7654685 デュアルゲート及び単一アクチュエータのシステム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2025-03-24

(45)【発行日】2025-04-01

(54)【発明の名称】デュアルゲート及び単一アクチュエータのシステム

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20250325BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

【請求項の数】 18

(21)【出願番号】P 2022560183

(86)(22)【出願日】2021-04-02

(65)【公表番号】

(43)【公表日】2023-05-17

(86)【国際出願番号】 US2021025580

(87)【国際公開番号】W WO2021203000

(87)【国際公開日】2021-10-07

【審査請求日】2022-11-25

(31)【優先権主張番号】16/839,360

(32)【優先日】2020-04-03

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(73)【特許権者】

【識別番号】390040660

【氏名又は名称】アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

【氏名又は名称原語表記】ＡＰＰＬＩＥＤ ＭＡＴＥＲＩＡＬＳ，ＩＮＣＯＲＰＯＲＡＴＥＤ

【住所又は居所原語表記】３０５０ Ｂｏｗｅｒｓ Ａｖｅｎｕｅ Ｓａｎｔａ Ｃｌａｒａ ＣＡ ９５０５４ Ｕ．Ｓ．Ａ．

(74)【代理人】

【識別番号】110002077

【氏名又は名称】園田・小林弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】クパナン， クマレサン

(72)【発明者】

【氏名】アミール， オフェル

(72)【発明者】

【氏名】クーチャー， マイケル

【審査官】境 周一

(56)【参考文献】

【文献】特表２０１８－５２５５８１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００４－１９７７６９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－１４０１５１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００２－１７４３５０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－３３７５５３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－０２６１２８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１２－１９７４７６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

デュアルゲートシステムであって、
第１のスロットに対して第１の密閉を形成するように構成された第１のゲートと、
前記第１のスロットに対向する第２のスロットに対して第２の密閉を形成するように構成された第２のゲートと、
前記第１のゲート及び前記第２のゲートに連結されたゲートコネクタと、
前記ゲートコネクタに連結されたアクチュエータと
を備え、前記アクチュエータが、
前記ゲートコネクタ、前記第１のゲート、及び前記第２のゲートを共に中間位置まで移動させ、次いで、前記ゲートコネクタ、前記第１のゲート、及び前記第２のゲートを共に第１の密閉ゲート位置まで垂直に移動させることによって、前記第１のスロットに対して前記第１のゲートを密閉し、
前記ゲートコネクタ、前記第１のゲート、及び前記第２のゲートを共に前記中間位置まで移動させ、次いで、前記ゲートコネクタ、前記第１のゲート、及び前記第２のゲートを共に第２の密閉ゲート位置まで水平に移動させることによって、前記第２のスロットに対して前記第２のゲートを密閉するように構成されている、デュアルゲートシステム。

【請求項2】

前記第１のゲートが、垂直運動ゲートであり、前記第２のゲートが、Ｌ字運動ゲートである、請求項１に記載のデュアルゲートシステム。

【請求項3】

前記アクチュエータが、前記ゲートコネクタ、前記第１のゲート、及び前記第２のゲートを共に上向きの方向に前記第１の密閉ゲート位置まで移動させることによって、前記第１のゲートを閉鎖するように構成されており、前記第１のゲートの前記第１の密閉ゲート位置までの上向きの移動が、前記第１のゲート又は前記第１のスロットを含む第１の側面のうちの少なくとも一方の上の、一又は複数のＯリングが、前記第１のゲートと前記第１の側面との間で圧縮するようになることを引き起こす、請求項１に記載のデュアルゲートシステム。

【請求項4】

前記アクチュエータが、前記ゲートコネクタ、前記第１のゲート、及び前記第２のゲートを共に水平方向に前記第２の密閉ゲート位置の方へ移動させることによって、前記第２のゲートを閉鎖するように構成されており、前記第２のゲートの前記第２の密閉ゲート位置までの水平移動が、前記第２のゲート又は前記第２のスロットを含む第２の側面のうちの少なくとも一方の上の、一又は複数のＯリングが、前記第２のゲートと前記第２の側面との間で圧縮するようになることを引き起こす、請求項１に記載のデュアルゲートシステム。

【請求項5】

密閉された第１のゲートを開放するために、前記アクチュエータが、
前記ゲートコネクタ、前記第１のゲート、及び前記第２のゲートを、前記第１の密閉ゲート位置から下向きに、前記中間位置を過ぎて、開放ゲート位置まで移動するように構成されている、請求項１に記載のデュアルゲートシステム。

【請求項6】

前記第１のゲートと前記第２のゲートの両方が、前記開放ゲート位置において開放される、請求項５に記載のデュアルゲートシステム。

【請求項7】

密閉された第２のゲートを開放するために、前記アクチュエータが、
前記ゲートコネクタ、前記第１のゲート、及び前記第２のゲートを、前記第２の密閉ゲート位置から、前記中間位置まで水平に移動させ、その後、前記ゲートコネクタ、前記第１のゲート、及び前記第２のゲートを、開放ゲート位置まで下向きに移動させるように構成されている、請求項１に記載のデュアルゲートシステム。

【請求項8】

前記第１のゲートと前記第２のゲートの両方が、前記開放ゲート位置において開放される、請求項７に記載のデュアルゲートシステム。

【請求項9】

前記第１のゲート及び前記第２のゲートが、前記ゲートコネクタから両方とも取り外し可能である、請求項１に記載のデュアルゲートシステム。

【請求項10】

ウエハ処理システムにおける方法であって、前記ウエハ処理システムは、
第１のステーションと、
前記第１のステーションに隣接した第２のステーションと、
前記第１のステーションと前記第２のステーションとの間に位置付けられたポートと
を備え、前記ポートが、
第１の側面と前記第１の側面に対向する第２の側面とを有するハウジングであって、前記ハウジングが、前記第１の側面に第１のスロット、前記第２の側面に第２のスロットを含み、物体が、前記第１のスロット及び前記第２のスロットを介して、前記ポートを通って、前記第１のステーションと前記第２のステーションとの間で搬送可能である、ハウジングと、
前記ハウジング内に収納されたデュアルゲートシステムと
を備え、前記デュアルゲートシステムが、
前記第１のスロットに対して第１の密閉を形成するように構成された第１のゲート、
前記第２のスロットに対して第２の密閉を形成するように構成された第２のゲート、及び
前記第１のゲート及び前記第２のゲートに連結されたゲートコネクタ
を備え、前記方法は、
前記第１のゲート、前記第２のゲート、及び前記ゲートコネクタを共に、開放ゲート位置から中間位置まで移動させることと、次いで、
前記ゲートコネクタ、前記第１のゲート、及び前記第２のゲートを共に、第１の密閉ゲート位置まで垂直に移動させることであって、前記第１の密閉ゲート位置が、前記第１のスロットに対して第１の密閉を含む、前記ゲートコネクタ、前記第１のゲート、及び前記第２のゲートを移動させることと、
を含む、方法。

【請求項11】

前記第１のゲート又は前記第１の側面のうちの少なくとも一方の上の、一又は複数のＯリングを、前記第１の密閉ゲート位置において前記第１のゲートと前記第１の側面との間で圧縮することを更に含む、請求項１０に記載の方法。

【請求項12】

前記ゲートコネクタ、前記第１のゲート、及び前記第２のゲートを共に、前記第１の密閉ゲート位置から下向きに、前記中間位置を過ぎて、開放ゲート位置まで移動させることを更に含み、前記第１のゲートと前記第２のゲートの両方が、前記開放ゲート位置において開放される、請求項１０に記載の方法。

