、配線部９ｂは、励振電極７の角部から延び出たり、Ｘ方向に斜めに延びたり、幅が変化したりしてもよい。確認的に記載すると、配線部９ｂの幅（Ｚ’方向の長さ）は、パッド部９ａの幅（Ｚ’方向の長さ）よりも狭い。

【0061】

（１．３．凹部）
以下では、まず、凹部１５全般について説明し、その後、図３～図５を参照して凹部１５の形状及び寸法の具体例（一例）について説明する。

【0062】

以下の説明では、便宜上、第３面２１Ａ側の凹部１５及び第４面２１Ｂ側の凹部１５のうち、前者を例に取って説明することがある。この場合において、特に矛盾等が生じない限り、第３面２１Ａ側の凹部１５の説明は、第４面２１Ｂ側の凹部１５に援用されてよい。ただし、第３面２１Ａの語と第４面２１Ｂの語とは相互に置換し、第１面１９Ａの語と第２面１９Ｂの語とは相互に置換し、第５面２３Ａの語と第６面２３Ｂの語とは相互に置換し、＋Ｙ’の語と－Ｙ’の語とは相互に置換し、＋Ｚ’の語と－Ｚ’の語とは相互に置換する。

【0063】

（１．３．１．凹部全般）
既述のように、凹部１５は、固定部１３の第３面２１Ａを窪ませているとともに、平面視において第３面２１Ａの振動部１１側の縁部２１ａを切り欠いている。また、本実施形態では、固定部１３の振動部１１側には中間部１７が位置しており、凹部１５は、中間部１７の第５面２３Ａも窪ませている。凹部１５は、平面視において、中間部１７の振動部１１側の縁部に到達していてもよいし（図示の例）、到達していなくてもよい。

【0064】

凹部１５の数は任意である。例えば、図示の例では、水晶素板３の第３面２１Ａにおいて、凹部１５の数は複数とされている。また、第３面２１Ａは、各引出電極９（より詳細にはパッド部９ａ）に重なる少なくとも１つ（図示の例では複数。より詳細には３つ）の凹部１５を有している。各引出電極９における凹部１５の数が複数である場合、この数は、例えば、２以上５以下とされてよく、また、２以上４以下とされてよい。図示の例とは異なり、第３面２１Ａは、各引出電極９に対して１つの凹部１５のみ（第３面２１Ａにおいて合計で２つの凹部１５）を有していてもよい。また、後述する図８から理解されるように、第３面２１Ａは、当該第３面２１Ａとつながる第１面１９Ａに重なる励振電極７と接続される引出電極９に対してのみ凹部１５を有していてもよい。換言すれば、第３面２１Ａは、第２面１９Ｂに重なる励振電極７と接続される引出電極９に対しては凹部１５を有していなくてもよい。

【0065】

水晶素板３の＋Ｙ’側又は－Ｙ’側の面において、複数の凹部１５の配置は、水晶素板３のＸ方向に平行な中心線ＣＬに対して線対称であってもよいし（図示の例）、線対称でなくてもよい。線対称の場合には、振動部１１のうちの１対の励振電極７に挟まれている部分から漏れ伝搬した振動が、複数の凹部１５が配置されている領域で反射する状態を、中心線ＣＬに対する＋Ｚ’側と－Ｚ’側とで同じにすることができる。Ｚ’方向において、複数の凹部１５のピッチ（例えば凹部１５の中心間の距離）又は間隔（凹部１５の非配置領域のＺ’方向の長さ）は、中心線ＣＬの片側（＋Ｚ’側又は－Ｚ’側）において、一定であってもよいし（図示の例）、一定でなくてもよい。また、凹部１５の間隔は、凹部１５の幅（Ｚ’方向の長さ。例えば、最大幅）に対して、小さくてもよいし、同等でもよいし（図示の例）、長くてもよい。

【0066】

複数の凹部１５の形状及び寸法は、互いに同一であってもよいし、互いに異なっていてもよい。図示の例では、複数の凹部１５は、基本的に、互いに同一の形状及び寸法とされている。

【0067】

各凹部１５の形状及び寸法は任意である。例えば、凹部１５の深さ（Ｙ’方向の大きさ）は、Ｘ方向及び／又はＺ’方向において、一定であってもよいし、一定でなくてもよい（図示の例）。別の観点では、凹部１５の内面は、Ｙ’方向に対して傾斜している傾斜面を有していてもよいし（図示の例）、有していなくてもよい。そのような傾斜面は、エッチングによって現れる結晶面であってもよいし、結晶面でなくてもよい。

【0068】

また、例えば、第３面２１Ａを窪ませる凹部１５の、平面視における振動部１１側（－Ｘ側）の端部の高さ（Ｙ’方向の位置）は、第１面１９Ａの高さに対して、同等であってもよいし（図示の例）、高くてもよいし、低くてもよい。換言すれば、凹部１５の上記端部における第３面２１Ａからの深さは、第１面１９Ａから第３面２１Ａまでの高さｈ１に対して、同等であってもよいし（図示の例）、小さくてもよいし、大きくてもよい。例えば、凹部１５の上記端部における第３面２１Ａからの深さは、第１面１９Ａから第３面２１Ａまでの高さｈ１の５０％以上１００％以下とされてよい。

【0069】

また、凹部１５の、平面視における第３面２１Ａの振動部１１側の縁部２１ａからの奥行き（凹部１５のＸ方向の長さ。Ｚ’方向又はＹ’方向の位置によって相違する場合は例えば最大長さ）は、凹部１５の幅（Ｚ’方向の長さ。Ｘ方向又はＹ’方向の位置によって相違する場合は例えば最大長さ）の長さに対して、長くてもよいし、同等でもよいし（図示の例）、短くてもよい。また、凹部１５の深さ（凹部１５のＹ’方向の長さ。Ｘ方向又はＺ’方向の位置によって相違する場合は例えば最大長さ）は、凹部１５の奥行き及び／又は凹部１５の幅に対して、小さくてもよいし、同等でもよいし、大きくてもよい。

【0070】

また、平面視における凹部１５の全体の形状（別の観点では凹部１５の＋Ｙ’側の開口の形状）は、例えば、矩形状であってもよいし（図示の例）、１辺が振動部１１側に位置する三角形状であってもよいし、弦が振動部１１側に位置する半円状であってもよいし、楕円形であってもよいし、長円形（長方形の短辺を外側に膨らむ曲線状とした形状）であってもよい。矩形状の場合には、例えば、凹部１５の製造再現性が向上する。凹部１５のうち固定部１３に位置する部分の平面視における形状も同様である。

【0071】

（１．３．２．凹部の形状及び寸法の具体例）
図３は、図２の領域IIIを拡大して示す平面図である。図４は図３のIV－IV線における断面図である。図５は図３のＶ－Ｖ線における断面図である。ただし、図３～図５では、導体パターン５の図示は省略され、水晶素板３のみが示されている。

【0072】

なお、図１及び図２では、図３～図５よりも模式的に凹部１５の形状が示されている。具体的には、後述する第１側面１５ｂ及び第２側面１５ｃが、Ｙ’軸に対して傾斜せずに、Ｙ’軸に対して平行に描かれている。ただし、実際に、第１側面１５ｂ及び第２側面１５ｃは、図１及び図２のように、その大部分がＹ’軸に対して平行であっても構わない。

【0073】

ここでは、凹部１５がエッチングによって形成されることを想定することがある。そして、図３～図５では、エッチングに対する水晶の異方性の影響が典型的に現れた場合の凹部１５の形状を例示している。また、以下の説明においては、図示の形状を前提とした表現をすることがある。ただし、実際の形状は、図示の形状から崩れた形状（例えば角部に比較的大きな丸みがある形状）であっても構わない。

【0074】

凹部１５は、例えば、Ｙ’軸に概ね直交している底面１５ａと、底面１５ａから＋Ｙ’側へ立ち上がり、底面１５ａを囲んでいる複数の側面（第１側面１５ｂ、第２側面１５ｃ及び第３側面１５ｄ）とを有している。第１側面１５ｂ及び第２側面１５ｃは、平面視において、固定部１３の振動部１１側の縁部２１ａに対して交差（例えば直交）する側面である。換言すれば、第１側面１５ｂ及び第２側面１５ｃは、底面１５ａに対して縁部２１ａに沿う方向に位置する側面である。第３側面１５ｄは、平面視において底面１５ａに対して振動部１１とは反対側に位置する側面である。

【0075】

なお、特に図示しないが、例えば、凹部１５は、既述のように、振動部１１側に１辺が位置する三角形状、又は振動部１１側に弦が位置する半円状とされてよい。この態様のように、第１側面１５ｂ、第２側面１５ｃ及び第３側面１５ｄは、明瞭に区別できなくてもよい。別の観点では、３つの側面が存在することは、凹部１５にとって必須ではない。

【0076】

底面１５ａは、例えば、振動部１１の第１面１９Ａとつながっているとともに、第１面１９Ａと面一である。面一は、両面の高さが同じで、両面が互いに平行であることを指す。ただし、既述の凹部１５全般の説明からも理解されるように、図示の例とは異なり、底面１５ａは、第１面１９Ａと高さが異なったり、第１面１９Ａに対して傾斜していたり、平面視において第１面１９Ａに到達していなかったりしてもよい。

【0077】

第１側面１５ｂ、第２側面１５ｃ及び第３側面１５ｄの少なくとも１つ（図示の例では全部の側面）は、水晶素板３の厚さ方向（Ｙ’方向）に対して傾斜している傾斜面となっている（傾斜面を有している。）。より詳細には、各傾斜面は、例えば、凹部１５の上方（ここでは、＋Ｙ’側、第３面２１Ａ側）ほど、凹部１５（幅又は奥行き）が大きくなる向きに傾斜している。各傾斜面のＹ’方向に対する傾斜角（図４のθ２、図５のθ３及びθ４）は、適宜に設定されてよい。例えば、各傾斜角は、１°以上、１０°以上、２０°以上又は５０°以上とされてよく、７０°以下、６０°以下、４０°以下又は３０°以下とされてよく、上記の下限と上限とは矛盾が生じないように任意のもの同士が組み合わされてよい。

【0078】

なお、図示の例とは異なり、各側面は、１つの平面からなるのではなく、Ｙ’方向の互いに異なる位置に複数の平面を含んでいたり、断面視において凹及び／又は凸となる１つ以上の曲面を含んでいたりしてもよい。別の観点では、各側面は、Ｙ’方向に平行な断面において、１つの直線からなるのではなく、２つ以上の直線又は１つ以上の曲線を含んでいてもよい。特に断り無く、各側面の傾斜角について言及するとき、この傾斜角についての説明は、矛盾等が生じない限り、各側面の傾斜角の代表値についての説明と捉えられてよい。代表値は、例えば、各側面の面積の５０％以上若しくは８０％以上を占める１つの平面の傾斜角とされたり、各位置の傾斜角を各側面の全面積について平均した値とされたりしてよい。及び／又代表値は、各側面の任意の位置におけるＹ’方向に平行な断面において、各側面のＹ’方向における高さの５０％以上又は８０％以上の高さを占める直線の傾斜角とされたり、各位置の傾斜角を各側面の全長について平均した値とされたりしてよい。

【0079】

第１側面１５ｂ、第２側面１５ｃ及び第３側面１５ｄの少なくとも１つ（図示の例では全部の側面）は、例えば、エッチングに対する水晶の異方性によって現れる結晶面となっている（結晶面を有している。）。上述した傾斜面は、結晶面によって実現されてよい。この場合に現れる結晶面（別の観点では傾斜角θ２～θ５）は、エッチングの条件によって適宜に選択されてよい。

【0080】

各側面が結晶面である場合の傾斜角の例を挙げる。第３側面１５ｄのＹ’軸に対する傾斜角θ２は、中間部１７の第５面２３Ａの傾斜角θ１（既述）と同じであってもよいし、もよいし、異なっていてもよい。図４の例では同じである。例えば、傾斜角θ２は、約５５°（例えば５３°以上５７°以下）であってよい。Ｘ軸の正負が図示の例とは逆の場合の傾斜角θ２は、約２７°（例えば２５°以上２９°以下）であってよい。＋Ｙ’側の凹部１５の第１側面１５ｂ及び第２側面１５ｃのうち、－Ｚ’側に面している側面（図示の例では第１側面１５ｂ）のＹ’軸に対する傾斜角θ３は、約５４°（例えば５２°以上５６°以下）であってよい。＋Ｙ’側の凹部１５の第１側面１５ｂ及び第２側面１５ｃのうち、＋Ｚ’側に面している側面（図示の例では第２側面１５ｃ）のＹ’軸に対する傾斜角θ４は、約３°（例えば１°以上５°以下）であってよい。

【0081】

図示の例とは異なり、各側面は、その一部のみが結晶面によって構成されてよい。また、各側面は、Ｙ’方向の互いに異なる位置に互いに異なる２以上の結晶面（傾斜角が互いに異なる傾斜面）を有してもよい。各側面の１以上の結晶面のうちの１つの傾斜角は、上記の範囲内とされてよい。上記の範囲の傾斜角を有する結晶面は、各側面の大部分を占める結晶面であってもよいし、そうでなくてもよい。各側面の大部分を占める結晶面は、各側面の面積の５０％以上、８０％以上若しくは１００％（ただし、角部の微小な丸みは無視する）を占めてよい。及び／又は、各側面の大部分を占める結晶面は、水晶素板３の厚さ方向（Ｙ’方向）に平行な断面において、各側面のＹ’方向に平行な高さの５０％以上、８０％以上若しくは１００％（ただし、角部の微小な丸みは無視する）を占めてよい。

【0082】

第３側面１５ｄは、傾斜角θ２で傾斜している。従って、振動部１１の第１面１９Ａから固定部１３の第３面２１Ａまでの高さをｈ１（図４）とするとき、第３側面１５ｄは、平面視において、ｈ１×ｔａｎθ２の長さ（平面視における長さ）で、第３面２１Ａとつながる縁部（凹部１５の＋Ｘ側の縁部）から振動部１１側へ広がっている。凹部１５の、平面視における固定部１３の縁部２１ａからの奥行きであって、第３面２１Ａの高さにおける奥行きをｄ１（図３及び図４）とする。奥行きｄ１がｈ１×ｔａｎθ２よりも大きいときは、底面１５ａは、その差ｄ２（図３及び図４）で縁部２１ａよりも固定部１３の内部に入り込む領域を有する（図示の例）。当該領域によって、例えば、第１側面１５ｂと第３側面１５ｄで反射する振動の影響を低減することができる。当該領域の形状は任意であるが、図示では方形である。当該領域が方形である場合（図示の例）、ｄ２は、θ２が０°よりも大きいときにｄ１未満である。ｄ２の具体的な長さは任意である。例えば、ｄ２は、１／４×ｄ１以上３／４×ｄ１以下とされてよく、また、１／３×ｄ１以上２／３×ｄ１以下とされてよい。当該領域の幅ｗ２は、通常、凹部１５の幅ｗ１（第３面２１Ａの高さにおける幅）より短い。ｗ２の具体的な大きさは任意である。例えば、ｗ２は、１／４×ｗ１以上３／４×ｗ１以下とされてよく、また、１／３×ｗ１以上２／３×ｗ１以下とされてよい。図示の例とは異なり、第３側面１５ｄは、振動部１１側の端部が縁部２１ａに位置したり、縁部２１ａよりも振動部１１側に位置したりしてもよい。

