特許 7651696 測定装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2025-03-17

(45)【発行日】2025-03-26

(54)【発明の名称】測定装置

(51)【国際特許分類】

   H05K 13/08 20060101AFI20250318BHJP

【ＦＩ】

H05K13/08 L

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2023529172

(86)(22)【出願日】2021-06-14

(86)【国際出願番号】 JP2021022529

(87)【国際公開番号】W WO2022264214

(87)【国際公開日】2022-12-22

【審査請求日】2024-05-01

(73)【特許権者】

【識別番号】000237271

【氏名又は名称】株式会社ＦＵＪＩ

(74)【代理人】

【識別番号】110000969

【氏名又は名称】弁理士法人中部国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】澤田 利幸

【審査官】福島 和幸

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０１７／００９９８７（ＷＯ，Ａ１）

【文献】国際公開第２０１７／０３７８８７（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１１－１４２２７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】実開昭５５－１１２２６３（ＪＰ，Ｕ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０５Ｋ １３／００－１３／０８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

部品供給装置によって供給された部品を回路基板に装着する装着機に搭載され、部品の電気的特性を測定する測定装置であって、
本体と、
前記本体に設けられ、前記部品が載置される載置台と、
前記本体に、互いに接近・離間可能に設けられ、前記載置台に載置された前記部品を把持して、前記部品の電気的特性を測定する一対の測定子と、
前記載置台と、前記一対の測定子のうちの少なくとも一方との相対位置関係を調節可能な調節機構と
を含む測定装置。

【請求項2】

前記調節機構が、前記一対の測定子のうちの少なくとも一方と前記本体との相対位置関係と、前記載置台と前記本体との相対位置関係との少なくとも一方を調節するものである請求項１に記載の測定装置。

【請求項3】

前記載置台に、前記接近・離間する方向である接近・離間方向に延び、前記部品が載置される溝部が設けられ、
前記調節機構が、前記一対の測定子のうちの少なくとも一方と前記載置台の前記溝部との相対位置関係を調節するものである請求項１または２に記載の測定装置。

【請求項4】

前記一対の測定子が、固定子と、前記固定子に対して接近・離間可能に設けられた可動子とを含み、
前記調節機構が、前記載置台と前記可動子との相対位置関係を調節可能なものである請求項１ないし３のいずれか１つに記載の測定装置。

【請求項5】

前記調節機構が、前記可動子と前記載置台との間の、前記接近・離間する方向である接近・離間方向に交差する方向の相対位置と、前記接近・離間方向と平行な軸線周りの相対的な傾きと、前記接近・離間方向と交差する軸線周りの相対的な傾きとのうちの１つ以上を調節可能なものである請求項４に記載の測定装置。

【請求項6】

前記可動子が、可動子保持体を介して前記本体に、前記接近・離間する方向である接近・離間方向に移動可能に設けられ、
前記調節機構が、前記可動子保持体に設けられ、前記本体に対する前記可動子の相対位置関係を調節可能なものである請求項５に記載の測定装置。

【請求項7】

前記一対の測定子が、固定子と、前記固定子に対して接近・離間可能に設けられた可動子とを含み、
前記調節機構が、前記可動子の前記本体に対する、前記接近・離間する方向である接近・離間方向に交差する方向である第１方向における相対位置を調節する第１調節機構を含み、
前記第１調節機構が、
前記可動子または前記可動子と一体的に前記第１方向に移動可能な第１可動部材と、
前記第１可動部材を前記第１方向に相対移動可能に保持する第１保持部材と、
前記第１可動部材を前記第１保持部材に固定する第１固定装置とを含む請求項１ないし６のいずれか１つに記載の測定装置。

【請求項8】

前記一対の測定子が、固定子と、前記固定子に対して接近・離間可能に設けられた可動子とを含み、
前記調節機構が、前記可動子の前記本体に対する前記接近・離間方向と平行な方向に延びた軸線または前記接近・離間方向に交差する方向に延びた軸線周りの相対的な傾きを調節可能な第２調節機構を含み、
前記第２調節機構が、
前記可動子または前記可動子と一体的に前記軸線周りに回動可能な第２回動部材と、
前記第２回動部材を前記軸線周りに相対回動可能に保持する第２保持部材と、
前記第２回動部材を前記第２保持部材に固定する第２固定装置とを含む請求項１ないし７のいずれか１つに記載の測定装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、回路基板に装着される部品の電気的特性の測定を行う測定装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、部品供給装置によって供給された部品を回路基板に装着する装着機に搭載され、部品の電気的特性を測定する測定装置であって、部品が載せられる載置台と、互いに接近・離間可能に設けられた一対の測定子とを含む測定装置が記載されている。特許文献１に記載の測定装置において、載置台に載せられた部品が、一対の測定子により挟まれることによって部品の電気的特性が測定される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】国際公開第２０１７－９９８７号パンフレット