【請求項13】

ウエハ処理システムであって、
第１のステーションと、
前記第１のステーションに隣接した第２のステーションと、
前記第１のステーションと前記第２のステーションとの間に位置付けられたポートと
を備え、前記ポートが、
第１の側面と前記第１の側面に対向する第２の側面とを有するハウジングであって、前記ハウジングが、前記第１の側面に第１のスロット、前記第２の側面に第２のスロットを含み、物体が、前記第１のスロット及び前記第２のスロットを介して、前記ポートを通って、前記第１のステーションと前記第２のステーションとの間で搬送可能である、ハウジングと、
前記ハウジング内に収納されたデュアルゲートシステムと
を備え、前記デュアルゲートシステムが、
前記第１のスロットに対して第１の密閉を形成するように構成された第１のゲート、
前記第２のスロットに対して第２の密閉を形成するように構成された第２のゲート、
前記第１のゲート及び前記第２のゲートに連結されたゲートコネクタ、及び
前記ゲートコネクタに連結されたアクチュエータ
を備え、前記アクチュエータが、
前記ゲートコネクタ、前記第１のゲート、及び前記第２のゲートを共に中間位置まで移動させ、次いで、前記ゲートコネクタ、前記第１のゲート、及び前記第２のゲートを共に第１の密閉ゲート位置まで垂直に移動させることによって、前記第１のスロットに対して前記第１のゲートを密閉し、
前記ゲートコネクタ、前記第１のゲート、及び前記第２のゲートを共に前記中間位置まで移動させ、次いで、前記ゲートコネクタ、前記第１のゲート、及び前記第２のゲートを共に第２の密閉ゲート位置まで水平に移動させることによって、前記第２のスロットに対して前記第２のゲートを密閉するように構成されている、ウエハ処理システム。

【請求項14】

前記第１のゲート及び前記第２のゲートが、前記ゲートコネクタから両方とも取り外し可能であり、前記第１のゲートが、垂直運動ゲートであり、前記第２のゲートが、Ｌ字運動ゲートである、請求項１３に記載のウエハ処理システム。

【請求項15】

前記アクチュエータが、前記ゲートコネクタ、前記第１のゲート、及び前記第２のゲートを共に上向きの方向に前記第１の密閉ゲート位置まで移動させることによって、前記第１のゲートを閉鎖するように構成されており、前記第１のゲートの前記第１の密閉ゲート位置までの上向きの移動が、前記第１のゲート又は前記第１の側面のうちの少なくとも一方の上の、一又は複数のＯリングが、前記第１のゲートと前記第１の側面との間で圧縮するようになることを引き起こし、
前記アクチュエータが、前記ゲートコネクタ、前記第１のゲート、及び前記第２のゲートを共に水平方向に前記第２の密閉ゲート位置まで前記第２の側面の方へ移動させることによって、前記第２のゲートを閉鎖するように構成されており、前記第２のゲートの前記第２の密閉ゲート位置までの水平移動が、前記第２のゲート又は前記第２の側面のうちの少なくとも一方の上の、一又は複数のＯリングが、前記第２のゲートと前記第２の側面との間で圧縮するようになることを引き起こす、請求項１３に記載のウエハ処理システム。

【請求項16】

密閉された第１のゲートを開放するために、前記アクチュエータが、前記ゲートコネクタ、前記第１のゲート、及び前記第２のゲートを共に、前記第１の密閉ゲート位置から下向きに、前記中間位置を過ぎて、開放ゲート位置まで移動させるように構成されており、
密閉された第２のゲートを開放するために、前記アクチュエータが、前記ゲートコネクタ、前記第１のゲート、及び前記第２のゲートを共に、前記第２の密閉ゲート位置から前記中間位置まで水平に移動させ、その後、前記ゲートコネクタ、前記第１のゲート、及び前記第２のゲートを共に、開放ゲート位置まで下向きに移動させるように構成されており、
前記第１のゲートと前記第２のゲートの両方が、前記開放ゲート位置において開放される、請求項１３に記載のウエハ処理システム。

【請求項17】

前記第１のステーション及び前記第２のステーションが、独立して、ロードロック、移送チャンバ、処理チャンバ、前方開口型統一ポッド（ＦＯＵＰ）、側方ストレージポッド（ＳＳＰ）、真空ストレージバッファのうちの１つである、請求項１３に記載のウエハ処理システム。

【請求項18】

前記第１のステーションが移送チャンバであり、前記第２のステーションが処理チャンバである、請求項１３に記載のウエハ処理システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

［０００１］本開示の実施形態は、概して、ウエハを処理する方法及びシステムに関する。より具体的には、本開示は、単一のアクチュエータが２つのゲートを操作するデュアルゲートシステムに関する。

【背景技術】

【0002】

［０００２］電子デバイス製造において、ウエハ（例えば、シリコン含有ウエハやシリコン含有プレート）は、製造施設を回るように、及び製造機器ツール内で、例えば、ファクトリインターフェースからロードロックチャンバへと、ロードロックチャンバから移送チャンバへと、移送チャンバから処理チャンバへと、などのように移動させられ得る。これらの移動において、ウエハは、隣接したチャンバ間に位置付けられたポートを通って搬送される。ポートは通常、２つのゲートシステムを収納するが、ここで各ゲートはその対応するゲートを操作するために、その指定されたアクチュエータに連結される。各ゲートのための個々のアクチュエータは、追加のスペースを占め、追加のグリースを使用し、個々のメンテナンスを必要とし、両方のゲートを操作するための単一のアクチュエータと比較して、更なる汚染を生み出す。

【発明の概要】

【0003】

［０００３］特定の実施形態では、本開示は、デュアルゲートシステムを対象とする。実施形態において、デュアルゲートシステムは、第１のゲート、第２のゲート、第１のゲート及び第２のゲートに連結されたゲートコネクタ、並びにゲートコネクタに連結されたアクチュエータを含む。第１のゲートは、第１のスロットに対して第１の密閉を形成するように構成される。第２のゲートは、第１のスロットと対向する第２のスロットに対して密閉を形成するように構成される。実施形態において、アクチュエータは、ゲートコネクタ、第１のゲート、及び第２のゲートを共に中間位置まで移動させ、次いで、ゲートコネクタ、第１のゲート、及び第２のゲートを共に第１の密閉された位置まで垂直に移動させることによって、第１のスロットに対して第１のゲートを密閉するように構成される。実施形態において、アクチュエータは、ゲートコネクタ、第１のゲート、及び第２のゲートを共に中間位置まで移動させ、次いで、ゲートコネクタ、第１のゲート、及び第２のゲートを共に第２の密閉ゲート位置まで水平に移動させることによって、第２のスロットに対して第２のゲートを密閉するように構成される。

【0004】

［０００４］特定の実施形態では、本開示は、本明細書に開示のデュアルゲートシステムを動作させるための方法を対象とする。本方法は、第１のゲート、第２のゲート、並びに第１のゲート及び第２のゲートに連結されたゲートコネクタを共に、開放された位置から中間位置まで移動させることを含む。次いで、本方法は、ゲートコネクタ、第１のゲート、及び第２のゲートを共に、第１の密閉ゲート位置まで垂直に移動させること、又は、ゲートコネクタ、第１のゲート、及び第２のゲートを共に、第２の密閉ゲート位置まで水平に移動させることを更に含む。第１の密閉ゲート位置は、第１のゲート、第２のゲート、及びゲートコネクタを含むハウジングの第１の側面上の第１のスロットに対して第１の密閉を含む。第２の密閉ゲート位置は、ハウジングの第１の側面と対向する、ハウジングの第２の側面上の第２のスロットに対して第２の密閉を含む。

【0005】

［０００５］特定の実施形態では、本開示は、第１のステーションと、第１のステーションに隣接した第２のステーションと、第１のステーションと第２のステーションとの間に位置付けられたポートとを含むウエハ処理システムを対象とする。ポートは、ハウジングと、ハウジング内に収納されたデュアルゲートシステムとを含む。実施形態において、ハウジングは、第１の側面と第１の側面に対向する第２の側面とを有する。ハウジングは、第１の側面に第１のスロット、第２の側面に第２のスロットを更に含み、物体が、第１のスロット及び第２のスロットを介して、ポートを通って、第１のステーションと第２のステーションとの間で搬送可能である。実施形態において、デュアルゲートシステムは、第１のゲート、第２のゲート、第１のゲート及び第２のゲートに連結されたゲートコネクタ、並びにゲートコネクタに連結されたアクチュエータを含む。第１のゲートは、第１のスロットに対して第１の密閉を形成するように構成される。第２のゲートは、第２のスロットに対して密閉を形成するように構成される。実施形態において、アクチュエータは、ゲートコネクタ、第１のゲート、及び第２のゲートを共に中間位置まで移動させ、次いで、ゲートコネクタ、第１のゲート、及び第２のゲートを共に第１の密閉された位置まで垂直に移動させることによって、第１のスロットに対して第１のゲートを密閉するように構成される。実施形態において、アクチュエータは、ゲートコネクタ、第１のゲート、及び第２のゲートを共に中間位置まで移動させ、次いで、ゲートコネクタ、第１のゲート、及び第２のゲートを共に第２の密閉ゲート位置まで水平に移動させることによって、第２のスロットに対して第２のゲートを密閉するように構成される。