【0083】

第１側面１５ｂは、傾斜角θ３で傾斜している。従って、第１側面１５ｂは、平面視において、ｈ１×ｔａｎθ３の長さ（平面視における長さ）で、第３面２１Ａとつながる縁部（凹部１５の＋Ｚ’側の縁部）から凹部１５の内側へ広がっている。同様に、第２側面１５ｃは、傾斜角θ４で傾斜しており、平面視において、ｈ１×ｔａｎθ４の長さ（平面視における長さ）で、第３面２１Ａとつながる縁部（凹部１５の－Ｚ’側の縁部）から凹部１５の内側へ広がっている。平面視において、凹部１５の、固定部１３の第３面２１Ａの高さにおける幅をｗ１（図３及び図５）とする。幅ｗ１がｈ１×ｔａｎθ３及びｈ１×ｔａｎθ４の和よりも大きいときは、第１側面１５ｂ及び第２側面１５ｃは直接的には交差せず、両者の間に底面１５ａの一部が形成される（図示の例）。当該一部の幅ｗ２の例については上述した。図示の例とは異なり、第１側面１５ｂ及び第２側面１５ｃは、直接的に交差してもよい。

【0084】

上記の説明からも理解されるように、図示の例では、幅ｗ１及び奥行きｄ１は、比較的大きく設定されている。例えば、幅ｗ１及び／又は奥行きｄ１は、振動部１１の厚さｔ１（図４）、第１面１９Ａから第３面２１Ａまでの高さｈ１、平面視における第５面２３Ａの長さｓ１（図３及び図４）よりも大きい。

【0085】

これらの具体的な値は任意である。以下に水晶素板３が比較的薄い場合の例を挙げる。厚さｔ１は、１６μｍ以下とされてよい。高さｈ１は１６μｍ以下又は１２μｍ以下とされてよい。長さｓ１は、例えば、ｈ１×ｔａｎθ１であり、また、例えば、１７μｍ以下又は６μｍ以下とされてよい（ただし、例えば、奥行きｄ１よりも小さい。）。一方、幅ｗ１及び／又は奥行きｄ１は、１７μｍ以上又は１９μｍ以上とされてよい。

【0086】

（１．４．引出電極と凹部との重なり）
引出電極９は、振動部１１（第１面１９Ａ）から固定部１３（第３面２１Ａ）へ至る過程において、引出電極９の適宜な部位が凹部１５の内面のうちの適宜な部位を経由してよい。図示の例では、引出電極９のパッド部９ａが（少なくとも１つの）凹部１５の内面の全体に重なっている。すなわち、パッド部９ａは、底面１５ａ、第１側面１５ｂ、第２側面１５ｃ及び第３側面１５ｄのそれぞれの全体に重なっている。換言すれば、パッド部９ａは、第１面１９Ａと面一な底面１５ａから、３つの側面の下端の縁部を経由して３つの側面に至り、さらに、３つの側面の上端縁部から第３面２１Ａに至っている。

【0087】

図示の例とは異なり、配線部９ｂが凹部１５に重なってもよい（後述する図８を参照）。また、引出電極９は、凹部１５の一部のみに重なってもよい。例えば、引出電極９は、底面１５ａの全部又は一部に重なるとともに、３つの側面（１５ｃ、１５ｂ及び１５ｄ）のうちの１つの側面の全部又は一部に重なり、残りの２つの側面の少なくとも一方の少なくとも一部又は全部に重なっていなくてもよい。

【0088】

（１．５．水晶素子の製造方法）
水晶素子１は、公知の種々の製造方法を応用して作製されてよい。特に図示しないが、以下では、その一例について説明する。

【0089】

まず、水晶からなるウェハを用意する。ウェハは、複数の水晶素板３が多数個取りされるものである。このようなウェハは、例えば、上述したＡＴカット板のカット角で切り出され、また、固定部１３の厚さと同等の厚さに加工される。

【0090】

次に、ウェハの両主面にエッチングマスクを形成する。これらのエッチングマスクは、例えば、水晶素板３（振動部１１、中間部１７及び固定部１３）となる領域と、複数の水晶素板３の周囲の枠状部（捨て代）となる領域とに重なっている。そして、エッチングマスクを介してウェハを両主面側からエッチングする。エッチングは、例えば、ウェハを薬液に浸すウェットエッチングである。これにより、水晶素板３となる領域の周囲がエッチングされ、水晶素板３の外形が形成される。

【0091】

次に、ウェハの両主面に新たなエッチングマスクを形成する。新たなエッチングマスクは、第３面２１Ａ又は第４面２１Ｂとなる領域に重なっている（振動部１１、中間部１７及び凹部１５となる領域に重なっていない。）。なお、この新たなエッチングマスクは、先のエッチングマスクの一部を除去することによって形成されてもよい。

【0092】

そして、新たなエッチングマスクを介してウェハを両主面側からエッチングする。これにより、振動部１１となる領域は、固定部１３となる領域よりも薄くなる。また、エッチングに対する水晶の異方性に起因して、振動部１１と固定部１３との間には結晶面が現れ、ひいては、振動部１１と固定部１３との間に固定部１３側ほど厚くなる中間部１７が形成される。また、エッチングによって凹部１５が形成される。凹部１５の側面は、エッチングに対する水晶の異方性に起因して、凹部１５の上方ほど凹部１５が大きくなる向きで傾斜する傾斜面となる。

【0093】

その後、エッチングマスクは除去され、導体パターン５が形成される。導体パターン５は、例えば、水晶素板３の表面に形成されたマスクを介して金属が成膜されることによって形成されてよい。また、導体パターン５は、水晶素板３の全面又は大部分に金属が成膜された後、マスクを介してエッチングが行われることによって形成されてもよい。成膜は、スパッタリング等の適宜な方法によってなされてよい。

【0094】

導体パターン５の形成後、水晶素板３は、ウェハの枠状部との連結部を折ったり、切ったりすることなどにより、枠状部から分離される（個片化される。）。なお、個片化の際及び／又は個片化後において、固定部１３は、水晶素子１の保持に利用されてよい。例えば、固定部１３が吸着保持されることによって、水晶素子１が冶具に保持されてよい。

【0095】

（１．６．水晶素子についてまとめ）
以上のとおり、本実施形態では、水晶素子１は、圧電素板（水晶素板３）と、第１励振電極（例えば第１導体パターン５Ａの励振電極７）と、第１引出電極（例えば第１導体パターン５Ａの引出電極９）とを有している。水晶素板３は、平面視において互いに異なる領域を構成する振動部１１及び固定部１３を有している。振動部１１は、第１側（＋Ｙ’側）に面している第１面１９Ａと、第１側とは反対側の第２側（－Ｙ’側）に面している第２面１９Ｂとを有している。固定部１３は、＋Ｙ’側に面している第３面２１Ａと、－Ｙ’側に面している第４面２１Ｂとを有している。第３面２１Ａは、第１面１９Ａよりも＋Ｙ’側に高くなっている。励振電極７は、第１面１９Ａに重なっている。引出電極９は、励振電極７から引き出されて第３面２１Ａに重なっている。水晶素板３は、第３面２１Ａから－Ｙ’側に窪む第１凹部（＋Ｙ’側の凹部１５）を有している。凹部１５は、平面視において第３面２１Ａの第１面１９Ａの側の第１縁部（縁部２１ａ）を切り欠いている。引出電極９は、第１面１９Ａから凹部１５を経由して第３面２１Ａへ至る部分を有している。

【0096】

従って、例えば、凹部１５によって引出電極９の導通の信頼性を向上させることができる。具体的には、以下のとおりである。

【0097】

例えば、スパッタリングで導体パターン５を形成するときに、－Ｘ方向の成分を含む方向へ飛ばされる金属粒子から見て固定部１３の影となる領域が振動部１１の第１面１９Ａ（及び中間部１７の第５面２３Ａ）に生じることがある。影となる領域では、引出電極９が薄くなる蓋然性が高い。その結果、振動部１１から固定部１３への導通に寄与する断面積が低減される。このような断面積の低減が生じると、例えば、水晶素子１におけるクリスタルインピーダンスが高くなり、水晶素子１の電気的特性が低下する。

【0098】

しかし、水晶素板３が凹部１５を有していると、影となる領域の一部は固定部１３側（＋Ｘ側）にシフトする。その結果、例えば、上記のシフトによって影とならなくなった領域に金属粒子を付着させることが容易化される。そして、例えば、引出電極９のうち、影とならなくなった領域からＺ’方向の成分を含む方向に延びて第５面２３Ａ及び／又は第３面２１Ａに至る部分によって、振動部１１から固定部１３への導通に寄与する断面積を確保することができる。

【0099】

また、例えば、第３面２１Ａの縁部２１ａは、角部となりやすく、及び／又は段差が形成されやすい。この場合、引出電極９が薄くなりやすく、及び／又は水晶素板３から受ける応力が大きくなりやすい。その結果、縁部２１ａにおいて導通に寄与する断面積が低減される蓋然性が高い。

【0100】

しかし、縁部２１ａが凹部１５によって切り欠かれることによって、例えば、凹部１５によって窪んだ部分の長さも含めた第３面２１Ａの縁部の長さが長くなり、ひいては、導体パターン５の第３面２１Ａの縁部（ここでは凹部１５の縁部を含む）に跨る長さを長くすることが可能になる。また、例えば、縁部２１ａ（別の観点では平面視でＸ軸に直交する縁部）に段差が形成された場合においても、凹部１５の縁部２１ａに交差する縁部（第１側面１５ｂ及び／又は第２側面１５ｃの上端縁部）においては、段差が形成されないことがある。この場合、導体パターン５は、段差を経由せずに、凹部１５の底面１５ａから第３面２１Ａへ至ることが可能である。これらの理由によって、導通に寄与する断面積を確保しやすい。

【0101】

導通の信頼性の向上の効果を例示したが、凹部１５によって、他の効果も奏される。例えば、以下のとおりである。

【0102】

固定部１３は、凹部１５が形成されることによって、固定部１３の全体としては強度を確保しつつ、振動部１１側の一部において剛性を下げることができる。その結果、例えば、水晶素子１を実装するバンプ１０５（図７）から固定部１３に歪が付与される場合に、その歪を固定部１３の振動部１１側の部分によって吸収し、歪が振動部１１に伝わる蓋然性を低減することができる。これにより、特性が低下する蓋然性を低減できる。上記のような歪は、例えば、バンプ１０５の硬化収縮、及び／又は水晶素子１が実装されている後述する基板部１０７ａ（図７）の反りによって生じる。

【0103】

また、例えば、固定部１３の振動部１１側の縁部全体が直線状であると、振動部１１から固定部１３の縁部の種々の位置に到達した波が、同一方向へ同一の位相で反射され、その結果、反射波がノイズとして現れる蓋然性が高くなる。しかし、凹部１５によって固定部１３の振動部１１側の縁部全体（ここでは凹部１５の縁部を含む）に湾曲部又は屈曲部が形成されていることより、反射波の方向及び／又は位相が分散されやすくなる。その結果、ノイズが低減される。

【0104】

凹部１５は、平面視において縁部２１ａに交差する第１側面１５ｂが結晶面を有していてよい。

【0105】

この場合、例えば、第１側面１５ｂは、エッチングの条件の誤差によらずに、一定の向きで形成される。従って、複数の水晶素子１において凹部１５の形状を一定にして、特性のばらつきを低減することが容易である。また、結晶面は、凹部１５の深さ方向（Ｙ’方向）に対して傾斜する傾斜面として現れやすい。この場合、下記に述べるような効果が得られる。

【0106】

＋Ｙ’側の凹部１５の、縁部２１ａに沿う方向の大きさを幅というとき、第１側面１５ｂは、凹部１５の幅が＋Ｙ’側ほど大きくなる向きで、凹部１５の底部から第３面２１Ａに亘って傾斜する傾斜面を有してよい。引出電極９は、凹部１５の底部から上記傾斜面を経由して第３面２１Ａへ至る部分を有してよい。

【0107】

この場合、例えば、第１側面１５ｂが第３面２１Ａに対して直交する態様（当該態様も本開示に係る技術に含まれてよい。）に比較して、第１側面１５ｂに引出電極９が成膜されやすく、ひいては、上述した導通の信頼性向上の効果が増大する。その理由としては、スパッタリングを例に取ると、凹部１５の深さ方向（Ｙ’方向）に飛ばされる金属粒子が、深さ方向に平行な側面よりも深さ方向に傾斜する側面に付着しやすいことが挙げられる。また、例えば、第１側面１５ｂが第３面２１Ａに対して直交する態様に比較して、応力集中が生じる蓋然性が低減され、固定部１３の強度が確保されやすい。なお、既述のように、第１側面１５ｂは、底面１５ａを介さずに直接的に第２側面１５ｃと交差してよく、ここでいう底部は、底面１５ａに限定されない。

【0108】

凹部１５の、縁部２１ａに沿う方向（Ｚ’方向）の大きさを幅というとき、凹部１５の、第３面２１Ａ（別の観点では縁部２１ａ）の高さにおける幅ｗ１は、振動部１１の厚さｔ１よりも大きくてよい。

【0109】

この場合、幅ｗ１は、比較的大きくされているということができる。その結果、例えば、上述した種々の効果が向上する。例えば、固定部１３の影となる領域のうち固定部１３側へシフトされる面積をＺ’方向において確保することが容易化される。その結果、例えば、導通に寄与する断面積を確保することが容易化される。また、例えば、振動部１１の歪を低減する効果が向上する。また、第１側面１５ｂに結晶面が現れやすくなるとともに、底面１５ａが固定部１３側に入り込みやすくなる（第１側面１５ｂと第２側面１５ｃとが直接に交差しにくくなる。）。底面１５ａが固定部１３側に入り込むことによる効果は後述する。

【0110】

なお、ＡＴカット型の水晶素子１において、厚さｔ１は、周波数を規定するパラメータである。従って、厚さｔ１との比較において規定される幅ｗ１の大きさは、種々のサイズのＡＴカット型の水晶素子１において同様の効果を有すると期待される。奥行きｄ１についても同様である。

