特許 7656052 搬送装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2025-03-25

(45)【発行日】2025-04-02

(54)【発明の名称】搬送装置

(51)【国際特許分類】

   B65G 54/02 20060101AFI20250326BHJP

【ＦＩ】

B65G54/02

【請求項の数】 13

(21)【出願番号】P 2023544811

(86)(22)【出願日】2021-08-30

(86)【国際出願番号】 JP2021031761

(87)【国際公開番号】W WO2023032006

(87)【国際公開日】2023-03-09

【審査請求日】2024-01-12

(73)【特許権者】

【識別番号】000010076

【氏名又は名称】ヤマハ発動機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100104433

【弁理士】

【氏名又は名称】宮園 博一

(72)【発明者】

【氏名】林 好典

(72)【発明者】

【氏名】古宇田 秀明

【審査官】大塚 多佳子

(56)【参考文献】

【文献】特許第５７８３４１０（ＪＰ，Ｂ２）

【文献】特許第５１７００４５（ＪＰ，Ｂ２）

【文献】特許第４１５１４１７（ＪＰ，Ｂ２）

【文献】特開平０１－３１３７６６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ６５Ｇ ５４／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

直線方向および曲線方向に沿って移動可能なスライダと、
前記スライダを前記直線方向または前記曲線方向に沿って移動させる駆動モジュールと、
前記直線方向に沿って直線状に形成された直線移動用磁気目盛と、前記曲線方向に沿って曲線状に形成された曲線移動用磁気目盛とを含み、前記スライダまたは前記駆動モジュールの一方に設けられる磁気スケールと、
前記スライダまたは前記駆動モジュールの他方に設けられ、前記直線移動用磁気目盛および前記曲線移動用磁気目盛の各々の磁気を検出する磁気センサとを備え、
前記直線移動用磁気目盛および前記曲線移動用磁気目盛は、互いに離間した状態で設けられている、搬送装置。

【請求項2】

前記直線移動用磁気目盛と、前記曲線移動用磁気目盛とは、同一面または異なる面に互いに離間した状態で設けられている、請求項１に記載の搬送装置。

【請求項3】

前記磁気スケールは、前記スライダに設けられており、
前記磁気センサは、前記駆動モジュールに設けられている、請求項１または２に記載の搬送装置。

【請求項4】

前記スライダは、前記磁気センサに対して上下方向、または、前記上下方向および前記スライダの移動方向に直交する幅方向に前記直線移動用磁気目盛および前記曲線移動用磁気目盛が対向する状態で、前記磁気スケールが内側に配置されるスライダフレームを含む、請求項３に記載の搬送装置。

【請求項5】

前記磁気スケールは、前記直線移動用磁気目盛および前記曲線移動用磁気目盛が一体的に設けられたベース部をさらに含む、請求項１～４のいずれか１項に記載の搬送装置。

【請求項6】

前記ベース部は、
前記直線移動用磁気目盛が設けられる第１面と、
前記曲線移動用磁気目盛が設けられ、前記第１面とは異なる面である第２面とを含む、請求項５に記載の搬送装置。

【請求項7】

前記第２面は、前記ベース部において前記第１面の裏側に配置されている、請求項６に記載の搬送装置。

【請求項8】

前記ベース部は、前記直線移動用磁気目盛と、前記曲線移動用磁気目盛との間に配置され、前記直線移動用磁気目盛および前記曲線移動用磁気目盛の各々から発せられる磁気を遮断する磁気遮断板を有する、請求項７に記載の搬送装置。

【請求項9】

前記第２面と、前記第１面とは、互いに略直交している、請求項６に記載の搬送装置。

【請求項10】

前記第２面と、前記第１面とは、略直交しており、
前記第２面は、前記曲線移動用磁気目盛の曲率に対応した湾曲面である、請求項９に記載の搬送装置。

【請求項11】

前記直線移動用磁気目盛および前記曲線移動用磁気目盛は、前記直線移動用磁気目盛および前記曲線移動用磁気目盛の並ぶ方向において、互いに離間した状態で前記ベース部の同一面に設けられている、請求項５に記載の搬送装置。

【請求項12】

前記磁気スケールは、前記直線移動用磁気目盛および前記曲線移動用磁気目盛が設けられる基材部をさらに含み、
前記曲線移動用磁気目盛は、
前記曲線方向としての第１曲線方向に合わせて形成された第１曲線目盛部と、
前記第１曲線方向とは異なる第２曲線方向に合わせて形成された第２曲線目盛部とを含み、
前記基材部は、
前記基材部の上面または下面を構成するとともに、前記直線移動用磁気目盛が設けられた直線用位置検出面と、
前記直線用位置検出面から突出し、前記第１曲線目盛部が設けられた第１曲線用位置検出面と、
前記第１曲線用位置検出面と対向し、前記第２曲線目盛部が設けられた第２曲線用位置検出面とを含む、請求項１～３のいずれか１項に記載の搬送装置。

【請求項13】

前記磁気スケールは、前記スライダに設けられており、
前記スライダの移動方向において、前記直線移動用磁気目盛の一方側端部と、前記曲線移動用磁気目盛の一方側端部とは、略同じ位置に配置されているとともに、前記直線移動用磁気目盛の他方側端部と、前記曲線移動用磁気目盛の他方側端部とは、略同じ位置に配置されている、請求項１～１２のいずれか１項に記載の搬送装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

この発明は、搬送装置に関し、特に、スライダと、駆動モジュールとを備える搬送装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、スライダと、駆動モジュールとを備える搬送装置が知られている。このような搬送装置は、たとえば、国際公開第２０１９／００７１９９号に開示されている。

【0003】

上記国際公開第２０１９／００７１９９号には、移動体（スライダ）と、固定子モジュール（駆動モジュール）とを備えるリニア搬送装置が開示されている。移動体は、固定子モジュールにおいて発生する磁場により、直線移動または曲線移動するように構成されている。

【0004】

上記国際公開第２０１９／００７１９９号の移動体は、ベースと、第１磁気発生部と、第２磁気発生部とを含んでいる。ベースには、互いに接触して隣り合った状態で、第１磁気発生部および第２磁気発生部が取り付けられている。第１磁気発生部は、移動体の直線移動の際の位置を検出するための磁気を発生させる。第２磁気発生部は、移動体の曲線移動の際の位置を検出するための磁気を発生させる。

【0005】

上記国際公開第２０１９／００７１９９号の固定子モジュールは、第１磁気発生部および第２磁気発生部の各々の磁気を読み取る磁気読取部を含んでいる。リニア搬送装置では、磁気読取部により読み取られた第１磁気発生部および第２磁気発生部の各々の磁気に基づいて、移動体の位置が検出される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【文献】国際公開第２０１９／００７１９９号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

しかしながら、上記国際公開第２０１９／００７１９９号のリニア搬送装置では、第１磁気発生部および第２磁気発生部が、互いに接触して隣り合った状態でベースに取り付けられている。このため、上記国際公開第２０１９／００７１９９号のリニア搬送装置では、第１磁気発生部と第２磁気発生部との間で磁気干渉が発生しやすいと考えられる。これにより、上記国際公開第２０１９／００７１９９号のリニア搬送装置では、第１磁気発生部（直線移動用磁気目盛）および第２磁気発生部（曲線移動用磁気目盛）同士の磁気干渉をより確実に抑制することが望まれている。