【概要】

【0004】

【課題】

【0005】

本開示の課題は、測定装置の改良であり、例えば、部品の電気的特性を安定的に測定可能とすることである。

【課題を解決するための手段、作用および効果】

【0006】

本開示に係る測定装置は、一対の測定子のうちの少なくとも一方の本体に対する相対位置関係と、載置台の本体に対する相対位置関係との少なくとも一方が調節可能とされる。一対の測定子の相対位置関係を調節したり、一対の測定子のうちの少なくとも一方と載置台との相対位置関係を調節したりすること等が可能となる。その結果、一対の測定子により部品を良好に把持することが可能となり、部品が小さくても、部品の電気的特性を安定的に測定可能とすることができる。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】本開示の一実施形態である測定装置を含む装着機の斜視図である。

【図2】上記測定装置の要部の斜視図である。

【図3】上記測定装置の要部の側面図である。

【図4】上記測定装置の要部の斜視図である。

【図5】上記測定装置の要部の背面図である。

【図6】(6A)上記測定装置の載置台の溝部の断面図である。(6B)上記測定装置の可動子の正面図である。(6C)上記測定装置の載置台の溝部に可動子が進入した状態を示す図である。

【図7】上記測定装置に含まれるエア回路図である。

【図8】上記測定装置の制御装置の周辺を概念的に表すブロック図である。

【図9】上記測定装置において部品の電気的特性が取得される場合の作動図である。(9A)初期状態を示す図である。(9B)クランプ状態を示す図である。(9C)測定状態を示す図である。(9D)廃棄状態を示す図である。

【図10】従来の測定装置の要部を表す図である。

【図11】本開示の実施例２に係る測定装置の要部を示す斜視図である。

【図12】上記測定装置の要部を示す別の斜視図である。

【図13】上記測定装置の要部の背面図である。

【実施形態】

【0008】

以下、本開示の一実施形態である測定装置を含む装着機について図面に基づいて詳細に説明する。

【実施例1】

【0009】

図１に示す装着機は、部品を回路基板に装着するものであり、本体２，回路基板搬送保持装置４，部品供給装置６，ヘッド移動装置８等を含む。
回路基板搬送保持装置４は、回路基板Ｐ（以下、基板Ｐと略称する）を水平な姿勢で搬送して保持するものであり、図１において、基板Ｐの搬送方向をｘ方向、基板Ｐの幅方向をｙ方向、基板Ｐの厚み方向をｚ方向とする。ｙ方向は装着機の前後方向であり、ｚ方向は上下方向である。これら、ｘ方向、ｙ方向、ｚ方向は互いに直交する。部品供給装置６は、基板Ｐに装着される電子部品（以下、部品と略称する）ｓを供給するものであり、複数のテープフィーダ１４等を含む。ヘッド移動装置８は、装着ヘッド１６を保持してｘ、ｙ、ｚ方向へ移動させるものであり、装着ヘッド１６は、部品ｓを吸着して保持する吸着ノズル１８を有する。

【0010】

符号２２は測定装置を示す。測定装置２２は、部品ｓの電気的特性を測定するものである。部品ｓの電気的特性としては、Ｌ（インダクタンス）、Ｃ（キャパシタンス）、Ｒ（レジスタンス）、Ｚ′（インピーダンス）等が該当し、測定装置２２によってこれらのうちの１つ以上が測定される。

【0011】

測定装置２２は、回収箱２６を介して回路基板搬送保持装置４の本体に設けられる。回収箱２６と測定装置２２との間に回収通路２８が設けられ、電気的特性が測定された部品ｓが、回収通路２８を経て回収箱２６に収容される。

【0012】

測定装置２２は、図２－６に示すように、(i)本体３０、(ii)部品ｓが載せられる載置台３２、(iii)固定子３４および可動子３６から成る一対の測定子３７、(iv)載置台３２を移動させる載置台移動装置４０、(v)可動子３６を固定子３４に対して接近・離間させる可動子移動装置４１、(vi)電気的特性取得部としての電気的特性測定部４２(図８参照)等を含む。本実施例において、部品ｓは、両端部に電極を有し、一対の測定子３７によって把持可能なものであり、例えば、角チップとすることができる。本体３０には、回収通路２８と連通可能な貫通穴３１（図９参照）が設けられる。また、本体３０はアースされている。

【0013】

測定装置２２は、例えば、可動子３６の固定子３４に対する接近・離間方向がｙ方向、接近・離間方向に直交する方向がｘ方向となるように、回路基板搬送保持装置４の本体に取り付けることができる。ｙ方向は、概して水平方向であり、可動子３６は水平方向の移動により、固定子３４に対して接近・離間させられる。以下、ｙ方向を、接近・離間方向、可動子３６や後述する載置台３２に形成された溝部４６の長手方向と称する場合がある。また、可動子３６が固定子３４に接近する方向の動きを前進と称し、可動子３６が固定子３４から離間する方向の動きを後退と称する場合がある。載置台３２の動きについても同様とする。さらに、ｘ方向を、可動子３６または溝部４６の幅方向と称する場合がある。