【0006】

［０００６］本開示は、添付図面を用い、非限定的な例としてのみ記載されており、図面においては同様の要素が類似の参照符号で示されている。本開示における「ある（ａｎ）」又は「一（ｏｎｅ）」実施形態に対する異なる個所での言及は、必ずしも同じ実施形態に対してではなく、かかる言及は、少なくとも一の、を意味することに留意されたい。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】［０００７］本開示の実施形態に係る、ウエハ処理システムの上面概略図である。

【図2】［０００８］本開示の実施形態に係る、デュアルゲートシステムの簡略断面側面図である。

【図3】［０００９］実施形態に係る、デュアルゲートシステムの動作方法の簡略概略図である。

【図4】［００１０］実施形態に係る、デュアルゲートシステムの動作方法の簡略概略図である。

【図5】［００１１］本開示の実施形態に係る、デュアルゲートシステムを動作させるための方法のフロー図である。

【図6】［００１２］本開示の実施形態に係る、デュアルゲートシステムを動作させるための方法のフロー図である。

【発明を実施するための形態】

【0008】

［００１３］ウエハ処理の間、ウエハは、例えば２～３例を挙げると、ファクトリインターフェースからロードロックチャンバへ、ロードロックチャンバから移送チャンバへ、及び、移送チャンバから処理チャンバへなど、複数のチャンバ間で搬送される。かかる移送の間、ウエハは、隣接したチャンバ間に位置付けられたポートを通って移動させられる。ポートは通常、２つのゲートシステムを収納するが、ここで各ゲートはその対応するゲートを操作するために使用される指定されたアクチュエータに連結される。両方のゲートを操作するための単一のアクチュエータを含む設計は、チャンバ間で使用されるポートのサイズ及び厚さを低減させ、使用されるグリースの量及びかかる使用（グリース又は粒子形成から）に関連する汚染を低減させ、減少したツール数の動作による信頼性を向上させることが有益であり得る。

【0009】

［００１４］本明細書では、ウエハ処理システム、ポート（例えばチャンバポート）、及びその動作方法が記載される。特定の実施形態では、ウエハ処理システムは、第１のステーションと、第１のステーションに隣接した第２のステーションとを含む。ウエハ処理システムは、第１のステーションと第２のステーションとの間に位置付けられたポートを更に含み得る。

【0010】

［００１５］ポートは、ハウジングと、ハウジング内に収納されたデュアルゲートシステムとを含み得る。ハウジングは、第１の側面と第１の側面に対向する第２の側面とを有し得る。ハウジングは、第１の側面に第１のスロット、第２の側面に第２のスロットを更に含み得、物体が、第１のスロット及び第２のスロットを介して、ポートを通って、第１のステーションと第２のステーションとの間で搬送可能である。

【0011】

［００１６］デュアルゲートシステムは、第１のゲート、第２のゲート、ゲートコネクタ、及びゲートコネクタに連結されたアクチュエータを含み得る。第１のゲートは、第１のスロットに対して第１の密閉を形成するように構成され得る。第２のゲートは、第２のスロットに対して第２の密閉を形成するように構成され得る。ゲートコネクタは、第１のゲート及び第２のゲートに連結され得る。第１のゲート及び第２のゲートはそれぞれ、ゲートコネクタから取り外し可能であり得る。アクチュエータは、アクチュエータへの入力信号に応答して、ゲートコネクタ、第１のゲート、及び第２のゲートの移動を操作するためのアクチュエータエンドエフェクタを含み得る。アクチュエータへの入力信号は、空気圧、電気、又は別の適切な入力信号であり得る。

【0012】

［００１７］アクチュエータは、ゲートコネクタ、第１のゲート、及び第２のゲートを共に中間位置まで移動させ、次いで、ゲートコネクタ、第１のゲート、及び第２のゲートを共に第１の密閉された位置まで垂直に移動させることによって、第１のスロットに対して第１のゲートを密閉するように構成され得る。アクチュエータは、また、ゲートコネクタ、第１のゲート、及び第２のゲートを共に中間位置まで移動させ、次いで、ゲートコネクタ、第１のゲート、及び第２のゲートを共に第２の密閉ゲート位置まで水平に移動させることによって、第２のスロットに対して第２のゲートを密閉するように構成され得る。

【0013】

［００１８］実施形態において、アクチュエータは、ゲートコネクタ、第１のゲート、及び第２のゲートを共に上向きの方向に第１の密閉ゲート位置まで移動させることによって、第１のゲートを閉鎖するように構成される。この実施形態において、第１のゲートの第１の密閉ゲート位置までの上向きの移動が、第１のゲート又は第１の側面のうちの少なくとも一方の上の、一又は複数のＯリングが、第１のゲートと第１の側面との間で圧縮するようになることを引き起こす。この実施形態において、密閉された第１のゲートを開放するために、アクチュエータは、ゲートコネクタ、第１のゲート、及び第２のゲートを共に、第１の密閉ゲート位置から下向きに、中間位置を過ぎて、開放ゲート位置まで移動するように構成される。開放ゲート位置において、第１のゲートと第２のゲートの両方が開放されており、物体は、第１のスロット及び第２のスロットを通って、ポートと分離した、第１のステーションから隣接した第２のステーションへと搬送され得る。

【0014】

［００１９］実施形態において、アクチュエータは、ゲートコネクタ、第１のゲート、及び第２のゲートを共に水平方向に第２の密閉ゲート位置まで第２の側面の方へ移動させることによって、第２のゲートを閉鎖するように構成される。この実施形態において、第２のゲートの第２の密閉ゲート位置までの水平移動は、第２のゲート又は第２の側面のうちの少なくとも一方の上の、一又は複数のＯリングが、第２のゲートと第２の側面との間で圧縮するようになることを引き起こす。この実施形態において、密閉された第２のゲートを開放するために、アクチュエータは、ゲートコネクタ、第１のゲート、及び第２のゲートを共に、第２の密閉ゲート位置から、中間位置まで水平に移動させ、その後、ゲートコネクタ、第１のゲート、及び第２のゲートを、開放ゲート位置まで下向きに移動させるように構成される。開放ゲート位置において、第１のゲートと第２のゲートの両方が開放されており、物体は、第１のスロット及び第２のスロットを通って、ポートと分離した、第１のステーションから隣接した第２のステーションへと搬送され得る。

【0015】

［００２０］特定の実施形態では、本明細書に記載の動作方法は、第１のゲート、第２のゲート、並びに第１のゲート及び第２のゲートに連結されたゲートコネクタを共に、開放された位置から中間位置まで移動させることを含む。その後、動作方法は、ゲートコネクタ、第１のゲート、及び第２のゲートを共に、第１の密閉ゲート位置まで垂直に移動させること、又は、ゲートコネクタ、第１のゲート、及び第２のゲートを共に、第２の密閉ゲート位置まで水平に移動させることを更に含み得る。

【0016】

［００２１］実施形態において、第１の密閉ゲート位置は、第１のゲート、第２のゲート、及びゲートコネクタを含むハウジングの第１の側面上の第１のスロットに対して第１の密閉を含む。この実施形態において、動作方法は、第１のゲート、又は、第１のゲートと第１の側面との間の第１の側面のうちの少なくとも一方の上の、一又は複数のＯリングを第１の密閉ゲート位置で圧縮することを更に含み得る。この実施形態において、動作方法は、ゲートコネクタ、第１のゲート、及び第２のゲートを共に、第１の密閉ゲート位置から下向きに、中間位置を過ぎて、開放ゲート位置まで移動させることを更に含み得、第１のゲートと第２のゲートの両方が、開放ゲート位置において開放される。

