特許 7649032 水素ガス中の硫化水素ガス計測方法、プログラム及び硫化水素ガス計測システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2025-03-11

(45)【発行日】2025-03-19

(54)【発明の名称】水素ガス中の硫化水素ガス計測方法、プログラム及び硫化水素ガス計測システム

(51)【国際特許分類】

   G01N 27/04 20060101AFI20250312BHJP

【ＦＩ】

G01N27/04 H

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2021078625

(22)【出願日】2021-05-06

(65)【公開番号】P2022172634

(43)【公開日】2022-11-17

【審査請求日】2024-03-12

(73)【特許権者】

【識別番号】509031899

【氏名又は名称】矢部川電気工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100180921

【弁理士】

【氏名又は名称】峰 雅紀

(72)【発明者】

【氏名】阪本 一平

【審査官】黒田 浩一

(56)【参考文献】

【文献】特開２０２１－００６７６２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０８－３２０３１２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００４－２９４４４６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－２０７３２２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｎ ２７／００－２７／４９

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

水素ガスの中の硫化水素ガスを計測する硫化水素ガス計測システムを用いた硫化水素ガス計測方法であって、
前記硫化水素ガス計測システムは、
前記水素ガスが流れる流路と、
ガスが前記流路を流れる速度を制御する流速制御部と、
前記水素ガスに含まれる硫化水素ガスを検出する検出セルと、
前記硫化水素ガス計測システムは、校正された校正硫化水素ガスを含む硫化水素ガスボンベと、
あらかじめ不純物を除去されたゼロガスを含むゼロガスボンベとを備え、
前記流速制御部が、前記流路に硫化水素ガスを導入して前記流路に硫化水素ガスを付着させる硫化水素付着ステップと、
前記ゼロガスボンベから前記流路に前記ゼロガスを供給するパージステップと、
前記水素ガスを採取する採取ステップと、
前記水素ガスを計測する計測ステップとを含み、
前記硫化水素付着ステップにおいて、前記硫化水素ガスボンベから前記流路に前記校正硫化水素ガスを供給し、飽和状態に達するまで硫化水素ガスを前記流路に付着させる、硫化水素ガス計測方法。

【請求項2】

前記硫化水素ガス計測システムは、少なくとも一酸化炭素と硫化水素を分離する気体分離部をさらに備え、
前記計測ステップの前に、前記気体分離部が、前記水素ガスに含まれる一酸化炭素を分離して前記水素ガスから除去する一酸化炭素除去ステップをさらに含む、請求項１記載の硫化水素ガス計測方法。

【請求項3】

コンピュータを、請求項１又は２記載の前記流速制御部として機能させるためのプログラム。

【請求項4】

水素ガスの中の硫化水素ガスを計測する硫化水素ガス計測システムであって、
前記水素ガスが流れる流路と、
硫化水素ガスを含む硫化水素ガスボンベと、
ガスが前記流路を流れる速度を制御する流速制御部と、
前記水素ガスに含まれる硫化水素ガスを検出する検出セルと、
あらかじめ不純物を除去されたゼロガスを含むゼロガスボンベとを備え、
前記硫化水素ガスボンベは、制御弁を介して前記流路に接続されている、硫化水素ガス計測システム。

【請求項5】

前記硫化水素ガスボンベは、校正された硫化水素ガスを有するものである、請求項４記載の硫化水素ガス計測システム。

【請求項6】

少なくとも一酸化炭素と硫化水素を分離する気体分離部をさらに備える、請求項４又は５記載の硫化水素ガス計測システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、水素ガス中の硫化水素ガス計測方法、プログラム及び硫化水素ガス計測システムに関する。

【背景技術】

【0002】

近年、燃料電池の実用化に向けて良質な水素気体を提供するニーズが高まっている。本願発明者は、これまでに燃料電池セルの保護装置、温湿度調整装置、流体移送装置等を開発してきた（特許文献１～３）。

【0003】

また、ガスクロマトグラフィ法により連続的にサンプルガスを分析するガスクロマトグラフィ装置が知られていた（特許文献４）。さらに、水素ポンプ型のセンサーセルで燃料水素中の各種の不純物を監視するセンサーセルが知られていた（特許文献５）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１８－０９２７８６号公報