【0111】

平面視における凹部１５の縁部２１ａからの奥行きであって、第３面２１Ａ（別の観点では縁部２１ａ）の高さにおける奥行きｄ１は、振動部１１の厚さｔ１よりも大きくてよい。

【0112】

この場合、奥行きｄ１は、比較的大きくされているということができる。その結果、例えば、上述した種々の効果が向上する。例えば、固定部１３の影となる領域のうち固定部１３側へシフトされる領域のシフト量を大きくしたり、元々影とならなかった領域からシフトされた領域までの長さを長くしたりできる。その結果、例えば、導通に寄与する断面積を確保することが容易化される。また、例えば、第３側面１５ｄに結晶面が現れやすくなるとともに、底面１５ａが固定部１３側に入り込みやすくなる（第３側面１５ｄが縁部２１ａを振動部１１側へ超えにくくなる。）。底面１５ａが固定部１３側に入り込むことによる効果は後述する。

【0113】

凹部１５の、縁部２１ａに沿う方向（Ｚ’方向）の大きさを幅というとき、凹部１５の、第３面２１Ａ（別の観点では縁部２１ａ）の高さにおける幅ｗ１は、第１面１９Ａから第３面２１Ａ（縁部２１ａ）までの高さｈ１よりも大きくてよい。

【0114】

この場合、幅ｗ１は、比較的大きくされているということができる。幅ｗ１が比較的大きくされている場合の効果は、既述のとおりである。また、高さｈ１が大きい場合、例えば、凹部１５の内部に影が生じる蓋然性が高くなる。しかし、幅ｗ１が高さｈ１に対して相対的に大きいことによって、Ｚ’方向の成分を含む方向に見たときに影が生じる蓋然性を低減することができる。その結果、例えば、凹部１５内に金属を成膜することが容易化され、導通の信頼性を向上させる効果が増大する。

【0115】

平面視における凹部１５の縁部２１ａからの奥行きであって、第３面２１Ａ（別の観点では縁部２１ａ）の高さにおける奥行きｄ１は、第１面１９Ａから第３面２１Ａ（縁部２１ａ）までの高さｈ１よりも大きくてよい。

【0116】

この場合、奥行きｄ１は、比較的大きくされているということができる。奥行きｄ１が比較的大きくされている場合の効果は、既述のとおりである。また、高さｈ１が大きい場合、例えば、凹部１５の内部に影が生じる蓋然性が高くなる。しかし、奥行きｄ１が高さｈ１に対して相対的に大きいことによって、Ｘ方向の成分を含む方向に見たときに影が生じる蓋然性を低減することができる。その結果、例えば、凹部１５内に金属を成膜することが容易化され、導通の信頼性を向上させる効果が増大する。

【0117】

凹部１５の内面は、底面１５ａと、端面（第３側面１５ｄ）とを有していてよい。底面１５ａは、第１面１９Ａにつながり、第１面１９Ａと面一であってよい。第３側面１５ｄは、平面視において底面１５ａに対して第１面１９Ａとは反対側（＋Ｘ側）に位置し、平面視において底面１５ａから離れるほど第３面２１Ａ（別の観点では縁部２１ａ）の高さに近づく向きで傾斜しつつ、底面１５ａから第３面２１Ａ（縁部２１ａ）へ立ち上がっていてよい。平面視において、底面１５ａは、縁部２１ａよりも第３面２１Ａの側に入り込んでいてよい。

【0118】

この場合、例えば、引出電極９は、第１面１９Ａから底面１５ａへ亘って面一な部分を有するとともに、底面１５ａから第１側面１５ｂ又は第２側面１５ｃを経由して第３面２１Ａへ至る部分を有することができる。換言すれば、引出電極９は、縁部２１ａ及び縁部２１ａと同じ向きの縁部（第３側面１５ｄと第３面２１Ａとの境界）を避けて第１面１９Ａから第３面２１Ａへ至る部分を有することができる。その結果、例えば、縁部２１ａ及び縁部２１ａと類似する縁部において引出電極９が薄くなっても、導通の信頼性を確保することができる。

【0119】

水晶素板３は、第１面１９Ａと第３面２１Ａ（別の観点では縁部２１ａ）とをつなぎ、第３面２１Ａ（縁部２１ａ）の側ほど第１側（＋Ｙ’側）に位置するように傾斜している第５面２３Ａを有していてよい。凹部１５の、縁部２１ａに沿う方向（Ｚ’方向）の大きさを幅というとき、凹部１５の、第３面２１Ａ（縁部２１ａ）の高さにおける幅ｗ１は、平面視における第１面１９Ａから第３面２１Ａ（縁部２１ａ）までの第５面２３Ａの長さｓ１（Ｘ方向の長さ）よりも大きくてよい。

【0120】

この場合、幅ｗ１は、比較的大きくされているということができる。幅ｗ１が比較的大きくされている場合の効果は、既述のとおりである。また、水晶素板３の全長（Ｘ方向）及び固定部１３のＸ方向の長さが一定であると仮定すると、長さｓ１が長い場合、振動部１１の面積が中間部１７によって減じられることになる。その結果、例えば、振動部１１の振動が中間部１７及び固定部１３によって規制される度合いが大きくなり、特性が低下する可能性がある。しかし、凹部１５の幅ｗ１が大きくされることによって、実質的に中間部１７の体積を減じて、そのような不都合が生じる蓋然性を低減できる。

【0121】

平面視における凹部１５の縁部２１ａからの奥行きであって、第３面２１Ａ（別の観点では縁部２１ａ）の高さにおける奥行きｄ１は、平面視における第１面１９Ａから第３面２１Ａ（縁部２１ａ）までの第５面２３Ａの長さｓ１よりも大きくてよい。この場合、奥行きｄ１は、比較的大きくされているということができる。奥行きｄ１が比較的大きくされている場合の効果は、既述のとおりである。また、長さｓ１が長い場合、長さｓ１と同等の長さを有する第３側面１５ｄも長くなる。ひいては、底面１５ａを第３面２１Ａの側（＋Ｘ側）に延ばしにくくなる。しかし、奥行きｄ１が長さｓ１に対して相対的に大きいことによって、そのような不都合が生じる蓋然性を低減できる。

【0122】

平面視において、凹部１５の全体が引出電極９に重なってよい。

【0123】

この場合、例えば、導通の信頼性が更に向上する。例えば、所定の方向へ飛ばされる金属粒子から見て凹部１５の内面の一部に影が生じても、凹部１５の内面の他の部位に成膜が行われることによって、導通の断面積を確保することができる。また、例えば、凹部１５のいずれかの側面と第３面２１Ａとの境界に段差が生じており、引出電極９が薄くなりやすくなっていても、他の側面と第３面２１Ａとの境界においてはそのような不都合が生じないことが期待される。

【0124】

水晶素子１は、第２面１９Ｂに重なっている第２励振電極（第２導体パターン５Ｂの励振電極７）と、第２励振電極から引き出されて第４面２１Ｂに重なっている第２引出電極（第２導体パターン５Ｂの引出電極９）とを有してよい。第４面２１Ｂは、第２面１９Ｂよりも－Ｙ’側に高くなっていてよい。水晶素板３は、第４面２１Ｂから＋Ｙ’側に窪む第２凹部（－Ｙ’側の凹部１５）を有してよい。第２凹部は、平面視で第４面２１Ｂの第２面１９Ｂ側の縁部２１ａを切り欠いていてよい。第２引出電極は、第２面１９Ｂから第２凹部を経由して第４面２１Ｂへ至る部分を有していてよい。

【0125】

すなわち、固定部１３は、振動部１１に対して、厚み方向の一方側だけでなく、厚み方向の両側に高くなっており、双方に凹部１５を有している。この場合、例えば、凹部１５による上述した種々の効果が水晶素板３の両面で得られる。また、例えば、振動部１１における振動の分布を両面で同等にすることができ、意図されていない特異な振動が生じる蓋然性を低減することができる。

【0126】

平面視において、振動部１１は矩形状であってよい。平面視において、第３面２１Ａの縁部２１ａは、振動部１１の４辺のうちいずれか１辺（本実施形態では＋Ｘ側の１辺）に沿っていてよい。平面視において、振動部１１の、上記１辺に直交する仮想線（中心線ＣＬ）を仮定したときに、複数の凹部１５が中心線ＣＬに対して線対称に位置してよい。

【0127】

この場合、例えば、複数の凹部１５によって、上述した種々の効果（例えば導通の信頼性を向上させる効果）が向上する。また、例えば、振動部１１に生じる歪の分布を中心線ＣＬに対して対称的にすることができる。その理由としては、例えば、振動部１１から固定部１３へ漏れて反射する振動が対称的にされること、及び／又は２つのバンプ１０５から固定部１３を介して振動部１１に付与される歪が対称的にされることが挙げられる。歪分布の対称性が向上することによって、例えば、意図されていない特異な振動が生じる蓋然性が低減され、水晶素子１の電気的特性が向上する。

【0128】

凹部１５の平面視における振動部１１の側の端部における、凹部１５の第３面２１Ａからの深さは、第１面１９Ａから第３面２１Ａまでの高さｈ１の５０％以上１００％以下であってよい（図示の例では１００％）。

【0129】

凹部１５の深さが高さｈ１の５０％以上であることによって、例えば、上述した影となる領域を固定部１３側へシフトさせる効果が奏される蓋然性が高くなる。また、凹部１５の深さが高さｈ１の１００％以下であることによって、例えば、固定部１３の強度を維持することが容易化される。

【0130】

以上の実施形態において、水晶素子１は圧電振動素子の一例である。水晶素板３は圧電素板の一例である。＋Ｙ’側は第１側の一例である。－Ｙ’側は第２側の一例である。第１導体パターン５Ａの励振電極７は第１励振電極の一例である。第１導体パターン５Ａの引出電極９は第１引出電極の一例である。＋Ｙ’側の凹部１５は第１凹部の一例である。＋Ｙ’側の縁部２１ａは第１縁部の一例である。第１側面１５ｂは側面の一例である。第３側面１５ｄは端面の一例である。第２導体パターン５Ｂの励振電極７は第２励振電極の一例である。第２導体パターン５Ｂの引出電極９は第２引出電極の一例である。－Ｙ’側の凹部１５は第２凹部の一例である。－Ｙ’側の縁部２１ａは第２縁部の一例である。

【0131】

（２．水晶素子１の利用例）
図６は、水晶素子１の利用例としての水晶デバイス１０１の斜視図である。図７は、図６のVII－VII線における断面図である。なお、水晶デバイス１０１は、いずれの方向が上下方向又は水平方向とされてもよいが、以下の説明では、便宜上、図６及び図７の紙面上方を上方として、上面等の用語を用いることがある。

【0132】

水晶デバイス１０１は、例えば、全体として略直方体形状となっている電子部品である。水晶デバイスの寸法は、適宜な大きさとされてよい。一例を挙げると、長辺又は短辺の長さは、０．６ｍｍ以上２．０ｍｍ以下であり、上下方向の厚さは、０．２ｍｍ以上１．５ｍｍ以下である。水晶デバイス１０１は、例えば、その下面を不図示の実装基体（例えば回路基板）の上面に対向させて表面実装される。

【0133】

水晶デバイス１０１は、例えば、一定の周波数で信号強度（例えば電圧及び／又は電流）が振動する発振信号の生成に寄与する振動子として構成されている。水晶デバイス１０１は、例えば、発振信号の生成に利用される振動を生じる水晶素子１と、水晶素子１をパッケージングしているパッケージ１０３とを有している。

【0134】

パッケージ１０３は、例えば、水晶素子１を支持する基体１０７と、基体１０７に接合されて水晶素子１を封止する蓋体１０９とを有している。水晶素子１は、例えば、導電性のバンプ１０５によって基体１０７に接合されて支持されている。パッケージ１０３の内部空間は、例えば、真空とされ、又は適当なガス（例えば、窒素）が封入されている。

【0135】

基体１０７は、例えば、水晶素子１を収容する凹部を有する形状とされている。別の観点では、基体１０７は、平板状の基板部１０７ａと、基板部１０７ａの上面の縁部に沿っている枠部１０７ｂとを有している。基板部１０７ａおよび枠部１０７ｂからなる基体１０７は、セラミック材料等の絶縁材料からなる。蓋体１０９は、例えば、金属から構成され、枠部１０７ｂの上面にシーム溶接等により接合される。

【0136】

パッケージ１０３は、水晶素子１と、水晶デバイス１０１が実装される不図示の実装基体とを電気的に接続するための導体を有している。例えば、パッケージ１０３は、水晶素子１を実装するためのパッド１１１と、水晶デバイス１０１を実装基体に実装するための外部端子１１３と、両者を接続する不図示の配線導体とを有している。

【0137】

パッド１１１は、基板部１０７ａの上面に位置する導電層により構成されている。外部端子１１３は、基板部１０７ａの下面に位置する導電層により構成されている。不図示の配線導体は、基板部１０７ａを上下に貫通する貫通導体を含んで構成されている。これらの導体の材料は、例えば、金属である。

【0138】

水晶素子１は、バンプ１０５によってパッド１１１に接合されている。これにより、水晶素子１は、基体１０７に支持されているとともに、パッケージ１０３に電気的に接続されている。より詳細には、水晶素子１は、例えば、その一端側においてパッド１１１と接合されて、片持ち梁状に支持されている。バンプ１０５は、例えば、導電性接着剤からなる。導電性接着剤は、金属からなるフィラーを混ぜ込んだ熱硬化性樹脂によって構成されている。

【0139】

外部端子１１３は、例えば、不図示の実装基体のパッドとはんだによって接合される。これにより、水晶デバイス１０１は、実装基体に支持されるとともに電気的に接続される。

【0140】

水晶素子１は、上記の利用例の他、種々の態様で利用されてよい。

【0141】

例えば、水晶素子１を含む水晶デバイス（圧電デバイス）は、水晶素子１に加えて、水晶素子１に電圧を印加して発振信号を生成する集積回路素子（ＩＣ：Integrated Circuit）を有する発振器であってもよい。また、例えば、振動子は、水晶素子１の他に、サーミスタ等の他の電子素子を有するものであってもよい。また、圧電デバイスは、恒温槽付のものであってもよい。

【0142】

圧電デバイスにおいて、水晶素子１をパッケージングするパッケージの構造は、適宜な構成とされてよい。例えば、パッケージは、上面及び下面に凹部を有する断面Ｈ型のものであってもよい。また、パッケージは、基板状の基体（凹部を有していない基体）と、基体に被せられるキャップ状の蓋体とで構成されるものであってもよい。

【0143】

（３．他の例）
以下、図８～図１０を参照して種々の例について説明する。以下の説明では、基本的に、実施形態との相違点についてのみ述べる。特に言及が無い事項については、実施形態と同様とされたり、実施形態から類推されたりしてよい。

