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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2025-03-27
(45)【発行日】2025-04-04
(54)【発明の名称】剥離装置および剥離方法
(51)【国際特許分類】
H01G 13/00 20130101AFI20250328BHJP
B65H 41/00 20060101ALI20250328BHJP
H01L 21/683 20060101ALI20250328BHJP
【ＦＩ】
H01G13/00 351Z
B65H41/00 B
H01L21/68 N
【請求項の数】
9
(21)【出願番号】P 2023138675
(22)【出願日】2023-08-29
(65)【公開番号】P2025033152
(43)【公開日】2025-03-13
【審査請求日】2023-09-01
(73)【特許権者】
【識別番号】000226242
【氏名又は名称】日機装株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100141173
【弁理士】
【氏名又は名称】西村 啓一
(72)【発明者】
【氏名】植野 琴美
(72)【発明者】
【氏名】森永 高広
(72)【発明者】
【氏名】牧野 由
【審査官】田中 晃洋
(56)【参考文献】
【文献】特開２０２０－１２１８５５（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２００９／０６６４３５（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開平０７－２０１７８７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開昭６４－０６１２０８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００２－１８４３１５（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｇ １３／００
Ｂ６５Ｈ ４１／００
Ｈ０１Ｌ ２１／６８
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
基材フィルムと、前記基材フィルムの一面に形成された微粘着層と、を有する微粘着フィルムの前記微粘着層にシートが積層された積層シートのうち、前記微粘着フィルムを前記シートから剥離する剥離装置であって、前記微粘着フィルムの前記基材フィルムが上方に向けて露出するように、前記積層シートを吸着保持する保持面を有するシートテーブルと、
前記シートテーブルに吸着保持された前記積層シートの前記基材フィルムに向けられる刃先部を有するブレードと、
前記刃先部を所定温度に加熱するヒータと、
前記シートテーブルに対する前記ブレードの位置を相対移動させる移動機構と、
前記積層シートに形成される剥離起点を把持して、前記微粘着フィルムを前記シートから剥離するクランプ機構と、
を有してなり、
前記移動機構は、
前記刃先部の長手方向が前記相対移動の方向に対して直交するように、前記ブレードのうち、前記所定温度に加熱された前記刃先部を、開始位置となる前記基材フィルムの外縁部上に当接させて、
前記刃先部が前記基材フィルムに当接した状態で、前記開始位置から前記開始位置よりも前記基材フィルムの内側に位置する終了位置まで前記刃先部を前記保持面に平行な方向に摺動させることにより、前記開始位置から前記終了位置までの間で前記微粘着フィルムが反り上がるように剥離した前記剥離起点を形成させて、
前記開始位置から前記終了位置までの長さは、前記刃先部が当接している部分の前記積層シートの長さが前記刃先部の長さを超えないように設定される、
剥離装置。
【請求項2】
前記基材フィルムは、ポリエステルまたはポリエチレンテレフタレート製であり、前記微粘着層は、アクリル系粘着剤であり、
前記保持面は、低熱伝導材料製であり、
前記所定温度は、１７０℃以上２５０℃以下である、
請求項１に記載の剥離装置。
【請求項3】
前記シートは、ＬＣＰシートまたはＬＴＣＣシートであり、前記シートが前記ＬＣＰシートであるとき、前記所定温度は、１７０℃以上２２０℃以下であり、
前記シートが前記ＬＴＣＣシートであるとき、前記所定温度は、２２０℃以上２５０℃以下である、
請求項２に記載の剥離装置。
【請求項4】
前記保持面は、ガラスまたはゴム製である、請求項２に記載の剥離装置。
【請求項5】
前記刃先部が前記基材フィルムに当接しているとき、前記刃先部は、所定荷重が前記刃先部から前記基材フィルムに加えられるように、前記基材フィルムに押し当てられて、前記所定荷重は、前記積層シートが弾性変形可能な範囲内に設定される、
請求項１に記載の剥離装置。
【請求項6】
前記所定荷重は、前記保持面がゴム製であるとき、前記積層シートと前記保持面とが弾性変形可能な範囲内に設定される、請求項５に記載の剥離装置。
【請求項7】
前記ブレードは、前記基材フィルムに対して傾斜している、請求項５に記載の剥離装置。
【請求項8】
平面視において、前記積層シートの形状は、矩形状であり、前記開始位置は、前記積層シートの角部であり、
前記終了位置は、前記積層シートの４つの端辺のうち、前記角部を形成する２つの端辺それぞれから、前記積層シートの内側に離れた位置である、
請求項１乃至７のいずれか１項に記載の剥離装置。
【請求項9】
基材フィルムと、前記基材フィルムの一面に形成された微粘着層と、を有する微粘着フィルムの前記微粘着層にシートが積層された積層シートのうち、前記微粘着フィルムを前記シートから剥離する剥離装置により実行される剥離方法であって、前記剥離装置は、
前記微粘着フィルムの前記基材フィルムが上方に向けて露出するように、前記積層シートを吸着保持する保持面を有するシートテーブルと、
前記シートテーブルに吸着保持された前記積層シートの前記基材フィルムに向けられる刃先部を有するブレードと、
前記刃先部を所定温度に加熱するヒータと、
前記シートテーブルに対する前記ブレードの位置を相対移動させる移動機構と、
前記積層シートに形成される剥離起点を把持して、前記微粘着フィルムを前記シートから剥離するクランプ機構と、
を有してなり、
前記剥離方法は、
前記剥離装置が、前記刃先部の長手方向が前記相対移動の方向に対して直交するように、前記ブレードのうち、前記所定温度に加熱された前記刃先部を、開始位置となる前記基材フィルムの外縁部上に当接させる当接ステップと、
前記剥離装置が、前記刃先部が前記基材フィルムに当接した状態で、前記開始位置よりも前記基材フィルムの内側に位置する終了位置まで前記刃先部を前記保持面に平行な方向に摺動させて、前記開始位置から前記終了位置までの間で前記微粘着フィルムを反り上がるように剥離させて、前記剥離起点を形成する起点形成ステップと、
を含み、
前記起点形成ステップにおいて、前記開始位置から前記終了位置までの長さは、前記刃先部が当接している部分の前記積層シートの長さが前記刃先部の長さを超えないように設定される、
剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、剥離装置および剥離方法に関する。
