7649794 作業機

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2025-03-12

(45)【発行日】2025-03-21

(54)【発明の名称】作業機

(51)【国際特許分類】

   H05K 13/00 20060101AFI20250313BHJP

【ＦＩ】

H05K13/00 Z

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2022554980

(86)(22)【出願日】2020-10-05

(86)【国際出願番号】 JP2020037687

(87)【国際公開番号】W WO2022074705

(87)【国際公開日】2022-04-14

【審査請求日】2023-08-07

(73)【特許権者】

【識別番号】000237271

【氏名又は名称】株式会社ＦＵＪＩ

(74)【代理人】

【識別番号】110000992

【氏名又は名称】弁理士法人ネクスト

(74)【代理人】

【識別番号】100162237

【弁理士】

【氏名又は名称】深津 泰隆

(74)【代理人】

【識別番号】100191433

【弁理士】

【氏名又は名称】片岡 友希

(72)【発明者】

【氏名】藤村 晋吾

(72)【発明者】

【氏名】中村 大佑

【審査官】大塚 多佳子

(56)【参考文献】

【文献】特開平１１－１３８４８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特許第６４８８６３２（ＪＰ，Ｂ２）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０５Ｋ １３／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

固定部と、
前記固定部に設置される接地端子と、
前記固定部に対してＸ方向とＹ方向とＺ方向との少なくとも１の方向に移動する可動部と、
前記可動部に設けられる駆動源と、
前記固定部に配設されるコネクタと、
前記接地端子と前記コネクタとを接続する固定側アース線と、
前記コネクタと前記駆動源とを接続すると共に前記固定側アース線よりも細径な可動側アース線と、を備える作業機であって、
前記可動部と前記駆動源を複数有し、複数の前記可動部のうちのＸ方向とＹ方向とＺ方向との少なくとも１の方向に移動するものに前記可動側アース線が接続される作業機。

【請求項2】

前記可動側アース線の太さは、前記可動側アース線の導体抵抗値と前記固定側アース線の導体抵抗値との和が導体抵抗の許容値よりも小さくなるように設定されている請求項１に記載の作業機。

【請求項3】

前記コネクタは、前記可動側アース線が前記可動部に引き込まれる引込位置の近傍に配設される請求項１または請求項２に記載の作業機。

【請求項4】

前記可動部は、前記可動側アース線の屈曲箇所が前記駆動源の動きに追従して移動することによって、前記可動側アース線を支持しながら案内する従動部材を備え、
前記可動側アース線の前記引込位置は、前記従動部材の固定端と隣り合う請求項３に記載の作業機。

【請求項5】

前記駆動源の信号線及び前記可動側アース線を含むケーブルを備える請求項１乃至請求項４のいずれか一つに記載の作業機。

【請求項6】

前記固定部内の所定位置に固設される制御装置と、
前記制御装置が配設される筐体と、を備え、
前記接地端子は、前記筐体に設けられる請求項１乃至請求項５のいずれか一つに記載の作業機。

【請求項7】

前記駆動源は、一対の可動子を備え、
前記一対の可動子は、所定間隔を置いて向かい合いながら前記固定部に設けられる一対の固定子上を移動する請求項１乃至請求項６のいずれか一つに記載の作業機。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、アース線を備える作業機に関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来、上記作業機に関し、種々の技術が提案されている。例えば、下記特許文献１に記載の技術は、水平多関節型ロボット又は垂直多関節型ロボットの手首先端近傍にアナログ映像信号を出力するアナログカメラを取付けたロボットシステムにおける、前記カメラに繋がるカメラ用ケーブルの配線処理構造において、前記カメラ用ケーブルは、アナログ映像信号を伝送する同軸ケーブル及びカメラ電源ケーブルを含み、前記カメラ用ケーブルは、少なくとも前記ロボットの前腕の内部を通され、更に、前記前腕を前記ロボットのベース部材と同電位とする手段により前記前腕を接地することで、前記カメラ用ケーブルが該前腕によりシールドされることを特徴とする。