【0008】

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、直線移動用磁気目盛および曲線移動用磁気目盛同士の磁気干渉をより確実に抑制することが可能な搬送装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0009】

この発明の一の局面による搬送装置は、直線方向および曲線方向に沿って移動可能なスライダと、スライダを直線方向または曲線方向に沿って移動させる駆動モジュールと、直線方向に沿って直線状に形成された直線移動用磁気目盛と、曲線方向に沿って曲線状に形成された曲線移動用磁気目盛とを含み、スライダまたは駆動モジュールの一方に設けられる磁気スケールと、スライダまたは駆動モジュールの他方に設けられ、直線移動用磁気目盛および曲線移動用磁気目盛の各々の磁気を検出する磁気センサとを備え、直線移動用磁気目盛および曲線移動用磁気目盛は、互いに離間した状態で設けられている。

【0010】

この発明の一の局面による搬送装置では、上記のように、直線移動用磁気目盛および曲線移動用磁気目盛は、互いに離間した状態で設けられている。これにより、直線移動用磁気目盛と、曲線移動用磁気目盛との距離を確保することができるので、直線移動用磁気目盛および曲線移動用磁気目盛同士の磁気干渉をより確実に抑制することができる。

【0011】

上記一の局面による搬送装置において、好ましくは、直線移動用磁気目盛と、曲線移動用磁気目盛とは、同一面または異なる面に互いに離間した状態で設けられている。このように構成すれば、直線移動用磁気目盛および曲線移動用磁気目盛を同一部材の同一面または異なる面に設けることができるので、直線移動用磁気目盛および曲線移動用磁気目盛の各々を異なる部材の面に設ける場合と比較して、搬送装置の部品点数の増加を抑制することができる。

【0012】

上記一の局面による搬送装置において、好ましくは、磁気スケールは、スライダに設けられており、磁気センサは、駆動モジュールに設けられている。このように構成すれば、駆動モジュールは所定の場所に固定されるので、スライダのように移動する構成に磁気センサを設ける場合と異なり、磁気センサに電力を供給するための給電設備と磁気センサとの接続を容易に行うことができる。

【0013】

この場合、好ましくは、スライダは、磁気センサに対して上下方向、または、上下方向およびスライダの移動方向に直交する幅方向に直線移動用磁気目盛および曲線移動用磁気目盛が対向する状態で、磁気スケールが内側に配置されるスライダフレームを含む。このように構成すれば、磁気スケールをスライダフレームの内側に収めることができるので、スライダフレームの大きさが同じであり、かつ、磁気スケールをスライダフレームの外側に配置した場合と比較して、スライダの大型化を抑制することができる。

【0014】

上記一の局面による搬送装置において、好ましくは、磁気スケールは、直線移動用磁気目盛および曲線移動用磁気目盛が一体的に設けられたベース部をさらに含む。このように構成すれば、直線移動用磁気目盛および曲線移動用磁気目盛が同一のベース部に一体的に設けられるので、ベース部が温度変化に起因して伸縮した場合でも、直線移動用磁気目盛および曲線移動用磁気目盛に対して上記ベース部の伸縮に応じたスライダの位置計測の誤差が生じるようにすることができる。したがって、直線移動用磁気目盛および曲線移動用磁気目盛の各々の位置計測の誤差を略等しくすることができる。その結果、スライダの直線移動の際の位置計測の誤差に対する補正と、スライダの曲線移動の際の位置計測の誤差に対する補正とを、同じ補正値を用いて行うことができるので、位置取得のための制御を容易にすることができる。

【0015】

この場合、好ましくは、ベース部は、直線移動用磁気目盛が設けられる第１面と、曲線移動用磁気目盛が設けられ、第１面とは異なる面である第２面とを含む。このように構成すれば、直線移動用磁気目盛と曲線移動用磁気目盛とが同一面において並んで配置される場合と比較して、直線移動用磁気目盛と曲線移動用磁気目盛とが並ぶ方向におけるベース部の寸法の増大を抑制することができるので、搬送装置の上記並ぶ方向における大型化を抑制することができる。

【0016】

上記第１面とは異なる第２面を備える搬送装置において、好ましくは、第２面は、ベース部において第１面の裏側に配置されている。このように構成すれば、第１面がベース部の表側の面を構成するとともに、第２面がベース部の裏側の面を構成することにより、平面視において、直線移動用磁気目盛と曲線移動用磁気目盛とが重なるように配置することができるので、ベース部のスライダの移動方向における寸法が増大するのを抑制することができる。

【0017】

上記第２面がベース部の第１面の裏側に配置された搬送装置において、好ましくは、磁気スケールは、直線移動用磁気目盛と、曲線移動用磁気目盛との間に配置され、直線移動用磁気目盛および曲線移動用磁気目盛の各々から発せられる磁気を遮断する磁気遮断板を有する。このように構成すれば、磁気遮断板により直線移動用磁気目盛および曲線移動用磁気目盛同士の磁気干渉を抑制することができるので、直線移動用磁気目盛および曲線移動用磁気目盛同士を離間する距離を減少させることができる。これにより、直線移動用磁気目盛と、曲線移動用磁気目盛との間に配置されるベース部に必要とされる厚みを減少させることができるので、直線移動用磁気目盛、曲線移動用磁気目盛およびベース部を含む磁気スケールの大型化を抑制することができる。

【0018】

上記第１面および第２面を備える搬送装置において、好ましくは、第２面と、第１面とは、互いに略直交している。このように構成すれば、第１面に直線移動用磁気目盛を設けるとともに、第１面に略直交している第２面に曲線移動用磁気目盛を設けるので、直線移動用磁気目盛の磁気を検出する磁気センサを曲線移動用磁気目盛の磁気を検出する磁気センサの近傍に配置することができる。その結果、直線移動用磁気目盛の磁気を検出する磁気センサと、曲線移動用磁気目盛の磁気を検出する磁気センサとを配置するために必要な空間をコンパクトにすることができる。

【0019】

上記第２面が第１面に直交する搬送装置において、好ましくは、第２面と、第１面とは、互いに略直交しており、第２面は、曲線移動用磁気目盛の曲率に対応した湾曲面である。このように構成すれば、第２面の湾曲面がスライダの曲線方向に沿って形成されるので、第２面に設けられた曲線移動用磁気目盛によりスライダの曲線移動の際の位置を適切に検出することができる。

【0020】

上記ベース部を備える搬送装置において、好ましくは、直線移動用磁気目盛および曲線移動用磁気目盛は、直線移動用磁気目盛および曲線移動用磁気目盛の並ぶ方向において、互いに離間した状態でベース部の同一面に設けられている。このように構成すれば、上記同一面に垂直な方向に直線移動用磁気目盛および曲線移動用磁気目盛を並べて配置する場合と比較して、上記同一面に垂直な方向において直線移動用磁気目盛および曲線移動用磁気目盛を設置するためのスペースが増大することを抑制することができる。

