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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2025-03-10
(45)【発行日】2025-03-18
(54)【発明の名称】ポリエステルフィルム
(51)【国際特許分類】
B32B 27/36 20060101AFI20250311BHJP
C08J 5/18 20060101ALI20250311BHJP
H01G 4/30 20060101ALI20250311BHJP
【ＦＩ】
B32B27/36
C08J5/18 CFD
H01G4/30 547
【請求項の数】
7
(21)【出願番号】P 2020140657
(22)【出願日】2020-08-24
(65)【公開番号】P2021038383
(43)【公開日】2021-03-11
【審査請求日】2023-06-23
(31)【優先権主張番号】P 2019154482
(32)【優先日】2019-08-27
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(73)【特許権者】
【識別番号】000003159
【氏名又は名称】東レ株式会社
(72)【発明者】
【氏名】郡司 淳史
(72)【発明者】
【氏名】藤原 奨
(72)【発明者】
【氏名】藤井 秀樹
【審査官】脇田 寛泰
(56)【参考文献】
【文献】特開２００２－１４４４２２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平１０－２７８１５７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１５－０４０２２０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１４－１２４８４４（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００２－３３１５７５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００４－１５５１８７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１０－０５０５９８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００６－０２８４４０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１７－１８６５１０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１８－０６２６５６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１７－２１７９０１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００９－２３３９１９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１９－１０４２４７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１８－２０３８１８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００９－２１５３５０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０２４－６１５（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ３２Ｂ１／００－４３／００
Ｃ０８Ｊ５／００－５／０２
５／１２－５／２２
Ｈ０１Ｇ４／１２
４／２２４
４／３０
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
フィルム厚みが１０μｍを超えるポリエステルフィルムであって、一方の表面から厚み方向に１０μｍカットした後の引裂強度が、フィルム幅方向とフィルム長手方向のいずれも３．０Ｎ／ｍｍ以上であり、フィルム厚みが５０μｍ以下であって、３層以上の積層構造を有し、共重合ポリエステル樹脂を含む層と、ホモポリエステル樹脂からなる層を含み、積層セラミックコンデンサー用離型フィルムとして用いられる、ポリエステルフィルム。
【請求項2】
前記共重合ポリエステル樹脂を含む層を少なくとも２層以上有し、表面を有する層が前記共重合ポリエステル樹脂を含む層である請求項１に記載のポリエステルフィルム。
【請求項3】
前記表面を有する共重合ポリエステル樹脂を含む層の厚みが１．５～３．０μｍである請求項２に記載のポリエステルフィルム。
【請求項4】
フィルムのＩＶが０．７０～０．９０である請求項１～３のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
【請求項5】
フィルム幅方向、長手方向の厚みムラがいずれも３．０％以下である請求項１～４のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
【請求項6】
フィルム幅方向の屈折率が１．６５以上１．７５以下であり、面配向係数ｆｎが１．６×１０－１以上１．８×１０－１以下である請求項１～５のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
【請求項7】
前記表面を有する共重合ポリエステル樹脂を含む層が、カルボン酸構成成分としてイソフタル酸を含む共重合ポリエチレンテレフタレートを含む請求項２または３に記載のポリエステルフィルム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明はポリエステルフィルムに関する。
【背景技術】
【0002】
ポリエステルは、機械特性、熱特性、成形性などに優れ、様々な用途に用いられている。そのポリエステルをフィルム化したポリエステルフィルムは、その優れた機械特性などから、積層セラミックスコンデンサー（ＭＬＣＣ；Ｍｕｌｔｉ Ｌａｙｅｒｅｄ Ｃｅｒａｍｉｃｓ Ｃｏｎｄｅｎｓｅｒ）を製造する際の離型用フィルム、ドライフィルムレジスト（ＤＦＲ）を製造する際の離型用フィルムや偏光板の欠点検出の際に用いられる離型用フィルムなどに用いられている。
【0003】
ＭＬＣＣを製造する際の離型用ポリエステルフィルムは、薄膜化の検討が進められている。しかしながら、フィルムを薄膜化すると、熱しわやフィルムのコシが悪くなることによる歩留まり悪化等が懸念される。かかる懸念に対して、例えば、特許文献１に記載の技術では、フィルム基材の屈折率を規定することで上記の課題を解消することを検討している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【文献】特開２００４－５８３７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、ＭＬＣＣを製造する用途においては、離型用ポリエステルフィルムの上に、グリーンシートを塗工、乾燥し、その上に電極を印刷した後の工程で、誘電体をハーフカットする工程があるが、特許文献１に記載の技術では、かかる工程において離型用ポリエステルフィルムが裂けることによって連続的なフィルムの搬送が困難となる課題を有しており、ＭＬＣＣの生産効率悪化の要因となっていることが判った。
