特許 7646058 加圧システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2025-03-06

(45)【発行日】2025-03-14

(54)【発明の名称】加圧システム

(51)【国際特許分類】

   B30B 15/02 20060101AFI20250307BHJP

   B28B 3/02 20060101ALI20250307BHJP

【ＦＩ】

B30B15/02 D

B30B15/02 G

B28B3/02 A

B30B15/02 B

【請求項の数】 10

(21)【出願番号】P 2024102911

(22)【出願日】2024-06-26

【審査請求日】2024-06-28

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】000226242

【氏名又は名称】日機装株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100141173

【弁理士】

【氏名又は名称】西村 啓一

(72)【発明者】

【氏名】牧野 由

(72)【発明者】

【氏名】森永 高広

(72)【発明者】

【氏名】森 隆博

【審査官】飯田 義久

(56)【参考文献】

【文献】特開２００４－２１６４０４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０６－２７７７７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特許第７５３８９７２（ＪＰ，Ｂ１）

【文献】特開２００４－２９６７４６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭６１－２２９０６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ３０Ｂ １５／０２

Ｂ２８Ｂ ３／０２

Ｈ０１Ｌ ２１／６０３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

少なくとも１個のワークに加圧処理を実行する加圧システムであって、
複数の加圧ユニットと、
前記加圧処理が実行される１個の加圧エリアと、
上下方向視において、前記加圧エリアの側方に配置される複数の待機エリアと、
前記加圧ユニットそれぞれを、前記加圧ユニットそれぞれに対応する前記待機エリアと、前記加圧エリアと、の間で搬送可能に支持するユニット支持部材と、
を有してなり、
前記ワークが加圧されるとき、複数の前記加圧ユニットのうち、
１個の前記加圧ユニットは、前記加圧エリアにおいて、前記ワークの上方向または下方向に配置されて、前記ワークに対して相対移動可能であり、
残りの前記加圧ユニットは、対応する前記待機エリアに配置されて、
前記加圧ユニットそれぞれは、前記ワークに対して異なる加圧方式で、前記加圧処理を実行可能に構成されて、
前記加圧方式は、
前記ワークに対して、多方向から加圧する疑似等方圧方式と、前記ワークに対して、上下方向のみから加圧する１軸加圧方式と、のうち、いずれか一方と、
複数の前記ワークに対して、１個のプレス面で一括に加圧可能な一括加圧方式と、複数の前記ワークそれぞれに対して、区画された複数の個別プレス面それぞれで個別に加圧可能な個別加圧方式と、のうち、いずれか一方と、
が組み合わされた４種の方式のうち、少なくとも２種の方式、
を含み、
前記プレス面は、
前記プレス面を備える前記加圧ユニットが前記加圧エリアに配置されたとき、前記ワークの上方向または下方向に、前記ワークに向けられるように配置されて、
複数の前記個別プレス面は、
前記個別プレス面を備える前記加圧ユニットが前記加圧エリアに配置されたとき、対応する前記ワークの上方向または下方向に、対応する前記ワークに向けられるように配置されて、
前記ワークが加圧されていないとき、
前記プレス面は、平面状であり、
前記個別プレス面それぞれは、平面状である、
加圧システム。

【請求項2】

前記疑似等方圧方式で前記ワークを加圧する前記加圧ユニットは、
前記ワークが加圧されるとき、前記ワークの表面の形状に追従して変形する弾性体を備える加圧パッドと、
前記加圧パッドを保持する枠部材と、
前記ワークが加圧されるとき、前記加圧パッドを前記ワークに向けて加圧する金型と、
を備える、
請求項１に記載の加圧システム。

【請求項3】

前記１軸加圧方式で前記ワークを加圧する前記加圧ユニットは、
前記ワークが加圧されるとき、前記ワークに向けられる前記プレス面または前記個別プレス面、
を備えて、
前記プレス面または前記個別プレス面は、金属製で、平面状である、
請求項１に記載の加圧システム。

【請求項4】

前記個別加圧方式で前記ワークを加圧する前記加圧ユニットは、
前記ワークそれぞれを個別に加圧可能であり、前記個別プレス面を備える複数の個別加圧部材と、
前記個別加圧部材を支持する支持金型と、
前記個別加圧部材を前記ワークに向けて加圧可能な金型と、
前記個別加圧部材と、前記金型と、の間に配置される加圧パッドと、
上下方向視において前記金型の側方に配置されて、前記加圧パッドを保持する枠部材と、
を備えて、
前記枠部材は、前記金型に対して上下方向に相対移動可能であり、
前記個別加圧部材は、前記支持金型に対して上下方向に相対移動可能であり、
前記加圧パッドは、下方向視において、前記金型の全面を覆い、前記個別加圧部材それぞれの前記支持金型に対する相対移動量に応じて変形可能であり、
前記支持金型は、前記加圧パッドと前記枠部材との下方向に配置されて、前記枠部材に支持されて、
前記ワークが加圧されるとき、前記個別加圧部材は、対応する前記ワークに向けて前記支持金型から突出する、
請求項１に記載の加圧システム。

【請求項5】

前記個別加圧方式で前記ワークを加圧する前記加圧ユニットは、
前記ワークそれぞれを個別に加圧可能であり、前記個別プレス面を備える複数の個別加圧部材と、
前記個別加圧部材を支持する支持金型と、
前記個別加圧部材を前記ワークに向けて加圧可能な金型と、
前記個別加圧部材と、前記金型と、の間に配置される加圧パッドと、
上下方向視において前記金型の側方に配置されて、前記支持金型を支持する支持部材と、
を備えて、
前記支持部材は、前記金型に対して上下方向に相対移動可能であり、
前記個別加圧部材は、前記支持金型に対して上下方向に相対移動可能であり、
前記加圧パッドは、前記個別加圧部材それぞれの前記支持金型に対する相対移動量に応じて変形可能であり、
前記ワークが加圧されるとき、前記個別加圧部材は、対応する前記ワークに向けて前記支持金型から突出する、
請求項１に記載の加圧システム。

【請求項6】

前記個別加圧方式で前記ワークを加圧する前記加圧ユニットは、
前記ワークが加圧されるとき、前記ワークの表面の形状に追従して変形する弾性体を備える加圧パッドと、
前記加圧パッドを保持する枠部材と、
前記ワークが加圧されるとき、前記加圧パッドを前記ワークに向けて加圧する金型と、
を備えて、
前記枠部材は、前記加圧パッドを複数の個別加圧パッドに区画して、
前記金型は、
前記個別加圧パッドそれぞれに対応する複数の個別金型、
を備えて、
前記個別加圧パッドは、
前記個別プレス面、
を備える、
請求項１に記載の加圧システム。

【請求項7】

前記ワークを加熱または冷却可能な熱ユニット、
を有してなり、
前記熱ユニットは、
前記加圧エリアに移動した前記加圧ユニットよりも上方向に配置される上熱ユニットと、
前記ワークよりも下方向に配置される下熱ユニットと、
を備えて、
前記上熱ユニットと前記下熱ユニットそれぞれは、
熱金型と、
前記熱金型に内包されて、前記熱金型を加熱する加熱源と、
前記熱金型に内包されて、前記熱金型を冷却する冷却源と、
を備える、
請求項１に記載の加圧システム。

【請求項8】

前記ワークが載置される載置板と、
上下方向視において、前記加圧エリアの側方に配置される熱ユニット待機エリアと、
前記下熱ユニットを、前記熱ユニット待機エリアと前記加圧エリアとの間で往復搬送する熱ユニット搬送装置と、
前記加圧エリアに搬送された前記加圧ユニットを昇降させる昇降装置と、
を有してなり、
前記下熱ユニットは、
前記加熱源を備えて、前記ワークを加熱可能な下加熱ユニットと、
前記冷却源を備えて、前記ワークを冷却可能な下冷却ユニットと、
を備えて、
前記加圧ユニットが前記加圧エリアに位置しているとき、前記加圧ユニットは、前記載置板と共に、前記ワークが収容されるチャンバユニットを形成して、
前記昇降装置は、
前記下加熱ユニットと前記下冷却ユニットとが搬送されるとき、前記チャンバユニットを上昇させて、
前記下加熱ユニットまたは前記下冷却ユニットが前記加圧エリアに搬送されたとき、前記チャンバユニットを下降させて、前記チャンバユニットを前記加圧エリアに搬送された前記下加熱ユニットまたは前記下冷却ユニットに当接させる、
請求項７に記載の加圧システム。

【請求項9】

前記加圧エリアに搬送された前記加圧ユニットを昇降させる昇降装置、
を有してなり、
前記昇降装置は、前記加圧エリアに配置されて、
前記ユニット支持部材は、
前記加圧エリアに配置されて、前記昇降装置に取り付けられる個別ユニット支持部材、
を備えて、
前記加圧ユニットそれぞれは、
前記ワークに向けられる前記プレス面または前記個別プレス面と、
前記プレス面または前記個別プレス面を前記ワークに向けて加圧可能な金型と、
前記金型を支持するベースと、
を備えて、
前記加圧ユニットが前記加圧エリアに位置しているとき、
前記加圧ユニットは、前記ワークの上方向に配置されて、
前記ベースは、前記昇降装置に固定されて、
前記加圧ユニットは、前記個別ユニット支持部材から離間する、
請求項１に記載の加圧システム。

【請求項10】

前記疑似等方圧方式で前記ワークを加圧する前記加圧ユニットが備える前記プレス面または前記個別プレス面のうち、前記ワークを加圧する部分は、前記ワークが加圧されているとき、前記ワークの表面の形状に追従するように変形して、
前記１軸加圧方式で前記ワークを加圧する前記加圧ユニットが備える前記プレス面または前記個別プレス面のうち、前記ワークを加圧する部分は、前記ワークが加圧されているとき、変形しない、
請求項１に記載の加圧システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、加圧システムに関する。

【背景技術】

【0002】

加圧装置は、例えば、電子部品の製造工程において、積層されたワーク（基板、素子、シート体など）を加圧（圧着、焼結）するために、用いられている（例えば、特許文献１～３参照）。

【0003】

特許文献１に開示された加圧装置は、ワークそれぞれの形状に追従して変形する特殊弾性体で形成された加圧パッドにより、ワークを加圧する。すなわち、同加圧装置は、ワークを多方向から加圧する方式（以下「疑似等方圧方式」という。）により、ワークを均等に加圧する。その結果、同加圧装置は、例えば、凹凸を有するワーク、および、高さが異なる複数のワークを、多方向から均等に加圧できる。

【0004】

ここで、特許文献１に開示された加圧装置では、加圧が不要な部位（例えば、基板上のチップ以外の部位）も、加圧される。ワークの中には、強度の低い部位（例えば、庇状の部位）を有するワークが、有る。同加圧装置を用いてこのようなワークが加圧されると、強度の低い部位に割れや欠けなどの不具合が、生じ得る。そのため、加圧が必要な部位のみを一括して加圧する加圧方式による加圧が可能な加圧装置も、求められている。

【0005】

特許文献２に開示された加圧装置は、平面状のプレス面を有する剛体（例えば、鋼板）により、ワークを加圧する。すなわち、同加圧装置は、ワークを上下方向（一方向）から加圧する方式（以下「１軸加圧方式」という。）により、ワークを加圧する。その結果、同加圧装置は、例えば、表面の平坦性が求められるワーク（例えば、セラミックグリーンシートのような薄く、変形し易いワーク）に対して、同表面が平坦になるように加圧できる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【文献】特開２００４－２９６７４６号公報

【文献】特開２００１－１４５９１１号公報

【文献】特開２０２４－０３６９２９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

近年、電子部品は、多様化している。それに伴い、ワークの形態（例えば、ヒートシンクの有無、積層体を仮固定するクリップの有無など）、加圧後のワークに求められる形状（例えば、表面の平坦度の程度、丸みの有無など）、および、ワークの加工条件（例えば、加圧力、温度条件など）も、多様化している。前述のとおり、ワークにより、最適な加圧方式は、異なる。また、一般的に、加圧装置は、単一の加圧方式による加圧が可能となるように設計されている。そのため、多様化するワークそれぞれを適切に加圧する場合、異なる加圧方式に対応する複数の加圧装置が、必要となる。

【0008】

ここで、特許文献３には、加圧条件の異なる２種の加圧方式（ただし、共に１軸加圧方式）による加圧が可能な加圧システムが、開示されている。同加圧システムでは、２個の加圧装置が、工程ライン上に並列で配置されている。ワークは、第１の加圧装置で加圧された後に、第２の加圧装置で追加圧される。このように、同加圧システムは、複数種の加圧方式により、ワークＷを加圧できる。しかし、複数の加圧装置が並列で配置されているため、同加圧システムは大型化してしまう。また、加圧方式の変更には、加圧システムの再設計が、必要となる。すなわち、同加圧システムは、ワークに合わせて、複数の異なる加圧方式を選択できない。

【0009】

本発明は、複数の異なる加圧方式を選択可能な加圧システムを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明の一実施態様における加圧システムは、少なくとも１個のワークに加圧処理を実行する加圧システムであって、複数の加圧ユニットと、前記加圧処理が実行される１個の加圧エリアと、上下方向視において、前記加圧エリアの側方に配置される複数の待機エリアと、前記加圧ユニットそれぞれを、前記加圧ユニットそれぞれに対応する前記待機エリアと、前記加圧エリアと、の間で搬送可能に支持するユニット支持部材と、を有してなり、前記ワークが加圧されるとき、複数の前記加圧ユニットのうち、１個の前記加圧ユニットは、前記加圧エリアにおいて、前記ワークの上方向または下方向に配置されて、前記ワークに対して相対移動可能であり、残りの前記加圧ユニットは、対応する前記待機エリアに配置されて、前記加圧ユニットそれぞれは、前記ワークに対して異なる加圧方式で、前記加圧処理を実行可能に構成されて、前記加圧方式は、前記ワークに対して、多方向から加圧する疑似等方圧方式と、前記ワークに対して、上下方向のみから加圧する１軸加圧方式と、のうち、いずれか一方と、複数の前記ワークに対して、１個のプレス面で一括に加圧可能な一括加圧方式と、複数の前記ワークそれぞれに対して、区画された複数の個別プレス面それぞれで個別に加圧可能な個別加圧方式と、のうち、いずれか一方と、が組み合わされた４種の方式のうち、少なくとも２種の方式、を含み、前記プレス面は、前記プレス面を備える前記加圧ユニットが前記加圧エリアに配置されたとき、前記ワークの上方向または下方向に、前記ワークに向けられるように配置されて、複数の前記個別プレス面は、前記個別プレス面を備える前記加圧ユニットが前記加圧エリアに配置されたとき、対応する前記ワークの上方向または下方向に、対応する前記ワークに向けられるように配置されて、前記ワークが加圧されていないとき、前記プレス面は、平面状であり、前記個別プレス面それぞれは、平面状である、加圧システムである。

【発明の効果】

【0011】

本発明は、複数の異なる加圧方式を選択可能な加圧システムを提供する。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本発明に係る加圧システムの実施の形態を示す、加圧システムの模式斜視図である。

【図2】上記加圧システムの模式平面図である。

【図3】上記加圧システムの図２のＡＡ線における模式断面図である。

【図4】上記加圧システムの上加圧ユニットの模式断面図である。

【図5】上記加圧システムの別の上加圧ユニットの模式断面図である。

【図6】図５の上加圧ユニットの模式底面図である。

【図7】図５の上加圧ユニットの部分拡大模式断面図である。

【図8】上記加圧システムのさらに別の上加圧ユニットの模式断面図である。

【図9】上記加圧システムのさらに別の上加圧ユニットの模式断面図である。

【図10】上記加圧システムの第１動作において、図４の上加圧ユニットが上記加圧システムの加圧エリアに搬送された状態を示す、加圧システムの模式平面図である。

【図11】図１０の状態を示す、加圧システムの模式断面図である。

【図12】（ａ）は、図４の上加圧ユニットが上記加圧システムの上熱ユニットに取り付けられる前の状態を示す、上記加圧システムの部分拡大模式断面図であり、（ｂ）は、図４の上加圧ユニットが上記上熱ユニットに取り付けられた後の状態を示す、上記加圧システムの部分拡大模式断面図である。