【0021】

上記一の局面による搬送装置において、好ましくは、磁気スケールは、直線移動用磁気目盛および曲線移動用磁気目盛が設けられる基材部をさらに含み、曲線移動用磁気目盛は、曲線方向としての第１曲線方向に合わせて形成された第１曲線目盛部と、第１曲線方向とは異なる第２曲線方向に合わせて形成された第２曲線目盛部とを含み、基材部は、基材部の上面または下面を構成するとともに、直線移動用磁気目盛が設けられた直線用位置検出面と、直線用位置検出面から突出し、第１曲線目盛部が設けられた第１曲線用位置検出面と、第１曲線用位置検出面と対向し、第２曲線目盛部が設けられた第２曲線用位置検出面とを含む。このように構成すれば、第１曲線目盛部および第２曲線目盛部により、スライダの第１曲線方向、および、第２曲線方向の複数の曲線移動の際の位置計測を行うことができるので、互いに逆方向の曲線方向に曲線移動する場合にも位置計測を行うことができる。これにより、スライダが移動する経路の自由度を向上させることができる。

【0022】

上記一の局面による搬送装置において、好ましくは、磁気スケールは、スライダに設けられており、スライダの移動方向において、直線移動用磁気目盛の一方側端部と、曲線移動用磁気目盛の一方側端部とは、略同じ位置に配置されているとともに、直線移動用磁気目盛の他方側端部と、曲線移動用磁気目盛の他方側端部とは、略同じ位置に配置されている。このように構成すれば、直線移動用磁気目盛および曲線移動用磁気目盛のスライダの移動方向における長さを略同じにすることができるので、直線移動用磁気目盛および曲線移動用磁気目盛のいずれか一方を設置スペースに合わせた最大の長さにした場合に、直線移動用磁気目盛および曲線移動用磁気目盛のいずれか他方も同じ最大の長さにすることができる。その結果、磁気センサ同士の間隔を最大の長さに合わせて配置することにより、磁気センサ同士の間隔を最大限にして磁気センサを並べることができるので、スライダの位置計測を行うために必要な磁気センサの数を最小限の数にすることができる。

【発明の効果】

【0023】

本発明によれば、上記のように、直線移動用磁気目盛および曲線移動用磁気目盛同士の磁気干渉をより確実に抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【0024】

【図1】第１実施形態による搬送装置を示した平面図である。

【図2】図１の１１１－１１１線に沿った断面図である。

【図3】図１の１１２－１１２線に沿った断面図である。

【図4】第１実施形態による搬送装置の磁気スケールの上面図である。

【図5】第１実施形態による搬送装置の磁気スケールの下面図である。

【図6】図３のＤ部分を拡大した拡大図である。

【図7】第１実施形態による搬送装置のスライダが直線部分を移動している状態を示した模式図である。

【図8】第１実施形態による搬送装置のスライダが曲線部分を移動している状態を示した模式図である。

【図9】第２実施形態による搬送装置の図３のＤ部分に相当する部分を拡大した拡大図である。

【図10】第３実施形態による搬送装置の磁気スケールの上面図である。

【図11】第４実施形態による搬送装置の磁気スケールを示した斜視図である。

【図12】第５実施形態による搬送装置の磁気スケールを示した斜視図である。

【図13】第１実施形態の第１変形例による搬送装置のバックヨークおよび磁気スケールを示した斜視図である。

【図14】第２実施形態の第２変形例による搬送装置の磁気スケールおよび磁気遮断板を示した断面図である。

【図15】第２実施形態の第３変形例による搬送装置の磁気スケールおよび磁気遮断板を示した断面図である。

【図16】第２実施形態の第３変形例による搬送装置の磁気スケールおよび磁気遮断板を示した斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0025】

以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。

【0026】

［第１実施形態］
図１～図８を参照して、本発明の第１実施形態による搬送装置１００の構成について説明する。

【0027】

（搬送装置の構成）
図１および図２に示すように、搬送装置１００は、架台１０１の上面１０１ａに敷設されている。また、図示はしないが、架台１０１には、基板などのワークの移載、電子部品などの基板への実装作業などを実行する各種ロボットが設置されている。各種ロボットは、後述するスライダ３の周回経路１０２に沿って配置されている。搬送装置１００は、リニアモータによりスライダ３を周回経路１０２に沿って移動させるリニアコンベアである。

【0028】

搬送装置１００は、各種ロボットの作業位置に向けてスライダ３を移動させるように構成されている。具体的には、搬送装置１００は、複数の直線移動用駆動モジュール１と、複数の曲線移動用駆動モジュール２と、複数のスライダ３と、磁気スケール４と、磁気センサ５と、磁気センサ６とを備えている。複数の直線移動用駆動モジュール１および複数の曲線移動用駆動モジュール２は、スライダ３の周回経路１０２を形成している。なお、直線移動用駆動モジュール１および曲線移動用駆動モジュール２の各々は、請求の範囲の「駆動モジュール」の一例である。

【0029】

ここで、水平方向のうち直線移動用駆動モジュール１の延びる方向をＸ方向とし、Ｘ方向のうち一方をＸ１方向とし、Ｘ方向のうちの他方をＸ２方向とする。水平方向のうちＸ方向に直交する方向をＹ方向とし、Ｙ方向のうち一方をＹ１方向とし、Ｙ方向のうちの他方をＹ２方向とする。Ｘ方向およびＹ方向に直交する方向をＺ方向（上下方向）とし、Ｚ方向のうち一方をＺ１方向（上方向）とし、Ｚ方向のうちの他方をＺ２方向（下方向）とする。また、スライダ３の移動方向をＭ方向とし、Ｍ方向の一方向をＭ１方向とし、Ｍ方向の他方向をＭ２方向とする。また、Ｍ方向およびＺ方向に直交する幅方向をＷ方向とし、Ｗ方向の一方向をＷ１方向とし、Ｗ方向の他方向をＷ２方向とする。

【0030】

複数の直線移動用駆動モジュール１の各々は、リニアコンベアモジュールである。複数の直線移動用駆動モジュール１は、架台１０１上に配置されている。複数の直線移動用駆動モジュール１は、Ｘ方向に直線状に連結されている。複数の直線移動用駆動モジュール１は、Ｙ１方向側およびＹ２方向側の各々に配置されている。複数の直線移動用駆動モジュール１の各々の構造は、同じであるので、Ｙ２方向側でありかつＸ１方向側に配置された１つの直線移動用駆動モジュール１について説明する。

【0031】

直線移動用駆動モジュール１は、スライダ３をＸ１方向またはＸ２方向の直線方向に沿って移動させる装置である。直線移動用駆動モジュール１は、ロボットの作業位置でスライダ３を停止させるとともに、作業後に次のロボットの作業位置へ向けてスライダ３を移動させるように構成されている。また、直線移動用駆動モジュール１では、作業中に位置速度制御しながらスライダ３を移動させつつ、作業後に次のロボットの作業位置へ向けてスライダ３を移動させることも可能である。

【0032】

具体的には、図２に示すように、直線移動用駆動モジュール１は、支持部材１１と、ガイドレール１２と、リニアモータ固定子１３とを含んでいる。

【0033】

支持部材１１は、ガイドレール１２およびリニアモータ固定子１３を支持している。支持部材１１は、アルミニウムなどの金属により形成されている。このように、支持部材１１は、金属製のフレームである。なお、本実施形態の支持部材１１は金属製である例を示したが、支持部材１１は樹脂製であってもよい。