【0006】
本発明の課題は、かかる課題を解決し、ＭＬＣＣを生産する際のハーフカット時にフィルムの破れが発生しない、ＭＬＣＣ離型用フィルムとして好適なフィルムを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記課題を解決するために、本発明は以下の構成をとる。
［Ｉ］フィルム厚みが１０μｍを超えるポリエステルフィルムであって、一方の表面から厚み方向に１０μｍカットした後の引裂強度が、フィルム幅方向とフィルム長手方向のいずれも３．０Ｎ／ｍｍ以上であるポリエステルフィルム。
［ＩＩ］フィルム厚みが５０μｍ以下であって、３層以上の積層構造を有し、共重合ポリエステル樹脂を含む層と、ホモポリエステル樹脂からなる層を含む［Ｉ］に記載のポリエステルフィルム。
［ＩＩＩ］前記共重合ポリエステル樹脂を含む層を少なくとも２層以上有し、表面を有する層が前記共重合ポリエステル樹脂を含む層である［ＩＩ］に記載のポリエステルフィルム。
［ＩＶ］前記表面を有する共重合ポリエステル樹脂を含む層の厚みが１．５～３．０μｍである［ＩＩ］または［ＩＩＩ］に記載のポリエステルフィルム。
［Ｖ］フィルムのＩＶが０．７０～０．９０である［Ｉ］～［ＩＶ］のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
［ＶＩ］フィルム幅方向、長手方向の厚みムラがいずれも３．０％以下である［Ｉ］～［Ｖ］のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
［ＶＩＩ］フィルムの幅方向の屈折率が１．６５以上１．７５以下であり、幅方向、長手方向、厚み方向の屈折率より求められる面配向係数ｆｎが１．６×１０－１以上１．８×１０－１以下である［Ｉ］～［ＶＩ］のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
［ＶＩＩＩ］前記表面を有する共重合ポリエステル樹脂を含む層が、カルボン酸構成成分としてイソフタル酸とテレフタル酸を含む共重合ポリエステルを含む［Ｉ］～［ＶＩＩ］のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
［ＩＸ］積層セラミックコンデンサー用離型フィルムとして用いられる［Ｉ］～［ＶＩＩＩ］のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
［Ｉ］フィルム厚みが１０μｍを超えるポリエステルフィルムであって、一方の表面から厚み方向に１０μｍカットした後の引裂強度が、フィルム幅方向とフィルム長手方向のいずれも３．０Ｎ／ｍｍ以上であるポリエステルフィルム。
［ＩＩ］フィルム厚みが５０μｍ以下であって、３層以上の積層構造を有し、共重合ポリエステル樹脂を含む層と、ホモポリエステル樹脂からなる層を含む［Ｉ］に記載のポリエステルフィルム。
［ＩＩＩ］前記共重合ポリエステル樹脂を含む層を少なくとも２層以上有し、表面を有する層が前記共重合ポリエステル樹脂を含む層である［ＩＩ］に記載のポリエステルフィルム。
［ＩＶ］前記表面を有する共重合ポリエステル樹脂を含む層の厚みが１．５～３．０μｍである［ＩＩ］または［ＩＩＩ］に記載のポリエステルフィルム。
［Ｖ］フィルムのＩＶが０．７０～０．９０である［Ｉ］～［ＩＶ］のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
［ＶＩ］フィルム幅方向、長手方向の厚みムラがいずれも３．０％以下である［Ｉ］～［Ｖ］のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
［ＶＩＩ］フィルムの幅方向の屈折率が１．６５以上１．７５以下であり、幅方向、長手方向、厚み方向の屈折率より求められる面配向係数ｆｎが１．６×１０－１以上１．８×１０－１以下である［Ｉ］～［ＶＩ］のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
［ＶＩＩＩ］前記表面を有する共重合ポリエステル樹脂を含む層が、カルボン酸構成成分としてイソフタル酸とテレフタル酸を含む共重合ポリエステルを含む［Ｉ］～［ＶＩＩ］のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
［ＩＸ］積層セラミックコンデンサー用離型フィルムとして用いられる［Ｉ］～［ＶＩＩＩ］のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
【発明の効果】
【0008】
本発明によれば、ＭＬＣＣの製造用離型フィルムとして用いた際、ハーフカット工程におけるフィルムの裂けを抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0009】
本発明のポリエステルフィルムは、フィルム厚みが１０μｍを超えるポリエステルフィルムであって、一方の表面から厚み方向に１０μｍカットした後の引裂強度が、フィルム幅方向とフィルム長手方向のいずれも３．０Ｎ／ｍｍ以上でなければならない。強度を上記の通りとすることでＭＬＣＣ用離型フィルムとして使用する際、フィルム上に積層された誘電体などをハーフカットする工程におけるフィルムの裂けや破断を抑制することができる。より好ましくは、フィルム幅方向とフィルム長手方向のいずれも３．５Ｎ／ｍｍ以上であり、さらに好ましくは、４．０Ｎ／ｍｍ以上である。上限は特に定められるものではないが、１５．０Ｎ／ｍｍ以下であることが好ましい。一方の表面から厚み方向に１０μｍカットした後の引裂強度は、後述する測定方法により求められるものである。また、Ａ層／Ｂ層といった積層ポリエステルフィルムである場合、Ａ層側の表面から深さ１０μｍでハーフカットしたときの引裂強度、Ｂ層側の表面から深さ１０μｍでハーフカットしたときの引裂強度を求め、いずれか高い方の値が上述の範囲であることが好ましい。なお、一方の表面から厚み方向に１０μｍカットした後の引裂強度を上述の範囲とする方法については後述する。
【0010】
本発明のポリエステルフィルムは、フィルムの厚みは１０μｍ以上であることが必要である。フィルム厚みが薄すぎると、ＭＬＣＣの製造用離型フィルムとして使用する際、フィルム上に積層された誘電体などをハーフカットする工程における、フィルムの裂けや破断を抑制することが困難となる。また、熱しわの発生やフィルムのコシが悪くなり、搬送性を損なってしまう。フィルムの厚みは１５μｍ以上であることがより好ましい。
【0011】