【背景技術】
【0002】
多層構造を有する積層セラミック電子部品（例えば、積層セラミックコンデンサ（ＭＬＣＣ：Multilayer Ceramic Capacitors）、チップインダクタ、低温同時焼成セラミック（ＬＴＣＣ：Low Temperature Co-fired Ceramics）など）の製造工程では、例えば、基材フィルム（キャリアフィルム）上に、スラリーが塗布されることにより、フィルム基材上にセラミックグリーンシートが積層された積層シートが形成される。次いで、セラミックグリーンシート上に内部電極が適宜印刷される。次いで、セラミックグリーンシートが基材フィルムから剥離されて、複数のセラミックグリーンシート同士が積層・加熱・圧着されることによりセラミックグリーンシートの積層体が形成される。
【0003】
これらの工程のうち、基材フィルムからのセラミックグリーンシートの剥離には、剥離装置が用いられている（例えば、特許文献１参照）。
【0004】
特許文献１に開示された剥離装置では、積層シートを吸着保持するシートテーブルの保持板に、積層シートの端部が配置される切欠き部が形成されている。切欠き部には、積層シートの端部から隔離されて、同端部との間に空隙を生じさせる傾斜面が形成されている。この空隙上に配置される積層シートの端部にブレードが押し当てられることにより、同端部に折れ線が形成されて、基材フィルムのうち、折れ線から外側の部分がセラミックグリーンシートに対して折り上げられる。この折り上げられた部分は、クランプ機構による掴み代であり、セラミックグリーンシートから基材フィルムを剥離するための剥離起点である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【文献】特開２０２０－１２１８５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
このように、特許文献１に開示された剥離装置は、物理的に基材フィルムのみに折れ線を形成して、基材フィルムの端部のみを折り上げている。そのため、同剥離装置では、微粘着性を有する基材フィルム（例えば、表面に微粘着層が配置される基材フィルム）に対しては、剥離起点は、その粘着性により、安定して形成できない。
【0007】
本発明は、微粘着層を有する基材フィルムに対して、剥離起点を安定して形成可能な剥離装置および剥離方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明の一実施態様における剥離装置は、基材フィルムと、前記基材フィルムの一面に形成された微粘着層と、を有する微粘着フィルムの前記微粘着層にシートが積層された積層シートのうち、前記微粘着フィルムを前記シートから剥離する剥離装置であって、前記微粘着フィルムの前記基材フィルムが上方に向けて露出するように、前記積層シートを吸着保持する保持面を有するシートテーブルと、前記シートテーブルに吸着保持された前記積層シートの前記基材フィルムに向けられる刃先部を有するブレードと、前記刃先部を所定温度に加熱するヒータと、前記シートテーブルに対する前記ブレードの位置を相対移動させる移動機構と、前記積層シートに形成される剥離起点を把持して、前記微粘着フィルムを前記シートから剥離するクランプ機構と、を有してなり、前記移動機構は、前記刃先部の長手方向が前記相対移動の方向に対して直交するように、前記ブレードのうち、前記所定温度に加熱された前記刃先部を、開始位置となる前記基材フィルムの外縁部上に当接させて、前記刃先部が前記基材フィルムに当接した状態で、前記開始位置から前記開始位置よりも前記基材フィルムの内側に位置する終了位置まで前記刃先部を前記保持面に平行な方向に摺動させることにより、前記開始位置から前記終了位置までの間で前記微粘着フィルムが反り上がるように剥離した前記剥離起点を形成させて、前記開始位置から前記終了位置までの長さは、前記刃先部が当接している部分の前記積層シートの長さが前記刃先部の長さを超えないように設定される、剥離装置である。
【0009】
本発明の一実施態様における剥離方法は、基材フィルムと、前記基材フィルムの一面に形成された微粘着層と、を有する微粘着フィルムの前記微粘着層にシートが積層された積層シートのうち、前記微粘着フィルムを前記シートから剥離する剥離装置により実行される剥離方法であって、前記剥離装置は、前記微粘着フィルムの前記基材フィルムが上方に向けて露出するように、前記積層シートを吸着保持する保持面を有するシートテーブルと、前記シートテーブルに吸着保持された前記積層シートの前記基材フィルムに向けられる刃先部を有するブレードと、前記刃先部を所定温度に加熱するヒータと、前記シートテーブルに対する前記ブレードの位置を相対移動させる移動機構と、前記積層シートに形成される剥離起点を把持して、前記微粘着フィルムを前記シートから剥離するクランプ機構と、を有してなり、前記剥離方法は、前記剥離装置が、前記刃先部の長手方向が前記相対移動の方向に対して直交するように、前記ブレードのうち、前記所定温度に加熱された前記刃先部を、開始位置となる前記基材フィルムの外縁部上に当接させる当接ステップと、前記剥離装置が、前記刃先部が前記基材フィルムに当接した状態で、前記開始位置よりも前記基材フィルムの内側に位置する終了位置まで前記刃先部を前記保持面に平行な方向に摺動させて、前記開始位置から前記終了位置までの間で前記微粘着フィルムを反り上がるように剥離させて、前記剥離起点を形成する起点形成ステップと、を含み、前記起点形成ステップにおいて、前記開始位置から前記終了位置までの長さは、前記刃先部が当接している部分の前記積層シートの長さが前記刃先部の長さを超えないように設定される、剥離方法である。
【発明の効果】
【0010】
本発明によれば、粘着層を有する基材フィルムに対して、剥離起点を安定して形成可能な剥離装置および剥離方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【0011】
【図1】（ａ）本発明に係る剥離装置により取り扱われる積層シートの一例を示す部分拡大模式平面図であり、（ｂ）は（ａ）の積層シートのＡＡ線における部分拡大模式断面図である。
【図2】本発明に係る剥離装置の実施の形態を示す模式斜視図である。
【図3】（ａ）は図２の剥離装置が備えるブレードユニットの模式側面図であり、（ｂ）は（ａ）のブレードユニットのＢ部の部分拡大模式側面図であり、（ｃ）は（ａ）のブレードユニットのＣ矢視における部分拡大模式正面図である。
【図6】本発明に係る剥離方法の一例を示すフローチャートである。
【図10】図９の剥離起点の形成原理を説明する模式図であり、（ａ）は図３のブレードユニットの先端部が開始位置から所定距離移動した状態における積層シートの部分拡大模式断面図であり、（ｂ）は先端部が（ａ）よりも終了位置側に移動した状態における積層シートの部分拡大模式断面図である。
【図13】（ａ）は本実施例において使用されたブレードの模式側面図であり、（ｂ）は積層シートに対してブレードが摺動した領域を示す模式平面図である。
【図14】各形成条件における剥離起点の評価結果を示す模式図である。
【図15】実施例１，２４により形成された剥離起点の実例を示す画像である。
【発明を実施するための形態】
【0012】
