特許 7649415 作業装置および搬入出装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2025-03-11

(45)【発行日】2025-03-19

(54)【発明の名称】作業装置および搬入出装置

(51)【国際特許分類】

   B65G 49/06 20060101AFI20250312BHJP

【ＦＩ】

B65G49/06 Z

【請求項の数】 13

(21)【出願番号】P 2024169153

(22)【出願日】2024-09-27

【審査請求日】2024-09-27

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】391032358

【氏名又は名称】平田機工株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110003281

【氏名又は名称】弁理士法人大塚国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】黒木 健陽

(72)【発明者】

【氏名】小田 恭朗

(72)【発明者】

【氏名】東條 拓也

【審査官】内田 茉李

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１５－２０４３９２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０７－０７８７９４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１２－０５６７０６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－０６４４３１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ６５Ｇ ４９／０６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板の搬入出を行うための搬入出機構と、前記搬入出機構を移動させるための移動機構と、を備える作業装置であって、
前記搬入出機構は、
前記基板を支持可能に搬入出方向に延設された基板支持部材と、
前記基板支持部材を前記搬入出方向に進退させる進退機構と、
前記基板を前記搬入出方向に搬送可能な基板搬送機構と、
前記基板搬送機構を昇降させる昇降機構と、
を備え、
前記進退機構は、
前記基板支持部材の基端部を支持する基端部支持部材と、
前記基端部支持部材を前記搬入出方向に移動させる駆動部と、
を備え、
前記基端部は、前記基板支持部材の前記搬入出方向における一方側の端部に設けられ、
前記昇降機構が前記基板搬送機構を昇降させることにより前記基板支持部材と前記基板搬送機構との間で前記基板の受け渡しが行われる
ことを特徴とする作業装置。

【請求項2】

前記昇降機構は、
前記基板搬送機構による前記基板の搬送面が、前記基板支持部材による前記基板の支持面よりも下方となる第１位置と、
前記搬送面が前記支持面よりも上方となる第２位置と、
の間で前記基板搬送機構を昇降させる
ことを特徴とする請求項１記載の作業装置。

【請求項3】

前記昇降機構は、
前記基板搬送機構を前記第１位置から前記第２位置に上昇させることにより前記基板支持部材から前記基板搬送機構に前記基板を受け渡す動作と、
前記基板搬送機構を前記第２位置から前記第１位置に下降させることにより前記基板搬送機構から前記基板支持部材に前記基板を受け渡す動作と、
を行う
ことを特徴する請求項２記載の作業装置。

【請求項4】

前記移動機構は、
前記搬入出機構を前記搬入出方向と直交する第１方向に移動させる第１の移動機構と、
前記搬入出機構を昇降させる搬入出機構昇降機構と、
を含む
ことを特徴とする請求項１記載の作業装置。

【請求項5】

前記移動機構は、前記搬入出機構を前記第１方向と直交する第２方向に移動させる第２の移動機構を更に含む
ことを特徴とする請求項４記載の作業装置。

【請求項6】

前記移動機構は、前記基板を受取り可能な所定の基板受取部に対して前記基板搬送機構の一方端部が接近または離間するように前記搬入出機構を移動させる
ことを特徴とする請求項５記載の作業装置。

【請求項7】

前記移動機構は、上下方向を中心軸として前記搬入出機構を回転させる搬入出機構回転機構を更に含む
ことを特徴とする請求項４記載の作業装置。

【請求項8】

前記移動機構は、
前記搬入出機構を前記搬入出方向と直交する第１方向に移動させる第１の移動機構と、
前記搬入出機構を前記第１方向と直交する第２方向に移動させる第２の移動機構と、
前記搬入出機構を昇降させる搬入出機構昇降機構と、
上下方向を中心軸として前記搬入出機構を回転させる搬入出機構回転機構と、
を含み、
前記第２の移動機構および前記搬入出機構回転機構は、前記搬入出機構昇降機構上に設置され、
前記搬入出機構昇降機構は、前記第１の移動機構上に設置される
ことを特徴とする請求項１記載の作業装置。

【請求項9】

前記搬入出機構昇降機構は、
上下方向に延びて前記搬入出機構を下方から支持する支柱部と、
前記支柱部を昇降させる第２の駆動部と、
を備える
ことを特徴とする請求項４記載の作業装置。

【請求項10】

前記搬入出機構昇降機構は、
上下方向に延びる昇降案内部材と、
前記昇降案内部材の前記第１方向における一側方に前記昇降案内部材に沿って昇降可能に設けられ、前記搬入出機構を支持する昇降支持部と、
前記昇降支持部を昇降させる第３の駆動部と、
を備え、
前記搬入出機構は、前記昇降案内部材の側とは反対側において前記搬入出を行う
ことを特徴とする請求項４記載の作業装置。

【請求項11】

前記基板搬送機構は、前記搬入出方向と直交する方向に離間して並設された第１の搬送ローラ部、第２の搬送ローラ部および第３の搬送ローラ部を備え、
前記第３の搬送ローラ部は、前記第１の搬送ローラ部および前記第２の搬送ローラ部の間に配され、
前記基板支持部材は、
前記第１の搬送ローラ部と前記第３の搬送ローラ部との間に配された第１の板状部材と、
前記第２の搬送ローラ部と前記第３の搬送ローラ部との間に配された第２の板状部材と、
を含み、
前記基端部支持部材は、
前記第１の板状部材の基端部を支持する第１の支持部材と、
前記第２の板状部材の基端部を支持する第２の支持部材と、
を含み、
前記駆動部は、前記第１の支持部材および前記第２の支持部材を前記搬入出方向に移動させるための動力を発生する
ことを特徴とする請求項１記載の作業装置。

【請求項12】

前記搬入出機構および前記移動機構を収納する装置筐体を更に備え、
前記装置筐体には、前記搬入出を行うための第１の搬入出口および第２の搬入出口が設けられており、
前記搬入出機構は、
前記第１の搬入出口において、前記基板支持部材および前記進退機構を用いて前記搬入出の一方を行い、
前記第２の搬入出口において、前記基板搬送機構および前記昇降機構を用いて前記搬入出の他方を行う
ことを特徴とする請求項１から請求項１１の何れか１項記載の作業装置。

【請求項13】

基板の搬入出を行う搬入出方向における一方側から他方側へ前記基板を移送する搬入出装置であって、
前記基板を支持可能に前記搬入出方向に延設された基板支持部材と、
前記基板支持部材を前記搬入出方向に進退させる進退機構と、
前記基板を前記搬入出方向における前記他方側に搬送可能な基板搬送機構と、
前記基板搬送機構を昇降させる昇降機構と、
を備え、
前記進退機構は、
前記基板支持部材の基端部を支持する基端部支持部材と、
前記基端部支持部材を前記搬入出方向に移動させる駆動部と、
を備え、
前記基端部は、前記基端部支持部材の前記搬入出方向における前記他方側の端部に設けられ、
前記昇降機構は、
前記基板搬送機構による前記基板の搬送面が、前記基板支持部材による前記基板の支持面よりも下方となる第１位置と、
前記搬送面が前記支持面よりも上方となる第２位置と、
の間で前記基板搬送機構を昇降させる
ことを特徴とする搬入出装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、作業装置および搬入出装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、搬送対象を所望の方向に搬送可能な搬送機構が記載されている。該機構においては、キャリアプレート前後搬送機構（４）上にフォーク前後移動機構（３）が配置され、フォーク前後移動機構上にフォーク専用のフォーク昇降機構（２）が配置され、複数の棒状の支持部材で搬送対象を支持するフォーク組立体（１）は、そのようなフォーク昇降機構上に配置される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】中国特許出願公開第１１５２８５８９４号明細書

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

一般に、搬送機構は所定の位置から搬送物を搬入し、異なる所定の位置への搬送物の搬出（以下「搬入出作業」という）を行う。特許文献１の構造によれば、搬送機構はフォークまたはコンベアで選択的に搬入出作業を行うことが可能であり、また、フォークのみの昇降によりフォークとコンベア間での搬送物の受け渡しも可能である。ここで、特許文献１の構造は、複数の棒状のフォークとフォークを昇降させるフォーク昇降機構を、フォーク前後移動機構により前後に進退させている。そのため、棒状のフォークの先端側にたわみが生じやすく、上昇させたフォークの停止位置に誤差が生じる。また、フォークを上昇させて停止した際に生じる振動（特に搬送物を支持した状態でのフォーク先端の振動）が大きくなりやすく、振動の大きさが所定の範囲内に収まるまで次の搬入出動作が出来ず、搬入出作業の効率が低下する恐れがある。