【図13】チャンバユニットが組み立てられた状態を示す、上記加圧システムの模式断面図である。

【図14】ワークが加圧された状態を示す、上記加圧システムの模式断面図である。

【図15】ワークが冷却された状態を示す、上記加圧システムの模式断面図である。

【図16】ワークの急加熱および急冷却の温度プロファイルの一例を示す、グラフである。

【図17】上記加圧システムの第２動作において、図５の上加圧ユニットが加圧エリアに搬送された状態を示す、上記加圧システムの模式平面図である。

【図18】図１７の状態を示す、上記加圧システムの模式断面図である。

【図19】図５の上加圧ユニットの第１移動規制部材が、上記加圧システムの載置板に当接した状態を示す、上記加圧システムの模式断面図である。

【図20】ワークが加圧された状態を示す、上記加圧システムの模式断面図である。

【図21】ワークの定温加熱の温度プロファイルの一例を示す、グラフである。

【図22】上記加圧システムの第３動作において、図８の上加圧ユニットが上記加圧エリアに搬送された状態を示す、上記加圧システムの模式平面図である。

【図23】図２２の状態を示す、上記加圧システムの模式断面図である。

【図24】チャンバユニットが組み立てられた状態を示す、上記加圧システムの模式断面図である。

【図25】ワークが冷却された状態を示す、上記加圧システムの模式断面図である。

【図26】ワークの緩慢な加熱および緩慢な冷却の温度プロファイルの一例を示す、グラフである。

【図27】上記加圧システムの第４動作において、図９の上加圧ユニットが上記加圧エリアに搬送された状態を示す、上記加圧システムの模式平面図である。

【図28】図２７の状態を示す、上記加圧システムの模式断面図である。

【図29】図９の上加圧ユニットの移動規制部材が上記載置板に当接した状態を示す、上記加圧システムの模式断面図である。

【図30】ワークが加圧された状態を示す、上記加圧システムの模式断面図である。

【図31】上記加圧システムの第１変形例における上加圧ユニットの模式断面図である。

【図32】図３１の上加圧ユニットによりワークが加圧された状態を示す、上記加圧システムの模式断面図である。

【図33】上記加圧システムの第２変形例を示す、加圧システムの模式断面図である。

【図34】上記加圧システムの第３変形例を示す。加圧システムの模式断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

本発明に係る加圧システムの実施の形態が、以下に説明される。以下の説明において、各図面は、適宜参照される。各図面において、同一の部材および要素については同一の符号が付されて、重複する説明は省略される。また、各要素の寸法比率は、説明の便宜上、誇張されている場合が有り、各図面に示されている比率に限定されない。

【0014】

以下の説明および図面において、空間において相互に直交する３軸がＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸であるとき、Ｘ軸およびＹ軸は水平方向に平行であり、Ｚ軸は上下方向に平行である。「Ｘ軸方向」はＸ軸に沿う方向であり、「＋Ｘ方向」はＸ軸方向の一方向であり、「－Ｘ方向」はＸ軸方向の他方向である。「Ｙ軸方向」はＹ軸に沿う方向であり、「＋Ｙ方向」はＹ軸方向の一方向であり、「－Ｙ方向」はＹ軸方向の他方向である。「Ｚ軸方向」は、Ｚ軸に沿う方向であり、上下方向である。「＋Ｚ方向」は上方向であり、「－Ｚ方向」は下方向である。「ＸＹ方向」はＸ軸方向およびＹ軸方向に沿う方向であり、「ＸＹ平面」はＸＹ方向（水平方向）に平行な仮想平面である。「ＸＺ方向」はＸ軸方向およびＺ軸方向に沿う方向であり、「ＸＺ平面」はＸＺ方向（鉛直方向）に平行な仮想平面である。「ＹＺ方向」はＹ軸方向およびＺ軸方向に沿う方向であり、「ＹＺ平面」はＹＺ方向（鉛直方向）に平行な仮想平面である。

【0015】

以下の説明において、下面は、下方向に面していて、ＸＹ方向に平行な面である。上面は、上方向に面していて、ＸＹ方向に平行な面である。すなわち、下面および上面の形状は、平面状である。また、各部材の厚さ（高さ）は、上下方向における各部材の長さである。

【0016】

●加圧システム●
●加圧システムの構成
図１は、本発明に係る加圧システムの実施の形態を示す、加圧システムの模式斜視図である。
図２は、加圧システムの模式平面図である。
図１は、後述される各エリアの境界を、太い二点鎖線で示している。図２では、説明の便宜上、加圧システムＳの一部の構成の図示は、省略されている。以下の説明において、図１および図２は、適宜参照される。

【0017】

加圧システムＳは、ワークＷに適した加圧方式により、ワークＷに加圧処理を実行する。加圧システムＳは、筐体（不図示。以下同じ。）、複数（本実施の形態では、４個）の上加圧ユニット１，２，３，４、加圧装置５、下熱ユニット６、搬送機構７、制御装置８、載置板９、ポンプＰ（図３参照）、および複数の取付ボルトＢｏ（図１２参照。以下同じ。）を有してなる。上加圧ユニット１～４は、本発明における加圧ユニットの一例である。

【0018】

「ワークＷ」は、加圧システムＳにおいて加圧処理が実行される対象（すなわち、被加圧物）であり、例えば、シート状の基材（セラミックグリーンシートなど）、電子部品、回路などが搭載されている基板、などである。

【0019】

「加圧方式」は、ワークＷに対する圧力の加え方（圧力を加える方法）を意味する。加圧方式は、例えば、ワークＷに加えられる圧力の方向（例えば、多軸方向、１軸方向）、複数のワークＷに対するプレス面の数（プレス面が個別に上下動可能な複数の領域に分かれているか否か）、加圧後のワークＷの上面Ｗａ（表面）の平坦度、などにより、区別される。

【0020】

具体的には、加圧方式は、疑似等方圧方式および１軸加圧方式を含む。「疑似等方圧方式」は、ワークＷに対して多方向（すなわち、多軸方向）から圧力を加える方式である。後述のとおり、疑似等方圧方式では、ワークＷは、ワークＷの表面の形状に追従するように変形する部材（例えば、加圧パッド１５（後述））、および、変形しない部材（例えば、載置板９（後述））により加圧される。このとき、ワークＷに対する圧力は、完全な全方向からではなく、加圧システムＳの構成上、実現可能な多方向から加えられている。すなわち、疑似等方圧方式は、疑似的に等方圧を実現する方式である。「１軸加圧方式」は、ワークＷに対して１軸方向（上下方向）から圧力を加える方式である。ここで、１軸加圧方式により加圧されたワークＷの上面Ｗａは、疑似等方圧方式により加圧されたワークＷの上面Ｗａよりも平坦になる（平坦度が高い）。また、加圧方式は、一括加圧方式および個別加圧方式を含む。「一括加圧方式」は、複数のワークＷに対して、１個のプレス面で一括して加圧する方式である。「個別加圧方式」は、複数のワークＷそれぞれに対応する、区画された複数のプレス面（以下「個別プレス面」という。）それぞれで（一括して）加圧する方式である。ここで、個別加圧方式では、複数のワークＷのうち、１個のワークＷは、複数の個別プレス面のうち、１個の個別プレス面で加圧される。本実施の形態において、加圧方式は、疑似等方圧方式と１軸加圧方式とのうち、いずれか一方と、一括加圧方式と個別加圧方式とのうち、いずれか一方と、が組み合わされた４種の方式のうち、いずれか１種の方式である。

【0021】

また、「加圧方式」は、上加圧ユニット１～４におけるプレス面をワークＷに押し当てるための動作と、プレス面の形態（例えば、材質、プレス面の数）と、に基づいて、決定される。すなわち、例えば、２種の加圧方式の間において、同動作とプレス面の形態とのうち、いずれか一方が異なるとき、その２種の加圧方式は、異なる。一方、２種の加圧方式の間において、同動作とプレス面の形態とが同じとき、その２種の加圧方式は、同じである。したがって、ワークＷに加えられる圧力の大きさのみ（加圧力のみ）が異なる２種の加圧方式は、同じである。また、プレス面を備える型の大きさのみ（いわゆる、金型のみ）が異なる２種の加圧方式は、同じである。

【0022】

筐体は、上加圧ユニット１～４、加圧装置５、下熱ユニット６、搬送機構７、制御装置８、載置板９、ポンプＰ、および取付ボルトＢｏを収容する。筐体の形状は、例えば、上下方向視においてＸＹ方向に沿う直方体状である。

【0023】

上下方向視において、加圧システムＳの筐体の内部の空間は、大別すると、１個の加圧エリアＡ１、および複数（本実施の形態では４個）の待機エリアＡ２，Ａ３，Ａ４，Ａ５に区分されている。換言すれば、加圧システムＳは、１個の加圧エリアＡ１、および、複数の待機エリアＡ２～Ａ５を有してなる。

【0024】

「加圧エリアＡ１」は、ワークＷが加圧される（加圧処理が実行される）エリアである。

【0025】

「待機エリアＡ２」は、上加圧ユニット１が使用されていないとき、上加圧ユニット１が待機している（保管されている）エリアである。上下方向視において、待機エリアＡ２は、加圧エリアＡ１の＋Ｘ方向に、加圧エリアＡ１に隣接して配置されている。

【0026】

「待機エリアＡ３」は、上加圧ユニット２が使用されていないとき、上加圧ユニット２が待機している（保管されている）エリアである。上下方向視において、待機エリアＡ３は、加圧エリアＡ１の－Ｙ方向に、加圧エリアＡ１に隣接して配置されている。

【0027】

「待機エリアＡ４」は、上加圧ユニット３が使用されていないとき、上加圧ユニット３が待機している（保管されている）エリアである。上下方向視において、待機エリアＡ４は、加圧エリアＡ１の－Ｘ方向に、加圧エリアＡ１に隣接して配置されている。

【0028】

「待機エリアＡ５」は、上加圧ユニット４が使用されていないとき、上加圧ユニット４が待機している（保管されている）エリアである。上下方向視において、待機エリアＡ５は、加圧エリアＡ１の＋Ｙ方向に、加圧エリアＡ１に隣接して配置されている。

【0029】

上加圧ユニット１～４それぞれは、異なる加圧方式でワークＷに加圧処理を実行する。上加圧ユニット１～４は、搬送機構７を介して、対応する待機エリアＡ２～Ａ５と、加圧エリアＡ１と、の間で往復搬送可能である。本実施の形態では、上加圧ユニット１～４の搬送は、加圧システムＳの使用者により、手動で行われる。上加圧ユニット１～４の具体的な構成は、後述される。

【0030】

図３は、加圧システムＳの図２のＡＡ線における模式断面図である。
以下の説明において、図１および図２は、図３と共に適宜参照される。

【0031】

加圧装置５は、加圧エリアＡ１に搬送された上加圧ユニット１～４を用いて、ワークＷを加圧する。加圧装置５は、上ベース５０、上熱ユニット５１、および昇降装置５２を備える。加圧装置５は、加圧エリアＡ１に配置されている。

【0032】

上ベース５０は、上熱ユニット５１、上加圧ユニット１～４、およびレールＲ９～Ｒ１２を支持する。上ベース５０は、例えば、高い剛性を有する金属（例えば、炭素鋼）製である。上ベース５０の形状は、例えば、上下方向視においてＸＹ軸方向に沿う直方体状である。

【0033】

上熱ユニット５１は、上ベース５０の下面に取り付けられている。上熱ユニット５１は、本体部５１ａ、断熱部材５１ｂ、複数の雌ねじ孔５１ｃ、複数の加熱源Ｈ１、および複数の冷却源Ｃ１を備える。本体部５１ａは、例えば、高い剛性を有する金属（例えば、炭素鋼）製である。本体部５１ａの形状は、上下方向視においてＸＹ軸方向に沿う直方体状である。断熱部材５１ｂは、本体部５１ａの上方向を覆うように配置されている。雌ねじ孔５１ｃは、本体部５１ａの下面の外縁部に等間隔で配置されている。加熱源Ｈ１は、本体部５１ａを加熱する。加熱源Ｈ１は、例えば、公知の直管状ヒータである。加熱源Ｈ１は、本体部５１ａの下半部に内包（配置）されている。冷却源Ｃ１は、本体部５０ａを冷却する。冷却源Ｃ１は、例えば、冷媒（不図示。以下同じ。）が流れる直管状の流路である。冷媒は、冷却装置（不図示。以下同じ。）により冷却されていて、冷却源Ｃ１と冷却装置との間で循環されている。冷却源Ｃ１は、本体部５１ａの上半部内に内包されている。上熱ユニット５１は、本発明における熱ユニットの一例である。本体部５１ａは、本発明における熱金型の一例である。

【0034】

昇降装置５２は、上ベース５０、上熱ユニット５１、および上加圧ユニット１～４を昇降させる。昇降装置５２は、例えば、公知の油圧シリンダである。

【0035】

下熱ユニット６は、ワークＷを加熱および冷却する。下熱ユニット６は、下加熱ユニット６０、下冷却ユニット６１、および下熱ユニット搬送装置６２を備える。

【0036】

下加熱ユニット６０は、ワークＷを加熱および冷却する。下加熱ユニット６０は、上熱ユニット５１の下方向の熱処理位置（加圧エリアＡ１）と、熱処理位置から水平方向（本実施の形態では、－Ｘ方向）に離間した待機位置（待機エリアＡ４）と、の間で搬送可能である。下加熱ユニット６０は、本体部６０ａ、複数の加熱源Ｈ２、および複数の冷却源Ｃ２を備える。下加熱ユニット６０は、本発明における熱ユニットの一例である。待機位置（待機エリアＡ４）は、本発明における熱ユニット待機エリアの一例である。

【0037】

本体部６０ａの構成は、本体部５１ａの構成と共通する。加熱源Ｈ２は、本体部６０ａを加熱する。加熱源Ｈ２の構成は、加熱源Ｈ１の構成と共通する。加熱源Ｈ２は、本体部６０ａの上半部に内包されている。冷却源Ｃ２は、本体部６０ａを冷却する。冷却源Ｃ２の構成は、冷却源Ｃ１の構成と共通する。冷却源Ｃ２は、本体部６０ａの下半部に内包されている。本体部６０ａは、本発明における熱金型の一例である。

【0038】

下冷却ユニット６１は、ワークＷを冷却する。下冷却ユニット６１は、熱処理位置と、熱処理位置から水平方向（本実施の形態では、＋Ｘ方向）に離間した待機位置（待機エリアＡ２）と、の間で搬送可能である。下冷却ユニット６１は、本体部６１ａ、および複数の冷却源Ｃ３を備える。下冷却ユニット６１は、本発明における熱ユニットの一例である。待機エリアＡ２は、本発明における熱ユニット待機エリアの一例である。

【0039】

本体部６１ａの構成は、本体部５１ａの構成と共通する。冷却源Ｃ３の構成は、冷却源Ｃ１の構成と共通する。冷却源Ｃ３は、本体部６１ａに内包されている。本体部６１ａは、本発明における熱金型の一例である。

【0040】

下熱ユニット搬送装置６２は、下加熱ユニット６０および下冷却ユニット６１を熱処理位置とそれぞれの待機位置との間で搬送する。下熱ユニット搬送装置６２は、例えば、公知の動力源（例えば、モータ：不図示）、動力伝達機構（例えば、ギア、ボールねじなど：不図示）、およびレール（不図示）を備える。

【0041】

搬送機構７は、上加圧ユニット１～４を搬送（移動）可能に支持する。搬送機構７は、複数（本実施の形態では、１２個）のレールＲ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４，Ｒ５，Ｒ６，Ｒ７，Ｒ８，Ｒ９，Ｒ１０，Ｒ１１，Ｒ１２、複数（本実施形態では、４個）のベースＢ１，Ｂ２，Ｂ３，Ｂ４（図４、図５、図８、および図９参照。以下同じ。）、および複数のローラＲｏを備える。

【0042】

レールＲ１～Ｒ１２は、上加圧ユニット１～４が水平方向（Ｘ軸方向またはＹ軸方向）に搬送可能となるように、上加圧ユニット１～４を支持する。レールＲ１～Ｒ１２の形状は、例えば、Ｘ軸方向またはＹ軸方向に沿う長尺状である。レールＲ１～Ｒ１２の長手方向視において、レールＲ１～Ｒ１２の形状は「Ｌ字」状である（図４、図５、図８、および図９参照）。レールＲ１～Ｒ１２は、重量物である上加圧ユニット１～４を支持可能な強度を有する。レールＲ１～Ｒ１２は、本発明におけるユニット支持部材の一例である。