【0144】

（３．１．引出電極及び凹部の他の例）
図８は、他の例に係る水晶素子２０１を＋Ｙ’側から見た平面図である。

【0145】

水晶素子２０１の引出電極２０９は、実施形態の引出電極９と同様に、パッド部２０９ａと、配線部２０９ｂとを有している。ただし、配線部２０９ｂは、実施形態の配線部９ｂよりも長く形成されており、振動部１１だけでなく、中間部１７及び固定部１３にも重なっている。固定部１３上において、配線部２０９ｂのＸ方向の長さと、パッド部２０９ａのＸ方向の長さとの相対関係は任意である。例えば、前者は、後者に対して、長くてもよいし（図示の例）、同等でもよいし、短くてもよい。

【0146】

水晶素子２０１を－Ｙ’側から見た平面図は、例えば、図８と同様であってもよいし、同様でなくてもよい。前者は、換言すれば、水晶素子２０１は、Ｘ方向に平行な不図示の中心線に対して１８０°回転対称の構成であってよいということである。後者の例としては、－Ｙ’側の不図示のパッド部２０９ａが図８に示す＋Ｙ’側のパッド部２０９ａよりもＸ方向において大きくされている態様が挙げられる。この場合、水晶素子２０１は、例えば、－Ｙ’側のパッド部２０９ａがパッケージ１０３のパッド１１１に対向するようにパッケージ１０３に実装される。このとき、＋Ｙ’側のパッド部２０９ａは、バンプ１０５に接合される（実装に寄与する）とは限らない。ただし、ここでは、便宜上、上記のような態様であっても、＋Ｙ’側において配線部２０９ｂよりも幅広になっている部分をパッド部２０９ａと称する。

【0147】

水晶素子２０１は、実施形態と同様に、固定部１３に凹部２１５を有している。そして、引出電極２０９は、凹部２１５の少なくとも一部（図示の例では全部）に重なっている。ただし、本例では、凹部２１５の少なくとも一部（図示の例では全部）は、配線部２０９ｂに重なっている。なお、既述のように、－Ｙ’側のパッド部２０９ａは、＋Ｙ’側のパッド部２０９ａよりもＸ方向に大きくてもよい。この場合、－Ｙ’側においては、＋Ｙ’側とは異なり、パッド部２０９ａが凹部２１５の一部又は全部に重なっていてもよい。

【0148】

図示の例では、第３面２１Ａは、１つの導体パターン２０５（図８では第１導体パターン２０５Ａ）に対して１つのみ凹部２１５を有している。ただし、配線部２０９ｂが凹部２１５と重なる態様において、実施形態と同様に、第３面２１Ａは、第１導体パターン２０５Ａ及び第２導体パターン２０５Ｂのそれぞれに１つ以上の凹部２１５を有していてもよい。また、第３面２１Ａは、１つの導体パターン２０５のみに２以上の凹部２１５を有していてもよい。図示の例では、凹部２１５は、平面視において細長く形成されている。ただし、配線部２０９ｂと重なる凹部２１５の形状及び寸法は、実施形態の凹部１５の形状及び寸法と同様に任意である。なお、第３面２１Ａの凹部２１５の説明が第４面２１Ｂの凹部２１５の説明に援用されてよいことは既に述べたとおりである。

【0149】

以上のとおり、第１引出電極（第１導体パターン２０５Ａの引出電極２０９）は、配線部２０９ｂと、パッド部２０９ａとを有してよい。配線部２０９ｂは、第１励振電極（第１導体パターン２０５Ａの励振電極７）から延び出ていてよい。パッド部２０９ａは、配線部２０９ｂとつながっていてよく、固定部１３の振動部１１側の縁部２１ａに沿う方向において配線部２０９ｂよりも広がっていてよい。第１凹部（＋Ｙ’側の凹部２１５）は、平面視において配線部２０９ｂに重なる部分を有していてよい。

【0150】

この場合、例えば、配線部２０９ｂは、パッド部２０９ａに比較して、幅が小さく、ひいては、導通に係る断面積を確保することが相対的に困難な部位であるから、凹部２１５による導通の信頼性の向上の効果が有用である。また、配線部２０９ｂと凹部２１５とが重なる前提として、配線部２０９ｂは、振動部１１から固定部１３へ跨って延びているから、水晶素子２０１とパッケージ１０３との固定位置の自由度が向上する。これにより、例えば、水晶素子２０１のパッケージ１０３への実装が振動部１１の振動に及ぼす影響が低減される。

【0151】

（３．２．固定部の位置の他の例）
図９Ａ及び図９Ｂはそれぞれ、他の例に係る水晶素板の平面図である。実施形態では、固定部１３は、矩形状の振動部１１の１辺に沿う形状とされた。ただし、固定部は、振動部の２辺以上に沿っていてもよい。図９Ａ及び図９Ｂの水晶素板は、そのような２辺以上に亘る固定部を有している。具体的には、以下のとおりである。

【0152】

なお、既述のとおり、振動部１１は、矩形状でなくてもよく、円形状等であってもよい。一方で、「辺」の用語は、通常、多角形に用いられる。ただし、実施形態の説明では、便宜上、振動部１１に対する固定部１３の位置等を説明するときに、「辺」の用語を用いることがある。１辺は、振動部１１に対して所定方向の一方側に位置する縁部のように言い換えることができる。互いに対向する２辺は、例えば、互いに対向する２つの縁部と言い換えたり、振動部１１に対して所定方向の両側に位置する２つの縁部と言い換えたりできる。また、互いに交差する２辺は、例えば、互いに交差する２つの縁部と言い換えたり、振動部１１に対して、第１方向の一方側に位置する縁部と、振動部１１に対して、第１方向に直交する第２方向の一方側に位置する縁部との組み合わせと言い換えたりできる。

【0153】

図９Ａに示す水晶素板３０３は、振動部３１１の２辺に沿って固定部３１３（及び中間部３１７）を有している。換言すれば、固定部３１３は、Ｌ字に形成されている。なお、固定部３１３がＬ字に構成されていると捉えるのではなく、水晶素板３０３が直線状の固定部３１３を合計で２つ有していると捉えられてもよい。以下の説明では、便宜上、固定部３１３のうち振動部３１１の１辺に沿う部分を固定部３１３の１辺等ということがある。

【0154】

実施形態の凹部１５に対応する凹部３１５は、例えば、固定部３１３の２辺それぞれに位置している。ただし、凹部３１５は、１辺のみに位置していてもよい。図示の例では、各辺において、複数の凹部３１５は、各辺に直交する振動部３１１の中心線に対して線対称に配置されている。もちろん、複数の凹部３１５の配置は、非対称であっても構わない。

【0155】

図９Ｂに示す水晶素板４０３は、振動部４１１の３辺に沿って固定部４１３（及び中間部４１７）を有している。換言すれば、固定部４１３は、Ｕ字に形成されている。なお、固定部４１３がＵ字に構成されていると捉えるのではなく、水晶素板４０３が直線状の固定部４１３を合計で３つ有していると捉えられてもよい。以下の説明では、便宜上、固定部４１３のうち振動部４１１の１辺に沿う部分を固定部４１３の１辺等ということがある。

【0156】

実施形態の凹部１５に対応する凹部４１５は、例えば、固定部４１３の３辺それぞれに位置している。ただし、凹部４１５は、１辺のみ又は２辺のみに位置していてもよい。図示の例では、各辺において、複数の凹部４１５は、各辺に直交する振動部４１１の中心線に対して線対称に配置されている。もちろん、複数の凹部４１５の配置は、非対称であっても構わない。

【0157】

振動部の４辺に沿って固定部が位置していてもよい（後述する図１１）。振動部の２辺以上に沿って固定部を有する水晶素子は、実施形態と同様に、１辺のみがパッケージ１０３に固定されて、片持ち梁状に支持されてもよいし、２辺以上においてパッケージ１０３に固定されて支持されてもよい。辺同士において固定部（及び／又は中間部）の形状及び／又は寸法は、互いに同一であってもよいし、互いに異なっていてもよい。例えば、ここでは不図示のパッド部９ａを有している辺における固定部の幅は、他の辺における固定部の幅よりも大きくされてよい。これらの例においても、引出電極のうち、凹部に重なる部位は、配線部であってもよいし、パッド部であってもよく、また、そのような区別ができなくてもよい。配線部が振動部から固定部へ延びる１辺と、パッド部が位置する１辺とは異なっていてもよい。

【0158】

（３．３．固定部の厚さの他の例）
図１０は、他の例に係る水晶素子５０１の構成を示す断面図であり、図２の一部に対応している。

【0159】

水晶素子５０１の水晶素板５０３においては、固定部５１３（及び中間部５１７）は、振動部５１１に対して、水晶素板５０３の厚み方向の一方側にのみ高くなっている。そして、ここでは不図示であるが、凹部１５に対応する凹部は、固定部５１３の前記一方側にのみ形成されている。

【0160】

（第２章第２実施形態）
（１．水晶素子の概要）
以下、図１１及び図１２を参照して第２実施形態に係る水晶素子６０１について説明する。以下の説明では、基本的に、第１実施形態（及び第１実施形態に係る他の例。以下、同様。）との相違点についてのみ述べる。特に言及が無い事項については、第１実施形態と同様とされたり、第１実施形態から類推されたりしてよい。第１実施形態の説明は、矛盾等が生じない限り、第２実施形態に援用されてよい。なお、第２実施形態の説明が適宜に第１実施形態に援用されても構わない。水晶素子６０１の具体的構成は、図１１及び図１２に例示されたもの以外とされてもよいが、便宜上、特に断り無く、図示の具体的構成を前提とした説明をすることがある。

【0161】

図１１は、水晶素子６０１の斜視図である。図１２は、図１１のXII－XII線における断面図である。水晶素子６０１は、例えば、概略、Ｘ軸に平行な中心線（不図示。第１実施形態に係る図２の中心線ＣＬを参照）に対して１８０°回転対称の構成とされている。従って、－Ｙ’側から見た水晶素子６０１の斜視図は図１１と同様である。

【0162】

図１１及び図１２では、第１実施形態の図１よりも模式的に水晶素子６０１の形状が示されている。具体的には、この図では、ウェットエッチングに対する水晶の異方性に起因して生じる傾斜面の図示は省略されている。ひいては、第１実施形態の中間部１７に相当する部位の図示は省略されており、また、凹部及び貫通孔（後述）の内部の傾斜面も図示が省略されている。これらの部位及び傾斜面は、第１実施形態と同様に存在してよい。ただし、図示のとおり、そのような部位及び傾斜面が存在しなくても構わない。

【0163】

水晶素子６０１の水晶素板６０３は、第１実施形態の水晶素板３と同様に、振動部６１１と、固定部６１３とを有している。ただし、固定部６１３は、第１実施形態とは異なり、厚さが互いに異なる内側部６１３ａ及び外側部６１３ｂを有している。内側部６１３ａは、振動部６１１に（不図示の中間部を介して、又は介さずに）隣り合っている。外側部６１３ｂは、内側部６１３ａに対して振動部６１１とは反対側に位置し、内側部６１３ａよりも厚い。すなわち、固定部６１３は、振動部６１１から離れるほど厚くなるように、段階的に厚さが変化している。

【0164】

この場合、例えば、外側部６１３ｂの厚みを確保することが容易化される。その結果、固定部６１３を振動部６１１よりも厚くしていることによる効果が向上する。当該効果としては、例えば、外側部６１３ｂの強度が向上することが挙げられる。外側部６１３ｂの強度が向上すると、例えば、製造過程において外側部６１３ｂを吸着保持したときに水晶素板６０３が変形する蓋然性が低減される。別の観点では、振動部６１１と内側部６１３ａとの間の段差、及び内側部６１３ａと外側部６１３ｂとの間の段差を小さくすることができる。これにより、例えば、引出電極６０９が段差において断線する蓋然性が低減される。また、例えば、外側部６１３ｂが内側部６１３ａを介さずに振動部６１１につながる態様に比較して、固定部６１３が振動部６１１の振動を規制する作用が低減され、振動特性が向上する。

【0165】

第１章の第３．２節等で述べたように、振動部６１１に対する固定部６１３の位置は任意である。図１１の例では、固定部６１３は、振動部６１１の４辺に沿って位置している（別の観点では振動部６１１を囲んでいる。）。従って、固定部６１３の振動部６１１側の縁部６２１ａ（第１実施形態の縁部２１ａに相当）は、矩形状であり、４つの隅部を構成している。そして、第１実施形態の凹部１５に相当する凹部６１５Ａは、４つの隅部の少なくとも１つ（図示の例では全て）に位置している。

【0166】

この場合、例えば、引出電極６０９が励振電極６０７から隅部へ向かって延びているから、利用される振動モード等にもよるが、引出電極６０９が振動に及ぼす影響が低減される。また、互いに同一方向（図示の例ではＸ方向）に沿っている凹部６１５Ａの側面と内側部６１３ａの側面とをつなげることによって、凹部６１５Ａの側面を実質的に延長することができる。その結果、凹部６１５Ａの側面を経由する引出電極６０９の導通面積を確保して、導通の信頼性を向上させることができる。

【0167】

水晶素板６０３は、振動部６１１と固定部６１３（内側部６１３ａ）との間に位置する凹部６１５Ａに加えて、内側部６１３ａと外側部６１３ｂとの間に位置する凹部６１５Ｂを有している。これによる効果は後述する。また、水晶素子６０１の導体パターン６０５（６０５Ａ及び６０５Ｂ）のそれぞれは、励振電極６０７に対してＸ方向の両側に２つの引出電極６０９を有している。これによる効果についても後述する。

【0168】

以上が第２実施形態の第１実施形態との相違の概略である。以下、各部について具体的に述べる。

【0169】

（２．水晶素板）
（２．１．水晶素板全体及び振動部）
第１実施形態に係る水晶素板３全体及び振動部１１についての説明は、第２実施形態に係る水晶素板６０３全体及び振動部６１１に援用されてよい。念のために述べると、水晶素板６０３は、例えば、第１実施形態と同様に、ＡＴカットの水晶片であってよい。水晶素板６０３の平面形状及び振動部６１１の平面形状は任意である。上述した第２実施形態の概要の説明では、縁部６２１ａ（別の観点では振動部６１１）の隅部に凹部６１５Ａが形成されることを述べた。しかし、第２実施形態からは、他の特徴が抽出されてよい。この場合において、振動部６１１が隅部を有することは要しない。従って、第１実施形態の説明で述べたように、振動部６１１は、例えば、円形又は楕円形であっても構わない。第１実施形態の説明で述べたように、水晶素板６０３の全体又は振動部６１１において、Ｘ方向の長さ及びＺ’方向の長さは、同じであってもよいし、異なっていてもよい。後者の場合において、いずれの長さが他方の長さよりも長くてもよい。