【文献】特許第６６８４４９１号公報

【文献】特開２０１４－１７７８９２号公報

【文献】特開２００２－１８１７９８号公報

【文献】特許第５５９７００４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、水素ガス中の不純物の１つである硫化水素ガスを高精度にオンライン連続計測できる硫化水素ガス計測方法や硫化水素ガス計測システムは知られていない。

【0006】

そこで、本発明は、水素ガス中の不純物である硫化水素ガスを高精度に計測することを可能とする硫化水素ガス計測方法等を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の第１の観点は、水素ガスの中の硫化水素ガスを計測する硫化水素ガス計測システムを用いた硫化水素ガス計測方法であって、前記硫化水素ガス計測システムは、前記水素ガスが流れる流路と、ガスが前記流路を流れる速度を制御する流速制御部と、前記水素ガスに含まれる硫化水素ガスを検出する検出セルとを備え、前記流速制御部が、前記流路に硫化水素ガスを導入して前記流路に硫化水素ガスを付着させる硫化水素付着ステップと、前記水素ガスを採取する採取ステップと、前記水素ガスを計測する計測ステップとを含む、硫化水素ガス計測方法である。

【0008】

本発明の第２の観点は、第１の観点の硫化水素ガス計測方法であって、前記硫化水素付着ステップにおいて、飽和状態に達するまで硫化水素ガスを前記流路に付着させる。

【0009】

本発明の第３の観点は、第１又は第２の観点の硫化水素ガス計測方法であって、前記硫化水素ガス計測システムは、校正された校正硫化水素ガスを含む硫化水素ガスボンベをさらに備え、前記硫化水素付着ステップにおいて、前記硫化水素ガスボンベから前記流路に前記校正硫化水素ガスを供給する。

【0010】

本発明の第４の観点は、第１から第３のいずれかの観点の硫化水素ガス計測方法であって、前記硫化水素ガス計測システムは、あらかじめ不純物を除去されたゼロガスを含むゼロガスボンベをさらに備え、前記採取ステップの前に、前記ゼロガスボンベから前記流路に前記ゼロガスを供給するパージステップをさらに含む。

【0011】

本発明の第５の観点は、第１から第４のいずれかの観点の硫化水素ガス計測方法であって、前記計測対象ガスは、水素ガスであり、前記硫化水素ガス計測システムは、少なくとも一酸化炭素と硫化水素を分離する気体分離部をさらに備え、前記計測ステップの前に、前記気体分離部が、前記水素ガスに含まれる一酸化炭素を分離して前記水素ガスから除去する一酸化炭素除去ステップをさらに含む。

【0012】

本発明の第６の観点は、コンピュータを、第１から第５のいずれかの観点の前記流速制御部として機能させるためのプログラムである。

【0013】

本発明の第７の観点は、水素ガスの中の硫化水素ガスを計測する硫化水素ガス計測システムであって、前記水素ガスが流れる流路と、硫化水素ガスを含む硫化水素ガスボンベと、ガスが前記流路を流れる速度を制御する流速制御部と、前記水素ガスに含まれる硫化水素ガスを検出する検出セルとを備え、前記硫化水素ガスボンベは、制御弁を介して前記流路に接続されている、硫化水素ガス計測システムである。

【0014】

本発明の第８の観点は、第７の観点の硫化水素ガス計測システムであって、前記硫化水素ガスボンベは、校正された硫化水素ガスを有するものである。

【0015】

本発明の第９の観点は、第７又は第８の観点の硫化水素ガス計測システムであって、少なくとも一酸化炭素と硫化水素を分離する気体分離部をさらに備える。

【0016】

なお、本発明を、計測対象ガスに含まれる硫化水素ガスの有無や量をオンライン連続分析する分析方法、プログラム及び分析システムと捉えてもよい。

【発明の効果】

【0017】

本発明の各観点によれば、水素ガスの中の硫化水素ガスを反応性良く高精度にオンライン連続計測することが可能となる。

【0018】

本発明者は、硫化水素ガスを高精度に計測することが困難な理由の１つは、計測の応答性が悪いことにあると考えた。応答性が悪い計測方法等は実用に適さない。さらに、応答性が悪い原因を、硫化水素が配管ステンレス部等の一部に付着してセンサーセルに到達しない特性があるためであると特定した。

【0019】

さらに、本発明者は、あえて流路全体に硫化水素を付着させることで、硫化水素の計測精度を高めることができるとの独自の技術的思想に想到した。

【0020】

特に、本発明の第２の観点によれば、流路全体に硫化水素を最大限付着させることにより、その後に流路に流れる水素ガスに含まれる硫化水素を反応性良く高精度に計測することが容易となる。