【0034】

ガイドレール１２は、スライダ３をガイドする機能を有している。ガイドレール１２は、支持部材１１の上面のＹ方向の中央部分に配置されている。ガイドレール１２は、Ｘ方向に延びている。リニアモータ固定子１３は、複数の電磁石により構成されている。なお、本実施形態のガイドレール１２は、支持部材１１の上面のＹ方向の中央部分に配置されている例を示したが、ガイドレール１２は、支持部材１１の上面のＹ方向の中央部分からオフセットした位置に配置されてもよい。また、ガイドレール１２は、支持部材１１の上面ではなく、支持部材１１の側面に設けられてもよい。

【0035】

図１に示すように、複数の曲線移動用駆動モジュール２の各々は、リニアコンベアモジュールである。複数の曲線移動用駆動モジュール２は、架台１０１上に配置されている。複数の曲線移動用駆動モジュール２は、曲線方向に沿って連結されている。複数の曲線移動用駆動モジュール２は、架台１０１上のＸ１方向側およびＸ２方向側の各々に配置されている。複数の曲線移動用駆動モジュール２の各々の構造は、同じであるので、Ｘ１方向側に配置された１つの曲線移動用駆動モジュール２について説明する。なお、曲線方向とは、Ｚ方向に延びる中心軸線Ｃ１（またはＣ２）周りのＲ方向（周方向）に沿った方向である。

【0036】

曲線移動用駆動モジュール２は、スライダ３をＲ１方向またはＲ２方向（曲線方向）に沿って移動させる装置である。曲線移動用駆動モジュール２は、ロボットの作業位置でスライダ３を停止させるとともに、作業後に次のロボットの作業位置へ向けてスライダ３を移動させるように構成されている。また、曲線移動用駆動モジュール２では、作業中に位置速度制御しながらスライダ３を移動させつつ、作業後に次のロボットの作業位置へ向けてスライダ３を移動させることも可能である。

【0037】

具体的には、図３に示すように、曲線移動用駆動モジュール２は、支持部材２１と、ガイドレール２２と、リニアモータ固定子２３とを含んでいる。

【0038】

支持部材２１は、ガイドレール２２およびリニアモータ固定子２３を支持している。支持部材２１は、アルミニウムなどの金属により形成されている。このように、支持部材２１は、金属製のフレームである。なお、本実施形態の支持部材２１は金属製である例を示したが、支持部材２１は樹脂製であってもよい。

【0039】

ガイドレール２２は、スライダ３をガイドする機能を有している。ガイドレール２２は、支持部材２１の上面の中心軸線Ｃ１に直交する方向の中央部分に配置されている。ガイドレール２２は、Ｒ方向に沿って延びている。リニアモータ固定子２３は、複数の電磁石により構成されている。なお、本実施形態のガイドレール２２は、支持部材２１の上面の中心軸線Ｃ１に直交する方向の中央部分に配置されている例を示したが、ガイドレール２２は、支持部材２１の上面の中心軸線Ｃ１に直交する方向の中央部分からオフセットした位置に配置されてもよい。また、ガイドレール２２は、支持部材２１の上面ではなく、支持部材２１の側面に設けられてもよい。

【0040】

図１に示すように、スライダ３は、周回経路１０２上に複数配置されている。複数のスライダ３はいずれも同じ構成を有しているので、複数のスライダ３のうちの１つについて説明する。

【0041】

スライダ３は、直線方向および曲線方向に沿って移動可能に構成されている。ここで、スライダ３は、ガイドレール１２にガイドされることにより、直線方向に移動する。スライダ３は、ガイドレール２２にガイドされることにより、曲線方向に移動する。ここで、直線方向とは、Ｘ方向に沿った移動方向である。また、曲線方向とは、Ｒ方向に沿った移動方向である。

【0042】

このように、スライダ３は、周回経路１０２上を直線的および曲線的にスライド移動するように構成されている。具体的には、図２および図３に示すように、スライダ３は、スライダフレーム３１と、リニアモータ可動子３２と、ブラケット３３とを含んでいる。

【0043】

スライダフレーム３１は、アルミニウムなどの金属材料により形成されている。リニアモータ可動子３２は、スライダフレーム３１のＷ方向において対向する一対の内側面３４および内側面３５の間に設けられた内上面３６のＷ１方向側に設けられている。リニアモータ可動子３２は、バックヨーク（図示せず）と、永久磁石（図示せず）とを有している。バックヨークは、永久磁石を保持するとともに磁路を形成する部材であり、鉄または鋼などの磁性体の鉄系材料で形成されている。永久磁石は、Ｍ方向においてＮ極およびＳ極が交互にＺ２方向を向くように配置されている。永久磁石は、リニアモータ固定子１３とＺ方向において対向するように配置されている。ブラケット３３は、磁気スケール４をスライダフレーム３１に固定するための部材である。ブラケット３３は、一対の内側面３４および内側面３５のうちのＷ２方向側の内側面３４に設けられている。ブラケット３３は、締結部材により、スライダフレーム３１に固定されている。

【0044】

スライダ３では、互いに位相が異なる電流がリニアモータ固定子１３（２３）に供給されることによりコイルに生じる磁束と、リニアモータ可動子３２の永久磁石の磁束との磁気的な相互作用によって、推進力が生成されている。すなわち、スライダ３は、上記推進力により、Ｘ方向またはＲ方向に移動可能である。

【0045】

（磁気スケール）
図２および図３に示すように、磁気スケール４は、直線的および曲線的にスライド移動するスライダ３の位置を測定するためのスケールである。磁気スケール４は、スライダ３に設けられている。ここで、磁気スケール４は、ブラケット３３を介してスライダフレーム３１に設けられている。磁気スケール４は、直線移動用磁気目盛４１を磁気センサ５とＺ方向に対向させるとともに、曲線移動用磁気目盛４２を磁気センサ６とＺ方向に対向させた状態で、スライダフレーム３１の内側に配置されている。

【0046】

磁気スケール４は、ベース部４０と、直線移動用磁気目盛４１と、曲線移動用磁気目盛４２とを含んでいる。

【0047】

〈ベース部〉
ベース部４０は、フェライト素材等を用いた磁性体により形成された板状部材である。すなわち、ベース部４０は、Ｚ１方向側から見て、Ｘ方向を長手方向とする矩形形状を有している。ベース部４０は、直方体形状を有している。ベース部４０のＺ方向の厚みは、ベース部４０のＹ方向の幅よりも小さい。ベース部４０には、直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２が着磁されることにより記録されている。

【0048】

〈直線移動用磁気目盛および曲線移動用磁気目盛〉
図２および図４に示すように、直線移動用磁気目盛４１は、スライダ３が直線移動用駆動モジュール１上を移動している際に、スライダ３の位置を測定するためにベース部４０に記録されている。直線移動用磁気目盛４１は、ベース部４０に一体的に設けられている。なお、図２および図４において、直線移動用磁気目盛４１を図中に破線で示しているが、あくまで図中に直線移動用磁気目盛４１を視覚化するためのイメージである。

