(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2025-03-11
(45)【発行日】2025-03-19
(54)【発明の名称】半導体装置
(51)【国際特許分類】
H01L 23/48 20060101AFI20250312BHJP
H01L 25/07 20060101ALI20250312BHJP
H01L 25/18 20230101ALI20250312BHJP
【FI】
H01L23/48 G
H01L23/48 P
H01L25/04 C
(21)【出願番号】P 2020184220
(22)【出願日】2020-11-04
【審査請求日】2023-10-05
(73)【特許権者】
【識別番号】000116024
【氏名又は名称】ローム株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100135389
【氏名又は名称】臼井 尚
(74)【代理人】
【識別番号】100168044
【氏名又は名称】小淵 景太
(72)【発明者】
【氏名】川嶋 菜穂子
【審査官】木下 直哉
(56)【参考文献】
【文献】特開2000-294707(JP,A)
【文献】米国特許出願公開第2006/0145318(US,A1)
【文献】特開2009-038138(JP,A)
【文献】特開2020-047758(JP,A)
【文献】特開2009-231805(JP,A)
【文献】米国特許出願公開第2005/0073012(US,A1)
【文献】米国特許出願公開第2014/0239413(US,A1)
【文献】国際公開第2019/102694(WO,A1)
【文献】特開2005-167013(JP,A)
【文献】特開2007-012857(JP,A)
(58)【調査した分野】(Int.Cl.,DB名)
H01L 23/48-23/50
H01L 25/04
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
スイッチング素子であり、かつ、厚さ方向において互いに反対側を向く素子主面および素子裏面と、前記素子主面に配置された第1電極および第2電極と、を各々が有する第1半導体素子および第2半導体素子と、
前記第1半導体素子が搭載され、かつ、前記第1半導体素子に導通する第1リードと、
前記第2半導体素子が搭載され、かつ、前記第2半導体素子に導通する第2リードと、
前記第1半導体素子の前記第1電極および前記第2半導体素子の前記第1電極に導通する第3リードと、
前記第1半導体素子および前記第2半導体素子を覆う封止樹脂と、
前記第1リードおよび前記第2リードに対して、前記厚さ方向に直交する第1方向に離間して配置され、前記封止樹脂から露出し、かつ、前記第1半導体素子の第1電極に導通する第1端子と、
前記第1方向において、前記第1リードおよび前記第2リードに対して、前記第1端子と同じ側に離間して配置され、前記封止樹脂から露出し、かつ、前記第2半導体素子の第1電極に導通する第2端子と、
前記第1方向において、前記第1リードおよび前記第2リードに対して、前記第1端子とは反対側に離間して配置され、前記封止樹脂から露出し、かつ、前記第1半導体素子の第2電極に導通する第3端子と、
前記第1方向において、前記第1リードおよび前記第2リードに対して、前記第3端子と同じ側に離間して配置され、前記封止樹脂から露出し、かつ、前記第2半導体素子の第2電極に導通する第4端子と、
を備え、
前記封止樹脂は、前記厚さ方向において互いに反対側を向く樹脂主面および樹脂裏面と、前記樹脂主面および前記樹脂裏面につながり、かつ、前記第1端子および前記第2端子が露出する第1樹脂側面と、前記樹脂主面および前記樹脂裏面につながり、かつ、前記第3端子および前記第4端子が露出する第2樹脂側面とを備え、
前記第1リードは、前記第1樹脂側面から露出し、
前記第2リードは、前記第2樹脂側面から露出し
、
前記第3リードが、前記第1端子および前記第2端子を兼ねている、
半導体装置。
【請求項2】
前記第3リードは、前記厚さ方向において互いに反対側を向く第3リード主面および第3リード裏面と、前記第3リード主面および前記第3リード裏面につながり、かつ、前記第1樹脂側面から露出する第3リード端面と、を備えている、
請求項
1に記載の半導体装置。
【請求項3】
前記第3リード端面は、前記第1樹脂側面によって隔てられた2個の部位からなる、
請求項
2に記載の半導体装置。
【請求項4】
前記第3リード裏面の形状は、U字形状である、
請求項
2または
3に記載の半導体装置。
【請求項5】
前記第3リード裏面は、前記樹脂裏面によって隔てられた2個の部位からなる、
請求項
2または
3に記載の半導体装置。
【請求項6】
スイッチング素子であり、かつ、厚さ方向において互いに反対側を向く素子主面および素子裏面と、前記素子主面に配置された第1電極および第2電極と、を各々が有する第1半導体素子および第2半導体素子と、
前記第1半導体素子が搭載され、かつ、前記第1半導体素子に導通する第1リードと、
前記第2半導体素子が搭載され、かつ、前記第2半導体素子に導通する第2リードと、
前記第1半導体素子および前記第2半導体素子を覆う封止樹脂と、
前記第1リードおよび前記第2リードに対して、前記厚さ方向に直交する第1方向に離間して配置され、前記封止樹脂から露出し、かつ、前記第1半導体素子の第1電極に導通する第1端子と、
前記第1方向において、前記第1リードおよび前記第2リードに対して、前記第1端子と同じ側に離間して配置され、前記封止樹脂から露出し、かつ、前記第2半導体素子の第1電極に導通する第2端子と、
前記第1方向において、前記第1リードおよび前記第2リードに対して、前記第1端子とは反対側に離間して配置され、前記封止樹脂から露出し、かつ、前記第1半導体素子の第2電極に導通する第3端子と、
前記第1方向において、前記第1リードおよび前記第2リードに対して、前記第3端子と同じ側に離間して配置され、前記封止樹脂から露出し、かつ、前記第2半導体素子の第2電極に導通する第4端子と、
前記第1半導体素子の前記第1電極に導通する、前記第1端子としての第3リードと、
前記第2半導体素子の前記第1電極に導通し、かつ、前記第3リードに対して離間して配置された、前記第2端子としての第4リードと、
を備え、
前記封止樹脂は、前記厚さ方向において互いに反対側を向く樹脂主面および樹脂裏面と、前記樹脂主面および前記樹脂裏面につながり、かつ、前記第1端子および前記第2端子が露出する第1樹脂側面と、前記樹脂主面および前記樹脂裏面につながり、かつ、前記第3端子および前記第4端子が露出する第2樹脂側面とを備え、
前記第1リードは、前記第1樹脂側面から露出し、
前記第2リードは、前記第2樹脂側面から露出し
、
前記第3リードと前記第4リードとは隣接して配置されている、
半導体装置。
【請求項7】
前記第1半導体素子の前記第2電極および前記第2半導体素子の前記第2電極に導通する第5リードをさらに備え、
前記第5リードが、前記第3端子および前記第4端子を兼ねている、
請求項1ないし
6のいずれかに記載の半導体装置。
【請求項8】
前記第1半導体素子の前記第2電極に導通する、前記第3端子としての第5リードと、
前記第2半導体素子の前記第2電極に導通し、かつ、前記第5リードに対して離間して配置された、前記第4端子としての第6リードと、
をさらに備えている、
請求項1ないし
6のいずれかに記載の半導体装置。
【請求項9】
前記第5リードと前記第6リードとは隣接して配置されている、
請求項
8に記載の半導体装置。
【請求項10】
スイッチング素子であり、かつ、厚さ方向において互いに反対側を向く素子主面および素子裏面と、前記素子主面に配置された第1電極および第2電極と、を各々が有する第1半導体素子および第2半導体素子と、
前記第1半導体素子が搭載され、かつ、前記第1半導体素子に導通する第1リードと、
前記第2半導体素子が搭載され、かつ、前記第2半導体素子に導通する第2リードと、
前記第1半導体素子および前記第2半導体素子を覆う封止樹脂と、
前記第1リードおよび前記第2リードに対して、前記厚さ方向に直交する第1方向に離間して配置され、前記封止樹脂から露出し、かつ、前記第1半導体素子の第1電極に導通する第1端子と、
前記第1方向において、前記第1リードおよび前記第2リードに対して、前記第1端子と同じ側に離間して配置され、前記封止樹脂から露出し、かつ、前記第2半導体素子の第1電極に導通する第2端子と、
前記第1方向において、前記第1リードおよび前記第2リードに対して、前記第1端子とは反対側に離間して配置され、前記封止樹脂から露出し、かつ、前記第1半導体素子の第2電極に導通する第3端子と、
前記第1方向において、前記第1リードおよび前記第2リードに対して、前記第3端子と同じ側に離間して配置され、前記封止樹脂から露出し、かつ、前記第2半導体素子の第2電極に導通する第4端子と、
前記第1半導体素子と前記第1リードとを接合させる導電性接合材と、
を備え、
前記封止樹脂は、前記厚さ方向において互いに反対側を向く樹脂主面および樹脂裏面と、前記樹脂主面および前記樹脂裏面につながり、かつ、前記第1端子および前記第2端子が露出する第1樹脂側面と、前記樹脂主面および前記樹脂裏面につながり、かつ、前記第3端子および前記第4端子が露出する第2樹脂側面とを備え、
前記第1リードは、前記第1樹脂側面から露出し、
前記第2リードは、前記第2樹脂側面から露出し
、
前記第1半導体素子は、前記素子裏面に配置された第3電極をさらに備え、
前記第3電極は、前記導電性接合材を介して、前記第1リードに導通接続されている、半導体装置。
【請求項11】
前記第1半導体素子および前記第2半導体素子は、バイポーラトランジスタであって、
前記第1電極はエミッタ電極であり、前記第2電極はベース電極であり、前記第3電極はコレクタ電極である、
請求項
10に記載の半導体装置。
【請求項12】
前記第1半導体素子はNPN型であって、
前記第2半導体素子はPNP型である、
請求項
11に記載の半導体装置。
【請求項13】
前記第1樹脂側面および前記第2樹脂側面は、前記第1方向において互いに反対側を向いている、
請求項1
ないし12のいずれかに記載の半導体装置。
【請求項14】
前記第1樹脂側面からは、前記第1リード、前記第1端子および前記第2端子のみが露出し、
前記第2樹脂側面からは、前記第2リード、前記第3端子および前記第4端子のみが露出している、