【0003】

下記特許文献１の記載によれば、ロボットの前腕とベース部材を同電位とすることは、これら前腕やベース部材が導電性の材料で交際されるのが一般的であることから、複雑な構造などを採用しなくとも、簡単に実現できる。ロボットの前腕はロボット本体ベースに対し、複数の関節（連結リンク構造）を介して接続されているので、前腕に至る間の連結リンク構造を構成する各リンクの間をアースケーブルで夫々電気的に接続すれば良い。あるいは、前腕とロボット本体ベースとの間を直接アースケーブル等で繋いでも良い。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特願２００４－９８１７４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、前腕とロボット本体ベースとの間を直接アースケーブルで繋ぐ場合、アースケーブルが長くなるので、アースケーブルの導体抵抗値を抑えるためには、アースケーブルを太くする必要がある。このようなアースケーブルの太径化は、アースケーブルの曲げ半径を大きくすることから、小型化を妨げる一因となる虞がある。

【0006】

本開示は、上述した点に鑑みてなされたものであり、可動部に設けられた駆動部のアース線を細径化することによって、可動部の小型化を図ることが可能な作業機を提供することを課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本明細書は、固定部と、固定部に設置される接地端子と、固定部に対してＸ方向とＹ方向とＺ方向との少なくとも１の方向に移動する可動部と、可動部に設けられる駆動源と、固定部に配設されるコネクタと、接地端子とコネクタとを接続する固定側アース線と、コネクタと駆動源とを接続すると共に固定側アース線よりも細径な可動側アース線と、を備える作業機であって、可動部と駆動源を複数有し、複数の可動部のうちのＸ方向とＹ方向とＺ方向との少なくとも１の方向に移動するものに可動側アース線が接続される作業機を開示する。

【発明の効果】

【0008】

本開示によれば、作業機は、可動部に設けられた駆動部のアース線を細径化することによって、例えば、可動部の小型化を図ることが可能である。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】部品実装機を示す斜視図である。

【図2】部品実装機の作業ヘッド移動装置を示す斜視図である。

【図3】部品実装機のアース系統を示すブロック図である。

【図4】ケーブルを示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、本開示の実施形態である部品実装機を、図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、各図面では、基本的構成の一部が省略されて描かれており、描かれた各部の寸法比等は必ずしも正確ではない。

【0011】

図１に示されるように、本実施形態の部品実装機１０は、回路基材１２に対する部品の実装作業を実行するための装置である。部品実装機１０は、装置本体２０、基材搬送保持装置２２、部品装着装置２４、マークカメラ２６、パーツカメラ２８、部品供給装置３０、ばら部品供給装置３２、制御ユニット（図３参照）３４を備えている。なお、回路基材１２として、回路基板、三次元構造の基材等が挙げられ、回路基板として、プリント配線板、プリント回路板等が挙げられる。

【0012】

装置本体２０は、フレーム部４０と、そのフレーム部４０に上架されたビーム部４２等によって構成されている。基材搬送保持装置２２は、フレーム部４０の前後方向の中央に配設されており、搬送装置５０とクランプ装置５２とを有している。搬送装置５０は、回路基材１２を搬送する装置であり、クランプ装置５２は、回路基材１２を保持する装置である。これにより、基材搬送保持装置２２は、回路基材１２を搬送するとともに、所定の作業位置において、回路基材１２を固定的に保持する。なお、以下の説明において、回路基材１２の搬送方向をＸ方向と称し、その方向に直角な水平の方向をＹ方向と称し、鉛直方向をＺ方向と称する。つまり、部品実装機１０の幅方向は、Ｘ方向であり、前後方向は、Ｙ方向である。