【0049】

直線移動用磁気目盛４１は、直線方向（Ｘ方向）に沿って直線状に形成されている。直線移動用磁気目盛４１は、Ｘ方向（スライダ３の移動方向（Ｍ方向））において長さＬ１を有している。直線移動用磁気目盛４１は、ベース部４０に複数（３つ）設けられている。複数の直線移動用磁気目盛４１の各々は、異なる着磁パターンを有している。すなわち、複数の直線移動用磁気目盛４１の各々では、着磁パターンの周期および位相が異なっている。なお、直線移動用磁気目盛４１は、ベース部４０に３つではなく、ベース部４０に２つ、または、４つ以上設けられてもよい。

【0050】

複数の直線移動用磁気目盛４１は、複数のスライダ３の各々の識別および位置検出のために用いられている。ここで、スライダ３の位置は、着磁パターンの周期および位相が異なる複数の直線移動用磁気目盛４１の各々の磁気の検出値の差分に対応して設定されている。

【0051】

図３および図５に示すように、曲線移動用磁気目盛４２は、スライダ３が曲線移動用駆動モジュール２上を移動している際に、スライダ３の位置を測定するためにベース部４０に記録されている。曲線移動用磁気目盛４２は、ベース部４０に一体的に設けられている。なお、図３および図５において、曲線移動用磁気目盛４２を図中に破線で示しているが、あくまで図中に曲線移動用磁気目盛４２を視覚化するためのイメージである。

【0052】

曲線移動用磁気目盛４２は、曲線方向（Ｒ方向）に沿って曲線状に形成されている。曲線移動用磁気目盛４２は、Ｍ方向において長さＬ２を有している。曲線移動用磁気目盛４２は、ベース部４０に複数（３つ）設けられている。複数の曲線移動用磁気目盛４２の各々は、異なる着磁パターンを有している。すなわち、複数の曲線移動用磁気目盛４２の各々では、着磁パターンの周期および位相が異なっている。なお、曲線移動用磁気目盛４２は、ベース部４０に３つではなく、ベース部４０に２つ、または、４つ以上設けられてもよい。

【0053】

複数の曲線移動用磁気目盛４２は、複数のスライダ３の各々の識別および位置検出のために用いられている。ここで、スライダ３の位置は、着磁パターンの周期および位相が異なる複数の曲線移動用磁気目盛４２の各々の磁気の検出値の差分に対応して設定されている。

【0054】

（直線移動用磁気目盛および曲線移動用磁気目盛の位置関係）
本実施形態では、図６に示すように、直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２は、互いに離間した状態でベース部４０に一体的に設けられている。直線移動用磁気目盛４１と、曲線移動用磁気目盛４２とは、ベース部４０の異なる面に互いに離間した状態で一体的に設けられている。図６において、直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２を図中に破線で示しているが、あくまで図中に直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２を視覚化するためのイメージである。

【0055】

具体的には、直線移動用磁気目盛４１は、ベース部４０の第１面４０ａに一体的に設けられている。第１面４０ａは、ベース部４０のＺ１方向側の上面である。直線移動用磁気目盛４１は、磁気センサ５とＺ方向に対向している（図２参照）。曲線移動用磁気目盛４２は、ベース部４０の第２面４０ｂに一体的に設けられている。第２面４０ｂは、ベース部４０のＺ２方向側の下面である。このように、第２面４０ｂは、ベース部４０において第１面４０ａの裏側に配置されている。曲線移動用磁気目盛４２は、磁気センサ６とＺ方向に対向している（図３参照）。

【0056】

また、図７および図８に示すように、スライダ３の移動方向（Ｍ方向）において、直線移動用磁気目盛４１の一方側端部４１ａと、曲線移動用磁気目盛４２の一方側端部４２ａとは、略同じ位置に配置されている。ここで、直線移動用磁気目盛４１の一方側端部４１ａは、直線移動用磁気目盛４１のＭ１方向側の端部である。曲線移動用磁気目盛４２の一方側端部４２ａは、曲線移動用磁気目盛４２のＭ１方向側の端部である。

【0057】

直線移動用磁気目盛４１の他方側端部４１ｂと、曲線移動用磁気目盛４２の他方側端部４２ｂとは、略同じ位置に配置されている。ここで、直線移動用磁気目盛４１の他方側端部４１ｂは、直線移動用磁気目盛４１のＭ２方向側の端部である。曲線移動用磁気目盛４２の他方側端部４２ｂは、曲線移動用磁気目盛４２のＭ２方向側の端部である。

【0058】

（磁気センサ）
図７に示すように、磁気センサ５は、直線移動用駆動モジュール１に設けられている。磁気センサ５は、直線移動用磁気目盛４１の磁気を検出するように構成されている。磁気センサ５は、直線移動用磁気目盛４１のＸ方向の長さＬ１（図４参照）に合わせて、Ｍ方向において所定ピッチで複数配置されている。所定ピッチは、長さＬ１よりも小さい間隔である。磁気センサ５は、複数の直線移動用磁気目盛４１と対向するように、Ｗ方向において、所定ピッチで複数（３つ）配置されている。

【0059】

図８に示すように、磁気センサ６は、曲線移動用駆動モジュール２に設けられている。磁気センサ６は、曲線移動用磁気目盛４２の磁気を検出するように構成されている。磁気センサ６は、曲線移動用磁気目盛４２のＭ方向の長さＬ２（図５参照）に合わせて、Ｒ方向において所定ピッチで複数配置されている。所定ピッチは、長さＬ２よりも小さい間隔である。磁気センサ６は、複数の曲線移動用磁気目盛４２と対向するように、中心軸線Ｃ１（Ｃ２）に直交する方向において所定ピッチで複数（３つ）配置されている。

【0060】

（第１実施形態の効果）
第１実施形態では、以下のような効果を得ることができる。

【0061】

第１実施形態では、上記のように、直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２は、互いに離間した状態で設けられている。これにより、直線移動用磁気目盛４１と、曲線移動用磁気目盛４２との距離を確保することができるので、直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２同士の磁気干渉をより確実に抑制することができる。

【0062】

また、第１実施形態では、上記のように、直線移動用磁気目盛４１と、曲線移動用磁気目盛４２とは、異なる面に互いに離間した状態で設けられている。これにより、直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２を同一部材の異なる面に設けることができるので、直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２の各々を異なる部材の面に設ける場合と比較して、搬送装置１００の部品点数の増加を抑制することができる。

【0063】

また、第１実施形態では、上記のように、磁気スケール４は、スライダ３に設けられている。また、磁気センサ５および磁気センサ６は、それぞれ、直線移動用駆動モジュール１および曲線移動用駆動モジュール２に設けられている。これにより、直線移動用駆動モジュール１および曲線移動用駆動モジュール２は所定の場所に固定されるので、スライダ３のように移動する構成に磁気センサ５（８）を設ける場合と異なり、磁気センサ５（８）に電力を供給するための給電設備と磁気センサ５（８）との接続を容易に行うことができる。

【0064】

また、第１実施形態では、上記のように、スライダ３は、磁気センサ５および磁気センサ８のそれぞれに対して上下方向に直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２が対向する状態で、磁気スケール４が内側に配置されるスライダフレーム３１を含む。これにより、磁気スケール４をスライダフレーム３１の内側に収めることができるので、スライダフレーム３１の大きさが同じであり、かつ、磁気スケール４をスライダフレーム３１の外側に配置した場合と比較して、スライダ３の大型化を抑制することができる。