【0170】

さらに念のために述べると、第１実施形態の説明では、図１０を参照して、水晶素板５０３の厚さ方向の一方側においてのみ、固定部５１３の主面が振動部５１１の主面に対して高くなっていてよいことについて述べた。これは、第２実施形態においても同様である。ただし、既述のとおり、ここでは、便宜上、特に断り無く、図示の構成を例に取って、水晶素板６０３の構成について説明することがある。

【0171】

（２．２．固定部）
第１実施形態における固定部１３の説明は、第２実施形態に係る固定部６１３に援用されてよい。第２実施形態の概要の説明では、縁部６２１ａの隅部に凹部６１５Ａが形成されることを述べた。しかし、第２実施形態からは、他の特徴が抽出されてよい。この場合において、固定部６１３は、振動部６１１の２辺（図１１の例では４辺）に位置することを要しない。従って、第１実施形態の説明で述べたように、固定部６１３は、例えば、振動部６１１に対して、１辺のみ、２辺のみ、３辺のみ又は４辺に位置してよい。また、第２実施形態の概要の説明では、固定部６１３が内側部６１３ａ及び外側部６１３ｂを有することを述べた。しかし、第２実施形態からは、他の特徴が抽出されてよい。この場合、固定部６１３は、厚さが互いに異なる部位を有することを要しない。従って、例えば、固定部６１３の形状は、第１実施形態のものと同様とされても構わない。

【0172】

以下、内側部６１３ａ及び外側部６１３ｂを有する態様の固定部６１３の形状について説明する。念のために述べると、固定部６１３が、内側部６１３ａ及び外側部６１３ｂを有する態様においても、矛盾等が生じない限り、第１実施形態に係る固定部１３の説明は、固定部６１３に援用されてよい。さらに、第１実施形態に係る固定部１３の説明は、矛盾等が生じない限り、固定部１３の語を内側部６１３ａ又は外側部６１３ｂの語に置換して第２実施形態に援用されてもよい。固定部１３の語を外側部６１３ｂに置換する場合は、振動部１１の語が振動部６１１に置換されるだけであってもよいし、ここでの説明とは異なり、振動部６１１及び内側部６１３ａが第１実施形態の振動部１１に相当する部分として捉えられてもよい。

【0173】

以下の説明では、便宜上、水晶素板６０３の＋Ｙ’側の面（第１面６１９Ａ及び第３面６２１Ａ）及び－Ｙ’の面（第２面６１９Ｂ（図１２）及び第４面６２１Ｂ）のうち、前者を例に取って説明することがある。－Ｙ’の面の構成は、例えば、＋Ｙ’側の面と同様とされてよい。

【0174】

既述のとおり、外側部６１３ｂは、内側部６１３ａよりも厚い。別の観点では、固定部６１３の第３面６２１Ａは、第１領域６２２Ａ（内側部６１３ａの上面）と、第１領域６２２Ａよりも＋Ｙ’側に高くなっている第２領域６２２Ｂ（外側部６１３ｂの上面）とを有している。第１領域６２２Ａは、既述の凹部６１５Ａによって切り欠かれる縁部６２１ａを有している。第２領域６２２Ｂは、既述の凹部６１５Ｂによって切り欠かれる縁部６２１ｂを有している。

【0175】

第１実施形態における第３面２１Ａの説明は、矛盾等が生じない限り、第１領域６２２Ａ及び第２領域６２２Ｂそれぞれに援用されてよい。従って、例えば、第１領域６２２Ａ及び第２領域６２２Ｂは、それぞれ、ＸＺ’平面及び／又は振動部６１１の第１面６１９Ａに対して平行な平面状である。換言すれば、第１領域６２２Ａ及び第２領域６２２Ｂは、段階的に（階段状に）互いに高さが異なっている。なお、この観点から、第１実施形態の説明で示した第５面２３Ａ（別の観点では中間部１７）と第１領域６２２Ａ（別の観点では内側部６１３ａ）とは区別されてよい。

【0176】

第１実施形態は、水晶素板３の上面が振動部１１から固定部１３へ１段の変化（より詳細には高くなる変化）を有する態様であると捉えることができる。また、第２実施形態は、水晶素板６０３の上面が振動部６１１から固定部６１３へ２段の変化（より詳細にはいずれも高くなる変化）を有する態様であると捉えることができる。さらに上位概念化して、第２実施形態は、水晶素板６０３の上面が振動部６１１から固定部６１３へ複数段の変化（例えばいずれも高くなる変化）を有する態様であると捉えることができる。複数段は、２段に限定されず、３段以上であっても構わない。

【0177】

これまでの説明から理解されるように、内側部６１３ａは、振動部１１に対して、１辺のみ、２辺のみ、３辺のみ又は４辺に位置してよい。図示の例では、内側部６１３ａは、４辺に位置している（別の観点では振動部６１１を囲んでいる。）。同様に、外側部６１３ｂは、振動部６１１に対して、１辺のみ、２辺のみ、３辺のみ又は４辺に位置してよい。図示の例では、外側部６１３ｂは、所定方向において振動部６１１（及び内側部６１３ａ）を挟んで互いに対向する２辺に位置している（換言すれば振動部６１１を挟んで互いに対向する２つの部分を有している。）。上記所定方向は、より詳細には、例えば、Ｘ方向（別の観点では厚みすべり振動の方向）である。また、図示の例では、外側部６１３ｂは、その全体が内側部６１３ａを介して振動部６１１につながっており、内側部６１３ａを介さずに振動部６１１につながっている部位を有していない。

【0178】

内側部６１３ａ及び外側部６１３ｂの、振動部６１１の周方向における配置は、図示の例以外にも種々可能である。いくつかの例を挙げる。例えば、内側部６１３ａ及び外側部６１３ｂの配置位置は、互いに同じであってよい。すなわち、内側部６１３ａ及び外側部６１３ｂは、共に、振動部６１１に対して、１辺のみ、２辺のみ、３辺のみ又は４辺に位置してよい。また、例えば、図示の例とは逆に、外側部６１３ｂの配置範囲が内側部６１３ａの配置範囲よりも広くてもよい。例えば、内側部６１３ａがＸ方向の両側の２辺に位置している一方で、外側部６１３ｂが４辺に位置していてよい。この場合に、外側部６１３ｂのＺ’方向の両側の部分は、内側部６１３ａを介さずに振動部６１１につながっていてよい。

【0179】

平面視における振動部６１１、第１領域６２２Ａ及び第２領域６２２Ｂの相対的な大きさは任意である。例えば、第１領域６２２Ａ及び第２領域６２２Ｂが並んでいる方向（図示の例ではＸ方向）において、第１領域６２２Ａの長さ及び第２領域６２２Ｂの長さは、同じであってもよいし、異なっていてもよい。異なっている場合において、前者の長さと後者の長さとは、いずれが相対的に大きくてもよい。上記の並んでいる方向の振動部６１１に対する片側（又は両側）における第１領域６２２Ａ及び第２領域６２２Ｂの各々の長さ、又は合計の長さは、振動部６１１の長さに対して、同じであってもよいし、異なっていてもよい。異なっている場合において、前者の長さと後者の長さとは、いずれが相対的に大きくてもよい。図示の例では、Ｘ方向（上記並んでいる方向）において、第１領域６２２Ａの長さは、第２領域６２２Ｂの長さよりも短い。また、Ｘ方向において、振動部６１１の長さは、第１領域６２２ＡのうちのＸ方向の片側に位置する部分、及び第２領域６２２ＢのうちのＸ方向の片側に位置する部分のそれぞれよりも長く、かつ両者の合計よりも長い。一方で、Ｘ方向において、振動部６１１の長さは、固定部６１３のＸ方向の両側の合計長さよりも短い。

【0180】

水晶素板６０３の各部の厚さは任意である。例えば、振動部６１１の厚さは、第１実施形態と同様に、意図されている共振周波数に応じて設定される。第１実施形態で述べた固定部１３の厚さの説明は、既述のとおり、矛盾等が生じない限り、内側部６１３ａの厚さ及び／又は外側部６１３ｂの厚さに援用されてよい。第１実施形態における第１面１９Ａから第３面２１Ａまでの高さの説明は、矛盾等が生じない限り、第１面６１９Ａから第１領域６２２Ａまでの高さ、及び／又は第１領域６２２Ａから第２領域６２２Ｂまでの高さに援用されてよい。第１面６１９Ａから第１領域６２２Ａまでの高さと、第１領域６２２Ａから第２領域６２２Ｂまでの高さの関係（換言すれば段階的に高さが変化する場合の複数の高さ同士の関係）は任意である。例えば、両者は、同じであってもよいし、異なっていてもよい。異なっている場合において、前者と後者とは、いずれが相対的に大きくてもよい。

【0181】

（２．３．その他）
既述のとおり、図１１及び図１２では図示を省略しているが、振動部６１１と固定部６１３との間には、第１実施形態の中間部１７に相当する部分が存在してよい。すなわち、第１面６１９Ａと第３面６２１Ａ（別の観点では第１領域６２２Ａ又は縁部６２１ａ）との間には、傾斜面（第５面２３Ａに相当）が存在してよい。また、振動部６１１と固定部６１３との間に加えて（又は代えて）、内側部６１３ａと外側部６１３ｂとの間（別の観点では段階的に厚さが変化する場合の隣り合う部位の間）にも、中間部１７に相当する部分が存在してよい。すなわち、第１領域６２２Ａと第２領域６２２Ｂ（別の観点では縁部６２１ｂ）の間には、傾斜面（第５面２３Ａに相当）が存在してよい。

【0182】

繰り返しになるが、第１実施形態に係る中間部１７の説明は、矛盾等が生じない限り、振動部６１１と固定部６１３との間の中間部に援用されてよい。また、第１実施形態に係る中間部１７の説明は、内側部６１３ａと外側部６１３ｂとの間の中間部に援用されてよい。この場合は、振動部６１１及び内側部６１３ａの組み合わせを振動部１１と捉え、外側部６１３ｂを固定部１３と捉えて、中間部１７の説明が援用されてよい。念のために述べると、いずれの中間部も、その傾斜角は任意であり、また、平面状であってもよいし、平面状でなくてもよい。

【0183】

水晶素板６０３がＡＴカット水晶片である場合において、振動部６１１（又は内側部６１３ａ）に対して＋Ｘ側又は－Ｘ側に位置する中間部の傾斜角については、第１実施形態の中間部１７の傾斜角θ１の説明が援用されてよい。例えば、＋Ｘ側の中間部の傾斜角は、約５５°（例えば５３°以上５７°以下）である。－Ｘ側の中間部の傾斜角は、約２７°（例えば２５°以上２９°以下）である。上記の説明は、＋Ｙ’側及び－Ｙ’側のいずれの面においても成り立つ。振動部６１１（又は内側部６１３ａ）に対して＋Ｚ’側又は－Ｚ’側に位置する中間部の傾斜角については、第１側面１５ｂの傾斜角θ３又は第２側面１５ｃの傾斜角θ４の説明が援用されてよい。例えば、＋Ｙ’の面において、＋Ｚ’側の中間部の傾斜角は、傾斜角θ３と同じであり、一例として、約５４°（例えば５２°以上５６°以下）であってよい。また、例えば、＋Ｙ’の面において、－Ｚ’側の中間部の傾斜角は、傾斜角θ４と同じであり、一例として、約３°（例えば１°以上５°以下）であってよい。－Ｙ’の面においては、上記とは逆に、－Ｙ’の面においては、－Ｚ’側の中間部の傾斜角が傾斜角θ３と同じであり、＋Ｚ’側の中間部の傾斜角が傾斜角θ４と同じである。

【0184】

水晶素板６０３は、水晶素板６０３を厚さ方向に貫通する貫通孔を有していてよい。貫通孔は、例えば、水晶素板６０３の表裏（上面及び下面）の導通に寄与したり、及び／又は励振電極６０７の配置領域からの漏れ振動が固定部６１３の側へ伝搬する蓋然性を低減したりすることに寄与する。貫通孔の位置、形状及び寸法は、その目的等に応じて適宜に設定されてよい。

【0185】

図１１の例では、内側部６１３ａと外側部６１３ｂとの間に位置する貫通孔６２１ｈが例示されている。貫通孔６２１ｈは、例えば、Ｚ’方向に並ぶ引出電極６０９（より詳細にはパッド部６０９ａ）の間にその一部又は全部（図示の例では全部）が位置している。また、貫通孔６２１ｈは、Ｚ’方向の長さがＸ方向の長さよりも長くされている。平面視において（別の観点ではＸ方向において）、貫通孔６２１ｈは、図示が省略されている内側部６１３ａと外側部６１３ｂとの間の中間部に収まっていてもよいし、内側部６１３ａ側及び／又は外側部６１３ｂ側に食み出していてもよい。また、貫通孔６２１ｈが内側部６１３ａと外側部６１３ｂとの間に位置するというとき、貫通孔６２１ｈは、内側部６１３ａの外側部６１３ｂ側の部分に収まっていてもよいし、外側部６１３ｂの内側部６１３ａ側の部分に収まっていてもよいし、両者に跨っていてもよい。貫通孔６２１ｈは、例えば、表裏の導通及び漏れ振動の伝搬の低減に寄与する。

【0186】

なお、図示の例では、振動部６１１と固定部６１３（内側部６１３ａ）との間には貫通孔は設けられていない。別の観点では、振動部６１１及び内側部６１３ａからなる部分（内側部６１３ａの外縁を除く。）には、貫通孔が設けられていない。これにより、例えば、上記部分の強度が向上する。ただし、貫通孔６２１ｈに代えて、又は加えて、振動部６１１と固定部６１３（内側部６１３ａ）との間に貫通孔６２１ｈが位置していてもよい。この貫通孔は、例えば、貫通孔６２１ｈと同様に、表裏の導通及び漏れ振動の伝搬の低減に寄与してよい。また、特に図示しないが、外側部６１３ｂのパッド部６０９ａの配置領域に円形の貫通孔が設けられたり、外側部６１３ｂの２つのパッド部６０９ａ間に適宜な形状の貫通孔が設けられたりしてもよい。

【0187】

（３．導体パターン）
導体パターン６０５（６０５Ａ及び６０５Ｂ）それぞれは、第１実施形態の各導体パターン５と同様に、固定部６１３のうちの振動部６１１に対して＋Ｘ側に位置する部分へ向かって延びる引出電極６０９を有している。これにより、第１実施形態と同様に、また、図７を参照して説明したように、＋Ｘ側の引出電極６０９のパッド部６０９ａがバンプ１０５によってパッド１１１に接合されることによって、水晶素子６０１は、片持ち梁状に支持された状態でパッケージ１０３に実装される。