【0014】

載置台３２は、部品載置部４４と、部品載置部４４を保持する載置部保持体４５とを含む。部品載置部４４は、載置部保持体４５に、一体的に移動可能に保持され、載置部保持体４５は、本体３０に、ｙ方向（接近・離間方向）に移動可能に設けられる。

【0015】

部品載置部４４には接近・離間方向に延びた溝部４６が形成される。溝部４６は、概してＶ字形を成すものであり、図６Ａに示すように、一対の側面が傾斜した上溝部４６ａと、上溝部４６ａの下部に設けられ、断面が概して四角形を成す下溝部４６ｂとを含む。上溝部４６ａは、一対の傾斜面４８ａ、４８ｂを含み、下溝部４６ｂは、平坦面である底面５０と、底面５０の両側の一対の壁面５１ａ、５１ｂとを含む。

【0016】

部品載置部４４に載置される部品ｓは、下溝部４６ｂの底面５０の上に載置される場合や、上溝部４６ａの一対の傾斜面４８ａ、４８ｂに保持されて、載置される場合等がある。

【0017】

なお、載置台３２には接近・離間方向に延びたカバー部５２が取り付けられる。カバー部５２は、載置台３２の溝部４６の両側に位置する一対の側板５２ａ，５２ｂを含む。一対の側板５２ａ，５２ｂは、載置台３２と一体的に移動させられる。

【0018】

固定子３４、可動子３６は、それぞれ、互いに対向する対向面３４ｆ、３６ｆを有し、これら一対の対向面３４ｆ、３６ｆによって部品ｓが把持される。固定子３４は固定子保持体５５を介して本体３０に固定される。可動子３６は可動子保持体５６に一体的に移動可能に保持され、可動子保持体５６が本体３０に、ｙ方向（接近・離間方向）に移動可能に設けられる。固定子保持体５５、可動子保持体５６は、接近・離間方向において、載置部保持体４５の両側に位置する。なお、固定子３４と可動子３６とはそれぞれ銅線を介して電気的特性測定部４２に接続される。

【0019】

可動子３６は、図３，４等に示すように、概して直方体状を成した本体部３６ａと、本体部３６ａの前部において下方に突出した突出部３６ｂとを含む。可動子３６は、本体部３６ａの後部において可動子保持体５６に保持され、前部を構成する突出部３６ｂと本体部３６ａとが部品載置部４４の溝部４６に進入する。本実施例において、可動子３６の突出部３６ｂの前端面、または、突出部３６ｂの前端面と本体部３６ａの前端面（の一部）とが対向面３６ｆとされる。

【0020】

本体部３６ａは、直方体の長手方向が接近・離間方向に延びた姿勢で設けられる。
突出部３６ｂは、図６Ｂ，図６Ｃに示すように、溝部４６に係合可能な大きさ、形状を成す。突出部３６ｂは、下溝部４６ｂに係合する下溝係合部５７と、上溝部４６ａの一部に係合する上溝係合部５８とを含む。上溝係合部５８は、溝部４６の一対の傾斜面４８ａ、４８ｂの一部に対向する一対の傾斜面５８ａ、５８ｂを有する。下溝係合部５７は、それぞれ、下溝部４６ｂの底面５０、一対の壁面５１a、５１ｂに対向する下端面５７ｄ、一対の側面５７ａ，５７ｂを有する。本体部３６aは、溝部４６の一対の傾斜面４８ａ、４８ｂから離間している。

【0021】

載置台移動装置４０、可動子移動装置４１は、それぞれ、図３に示すように、駆動源としてのエアシリンダ６０，６２、本体３０に設けられた一対のガイドレール６４，６６、ガイドレール６４，６６に移動可能に係合させられた一対の載置台スライダ６８，６９および一対の可動子スライダ７０，７１、電磁弁装置７４，７６（図７，８参照）、エア源７７等を含む。

【0022】

一対のガイドレール６４，６６は、ｙ方向（接近・離間方向）に延びた姿勢で、ｘ方向（可動子３６の幅方向）に隔てて、本体３０に固定される。また、載置台スライダ６８，６９には載置部保持体４５が固定される。可動子スライダ７０，７１には可動子保持体５６が固定される。さらに、載置部保持体４５には、エアシリンダ６０のピストンロッド６０ｒ（図７参照）が取り付けられ、可動子保持体５６には、エアシリンダ６２のピストンロッド６２ｒが取り付けられる。エアシリンダ６０，６２は、ピストンロッド６０ｒ、６２ｒが接近・離間方向に延びた姿勢で設けられる。

