特許 7649850 空調システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2025-03-12

(45)【発行日】2025-03-21

(54)【発明の名称】空調システム

(51)【国際特許分類】

   F24F 7/06 20060101AFI20250313BHJP

   F24F 7/007 20060101ALI20250313BHJP

   F24F 3/167 20210101ALI20250313BHJP

   F24F 11/75 20180101ALI20250313BHJP

   F24F 11/74 20180101ALI20250313BHJP

   F24F 110/40 20180101ALN20250313BHJP

【ＦＩ】

F24F7/06 C

F24F7/007 B

F24F3/167

F24F11/75

F24F11/74

F24F110:40

【請求項の数】 4

(21)【出願番号】P 2023525323

(86)(22)【出願日】2021-06-04

(86)【国際出願番号】 JP2021021407

(87)【国際公開番号】W WO2022254705

(87)【国際公開日】2022-12-08

【審査請求日】2023-10-12

(73)【特許権者】

【識別番号】399048917

【氏名又は名称】日立グローバルライフソリューションズ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001807

【氏名又は名称】弁理士法人磯野国際特許商標事務所

(72)【発明者】

【氏名】西村 典俊

(72)【発明者】

【氏名】今口 信弘

(72)【発明者】

【氏名】松崎 和仁

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 祐一

【審査官】伊藤 紀史

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０１７／０３８４８４（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１７－０４８９４０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－０４８９４１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－００９７１３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１４－０７０７４８（ＪＰ，Ａ）

【文献】中国特許出願公開第１１０３０７６０３（ＣＮ，Ａ）

【文献】中国特許出願公開第１１１８２９１０３（ＣＮ，Ａ）

【文献】特開平１０－０９６３３２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０６－３０７１０８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－３３７６７５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－１１４３１７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－０８３５７８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭６１－２９１８４８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－１０７０６４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０８－３２７１０６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０５－０６０３５６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特許第６８１０３０１（ＪＰ，Ｂ１）

【文献】国際公開第２０２１／１１１５５０（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０２２－０３４８５１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ２４Ｆ

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

所定の部屋の内部に設けられるクリーンルームへの給気を行う第１ファンと、当該第１ファンの吹出側に設けられる第１フィルタと、を有する第１ユニットを備えるとともに、
前記クリーンルームからの還気を行う第２ファンを有する第２ユニットと、
前記クリーンルームから前記所定の部屋に空気を導くダクトシャフトと、
前記クリーンルームに設けられる圧力センサと、
前記第１ファン及び前記第２ファンのうち一方を前記圧力センサの検出値に基づいて制御し、他方を一定速で制御する制御部と、を備え、
前記所定の部屋は、側壁と、天井と、床面と、で形成される空間であり、
前記クリーンルームは、縦断面視において、前記所定の部屋の前記側壁、前記天井、及び前記床面で囲まれるように設けられ、
前記ダクトシャフトは前記クリーンルームの側面に沿って上下方向に延びており、当該ダクトシャフトの上端が開口しており、
前記第１ファンを介して前記クリーンルームに導かれた空気が、前記第２ファン及び前記ダクトシャフトを順次に介して、前記所定の部屋に戻され、
前記第１ファン及び前記第２ファンのうち、前記圧力センサの検出値に基づいて制御されるものと、一定速で制御されるものと、が切替可能である、空調システム。

【請求項2】

前記所定の部屋の天井に設けられるフィルタユニットを備え、
前記フィルタユニットの高さ位置よりも前記第１ユニットの高さ位置の方が低いこと
を特徴とする請求項１に記載の空調システム。

【請求項3】

前記所定の部屋には、エアハンドリングユニットで温度が調整された空気が供給されること
を特徴とする請求項１に記載の空調システム。

【請求項4】

前記制御部は、前記クリーンルームの室圧を陽圧及び陰圧の一方から他方に切替可能であること
を特徴とする請求項１に記載の空調システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、空調システムに関する。

【背景技術】

【0002】

再生医療や医薬品の製造の他、半導体や精密機械の製造等において、空気の清浄度の高いクリーンルームが用いられている。このようなクリーンルームの室圧調整に関して、例えば、特許文献１に記載の技術が知られている。すなわち、特許文献１には、「・・・差圧計２５によって計測される差圧を所定の範囲に維持させるように各ＦＦＵ２０の給気ファン２２を個別に制御する」ことが記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０００－３３７６７５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載の技術では、給気ファンが個別に制御される一方、排気ファンの回転速度は特に調整されない。したがって、例えば、それまで陰圧室として使っていたクリーンルームを、別の用途で陽圧室として使うといったことは、特許文献１に記載の技術では困難である。

【0005】

そこで、本発明は、使い勝手のよい空調システムを提供することを課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

前記した課題を解決するために、本発明に係る空調システムは、所定の部屋の内部に設けられるクリーンルームへの給気を行う第１ファンと、当該第１ファンの吹出側に設けられる第１フィルタと、を有する第１ユニットを備えるとともに、前記クリーンルームからの還気を行う第２ファンを有する第２ユニットと、前記クリーンルームから前記所定の部屋に空気を導くダクトシャフトと、前記クリーンルームに設けられる圧力センサと、前記第１ファン及び前記第２ファンのうち一方を前記圧力センサの検出値に基づいて制御し、他方を一定速で制御する制御部と、を備え、前記所定の部屋は、側壁と、天井と、床面と、で形成される空間であり、前記クリーンルームは、縦断面視において、前記所定の部屋の前記側壁、前記天井、及び前記床面で囲まれるように設けられ、前記ダクトシャフトは前記クリーンルームの側面に沿って上下方向に延びており、当該ダクトシャフトの上端が開口しており、前記第１ファンを介して前記クリーンルームに導かれた空気が、前記第２ファン及び前記ダクトシャフトを順次に介して、前記所定の部屋に戻され、前記第１ファン及び前記第２ファンのうち、前記圧力センサの検出値に基づいて制御されるものと、一定速で制御されるものと、が切替可能であることを特徴とする。なお、その他については実施形態の中で説明する。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、使い勝手のよい空調システムを提供できる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】第１実施形態に係る空調システムの各部屋の間取りを示す説明図である。