【0021】

さらに、本発明の第３又は第８の観点によれば、校正された硫化水素を付着させることにより、毎回のサイクルにおいて確実に硫化水素を最大限付着させることが容易となる。このため、水素ガスに含まれる硫化水素を高精度に計測することがさらに容易となる。

【0022】

さらに、本発明の第４の観点によれば、流路全体に硫化水素を付着させることを含めて、計測前後で同じ環境を整えることが可能となる。そのため、繰り返し安定して反応性良く高精度に計測することが容易となる。

【0023】

また、本発明の第５又は第９の観点によれば、水素ガスに含まれる硫化水素ガス以外の不純物をあらかじめ除去することができる。そのため、水素ガスに含まれる硫化水素を高精度に計測することがさらに容易となる。

【図面の簡単な説明】

【0024】

【図1】本発明の実施例に係る硫化水素ガス計測システムの概要を示すブロック図である。

【図2】本発明の実施例に係る硫化水素ガス計測システムの概要の一例を示すシステム構成図である。

【図3】本発明の実施例に係る硫化水素ガス計測装置の概要の一例を示す装置構成図である。

【図4】本発明の実施例に係る硫化水素ガス計測方法における計測処理フローの概要の一例を示すフロー図である。

【図5】本発明の実施例に係る硫化水素ガス計測方法における硫化水素ガス計測装置の運用フローの一例を示すフロー図である。

【図6】本実施例に係る硫化水素ガス計測システムが実際に分析した水素ガス中の硫化水素ガス不純物濃度の経時変化の一例を示すグラフである。

【発明を実施するための形態】

【0025】

以下、図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。なお、本発明の実施例は、以下に記載する内容に限定されるものではない。また、同種の装置や部材が複数ある場合、添え字を省略して集合的に記載する場合がある。

【0026】

まず、本発明者が見出した硫化水素ガス計測の難点について説明する。硫化水素ガスは、ステンレスに吸着する特性がある。パイプの内側がガラスコーティングされていれば吸着しにくいが、継手等はステンレス製であることが多く、硫化水素が吸着してしまう。このため、計測対象ガス中に硫化水素ガスが混入しても検出が遅れてしまう。また、検出されたとしても硫化水素濃度を高精度に測定することが困難であった。

【0027】

図１は、硫化水素の計測が困難であることを示す経時変化グラフの一例を示す図である。縦軸は硫化水素濃度[ppb]、横軸は経過時間を表す。図１を参照して、水素ガスに一定濃度の硫化水素ガスの混入を開始して12時間経っても検出される硫化水素濃度が安定していないことが示されている。硫化水素濃度の測定にこれほど長時間がかかるようでは計測方法として不適切である。

【0028】

以下、本発明者が発明した、計測対象ガス中の硫化水素濃度を感度よく高精度に測定するための硫化水素ガス計測システム及び硫化水素ガス計測方法について説明する。

【実施例】

【0029】

図２は、本実施例に係る硫化水素ガス計測システム（本願請求項における「硫化水素ガス計測システム」の一例）の概要の一例を示す図である。硫化水素ガス計測システム１は、硫化水素ガス計測装置盤３と、気体供給部５とを備える。硫化水素ガス計測装置盤３は、硫化水素ガス計測装置７と、燃料ガス流路９_１（本願請求項に記載の「流路」の一例）と、ゼロガス流路９_２と、硫化水素流路９_３と、調節弁１１と、逆流弁１３と、接続点１５とを有する。気体供給部５は、ゼロガスボンベ１７（本願請求項に記載の「ゼロガスボンベ」の一例）と、バックアップボンベ１９と、硫化水素ガスボンベ２１と、接続点２３とを有する。

【0030】

硫化水素ガス計測装置盤３は、各種のボンベ以外の硫化水素ガス計測システム１の主要な装置をパッケージとして屋外にも設置できるように金属製の容器に入れたものである。硫化水素ガス計測装置７には、複数の流路９が接続されている。流路９には、計測対象となる水素燃料ガス（本願請求項に記載の「計測対象ガス」の一例）が供給される燃料ガス流路９_１、ゼロガスとしてあらかじめ不純物が除去された工業用水素ガス（本願請求項に記載の「ゼロガス」の一例）が供給されるゼロガス流路９_２、校正された硫化水素ガスが供給される硫化水素流路９_３が含まれる。外部の水素燃料供給装置３１に接続された水素燃料供給流路３３は、途中にある接続点３５で流路が分岐している。分岐した流路は、調節弁１１_１及び逆流防止弁１３_１を介して接続点１５_１において燃料ガス流路９_１に接続されている。燃料ガス流路９_１は、接続点１５_２においてゼロガス流路９_２と接続されている。