【0013】

部品装着装置２４は、ビーム部４２に配設されており、２台の作業ヘッド６０，６２と作業ヘッド移動装置６４とを有している。各作業ヘッド６０，６２の下端面には、図示しない吸着ノズルが設けられており、その吸着ノズルによって部品を吸着保持する。その吸着ノズルは、図示しないモータを駆動源とする回転装置によって回転し、吸着保持した部品の向きを調整可能となっている。なお、以下では、部品が上記吸着ノズルで吸着保持されることを、部品が作業ヘッド６０，６２で保持されると記載し、上記吸着ノズルの記載を省略する。また、作業ヘッド移動装置６４は、Ｘ方向移動装置６８とＹ方向移動装置７０とＺ方向移動装置７２とを有している。そして、Ｘ方向移動装置６８とＹ方向移動装置７０とによって、２台の作業ヘッド６０，６２は、一体的にフレーム部４０上の任意の位置に移動することができる。また、各作業ヘッド６０，６２は、図示しない２台のＺ方向スライダにそれぞれ着脱可能に装着されており、Ｚ方向移動装置７２は、上記各Ｚ方向スライダを個別に上下方向に移動させる。つまり、作業ヘッド６０，６２は、Ｚ方向移動装置７２によって、個別に上下方向に移動することができる。

【0014】

マークカメラ２６は、下方を向いた状態で上記２台のＺ方向スライダの一方（作業ヘッド６０が装着されたもの）に取り付けられており、作業ヘッド６０とともに、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向に移動することができる。これにより、マークカメラ２６は、フレーム部４０上の任意の位置を撮像する。パーツカメラ２８は、図１に示すように、フレーム部４０上の基材搬送保持装置２２と部品供給装置３０との間に、上を向いた状態で配設されている。これにより、パーツカメラ２８は、作業ヘッド６０，６２に保持された部品を撮像する。

【0015】

部品供給装置３０は、フレーム部４０の前後方向での前端部に配設されている。部品供給装置３０は、トレイ型部品供給装置７８と図示しないフィーダ型部品供給装置とを有している。トレイ型部品供給装置７８は、トレイ上に載置された状態の部品を供給する装置である。上記フィーダ型部品供給装置は、テープフィーダ、スティックフィーダ（図示省略）によって部品を供給する装置である。

【0016】

部品実装機１０では、上記制御ユニット３４によって、基材搬送保持装置２２に保持された回路基材１２に対して部品の装着作業が行われる。部品実装機１０では、種々の部品を回路基材１２に装着することが可能であるが、リードを有するリード部品（図示省略）を回路基材１２に装着する場合について、以下に説明する。

【0017】

具体的には、回路基材１２が、作業位置まで搬送され、その位置において、クランプ装置５２によって固定的に保持される。次に、マークカメラ２６が、回路基材１２の上方に移動し、回路基材１２を撮像する。そして、上記制御ユニット３４は、その撮像データに基づいて、回路基材１２に形成された挿入孔（図示省略）のＸＹ方向における位置座標等を演算する。

【0018】

また、部品供給装置３０は、所定の供給位置において、部品を供給する。そして、作業ヘッド６０，６２の何れかが、部品の供給位置の上方に移動し、部品を保持する。なお、作業ヘッド６０，６２は、部品の部品本体部の上面において、部品を保持する。

【0019】

次に、部品を保持した作業ヘッド６０，６２が、パーツカメラ２８の上方に移動し、パーツカメラ２８によって、作業ヘッド６０，６２に保持された部品が撮像される。そして、上記制御ユニット３４は、撮像データに基づいて、作業ヘッド６０，６２に保持された部品のＸＹ方向における位置座標を演算する。

【0020】

続いて、部品を保持した作業ヘッド６０，６２が、回路基材１２の上方に移動し、回路基材１２の保持位置の誤差、部品の保持位置の誤差等を補正する。そして、作業ヘッド６０，６２が部品の保持を解除することで、回路基材１２に部品が装着される。

【0021】

次に、作業ヘッド移動装置６４について、図２を用いて説明する。図２に示された作業ヘッド移動装置６４は、本実施形態の部品実装機１０に搭載可能なもののうち、本開示に好適な実施形態の一例であるが、図１とは異なる実施形態である。以下では、図１と実質的に共通する部分には同一の符号を付して説明する。なお、図２では、上記作業ヘッド６２および上記Ｚ方向移動装置７２等が省略されている。