【図2】第１実施形態に係る空調システムが備える複数のファンフィルタユニットの配置等を示す説明図である。

【図3】第１実施形態に係る空調システムが備える複数のファンフィルタユニットの配置等を示す説明図である。

【図4】第１実施形態に係る空調システムの説明図である。

【図5】第１実施形態に係る空調システムが備える給気側のファンフィルタユニット、及び、還気側のファンフィルタユニットの制御に関する構成図である。

【図6】第１実施形態に係る空調システムが備える還気ファンの回転速度と風量との関係を示す特性図である。

【図7】第２実施形態に係る空調システムの説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

≪第１実施形態≫
図１は、第１実施形態に係る空調システムＳの各部屋の間取りを示す説明図である。
なお、図１では、所定のドア（例えば、ドアＤｍ）が開かれた場合に空気が流れる向きを白抜きの破線矢印で示している。第１実施形態では、主に、各クリーンルームの室圧調整について説明するが、室圧の他に空気の温度や湿度を調整する場合も「空調」に含まれるものとする。また、室圧のみの調整も「空調」に含まれるものとする。
本明細書において、第１実施形態は参考形態であるものとする。

【0010】

空調システムＳは、前処理室Ｒ３や調製室Ｒ７といった複数のクリーンルームの室圧等を調整するシステムであり、例えば、再生医療施設に設けられる。このような空調システムＳでは、空気の清浄度の異なる部屋が複数設けられることが多い。そして、清浄度の低い部屋から清浄度の高い部屋への空気の漏れを抑制するために、隣り合う部屋の室圧に差を設けるようにしている。

【0011】

その一例を挙げると、図１に示す前処理室Ｒ３は、１次更衣室Ｒ２よりも空気の清浄度が高く、また、その室圧も高い。したがって、作業員が１次更衣室Ｒ２から前処理室Ｒ３に入る際にドアＤｅを開くと、図１の破線矢印で示すように、高圧側の前処理室Ｒ３から低圧側の１次更衣室Ｒ２へと空気が流れ込むが、逆向きの流れが生じることはほとんどない。これによって、１次更衣室Ｒ２から前処理室Ｒ３への塵埃の侵入が抑制され、前処理室Ｒ３の清浄度が保たれる。

【0012】

しかしながら、前記した空気の移動によって、１次更衣室Ｒ２の室圧が一時的に高くなる一方、前処理室Ｒ３の室圧は一時的に低くなる。ドアＤｅが開閉されるたびに、このような室圧の変動が生じる。そこで、第１実施形態では、後記する各機器の制御によって、各クリーンルームの室圧の変動を抑制するようにしている。

【0013】

なお、図１において、隣り合う２つのクリーンルームの一方から他方に向かう白抜きの破線矢印を記載しているものは、前記した一方のクリーンルームの方が、他方よりも室圧が高いものとする。また、図１で符号を付した複数のクリーンルームやドアのうち、適宜に説明を省略するものがあるものとする。例えば、複数のドアＤａ～Ｄｚ，Ｄα，Ｄβ，Ｄγ，Ｄδのうち、その一部については説明を省略する。

【0014】

図１の例では、着脱室Ｒ１、１次更衣室Ｒ２、前処理室Ｒ３、脱衣室Ｒ１０、及び前室Ｒ１１が、この順で隣り合うように設けられている。例えば、作業員が前処理室Ｒ３で作業を行う場合には、前記した順で各クリーンルームを通り抜ける。前処理室Ｒ３には、所定の試料を扱うためのバイオハザードキャビネットＢＳＣ１が設けられている。バイオハザードキャビネットＢＳＣ１で用いられる試料は、前室Ｒ４及びパスボックスＰＢ１を順次に介して、搬入される。一方、バイオハザードキャビネットＢＳＣ１で作成された製品（細胞加工品等）は、パスボックスＰＢ２及び前室Ｒ５を順次に介して、搬出される。なお、パスボックスＰＢ１，ＰＢ２は、コンタミネーション（試料汚染）を抑制するための空間である。

【0015】

また、着脱室Ｒ１、１次更衣室Ｒ２、２次更衣室Ｒ６、エアロックＡＬ１、調製室Ｒ７、エアロックＡＬ２、脱衣室Ｒ１０、及び前室Ｒ１１が、この順で隣り合うように設けられている。例えば、作業員が調製室Ｒ７で作業を行う場合には、前記した順で各クリーンルームを通り抜ける。エアロックＡＬ１，ＡＬ２は、清浄度が高い調製室Ｒ７への塵埃の侵入を抑制するための空間であり、他のクリーンルームに比べて室圧が高くなっている。

【0016】

また、調製室Ｒ７と前処理室Ｒ３との間も、パスボックスＰＢ５を介して、試料等の出し入れが可能になっている。調製室Ｒ７は、その清浄度が前処理室Ｒ３よりも高く、また、室圧も前処理室Ｒ３よりも高くなっている。これによって、ドアＤｘやドアＤｙが開けられた場合のコンタミネーション（試料汚染）を抑制できる。

【0017】

図１の例では、所定の試料を扱うためのバイオハザードキャビネットＢＳＣ２，ＢＳＣ３が調製室Ｒ７に設けられている。バイオハザードキャビネットＢＳＣ２，ＢＳＣ３で作成された製品（細胞加工品等）は、パスボックスＰＢ３及び前室Ｒ８を順次に介して、搬出される。一方、廃棄物等は、パスボックスＰＢ４及び前室Ｒ９を順次に介して、搬出される。

【0018】

なお、図１に示す着脱室Ｒ１、１次更衣室Ｒ２、前処理室Ｒ３、前室Ｒ４，Ｒ５、２次更衣室Ｒ６、調製室Ｒ７、前室Ｒ８，Ｒ９、脱衣室Ｒ１０、前室Ｒ１１、及びエアロックＡＬ１，ＡＬ２のそれぞれが、「クリーンルーム」に相当する。また、図１に示すファンフィルタユニット３，７，９，１１，１３，１８の他、エアハンドリングユニット５０については後記する。

【0019】

図２は、複数のファンフィルタユニットの配置等を示す説明図である。
なお、図２では、空気の流れを実線矢印で示す一方、信号線を破線矢印で示している。また、図２には、図１（間取り図）の各クリーンルームのうちの一部を図示し、残りのクリーンルームについては図３に示している。これらの図２、図３は、例えば、調製室Ｒ７からダクトシャフトＤＳ２を介して、チャンバＣに空気が導かれるといったように、空気の流れに着目した模式的な断面図になっている。

