特許 7651503 パネル収納容器

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2025-03-17

(45)【発行日】2025-03-26

(54)【発明の名称】パネル収納容器

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20250318BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 T

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2022048369

(22)【出願日】2022-03-24

(65)【公開番号】P2023141839

(43)【公開日】2023-10-05

【審査請求日】2024-05-15

(73)【特許権者】

【識別番号】000190116

【氏名又は名称】信越ポリマー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100128381

【弁理士】

【氏名又は名称】清水 義憲

(74)【代理人】

【識別番号】100171583

【弁理士】

【氏名又は名称】梅景 篤

(72)【発明者】

【氏名】大貫 和正

【審査官】平野 崇

(56)【参考文献】

【文献】特開２００４－１４６５７８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－３２４６４０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－３３５７４３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－１２７２７２（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許第０６１８６３４４（ＵＳ，Ｂ１）

【文献】登録実用新案第３０３５５６９（ＪＰ，Ｕ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６７３

Ｈ０１Ｌ ２１／６８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数のパネルを第１方向に配列した状態で収納するための容器本体と、
前記容器本体の内側に設けられ、前記複数のパネルを支持するパネル支持部と、
を備え、
前記パネル支持部は、前記複数のパネルのうちの１枚のパネルを支持するための前記第１方向に交差する第２方向に延在しているシャフトと、導電性部材と、を備え、
前記容器本体は、前記シャフトを固定するための支柱を備え、
前記シャフトは、前記第２方向における両端部である第１端部及び第２端部を備え、
前記導電性部材は、前記第１端部に設けられ、前記シャフトと前記支柱とを電気的に接続し、
前記導電性部材の抵抗値は、前記シャフトの抵抗値及び前記支柱の抵抗値よりも大きい、パネル収納容器。

【請求項2】

前記支柱には、前記導電性部材が配置された嵌合穴が設けられており、
前記第１端部は、前記導電性部材を介して前記嵌合穴に嵌め合わされている、請求項１に記載のパネル収納容器。

【請求項3】

前記シャフトは、前記パネルを載置するための載置部と、前記載置部を前記第１方向において支持する土台部と、を備え、
前記載置部及び前記土台部は、前記第２方向に延在しており、
前記土台部の前記第１方向及び前記第２方向に交差する第３方向における最大長さは、前記載置部の前記第３方向における最大長さよりも大きい、請求項２に記載のパネル収納容器。

【請求項4】

前記第２方向から見て、前記導電性部材の外周面によって画定される形状の重心と前記外周面との最大距離は、前記嵌合穴の内周面によって画定される形状の重心と前記内周面との最小距離よりも大きく、
前記導電性部材は、前記土台部の前記第３方向における両端部と前記第１方向において当接するストッパ部を備える、
請求項３に記載のパネル収納容器。

【請求項5】

前記導電性部材は、樹脂材料で構成されている、請求項１～請求項４のいずれか一項に記載のパネル収納容器。

【請求項6】

前記パネル支持部は、前記シャフトを前記支柱に固定するための固定部材と、前記支柱と前記固定部材との間に設けられ、前記固定部材を前記支柱に取り付けるための受け部材と、を備え、
前記固定部材の抵抗値と前記受け部材の抵抗値との合計抵抗値は、前記導電性部材の抵抗値以上である、請求項１～請求項５のいずれか一項に記載のパネル収納容器。

【請求項7】

前記固定部材は、金属材料で構成されており、
前記受け部材は、絶縁材料で構成されている、請求項６に記載のパネル収納容器。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、パネル収納容器に関する。

【背景技術】

【0002】

液晶パネル用ガラス基板等のパネルを扱う製造工程において、矩形形状のパネルを製造装置から別工程の製造装置に移送する際、及びパネルを一時的に保管する際に、複数のパネルを収納するパネル収納容器が用いられる。例えば、特許文献１には、パネルを収納する容器本体と、容器本体に設けられた開口部を開閉自在に覆う蓋体と、を備えるパネル収納容器が記載されている。このパネル収納容器の内部には、１枚のパネルの中央下面を支持する長尺のサポート部材（シャフト）が設けられている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１９－３１２９７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載のパネル収納容器では、シャフトは容器本体に設けられている支柱に固定されており、シャフト及び支柱は導電性を有する材料で構成されている。支柱は、容器本体の底面に設けられた位置決め部を介して、外部装置のアースに電気的に接続されている。この場合、例えばパネル収納容器に収納されたパネルが帯電していたとすると、該パネルとシャフトとが接触した際に、静電気放電（ＥＳＤ）が発生するおそれがある。一方で、静電気放電の発生を抑制するためにシャフト及び支柱を導電性の低い材料で構成した場合、パネルが除電されないおそれがある。

【0005】

本開示は、静電気放電の発生を抑制しつつ、パネルを除電可能なパネル収納容器を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示の一側面に係るパネル収納容器は、複数のパネルを第１方向に配列した状態で収納するための容器本体と、容器本体の内側に設けられ、複数のパネルを支持するパネル支持部と、を備える。パネル支持部は、複数のパネルのうちの１枚のパネルを支持するための第１方向に交差する第２方向に延在しているシャフトと、導電性部材と、を備える。容器本体は、シャフトを固定するための支柱を備える。シャフトは、第２方向における両端部である第１端部及び第２端部を備える。導電性部材は、第１端部に設けられ、シャフトと支柱とを電気的に接続している。導電性部材の抵抗値は、シャフトの抵抗値及び支柱の抵抗値よりも大きい。

【0007】

このパネル収納容器では、導電性部材が、シャフトと支柱とを電気的に接続している。導電性部材の抵抗値は、シャフトの抵抗値及び支柱の抵抗値より大きい。したがって、シャフトが支柱に直接接続されている構成と比較して、シャフトから支柱に至る経路の抵抗値が大きくなる。これにより、シャフトにパネルが載置された際の静電気放電の発生を抑制することができる。一方、導電性部材は導電性を有するので、シャフトに載置されたパネルから、シャフト、導電性部材、及び支柱の順に電気が流れ得る。したがって、パネルを除電することができる。以上のことから、静電気放電の発生を抑制しつつ、パネルを除電することが可能となる。