【0017】

［００２２］実施形態において、第２の密閉ゲート位置は、第１のゲート、第２のゲート、及びゲートコネクタを含むハウジングの第２の側面上の第２のスロットに対して第２の密閉を含む。この実施形態において、動作方法は、第２のゲート、又は、第２のゲートと第２の側面との間の第２の側面のうちの少なくとも一方の上の、一又は複数のＯリングを第２の密閉ゲート位置で圧縮することを更に含み得る。この実施形態において、動作方法は、ゲートコネクタ、第１のゲート、及び第２のゲートを共に、第２の密閉ゲート位置から中間位置まで水平に移動させ、その後、ゲートコネクタ、第１のゲート、及び第２のゲートを共に、開放ゲート位置まで下向きに移動させることを更に含み得、第１のゲートと第２のゲートの両方が、開放ゲート位置において開放される。

【0018】

［００２３］例示的な実施形態において、第１のステーションは、移送チャンバであってもよく、第２のステーションは、処理チャンバであってもよい。定期的な処理の間、ウエハは、ポートから移送チャンバを分離する第１の側面の第１のスロットを通って、及びポートから処理チャンバを分離する第２の側面の第２のスロットを通って、移送チャンバから処理チャンバへと搬送され得る。移送チャンバと処理チャンバとの間のウエハ移送中に、ゲートコネクタ、第１のゲート、及び第２のゲートは、開放された位置にあり得る。処理中、ウエハが移送チャンバから処理チャンバ内に搬送された後、ゲートコネクタ、第１のゲート、及び第２のゲートは共に、開放された位置から中間位置まで垂直に移動し得る。その後、ゲートコネクタ、第１のゲート、及び第２のゲートは共に、第２の密閉ゲート位置まで水平に移動し得、第２のゲートは、ポートから処理チャンバを分離する第２の側面上の第２のスロットに対して密閉する。ゲートコネクタ、第１のゲート、及び第２のゲートの移動は、アクチュエータによって制御され得る。この実施例の第２のゲートは、Ｌ字運動ゲートであり得る。Ｌ字運動ゲートは、ウエハ処理中に処理チャンバを密閉するために使用され得る。第２の密閉ゲート位置では、第１のゲートは使用されておらず、点検のために除去することができる。

【0019】

［００２４］処理チャンバの一定時間の動作の後、又は点検スケジュールにしたがって、処理チャンバは、点検される準備ができていてもよい。処理チャンバを点検するために、ゲートコネクタ、第１のゲート、及び第２のゲートは共に、第１の密閉ゲート位置まで移動し得、第１のゲートは、ポートから移送チャンバを分離する第１の側面上の第１のスロットに対して密閉する。開放された位置から第１の密閉ゲート位置に到着するまで、ゲートコネクタ、第１のゲート、及び第２のゲートは共に、開放された位置から中間位置まで垂直に移動する。その後、ゲートコネクタ、第１のゲート、及び第２のゲートは共に、中間位置から第１の密閉ゲート位置へ再び垂直に移動する。ゲートコネクタ、第１のゲート、及び第２のゲートの移動は、アクチュエータによって制御され得る。この実施例の第１のゲートは、垂直運動ゲートであり得る。第１の密閉ゲート位置では、第２のゲートは使用されておらず、点検のために除去することができる。この時間の間、処理チャンバも点検されてもよい。

【0020】

［００２５］上記の例示的な実施形態は、処理チャンバ及び移送チャンバのシステムに関して記載されており、処理チャンバは、Ｌ字運動型ゲートを用いて密閉（すなわち、ポートから分離）され得、移送チャンバは、垂直運動型ゲートを用いて密閉（すなわち、ポートから分離）され得る。しかし、この例示的な実施形態は、限定として解釈されるべきではない。デュアルゲートシステムは、前方開口型統一ポッド、側方ストレージポッド、ロードロック、移送チャンバ、ファクトリインターフェース、処理チャンバ、真空ストレージバッファなど、ウエハ処理システム内の任意の隣接ステーション間のポートで使用され得る。

【0021】

［００２６］加えて、一方のゲートがこのように移動可能であり、他方のゲートが垂直運動（例えば、更なる水平運動なしに）で移動可能である限り、密閉するために垂直運動及び次いで水平運動（例えば、Ｌ字運動型）で移動可能であるゲートの位置決めは、限定的であるものとして解釈されるべきではない。一実施形態では、Ｌ字運動型ゲートは、処理チャンバをポートから分離し得、垂直運動型ゲートは、移送チャンバをポートから分離し得る。別の実施形態では、Ｌ字運動型ゲートは、移送チャンバをポートから分離し得、垂直運動型ゲートは、処理チャンバをポートから分離し得る。一般的に、Ｌ字運動型ゲートは、密閉時の剪断がより少なく生み出され、ウエハ処理中により頻繁に利用されるゲートにとって好ましいゲートであろう。

【0022】

［００２７］デュアルゲートシステムの垂直及び／又は水平移動を実装するために使用され得る幾つかの例示的な作動機構は、シングルストローク空気圧シリンダ、サーボ又はステッピングモータ、デュアルストローク空気圧シリンダなどを含み得るが、これらに限定されるわけではない。

【0023】

［００２８］本明細書において、単数形の「１つの（ａ、ａｎ）」、及び「その／この／前記（ｔｈｅ）」は、文脈上別途明示しない限り、複数の指示を含む。したがって、例えば、「ウエハ」という指示は、単一のウエハ及び２つ以上のウエハを含むなどである。

【0024】

［００２９］本明細書において、測定量に関連する「約（ａｂｏｕｔ）」という用語は、測定を行い、測定目的及び測定機器の精度に見合った注意レベルを行使する際に当業者によって予測される、その測定量の通常の変動を指す。特定の実施形態では、「約」という用語は、「約１０」が９～１１を含むなど、列挙された数±１０％を含む。

【0025】

［００３０］本明細書において、移動方向に関連する「垂直に（ｖｅｒｔｉｃａｌｌｙ）」という用語は、図２～図４に示されるＹ軸に沿った上向き及び／又は下向きの移動を指す。

【0026】

［００３１］本明細書において、移動方向に関連する「水平に（ｈｏｒｉｚｏｎｔａｌｌｙ）」という用語は、図２～図４に示されるＸ軸に沿った右へ又は左へなどの横方向の移動を指す。

【0027】

［００３２］本明細書において、「ステーション（ｓｔａｔｉｏｎ）」という用語は、ウエハなどのウエハ処理システムを通して搬送される物体が一時的に格納され得るチャンバを指す。本明細書で使用されるステーションは、少なくとも１つのゲートを有するウエハ処理システムの他の部分から分離され得る。ステーションの例としては、前方開口型統一ポッド（ＦＯＵＰ）、ロードロック、ロードポート、処理チャンバ、移送チャンバ、及びファクトリインターフェースが含まれる。

【0028】

［００３３］本明細書で列挙している値の範囲は、本明細書に別段の指示がない限り、その範囲内に含まれる個々の値のそれぞれに個別に言及することの省略的方法としての役割を果たすことを意図しているにすぎず、個々の値のそれぞれは、本明細書で個別に列挙されているかのように、本明細書に組み込まれている。本明細書に記載の全ての方法は、本明細書に別段の指示がない限り、又は明らかに文脈に矛盾しない限り、任意の適切な順序で実行され得る。本明細書で提供された任意の及び全ての実施例、又は例示的な文言（例えば「～など（ｓｕｃｈ ａｓ）」）の使用は、単に特定の材料及び方法を説明することを意図したものであり、範囲に限定を課すものではない。本明細書中のいかなる文言も、開示された材料及び方法の実施に不可欠なものとして特許請求されていない要素を示すものと解釈すべきではない。

【0029】

［００３４］図１は、本開示の実施形態による、ウエハ処理システム６００の上面概略図を示す。ウエハ処理システム６００は、本明細書に記載の実施形態による、ファクトリインターフェース６６２（「機器フロントエンドモジュール（ＥＦＥＭ）」とも称される）、メインフレーム６４８（移送チャンバとも称される）、一又は複数の処理チャンバ６５５、及び一又は複数のロードロックチャンバ６５６を含み得る。メインフレーム６４８は、一又は複数のロードロックチャンバ６５６を介してファクトリインターフェース６６２に接続され得る。ウエハキャリア６６４は、ファクトリインターフェース６６２の前壁に着脱可能に接続され得る。ファクトリインターフェース６６２は、ウエハキャリア６６４とロードロックチャンバ６５６との間でウエハ１０１（説明のために点線で示す）及び／又は他の物体（プロセスキットリング等など）を移動させるためのファクトリインターフェースロボット６６１を含み得る。例えば、ファクトリインターフェース６６２は、一又は複数のロードポートを含み得、ロードポートのそれぞれは、ウエハキャリア６６４を受け入れることができる。オーバーヘッドトラック（ＯＨＴ）は、前方開口型統一ポッドをロードポート上に落とし得る。ファクトリインターフェースロボット６６１は、ＦＯＵＰからウエハ１０１を採取することができ、任意選択的に、アライナ（図示せず）内でウエハ１０１を位置合わせすることができる。その後、ファクトリインターフェースロボット６６１は、ウエハ１０１をロードロックチャンバ６５６内に配置し得る。その後、メインフレームロボット６５０（メインフレーム６４８内に位置する）は、ロードロックチャンバ６５６のうちの少なくとも１つからウエハ１０１を採取し、一又は複数の処理チャンバ６５５のうちの少なくとも１つへウエハ１０１を引き渡し得る。