本発明に係る剥離装置（以下「本装置」という。）、および、本発明に係る剥離方法（以下「本方法」という。）の実施の形態が、以下に説明される。以下の説明において、各図面は、適宜参照される。各図面において、同一の部材および要素については同一の符号が付されて、重複する説明は省略される。また、各要素の寸法比率は、説明の便宜上、誇張されている場合が有り、各図面に示されている比率に限定されない。
【0013】
以下の説明および図面において、特に断りがない限り、空間において相互に直交する３軸をそれぞれＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸としたとき、「Ｘ軸方向」は、Ｘ軸に沿う方向であり、例えば、左右方向である。「Ｙ軸方向」は、Ｙ軸に沿う方向であり、例えば、前後方向である。「Ｚ軸方向」は、Ｚ軸に沿う方向であり、例えば、上下方向である。
【0014】
●剥離装置●
●積層シート
先ず、本装置により取り扱われる積層シートが説明される。
●積層シート
先ず、本装置により取り扱われる積層シートが説明される。
【0015】
図１（ａ）は本装置により取り扱われる積層シートの一例を示す部分拡大模式平面図であり、（ｂ）は（ａ）の積層シートのＡＡ線における部分拡大模式断面図である。
同図は、積層シートＳの端部（角部）を拡大して示している。
同図は、積層シートＳの端部（角部）を拡大して示している。
【0016】
「積層シートＳ」は、シートＳ１が微粘着フィルムＳ２の一面に積層されたシート状の積層体である。平面視において、積層シートＳの形状は、矩形状である。
【0017】
「シートＳ１」は、例えば、微粘着フィルムＳ２（後述される微粘着層Ｓ４）上に積層されるシート状の被積層体である。平面視において、シートＳ１の形状は、矩形状である。シートＳ１は、例えば、多層構造を有する積層セラミック電子部品（例えば、積層セラミックコンデンサ（ＭＬＣＣ：Multilayer Ceramic Capacitors）、チップインダクタ、低温同時焼成セラミック（ＬＴＣＣ：Low Temperature Co-fired Ceramics）など）の製造に用いられるセラミックグリーンシートや、ＬＣＰ（Liquid Crystal Polymer）シートである。
【0018】
シートＳ１は、例えば、誘電体セラミックの粉体、バインダー樹脂、および溶剤が湿式混合されたスラリーが微粘着フィルムＳ２の微粘着面側（後述される微粘着層Ｓ４側）に塗布（積層）されて乾燥されることにより形成されている。シートＳ１上には、導体（例えば、銅）製の複数の電極パターンＳ１ａが、例えば、スクリーン印刷により適宜形成されている。電極パターンＳ１ａは、シートＳ１の外縁部よりも内側の矩形状の領域（以下「パターン領域Ｓ１ｂ」という。）に形成されている。シートＳ１のうち、パターン領域Ｓ１ｂよりも外側（外縁側）には、電極パターンＳ１ａが形成されていない矩形枠状の非パターン領域Ｓ１ｃが配置されている。図１において、パターン領域Ｓ１ｂと非パターン領域Ｓ１ｃとの境界が破線で例示されている。本実施の形態では、１枚のシートＳ１が微粘着フィルムＳ２上に積層されている。
【0019】
なお、本発明において、微粘着フィルムＳ２上には、複数枚のシートＳ１が積層されていてもよい。また、シートＳ１上に電極パターンＳ１ａが印刷されていなくてもよい。
【0020】
「微粘着フィルムＳ２」は、シートＳ１の保護や搬送に用いられるフィルム状の基材である。微粘着フィルムＳ２は、例えば、ポリエステル系、ポリプロピレン系、ポリエチレン系の公知のキャリアフィルムである基材フィルムＳ３と、基材フィルムＳ３の一面Ｓ３ａに形成されている微粘着層Ｓ４と、を備える。例えば、再剥離性を有する微粘着タイプの公知のアクリル系微粘着剤が基材フィルムＳ３の一面Ｓ３ａに塗布されることにより、同アクリル系微粘着剤で構成されている微粘着層Ｓ４が同一面Ｓ３ａに形成されている。すなわち、基材フィルムＳ３の一面Ｓ３ａには、微粘着層Ｓ４が形成（積層）されている。本実施の形態では、基材フィルムＳ３は、例えば、ポリエステル系のキャリアフィルムであり、好ましくは、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）製のキャリアフィルムである。すなわち、基材フィルムＳ３は、ポリエステル製またはポリエチレンテレフタレート製である。
【0021】
【0022】
本装置１は、積層シートＳのうち、微粘着フィルムＳ２をシートＳ１から剥離する。本装置１は、シート搬送機構２、ユニット搬送機構３、剥離ユニット４、および制御装置５を備える。ユニット搬送機構３は、本発明における移動機構の一例である。
【0023】
シート搬送機構２は、積層シートＳ、または、微粘着フィルムＳ２が剥離されたシートＳ１を搬送する。シート搬送機構２は、シートテーブル２１および搬送レール２４を備える。シートテーブル２１は、積層シートＳを搬送する。シートテーブル２１は、ベース２２および保持板２３を備える。ベース２２は、保持板２３を支持する。ベース２２は、搬送レール２４に取り付けられていて、搬送レール２４に沿って往復移動するように構成されている。搬送レール２４は、Ｘ軸に沿って直線状に配置されていて、ベース２２のＸ軸方向への移動（往復移動）をガイドする。シート搬送機構２の動作は、制御装置５により制御されている。
【0024】
保持板２３は、積層シートＳを吸着保持する。保持板２３は、Ｘ軸およびＹ軸に平行な板状である。保持板２３は、例えば、シリコン系のゴム製である。保持板２３は、積層シートＳを吸着保持する保持面２３ａ（表面）、および、保持板２３をＺ軸方向に貫通している複数の吸着孔２３ｂを備える。吸着孔２３ｂには、真空ポンプおよび配管などから構成されている公知の真空系統が接続されていて、吸着孔２３ｂ内が減圧されることにより、保持板２３は積層シートＳを吸着保持できる。
【0025】
ここで、保持板２３の材質としては、積層シートＳ（特に、微粘着層Ｓ４）から保持板２３への後述される熱の伝導が抑制されるような低熱伝導率を有する材質が適している。すなわち、例えば、保持板２３の熱伝導率は、好ましくは、１．５Ｗ／（ｍ・Ｋ）以下であればよく、より好ましくは、１．０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以下であるとよい。また、後述される剥離起点Ｓ５（図５参照。以下同じ。）の高さを確保するため、保持板２３の材質は、低弾性率も有する材質がより適している。具体的には、保持板２３は、ガラス（例えば、石英ガラス、ホウケイ酸ガラス、ソーダガラス）製、または後述される所定温度に対する耐熱性を有するゴム（例えば、シリコン系ゴム）製であり、より好ましくは、ゴム製である。
【0026】
なお、本発明において、保持板２３の保持面２３ａが低熱伝導率を有する材質（より好ましくは、低弾性率も有する材質）で構成されていればよく、保持板２３の他の部位の材質は保持面２３ａの材質と異なっていてもよい。
【0027】