【0043】

ベースＢ１～Ｂ４の形状は、上下方向視においてＸＹ軸方向に沿う直方体状である。ベースＢ１は、待機エリアＡ２に配置されている。ベースＢ２は、上部空間に配置されている。ベースＢ３は、待機エリアＡ４に配置されている。ベースＢ４は、待機エリアＡ５に配置されている。ベースＢ１～Ｂ４は、筐体の天井に取り付けられている。

【0044】

レールＲ１～Ｒ８は、対応するベースＢ１～Ｂ４の下面に、突出部同士が対向するように取り付けられている。レールＲ１，Ｒ２はベースＢ１に対応していて、レールＲ３，Ｒ４はベースＢ２に対応していて、レールＲ５，Ｒ６はベースＢ３に対応していて、レールＲ７，Ｒ８はベースＢ４に対応している。

【0045】

レールＲ９～Ｒ１２は、上ベース５０の下面に、突出部同士が対向するように取り付けられている。すわなち、レールＲ９～Ｒ１２は、上ベース５０を介して、（間接的に）昇降装置５２に取り付けられている。レールＲ９～Ｒ１２は、本発明における個別ユニット支持部材の一例である。本実施の形態では、レールＲ９～Ｒ１２は、上ベース５０に対して着脱可能である。

【0046】

なお、本発明において、レールＲ９～Ｒ１２は、昇降装置５２に直接取り付けられていてもよい。

【0047】

レールＲ１，Ｒ２，Ｒ５，Ｒ６，Ｒ９，Ｒ１０は、長手方向がＸ軸方向に沿うように配置されている。レールＲ３，Ｒ４，Ｒ７，Ｒ８，Ｒ１１，Ｒ１２は、長手方向がＹ軸方向に沿うように配置されている。

【0048】

ローラＲｏは、上加圧ユニット１，３のＸ軸方向側の側面、および、上加圧ユニット２，４のＹ軸方向側の側面、に回転可能に取り付けられている。レールＲ１～Ｒ１２に載置されたローラＲｏが回転することにより、上加圧ユニット１～４は、レールＲ１～Ｒ１２に沿って搬送される。

【0049】

制御装置８は、加圧システムＳ全体の動作を制御する。制御装置８は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）などのプロセッサ、ＣＰＵの作業領域として機能するＲＡＭ（Random Access Memory）などの揮発性メモリ、および、制御プログラムなどの各種情報を記憶するＲＯＭ（Read Only Memory）などの不揮発性メモリ、を備える。制御装置８は、例えば、ＰＣ（Personal Computer）やＰＬＣ（Programmable Logic Controller）により実現される。

【0050】

載置板９は、ワークＷが載置される部材である。載置板９は、例えば、グラファイト、または、高い熱伝導性を有する金属（例えば、銅合金）製である。載置板９の形状は、上下方向視においてＸＹ方向に沿う矩形板状である。載置板９は、下加熱ユニット６０または下冷却ユニット６１の上に搬送される。

【0051】

ポンプＰは、収容室Ｒａ１～Ｒａ４（後述）内を減圧する。ポンプＰは、公知の真空ポンプである。ポンプＰは、配管を介して、加圧エリアＡ１に搬送後の上加圧ユニット１～４の排気孔１２ａ，２２ａ，３２ａ，４２ａ（後述）に接続される。

【0052】

●上加圧ユニットの構成
次に、上加圧ユニット１～４の構成が、以下に説明される。以下の説明において、図１～３は、適宜参照される。

【0053】

●上加圧ユニット（１）の構成
図４は、上加圧ユニット１の模式断面図である。
同図は、上加圧ユニット１がＸ軸方向における中央部で切断された、ＹＺ平面に沿う上加圧ユニット１の断面を示している。

【0054】

上加圧ユニット１は、ベース１０、金型１１、サイドユニット１２、支持ユニット１３、枠部材１４、および加圧パッド１５を備える。上加圧ユニット１は、待機エリアＡ２と加圧エリアＡ１との間で搬送可能に構成されている。

【0055】

ベース１０は、金型１１、サイドユニット１２、および支持ユニット１３を支持する。ベース１０は、複数のボルト挿通孔１０ａを備える。ベース１０の形状は、上下方向視においてＸＹ方向に沿う直方体状である。ボルト挿通孔１０ａは、ベース１０を上下方向に貫通している貫通孔である。ボルト挿通孔１０ａは、ベース１０の外縁部に等間隔で配置されている。

【0056】

金型１１は、加圧パッド１５を下方向に向けて加圧することにより、加圧パッド１５を介して、ワークＷを加圧する。金型１１は、例えば、高い剛性を有する金属（例えば、炭素鋼）製である。金型１１の形状は、上下方向視においてＸＹ方向に沿う直方体状である。金型１１は、ベース１０の下面に取り付けられている。

【0057】

なお、本発明において、金型１１は、ベース１０と一体に成型されていてもよい。

【0058】

サイドユニット１２は、ワークＷが加圧されるとき、載置板９およびベース１０と共に、ワークＷが収容される空間（以下「収容室Ｒａ１」という。図１３参照。以下同じ。）を形成する。サイドユニット１２は、ベース１０の下方向に配置されている。サイドユニット１２は、第１サイド部材１２１、第２サイド部材１２２、３個のシール部材１２３，１２４，１２５、シリンダ１２６、および排気孔１２ａを備える。

【0059】

第１サイド部材１２１および第２サイド部材１２２の形状は、上下方向視においてＸＹ方向に沿う矩形筒状である。第１サイド部材１２１は、ベース１０の下面に取り付けられている。水平方向において、第１サイド部材１２１は、金型１１および支持ユニット１３を囲むように配置されている。第２サイド部材１２２は、シリンダ１２６を介して、ベース１０に支持されている。水平方向において、第２サイド部材１２２は、第１サイド部材１２１を囲むように配置されている。排気孔１２ａは、第２サイド部材１２２を貫通している貫通孔である。

【0060】

シール部材１２３～１２５は、例えば、公知のＯ－リングである。シール部材１２３は、ベース１０と第１サイド部材１２１との間に配置されている。シール部材１２４は、第１サイド部材１２１と第２サイド部材１２２との間に配置されている。シール部材１２５は、第２サイド部材１２２の下面に取り付けられている。

【0061】

シリンダ１２６は、ベース１０と第２サイド部材１２２とに取り付けられていて、第２サイド部材１２２を昇降可能に支持している。シリンダ１２６は、例えば、公知のエアシリンダである。

【0062】

支持ユニット１３は、ベース１０の下方向に配置されている。支持ユニット１３は、支持部材１３１および複数のばね部材１３２を備える。

【0063】

支持部材１３１は、枠部材１４を支持する。支持部材１３１の形状は、上下方向視においてＸＹ方向に沿う矩形枠状である。水平方向において、支持部材１３１は、金型１１を囲むように、金型１１の側方に配置されている。

【0064】

ばね部材１３２は、ベース１０と支持部材１３１とに取り付けられていて、支持部材１３１を金型１１に対して上下方向に相対移動可能に支持している。ばね部材１３２は、例えば、公知のコイルばねである。

【0065】

枠部材１４は、加圧パッド１５を保持する。枠部材１４は、例えば、高い剛性を有する金属（例えば、ステンレス鋼）製である。上下方向視において、枠部材１４の形状は、ＸＹ軸方向に沿う矩形枠状である。上下方向において、枠部材１４は、金型１１よりも下方向に位置している。枠部材１４は、金型１１に対して上下方向に相対移動可能に、支持ユニット１３を介して、ベース１０に支持されている。

【0066】

加圧パッド１５は、ワークＷが加圧されるとき、ワークＷの表面の形状に追従するように変形して、ワークＷを均等に加圧する。加圧パッド１５は、枠部材１４に保持されていて、金型１１の下方向に配置されている。加圧パッド１５は、弾性体１５ａおよび２枚の膜部材１５ｂ，１５ｃを備える。

【0067】

弾性体１５ａは、ワークＷが加圧されるとき、金型１１からの圧力をワークＷへ均等に伝達する。弾性体１５ａは、例えば、公知の高い流動性および低い反発弾性率を有する弾性体材料製（例えば、（株）ジェルテック製、高ダンピング熱伝導ゲルシート「αＧＥＬ（登録商標）」など）である。膜部材１５ｂ，１５ｃの外縁部は、全周に亘って枠部材１４に挟み込まれるように保持されている。弾性体１５ａは、弾性体１５ａの上下方向に配置されている膜部材１５ｂ，１５ｃの間に充填されている。その結果、水平方向において、弾性体１５ａは、枠部材１４に囲まれている。

【0068】

下方向視において、加圧パッド１５のうち、枠部材１４に保持されていない部分（中央部）は、枠部材１４により、１個の矩形状の領域に区画されている。その領域の下面１５ｐは、ワークＷが加圧されるとき、全てのワークＷに向けられて、全てのワークＷを一括して加圧する１個のプレス面として機能する。すなわち、同下面１５ｐは、本発明におけるプレス面として機能する。

【0069】

なお、本発明において、上加圧ユニット１は、加圧パッド１５の下方向に、高い断熱性を有して、ワークＷの表面の形状に追従して変形可能な断熱体を備えていてもよい。

【0070】

●上加圧ユニット（２）の構成
図５は、上加圧ユニット２の模式断面図である。
図６は、上加圧ユニット２の模式底面図である。
図５は、上加圧ユニット２がＹ軸方向における中央部で切断された、ＸＺ平面に沿う上加圧ユニット２の断面を示している。

【0071】

上加圧ユニット２は、ベース２０、金型２１、サイドユニット２２、支持ユニット２３、複数（本実施の形態では９個）の個別保護板２４、複数（本実施の形態では９個）の個別加圧パッド２５、支持金型２６、複数（本実施の形態では９個）の個別加圧部材２７、複数（本実施の形態では９個）の付勢ユニット２８、および移動規制部材２９を備える。上加圧ユニット２は、待機エリアＡ３と加圧エリアＡ１との間で搬送可能に構成されている。

【0072】

ベース２０は、複数のボルト挿通孔２０ａを備える。ベース２０の構成はベース１０の構成と共通するため、その詳細な説明は省略される。

【0073】

金型２１は、個別加圧部材２７を下方向に向けて加圧することにより、個別加圧部材２７を介して、ワークＷを加圧する。金型２１は、例えば、高い剛性を有する金属（例えば、炭素鋼）製である。金型２１は、ベース２０の下面に取り付けられている。金型２１は、ベース部２１ａ、および複数（本実施の形態では９個）の個別金型２１ｂを備える。

【0074】

ベース部２１ａの形状は、上下方向視においてＸＹ方向に沿う直方体状である。ベース部２１ａの下面の一部は、下方向に向けて直方体状に突出していて、個別金型２１ｂを形成している。すなわち、ベース部２１ａは、個別金型２１ｂと一体に成型されている。

【0075】

個別金型２１ｂは、対応する個別加圧部材２７を下方向に向けて加圧して、対応するワークＷを加圧する。個別金型２１ｂの形状は、上下方向視においてＸＹ方向に沿う直方体状である。上下方向視において、個別金型２１ｂは、ＸＹ方向に沿って均等（３行×３列）に配列されている。

【0076】

なお、本発明において、金型２１は、ベース２０と一体に成型されていてもよい。

【0077】

また、本発明において、金型２１は、ベース部２１ａを備えていなくてもよい。この場合、例えば、個別金型２１ｂは、ベース２０の下面に取り付けられていてもよい。

【0078】

サイドユニット２２は、第１サイド部材２２１、第２サイド部材２２２、３個のシール部材２２３，２２４，２２５、シリンダ２２６、および排気孔２２ａを備える。サイドユニット２２の構成はサイドユニット１２の機能および構成と共通するため、その詳細な説明は省略される。

【0079】

支持ユニット２３は、支持金型２６を支持する。支持ユニット２３は、支持部材２３１および複数のばね部材２３２を備える。支持ユニット２３の構成は支持ユニット１３の構成と共通するため、その詳細な説明は省略される。

【0080】

図７は、上加圧ユニット２の部分拡大模式断面図である。
同図は、上加圧ユニット２の図５のＣ部を示している。以下の説明において、図５および図６は、図７と共に適宜参照される。

【0081】

個別保護板２４は、個別加圧パッド２５を保護する。個別保護板２４は、例えば、高い剛性を有する金属（例えば、炭素鋼）製である。個別保護板２４の形状は、上下方向視においてＸＹ方向に沿う矩形板状である。ＸＹ方向において、個別保護板２４の長さは、対応する収容孔２６ａ（後述。以下同じ。）の長さよりも僅かに小さい。個別保護板２４は、対応する個別金型２１ｂの下方向に配置されていて、対応する収容孔２６ａに収容されていて、対応する個別加圧パッド２５の上に載置されている。

【0082】

個別加圧パッド２５は、ワークＷが加圧されるとき、対応する個別加圧部材２７の支持金型２６に対する相対移動量に応じて変形する。個別加圧パッド２５は、弾性体２５ａ、および２枚の膜２５ｂ，２５ｃを備える。個別加圧パッド２５は、対応する収容孔２６ａに収容されていて、対応する個別加圧部材２７の上方向に、同個別加圧部材２７に隣接して配置されている。すなわち、個別加圧パッド２５は、対応する個別加圧部材２７と、対応する個別金型２１ｂ（金型２１）と、の間に配置されている。個別加圧パッド２５は、本発明における加圧パッドの一例である。

【0083】

弾性体２５ａは、ワークＷが加圧されるとき、対応する個別金型２１ｂからの圧力を対応する個別加圧部材２７に均等に伝達する。弾性体２５ａの材質は、弾性体１５ａの材質と同じである。弾性体２５ａは、例えば、弾性体２５ａの上下方向に配置されている膜２５ｂ，２５ｃの間に充填されている。

【0084】

膜２５ｂ，２５ｃは、対応する個別加圧部材２７および個別保護板２４の弾性体２５ａへの付着を防止する。また、膜２５ｂ，２５ｃは、対応する収容孔２６ａと個別加圧部材２７との間の隙間、および対応する収容孔２６ａと個別保護板２４との間の隙間への弾性体２５ａの浸入を防ぐ。膜２５ｂ，２５ｃの形状は、上下方向視においてＸＹ方向に沿う矩形膜状である。ＸＹ方向において、膜２５ｂ，２５ｃの長さは、対応する収容孔２６ａの長さと同じ、または、収容孔２６ａの長さよりも僅かに大きい。

【0085】

支持金型２６は、個別加圧部材２７を、支持金型２６に対して上下方向に相対移動可能に支持する。支持金型２６は、例えば、高い剛性を有する金属（例えば、炭素鋼）製である。支持金型２６の形状は、上下方向視においてＸＹ方向に沿う直方体状である。支持金型２６は、金型２１および支持ユニット２３の下方向に配置されている。支持金型２６は、複数（本実施の形態では９個）の収容孔２６ａを備える。支持金型２６は、支持部材２３１に支持されている。

【0086】

収容孔２６ａは、支持金型２６を上下方向に貫通する貫通孔である。収容孔２６ａの形状は、上下方向視においてＸＹ方向に沿う２段角柱状である。収容孔２６ａは、内フランジ部２６ｂを備える。収容孔２６ａの内周面の下端部は、全周に亘り、内方向に向けて突出していて、内フランジ部２６ｂを形成している。内フランジ部２６ｂの形状は、上下方向視においてＸＹ方向に沿う矩形枠状である。

【0087】

個別加圧部材２７は、対応するワークＷを上方向から個別に加圧する。個別加圧部材２７は、例えば、高い剛性を有する金属（例えば、炭素鋼）製である。個別加圧部材２７は、本体部２７ａ、外フランジ部２７ｂ、および下面２７ｐを備える。個別加圧部材２７それぞれは、対応する収容孔２６ａに収容されていて、同収容孔２６ａ内を上下方向に移動（摺動）可能である。すなわち、個別加圧部材２７は、支持金型２６に対して、上下方向に相対移動可能である。