【0023】

一方、固定子側の部材｛例えば、固定子３４の上部、固定子保持体５５等｝には、エア通路９２が設けられる。エア通路９２は、固定子側の部材の、可動子３６の対向面３６ｆに対向する部分に開口する開口９３を有する。また、エア通路９２にはイオナイザ９４が接続される。イオナイザ９４は、コロナ放電を生起させてエアをイオン化するものである。

【0024】

エアシリンダ６０の２つのエア室６０ａ，６０ｂ、エア源７７、エア通路９２、フィルタ（大気）の間に電磁弁装置７４が設けられる。電磁弁装置７４の制御により載置台３２の移動等が制御される。

【0025】

エアシリンダ６２のエア室６２ａ，６２ｂには、電磁弁装置７６を介して、エア源７７、エア通路９２、フィルタ（大気）が選択的に接続される。電磁弁装置７６の制御により、可動子保持体５６（可動子３６）の移動等が制御される。また、載置台３２の前進時、可動子３６の後退時には、エアシリンダ６０，６２からエア通路９２にエアが供給され、開口９３から流出させられる。

【0026】

本実施例においては、エア通路９２、エア源７７、エアシリンダ６０，６２等によりエア供給装置９６が構成される。エア供給装置９６は、可動子移動装置４１、載置台移動装置４０と共通の構成要素を有する。

【0027】

本実施例において、可動子３６は、可動子保持体５６に、本体３０に対する上下方向の相対位置である高さと、可動子３６の幅方向の相対位置と、接近・離間方向に延びた軸線Ｙの周りの相対的な傾きとが調節可能に保持される。上下方向、可動子３６の幅方向は、接近・離間方向に交差する方向としての直交する方向であるが、このうちの可動子３６の幅方向は概して水平方向である。

【0028】

本実施例において、可動子３６の前部が、溝部４６に係合可能な形状、大きさを成す。また、可動子３６は、溝部４６との間の隙間が非常に小さくなる状態で可動子保持体５６に組み付けられる。そのため、たとえ、部品ｓが、溝部４６の底面５０に載置された場合であっても、可動子３６の対向面３６ｆと固定子３４の対向面３４ｆとによって把持され、電気的特性が測定され得る。

【0029】

しかし、可動子３６の可動子保持体５６に対する組付け誤差等に起因して、可動子３６が溝部４６に進入した場合に、図１０に示すように、可動子３６と溝部４６との間に隙間、例えば、可動子３６の下端面５７ｄと溝部４６の底面５０との間等に隙間が生じる場合がある。そのため、一対の対向面３４ｆ、３６ｆによって、底面５０に載置された部品ｓを把持することができず、電気的特性を測定することができなかったり、部品ｓを良好に把持することができず、電気的特性を精度よく測定することができなかったりする。

【0030】

そこで、本実施例においては、可動子３６の、本体３０に対する上下方向の位置、可動子３６の幅方向の位置、軸線Ｙの周りの傾きを調節可能とすることにより、可動子３６と部品載置部４４の溝部４６との相対位置関係を調節可能としたのである。

【0031】

可動子保持体５６は、一対の可動子スライダ７０，７１に固定された保持体本体７８、保持体本体７８に固定されたブラケット８０、ブラケット８０に２つのボルトＡ１，Ａ２によって取り付けられた上下方向可動部材８２、上下方向可動部材８２にボルトＢ１，Ｂ２によって取り付けられた回動部材８４、回動部材８４にボルトＣ１，Ｃ２によって取り付けられた幅方向可動部材８６等を含む。

【0032】

ボルトＡ１，Ａ２は、可動子３６の幅方向に延び、ブラケット８０を貫通して、上下方向可動部材８２において螺合する。ボルトＢ１，Ｂ２は接近・離間方向に延び、上下方向可動部材８２を貫通して、回動部材８４において螺合する。ボルトＣ１，Ｃ２は上下方向に延び、幅方向可動部材８６を貫通して回動部材８４において螺合する。また、幅方向可動部材８６には、可動子３６が一体的に移動可能にボルトＭによって取り付けられている。

【0033】

上述のボルトが緩められた場合には、２つの部材は相対移動可能な状態となるが、ボルトが締められた場合には、２つの部材は相対移動不能となる。以下、この相対移動不能な状態を、単に、固定された状態と称する。

【0034】

ボルトＣ１，Ｃ２によって幅方向可動部材８６が回動部材８４に固定され、ボルトＢ１，Ｂ２によって回動部材８４が上下方向可動部材８２に固定された状態で、ボルトＡ１，Ａ２を緩める。上下方向可動部材８２とブラケット８０との間の上下方向における隙間Ｒ１により、上下方向可動部材８２のブラケット８０に対する上下方向の相対移動が許容されるが、上下方向可動部材８２の外側面８２ａとブラケット８０の内側面８０ａとが当接しているため、上下方向可動部材８２のブラケット８０に対する可動子３６の幅方向の移動は制限される。