【0008】

いくつかの実施形態では、支柱には、導電性部材が配置された嵌合穴が設けられていてもよい。第１端部は、導電性部材を介して嵌合穴に嵌め合わされていてもよい。この場合、第１端部が導電性部材を介して嵌合穴に嵌め合わされた状態でシャフトが支柱に固定されるので、シャフトを支柱に確実に固定することができる。

【0009】

いくつかの実施形態では、シャフトは、パネルを載置するための載置部と、載置部を第１方向において支持する土台部と、を備えていてもよい。載置部及び土台部は、第２方向に延在していてもよい。土台部の第１方向及び第２方向に交差する第３方向における最大長さは、載置部の第３方向における最大長さよりも大きくてもよい。シャフトの自重による撓み量は、シャフトの断面積に比例し、シャフトの断面二次モーメントに反比例する。シャフトの断面が水平方向に拡張された場合、断面二次モーメントの増加量が断面積の増加量を上回る。したがって、シャフトを鉛直方向に拡張することなく、シャフトの自重による撓み量を低減することができる。その結果、パネル収納容器にパネルが搬入される際、又はパネル収納容器からパネルが搬出される際に、パネルがシャフトと干渉する可能性を低減することができる。

【0010】

いくつかの実施形態では、第２方向から見て、導電性部材の外周面によって画定される形状の重心と外周面との最大距離は、嵌合穴の内周面によって画定される形状の重心と内周面との最小距離よりも大きくてもよい。導電性部材は、土台部の第３方向における両端部と第１方向において当接するストッパ部を備えていてもよい。この場合、導電性部材の軸線回りに力が加わった場合でも、導電性部材の上記最大距離を有する部分が、嵌合穴の内周面に引っかかる。これにより、嵌合穴に対して、導電性部材が軸線回りに回転することが防止される。さらに、シャフトの軸線回りに力が加わったとしても、導電性部材のストッパ部とシャフトの土台部とが第１方向において当接するので、導電性部材に対して、シャフトがシャフトの軸線回りに回転することが防止される。したがって、嵌合穴に対して、シャフトがシャフトの軸線回りに回転することを防止することができる。

【0011】

いくつかの実施形態では、導電性部材は、樹脂材料で構成されていてもよい。この場合、シャフトの抵抗値及び支柱の抵抗値より大きい抵抗値を有する導電性部材を簡易に実現することができる。

【0012】

いくつかの実施形態では、パネル支持部は、シャフトを支柱に固定するための固定部材と、支柱と固定部材との間に設けられ、固定部材を支柱に取り付けるための受け部材と、を備えていてもよい。固定部材の抵抗値と受け部材の抵抗値との合計抵抗値は、導電性部材の抵抗値以上であってもよい。この場合、シャフトから支柱に至る経路は、シャフトから、導電性部材を通って支柱に至る経路と、シャフトから、固定部材及び受け部材を順に通って支柱に至る経路と、を含む。固定部材の抵抗値と受け部材の抵抗値との合計抵抗値が導電性部材の抵抗値より大きいので、シャフトから、固定部材及び受け部材を順に通って支柱に至る経路には、電流が流れがたい。したがって、シャフトから導電性部材を通って支柱に至る経路に電流が流れるので、シャフトと支柱との間の導電性を導電性部材によって調整することができる。その結果、静電気放電の発生をより確実に抑制することができる。

【0013】

いくつかの実施形態では、固定部材は、金属材料で構成されていてもよい。受け部材は、絶縁材料で構成されていてもよい。この場合、導電性部材の抵抗値よりも大きい合成抵抗値を有する固定部材及び受け部材を簡易に実現することができる。

【発明の効果】

【0014】

本開示によれば、静電気放電の発生を抑制しつつ、パネルを除電することができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】図１は、一実施形態に係るパネル収納容器の分解斜視図である。

【図2】図２は、図１のＩＩ－ＩＩ線に沿った断面図である。

【図3】図３は、図２に示される支持部及び支柱の分解斜視図である。

【図4】図４は、図２のＩＶ－ＩＶ線に沿った断面図である。

【図5】図５は、図２のＶ－Ｖ線に沿った断面図である。

【図6】図６は、図５のＶＩ－ＶＩ線に沿った断面図である。

【図7】図７は、図５のＶＩＩ－ＶＩＩ線に沿った断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下、図面を参照しながら本開示の実施形態が詳細に説明される。なお、図面の説明において同一要素には同一符号が付され、重複する説明は省略される。各図には、ＸＹＺ座標系が示される。Ｙ軸方向は、Ｘ軸方向及びＺ軸方向と交差（ここでは、直交）する方向である。Ｚ軸方向は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向と交差（ここでは、直交）する方向である。一例として、Ｘ軸方向は、左右方向（幅方向；第３方向）であり、Ｙ軸方向は、前後方向（奥行方向；第２方向）であり、Ｚ軸方向は、上下方向（高さ方向；第１方向）である。説明の便宜上、「前」、「後」、「上」、「下」、「左」、及び「右」の用語が用いられるが、これらの方向に限定されない。

【0017】

図１を参照して、一実施形態に係るパネル収納容器を説明する。図１は、一実施形態に係るパネル収納容器の分解斜視図である。図１に示されるパネル収納容器１は、複数のパネルを収納するための容器である。パネル収納容器１は、例えば、ＳＥＭＩ（Semiconductor Equipment and Materials International）規格に準拠している。パネルの例としては、液晶パネル用のガラス基板、及び電子部品を搭載したパネルが挙げられる。パネルは、矩形形状を有する。パネルのサイズの例としては、５１０ｍｍ×５１５ｍｍ及び６００ｍｍ×６００ｍｍが挙げられる。パネル収納容器１に収納可能なパネルの枚数は、任意に定められており、例えば、６枚でもよく、１２枚でもよく、１６枚でもよく、２４枚でもよい。