【0031】

気体供給部５は、硫化水素ガス計測装置に各種の気体を供給する。気体供給部５のゼロガスボンベ１７及びバックアップボンベ１９は、ゼロガスとしてあらかじめ不純物が除去された工業用水素ガスを有する。硫化水素ガスボンベ２１は、校正された硫化水素ガスを有する。本実施例では、硫化水素ガスボンベ２１は、1.5ppmの硫化水素を10L有する。ゼロガスボンベ１７は、仕切弁と、調節弁１１_２と、接続点１５_２と、逆流防止弁１３_２と接続点１５_１を順に介して燃料ガス流路９_１に接続されている。バックアップボンベ１９は、仕切弁を介して接続点２３においてゼロガスボンベ１７に接続された流路に接続されている。硫化水素ガスボンベ２１は、仕切弁を介して硫化水素流路９_３に接続されている。

【0032】

硫化水素ガス計測システム１は、外部の水素燃料供給装置３１から0.2～0.8MPaで供給された水素燃料ガスの一部を計測対象ガスとしてサンプリングして計測する。硫化水素ガス計測装置７は、供給された水素燃料ガスに含まれる硫化水素の濃度を計測する。硫化水素ガス計測装置７は、外部のコンピュータ３７と通信可能である。硫化水素ガス計測装置７は、コンピュータ３７による制御が可能であり、計測結果をコンピュータ３７に表示可能である。流路９は、各種の気体の流路である。調節弁１１は、流路に流れる気体の流量を調節する。調節弁１１_１は、サンプリングされる水素燃料ガスの流量を0.20MPaに調節する。調節弁１１_２は、ゼロガスボンベ１７及び／又はバックアップボンベ１９から供給されるゼロガスの流量を0.15MPaに調節する。

【0033】

図３は、本実施例に係る硫化水素ガス計測システム１の概要を示すブロック図である。図３を参照して、硫化水素ガス計測システム１は、気体供給部５と、硫化水素ガス計測装置７と、流路９と、弁部１０と、カラム２５（本願請求項に記載の「気体分離部」の一例）と、換算部２７と、表示部２９と、制御部５１とを備える。気体供給部５は、ゼロガスボンベ１７と、バックアップガスボンベ１９と、硫化水素ガスボンベ２１とを有する。硫化水素ガス計測装置７は、電磁弁７１と、フローコントローラ７３と、蒸留水タンク７４と、計測ユニット７５とを有する。計測ユニット７５は、センサーセル７７（本願請求項に記載の「検出セル」の一例）と、電源７９と、電圧計８１と、温湿センサー８３と、加湿ポット８５とを有する。制御部５１は、弁制御部５３と、流速制御部５５（本願請求項に記載の「流速制御部」の一例）と、電源制御部５７と、表示制御部５９とを有する。

【0034】

電磁弁７１は、２方電磁弁又は３方電磁弁であり、ＯＮ及びＯＦＦで気体が流れる方向や開閉を切り替えられる。フローコントローラ７３は、流路９の特定の箇所における気体の流量を調節する。蒸留水タンク７４は、加湿ポット８５に供給する蒸留水を保持する。計測ユニット７５は、供給されたガスに含まれる不純物濃度を計測する。

【0035】

計測ユニット７５において、センサーセル７７は、水素ポンプ型のセンサーセルである。センサーセル７７は、不純物濃度に応じて抵抗値が変化する。センサーセル７７は、水素中の硫化水素が付着した時には高感度に反応し、硫化水素が減少した時には素早く硫化水素を剥離する特性を持っている。電源７９は、センサーセル７７に電流を供給する。電圧計８１は、センサーセル７７の電圧を計測する。温湿センサー８３は、計測ユニット７５の温度及び湿度を計測する。加湿ポット８５は、センサーセル７７に供給される気体を加湿する。