【0005】

本発明は、搬入出作業の効率を向上させることを例示的目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の一つの側面は作業装置に係り、前記作業装置は、
基板の搬入出を行うための搬入出機構と、前記搬入出機構を移動させるための移動機構と、を備える作業装置であって、
前記搬入出機構は、
前記基板を支持可能に搬入出方向に延設された基板支持部材と、
前記基板支持部材を前記搬入出方向に進退させる進退機構と、
前記基板を前記搬入出方向に搬送可能な基板搬送機構と、
前記基板搬送機構を昇降させる昇降機構と、
を備え、
前記進退機構は、
前記基板支持部材の基端部を支持する基端部支持部材と、
前記基端部支持部材を前記搬入出方向に移動させる駆動部と、
を備え、
前記基端部は、前記基板支持部材の前記搬入出方向における一方側の端部に設けられ、
前記昇降機構が前記基板搬送機構を昇降させることにより前記基板支持部材と前記基板搬送機構との間で前記基板の受け渡しが行われる
ことを特徴とする。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、搬入出作業の効率を向上させることが実現可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】実施形態に係る作業装置の外観の例を示す斜視図である。

【図2】収納容器供給機構の内部構造の例を示す斜視図である。

【図3】収納容器供給機構の構造の一部を透視図とした側面図である。

【図4】収納容器の構造の例を示す斜視図である。

【図5】収納容器供給機構の内部構造の例を示す斜視図である。

【図6】収納容器の開閉動作を説明するための側面模式図である。

【図7】搬送作業ユニットの構造の例を示す斜視図である。

【図8】搬入出機構を支持する支持台の内部構造の例を示す斜視図である。

【図9】図８の一部を不図示とし且つ搬入出機構を含む斜視図である。

【図10】搬入出機構の駆動態様の例を示す斜視図である。

【図11】搬入出機構の詳細構造の例を示す斜視図である。

【図12】搬入出機構の詳細構造の例を示す側面図である。

【図13】基板の搬入出ないし搬送の態様の幾つかの例を示す上面模式図である。

【図14】搬送作業ユニットの構造の他の例を示す斜視図である。

【図15】搬入出機構の詳細構造の例を示す斜視図である。

【図16】フォーク進退機構の詳細構造を示す斜視図である。

【図17】コンベア昇降機構の詳細構造を示す側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。尚、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものでなく、また実施形態で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明に必須のものとは限らない。実施形態で説明されている複数の特徴のうち二つ以上の特徴が任意に組み合わされてもよい。また、同一若しくは同様の構成には同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。

【0010】

≪第１実施形態≫
＜作業装置の全体構成の一例＞
図１は、第１実施形態に係る作業装置１の外観を示す斜視図である。作業装置１は、作業対象となるワークに対して所定の作業を実行可能に構成され、本実施形態では、収納容器供給機構２、搬送作業ユニット３、制御ユニット９および外装パネル１０を備えるものとする。
本実施形態において作業対象となるワークは、ガラス基板、実装基板、半導体基板等の基板（図４、図１０等の基板ＳＢ）とし、所定の収納容器７に収容され、且つ、該収納容器７と作業装置１との間で搬入出可能とする。本明細書においては、作業装置１内への移載を搬入とし、作業装置１外への移載を搬出とする。

【0011】

ここで、後述の他の図についても同様であるが、構造の理解の容易化のため、作業装置１の左右方向ないし幅方向はＸ方向として図示され、前後方向ないし奥行方向はＹ方向として図示され、また、上下方向ないし高さ方向はＺ方向として図示される。Ｘ、Ｙ及びＺ方向は互いに交差（実質的に直交）し、Ｘ及びＹ方向は水平面を形成する。

【0012】

本明細書において、要素間の相対的な位置関係は、Ｘ、Ｙ及びＺ方向に基づいて説明されうる。任意の方向である一方向は「＋」により表現可能であり、その反対側の方向は「－」により表現可能である。
例えば、－Ｘ方向は左方向に対応し、＋Ｘ方向は右方向に対応し、左右方向の何れかを区別しない場合には単にＸ方向と表現する。一例として、Ｘ方向に移動することは、＋Ｘ方向にも－Ｘ方向にも移動（往復）可能であることを示す。
同様に、－Ｙ方向の側（或いは－Ｙ側）は正面側ないし手前側に対応し、＋Ｙ方向の側（或いは＋Ｙ側）は背面側ないし奥側に対応し、前後方向の何れかを区別しない場合には単にＹ方向と表現する。一例として、所定の要素に対して正面側に位置することは、－Ｙ方向の側に位置することを示す。
また、同様に、－Ｚ方向は下方向に対応し、＋Ｚ方向は上方向に対応し、上下方向の何れかを区別しない場合には単にＺ方向と表現する。一例として、所定の要素に対して上方に位置することは、＋Ｚ方向の側（或いは＋Ｚ側）に位置することを示す。

【0013】

詳細については後述とするが、収納容器７は、１以上の基板ＳＢを収納可能に構成されており、ユーザは、例えば台車８を用いて作業装置１前まで収納容器７を運搬することができる。収納容器供給機構２は、その筐体に形成される搬入出口２０１を介して、このような収納容器７との間での基板ＳＢの搬入出作業を可能にする。

【0014】

搬送作業ユニット３は、基板ＳＢの搬送作業を行う。例えば、搬送作業ユニット３は、収納容器７から基板ＳＢを取り出した／搬入した基板ＳＢを搬送して後続の他の作業ユニットに基板ＳＢを移載（移送）する。また、搬送作業ユニット３は、該他の作業ユニットから受け取った基板ＳＢを搬送して収納容器７に収納する／搬出することもできる。他の作業ユニットは、基板ＳＢに対して所定の作業を実行可能とし、その作業内容の例としては、加熱処理、洗浄処理、研磨処理、注入処理等の基板に行う処理作業が挙げられる。

【0015】

制御ユニット９は、作業装置１のシステム全体を制御し、収納容器供給機構２および搬送作業ユニット３の駆動制御を行う。制御ユニット９は、本実施形態では操作入力部（例えばタッチパネルディスプレイ等）と共に作業装置１の正面側の左側方に配置される。ユーザは、この操作入力部を介して作業内容に関する設定情報を入力することができ、制御ユニット９は、該設定情報に基づいて収納容器供給機構２および搬送作業ユニット３の駆動制御を行う。

【0016】

制御ユニット９は、本実施形態ではＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）及びメモリを備え、収納容器供給機構２および搬送作業ユニット３の駆動制御を行うためのプログラムをＣＰＵ及びメモリにより実行するものとする。他の実施形態として、制御ユニット９は、ＡＳＩＣ（特定用途向け集積回路）等の半導体装置により構成されてもよい。即ち、作業装置１の各機能は、ハードウェアおよびソフトウェアの何れにより実現されてもよい。

【0017】

外装パネル１０は、作業装置１の外壁を形成し、基板ＳＢが搬入される空間を含む領域を作業室として外部空間から区画する。外装パネル１０は、作業装置１の枠組みを形成するフレーム部材を追加的に伴って、装置筐体と表現されてもよい。収納容器供給機構２および制御ユニット９は、その要素の一部が作業装置１の外壁の一部を形成するか、または外装パネル１０に取り付けられている。

【0018】

尚、本実施形態では、２つの収納容器供給機構２がＸ方向に並設された態様が図示されるが、その数量は本例に限られるものではなく、単一の収納容器供給機構２が配置されてもよいし、３以上の収納容器供給機構２が配置されてもよい。

【0019】

＜搬入出作業ユニットの構成の一例＞
図２は、収納容器供給機構２の内部構造を示す斜視図である。図３は、収納容器供給機構２の構造の一部を透視図とした左側面模式図および右側面模式図である。収納容器供給機構２の筐体を構成する壁材２００の正面側中央部には、作業室へと通じる搬入出口２０１が設けられ、詳細については後述とするが、基板ＳＢの搬入出は搬入出口２０１を介して行われる。