【0020】

図２に示すダクトシャフトＤＳ１は、図１には図示していないが、調製室Ｒ７からチャンバＣに空気を導く空間である。また、他のダクトシャフトＤＳ２～ＤＳ５も、図１には図示していないが、所定のクリーンルームからチャンバＣに空気を導く空間である。これらのダクトシャフトＤＳ１～ＤＳ５は、隣り合うクリーンルームの間の隙間等に設けられている風導管（図示せず）である。

【0021】

図２に示すように、空調システムＳは、エアハンドリングユニット５０と、ファンフィルタユニット１～１１と、圧力センサ３１～３６と、を備えている。
エアハンドリングユニット５０は、空気の温度等を調整する装置である。図２に示すように、エアハンドリングユニット５０は、フィルタ５１と、冷却コイル５２と、ファン５３と、インバータ５４と、を備えている。

【0022】

フィルタ５１は、調製室Ｒ７からダクトシャフトＤＳ１を介して冷却コイル５２に向かう空気から塵埃を捕集するものである。冷却コイル５２は、フィルタ５１を通過した空気と、伝熱管（図示せず）を通流する冷媒と、の間で熱交換が行われる熱交換器である。ファン５３は、冷却コイル５２で熱交換した空気を、ダクトＤ１を介して、チャンバＣに圧送する送風機である。インバータ５４は、ファン５３のモータ（図示せず）を制御する。

【0023】

図２に示すように、ファン５３の吹出口と、チャンバＣと、はダクトＤ１を介して接続されている。ダクトＤ１は、エアハンドリングユニット５０で温度等が調整された空気をチャンバＣに導く風導管である。このダクトＤ１には、ダンパＢ１が設けられている。そして、例えば、空調システムＳの試運転時にダンパＢ１が所定開度に設定され、その後の空調運転中は、前記した所定開度で維持されるようになっている。また、ダクトＤ１の他に、別のダクトＤ２を介して、温度等が調整された空気がチャンバＣに導かれるようになっている。このようにして、ダクトＤ１，Ｄ２を介して供給された空気は、チャンバＣにおいて合流する。

【0024】

チャンバＣは、調製室Ｒ７等の各クリーンルームの天井裏の空間である。具体的に説明すると、チャンバＣは、調製室Ｒ７等の各クリーンルームの天井Ｅと、上板Ｔａと、側板Ｔｂ，Ｔｃと、を含んで構成されている。図２の例では、天井Ｅよりも高い位置に上板Ｔａが設けられ、上板Ｔａの板面が天井Ｅの面に対して略平行になっている。また、天井Ｅと上板Ｔａの横方向一方側の縁を接続するように、側板Ｔｂが設けられている。同様に、天井Ｅと上板Ｔａの横方向他方側の縁を接続するように、側板Ｔｃが設けられている。

【0025】

図２に示すように、複数のクリーンルームのそれぞれの天井裏の空間が、一つのチャンバＣ（共通の空間）として形成されている。そして、温度等が所定に調整された空気がチャンバＣに導かれ、さらに、給気側のファンフィルタユニット１，２（第１ユニット）によって、チャンバＣから調製室Ｒ７に導かれるようになっている。なお、他のクリーンルームについても同様である。また、複数のクリーンルームには、室圧の目標圧力（設定圧力）の異なるものが混在している。

【0026】

このような構成によれば、ファンフィルタユニット１，２等に空気を導くダクトをチャンバＣに設ける（又はチャンバＣの代わりに設ける）必要が特にないため、空調システムＳの構成を簡素化できる。したがって、チャンバＣにガス配管を設けたり、通信線や電力線を引き回したりする作業が容易になる他、コストの削減を図ることができる。

【0027】

図２に示すファンフィルタユニット１（第１ユニット）は、チャンバＣから調製室Ｒ７への給気を行う機器であり、天井Ｅに埋設されている。ファンフィルタユニット１は、給気ファン１ａ（第１ファン）と、フィルタ１ｂと、を備えている。給気ファン１ａは、チャンバＣから調製室Ｒ７（クリーンルーム）への給気を行う送風機である。図２に示すように、給気ファン１ａの吸込側は、チャンバＣ（共通の空間）に連通している。

【0028】

フィルタ１ｂは、給気ファン１ａから調製室Ｒ７に向かう空気から塵埃を捕集するものであり、給気ファン１ａの吹出側に設けられている。このようなフィルタ１ｂとして、例えば、ＨＥＰＡ（High Efficiency Particulate Air Filter）やＵＬＰＡ（Ultra Low Penetration Air Filter）が用いられる。そして、給気ファン１ａ及びフィルタ１ｂを収容する筐体（図示せず）が、調製室Ｒ７の天井Ｅの開口部に嵌め込まれて、金具等で固定されている。なお、調製室Ｒ７の天井Ｅに設けられている別のファンフィルタユニット２も、前記したファンフィルタユニット１と同様の構成になっている。

【0029】

図２に示すファンフィルタユニット３（第２ユニット）は、調製室Ｒ７からの排気及び及び還気を行う機器である。なお、調製室Ｒ７からの「還気」とは、調製室Ｒ７から流出する空気の少なくとも一部を、この調製室Ｒ７に戻すことである。また、図２では簡略化して、調製室Ｒ７の床Ｇの紙面下側にファンフィルタユニット３を図示しているが、図１に示すように、調製室Ｒ７にドアＤｐを介して隣り合っている空間Ｒ１２の壁にファンフィルタユニット３が埋設されている。

【0030】

図２に示すように、ファンフィルタユニット３は、還気ファン３ａ（第２ファン）と、フィルタ３ｂと、を備えている。還気ファン３ａは、調製室Ｒ７（クリーンルーム）からの排気及び還気を行う送風機である。図２に示すように、還気ファン３ａの吸込側は、ダクトシャフトＤＳ２を介して、チャンバＣ（共通の空間）に連通している。

【0031】

フィルタ３ｂは、調製室Ｒ７から還気ファン３ａに向かう空気から塵埃を捕集するものであり、還気ファン３ａの吸込側に設けられている。このようなフィルタ３ｂとして、例えば、ＨＥＰＡやＵＬＰＡが用いられる。なお、フィルタ３ｂは、調製室Ｒ７から空気が流出する際の抵抗体（空気抵抗）としても機能するため、調製室Ｒ７を比較的高い室圧で維持しやすくなる。また、還気ファン３ａ及びフィルタ３ｂを収容する筐体（図示せず）が、前記した空間Ｒ１２（図１参照）を形成している壁の開口部に嵌め込まれて、金具等で固定されている。