【0065】

また、第１実施形態では、上記のように、磁気スケール４は、直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２が一体的に設けられたベース部４０を含んでいる。これにより、直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２が同一のベース部４０に一体的に設けられるので、ベース部４０が温度変化に起因して伸縮した場合でも、直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２に対してベース部４０の伸縮に応じたスライダ３の位置計測の誤差が生じるようにすることができる。したがって、直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２の各々の位置計測の誤差を略等しくすることができる。この結果、スライダ３の直線移動の際の位置計測の誤差に対する補正と、スライダ３の曲線移動の際の位置計測の誤差に対する補正とを、同じ補正値を用いて行うことができるので、位置取得のための制御を容易にすることができる。

【0066】

また、第１実施形態では、上記のように、ベース部４０は、直線移動用磁気目盛４１が設けられる第１面４０ａと、曲線移動用磁気目盛４２が設けられ、第１面４０ａとは異なる面である第２面４０ｂとを含んでいる。これにより、直線移動用磁気目盛４１と曲線移動用磁気目盛４２とが同一面において並んで配置される場合と比較して、直線移動用磁気目盛４１と曲線移動用磁気目盛４２とが並ぶ方向におけるベース部４０の寸法の増大を抑制することができるので、搬送装置１００の上記並ぶ方向における大型化を抑制することができる。

【0067】

また、第１実施形態では、上記のように、第２面４０ｂは、ベース部４０において第１面４０ａの裏側に配置されている。これにより、第１面４０ａがベース部４０の表側の面を構成するとともに、第２面４０ｂがベース部４０の裏側の面を構成することにより、平面視において、直線移動用磁気目盛４１と曲線移動用磁気目盛４２とが重なるように配置することができるので、ベース部４０のＭ方向における寸法が増大することを抑制することができる。

【0068】

また、第１実施形態では、上記のように、スライダ３の移動方向において、直線移動用磁気目盛４１の一方側端部４１ａと、曲線移動用磁気目盛４２の一方側端部４２ａとは、略同じ位置に配置されているとともに、直線移動用磁気目盛４１の他方側端部４１ｂと、曲線移動用磁気目盛４２の他方側端部４２ｂとは、略同じ位置に配置されている。これにより、直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２のそれぞれのＭ方向（スライダ３の移動方向）における長さＬ１およびＬ２を略同じにすることができるので、直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２のいずれか一方を設置スペースに合わせた最大の長さにした場合に、直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２のいずれか他方も同じ最大の長さにすることができる。この結果、磁気センサ５（８）同士の間隔を最大の長さに合わせて配置することにより、磁気センサ５（８）同士の間隔を最大限にして磁気センサ５（８）を並べることができるので、スライダ３の位置計測を行うために必要な磁気センサ５および磁気センサ６の数を最小限の数にすることができる。

【0069】

［第２実施形態］
図９を参照して、第２実施形態による搬送装置２００の磁気スケール２０４の構成について説明する。第２実施形態では、第１実施形態とは異なり、磁気スケール２０４が、直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２の各々の磁気を遮断する磁気遮断板２４３を含んでいる。なお、第２実施形態では、第１実施形態の同じ構成については、詳細な説明を省略する。

【0070】

（ベース部）
図９に示すように、第２実施形態の磁気スケール２０４は、直線移動用磁気目盛４１と、曲線移動用磁気目盛４２との間に配置され、直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２の各々から発せられる磁気を遮断する磁気遮断板２４３を含んでいる。磁気遮断板２４３は、鉄などの強磁性体の金属により形成されている。図９において、直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２を図中に破線で示しているが、あくまで図中に直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２を視覚化するためのイメージである。

【0071】

磁気遮断板２４３は、Ｚ１方向側から見て、Ｍ方向を長手方向とする矩形形状を有している。磁気遮断板２４３は、直方体形状を有している。磁気遮断板２４３のＺ方向の厚みは、磁気遮断板２４３のＷ方向の幅よりも小さい。磁気遮断板２４３の第１面２４３ａには、複数（３つ）の直線移動用磁気目盛４１が記録されたベース部２４０が取り付けられている。第１面２４３ａは、磁気遮断板２４３のＺ１方向側の上面である。磁気遮断板２４３の第２面２４３ｂには、複数（３つ）の曲線移動用磁気目盛４２が記録されたベース部２４０が取り付けられている。第２面２４３ｂは、磁気遮断板２４３のＺ２方向側の下面である。なお、直線移動用磁気目盛４１は、２つ、または、４つ以上ベース部２４０に記録されていてもよい。また、曲線移動用磁気目盛４２は、２つ、または、４つ以上ベース部２４０に記録されていてもよい。また、第２実施形態のその他の構成は、第１実施形態の構成と同じであるので、説明を省略する。

【0072】

（第２実施形態の効果）
第２実施形態では、上記第１実施形態と同様に、直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２は、互いに離間した状態で設けられている。これらにより、直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２同士の磁気干渉をより確実に抑制することができる。

【0073】

また、第２実施形態では、上記のように、磁気スケール２０４は、直線移動用磁気目盛４１と、曲線移動用磁気目盛４２との間に配置され、直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２の各々から発せられる磁気を遮断する磁気遮断板２４３を有する。これにより、磁気遮断板２４３により直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２同士の磁気干渉を抑制することができるので、直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２同士を離間する距離を減少させることができる。この結果、直線移動用磁気目盛４１と、曲線移動用磁気目盛４２との間に配置されるベース部２４０に必要とされる厚みを減少させることができるので、直線移動用磁気目盛４１、曲線移動用磁気目盛４２およびベース部２４０を含む磁気スケール２０４の大型化を抑制することができる。なお、第２実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態の効果と同様である。

【0074】

［第３実施形態］
図１０を参照して、第３実施形態による搬送装置３００の磁気スケール３０４の構成について説明する。第３実施形態では、第１実施形態とは異なり、直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２の両方が、ベース部３４０の同じ面に設けられている。なお、第３実施形態では、第１実施形態の構成と同じ構成については、説明を省略する。

【0075】

（ベース部）
図１０に示すように、ベース部３４０は、フェライト素材等を用いた磁性体により形成された板状部材である。ベース部３４０は、Ｚ１方向側から見て、Ｍ方向を長手方向とする矩形形状を有している。ベース部３４０は、直方体形状を有している。ベース部３４０のＺ方向の厚みは、ベース部３４０のＷ方向の幅よりも小さい。ここで、図１０において、直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２を図中に破線で示しているが、あくまで図中に直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２を視覚化するためのイメージである。

【0076】

ここで、直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２の両方が、ベース部３４０の同一面３４０ａに並んで設けられている。同一面３４０ａは、ベース部３４０の上面である。直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２は、直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２の並ぶ方向において、互いに離間した状態でベース部３４０の同一面３４０ａに設けられている。具体的には、複数の直線移動用磁気目盛４１の一群と、複数の曲線移動用磁気目盛４２の一群との間には、隔離スペースＳが設けられている。