請求項1
ないし13のいずれかに記載の半導体装置。
【請求項15】
前記第1リードは、前記第1半導体素子が搭載される第1ダイパッド部を備え、
前記第2リードは、前記第2半導体素子が搭載される第2ダイパッド部を備え、
前記第1ダイパッド部および前記第2ダイパッド部は、前記樹脂裏面から露出している、
請求項1ないし
14のいずれかに記載の半導体装置。
【請求項16】
前記第1リードは、前記第1ダイパッド部につながる第1リード端子部をさらに備え、
前記第2リードは、前記第2ダイパッド部につながる第2リード端子部をさらに備え、
前記第1リード端子部および前記第2リード端子部は、前記樹脂裏面から露出している、
請求項
15に記載の半導体装置。
【請求項17】
前記第1リード端子部は、前記第1樹脂側面から露出する第1端子部端面を備え、
前記第2リード端子部は、前記第2樹脂側面から露出する第2端子部端面を備え、
前記第1端子部端面は、前記第1樹脂側面と面一であり、
前記第2端子部端面は、前記第2樹脂側面と面一である、
請求項
16に記載の半導体装置。
【請求項18】
前記第1方向の寸法、および、前記厚さ方向と前記第1方向とに直交する第2方向の寸法が、どちらも、1mm以上3mm以下である、
請求項1ないし
17のいずれかに記載の半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、半導体素子を搭載した半導体装置に関する。
【背景技術】
【0002】
電気自動車やハイブリッド自動車などに使用されているインバータ装置は、たとえばMOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)やIGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)などのスイッチング素子と、これを駆動するためのゲートドライバ回路とを備えている。ゲートドライバ回路は、駆動素子と、駆動素子が出力する駆動信号を増幅して、スイッチング素子に出力するバッファ回路とを備えている。バッファ回路には、NPN型のバイポーラトランジスタとPNP型のバイポーラトランジスタとを備え、両者のベース電極同士を接続し、また、両者のエミッタ電極同士を接続して用いるものがある。ゲートドライバ回路の小型化のために、バッファ回路に含まれる各部品の小型化が期待されている。NPN型のバイポーラトランジスタである半導体素子とPNP型のバイポーラトランジスタである半導体素子とをリードフレームに搭載して封止樹脂で覆った半導体装置を用いることで、ゲートドライバ回路の小型化に寄与できる。
【0003】
特許文献1には、2個のバイポーラトランジスタを備える半導体装置が開示されている。当該半導体装置は、第1トランジスタ素子および第2トランジスタ素子と、リードフレームと封止樹脂とを備えている。当該半導体装置は、第1トランジスタ素子のベース電極に導通するリード、第1トランジスタ素子のコレクタ電極に導通するリード、および、第2トランジスタ素子のコレクタ電極に導通するリードが、封止樹脂の一方の側面から露出している。また、当該半導体装置は、第1トランジスタ素子のエミッタ電極に導通するリード、第2トランジスタ素子のベース電極に導通するリード、および、第2トランジスタ素子のエミッタ電極に導通するリードが、封止樹脂の反対側の側面から露出している。この場合、半導体装置を配線基板に実装して、配線基板上の配線で、両者のベース電極同士を接続し、また、両者のエミッタ電極同士を接続する場合、複雑な配線が必要になる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
本開示は、上記した事情のもとで考え出されたものであって、実装される配線基板上の配線を単純化できる半導体装置を提供することをその課題とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本開示によって提供される半導体装置は、スイッチング素子であり、かつ、厚さ方向において互いに反対側を向く素子主面および素子裏面と、前記素子主面に配置された第1電極および第2電極と、を各々が有する第1半導体素子および第2半導体素子と、前記第1半導体素子が搭載され、かつ、前記第1半導体素子に導通する第1リードと、前記第2半導体素子が搭載され、かつ、前記第2半導体素子に導通する第2リードと、前記第1半導体素子および前記第2半導体素子を覆う封止樹脂と、前記第1リードおよび前記第2リードに対して、前記厚さ方向に直交する第1方向に離間して配置され、前記封止樹脂から露出し、かつ、前記第1半導体素子の第1電極に導通する第1端子と、前記第1方向において、前記第1リードおよび前記第2リードに対して、前記第1端子と同じ側に離間して配置され、前記封止樹脂から露出し、かつ、前記第2半導体素子の第1電極に導通する第2端子と、前記第1方向において、前記第1リードおよび前記第2リードに対して、前記第1端子とは反対側に離間して配置され、前記封止樹脂から露出し、かつ、前記第1半導体素子の第2電極に導通する第3端子と、前記第1方向において、前記第1リードおよび前記第2リードに対して、前記第3端子と同じ側に離間して配置され、前記封止樹脂から露出し、かつ、前記第2半導体素子の第2電極に導通する第4端子と、を備えている。
【発明の効果】
【0007】
本開示によると、半導体装置が実装される配線基板上の配線を単純化できる。
【0008】
本開示のその他の特徴および利点は、添付図面を参照して以下に行う詳細な説明によって、より明らかとなろう。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【
図1】本開示の第1実施形態にかかる半導体装置を示す斜視図である。
【
図2】
図1の半導体装置を示す斜視図であって、底面側を上側にした状態の図である。
【
図3】
図1の半導体装置を示す平面図であり、封止樹脂を透過して示している。
【
図8】
図1の半導体装置の配線基板への実装状態を示す図である。
【
図9】本開示の第2実施形態にかかる半導体装置を示す平面図である。
【
図10】本開示の第3実施形態にかかる半導体装置を示す平面図である。
【
図12】本開示の第4実施形態にかかる半導体装置を示す底面図である。
【
図13】本開示の第5実施形態にかかる半導体装置を示す底面図である。
【
図14】本開示の第6実施形態にかかる半導体装置を示す平面図である。
【
図15】本開示の第7実施形態にかかる半導体装置を示す底面図である。
【
図16】本開示の第8実施形態にかかる半導体装置を示す底面図である。
【
図17】本開示の第9実施形態にかかる半導体装置を示す平面図である。
【
図18】本開示の第10実施形態にかかる半導体装置を示す底面図である。
【
図19】
図18の半導体装置の配線基板への実装状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下、本開示の好ましい実施の形態を、添付図面を参照して具体的に説明する。
【0011】
本開示において、「ある物Aがある物Bに形成されている」および「ある物Aがある物B上に形成されている」とは、特段の断りのない限り、「ある物Aがある物Bに直接形成されていること」、および、「ある物Aとある物Bとの間に他の物を介在させつつ、ある物Aがある物Bに形成されていること」を含む。同様に、「ある物Aがある物Bに配置されている」および「ある物Aがある物B上に配置されている」とは、特段の断りのない限り、「ある物Aがある物Bに直接配置されていること」、および、「ある物Aとある物Bとの間に他の物を介在させつつ、ある物Aがある物Bに配置されていること」を含む。同様に、「ある物Aがある物B上に位置している」とは、特段の断りのない限り、「ある物Aがある物Bに接して、ある物Aがある物B上に位置していること」、および、「ある物Aとある物Bとの間に他の物が介在しつつ、ある物Aがある物B上に位置していること」を含む。また、「ある物Aがある物Bにある方向に見て重なる」とは、特段の断りのない限り、「ある物Aがある物Bのすべてに重なること」、および、「ある物Aがある物Bの一部に重なること」を含む。
【0012】
〔第1実施形態〕
図1~
図8に基づき、本開示の第1実施形態にかかる半導体装置A1について説明する。半導体装置A1は、リード1,2,31,41,42、2個の半導体素子6、ワイヤ71,72、および封止樹脂8を備えている。半導体素子6は、半導体素子601および半導体素子602を含んでいる。半導体装置A1は、たとえば電気自動車やハイブリッド自動車などのインバータ装置のゲートドライバ回路に用いられている。半導体装置A1は、図示しない駆動素子が出力する駆動信号を増幅して、図示しないスイッチング素子に出力するバッファ回路として機能する。なお、半導体装置A1の用途や機能は限定されない。半導体装置A1のパッケージ形式は、DFN(Dual Flatpack No-leaded)である。なお、半導体装置A1のパッケージ形式は、DFNに限定されない。
【0013】
図1は、半導体装置A1を示す斜視図である。
図2は、半導体装置A1を示す斜視図であって、底面側を上側にした状態の図である。
図3は、半導体装置A1を示す平面図である。
図3においては、理解の便宜上、封止樹脂8を透過して、封止樹脂8の外形を想像線(二点鎖線)で示している。
図4は、半導体装置A1を示す底面図である。
図5は、
図3のV-V線に沿う断面図である。
図6は、
図3のVI-VI線に沿う断面図である。
図7は、半導体装置A1を示す回路図である。
図8は、半導体装置A1の配線基板への実装状態を示す図である。
【0014】
半導体装置A1は、厚さ方向視(平面視)の形状が矩形状である。説明の便宜上、半導体装置A1の厚さ方向(平面視方向)をz方向とし、z方向に直交する半導体装置A1の一方の辺に沿う方向(
図3における左右方向)をx方向、z方向およびx方向に直交する方向(
図3における上下方向)をy方向とする。また、z方向の一方側(
図5および
図6における上側)をz1側とし、他方側(
図5および
図6における下側)をz2側とする。x方向の一方側(
図3および
図4における右側)をx1側とし、他方側(
図3および
図4における左側)をx2側とする。y方向の一方側(
図3における上側)をy1側とし、他方側(