【0032】

図２に示す圧力センサ３１は、調製室Ｒ７（クリーンルーム）の室圧を検出するセンサであり、調製室Ｒ７に設けられている。そして、調製室Ｒ７の室圧を所定の目標圧力（設定圧力）にするように、給気ファン１ａ，２ａや還気ファン３ａが制御される。なお、調製室Ｒ７の室圧を検出する際の基準圧として、各クリーンルームの外部に設けられる一般室（図示せず）の室圧が用いられてもよい。また、チャンバＣの圧力の検出値の他、予め設定された所定の圧力値が基準圧として用いられてもよい。

【0033】

図２に示す隙間Ｋ１，Ｋ２は、調製室Ｒ７から空気が出ていく際の通風路である。一方の隙間Ｋ１は、例えば、調製室Ｒ７と空間Ｒ１３（図１参照）とを仕切るドアＤｑ（図１参照）の下端部のパッキン（図示せず）と、調製室Ｒ７の床面と、間の隙間である。なお、図１に示す空間Ｒ１３は、ダクトシャフトＤＳ１（図２参照）を介して、エアハンドリングユニット５０の吸込側に連通している。また、隙間Ｋ１の大きさを適宜に調整できるように、ドアＤｑのパッキンの下端の高さ位置が調整可能になっている。

【0034】

図２に示す他方の隙間Ｋ２は、例えば、調製室Ｒ７と空間Ｒ１２（図１参照）とを仕切るドアＤｐの下端部のパッキン（図示せず）と、調製室Ｒ７の床面と、間の隙間である。なお、図１に示す空間Ｒ１２は、還気ファン３ａ（図２参照）の吸込側に設けられ、ダクトシャフトＤＳ２（図２参照）を介して、チャンバＣ（図２参照）に連通している。そして、隙間Ｋ２の大きさを調整できるように、ドアＤｐのパッキンの下端の高さ位置が調整可能になっている。隙間Ｋ１，Ｋ２の大きさ（開口率）は、調製室Ｒ７の容積の他、単位時間当たりの換気回数や目標圧力等に基づいて、空調システムＳの設計時や試運転時に適宜に調整される。

【0035】

また、図２の例では、複数の孔を有する薄板Ｈ２が、ダクトシャフトＤＳ２の上端に設置されている。そして、給気ファン１ａ，２ａや還気ファン３ａの駆動中、調製室Ｒ７から隙間Ｋ２を介してダクトシャフトＤＳ２に導かれた空気の一部が、薄板Ｈ２の複数の孔を介して、チャンバＣに戻される（つまり、還気される）ようになっている。一方、ダクトシャフトＤＳ２の下部に導かれた空気の残りは、還気ファン３ａに吸い込まれて、外部に排気される。

【0036】

このように、還気ファン３ａ（第２ファン）が、調製室Ｒ７（クリーンルーム）からの排気及び還気を行う場合において、給気ファン１ａ（第１ファン）の吸込側、及び還気ファン３ａ（第２ファン）の吸込側が、それぞれ、チャンバＣ（共通の空間）に連通している。これによって、清浄度の高い調製室Ｒ７の空気の一部を各クリーンルームの空調に再利用できる。なお、還気ファン３ａによるチャンバＣへの還気によって、チャンバＣの圧力が若干変動するものの、各クリーンルームの室圧の維持に悪影響を与えるおそれはほとんどない。

【0037】

図２に示すように、前室Ｒ９の天井Ｅには、ファンフィルタユニット４が埋設されている。また、前室Ｒ９には、圧力センサ３２が設けられている。そして、圧力センサ３２の検出値に基づいて、前室Ｒ９の室圧を所定の目標圧力にするように、給気ファン４ａが制御される。なお、図２には、前室Ｒ９の床Ｇから紙面下側に抜けるように矢印を示しているが、例えば、ドアＤｗ（図１参照）の下端のパッキン（図示せず）と、前室Ｒ９の床面と、の間の隙間を介して、前室Ｒ９の空気が排気されるようになっている。なお、他の前室Ｒ８についても同様である。

【0038】

図２に示すエアロックＡＬ２の天井Ｅには、給気ファン６ａ（第１ファン）やフィルタ６ｂを備えるファンフィルタユニット６（第１ユニット）が埋設されている。また、エアロックＡＬ２の側壁には、還気ファン７ａ（第２ファン）やフィルタ７ｂを備えるファンフィルタユニット７（第２ユニット）が埋設されている。エアロックＡＬ２には、室圧を検出する圧力センサ３４が設けられている。そして、エアロックＡＬ２の室圧を所定の目標圧力にするように、給気ファン６ａ及び還気ファン７ａが制御される。還気ファン７ａから吹き出された空気は、ダクトシャフトＤＳ３、及び薄板Ｈ３の複数の孔を順次に介して、チャンバＣに戻される。

【0039】

このように、還気ファン７ａ（第２ファン）が、エアロックＡＬ２（クリーンルーム）からの還気を行う一方、エアロックＡＬ２からの排気を行わない場合において、給気ファン６ａ（第１ファン）の吸込側、及び、還気ファン７ａ（第２ファン）の吹出側が、それぞれ、チャンバＣ（共通の空間）に連通している。なお、別のエアロックＡＬ１や２次更衣室Ｒ６の室圧調整に関する構成については、エアロックＡＬ２のものと同様であるから、説明を省略する。次に、図１に示す各室のうち、図２には図示していない残りの各室の室圧調整に関する構成を、図３を用いて説明する。

【0040】

図３は、複数のファンフィルタユニットの配置等を示す説明図である。
なお、図３に示す天井Ｅは、図２に示したものと同一である。また、図３に示すチャンバＣも、図２に示したものと同一である。
図３に示すファンフィルタユニット１２（第１ユニット）は、チャンバＣから１次更衣室Ｒ２（クリーンルーム）への給気を行う機器であり、天井Ｅに埋設されている。ファンフィルタユニット１２は、給気ファン１２ａ（第１ファン）と、フィルタ１２ｂと、を備えている。

【0041】

ファンフィルタユニット１３（第２ユニット）は、１次更衣室Ｒ２（クリーンルーム）からの排気を行う機器である。このように、図３の例では、ファンフィルタユニット１３が還気には用いられない点で、前記したファンフィルタユニット３，７，９，１１（図２参照）とは異なっている。また、図３では簡略化して、１次更衣室Ｒ２の床Ｇの紙面下側にファンフィルタユニット１３を図示しているが、図１に示すように、１次更衣室Ｒ２と外部とを仕切る壁にファンフィルタユニット１３が埋設されている。