【0036】

弁１０は、仕切弁、調節弁、逆流防止弁等の弁を有し、硫化水素ガス計測システム１における気体の移動を制御する。カラム２５は、水素ガスに含まれる不純物を分離する。特に、本実施例では、水素ガス中の一酸化炭素を分離して除去することに用いられる。センサーセル７７は、硫化水素だけでなく一酸化炭素にも反応するため、カラム２５で一酸化炭素を除去することにより、硫化水素の検出精度を高めることがさらに容易となる。

【0037】

換算部２７は、電圧計８１が検出する測定電圧の変化を硫化水素濃度に換算する。表示部２９は、換算された硫化水素濃度を表示する。

【0038】

制御部５１において、弁制御部５３は、弁部１０の各種の弁の流れる方向や調節量や開閉を制御する。流速制御部５５は、フローコントローラ７３を制御して所定の箇所における流速を制御する。電源制御部５７は、電源７９を制御する。表示制御部５９は、表示部２９を制御する。

【0039】

図４は、本実施例に係る硫化水素ガス計測システム１の構成の一例を示す図である。以下、電磁弁ＳＶのうち３方電磁弁ＳＶ１～ＳＶ５について、入力バルブを「ＩＮ」、ＯＦＦで開いている出力バルブを「ＮＯ」、ＯＮで開いている出力バルブを「ＮＣ」と表記する。また、電磁弁ＳＶを、単に「ＳＶ」と表記することがある。ＳＶ６は、２方電磁弁である。

【0040】

図４において、計測対象ガスである水素ガスを供給する外部の水素燃料供給装置３１は、水素燃料供給流路３３、仕切弁Ｖ４、調節弁Ｒ４、逆流防止弁Ｇ１、接続点Ｃ１、元栓Ｖ１、調節弁Ｒ１、接続点Ｃ２、ＳＶ２のＩＮバルブからＮＯバルブ、接続点Ｃ３を順に経由してＳＶ３のＮＣバルブに接続されている。また、ＳＶ１のＮＣバルブとＳＶ２のＮＣバルブは接続されている。逆流防止弁Ｇ２は、接続点Ｃ１から水素燃料供給装置３１の方向への気体の流れを防止する。

【0041】

ゼロガスボンベ１７は、接続点Ｃ４、仕切弁Ｖ５、調節弁Ｒ５、接続点Ｃ５、調節弁Ｒ２、接続点Ｃ６、ＳＶ３のＩＮバルブからＮＯバルブ、ＳＶ５のＮＯバルブからＩＮバルブ、ＳＶ１のＮＯバルブからＩＮバルブ、カラム２５、フローコントローラ７３_１を順に経由して計測ユニット７５に接続されている。また、バックアップボンベ１９は、接続点Ｃ４に接続されている。

【0042】

硫化水素ガスボンベ２１は、元弁Ｖ３、調節弁Ｒ３、フローコントローラ７３３、分岐Ｂ１、ＳＶ６を順に経由して接続点Ｃ６に接続されている。分岐Ｂ１は、ＳＶ４のＩＮバルブからＮＯバルブを経由して、ＳＶ５のＮＣバルブにも接続されている。

【0043】

さらに、接続点Ｃ５は、逆流防止弁Ｇ２を経由して、接続点Ｃ１に接続されている。逆流防止弁Ｇ２は、接続点Ｃ１から接続点Ｃ５への気体の流れを防止する。接続点Ｃ２は、元弁Ｖ２を経て計測対象ガスの出口にも接続されている。ＳＶ４のＮＣバルブは、接続点Ｃ３、フローコントローラ７３_２を経由して、排ガス出口にも接続されている。

【0044】

計測ユニット７５に供給された気体は、加湿ポット８５で加湿されて検出ポットに至り、計測される。計測が終わったガスは、外に排気される。

【0045】

水素燃料供給装置は、0.2～0.8MPaで水素燃料を供給する。ゼロガスボンベ１７は、0.2～0.8MPaでゼロガスとしてあらかじめ不純物を除去された工業用水素ガスを供給する。バックアップボンベ１９は、電気的な制御に依存することなくバックアップガスが間断なく連続的に接続点Ｃ４にゼロガスを供給するため、濃度計測の欠測を生じさせない。また、センサーセル７７が有する電極素子を空気に曝露させて損傷することを防止可能となる。硫化水素ガスボンベ２１は、0.1MPaで校正された硫化水素ガス（本願請求項に記載の「校正硫化水素ガス」の一例）を供給する。