【0018】

パネル収納容器１は、例えば、電子部品アセンブリを製造する製造装置に使用される。電子部品アセンブリは、例えば、ガラス板及びステンレス板といった大型のキャリアパネル上に多数の電子部品を搭載する工程、これらの電子部品をエポキシ樹脂等で封止する工程、封止された電子部品をパネル形態でキャリアパネルから剥がす工程、及びパネル形態の電子部品を個別に切り出す工程等を経て製造される。パネル収納容器１は、これらの工程間でパネルを移送するために用いられる。

【0019】

パネル収納容器１は、容器本体２と、蓋体３と、を備えている。

【0020】

容器本体２は、正面（前面）が開放された直方体形状の容器である。言い換えると、容器本体２は、前面に開口２ａが設けられたフロントオープンボックス型の容器である。容器本体２は、複数のパネルを収納する。具体的には、容器本体２は、複数のパネルを上下方向に配列した状態で収納する。開口２ａを介してパネルが容器本体２に出し入れされる。容器本体２の詳細は後述する。

【0021】

蓋体３は、容器本体２の開口２ａを閉塞するための部材である。蓋体３は、ガスケット等の封止部材を介して容器本体２の開口２ａを気密に閉塞する。蓋体３は、開口２ａを画定するフランジ２５に着脱自在に取り付けられる。蓋体３は、蓋本体３１と、施錠機構３２と、を備えている。蓋本体３１は、蓋体３の本体部分である。蓋本体３１は、矩形状の板材である。蓋本体３１は、例えば、アルミニウム及びマグネシウム合金等の金属材料で構成されている。蓋本体３１は、ポリカーボネート樹脂等の熱可塑性樹脂で構成されてもよい。蓋本体３１の前面には、鍵穴３３が設けられている。鍵穴３３には、不図示の鍵が挿入される。

【0022】

施錠機構３２は、鍵穴３３に挿入された鍵が操作されることによって、蓋体３を施錠又は解錠する。施錠機構３２は、不図示のラッチを備えている。蓋体３がフランジ２５に取り付けられた状態で、鍵の操作によりラッチがフランジ２５に設けられた施錠穴２５ｈに嵌入されることによって蓋体３が施錠される。蓋体３が施錠されている状態で、鍵の操作によりラッチが施錠穴２５ｈから引き抜かれることよって蓋体３が解錠される。

【0023】

容器本体２及び蓋体３は、金属材料又は樹脂材料で成形される複数の部品を組み合わせることによって構成される。樹脂材料の成形材料に含まれる樹脂の例としては、熱可塑性樹脂が挙げられる。熱可塑性樹脂の例としては、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、液晶ポリマー、ポリメタクリル酸メチル等のアクリル樹脂、及びアクリロニトリルブタジエンスチレン共重合体が挙げられる。樹脂材料の成形材料に含まれる樹脂として、これらのアロイが用いられてもよい。

【0024】

これらの樹脂には、導電物質、及び各種帯電防止剤が添加されてもよい。導電物質は、例えば、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、又は導電性ポリマー等からなる。帯電防止剤としては、アニオン系、カチオン系、及び非イオン系等の帯電防止剤が用いられ得る。ベンゾトリアゾール系、サリシレート系、シアノアクリレート系、オキザリックアシッドアニリド系、及びヒンダードアミン系の紫外線吸収剤が添加されてもよい。剛性を向上させるガラス繊維又は炭素繊維等も選択的に添加されてもよい。

【0025】

次に、容器本体２を詳細に説明する。容器本体２は、天板２１と、底板２２と、一対の側壁２３と、背面壁２４と、フランジ２５と、枠体２６と、台座部２７と、サイドプレート２８と、を備えている。

【0026】

天板２１、底板２２、側壁２３、及び背面壁２４は、矩形状の板材である。天板２１と底板２２とは、上下方向において互いに向かい合っており、略平行に配置されている。一対の側壁２３は、左右方向において互いに向かい合っており、略平行に配置されている。背面壁２４は、天板２１の後端と底板２２の後端とを連結するとともに、一対の側壁２３の後端を連結している。天板２１、底板２２、一対の側壁２３、及び背面壁２４によって、収容空間２０が画定される。

【0027】

天板２１、底板２２、及び側壁２３は、例えば、アルミニウム及びステンレス等の金属材料によって構成されている。背面壁２４は、例えば、容器本体２の外部から収容空間２０を目視可能な透明の樹脂材料によって構成されている。背面壁２４の一部が透明の樹脂材料で構成されてもよい。透明な樹脂材料の例としては、アクリル樹脂、ポリカーボネート、塩化ビニル樹脂、及びシクロオレフィンポリマーが挙げられる。

【0028】

フランジ２５は、矩形状の枠体であって、天板２１の前端、底板２２の前端、及び一対の側壁２３の前端にわたって設けられている。フランジ２５によって、開口２ａが画定される。フランジ２５は、例えば、上述の樹脂材料又はアルミニウム及びステンレス等の金属材料によって構成されている。フランジ２５の上枠部及び下枠部のそれぞれには、左右方向に離間して配列された２つの施錠穴２５ｈが設けられている。上枠部の施錠穴２５ｈと下枠部の施錠穴２５ｈとは上下方向において互いに向かい合う位置に設けられている。

【0029】

枠体２６は、天板２１、底板２２、一対の側壁２３、及び背面壁２４を固定するために用いられる。枠体２６は、例えば、アルミニウム及びステンレス等の金属材料によって構成されている。枠体２６は、背面壁２４の前面に設けられる。枠体２６は、枠部２６ａ（図２参照）と、支柱２６ｂ（図２参照）と、一対の支柱２６ｃ（図２参照）と、を有している。枠部２６ａは、矩形状の部材であって、背面壁２４の周縁に沿って設けられている。