【0042】

図３に示すように、ファンフィルタユニット１３は、排気ファン１３ａ（第２ファン）と、フィルタ１３ｂと、を備えている。また、１次更衣室Ｒ２には、室圧を検出するための圧力センサ３７が設けられている。そして、１次更衣室Ｒ２の室圧を所定の目標圧力にするように、給気ファン１２ａや排気ファン１３ａが制御される。

【0043】

図３に示す着脱室Ｒ１の他、前室Ｒ４，Ｒ５，Ｒ１１の室圧調整に関する構成については、前記した前室Ｒ９（図２参照）と同様であるから、説明を省略する。また、図３に示す脱衣室Ｒ１０の室圧調整に関する構成については、前記した１次更衣室Ｒ２と同様であるから、説明を省略する。

【0044】

図３に示す前処理室Ｒ３の天井Ｅには、ファンフィルタユニット２０～２２がそれぞれ埋設されている。ファンフィルタユニット２０，２１（第１ユニット）が備える給気ファン２０ａ，２１ａの吸込側は、チャンバＣに連通している。一方、ファンフィルタユニット２２（第２ユニット）が備える排気ファン２２ａの吹出側は、外部に開放されている。また、前処理室Ｒ３には、圧力センサ４３が設けられている。そして、前処理室Ｒ３の室圧を所定の目標圧力にするように、給気ファン２０ａ，２１ａや排気ファン２２ａが制御される。

【0045】

なお、給気ファン２０ａ，２１ａの駆動で前処理室Ｒ３に供給された空気の一部は、排気ファン２２ａによって排出される。また、前記した空気の残りは、図３に示す隙間Ｋ３、ダクトシャフトＤＳ６、及びダクトＤ３を順次に介して、エアハンドリングユニット（図示せず）に導かれる。なお、ダクトＤ３に設けられているダンパＢ３の開度は、試運転時等に所定に設定された状態で維持される。

【0046】

なお、「クリーンルーム」への給気を行う「第１ファン」を有する「第１ユニット」には、図２に示すファンフィルタユニット１，２，４～６，８，１０の他、図３に示すファンフィルタユニット１２，１４～１７，１９～２１も含まれる。
また、「クリーンルーム」からの排気又は還気のうち少なくとも一方を行う「第２ファン」を有する「第２ユニット」には、図２に示すファンフィルタユニット３，７，９，１１の他、図３に示すファンフィルタユニット１３，１８，２２（図５参照）も含まれる。次に、各クリーンルームの室圧調整の詳細について、図４を用いて説明する。

【0047】

図４は、空調システムＳの説明図である。
なお、図４では、説明を分かりやすくするために、図２、図３に示した複数のクリーンルームの中から任意の２つのクリーンルームＲｓ，Ｒｔを取り出して示している。クリーンルームＲｓ，Ｒｔの室圧調整に関する構成としては、前記した２次更衣室Ｒ６（図２参照）やエアロックＡＬ１，ＡＬ２（図２参照）と同様になっている。つまり、給気ファンＵａによってクリーンルームＲｓに送り込まれた空気が、還気ファンＶａによって、ダクトシャフトＤＳ７を介してチャンバＣに戻されるようになっている。
なお、他方のクリーンルームＲｔの給気・還気についても同様である。また、ダクトシャフトＤＳ７，ＤＳ８の上端付近に、空気抵抗としてのダンパ（図示せず）が設けられることもある。

【0048】

ただし、以下の説明は、還気ファン３ａ（図２参照）によって排気及び還気の両方が行われる調製室Ｒ７（図２参照）の他、排気ファン１３ａ（図３参照）が設けられる１次更衣室Ｒ２（図３参照）等の各クリーンルームの室圧調整にも適用できる。

【0049】

以下では一例として、一方のクリーンルームＲｓが「陽圧室」として用いられ、他方のクリーンルームＲｔが「陰圧室」として用いられる場合について説明する。ここで、「陽圧室」とは、ドアを介して隣り合っている他のクリーンルームからの空気の流入を抑制するために、室圧が比較的高く設定されるクリーンルームである。また、「陽圧」とは、予め設定される基準圧力よりも高い室圧のことである。

【0050】

一方、「陰圧室」とは、例えば、伝染病のウイルスを扱ったり、放射性物質を扱ったりする際、ドアを介して隣り合っている他のクリーンルームにウイルス等が流出しないように、室圧が比較的低く設定されるクリーンルームである。また、「陰圧」とは、予め設定される基準圧力よりも低い室圧のことである。なお、「陽圧」や「陰圧」の基準圧力として、所定のクリーンルームの室圧の他、クリーンルーム以外の一般室（図示せず）の室圧が用いられてもよい。

【0051】

図５は、給気側のファンフィルタユニットＵ、及び、還気側のファンフィルタユニットＶの制御に関する構成図である。
図５に示すように、給気側のファンフィルタユニットＵ（第１ユニット）は、給気ファンＵａ（第１ファン）と、フィルタＵｂと、を備えている。給気ファンＵａは、クリーンルームＲｓ（図４参照）への給気を行う送風機であり、ファン本体Ｕａｆと、ファンモータＵａｍと、を備えている。
還気側のファンフィルタユニットＶ（第２ユニット）は、還気ファンＶａ（第２ファン）と、フィルタＶｂと、を備えている。還気ファンＶａは、クリーンルームＲｓ（図４参照）からの還気を行う送風機であり、ファン本体Ｖａｆと、ファンモータＶａｍと、を備えている。

【0052】

なお、ファン本体Ｕａｆ，Ｖａｆとして、例えば、プロペラファン等の軸流ファンが用いられる。また、ファンモータＵａｍ，Ｖａｍとして、例えば、直流モータが用いられる。図５に示す圧力センサ３０ｓは、クリーンルームＲｓ（図４参照）の室圧を検出するセンサであり、クリーンルームＲｓに設けられる。

【0053】

制御装置６０（制御部）は、給気ファンＵａや還気ファンＶａを制御する装置である。図５の例では、制御装置６０は、その入力側が配線を介して圧力センサ３０ｓに接続される一方、出力側が配線を介して給気ファンＵａ及び還気ファンＶａに接続されている。制御装置６０は、図示はしないが、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、各種インタフェース等の電子回路を含んで構成されている。そして、ＲＯＭに記憶されたプログラムを読み出してＲＡＭに展開し、ＣＰＵが各種処理を実行するようになっている。なお、制御装置６０は、ＰＬＣ（Programmable Logic Controller：図示せず）を含む構成であってもよい。