【0022】

図２に示すように、作業ヘッド移動装置６４は、装置本体２０に設けられるものであって、Ｘ方向移動装置６８およびＹ方向移動装置７０等を備えている。Ｘ方向移動装置６８は、Ｘ方向リニアモータ１００およびＸ方向配線案内装置１０２を備えている。Ｙ方向移動装置７０は、Ｙ方向リニアモータ１１０およびＹ方向配線案内装置１１２を備えている。

【0023】

Ｙ方向リニアモータ１１０は、一対のＹ方向固定子１１４Ａ，１１４Ｂおよび一対のＹ方向可動子１１６Ａ，１１６Ｂを備えている。各Ｙ方向固定子１１４Ａ，１１４Ｂは、複数の永久磁石が直線的に配置されたものであって、Ｘ方向で所定間隔を置いて、Ｙ方向に沿って延在している。これにより、各Ｙ方向固定子１１４Ａ，１１４Ｂは、Ｘ方向で向かい合っている。各Ｙ方向可動子１１６Ａ，１１６Ｂは、所謂スライダであって、コイルを巻いた電機子鉄心を有し、各Ｙ方向固定子１１４Ａ，１１４Ｂ上を磁気浮上しながら移動する。

【0024】

Ｙ方向配線案内装置１１２は、ケーブルベヤ（登録商標）である。Ｙ方向配線案内装置１１２の先端１１７は、Ｙ方向可動子１１６Ａに固定されている。これに対して、Ｙ方向配線案内装置１１２の基端１１８は、装置本体２０に固定されている。これにより、Ｙ方向配線案内装置１１２は、その屈曲箇所がＹ方向可動子１１６Ａの動きに追従して移動することができる。

【0025】

Ｘ方向リニアモータ１００は、Ｘ方向固定子１０４およびＸ方向可動子１０６を備えている。Ｘ方向固定子１０４は、複数の永久磁石が直線的に配置されたものであって、Ｘ方向に沿って延在している。更に、Ｘ方向固定子１０４の両端は、Ｙ方向リニアモータ１１０の各Ｙ方向可動子１１６Ａ，１１６Ｂに支持されている。Ｘ方向可動子１０６は、所謂スライダであって、コイルを巻いた電機子鉄心を有し、Ｘ方向固定子１０４上を磁気浮上しながら移動する。更に、Ｘ方向可動子１０６には、作業ヘッド６０が装着されている。

【0026】

Ｘ方向配線案内装置１０２は、ケーブルベヤ（登録商標）である。Ｘ方向配線案内装置１０２の先端１０７は、Ｘ方向可動子１０６に固定されている。これに対して、Ｘ方向配線案内装置１０２の基端１０８は、Ｘ方向固定子１０４に固定されている。これにより、Ｘ方向配線案内装置１０２は、その屈曲箇所がＸ方向可動子１０６の動きに追従して移動することができる。

【0027】

このような構成によって、Ｙ方向リニアモータ１１０の各Ｙ方向可動子１１６Ａ，１１６Ｂ、Ｘ方向リニアモータ１００、Ｘ方向配線案内装置１０２、および作業ヘッド６０は、矢印ＡＹに示すように、Ｙ方向に沿って一体的に移動することができる。更に、Ｘ方向リニアモータ１００のＸ方向可動子１０６および作業ヘッド６０は、矢印ＡＸに示すように、Ｘ方向に沿って一体的に移動することができる。

【0028】

Ｘ方向リニアモータ１００のＸ方向可動子１０６に接続される複数の配線、および作業ヘッド６０に接続される複数の配線は、装置本体２０の引込位置Ｐから装置本体２０内に引き込まれている。引込位置Ｐは、装置本体２０の筐体２１において、Ｙ方向配線案内装置１１２の基端１１８と隣り合う所にある。更に、引込位置Ｐから引き込まれた各配線は、Ｙ方向配線案内装置１１２の基端１１８を経て、Ｙ方向配線案内装置１１２およびＸ方向配線案内装置１０２に通され、Ｘ方向リニアモータ１００のＸ方向可動子１０６および作業ヘッド６０に接続されている。