【0020】

収納容器供給機構２は、搬入出口２０１の下方において、収納容器支持台２１１、支持台昇降機構２１３および支持台進退機構２１２を備える。収納容器支持台２１１は収納容器７を支持可能に構成され、収納容器支持台２１１の上面は収納容器７が載置可能であり、また、後述の下部位置決め部２１１１が設けられている。支持台昇降機構２１３は、収納容器支持台２１１をＺ方向に移動可能となっており、収納容器支持台２１１を上昇させることで、下部位置決め部２１１１を後述の容器本体７００底面の係合部７０３と係合させ、収納容器支持台２１１が収納容器７を支持する。また、支持台進退機構２１２は、収納容器支持台２１１をＹ方向に移動可能となっており、それにより収納容器支持台２１１及びその上の収納容器７を進退させることができる。即ち、収納容器７は、収納容器支持台２１１に支持された状態にて、支持台昇降機構２１３により昇降可能とし、支持台進退機構２１２により進退可能とする。

【0021】

また、収納容器供給機構２は、遮蔽ドア２２１および遮蔽ドア移動機構２３１を更に備える。
遮蔽ドア２２１は、壁材２００に形成された搬入出口２０１を作業室内側から遮蔽する。詳細については後述とするが、遮蔽ドア２２１が搬入出口２０１から離間して該遮蔽が解除され、遮蔽ドア２２１が上昇することにより搬入出口２０１が開放されて開状態となる。また、遮蔽ドア２２１が搬入出口２０１と対向する位置まで下降し、遮蔽ドア２２１が搬入出口２０１に近接することで搬入出口２０１が遮蔽されて搬入出口２０１が閉状態となる。
ここで、搬入出口２０１が開状態にあるとき、遮蔽ドア２２１は開状態にあるとし、搬入出口が閉状態にあるとき、遮蔽ドア２２１は閉状態にあるとする。本実施形態において、遮蔽ドア２２１は、搬入出口２０１よりも大きい部材から成っており、搬入出口２０１の周囲の壁材２００に当接することにより搬入出口２０１を覆うように遮蔽する。ここで、搬入出口２０１または壁材２００の作業室側には、遮蔽ドア２２１に当接するシール部材が設けられていてもよい。また、遮蔽ドア２２１が搬入出口２０１と同程度の大きさの部材から成り、遮蔽ドア２２１が搬入出口２０１に嵌合することで搬入出口２０１を遮蔽していてもよい。その場合、シール部材は、搬入出口２０１の縁の部分に設けられていてもよい。

【0022】

遮蔽ドア移動機構２３１は、遮蔽ドア２２１が開状態および閉状態の一方から他方に変化するよう移動可能に構成され、本実施形態では、遮蔽ドア引込み機構２３２および遮蔽ドア昇降機構２３３を含む。
遮蔽ドア引込み機構２３２は、案内部材２３２１および駆動部２３２２を含む（第１の移動機構）。案内部材２３２１は、遮蔽ドア２２１を保持し且つＹ方向に移動可能に案内する。本実施形態において、案内部材２３２１は、Ｙ方向に延設するガイドレールである。駆動部２３２２は、動力を発生する動力源と、動力源の動力により遮蔽ドア２２１をＹ方向に移動させる駆動機構とを含む。

【0023】

遮蔽ドア昇降機構２３３は、案内部材２３３１および駆動部２３３２を含む（第２の移動機構）。案内部材２３３１は、遮蔽ドア２２１および遮蔽ドア引込み機構２３２を保持し且つＺ方向に移動可能に案内する。本実施形態において、案内部材２３３１は、Ｚ方向に延設するガイドレールである。駆動部２３３２は、動力を発生する動力源と、動力源の動力により遮蔽ドア２２１および遮蔽ドア引込み機構２３２をＺ方向に移動させる駆動機構とを含む。

【0024】

例えば、遮蔽ドア２２１を閉状態から開状態にする場合、遮蔽ドア引込み機構２３２は、遮蔽ドア２２１を＋Ｙ方向に移動させて引き込み、それにより搬入出口２０１から離間した遮蔽ドア２２１および遮蔽ドア引込み機構２３２を、遮蔽ドア昇降機構２３３が＋Ｚ方向に移動させて上昇させる。これに対して、遮蔽ドア２２１を開状態から閉状態にする場合、遮蔽ドア昇降機構２３３は、遮蔽ドア２２１および遮蔽ドア引込み機構２３２を－Ｚ方向に移動させて下降させ、該下降した遮蔽ドア２２１を、遮蔽ドア引込み機構２３２が－Ｙ方向に移動させて搬入出口２０１を遮蔽する。
遮蔽ドア移動機構２３１は、遮蔽ドア開閉機構と表現されてもよい。

【0025】

遮蔽ドア引込み機構２３２および遮蔽ドア昇降機構２３３は、少なくとも部分的に搬入出口２０１の側方且つ壁材２００よりも外方（－Ｙ方向）に配置されうる。本実施形態においては、案内部材２３２１及び２３３１、駆動部２３２２は壁材２００よりも外方（ーＹ方向）、かつ、搬入出口２０１の一方側方（＋Ｘ方向）及び他方側方（－Ｘ方向）にそれぞれ設けられ、駆動部２３３２は、壁材２００よりも外方（ーＹ方向）、かつ、搬入出口２０１の他方側方（－Ｘ方向）に設けられている。これにより、作業室内に位置する遮蔽ドア引込み機構２３２および遮蔽ドア昇降機構２３３の構成要素を少なくして作業室の領域を十分に確保し、後述の基板ＳＢの作業室内での搬送作業への影響を小さくすることが可能となる。

【0026】

＜収納容器の構成の一例＞
図４は、収納容器７の構造を示す斜視図である。収納容器７は、容器本体７００および蓋部７０１を備える。
容器本体７００の側面には開口ＯＰ７が設けられており、１以上の基板ＳＢが容器本体７００の内壁に設けられた支持部材に沿って水平姿勢で支持され、開口ＯＰ７から個別に水平方向に挿抜可能となっている。

【0027】

蓋部７０１は、開口ＯＰ７を塞ぐように容器本体７００に着脱可能に装着される。本実施形態では、容器本体７００の開口ＯＰ７周辺の縁部７０４と、蓋部７０１とは、何れも不図示のピン及びピン孔、並びに／又は、マグネットにより着脱可能となっている。このような構成により、蓋部７０１は、容器本体７００から離間する方向（図中の＋Ｙ方向）に力を加えられることにより取外し可能となっている。

【0028】

詳細については後述とするが、蓋部７０１の外側の面（図中の＋Ｙ側の面）には、水平方向に突出ないし延出した突出部７０２が設けられる。本実施形態では、突出部７０２は、バー状に延びる棒部と、その両端部が蓋部７０１に接続される脚部とを備える形状を呈するものとし、便宜上、この形状を水平Ｕ字形状とする。突出部７０２は、１以上設けられればよいが、複数（本実施形態では４つ）設けられるとよい。また、突出部７０２は、延出部と表現されてもよい。

【0029】

また、詳細については後述とするが、容器本体７００の上部および下部の其々には係合部７０３が設けられる。本実施形態においては、容器本体７００はその上面および底面の其々に係合部７０３を設けられる。
ここで、再び図３を参照すると、収納容器供給機構２は、搬入出口２０１上方において、上部位置決め部２４１１および上部位置決め部移動機構２４１２を更に備える。上部位置決め部移動機構２４１２は、公知の構成により上部位置決め部２４１１をＺ方向に移動可能とする。

【0030】

このような構成により、上部位置決め部２４１１が容器本体７００上面の係合部７０３と係合可能、かつ、下部位置決め部２１１１が容器本体７００底面の係合部７０３と係合可能となっており、それにより容器本体７００の位置決めが可能となっている。即ち、上部位置決め部２４１１、上部位置決め部移動機構２４１２、下部位置決め部２１１１、支持台進退機構２１２および支持台昇降機構２１３は、協働して容器本体７００（収納容器７）の位置決めを行う位置決め機構２４１として機能する。これにより、容器本体７００の上面及び底面がそれぞれ位置決めされ、容器本体７００にねじれやたわみがあったとしても、解消される。

【0031】

尚、本実施形態では、係合部７０３は、容器本体７００の上面および底面の其々について左右一対設けられ、位置決め部２１１１及び２４１１は該左右一対の係合部７０３に対応して設けられるものとするが、それらの数量は本例に限られない。