【0035】

上下方向可動部材８２をブラケット８０の内側面８０ａに沿って上下方向に相対移動させることにより、回動部材８４、幅方向可動部材８６、可動子３６を一体的に上下方向に相対移動させ、可動子３６の上下方向の位置を調節して、ボルトＡ１，Ａ２を締める。それにより、可動子３６の上下方向の位置が、ボルトＡ１，Ａ２とブラケット８０の貫通穴との間の隙間の範囲内において調節される。

【0036】

ボルトＡ１，Ａ２によって上下方向可動部材８２がブラケット８０に固定され、ボルトＢ１，Ｂ２によって回動部材８４が上下方向可動部材８２に固定された状態で、ボルトＣ１，Ｃ２を緩める。それにより、幅方向可動部材８６が回動部材８４に対して可動子３６の幅方向に相対移動可能となる。幅方向可動部材８６を、回動部材８４の上面に沿って幅方向に移動させ、可動子３６の幅方向の位置を調節して、ボルトＣ１，Ｃ２を締める。それにより、可動子３６の幅方向の位置が、ボルトＣ１，Ｃ２と幅方向可動部材８６の貫通穴との隙間の範囲内において調節される。

【0037】

また、ボルトＡ１，Ａ２によって上下方向可動部材８２がブラケット８０に固定され、ボルトＣ１，Ｃ２によって幅方向可動部材８６が回動部材８４に固定された状態で、ボルトＢ１，Ｂ２を緩める。幅方向可動部材８６と上下方向可動部材８２との間の上下方向における隙間Ｒ２，回動部材８４が下方において保持されていないこと、可動子３６と上下方向可動部材８２との間の上下方向における隙間Ｒ３等により回動部材８４、幅方向可動部材８６、可動子３６の上下方向可動部材８２に対する軸線Ｙの周りの回動が許容される。

【0038】

回動部材８４を回動させて、可動子３６の軸線Ｙの周りの傾きを調節し、ボルトＢ１，Ｂ２を締める。それにより、ボルトＢ１，Ｂ２と上下方向可動部材８２の貫通穴との間の隙間の範囲内において、可動子３６の軸線Ｙの周りの傾きが調節される。

【0039】

なお、幅方向可動部材８６には可動子３６がボルトＭによって固定されているが、図２，５等に示すように、幅方向可動部材８６に設けられた上下方向に延びた凹部８６ｒに、可動子３６の側面に設けられた上下方向に延びた凸部３６ｓが嵌合されている。そのため、ボルトＭが緩められた状態で、幅方向可動部材８６に対して可動子３６が上下方向に相対移動可能とされる。この幅方向可動部材８６に対する可動子３６の上下方向の移動によっても、可動子３６の上下方向の位置を調節することができる。

【0040】

これら作業は、例えば、可動子３６を載置台３２の溝部４６に進入させた状態で、その可動子３６と溝部４６との隙間をダイヤルゲージ、歪ゲージ等の治具を用いて測定し、これらが小さくなるように、作業者によって行われるようにすることができる。

【0041】

当該装着機は制御装置２００を含む。制御装置２００は、図８に示すように、コンピュータを主体とするコントローラ２０２と、複数の駆動回路２０４とを含む。コントローラ２０２には、回路基板搬送保持装置４、部品供給装置６、ヘッド移動装置８が、それぞれ、駆動回路２０４を介して接続されるとともに、載置台移動装置４０、可動子移動装置４１の電磁弁装置７４，７６等が接続される。また、カメラ２０、電気的特性測定部４２、ディスプレイ２１６、載置台位置センサ２１８、可動子位置センサ２２０等が接続される。電磁弁装置７４，７６は、載置台位置センサ２１８、可動子位置センサ２２０の出力信号等に基づいて制御される。また、部品ｓの電気的特性の測定結果は、ディスプレイ２１６に表示されるようにすることができる。

【0042】

以上のように構成された装着機の測定装置２２において、部品ｓの電気的特性が測定される場合の作動について説明する。
測定装置２２は、常には、図９Ａに示す初期状態にある。可動子３６は後退端位置にあり、載置台３２は前進端位置にある。部品ｓの電気的特性の測定指令が出されると、装着ヘッド１６が移動させられる。吸着ノズル１８によって部品ｓが保持され、移動させられ、溝部４６に載置させられる。

【0043】

電磁弁装置７６の制御により可動子３６が前進させられ、図９Ｂに示すように、可動子３６と固定子３４とにより部品ｓがクランプされる。次に、図９Ｃに示すように、電磁弁装置７４の制御により載置台３２が後退させられる。載置台３２は、部品ｓおよび一対の測定子３７から離間した位置、換言すると、可動子３６の突出部３６ｂが、溝部４６から離間した位置に後退させられる。