ユニット搬送機構３は、剥離ユニット４を三軸（Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸）方向に移動させる。ユニット搬送機構３は、第１搬送レール３１、第２搬送レール３２、第３搬送レール３３、第１ベース３４、第２ベース３５、および第３ベース３６を備える。第１搬送レール３１は、Ｙ軸に沿って直線状に配置されていて、第１ベース３４のＹ軸方向への移動（往復移動）をガイドする。第２搬送レール３２は、Ｘ軸に沿って直線状に配置されていて、第２ベース３５のＸ軸方向への移動（往復移動）をガイドする。第２搬送レール３２は、第１ベース３４に取り付けられていて、第１ベース３４と共に移動可能である。第３搬送レール３３は、Ｚ軸に沿って直線状に配置されていて、第３ベース３６のＺ軸方向への移動（往復移動）をガイドする。第３搬送レール３３は、第２ベース３５に取り付けられていて、第２ベース３５と共に移動可能である。第１ベース３４は、第１搬送レール３１に取り付けられていて、第１搬送レール３１に沿って往復移動するように構成されている。第２ベース３５は、第２搬送レール３２に取り付けられていて、第２搬送レール３２に沿って往復移動するように構成されている。第３ベース３６は、第３搬送レール３３に取り付けられていて、第３搬送レール３３に沿って往復移動するように構成されている。第１ベース３４、第２ベース３５、および第３ベース３６は、例えば、サーボモータを動力源として往復移動する。ユニット搬送機構３の動作は、制御装置５により制御されている。
【0028】
なお、本発明において、第１ベース３４、第２ベース３５、および第３ベース３６の動力源は、サーボモータに限定されない。
【0029】
剥離ユニット４は、後述される剥離起点Ｓ５を形成すると共に、積層シートＳのうち、微粘着フィルムＳ２をシートＳ１から剥離する。剥離ユニット４は、ブレードユニット４１およびクランプ機構４２を備える。
【0030】
「剥離起点Ｓ５」は、微粘着フィルムＳ２をシートＳ１から剥離するとき、クランプ機構４２により把持されて、剥離の起点となる微粘着フィルムＳ２の端部である。剥離起点Ｓ５の位置および形状の詳細は、後述される。
【0031】
図３（ａ）はブレードユニット４１の模式側面図であり、（ｂ）は（ａ）のブレードユニット４１のＢ部の部分拡大模式側面図であり、（ｃ）は（ａ）のブレードユニット４１のＣ矢視における部分拡大模式正面図である。
【0032】
ブレードユニット４１は、剥離起点Ｓ５を形成する。ブレードユニット４１は、例えば、公知の半田コテと同様の構造を有している。すなわち、例えば、ブレードユニット４１は、ケース４１ａ、ヒータ４１ｂ、およびブレード４１ｃを備える。ケース４１ａは、ヒータ４１ｂを収容して、保護する。ケース４１ａの形状は、例えば、円筒状である。ヒータ４１ｂは、ブレード４１ｃを加熱する。ヒータ４１ｂは、例えば、公知のセラミックヒータである。ヒータ４１ｂの動作は、制御装置５により制御されている。ブレード４１ｃは、微粘着フィルムＳ２の端部上を摺動して、微粘着フィルムＳ２の端部に剥離起点Ｓ５を形成する。ブレード４１ｃの形状は、例えば、ブレード状（いわゆる、平たがねに近似した形状）である。具体的には、ブレード４１ｃの形状は、ブレード４１ｃの幅方向「Ｗ」視において、扁平かつ先細の五角形状であり、ブレード４１ｃの厚み方向「Ｄ」視において、矩形状である。ブレード４１ｃの先端部（下端部）４１ｄの形状は、ブレード４１ｃの幅方向「Ｗ」に沿って長細い半円筒状である。すなわち、下方視において、先端部４１ｄの形状は、直線状である。厚み方向「Ｄ」は、Ｚ軸に対して、幅方向「Ｗ」を軸にθ１°（本実施の形態では３０°）傾斜した方向に直交している。すなわち、ブレード４１ｃの中心軸線（厚み方向「Ｄ」および幅方向「Ｗ」の中心を通る軸線）Ｃ１は、Ｚ軸に対して、θ１°傾斜している。先端部４１ｄは、本発明における刃先部の一例である。
【0033】
図４は、積層シートＳとブレード４１ｃの先端部４１ｄとの関係を示す模式平面図である。同図は、説明の便宜上、先端部４１ｄを太い二点鎖線で示していて、後述される開始位置Ｐｓおよび終了位置Ｐｆを黒丸で示していて、非パターン領域Ｓ１ｃをグレーで着色して示している。
【0034】
上方視において、幅方向「Ｗ」は、Ｙ軸がＺ軸を中心に時計回り方向に４５°回転した方向に沿っている。幅方向「Ｗ」において、先端部４１ｄの長さ（幅）「Ｌｂ」は、開始位置Ｐｓにおける積層シートＳの長さ「Ｌｓ」および終了位置Ｐｆにおける積層シートＳの長さ「Ｌｆ」以上になるように設定されている。幅方向「Ｗ」における先端部４１ｄの長さ「Ｌｂ」は、本発明における刃先部の長さの一例である。幅方向「Ｗ」は、本発明における刃先部の長手方向の一例である。
【0035】
図５は、クランプ機構４２の模式側面図である。
同図は、説明の便宜上、保持板２３、積層シートＳ、および剥離起点Ｓ５の断面も示している。
同図は、説明の便宜上、保持板２３、積層シートＳ、および剥離起点Ｓ５の断面も示している。
【0036】
クランプ機構４２は、剥離起点Ｓ５を把持した状態で、シートテーブル２１に対して相対移動することにより、微粘着フィルムＳ２をシートＳ１から剥離する。クランプ機構４２は、起こし部材４２ａ、クランプ部材４２ｂ、およびスライダ４２ｃを備える。起こし部材４２ａは、把持直前の剥離起点Ｓ５を上方に起こす爪状の部材である。クランプ部材４２ｂは、起こし部材４２ａと共に剥離起点Ｓ５を把持する爪状の部材である。起こし部材４２ａおよびクランプ部材４２ｂは、Ｘ軸およびＹ軸に対して、Ｚ軸を中心に４５°回転した方向（幅方向「Ｗ」に直交する方向）において、互いに対向するように配置されている。スライダ４２ｃは、クランプ部材４２ｂが起こし部材４２ａに対して近接および離間する方向にクランプ部材４２ｂを往復移動させる、公知のエアシリンダである。スライダ４２ｃの動作は、制御装置５により制御されている。クランプ機構４２の構成は公知のクランプ機構の構成と共通しているため、その詳細な説明は省略される。
【0037】
制御装置５は、本装置１全体の動作を制御する。制御装置５は、例えば、パーソナルコンピュータである。制御装置５は、例えば、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）などのプロセッサ、ＣＰＵの作業領域として機能するＲＡＭ（Random Access Memory）などの揮発性メモリ、および、動作プログラムなどを記憶するＲＯＭ（Read Only Memory）などの不揮発性メモリ、を備える。
【0038】
なお、本発明において、制御装置５は、シート搬送機構２、ユニット搬送機構３、および剥離ユニット４の動作を制御できればよく、パーソナルコンピュータに限定されない。
【0039】
●剥離装置の動作
次に、本装置１の動作、すなわち、本方法が、以下に説明される。
次に、本装置１の動作、すなわち、本方法が、以下に説明される。
【0040】
【0041】
先ず、制御装置５は、シート搬送機構２の動作を制御して、積層シートＳが吸着保持されているシートテーブル２１を所定の剥離位置に移動させる（ＳＴ１）。積層シートＳは、各辺がＸ軸またはＹ軸に沿うように、吸着板２３に載置されている。また、積層シートＳは、シートＳ１が下方に向けられて、微粘着フィルムＳ２（基材フィルムＳ３）が上方に向けられた状態で、シートテーブル２１の保持板２３に吸着保持されている。すなわち、積層シートＳの搬送時、シートＳ１の表面は保持板２３に吸着されている被保持面であり、微粘着フィルムＳ２（基材フィルムＳ３）の裏面は上方に向けて露出する露出面である。このとき、積層シートＳ（基材フィルムＳ３）の表面は、水平面に平行である。
【0042】