【0032】

＜遮蔽ドアの構成の一例＞
図５（ａ）～５（ｂ）は、収納容器供給機構２の内部構造を示す斜視図であり、作業室側（収納容器７が配置される側とは反対側）から遮蔽ドア２２１を見た様子を示す。遮蔽ドア２２１は、ドア本体２２１Ｂ、突出部保持機構２２２およびカバー部材２２３を備える。
ドア本体２２１Ｂには、突出部７０２が挿通可能な孔部ＯＰ２が、突出部７０２の数量及び位置に対応して１以上（本実施形態では４つ）設けられる。

【0033】

突出部保持機構２２２は、突出部保持部２２２１およびアクチュエータ２２２２を備える。突出部保持部２２２１は、孔部ＯＰ２の数量に対応して１以上（本実施形態では４つ）設けられる。突出部保持機構２２２は、前述の水平Ｕ字形状を呈する突出部７０２と係合可能な形状であるとよい。本実施形態では、突出部保持機構２２２は、上方が開放されたＵ字形状を呈するものとし、便宜上、この形状を垂直Ｕ字形状とする。
個々の突出部保持部２２２１は、接続部材を介してアクチュエータ２２２２に接続されており、アクチュエータ２２２２からの動力に基づいて昇降可能となっている。即ち、図５（ａ）に示されるように、アクチュエータ２２２２が矢印Ａ５１で示されるように上昇した場合、個々の突出部保持部２２２１は矢印Ａ５２で示されるように上昇する。

【0034】

カバー部材２２３は、孔部ＯＰ２および突出部保持機構２２２を覆うように作業室側に設けられ、かつ、アクチュエータ２２２２に接続される信号線、電力線等のワイヤを所定の開口により挿通させる。

【0035】

収納容器７の蓋部７０１の突出部７０２が孔部ＯＰ２に挿通されたとき、対応の突出部保持部２２２１はアクチュエータ２２２２の動力に基づいて上昇する。このとき、垂直Ｕ字形状を呈する突出部保持部２２２１は、水平Ｕ字形状を呈する突出部７０２を下方から支持する形となる。このような構成により、突出部保持機構２２２は、図５（ｂ）に示されるように突出部７０２を保持することができる。

【0036】

＜搬入出を行うための収納容器の開閉動作について＞
図６（ａ）～６（ｇ）は、本実施形態に係る搬入出を行うための収納容器７の開閉動作を説明するための側面模式図である。尚、理解の容易化のため、図中には、動作が発生する要素に対して該動作の方向を示す破線矢印が示される。
まず、ユーザは、台車８を用いて収納容器７を収納容器供給機構２前に配置する（図６（ａ）参照）。

【0037】

次に、制御ユニット９は、ユーザにより入力された設定情報に基づいて、支持台昇降機構２１３により収納容器支持台２１１を上昇させ、収納容器支持台２１１が収納容器７を支持する。それにより収納容器７を台車８から収納容器支持台２１１に移載する（図６（ｂ）参照）。これに先立って、制御ユニット９は、収納容器支持台２１１上面の下部位置決め部２１１１が容器本体７００底面の係合部７０３と係合するように、支持台進退機構２１２により収納容器支持台２１１を進退させてもよい。

【0038】

下部位置決め部２１１１が所定の高さになるまで収納容器支持台２１１を上昇させた後、制御ユニット９は、支持台進退機構２１２により収納容器支持台２１１を進退させ、収納容器７を遮蔽ドア２２１に近接させる（図６（ｃ）参照）。それにより、蓋部７０１の突出部７０２を孔部ＯＰ２に挿通させると共に、容器本体７００上面の係合部７０３と上部位置決め部２４１１とがＺ方向にて重なった状態にする（該係合部７０３を上部位置決め部２４１１と係合可能に位置させる。）。
尚、ユーザは、必要に応じて、台車８を収納容器供給機構２前から撤去可能である。

【0039】

制御ユニット９は、更に、上部位置決め部移動機構２４１２により上部位置決め部２４１１を下降させ、容器本体７００上面の係合部７０３に係合させる（図６（ｄ）参照）。このようにして収納容器７（容器本体７００）の位置決めが行われ、収納容器供給機構２に対する収納容器７の位置が確定される。

【0040】

その後、制御ユニット９は、遮蔽ドア２２１の突出部保持機構２２２を駆動し、アクチュエータ２２２２の動力に基づいて突出部保持部２２２１を上昇させて、孔部ＯＰ２に挿通された突出部７０２を保持させる（図６（ｅ）、図５（ｂ）参照）。

【0041】

この状態において、制御ユニット９は、遮蔽ドア引込み機構２３２を駆動し、遮蔽ドア２２１を＋Ｙ方向に移動させて引き込んで搬入出口２０１から離間させる（図６（ｆ）参照）。それにより、蓋部７０１は容器本体７００から取り外されることとなる。

【0042】

それから、制御ユニット９は、遮蔽ドア昇降機構２３３を駆動し、上記引き込まれて搬入出口２０１から離間した遮蔽ドア２２１を＋Ｚ方向に移動させて上昇させる（図６（ｇ）参照）。それにより、遮蔽ドア２２１の突出部保持機構２２２により突出部７０２が保持された蓋部７０１は、遮蔽ドア２２１と共に上昇することとなる。

【0043】

このようにして、収納容器供給機構２は、収納容器７を開状態にし、開口ＯＰ７と搬入出口２０１とを相互に連通させる。それにより基板ＳＢの搬入出が可能な状態にすることができる。収納容器７を閉状態にする場合には上述の手順が逆の順番で行われうる。
また、本実施形態においては、搬入出口２０１の開閉、遮蔽ドア２２１の開閉、収納容器７の開閉、開口ＯＰ７の開閉、及び、蓋部７０１の開閉は相互に対応する。例えば、搬入出口２０１を開状態にすることは、遮蔽ドア２２１、収納容器７、開口ＯＰ７又は蓋部７０１を開状態にすることと言い換えられてもよい。

【0044】

尚、台車８は、収納容器支持台２１１の上昇により収納容器７を収納容器支持台２１１に移載可能に、且つ、収納容器支持台２１１の下降により収納容器７を収納容器支持台２１１から受取り可能に構成されていればよい。

【0045】

また、本実施形態においては、ユーザが台車８によって収納容器７を搬送するとしたが、これに限定されるものではなく、例えば、ＡＧＶ（Ａｕｔｏｍａｔｉｃ Ｇｕｉｄｅｄ Ｖｅｈｉｃｌｅ）やＡＭＲ（Ａｕｔｏｎｏｍｏｕｓ Ｍｏｂｉｌｅ Ｒｏｂｏｔ）等で収納容器７を搬送してもよい。

【0046】

このような構成によれば、搬入出口２０１及び開口ＯＰ７を開状態にし、基板ＳＢを搬入出可能な状態にさせる際、容器本体７００を搬入出口２０１に近接させたままにすることが可能であり、それにより容器本体７００の内部及び作業装置１の作業室内への異物の混入が防止され、よって、製品の品質の向上に有利である。また、基板ＳＢの搬入出の際にユーザが容器本体７００を進退させる必要もなく、よって、基板ＳＢの適切な搬入出が比較的簡便に実現可能となる。また、搬入出口２０１及び開口ＯＰ７を閉状態にさせる際も同様である。

【0047】

＜搬送作業ユニットの構成の一例＞
図７は、搬送作業ユニット３の斜視図である。搬送作業ユニット３は、搬入出機構３１、左右移動機構３２１および支持台３２９を備える。
搬入出機構３１は、フォーク３１１およびコンベア３１２を備える。フォーク３１１は、基板ＳＢを下方から支持可能な板状の基板支持部材であり、本実施形態ではフォーク３１１は、それぞれ一方向に延設され、所定距離だけ互いに離間して配置された一対の板状の部材である。
また、コンベア３１２は、基板ＳＢを搬送可能な基板搬送機構である。本実施形態では、コンベア３１２はローラコンベアであり、複数の搬送ローラで構成された３列の搬送ローラ列を有し、一対のフォーク３１１の其々は搬送ローラ列の間に設けられるものとする。更なる詳細については後述とする。