一方、ＭＬＣＣは、基材となるポリエステルフィルム上に誘電体ペースト層を設けた後にＭＬＣＣを作製した後、ＭＬＣＣを離型用ポリエステルフィルムから剥離することで製造される。このとき、ＭＬＣＣの製造に使用された離型用ポリエステルフィルムには、スラリーや印刷された電極の一部が残存するため、一度使用した離型用ポリエステルフィルムを再利用するには残存成分を除去する必要があるところ、コストが高くなるため再利用することは難しかった。そのため、ＭＬＣＣの製造に使用された離型用ポリエステルフィルムは、使用された後に大量に破棄されているため、環境負荷への影響も考えられる。そのため、環境負荷を低減する観点から、上記の用途に用いられるポリエステルフィルムは、薄膜であることが好ましく、１００μｍ以下であることが好ましく、５０μｍ以下であることがより好ましく、さらに好ましくは３１μｍ以下、特に好ましくは２５μｍ以下である。しかしながら、ポリエステルフィルムの厚みが薄くなればなるほど、ＭＬＣＣを製造する際のハーフカット工程においてのフィルムの裂けを抑制することは困難となる。
【0012】
本発明のポリエステルフィルムに用いられるポリエステル樹脂とは、ジカルボン酸成分とジオール成分との重縮合体であるポリエステル樹脂をさす。ジカルボン酸成分としては、例えばテレフタル酸、イソフタル酸、フタル酸、１，４－ナフタレンジカルボン酸、１，５－ナフタレンジカルボン酸、２，６－ナフタレンジカルボン酸、４，４’－ジフェニルジカルボン酸、４，４’－ジフェニルスルホンジカルボン酸、セバシン酸、ダイマー酸などが挙げられ、またそれらをエステル化したものなどが挙げられる。これらのジカルボン酸成分は１種のみ用いてもよく、２種以上併用してもよい。また、ジオール成分としては、たとえばエチレングリコール、ジエチレングリコール、トリメチレングリコール、テトラメチレングリコール、ネオペンチルグリコール、ポリアルキレングリコール、１，２－プロパンジオール、１，３－ブタンジオール、１，４－ブタンジオール、１，５－ペンタジオール、１，４－シクロヘキサンジメタノール、ビスフェノールＡエチレンオキサイド付加物などが挙げられる。これらのジオール成分は１種のみ用いてもよく、２種以上併用してもよい。
【0013】
かかるジカルボン酸成分、ジオール成分から重縮合されるポリエステルとしては、例えばポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレン２，６－ナフタレート、ポリ－１，４－シクロヘキサンジメチレンテレフタレートなどが代表的なものである。特にポリエチレンテレフタレートは、安価でありながらも耐熱性と熱収縮性に優れることから好ましい。
【0014】
また、ジカルボン酸成分、ジオール成分の少なくとも一方を２種以上含む共重合ポリエステルとしては、ジカルボン酸構成成分としてイソフタル酸、シクロヘキサンジカルボン酸などを共重合、および／または、ジオール構成成分として、シクロヘキサンジメタノール、スピログリコール、ポリアルキレングリコールなどを共重合したポリエチレンテレフタレート共重合体、ポリブチレンテレフタレート共重合体、ポリエチレン２，６－ナフタレート共重合体が好ましく例として挙げられる。
【0015】
本発明のポリエステルフィルムは、共重合ポリエステル樹脂を含む層と、ホモポリエステル樹脂からなる層を含む積層構造を有することが好ましい。上記両層を有することでハーフカットされた際の引裂強度を高く保つことができる。また、たとえ破れが発生したとしてもフィルム端部までの破断が伝播することを抑制することができる。なお、本発明においてホモポリエステル樹脂からなる層とは、当該層を構成する樹脂全体に対してホモポリエステルが８０重量％以上含む層を表し、共重合ポリエステル樹脂を含む層とは層を構成する樹脂全体に対して共重合ポリエステルが５０重量％以上含む層であることを表す。
【0016】
また、本発明のポリエステルフィルムは３層以上の積層構造を有することが好ましく、５層以上の積層構造を有することがより好ましい。５層以上とすることで共重合ポリエステル樹脂層とホモポリエステル樹脂層を交互に複数回積層することができ、その構造を持つことによりハーフカットされた際において破断の伝播を抑制することが可能になる結果、ハーフカット時における引裂強度を高く保つことができる。
【0017】
本発明のポリエステルフィルムは、共重合ポリエステル樹脂を含む層を少なくとも２層以上有し、表面を有する層が前記共重合ポリエステル樹脂を含む層であることが好ましい。フィルムの表層に共重合ポリエステル樹脂を用いることで、たとえ部分的に破れが発生したとしてもフィルム端部までの破れの伝播を抑制することができ、フィルム搬送を止める必要がなくなる。
【0018】
また、表面を有する共重合ポリエステル樹脂層の層厚みは、１．０～３．０μｍであることが引裂強度、表面粗さの観点から好ましく、より好ましくは１．５～２．５μｍである。上記範囲とすることで効果的にハーフカットされた際の引裂強度を維持できつつ、表面粗さの調整も容易となる。
【0019】
また、本発明のポリエステルが、共重合ポリエステル樹脂を含む層と、ホモポリエステル樹脂からなる層を含む積層構造を有する場合において、ホモポリエステル樹脂からなる層の層厚みの和と共重合ポリエステル樹脂を含む層の層厚みの和の比（ホモポリエステル樹脂からなる層の層厚みの和／共重合ポリエステル樹脂を含む層の層厚みの和）が、０．１～１０であることが好ましい。当該範囲内とすることで、ＭＬＣＣの製造用離型フィルムとして使用する際に実用に耐えうる機械強度を有しつつ、ハーフカットされた際の引裂強度を高く維持することが可能となる。より好ましくは０．３～７．５であり、さらに好ましくは０．５～５．０である。
【0020】
本発明のポリエステルフィルムのＩＶは０．７０～０．９０であることが好ましく、より好ましくは０．７５～０．８５である。ＩＶを上記範囲とすることで製膜性およびハーフカットされた際の引裂強度を高く維持する性能を両立でき、ＭＬＣＣ用離型フィルムの基材として好適なフィルムを提供することができる。
【0021】
本発明のポリエステルフィルムは、フィルム幅方向とフィルム長手方向の厚みムラがいずれも３．０％以下であることが好ましい。フィルムの厚みムラが大きすぎると、ＭＬＣＣの製造用離型フィルムとして用いる際に、ＭＬＣＣ製造用スラリーの塗布ムラが大きくなる場合がある。より好ましくはいずれも２．５％以下が好ましく、さらに好ましくはいずれも２．０％以下であることが好ましい。厚みムラを低下させる方法としては、詳しくは後述するが、例えば、フィルムを２軸配向させる方法が挙げられる。このとき強く配向させることで、フィルムの厚みムラを小さくすることができる。一方で、フィルムの厚みのムラを若干残す、すなわち、フィルムの厚い部分、薄い部分をフィルム上にあえて作ることで、フィルムの裂けの伝搬を抑制することに対し一定の効果があることがわかった。そのため、厚みムラは０．１％以上あることが好ましく、０．５％以上であることがより好ましい。
【0022】
本発明のポリエステルフィルムは、フィルム幅方向の屈折率が１．６５以上１．７５以下であり、後述する測定方法において幅方向、長手方向、厚み方向の屈折率より求められる面配向係数ｆｎが１．６×１０－１以上１．８×１０－１以下であることが好ましい。フィルム幅方向の屈折率と面配向係数ｆｎを前述の範囲とすることで、ハーフカットされた際の引裂強度とグリーンシートの塗布性をともに良好にすることができるため、ＭＬＣＣ用離型フィルムの基材として好適なフィルムとすることができる。
【0023】