【0188】

導体パターン６０５（６０５Ａ及び６０５Ｂ）それぞれは、第１実施形態の各導体パターン６０５とは異なり、さらに、固定部６１３のうちの振動部６１１に対して－Ｘ側に位置する部分へ向かって延びる引出電極６０９を有している。これにより、例えば、水晶素子６０１は、片持ち梁状に支持される態様において、＋Ｘ側及び－Ｘ側のいずれを固定端の側とすることも可能になっている。また、例えば、水晶素子６０１は、片持ち梁状に支持されるのではなく、両端の２つのパッド部６０９ａによって両端支持されたり、両端の４つのパッド部６０９ａによって両端支持されたりすることも可能になっている。

【0189】

もちろん、第１実施形態の説明が第２実施形態に援用されてよいことから明らかなように、各導体パターン６０５は、１つの引出電極６０９のみを有していてよい。この場合において、例えば、２つの導体パターン６０５は、第１実施形態と同様に、共に、＋Ｘ側及び－Ｘ側の一方のみに引出電極６０９を有してよい。また、第１実施形態とは異なり、一方の導体パターン６０５が＋Ｘ側に引出電極６０９を有している一方で、他方の導体パターン６０５は－Ｘ側に引出電極６０９を有していてもよい。

【0190】

また、各導体パターン６０５が有する少なくとも１つの引出電極６０９（パッド部６０９ａ）は、図示されていない態様で設けられても構わない。例えば、固定部６１３のうち振動部６１１に対してＸ方向の一方側に位置する部分と、固定部６１３のうち振動部６１１に対してＺ’方向の一方側に位置する部分とに、１つの導体パターン６０５の２つのパッド部６０９ａが設けられても構わない。

【0191】

第１実施形態の説明でも述べたように、各引出電極６０９のパッド部６０９ａは、＋Ｙ’側及び－Ｙ’側の双方に設けられてもよいし、一方に設けられてもよい。図１１では、前者が例示されている。

【0192】

各導体パターン６０５において、Ｘ方向の互いに逆側へ延びる２つの引出電極６０９は、Ｚ’方向において、互いに同一側に延びていてもよいし（図示の例）、互いに逆側に延びていてもよい。前者の場合においては、４隅の４つのパッド部６０９ａのうち、両端の２つのパッド部６０９ａを用いて水晶素子６０１をパッケージ１０３に実装するときに、１対の対角に位置する２つのパッド部６０９ａによって実装がなされることになる。この場合、例えば、２つのパッド部６０９ａを結ぶ線上に水晶素子６０１の重心が位置しやすいことから、水晶素子６０１の支持が安定する。

【0193】

引出電極６０９の各部（パッド部６０９ａ及び配線部６０９ｂ）と水晶素板６０３の各部（振動部６１１、固定部６１３、内側部６１３ａ及び外側部６１３ｂ）との関係（位置、形状及び大きさ等に係る関係。以下、同様。）は任意である。図示の例では、配線部６０９ｂは、励振電極６０７から延びて縁部６２１ａを超え、内側部６１３ａの中途に到達している。パッド部６０９ａは、内側部６１３ａの上記中途から外側部６１３ｂに亘って広がっている。この場合、例えば、パッケージ１０３に固定されて振動に影響を及ぼすパッド部６０９ａが振動部６１１から離されつつも、内側部６１３ａと外側部６１３ｂとの間の段差において導通面積をパッド部６０９ａによって確保することができる。

【0194】

繰り返しになるが、第１実施形態における引出電極９の各部と水晶素板３の各部との関係に関連する説明は、矛盾等が生じない限り、第２実施形態に援用されてよい。このとき、図１１の例に関しては、振動部６１１及び内側部６１３ａが振動部１１に相当し、外側部６１３ｂが固定部１３に相当すると捉えられてもよい。また、図８に例示した引出電極２０９の各部と水晶素板（符号省略）の各部との位置関係に関連する説明も、矛盾等が生じない限り、第２実施形態に援用されてよい。このとき、図１１の例に関しては、振動部６１１が振動部１１に相当し、固定部６１３が固定部１３に相当すると捉えられてもよい。

【0195】

図示の例とは異なる態様としては、例えば、パッド部６０９ａが第１実施形態と同様に、固定部６１３の振動部６１１の側の縁部６２１ａを超えて振動部６１１の外周側部分に広がっている態様が挙げられる。なお、この態様は、別の観点では、第１実施形態の説明を単純に第２実施形態に援用した態様である。また、他の態様としては、励振電極６０７から延びる配線部６０９ｂが、内側部６１３ａを超えて、外側部６１３ｂへ到達する態様が挙げられる。

【0196】

図示の例のように、パッド部６０９ａの振動部６１１側の縁部が内側部６１３ａに位置する態様において、上記縁部の具体的な位置は任意である。例えば、上記縁部は、縁部６２１ａと縁部６２１ｂ（又は縁部６２１ｂに隣接する中間部（不図示）の内側部６１３ａ側の縁部）との間の中間位置に位置していてもよいし、上記中間位置に対して、振動部６１１側又は外側部６１３ｂ側に位置していてもよい。

【0197】

第１実施形態の説明で述べたように、配線部６０９ｂの具体的な位置、形状及び大きさ等は任意である。図示の例では、配線部６０９ｂは、励振電極６０７から、縁部６２１ａ（別の観点では振動部６１１）が構成する４つの隅部のいずれかに向かって直線状に延びている。その後、配線部６０９ｂは、隅部からＸ方向に平行に延びてパッド部６０９ａに至っている。図示の例とは異なる態様としては、例えば、配線部６０９ｂの全体がＸ方向に平行に延びる態様、配線部６０９ｂの全体がＸ方向に傾斜して直線状に延びる態様、屈曲位置が隅部よりも振動部６１１側又は内側部６１３ａ側に位置している態様が挙げられる。

【0198】

（４．凹部）
凹部６１５Ａ及び６１５Ｂは、その具体的な位置を除いて、凹部１５と同様のものである。従って、繰り返しになるが、矛盾等が生じない限り、凹部１５の説明は、凹部６１５Ａ及び６１５Ｂに援用されてよい。従って、例えば、１つの引出電極６０９に重なる凹部６１５Ａ及び凹部６１５Ｂの数等は任意である。

【0199】

図示の例では、凹部６１５Ｂは、複数で設けられ、縁部６２１ｂに沿って配列され、パッド部６０９ａに重なっている。この構成は、第１実施形態の凹部１５の構成と類似している。従って、例えば、第１実施形態の凹部１５の数及び位置、並びに凹部１５と引出電極９との位置関係の説明は、振動部６１１及び内側部６１３ａが第１実施形態の振動部６１１に相当し、外側部６１３ｂが第１実施形態の固定部１３に相当すると捉えて、凹部６１５Ｂに援用されてよい。

【0200】

以下の説明では、便宜上、＋Ｙ’側の面を例に取って凹部６１５Ａについて説明する。ただし、－Ｙ’側の面も同様である。

【0201】

図示の例では、既述のとおり、凹部６１５Ａは、縁部６２１ａが構成する隅部に位置している。より詳細には、縁部６２１ａは、振動部６１１に対して、＋Ｘ側、－Ｘ側、＋Ｚ’側及び－Ｚ’側に位置する４つの部分縁部６２１ａａを有しており、４つの隅部を有している。そして、４つの隅部のそれぞれに凹部６１５Ａが設けられている。換言すれば、互いに交差する２つの部分縁部６２１ａａが構成する角部に凹部６１５Ａが設けられている。

【0202】

凹部６１５Ａが隅部に位置する（あるいは縁部６２１ａの隅部を切り欠く）等というとき、特に断りが無い限り、凹部６１５Ａは、上記隅部を構成する２つの部分縁部６２１ａａのうち、一方のみを切り欠いていてもよいし、双方を切り欠いていてもよい。図示の例では、凹部６１５Ａは、振動部６１１に対して＋Ｘ側又は－Ｘ側に位置する部分縁部６２１ａａを切り欠いており、振動部６１１に対して＋Ｚ’側又は－Ｚ’側に位置する部分縁部６２１ａａを切り欠いていない。凹部６１５Ａが２つの部分縁部６１２ａａのうち一方のみを切り欠く態様において、図示の例とは異なり、＋Ｚ’側又は－Ｚ’側の部分縁部６２１ａａが切り欠かれてもよい。

【0203】

また、凹部６１５Ａが隅部に位置する（あるいは縁部６２１ａの隅部を切り欠く）等というとき、特に断りが無い限り、凹部６１５Ａは、上記隅部を構成する２つの部分縁部６２１ａａの交点（凹部６１５Ａによって切り欠かれているときは２つの部分縁部６２１ａａを延長して得られる仮想的な点）に重なっていてもよいし、上記交点から比較的短い距離で離れていてもよい。なお、製造上の誤差程度の距離で、凹部６１５Ａと上記交点とが離れていてよいことは当然である。上記短い距離は、製造誤差であるか否かに関わらず、例えば、凹部６１５Ａの幅ｗ１（図３参照）の１／２以下、１／３以下又は１／５以下であってよく、また、例えば、１０μｍ以下、５μｍ以下又は１μｍ以下であってよい。

【0204】

なお、隅部（又は角部）が凹部６１５Ａに切り欠かれると、隅部が存在していないという考え方又は表現もできる。しかし、便宜上、本開示では、そのような考え方又は表現はしない。隅部が凹部６１５Ａによって切り欠かれていても、互いに交差する方向に延びる部分縁部６２１ａａを延長することによって、凹部６１５Ａが設けられなかったならば、角部（隅部）が構成されたであろうことは容易に把握される。

【0205】

凹部６１５Ａの形状及び寸法は、隅部を構成する２つの部分縁部６２１ａａのうち、いずれの部分縁部６２１ａａを切り欠くかによらずに任意である。例えば、凹部６１５Ａの平面形状は、第１実施形態で述べたように、矩形状、三角形状又は半円状であってよい。また、例えば、凹部６１５Ａが１つの部分縁部６２１ａａのみを切り欠く態様において、平面視における凹部６１５Ａの形状及び寸法については、第１実施形態の説明がそのまま援用されてよい。また、例えば、凹部６１５Ａが２つの部分縁部６２１ａａを切り欠く態様において、平面視における凹部６１５Ａの形状は、２つの部分縁部６２１ａａが成す角度を２等分するような直線（例えば対角線）に沿う方向に奥行きを有するような形状であってもよいし、一方の部分縁部６２１ａａに直交する方向に奥行きを有しつつ、他方の縁部６２１ａに幅が食み出すような形状であってもよい。第１実施形態の説明で述べた幅ｗ１及び奥行きｄ１等を計測する方向は、凹部６１５Ａの形状から合理的に判断されてよい。凹部６１５Ａが２つの部分縁部６２１ａａを切り欠いており、いずれの部分縁部６２１ａａを基準とするかで奥行きｄ１の値が異なる場合は、第１実施形態と同様に、最大になるように奥行きｄ１が特定されてよい。

【0206】

図示の例のように、凹部６１５Ａが振動部６１１に対して＋Ｘ側又は－Ｘ側に位置する部分縁部６２１ａａのみを切り欠く態様においては、縁部を切り欠く向きが第１実施形態の凹部１５と同じである。従って、凹部１５の側面が結晶面によって構成される場合の傾斜角の説明は、そのまま凹部６１５Ａの側面が結晶面によって構成される場合の傾斜角に援用可能である。図示の例とは異なり、凹部６１５Ａが振動部６１１に対して＋Ｚ’側又は－Ｚ’側に位置する部分縁部６２１ａａのみを切り欠く態様においては、各側面と直交座標系ＸＹ’Ｚ’との関係を考慮して、適宜に第１実施形態の傾斜角の説明が援用されてよい。例えば、＋Ｘ側又は－Ｘ側の側面の傾斜角については、第３側面１５ｄの傾斜角θ２の説明が援用されてよい。＋Ｚ’側の側面の傾斜角については、第１側面１５ｂの傾斜角θ３の説明が援用されてよい。－Ｚ’側の側面の傾斜角については、第２側面１５ｃの傾斜角θ４の説明が援用されてよい。

【0207】

図示の例では、凹部６１５Ａは、２つの部分縁部６２１ａａのうち一方（より詳細には振動部６１１に対して＋Ｘ側又は－Ｘ側に位置する部分縁部６２１ａａ）のみを切り欠いている。そして、凹部６１５Ａの上面縁部（第１領域６２２Ａの高さにおける縁部）は、切り欠かれていない部分縁部６２１ａａと概ね直線状につながっている。また、別の観点では、凹部６１５Ａの＋Ｚ’側又は－Ｚ’側の側面は、内側部６１３ａのうち振動部６１１に対して＋Ｚ’側に位置する部分の振動部６１１側の側面（別の観点では不図示の中間部の傾斜面）、又は内側部６１３ａのうち振動部６１１に対して－Ｚ’側に位置する部分の振動部６１１側の側面（別の観点では不図示の中間部の傾斜面）と概ね同一の平面を構成するようにつながっている。この点は、隅部に位置しない凹部１５との形状の差異である。なお、図示の例とは異なり、凹部６１５Ａの上面縁部と、部分縁部６２１ａａとは、直線状につながるのではなく、角部を構成するように互いに交差してつながっていてもよいし、及び／又は互いにつながる位置において少なくとも一方が曲線状になっていたりしてもよい。

【0208】

凹部６１５Ａは、既述のとおり、矩形状の４つの隅部に設けられている。換言すれば、４つの凹部６１５Ａは、Ｘ方向に平行な振動部６１１（又は励振電極６０７）の中心線（不図示）に対して線対称に設けられている。また、４つの凹部６１５Ａは、Ｚ’方向に平行な振動部６１１（又は励振電極６０７）中心線に対して線対称に設けられている。第１実施形態で述べたように、複数の凹部６１５Ａの形状及び寸法は、互いに同一であってもよいし、互いに異なっていてもよい。

【0209】

図示の例では、４つの凹部６１５Ａのうち、２つは、引出電極６０９に重なっている。第１実施形態の説明でも述べたように、凹部６１５Ａは、引出電極６０９に重なる位置にのみ設けられてよい。従って、例えば、＋Ｙ’側の面においては、＋Ｚ’側の２つの凹部６１５Ａが設けられず、－Ｚ’側の２つの凹部６１５Ａのみが設けられてもよい。また、例えば、図示の例とは異なり、第１導体パターン６０５Ａが１つの引出電極６０９のみを有する態様においては、１つの凹部６１５Ａのみが設けられてもよい。導体パターン６０５の説明からも明らかなように、凹部６１５Ａは、引出電極６０９のうち配線部６０９ｂと重なっている。繰り返しになるが、例えば、図１０を参照して説明した配線部２０９ｂ及び凹部２１５の説明は、矛盾等が生じない限り、配線部６０９ｂ及び凹部６１５Ａに援用されてよい。