【0030】

［００３５］製造プロセスが進行するにつれて、連動して動作するファクトリインターフェースロボット６６１及びメインフレームロボット６５０が、ウエハキャリア６６４と処理チャンバ６５５との間でウエハ１０１及び／又は他の物体を移動させる。様々な電子デバイス製造プロセス（例えば、酸化、薄膜堆積、エッチング、熱処理、ガス抜き、冷却等といった半導体デバイス製造プロセス）が、処理チャンバ６５５内で行われ得る。

【0031】

［００３６］一又は複数の処理チャンバ６５５のうちの少なくとも１つにおける処理が完了した後、処理されたウエハ１０１は、メインフレームロボット６５０によって採取され、ロードロックチャンバ６５６のうちの少なくとも１つに引き渡され得る。ロードロックチャンバ６５６のうちの少なくとも１つは、その圧力を大気圧までポンピングし、続いて、処理されたウエハ１０１はファクトリインターフェースロボット６６１によって採取され、ＦＯＵＰ内に戻され得る。ウエハキャリア６６４からの全てのウエハが処理された後、ＯＨＴ（図示せず）は、設計された製造プロセスにより、ＦＯＵＰを採取し、別のツールでそれを落とし得る。

【0032】

［００３７］ウエハ１０１及び／又は他の物体は、ポート６７５に収納される、図２に関して更に詳細に記載されるデュアルゲートシステムを介して、１つのステーションと隣接したステーションとの間（例えば、移送チャンバ６４８と処理チャンバ６５５との間、ロードロックチャンバ６５６と移送チャンバ６４８との間、ファクトリインターフェース６６２とロードロックチャンバ６５６との間など）に搬送される。

【0033】

［００３８］２つの隣接したステーション間の幾つかのポートは、ハウジング、並びにハウジング内に収納されたデュアルゲート及びデュアルアクチュエータシステムを含み得る。デュアルゲート及びデュアルアクチュエータシステムは、第１のゲートを開放された位置から第１の密閉ゲート位置まで移動させるように構成された、第１のアクチュエータに連結された第１のゲートを含み得る。デュアルゲート及びデュアルアクチュエータシステムは、更に、第２のゲートを開放された位置から第２の密閉ゲート位置まで移動させるように構成された、第２のアクチュエータ（第１のアクチュエータとは別個の）に連結された別個の第２のゲートを含み得る。この構成において、各アクチュエータはその指定されたゲートを操作する。

【0034】

［００３９］両方のゲートを操作することができる単一のアクチュエータを有するのとは対照的に、単一のゲートをそれぞれ操作する２つアクチュエータを有することは、より多くのスペースを占め、より多くのグリースを使用し、より多くの汚染を生み出し、より多くのメンテナンスを伴う。したがって、本明細書に記載の実施形態による、図１のウエハ処理システム６００内の幾つかのポートは、単一のアクチュエータによって作動されるデュアルゲートを含む。本開示は、特定の実施形態で、単一のアクチュエータが２つのゲートを操作するデュアルゲートシステムを対象とする。かかる実施形態は、使用されるアクチュエータの数を低減させ、使用されるグリースの量を低減させ、２つのアクチュエータを動作させることに関連する汚染の量を１つとは対照的に低減させ（例えば、１つとは対照的に２つのアクチュエータによって生み出される粒子の数、１つとは対照的に２つのアクチュエータによって使用されるグリースの量）、信頼性を向上させ、１つのアクチュエータは２つのアクチュエータよりも少ないスペースしか取らないので、スペース占有を低減させることが有益である。

【0035】

［００４０］図２は、本開示の実施形態による、デュアルゲートシステムの簡略断面側面図を示す。図２に示すように、ポート６７５は、実施形態にしたがって、ハウジング３５０と、ハウジング３５０内に収納されるデュアルゲートシステムとを含む。

【0036】

［００４１］実施形態において、ハウジング３５０は、第１の側面３１２と、第１の側面に対向する第２の側面３２２とを有する。ハウジングは、第１の側面３１２に第１のスロット３１４を、第２の側面３２２に第２のスロット３２４を更に含む。物体は、第１のスロット３１４及び第２のスロット３２４を介して、ポート６７５を通って、第１のステーションと第２のステーションとの間（例えば、ファクトリインターフェース６６２とロードロック６５６との間、ロードロック６５６と移送チャンバ６４８との間、又は移送チャンバ６４８と処理チャンバ６５５との間）で搬送可能である。

【0037】

［００４２］実施形態において、デュアルゲートシステムは、第１のゲート３１０、第２のゲート３２０、第１のゲート３１０及び第２のゲート３２０に連結されたゲートコネクタ３３０、並びにゲートコネクタ３３０に連結されたアクチュエータ３４０を含む。アクチュエータ３４０は更に、ゲートコネクタ３３０に連結されたアクチュエータシャフト３４５を含み得る。本明細書では、アクチュエータシャフト３４５は、アクチュエータ３４０への入力信号（例えば、空気圧入力信号、電気入力信号、又は別の入力信号）に応答して、第１のゲート３１０、第２のゲート３２０、及びゲートコネクタ３３０を操作するように構成されたアクチュエータエンドエフェクタとも称され得る。第１のゲート３１０及び第２のゲート３２０は両方とも、ゲートコネクタ３３０から取り外し可能であり得る。ゲートコネクタ３３０は、寸法がコンパクトであり得（すなわち、第１のゲート３１０と第２のゲート３２０との間のｘ距離が最小化される）、一方、オペレータ及び／又はロボットがポート６７５に容易にアクセスし、第１のゲート３１０又は第２のゲート３２０のうちの少なくとも一方を除去する（又は、第１のゲート３１０又は第２のゲート３２０のうちの少なくとも一方を、それが交換及び／又は洗浄及び／又は点検された後に配置する）のに十分な空間を依然として提供する。

【0038】

［００４３］第１のゲート３１０は、図３に関して更に詳細に記載されるように、第１のスロット３１４に対して第１の密閉を形成するように構成される。特定の実施形態では、アクチュエータ３４０は、ゲートコネクタ３３０、第１のゲート３１０、及び第２のゲート３２０を共に、開放された位置（例えば、図３及び図４の４００Ａ）から中間位置（例えば、図３及び図４の４００Ｂ）まで垂直に移動させ、次いで、ゲートコネクタ３３０、第１のゲート３１０、及び第２のゲート３２０を共に、第１の密閉された位置（例えば、図３の４００Ｃ）まで垂直に移動させることによって、第１のスロット３１４に対して第１のゲート３１０を密閉するように構成される。

【0039】

［００４４］実施形態において、アクチュエータ３４０は、ゲートコネクタ３３０、第１のゲート３１０、及び第２のゲート３２０を共に上向きの方向に第１の密閉された位置（例えば、図３の４００Ｃ）まで移動させることによって、第１のゲート３１０を閉鎖するように構成される。第１のゲート３１０の第１の密閉された位置４００Ｃへの上向きの移動は、第１のゲート３１０上のＯリング（図示せず）及び／又は第１の側面３１２上のＯリング（図示せず）が、第１のゲート３１０と第１の側面３１２との間で圧縮するようになることを引き起こす。