【0030】

支柱２６ｂ及び一対の支柱２６ｃは、上下方向に延在する柱状部材である。一方の支柱２６ｃ、支柱２６ｂ、及び他方の支柱２６ｃは、左右方向においてその順に配列され、互いに略平行に配置されている。支柱２６ｂ及び一対の支柱２６ｃは、枠部２６ａの上枠部から下枠部まで延在している。支柱２６ｂは、枠体２６の左右方向における中心に設けられ、一対の支柱２６ｃは、枠体２６の左右方向における両端近傍に設けられる。

【0031】

支柱２６ｂは、後述するシャフト６１ａを固定するための部材である。支柱２６ｂには、シャフト６１ａを取り付けるための複数の嵌合穴２６ｇ（図３参照）が設けられている。これらの嵌合穴２６ｇは、支柱２６ｂの前面２６ｊから後方に向けて窪んでいる。支柱２６ｃは、後述するシャフト６２ａを固定するための部材である。支柱２６ｃには、シャフト６２ａを取り付けるための不図示の複数の嵌合穴が設けられている。これらの嵌合穴は、支柱２６ｃの前面から後方に向けて窪んでいる。支柱２６ｂの抵抗値は、例えば、１×１０^－１Ω以上１×１０^１Ω以下である。

【0032】

台座部２７は、容器本体２のベースとなる部分である。台座部２７は、例えば、アルミニウム及びステンレス等の金属材料によって構成されている。台座部２７は、底板２２の下面に設けられる。台座部２７は、複数の柱状の支持部材を組み合わせることによって構成されている。

【0033】

サイドプレート２８は、後述の支持体６５を取り付けるための部材である。サイドプレート２８は、上下方向に延在する板状部材である。サイドプレート２８は、例えば、アルミニウム及びステンレス等の金属材料によって構成されている。サイドプレート２８は、側壁２３の外面に設けられる。本実施形態では、各側壁２３に２つのサイドプレート２８が設けられる。２つのサイドプレート２８は、前後方向に配列され、互いに略平行に配置されている。１つのサイドプレート２８は、側壁２３の前後方向における中心付近に設けられ、もう１つのサイドプレート２８は、側壁２３の前後方向における前端近傍に設けられる。

【0034】

容器本体２の角部には、収容空間２０へのパーティクル（粒子）の侵入を防止するためのカバー部材が設けられている。

【0035】

次に、図２を参照して、収容空間２０内の構成を説明する。図２は、図１のＩＩ－ＩＩ線に沿った断面図である。図２に示されるように、パネル収納容器１は、パネル支持部６０を更に備えている。パネル支持部６０は、複数のパネルを支持するための部分である。パネル支持部６０は、容器本体２の内部（収容空間２０）に設けられている。パネル支持部６０は、複数の支持部６１と、複数の支持部６２と、複数のストッパ６３と、複数のストッパ６４と、を備えている。

【0036】

支持部６１、支持部６２、ストッパ６３、及びストッパ６４の数は、パネル収納容器１に収納可能なパネルの枚数に応じて変更される。本実施形態では、パネル支持部６０は、１枚のパネル当たり、１つの支持部６１と、２つの支持部６２と、２つのストッパ６３と、２つのストッパ６４と、を備えている。言い換えると、１つの支持部６１と、２つの支持部６２と、２つのストッパ６３と、２つのストッパ６４とによって、１枚のパネルを収納する収納段が形成される。

【0037】

支持部６１は、パネルの左右方向における中央部を支持するための部分である。支持部６１は、シャフト６１ａと、導電性部材６１ｂと、を備えている。シャフト６１ａは、前後方向に延在する部材である。シャフト６１ａは、１枚のパネルを支持するために用いられる。シャフト６１ａは、シャフト６１ａの延在方向（前後方向）における両端部である端部６１ｃ（第１端部；図３参照）及び端部６１ｄ（第２端部；図３参照）を有している。シャフト６１ａは、例えば、曲げ剛性の高い材料によって構成されている。シャフト６１ａの構成材料の例として、ステンレス及びアルミニウム等の金属、並びにカーボン繊維強化プラスチックが挙げられる。シャフト６１ａの抵抗値は、例えば、１×１０^－１Ω以上１×１０^１Ω以下である。シャフト６１ａの形状及びシャフト６１ａが支柱２６ｂに固定される態様については、後述する。

【0038】

導電性部材６１ｂは、シャフト６１ａと支柱２６ｂとを電気的に接続する部材である。導電性部材６１ｂは、前端が開放された前後方向に延在する筒状の形状を有する。導電性部材６１ｂは、端部６１ｃに設けられ、シャフト６１ａの軸線回りに端部６１ｃを囲んでいる。具体的には、導電性部材６１ｂは、支柱２６ｂの嵌合穴２６ｇに嵌め合わされており、導電性部材６１ｂの内部空間に端部６１ｃを嵌め合わせることによって端部６１ｃを保持する。導電性部材６１ｂは、例えば、導電性を有する樹脂材料で構成される。このような樹脂材料は、カーボン等の導電性物質を含んでいる。導電性部材６１ｂの抵抗値は、シャフト６１ａの抵抗値及び支柱２６ｂの抵抗値よりも大きい。導電性部材６１ｂの抵抗値は、例えば、１×１０^４Ω以上１×１０^９Ω以下である。

【0039】

支持部６２は、パネルの左右方向の両端部を支持するための部分である。支持部６２は、シャフト６２ａと、複数の弾性体６２ｂと、複数の支持体６５と、を有している。シャフト６２ａは、前後方向に延在する柱状（例えば、円柱状）の部材である。シャフト６２ａは、１枚のパネルを支持するために用いられる。シャフト６２ａは、シャフト６２ａの延在方向（前後方向）における両端部である端部６２ｃ及び端部６２ｄを有している。シャフト６２ａの端部６２ｃが支柱２６ｃの嵌合穴に嵌入され、ネジによって支柱２６ｃに固定される。