図3における下側)をy2側とする。z方向が本開示の「厚さ方向」に相当し、y方向が本開示の「第1方向」に相当し、x方向が本開示の「第2方向」に相当する。本実施形態では、半導体装置A1の大きさは、たとえばx方向寸法が1mm以上3mm以下、y方向寸法が1mm以上3mm以下、z方向寸法が0.3mm以上1mm以下である。なお、半導体装置A1の各寸法は限定されない。
【0015】
リード1,2,31,41,42は、半導体素子6と導通している。リード1,2,31,41,42は、たとえば、金属板にエッチング処理や打ち抜き加工等を施すことにより形成されている。リード1,2,31,41,42は、金属からなり、好ましくはCuおよびNiのいずれか、またはこれらの合金や42アロイなどからなる。本実施形態においては、リード1,2,31,41,42が、Cuからなる場合を例に説明する。リード1,2,31,41,42の厚さは、たとえば0.08~0.3mmであり、本実施形態においては0.2mm程度である。以降の説明においては、第1リード1、第2リード2、第3リード31、第5リード41、および第6リード42と記載する。なお、まとめて示す場合は、リード1,2,31,41,42のように記載する。
【0016】
図3に示すように、第1リード1は、半導体装置A1のx方向の中央よりx2側に全体が配置され、y方向y1側寄りに位置している。第2リード2は、半導体装置A1のx方向の中央よりx1側に全体が配置され、y方向y2側寄りに位置している。第3リード31は、半導体装置A1のy方向y1側の端部のx方向x1側寄りに配置されている。第3リード31は、第1リード1および第2リード2に対して、y方向y1側に離間して配置されている。第5リード41は、半導体装置A1のy方向y2側の端部のx方向x2側の端部に、第1リード1および第2リード2から離間して配置されている。第6リード42は、半導体装置A1のy方向y2側の端部の、x方向において第2リード2と第5リード41との間に、第1リード1、第2リード2、および第5リード41から離間して配置されている。つまり、第5リード41および第6リード42は、y方向において、第1リード1および第2リード2に対して、第3リード31とは反対側に配置されている。また、第5リード41および第6リード42は、x方向において互いに隣り合って配置されている。z方向視寸法は、第1リード1および第2リード2が大きく、第5リード41および第6リード42が小さい。
【0017】
第1リード1は、半導体素子6(半導体素子601)を支持し、ダイパッド部110、端子部120、および複数の連結部130を備えている。
【0018】
ダイパッド部110は、z方向視において、半導体装置A1のx方向の中央よりx2側に全体が配置され、y方向の中央に位置し、z方向視略矩形状である。ダイパッド部110は、ダイパッド部主面111、ダイパッド部裏面112、およびダイパッド部裏面側凹部113を有する。ダイパッド部主面111およびダイパッド部裏面112は、z方向において互いに反対側を向いている。ダイパッド部主面111は、z方向z1側を向いている。ダイパッド部主面111は、半導体素子601が搭載される面である。ダイパッド部裏面112は、z方向z2側を向いている。ダイパッド部裏面112は、封止樹脂8から露出して、裏面端子になる。
【0019】
ダイパッド部裏面側凹部113は、ダイパッド部110の一部がダイパッド部裏面112からダイパッド部主面111側に凹んだ部分である。ダイパッド部110のうちダイパッド部裏面側凹部113が位置する部分の厚さ(z方向の寸法)は、ダイパッド部裏面112が位置する部分の厚さの半分程度である。ダイパッド部裏面側凹部113は、たとえばハーフエッチング処理により形成される。
図4に示すように、ダイパッド部裏面側凹部113は、ダイパッド部裏面112の周囲に配置されている。
図4に示すように、ダイパッド部裏面側凹部113は、封止樹脂8から露出せず、封止樹脂8によって覆われている。これにより、第1リード1が封止樹脂8からz方向のz2側に剥離することが抑制される。なお、ダイパッド部110の形状は限定されない。たとえば、ダイパッド部110は、ダイパッド部裏面側凹部113を備えなくてもよい。
【0020】
端子部120は、ダイパッド部110につながっており、z方向視略矩形状である。本実施形態では、端子部120は、ダイパッド部110のy方向y1側のx方向x2側寄りに配置されている。端子部120は、端子部主面121、端子部裏面122、および端子部端面123を有する。端子部主面121および端子部裏面122は、z方向において互いに反対側を向いている。端子部主面121は、z方向z1側を向いている。端子部主面121とダイパッド部主面111とは、面一になっている。端子部裏面122は、z方向z2側を向いている。端子部裏面122とダイパッド部裏面112とは、y方向に離間しており、z方向での位置が互いに同じである。端子部端面123は、端子部主面121および端子部裏面122に直交し、端子部主面121および端子部裏面122につながる面であり、y方向y1側を向く面である。端子部端面123は、製造工程における切断工程でのダイシングにより形成される。端子部端面123および端子部裏面122は、封止樹脂8から露出してつながっており、端子になる(
図4参照)。なお、端子部120の形状、配置位置および個数は限定されない。
【0021】
複数の連結部130は、それぞれ、ダイパッド部110につながっており、z方向視略矩形状である。本実施形態では、2個の連結部130が、ダイパッド部110のx方向のx2側にy方向に並んで配置されている。各連結部130の厚さ(z方向の寸法)は、ダイパッド部裏面側凹部113が位置するダイパッド部110の厚さと同程度である。連結部130は、たとえばハーフエッチング処理により形成される。各連結部130は、連結部主面131、連結部裏面132、および連結部端面133を有する。連結部主面131および連結部裏面132は、z方向において互いに反対側を向いている。連結部主面131は、z方向z1側を向いている。連結部主面131とダイパッド部主面111とは、面一になっている。したがって、ダイパッド部主面111、端子部主面121および連結部主面131は、面一の一体となった面になっている(
図3参照)。連結部裏面132は、z方向z2側を向いている。連結部裏面132とダイパッド部裏面側凹部113とは、面一になっている。連結部端面133は、連結部主面131および連結部裏面132をつなぐ面であり、x方向x2側を向く面である。連結部端面133は、製造工程における切断工程でのダイシングにより形成される。連結部端面133は、封止樹脂8から露出している。なお、連結部130の形状、配置位置および個数は限定されない。
【0022】
第2リード2は、半導体素子6(半導体素子602)を支持し、ダイパッド部210、端子部220、および複数の連結部230を備えている。
【0023】
ダイパッド部210は、z方向視において、半導体装置A1のx方向の中央よりx1側に全体が配置され、y方向の中央に位置し、z方向視略矩形状である。ダイパッド部210は、ダイパッド部主面211、ダイパッド部裏面212、およびダイパッド部裏面側凹部213を有する。ダイパッド部主面211およびダイパッド部裏面212は、z方向において互いに反対側を向いている。ダイパッド部主面211は、z方向z1側を向いている。ダイパッド部主面211は、半導体素子602が搭載される面である。ダイパッド部裏面212は、z方向z2側を向いている。ダイパッド部裏面212は、封止樹脂8から露出して、裏面端子になる。
【0024】
ダイパッド部裏面側凹部213は、ダイパッド部210の一部がダイパッド部裏面212からダイパッド部主面211側に凹んだ部分である。ダイパッド部210のうちダイパッド部裏面側凹部113が位置する部分の厚さ(z方向の寸法)は、ダイパッド部裏面212が位置する部分の厚さの半分程度である。ダイパッド部裏面側凹部213は、たとえばハーフエッチング処理により形成される。
図4に示すように、ダイパッド部裏面側凹部213は、ダイパッド部裏面212の周囲に配置されている。
図4および
図6に示すように、ダイパッド部裏面側凹部213は、封止樹脂8から露出せず、封止樹脂8によって覆われている。これにより、第2リード2が封止樹脂8からz方向のz2側に剥離することが抑制される。なお、ダイパッド部210の形状は限定されない。たとえば、ダイパッド部210は、ダイパッド部裏面側凹部213を備えなくてもよい。
【0025】
端子部220は、ダイパッド部210につながっており、z方向視略矩形状である。本実施形態では、端子部220は、ダイパッド部210のy方向y2側のx方向x1側寄りに配置されている。端子部220は、端子部主面221、端子部裏面222、および端子部端面223を有する。端子部主面221および端子部裏面222は、z方向において互いに反対側を向いている。端子部主面221は、z方向z1側を向いている。端子部主面221とダイパッド部主面211とは、面一になっている。端子部裏面222は、z方向z2側を向いている。端子部裏面222とダイパッド部裏面212とは、y方向に離間しており、z方向での位置が互いに同じである。端子部端面223は、端子部主面221および端子部裏面222に直交し、端子部主面221および端子部裏面222につながる面であり、y方向y2側を向く面である。端子部端面223は、製造工程における切断工程でのダイシングにより形成される。端子部端面223および端子部裏面222は、封止樹脂8から露出してつながっており、端子になる(
図2、
図4および
図6参照)。なお、端子部220の形状、配置位置および個数は限定されない。
【0026】
複数の連結部230は、それぞれ、ダイパッド部210につながっており、z方向視略矩形状である。本実施形態では、2個の連結部230が、ダイパッド部210のx方向のx1側にy方向に並んで配置されている。各連結部230の厚さ(z方向の寸法)は、ダイパッド部裏面側凹部213が位置するダイパッド部210の厚さと同程度である。連結部230は、たとえばハーフエッチング処理により形成される。各連結部230は、連結部主面231、連結部裏面232、および連結部端面233を有する。連結部主面231および連結部裏面232は、z方向において互いに反対側を向いている。連結部主面231は、z方向z1側を向いている。連結部主面231とダイパッド部主面211とは、面一になっている。したがって、ダイパッド部主面211、端子部主面221および連結部主面231は、面一の一体となった面になっている(