【0088】

本体部２７ａの形状は、上下方向視においてＸＹ方向に沿う直方体状である。ＸＹ方向において、本体部２７ａの長さは、内フランジ部２６ｂにおける収容孔２６ａの長さよりも小さい。上下方向において、本体部２７ａの長さは、収容孔２６ａの長さよりも小さい。本体部２７ａの外周面の上端部は、全周に亘り、外方向に向けて突出していて、外フランジ部２７ｂを形成している。外フランジ部２７ｂの形状は、上下方向視においてＸＹ方向に沿う矩形枠状である。ＸＹ方向において、外フランジ部２７ｂの長さは、収容孔２６ａの長さよりも僅かに小さい。上下方向において、外フランジ部２７ｂは、対応する内フランジ部２６ｂに対向するように配置されている。

【0089】

下方向視において、各個別加圧部材２７の下面２７ｐは、支持金型２６により、複数（本実施の形態では、９個）の矩形状の領域に区画されている。各下面２７ｐは、複数のワークＷが加圧されるとき、対応する１個のワークＷに向けられて、同ワークＷを加圧する１個の個別プレス面として機能する。すなわち、同下面２７ｐは、本発明における個別プレス面として機能する。

【0090】

付勢ユニット２８は、個別加圧部材２７を上方向に向けて付勢する。付勢ユニット２８は、例えば、複数の付勢部材（例えば、コイルばね）を備える。付勢ユニット２８は、対応する収容孔２６ａに収容されていて、対応する内フランジ部２６ｂと外フランジ部２７ｂとの間に配置されている。

【0091】

移動規制部材２９は、第１移動規制部材２９１および第２移動規制部材２９２を備える。

【0092】

第１移動規制部材２９１は、支持金型２６の下方向への移動を規制すると共に、ワークＷが加圧されるとき、上下方向において、載置板９に対する支持金型２６の位置（高さ）を決定する。第１移動規制部材２９１は、例えば、公知の硬質断熱材料（例えば、数１０ＭＰａ～１００ＭＰａ以上の圧縮強度を有する断熱材料）製である。第１移動規制部材２９１の形状は、上下方向視においてＸＹ方向に沿う矩形枠状である。第１移動規制部材２９１は、支持金型２６の下面の外縁部に取付けられている。その結果、第１移動規制部材２９１は、載置板９に対向している。上下方向において、第１移動規制部材２９１の長さＬ２９は、ワークＷの長さＬｗよりも大きい。

【0093】

第２移動規制部材２９２は、付勢ユニット２８による、個別加圧部材２７、個別加圧パッド２５、および個別保護板２４の上方向への移動を規制する。第２移動規制部材２９２の形状は、上下方向視においてＸＹ方向に沿う矩形板状である。第２移動規制部材２９２は、支持金型２６の上面に取り付けられている。第２移動規制部材２９２は、複数（本実施の形態では９個）の挿通孔２９ａを備える。

【0094】

挿通孔２９ａは、第２移動規制部材２９２を上下方向に貫通する貫通孔である。挿通孔２９ａの形状は、上下方向視においてＸＹ方向に沿う矩形状である。上下方向視において、挿通孔２９ａは、対応する個別金型２１ｂおよび収容孔２６ａと同じ位置に配置されている。上方向視において、第２移動規制部材２９２のうち、挿通孔２９ａの周囲の部分は、矩形枠状に、対応する収容孔２６ａの外縁部を覆っている。ＸＹ方向において、挿通孔２９ａの長さは、対応する個別金型２１ｂの長さよりも大きく、対応する収容孔２６ａおよび個別保護板２４の長さよりも小さい。

【0095】

ワークＷが加圧されていないとき、収容孔２６ａにおいて、付勢ユニット２８は、対応する個別加圧部材２７、個別加圧パッド２５、および個別保護板２４を上方向に向けて付勢している。その結果、個別加圧部材２７は、対応する収容孔２６ａに収容されていて、支持金型２６から下方向には突出していない。また、個別保護板２４は、第２移動規制部材２９２に当接していて、個別加圧部材２７、個別加圧パッド２５、および個別保護板２４は、収容孔２６ａから上方向には突出していない。個別金型２１ｂは、対応する収容孔２６ａおよび挿通孔２９ａよりも上方向に位置している。

【0096】

なお、本発明において、上加圧ユニット２は、個別保護板２４を備えていなくてもよい。

【0097】

また、本発明において、上加圧ユニット２は、第２移動規制部材２９２を備えていなくてもよい。

【0098】

さらに、本発明において、第１移動規制部材２９１は、載置板９に取り付けられていてもよい。

【0099】

さらにまた、本発明において、第１移動規制部材２９１は、支持金型２６と一体に成型されていてもよい。

【0100】

●上加圧ユニット（３）の構成
図８は、上加圧ユニット３の模式断面図である。
同図は、上加圧ユニット３がＸ方向における中央部で切断された、ＹＺ平面に沿う上加圧ユニット３の断面を示している。

【0101】

上加圧ユニット３は、ベース３０、金型３１、およびサイドユニット３２を備える。上加圧ユニット３は、待機エリアＡ４と加圧エリアＡ１との間で搬送可能に構成されている。

【0102】

ベース３０は、複数のボルト挿通孔３０ａを備える。ベース３０の構成はベース１０の構成と共通するため、その詳細な説明は省略される。

【0103】

金型３１は、下面３１ｐを備える。金型３１の構成は金型１１の構成と共通するため、その詳細な説明は省略される。ここで、下面３１ｐは、ワークＷが加圧されるとき、ワークＷに向けられて、同ワークＷを加圧するプレス面として機能する。すなわち、同下面３１ｐは、本発明におけるプレス面として機能する。

【0104】

サイドユニット３２は、第１サイド部材３２１、第２サイド部材３２２、３個のシール部材３２３，３２４，３２５、シリンダ３２６、および排気孔３２ａを備える。サイドユニット３２の構成はサイドユニット１２の構成と共通するため、その詳細な説明は省略される。

【0105】

なお、本発明において、上加圧ユニット３は、ベース３０と金型３１との間に、下面３１ｐからワークＷへ加えられる圧力の分布を制御する部材を備えていてもよい。ここで、圧力の分布を制御する部材は、例えば、弾性体や、上下方向視において、ＸＹ平面に沿う断面の面積が、ワークＷの被プレス面よりも小さい面積を有する括れ構造を有する板状の部材である。

【0106】

●上加圧ユニット（４）の構成
図９は、上加圧ユニット４の模式断面図である。
同図は、上加圧ユニット４がＹ軸方向における中央部で切断された、ＸＺ平面に沿う上加圧ユニット４の断面を示している。

【0107】

上加圧ユニット４は、ベース４０、金型４１、サイドユニット４２、支持ユニット４３、枠部材４４、加圧パッド４５、支持金型４６、複数（本実施の形態では９個）の個別加圧部材４７、複数（本実施の形態では９個）の付勢ユニット４８、および移動規制部材４９を備える。上加圧ユニット４は、待機エリアＡ５と加圧エリアＡ１との間で搬送可能に構成されている。

【0108】

ベース４０は、複数のボルト挿通孔４０ａを備える。ベース４０の構成は、ベース１０の構成と共通するため、その詳細な説明は省略される。

【0109】

金型４１の構成は金型１１の構成と共通するめ、その詳細な説明は省略される。

【0110】

サイドユニット４２は、第１サイド部材４２１、第２サイド部材４２２、３個のシール部材４２３，４２４，４２５、シリンダ４２６、および排気孔４２ａを備える。サイドユニット４２の構成はサイドユニット１２の構成と共通するため、その詳細な説明は省略される。

【0111】

支持ユニット４３は、支持部材４３１および複数のばね部材４３２を備える。支持ユニット４３の構成は支持ユニット１３の構成と共通するため、その詳細な説明は省略される。

【0112】

枠部材４４の構成は枠部材１４の構成と共通するため、その詳細な説明は省略される。

【0113】

加圧パッド４５は、ワークＷが加圧されるとき、個別加圧部材４７の支持金型４６に対する相対移動量に応じて変形する。加圧パッド４５は、上方向視において支持金型４６の凹部４６ｃ（後述）の全面を覆うように支持金型４６の上方向に配置されていて、下方向視において金型４１の全面を覆うように金型４１の下方向に配置されている。すなわち、加圧パッド４５は、金型４１と個別加圧部材４７との間に配置されている。加圧パッド４５は、弾性体４５ａおよび２枚の膜部材４５ｂ，４５ｃを備える。加圧パッド４５の構成は加圧パッド１５の構成と共通するため、その詳細な説明は省略される。

【0114】

支持金型４６は、個別加圧部材４７を、支持金型４６に対して上下方向に相対移動可能に支持する。支持金型４６は、複数（本実施の形態では９個）の収容孔４６ａ、内フランジ部４６ｂ、および凹部４６ｃを備える。支持金型４６の構成は、凹部４６ｃを除き、支持金型２６の構成と共通する。そのため、その詳細な説明は、省略される。支持金型４６は、枠部材４４および加圧パッド４５の下方向に配置されている。支持金型２６は、枠部材４４に支持されている。換言すれば、支持金型２６は、枠部材４４を介して、（間接的に）支持部材４３１に支持されている。

【0115】

支持金型４６の上面は、外縁部を除き、下方向に矩形板状に凹んでいて、凹部４６ｃを形成している。ＸＹ方向において、凹部４６ｃの長さ（幅）は、金型４１の長さ（幅）と同じ、または、金型４１の長さよりも僅かに小さい。

【0116】

個別加圧部材４７は、本体部４７ａ、外フランジ部４７ｂ、および下面４７ｐを備える。個別加圧部材４７それぞれは、対応する収容孔４６ａに収容されている。個別加圧部材４７の構成は個別加圧部材２７の構成と共通するため、その詳細な説明は省略される。ここで、下面４７ｐは、複数のワークＷが加圧されるとき、対応する１個のワークＷに向けられて、同ワークＷを加圧する１個の個別プレス面として機能する。すなわち、同下面４７ｐは、本発明における個別プレス面として機能する。

【0117】

付勢ユニット４８は、対応する収容孔４６ａに収容されている。付勢ユニット４８の構成は付勢ユニット２８の構成と共通するため、その詳細な説明は省略される。

【0118】

移動規制部材４９は、支持金型４６の下方向への移動を規制すると共に、ワークＷが加圧されるとき、上下方向において、載置板９に対する支持金型４６の位置（高さ）を決定する。移動規制部材４９の形状は、上下方向視においてＸＹ方向に沿う矩形格子状である。移動規制部材４９は、支持金型４６の下面のうち、収容孔４６ａが配置されていない部分に取り付けられている。上下方向において、移動規制部材４９の長さは、ワークＷの長さよりも大きい。

【0119】

ワークＷが加圧されていないとき、個別加圧部材４７は、個別加圧部材２７と同様に、対応する収容孔４６ａに収容されていて、支持金型４６から下方向には突出していない。

【0120】

●加圧システムの動作●
次に、加圧システムＳの動作が、上加圧ユニット１～４を用いた第１動作～第４動作を例として、以下に説明される。以下の説明において、図１～図３は、適宜参照される。

【0121】

●第１動作
「第１動作」は、上加圧ユニット１によりワークＷが加圧される動作である。以下の説明において、第１動作は、ワークＷが急加熱および急冷却される場合を一例として、説明される。以下の第１動作の説明において、図４は、適宜参照される。第１動作では、１個または複数のワークＷが、載置板９に載置される。載置板９は、下冷却ユニット６１に載置される。下冷却ユニット６１の温度は、冷却源Ｃ３により所定の温度（例えば、約２０℃）に維持されている。一方、上熱ユニット５１では、加熱源Ｈ１および冷却源Ｃ１は動作しておらず、上熱ユニット５１の温度は常温である。

【0122】

なお、本発明において、ワークＷが急加熱および急冷却されるとき、初期状態の下冷却ユニット６１では、冷却源Ｃ３は動作しておらず、下冷却ユニット６１の温度は常温でもよい。

【0123】

図１０は、第１動作において、上加圧ユニット１が加圧エリアＡ１に搬送された状態を示す、加圧システムＳの模式平面図である。
図１１は、図１０の状態を示す、加圧システムＳの模式断面図である。
図１０は、説明の便宜上、加圧システムＳの一部の構成のみを示している（図１７、図２２、図２７も同じ）。図１１は、図２のＡＡ線における加圧システムＳの断面を示している（図１３～図１５、図２３～図２５も同じ）。

【0124】

先ず、上加圧ユニット１が、上熱ユニット５１に取り付けられる。具体的には、上加圧ユニット１は、待機エリアＡ２から加圧エリアＡ１に搬送される。このとき、上加圧ユニット２～４は、対応する待機エリアＡ３～Ａ５に配置されている。上加圧ユニット１は、例えば、上加圧ユニット１に当接するストッパ（不図示）などにより、加圧エリアＡ１の所定の位置に位置決めされる。次いで、上加圧ユニット１は、取付ボルトＢｏにより、上熱ユニット５１に取り付けられる。次いで、ポンプＰが、排気孔１２ａに接続される。

【0125】

なお、本発明において、搬送される上加圧ユニット１にレールＲ１２が干渉するとき、レールＲ１２は、取り外されてもよい。

【0126】

図１２（ａ）は、上加圧ユニット１が上熱ユニット５１に取り付けられる前の状態を示す、加圧システムＳの部分拡大模式断面図であり、（ｂ）は、上加圧ユニット１が上熱ユニット５１に取り付けられた後の状態を示す、加圧システムＳの部分拡大模式断面図である。

【0127】

同図（ａ）に示されるとおり、上加圧ユニット１が加圧エリアＡ１に搬送されたとき、上加圧ユニット１は、上熱ユニット５１の下方向に、上熱ユニット５１から離間して配置される。次いで、同図（ｂ）に示されるとおり、上加圧ユニット１が取付ボルトＢｏにより上熱ユニット５１に取り付けられたとき、ローラＲｏ（上加圧ユニット１）はレールＲ９，Ｒ１０から上方向へ離間している。ここで、取付ボルトＢｏは、ボルト挿通孔１０ａに挿通されていて、雌ねじ孔５１ｃに嵌め込まれている。このとき、ベース１０（上加圧ユニット１）は、上熱ユニット５１を介して、（間接的に）昇降装置５２に固定されている。

【0128】

次いで、上加圧ユニット１および載置板９により、チャンバユニットＣＵ１が、組み立てられる（形成される）。

【0129】

図１３は、チャンバユニットＣＵ１が組み立てられた状態を示す、加圧システムＳの模式断面図である。

【0130】

先ず、下熱ユニット搬送装置６２は、下加熱ユニット６０を熱処理位置（加圧エリアＡ１）から待機位置（待機エリアＡ４）に搬送して、下冷却ユニット６１を待機位置（待機エリアＡ２）から熱処理位置に搬送する。このとき、上加圧ユニット１は、ワークＷの上方向に配置されている。ここで、下加熱ユニット６０の温度は、加熱源Ｈ２により、予め、所定の温度（例えば、約３００℃）に維持されている。

【0131】

次いで、昇降装置５２は、シール部材１２５が載置板９に当接するまで、上ベース５０を下降させる。このとき、上加圧ユニット１と載置板９との間には収容室Ｒａ１が形成されていて、ワークＷは収容室Ｒａ１に収容されている。

【0132】

次いで、制御装置８は、ポンプＰを動作させて、収容室Ｒａ１内を減圧する。その結果、載置板９が、真空圧により、第２サイド部材１２２に取り付けられる。このとき、加圧パッド１５は、ワークＷの表面の形状に応じて変形して、ワークＷは載置板９および加圧パッド１５に保持される。このように、載置板９が上加圧ユニット１に取り付けられることにより、チャンバユニットＣＵ１が組み立てられて、ワークＷがチャンバユニットＣＵ１に収容される。

【0133】

次いで、ワークＷが、急加熱されて、加圧される。

【0134】

図１４は、ワークＷが加圧された状態を示す、加圧システムＳの模式断面図である。

【0135】

先ず、昇降装置５２は、チャンバユニットＣＵ１が下冷却ユニット６１から離間するまで、上ベース５０を上昇させる。次いで、下熱ユニット搬送装置６２は、下加熱ユニット６０を待機位置から熱処理位置に搬送して、下冷却ユニット６１を熱処理位置から待機位置に搬送する。次いで、昇降装置５２は、載置板９が下加熱ユニット６０に当接するまで上ベース５０を下降させる。このとき、ワークＷは、下加熱ユニット６０により所定の温度（例えば、約３００℃）まで急加熱される。