【0040】

シャフト６２ａは、例えば、曲げ剛性の高い材料によって構成されている。シャフト６２ａの構成材料の例として、ステンレス及びアルミニウム等の金属、並びにカーボン繊維強化プラスチックが挙げられる。シャフト６２ａの前後方向における長さは、パネルの前後方向における長さよりも僅かに長く、シャフト６１ａの前後方向における長さよりも長い。シャフト６１ａと一対のシャフト６２ａとは、左右方向に配列されている。一対のシャフト６２ａの間に、シャフト６１ａが配置されている。

【0041】

弾性体６２ｂは、シャフト６２ａの軸線回りにシャフト６２ａを囲むように設けられた環状（例えば、円環状）の部材である。弾性体６２ｂは、シャフト６２ａの表面に沿って設けられる。弾性体６２ｂは、パネルの滑りを抑え、パネルの位置決め精度を向上させるために設けられる。パネルの滑り防止の観点から、弾性体６２ｂは、シャフト６２ａよりも高い摩擦性（摩擦力）を有してもよい。パネルの損傷防止の観点から、弾性体６２ｂは、シャフト６２ａよりも高い弾力性（クッション性）を有してもよい。弾性体６２ｂは、例えば、ゴム材によって構成される。ゴム材の例としては、ＥＰＤＭ（エチレンプロピレンジエンゴム）、シリコーンゴム、及びフッ素ゴムが挙げられる。複数の弾性体６２ｂは、シャフト６２ａの延在方向に一定の間隔で配列されている。

【0042】

支持体６５は、シャフト６２ａを保持（支持）するとともに、パネルの左右方向における端部を支持するための部材である。支持体６５の先端部分には、支持体６５を前後方向に貫通する挿通孔が設けられており、シャフト６２ａが挿通孔を挿通している。支持体６５は、支持体６５の基端から先端に向かうにつれて下方に傾斜する傾斜面を有している。

【0043】

支持体６５の基端部分が側壁２３の内面に当接され、ノックピン（不図示）によってサイドプレート２８、側壁２３、及び支持体６５が位置決めされる。この状態で、サイドプレート２８の外側からサイドプレート２８に設けられた挿通孔にネジが挿通され、支持体６５の基端部分に設けられたネジ穴にネジが螺合される。これにより、支持体６５とサイドプレート２８とによって側壁２３を挟み込んだ状態で、支持体６５がサイドプレート２８に固定される。

【0044】

ストッパ６３は、パネルの飛び出しを防止するとともにパネルの前端の位置を決めるための部材である。ストッパ６３は、例えば、上述の樹脂材料で構成されている。ストッパ６３は、シャフト６２ａの端部６２ｄに設けられている。例えば、シャフト６２ａの端部６２ｄをストッパ６３に設けられた取付穴に嵌入することによって、ストッパ６３がシャフト６２ａに取り付けられる。ストッパ６３は、弾性体６２ｂの外径よりも大きい外径を有する円板状の係止片６３ａを有している。係止片６３ａは、外周面から中心に向かうにつれて後方に傾斜する傾斜面を有している。

【0045】

ストッパ６４は、パネルの後端の位置を決めるための部材である。ストッパ６４は、例えば、上述の樹脂材料で構成されている。ストッパ６４は、シャフト６２ａの端部６２ｃに設けられている。ストッパ６４は、ブロック状の形状を有している。ストッパ６４には、前後方向にシャフト６２ａを挿通するための挿通孔が設けられている。ストッパ６４の挿通孔にシャフト６２ａが挿通された状態で、ストッパ６４の後面が支柱２６ｃの前面に当接され、ネジによってストッパ６４が支柱２６ｃに固定される。ストッパ６４は、上面から下方に向かうにつれて前方に傾斜する傾斜面を有している。

【0046】

ストッパ６３、ストッパ６４、及び支持体６５によって、パネルが載置される載置位置が規定される。具体的には、ストッパ６３，６４によってパネルの前後方向における載置位置が規定され、左右に設けられた４つの支持体６５によってパネルの左右方向における載置位置が規定される。例えば、ロボットによってパネルが収容空間２０に搬入され、いずれかの収納段にパネルが載置される。このとき、誤差等によってパネルの位置が僅かにずれることがある。例えば、パネルの前端がストッパ６３の係止片６３ａの傾斜面上に乗り上げたとしても、パネルの自重によって当該傾斜面に沿って載置位置に誘導される。同様に、パネルの後端がストッパ６４の傾斜面上に乗り上げたとしても、パネルの自重によって当該傾斜面に沿って載置位置に誘導される。同様に、パネルの側端が支持体６５の傾斜面上に乗り上げたとしても、パネルの自重によって当該傾斜面に沿って載置位置に誘導される。

【0047】

次に、図３及び図４を参照して、シャフト６１ａの形状を説明する。図３は、図２に示される支持部及び支柱の分解斜視図である。図４は、図２のＩＶ－ＩＶ線に沿った断面図である。

【0048】

図３に示されるように、シャフト６１ａは、端部６１ｃと、露出部６１ｅと、を有している。端部６１ｃは、例えば、前後方向に延在する円柱状の形状を有する。上述のように、端部６１ｃは、支柱２６ｂの嵌合穴２６ｇに嵌入されるので、支柱２６ｂから露出していない。露出部６１ｅは、シャフト６１ａのうちの端部６１ｃを除く部分であって、支柱２６ｂから露出している部分である。露出部６１ｅは、端部６１ｃと前後方向において連なっており、端部６１ｄを含む。露出部６１ｅの形状は、端部６１ｃの形状と異なる。