【0046】

調節弁Ｒ１は、気体の圧力を0.05MPaに調節する。調節弁Ｒ２は、気体の圧力を0.05MPaに調節する。調節弁Ｒ３は、気体の圧力を0.06MPaに調節する。調節弁Ｒ４は、気体の圧力を0.20MPaに調節する。調節弁Ｒ５は、気体の圧力を0.15MPaに調節する。

【0047】

図５は、本実施例に係る硫化水素ガス計測方法の一例を示すフロー図である。図５を参照して、配管全体、特にステンレス製の部分にあらかじめ硫化水素が飽和するまで付着させられている（本願請求項に記載の「硫化水素付着ステップ」の一例）。配管のステンレス製の部分に付着した硫化水素は、長時間剥離しない。フローが開始されるとき、元弁Ｖ１、Ｖ２、Ｖ３は開かれている。また、電磁弁ＳＶ１～ＳＶ６はＯＦＦである。

【0048】

ステップＳ１１において、ＳＶ１～ＳＶ６をＯＦＦのままとし、ゼロガスボンベ１７から流路９にゼロガスを供給し、パージを100秒行う（本願請求項に記載の「パージステップ」の一例）。

【0049】

続いて、ステップＳ１２において、ＳＶ１、ＳＶ２、ＳＶ３をＯＮ、ＳＶ４、ＳＶ５、ＳＶ６をＯＦＦとし、計測対象ガスとして水素発生装置３１から水素燃料ガスを１０秒間採取して流路９に供給する（本願請求項に記載の「採取ステップ」の一例）。

【0050】

続いて、ステップＳ１３において、ＳＶ２、ＳＶ４、ＳＶ６をＯＮ、ＳＶ１、ＳＶ３、ＳＶ５をＯＦＦとし、ゼロガスボンベ１７からゼロガスを流路９に供給しつつ、３５秒かけてカラム２５で一酸化炭素を水素ガスから除去する（一酸化炭素除去ステップ）。また、硫化水素ガスボンベ２１から校正された流路水素ガスを流路９に供給する。ただし、ＳＶ４は、ＮＣバルブが開いて排気されているため、校正流路水素ガスが計測対象ガスと混合することはない。フローコントローラ３は、硫化水素濃度を20ppbに制御する。

【0051】

続いて、ステップＳ１４において、ＳＶ２、ＳＶ５、ＳＶ６をＯＮ、ＳＶ１、ＳＶ３、ＳＶ４をＯＦＦとし、硫化水素ガスボンベ２１から校正された流路水素ガスを１０秒かけて流路９に供給する。フローコントローラ３は、硫化水素濃度を20ppbに制御する。これにより、あらためて硫化水素ガスが流路９及び電磁弁に飽和状態まで吸着する。このため、計測対象ガス中に硫化水素が含まれていても感度よく高精度に硫化水素を測定することが可能となる。

【0052】

続いて、ステップＳ１５において、ＳＶ１～ＳＶ６をＯＦＦとし、ゼロガスボンベ１７から流路９にゼロガスを供給しつつ、２５秒かけて計測を行う（本願請求項に記載の「計測ステップ」の一例）。

【0053】

続いて、ステップＳ１６において、制御部が計測対象ガスの計測を継続するか否かを判定する。継続する場合には、ステップＳ１１に戻る。継続しない場合には、フローを終了する。

【0054】

図６は、本実施例に係る硫化水素ガス計測システム１が実際に計測した水素ガス中の硫化水素濃度の経時変化の一例を示すグラフである。縦軸は硫化水素濃度[ppb]を表し、横軸は経過時間を表す。計測において、校正された硫化水素ガス20ppbを水素ガスで希釈することで0ppb、5ppb、10ppb、15ppb、20ppbの硫化水素濃度の水素ガスを用意した。

【0055】

図６に示されるように、図１のグラフとは異なり、本実施例の硫化水素ガス計測システム１を用いることにより、水素燃料ガスに含まれるごく微量の硫化水素ガスを応答性よく高精度に計測できていることが分かる。

【0056】

なお、カラム２５は、硫化水素ガス計測装置７の内部に含まれるものであってもよい。

【符号の説明】

【0057】

１； 硫化水素ガス計測システム、５；気体供給部、７；硫化水素ガス計測装置、９；流路、１７；ゼロガスボンベ、１９；バックアップボンベ、２１；硫化水素ガスボンベ、２５；カラム、３１；水素燃料供給装置、７１；電磁弁、７３；フローコントローラ、ＳＶ；電磁弁

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】