【0054】

図５には、給気ファンＵａ及び還気ファンＶａが一つの制御装置６０に接続される例を示しているが、給気ファンＵａの制御装置（図示せず）と、還気ファンＶａの制御装置（図示せず）と、が個別に設けられていてもよい。また、一つの制御装置が、複数のクリーンルームの給気ファンや還気ファンを制御するようにしてもよい。

【0055】

クリーンルームＲｓ（図４参照）を陽圧室として使用する場合、制御装置６０は、例えば、給気ファンＵａを一定速で駆動させつつ、還気ファンＶａを圧力センサ３０ｓの検出値に基づいて制御する。ここで、給気ファンＵａを「一定速」で駆動させるとは、圧力センサ３０ｓの検出値に関わらず、給気ファンＵａの回転速度を一定にすることを意味している。制御装置６０は、給気ファンＵａを所定の回転速度（固定値）で駆動させる際、クリーンルームＲｓの換気が単位時間当たりに所定回数行われるように、給気ファンＵａの回転速度（つまり、風量）を設定する。これによって、クリーンルームＲｓの清浄度を所定レベルで維持できる。なお、「一定速」における「一定」の程度は、効果を奏する程度であれば、厳密に「一定」でなくてもよい。

【0056】

また、制御装置６０は、圧力センサ３０ｓの検出値に基づいて、クリーンルームＲｓ（図４参照）の室圧が所定の目標圧力（設定圧力）になるように、還気ファンＶａを制御する。例えば、クリーンルームＲｓの室圧が目標圧力を超えた場合、制御装置６０は、還気ファンＶａの回転速度を所定に上昇させる。これによって、クリーンルームＲｓ（図４参照）からダクトシャフトＤＳ７（図４参照）に流れ出る空気の流量が大きくなる。一方、給気ファンＵａは、前記したように、一定速で駆動される。その結果、クリーンルームＲｓで一時的に上昇した室圧が目標圧力に戻される。

【0057】

また、クリーンルームＲｓ（図４参照）の室圧が目標圧力を下回った場合、制御装置６０は、還気ファンＶａの回転速度を所定に低下させる。その結果、クリーンルームＲｓにおいて、一時的に上昇した室圧が目標圧力に戻される。このように、制御装置６０が圧力センサ３０ｓの検出値に基づいて、還気ファン３ａの回転速度を変化させることで、クリーンルームＲｓの室圧を所定の目標圧力で維持するようにしている。クリーンルームＲｓを陽圧室として使用する際には、前記したように、給気ファンＵａを一定速にする一方、還気ファンＶａを室圧に基づく可変速にしたほうがよいことが多い。

【0058】

図６は、還気ファンの回転速度と風量との関係を示す特性図である。
なお、図６の横軸は、還気ファンＶａ（図５参照）の回転速度であり、縦軸は、還気ファンＶａの風量である。図６に示すように、還気ファンＶａの回転速度が高いほど、その風量も大きくなる。また、還気ファンＶａのファンモータＶａｍ（図５参照）には、例えば、直流モータが用いられるため、その回転速度と風量とが線形の関係（比例関係）になっている。したがって、開度－風量特性が非線形の関係であるダンパ（図示せず）で風量調整を行う場合に比べて、還気ファンＶａで風量の微調整が行いやすいという利点がある。なお、還気ファンＶａの他、給気ファンＵａ（図５参照）も図６と同様の特性を有している。

【0059】

還気ファンＶａ（図５参照）には、図６に示す回転速度の下限値Ｎ１と、これに対応する風量の下限値Ｑ１と、が予め設定されている。同様に、還気ファンＶａの回転速度の上限値Ｎ２と、これに対応する風量の上限値Ｑ２も予め設定されている。特に、還気ファンＶａの風量の下限値Ｑ１に着目すると、その具体的な数値例は、５０［ｍ^３／ｈ］であり、従来のダンパ（図示せず）で風量調整を行う場合の風量の下限値（１５０［ｍ^３／ｈ］程度）の３分の１程度の大きさである。前記したように、還気ファンＶａは、回転速度‐風量特性が線形の関係であるため、制御装置６０は、還気ファンＶａの風量を下限値Ｑ２付近で微調整できる。したがって、ダンパ（図示せず）で風量調整を行う場合に比べて、室圧を高精度に調整できる他、空調システムＳ（図４参照）の消費電力量を大幅に削減できる。

【0060】

次に、図４に示すクリーンルームＲｔが陰圧室として使用される場合の制御について説明する。制御装置６０（図５参照）は、クリーンルームＲｔを陰圧室として使用する場合、例えば、給気ファンＷａ（図４参照）を圧力センサ３０ｔ（図４参照）の検出値に基づいて制御しつつ、還気ファンＺａ（図４参照）を一定速で駆動させる。なお、給気ファンＷａも、回転速度－風量特性が線形になっているため（図６参照）、風量の下限値Ｑ１（図６参照）付近で給気ファンＷａの回転速度の微調整が行いやすい。したがって、空調システムＳ（図４参照）の消費電力量を削減しつつ、クリーンルームＲｔの室圧を高精度で維持できる。

【0061】

なお、クリーンルームＲｔの容積の他、清浄度・室圧の目標値、給気ファンＷａや還気ファンＺａの能力等を考慮すると、クリーンルームＲｔを陰圧室として使用する際には、給気ファンＷａを室圧に基づく可変速にする一方、還気ファンＺａを一定速にしたほうがよいことが多い。

【0062】

また、例えば、図４に示すクリーンルームＲｓを陽圧室として使っていたが、ある時期から用途を変えて、このクリーンルームＲｓを陰圧室として使いたいということがある。このような場合、制御装置６０は、それまで一定速で駆動させていた給気ファンＵａを圧力センサ３０ｓの検出値に基づいて制御し、それまで可変速で駆動させていた還気ファンＶａを一定速で駆動させるように切り替える。

【0063】

また、例えば、図４に示す他方のクリーンルームＲｔを陰圧室として使っていたが、ある時期から用途を変えて、このクリーンルームＲｔを陽圧室として使いたいということがある。このような場合、制御装置６０は、それまで可変速で駆動させていた給気ファンＷａを一定速で駆動させ、それまで一定速で駆動させていた還気ファンＺａを圧力センサ３０ｔの検出値に基づいて制御するように切り替える。