次いで、制御装置５は、ヒータ４１ｂの動作を制御して、所定温度までブレード４１ｃの先端部４１ｄを加熱する（ＳＴ２）。
【0043】
「所定温度」は、基材フィルムＳ３の収縮、および／または、微粘着層Ｓ４の粘着性に影響を与え得る（粘着性を低減させ得る）温度に設定されている。所定温度は、主に、基材フィルムＳ３の融点、シートＳ１の物性（熱伝導率）、および、微粘着層Ｓ４の熱的性質、により定まる。すなわち、例えば、基材フィルムＳ３がポリエチレンテレフタレート製であるとき、その融点は約２６４℃であり、所定温度の最大温度は２６０℃未満に設定される。また、シートＳ１の熱伝導率が高くなるほど先端部４１ｄからの熱はシートＳ１を介して保持板２３側へと伝達されて微粘着層Ｓ４に留まらないため、所定温度は高くなる。一方、同熱伝導率が低くなるほど先端部４１ｄからの熱は微粘着層Ｓ４に留まり易くなるため、所定温度は低くなる。一例として、例えば、シートＳ１がＬＴＣＣシート（熱伝導率：２．６Ｗ／（ｍ・Ｋ））であるとき、所定温度の温度は約２２０℃以上２５０℃以下であり、シートＳ１がＬＰＣシート（熱伝導率：０．３８Ｗ／（ｍ・Ｋ））であるとき、所定温度の温度は約１７０℃以上約２２０℃以下である。
【0044】
次いで、制御装置５は、ユニット搬送機構３の動作を制御して、ブレード４１ｃの先端部４１ｄが開始位置Ｐｓの真上に位置するようにブレード４１ｃを移動させる（ＳＴ３）。換言すれば、ユニット搬送機構３は、シートテーブル２１に対するブレード４１ｃの位置を相対移動させる。このとき、先端部４１ｄは、積層シートＳ（基材フィルムＳ３）に向けられている。
【0045】
「開始位置Ｐｓ」は、本方法により剥離起点Ｓ５が形成される際に、先端部４１ｄが最初に積層シートＳ（基材フィルムＳ３）に当接する位置（部分）である。開始位置Ｐｓは、積層シートＳの外縁部上に設定されている。図４に示されるように、本実施の形態では、開始位置Ｐｓは、積層シートＳ（基材フィルムＳ３）の角部上に設定されている。
【0046】
次いで、制御装置５は、ユニット搬送機構３の動作を制御して、ブレード４１ｃの先端部４１ｄを積層シートＳ（基材フィルムＳ３）の開始位置Ｐｓに移動させて、開始位置Ｐｓに当接させる（ＳＴ４：当接ステップ）。このとき、先端部４１ｄは、所定荷重が先端部４１ｄから積層シートＳに加えられるように、積層シートＳ（基材フィルムＳ３）に対して傾斜した状態で積層シートＳに押し付けられる。また、図４に示されるように、先端部４１ｄの幅方向「Ｗ」は、開始位置Ｐｓである角部を形成する２辺それぞれから、積層シートＳの内側にθ２°およびθ３°（本実施の形態では共に４５°）傾斜した位置を通る仮想線Ｃ２に直交するように配置されている。すなわち、例えば、積層シートＳが正方形状であるとき、幅方向「Ｗ」は、開始位置Ｐｓである角部を形成する２辺間の対角線に直交するように配置されている。さらに、先端部４１ｄの幅方向「Ｗ」において、先端部４１ｄの中央部が開始位置Ｐｓに当接している。さらにまた、先端部４１ｄは所定温度に加熱されているため、先端部４１ｄからの熱は、先端部４１ｄに当接している部分から積層シートＳ（主に基材フィルムＳ３および微粘着層Ｓ４）に伝達される。その結果、後述のとおり、先端部４１ｄの真下に位置している微粘着層Ｓ４の粘着性は、低下するものと推測される。
【0047】
【0048】
「所定荷重」は、先端部４１ｄからの押圧力により、後述される剪断応力「Ｐｓｓ」および摩擦力が生じる程度に設定される。所定荷重の下限値は、例えば、先端部４１ｄの真下に位置している積層シートＳ（シートＳ１および微粘着フィルムＳ２）が弾性変形可能な値に設定されていて、好ましくは、先端部４１ｄの真下に位置している保持板２３の表面部分までが弾性変形する範囲内に設定されている。一方、所定荷重の上限値は、例えば、積層シートＳが塑性変形しない（弾性変形可能な）範囲内に設定されている。具体的には、所定荷重は、約０．２９Ｎ（３０ｇｆ）～約１．９６Ｎ（２００ｇｆ）に設定されているとよく、好ましくは、約０．３９Ｎ（４０ｇf）～約１．５７Ｎ（１６０ｇｆ）に設定されているとよく、より好ましくは、約０．４９Ｎ（５０ｇｆ）～約１．４７Ｎ（１５０ｇｆ）に設定されているとよい。
【0049】
次いで、制御装置５は、ユニット搬送機構３の動作を制御して、先端部４１ｄが積層シートＳ（基材フィルムＳ３）に当接した状態で、先端部４１ｄを終了位置Ｐｆまで摺動させる（ＳＴ５：起点形成ステップ）。換言すれば、ユニット搬送機構３は、積層シートＳに対する先端部４１ｄの位置を相対移動させる。このときの先端部４１ｄの相対移動方向は、先端部４１ｄの幅方向「Ｗ」および上下方向に対して直交する方向（仮想線Ｃ２に平行な方向）である。すなわち、幅方向「Ｗ」は、先端部４１ｄの相対移動方向に直交している。先端部４１ｄが開始位置Ｐｓから終了位置Ｐｆまで移動している間、先端部４１ｄの幅方向「Ｗ」における先端部４１ｄの両端部４１ｅ，４１ｆは、積層シートＳ（基材フィルムＳ３）上に配置されていない（上方視において、両端部４１ｅ，４１ｆは、積層シートＳよりも外側に配置されている）。すなわち、先端部４１ｄが開始位置Ｐｓから終了位置Ｐｆまで移動している間、先端部４１ｄは、積層シートＳ（基材フィルムＳ３）をライン上に横断するように積層シートＳ（基材フィルムＳ３）に当接している（両端部４１ｅ，４１ｆは、積層シートＳに当接していない）。
【0050】
「終了位置Ｐｆ」は、本方法により剥離起点Ｓ５が形成される際に、先端部４１ｄが最後に積層シートＳ（基材フィルムＳ３）に当接する位置（部分）である。終了位置Ｐｆは、開始位置Ｐｓよりも積層シートＳの内側（平面視における積層シートＳの中央側）であって、開始位置Ｐｓである角部を形成する２辺それぞれから離れた位置に設定されている。本実施の形態では、終了位置Ｐｆは、開始位置Ｐｓである角部を形成する２辺それぞれにおいて、角部から等距離となる点同士を結んだ仮想線Ｃ３上に設定されている。ここで、開始位置Ｐｓから終了位置Ｐｆまでの長さ「Ｌｓｆ」は、先端部４１ｄの幅方向「Ｗ」において、先端部４１ｄが当接している部分の積層シートＳの長さが先端部４１ｄの長さ「Ｌｂ」を超えないように設定されている。また、同長さ「Ｌｓｆ」は、クランプ機構４２が把持可能な長さ（高さ）の剥離起点Ｓ５が形成可能な長さに設定されている。
【0051】
図８は、図７の状態の先端部４１ｄが終了位置Ｐｆに向けて移動している状態の部分拡大模式断面図である。同図は、積層シートＳおよび保持板２３の図４のＥＥ線における断面を示している。同図は、ブレード４１ｃを非断面で示している。
図９は、図８の状態の先端部４１ｄが終了位置Ｐｆに移動した状態の部分拡大模式断面図である。同図は、積層シートＳおよび保持板２３の図４のＥＥ線における断面を示している。同図は、ブレード４１ｃを非断面で示している。
図９は、図８の状態の先端部４１ｄが終了位置Ｐｆに移動した状態の部分拡大模式断面図である。同図は、積層シートＳおよび保持板２３の図４のＥＥ線における断面を示している。同図は、ブレード４１ｃを非断面で示している。
【0052】