【0040】

［００４５］実施形態において、密閉された第１のゲート３１０を開放するために、アクチュエータ３４０は、ゲートコネクタ３３０、第１のゲート３１０、及び第２のゲート３２０を共に、第１の密閉された位置（例えば４００Ｃ）から下向きの方向に、中間位置（例えば４００Ｂ）を過ぎて、開放ゲート位置（例えば４００Ａ）まで移動させるように構成される。開放ゲート位置では、第１のゲート３１０と第２のゲート３２０の両方が開放されており、ウエハなどの物体は、ポート６７５によって分離される隣接したステーション間で搬送され得る。

【0041】

［００４６］第２のゲート３２０は、図４に関して更に詳細に記載されるように、第２のスロット３２４に対して第２の密閉を形成するように構成される。特定の実施形態では、アクチュエータ３４０は、ゲートコネクタ３３０、第１のゲート３１０、及び第２のゲート３２０を共に、開放された位置（例えば、図３及び図４の４００Ａ）から中間位置（例えば、図３及び図４の４００Ｂ）まで垂直に上向きに移動させ、次いで、ゲートコネクタ３３０、第１のゲート３１０、及び第２のゲート３２０を共に、第２の密閉ゲート位置（例えば、図４の５００Ｃ）まで水平に移動させることによって、第２のスロット３２４に対して第２のゲート３２０を密閉するように構成される。

【0042】

［００４７］実施形態において、アクチュエータ３４０は、ゲートコネクタ３３０、第１のゲート３１０、及び第２のゲート３２０を共に水平方向に第２の密閉された位置（例えば、図４の５００Ｃ）まで第２の側面３２２（図２に示される）の方へ移動させることによって、第２のゲート３２０を閉鎖するように構成される。第２のゲート３２０の第２の密閉された位置（例えば５００Ｃ）までの水平移動は、第２のゲート３２０上のＯリング（図示せず）及び／又は第２の側面３２２上のＯリング（図示せず）が、第２のゲート３２０と第２の側面３２２との間で圧縮するようになることを引き起こす。

【0043】

［００４８］実施形態において、密閉された第２のゲート３２０を開放するために、アクチュエータ３４０は、ゲートコネクタ３３０、第１のゲート３１０、及び第２のゲート３２０を共に、第２の密閉された位置（例えば５００Ｃ）から水平方向に移動させ、中間位置（例えば４００Ｂ）を過ぎて、その後、ゲートコネクタ３３０、第１のゲート３１０、及び第２のゲート３２０を共に、開放ゲート位置（例えば４００Ａ）まで下向きの垂直方向に移動させるように構成される。開放ゲート位置では、第１のゲート３１０と第２のゲート３２０の両方が開放されており、ウエハなどの物体は、ポート６７５によって分離される隣接したステーション間で搬送され得る。

【0044】

［００４９］ポート６７５によって分離された隣接したステーションのそれぞれは、ロードロック、移送チャンバ、処理チャンバ、前方開口型統一ポッド、側方ストレージポッド、ファクトリインターフェース、及び真空ストレージバッファからなる群から選択され得る。一実施形態では、第１のステーションは移送チャンバであり、第２のステーションは処理チャンバである（又は、逆もまた同じ）。一実施形態では、第１のステーションはロードロックであり、第２のステーションは移送チャンバである（又は、逆もまた同じ）。一実施形態では、第１のステーションはＦＯＵＰであり、第２のステーションはロードロックである（又は、逆もまた同じ）。

【0045】

［００５０］特定の実施形態では、ポート６７５によって分離された隣接したステーションは、両方とも共通の圧力（すなわち、両方とも真空、又は両方とも大気圧などの同じ圧力）に維持される。隣接した両方のステーションが共通の圧力にあるとき、第１のゲート３１０、第２のゲート３２０、及びゲートコネクタ３３０は共に、次のいずれかの位置にある。開放ゲート位置４００Ａ、中間位置４００Ｂ、第１の密閉された位置４００Ｃ、又は第２の密閉された位置５００Ｃ。他の実施形態では、ポート６７５によって分離された隣接したステーションは、異なる圧力を有する。例えば、１つのステーションを真空に維持し、他の隣接したステーションを真空と大気圧との間で循環させることができる。２つの隣接したステーションが異なる圧力を有するとき、第１のゲート３１０、第２のゲート３２０、及びゲートコネクタ３３０は共に、次の位置、第１の密閉された位置４００Ｃ又は第２の密閉された位置５００Ｃの一方にある。

【0046】

［００５１］図３は、実施形態による、デュアルゲートシステムの動作方法４００の簡略概略図を示す。図５は、本開示の実施形態による、デュアルゲートシステムを動作させるための方法４００のフロー図である。

【0047】

［００５２］第１のゲートを用いて第１のスロットを密閉するために、方法４００は、特定の実施形態において、第１のゲート３１０、第２のゲート３２０、並びに第１のゲート３１０及び第２のゲート３２０に連結されたゲートコネクタ３３０を共に、開放ゲート位置４００Ａから中間位置４００Ｂ（図５では４１０）まで移動させることを含む。実施形態において、開放ゲート位置４００Ａから中間位置４００Ｂへの移動は、垂直方向上向きである。

【0048】

［００５３］その後、特定の実施形態では、方法４００は、第１のゲート３１０、第２のゲート３２０、及びゲートコネクタ３３０を共に、中間位置４００Ｂから垂直方向上向きに、第１の密閉ゲート位置４００Ｃ（図５では４２０）まで移動させることを含む。実施形態において、第１の密閉ゲート位置４００Ｃは、（第１のゲート３１０、第２のゲート３２０、及びゲートコネクタ３３０を含む）ハウジング３５０の第１の側面３１２上の第１のスロット３１４に対して第１の密閉を含む。

【0049】

［００５４］方法４００は、特定の実施形態では、第１のゲート３１０上のＯリング（図示せず）、及び／又は第１のゲート３１０と第１の側面３１２との間の第１の側面３１２上のＯリング（図示せず）を第１の密閉ゲート位置４００Ｃ（図５の４３０）で任意選択的に圧縮することを更に含む。

【0050】

［００５５］第１の密閉ゲート位置からゲートを開放するために、方法４００は、特定の実施形態では、ゲートコネクタ３３０、第１のゲート３１０、及び第２のゲート３２０を共に、第１の密閉ゲート位置４００Ｃから垂直下向きに、中間位置４００Ｂ（図５では４５０）を過ぎて、開放ゲート位置４００Ａ（図５では４６０）まで移動させることを更に含み、ここで、第１のゲート３１０と第２のゲート３２０の両方は、開放される。この実施形態では、方法４００は、第１のゲート３１０上のＯリング（図示せず）、及び／又は第１の側面３１２上のＯリング（図示せず）を、ゲートコネクタ３３０、第１のゲート３１０、及び第２のゲート３２０を、第１の密閉ゲート位置４００Ｃ（図５では４４０）から下向きに移動させる前に、任意選択的に減圧することを更に含み得る。

【0051】

［００５６］特定の実施形態では、開放された位置４００Ａにおいて、第１のゲート３１０、第２のゲート３２０、及びゲートコネクタ３３０に水平運動を提供するように構成された水平アクチュエータ４２５が引き込まれる。開放された位置４００Ａにおいて、第１のゲート３１０、第２のゲート３２０、及びゲートコネクタ３３０に垂直運動を提供するように構成された垂直アクチュエータ４４５が延長される。中間位置４００Ｂにおいて、水平アクチュエータ４２５は、依然として引き込まれており、垂直アクチュエータ４４５は、中央にある（すなわち、延長位置と引き込まれた位置との間）。第１の密閉ゲート位置４００Ｃにおいて、水平アクチュエータ４２５は引き込まれ、かつ、垂直アクチュエータ４４５は引き込まれる。

【0052】

［００５７］図４は、実施形態による、デュアルゲートシステムの動作方法５００の簡略概略図を示す。図６は、本開示の実施形態による、デュアルゲートシステムを動作させるための方法５００のフロー図である。

【0053】

［００５８］第２のゲートを用いて第２のスロットを密閉するために、方法５００は、特定の実施形態において、第１のゲート３１０、第２のゲート３２０、並びに第１のゲート３１０及び第２のゲート３２０に連結されたゲートコネクタ３３０を共に、開放ゲート位置４００Ａから中間位置４００Ｂ（図５では４１０と同じく図６では５１０）まで移動させることを含む。実施形態において、開放ゲート位置４００Ａから中間位置４００Ｂへの移動は、垂直上向き方向にある。