【0044】

一方、部品ｓが溝部４６に載せられた時から、設定時間である除電時間が経過した後に、部品ｓの電気的特性が測定される。除電時間は、部品ｓに帯電していた静電気が除去される時間であり、予め決められている。部品ｓの電気的特性の測定が終了した後に、可動子３６が後退させられ、可動子３６と固定子３４との間に把持されていた部品ｓが開放される。また、可動子３６の後退に伴って、エアが開口９３から可動子３６の対向面３６ｆに斜め上方から供給される。

【0045】

次に、図９Ｄが示すように、可動子３６がさらに後退させられ、載置台３２が後退させられる。可動子３６と固定子３４との間の空間は、回収通路２８に連通させられるため、部品ｓを回収箱２６へ回収することができる。その後、載置台３２が前進させられ、一対の対向面３４ｆ、３６ｆの間に位置する。溝部４６の上方が空間とされ、部品ｓが載置可能とされ、測定装置２２が図９Ａに示す初期状態に戻される。また、載置台３２の前進に伴って、イオンを含むエアが可動子３６の対向面３６ｆに供給されるため、対向面３６ｆの除電を図ることもできる。

【0046】

以上のように、本実施例においては、可動子３６の部品載置部４４に対する相対位置関係が調節可能とされているため、可動子３６の突出部３６ｂと溝部４６との隙間を小さくまたは０に近づけることができる。その結果、部品ｓが小さくても、可動子３６と固定子３４との一対の対向面３４ｆ、３６ｆにより部品ｓを良好に把持することができる。その結果、安定して、部品ｓの電気的特性を測定することができ、測定精度の低下を抑制することができる。

【0047】

また、部品載置部４４は、載置部保持体４５、ガイドレール６４，６６を介して本体３０に電気的に導通された状態にあり、可動子３６は、可動子保持体５６、ガイドレール６４，６６を介して本体３０に電気的に導通された状態にある。そのため、部品ｓの除電、載置台３２、可動子３６等の除電が良好に行われる。そのため、部品ｓの電気的特性を安定的に測定することができる。インピーダンスが小さい部品ｓであっても、その部品ｓのインピーダンスを精度よく測定することができる。

【0048】

さらに、可動子３６の位置、姿勢を固定する場合に、２つのボルトが用いられるため、ボルトが１つの場合に比較して、位置、姿勢を良好に固定することができる。

【0049】

以上、本実施例においては、ブラケット８０、上下方向可動部材８２、回動部材８４、幅方向可動部材８６、ボルトＡ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２，Ｃ１，Ｃ２、幅方向可動部材８６に設けられた凹部８６ｒ、可動子３６に設けられた凸部３６ｓ等により調節機構１００が構成される。第１方向が上下方向である場合には、上下方向可動部材８２等が第１可動部材に対応し、ブラケット８０等が第１保持部材に対応し、ボルトＡ１，Ａ２等が第１固定装置に対応し、これら上下方向可動部材８２、ブラケット８０、ボルトＡ１，Ａ２等、上下方向可動部材８２が上下方向に相対移動可能とされた構造等により第１調節機構である上下方向調節機構１０２が構成される。第１方向が可動子３６の幅方向である場合には、幅方向可動部材８６等が第１可動部材に対応し、回動部材８４等が第１保持部材に対応し、ボルトＣ１，Ｃ２等が第１固定装置に対応し、これら幅方向可動部材８６、回動部材８４、ボルトＣ１，Ｃ２等、幅方向可動部材８６が幅方向に相対移動可能とされた構造等により第１調節機構としての幅方向調節機構１０４が構成される。第２方向が接近・離間方向と平行な方向である場合において、回動部材８４等が第２可動部材に対応し、上下方向可動部材８２等が第２保持部材に対応し、ボルトＢ１、Ｂ２等が第２固定装置に対応し、これら回動部材８４、上下方向可動部材８２、ボルトＢ１，Ｂ２等、回動部材８４が軸線Ｙの周りに回動可能とされた構造等により第２調節機構１０６が構成される。なお、可動子３６等が第１可動部材、幅方向可動部材８６等が第１保持部材、ボルトＭ等が第１固定装置、これら可動子３６、幅方向可動部材８６、ボルトＭ、凹部８６ｒ、凸部３６ｓ等により第１調節機構としての上下方向調節機構が構成される。

【実施例2】

【0050】

実施例１に係る測定装置においては、第２方向として接近・離間方向と平行な方向に延びた軸線Ｙの周りの可動子の相対的な傾きが調節可能とされていたが、本実施例においては、第２方向として、接近・離間方向と交差する方向としての直交する方向である可動子３６の幅方向に延びた軸線Ｘの周りの可動子３６の相対的な傾きが調整可能とされる。

【0051】

実施例２に係る測定装置において、実施例１に係る測定装置の基本的な構造は同じであるため、対応する構成要素には、同じ符号を付して説明を省略する。実施例２において、調節機構を備えた可動子保持体について説明する。