先端部４１ｄが開始位置Ｐｓから終了位置Ｐｆまで摺動する間、先端部４１ｄは積層シートＳ（基材フィルムＳ３）に当接していて、積層シートＳには先端部４１ｄから所定荷重が加えられている。このとき、先端部４１ｄが通過した領域の微粘着フィルムＳ２は、先端部４１ｄの移動に応じて、開始位置Ｐｓ側から上方に反り上がるようにシートＳ１から剥離する。そして、先端部４１ｄが終了位置Ｐｆまで移動したとき、先端部４１ｄが通過した領域の微粘着フィルムＳ２は、シートＳ１から反り上がるように剥離した剥離起点Ｓ５を形成している。
【0053】
図１０は剥離起点Ｓ５の形成原理を説明する模式図であり、（ａ）は先端部４１ｄが開始位置Ｐｓから僅かに移動した状態における積層シートＳの部分拡大模式断面図であり、（ｂ）は先端部４１ｄが（ａ）よりも終了位置Ｐｆ側に移動した状態における積層シートＳの部分拡大模式断面図である。同図は、後述される収縮量の大小を黒塗り矢印の大きさで示していて、後述される各応力「Ｐｚ１，Ｐｓｓ，Ｐｘｙ，Ｐｚ２」を矢印で示している。
【0054】
先端部４１ｄが積層シートＳに接触すると、先端部４１ｄからの熱は、基材フィルムＳ３内を同心円状に伝導される。このとき、基材フィルムＳ３は、先端部４１ｄからの熱により僅かに収縮する。ここで、微視的には、基材フィルムＳ３内の温度は、先端部４１ｄに近づくほど高くなる。そのため、微視的には、基材フィルムＳ３の熱による収縮量は、先端部４１ｄ側から微粘着層Ｓ４側に向かうにつれて、小さくなる。すなわち、基材フィルムＳ３の厚み方向（Ｚ軸方向）において、基材フィルムＳ３の表面側と裏面側との間で基材フィルムＳ３の収縮量に差異が生じている。その結果、微視的には、基材フィルムＳ３のうち、先端部４１ｄよりも開始位置Ｐｓ側では、上方へ向けて反り上がるような応力「Ｐｚ１」が生じているものと推測される。
【0055】
また、先端部４１ｄの進行方向において、基材フィルムＳ３の長さは、シートＳ１の長さと同じである。そのため、積層シートＳが先端部４１ｄにより上方から押圧されると、積層シートＳは下方に凸となるように弾性変形する。このとき、積層シートＳのうち、先端部４１ｄよりも開始位置Ｐｓ側では、シートＳ１には基材フィルムＳ３に対して先端部４１ｄ側に向かうような応力が生じていて、基材フィルムＳ３にはシートＳ１に対して開始位置Ｐｓ側に向かうような応力が生じている。その結果、シートＳ１と基材フィルムＳ３との間（シートＳ１と微粘着層Ｓ４との界面）には、剪断応力「Ｐｓｓ」が生じている。
【0056】
さらに、先端部４１ｄは所定荷重で積層シートＳ（基材フィルムＳ３）に押し付けられながら終了位置Ｐｆに向けて摺動するため、先端部４１ｄと基材フィルムＳ３の表面との間には摩擦力が生じて、同摩擦力により、基材フィルムＳ３の表面には、終了位置Ｐｆ側に向かう応力「Ｐｘｙ」が生じる。このとき、微視的には、基材フィルムＳ３のうち、先端部４１ｄよりも後方の微粘着層Ｓ４側では、同応力「Ｐｘｙ」に引かれるようにして、上向きの応力「Ｐｚ２」が生じているものと推測される。
【0057】
一方、先端部４１ｄからの熱は、微粘着層Ｓ４にも伝導される。前述のとおり、シートＳ１の熱伝導率が低いほど、微粘着層Ｓ４に伝導された熱は、微粘着層Ｓ４内に留まる。このとき、微粘着層Ｓ４を構成している分子の一部が熱により切断されて、微粘着層Ｓ４の粘着性は低下するものと推測される。その結果、先端部４１ｄよりも開始位置Ｐｓ側において、微粘着層Ｓ４が前述の各応力「Ｐｚ１，Ｐｓｓ，Ｐｚ２」によりシートＳ１から剥離して、微粘着フィルムＳ２がシートＳ１から剥離する。この剥離した部分は、先端部４１ｄが終了位置Ｐｆに向かうにつれて、開始位置Ｐｓ側から順に冷却されて、上方に向けて反り上がった状態で固まる。このようにして、シートＳ１から上方に向けて反り上がる形状の剥離起点Ｓ５が形成される。
【0058】
次いで、制御装置５は、ユニット搬送機構３の動作を制御して、ブレードユニット４１を積層シートＳの上方から退去させると共に、クランプ機構４２をクランプ位置に移動させる（ＳＴ６）。このとき、起こし部材４２ａの下端部は、シートＳ１と剥離起点Ｓ５との間の隙間に配置される。
【0059】
図１１は、クランプ機構４２が剥離起点Ｓ５に近づけられた状態を示す部分拡大模式図である。同図は、積層シートＳおよび保持板２３の図４のＥＥ線における断面を示している。同図は、クランプ機構４２を非断面で示している。
【0060】
次いで、制御装置５は、ユニット搬送機構３およびクランプ機構４２の動作を制御して、剥離起点Ｓ５をクランプ機構４２に把持させる（ＳＴ７）。具体的には、制御装置５は、ユニット搬送機構３の動作を制御して、起こし部材４２ａの先端部を剥離起点Ｓ５の裏面に引っかけて、剥離起点Ｓ５を引き起こす。次いで、制御装置５は、スライダ４２ｃの動作を制御して、クランプ部材４２ｂを起こし部材４２ａ側に移動させて、起こし部材４２ａおよびクランプ部材４２ｂに剥離起点Ｓ５を把持させる。
【0061】
なお、本発明において、制御装置５は、剥離起点Ｓ５の把持前に、クランプ部材４２ｂを剥離起点Ｓ５の裏面に複数回接触させて、剥離起点Ｓ５を引き起こすと共に、剥離起点Ｓ５を拡大させていてもよい。
【0062】
また、本発明において、剥離起点Ｓ５は、熱による基材フィルムＳ３の収縮により上方に反り上がっている。すなわち、剥離起点Ｓ５の先端部は引き起こされなくても上方に向けられている。そのため、剥離起点Ｓ５の引き起こし動作は、実行されなくてもよい。
【0063】
図１２は、クランプ機構４２により剥離起点Ｓ５が把持された状態を示す部分拡大模式図である。同図は、積層シートＳおよび保持板２３の図４のＥＥ線における断面を示している。同図は、クランプ機構４２を非断面で示している。
【0064】
次いで、制御装置５は、ユニット搬送機構３の動作を制御して、微粘着フィルムＳ２をシートＳ１から剥離する（ＳＴ８）。このとき、制御装置５は、例えば、クランプ機構４２をブレード４１ｃの進行方向と同じ方向に水平に移動させる。
【0065】
このように、本装置１では、熱により微粘着層Ｓ４の粘着性が低下すると共に、ブレード４１ｃにより積層シートＳ内に各応力「Ｓｚ１，Ｓｓｓ，Ｓｚ２」が生じることにより、微粘着層Ｓ４を備える微粘着フィルムＳ２を剥離するとき、剥離起点Ｓ５が形成される。
【0066】
なお、本方法において、先端部４１ｄの加熱は、積層シートＳの搬送前に実行されていてもよく、本装置１の動作中、常に実行されていてもよい。
【0067】
●実施例●
次に、剥離起点Ｓ５の形成条件を変更したときの評価結果が、本発明の実施例として以下に説明される。以下の説明において、図１～図４は、適宜参照される。また、以下の説明において、先に説明された実施の形態と共通する機能を有する要素については、説明の便宜上、同一の名称および符号が付されている。
次に、剥離起点Ｓ５の形成条件を変更したときの評価結果が、本発明の実施例として以下に説明される。以下の説明において、図１～図４は、適宜参照される。また、以下の説明において、先に説明された実施の形態と共通する機能を有する要素については、説明の便宜上、同一の名称および符号が付されている。
【0068】
図１３（ａ）は本実施例において使用されたブレード４１ｃの模式側面図であり、（ｂ）は積層シートＳに対してブレード４１ｃが摺動した領域を示す模式平面図である。
図１４は、各形成条件における剥離起点Ｓ５の評価結果を示す模式図である。
図１４において、「実施例１」の形成条件が基準とされていて、各実施例において実施例１から変更されている形成条件が太字で示されている。
図１４は、各形成条件における剥離起点Ｓ５の評価結果を示す模式図である。