本発明のポリエステルフィルムの表面を有する層には搬送や巻き取り時のハンドリング性を向上させるため、粒子を含有させてもよい。表面を有する層に粒子を含有させると、各表面に微細な凸形態を形成させることができる。凸形態を形成すると搬送時において当該凸形態が形成すると、搬送時においては、搬送ロールとフィルムとの間の空気が抜けやすくなり、また、巻き取り時には、フィルムの一方の面とフィルムのもう一方の面の間の空気が抜けやすくなるため、ハンドリング性が向上するため好ましい。
【0024】
含有させる粒子としては、無機粒子、有機粒子、いずれも用いることができる。具体的な種類としては、例えば、クレー、マイカ、酸化チタン、炭酸カルシウム、湿式シリカ、乾式シリカ、コロイダルシリカ、リン酸カルシウム、硫酸バリウム、アルミナ珪酸塩、カオリン、タルク、モンモリロナイト、アルミナ、ジルコニア等の無機粒子、アクリル酸類、スチレン系樹脂、シリコーン、イミド等を構成成分とする有機粒子、コアシェル型有機粒子などが例示できる。また、粒子のサイズとして、平均粒径が０．２μｍ以下であることが好ましい。
【0025】
本発明のポリエステルフィルムは、本発明の効果を得ることができる範囲で、各種添加剤、例えば、酸化防止剤、耐熱安定剤、耐候安定剤、紫外線吸収剤、有機系易滑剤、顔料、染料、有機又は無機の微粒子、充填剤、帯電防止剤、核剤などを含有してもよい。
【0026】
次に、本発明のポリエステルフィルムの製造方法について、二軸配向ポリエステルフィルムを例に挙げて説明するが、本発明は、かかる例によって得られる物のみに限定して解釈されるものではない。
【0027】
本発明に用いられるポリエステルを得る方法としては、常法による重合方法が採用できる。例えば、テレフタル酸等のジカルボン酸成分またはそのエステル形成性誘導体と、エチレングリコール等のジオール成分またはそのエステル形成性誘導体とを公知の方法でエステル交換反応あるいはエステル化反応させた後、溶融重合反応を行うことによって得ることができる。また、必要に応じ、溶融重合反応で得られたポリエステルを、ポリエステルの融点温度以下にて、固相重合反応を行っても良い。
【0028】
本発明のポリエステルフィルムは、必要に応じて乾燥した原料を押出機内で加熱溶融し、口金から冷却したキャストドラム上に押し出してシート状に加工する方法（溶融キャスト法）を使用することができる。その他の方法として、原料を溶媒に溶解させ、その溶液を口金からキャストドラム、エンドレスベルト等の支持体上に押し出して膜状とし、次いでかかる膜層から溶媒を乾燥除去させてシート状に加工する方法（溶液キャスト法）等も使用することができる。
【0029】
２層以上の積層ポリエステルフィルムを溶融キャスト法により製造する場合、積層ポリエステルフィルムを構成する層毎に押出機を用い、各層の原料を溶融せしめ、これらを押出装置と口金の間に設けられた合流装置にて溶融状態で積層したのち口金に導き、口金からキャストドラム上に押し出してシート状に加工する方法が好適に用いられる。該積層シートは、表面温度１０℃以上６０℃以下に冷却されたドラム上で静電気により密着冷却固化し、未延伸シートを作製する。
【0030】
次いで、ここで得られた未延伸フィルムにナノインプリントのようにモールドを用いて表面に形状を転写させる方法、紫外光照射やアーク放電によるコロナ処理、グロー放電によるプラズマ処理などの表面処理を施す。これらの表面処理は未延伸フィルムを得た直後でも、微延伸を施した後でも、長手および／又は幅方向に延伸した後でも良いが、本発明では未延伸フィルムに表面処理することが好ましい。特に、大気圧下でグロー放電によるプラズマ処理を施すことが好ましい。大気圧プラズマ処理によると、ポリエステルフィルム表面の極表層に存在するポリマー分子鎖を微細に切断することで局所的に微細部分を削り取るエッチングが起こりやすくなる。また、表面処理を施す面はキャストドラムに接していた面（ドラム面）でもキャストドラムに接していない面（非ドラム面）のいずれでも良い。
【0031】
その後、必要に応じて延伸フィルムを二軸延伸し、二軸配向せしめる。延伸方法としては、逐次二軸延伸法又は同時二軸延伸法を用いることができる。最初に長手方向、次に幅方向の延伸を行う逐次二軸延伸法が、延伸破れなく本発明のフィルムを得るのに有効である。長手方向、幅方向の延伸は、延伸温度は９０℃以上１３０℃以下であることが好ましく、１００℃以上１２０℃以下であることがより好ましい。延伸倍率は２．５倍以上５．０倍以下、好ましくは２．８倍以上４．０倍以下であることがより好ましい。また、面積倍率（長手方向の延伸倍率×幅方向の延伸倍率）は、９．０倍以上２０．０倍以下が好ましく、１０．０倍以上１７．５倍以下がより好ましい。延伸倍率、面積倍率を高くするとフィルムの厚みムラを小さくできる傾向にあるが、延伸倍率、面積倍率を高くすることで、高配向化により耐ハーフカット性能は向上するが、製膜安定性という観点から上記範囲で製膜をするのが好ましい。
【0032】
２軸方向に延伸を実施しや後にフィルムの熱処理を行うが、この熱処理はオーブン中、加熱されたロール上などの従来公知の任意の方法で行うことができる。熱処理温度は通常１５０℃以上２４５℃未満の任意の温度とすることができ、熱処理時間は、通常１秒間以上６０秒間以下行うことが好ましい。熱処理は、フィルムをその長手方向および／または幅方向に０．１％以上１０％以下弛緩させつつ行なってもよい。
【0033】
かくして得られる本発明のポリエステルフィルムは、その特性を活かして、ハーフカット工程を有する用途のフィルム（例えば、ドライフィルムレジスト支持体用フィルム、積層セラミックコンデンサーを製造する工程におけるグリーンシート成形の支持体用フィルム）として好適に用いることができる。
【実施例】
【0034】
本発明に使用した物性値の評価法を記載する。
【0035】
Ａ．一方の表面から厚み方向に１０μｍカットした後の引裂強度
フィルムを長さ２５ｃｍ各に切り出し、測定する方向に対して垂直な方向にフィルムの中央位置に長さ１５ｃｍ、深さ方向１０μｍハーフカットを施し、それぞれの向きの破断張力を最大荷重６４Ｎの引裂試験機（東洋精機製）を用いて、ＪＩＳ Ｋ ７１２８－２（１９９８）（エレメンドルフ引裂法）に基づいて引裂強さ（Ｎ）を測定した。この計測値を、フィルム厚みで除したものを引裂強度Ｎ／ｍｍとした（なお、引裂強度を算出する際に用いるフィルム厚みは、ハーフカット処理後に残っているフィルム厚み（フィルム厚み－１０μｍ）ではなく、ハーフカット処理を行う前のフィルム厚みの値とした）。なお、この引裂強度はフィルム幅方向および長手方向のそれぞれ２０サンプルの試験結果を平均化したものとした。なお、実質的に引き裂けなかった場合はオーバーレンジとして、６４Ｎとして計算した。
フィルムを長さ２５ｃｍ各に切り出し、測定する方向に対して垂直な方向にフィルムの中央位置に長さ１５ｃｍ、深さ方向１０μｍハーフカットを施し、それぞれの向きの破断張力を最大荷重６４Ｎの引裂試験機（東洋精機製）を用いて、ＪＩＳ Ｋ ７１２８－２（１９９８）（エレメンドルフ引裂法）に基づいて引裂強さ（Ｎ）を測定した。この計測値を、フィルム厚みで除したものを引裂強度Ｎ／ｍｍとした（なお、引裂強度を算出する際に用いるフィルム厚みは、ハーフカット処理後に残っているフィルム厚み（フィルム厚み－１０μｍ）ではなく、ハーフカット処理を行う前のフィルム厚みの値とした）。なお、この引裂強度はフィルム幅方向および長手方向のそれぞれ２０サンプルの試験結果を平均化したものとした。なお、実質的に引き裂けなかった場合はオーバーレンジとして、６４Ｎとして計算した。