【0048】

ここで、本実施形態ではフォーク３１１を板状の部材としたが、一方向に延設する棒状の部材であってもよく、また、３本以上配置されていても良い。また、フォーク３１１の上面には、基板に当接して支持する凸状の支持部が複数設けられていても良い。また、コンベア３１２はベルトコンベアであっても良く、搬送作業ユニット３は、作業装置と表現されてもよい。

【0049】

支持台３２９は、詳細については後述とするが、搬入出機構３１を、Ｙ及びＺ方向の其々に移動可能に且つＺ方向を中心軸として回転可能に、支持する。支持台３２９は、回転支持台と表現されてもよい。

【0050】

左右移動機構３２１は、支持台３２９およびその上の搬入出機構３１をＸ方向に移動可能に支持し、本実施形態では、支持板材３２１０、一対のガイドレール３２１１および駆動部３２１２を備える。支持板材３２１０の上には、支持台３２９およびそれに少なくとも部分的に内蔵される後述の各種機構が搭載される。一対のガイドレール３２１１は、Ｙ方向に離間し、かつ、Ｘ方向に延設して配置され、支持板材３２１０をＸ方向に移動可能に支持する。駆動部３２１２は、動力を発生する動力源と、動力源の動力により支持板材３２１０をＸ方向に移動させる駆動機構とを含む。このような構成により、左右移動機構３２１は、Ｘ方向に移動（往復）可能なスライダを形成する。

【0051】

図８は、支持台３２９の内部構造を示す斜視図である。支持台３２９には、前後移動機構３２２、上下移動機構３２３および回転機構３２４が少なくとも部分的に内蔵される。

【0052】

前後移動機構３２２は、支持板材３２２０、一対のガイドレール３２２１および駆動部３２２２を備える。支持板材３２２０の上には上下移動機構３２３が搭載される。一対のガイドレール３２２１は、Ｘ方向に離間し、かつ、Ｙ方向に延設して配置され、支持板材３２２０をＹ方向に移動可能に支持する。駆動部３２２２は、動力を発生する動力源と、動力源の動力により支持板材３２２０をＹ方向に移動させる駆動機構とを含む。このような構成により、前後移動機構３２２は、Ｙ方向に移動（進退）可能なスライダを形成する。

【0053】

上下移動機構３２３は、支持板材３２３０、ボールねじ軸３２３１、動力源３２３２および一対のガイドレール３２３３を備える。支持板材３２３０の上には回転機構３２４が搭載される。ボールねじ軸３２３１は、Ｚ方向に延びており、動力源３２３２の動力によってＺ方向を中心に回転する。一対のガイドレール３２３３は、Ｙ方向に離間し、かつ、Ｚ方向に延設して配置され、支持板材３２３０をＺ方向に移動可能に支持する。支持板材３２３０は、Ｚ方向に延びるボールねじ軸３２３１に螺合しており、動力源３２３２の動力に基づいてボールねじ軸３２３１が回転すると、それに伴いガイドレール３２３３に沿ってＺ方向に移動する。このような構成により、上下移動機構３２３は、Ｚ方向に移動（昇降）可能なスライダを形成する。

【0054】

回転機構３２４は、支柱部３２４１および駆動部３２４２を備える。支柱部３２４１は、駆動部３２４２の動力に基づいてＺ方向を回転軸として回転可能に構成され、支柱部３２４１の上には搬入出機構３１が搭載される。

【0055】

図９は、図８の一部を不図示とし且つ搬入出機構３１を含む全体構造を示す斜視図である。搬入出機構３１は回転機構３２４に回転可能に支持され、回転機構３２４は上下移動機構３２３に昇降可能に支持され、上下移動機構３２３は前後移動機構３２２に進退可能に搭載され、前後移動機構３２２は左右移動機構３２１に往復可能に搭載される。このような構成により、搬入出機構３１は、Ｘ、Ｙ及びＺ方向の何れにも移動可能、かつ、Ｘ－Ｙ平面における任意の方向（水平方向）にて姿勢／向きを変更可能となっている。

【0056】

尚、機構３２１～３２４の配置の順番は本例に限られるものではない。

【0057】

例えば、本実施形態では、回転機構３２４は上下移動機構３２３上に昇降可能に搭載され、上下移動機構３２３は前後移動機構３２２に進退可能に搭載され、かつ、前後移動機構３２２は左右移動機構３２１に往復可能に搭載されるものとしたが、他の実施形態として、回転機構３２４は前後移動機構３２２上に進退可能に搭載され、前後移動機構３２２は上下移動機構３２３に昇降可能に搭載され、かつ、上下移動機構３２３は左右移動機構３２１に往復可能に搭載されてもよい。

【0058】

左右移動機構３２１は、往復機構と表現されてもよいし、或いは、他の機構との区別のため、搬入出機構左右移動機構、搬入出機構往復機構等と表現されてもよい。
前後移動機構３２２は、進退機構と表現されてもよいし、或いは、他の機構との区別のため、搬入出機構前後移動機構、搬入出機構進退機構等と表現されてもよい（尚、往復および進退という表現は、区別のために用いられ、相互に入替え可能とする。）。
上下移動機構３２３は、昇降機構と表現されてもよいし、或いは、他の機構との区別のため、搬入出機構上下移動機構、搬入出機構昇降機構等と表現されてもよい。
また、回転機構３２４は、搬入出機構３１の姿勢／向きを変更することから、姿勢変更機構と表現されてもよし、或いは、他の機構との区別のため、搬入出機構回転機構、搬入出機構姿勢変更機構等と表現されてもよい。
上述の動作は何れも広義の移動に含まれ、上述の機構３２１～３２４は単に移動機構と表現されてもよい。その場合、それらには区別のため「第１」、「第２」等の表現が付されてもよく、例えば、機構３２１～３２４は第１～第４の移動機構とそれぞれ表現されてもよい。或いは、上述の機構３２１～３２４は、他の機構との区別のため搬入出機構移動機構と表現されてもよいし、その場合においても「第１」、「第２」等の表現が付されてもよい。

【0059】

図１０（ａ）～１０（ｂ）は、搬入出機構３１の駆動態様を示す斜視図である。搬入出機構３１において、本実施形態では、フォーク３１１は一方向に進退可能となっており、図１０（ａ）は、フォーク３１１が進出した状態を示し、図１０（ｂ）は、フォーク３１１が後退した状態を示す。
前述のとおり、コンベア３１２は、３列の搬送ローラ列を有し、搬送ローラ列の間に一対のフォーク３１１の其々が設けられている。言い換えると、コンベア３１２は、３つの搬送ローラ列が搬送方向と直交する平面方向に間隔を空けて設けられ、複数のローラ列の間のそれぞれにフォーク３１１が設けられる。

【0060】

本実施形態では、搬送方向と直交する平面方向に複数の搬送ローラ３１２ａから成る搬送ローラ列、複数の搬送ローラ３１２ｃから成る搬送ローラ列、複数の搬送ローラ３１２ｂから成る搬送ローラ列、の順で配置されている。一対のフォーク３１１の一方は、複数の搬送ローラ３１２ａから成る搬送ローラ列と複数の搬送ローラ３１２ｃから成る搬送ローラ列の間に配置されている。一対のフォーク３１１の他方は、複数の搬送ローラ３１２ｃから成る搬送ローラ列と複数の搬送ローラ３１２ｂから成る搬送ローラ列の間に配置されている。ここで、搬入出機構３１は、搬入出装置と表現されてもよい。

【0061】

複数の搬送ローラ３１２ａ、３１２ｂ及び３１２は、基板ＳＢを支持して搬送するローラ部と、ローラ部と一体に回転するスプロケット部から成る。複数の搬送ローラ３１２ａ、３１２ｂ及び３１２ｃのそれぞれのスプロケット部は、不図示のベルトにより回転が連動する様に連結されている。
複数の搬送ローラ３１２ａ、３１２ｂ、３１２ｃのそれぞれ一つの搬送ローラはシャフト３１２１により連結されている。
シャフト３１２１には動力源３１２２が接続されており、動力源３１２２の動力によりシャフト３１２１が回転する。シャフト３１２１の回転に伴って、搬送ローラ３１２ａの一つが回転し、ベルトを介して他の搬送ローラ３１２ａが回転する。搬送ローラ３１２ｂ及３１２ｃについても同様とする。搬送ローラ３１２ａ、３１２ｂ、３１２ｃの回転により基板ＳＢを搬送する。