【0029】

Ｙ方向リニアモータ１１０のＹ方向可動子１１６Ａに接続される複数の配線は、同様にして、装置本体２０の引込位置Ｐから装置本体２０内に引き込まれている。更に、引込位置Ｐから引き込まれた各配線は、Ｙ方向配線案内装置１１２の基端１１８を経て、Ｙ方向配線案内装置１１２に通され、Ｙ方向リニアモータ１１０のＹ方向可動子１１６Ａに接続されている。

【0030】

なお、Ｙ方向リニアモータ１１０の一対のＹ方向可動子１１６Ａ，１１６Ｂのうち、Ｙ方向可動子１１６Ｂに接続される複数の配線は、装置本体２０の引込位置Ｐとは異なる引込位置（図示省略）から装置本体２０内に引き込まれている。更に、このようにして引き込まれた各配線は、Ｙ方向配線案内装置１１２とは異なるＹ方向配線案内装置（図示省略）を通って、Ｙ方向リニアモータ１１０のＹ方向可動子１１６Ｂに接続されている。但し、Ｙ方向リニアモータ１１０のＹ方向可動子１１６Ｂに接続される複数の配線は、Ｙ方向リニアモータ１１０のＹ方向可動子１１６Ａに接続される複数の配線と同様にして、装置本体２０の引込位置Ｐから装置本体２０内に引き込まれてもよい。このような場合、引込位置Ｐから引き込まれた各配線は、例えば、Ｙ方向配線案内装置１１２およびＸ方向リニアモータ１００のＸ方向固定子１０４を経由して、Ｙ方向リニアモータ１１０のＹ方向可動子１１６Ｂに接続される。

【0031】

次に、Ｘ方向移動装置６８のアース系統について説明する。図３に示すように、アース線１４０が、Ｘ方向移動装置６８と接地端子１２６とに接続されている。アース線１４０は、Ｘ方向リニアモータ１００のＸ方向可動子１０６から延出している。接地端子１２６は、サーボアンプ１２２の筐体１２４に設けられている。サーボアンプ１２２の筐体１２４は、接地されている。このような構成によって、Ｘ方向リニアモータ１００は、所謂筐体接地されている。

【0032】

サーボアンプ１２２は、Ｘ方向リニアモータ１００の動作制御（例えば、フィードバック制御）を行うものであって、本実施形態の部品実装機１０を制御する制御ユニット３４の一部を構成している。サーボアンプ１２２は、装置本体２０内の所定位置に固定した状態で設けられている。このようにして、接地端子１２６は、装置本体２０に内設されている。なお、その他のサーボアンプ（例えば、Ｙ方向リニアモータ１１０の動作制御を行うサーボアンプ等）は、図示されていないが、メンテナンス時の利便性等の観点から、サーボアンプ１２２と纏めて並設されている。

【0033】

アース線１４０は、可動側アース線１４２および固定側アース線１４４を備えている。可動側アース線１４２は、上述したＸ方向リニアモータ１００のＸ方向可動子１０６に接続される複数の配線の一つである。従って、可動側アース線１４２は、装置本体２０の引込位置Ｐから装置本体２０内に引き込まれ、Ｙ方向配線案内装置１１２の基端１１８を経て、Ｙ方向配線案内装置１１２およびＸ方向配線案内装置１０２に通され、Ｘ方向リニアモータ１００のＸ方向可動子１０６に接続されている。このような構成によって、可動側アース線１４２は、Ｙ方向配線案内装置１１２およびＸ方向配線案内装置１０２に支持されながら案内される。そのため、可動側アース線１４２は、その屈曲箇所が、Ｙ方向リニアモータ１１０の各Ｙ方向可動子１１６Ａ，１１６Ｂ、およびＸ方向リニアモータ１００のＸ方向可動子１０６の動きに追従して移動する。