【0077】

（第３実施形態の効果）
第３実施形態では、以下のような効果を得ることができる。

【0078】

第３実施形態では、上記第１実施形態と同様に、直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２は、互いに離間した状態で設けられている。これらにより、直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２同士の磁気干渉をより確実に抑制することができる。

【0079】

また、第３実施形態では、上記のように、直線移動用磁気目盛４１と、曲線移動用磁気目盛４２とは、同一面３４０ａに互いに離間した状態で設けられている。これにより、直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２を同一部材の同一面３４０ａに設けることができるので、直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２の各々を異なる部材の面に設ける場合と比較して、搬送装置３００の部品点数の増加を抑制することができる。

【0080】

また、第３実施形態では、上記のように、搬送装置１００は、直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２は、直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２の並ぶ方向において、互いに離間した状態でベース部３４０の同一面３４０ａに設けられている。これにより、直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２がベース部３４０の同一面３４０ａに設けられることにより、上記同一面３４０ａに垂直な方向に直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２を並べて配置する場合と比較して、上記同一面３４０ａに垂直な方向において直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２を設置するためのスペースが増大することを抑制することができる。なお、第３実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態の効果と同様である。

【0081】

［第４実施形態］
図１１を参照して、第４実施形態による搬送装置４００の磁気スケール４０４の構成について説明する。第４実施形態では、第１実施形態とは異なり、ベース部４４０において、第１面４４０ａと、第２面４４０ｂとは、互いに略直交している。なお、第４実施形態では、第１実施形態の構成と同じ構成については、説明を省略する。

【0082】

（ベース部）
図１１に示すように、ベース部４４０は、フェライト素材等を用いた磁性体により形成されている。ベース部４４０は、Ｚ方向に沿った断面において略Ｌ字形状を有するアングル材である。なお、図１１において、直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２を図中に破線で示しているが、あくまで図中に直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２を視覚化するためのイメージである。

【0083】

ここで、直線移動用磁気目盛４１は、ベース部４４０の第１面４４０ａに記録されている。第１面４４０ａは、ベース部４４０の内側面である。曲線移動用磁気目盛４２は、ベース部４４０の第２面４４０ｂに記録されている。第２面４４０ｂは、ベース部４４０の内底面である。第２面４４０ｂと、第１面４４０ａとは、互いに略直交している。

【0084】

（第４実施形態の効果）
第４実施形態では、以下のような効果を得ることができる。

【0085】

第４実施形態では、上記第１実施形態と同様に、直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２は、互いに離間した状態で設けられている。これらにより、直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２同士の磁気干渉をより確実に抑制することができる。

【0086】

また、第４実施形態では、上記のように、第２面４４０ｂと、第１面４４０ａとは、互いに略直交している。これにより、第１面４４０ａに直線移動用磁気目盛４１を設けるとともに、第１面４４０ａに略直交している第２面４４０ｂに曲線移動用磁気目盛４２を設けるので、直線移動用磁気目盛４１の磁気を検出する磁気センサ５を曲線移動用磁気目盛４２の磁気を検出する磁気センサ６の近傍に配置することができる。この結果、磁気センサ５と、磁気センサ６とを配置するために必要な空間をコンパクトにすることができる。なお、第４実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態の効果と同様である。

【0087】

［第５実施形態］
図１２を参照して、第５実施形態による搬送装置５００の磁気スケール５０４の構成について説明する。第５実施形態では、第１実施形態とは異なり、第２面５４０ｂと、第１面５４０ａとは、互いに略直交している。なお、第５実施形態では、第１実施形態の構成と同じ構成については、説明を省略する。

【0088】

（ベース部）
図１２に示すように、ベース部５４０は、フェライト素材等を用いた磁性体により形成されている。なお、図１２において、直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２を図中に破線で示しているが、あくまで図中に直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２を視覚化するためのイメージである。

【0089】

ここで、直線移動用磁気目盛４１は、ベース部５４０の第１面５４０ａに記録されている。第１面５４０ａは、ベース部５４０の上面である。曲線移動用磁気目盛４２は、ベース部５４０の第２面５４０ｂに記録されている。第２面５４０ｂは、ベース部５４０の外側面である。第２面５４０ｂと、第１面５４０ａとは、互いに略直交している。第２面５４０ｂは、曲線移動用磁気目盛４２の曲率に対応した湾曲面である。

【0090】

（第５実施形態の効果）
第５実施形態では、以下のような効果を得ることができる。

【0091】

第５実施形態では、上記第１実施形態と同様に、直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２は、互いに離間した状態で設けられている。これらにより、直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２同士の磁気干渉をより確実に抑制することができる。

【0092】

また、第５実施形態では、上記のように、第２面５４０ｂと、第１面５４０ａとは、互いに略直交している。第２面５４０ｂは、曲線移動用磁気目盛４２の曲率に対応した湾曲面である。これにより、第２面５４０ｂの湾曲面がスライダ３の曲線方向に沿って形成されるので、第２面５４０ｂに設けられた曲線移動用磁気目盛４２によりスライダ３の曲線移動の際の位置を適切に検出することができる。なお、第５実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態の効果と同様である。

【0093】

［変形例］
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく請求の範囲によって示され、さらに請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。

【0094】

たとえば、上記第１～第５実施形態では、磁気スケール４（２０４、３０４、４０４および５０４）には、直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２がベース部４０（２４０、３４０、４４０および５４０）一体的に設けられている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、図１３に示す第１変形例のように、ベース部４０ではなく、基材部６４０に１組の直線移動用磁気目盛４１および２組の曲線移動用磁気目盛４２が一体的に設けられてもよい。具体的には、搬送装置６００は、磁気スケール６０４と、バックヨーク６０７とを備えている。磁気スケール６０４は、直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２が設けられた基材部６４０を含んでいる。曲線移動用磁気目盛４２は、曲線方向としての第１曲線方向に合わせて形成された第１曲線目盛部６４２ａと、第１曲線方向とは異なる第２曲線方向に合わせて形成された第２曲線目盛部６４２ｂとを含んでいる。基材部６４０は、基材部６４０の下面を構成するとともに、直線移動用磁気目盛４１が設けられた直線用位置検出面６４０ａを含んでいる。基材部６４０は、直線用位置検出面６４０ａから突出し、第１曲線目盛部６４２ａが設けられた第１曲線用位置検出面６４０ｂを含んでいる。基材部６４０は、第１曲線用位置検出面６４０ｂと対向し、第２曲線目盛部６４２ｂが設けられた第２曲線用位置検出面６４０ｃを含んでいる。これにより、第１曲線目盛部６４２ａおよび第２曲線目盛部６４２ｂにより、スライダ３の第１曲線方向、および、第２曲線方向の複数の曲線移動の際の位置計測を行うことができるので、互いに逆方向の曲線方向に曲線移動する場合にも位置計測を行うことができる。これにより、スライダ３が移動する経路の自由度を向上させることができる。ここで、磁気スケール６０４は、直線移動用磁気目盛４１、第１曲線目盛部６４２ａおよび第２曲線目盛部６４２ｂの各々を磁性体に着磁した後に基材部６４０に接着することにより形成されてもよい。また、磁気スケール６０４は、直線移動用磁気目盛４１、第１曲線目盛部６４２ａおよび第２曲線目盛部６４２ｂの各々を基材部６４０に接着した磁性体に着磁することにより形成されてもよい。また、磁気スケール６０４は、直線移動用磁気目盛４１、第１曲線目盛部６４２ａおよび第２曲線目盛部６４２ｂの各々を着磁した複数の磁性体を基材部６４０にインサート成形することにより形成されてもよい。