【0136】

次いで、昇降装置５２は、ワークＷに規定の加圧力（例えば、１０ＭＰａ～２０ＭＰａ。以下「規定圧力」という。）が加えられるまで、上ベース５０を下降させる。このとき、金型１１は、枠部材１４に対して相対的に下降する。そのため、金型１１は、加圧パッド１５を下方向へ向けて押圧して、加圧パッド１５はワークＷの表面の形状に追従するように変形して、ワークＷを均等に加圧する。その結果、ワークＷは、全方向（多方向）から均等に加圧される。ワークＷの加圧は、ワークＷの昇温途中、または、昇温後に、実行可能である。

【0137】

ここで、上ベース５０が下降するとき、レールＲ９，Ｒ１０は、上ベース５０と共に下降する。前述のとおり、ローラＲｏは、レールＲ９，Ｒ１０から離間している。そのため、ワークＷが加圧されているとき、ローラＲｏはレールＲ９，Ｒ１０を加圧せず、ローラＲｏおよびレールＲ９，Ｒ１０に機械的な負荷は加えられない。

【0138】

次いで、所定時間の経過後、昇降装置５２は、上ベース５０を上昇させて、ワークＷの加圧を終了する。次いで、ワークＷは、冷却される。

【0139】

図１５は、ワークＷが冷却された状態を示す、加圧システムＳの模式断面図である。

【0140】

先ず、昇降装置５２は、チャンバユニットＣＵ１が下加熱ユニット６０から離間するまで、上ベース５０を上昇させる。次いで、下熱ユニット搬送装置６２は、下加熱ユニット６０を熱処理位置から待機位置に搬送して、下冷却ユニット６１を待機位置から熱処理位置に搬送する。次いで、昇降装置５２は、載置板９が下冷却ユニット６１に当接するまで上ベース５０を下降させる。このとき、ワークＷは、下冷却ユニット６１により所定の温度（例えば、約５０℃）まで急冷却される。

【0141】

次いで、制御装置８は、ポンプＰを停止させて、収容室Ｒａ１内を不活性ガスでパージする。次いで、昇降装置５２は、上ベース５０を上昇させる。このとき、ワークＷは、チャンバユニットＣＵ１から取り出される。次いで、取付ボルトＢｏが取り外されて、上加圧ユニット１は上熱ユニット５１から取り外される。次いで、上加圧ユニット１は、加圧エリアＡ１から待機エリアＡ２に搬送される。

【0142】

図１６は、ワークＷの急加熱および急冷却の温度プロファイルの一例を示す、グラフである。

【0143】

前述のとおり、下加熱ユニット６０および下冷却ユニット６１が待機位置と熱処理位置との間で搬送されて、チャンバユニットＣＵ１が昇降する。その結果、同図に示されるとおり、ワークＷは、常温から約３００℃まで約３分で急加熱されて、約３００℃から約１００℃以下まで約１分で急冷却される。すなわち、加圧システムＳでは、下加熱ユニット６０および下冷却ユニット６１が用いられると共に、チャンバユニットＣＵ１が形成されることにより、ワークＷの急加熱および急冷却が実行可能である。

【0144】

このように、上加圧ユニット１を用いた加圧処理では、上加圧ユニット１は、加圧エリアＡ１において、ワークＷに対して相対移動して、ワークＷに加圧処理を実行する。その結果、ワークＷは、ワークＷの表面の形状に追従して変形する加圧パッド１５により、全方向（多方向）から均等に加圧される。また、同加圧処理では、複数のワークＷが、１個のプレス面（下面１５ｐ）で一括して加圧される。すなわち、同加圧処理における加圧方式は、疑似等方圧方式と一括加圧方式とが組み合わされた方式である。

【0145】

●第２動作
「第２動作」は、上加圧ユニット２によりワークＷが加圧される動作である。以下の説明において、第２動作は、ワークＷが定温加熱される場合を一例として、第１動作と異なる点を中心に説明される。以下の第２動作の説明において、図４～図７は、適宜参照される。第２動作では、複数（本実施の形態では、９個）のワークＷが、載置板９に載置される。

【0146】

なお、本発明において、第２動作で加圧されるワークＷの数は、上加圧ユニット２が備える個別プレス面の数以下であればよく、９個（個別プレス面の数と同じ数）に限定されない。

【0147】

図１７は、第２動作において、上加圧ユニット２が加圧エリアＡ１に搬送された状態を示す、加圧システムＳの模式平面図である。
図１８は、図１７の状態を示す、加圧システムＳの模式断面図である。
図１８は、加圧システムＳの図２のＢＢ線における断面を示している（図１９、図２０、図２８～図３０も同じ）。

【0148】

先ず、第１動作と同様に、上加圧ユニット２が、加圧エリアＡ１に搬送されて、上熱ユニット５１に取り付けられる。このとき、上加圧ユニット１，３，４は、対応する待機エリアＡ２，Ａ４，Ａ５に配置されている。取付ボルトＢｏは、ボルト挿通孔２０ａに挿通されていて、雌ねじ孔５１ｃに嵌め込まれている。このとき、上熱ユニット５１は、加熱源Ｈ１により、予め、所定の温度（例えば、約１８０℃）に維持されている。次いで、ワークＷが載置された載置板９が、下加熱ユニット６０に載置される。このとき、下加熱ユニット６０の温度は、加熱源Ｈ２により、予め、所定の温度（例えば、約１８０℃）に維持されている。そのため、ワークＷは、所定の温度まで急加熱される。

【0149】

なお、本発明において、使用者の安全上の観点から、上熱ユニット５１は、上加圧ユニット２が取り付けられた後に、所定の温度まで加熱されてもよい。

【0150】

次いで、第１動作と同様に、上加圧ユニット２および載置板９により、チャンバユニットＣＵ２が、組み立てられる。

【0151】

次いで、昇降装置５２は、第１移動規制部材２９１が載置板９に当接するまで、上ベース５０を下降させる。

【0152】

図１９は、第１移動規制部材２９１が載置板９に当接した状態を示す、加圧システムＳの模式断面図である。

【0153】

第１移動規制部材２９１が載置板９に当接したとき、第１移動規制部材２９１は、支持金型２６と載置板９との間で挟まれている。このとき、第１移動規制部材２９１には、支持金型２６から下方向に向かう圧力が、加えられる。また、第１移動規制部材２９１と載置板９との間には、同圧力に起因して、載置板９に対する支持金型２６の水平方向の移動を阻止する摩擦力が、生じている。その結果、載置板９に対する支持金型２６の水平方向への滑りは、生じない。さらに、上下方向において、載置板９（ワークＷ）に対する支持金型２６の位置は、固定される。この状態では、支持金型２６および個別加圧部材２７（下面２７ｐ）は、ワークＷに接触しない。したがって、これらのワークＷへの接触に起因する不具合（ワークＷの移動や、意図されないワークＷの加圧など）は、生じない。

【0154】

次いで、ワークＷが、加圧される。

【0155】

図２０は、ワークＷが加圧された状態を示す、加圧システムＳの模式断面図である。

【0156】

次いで、昇降装置５２は、個別加圧部材２７それぞれが対応するワークＷに当接するまで、上ベース５０を下降させる。このとき、個別金型２１ｂは、対応する挿通孔２９ａに挿通されて、対応する個別保護板２４に当接する。また、支持部材２３１および支持金型２６は、金型２１に対して上方向に相対移動する。次いで、個別金型２１ｂは、対応する個別保護板２４を下方向に向けて押し込む。このとき、個別金型２１ｂ、個別加圧部材２７、個別加圧パッド２５、および個別保護板２４は、付勢ユニット２８の付勢力に抗して、収容孔２６ａ内を下降（摺動）する。すなわち、個別金型２１ｂ、個別加圧部材２７、個別加圧パッド２５、および個別保護板２４は、支持金型２６に対して下方向に相対移動する。その結果、個別加圧部材２７は、対応するワークＷに向けて、収容孔２６ａから突出して、対応するワークＷの加圧が必要な部分（上端部）に当接する。

【0157】

次いで、昇降装置５２は、ワークＷに対して規定圧力（例えば、１０ＭＰａ～３０ＭＰａ）が加えられるまで、上ベース５０を下降させる。

【0158】

この状態では、個別加圧パッド２５は、対応する個別加圧部材２７の相対移動量に応じて変形している。その結果、対応する個別金型２１ｂからの規定圧力は、対応する個別加圧部材２７に均等に伝達される。前述のとおり、弾性体２５ａは、２枚の膜２５ｂ，２５ｃにより挟まれている。そのため、弾性体２５ａは、収容孔２６ａと、個別加圧部材２７および個別保護板２４と、の間の隙間へ浸入しない。また、弾性体２５ａは、対応する個別加圧部材２７の相対移動量の差異を吸収する。前述のとおり、弾性体２５ａは、ゲルシート製であるため、数百μオーダーの差異も吸収可能である。そのため、個別金型２１ｂからの規定圧力は、全てのワークＷに対して、均等に伝達される。

【0159】

前述のとおり、個別加圧部材２７は、対応するワークＷの上端部のみに当接していて、上端部のみを下方向（１軸方向）に向けて加圧している。そのため、仮に、ワークＷの一部が水平方向に突出していても、同部分は加圧されず、同部分の割れや欠けなどの不具合は生じない。このように、加圧システムＳは、上加圧ユニット２を用いて、複数のワークＷそれぞれの加圧が必要な部位のみを、一括に加圧できる。

【0160】

ワークＷが加圧されているとき、付勢ユニット２８を構成している各コイルばねは、完全には圧縮されていない。そのため、個別加圧部材２７に伝達される規定圧力は、ワークＷに伝達されて、支持金型２６に伝達されない。また、前述のとおり、ワークＷが加圧されるとき、支持部材２３１および支持金型２６は、金型３１に対して上方向に相対移動している。そのため、金型３１からの規定圧力は、個別加圧部材２７に集中的に伝達されて、支持金型２６には伝達されない。そのため、上加圧ユニット２では、後述される上加圧ユニット４と比較して、ワークＷを加圧するために必要な昇降装置５２からの圧力は、低減される（例えば、１／４程度）。また、支持金型２６に要求される耐圧力は、支持金型２６の上面が加圧される場合と比較して、小さくなる。したがって、支持金型２６の厚さは縮小できて、支持金型２６の重量は低減できる。

【0161】

次いで、所定時間の経過後、昇降装置５２は、上ベース５０を上昇させて、ワークＷの加圧を終了する。次いで、制御装置８は、収容室Ｒａ２内を不活性ガスでパージする。次いで、昇降装置５２は、上ベース５０を上昇させる。次いで、取付ボルトＢｏが取り外されて、上加圧ユニット２は上熱ユニット５１から取り外される。次いで、上加圧ユニット２は、加圧エリアＡ１から待機エリアＡ３に搬送される。

【0162】

図２１は、ワークＷの定温加熱の温度プロファイルの一例を示す、グラフである。

【0163】

前述のとおり、ワークＷが加圧される前に、ワークＷは、予め、所定の温度に加熱されている上熱ユニット５１および下加熱ユニット６０により加熱される。その結果、ワークＷの温度は、加圧前から所定の温度に維持される。また、冷却源Ｃ１，Ｃ２を用いたワークＷの強制的な冷却は、実行されない。そのため、加圧後のワークＷの温度は低下し難くなり、ワークＷの加圧処理に必要な時間は短縮される。すなわち、加圧システムＳでは、予め、加熱された上熱ユニット５１および下加熱ユニット６０が用いられると共に、ワークＷの強制的な冷却が実行されないことにより、ワークＷの定温加圧が実行可能である。

【0164】

このように、上加圧ユニット２を用いた加圧処理では、上加圧ユニット２は、加圧エリアＡ１において、ワークＷに対して相対移動して、ワークＷに加圧処理を実行する。その結果、ワークＷは、金属製の個別加圧部材２７により、上下方向（１軸方向）から加圧される。また、同加圧処理では、複数のワークＷそれぞれは、対応する個別プレス面（下面２７ｐ）それぞれで（一括して）加圧される。すなわち、同加圧処理における加圧方式は、１軸加圧方式と個別加圧方式とが組み合わされた方式である。

【0165】

なお、本発明において、ワークＷが定温加熱されるとき、上熱ユニット５１は、加熱されていなくてもよい。

【0166】

また、本発明において、ワークＷが定温加熱されるとき、下加熱ユニット６０は、例えば、複数のばねにより、載置板９をフローティング支持していてもよい。この場合、本体部６０ａは、例えば、ばねが配置される複数の穴を備えていてもよい。この構成では、チャンバユニットＣＵ２が組み立てられたとき、載置板９が上加圧ユニット２により下方向に押されて下加熱ユニット６０に当接することにより、ワークＷは急加熱される。

【0167】

●第３動作
「第３動作」は、上加圧ユニット３によりワークＷが加圧される動作である。以下の説明において、第３動作は、ワークＷが緩慢に加熱および緩慢に冷却される場合を一例として、第１動作および第２動作と異なる点を中心に説明される。以下の第３動作の説明において、図８は、適宜参照される。第３動作では、１個のワークＷが、載置板９に載置される。ワークＷが緩慢に加熱および緩慢に冷却されるとき、載置板９は下加熱ユニット６０に載置される。上熱ユニット５１および下加熱ユニット６０では、加熱源Ｈ１，Ｈ２および冷却源Ｃ１，Ｃ２は動作しておらず、上熱ユニット５１および下加熱ユニット６０の温度は常温である。

【0168】

なお、本発明において、ワークＷの厚みが同じであれば、第３動作で加圧されるワークＷの数は、複数でもよい。

【0169】

図２２は、第３動作において、上加圧ユニット３が加圧エリアＡ１に搬送された状態を示す、加圧システムＳの模式平面図である。
図２３は、図２２の状態を示す、加圧システムＳの模式断面図である。

【0170】

先ず、第１動作と同様に、上加圧ユニット３が、加圧エリアＡ１に搬送されて、上熱ユニット５１に取り付けられる。このとき、上加圧ユニット１，２，４は、対応する待機エリアＡ２，Ａ３，Ａ５に配置されている。取付ボルトＢｏは、ボルト挿通孔３０ａに挿通されていて、雌ねじ孔５１ｃに嵌め込まれている。次いで、ワークＷが載置された載置板９が、下加熱ユニット６０に載置される。このとき、ワークＷの温度は、常温である。

【0171】

次いで、第１動作と同様に、上加圧ユニット３および載置板９により、チャンバユニットＣＵ３（図２４参照）が、組み立てられる。

【0172】

図２４は、チャンバユニットＣＵ３が組み立てられた状態を示す、加圧システムＳの模式断面図である。

【0173】

チャンバユニットＣＵ３が組み立てられたとき、ワークＷはチャンバユニットＣＵ３（収容室Ｒａ３）に収容されている。このとき、金型３１は、ワークＷを加圧しない程度（規定圧力よりも十分に小さい圧力）に、ワークＷに接触している。

【0174】

次いで、制御装置８は、加熱源Ｈ１，Ｈ２の動作を制御して、上熱ユニット５１および下加熱ユニット６０を予備加熱温度（例えば、約１５０℃）まで加熱する。その結果、ワークＷは、上熱ユニット５１および下加熱ユニット６０と共に、予備加熱温度まで緩慢に加熱される。次いで、所定時間の経過後、制御装置８は、加熱源Ｈ１，Ｈ２の動作を制御して、上熱ユニット５１および下加熱ユニット６０を本加熱温度（例えば、約３００℃）まで加熱する。その結果、ワークＷは、上熱ユニット５１および下加熱ユニット６０と共に、本加熱温度まで緩慢に加熱される。

【0175】

次いで、昇降装置５２は、ワークＷに規定圧力（例えば、２０ＭＰａ～３０ＭＰａ。）が加えられるまで、上ベース５０を下降させる。このとき、金型３１は、ワークＷを下方向へ向けて均等に押圧する。

【0176】

次いで、所定時間の経過後、昇降装置５２は、上ベース５０を上昇させて、ワークＷの加圧を終了する。次いで、制御装置８は、加熱源Ｈ１，Ｈ２の動作を停止して、冷却源Ｃ１，Ｃ２の動作を開始して、上熱ユニット５１および下加熱ユニット６０を冷却する。