図3参照)。連結部裏面232は、z方向z2側を向いている。連結部裏面232とダイパッド部裏面側凹部213とは、面一になっている。連結部端面233は、連結部主面231および連結部裏面232をつなぐ面であり、x方向x1側を向く面である。連結部端面233は、製造工程における切断工程でのダイシングにより形成される。連結部端面233は、封止樹脂8から露出している。なお、連結部230の形状、配置位置および個数は限定されない。
【0027】
第3リード31は、z方向視において、半導体装置A1のx方向x1側でy方向y1側の角部(
図3においては右上の角部)に配置され、主面311、裏面312、裏面側凹部313、および端面314を有する。
【0028】
主面311および裏面312は、z方向において互いに反対側を向いている。主面311は、z方向z1側を向いている。主面311は、ワイヤ71がボンディングされる面である。本実施形態では、主面311の形状は、x方向に長い長矩形からy方向y1側に突出した部分を2か所有する形状である。2か所の突出した部分は、x方向に並んでおり、ともに、半導体装置A1のy方向y1側の端縁まで達している。裏面312は、z方向z2側を向いている。裏面312は、封止樹脂8から露出して、裏面端子になる。本実施形態では、裏面312の形状は、y方向y1側が開放するU字形状である。U字形状の各端部は、ともに、半導体装置A1のy方向y1側の端縁まで達している。
【0029】
裏面側凹部313は、第3リード31の一部が裏面312から主面311側に凹んだ部分である。第3リード31のうち裏面側凹部313が位置する部分の厚さ(z方向の寸法)は、裏面312が位置する部分の厚さの半分程度である。裏面側凹部313は、たとえばハーフエッチング処理により形成される。
図4に示すように、裏面側凹部313は、封止樹脂8から露出せず、封止樹脂8によって覆われている。これにより、第3リード31が封止樹脂8からz方向のz2側に剥離することが抑制される。
【0030】
端面314は、主面311および裏面312に直交し、主面311および裏面312につながる面であり、y方向y1側を向く面である。端面314は、製造工程における切断工程でのダイシングにより形成される。本実施形態では、端面314は、封止樹脂8によって隔てられた2個の部位からなる。端面314および裏面312は、封止樹脂8から露出してつながっており、端子になる(
図2、
図4、および
図6参照)。なお、第3リード31の形状は限定されない。たとえば、裏面側凹部313はなくてもよい。本実施形態では、第3リード31が本開示の「第1端子」および「第2端子」に相当する。すなわち、本実施形態では、第3リード31が、本開示の「第1端子」および「第2端子」を兼ねている。
【0031】
第5リード41は、z方向視において、半導体装置A1のx方向x2側でy方向y2側の角部(
図3においては左下の角部)に配置されている。第5リード41は、z方向視において略矩形状であり、主面411、裏面412、裏面側凹部413、および端面414を有する。
【0032】
主面411および裏面412は、z方向において互いに反対側を向いている。主面411は、z方向z1側を向いている。主面411は、ワイヤ72がボンディングされる面である。裏面412は、z方向z2側を向いている。裏面412は、封止樹脂8から露出して、裏面端子になる。
【0033】
裏面側凹部413は、第5リード41の一部が裏面412から主面411側に凹んだ部分である。第5リード41のうち裏面側凹部413が位置する部分の厚さ(z方向の寸法)は、裏面412が位置する部分の厚さの半分程度である。裏面側凹部413は、たとえばハーフエッチング処理により形成される。
図4に示すように、裏面側凹部413は、封止樹脂8から露出せず、封止樹脂8によって覆われている。これにより、第5リード41が封止樹脂8からz方向のz2側に剥離することが抑制される。
【0034】
端面414は、主面411および裏面412に直交し、主面411および裏面412につながる面であり、y方向y2側を向く面である。端面414は、製造工程における切断工程でのダイシングにより形成される。端面414および裏面412は、封止樹脂8から露出してつながっており、端子になる(
図2および
図4参照)。なお、第5リード41の形状は限定されない。たとえば、裏面側凹部413はなくてもよい。本実施形態では、第5リード41が本開示の「第3端子」に相当する。
【0035】
第6リード42は、z方向視において、半導体装置A1のy方向y2側の端部に配置され、x方向において、第5リード41と第2リード2の端子部220との間に位置している。第6リード42は、第5リード41および第2リード2から離間し、半導体装置A1内において、第5リード41および第2リード2とは絶縁されている。第6リード42は、z方向視において略矩形状であり、主面421、裏面422、裏面側凹部423、および端面424を有する。
【0036】
主面421および裏面422は、z方向において互いに反対側を向いている。主面421は、z方向z1側を向いている。主面421は、ワイヤ72がボンディングされる面である。裏面422は、z方向z2側を向いている。裏面422は、封止樹脂8から露出して、裏面端子になる。
【0037】
裏面側凹部423は、第6リード42の一部が裏面422から主面421側に凹んだ部分である。第6リード42のうち裏面側凹部423が位置する部分の厚さ(z方向の寸法)は、裏面422が位置する部分の厚さの半分程度である。裏面側凹部423は、たとえばハーフエッチング処理により形成される。
図4に示すように、裏面側凹部423は、封止樹脂8から露出せず、封止樹脂8によって覆われている。これにより、第6リード42が封止樹脂8からz方向のz2側に剥離することが抑制される。
【0038】
端面424は、主面421および裏面422に直交し、主面421および裏面422につながる面であり、y方向y2側を向く面である。端面424は、製造工程における切断工程でのダイシングにより形成される。端面424および裏面422は、封止樹脂8から露出してつながっており、端子になる(
図2および
図4参照)。なお、第6リード42の形状は限定されない。たとえば、裏面側凹部423はなくてもよい。本実施形態では、第6リード42が本開示の「第4端子」に相当する。
【0039】
なお、リード1,2,31,41,42の表面には、めっき層が形成されてもよい。めっき層は、ワイヤ71,72を接合しやすくするための、Niめっき層、Pdめっき層、およびAuめっき層が積層されたものでもよいし、はんだ濡れ性をよくするための、Snを主成分とする合金などからなるものでもよい。
【0040】
2個の半導体素子6は、半導体装置A1の電気的機能を発揮する要素である。各半導体素子6は、スイッチング素子である。本実施形態では、半導体素子6は、バイポーラトランジスタである。なお、半導体素子6は、IGBTや、MOSFET、HEMT(High Electron Mobility Transistor:高電子移動度トランジスタ)などであってもよい。2個の半導体素子6は、半導体素子601および半導体素子602を含んでいる。本実施形態では、半導体素子601はNPN型であり、半導体素子602はPNP型である。なお、区別せずに示す場合は、半導体素子6と記載する。各半導体素子6は、素子本体60、第1電極61、第2電極62および第3電極63を備えている。
【0041】
素子本体60は、z方向視矩形状の板状である。素子本体60は、半導体材料からなり、本実施形態では、Si(シリコン)からなる。なお、素子本体60の材料は限定されず、たとえばSiC(シリコンカーバイド)やGaN(ガリウムナイトライド)などの他の材料であってもよい。素子本体60は、素子主面6aおよび素子裏面6bを有する。素子主面6aおよび素子裏面6bは、z方向において互いに反対側を向いている。素子主面6aは、z方向z1側を向いている。素子裏面6bは、z方向z2側を向いている。第1電極61および第2電極62は、素子主面6aに配置されている。第3電極63は、素子裏面6bに配置されている。本実施形態においては、第1電極61はエミッタ電極であり、第2電極62はベース電極であり、第3電極63はコレクタ電極である。
【0042】
半導体素子601は、
図5に示すように、接合材75を介して、第1リード1のダイパッド部主面111の中央に搭載されている。本実施形態では、接合材75は、導電性の接合材であり、たとえばはんだである。なお、接合材75は、銀ペーストまたは焼結銀接合材などの導電性接合材であってもよい。半導体素子601は、素子裏面6bを接合材75によって第1リード1のダイパッド部主面111に接合されている。半導体素子601の第3電極63は、接合材75を介して、第1リード1に導通接続されている。これにより、第1リード1は、半導体素子601の第3電極63(コレクタ電極)に導通接続されて、半導体素子601のコレクタ端子として機能する。半導体素子601の第2電極62は、
図3に示すように、ワイヤ72を介して、第5リード41に導通接続されている。これにより、第5リード41は、半導体素子601の第2電極62(ベース電極)に導通接続されて、半導体素子601のベース端子として機能する。
【0043】
半導体素子602は、
図5および
図6に示すように、接合材75を介して、第2リード2のダイパッド部主面211の中央に搭載されている。半導体素子602は、素子裏面6bを接合材75によって第2リード2のダイパッド部主面211に接合されている。半導体素子602の第3電極63は、接合材75を介して、第2リード2に導通接続されている。これにより、第2リード2は、半導体素子602の第3電極63(コレクタ電極)に導通接続されて、半導体素子602のコレクタ端子として機能する。半導体素子602の第2電極62は、
図3に示すように、ワイヤ72を介して、第6リード42に導通接続されている。これにより、第6リード42は、半導体素子602の第2電極62(ベース電極)に導通接続されて、半導体素子602のベース端子として機能する。
【0044】
また、
図3に示すように、半導体素子601の第1電極61および半導体素子602の第1電極61は、それぞれワイヤ71を介して、第3リード31に導通接続されている。これにより、第3リード31は、半導体素子601の第1電極61(エミッタ電極)および半導体素子602の第1電極61(エミッタ電極)に導通接続されて、半導体素子601および半導体素子602の共通のエミッタ端子として機能する。