【0064】

このように、制御装置６０（制御部）は、給気ファンＵａ（第１ファン）及び還気ファンＶａ（第２ファン）のうち一方を圧力センサ３０ｓの検出値に基づいて制御し、他方を一定速で制御する。また、制御装置６０は、給気ファンＵａ及び還気ファンＶａのうち、圧力センサ３０ｓの検出値に基づいて制御されるものと、一定速で制御されるものと、を切替可能に構成されている。言い換えると、クリーンルームＲｓの室圧を陽圧及び陰圧の一方から他方に切替可能になっている。なお、入力手段（図示せず）を介したユーザの操作によって、前記した「切替」が行われるようにしてもよい。
これによって、その用途に応じて、クリーンルームＲｓを陽圧室又は陰圧室として選択的に使用できる。また、別のクリーンルームＲｔについても同様のことがいえる。したがって、陽圧室又は陰圧室のクリーンルームを別途設ける場合に比べて、作業負担やコストを大幅に削減できる。

【0065】

なお、クリーンルームＲｓを陽圧室・陰圧室の一方から他方に切り替える際には、制御装置６０が、給気ファンＵａ及び還気ファンＶａを一旦停止させた後に再び駆動させるようにしてもよい。また、制御装置６０が、給気ファンＵａ及び還気ファンＶａを駆動させ続けながら、各ファンの制御方法を切り替えるようにしてもよい。

【0066】

＜効果＞
第１実施形態によれば、給気ファンＵａ（図４参照）及び還気ファンＶａ（図４参照）のうち、圧力センサ３０ｓ（図４参照）の検出値に基づいて制御するものと、一定速で制御するものと、が切替可能に構成されている。したがって、一つのクリーンルームＲｓを陽圧室又は陰圧室として選択的に使用できるため、使用者にとって使い勝手のよい空調システムＳを提供できる。また、陽圧室又は陰圧室のクリーンルーム（図示せず）を別途設ける場合に比べて、作業負担やコストを大幅に削減できるため、社会貢献に寄与できる。

【0067】

また、クリーンルームＲｓ，Ｒｔに空気を導くダクト（図示せず）や、クリーンルームＲｓ，Ｒｔから外部に空気を導くダクト（図示せず）を設ける必要が特にないため、空調システムＳの構成を簡素化できる。また、ダクト（図示せず）をチャンバＣに設ける（又は、チャンバＣの代わりに設ける）場合に比べて、空調システムＳを設置する際の工期を短縮し、ひいては、設置に要するコストを削減できる。

【0068】

また、これまでのように、ダクト（図示せず）に設けられたダンパ（図示せず）で室圧を調整する構成では、ダクトにおける空気の圧力損失の他、ダンパの開度－風量特性の非線形性等に起因して、クリーンルームの室圧調整において応答遅れやオーバーシュートが生じやすかった。これに対して、第１実施形態では、例えば、クリーンルームＲｓ（図４参照）の室圧が還気ファンＶａ又は給気ファンＵａによって調整されるため、前記した圧力損失や応答遅れが生じることがほとんどない。また、還気ファンＶａや給気ファンＵａの回転速度－風量特性が線形であるため（図６参照）、クリーンルームＲｓの室圧を高精度に維持できる。なお、他の各クリーンルームについても同様のことがいえる。

【0069】

≪第２実施形態≫
第２実施形態は、クリーンルームの天井裏にチャンバが特に設けられていない点が、第１実施形態とは異なっている。また、第２実施形態は、比較的大きな大部屋Ｒｏ（図７参照）の中に２つのクリーンルームＲｓ，Ｒｔ（図７参照）が設けられている点が、第１実施形態とは異なっている。なお、給気側のファンフィルタユニットＵ，Ｗや還気側のファンフィルタユニットＶ，Ｚの構成・制御については、第１実施形態（図４、図５参照）と同様である。また、制御装置６０が、クリーンルームＲｓ，Ｒｔを陽圧室・陰圧室の一方から他方に切替可能である点も、第１実施形態と同様である。したがって、第１実施形態とは異なる部分について説明し、重複する部分については説明を省略する。

【0070】

図７は、第２実施形態に係る空調システムＳＡの説明図である。
図７の例では、大部屋Ｒｏの中に２つのクリーンルームＲｓ，Ｒｔが設けられている。大部屋Ｒｏの天井には、フィルタユニットＦ４が設けられている。フィルタユニットＦ４は、ダクトＤ４を通流する空気から塵埃を捕集するものである。このようなフィルタユニットＦ４として、例えば、ＨＥＰＡやＵＬＰＡが用いられる。フィルタユニットＦ４を通過した空気は、大部屋Ｒｏの空間に導かれる。なお、ダクトＤ４において、フィルタユニットＦ４の付近にダンパＢ４が設けられている。そして、例えば、空調システムＳＡの試運転時にダンパＢ４が所定開度に設定され、その後の空調運転中は、前記した所定開度で維持されるようになっている。

【0071】

図７に示す隙間Ｋａ，Ｋｂは、大部屋Ｒｏから空気が流出する際の通風路である。そして、隙間Ｋａ，Ｋｂ及びダクトＤ５を順次に介して、エアハンドリングユニット（図示せず）に空気が導かれるようになっている。このエアハンドリングユニット（図示せず）で温度等が調整された空気は、別のダクトＤ４を介して、大部屋Ｒｏに戻される。

【0072】

図７に示すように、クリーンルームＲｓの天井には、給気側のファンフィルタユニットＵ（第１ユニット）が設けられている。また、クリーンルームＲｓの側壁には、還気側のファンフィルタユニットＶ（第２ユニット）が設けられている。そして、給気ファンＵａを介してクリーンルームＲｓに導かれた空気が、還気ファンＶａ及びダクトシャフトＤＳ７を順次に介して、大部屋Ｒｏの空間に戻されるようになっている。なお、他方のクリーンルームＲｔについても同様である。

【0073】

図７に示すように、還気ファンＶａ（第２ファン）が、クリーンルームＲｓからの還気を行う一方、クリーンルームＲｓからの排気を行わない場合において、給気ファンＵａ（第１ファン）の吸込側、及び還気ファンＶａ（第２ファン）の吹出側が、大部屋Ｒｏの空間（共通の空間）に連通している。