【0062】

図１１は、搬入出機構３１の詳細構造を示す斜視図である。搬入出機構３１は、フォーク３１１およびコンベア３１２を備える他、支持板材３１３０、フォーク進退機構３１３およびコンベア昇降機構３１４を更に備える。フォーク進退機構３１３は、フォーク支持部材３１３１、ガイド機構３１３２、ベルト３１３３および動力源３１３４を備える。コンベア昇降機構３１４は、連結板材３１４０、駆動部３１４１、支持板材３１４２ａ～３１４２ｃおよびガイド部材３１４３を備える。フォーク進退機構３１３およびコンベア昇降機構３１４は、支持板材３１３０に設けられる。

【0063】

図１６は、フォーク進退機構３１３の詳細構造を示す斜視図である。以下、図１１及び図１６を参照しながら述べる。

【0064】

本実施形態では、ガイド機構３１３２は支持板材３１３０上に一方向に延びるように一対設けられる。ベルト３１３３は、一対のガイド機構３１３２の間にガイド機構３１３２と並んで延設された無端走行帯であり、動力源３１３４の動力に基づいて回転可能である。フォーク支持部材３１３１は、板状のフォーク３１１が水平姿勢となるように、その基端部（一端部）を支持する一対の支持部３１３１ａと、一対のガイド機構３１３２に沿って往復可能にガイド機構３１３２に保持される保持部３１３１ｂと、支持部３１３１ａと保持部３１３１ｂとを連結する板部３１３１ｃと、ベルト３１３３と連結される連結部３１３１ｄとを有する。従って、フォーク支持部材３１３１は、ガイド機構３１３２に沿って往復可能に支持され、ベルト３１３３の回転によってガイド機構３１３２に沿って移動する。
フォーク支持部材３１３１に伴って、一対のフォーク３１１もガイド機構３１３２に沿って移動する。ここで、フォーク支持部材３１３１は、フォーク３１１の基端部を支持することから、基端部支持部材と表現されてもよい。本実施形態では、支持部３１３１ａは、一方向に所定の幅を有する板状部材であり、鉛直方向から見た時にフォーク３１１の基端部（一端部）と重複するように、下方から支持している。

【0065】

尚、前述のとおり搬入出機構３１が回転機構３２４により回転可能であるためフォーク３１１は任意の水平方向に移動可能であり、ここでいうフォーク３１１の進退は、フォーク３１１の引出し及び収納に対応する（図１０（ａ）～１０（ｂ）参照）。

【0066】

図１７（ａ）～１７（ｂ）は、コンベア昇降機構３１４の詳細構造を示す側面図である。図１７（ａ）は、コンベア３１２の下降時の状態を示し、図１７（ｂ）は、コンベア３１２の上昇時の状態を示す。以下、図１１及び図１７を参照しながら述べる。

【0067】

ガイド部材３１４３は支持板材３１３０上に設けられる。支持板材３１４２ａおよび３１４２ｂは、支持板材３１４２ａおよび３１４２ｂを昇降可能にそれぞれガイドする複数のガイド部材３１４３に支持される。支持板材３１４２ｃは、支持板材３１４２ａおよび３１４２ｂの間に配置され、支持板材３１４２ａ～３１４２ｃは連結板材３１４０に連結される。すなわち、支持板材３１４２ａ～３１４２ｃ及び連結板材３１４０は、支持板材３１３０に対して昇降可能に支持されている。本実施形態において、連結部材３１４０は、支持部材３１３０と共に水平面を形成しているが、これに限定されるものではなく、前述のフォーク進退機構３１３によるフォーク３１１の進退動作に干渉しない位置及び形状であればよい。駆動部３１４１は、一対設けられており、それぞれが支持板材３１４２ａおよび３１４２ｂと連結（係合）する。

【0068】

駆動部３１４１は、回転軸を有し、動力を発生する動力源３１４１ａと、回転軸に設けられたカム部材３１４１ｂと、支持板部材３１４２ａおよび３１４２ｂにそれぞれ設けられ、カム部材３１４１ｂと係合するカム溝部材３１４１ｃとを有する。本実施形態では、カム部材３１４１ｂは、回転軸の中心ＣＬより偏心して設けられ、カム溝部材３１４１ｃは、カム部材３１４１ｂと係合し、水平方向に延設されるカム溝を有する。従って、駆動部３１４１によってカム部材３１４１ｂが回転することで、カム溝部材３１４１ｃが昇降し、それに伴ってカム溝部材３１４１ｃが設置された支持板材３１４２ａおよび３１４２ｂが昇降する。また、支持板材３１４２ａおよび３１４２ｂの昇降に伴い、連結部材３１４０で連結された支持板材３１４２ｃも昇降する。

【0069】

支持板材３１４２ａ、３１４２ｂ及び３１４２ｃは、それぞれ複数の搬送ローラ３１２ａ、３１２ｂ及び３１２ｃを回転可能に支持する。本実施形態においては、駆動部にカム機構が用いられたが、これに限定されるものではなく、例えば駆動部にシリンダ等が用いられていてもよい。

【0070】

図１２は、搬入出機構３１の詳細構造を示す側面図である。前述のとおり、複数の搬送ローラ３１２ａ、３１２ｂ及び３１２ｃを支持する支持板材３１４２ａ、３１４２ｂ及び３１４２ｃは、駆動部３１４１の動力に基づいて支持板材３１３０に対して昇降可能である。すなわち、コンベア３１２は、駆動部３１４１の動力に基づいて支持板材３１３０に対して昇降可能である。ここで、フォーク進退機構３１３は、フォーク３１１の進退動作のみ行い、フォーク３１１は支持板材３１３０に対して昇降動作は行わない。そのため、コンベア３１２の搬送面は、フォーク３１１の上面（基板ＳＢを支持する支持面）の位置Ｐ０より下方の第１位置Ｐ１と、位置Ｐ０より上方の第２位置Ｐ２との間で移動可能となっている。
例えば、フォーク３１１上の基板ＳＢは、コンベア３１２が位置Ｐ１から位置Ｐ２まで上昇した場合にフォーク３１１からコンベア３１２へ移載される。また、位置Ｐ２のコンベア３１２上の基板ＳＢは、コンベア３１２が位置Ｐ２から位置Ｐ１まで下降した場合にコンベア３１２からフォーク３１１へ移載される。即ち、コンベア昇降機構３１４がコンベア３１２を昇降させることにより、フォーク３１１及びコンベア３１２間で基板ＳＢの受け渡しが行われる。コンベア昇降機構３１４は単に昇降機構と表現されてもよい。

【0071】

このような構成によれば、フォーク３１１及びコンベア３１２間での基板ＳＢの受け渡しはフォーク３１１に対するコンベア３１２の昇降により行われる形となり、フォーク３１１はフォーク進退機構３１３により進退動作のみを行う。フォーク３１１及びコンベア３１２間での基板ＳＢの受け渡し時、特にコンベア３１２からフォーク３１１に基板ＳＢを受け渡す際、コンベア３１２が下降することでフォーク３１１に基板ＳＢを支持させるため、フォーク３１１は停止している。そのため、基板ＳＢの受け渡し時にフォーク３１１に発生する振動の大きさを小さくすることができ、フォーク３１１の進出動作の開始に影響する振動が収まるまでの待機する時間が短くなり、基板ＳＢの搬入出効率及び移送効率を向上させることが可能となる。

【0072】

尚、本実施形態で例示された各動力源に接続される不図示の動力線及び信号線は、対応の要素の往復、進退等の移動を許容可能に配置されていればよく、例えばケーブルキャリア等により保持されて配置される。

【0073】

＜基板の搬入出態様について＞
搬入出機構３１による基板ＳＢの搬入出は、フォーク進退機構３１３によるフォーク３１１の進退（図１０（ａ）～１０（ｂ）参照）により行われ、その際には基板ＳＢを容器本体７００に更に近接させるべく前後移動機構３２２による進退が伴ってもよい。