【0054】

［００５９］その後、特定の実施形態では、方法５００は、第１のゲート３１０、第２のゲート３２０、及びゲートコネクタ３３０を共に、中間位置４００Ｂから水平方向に、第２の密閉ゲート位置５００Ｃ（図６では５２０）まで移動させることを含む。実施形態において、第２の密閉ゲート位置５００Ｃは、（第１のゲート３１０、第２のゲート３２０、及びゲートコネクタ３３０を含む）ハウジング３５０の第１の側面３１２と対向する第２の側面３２２上の第２のスロット３２４に対して第２の密閉を含む。

【0055】

［００６０］方法５００は、特定の実施形態では、第２のゲート３２０上のＯリング（図示せず）、及び／又は第２のゲート３２０と第２の側面３２２との間の第２の側面３２２上のＯリング（図示せず）を第２の密閉ゲート位置５００Ｃ（図６の５３０）で圧縮することを更に含む。

【0056】

［００６１］第２の密閉ゲート位置からゲートを開放するために、方法５００は、特定の実施形態において、ゲートコネクタ３３０、第１のゲート３１０、及び第２のゲート３２０を共に、第２の密閉ゲート位置５００Ｃから水平に、中間位置４００Ｂ（図６では５５０）まで移動させ、その後、ゲートコネクタ３３０、第１のゲート３１０、及び第２のゲート３２０を共に、開放ゲート位置４００Ａ（図５では４６０と同様に図６では５６０）まで垂直下向きに移動させることを更に含み、ここで、第１のゲート３１０と第２のゲート３２０の両方は、開放される。この実施形態では、方法５００は、第２のゲート３２０上のＯリング（図示せず）、及び／又は第２の側面３２２上のＯリング（図示せず）を、ゲートコネクタ３３０、第１のゲート３１０、及び第２のゲート３２０を、第２の密閉ゲート位置５００Ｃ（図６では５４０）から水平に移動させる前に、減圧することを更に含み得る。

【0057】

［００６２］特定の実施形態では、開放された位置４００Ａにおいて、第１のゲート３１０、第２のゲート３２０、及びゲートコネクタ３３０に水平運動を提供するように構成された水平アクチュエータ４２５が引き込まれる。開放された位置４００Ａにおいて、第１のゲート３１０、第２のゲート３２０、及びゲートコネクタ３３０に垂直運動を提供するように構成された垂直アクチュエータ４４５が延長される。中間位置４００Ｂにおいて、水平アクチュエータ４２５は、依然として引き込まれており、垂直アクチュエータ４４５は、中央にある（すなわち、延長位置と引き込まれた位置との間）。第２の密閉ゲート位置５００Ｃにおいて、水平アクチュエータ４２５は延長され、かつ、垂直アクチュエータ４４５は中央に残る。

【0058】

［００６３］例示的な実施形態では、第１のステーションは移送チャンバ６４８であり、第２のステーションは処理チャンバ６５５である。定期的な処理の間、ウエハ１０１及び／又は他の物体は、ポート６７５から移送チャンバ６４８を分離する第１の側面３１２の第１のスロット３１４を通って、及びポート６７５から処理チャンバ６５５を分離する第２の側面３２２の第２のスロット３２４を通って、移送チャンバ６４８から処理チャンバ６５５へと搬送され得る。移送チャンバ６４８と処理チャンバ６５５との間のウエハ移送中に、ゲートコネクタ３３０、第１のゲート３１０、及び第２のゲート３２０は、開放された位置４００Ａにあり得る。処理中、ウエハが移送チャンバ６４８から処理チャンバ６５５内に搬送された後、ゲートコネクタ３３０、第１のゲート３１０、及び第２のゲート３２０は共に、開放された位置４００Ａから中間位置４００Ｂまで垂直上向きに移動し得る。その後、ゲートコネクタ３３０、第１のゲート３１０、及び第２のゲート３２０は共に、第２の密閉ゲート位置５００Ｃまで水平に移動し得、第２のゲート３２０は、ポート６７５から処理チャンバ６５５を分離する第２の側面３２２上の第２のスロット３２４に対して密閉する。ゲートコネクタ３３０、第１のゲート３１０、及び第２のゲート３２０の移動は、単一のアクチュエータ３４０によって（例えば、図２に関して詳述されるように）制御され得る。この実施例の第２のゲート３２０は、Ｌ字運動ゲートであり得る。Ｌ字運動ゲートは、ウエハ処理中に処理チャンバ６５５を密閉するために使用され得る。第２の密閉ゲート位置５００Ｃでは、第１のゲート３１０は使用されておらず、除去、交換、洗浄、及び／又は点検を行うことができる。点検は、移送チャンバ６４８又はポートハウジングからウエハの破片を除去すること、移送チャンバ側のポートのシール面を洗浄すること、移送チャンバ６４８の内部を洗浄すること、第１のゲート上、又は移送チャンバ側に対して第１のゲートを密閉するために使用される移送チャンバ側上のＯリングを除去又は交換又は洗浄することを含み得る。

【0059】

［００６４］処理チャンバの一定時間の動作の後、又は点検スケジュール（例えば月１回）にしたがって、処理チャンバ６５５は、点検及び／又はメンテナンスのために期限が到来し得る。処理チャンバ６５５を点検及び／又はメンテナンスするために、ゲートコネクタ３３０、第１のゲート３１０、及び第２のゲート３２０は共に、第１のゲート３１０が、ポート６７５から移送チャンバ６４８を分離する第１の側面３１２上の第１のスロット３１４に対して密閉する、第１の密閉ゲート位置４００Ｃまで移動し得る。開放ゲート位置４００Ａから第１の密閉ゲート位置４００Ｃに到着するまで、ゲートコネクタ３３０、第１のゲート３１０、及び第２のゲート３２０は共に、開放された位置４００Ａから中間位置４００Ｂまで垂直上向きに移動する。その後、ゲートコネクタ３３０、第１のゲート３１０、及び第２のゲート３２０は共に、中間位置４００Ｂから第１の密閉ゲート位置４００Ｃへ再び垂直上向きに移動する。ゲートコネクタ３３０、第１のゲート３１０、及び第２のゲート３２０の移動は、アクチュエータ３４０によって（例えば、図２に関して詳述されるように）制御され得る。この実施例の第１のゲート３１０は、垂直運動ゲートであり得る。第１の密閉ゲート位置４００Ｃでは、第２のゲート３２０は使用されておらず、除去、交換、洗浄、及び／又は点検を行うことができる。この時間の間、処理チャンバ６５５も点検されてもよい。点検は、処理チャンバ６５５又はポートハウジングからウエハの破片を除去すること、処理チャンバ側のポートのシール面を洗浄すること、処理チャンバ６５５の内部を洗浄すること、第２のゲート上、又は処理チャンバ側に対して第２のゲートを密閉するために使用される処理チャンバ側上のＯリングを除去又は交換又は洗浄することを含み得る。

【0060】

［００６５］他のゲートが閉鎖されているときに一方のゲートを維持及び／又は点検することができることは、それが、チャンバのうちの少なくとも１つにおいて定期的なウエハ処理を継続することを可能にし、一方、さもなければ様々なステーションにおける圧力調整（例えば、真空へのポンプダウン）に関連するウエハ処理システムの休止時間を最小限にするので、有益である。

【0061】

［００６６］上記の例示的な実施形態は、処理チャンバ６５５及び移送チャンバ６４８のシステムに関して記載された。ここで、処理チャンバ６５５は、Ｌ字運動型ゲート（垂直及び水平運動を有する）を用いて密閉されてもよく、移送チャンバ６４８は、垂直のみの運動型ゲート（例えば垂直運動ゲート）を用いて密閉されてもよい。しかし、この例示的な実施形態は、限定として解釈されるべきではない。デュアルゲートシステムは、前方開口型統一ポッド、側方ストレージポッド、ロードロック、移送チャンバ、ファクトリインターフェース、処理チャンバ、真空ストレージバッファなど、ウエハ処理システム内の任意の隣接ステーション間のポートで使用され得る。加えて、一方のゲートがこのように移動可能であり、他方のゲートが垂直運動で移動可能である限り、密閉するために垂直運動及び水平運動で移動可能であるゲートの位置決めは、限定的であるものとして解釈されるべきではない。