【0177】

図２５は、ワークＷが冷却された状態を示す、加圧システムＳの模式断面図である。

【0178】

本体部５１ａ，６１ａの熱容量は、大きい。そのため、上熱ユニット５１および下加熱ユニット６０は、緩慢に冷却される。その結果、ワークＷは、上熱ユニット５１および下加熱ユニット６０と共に、取り出し可能な温度まで緩慢に冷却される。

【0179】

次いで、制御装置８は、収容室Ｒａ３内を不活性ガスでパージする。次いで、昇降装置５２は、上加圧ユニット３を上昇させる。次いで、取付ボルトＢｏが取り外されて、上加圧ユニット３は上熱ユニット５１から取り外される。次いで、上加圧ユニット３は、加圧エリアＡ１から待機エリアＡ４に搬送される。

【0180】

図２６は、ワークＷの緩慢な加熱および緩慢な冷却の温度プロファイルの一例を示す、グラフである。

【0181】

前述のとおり、ワークＷは、上熱ユニット５１および下加熱ユニット６０と共に緩慢に加熱されて、上熱ユニット５１および下加熱ユニット６０と共に緩慢に冷却される。すなわち、加圧システムＳでは、ワークＷが上熱ユニット５１および下加熱ユニット６０と共に加熱および冷却されることにより、ワークＷの緩慢な加熱および緩慢な冷却が実行可能である。

【0182】

このように、上加圧ユニット３を用いた加圧処理では、上加圧ユニット３は、加圧エリアＡ１において、ワークＷに対して相対移動して、ワークＷに加圧処理を実行する。その結果、ワークＷは、金属製のプレス面（下面３１ｐ）により、上下方向（１軸方向）から均等に加圧される。また、同加圧処理では、複数のワークＷが１個のプレス面（下面３１ｐ）で一括して加圧可能である。すなわち、同加圧処理における加圧方式は、１軸加圧方式と一括加圧方式とが組み合わされた方式である。

【0183】

●第４動作
「第４動作」は、上加圧ユニット４によりワークＷが加圧される動作である。以下の説明において、第４動作は、ワークＷが加熱および冷却されない場合を一例として、第１動作～第３動作と異なる点を中心に説明される。以下に説明される第４動作において、図９は、適宜参照される。第４動作では、複数（本実施の形態では、９個）のワークＷが、載置板９に載置される。上熱ユニット５１および下加熱ユニット６０では、加熱源Ｈ１，Ｈ２および冷却源Ｃ１，Ｃ２は動作しておらず、上熱ユニット５１および下加熱ユニット６０の温度は常温である。

【0184】

図２７は、第４動作において、上加圧ユニット４が加圧エリアＡ１に搬送された状態を示す、加圧システムＳの模式平面図である。
図２８は、図２７の状態を示す、加圧システムＳの模式断面図である。

【0185】

先ず、第１動作と同様に、上加圧ユニット４が、加圧エリアＡ１に搬送されて、上熱ユニット５１に取り付けられる。このとき、上加圧ユニット１～３は、対応する待機エリアＡ２～Ａ４に配置されている。取付ボルトＢｏは、ボルト挿通孔４０ａに挿通されていて、雌ねじ孔５１ｃに嵌め込まれている。次いで、ワークＷが載置された載置板９が、下加熱ユニット６０に載置される。このとき、ワークＷの温度は、常温である。

【0186】

次いで、第１動作と同様に、上加圧ユニット４および載置板９により、チャンバユニットＣＵ４（図２９参照）が、組み立てられる。次いで、第２動作と同様に、上ベース５０が、移動規制部材４９が載置板９に当接するまで下降する。

【0187】

図２９は、移動規制部材４９が載置板９に当接した状態を示す、加圧システムＳの模式断面図である。

【0188】

移動規制部材４９が載置板９に当接したとき、第２動作と同様に、載置板９に対する支持金型４６の水平方向への滑りは、生じない。さらに、上下方向において、載置板９（ワークＷ）に対する支持金型４６の位置は、固定される。この状態では、支持金型４６および個別加圧部材４７（下面４７ｐ）は、ワークＷに接触しない。したがって、これらのワークＷへの接触に起因する不具合は、生じない。

【0189】

次いで、ワークＷが、加圧される。

【0190】

図３０は、ワークＷが加圧された状態を示す、加圧システムＳの模式断面図である。

【0191】

昇降装置５２は、個別加圧部材４７それぞれが対応するワークＷに当接するまで、上ベース５０を下降させる。このとき、金型４１は、加圧パッド４５を下方向に向けて加圧しながら、枠部材４４の内部空間に進入する。また、支持部材４３１および枠部材４４は、金型４１の下降に応じて、金型４１に対して上方向に相対移動する。その結果、加圧パッド４５は、凹部４６ｃおよび収容孔４６ａの形状に追従して変形しながら凹部４６ｃおよび収容孔４６ａ内に進入して、個別加圧部材４７を下方向に向けて押し込む。このとき、個別加圧部材４７は、第２動作と同様に、支持金型４６に対して下方向に相対移動する。その結果、個別加圧部材４７は、対応するワークＷに向けて、収容孔４６ａから突出して、対応するワークＷの加圧が必要な部分（上端部）に当接する。

【0192】

次いで、昇降装置５２は、個別加圧部材４７それぞれにより対応するワークＷに対して規定圧力（例えば、１０ＭＰａ～３０ＭＰａ）が加えられるまで、上ベース５０を下降させる。

【0193】

この状態では、加圧パッド４５は、対応する個別加圧部材４７の相対移動量に応じて変形している。その結果、金型４１からの規定圧力は、各個別加圧部材４７に均等に伝達される。また、第２動作と同様に、弾性体４５ａは、各個別加圧部材４７の相対移動量の差異を吸収する。そのため、金型４１からの規定圧力は、全てのワークＷに対して、均等に伝達される。

【0194】

前述のとおり、個別加圧部材４７は、対応するワークＷの上端部のみに当接していて、上端部のみを下方向（１軸方向）に向けて加圧している。そのため、加圧システムＳは、支持金型４６に対して相対移動する個別加圧部材４７を用いて、複数のワークＷそれぞれの加圧が必要な部位のみを、一括に加圧できる。

【0195】

前述のとおり、加圧パッド４５は、支持金型４６の上方向に配置されている。そのため、支持金型４６は、弾性体４５ａを介して、金型４１から規定加圧力で加圧される。移動規制部材４９は、支持金型４６の下面と、載置板９と、の間に、格子状に配置されていて、規定加圧力で加圧される支持金型４６を支持している。そのため、支持金型４６は、規定加圧力が加えられても変形しない。

【0196】

次いで、所定時間の経過後、昇降装置５２は、上ベース５０を上昇させて、ワークＷの加圧を終了する。次いで、制御装置８は、収容室Ｒａ４内を不活性ガスでパージする。次いで、昇降装置５２は、上加圧ユニット４を上昇させる。次いで、取付ボルトＢｏが取り外されて、上加圧ユニット４は上熱ユニット５１から取り外される。次いで、上加圧ユニット４は、加圧エリアＡ１から待機エリアＡ５に搬送される。

【0197】

このように、上加圧ユニット４を用いた加圧処理では、上加圧ユニット４は、加圧エリアＡ１において、ワークＷに対して相対移動して、ワークＷに加圧処理を実行する。その結果、ワークＷは、金属製のプレス面（下面４７ｐ）により、上下方向（１軸方向）から均等に加圧される。また、同加圧処理では、複数のワークＷそれぞれが対応する個別プレス面（下面４７ｐ）それぞれで（一括して）加圧可能である。すなわち、同加圧処理における加圧方式は、１軸加圧方式と個別加圧方式とが組み合わされた方式である。

【0198】

●まとめ
以上説明された実施の形態によれば、加圧システムＳは、上加圧ユニット１～４、加圧エリアＡ１、待機エリアＡ２～Ａ５、およびレールＲ１～Ｒ１２を有してなる。上下方向視において、待機エリアＡ２～Ａ５は、加圧エリアＡ１の側方に、加圧エリアＡ１に隣接して配置されている。ワークＷが加圧されるとき、上加圧ユニット１～４のうち、１個の上加圧ユニット１は、加圧エリアＡ１に配置されていて、ワークＷに対して上下方向に相対移動可能である。残りの上加圧ユニット２～４は、対応する待機エリアＡ３～Ａ５に配置されている。上加圧ユニット１～４それぞれは、ワークＷに対して異なる加圧方式で、加圧処理を実行可能に構成されている。この構成によれば、使用者は、加圧エリアＡ１に搬送される上加圧ユニット１～４を選択することにより、ワークＷに合わせて、適切な加圧方式を選択できる。また、選択された上加圧ユニット１～４のみが１個の加圧エリアＡ１に搬送されて、ワークＷは加圧エリアＡ１に配置されている加圧装置５のみで加圧される。すなわち、加圧システムＳは、単一の加圧装置５のみで、複数種の加圧方式によりワークＷを加圧できる。したがって、加圧システムＳは、複数の加圧方式を選択可能であるにも関わらず、複数の加圧装置を備える加圧システムと比較して、小型化および軽量化される。

【0199】

また、以上説明された実施の形態によれば、加圧方式は、ワークＷに対して、多方向から加圧する疑似等方圧方式、および、ワークＷに対して、上下方向のみから加圧する１軸加圧方式、を含む。この構成によれば、使用者は、ワークＷに応じて、疑似等方圧方式と１軸加圧方式とのうち、いずれか一方を選択できる。

【0200】

さらに、以上説明された実施の形態によれば、加圧方式は、複数のワークＷに対して、１個の下面１５ｐ，３１ｐで一括に加圧する一括加圧方式、および、複数のワークＷそれぞれに対して、区画された複数の下面２７ｐ，４７ｐそれぞれで個別に加圧する個別加圧方式、を含む。この構成によれば、使用者は、ワークＷに応じて、一括加圧方式と個別加圧方式とのうち、いずれか一方を選択できる。

【0201】

さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、疑似等方圧方式でワークＷを加圧する上加圧ユニット１は、金型１１、枠部材１４、および加圧パッド１５を備える。金型１１は、ワークＷが加圧されるとき、加圧パッド１５をワークＷに向けて加圧する。枠部材１４は、加圧パッド１５を保持する。加圧パッド１５は、ワークＷが加圧されるとき、ワークＷの表面の形状に追従して変形する弾性体１５ａを備える。この構成によれば、上加圧ユニット１は、疑似等方圧方式による加圧処理を実行するために必要な構成を備えている。したがって、使用者は、上加圧ユニット１を選択して、上加圧ユニット１を加圧エリアＡ１に搬送することにより、容易に疑似等方圧方式を選択できる。

【0202】

さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、１軸加圧方式でワークＷを加圧する上加圧ユニット２～４は、金属製で平面状の下面２７ｐ，３１ｐ，４７ｐを備える。下面２７ｐ，３１ｐ，４７ｐは、ワークＷが加圧されるとき、ワークＷに向けられる。この構成によれば、使用者は、上加圧ユニット２～４を選択して、これらを加圧エリアＡ１に搬送することにより、容易に１軸加圧方式を選択できる。また、使用者は、加圧後のワークＷの上面Ｗａの平坦性を確保しながら、同じ厚さの複数のワークＷ、または、異なる厚さの複数のワークＷに対して、一括で加圧できる。

【0203】

さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、個別加圧方式でワークＷを加圧する上加圧ユニット４は、金型４１、枠部材４４、加圧パッド４５、支持金型４６、および個別加圧部材４７を備える。金型４１は、個別加圧部材４７をワークＷに向けて加圧する。枠部材４４は、加圧パッド４５を保持する。枠部材４４は、上下方向視において金型４１の側方に配置されていて、金型４１に対して上下方向に相対移動可能である。加圧パッド４５は、金型４１と個別加圧部材４７との間に配置されていて、下方向視において、金型４１の全面を覆う。加圧パッド４５は、個別加圧部材４７それぞれの支持金型４６に対する相対移動量に応じて変形する。支持金型４６は、個別加圧部材４７を支持していて、枠部材４４および加圧パッド４５の下方向に配置されていて、枠部材４４に支持されている。個別加圧部材４７は、複数のワークＷそれぞれを個別に加圧可能であり、下面４７ｐを備える。個別加圧部材４７は、支持金型４６に対して上下方向に相対移動可能である。ワークＷが加圧されるとき、個別加圧部材４７は、対応するワークＷに向けて支持金型４６から突出する。この構成によれば、上加圧ユニット４は、１軸加圧方式と個別加圧方式とが組み合わされた方式による加圧処理を実行するために必要な構成を備えている。したがって、使用者は、上加圧ユニット４を選択して、上加圧ユニット４を加圧エリアＡ１に搬送することにより、容易に１軸加圧方式と個別加圧方式とが組み合わされた方式を選択できる。

【0204】

さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、個別加圧方式でワークＷを加圧する上加圧ユニット２は、金型２１、支持部材２３１、支持金型２６、個別加圧部材２７、および個別加圧パッド２５を備える。金型２１は、個別加圧部材２７をワークＷに向けて加圧する。支持部材２３１は、上下方向視において金型２１の側方に配置されていて、支持金型２６を支持している。支持金型２６は、個別加圧部材２７を支持している。個別加圧部材２７は、複数のワークＷそれぞれを個別に加圧可能であり、下面２７ｐを備える。個別加圧部材２７は、支持金型２６に対して上下方向に相対移動可能である。ワークＷが加圧されるとき、個別加圧部材２７は、対応するワークＷに向けて支持金型２６から突出する。個別加圧パッド２５は、金型２１と個別加圧部材２７との間に配置されていて、個別加圧部材２７それぞれの支持金型２６に対する相対移動量に応じて変形する。この構成によれば、上加圧ユニット２は、１軸加圧方式と個別加圧方式とが組み合わされた方式による加圧処理を実行するために必要な構成を備えている。したがって、使用者は、上加圧ユニット２を選択して、上加圧ユニット２を加圧エリアＡ１に搬送することにより、容易に１軸加圧方式と個別加圧方式とが組み合わされた方式を選択できる。

【0205】

さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、加圧システムＳは、上熱ユニット５１、下加熱ユニット６０、および下冷却ユニット６１を有してなる。上熱ユニット５１および下加熱ユニット６０は、ワークＷを加熱および冷却可能である。下冷却ユニット６１は、ワークＷを冷却可能である。上熱ユニット５１、下加熱ユニット６０、および下冷却ユニット６１は、本体部５１ａ，６０ａ，６１ａ、加熱源Ｈ１，Ｈ２、および冷却源Ｃ１～Ｃ３を備える。加熱源Ｈ１，Ｈ２は、本体部５１ａ，６０ａに内包されていて、本体部５１ａ，６０ａを加熱する。冷却源Ｃ１～Ｃ３は、本体部５１ａ，６０ａ，６１ａに内包されていて、本体部５１ａ，６０ａ，６１ａを冷却する。この構成によれば、使用者は、これらの熱ユニットおよびその動作を組み合わせることにより、異なる加熱方式および冷却方式を加圧方式に組み合わせ可能である。

【0206】

さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、加圧システムＳは、待機エリアＡ２，Ａ４、昇降装置５２、下熱ユニット搬送装置６２、および載置板９を有してなる。上下方向視において、待機エリアＡ２，Ａ４は、上下方向視において、加圧エリアＡ１の側方に配置されている。昇降装置５２は、加圧エリアＡ１に搬送された上加圧ユニット１～４を昇降させる。下熱ユニット搬送装置６２は、下加熱ユニット６０および下冷却ユニット６１を待機エリアＡ２，Ａ４と加圧エリアＡ１との間で往復搬送する。上加圧ユニット１～４は、加圧エリアＡ１において、載置板９と共にチャンバユニットＣＵ１～ＣＵ４を形成する。昇降装置５２は、下加熱ユニット６０および下冷却ユニット６１が搬送されるとき、チャンバユニットＣＵ１～ＣＵ４を上昇させる。昇降装置５２は、下加熱ユニット６０または下冷却ユニット６１が加圧エリアＡ１に搬送されたとき、チャンバユニットＣＵ１～ＣＵ４を下降させて、チャンバユニットＣＵ１～ＣＵ４を加圧エリアＡ１に搬送された下加熱ユニット６０または下冷却ユニット６１に当接させる。この構成によれば、使用者は、ワークＷの急加熱および／または急冷却を加圧方式に組み合わせできる。