図１４において、「実施例１」の形成条件が基準とされていて、各実施例において実施例１から変更されている形成条件が太字で示されている。
【0069】
（積層シート）
各実施例において、微粘着フィルムＳ２として、「株式会社寺岡製作所製：フィルムマスキングテープＮｏ．６０５：＃５０：膜厚５５μｍ」が用いられている。同微粘着フィルムＳ２は、ポリエステル製の基材フィルムＳ３、および、基材フィルムＳ３の一面Ｓ３ａに形成されているアクリル系微粘着層Ｓ４（粘着力：０．１７（Ｎ／２５ｍｍ））を備える。また、積層シートＳとして、微粘着フィルムＳ２の一面にＬＣＰシート（膜厚６２μｍ）が積層されているＬＣＰシート、および、微粘着フィルムＳ２の一面にＬＴＣＣシート（膜厚１４５μｍ）が積層されているＬＴＣＣシートが用いられている。
各実施例において、微粘着フィルムＳ２として、「株式会社寺岡製作所製：フィルムマスキングテープＮｏ．６０５：＃５０：膜厚５５μｍ」が用いられている。同微粘着フィルムＳ２は、ポリエステル製の基材フィルムＳ３、および、基材フィルムＳ３の一面Ｓ３ａに形成されているアクリル系微粘着層Ｓ４（粘着力：０．１７（Ｎ／２５ｍｍ））を備える。また、積層シートＳとして、微粘着フィルムＳ２の一面にＬＣＰシート（膜厚６２μｍ）が積層されているＬＣＰシート、および、微粘着フィルムＳ２の一面にＬＴＣＣシート（膜厚１４５μｍ）が積層されているＬＴＣＣシートが用いられている。
【0070】
（ブレード）
各実施例において、ブレード４１ｃおよびヒータ４１ｂとして、市販の半田コテユニットが用いられている。図１３（ａ）に示されるように、ブレード４１ｃの形状は、ブレード４１ｃの厚み方向「Ｄ」において不均等な２つの傾斜面を有するＶ字状である。ブレード４１ｃの厚みは「２ｍｍ」であり、幅は「１０．２ｍｍ」である。ブレード４１ｃの先端部４１ｄの形状は、半径「０．５ｍｍ」の半円筒状である。
各実施例において、ブレード４１ｃおよびヒータ４１ｂとして、市販の半田コテユニットが用いられている。図１３（ａ）に示されるように、ブレード４１ｃの形状は、ブレード４１ｃの厚み方向「Ｄ」において不均等な２つの傾斜面を有するＶ字状である。ブレード４１ｃの厚みは「２ｍｍ」であり、幅は「１０．２ｍｍ」である。ブレード４１ｃの先端部４１ｄの形状は、半径「０．５ｍｍ」の半円筒状である。
【0071】
（評価環境）
保持板２３として、ゴム板（シリコン系ゴム、硬度：８０°、熱伝導率：０．２Ｗ／（ｍ・Ｋ））、ガラス板（ソーダガラス）、および金属板（ＳＵＳ３０４）の３種の板材が代用されている。評価時には、板材の上に積層シートＳが載置されていて、同板材が市販の電子天秤の天板上に載置されていて、剥離起点Ｓ５の形成は電子天秤上で行われている。
保持板２３として、ゴム板（シリコン系ゴム、硬度：８０°、熱伝導率：０．２Ｗ／（ｍ・Ｋ））、ガラス板（ソーダガラス）、および金属板（ＳＵＳ３０４）の３種の板材が代用されている。評価時には、板材の上に積層シートＳが載置されていて、同板材が市販の電子天秤の天板上に載置されていて、剥離起点Ｓ５の形成は電子天秤上で行われている。
【0072】
（形成条件）
各実施例において、変数となる形成条件は、温度（℃）、移動方向、荷重（Ｎ）、ブレード４１ｃの中心軸線Ｃ１の水平面（積層シートＳ）に対する角度（°）、ブレード４１ｃの移動速度（ｍｍ／ｓｅｃ）、保持板２３の材質、および、シートＳ１の種類である。先端部４１ｄの温度は、同半田コテユニットに表示されている温度である。図１３（ｂ）に示されるように、積層シートＳの角部が開始位置Ｐｓとして設定されていて、同角部を挟み込む２辺において、同角部から各「５ｍｍ」離れた点同士を結んだ仮想線Ｃ３上が終了位置Ｐｆとして設定されている。ブレード４１ｃの移動方向は、開始位置Ｐｓから終了位置Ｐｆ（正方向）、および、終了位置Ｐｆから開始位置Ｐｓ（逆方向）の２方向であり、開始位置Ｐｓとなる角部を挟む２辺それぞれから４５°の方向に沿っている。荷重は、電子天秤により計量されている。荷重は平均値として０．４９Ｎ（５０ｇｆ）または１．４７Ｎ（１５０ｇｆ）となるように調整されている。
各実施例において、変数となる形成条件は、温度（℃）、移動方向、荷重（Ｎ）、ブレード４１ｃの中心軸線Ｃ１の水平面（積層シートＳ）に対する角度（°）、ブレード４１ｃの移動速度（ｍｍ／ｓｅｃ）、保持板２３の材質、および、シートＳ１の種類である。先端部４１ｄの温度は、同半田コテユニットに表示されている温度である。図１３（ｂ）に示されるように、積層シートＳの角部が開始位置Ｐｓとして設定されていて、同角部を挟み込む２辺において、同角部から各「５ｍｍ」離れた点同士を結んだ仮想線Ｃ３上が終了位置Ｐｆとして設定されている。ブレード４１ｃの移動方向は、開始位置Ｐｓから終了位置Ｐｆ（正方向）、および、終了位置Ｐｆから開始位置Ｐｓ（逆方向）の２方向であり、開始位置Ｐｓとなる角部を挟む２辺それぞれから４５°の方向に沿っている。荷重は、電子天秤により計量されている。荷重は平均値として０．４９Ｎ（５０ｇｆ）または１．４７Ｎ（１５０ｇｆ）となるように調整されている。
【0073】
（実施例１～６）
実施例１～実施例６では、先端部４１ｄの温度が１６０℃、１７０℃、１８０℃、２００℃、２２０℃、および２３０℃の６種に設定されている。温度以外の条件は、移動方向：正方向、荷重：０．４９Ｎ（５０ｇｆ）、ブレード４１ｃの角度：４５°、移動速度：３．５ｍｍ／ｓｅｃ、保持板２３の材質：ゴム、および、シートＳ１：ＬＣＰシートである。温度が１６０℃では、剥離起点Ｓ５の形成確率は５０％であった。また、温度が２３０℃では、基材フィルムＳ３に若干の融解（皺）が見られた。温度が１７０℃～２２０℃の範囲内では、剥離起点Ｓ５の形成確率は１００％であった。したがって、ＬＣＰシートに対する他の実施例では、温度は、その略中間値である２００℃に設定されている。
実施例１～実施例６では、先端部４１ｄの温度が１６０℃、１７０℃、１８０℃、２００℃、２２０℃、および２３０℃の６種に設定されている。温度以外の条件は、移動方向：正方向、荷重：０．４９Ｎ（５０ｇｆ）、ブレード４１ｃの角度：４５°、移動速度：３．５ｍｍ／ｓｅｃ、保持板２３の材質：ゴム、および、シートＳ１：ＬＣＰシートである。温度が１６０℃では、剥離起点Ｓ５の形成確率は５０％であった。また、温度が２３０℃では、基材フィルムＳ３に若干の融解（皺）が見られた。温度が１７０℃～２２０℃の範囲内では、剥離起点Ｓ５の形成確率は１００％であった。したがって、ＬＣＰシートに対する他の実施例では、温度は、その略中間値である２００℃に設定されている。
【0074】
（実施例１，７～９）
実施例１，７～９では、先端部４１ｄの移動速度が７．１ｍｍ／ｓｅｃ、３．５ｍｍ／ｓｅｃ。１．８ｍｍ／ｓｅｃ、および１．２ｍｍ／ｓｅｃの４種に設定されている。いずれの実施例でも、剥離起点Ｓ５の形成確率は１００％であり、移動速度による差異は見いだせなかった。開始位置Ｐｓは積層シートＳの角部上に設定されている（すなわち、開始位置Ｐｓの面積は極小である）ため、先端部４１ｄが開始位置Ｐｓに位置した時点で、開始位置Ｐｓにおいて十分な熱が微粘着層Ｓ４に伝導されたものと推測される。