【0074】

また、基板ＳＢの搬入出は、コンベア３１２の搬送によっても実現可能であり、その際には前後移動機構３２２による進退が伴ってもよい。例えば、搬入出機構３１は、本実施形態では不図示とするが、所定の基板受取部を備える他の作業ユニットに基板ＳＢを移載することも考えられる。そのような場合には、搬入出機構３１は、前後移動機構３２２によりフォーク３１１およびコンベア３１２を該他の作業ユニットの基板受取部に近接させ、該他の作業ユニットへの基板ＳＢの搬出をコンベア３１２の搬送により行うことができる。

【0075】

図１３（ａ）～１３（ｄ）は、基板ＳＢの搬入出ないし搬送の態様の幾つかの例を示す上面模式図である。

【0076】

図１３（ａ）の例では、基板ＳＢに対して所定の作業（例えば洗浄作業）を行う作業ユニット４が上記他の作業ユニットとして作業装置１の背面側に配置されるものとする。本例の場合、作業装置１の背面側には他の搬入出口が設けられ、必要に応じて他の収納容器供給機構２が追加されてもよい。
本実施形態の搬送作業ユニット３の構成によれば、前述のとおり、搬入出機構３１はＸ、Ｙ及びＺ方向の何れにも移動可能であり且つその姿勢を回転により変更可能である。そのため、容器本体７００Ａから作業装置１を介して取り出された基板ＳＢは矢印Ａ１３１の経路を介して他の作業ユニット４に搬出され、作業ユニット４にて作業が行われた後、矢印Ａ１３１とは異なる経路にて、作業ユニット４から作業装置１を介して他の容器本体７００Ｂに収納可能である（矢印Ａ１３２参照）。よって、本実施形態によれば、基板ＳＢを作業ユニット４による作業の前後で区別して管理可能である。
尚、本例の間に行われる基板ＳＢの搬出（作業ユニット４への搬出および容器本体７００Ｂへの搬出）は、フォーク３１１の進退により行われてもよいし、コンベア３１２の搬送により行われてもよいし、或いは、それらの組合せにより行われてもよい。

【0077】

図１３（ｂ）の例では、作業ユニット４への基板ＳＢの搬出および作業ユニット４からの基板ＳＢの搬入が同位置で行われるものとする。本実施形態の構成によれば、容器本体７００Ａから取り出され且つ作業ユニット４に搬出された基板ＳＢは（矢印Ａ１３３参照）、作業ユニット４により作業が行われた後、他の容器本体７００Ｂに収納可能である（矢印Ａ１３４参照）。
図１３（ｃ）の例では、作業ユニット４が作業装置１の側面側に配置されるものとする。本例の場合、作業装置１の側面側には他の搬入出口が設けられ、必要に応じて他の収納容器供給機構２が追加されてもよい。本実施形態の構成によれば、容器本体７００Ａから取り出され且つ作業ユニット４に搬出された基板ＳＢは（矢印Ａ１３５参照）、作業ユニット４により作業が行われた後、他の容器本体７００Ｂに収納可能である（矢印Ａ１３６参照）。

【0078】

図１３（ｄ）の例では、作業ユニット４による作業を伴わずに単に容器本体７００Ａから容器本体７００Ｂに基板ＳＢを移載するものとする。本実施形態の構成によれば、容器本体７００Ａから取り出された基板ＳＢは、そのまま他の容器本体７００Ｂに収納可能である（矢印Ａ１３７参照）。

【0079】

尚、図１３（ｂ）～１３（ｄ）の何れの場合においても、図１３（ａ）同様、基板ＳＢの搬出は、フォーク３１１の進退により行われてもよいし、コンベア３１２の搬送により行われてもよいし、或いは、それらの組合せにより行われてもよい。

【0080】

このように、本実施形態の構成によれば、基板ＳＢを多様な態様で搬入出ないし搬送することが可能であり、作業ユニット４の配置態様を多様化可能となる。よって、本実施形態によれば、作業内容の多様化にも有利と謂える。

【0081】

≪第２実施形態≫
前述の第１実施形態では、搬入出機構３１をＸ、Ｙ及びＺ方向の何れにも移動可能かつその姿勢を回転により変更可能な搬送作業ユニット３の構成の一例が示されたが、その構成はこれに限られるものではない。

【0082】

図１４は、第２実施形態に係る搬送作業ユニット３の外装パネル１０を不図示にした斜視図である。本実施形態では、搬送作業ユニット３は、搬入出機構３１の他、左右移動機構３２１Ｒ、前後移動機構３２２Ｒ、上下移動機構３２３Ｒおよび回転機構３２４Ｒを備える。機構３２１Ｒ～３２４Ｒは、それぞれ前述の機構３２１～３２４と同機能を実現可能に構成され、ここでは参照番号の末尾に「Ｒ」を付すことにより区別される（支持板材３２３０Ｒ等、機構３２１Ｒ～３２４Ｒが備える個々の要素についても同様とする）。

【0083】

図１５は、前後移動機構３２２Ｒおよび回転機構３２４Ｒから搬入出機構３１を分離させた構造を示す。

【0084】

本実施形態の構造は、搬入出機構３１は回転機構３２４Ｒに回転可能に支持され、回転機構３２４Ｒは前後移動機構３２２Ｒに進退可能に搭載され、前後移動機構３２２Ｒは上下移動機構３２３Ｒに昇降可能に支持され、上下移動機構３２３Ｒは左右移動機構３２１Ｒに往復可能に搭載される。

【0085】

本実施形態の構造は、回転機構３２４Ｒは前後移動機構３２２Ｒに進退可能に搭載され、前後移動機構３２２Ｒは上下移動機構３２３Ｒに昇降可能に支持され、上下移動機構３２３Ｒは左右移動機構３２１Ｒに往復可能に搭載される点で、前述の第１実施形態とは異なる。

【0086】

また、本実施形態において、上下移動機構３２３Ｒの構成が前述の第１実施形態と異なっている。本実施形態では、上下移動機構３２３Ｒにおいて、支持板材３２３０Ｒは、ボールねじ軸３２３１Ｒと並んでＺ方向に延びる昇降案内部材３２３３Ｒに対して、それに沿って移動可能に設けられ、それにより搬入出機構３１を昇降可能となっている。そして、上下移動機構３２３Ｒは、搬入出機構３１の－Ｘ側にて柱状形状で構成されて配置され、即ち、搬入出機構３１の＋Ｘ側には配置されていない。そのため、搬入出機構３１は、上下移動機構３２３Ｒの側とは反対側（即ち＋Ｘ側）において基板ＳＢの搬入出を実行可能となっている。このような構成によれば、図１３（ｃ）の例においても基板ＳＢの搬入出を実現可能となる。本実施形態の構成によれば、前述の第１実施形態に比べて下方の位置への搬入出作業が可能となる。

【0087】

≪プログラム≫
前述のとおり、作業装置１のシステム全体を制御するのに際して制御ユニット９がＣＰＵにより実行するプログラムは、コンピュータプログラムとしてコンピュータ可読式記憶媒体に記憶されてもよい。或いは、プログラムがプロセッサにより実行された場合に同機能が実現されるコンピュータプログラム製品が作業装置１に搭載されてもよい。

【0088】

≪その他≫
以上の説明においては、理解の容易化のため、各要素をその機能面に関連する名称で示したが、各要素は、実施形態で説明された内容を主機能として備えるものに限られるものではなく、それを補助的に備えるものであってもよい。

【0089】

以上の説明においては、理解の容易化のため、各要素をその機能面に関連する名称で示したが、各要素は、実施形態で説明された内容を主機能として備えるものに限られるものではなく、それを補助的に備えるものであってもよい。よって、各要素は、その表現に厳密に限定されるものではなく、その表現は等価的な他の表現に置換え可能とする。
同趣旨で、「装置（apparatus）」、「ユニット（unit）」、「機構（mechanism）」、「部材（member）」、「部（portion）」、「部品（component, piece）」、「構造体（structure）」、「組立体（assembly）」、「手段（means）」等の表現は相互に置換可能であるし、或いは省略されてもよい。

【0090】

また、類似する機能を備える２以上の要素は、「第１」、「第２」等の表現を付すことにより区別されてもよいが、それらの表現は優先順位の設定を目的とするものではなく、また、それらの順番は入替え可能とする。例えば、Ｘ方向を第１方向とし且つＹ方向を第２方向としてもよいし、Ｙ方向を第１方向とし且つＸ方向を第２方向としてもよい（Ｚ方向についても同様とする。）。