【0045】
ワイヤ71,72は、半導体素子6と第3リード31、第5リード41、または第6リード42とを接続し、これらを導通させるものである。ワイヤ71,72は、たとえばCu,Au,Ag,Alなどの金属からなる。なお、ワイヤ71,72の材料は限定されない。
図3に示すように、ワイヤ71は、半導体素子601の第1電極61と、第3リード31の主面311とに接続されている。本実施形態では、半導体素子601の第1電極61は、1本のワイヤ71で、主面311に接続されているが、複数のワイヤ71で接続されてもよい。他のワイヤ71は、半導体素子602の第1電極61と、第3リード31の主面311とに接続されている。本実施形態では、半導体素子602の第1電極61は、1本のワイヤ71で、主面311に接続されているが、複数のワイヤ71で接続されてもよい。ワイヤ72は、半導体素子601の第2電極62と、第5リード41の主面411とに接続されている。本実施形態では、半導体素子601の第2電極62は、1本のワイヤ72で、主面411に接続されているが、複数のワイヤ72で接続されてもよい。他のワイヤ72は、半導体素子602の第2電極62と、第6リード42の主面421とに接続されている。本実施形態では、半導体素子602の第2電極62は、1本のワイヤ72で、主面421に接続されているが、複数のワイヤ72で接続されてもよい。なお、ワイヤ71,72に代えて、たとえばCuなどの金属板が用いられてもよい。
【0046】
封止樹脂8は、各リード1,2,31,41,42の一部ずつと、各半導体素子6と、接合材75と、各ワイヤ71,72とを覆っている。封止樹脂8は、たとえば黒色のエポキシ樹脂からなる。なお、封止樹脂8の材料は限定されない。
【0047】
封止樹脂8は、樹脂主面81、樹脂裏面82、および4個の樹脂側面83を有する。樹脂主面81および樹脂裏面82は、z方向において互いに反対側を向いている。樹脂主面81は、z方向z1側を向く面であり、樹脂裏面82は、z方向z2側を向く面である。
【0048】
4個の樹脂側面83は、それぞれ、樹脂主面81および樹脂裏面82に直交し、樹脂主面81および樹脂裏面82をつなぐ面であり、x方向またはy方向の外側を向く面である。各樹脂側面83は、製造工程における切断工程でのダイシングにより形成される。4個の樹脂側面83は、第1樹脂側面831、第2樹脂側面832、第3樹脂側面833、および第4樹脂側面834を含んでいる。第1樹脂側面831および第2樹脂側面832は、y方向において互いに反対側を向いている。第1樹脂側面831は、y方向y1側に配置されてy方向y1側を向く面であり、第2樹脂側面832は、y方向y2側に配置されてy方向y2側を向く面である。第3樹脂側面833および第4樹脂側面834は、x方向において互いに反対側を向いている。第3樹脂側面833は、x方向x1側に配置されてx方向x1側を向く面であり、第4樹脂側面834は、x方向x2側に配置されてx方向x2側を向く面である。
【0049】
第1リード1の端子部端面123および第3リード31の端面314は、第1樹脂側面831から露出し、第1樹脂側面831と互いに面一である。第2リード2の端子部端面223、第5リード41の端面414、および第6リード42の端面424は、第2樹脂側面832から露出し、第2樹脂側面832と互いに面一である。第1リード1の各連結部端面133は、第4樹脂側面834から露出し、第4樹脂側面834と互いに面一である。第2リード2の各連結部端面233は、第3樹脂側面833から露出し、第3樹脂側面833と互いに面一である。また、第1リード1のダイパッド部裏面112および端子部裏面122と、第2リード2のダイパッド部裏面212および端子部裏面222とが、封止樹脂8の樹脂裏面82から露出し、樹脂裏面82と互いに面一である。また、第3リード31の裏面312と、第5リード41の裏面412と、第6リード42の裏面422とが、封止樹脂8の樹脂裏面82から露出し、樹脂裏面82と互いに面一である。
【0050】
半導体装置A1は、たとえばゲートドライバ回路のバッファ回路の部品として用いられる。半導体装置A1は、
図7に示すように、半導体素子601のコレクタ端子として機能する第1リード1の端子部120が電源に接続され、半導体素子602のコレクタ端子として機能する第2リード2の端子部220がグランドに接続される。半導体装置A1は、半導体素子601のベース端子として機能する第5リード41と、半導体素子602のベース端子として機能する第6リード42とが共通の配線(後述する配線94)に接続される。半導体装置A1は、当該配線(配線94)を介して、図示しない駆動素子から駆動信号を入力される。そして、半導体装置A1は、半導体素子601および半導体素子602の共通のエミッタ端子として機能する第3リード31から増幅した駆動信号を出力し、電流制限回路を介して、図示しないスイッチング素子に入力する。
【0051】
スイッチング素子を駆動するために、半導体装置A1は、第3リード31から、10A以上30A以下の大電流を出力する必要がある。ただし、半導体装置A1は、パルス状の電流を出力するのであって、一定の電流を出力し続けるわけではない。半導体装置A1が出力する電流のパルス幅は数μ秒以下と短いので、半導体装置A1は、最大電流が10A以上30A以下の大電流を出力するが、この電流による損失は大きくならない。
【0052】
図8に示すように、半導体装置A1は、配線基板9に実装される。なお、
図8に示す半導体装置A1においては、理解の便宜上、リード1,2,31,41,42のうち樹脂裏面82から露出している面を破線で示している。
図8に示すように、半導体装置A1は、配線基板9に実装され、リード1,2,31,41,42が配線基板9に形成された配線91~96に、はんだ99によって接合されている。第1リード1の端子部裏面122および端子部端面123は、はんだ99を介して、配線91に接合されている。第2リード2の端子部裏面222および端子部端面223は、はんだ99を介して、配線93に接合されている。第3リード31の裏面312および端面314は、はんだ99を介して、配線92に接合されている。第5リード41の裏面412および端面414と、第6リード42の裏面422および端面424とは、はんだ99を介して、配線94に接合されている。第1リード1のダイパッド部裏面112は、図示しないはんだ99を介して、配線95に接合されている。第2リード2のダイパッド部裏面212は、図示しないはんだ99を介して、配線96に接合されている。
【0053】
次に、半導体装置A1の作用効果について説明する。
【0054】
本実施形態によると、半導体素子601の第1電極61と、半導体素子602の第1電極61とは、それぞれワイヤ71によって、第3リード31に導通接続されている。また、半導体素子601の第2電極62は、ワイヤ72によって、第5リード41に導通接続されている。半導体素子602の第2電極62は、ワイヤ72によって、第6リード42に導通接続されている。第5リード41および第6リード42は、第1リード1および第2リード2のy方向y2側に隣り合って配置されている。したがって、
図8に示すように、半導体装置A1が実装される配線基板9において、第3リード31に接続する配線92、および、第5リード41および第6リード42に接続する配線94は、単純な配線になる。
【0055】
また、本実施形態によると、第1リード1のダイパッド部110は、樹脂裏面82から露出するダイパッド部裏面112を備えている。また、第2リード2のダイパッド部210は、樹脂裏面82から露出するダイパッド部裏面212を備えている。ダイパッド部裏面112およびダイパッド部裏面212が配線基板9に接合されることで、第1リード1および第2リード2は、半導体素子6が発する熱を配線基板9に伝達させて放熱させることができる。
【0056】
また、本実施形態によると、第1リード1は、端子部120がダイパッド部110のy方向y1側のx方向x2側寄りに配置されている。また、第2リード2は、端子部220がダイパッド部210のy方向y2側のx方向x1側寄りに配置されている。このことは、半導体装置A1のz方向視における形状を小型化することに寄与する。
【0057】
また、本実施形態によると、第1リード1のダイパッド部裏面112と端子部裏面122とは離間しており、その間に位置するダイパッド部裏面側凹部113が封止樹脂8によって覆われている。これにより、ダイパッド部裏面112と端子部裏面122とがつながっている場合と比較して、第1リード1が封止樹脂8からz方向のz2側に剥離することをさらに抑制できる。また、第2リード2のダイパッド部裏面212と端子部裏面222とは離間しており、その間に位置するダイパッド部裏面側凹部213が封止樹脂8によって覆われている。これにより、ダイパッド部裏面212と端子部裏面222とがつながっている場合と比較して、第2リード2が封止樹脂8からz方向のz2側に剥離することをさらに抑制できる。
【0058】
また、本実施形態によると、第3リード31は、広く一体となった主面311を有する。したがって、主面311が複数の部位に分かれている場合と比較して、第3リード31に多数のワイヤ71をボンディングすることが可能である。また、本実施形態によると、第3リード31の裏面312の形状は、y方向y1側が開放するU字形状である。つまり、U字形状の内側部分で裏面側凹部313が封止樹脂8によって覆われている。これにより、第3リード31の裏面312が矩形状である場合と比較して、第3リード31が封止樹脂8からz方向のz2側に剥離することをさらに抑制できる。また、第3リード31は、広く一体となった裏面312を有する。主面311のうちz方向視において裏面312に重なる領域は、ワイヤ71を安定してボンディングできる。したがって、第3リード31は、裏面312が複数の部位に分かれることで、主面311のうち裏面312に重なる領域が狭くなる場合と比較して、ワイヤ71を安定してボンディングできる領域が広い。
【0059】
また、本実施形態によると、第5リード41と第6リード42とが離間されて、互いに絶縁されている。したがって、半導体装置A1は、搭載された半導体素子601および半導体素子602の個別検査が可能である。
【0060】