【0062】

［００６７］一実施形態では、Ｌ字運動型ゲートは、処理チャンバを密閉し得、垂直運動型ゲートは、移送チャンバを密閉し得る。別の実施形態では、Ｌ字運動型ゲートは、移送チャンバを密閉し得、垂直運動型ゲートは、処理チャンバを密閉し得る。一般的に、Ｌ字運動型ゲートは、密閉時の剪断がより少なく生み出され、ウエハ処理中により頻繁に利用されるゲートにとって好ましいゲートであろう。

【0063】

［００６８］デュアルゲートシステムの垂直及び／又は水平移動を実装するために使用され得る幾つかの例示的な作動機構は、２～３例を挙げると、シングルストローク空気圧シリンダ、４バー機構、カムオーバー型運動、サーボ又はステッピングモータ、デュアルストローク空気圧シリンダを含み得るが、これらに限定されるわけではない。

【0064】

［００６９］本明細書に記載のウエハ処理システムは、制御ユニット（図示せず）によってコンピュータ制御され得る。所定の方策に基づいてウエハ１０１を処理するためのプログラム（ソフトウェア）を実行することによって、基板処理システムの様々な駆動ユニットが動作し、ウエハ１０１を処理する。

【0065】

［００７０］更に、本明細書に開示された方法は、上述した実施形態の機能を実現するソフトウェアのプログラムコードが記憶された記憶媒体をコンピュータ（例えば制御ユニット）に供給し、次いでその記憶媒体に記憶されたプログラムコードをコンピュータのプロセッサ（例えば中央処理装置（ＣＰＵ））に読み出させて実行させることにより達成され得ると理解すべきである。あるいは、プラグラム可能な論理制御装置（ＰＬＣ）、チップ上のシステム（ＳｏＣ）等などの別の種類の処理デバイスが、プログラムコードを実行し得る。プログラムコードを実行するプロセッサ又は処理デバイスは、イオナイザを作動させ、スリットバルブを開閉させ、不活性ガスを設定流量で流し又は停止させ、ウエハをロボットによって位置間で移動させることなどができる。

【0066】

［００７１］この場合、記憶媒体から読み出されたプログラムコード自体が上述の実施形態の機能を実現することになるので、プログラムコード及びそのプログラムコードが記憶された記憶媒体も本開示の一部である。

【0067】

［００７２］更に、プログラムコードを供給するための記憶媒体は、例えば、ＲＡＭ、ＮＶ－ＲＡＭ、フロッピー（登録商標）ディスク、ハードディスク、磁気光ディスク、光ディスク（例えば、ＣＤ－ＲＯＭ、ＣＤ－Ｒ、ＣＤ－ＲＷ、ＤＶＤ（ＤＶＤ－ＲＯＭ、ＤＶＤ－ＲＡＭ、ＤＶＤ－ＲＷ、ＤＶＤ＋ＲＷ）等）、磁気テープ、不揮発性メモリカード、他のＲＯＭなどであってもよい。あるいは、プログラムコードは、別のコンピュータ（図示せず）、インターネットに接続されたデータベース（図示せず）等、商用ネットワーク、ＬＡＮ（ローカルエリアネットワーク）などからダウンロードすることによって、コンピュータに供給されてもよい。

【0068】

［００７３］その上、上述の実施形態の機能は、コンピュータが読み出したプログラムコードを実行するだけでなく、処理デバイス上で動作するＯＳ（オペレーティングシステム）などに、プログラムコードの指示に基づいて実際の動作の一部又は全てを実行させることにより達成してもよいと理解すべきである。

【0069】

［００７４］プログラムコードは、オブジェクトコード、インタプリタによって実行されるプログラムコード、ＯＳに供給されるスクリプトデータなどの形態をとることができる。

【0070】

［００７５］前述の記載では、本開示の完全な理解を提供するために、特定の材料、寸法、プロセスパラメータ等などの多くの特定の詳細が明記されている。特定の特徴、構造、材料、又は特性は、一又は複数の実施形態において、任意の適切な様式で組み合わされ得る。「例（ｅｘａｍｐｌｅ）」又は「例示的（ｅｘｅｍｐｌａｒｙ）」という用語は、本明細書では、例、事例、又は例示としての役割を果たすことを意味するために使用される。「例」又は「例示的」として本明細書に記載の任意の態様又は設計は、必ずしも他の態様又は設計よりも好ましい又は有利であると解釈されるべきではない。むしろ、用語「例」又は「例示的」の使用は、概念を具体的に提示することを単に意図している。本出願において、「又は（ｏｒ）」という用語は、排他的な「又は」ではなく、包括的な「又は」を意味することを意図している。すなわち、別段の指定がない限り、又は文脈から明らかでない限り、「Ｘは、Ａ又はＢを含む」は、自然な包括的置換のいずれをも意味することを意図している。すなわち、ＸがＡを含む場合、ＸがＢを含む場合、又はＸがＡとＢの両方を含む場合のいずれにおいても、「ＸがＡ又はＢを含む」は満たされる。本明細書全体を通して、「実施形態」、「特定の実施形態」、又は「一実施形態」への言及は、実施形態に関連して記載された特定の特徴、構造、又は特性が、少なくとも１つの実施形態に含まれることを意味する。したがって、本明細書全体の様々な場所において「実施形態」、「特定の実施形態」、又は「一実施形態」という語句が現れても、必ずしも全てが同じ実施形態を指しているわけではない。

【0071】

［００７６］本開示の実施形態は、本開示の特定の例示的な実施形態に関して記載されてきた。したがって、本明細書及び図面は、限定を意味するのではなく、例示を意味すると見なされるべきである。本明細書に示され、記載されたものに加えて、本開示の様々な修正が、当業者に明らかになり、添付の特許請求の範囲内に入ることが意図される。
また、本願は以下に記載する態様を含む。
（態様１０）
第１のゲート、第２のゲート、並びに前記第１のゲート及び前記第２のゲートに連結されたゲートコネクタを共に、開放ゲート位置から中間位置まで移動させることと、次いで、
前記ゲートコネクタ、前記第１のゲート、及び前記第２のゲートを共に、第１の密閉ゲート位置まで垂直に移動させることであって、前記第１の密閉ゲート位置が、前記第１のゲート、前記第２のゲート、及び前記ゲートコネクタを含むハウジングの第１の側面上の第１のスロットに対して第１の密閉を含む、前記ゲートコネクタ、前記第１のゲート、及び前記第２のゲートを移動させること、又は、
前記ゲートコネクタ、前記第１のゲート、及び前記第２のゲートを共に、第２の密閉ゲート位置まで水平に移動させることであって、前記第２の密閉ゲート位置が、前記ハウジングの第２の側面上の第２のスロットに対して第２の密閉を含み、前記第２の側面が前記第１の側面と対向する、前記ゲートコネクタ、前記第１のゲート、及び前記第２のゲートを移動させること
のいずれかと
を含む、方法。
（態様１１）
前記第１のゲート、又は、前記第１のゲートと前記第１の側面との間の前記第１の側面のうちの少なくとも一方の上の、一又は複数のＯリングを、前記第１の密閉ゲート位置で圧縮することを更に含む、態様１０に記載の方法。
（態様１２）
前記第２のゲート、又は、前記第２のゲートと前記第２の側面との間の前記第２の側面のうちの少なくとも一方の上の、一又は複数のＯリングを、前記第２の密閉ゲート位置で圧縮することを更に含む、態様１０に記載の方法。
（態様１３）
前記ゲートコネクタ、前記第１のゲート、及び前記第２のゲートを共に、前記第１の密閉ゲート位置から下向きに、前記中間位置を過ぎて、開放ゲート位置まで移動させることを更に含み、前記第１のゲートと前記第２のゲートの両方が、前記開放ゲート位置において開放される、態様１０に記載の方法。
（態様１４）
前記ゲートコネクタ、前記第１のゲート、及び前記第２のゲートを共に、前記第２の密閉ゲート位置から前記中間位置まで水平に移動させ、その後、前記ゲートコネクタ、前記第１のゲート、及び前記第２のゲートを共に、開放ゲート位置まで下向きに移動させることを更に含み、前記第１のゲートと前記第２のゲートの両方が、前記開放ゲート位置において開放される、態様１０に記載の方法。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】