【0036】
Ｂ．各層厚み
フィルムの層構成は、フィルムの断面観察より求めた。すなわち、ウルトラミクロトーム ウルトラカットＵＣＴ（ライカ製）にて冷凍破断した断面を、透過型電子顕微鏡Ｈ－７１００ＦＡ型（（株）日立製作所製）を用い、フィルムの断面を３０００～２０００００倍に拡大観察し、断面写真を撮影、層構成および各層厚みを測定した。
フィルムの層構成は、フィルムの断面観察より求めた。すなわち、ウルトラミクロトーム ウルトラカットＵＣＴ（ライカ製）にて冷凍破断した断面を、透過型電子顕微鏡Ｈ－７１００ＦＡ型（（株）日立製作所製）を用い、フィルムの断面を３０００～２０００００倍に拡大観察し、断面写真を撮影、層構成および各層厚みを測定した。
【0037】
Ｃ．厚みムラ
フィルムを幅３０ｍｍ幅、長さ１ｍにサンプリングした。またこの際、対象とする測定方向（長手方向あるいは幅方向）が長さ１ｍとなる向きと一致するようにした。測定は、アンリツ株式会社製フィルムシックネステスタ「ＫＧ６０１Ａ」および電子マイクロメータ「Ｋ３０６Ｃ」を用い、フィルムを連続的に測定する。フィルムの搬送速度は１．５ｍ／分とした。１ｍ長での厚み最大値Ｔｍａｘ（μｍ）、最小値Ｔｍｉｎ（μｍ）からＲ＝Ｔｍａｘ－Ｔｍｉｎを求め、Ｒと１ｍ長の平均厚みＴａｖｅ（μｍ）から厚みむら（％）＝Ｒ／Ｔａｖｅ×１００として求めた。厚みむらは、１０回の測定の平均値とした。
フィルムを幅３０ｍｍ幅、長さ１ｍにサンプリングした。またこの際、対象とする測定方向（長手方向あるいは幅方向）が長さ１ｍとなる向きと一致するようにした。測定は、アンリツ株式会社製フィルムシックネステスタ「ＫＧ６０１Ａ」および電子マイクロメータ「Ｋ３０６Ｃ」を用い、フィルムを連続的に測定する。フィルムの搬送速度は１．５ｍ／分とした。１ｍ長での厚み最大値Ｔｍａｘ（μｍ）、最小値Ｔｍｉｎ（μｍ）からＲ＝Ｔｍａｘ－Ｔｍｉｎを求め、Ｒと１ｍ長の平均厚みＴａｖｅ（μｍ）から厚みむら（％）＝Ｒ／Ｔａｖｅ×１００として求めた。厚みむらは、１０回の測定の平均値とした。
【0038】
Ｄ．フィルムのＩＶ
o-クロロフェノール溶媒を用い、２５℃で測定した溶融粘度より次式から計算される値を用いた。すなわちηｓｐ／Ｃ＝［η］＋ｋ［η］2・Ｃである。ここで、ηｓｐ＝（溶液粘度／溶媒粘度）－１、Ｃは溶媒１００ｍｌあたりの溶解ポリマー量（ｇ／１００ｍｌ） 、Ｋはハギンス定数（０．３４３）。溶液粘度、溶媒粘度はオストワルド粘度計にて測定した。
o-クロロフェノール溶媒を用い、２５℃で測定した溶融粘度より次式から計算される値を用いた。すなわちηｓｐ／Ｃ＝［η］＋ｋ［η］2・Ｃである。ここで、ηｓｐ＝（溶液粘度／溶媒粘度）－１、Ｃは溶媒１００ｍｌあたりの溶解ポリマー量（ｇ／１００ｍｌ） 、Ｋはハギンス定数（０．３４３）。溶液粘度、溶媒粘度はオストワルド粘度計にて測定した。
【0039】
Ｅ．フィルムの屈折率、面配向係数
ナトリウムＤ線（波長５８９ｎｍ）を光源とし、マウント液としてヨウ化メチレンを用い、２５℃にてアッベ屈折計を用いて、幅方向、長手方向、厚み方向の屈折率（各々、ｎＴＤ、ｎＭＤ、ｎＺＤ）を求めた。求めた屈折率から下記の式により、面配向係数（ｆｎ）を算出した。なお、測定は製膜時のＴダイから吐出後、冷却ドラムに密着した表面側で行い、任意の３ヶ所での測定値の平均で評価した。
ｆｎ＝（ｎＴＤ＋ｎＭＤ）／２－ｎＺＤ。
ナトリウムＤ線（波長５８９ｎｍ）を光源とし、マウント液としてヨウ化メチレンを用い、２５℃にてアッベ屈折計を用いて、幅方向、長手方向、厚み方向の屈折率（各々、ｎＴＤ、ｎＭＤ、ｎＺＤ）を求めた。求めた屈折率から下記の式により、面配向係数（ｆｎ）を算出した。なお、測定は製膜時のＴダイから吐出後、冷却ドラムに密着した表面側で行い、任意の３ヶ所での測定値の平均で評価した。
ｆｎ＝（ｎＴＤ＋ｎＭＤ）／２－ｎＺＤ。
【0040】
Ｆ．ＭＬＣＣ製造用離型フィルムとして用いた際の評価
以下ａ．からｂ．の方法により、グリーンシートスラリの塗布性、ｃ．～ｄ．の方法により、ハーフカット時のフィルムの破れや裂けの評価を行う。
以下ａ．からｂ．の方法により、グリーンシートスラリの塗布性、ｃ．～ｄ．の方法により、ハーフカット時のフィルムの破れや裂けの評価を行う。
【0041】
ａ．離型層の塗布
ポリエステルフィルムの微細な突起を形成させた面に、架橋プライマー層（東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製商品名ＢＹ２４－８４６）を固形分１質量％に調整した塗布液を塗布／乾燥し、乾燥後の塗布厚みが０．１μｍとなるようにグラビアコーターで塗布し、１００℃で２０秒乾燥硬化した。その後１時間以内に付加反応型シリコーン樹脂（東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製商品名ＬＴＣ７５０Ａ）１００質量部、白金触媒（東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製商品名ＳＲＸ２１２）２質量部を固形分５質量％に調整した塗布液を、乾燥後の塗布厚みが０．１μｍとなるようにグラビアコートで塗布し、１２０℃で３０秒乾燥硬化した後に巻き取り、離型フィルムを得た。
ポリエステルフィルムの微細な突起を形成させた面に、架橋プライマー層（東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製商品名ＢＹ２４－８４６）を固形分１質量％に調整した塗布液を塗布／乾燥し、乾燥後の塗布厚みが０．１μｍとなるようにグラビアコーターで塗布し、１００℃で２０秒乾燥硬化した。その後１時間以内に付加反応型シリコーン樹脂（東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製商品名ＬＴＣ７５０Ａ）１００質量部、白金触媒（東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製商品名ＳＲＸ２１２）２質量部を固形分５質量％に調整した塗布液を、乾燥後の塗布厚みが０．１μｍとなるようにグラビアコートで塗布し、１２０℃で３０秒乾燥硬化した後に巻き取り、離型フィルムを得た。
【0042】
ｂ．グリーンシートの塗布性
チタン酸バリウム（富士チタン工業（株）製商品名ＨＰＢＴ－１）１００質量部、ポリビニルブチラール（積水化学（株）製商品名ＢＬ－１）１０質量部、フタル酸ジブチル５質量部とトルエン－エタノール（質量比３０：３０）６０質量部に、数平均粒径２ｍｍのガラスビーズを加え、ジェットミルにて２０時間混合・分散させた後、濾過してペースト状のセラミックスラリーを調整した。得られたセラミックスラリーを、離型フィルムの上に乾燥後の厚みが２μｍとなるように、ダイコーターにて塗布し乾燥させ、巻き取り、グリーンシートを得た。 上記で巻き取られたグリーンシートを、繰り出し、離型フィルムから剥がさない状態にて目視で観察し、ピンホールの有無や、シート表面および端部の塗布状態を確認する。なお観察する面積は幅３００ｍｍ、長さ５００ｍｍである。離型フィルムの上に成型されたグリーンシートについて、背面から１０００ルクスのバックライトユニットで照らしながら、塗布抜けによるピンホールあるいは、離型フィルム背面の表面転写による凹み状態を観察し、以下のように評価した。４級を不合格とした。