また、本実施形態によると、半導体装置A1では、端子部端面123、端子部端面223、端面314、端面414、および端面424が封止樹脂8から露出している。したがって、
図8に示すように、半導体装置A1がはんだ99によって配線基板9に実装された状態において、端子部端面123、端子部端面223、端面314、端面414、および端面424にはんだ99のはんだフィレットが形成される。したがって、実装後の外観からでも、各リード1,2,31,41,42の接合状態を確認できる。
【0061】
図9~
図17は、本開示の他の実施形態を示している。なお、これらの図において、上記実施形態と同一または類似の要素には、上記実施形態と同一の符号を付している。
【0062】
〔第2実施形態〕
図9は、本開示の第2実施形態にかかる半導体装置A2を示す平面図であり、
図3に対応する図である。
図9においては、理解の便宜上、封止樹脂8を透過して、封止樹脂8の外形を想像線(二点鎖線)で示している。本実施形態にかかる半導体装置A2は、第6リード42を備えておらず、また、第5リード41の形状が異なる点で、第1実施形態にかかる半導体装置A1と異なる。
【0063】
第2実施形態にかかる半導体装置A2は、第6リード42を備えていない。また、第2実施形態にかかる第5リード41は、第1実施形態にかかる第5リード41と第6リード42とをつなげた形状であり、第3リード31と同様の形状である。また、本実施形態では、半導体素子601の第2電極62および半導体素子602の第2電極62は、それぞれワイヤ72を介して、第5リード41に導通接続されている。これにより、第5リード41は、半導体素子601の第2電極62(ベース電極)および半導体素子602の第2電極62(ベース電極)に導通接続されて、半導体素子601および半導体素子602の共通のベース端子として機能する。本実施形態では、第5リード41が本開示の「第3端子」および「第4端子」に相当する。すなわち、本実施形態では、第5リード41が、本開示の「第3端子」および「第4端子」を兼ねている。
【0064】
本実施形態によると、半導体素子601の第1電極61と、半導体素子602の第1電極61とは、それぞれワイヤ71によって、第3リード31に導通接続されている。また、半導体素子601の第2電極62と、半導体素子602の第2電極62とは、それぞれワイヤ72によって、第5リード41に導通接続されている。したがって、半導体装置A2が実装される配線基板9において、第3リード31に接続する配線92、および、第5リード41に接続する配線94は、単純な配線になる。
【0065】
また、本実施形態によると、第5リード41は、広く一体となった主面411を有する。したがって、第1実施形態のように、ワイヤ72が第5リード41の主面411および第6リード42の主面421に分かれてボンディングされている場合と比較して、多数のワイヤ72をボンディングすることが可能である。また、本実施形態によると、第5リード41の裏面412の形状は、y方向y2側が開放するU字形状である。つまり、U字形状の内側部分で裏面側凹部413が封止樹脂8によって覆われている。これにより、第5リード41の裏面412が矩形状である場合と比較して、第5リード41が封止樹脂8からz方向のz2側に剥離することをさらに抑制できる。また、第5リード41は、広く一体となった裏面412を有する。主面411のうちz方向視において裏面412に重なる領域は、ワイヤ72を安定してボンディングできる。したがって、第5リード41は、裏面412が複数の部位に分かれることで、主面411のうち裏面412に重なる領域が狭くなる場合と比較して、ワイヤ72を安定してボンディングできる領域が広い。
【0066】
また、半導体装置A2は、半導体装置A1と共通する構成をとることにより、半導体装置A1と同等の効果を奏する。
【0067】
〔第3実施形態〕
図10および
図11は、本開示の第3実施形態にかかる半導体装置A3を説明するための図である。
図10は、半導体装置A3を示す平面図であり、
図3に対応する図である。
図10においては、理解の便宜上、封止樹脂8を透過して、封止樹脂8の外形を想像線(二点鎖線)で示している。
図11は、半導体装置A3を示す底面図であり、
図4に対応する図である。本実施形態にかかる半導体装置A3は、第3リード31の形状が異なり、また、第4リード32をさらに備えている点で、第1実施形態にかかる半導体装置A1と異なる。
【0068】
第3実施形態にかかる半導体装置A3は、第1実施形態とは形状が異なる第3リード31を備え、また、第4リード32をさらに備えている。第3実施形態にかかる第3リード31および第4リード32は、第1実施形態にかかる第3リード31をx方向に2個に分割したものであり、それぞれの形状が第5リード41および第6リード42と同様の形状である。第3実施形態にかかる第3リード31は、z方向視において略矩形状である。第4リード32は、z方向視において略矩形状であり、主面321、裏面322、裏面側凹部323、および端面324を有する。第3実施形態にかかる第3リード31および第4リード32は、半導体装置A3内において、互いに離間され、絶縁されている。第4リード32は、z方向視において、半導体装置A3のx方向x1側でy方向y1側の角部(
図10においては右上の角部)に配置されている。第3実施形態にかかる第3リード31は、z方向視において、半導体装置A3のy方向y1側の端部に配置され、x方向において、第4リード32と第1リード1の端子部120との間に位置している。
【0069】
また、本実施形態では、半導体素子601の第1電極61は、ワイヤ71を介して、第3リード31に導通接続されている。これにより、第3リード31は、半導体素子601の第1電極61(エミッタ電極)に導通接続されて、半導体素子601のエミッタ端子として機能する。また、本実施形態では、半導体素子602の第1電極61は、ワイヤ71を介して、第4リード32に導通接続されている。これにより、第4リード32は、半導体素子602の第1電極61(エミッタ電極)に導通接続されて、半導体素子601のエミッタ端子として機能する。本実施形態では、第3リード31が本開示の「第1端子」に相当し、第4リード32が本開示の「第2端子」に相当する。
【0070】
本実施形態によると、半導体素子601の第1電極61は、ワイヤ71によって、第3リード31に導通接続されている。半導体素子602の第1電極61は、ワイヤ71によって、第4リード32に導通接続されている。第3リード31および第4リード32は、第1リード1および第2リード2のy方向y1側に隣り合って配置されている。また、半導体素子601の第2電極62は、ワイヤ72によって、第5リード41に導通接続されている。半導体素子602の第2電極62は、ワイヤ72によって、第6リード42に導通接続されている。第5リード41および第6リード42は、第1リード1および第2リード2のy方向y2側に隣り合って配置されている。したがって、半導体装置A2が実装される配線基板9において、第3リード31および第4リード32に接続する配線92、および、第5リード41および第6リード42に接続する配線94は、単純な配線になる。
【0071】
また、半導体装置A3は、半導体装置A1と共通する構成をとることにより、半導体装置A1と同等の効果を奏する。
【0072】
〔第4実施形態〕
図12は、本開示の第4実施形態にかかる半導体装置A4を示す底面図であり、
図4に対応する図である。本実施形態にかかる半導体装置A4は、第3リード31の形状が、第1実施形態にかかる半導体装置A1と異なる。
【0073】
第4実施形態にかかる第3リード31は、裏面312が樹脂裏面82によって隔てられた2個の部位からなる。
【0074】
本実施形態においても、半導体素子601の第1電極61と、半導体素子602の第1電極61とは、それぞれワイヤ71によって、第3リード31に導通接続されている。また、半導体素子601の第2電極62は、ワイヤ72によって、第5リード41に導通接続されている。半導体素子602の第2電極62は、ワイヤ72によって、第6リード42に導通接続されている。第5リード41および第6リード42は、第1リード1および第2リード2のy方向y2側に隣り合って配置されている。したがって、半導体装置A4が実装される配線基板9において、第3リード31に接続する配線92、および、第5リード41および第6リード42に接続する配線94は、単純な配線になる。
【0075】
また、本実施形態においても、第3リード31は、広く一体となった主面311を有する。したがって、主面311が複数の部位に分かれている場合と比較して、第3リード31に多数のワイヤ71をボンディングすることが可能である。また、本実施形態によると、第3リード31の裏面312は、樹脂裏面82によって隔てられた2個の部位からなる。つまり、裏面312の2個の部位の間で、裏面側凹部313が封止樹脂8によって覆われている。これにより、第1実施形態の場合と比較して、第3リード31が封止樹脂8からz方向のz2側に剥離することをさらに抑制できる。
【0076】
また、半導体装置A4は、半導体装置A1と共通する構成をとることにより、半導体装置A1と同等の効果を奏する。
【0077】
〔第5実施形態〕
図13は、本開示の第5実施形態にかかる半導体装置A5を示す底面図であり、
図4に対応する図である。本実施形態にかかる半導体装置A5は、第3リード31の形状が、第1実施形態にかかる半導体装置A1と異なる。
【0078】
第5実施形態にかかる第3リード31は、第1実施形態にかかる第3リード31において、端面314からy2方向に凹んだ部分をなくしたものである。つまり、第3リード31の形状は、第5リード41(または第6リード42)のx方向の寸法を大きくした形状である。第3リード31の裏面312の形状は、第1実施形態ではy方向y1側が開放するU字形状であったのに対して、第5実施形態では樹脂裏面82のy方向y1側の端縁まで広がる長矩形状になっている。第3リード31の端面314の形状は、第1実施形態では2個の部位に分かれていたのに対して、第5実施形態では一体となったx方向に延びる長矩形状になっている。
【0079】