【0210】

第１実施形態に係る凹部１５の深さに関連する説明を凹部６１５Ａに援用するときは、例えば、矛盾等が生じない限り、第３面２１Ａの語は第１領域６２２Ａの語に置換されてよい。第１実施形態に係る凹部１５の深さに関連する説明を凹部６１５Ｂに援用するときは、例えば、矛盾等が生じない限り、第３面２１Ａの語は第２領域６２２Ｂの語に置換されてよく、第１面１９Ａの語は第１面６１９Ａ及び／又は第１領域６２２Ａの語に置換されてよい。さらに、振動部１１の厚さの語は、矛盾等が生じない限り、置換されないか、及び／又は内側部６１３ａの語に置換されてよい。

【0211】

第１実施形態の説明では、第１面１９Ａから第３面２１Ａまでの高さｈ１の具体例として、１６μｍ以下又は１２μｍ以下を例示した。この範囲は、上記のとおり、第２実施形態における第１面６１９Ａから第１領域６２２Ａまでの高さ、第１領域６２２Ａから第２領域６２２Ｂまでの高さ、及び／又は第１面６１９Ａから第２領域６２２Ｂまでの高さに援用されてよい。ただし、第２実施形態では、既述のとおり、第１実施形態に比較して、１つの段差の大きさを小さくすることが容易である。従って、第２実施形態では、第１実施形態の説明で例示した１つの段差の大きさ（高さｈ１）を更に小さくすることができる。例えば、第１面６１９Ａから第１領域６２２Ａまでの高さ、及び／又は第１領域６２２Ａから第２領域６２２Ｂまでの高さは、上記の半分の８μｍ以下又は６μｍ以下とされてよい。

【0212】

（５．水晶素子の製造方法）
水晶素子６０１の製造方法は、例えば、概略、第１実施形態に係る水晶素子１の製造方法と同様とされてよい。固定部６１３の厚みの段階的な変化は、例えば、水晶素板６０３にエッチングマスクを形成してエッチングする工程を増やすことによって実現されてよい。

【0213】

具体的には、例えば、まず、第１実施形態と同様に、水晶素板６０３の平面形状と同様の形状を有するエッチングマスクを介してエッチングを行う。次に、固定部６１３の平面形状と同様の形状を有するエッチングマスクを介してエッチングを行う。次に、外側部６１３ｂの平面形状と同様の形状を有するエッチングマスクを介してエッチングを行う。このようにすることにより、振動部６１１、振動部６１１よりも厚い内側部６１３ａ、及び内側部６１３ａよりも厚い外側部６１３ｂが形成される。

【0214】

（６．水晶素子についてまとめ）
以上のとおり、第２実施形態においても、水晶素子６０１は、圧電素板（水晶素板６０３）と、第１励振電極（例えば第１導体パターン６０５Ａの励振電極６０７）と、第１引出電極（例えば第１導体パターン６０５Ａの引出電極６０９）とを有している。水晶素板６０３は、平面視において互いに異なる領域を構成する振動部６１１及び固定部６１３を有している。振動部６１１は、第１側（＋Ｙ’側）に面している第１面６１９Ａと、第１側とは反対側の第２側（－Ｙ’側）に面している第２面６１９Ｂとを有している。固定部６１３は、＋Ｙ’側に面している第３面６２１Ａと、－Ｙ’側に面している第４面６２１Ｂとを有している。第３面６２１Ａは、第１面６１９Ａよりも＋Ｙ’側に高くなっている。励振電極６０７は、第１面６１９Ａに重なっている。引出電極６０９は、励振電極６０７から引き出されて第３面６２１Ａに重なっている。水晶素板６０３は、第３面６２１Ａから－Ｙ’側に窪む第１凹部（＋Ｙ’側の凹部６１５Ａ）を有している。凹部６１５Ａは、平面視において第３面６２１Ａの第１面６１９Ａの側の第１縁部（縁部６２１ａ）を切り欠いている。引出電極６０９は、第１面６１９Ａから凹部６１５Ａを経由して第３面６２１Ａへ至る部分を有している。

【0215】

従って、例えば、第１実施形態と同様の効果が奏される。具体的には、例えば、凹部６１５Ａによって引出電極６０９の導通の信頼性を向上させることができる。また、例えば、固定部６１３の全体としては強度を確保しつつ、振動部６１１側の一部において剛性を下げ、バンプ１０５（図７）から固定部６１３に付与される歪を凹部６１５Ａによって吸収し、振動特性が低下する蓋然性を低減できる。また、例えば、振動部６１１から固定部６１３の縁部の種々の位置に到達した波が、同一方向へ同一の位相で反射される蓋然性を低減し、反射波がノイズとして現れる蓋然性を低くすることができる。

【0216】

第２実施形態では、第１縁部（縁部６２１ａ）は、第１部分縁部（例えば＋Ｘ側の部分縁部６２１ａａ）と、第２部分縁部（例えば－Ｚ’側の部分縁部６２１ａａ）とを有している。第１部分縁部は、平面視において振動部６１１に対して第１方向（例えばＸ方向）の一方側（＋Ｘ側）に位置している。第２部分縁部は、平面視において振動部６１１に対して第１方向に直交する第２方向（例えばＺ’方向）の一方側（例えば－Ｚ’側）に位置しており、第１部分縁部と隅部を構成する。第１凹部（凹部６１５Ａ）は、上記隅部において第１部分縁部及び第２部分縁部の少なくとも一方を切り欠いている。

【0217】

この場合、第２実施形態の概要の説明（第２章第１節）で述べたように、例えば、引出電極６０９が励振電極６０７から隅部へ向かって延びているから、利用される振動モード等にもよるが、引出電極６０９が振動に及ぼす影響が低減される。また、互いに同一方向（図示の例ではＸ方向）に沿っている凹部６１５Ａの側面と内側部６１３ａの側面とをつなげることによって、凹部６１５Ａの側面を実質的に延長することができる。その結果、凹部６１５Ａの側面を経由する引出電極６０９の導通面積を確保して、導通の信頼性を向上させることができる。

【0218】

第３面６２１Ａは、第１領域６２２Ａと、第２領域６２２Ｂとを有してよい。第１領域６２２Ａは、上記第１縁部（縁部６２１ａ）を有している。第２領域６２２Ｂは、平面視において第１領域６２２Ａに対して第１面６１９Ａとは反対側に位置しており、第１領域６２２Ａよりも第１側（＋Ｙ’側）に高くなっている。第１引出電極（例えば第１導体パターン６０５Ａの＋Ｘ側の引出電極６０９）は、第１領域６２２Ａを経由して第２領域６２２Ｂへ至っていてよい。

【0219】

この場合、例えば、第２実施形態の概要の説明で述べたように、外側部６１３ｂの厚さ（換言すれば強度）を確保しつつ、第１面６１９Ａから第１領域６２２Ａまでの高さを低くして、縁部６２１ａにおける断線の蓋然性を低減できる。また、例えば、外側部６１３ｂが内側部６１３ａを介さずに振動部６１１につながる態様に比較して、固定部６１３が振動部６１１の振動を規制する作用が低減され、振動特性が向上する。

【0220】

圧電素板（水晶素板６０３）は、第２領域６２２Ｂから第２側（例えば－Ｙ’側）に窪む第２領域凹部（凹部６１５Ｂ）を有していてよい。凹部６１５Ｂは、平面視において第２領域６２２Ｂの第１領域６２２Ａ側の第２領域縁部（縁部６２１ｂ）を切り欠いていてよい。第１引出電極（例えば第１導体パターン６０５Ａの＋Ｘ側の引出電極６０９）は、第１凹部（凹部６１５Ａ）から凹部６１５Ｂを経由して第２領域６２２Ｂへ至っていてよい。

【0221】

この場合、例えば、縁部６２１ａにおける断線の蓋然性が凹部６１５Ａによって低減されるだけでなく、縁部６２１ｂにおける断線の蓋然性の凹部６１５Ｂによって低減される。その結果、引出電極６０９全体の導通の信頼性が向上する。

【0222】

第１引出電極（例えば第１導体パターン６０５Ａの＋Ｘ側の引出電極６０９）は、配線部６０９ｂと、パッド部６０９ａとを有していてよい。配線部６０９ｂは、第１励振電極（第１導体パターン６０５Ａの励振電極６０７）から延び出て第１凹部（凹部６１５Ａ）を通過していてよい。パッド部６０９ａは、第２領域６２２Ｂに重なっている部分を有しており、第１縁部（縁部６２１ａ）に沿う方向において配線部６０９ｂよりも広がっていてよい。

【0223】

この場合、例えば、パッケージ１０３に固定されて振動に影響を及ぼすパッド部６０９ａが振動部６１１から離される。配線部６０９ｂが凹部６１５Ａを通過する場合、パッド部６０９ａが凹部６１５Ａに重なる場合に比較して導通面積は低くなるが、上記のとおり、第１面６１９Ａから第１領域６２２Ａへの高さは低くされ、断線の蓋然性は低減されている。従って、全体として、導通の信頼性を向上させつつ、振動の特性を向上させることができる。

【0224】

第１領域６２２Ａは、平面視において振動部６１１を囲んでいてよい。第２領域６２２Ｂは、平面視において、振動部６１１及び第１領域６２２Ａに対して、第１方向（例えばＸ方向）の一方側又は両側に位置していてよく、かつ第２方向（例えばＺ’方向）の両側のいずれにも位置しないようにされてよい。

【0225】

この場合、例えば、振動部６１１が第２領域６２２Ｂによって囲まれている態様（当該態様も本開示に係る技術に含まれる。）に比較して、相対的に強度が高い第２領域６２２Ｂが振動部６１１の振動に影響を及ぼす影響が低減される。一方で、第１領域６２２Ａによって振動部６１１が囲まれていない態様（当該態様も本開示に係る技術に含まれる。）に比較して、衝撃等によって振動部６１１が変形する蓋然性を低減することができる。従って、全体として、強度を向上させつつ、振動特性を向上させることができる。

【0226】

圧電素板（水晶素板６０３）は、第１領域６２２Ａと第２領域６２２Ｂとの間にて、水晶素板６０３を厚さ方向に貫通する貫通孔６２１ｈを有していてよい。

【0227】

この場合、例えば、既述のとおり、表裏の導通の容易化及び／又は漏れ振動の伝搬の低減が図られる。また、振動部６１１と第１領域６２２Ａ（内側部６１３ａ）との間に貫通孔が構成される態様に比較して、振動部６１１及び内側部６１３ａからなる部分（相対的に薄い部分）の強度を向上させることが容易化される。

【0228】

水晶素子６０１は、第２励振電極（例えば－Ｙ’側の励振電極６０７）と、第２引出電極（例えば第２導体パターン６０５Ｂの＋Ｘ側の引出電極６０９）と、第３引出電極（例えば第１導体パターン６０５Ａの－Ｘ側の引出電極６０９）と、第４引出電極（例えば第２導体パターン６０５Ｂの－Ｘ側の引出電極６０９）と、を更に有していてよい。第２励振電極は、第２面６１９Ｂに重なっていてよい。第２引出電極は、第２励振電極から引き出されて第４面６２１Ｂに重なっていてよい。第３引出電極は、第１励振電極（例えば＋Ｙ’側の励振電極６０７）から第１引出電極（第１導体パターン６０５Ａの＋Ｘ側の引出電極６０９）とは異なる方向へ引き出されて第３面６２１Ａに重なっていてよい。第４引出電極は、第２励振電極から第２引出電極とは異なる方向へ引き出されて第４面６２１Ｂに重なっていてよい。固定部６１３は、平面視において振動部６１１を囲んでいてよい。第１引出電極は、第１励振電極に対して、第１部分縁部（例えば＋Ｘ側の部分縁部６２１ａａ）の側かつ第２部分縁部（例えば－Ｚ’側の部分縁部６２１ａａ）の側に位置する部分を有していてよい。第２引出電極は、第２励振電極に対して、第１部分縁部の側（＋Ｘ側）かつ第２部分縁部とは反対側（＋Ｚ’側）に位置する部分を有していてよい。第３引出電極は、第１励振電極に対して、第１部分縁部の側とは反対側（－Ｘ側）かつ第２部分縁部の側（－Ｚ’側）に位置する部分を有していてよい。第４引出電極は、第２励振電極に対して、第１部分縁部とは反対側（－Ｘ側）かつ第２部分縁部とは反対側（＋Ｚ’側）に位置する部分を有していてよい。

【0229】

この場合、例えば、既述のとおり、種々の実装態様が可能になる。また、導体パターン６０５の配置がＸ方向に平行な中心線及びＺ’方向に平行な中心線に対して対称となるから、導体パターン６０５が電気的及び／又は質量的に水晶素板６０３の振動に及ぼす影響が対称になりやすい。その結果、意図されていない特異な振動が生じる蓋然性が低減される。ひいては、水晶素子６０１の特性が向上する。

【0230】

第１縁部（縁部６２１ａ）は、第３部分縁部（例えば－Ｘ側の部分縁部６２１ａａ）と、第４部分縁部（例えば＋Ｚ’側の部分縁部６２１ａａ）とを有していてよい。第３部分縁部は、振動部６１１を挟んで第１部分縁部（例えば＋Ｘ側の部分縁部６２１ａａ）に対向していてよい。第４部分縁部は、振動部６１１を挟んで第２部分縁部（例えば－Ｚ’側の部分縁部６２１ａａ）に対向していてよい。圧電素板（水晶素板６０３）は、平面視において、第１部分縁部、第２部分縁部、第３部分縁部及び第４部分縁部が構成する４つの隅部に、第３面６２１Ａから第２側（－Ｙ’側）に窪み、縁部６２１ａを切り欠く、第１凹部を含む合計で４つの凹部６１５Ａを有していてよい。

【0231】

この場合、凹部６１５Ａが、振動部６１１を基準として、Ｘ方向に平行な中心線に対して線対称に配置され、かつＺ’方向に平行な中心線に対して線対称に配置される。その結果、凹部６１５Ａが振動部６１１の振動に及ぼす影響が対称になりやすい。その結果、意図されていない特異な振動が生じる蓋然性が低減される。ひいては、水晶素子６０１の特性が向上する。