【0074】

制御装置６０（図５参照）は、給気ファンＵａ（第１ファン）及び還気ファンＶａ（第２ファン）のうち、圧力センサ３０ｓの検出値に基づいて制御するものと、一定速で制御するものと、を切替可能に構成されている。これによって、クリーンルームＲｓを陽圧室又は陰圧室として選択的に使用できる。なお、クリーンルームＲｓ，Ｒｔの室圧調整については、第１実施形態と同様であるから、説明を省略する。

【0075】

＜効果＞
第２実施形態によれば、大部屋Ｒｏの中にクリーンルームＲｓ，Ｒｔが設けられた構成でも、クリーンルームＲｓ，Ｒｔを陽圧室又は陰圧室として選択的に使用できるため、使用者にとって使い勝手のよい空調システムＳＡを提供できる。また、陽圧室又は陰圧室のクリーンルームを別途設ける場合に比べて、作業負担やコストを大幅に削減できる。

【0076】

≪変形例≫
以上、本発明に係る空調システムＳ，ＳＡについて各実施形態により説明したが、本発明はこれらの記載に限定されるものではなく、種々の変更を行うことができる。
例えば、各実施形態では、給気ファンＵａ（図５参照）又は還気ファンＶａ（図５参照）が一定速で制御される場合の回転速度の設定については特に言及しなかったが、次のようにしてもよい。すなわち、給気ファンＵａ（第１ファン）及び還気ファンＶａ（第２ファン）のうち、一定速で制御されるファンの風量が、クリーンルームＲｓの目標圧力に基づいて設定されるようにしてもよい。なお、一定速で制御されるファンの風量設定については、制御装置６０が行ってもよいし、また、入力手段（図示せず）を介したユーザの操作に基づいて行うようにしてもよい。
具体例を挙げると、給気ファンＵａを一定速で制御する場合、制御装置６０は、クリーンルームＲｓの目標圧力が高いほど、給気ファンＵａの風量が大きくなるように設定する。また、還気ファンＶａを一定速で制御する場合、制御装置６０は、クリーンルームＲｓの目標圧力が高いほど、還気ファンＶａの風量が小さくなるように設定する。これによって、クリーンルームＲｓを陽圧室又は陰圧室として用いる際、室圧を目標圧力に近づけやすくなる。

【0077】

また、各実施形態では、クリーンルームＲｓ（図４参照）を陽圧室として使用する場合、制御装置６０が、給気ファンＵａを一定速で駆動させつつ、還気ファンＶａを室圧に基づく可変速とする場合について説明したがこれに限らない。すなわち、使用条件によっては、クリーンルームＲｓを陽圧室として使用する場合、給気ファンＵａを室圧に基づく可変速で駆動させつつ、還気ファンＶａを一定速としたほうがよいこともある。

【0078】

また、各実施形態では、クリーンルームＲｓ（図４参照）を陰圧室として使用する場合、制御装置６０が、給気ファンＵａを室圧に基づく可変速で駆動させつつ、還気ファンＶａを一定速とする場合について説明したがこれに限らない。すなわち、使用条件によっては、クリーンルームＲｓを陰圧室として使用する場合、給気ファンＵａを一定速で駆動させつつ、還気ファンＶａを室圧に基づく可変速としたほうがよいこともある。

【0079】

また、第１実施形態と、第２実施形態と、を適宜に組み合わせることも可能である。例えば、第２実施形態で説明した還気ファンＶａ（図４参照）に代えて、クリーンルームＲｓ（図４参照）からの排気及び還気を行う還気ファン（図示せず）を設けるようにしてもよい。このように、還気ファン（第２ファン）が、クリーンルームＲｓからの排気及び還気を行う場合において、給気ファン（第１ファン）の吸込側、及び還気ファン（第２ファン）の吸込側は、それぞれ、大部屋Ｒｏの空間（共通の空間）に連通している。これによって、クリーンルームＲｓの清浄な空気の一部を大部屋Ｒｏの空間に戻しつつ、残りの空気を排気できる。また、前記した構成において、給気ファン（第１ファン）及び還気ファン（第２ファン）のうち、圧力センサ３０ｓの検出値に基づいて制御されるものと、一定速で制御されるものと、が切替可能であってもよい。これによって、クリーンルームＲｓを陽圧室又は陰圧室として選択的に使用できる。

【0080】

その他にも、例えば、第２実施形態で説明した還気ファンＶａに代えて、クリーンルームＲｓからの排気を行う排気ファン（図示せず）を設けるようにしてもよい。このような構成において、給気ファン（第１ファン）及び排気ファン（第２ファン）のうち、圧力センサ３０ｓの検出値に基づいて制御されるものと、一定速で制御されるものと、が切替可能であってもよい。これによって、クリーンルームＲｓを陽圧室又は陰圧室として選択的に使用できる。

【0081】

また、各実施形態では、一例として、空調システムＳ，ＳＡが再生医療施設に用いられる場合について説明したが、これに限らない。すなわち、工業品の製造や食品産業、医薬品の製造等、他の様々な分野にも実施形態を適用できる。

【0082】

また、各実施形態は本発明を分かりやすく説明するために詳細に記載したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されない。また、実施形態の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。
また、前記した機構や構成は説明上必要と考えられるものを示しており、製品上必ずしも全ての機構や構成を示しているとは限らない。

【符号の説明】

【0083】

Ｕ，Ｗ ファンフィルタユニット（第１ユニット）
Ｖ，Ｚ ファンフィルタユニット（第２ユニット）
Ｕａ，Ｗａ 給気ファン（第１ファン）
Ｕｂ，Ｗｂ フィルタ（第１フィルタ）
Ｖａ，Ｚａ 還気ファン（第２ファン）
１３ａ，１８ａ，２２ａ 排気ファン
３０ｓ，３０ｔ 圧力センサ
５０ エアハンドリングユニット
６０ 制御装置（制御部）
Ｃ チャンバ
ＡＬ１，ＡＬ２ エアロック
ＤＳ７，ＤＳ８ ダクトシャフト
Ｆ４，Ｆ５ フィルタユニット
Ｒ１ 着脱室
Ｒ２ １次更衣室
Ｒ３ 前処理室
Ｒ４，Ｒ５，Ｒ８，Ｒ９，Ｒ１１ 前室
Ｒ６ ２次更衣室
Ｒ７ 調製室
Ｒ１０ 脱衣室
Ｒｓ，Ｒｔ クリーンルーム
Ｒｏ 大部屋（所定の部屋）
Ｓ，ＳＡ 空調システム

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】