本実施形態においても、半導体素子601の第1電極61と、半導体素子602の第1電極61とは、それぞれワイヤ71によって、第3リード31に導通接続されている。また、半導体素子601の第2電極62は、ワイヤ72によって、第5リード41に導通接続されている。半導体素子602の第2電極62は、ワイヤ72によって、第6リード42に導通接続されている。第5リード41および第6リード42は、第1リード1および第2リード2のy方向y2側に隣り合って配置されている。したがって、半導体装置A5が実装される配線基板9において、第3リード31に接続する配線92、および、第5リード41および第6リード42に接続する配線94は、単純な配線になる。
【0080】
また、本実施形態においても、第3リード31は、広く一体となった主面311を有する。したがって、主面311が複数の部位に分かれている場合と比較して、第3リード31に多数のワイヤ71をボンディングすることが可能である。また、本実施形態によると、第3リード31の裏面312が樹脂裏面82のy方向y1側の端縁まで広がる長矩形状になっている。したがって、ワイヤ71を安定してボンディングできる領域が、第1実施形態の場合よりさらに広くなっている。
【0081】
また、半導体装置A5は、半導体装置A1と共通する構成をとることにより、半導体装置A1と同等の効果を奏する。
【0082】
なお、本実施形態では、第3リード31の裏面312および端面314のx方向の寸法が、第5リード41の裏面412および端面414のx方向の寸法の3倍程度の大きなものである場合について説明したが、これに限られない。たとえば、第3リード31の裏面312および端面314のx方向の寸法は、第5リード41の裏面412および端面414のx方向の寸法と同程度であってもよい。
【0083】
〔第6実施形態〕
図14は、本開示の第6実施形態にかかる半導体装置A6を示す平面図であり、
図3に対応する図である。
図14においては、理解の便宜上、封止樹脂8を透過して、封止樹脂8の外形を想像線(二点鎖線)で示している。本実施形態にかかる半導体装置A6は、第1リード1および第2リード2が同じ第2樹脂側面832から露出している点で、第1実施形態にかかる半導体装置A1と異なる。
【0084】
第6実施形態にかかる第1リード1は、端子部120がダイパッド部110のy方向y2側のx方向x2側寄りに配置されている。第5リード41および第6リード42は、第1リード1の端子部120と第2リード2の端子部220との間に配置されている。第3リード31は、半導体装置A6のx方向における両端部付近まで延びている。
【0085】
本実施形態においても、半導体素子601の第1電極61と、半導体素子602の第1電極61とは、それぞれワイヤ71によって、第3リード31に導通接続されている。また、半導体素子601の第2電極62は、ワイヤ72によって、第5リード41に導通接続されている。半導体素子602の第2電極62は、ワイヤ72によって、第6リード42に導通接続されている。第5リード41および第6リード42は、第1リード1および第2リード2のy方向y2側に隣り合って配置されている。したがって、半導体装置A6が実装される配線基板9において、第3リード31に接続する配線92、および、第5リード41および第6リード42に接続する配線94は、単純な配線になる。また、半導体装置A6は、半導体装置A1と共通する構成をとることにより、半導体装置A1と同等の効果を奏する。
【0086】
なお、本実施形態では、第1リード1の端子部120および第2リード2の端子部220が、ともにy方向y2側に配置されて、第2樹脂側面832から露出している場合について説明したが、これに限られない。第1リード1の端子部120および第2リード2の端子部220が、ともにy方向y1側に配置されて、第1樹脂側面831から露出してもよい。この場合、第3リード31は、第1リード1の端子部120と第2リード2の端子部220との間に配置されればよい。また、第1リード1の端子部120は、ダイパッド部110のx方向x2側に配置されて、第4樹脂側面834から露出してもよい。また、第2リード2の端子部220は、ダイパッド部210のx方向x1側に配置されて、第3樹脂側面833から露出してもよい。また、第1実施形態にかかる半導体装置A1とは反対に、第1リード1の端子部120がダイパッド部110のy方向y2側に配置されて第2樹脂側面832から露出し、第2リード2の端子部220がダイパッド部210のy方向y1側に配置されて、第1樹脂側面831から露出してもよい。
【0087】
〔第7実施形態〕
図15は、本開示の第7実施形態にかかる半導体装置A7を示す底面図であり、
図4に対応する図である。本実施形態にかかる半導体装置A7は、第1リード1および第2リード2の形状が、第1実施形態にかかる半導体装置A1と異なる。
【0088】
第7実施形態にかかる第1リード1は、ダイパッド部110がダイパッド部裏面112を備えておらず、ダイパッド部110が樹脂裏面82から露出していない。また、第7実施形態にかかる第2リード2は、ダイパッド部210がダイパッド部裏面212を備えておらず、ダイパッド部210が樹脂裏面82から露出していない。
【0089】
本実施形態においても、半導体素子601の第1電極61と、半導体素子602の第1電極61とは、それぞれワイヤ71によって、第3リード31に導通接続されている。また、半導体素子601の第2電極62は、ワイヤ72によって、第5リード41に導通接続されている。半導体素子602の第2電極62は、ワイヤ72によって、第6リード42に導通接続されている。第5リード41および第6リード42は、第1リード1および第2リード2のy方向y2側に隣り合って配置されている。したがって、半導体装置A6が実装される配線基板9において、第3リード31に接続する配線92、および、第5リード41および第6リード42に接続する配線94は、単純な配線になる。
【0090】
また、本実施形態によると、第1リード1のダイパッド部110および第2リード2のダイパッド部210が樹脂裏面82から露出していない。したがって、第1リード1とリード2,31,41,42とがショートしたり、第2リード2とリード1,31,41,42とがショートしてしまうことを抑制できる。また、半導体装置A7は、半導体装置A1と共通する構成をとることにより、半導体装置A1と同等の効果を奏する。
【0091】
〔第8実施形態〕
図16は、本開示の第8実施形態にかかる半導体装置A8を示す底面図であり、
図4に対応する図である。本実施形態にかかる半導体装置A8は、第1リード1および第2リード2の形状が、第1実施形態にかかる半導体装置A1と異なる。
【0092】
第8実施形態にかかる第1リード1は、ダイパッド部裏面112と端子部裏面122とがつながっている。また、第8実施形態にかかる第2リード2は、ダイパッド部裏面212と端子部裏面222とがつながっている。
【0093】
本実施形態においても、半導体素子601の第1電極61と、半導体素子602の第1電極61とは、それぞれワイヤ71によって、第3リード31に導通接続されている。また、半導体素子601の第2電極62は、ワイヤ72によって、第5リード41に導通接続されている。半導体素子602の第2電極62は、ワイヤ72によって、第6リード42に導通接続されている。第5リード41および第6リード42は、第1リード1および第2リード2のy方向y2側に隣り合って配置されている。したがって、半導体装置A6が実装される配線基板9において、第3リード31に接続する配線92、および、第5リード41および第6リード42に接続する配線94は、単純な配線になる。
【0094】
また、本実施形態によると、ダイパッド部裏面112が端子部裏面122とつながるまで広がり、ダイパッド部裏面212が端子部裏面222とつながるまで広がっているので、第1実施形態の場合と比較して、放熱機能がさらに向上されている。また、半導体装置A8は、半導体装置A1と共通する構成をとることにより、半導体装置A1と同等の効果を奏する。
【0095】
〔第9実施形態〕
図17は、本開示の第9実施形態にかかる半導体装置A9を示す平面図であり、
図3に対応する図である。
図17においては、理解の便宜上、封止樹脂8を透過して、封止樹脂8の外形を想像線(二点鎖線)で示している。本実施形態にかかる半導体装置A9は、各半導体素子6の構成が、第1実施形態にかかる半導体装置A1と異なる。
【0096】
第9実施形態にかかる各半導体素子6は、第3電極63が素子裏面6bではなく、素子主面6aに配置されている。なお、素子主面6aにおける、第1電極61、第2電極62、および第3電極63の各配置位置は限定されない。また、半導体装置A9は、ワイヤ73をさらに備えている。ワイヤ73は、ワイヤ71,72と同様の材料からなる。ワイヤ73は、半導体素子601の第3電極63と、第1リード1の端子部主面121とに接続されている。これにより、第1リード1は、半導体素子601の第3電極63(コレクタ電極)に導通接続されて、半導体素子601のコレクタ端子として機能する。本実施形態では、半導体素子601の第3電極63は、1本のワイヤ73で、端子部主面121に接続されているが、複数のワイヤ73で接続されてもよい。他のワイヤ73は、半導体素子602の第3電極63と、第2リード2の端子部主面221とに接続されている。これにより、第2リード2は、半導体素子602の第3電極63(コレクタ電極)に導通接続されて、半導体素子602のコレクタ端子として機能する。本実施形態では、半導体素子602の第3電極63は、1本のワイヤ73で、端子部主面221に接続されているが、複数のワイヤ73で接続されてもよい。本実施形態の場合、接合材75(
図16では図示なし)は、絶縁性の接合材であってもよい。
【0097】
本実施形態においても、半導体素子601の第1電極61と、半導体素子602の第1電極61とは、それぞれワイヤ71によって、第3リード31に導通接続されている。また、半導体素子601の第2電極62は、ワイヤ72によって、第5リード41に導通接続されている。半導体素子602の第2電極62は、ワイヤ72によって、第6リード42に導通接続されている。第5リード41および第6リード42は、第1リード1および第2リード2のy方向y2側に隣り合って配置されている。したがって、半導体装置A6が実装される配線基板9において、第3リード31に接続する配線92、および、第5リード41および第6リード42に接続する配線94は、単純な配線になる。また、半導体装置A9は、半導体装置A1と共通する構成をとることにより、半導体装置A1と同等の効果を奏する。
【0098】
〔第10実施形態〕
図18および
図19は、本開示の第10実施形態にかかる半導体装置A10を説明するための図である。