１級：ピンホールや凹みが観察面積内で一切確認できない
２級：ピンホールあるいは凹みが観察面積内で１個～２個確認された。
３級：ピンホールあるいは凹みが観察面積内で３個～４個確認された。
４級：ピンホールあるいは凹みが観察面積内で５個以上確認された。
チタン酸バリウム（富士チタン工業（株）製商品名ＨＰＢＴ－１）１００質量部、ポリビニルブチラール（積水化学（株）製商品名ＢＬ－１）１０質量部、フタル酸ジブチル５質量部とトルエン－エタノール（質量比３０：３０）６０質量部に、数平均粒径２ｍｍのガラスビーズを加え、ジェットミルにて２０時間混合・分散させた後、濾過してペースト状のセラミックスラリーを調整した。得られたセラミックスラリーを、離型フィルムの上に乾燥後の厚みが２μｍとなるように、ダイコーターにて塗布し乾燥させ、巻き取り、グリーンシートを得た。 上記で巻き取られたグリーンシートを、繰り出し、離型フィルムから剥がさない状態にて目視で観察し、ピンホールの有無や、シート表面および端部の塗布状態を確認する。なお観察する面積は幅３００ｍｍ、長さ５００ｍｍである。離型フィルムの上に成型されたグリーンシートについて、背面から１０００ルクスのバックライトユニットで照らしながら、塗布抜けによるピンホールあるいは、離型フィルム背面の表面転写による凹み状態を観察し、以下のように評価した。４級を不合格とした。
１級：ピンホールや凹みが観察面積内で一切確認できない
２級：ピンホールあるいは凹みが観察面積内で１個～２個確認された。
３級：ピンホールあるいは凹みが観察面積内で３個～４個確認された。
４級：ピンホールあるいは凹みが観察面積内で５個以上確認された。
【0043】
ｃ．内部電極のパターンの形成
Ｎｉ粒子４４．６重量部と、テルピネオール５２重量部と、エチルセルロース３重量部と、ベンゾトリアゾール０．４重量部とを、混練し、スラリー化して内部電極層用塗料を得る。内部電極層用塗料を、グリーンシートの上に、スクリーン印刷法によって所定パターンで塗布し、内部電極パターンを有するセラミックグリーンシートを得た。乾燥温度は９０℃、乾燥時間は５分である。
Ｎｉ粒子４４．６重量部と、テルピネオール５２重量部と、エチルセルロース３重量部と、ベンゾトリアゾール０．４重量部とを、混練し、スラリー化して内部電極層用塗料を得る。内部電極層用塗料を、グリーンシートの上に、スクリーン印刷法によって所定パターンで塗布し、内部電極パターンを有するセラミックグリーンシートを得た。乾燥温度は９０℃、乾燥時間は５分である。
【0044】
ｄ．ハーフカット時のフィルムの破れや裂けの評価
上記の、離型フィルムの上に成形され、内部電極パターンを付与した、セラミックグリーンシートを繰り出し、離型フィルム上にてグリーンシートを１００枚分切断し打ち抜く。切断には回転式の丸刃カッターを使用する。この際、グリーンシートを切断するための、回転式丸刃カッターの切り込み深さは、グリーンシート厚みプラス２μｍ～３μｍに設定する。打ち抜き時の評価として、打ち抜き後のフィルムの破れを観察した。以下のように評価し、４級は不合格とした。
１級：幅方向、長手方向ともに破れ、裂けの発生がない
２級：幅方向、長手方向のいずれかに破れ、裂けの発生があるが、微少であり、フィルム全体の破断の発生がない。
３級：幅方向、長手方向のいずれかにやや大きめな破れ、裂けの発生があるが、フィルム全体の破断の発生がない。
４級：幅方向、長手方向のいずれかで大きな破れ、裂けが発生するか、フィルム全体の破断が発生した。
上記の、離型フィルムの上に成形され、内部電極パターンを付与した、セラミックグリーンシートを繰り出し、離型フィルム上にてグリーンシートを１００枚分切断し打ち抜く。切断には回転式の丸刃カッターを使用する。この際、グリーンシートを切断するための、回転式丸刃カッターの切り込み深さは、グリーンシート厚みプラス２μｍ～３μｍに設定する。打ち抜き時の評価として、打ち抜き後のフィルムの破れを観察した。以下のように評価し、４級は不合格とした。
１級：幅方向、長手方向ともに破れ、裂けの発生がない
２級：幅方向、長手方向のいずれかに破れ、裂けの発生があるが、微少であり、フィルム全体の破断の発生がない。
３級：幅方向、長手方向のいずれかにやや大きめな破れ、裂けの発生があるが、フィルム全体の破断の発生がない。
４級：幅方向、長手方向のいずれかで大きな破れ、裂けが発生するか、フィルム全体の破断が発生した。
【0045】
なお、前述の測定において、フィルムの幅方向、長手方向が分からない場合は、いずれかの方向を０°とし、フィルム面内に－９０°から９０°まで１０°毎に方向を変えて屈折率を測定し、最大の屈折率を有する方向を幅方向、それに直交する方向を長手方向とみなす。屈折率の測定はナトリウムＤ線（波長５８９ｎｍ）を光源とし、マウント液としてヨウ化メチレンを用い、２５℃にてアッベ屈折計を用いて測定を行う。
【0046】
（用いた樹脂）
ホモポリエステルＡ：ポリエチレンテレフタレート（ＩＶ＝０．７５）
ホモポリエステルＢ：ポリエチレンテレフタレート（ＩＶ＝０．６５）
ホモポリエステルＣ：ポリエチレンテレフタレート（ＩＶ＝０．９５）
ホモポリエステルＤ：ポリエチレンテレフタレート（ＩＶ＝０．８５）
ホモポリエステルＥ：ポリブチレンテレフタレート（ＩＶ＝０．８５）
共重合ポリエステルＡ：ジオール成分全体に対して１，４－シクロヘキサンジメタノールを２５ｍｏｌ％共重合した共重合ポリエチレンテレフタレート（ＩＶ＝０．８５）
共重合ポリエステルＢ：ジオール成分全体に対して１，４－シクロヘキサンジメタノールを２５ｍｏｌ％共重合した共重合ポリエチレンテレフタレート（ＩＶ＝０．６５）
共重合ポリエステルＣ：ジオール成分全体に対して１，４－シクロヘキサンジメタノールを２５ｍｏｌ％共重合した共重合ポリエチレンテレフタレート（ＩＶ＝０．５５）
共重合ポリエステルＤ：ジオール成分全体に対して１，４－シクロヘキサンジメタノールを５０ｍｏｌ％共重合した共重合ポリエチレンテレフタレート（ＩＶ＝０．８５）
共重合ポリエステルＥ：カルボン酸成分全体に対してイソフタル酸を５ｍｏｌ％共重合
した共重合ポリエチレンテレフタレート（ＩＶ＝０．９０）。
ホモポリエステルＡ：ポリエチレンテレフタレート（ＩＶ＝０．７５）
ホモポリエステルＢ：ポリエチレンテレフタレート（ＩＶ＝０．６５）
ホモポリエステルＣ：ポリエチレンテレフタレート（ＩＶ＝０．９５）
ホモポリエステルＤ：ポリエチレンテレフタレート（ＩＶ＝０．８５）
ホモポリエステルＥ：ポリブチレンテレフタレート（ＩＶ＝０．８５）
共重合ポリエステルＡ：ジオール成分全体に対して１，４－シクロヘキサンジメタノールを２５ｍｏｌ％共重合した共重合ポリエチレンテレフタレート（ＩＶ＝０．８５）
共重合ポリエステルＢ：ジオール成分全体に対して１，４－シクロヘキサンジメタノールを２５ｍｏｌ％共重合した共重合ポリエチレンテレフタレート（ＩＶ＝０．６５）
共重合ポリエステルＣ：ジオール成分全体に対して１，４－シクロヘキサンジメタノールを２５ｍｏｌ％共重合した共重合ポリエチレンテレフタレート（ＩＶ＝０．５５）