【0034】

これに対して、固定側アース線１４４は、サーボアンプ１２２の筐体１２４の接地端子１２６に接続された状態で、装置本体２０の筐体２１外に引き出されている。よって、固定側アース線１４４は、可動側アース線１４２とは異なり、従動することはない。

【0035】

更に、可動側アース線１４２および固定側アース線１４４は、コネクタ１３２に接続されている。コネクタ１３２は、アース線同士を接続するための部品であって、装置本体２０の引込位置Ｐの近傍において、装置本体２０の筐体２１の外面に設けられ、第１端子１３４および第２端子１３６を有している。コネクタ１３２では、可動側アース線１４２が第１端子１３４に接続され、固定側アース線１４４が第２端子１３６に接続されている。このような構成によって、可動側アース線１４２および固定側アース線１４４は、コネクタ１３２で直結されている。

【0036】

可動側アース線１４２は、固定側アース線１４４よりも細いものが使用されることによって、細径化されている。これにより、可動側アース線１４２の屈曲箇所の小径化を図っている。但し、アース線１４０には、導体抵抗の許容値が設定されている。従って、可動側アース線１４２の太さは、可動側アース線１４２の導体抵抗値と固定側アース線１４４の導体抵抗値との和が導体抵抗の許容値よりも小さくなるようなものが選ばれている。その際、固定側アース線１４４が太径化されていると、可動側アース線１４２がより一層に細径化されることが可能となる。

【0037】

また、可動側アース線１４２は、図４に示すように、ケーブル１５０に納められている。ケーブル１５０には、可動側アース線１４２に加えて、３個の信号線１５２，１５４，１５６、介在物１５８、シールド１６０、およびシース１６２を備えている。各信号線１５２，１５４，１５６は、Ｘ方向リニアモータ１００のＸ方向可動子１０６に接続されている配線である。ケーブル１５０では、可動側アース線１４２および各信号線１５２，１５４，１５６が、介在物１５８に囲まれた状態でシールド１６０およびシース１６２に覆われている。なお、ケーブル１５０には、電力線が含まれてもよい。

【0038】

ケーブル１５０は、装置本体２０の引込位置Ｐから装置本体２０内に引き込まれ、Ｙ方向配線案内装置１１２の基端１１８を経て、Ｙ方向配線案内装置１１２およびＸ方向配線案内装置１０２に通されている。更に、装置本体２０の引込位置Ｐの近傍では、可動側アース線１４２が、ケーブル１５０から延出して、コネクタ１３２の第１端子１３４に接続されている。

【0039】

このような構成によって、可動側アース線１４２の細径化は、ケーブル１５０の屈曲箇所の小径化、ひいては、Ｙ方向配線案内装置１１２およびＸ方向配線案内装置１０２の屈曲箇所の小径化を実現可能にする。これにより、作業ヘッド移動装置６４の小型化が図られる。

【0040】

以上詳細に説明したように、本実施形態の部品実装機１０は、作業ヘッド移動装置６４に設けられたＸ方向リニアモータ１００の可動側アース線１４２を細径化することによって、作業ヘッド移動装置６４の小型化を図ることが可能である。

【0041】

なお、各信号線１５２，１５４，１５６は、ケーブル１５０が装置本体２０内に引き込まれることによって、サーボアンプ１２２に接続されている。また、固定側アース線１４４は、各信号線１５２，１５４，１５６と共に、ケーブル１５０内に納められている。サーボアンプ１２２の筐体１２４の近傍では、固定側アース線１４４が、ケーブル１５０から延出して、接地端子１２６に接続されている。これに対して、装置本体２０の引込位置Ｐの近傍では、固定側アース線１４４が、ケーブル１５０から延出して、コネクタ１３２の第２端子１３６に接続されている。