【0091】

また、実施形態において選択可能に例示された２以上の要素は、その例示に厳密に限定されるものではなく、任意に組み合わされてもよく、例えば、該例示された２以上の要素の個々は追加的に選択されてもよいし代替的に選択されてもよい。一例として、Ａ及びＢの２つの要素を任意に組合せ可能な場合、Ａのみ、Ｂのみ、Ａ及びＢの双方、の何れかであることを示すものとして、「Ａ及び／又はＢ」と表現されてもよいし、「Ａ及びＢの少なくとも１つ」と表現されてもよい。

【0092】

≪実施形態のまとめ≫
実施形態で例示された幾つかの特徴は次のとおりである：
［１］
基板の搬入出を行うための搬入出機構と、前記搬入出機構を移動させるための移動機構と、を備える作業装置であって、
前記搬入出機構は、
前記基板を支持可能に一方向に延設された基板支持部材と、
前記基板支持部材を前記一方向に進退させる進退機構と、
前記基板を前記一方向に搬送可能な基板搬送機構と、
前記基板搬送機構を昇降させる昇降機構と、
を備え、
前記進退機構は、
前記基板支持部材の基端部を支持する基端部支持部材と、
前記基端部支持部材を前記一方向に移動させる駆動部と、
を備え、
前記基端部は、前記基板支持部材の他方向側の端部に設けられ、
前記昇降機構が前記基板搬送機構を昇降させることにより前記基板支持部材と前記基板搬送機構との間で前記基板の受け渡しが行われる
ことを特徴とする作業装置。
［２］
前記昇降機構は、
前記基板搬送機構による前記基板の搬送面が、前記基板支持部材による前記基板の支持面よりも下方となる第１位置と、
前記搬送面が前記支持面よりも上方となる第２位置と、
の間で前記基板搬送機構を昇降させる
ことを特徴とする［１］記載の作業装置。
［３］
前記昇降機構は、
前記基板搬送機構を前記第１位置から前記第２位置に上昇させることにより前記基板支持部材から前記基板搬送機構に前記基板を受け渡す動作と、
前記基板搬送機構を前記第２位置から前記第１位置に下降させることにより前記基板搬送機構から前記基板支持部材に前記基板を受け渡す動作と、
を行う
ことを特徴する［２］記載の作業装置。
［４］
前記移動機構は、
前記搬入出機構を前記搬入出の方向と直交する第１方向に移動させる第１の移動機構と、
前記搬入出機構を昇降させる搬入出機構昇降機構と、
を含む
ことを特徴とする［１］記載の作業装置。
［５］
前記移動機構は、前記搬入出機構を前記第１方向と直交する第２方向に移動させる第２の移動機構を更に含む
ことを特徴とする［４］記載の作業装置。
［６］
前記移動機構は、前記基板を受取り可能な所定の基板受取部に対して前記基板搬送機構の一方端部が接近または離間するように前記搬入出機構を移動させる
ことを特徴とする［４］記載の作業装置。
［７］
前記移動機構は、上下方向を中心軸として前記搬入出機構を回転させる搬入出機構回転機構を更に含む
ことを特徴とする［４］記載の作業装置。
［８］
前記移動機構は、
前記搬入出機構を前記搬入出の方向と直交する第１方向に移動させる第１の移動機構と、
前記搬入出機構を前記第１方向と直交する第２方向に移動させる第２の移動機構と、
前記搬入出機構を昇降させる搬入出機構昇降機構と、
上下方向を中心軸として前記搬入出機構を回転させる搬入出機構回転機構と、
を含み、
前記第２の移動機構および前記搬入出機構回転機構は、前記搬入出機構昇降機構上に設置され、
前記搬入出機構昇降機構は、前記第１の移動機構上に設置される
ことを特徴とする［１］記載の作業装置。
［９］
前記搬入出機構昇降機構は、
上下方向に延びて前記搬入出機構を下方から支持する支柱部と、
前記支柱部を昇降させる第２の駆動部と、
を備える
ことを特徴とする［４］記載の作業装置。
［１０］
前記搬入出機構昇降機構は、
上下方向に延びる昇降案内部材と、
前記昇降案内部材の前記第１方向における一側方に前記昇降案内部材に沿って昇降可能に設けられ、前記搬入出機構を支持する昇降支持部と、
前記昇降支持部を昇降させる第３の駆動部と、
を備え、
前記搬入出機構は、前記昇降案内部材の側とは反対側において前記搬入出を行う
ことを特徴とする［４］記載の作業装置。
［１１］
前記基板搬送機構は、前記一方向と直交する方向に離間して並設された第１の搬送ローラ部、第２の搬送ローラ部および第３の搬送ローラ部を備え、
前記第３の搬送ローラ部は、前記第１の搬送ローラ部および前記第２の搬送ローラ部の間に配され、
前記基板支持部材は、
前記第１の搬送ローラ部と前記第３の搬送ローラ部との間に配された第１の板状部材と、
前記第２の搬送ローラ部と前記第３の搬送ローラ部との間に配された第２の板状部材と、
を含み、
前記基端部支持部材は、
前記第１の板状部材の基端部を支持する第１の支持部材と、
前記第２の板状部材の基端部を支持する第２の支持部材と、
を含み、
前記駆動部は、前記第１の支持部材および前記第２の支持部材を前記一方向に移動させるための動力を発生する
ことを特徴とする請求項１記載の作業装置。
［１２］
前記搬入出機構および前記移動機構を収納する装置筐体を更に備え、
前記装置筐体には、前記搬入出を行うための第１の搬入出口および第２の搬入出口が設けられており、
前記搬入出機構は、
前記第１の搬入出口において、前記基板支持部材および前記進退機構を用いて前記搬入出の一方を行い、
前記第２の搬入出口において、前記基板搬送機構および前記昇降機構を用いて前記搬入出の他方を行う
ことを特徴とする［１］から［１１］の何れか１項記載の作業装置。
［１３］
基板の搬入出を行う搬入出方向の一方向から他方向へ前記基板を移送する搬入出装置であって、
前記基板を支持可能に前記一方向に延設された基板支持部材と、
前記基板支持部材を前記一方向側に進退させる進退機構と、
前記基板を前記他方向に搬送可能な基板搬送機構と、
前記基板搬送機構を昇降させる昇降機構と、
を備え、
前記進退機構は、
前記基板支持部材の基端部を支持する基端部支持部材と、
前記基端部支持部材を前記一方向側に移動させる駆動部と、
を備え、
前記基端部は、前記基端部支持部材の前記他方向側の端部に設けられ、
前記昇降機構は、
前記基板搬送機構による前記基板の搬送面が、前記基板支持部材による前記基板の支持面よりも下方となる第１位置と、
前記搬送面が前記支持面よりも上方となる第２位置と、
の間で前記基板搬送機構を昇降させる
ことを特徴とする搬入出装置。

【0093】

発明は上記の実施形態に制限されるものではなく、発明の要旨の範囲内で、種々の変形・変更が可能である。

【符号の説明】

【0094】

１：作業装置、２：収納容器供給機構、３：搬送作業ユニット、７：収納容器、９：制御ユニット、２０１：搬入出口、２２１：遮蔽ドア、２２１Ｂ：ドア本体、２２２：突出部保持機構、２２３：カバー部材、２３１：遮蔽ドア移動機構、３１：搬入出機構、３１１：フォーク（基板支持部材）、３１２：コンベア（基板搬送機構）、３１３：フォーク進退機構、３１４：コンベア昇降機構。

【要約】

【課題】高精度な搬出入を比較的簡素な構成で実現する。
【解決手段】本発明に係る作業装置は、基板の搬入出を行うための搬入出機構と、前記搬入出機構を移動させるための１以上の移動機構と、を備える作業装置であって、前記搬入出機構は、前記基板を支持可能に一方向に延設された基板支持部材と、前記基板支持部材を前記一方向に進退させる進退機構と、前記基板を前記一方向に搬送可能な基板搬送機構と、前記基板搬送機構を昇降させる昇降機構と、を備え、前記進退機構は、前記基板支持部材の基端部を支持する基端部支持部材と、前記基端部支持部材を前記一方向に移動させるための動力を発生する動力源と、を備え、前記昇降機構が前記基板搬送機構を昇降させることにより前記基板支持部材と前記基板搬送機構との間で前記基板の受け渡しが行われる。
【選択図】図１

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】