共重合ポリエステルＤ：ジオール成分全体に対して１，４－シクロヘキサンジメタノールを５０ｍｏｌ％共重合した共重合ポリエチレンテレフタレート（ＩＶ＝０．８５）
共重合ポリエステルＥ：カルボン酸成分全体に対してイソフタル酸を５ｍｏｌ％共重合
した共重合ポリエチレンテレフタレート（ＩＶ＝０．９０）。
【0047】
（実施例１）
ホモポリエステルＡおよび共重合ポリエステルＡを、それぞれ、押出機にて２８０℃の溶融状態とし、ギヤポンプおよびフィルタを介した後、壁面の表目粗さが０．２Ｓのフィードブロックにて合流し、ホモポリエステルＡが２層、共重合ポリエステルＡが３層からなる厚み方向に交互に積層された構造とし、両表層部分を共重合ポリエステルＡとなるようにした。
ホモポリエステルＡおよび共重合ポリエステルＡを、それぞれ、押出機にて２８０℃の溶融状態とし、ギヤポンプおよびフィルタを介した後、壁面の表目粗さが０．２Ｓのフィードブロックにて合流し、ホモポリエステルＡが２層、共重合ポリエステルＡが３層からなる厚み方向に交互に積層された構造とし、両表層部分を共重合ポリエステルＡとなるようにした。
【0048】
このようにして得られた計５層からなる積層体をＴダイに供給しシート状に成形した後、静電印加しながら、表面温度を２５℃に保ったキャスティングドラム上で急冷固化した。得られたキャストフィルムは、９０℃に設定したロール群で加熱し、長手方向に３．０倍延伸後、この一軸延伸フィルムをテンターに導き、１００℃の熱風で予熱後、幅方向に４．０倍延伸した。延伸したフィルムは、そのまま、テンター内で２３０℃の熱風にて熱処理を行い、続いて同温度にて幅方向に７％の弛緩処理を施し、室温まで徐冷し、巻き取った。得られたフィルムの特性は表１のとおりであった。フィルムの表面にカットした時の引裂強度に優れたフィルムであり、グリーンシートの塗布性やハーフカット時の破れや裂けの評価に優れたフィルムであった。
【0049】
（実施例２）
ホモポリエステルＡが３層、共重合ポリエステルＡが２層からなる厚み方向に交互に積層された構造とし、全層厚みを２５μｍとした以外は実施例１と同様の方法でフィルムを得た。得られたフィルムの特性は表１のとおりであった。表層をホモポリエステルとした結果、引裂強度は若干低下したが、実用上問題ないレベルであった。
ホモポリエステルＡが３層、共重合ポリエステルＡが２層からなる厚み方向に交互に積層された構造とし、全層厚みを２５μｍとした以外は実施例１と同様の方法でフィルムを得た。得られたフィルムの特性は表１のとおりであった。表層をホモポリエステルとした結果、引裂強度は若干低下したが、実用上問題ないレベルであった。
【0050】
（実施例３）
ホモポリエステルＡが３層、共重合ポリエステルＡが２層からなる厚み方向に交互に積層された構造とし、両表層部分をホモポリエステルＡとした以外は実施例１と同様の方法でフィルムを得た。得られたフィルムの特性は表１のとおりであった。表層をホモポリエステルとした結果、引裂強度は若干低下したが、実用上問題ないレベルであった。
ホモポリエステルＡが３層、共重合ポリエステルＡが２層からなる厚み方向に交互に積層された構造とし、両表層部分をホモポリエステルＡとした以外は実施例１と同様の方法でフィルムを得た。得られたフィルムの特性は表１のとおりであった。表層をホモポリエステルとした結果、引裂強度は若干低下したが、実用上問題ないレベルであった。
【0051】
（実施例４）
共重合ポリエステルＡの代わりに共重合ポリエステルＢを用いた以外は実施例１と同様の方法にてフィルムを得た。得られたフィルムの特性は表１のとおりであった。フィルムのＩＶが低下させた結果、実施例１に比べてやや引裂強度が低く、ハーフカット時の破れや裂けの評価結果は３級となったが、実用上問題ないレベルであった。
共重合ポリエステルＡの代わりに共重合ポリエステルＢを用いた以外は実施例１と同様の方法にてフィルムを得た。得られたフィルムの特性は表１のとおりであった。フィルムのＩＶが低下させた結果、実施例１に比べてやや引裂強度が低く、ハーフカット時の破れや裂けの評価結果は３級となったが、実用上問題ないレベルであった。
【0052】
（実施例５）
ホモポリエステルＡ、共重合ポリエステルＡの各層厚み、フィルムの総厚みを表１のとおりとした以外は実施例１と同様の方法にてフィルムを得た。厚みが厚いため、廃棄したときの環境負荷は実施例１よりも高くなり、また、１リールあたりの巻き長さが短くなるため、生産効率は悪化したが、引裂強度や、ハーフカット時の破れや裂けの評価は問題の無い結果となった。
ホモポリエステルＡ、共重合ポリエステルＡの各層厚み、フィルムの総厚みを表１のとおりとした以外は実施例１と同様の方法にてフィルムを得た。厚みが厚いため、廃棄したときの環境負荷は実施例１よりも高くなり、また、１リールあたりの巻き長さが短くなるため、生産効率は悪化したが、引裂強度や、ハーフカット時の破れや裂けの評価は問題の無い結果となった。
【0053】
（実施例６）
ホモポリエステルＡ、共重合ポリエステルＡの各層厚み、フィルムの総厚みを表１のとおりとした以外は実施例１と同様の方法にてフィルムを得た。実施例４に比べてさらにフィルム厚みが高いため、廃棄したときの環境負荷や生産効率は悪化したが、引裂強度や、ハーフカット時の破れや裂けの評価は問題の無い結果となった。
ホモポリエステルＡ、共重合ポリエステルＡの各層厚み、フィルムの総厚みを表１のとおりとした以外は実施例１と同様の方法にてフィルムを得た。実施例４に比べてさらにフィルム厚みが高いため、廃棄したときの環境負荷や生産効率は悪化したが、引裂強度や、ハーフカット時の破れや裂けの評価は問題の無い結果となった。
【0054】
（実施例７）
ホモポリエステルＡが１層、共重合ポリエステルＡが２層からなる厚み方向に交互に積層された構造とし、各層厚みを表１のとおりとした以外は実施例１と同様の方法にてフィルムを得た。積層数を減らすことで、若干ハーフカット時の破れや裂けの評価の低下は認められたが、実用上問題ないレベルであった。
ホモポリエステルＡが１層、共重合ポリエステルＡが２層からなる厚み方向に交互に積層された構造とし、各層厚みを表１のとおりとした以外は実施例１と同様の方法にてフィルムを得た。積層数を減らすことで、若干ハーフカット時の破れや裂けの評価の低下は認められたが、実用上問題ないレベルであった。
【0055】
（実施例８）
ホモポリエステルＡが３層、共重合ポリエステルＡが４層からなる厚み方向に交互に積層された構造とし、各層厚みを表１のとおりとした以外は実施例１と同様の方法にてフィルムを得た。引裂強度や、ハーフカット時の破れや裂けの評価は問題の無い結果となった。
ホモポリエステルＡが３層、共重合ポリエステルＡが４層からなる厚み方向に交互に積層された構造とし、各層厚みを表１のとおりとした以外は実施例１と同様の方法にてフィルムを得た。引裂強度や、ハーフカット時の破れや裂けの評価は問題の無い結果となった。
【0056】
（実施例９，１０）
各層厚みを表１のとおりとした以外は実施例１と同様の方法にてフィルムを得た。ホモポリエステル樹脂層を厚くした実施例８ではハーフカット時の破れや裂けの評価は若干劣る結果となったが、実用上問題ないレベルであった。