【0207】

さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、加圧システムＳは、昇降装置５２を有してなる。昇降装置５２は、加圧エリアＡ１に配置されていて、加圧エリアＡ１に搬送された上加圧ユニット１～４を昇降させる。レールＲ１～Ｒ１２は、レールＲ９～Ｒ１２を備える。レールＲ９～Ｒ１２は、加圧エリアＡ１に配置されていて、上ベース５０を介して、（間接的に）昇降装置５２に取り付けられている。上加圧ユニット１～４それぞれは、ベース１０，２０，３０，４０、金型１１，２１，３１，４１、および下面１５ｐ，２７ｐ，３１ｐ，４７ｐ、を備える。ベース１０，２０，３０，４０は、金型１１，２１，３１，４１を支持している。金型１１，２１，３１，４１は、下面１５ｐ，２７ｐ，３１ｐ，４７ｐをワークＷに向けて加圧する。下面１５ｐ，２７ｐ，３１ｐ，４７ｐは、ワークＷに向けられる。上加圧ユニット１～４が加圧エリアＡ１に位置しているとき、上加圧ユニット１～４は、ワークＷの上方向に配置されている。ベース１０，２０，３０，４０は、上ベース５０および上熱ユニット５１を介して、昇降装置５２に固定されている。上加圧ユニット１～４は、レールＲ９～Ｒ１２から上方向に離間している。この構成によれば、ワークＷが加圧されているとき、ベース１０，２０，３０，４０が下降してもローラＲｏはレールＲ９～Ｒ１２を加圧せず、ローラＲｏおよびレールＲ９～Ｒ１２に機械的な負荷は加えられない。

【0208】

●変形例●
次に、加圧システムの変形例が、以上説明された実施の形態（以下「第１実施形態」という。）とは異なる部分を中心に、以下に説明される。以下の変形例の説明において、第１実施形態と同じ要素、および、共通する機能を有する要素には、説明の便宜上、第１実施形態と同一の符号が付されていて、その説明は省略される。以下の説明において、図１～図９は、適宜参照される。

【0209】

●第１変形例
図３１は、加圧システムの第１変形例における上加圧ユニットの模式断面図である。
同図は、上加圧ユニット１ＡがＸ軸方向における中央部で切断された、ＹＺ平面に沿う上加圧ユニット１Ａの断面を示している。

【0210】

第１変形例における上加圧ユニット１Ａは、上加圧ユニット１Ａが金型１１、枠部材１４、および加圧パッド１５に代えて金型１６、枠部材１７、および加圧パッド１８を備える点において、上加圧ユニット１と異なる。上加圧ユニット１Ａは、ベース１０、サイドユニット１２、支持ユニット１３、金型１６、枠部材１７、および加圧パッド１８を備える。上加圧ユニット１は、例えば、待機エリアＡ２と加圧エリアＡ１との間で搬送可能である。

【0211】

金型１６は、加圧パッド１８を下方向に向けて加圧することにより、加圧パッド１８を介して、ワークＷを加圧する。金型１６は、本体部１６ａおよび複数の個別金型１６ｂを備える。金型１６の構成は、金型２１の構成と共通する。そのため、金型１６の詳細な説明は、省略される。

【0212】

枠部材１７は、加圧パッド１８を保持する。枠部材１７は、例えば、高い剛性を有する金属（例えば、ステンレス鋼）製である。上下方向視において、枠部材１７の形状は、ＸＹ軸方向に沿う矩形格子状である。下方向視において、枠部材１７は、複数（本実施の形態では９個）の窓部１７ａを備える。窓部１７ａは、枠部材１７を上下方向に貫通する矩形状の貫通孔である。上下方向において、枠部材１７は、金型１６よりも下方向に位置している。枠部材１７は、支持ユニット１３を介して、金型１６に対して上下方向に相対移動可能に、ベース１０に支持されている。

【0213】

加圧パッド１８は、ワークＷが加圧されるとき、ワークＷの表面の形状に追従するように変形して、ワークＷを均等に加圧する。加圧パッド１８は、枠部材１７に保持されていて、金型１６の下方向に配置されている。加圧パッド１８は、弾性体１８ａおよび膜部材１８ｂ，１８ｃを備える。

【0214】

弾性体１８ａは、ワークＷが加圧されるとき、金型１６からの圧力をワークＷへ均等に伝達する。弾性体１８ａの材質は、弾性体１５ａの材質と同じである。膜部材１８ｂ，１８ｃは、枠部材１７に挟み込まれるように保持されている。弾性体１８ａは、各窓部１７ａにおいて、弾性体１８ａの上下に配置されている２枚の膜部材１８ｂ，１８ｃの間に充填されている。

【0215】

下方向視において、加圧パッド１８は、枠部材１７により、複数（本実施の形態では、９個）の矩形状の領域１８ｄに区画されている。同領域１８ｄは、本発明における個別加圧パッドの一例である。同領域１８ｄの下面１８ｐは、対応する１個のワークＷに向けられて、同ワークＷを加圧する１個の個別プレス面として機能する。すなわち、同下面１８ｐは、本発明における個別プレス面として機能する。

【0216】

図３２は、上加圧ユニット１ＡによりワークＷが加圧された状態を示す、加圧システムＳＡの模式断面図である。

【0217】

ワークＷが加圧されるとき、金型１６は、加圧パッド１８を下方向へ向けて押圧する。このとき、個別金型１６ｂそれぞれは、加圧パッド１８のうち、対応する部分（対応する窓部１７ａに配置されている部分）を下方向へ向けて押圧する。その結果、加圧パッド１８はワークＷの表面の形状に追従するように変形して、ワークＷを均等に加圧する。ここで、上下方向視において、ワークＷに対する個別プレス面（下面１８ｐ）の大きさは、ワークＷの表面の大きさよりも僅かに大きい。そのため、加圧パッド１８は、載置板９まで到達せず、ワークＷの一部（側部の載置板９側の部分）は、側方から加圧されない。すなわち、個別プレス面（１８ｐ）によりワークＷに加えられる圧力の方向は、プレス面（下面１５ｐ）によりワークＷに加えられる圧力の方向とは、僅かに異なる。このように、上加圧ユニット１Ａでは、ワークＷは、ほぼ全方向（多方向）から均等に加圧される。

【0218】

このように、上加圧ユニット１Ａを用いた加圧処理では、ワークＷは、ワークＷの表面の形状に追従して変形する加圧パッド１８により、ほぼ全方向（多方向）から均等に加圧される。また、同加圧処理では、複数のワークＷそれぞれが対応する個別プレス面（下面１８ｐ）それぞれで（一括して）加圧可能である。すなわち、同加圧処理における加圧方式は、疑似等方圧方式と個別加圧方式とが組み合わされた方式である。

【0219】

なお、第１変形例において、ワークＷに対する個別プレス面（下面１８ｐ）の大きさは、ワークＷの表面の大きさと同じ、または、ワークＷの表面の大きさよりも僅かに小さくてもよい。

【0220】

●第２変形例
図３３は、加圧システムの第２変形例を示す、加圧システムの模式断面図である。

【0221】

第２変形例における加圧システムＳＢでは、加圧システムＳに対して上下方向の向きが逆転している。加圧システムＳＢは、筐体、４個の下加圧ユニット１Ｂ，３Ｂ（２個は不図示。以下同じ。）、加圧装置５Ｂ、上熱ユニット６Ｂ、搬送機構（不図示。以下同じ。）、制御装置８、載置フィルム９Ｂ、ポンプＰ、および複数の取付ボルトＢｏを有してなる。下加圧ユニット１Ｂ，３Ｂは、本発明における加圧ユニットの一例である。

【0222】

下加圧ユニット１Ｂ，３Ｂの構成は、上下方向の向きが逆転している点を除き、上加圧ユニット１，３の構成と共通する。そのため、下加圧ユニット１Ｂ，３Ｂの詳細な説明は、省略される。

【0223】

加圧装置５Ｂは、加圧エリアＡ１に移動した下加圧ユニット１Ｂ，３Ｂを用いて、ワークＷを加圧する。加圧装置５Ｂは、下ベース５０Ｂ、下熱ユニット５１Ｂ、および昇降装置５２Ｂを備える。加圧装置５Ｂは、加圧エリアＡ１に配置されている。加圧装置５Ｂの構成は、上下方向が逆転している点を除き、加圧装置５の構成と共通する。そのため、加圧装置５Ｂの詳細な説明は、省略される。

【0224】

上熱ユニット６Ｂは、ワークＷを加熱および冷却する。上熱ユニット６Ｂは、上加熱ユニット６０Ｂを備える。上加熱ユニット６０Ｂの構成は、上下方向が逆転している点、および、上加熱ユニット６０Ｂが固定されている点を除き、下加熱ユニット６０の構成と共通する。そのため、上加熱ユニット６０Ｂの詳細な説明は、省略される。

【0225】

搬送機構は、下加圧ユニット１Ｂ，３Ｂを移動可能に支持する。搬送機構は、例えば、複数のレール（不図示）、複数のベース（不図示）、および複数のローラ（不図示）を備える。搬送機構の構成は、上下方向が逆転している点を除き、搬送機構７の構成と共通する。そのため、搬送機構の詳細な説明は、省略される。

【0226】

載置フィルム９Ｂは、ワークＷが載置されるフィルムである。載置フィルム９Ｂは、下熱ユニット５１Ｂと上加熱ユニット６０Ｂとの間における上加熱ユニット６０Ｂに近い位置に、所定の張力が加えられた状態で、配置されている。

【0227】

ワークＷが下加圧ユニット１Ｂにより加圧されるとき、下加圧ユニット１Ｂは、待機エリアＡ２から加圧エリアＡ１に搬送されて、下熱ユニット５１Ｂに取り付けられる。次いで、昇降装置５２Ｂは、下加圧ユニット１Ｂを上昇させる。このとき、載置フィルム９Ｂは、上加熱ユニット６０Ｂと下加圧ユニット１Ｂとの間に挟み込まれて、ワークＷと共に加圧される。

【0228】

●第３変形例
図３４は、加圧システムの第３変形例を示す、加圧システムの模式断面図である。

【0229】

第３変形例では、加圧システムＳＣは、待機エリアＡ２～Ａ５に代えて、５個の上加圧ユニット１～４，１Ａに対応する１個の待機エリアＡ６、および、上加圧ユニット１～４，１Ａを昇降させる昇降装置（不図示。以下同じ。）を有してなる。上下方向において、待機エリアＡ６の長さは、待機エリアＡ２～Ａ５の長さよりも大きい。待機エリアＡ６の内部は、各上加圧ユニット１～４，１Ａが収容される個別待機エリアＡ６１～Ａ６５に区画されている。個別待機エリアＡ６１～Ａ６５は、上下方向にそって配列されている。個別待機エリアＡ６１～Ａ６５は、本発明における待機エリアの一例である。上下方向視において、待機エリアＡ６は、加圧エリアＡ１の＋Ｘ方向に、加圧エリアＡ１に隣接して配置されている。上加圧ユニット１～４，１Ａは、昇降装置により待機エリアＡ６内を昇降可能である。使用される上加圧ユニット１～４，１Ａが適切な高さに昇降することにより、使用される上加圧ユニット１～４，１Ａは、加圧エリアＡ１に搬送される。

【0230】

●その他の実施形態●
●待機エリア
なお、本発明において、待機エリアＡ２～Ａ５の数は、複数であればよく、「４」に限定されない。すなわち、例えば、加圧システムＳは、待機エリアＡ２～Ａ５のうち、待機エリアＡ２，Ａ４のみを備えていてもよく、待機エリアＡ３，Ａ５のみを備えていてもよく、待機エリアＡ２，Ａ３のみを備えていてもよい。

【0231】

また、本発明において、待機エリアＡ２～Ａ５は、上下方向視において加圧エリアＡ１の側方に配置されていればよく、加圧エリアＡ１に隣接していなくてもよい。

【0232】

さらに、本発明において、待機エリアＡ２～Ａ５は、個別待機エリアＡ６１～Ａ６５のように、上下方向に配列されていてもよい。

【0233】

●上加圧ユニット
さらにまた、本発明において、待機エリアＡ２～Ａ５に対する上加圧ユニット１～４の配置は、第１実施形態の配置に限定されない。すなわち、例えば、上加圧ユニット１は待機エリアＡ３～Ａ５に配置されていてもよく、上加圧ユニット２は待機エリアＡ２，Ａ４，Ａ５に配置されていてもよい。

【0234】

さらにまた、本発明において、加圧システムＳは、異なる加圧方式の複数の上加圧ユニット１～４を備えていればよく、上加圧ユニット１～４のうち、いずれか２つを備えていなくてもよい。また、例えば、加圧システムＳは、上加圧ユニット１～４のいずれか１つに代えて、上加圧ユニット１Ａを備えていてもよい。

【0235】

さらにまた、本発明において、上加圧ユニット１～４は各加圧方式を実現する一例であり、各加圧方式を実現する上加圧ユニット１～４それぞれの構成は第１実施形態の構成に限定されない。

【0236】

さらにまた、上加圧ユニット１～４は、サイドユニット１２，２２，３２，４２を備えていなくてもよい。この場合、上加圧ユニット１～４は、チャンバユニットＣＵ１～ＣＵ４を形成しない。また、下加熱ユニット６０および下冷却ユニット６１の入替は、実行されない（ワークＷの急加熱および急冷却は、実行されない）。

【0237】

さらにまた、本発明において、金型１１，２１，３１，４１の形状は、直方体状でなくてもよい。すなわち、例えば、金型１１，２１，３１，４１の形状は、上下方向視において円柱状でもよい。この場合、金型１１，２１，３１，４１よりも下方向に配置されている各部材の形状は、金型１１，２１，３１，４１の形状に応じて設計される。

【0238】

さらにまた、本発明において、個別加圧部材２７，４７の数は、複数であればよく、９個に限定されない。この場合、個別金型２１ｂ，３１ｂ、個別保護板２４、収容孔２６ａ，４６ａ、個別加圧パッド２５、および付勢ユニット２８，４８の数および配置は、個別加圧部材２７，４７の数および配置に応じて適宜設定される。

【0239】

さらにまた、本発明において、個別加圧部材２７，４７の本体部２７ａ，４７ａの形状は、直方体状に限定されない。すなわち、例えば、本体部２７ａ，４７ａの形状は、上下方向視において円柱状でもよい。

【0240】

さらにまた、本発明において、個別加圧部材２７，４７は、複数の分割可能な部材により形成されていてもよい。この場合、同部材は、弾性体や断熱体を含んでもよい。

【0241】

さらにまた、本発明において、加圧システムＳは、ゲルシートよりもワークＷの表面への追従性が低い材料（例えば、シリコンゴムなど）製の弾性体を備える上加圧ユニットを備えていてもよい。

【0242】

●熱ユニット
さらにまた、本発明において、加圧システムＳは、上熱ユニット５１および／または下熱ユニット６を備えていなくてもよい。

【0243】

さらにまた、本発明において、加圧システムＳは、下加熱ユニット６０または下冷却ユニット６１を備えていなくてもよい。

【0244】

さらにまた、本発明において、下加熱ユニット６０は、加熱専用に設計されていてもよい。

【0245】

さらにまた、本発明において、加圧システムＳは、下熱ユニット６に代えて、加圧エリアＡ１に固定される１個の熱ユニットを備えていてもよい。

【0246】

さらにまた、本発明において、第１動作～第４動作で実行されるワークＷの加熱および冷却の方式は、相互に入れ替えられていてもよい。すなわち、例えば、第１動作において、ワークＷは、緩慢に加熱されて、緩慢に冷却されてもよい。このように、加圧システムＳは、加圧方式に加えて、加熱方式も適宜選択して組み合わせ可能である。

【0247】

●搬送
さらにまた、本発明において、搬送機構７は、自動で上加圧ユニット１～４を搬送可能な機構を備えていてもよい。

【0248】

さらにまた、本発明において、レールＲ９～Ｒ１２は、上加圧ユニット１～４の搬送に干渉しない位置に退避可能に設計されていてもよい。

【0249】

さらにまた、本発明において、搬送機構７は、レールＲ１１，Ｒ１２（レールＲ９，Ｒ１０）を備えていなくてもよい。この場合、例えば、上方向視において、レールＲ９，Ｒ１０（レールＲ１１，Ｒ１２）は、時計回り方向または反時計回り方向に９０°回転可能に設計されていてもよい。