【0232】

以上の第２実施形態において、水晶素子６０１は圧電振動素子の一例である。水晶素板６０３は圧電素板の一例である。＋Ｙ’側は第１側の一例である。－Ｙ’側は第２側の一例である。第１導体パターン６０５Ａの励振電極７は第１励振電極の一例である。第２導体パターン６０５Ｂの励振電極７は第２励振電極の一例である。第１導体パターン６０５Ａの＋Ｘ側の引出電極９は第１引出電極の一例である。第２導体パターン６０５Ｂの＋Ｘ側の引出電極は第２引出電極の一例である。第１導体パターン６０５Ａの－Ｘ側の引出電極９は第３引出電極の一例である。第２導体パターン６０５Ｂの－Ｘ側の引出電極は、第４引出電極の一例である。＋Ｙ’側の縁部６２１ａは第１縁部の一例である。－Ｙ’側の縁部６２１ａは第２縁部の一例である。＋Ｙ’側の凹部６１５Ａは第１凹部の一例である。－Ｙ’側の凹部６１５Ａは第２凹部の一例である。＋Ｘ側の部分縁部６２１ａａは第１部分縁部の一例である。－Ｚ’側の部分縁部６２１ａａは第２部分縁部の一例である。－Ｘ側の部分縁部６２１ａａは第３部分縁部の一例である。＋Ｚ’側の部分縁部６２１ａａは第４部分縁部の一例である。縁部６２１ｂは第２領域縁部の一例である。凹部６１５Ｂは第２領域凹部の一例である。

【0233】

本開示に係る技術は、以上の実施形態等に限定されず、種々の態様で実施されてよい。

【0234】

上述した実施形態及び種々の例は適宜に組み合わされてよい。例えば、図１０に示した固定部が振動部に対して厚み方向の一方側にのみ高くなる構成は、図９Ａ及び図９Ｂに例示した２辺以上に亘って固定部を有している構成に適用されてもよい。第２実施形態で示した貫通孔は、第１実施形態に適用されてもよい。第２実施形態で示した引出電極が重ならない凹部は、第１実施形態に適用されてもよい。また、第２実施形態で述べたように、圧電素板は、固定部と振動部との間に厚さが変化する中間部を有していなくてもよく、これは、第１実施形態においても同様である。

【0235】

圧電体は、水晶に限定されない。例えば、圧電体は、他の単結晶であってもよいし、多結晶からなるもの（例えばセラミック）であってもよい。また、圧電体は、厚み滑り振動の基本波振動を利用するものに限定されず、他の振動モードを利用するものであってもよいし、オーバートーン振動を利用するものであってもよい。さらに、圧電体は、第１面（又は第２面）のみに形成された励振電極によって励振される弾性波を利用するものであってもよい。厚み滑り振動を利用する水晶素板のカットは、ＡＴカットに限定されない。例えば、ＢＴカットであってもよい。また、水晶素板は、水晶のみからなるものに限定されず、水晶に金属等からなるドーパントを注入した材料からなるものも含むものとする。

【0236】

圧電振動素子は、２つの導電性のバンプ以外の手段によって実装されてもよい。例えば、１つの引出電極のうちの固定部の下面に位置するパッド部が１つの導電性のバンプによってパッケージのパッドに接合されるとともに、１つの引出電極のうちの固定部の上面に位置するパッド部が１つのボンディングワイヤによってパッケージのパッドに接続されてもよい。また、固定部の下面が絶縁性の接着剤によってパッケージに接合されるとともに、２つの引出電極のうちの固定部の上面に位置するパッド部が２つのボンディングワイヤによってパッケージの２つのパッドに接続されてもよい。

【0237】

本開示からは、第１凹部（凹部６１５Ａ）が振動部の隅部に位置することを要件としない圧電振動素子を抽出可能である。当該圧電振動素子は、例えば、固定部の厚さが段階的に変化することを特徴としたり、１つの励振電極に対して２つの引出電極が設けられることを特徴としたりしてよい。

【0238】

また、本開示からは、第１凹部（例えば＋Ｙ’側の凹部１５）の、第１縁部（２１ａ）に沿う方向の大きさを幅というとき、側面（例えば第１側面１５ｂ）は、第１凹部の幅が第１側（＋Ｙ’側）ほど大きくなる向きで、第１凹部の底部から第３面（２１Ａ）に亘って傾斜する傾斜面を有しており、引出電極（９）は、第１凹部の底部から上記傾斜面を経由して上記第３面へ至る部分を有している、ということを要件としない圧電振動素子を抽出可能である。当該圧電振動素子は、例えば、凹部の幅及び／又は奥行きが所定部位に比較して大きいことを特徴としたり、凹部の底面（１５ａ）が第３面の縁部（２１ａ）よりも第３面の側に入り込んでいることを特徴としたり、引出電極の配線部（９ｂ）が凹部の少なくとも一部に重なることを特徴としたり、凹部の側面が結晶面を有していることを特徴としたりしてよい。

【0239】

本開示からは、以下の概念を抽出できる。

【0240】

（概念１）
平面視において互いに異なる領域を構成する振動部及び固定部を有している圧電素板であって、前記振動部が、第１側に面している第１面と、前記第１側とは反対側の第２側に面している第２面とを有しており、前記固定部が、前記第１側に面している第３面と、前記第２側に面している第４面とを有しており、前記第３面が、前記第１面よりも前記第１側に高くなっている圧電素板と、
前記第１面に重なっている第１励振電極と、
前記第１励振電極から引き出されて前記第３面に重なっている第１引出電極と、
を有しており、
前記圧電素板は、前記第３面から前記第２側に窪む第１凹部を有しており、
前記第１凹部は、平面視において前記第３面の前記第１面の側の第１縁部を切り欠いており、
前記第１引出電極は、前記第１面から前記第１凹部を経由して前記第３面へ至る部分を有しており、
前記第１縁部は、
平面視において前記振動部に対して第１方向の一方側に位置している第１部分縁部と、
平面視において前記振動部に対して前記第１方向に直交する第２方向の一方側に位置しており、前記第１部分縁部と隅部を構成する第２部分縁部と、を有しており、
前記第１凹部は、前記隅部において前記第１部分縁部及び前記第２部分縁部の少なくとも一方を切り欠いている
圧電振動素子。

【0241】

（概念２）
前記第３面は、
前記第１縁部を有している第１領域と、
平面視において前記第１領域に対して前記第１面とは反対側に位置しており、前記第１領域よりも前記第１側に高くなっている第２領域と、を有しており、
前記第１引出電極は、前記第１領域を経由して前記第２領域へ至っている
概念１に記載の圧電振動素子。

【0242】

（概念３）
前記圧電素板は、前記第２領域から前記第２側に窪む第２領域凹部を有しており、
前記第２領域凹部は、平面視において前記第２領域の前記第１領域側の第２領域縁部を切り欠いており、
前記第１引出電極は、前記第１凹部から前記第２領域凹部を経由して前記第２領域へ至っている
概念２に記載の圧電振動素子。

【0243】

（概念４）
前記第１引出電極は、
前記第１励振電極から延び出て前記第１凹部を通過する配線部と、
前記第２領域に重なっている部分を有しており、前記第１縁部に沿う方向において前記配線部よりも広がっているパッド部と、を有している
概念２又は３に記載の圧電振動素子。

【0244】

（概念５）
前記第１領域は、平面視において前記振動部を囲んでおり、
前記第２領域は、平面視において、前記振動部及び前記第１領域に対して、前記第１方向の一方側又は両側に位置しており、前記第２方向の両側のいずれにも位置していない
概念２～４のいずれか１つに記載の圧電振動素子。

【0245】

（概念６）
前記圧電素板は、前記第１領域と前記第２領域との間にて、前記圧電素板を厚さ方向に貫通する貫通孔を有している
概念２～５のいずれか１つに記載の圧電振動素子。

【0246】

（概念７）
前記第２面に重なっている第２励振電極と、
前記第２励振電極から引き出されて前記第４面に重なっている第２引出電極と、
前記第１励振電極から前記第１引出電極とは異なる方向へ引き出されて前記第３面に重なっている第３引出電極と、
前記第２励振電極から前記第２引出電極とは異なる方向へ引き出されて前記第４面に重なっている第４引出電極と、
を更に有しており、
前記固定部は、平面視において前記振動部を囲んでおり、
前記第１引出電極は、前記第１励振電極に対して、前記第１部分縁部の側かつ前記第２部分縁部の側に位置する部分を有しており、
前記第２引出電極は、前記第２励振電極に対して、前記第１部分縁部の側かつ前記第２部分縁部とは反対側に位置する部分を有しており、
前記第３引出電極は、前記第１励振電極に対して、前記第１部分縁部の側とは反対側かつ前記第２部分縁部の側に位置する部分を有しており、
前記第４引出電極は、前記第２励振電極に対して、前記第１部分縁部とは反対側かつ前記第２部分縁部とは反対側に位置する部分を有している
概念１～６のいずれか１つに記載の圧電振動素子。

【0247】

（概念８）
前記第１縁部は、
前記振動部を挟んで前記第１部分縁部に対向する第３部分縁部と、
前記振動部を挟んで前記第２部分縁部に対向する第４部分縁部と、を有しており、
前記圧電素板は、平面視において、前記第１部分縁部、前記第２部分縁部、前記第３部分縁部及び前記第４部分縁部が構成する４つの隅部に、前記第３面から前記第２側に窪み、前記第１縁部を切り欠く、前記第１凹部を含む合計で４つの凹部を有している
概念１～７のいずれか１つに記載の圧電振動素子。

【0248】

（概念９）
前記第１凹部の、前記第１縁部に沿う方向の大きさを幅というとき、前記第１凹部の、平面視において前記第１縁部に交差する側面は、前記第１凹部の幅が前記第１側ほど大きくなる向きで、前記第１凹部の底部から前記第３面に亘って傾斜する傾斜面を有しており、
前記第１引出電極は、前記第１凹部の底部から前記傾斜面を経由して前記第３面へ至る部分を有している
概念１～８のいずれか１つに記載の圧電振動素子。

【0249】

（概念１０）
平面視において互いに異なる領域を構成する振動部及び固定部を有している圧電素板であって、前記振動部が、第１側に面している第１面と、前記第１側とは反対側の第２側に面している第２面とを有しており、前記固定部が、前記第１側に面している第３面と、前記第２側に面している第４面とを有しており、前記第３面が、前記第１面よりも前記第１側に高くなっている圧電素板と、
前記第１面に重なっている第１励振電極と、
前記第１励振電極から引き出されて前記第３面に重なっている第１引出電極と、
を有しており、
前記圧電素板は、前記第３面から前記第２側に窪む第１凹部を有しており、
前記第１凹部は、平面視において前記第３面の前記第１面の側の第１縁部を切り欠いており、
前記第１引出電極は、前記第１面から前記第１凹部を経由して前記第３面へ至る部分を有しており、
前記第１凹部の、前記第１縁部に沿う方向の大きさを幅というとき、前記第１凹部の、平面視において前記第１縁部に交差する側面は、前記第１凹部の幅が前記第１側ほど大きくなる向きで、前記第１凹部の底部から前記第３面に亘って傾斜する傾斜面を有しており、
前記第１引出電極は、前記第１凹部の底部から前記傾斜面を経由して前記第３面へ至る部分を有している
圧電振動素子。

【0250】

（概念１１）
前記第１凹部の前記側面が結晶面を有している
概念９又は１０に記載の圧電振動素子。

【0251】

（概念１２）
前記第１凹部の、前記第１縁部に沿う方向の大きさを幅というとき、前記第１凹部の、前記第１縁部の高さにおける幅は、前記振動部の厚さよりも大きい
概念１～１１のいずれか１つに記載の圧電振動素子。

【0252】

（概念１３）
平面視における前記第１凹部の前記第１縁部からの奥行きであって、前記第１縁部の高さにおける奥行きは、前記振動部の厚さよりも大きい
概念１～１２のいずれか１つに記載の圧電振動素子。

【0253】

（概念１４）
前記第１凹部の、前記第１縁部に沿う方向の大きさを幅というとき、前記第１凹部の、前記第１縁部の高さにおける幅は、前記第１面から前記第１縁部までの高さよりも大きい
概念１～１３のいずれか１つに記載の圧電振動素子。

【0254】

（概念１５）
平面視における前記第１凹部の前記第１縁部からの奥行きであって、前記第１縁部の高さにおける奥行きは、前記第１面から前記第１縁部までの高さよりも大きい
概念１～１４のいずれか１つに記載の圧電振動素子。

【0255】

（概念１６）
前記第１凹部の内面は、
前記第１面につながり、前記第１面と面一な底面と、
平面視において前記底面に対して前記第１面とは反対側に位置し、平面視において前記底面から離れるほど前記第１縁部の高さに近づく向きで傾斜しつつ、前記底面から前記第１縁部へ立ち上がる端面と、を有しており、
平面視において、前記底面は、前記第１縁部よりも前記第３面の側に入り込んでいる
概念１～１５のいずれか１つに記載の圧電振動素子。

【0256】

（概念１７）
前記圧電素板は、前記第１面と前記１縁部とをつなぎ、前記第１縁部の側ほど前記第１側に位置するように傾斜している第５面を有しており、
前記第１凹部の、前記第１縁部に沿う方向の大きさを幅というとき、前記第１凹部の、前記第１縁部の高さにおける幅は、平面視における前記第１面から前記第１縁部までの前記第５面の長さよりも大きい
概念１～１６のいずれか１つに記載の圧電振動素子。

【0257】

（概念１８）
前記圧電素板は、前記第１面と前記第１縁部とをつなぎ、前記第１縁部の側ほど前記第１側に位置するように傾斜している第５面を有しており、
平面視における前記第１凹部の前記第１縁部からの奥行きであって、前記第１縁部の高さにおける奥行きは、平面視における前記第１面から前記第１縁部までの前記第５面の長さよりも大きい
概念１～１７のいずれか１つに記載の圧電振動素子。

【0258】

（概念１９）
前記第１引出電極は、
前記第１励振電極から延び出ている配線部と、
前記配線部とつながっており、前記第１縁部に沿う方向において前記配線部よりも広がっているパッド部と、を有しており、
前記第１凹部は、平面視において前記配線部に重なる部分を有している
概念１～１８のいずれか１つに記載の圧電振動素子。

【0259】

（概念２０）
概念１～１９のいずれか１つに記載の圧電振動素子と、
前記圧電振動素子が実装されているパッケージと、
を有している圧電デバイス。

【符号の説明】

【0260】

１，６０１…水晶素子（圧電振動素子）、３，６０３…水晶素板（圧電素板）、７，６０７…励振電極（第１励振電極）、９，６０９…引出電極（第１引出電極）、１１，６１１…振動部、１３，６１３…固定部、１５，６１５Ａ…凹部（第１凹部）、１５ｂ…第１側面（側面）、１９Ａ，６１９Ａ…第１面、１９Ｂ，６１９Ｂ…第２面、２１Ａ，６２１Ａ…第３面、２１Ｂ，６２１Ｂ…第４面、２１ａ，６２１ａ…縁部（第１縁部）、６２１ａａ…部分縁部（第１部分縁部～第４部分縁部）、１０１…水晶デバイス（圧電デバイス）。

【図1】