【0049】

具体的に説明すると、図４に示されるように、露出部６１ｅは、載置部７１と、土台部７２と、を備えている。載置部７１及び土台部７２は、露出部６１ｅの前後方向における全体にわたって延在している。載置部７１は、シャフト６１ａに支持される１枚のパネルが載置される部材である。載置部７１は、土台部７２と接する下面を有しており、載置部７１には、当該下面とは上下方向において反対側にパネルが載置される。載置部７１は、前後方向に延在する柱形状を有している。本実施形態では、載置部７１は、前後方向から見て、円から弓形が欠落した欠円形状を有している。載置部７１は、前後方向に延在する円柱形状を有していてもよい。載置部７１は、左右方向における最大長さ（最大幅）Ｌ１を有している。

【0050】

土台部７２は、載置部７１を上下方向に支持する部材である。土台部７２は、シャフト６１ａの自重撓みを低減するために設けられる。土台部７２は、前後方向に延在する柱形状を有している。本実施形態では、土台部７２は、前後方向から見て、左右方向に長辺を有する矩形に、矩形の上辺から上方に突出する台形を組み合わせた六角形状を有している。土台部７２の上面には、載置部７１が嵌め合わされる溝が設けられている。土台部７２の下角部には、面取りが施されている。土台部７２は、左右方向における最大長さ（最大幅）Ｌ２を有している。土台部７２の最大幅Ｌ２は、載置部７１の最大幅Ｌ１よりも大きい。土台部７２の左右方向における長さは、土台部７２の下端において最大幅Ｌ２を有し、土台部７２の下端から上方向に向かうにしたがって、小さくなる。

【0051】

本実施形態では、載置部７１は、土台部７２にネジによって固定されているが、接着又は溶接によって固定されていてもよい。あるいは、載置部７１と土台部７２とは、露出部６１ｅとして一体的に構成されていてもよい。

【0052】

次に、図３及び図５を参照して、シャフト６１ａが支柱２６ｂに固定される態様を説明する。図５は、図２のＶ－Ｖ線に沿った断面図である。

【0053】

図５に示されるように、導電性部材６１ｂは、支柱２６ｂの嵌合穴２６ｇに配置されている。具体的には、導電性部材６１ｂは、前方に開口が位置するように、嵌合穴２６ｇに嵌め合わされている。導電性部材６１ｂは、嵌入部６１ｆと、ストッパ部６１ｇと、を備えている。

【0054】

嵌入部６１ｆは、嵌合穴２６ｇに嵌め合わされる部分である。本実施形態では、嵌入部６１ｆは、一端が開放された円筒形状を有している。嵌入部６１ｆの他端には、後述の固定部材８１の軸部８１ｂが挿通可能な貫通孔が設けられている。嵌入部６１ｆの外周面は、前後方向から見て矩形の角部を丸めた形状を有している。

【0055】

ストッパ部６１ｇは、シャフト６１ａの回り止めとして機能する部分である。ストッパ部６１ｇは、前後方向から見て円弧状の形状を有し、前後方向に延在している。ストッパ部６１ｇは、嵌入部６１ｆと前後方向において連なっており、導電性部材６１ｂが嵌合穴２６ｇに嵌め合わされた状態で、支柱２６ｂの前面２６ｊから前方に突出している。ストッパ部６１ｇは、土台部７２の左右方向における両端部と上下方向において当接する。

【0056】

支持部６１は、受け部材８０と、固定部材８１と、を更に備えている。固定部材８１は、シャフト６１ａを支柱２６ｂに固定するための部材である。固定部材８１として、例えば、ボルトが用いられる。固定部材８１は、頭部８１ａと、軸部８１ｂと、を備えている。固定部材８１は、例えば、金属材料で構成されている。固定部材８１の構成材料の例としては、ステンレス及びアルミニウムが挙げられる。固定部材８１の抵抗値は、例えば、１×１０^－１Ω以上１×１０^１Ωである。

【0057】

受け部材８０は、支柱２６ｂと固定部材８１との間に設けられ、固定部材８１を支柱２６ｂに取り付けるための部材である。本実施形態では、受け部材８０は、カップ状の形状を有し、固定部材８１の頭部８１ａを収容する。受け部材８０の底板には、固定部材８１の軸部８１ｂが挿通可能な貫通孔が設けられている。受け部材８０は、支柱２６ｂの後面２６ｉに設けられている座繰り２６ｋに配置される。座繰り２６ｋは、固定部材８１の頭部８１ａを収容するための穴であって、支柱２６ｂの後面２６ｉから前方に向けて窪んでいる。座繰り２６ｋと嵌合穴２６ｇとは、連通孔２６ｍによって前後方向に連なっている。連通孔２６ｍの内径は、固定部材８１の軸部８１ｂの外径よりも大きい。受け部材８０は、例えば、絶縁材料で構成されている。受け部材８０の構成材料の例としては、ポリアセタール及びポリカーボネートが挙げられる。受け部材８０の抵抗値は、例えば、１×１０^１２Ω以上１×１０^１４Ω以下である。受け部材８０の抵抗値と固定部材８１の抵抗値との合計抵抗値は、導電性部材６１ｂの抵抗値以上である。

【0058】

導電性部材６１ｂが、前方に開口が位置するように嵌合穴２６ｇに嵌め合わされ、端部６１ｃが嵌入部６１ｆの内部空間に挿通されることで、端部６１ｃが導電性部材６１ｂに嵌め合わされる。すなわち、端部６１ｃは導電性部材６１ｂを介して嵌合穴２６ｇに嵌め合わされる。そして、座繰り２６ｋに受け部材８０が嵌め合わされた後、受け部材８０の貫通孔、連通孔２６ｍ、及び嵌入部６１ｆの貫通孔に固定部材８１の軸部８１ｂが挿通され、端部６１ｃの後面に設けられたネジ穴に固定部材８１の軸部８１ｂが螺合される。このとき、固定部材８１の頭部８１ａは、受け部材８０に収容される。これにより、シャフト６１ａは、支柱２６ｂに固定される。なお、軸部８１ｂの外径は挿通穴２６ｋの内径よりも小さいので、シャフト６１ａが支柱２６ｂに固定されている状態において、軸部８１ｂは支柱２６ｂと接触していない。