【0250】

さらにまた、本発明において、上加圧ユニット１～４の搬送後のポンプＰと排気孔１２ａ，２２ａ，３２ａ，４２ａとの接続は、着脱容易な部材（例えば、カプラなど）により、自動的に実行されていてもよい。

【0251】

さらにまた、本発明において、搬送機構７の構成は、第１実施形態の構成に限定されない。すなわち、例えば、搬送機構７は、搬送テーブルに載置された上加圧ユニット１～４を搬送可能な構成を備えていてもよい。

【0252】

さらにまた、本発明において、上加圧ユニット１～４が上熱ユニット５１に取り付けられたとき、ローラＲｏは、レールＲ９～Ｒ１２から離間しなくてもよい。この場合、レールＲ９～Ｒ１２は、取り外されてもよい。

【0253】

さらにまた、本発明において、上加圧ユニット１～４は、搬送テーブルに載置された状態で搬送されてもよい。

【0254】

●本発明の実施態様●
次に、以上説明した各実施形態から把握される本発明の実施態様について、各実施形態において記載された用語と符号とを援用しつつ、以下に記載する。

【0255】

本発明の第１の実施態様は、少なくとも１個のワーク（例えば、ワークＷ）に加圧処理を実行する加圧システム（例えば、加圧システムＳ，ＳＡ，ＳＢ）であって、複数の加圧ユニット（例えば、上加圧ユニット１～４，１Ａ、下加圧ユニット１Ｂ～４Ｂ）と、前記加圧処理が実行される１個の加圧エリア（例えば、加圧エリアＡ１）と、上下方向視において、前記加圧エリアの側方に配置される複数の待機エリア（例えば、待機エリアＡ２～Ａ６、個別待機エリアＡ６１～Ａ６５）と、前記加圧ユニットそれぞれを、前記加圧ユニットそれぞれに対応する前記待機エリアと、前記加圧エリアと、の間で搬送可能に支持するユニット支持部材（例えば、レールＲ１～Ｒ１２）と、を有してなり、前記ワークが加圧されるとき、複数の前記加圧ユニットのうち、１個の前記加圧ユニット（例えば、上加圧ユニット１）は、前記加圧エリアにおいて、前記ワークの上方向または下方向に配置されて、前記ワークに対して相対移動可能であり、残りの前記加圧ユニット（例えば、上加圧ユニット２～４）は、対応する前記待機エリア（例えば、待機エリアＡ３～Ａ６）に配置されて、前記加圧ユニットそれぞれは、前記ワークに対して異なる加圧方式で、前記加圧処理を実行可能に構成される、加圧システムである。
この構成によれば、使用者は、加圧エリアに搬送される上加圧ユニットを選択することにより、ワークに合わせて、適切な加圧方式を選択できる。

【0256】

本発明の第２の実施態様は、第１の実施態様において、前記加圧方式は、前記ワークに対して、多方向から加圧する疑似等方圧方式と、前記ワークに対して、上下方向のみから加圧する１軸加圧方式と、のうち、いずれか一方、を含む、加圧システムである。
この構成によれば、使用者は、ワークに応じて、疑似等方圧方式と１軸加圧方式とのうち、いずれか一方を選択できる。

【0257】

本発明の第３の実施態様は、第１または第２の実施態様において、前記加圧方式は、複数の前記ワークに対して、１個のプレス面（例えば、下面１５ｐ，３１ｐ）で一括に加圧する一括加圧方式と、複数の前記ワークそれぞれに対して、区画された複数の個別プレス面（例えば、下面１７ｐ，２７ｐ，４７ｐ）それぞれで個別に加圧する個別加圧方式と、のうち、いずれか一方、を含む、加圧システムである。
この構成によれば、使用者は、ワークに応じて、一括加圧方式と個別加圧方式とのうち、いずれか一方を選択できる。

【0258】

本発明の第４の実施態様は、第２の実施態様において、前記疑似等方圧方式で前記ワークを加圧する前記加圧ユニット（例えば、上加圧ユニット１，１Ａ、下加圧ユニット１Ｂ）は、前記ワークが加圧されるとき、前記ワークの表面の形状に追従して変形する弾性体（例えば、弾性体１５ａ，１８ａ）を備える加圧パッド（例えば、加圧パッド１５，１８）と、前記加圧パッドを保持する枠部材（例えば、枠部材１４，１７）と、前記ワークが加圧されるとき、前記加圧パッドを前記ワークに向けて加圧する金型（例えば、金型１１，２１）と、を備える、加圧システムである。
この構成によれば、使用者は、上加圧ユニットを選択することにより、容易に疑似等方圧方式を選択できる。

【0259】

本発明の第５の実施態様は、第２の実施態様において、前記１軸加圧方式で前記ワークを加圧する前記加圧ユニット（例えば、上加圧ユニット２～４、下加圧ユニット３Ｂ）は、前記ワークが加圧されるとき、前記ワークに向けられるプレス面（２７ｐ，３１ｐ，４７ｐ）、を備えて、前記プレス面は、金属製で、平面状である、加圧システムである。
この構成によれば、使用者は、上加圧ユニットを選択することにより、容易に１軸加圧方式を選択できる。

【0260】

本発明の第６の実施態様は、第３の実施態様において、前記個別加圧方式で前記ワークを加圧する前記加圧ユニット（例えば、上加圧ユニット４）は、前記ワークそれぞれを個別に加圧可能であり、前記個別プレス面を備える複数の個別加圧部材（例えば、個別加圧部材４７）と、前記個別加圧部材を支持する支持金型（例えば、支持金型４６）と、前記個別加圧部材を前記ワークに向けて加圧可能な金型（例えば、金型４１）と、前記個別加圧部材と、前記金型と、の間に配置される加圧パッド（例えば、加圧パッド４５）と、上下方向視において前記金型の側方に配置されて、前記加圧パッドを保持する枠部材（例えば、枠部材４４）と、を備えて、前記枠部材は、前記金型に対して上下方向に相対移動可能であり、前記個別加圧部材は、前記支持金型に対して上下方向に相対移動可能であり、前記加圧パッドは、下方向視において、前記金型の全面を覆い、前記個別加圧部材それぞれの前記支持金型に対する相対移動量に応じて変形可能であり、前記支持金型は、前記加圧パッドと前記枠部材との下方向に配置されて、前記枠部材に支持されて、前記ワークが加圧されるとき、前記個別加圧部材は、対応する前記ワークに向けて前記支持金型から突出する、加圧システムである。
この構成によれば、使用者は、上加圧ユニットを選択することにより、容易に１軸加圧方式と個別加圧方式とが組み合わされた方式を選択できる。

【0261】

本発明の第７の実施態様は、第３の実施態様において、前記個別加圧方式で前記ワークを加圧する前記加圧ユニット（例えば、上加圧ユニット２）は、前記ワークそれぞれを個別に加圧可能であり、前記個別プレス面を備える複数の個別加圧部材（例えば、個別加圧部材２７）と、前記個別加圧部材を支持する支持金型（例えば、支持金型２６）と、前記個別加圧部材を前記ワークに向けて加圧可能な金型（例えば、金型２１）と、前記個別加圧部材と、前記金型と、の間に配置される加圧パッド（例えば、個別加圧パッド２５）と、上下方向視において前記金型の側方に配置されて、前記支持金型を支持する支持部材（例えば、支持部材２３１）と、を備えて、前記支持部材は、前記金型に対して上下方向に相対移動可能であり、前記個別加圧部材は、前記支持金型に対して上下方向に相対移動可能であり、前記加圧パッドは、前記個別加圧部材それぞれの前記支持金型に対する相対移動量に応じて変形可能であり、前記ワークが加圧されるとき、前記個別加圧部材は、対応する前記ワークに向けて前記支持金型から突出する、加圧システムである。
この構成によれば、使用者は、上加圧ユニットを選択することにより、容易に１軸加圧方式と個別加圧方式とが組み合わされた方式を選択できる。

【0262】

本発明の第８の実施態様は、第３の実施態様において、前記個別加圧方式で前記ワークを加圧する前記加圧ユニット（例えば、上加圧ユニット１Ａ）は、前記ワークが加圧されるとき、前記ワークの表面の形状に追従して変形する弾性体を備える加圧パッド（例えば、加圧パッド１８）と、前記加圧パッドを保持する枠部材（例えば、枠部材１７）と、前記ワークが加圧されるとき、前記加圧パッドを前記ワークに向けて加圧する金型（例えば、金型１６）と、を備えて、前記枠部材は、前記加圧パッドを複数の個別加圧パッド（例えば、領域１８ｄ）に区画して、前記金型は、前記個別加圧パッドそれぞれに対応する複数の個別金型（例えば、個別金型１６ｂ）、を備えて、前記個別加圧パッドは、前記個別プレス面（例えば、下面１８ｐ）、を備える、加圧システムである。
この構成によれば、使用者は、上加圧ユニットを選択することにより、容易に疑似等方圧方式と個別加圧方式とが組み合わされた方式を選択できる。

【0263】

本発明の第９の実施態様は、第１の実施態様において、前記ワークを加熱または冷却可能な熱ユニット（例えば、上熱ユニット５１、下加熱ユニット６０、下冷却ユニット６１、下熱ユニット５１Ｂ、上加熱ユニット６０Ｂ、上冷却ユニット６１Ｂ）、を有してなり、前記熱ユニットは、前記加圧エリアに移動した前記加圧ユニットよりも上方向に配置される上熱ユニット（例えば、上熱ユニット５１、上加熱ユニット６０Ｂ、上冷却ユニット６１Ｂ）と、前記ワークよりも下方向に配置される下熱ユニット（例えば、下熱ユニット５１Ｂ、下加熱ユニット６０、下冷却ユニット６１）と、を備えて、前記上熱ユニットと前記下熱ユニットそれぞれは、熱金型（例えば、本体部５１ａ，６０ａ，６１ａ）と、前記熱金型に内包されて、前記熱金型を加熱する加熱源（例えば、加熱源Ｈ１，Ｈ２）と、前記熱金型に内包されて、前記熱金型を冷却する冷却源（例えば、冷却源Ｃ１～Ｃ３）と、を備える、加圧システムである。
この構成によれば、使用者は、熱ユニットおよびその動作を組み合わせることにより、異なる加熱方式および冷却方式を加圧方式に組み合わせ可能である。

【0264】

本発明の第１０の実施態様は、第９の実施態様において、前記ワークが載置される載置板（例えば、載置板９）と、上下方向視において、前記加圧エリアの側方に配置される熱ユニット待機エリア（例えば、待機エリアＡ２，Ａ４）と、前記下熱ユニット（例えば、下加熱ユニット６０、下冷却ユニット６１）を、前記熱ユニット待機エリアと前記加圧エリアとの間で往復搬送する熱ユニット搬送装置（例えば、下熱ユニット搬送装置６２）と、前記加圧エリアに搬送された前記加圧ユニットを昇降させる昇降装置（例えば、昇降装置５２）と、を有してなり、前記下熱ユニットは、前記加熱源（例えば、加熱源Ｈ２）を備えて、前記ワークを加熱可能な下加熱ユニット（例えば、下加熱ユニット６０）と、前記冷却源（例えば、冷却源Ｃ３）を備えて、前記ワークを冷却可能な下冷却ユニット（例えば、下冷却ユニット６１）と、を備えて、前記加圧ユニットが前記加圧エリアに位置しているとき、前記加圧ユニットは、前記載置板と共に、前記ワークが収容されるチャンバユニット（例えば、チャンバユニットＣＵ１～ＣＵ４）を形成して、前記昇降装置は、前記下加熱ユニットと前記下冷却ユニットとが搬送されるとき、前記チャンバユニットを上昇させて、前記下加熱ユニットまたは前記下冷却ユニットが前記加圧エリアに搬送されたとき、前記チャンバユニットを下降させて、前記チャンバユニットを前記加圧エリアに搬送された前記下加熱ユニットまたは前記下冷却ユニットに当接させる、加圧システム（例えば、加圧システムＳ）である。
この構成によれば、使用者は、ワークの急加熱および／または急冷却を加圧方式に組み合わせできる。

【0265】

本発明の第１１の実施態様は、第１の実施態様において、前記加圧エリアに搬送された前記加圧ユニットを昇降させる昇降装置（例えば、昇降装置５２，５２Ｂ）、を有してなり、前記昇降装置は、前記加圧エリアに配置されて、前記ユニット支持部材は、前記加圧エリアに配置されて、前記昇降装置に取り付けられる個別ユニット支持部材（例えば、レールＲ９～Ｒ１２）、を備えて、前記加圧ユニットそれぞれは、前記ワークに向けられるプレス面（例えば、下面１５ｐ，１７ｐ，２７ｐ，３１ｐ，４７ｐ）と、前記プレス面を前記ワークに向けて加圧可能な金型（金型１１，２１，３１，４１）と、前記金型を支持するベース（例えば、ベース１０，２０，３０，４０）と、を備えて、前記加圧ユニットが前記加圧エリアに位置しているとき、前記加圧ユニットは、前記ワークの上方向に配置されて、前記ベースは、前記昇降装置に固定されて、前記加圧ユニットは、前記個別ユニット支持部材から離間する、加圧システムである。
この構成によれば、ワークが加圧されているとき、ローラおよびレールに機械的な負荷は、加えられない。

【符号の説明】

【0266】

Ｓ 加圧システム
１ 上加圧ユニット（加圧ユニット）
１０ ベース
１１ 金型
１４ 枠部材
１５ 加圧パッド
１５ｐ 下面（プレス面）
２ 上加圧ユニット
２０ ベース
２１ 金型
２１ｂ 個別金型
２３１ 支持部材
２５ 個別加圧パッド（加圧パッド）
２６ 支持金型
２７ 個別加圧部材
２７ｐ 下面（個別プレス面）
３ 上加圧ユニット
３０ ベース
３１ 金型
３１ｐ 下面（プレス面）
４ 上加圧ユニット
４０ ベース
４１ 金型
４４ 枠部材
４５ 加圧パッド
４６ 支持金型
４７ 個別加圧部材
４７ｐ 下面（個別プレス面）
５１ 上熱ユニット（熱ユニット）
５１ａ 本体部（熱金型）
５２ 昇降装置
６０ 下加熱ユニット（熱ユニット）
６０ａ 本体部（熱金型）
６１ 下冷却ユニット（熱ユニット）
６１ａ 本体部（熱金型）
６２ 下熱ユニット搬送装置
Ａ１ 加圧エリア
Ａ２ 待機エリア（熱ユニット待機エリア）
Ａ３ 待機エリア
Ａ４ 待機エリア（熱ユニット待機エリア）
Ａ５ 待機エリア
Ｃ１～Ｃ３ 冷却源
Ｈ１，Ｈ３ 加熱源
ＳＡ 加圧システム
１Ａ 上加圧ユニット（加圧ユニット）
１６ 金型
１７ 枠部材
１８ 加圧パッド
１８ｄ 領域（個別加圧パッド）
１８ｐ 下面（個別プレス面）
ＳＢ 加圧システム
１Ｂ 下加圧ユニット（加圧ユニット）
３Ｂ 下加圧ユニット（加圧ユニット）
５１Ｂ 下熱ユニット（熱ユニット）
６０Ｂ 上加熱ユニット（熱ユニット）
Ａ６ 待機エリア
Ａ６１～Ａ６５ 個別待機エリア（待機エリア）

【要約】

【課題】複数の異なる加圧方式を選択可能な加圧システムを提供する。
【解決手段】本発明に係る加圧システムＳは、複数の加圧ユニット１～４と、加圧処理が実行される１個の加圧エリアＡ１と、上下方向視において加圧エリアの側方に配置される複数の待機エリアＡ２～Ａ５と、加圧ユニットそれぞれを、加圧ユニットそれぞれに対応する待機エリアと加圧エリアとの間で搬送可能に支持するユニット支持部材Ｒ１～Ｒ１２と、を有してなる。ワークＷが加圧されるとき、複数の加圧ユニットのうち、１個の加圧ユニットは、加圧エリアにおいてワークの上方向または下方向に配置されて、ワークに対して相対移動可能である。残りの加圧ユニットは、対応する待機エリアに配置されて、加圧ユニットそれぞれは、ワークに対して異なる加圧方式で、加圧処理を実行可能に構成される。
【選択図】図１

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】

【図25】

【図26】

【図27】

【図28】

【図29】

【図30】

【図31】

【図32】

【図33】

【図34】