各層厚みを表１のとおりとした以外は実施例１と同様の方法にてフィルムを得た。ホモポリエステル樹脂層を厚くした実施例８ではハーフカット時の破れや裂けの評価は若干劣る結果となったが、実用上問題ないレベルであった。
【0057】
（実施例１１）
ホモポリエステルＡの代わりにホモポリエステルＢを用い、共重合ポリエステルＡの代わりに共重合ポリエステルＣを用いた以外は実施例１と同様の方法にてフィルムを得た。得られたフィルムの特性は表１、２のとおりであった。ＩＶが低下することで、ハーフカット時の破れや裂けの評価は若干劣る結果となったが、実用上問題ないレベルであった。
ホモポリエステルＡの代わりにホモポリエステルＢを用い、共重合ポリエステルＡの代わりに共重合ポリエステルＣを用いた以外は実施例１と同様の方法にてフィルムを得た。得られたフィルムの特性は表１、２のとおりであった。ＩＶが低下することで、ハーフカット時の破れや裂けの評価は若干劣る結果となったが、実用上問題ないレベルであった。
【0058】
（実施例１２）
ホモポリエステルＡの代わりにホモポリエステルＣを用いた以外は実施例１と同様の方法にてフィルムを得た。得られたフィルムの特性は表１、２のとおりであった。フィルムのＩＶが上がることで引裂強度は上昇したが、厚みムラ若干悪化し、グリーンシートの塗布性が若干劣る結果となったが、問題ないレベルであった。
ホモポリエステルＡの代わりにホモポリエステルＣを用いた以外は実施例１と同様の方法にてフィルムを得た。得られたフィルムの特性は表１、２のとおりであった。フィルムのＩＶが上がることで引裂強度は上昇したが、厚みムラ若干悪化し、グリーンシートの塗布性が若干劣る結果となったが、問題ないレベルであった。
【0059】
（実施例１３）
長手方向の延伸倍率を３．０から２．９倍へ、幅方向の延伸倍率を４．０から３．９倍へ変更した以外は実施例１と同様の方法でフィルムを得た。得られたフィルムの特性は表１、２のとおりであった。延伸倍率を下げたことで厚みムラが悪化した。厚みムラが悪化したことによりグリーンシートの塗布性が悪化したが、問題ないレベルであった。
長手方向の延伸倍率を３．０から２．９倍へ、幅方向の延伸倍率を４．０から３．９倍へ変更した以外は実施例１と同様の方法でフィルムを得た。得られたフィルムの特性は表１、２のとおりであった。延伸倍率を下げたことで厚みムラが悪化した。厚みムラが悪化したことによりグリーンシートの塗布性が悪化したが、問題ないレベルであった。
【0060】
（実施例１４）
長手方向の延伸倍率を３．０から２．７倍へ、幅方向の延伸倍率を４．０から３．７倍へ変更した以外は実施例１と同様の方法でフィルムを得た。得られたフィルムの特性は表１、２のとおりであった。延伸倍率を下げたことで厚みムラが悪化した。厚みムラが悪化したことによりグリーンシートの塗布性が悪化したが、問題ないレベルであった。
長手方向の延伸倍率を３．０から２．７倍へ、幅方向の延伸倍率を４．０から３．７倍へ変更した以外は実施例１と同様の方法でフィルムを得た。得られたフィルムの特性は表１、２のとおりであった。延伸倍率を下げたことで厚みムラが悪化した。厚みムラが悪化したことによりグリーンシートの塗布性が悪化したが、問題ないレベルであった。
【0061】
（実施例１５）
共重合ポリエステルＡの代わりに共重合ポリエステルＤを用いた以外は実施例１と同様の方法にてフィルムを得た。得られたフィルムの特性は表１、２のとおりであった。フィルムのＩＶが上がることで引裂強度は上昇したが、厚みムラが若干悪化し、グリーンシートの塗布性が若干劣る結果となったが、問題ないレベルであった。
共重合ポリエステルＡの代わりに共重合ポリエステルＤを用いた以外は実施例１と同様の方法にてフィルムを得た。得られたフィルムの特性は表１、２のとおりであった。フィルムのＩＶが上がることで引裂強度は上昇したが、厚みムラが若干悪化し、グリーンシートの塗布性が若干劣る結果となったが、問題ないレベルであった。
【0062】
（実施例１６）
共重合ポリエステルＡの代わりにホモポリエステルＤとホモポリエステルＥを５０：５０でブレンドしたホモポリエステルを用いた以外は実施例１と同様の方法にてフィルムを得た。得られたフィルムの特性は表１，２のとおりであった。共重合ポリエステルではなくブレンドしたポリマーを用いることでハーフカット時の破れや裂けが若干悪化したが、問題ないレベルであった。
共重合ポリエステルＡの代わりにホモポリエステルＤとホモポリエステルＥを５０：５０でブレンドしたホモポリエステルを用いた以外は実施例１と同様の方法にてフィルムを得た。得られたフィルムの特性は表１，２のとおりであった。共重合ポリエステルではなくブレンドしたポリマーを用いることでハーフカット時の破れや裂けが若干悪化したが、問題ないレベルであった。
【0063】
（実施例１７）
長手方向の延伸倍率を３．０から４．０倍へ、幅方向の延伸倍率を４．０から４．５倍へ変更した以外は実施例１と同様の方法でフィルムを得た。得られたフィルムの特性は表１、２のとおりであった。延伸倍率をあげたことで製膜安定性が低下し、破れが発生したが、ハーフカット性能としては良好であった。
長手方向の延伸倍率を３．０から４．０倍へ、幅方向の延伸倍率を４．０から４．５倍へ変更した以外は実施例１と同様の方法でフィルムを得た。得られたフィルムの特性は表１、２のとおりであった。延伸倍率をあげたことで製膜安定性が低下し、破れが発生したが、ハーフカット性能としては良好であった。
【0064】
（実施例１８）
全層厚みを２０μｍとした以外は実施例１と同様の方法でフィルムを得た。得られたフィルムの特性は表１のとおりであった。全層厚みを薄くすることで引裂強度は低下し、ハーフカット時の破れや裂けが若干悪化したが、問題ないレベルであった。
全層厚みを２０μｍとした以外は実施例１と同様の方法でフィルムを得た。得られたフィルムの特性は表１のとおりであった。全層厚みを薄くすることで引裂強度は低下し、ハーフカット時の破れや裂けが若干悪化したが、問題ないレベルであった。
【0065】
（実施例１９）
共重合ポリエステルＡの代わりに共重合ポリエステルＥを用いた以外は実施例１８と同様の方法にてフィルムを得た。得られたフィルムの特性は表１のとおりであった。ハーフカット時の破れや裂けの評価に優れたフィルムであった。
共重合ポリエステルＡの代わりに共重合ポリエステルＥを用いた以外は実施例１８と同様の方法にてフィルムを得た。得られたフィルムの特性は表１のとおりであった。ハーフカット時の破れや裂けの評価に優れたフィルムであった。
【0066】
（比較例１）
ホモポリエステルＤのみの単層としてＴダイに供給した以外は実施例１と同様の方法にてフィルムを得た。ハーフカット時の破れや裂けの評価に劣るフィルムであった。
ホモポリエステルＤのみの単層としてＴダイに供給した以外は実施例１と同様の方法にてフィルムを得た。ハーフカット時の破れや裂けの評価に劣るフィルムであった。
【0067】
（比較例２）
共重合ポリエステルＥのみの単層としてＴダイに供給した以外は実施例１と同様の方法にてフィルムを得た。比較例１と同様にハーフカット時の破れや裂けの評価に劣るフィルムであった。
共重合ポリエステルＥのみの単層としてＴダイに供給した以外は実施例１と同様の方法にてフィルムを得た。比較例１と同様にハーフカット時の破れや裂けの評価に劣るフィルムであった。
【0068】
【表1】