【0059】

次に、図６及び図７を参照して、回り止め構造を説明する。図６は、図５のＶＩ－ＶＩ線に沿った断面図である。図７は、図５のＶＩＩ－ＶＩＩ線に沿った断面図である。

【0060】

図６に示されるように、導電性部材６１ｂの外周面によって画定される形状の重心Ｇ１と導電性部材６１ｂの外周面との最大距離Ｌ３は、嵌合穴２６ｇの内周面によって画定される形状の重心Ｇ２と嵌合穴２６ｇの内周面との最小距離Ｌ４よりも大きい。本実施形態では、重心Ｇ１の位置と重心Ｇ２の位置とは、前後方向から見て、一致している。導電性部材６１ｂの外周面によって画定される形状の具体的な形状は、限定されない。導電性部材６１ｂの外周面によって画定される形状は、例えば、多角形状であってもよく、扁平形状であってもよい。

【0061】

図７に示されるように、導電性部材６１ｂのストッパ部６１ｇは、土台部７２の左右方向における両端部と上下方向に当接している。土台部７２の上記両端部の上面が、ストッパ部６１ｇと上下方向に当接している。ストッパ部６１ｇは、載置部７１とも上下方向に当接している。具体的には、ストッパ部６１ｇの内周面が、載置部７１と上下方向に当接している。したがって、ストッパ部６１ｇは、載置部７１及び土台部７２を上から覆うように、土台部７２の上記両端部と上下方向に当接している。

【0062】

この構成では、導電性部材６１ｂの軸線回りに力が加わった場合、導電性部材６１ｂのうち重心Ｇ１から最大距離Ｌ３を有する部分が、嵌合穴２６ｇの内周面に引っかかる。これにより、上記軸線回りに力が加わった場合でも、嵌合穴２６ｇに対して、導電性部材６１ｂが上記軸線回りに回転することが防止される。すなわち、導電性部材６１ｂは、支柱２６ｂに対して、上記軸線回りの回転が規制されている。さらに、シャフト６１ａの軸線回りに力が加わった場合でも、ストッパ部６１ｇと土台部７２の左右方向における両端部とが上下方向において当接しているので、シャフト６１ａが上記軸線回りに回転することが防止される。導電性部材６１ｂは、上述したように、嵌合穴２６ｇ（支柱２６ｂ）に対して軸線回りに回転することが防止されているので、シャフト６１ａは支柱２６ｂに対しても上記軸線回りに回転することが防止される。

【0063】

以上説明したように、パネル収納容器１では、シャフト６１ａの端部６１ｃが、導電性部材６１ｂを介して、嵌合穴２６ｇに嵌め合わされる。導電性部材６１ｂは、シャフト６１ａと支柱２６ｂとを電気的に接続しており、導電性部材６１ｂの抵抗値は、シャフト６１ａの抵抗値及び支柱２６ｂの抵抗値よりも大きい。したがって、シャフト６１ａが、導電性部材６１ｂを介さず、支柱２６ｂに直接接続されている構成と比較して、シャフト６１ａから支柱２６ｂに至る経路の抵抗値が大きくなる。これにより、シャフト６１ａにパネルが載置された際の静電気放電の発生を抑制することができる。一方、導電性部材６１ｂは導電性を有するので、シャフト６１ａに載置されたパネルから、シャフト６１ａ、導電性部材６１ｂ、及び支柱２６ｂの順に電気が流れ得る。したがって、パネルを除電することができる。以上のことから、シャフト６１ａの抵抗値及び支柱２６ｂの抵抗値より大きい抵抗値を有する導電性部材６１ｂをシャフト６１ａと支柱２６ｂとの間に介在させることで、静電気放電の発生を抑制しつつ、パネルを除電することができる。

【0064】

パネル収納容器１では、支柱２６ｂには、導電性部材６１ｂが配置された嵌合穴２６ｇが設けられている。端部６１ｃは、導電性部材６１ｂを介して嵌合穴２６ｇに嵌め合わされている。具体的には、端部６１ｃは、導電性部材６１ｂの嵌入部６１ｆの内部空間に挿通されることで、嵌合穴２６ｇに嵌め合わされる。この構成によれば、端部６１ｃが導電性部材６１ｂを介して嵌合穴２６ｇに嵌め合わされた状態でシャフト６１ａが支柱２６ｂに固定される。したがって、シャフト６１ａを支柱２６ｂに確実に固定することができる。

【0065】

一般に、シャフトの自重による撓み量は、シャフトの断面積に比例し、シャフトの断面二次モーメントに反比例する。シャフトの断面が水平方向に拡張された場合、断面二次モーメントの増加量が断面積の増加量を上回る。パネル収納容器１では、土台部７２の最大幅Ｌ２は、載置部７１の最大幅Ｌ１よりも大きい。したがって、シャフト６１ａを鉛直方向に拡張することなく、シャフト６１ａの自重による撓み量を低減することができる。その結果、パネル収納容器１にパネルが搬入される際、又はパネル収納容器１からパネルが搬出される際に、パネルがシャフト６１ａと干渉する可能性を低減することができる。

【0066】

導電性部材６１ｂは、土台部７２の左右方向における両端部と上下方向において当接する。したがって、シャフト６１ａの軸線回りに力が加わったとしても、軸線回りの回転が防止された導電性部材６１ｂのストッパ部６１ｇとシャフト６１ａの土台部７２とが接触するため、導電性部材６１ｂに対して、シャフト６１ａの軸線回りの回転が防止される。さらに、前後方向から見て、導電性部材６１ｂの外周面によって画定される形状の重心Ｇ１と導電性部材６１ｂの外周面と最大距離Ｌ３は、嵌合穴２６ｇの内周面によって画定される形状の重心Ｇ２と嵌合穴２６ｇの内周面との最小距離Ｌ４よりも大きい。この構成によれば、導電性部材６１ｂの軸線回りに力が加わった場合、導電性部材６１ｂのうち重心Ｇ１から最大距離Ｌ３を有する部分が、嵌合穴２６ｇの内周面に引っかかる。これにより、嵌合穴２６ｇに対して、導電性部材６１ｂが上記軸線回りに回転することが防止される。すなわち、導電性部材６１ｂは、支柱２６ｂに対して、軸線回りの回転が防止されている。以上のことから、嵌合穴２６ｇ（支柱２６ｂ）に対して、シャフト６１ａがシャフト６１ａの軸線回りに回転することを防止することができる。