図18は、半導体装置A10を示す底面図であり、
図4に対応する図である。
図19は、半導体装置A10の配線基板9への実装状態を示す図であり、
図8に対応する図である。本実施形態にかかる半導体装置A10は、第2リード2の端子部220および第6リード42の配置位置が、第1実施形態にかかる半導体装置A1と異なる。
【0099】
第10実施形態にかかる第2リード2は、端子部220がダイパッド部210のy方向y2側のx方向x2側寄りに配置されている。第10実施形態にかかる第6リード42は、z方向視において、半導体装置A10のx方向x1側でy方向y2側の角部(
図18においては右上の角部)に配置されている。つまり、第5リード41および第6リード42は、どちらも、第1リード1および第2リード2に対してy方向y2側に配置されているが、互いに隣り合っていない。x方向において、第5リード41と第6リード42との間に、第2リード2の端子部220が配置されている。
【0100】
半導体装置A10は、
図19に示すように、配線基板9に実装される。なお、
図19に示す半導体装置A10においては、理解の便宜上、リード1,2,31,41,42のうち樹脂裏面82から露出している面を破線で示している。
図19に示すように、半導体装置A10は、配線基板9に実装され、リード1,2,31,41,42が配線基板9に形成された配線91~96に、はんだ99によって接合されている。本実施形態では、配線94は、配線93のy方向y1側を迂回して形成され、第5リード41および第6リード42が接合されている。
【0101】
本実施形態においても、半導体素子601の第1電極61と、半導体素子602の第1電極61とは、それぞれワイヤ71によって、第3リード31に導通接続されている。したがって、半導体装置A10が実装される配線基板9において、第3リード31に接続する配線92は単純な配線になる。また、半導体素子601の第2電極62は、ワイヤ72によって、第5リード41に導通接続されている。半導体素子602の第2電極62は、ワイヤ72によって、第6リード42に導通接続されている。第5リード41および第6リード42は、第1リード1および第2リード2のy方向y2側に配置されている。したがって、半導体装置A10が実装される配線基板9において、第5リード41および第6リード42に接続する配線94は、第5リード41と第6リード42とが、y方向において第1リード1および第2リード2に対して互いに反対側に配置されている場合と比較して、単純な配線になる。また、半導体装置A10は、半導体装置A1と共通する構成をとることにより、半導体装置A1と同等の効果を奏する。
【0102】
本開示にかかる半導体装置は、先述した実施形態に限定されるものではない。本開示にかかる半導体装置の各部の具体的な構成は、種々に設計変更自在である。
【0103】
〔付記1〕
スイッチング素子であり、かつ、厚さ方向において互いに反対側を向く素子主面および素子裏面と、前記素子主面に配置された第1電極および第2電極と、を各々が有する第1半導体素子および第2半導体素子と、
前記第1半導体素子が搭載され、かつ、前記第1半導体素子に導通する第1リードと、
前記第2半導体素子が搭載され、かつ、前記第2半導体素子に導通する第2リードと、
前記第1半導体素子および前記第2半導体素子を覆う封止樹脂と、
前記第1リードおよび前記第2リードに対して、前記厚さ方向に直交する第1方向に離間して配置され、前記封止樹脂から露出し、かつ、前記第1半導体素子の第1電極に導通する第1端子と、
前記第1方向において、前記第1リードおよび前記第2リードに対して、前記第1端子と同じ側に離間して配置され、前記封止樹脂から露出し、かつ、前記第2半導体素子の第1電極に導通する第2端子と、
前記第1方向において、前記第1リードおよび前記第2リードに対して、前記第1端子とは反対側に離間して配置され、前記封止樹脂から露出し、かつ、前記第1半導体素子の第2電極に導通する第3端子と、
前記第1方向において、前記第1リードおよび前記第2リードに対して、前記第3端子と同じ側に離間して配置され、前記封止樹脂から露出し、かつ、前記第2半導体素子の第2電極に導通する第4端子と、
を備えている、半導体装置。
〔付記2〕
前記封止樹脂は、前記厚さ方向において互いに反対側を向く樹脂主面および樹脂裏面と、前記樹脂主面および前記樹脂裏面につながり、かつ、前記第1端子および前記第2端子が露出する第1樹脂側面と、前記樹脂主面および前記樹脂裏面につながり、かつ、前記第3端子および前記第4端子が露出する第2樹脂側面とを備えている、
付記1に記載の半導体装置。
〔付記3〕
前記第1リードは、前記第1樹脂側面から露出し、
前記第2リードは、前記第2樹脂側面から露出している、
付記2に記載の半導体装置。
〔付記4〕
前記第1リードは、前記第1半導体素子が搭載される第1ダイパッド部を備え、
前記第2リードは、前記第2半導体素子が搭載される第2ダイパッド部を備え、
前記第1ダイパッド部および前記第2ダイパッド部は、前記樹脂裏面から露出している、
付記2または3に記載の半導体装置。
〔付記5〕
前記第1リードは、前記第1ダイパッド部につながる第1リード端子部をさらに備え、
前記第2リードは、前記第2ダイパッド部につながる第2リード端子部をさらに備え、
前記第1リード端子部および前記第2リード端子部は、前記樹脂裏面から露出している、
付記4に記載の半導体装置。
〔付記6〕
前記第1リード端子部は、前記第1樹脂側面から露出する第1端子部端面を備え、
前記第2リード端子部は、前記第2樹脂側面から露出する第2端子部端面を備え、
前記第1端子部端面は、前記第1樹脂側面と面一であり、
前記第2端子部端面は、前記第2樹脂側面と面一である、
付記5に記載の半導体装置。
〔付記7〕
前記第1半導体素子の前記第1電極および前記第2半導体素子の前記第1電極に導通する第3リードをさらに備え、
前記第3リードが、前記第1端子および前記第2端子を兼ねている、
付記2ないし6のいずれかに記載の半導体装置。
〔付記8〕
前記第3リードは、前記厚さ方向において互いに反対側を向く第3リード主面および第3リード裏面と、前記第3リード主面および前記第3リード裏面につながり、かつ、前記第1樹脂側面から露出する第3リード端面と、を備えている、
付記7に記載の半導体装置。
〔付記9〕
前記第3リード端面は、前記第1樹脂側面によって隔てられた2個の部位からなる、
付記8に記載の半導体装置。
〔付記10〕
前記第3リード裏面の形状は、U字形状である、
付記8または9に記載の半導体装置。
〔付記11〕
前記第3リード裏面は、前記樹脂裏面によって隔てられた2個の部位からなる、
付記8または9に記載の半導体装置。
〔付記12〕
前記第1半導体素子の前記第1電極に導通する、前記第1端子としての第3リードと、
前記第2半導体素子の前記第1電極に導通し、かつ、前記第3リードに対して離間して配置された、前記第2端子としての第4リードと、
をさらに備えている、
付記2ないし6のいずれかに記載の半導体装置。
〔付記13〕
前記第3リードと前記第4リードとは隣接して配置されている、
付記12に記載の半導体装置。
〔付記14〕
前記第1半導体素子の前記第2電極および前記第2半導体素子の前記第2電極に導通する第5リードをさらに備え、
前記第5リードが、前記第3端子および前記第4端子を兼ねている、
付記2ないし13のいずれかに記載の半導体装置。
〔付記15〕
前記第1半導体素子の前記第2電極に導通する、前記第3端子としての第5リードと、
前記第2半導体素子の前記第2電極に導通し、かつ、前記第5リードに対して離間して配置された、前記第4端子としての第6リードと、
をさらに備えている、
付記2ないし13のいずれかに記載の半導体装置。
〔付記16〕
前記第5リードと前記第6リードとは隣接して配置されている、
付記15に記載の半導体装置。
〔付記17〕
前記第1半導体素子と前記第1リードとを接合させる導電性接合材をさらに備え、
前記第1半導体素子は、前記素子裏面に配置された第3電極をさらに備え、
前記第3電極は、前記導電性接合材を介して、前記第1リードに導通接続されている、
付記1ないし16のいずれかに記載の半導体装置。
〔付記18〕
前記第1半導体素子および前記第2半導体素子は、バイポーラトランジスタであって、
前記第1電極はエミッタ電極であり、前記第2電極はベース電極であり、前記第3電極はコレクタ電極である、
付記17に記載の半導体装置。
〔付記19〕
前記第1半導体素子はNPN型であって、
前記第2半導体素子はPNP型である、
付記18に記載の半導体装置。
〔付記20〕
前記第1方向の寸法、および、前記厚さ方向と前記第1方向とに直交する第2方向の寸法が、どちらも、1mm以上3mm以下である、
付記1ないし19のいずれかに記載の半導体装置。
【符号の説明】
【0104】
A1~A10:半導体装置
1 :第1リード
110 :ダイパッド部
111 :ダイパッド部主面
112 :ダイパッド部裏面
113 :ダイパッド部裏面側凹部
120 :端子部
121 :端子部主面
122 :端子部裏面
123 :端子部端面
130 :連結部
131 :連結部主面
132 :連結部裏面
133 :連結部端面
2 :第2リード
210 :ダイパッド部
211 :ダイパッド部主面
212 :ダイパッド部裏面
213 :ダイパッド部裏面側凹部
220 :端子部
221 :端子部主面
222 :端子部裏面
223 :端子部端面
230 :連結部
231 :連結部主面
232 :連結部裏面
233 :連結部端面
31 :第3リード
311 :主面
312 :裏面
313 :裏面側凹部
314 :端面
32 :第4リード
321 :主面
322 :裏面
323 :裏面側凹部
324 :端面
41 :第5リード
411 :主面
412 :裏面
413 :裏面側凹部
414 :端面
42 :第6リード
421 :主面
422 :裏面
423 :裏面側凹部
424 :端面
6,601,602:半導体素子
60 :素子本体
6a :素子主面
6b :素子裏面
61 :第1電極
62 :第2電極
63 :第3電極
71,72,73:ワイヤ
75 :接合材
8 :封止樹脂
81 :樹脂主面
82 :樹脂裏面
83 :樹脂側面
831 :第1樹脂側面
832 :第2樹脂側面
833 :第3樹脂側面
834 :第4樹脂側面
9 :配線基板
91~96:配線
99 :はんだ