【0052】

図１１－１３において、可動子保持体１５６は、一対の可動子スライダ７０，７１に固定された保持体本体１７８と、保持体本体１７８に２つのボルトＤ１，Ｄ２によって取り付けられた幅方向可動部材１８０と、幅方向可動部材１８０にボルトＥ１，Ｅ２によって取り付けられた回動部材１８２と、回動部材１８２にボルトＦ１，Ｆ２によって取り付けられた上下方向可動部材１８４とを含む。可動子３６は、ボルトＮによって上下方向可動部材１８４に一体的に移動可能に取り付けられている。

【0053】

ボルトＥ１，Ｅ２によって回動部材１８２が幅方向可動部材１８０に固定され、ボルトＦ１，Ｆ２によって回動部材１８２に上下方向可動部材１８４が固定された状態で、ボルトＤ１，Ｄ２を緩める。幅方向可動部材１８０、回動部材１８２、上下方向可動部材１８４および可動子３６は、一体的に、可動子３６の幅方向に移動可能となる。幅方向可動部材１８０と保持体本体１７８とはｘ方向において隙間Ｒ１１を隔てて設けられるため、幅方向可動部材１８０の保持体本体１７８に対するｘ方向の移動が許容される。

【0054】

幅方向可動部材１８０等を可動子保持体本体１７８の上面に沿ってｘ方向に移動させることにより、可動子３６の幅方向の位置を調節し、ボルトＤ１，Ｄ２を締める。ボルトＤ１，Ｄ２と幅方向可動部材１８０の貫通穴との隙間の範囲内において、可動子３６の幅方向の位置を調節することができる。なお、ボルトＤ２の操作は、上下方向可動部材１８４に設けられた上下方向の貫通穴１８６を利用して行われる。貫通穴１８６から治具を通してボルトＤ２の頭部に係合し、ボルトＤ２を緩めたり締めたりする。

【0055】

ボルトＤ１，Ｄ２によって幅方向可動部材１８０が保持体本体１７８に固定され、ボルトＥ１，Ｅ２によって回動部材１８２が幅方向可動部材１８０に固定された状態で、ボルトＦ１，Ｆ２を緩める。それにより、上下方向可動部材１８４および可動子３６が、回動部材１８２、幅方向可動部材１８０に対して上下方向に移動可能とされる。上下方向可動部材１８４と幅方向可動部材１８０、回動部材１８２との上下方向の隙間Ｒ１２により、上下方向可動部材１８４の上下方向の移動が許容される。また、上下方向可動部材１８４の段面１８４ａと幅方向可動部材１８０の内側面１８０ａとが当接しているため、上下方向可動部材１８４のｘ方向の移動が制限される。

【0056】

上下方向可動部材１８４等を、幅方向可動部材１８０に沿って上下方向に移動させ、可動子３６の上下方向の位置である高さを調節して、ボルトＦ１，Ｆ２を締める。ボルトＦ１，Ｆ２と回動部材１８２の貫通穴との隙間の範囲内において、可動子３６の上下方向の位置を調節することができる。

【0057】

ボルトＤ１，Ｄ２によって幅方向可動部材１８０が保持体本体１７８に固定され、ボルトＦ１，Ｆ２によって回動部材１８２に上下方向可動部材１８４が固定された状態で、ボルトＥ１，Ｅ２を緩める。それにより、回動部材１８２、上下方向可動部材１８４および可動子３６が幅方向可動部材１８０に対して軸線Ｘの周りに回動可能とされる。回動部材１８２と保持体本体１７８との間の隙間Ｒ１３、回動部材１８２と幅方向可動部材１８０との間の隙間Ｒ１２等により、回動部材１８２の軸線Ｘの周りの回動が許容される。また、回動部材１８２の内側面１８２ａと幅方向可動部材１８０の外側面１８０ｂとが当接しているため、回動部材１８２のｘ方向の移動は制限される。

【0058】

回動部材１８２（および上下方向可動部材１８４、可動子３６）を軸線Ｘの周りに回動させることにより可動子３６の軸線Ｘの周りの本体３０に対する相対的な傾きを調節してボルトＥ１，Ｅ２を締める。それにより、可動子３６の軸線Ｘの周りの傾きを調節することができる。

【0059】

なお、上下方向可動部材１８４には可動子３６がボルトＮによって固定されているが、上下方向可動部材１８４に設けられた上下方向に延びた凹部１８４ｒに、可動子３６の側面に設けられた上下方向に延びた凸部３６ｓが嵌合されている。そのため、ボルトＮが緩められた状態で、上下方向可動部材１８４に対して可動子３６が上下方向に相対移動可能とされる。この上下方向可動部材１８４に対する可動子３６の上下方向の移動によっても、可動子３６の上下方向の位置を調節することができる。