【0042】

ちなみに、本実施形態において、部品実装機１０は、作業機の一例である。装置本体２０は、固定部の一例である。作業ヘッド移動装置６４（一対のＹ方向固定子１１４Ａ，１１４Ｂを除く）は、可動部の一例である。Ｘ方向リニアモータ１００は、駆動源の一例である。Ｘ方向配線案内装置１０２は、従動部材の一例である。Ｙ方向リニアモータ１１０は、駆動源の一例である。Ｙ方向配線案内装置１１２は、従動部材の一例である。一対のＹ方向固定子１１４Ａ，１１４Ｂは、一対の固定子の一例である。一対のＹ方向可動子１１６Ａ，１１６Ｂは、一対の可動子の一例である。基端１１８は、従属部材の固定端の一例である。サーボアンプ１２２は、制御装置の一例である。サーボアンプ１２２の筐体１２４は、筐体の一例である。Ｘ方向リニアモータ１００の各信号線１５２，１５４，１５６は、駆動源の信号線の一例である。

【0043】

なお、本開示は、上記実施形態に限定されるものでなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
例えば、接地端子１２６は、装置本体２０に内設されているものに限定されず、装置本体２０に設置されていればよい。また、接地端子１２６は、サーボアンプ１２２の筐体１２４を経ることなく、接地されていてもよい。

【0044】

また、Ｘ方向配線案内装置１０２およびＹ方向配線案内装置１１２に代えて、可動側アース線１４２を含むフレキシブルフラットケーブルが使用されてもよい。このような場合、ケーブル１５０は不要である。ちなみに、フレキシブルフラットケーブルは、従動部材の一例である。

【0045】

また、本実施形態において、可動側アース線１４２は、Ｘ方向リニアモータ１００のＸ方向可動子１０６に接続されているものとして説明されているが、Ｙ方向リニアモータ１１０のＹ方向可動子１１６Ａ、Ｚ方向移動装置７２、又は各作業ヘッド６０，６２等に接続されるものであってもよい。但し、Ｙ方向リニアモータ１１０のＹ方向可動子１１６Ａの場合、可動側アース線１４２は、装置本体２０の引込位置Ｐから装置本体２０内に引き込まれ、Ｙ方向配線案内装置１１２の基端１１８を経て、Ｙ方向配線案内装置１１２に通され、Ｙ方向リニアモータ１１０のＹ方向可動子１１６Ａに接続される。

【0046】

また、Ｘ方向リニアモータ１００では、上記実施形態とは反対に、コイルを巻いた電機子鉄心がＸ方向固定子１０４に設けられ、複数の永久磁石がＸ方向可動子１０６に設けられていてもよい。このような場合、可動側アース線１４２は、装置本体２０の引込位置Ｐから装置本体２０内に引き込まれ、Ｙ方向配線案内装置１１２の基端１１８を経て、Ｙ方向配線案内装置１１２に通され、Ｘ方向リニアモータ１００のＸ方向固定子１０４に接続される。

【0047】

また、本実施形態では、作業機は、部品実装機１０として説明されていたが、外観検査装置、印刷装置、又は工作機械等であってもよい。

【符号の説明】

【0048】

１０：部品実装機、２０：装置本体、６４：作業ヘッド移動装置、１００：Ｘ方向リニアモータ、１０２：Ｘ方向配線案内装置、１１０：Ｙ方向リニアモータ、１１２：Ｙ方向配線案内装置、１１４Ａ，１１４Ｂ：一対のＹ方向固定子、１１６Ａ，１１６Ｂ：一対のＹ方向可動子、１１８：Ｙ方向配線案内装置の基端、１２２：サーボアンプ、１２４：サーボアンプの筐体、１２６：接地端子、１３２：コネクタ、１４２：可動側アース線、１４４：固定側アース線、１５０：ケーブル、１５２：Ｘ方向リニアモータの信号線、１５４：Ｘ方向リニアモータの信号線、１５６：Ｘ方向リニアモータの信号線、Ｐ：引込位置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】