【0095】

また、上記第１～第５実施形態では、直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２の各々は、ベース部４０（２４０、３４０、４４０および５４０）に一体的に設けられている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、直線移動用磁気目盛および曲線移動用磁気目盛の各々を着磁した磁性体が、ベース部に接着されてもよい。

【0096】

また、上記第１～第５実施形態では、磁気スケール４（２０４、３０４、４０４および５０４）は、スライダ３に設けられている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、磁気スケールは、駆動モジュールに設けられてもよい。この場合、磁気センサは、駆動モジュールではなくスライダに設けられる。

【0097】

また、上記第１実施形態では、磁気スケール４（２０４、３０４、４０４および５０４）は、スライダフレーム３１の内側に配置されている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、磁気スケールは、スライダフレームの外側に配置されてもよい。

【0098】

また、上記第１～第３実施形態では、ベース部４０（２４０、３４０、４４０および５４０）は、Ｚ方向の厚みがＹ方向の幅よりも小さい薄板である例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、ベース部は、Ｙ方向の厚みがＺ方向の幅よりも小さい薄板であってもよい。

【0099】

また、上記第３実施形態では、同一面３４０ａは、ベース部４０（２４０、３４０、４４０および５４０）の上面である例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、同一面は、上面以外の下面、側面などであってもよい。

【0100】

また、上記第１～第５実施形態では、搬送装置１００（２００、３００、４００、５００）は、リニアモータによりスライダ３を周回経路１０２に沿って移動させるリニアコンベアである例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、搬送装置は、ベルトコンベア駆動によりスライダを駆動させてもよい。また、搬送装置は、スライダの直線移動方向に直交する方向にスライダごと搬送する搬送機構を組み合わせた装置であってもよい。

【0101】

また、上記第１～第５実施形態では、スライダ３が移動する経路は、水平面内に設けられた環状の周回経路１０２である例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、スライダが移動する経路は、水平面に対して傾斜した坂を有する経路であってもよい。

【0102】

また、上記第１～第５実施形態では、スライダ３が移動する経路は、平面視において環状の周回経路１０２である例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、スライダが移動する経路は、周回経路ではなく、平面視においてＪ字状の経路などであってもよい。

【0103】

また、上記第１～第５実施形態では、直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２の各々は、３つずつ設けられている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、直線移動用磁気目盛および曲線移動用磁気目盛は、２または４つ以上設けられていてもよい。

【0104】

また、上記４実施形態では、ベース部４４０は、Ｚ方向（上下方向）に沿った断面において略Ｌ字形状を有するアングル材である例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、ベース部は、上下方向において対向する第１面および第２面と、第１面と第２面とを接続する接続面とを有する略Ｃ字形状を有する部材であってもよい。

【0105】

また、上記第４および第５実施形態では、第２面４４０ｂ（５６２）と、第１面４４０ａ（５６１）とは、互いに略直交している例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、第２面と、第１面とは、鋭角または鈍角により交差してもよい。

【0106】

また、上記第１実施形態では、磁気スケール４は、直線移動用磁気目盛４１を磁気センサ５とＺ方向に対向させるとともに、曲線移動用磁気目盛４２を磁気センサ６とＺ方向に対向させた状態で、スライダフレーム３１の内側に配置されている例を示したが、本発明はこれに限られない。磁気スケールは、直線移動用磁気目盛を磁気センサと幅方向に対向させるとともに、曲線移動用磁気目盛を磁気センサと幅方向に対向させた状態で、スライダフレームの内側に配置されていてもよい。

【0107】

また、上記第２実施形態では、複数（３つ）の直線移動用磁気目盛４１が記録されたベース部２４０が、磁気遮断板２４３の第１面２４３ａに取り付けられているとともに、複数（３つ）の曲線移動用磁気目盛４２が記録されたベース部２４０が、磁気遮断板２４３の第２面２４３ｂに取り付けられている例を示したが本発明はこれに限られない。本発明では、図１４に示す第２変形例のように、直線移動用磁気目盛４１が記録されたベース部７４０が、複数（３つ）磁気遮断板２４３の第１面２４３ａに取り付けられていてもよい。また、曲線移動用磁気目盛４２が記録されたベース部７４０が、複数（３つ）磁気遮断板２４３の第２面２４３ｂに取り付けられていてもよい。なお、直線移動用磁気目盛４１が記録されたベース部７４０は、２つ、または、４つ以上、磁気遮断板２４３の第１面２４３ａに取り付けられてもよい。また、曲線移動用磁気目盛４２が記録されたベース部７４０が、２つ、または、４つ以上、磁気遮断板２４３の第２面２４３ｂに取り付けられていてもよい。また、図１４において、直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２を図中に破線で示しているが、あくまで図中に直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２を視覚化するためのイメージである。

【0108】

また、上記第２実施形態では、複数（３つ）の直線移動用磁気目盛４１が記録されたベース部２４０が、磁気遮断板２４３の第１面２４３ａに取り付けられているとともに、複数（３つ）の曲線移動用磁気目盛４２が記録されたベース部２４０が、磁気遮断板２４３の第２面２４３ｂに取り付けられている例を示したが本発明はこれに限られない。本発明では、図１５および図１６に示す第３変形例のように、複数（３つ）の直線移動用磁気目盛４１および複数（３つ）の曲線移動用磁気目盛４２が記録されたベース部８４０が、磁気遮断板２４３にインサート成形されてもよい。なお、直線移動用磁気目盛４１は、２つ、または、４つ以上ベース部８４０に記録されていてもよい。また、曲線移動用磁気目盛４２は、２つ、または、４つ以上ベース部８４０に記録されていてもよい。また、図１５および図１６において、直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２を図中に破線で示しているが、あくまで図中に直線移動用磁気目盛４１および曲線移動用磁気目盛４２を視覚化するためのイメージである。

【符号の説明】

【0109】

１ 直線移動用駆動モジュール（駆動モジュール）
２ 曲線移動用駆動モジュール（駆動モジュール）
３ スライダ
４、２０４、３０４、４０４、５０４ 磁気スケール
５ 磁気センサ
６ 磁気センサ
３１ スライダフレーム
４０、２４０、３４０、４４０、５４０、７４０、８４０ ベース部
４０ａ、４４０ａ、５４０ａ 第１面
４０ｂ、４４０ｂ、５４０ｂ 第２面
４１ 直線移動用磁気目盛
４１ａ 一方側端部
４１ｂ 他方側端部
４２ 曲線移動用磁気目盛
４２ａ 一方側端部
４２ｂ 他方側端部
１００、２００、３００、４００、５００、６００ 搬送装置
２４３ 磁気遮断板
３４０ａ 同一面
６４０ 基材部
６４０ａ 直線用位置検出面
６４０ｂ 第１曲線用位置検出面
６４０ｃ 第２曲線用位置検出面
６４２ａ 第１曲線目盛部
６４２ｂ 第２曲線目盛部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】