【0060】

本実施例においては、幅方向可動部材１８０、回動部材１８２、上下方向可動部材１８４、ボルトＮ、ボルトＤ１，Ｄ２、ボルトＥ１，Ｅ２、ボルトＦ１，Ｆ２、可動子３６に設けられた凸部３６ｓ、上下方向可動部材１８４に設けられた凹部１８４ｒ等により調節機構１８８が構成される。また、第１方向が接近・離間方向に交差する方向である直交する方向としての可動子３６の幅方向である場合には、幅方向可動部材１８０等が第１可動部材に対応し、保持体本体１７８が第１保持部材に対応し、ボルトＤ１，Ｄ２等が第１固定装置に対応し、これら幅方向可動部材１８０、保持体本体１７８、ボルトＤ１，Ｄ２等により第１調節機構としての幅方向調節機構１９０が構成される。第１方向が接近・離間方向に交差する方向である直交する方向としての上下方向である場合には、上下方向可動部材１８４等が第１可動部材に対応し、回動部材１８２等が第１保持部材に対応し、ボルトＦ１，Ｆ２等が第１固定装置に対応し、これら上下方向可動部材１８４、回動部材１８２、ボルトＦ１，Ｆ２等により第１調節機構としての上下方向調節機構１９２が構成される。また、第２方向が接近・離間方向に交差する方向である直交する方向としての可動子３６の幅方向である場合には、回動部材１８２等が第２可動部材に対応し、幅方向可動部材１８０等が第２保持部材に対応し、ボルトＥ１，Ｅ２等が第２固定装置に対応し、これら回動部材１８２、幅方向可動部材１８０、ボルトＥ１，Ｅ２等により第２調節機構１９４が構成される。なお、可動子３６等が第１可動部材、上下方向可動部材１８４等が第１保持部材、ボルトＮ等が第１固定装置、これら可動子３６、上下方向可動部材１８４、ボルトＮ、凹部１８４ｒ、凸部３６ｓ等により第１調節機構としての上下方向調節機構が構成される。

【0061】

また、上記実施例において、可動子３６の本体３０に対する相対位置関係が調節されることにより前記可動子３６と部品載置部４４との相対位置関係が調節されるようにされていたが、部品載置部４４と本体３０との相対位置関係が調節されることにより、可動子３６と部品載置部４４の溝部４６との相対位置関係が調節されるようにすることができる。

【0062】

さらに、第２調節機構は、接近・離間方向に交差する方向である直交する方向としての上下方向に延びた軸線の周りの可動子の相対的な傾きを調整する機構を含むものとすることができる。

【0063】

また、調節機構の構成要素である第１固定装置、第２固定装置は、ボルトを２つ含むものに限らず、３つ以上含むものとすることができる等、測定装置の構造は上記実施例における測定装置の構造に限定されない。

【0064】

以上、実施形態に記載の態様の他、本開示は、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した形態で実施することができる。

【符号の説明】

【0065】

２２：測定装置 ３０：本体 ３２：載置台 ３４：固定子 ３６：可動子 ４０：載置台移動装置 ４１：可動子移動装置 ４２：電気的特性測定部 ４４：部品載置部 ４６：溝部 ５６，１５６：可動子保持体 ８２，１８４：上下方向可動部材 ８６，１８０：幅方向可動部材 ８４，１８２：回動部材 Ａ１，Ａ２、Ｂ１，Ｂ２，Ｃ１，Ｃ２，Ｄ１，Ｄ２，Ｅ１，Ｅ２，Ｆ１，Ｆ２：ボルト １００，１８８：調節機構 １０２，１９２：上下方向調節機構 １０４，１９０：幅方向調節機構 １０６，１９４：第２調節機構

【補足説明】

【0066】

第１調節機構において、前記第１方向が、前記接近・離間方向に交差する方向である直交する上下方向であり、前記第１可動部材が、前記上下方向に移動可能な上下方向可動部材であり、前記第２保持部材が、前記上下方向可動部材を前記上下方向に相対移動可能に保持する上下方向保持部材である場合には、第１調節機構は上下方向位置調節機構と称することができる。また、前記第１方向が、前記接近・離間方向に交差として直交し、かつ、上下方向に直交する可動子の幅方向であり、前記第１可動部材が、前記幅方向に移動可能な幅方向可動部材であり、前記第２保持部材が、前記幅方向可動部材を前記幅方向に相対移動可能に保持する幅方向保持部材である場合には、第１調節機構は幅方向位置調節機構と称することができる。

【0067】

第２調節機構は、前記第２方向が、水平方向であり、水平方向に延びた軸線の周りの相対的な傾きを調節するものであっても、鉛直方向に延びた軸線の周りの相対的な傾きを調節するものであってもよい。水平方向に延びた軸線には、前記接近・離間方向と平行な方向に延びた軸線、または接近・離間方向と直交する可動子または溝部の幅方向に延びた軸線等が該当する。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】