【0067】

導電性部材６１ｂは、樹脂材料で構成されてもよい。この場合、シャフト６１ａの抵抗値及び支柱２６ｂの抵抗値より大きい抵抗値を有する導電性部材６１ｂを簡易に実現することができる。

【0068】

パネル収納容器１では、シャフト６１ａから支柱２６ｂに至る経路は、シャフト６１ａから、導電性部材６１ｂを通って支柱２６ｂに至る経路と、シャフト６１ａから、固定部材８１及び受け部材８０を順に通って支柱２６ｂに至る経路と、を含む。固定部材８１の抵抗値と受け部材８０の抵抗値との合計抵抗値が導電性部材６１ｂの抵抗値より大きいので、シャフト６１ａから、固定部材８１及び受け部材８０を順に通って支柱２６ｂに至る経路には、電流が流れがたい。さらに、シャフト６１ａが支柱２６ｂに固定されている状態において、固定部材８１の軸部８１ｂは支柱２６ｂと接していないので、軸部８１ｂを介して、支柱２６ｂの内部に、電流が流れがたい。したがって、シャフト６１ａから導電性部材６１ｂを通って支柱２６ｂに至る経路に主に電流が流れるので、シャフト６１ａと支柱２６ｂとの間の導電性を導電性部材６１ｂによって調整することができる。その結果、静電気放電の発生をより確実に抑制することができる。

【0069】

固定部材８１は金属材料で構成されてもよく、受け部材８０は絶縁材料で構成されてもよい。この場合、固定部材８１の抵抗値と受け部材８０の抵抗値との合成抵抗値を導電性部材６１ｂの抵抗値よりも大きくする構成を簡易に実現することができる。

【0070】

なお、本開示に係るパネル収納容器は、上記実施形態に限定されない。

【0071】

支柱２６ｂには、嵌合穴２６ｇが設けられていなくてもよい。この場合、シャフト６１ａは、前後方向において支柱２６ｂとの間に導電性部材６１ｂが介在している状態で、支柱２６ｂに固定される。例えば、導電性部材６１ｂは支柱２６ｂの前面２６ｊに接合されており、シャフト６１ａの端部６１ｃが導電性部材６１ｂに接合される。すなわち、シャフト６１ａは導電性部材６１ｂを介して支柱２６ｂに固定される。

【0072】

上記実施形態では、土台部７２は、前後方向に延在する多角柱形状を有しているが、土台部７２の形状は、この形状に限られない。土台部７２は、シャフト６１ａの自重撓みを低減するために設けられるので、土台部７２の形状は、シャフト６１ａの自重撓みを低減可能な形状であればよい。例えば、土台部７２の形状は、前後方向に延在する板形状であってもよい。

【0073】

上記実施形態では、土台部７２の左右方向における長さは、土台部７２の下端から上方向に離れるにしたがって、小さくなっているが、土台部７２の左右方向における長さは、この態様に限られない。土台部７２の左右方向における長さは、土台部７２の下端から上方向に離れるにしたがって、連続して減少してもよく、ステップ状に減少してもよい。

【0074】

シャフト６１ａは、土台部７２を備えていなくてもよい。この場合、シャフト６１ａ（載置部７１）は、前後方向に延在している円柱状の部材であってもよい。シャフト６１ａが円柱状である場合には、シャフト６１ａは軸線回りに回転してもよいので、導電性部材６１ｂは、ストッパ部６１ｇを備えていなくてもよく、導電性部材６１ｂの外周面及び嵌合穴２６ｇの内周面は、前後方向から見て円形であってもよい。

【0075】

導電性部材６１ｂの構成材料は、樹脂材料に限られない。導電性部材６１ｂは、導電性部材６１ｂの抵抗値がシャフト６１ａの抵抗値及び支柱２６ｂの抵抗値よりも大きくなるように構成されていればよい。

【0076】

固定部材８１の構成材料と受け部材８０の構成材料との組み合わせは、固定部材８１の抵抗値と受け部材８０の抵抗値との合計抵抗値が、導電性部材６１ｂの抵抗値以上という条件を満たす範囲で適宜変更されてもよい。例えば、固定部材８１が絶縁材料で構成され、受け部材８０が金属材料で構成されてもよい。固定部材８１が金属材料で構成され、受け部材８０が導電性部材６１ｂと同じ材料で構成されてもよい。

【0077】

容器本体２の各部材の連結方法は、上記実施形態と異なっていてもよい。上記実施形態では、容器本体２は、複数の部品を組み合わせることによって構成されているが、一体成形品であってもよい。

【0078】

上記実施形態では、支持部６２は、シャフト６２ａ、複数の弾性体６２ｂ、及び複数の支持体６５と、を備えている。この構成に代えて、支持部６２は、パネルの左右方向における端部を支持するための、前後方向に延在する板状の支持体を有していてもよい。

【符号の説明】

【0079】

１…パネル収納容器、２…容器本体、２６ｂ…支柱、２６ｇ…嵌合穴、６０…パネル支持部、６１ａ…シャフト、６１ｂ…導電性部材、６１ｃ…端部（第１端部）、６１ｄ…端部（第２端部）、６１ｇ…ストッパ部、７１…載置部、７２…土台部、８０…受け部材、８１…固定部材。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】