実施例１，７～９では、先端部４１ｄの移動速度が７．１ｍｍ／ｓｅｃ、３．５ｍｍ／ｓｅｃ。１．８ｍｍ／ｓｅｃ、および１．２ｍｍ／ｓｅｃの４種に設定されている。いずれの実施例でも、剥離起点Ｓ５の形成確率は１００％であり、移動速度による差異は見いだせなかった。開始位置Ｐｓは積層シートＳの角部上に設定されている（すなわち、開始位置Ｐｓの面積は極小である）ため、先端部４１ｄが開始位置Ｐｓに位置した時点で、開始位置Ｐｓにおいて十分な熱が微粘着層Ｓ４に伝導されたものと推測される。
【0075】
（実施例１，１０～１３）
実施例１，１０～１３では。ブレード４１ｃの中心軸線Ｃ１の水平面（積層シートＳ）に対する角度が３０°、４５°、９０°、１２０°、および１３５°の５種に設定されている。ここで、ブレード４１ｃの角度が鋭角のときブレード４１ｃは終了位置Ｐｆ側に傾けられていて、同角度が鈍角のときブレード４１ｃは開始位置Ｐｓ側に傾けられている。いずれの実施例でも、剥離起点Ｓ５の形成確率は１００％であり、角度による差異は見いだせなかった。ただし、角度が９０°のとき、剥離起点Ｓ５の高さが高くなる傾向にある反面、剥離起点Ｓ５形成後のシートＳ１に若干の撓みが生じていた。そのため、ブレード４１ｃの中心軸線Ｃ１は、水平面（積層シートＳ）に対して傾斜している方が好ましい。
実施例１，１０～１３では。ブレード４１ｃの中心軸線Ｃ１の水平面（積層シートＳ）に対する角度が３０°、４５°、９０°、１２０°、および１３５°の５種に設定されている。ここで、ブレード４１ｃの角度が鋭角のときブレード４１ｃは終了位置Ｐｆ側に傾けられていて、同角度が鈍角のときブレード４１ｃは開始位置Ｐｓ側に傾けられている。いずれの実施例でも、剥離起点Ｓ５の形成確率は１００％であり、角度による差異は見いだせなかった。ただし、角度が９０°のとき、剥離起点Ｓ５の高さが高くなる傾向にある反面、剥離起点Ｓ５形成後のシートＳ１に若干の撓みが生じていた。そのため、ブレード４１ｃの中心軸線Ｃ１は、水平面（積層シートＳ）に対して傾斜している方が好ましい。
【0076】
（実施例１，１４～１６）
実施例１，１４～１６では、先端部４１ｄの移動速度、および、ブレード４１ｃの中心軸線Ｃ１の水平面に対する角度が前述の範囲内で設定されている。いずれの実施例でも、剥離起点Ｓ５の形成確率は１００％であった。
実施例１，１４～１６では、先端部４１ｄの移動速度、および、ブレード４１ｃの中心軸線Ｃ１の水平面に対する角度が前述の範囲内で設定されている。いずれの実施例でも、剥離起点Ｓ５の形成確率は１００％であった。
【0077】
（実施例９，１７）
実施例９，１７では、荷重が０．４９Ｎ（５０ｇｆ）および１．４７Ｎ（１５０ｇｆ）の２種に設定されている。いずれの実施例でも、剥離起点Ｓ５の形成確率は１００％であった。なお、荷重が１．４７Ｎのとき、剥離起点Ｓ５と共にシートＳ１にも若干の反りが見られた。そのため、本実施例では、この２つの荷重であれば、０．４９Ｎがよい。ただし、本来の保持板２３であれば、シートＳ１は吸着孔２３ｂにより吸着されているため、この程度の反りは生じないと推測される。すなわち、シートＳ１が吸着孔２３ｂによる吸着力を超えて変形をしなければ、荷重が１．４７Ｎ（１５０ｇｆ）を超えても、シートＳ１の反りを生じることなく剥離起点Ｓ５は形成可能であると推測される。また、前述のとおり、手作業で半田コテを操作していることから、荷重は多少変動しており、前述の各応力「Ｓｚ１，Ｓｓｓ，Ｓｚ２」が生じていれば、０．４９Ｎ未満の荷重でも剥離起点Ｓ５は形成可能であると推測される。
実施例９，１７では、荷重が０．４９Ｎ（５０ｇｆ）および１．４７Ｎ（１５０ｇｆ）の２種に設定されている。いずれの実施例でも、剥離起点Ｓ５の形成確率は１００％であった。なお、荷重が１．４７Ｎのとき、剥離起点Ｓ５と共にシートＳ１にも若干の反りが見られた。そのため、本実施例では、この２つの荷重であれば、０．４９Ｎがよい。ただし、本来の保持板２３であれば、シートＳ１は吸着孔２３ｂにより吸着されているため、この程度の反りは生じないと推測される。すなわち、シートＳ１が吸着孔２３ｂによる吸着力を超えて変形をしなければ、荷重が１．４７Ｎ（１５０ｇｆ）を超えても、シートＳ１の反りを生じることなく剥離起点Ｓ５は形成可能であると推測される。また、前述のとおり、手作業で半田コテを操作していることから、荷重は多少変動しており、前述の各応力「Ｓｚ１，Ｓｓｓ，Ｓｚ２」が生じていれば、０．４９Ｎ未満の荷重でも剥離起点Ｓ５は形成可能であると推測される。
【0078】
（実施例１，１８，１９）
実施例１，１８，１９では、保持板２３の材質が、ゴム、ガラス、および金属（ＳＵＳ３０４）の３種に設定されている。材質がガラスの場合、剥離起点Ｓ５の形成確率は１００％であったが、剥離起点Ｓ５の高さは材質がゴムの場合よりも低くなった。これは、保持面２３ａの弾性変形の有無に起因するものと推測される。すなわち、材質がゴムの場合と比較して、荷重による保持面２３ａの変形が生じておらず、前述の応力「Ｓｚ２」が小さくなったものと推測される。ただし、剥離起点Ｓ５は形成できており、材質がガラスでも剥離起点Ｓ５の形成は可能である。この結果より、材質がゴムの場合、荷重が０．４９Ｎ（５０ｇｆ）でも保持面２３ａは弾性変形しているものと推測できる。一方、材質が金属の場合、剥離起点Ｓ５は形成されなかった。金属の熱伝導率（ＳｕＳ３０４：約１６Ｗ／（ｍ・Ｋ））がゴムおよびガラスよりも十分に大きいため、微粘着層Ｓ４の粘着性の低下に必要な熱が微粘着層Ｓ４に留まらなかったものと推測される。なお、基材フィルムＳ３の融点近くの温度であれば、剥離起点Ｓ５は形成され得ると推測される。
実施例１，１８，１９では、保持板２３の材質が、ゴム、ガラス、および金属（ＳＵＳ３０４）の３種に設定されている。材質がガラスの場合、剥離起点Ｓ５の形成確率は１００％であったが、剥離起点Ｓ５の高さは材質がゴムの場合よりも低くなった。これは、保持面２３ａの弾性変形の有無に起因するものと推測される。すなわち、材質がゴムの場合と比較して、荷重による保持面２３ａの変形が生じておらず、前述の応力「Ｓｚ２」が小さくなったものと推測される。ただし、剥離起点Ｓ５は形成できており、材質がガラスでも剥離起点Ｓ５の形成は可能である。この結果より、材質がゴムの場合、荷重が０．４９Ｎ（５０ｇｆ）でも保持面２３ａは弾性変形しているものと推測できる。一方、材質が金属の場合、剥離起点Ｓ５は形成されなかった。金属の熱伝導率（ＳｕＳ３０４：約１６Ｗ／（ｍ・Ｋ））がゴムおよびガラスよりも十分に大きいため、微粘着層Ｓ４の粘着性の低下に必要な熱が微粘着層Ｓ４に留まらなかったものと推測される。なお、基材フィルムＳ３の融点近くの温度であれば、剥離起点Ｓ５は形成され得ると推測される。
【0079】
（実施例１，２０～２２）
実施例１，２０～２２では、先端部４１ｄの進行方向が、正方向および逆方向の２種に設定されている。進行方向が逆方向の場合、剥離起点Ｓ５は形成されなかった。これは、前述の応力「Ｓｚ１，Ｓｓｓ，Ｓｚ２」が生じていても、開始位置Ｐｓ側の微粘着層Ｓ４の粘着性が低下していないため、微粘着フィルムＳ２がシートＳ１から剥離されなかったものと推測される。
実施例１，２０～２２では、先端部４１ｄの進行方向が、正方向および逆方向の２種に設定されている。進行方向が逆方向の場合、剥離起点Ｓ５は形成されなかった。これは、前述の応力「Ｓｚ１，Ｓｓｓ，Ｓｚ２」が生じていても、開始位置Ｐｓ側の微粘着層Ｓ４の粘着性が低下していないため、微粘着フィルムＳ２がシートＳ１から剥離されなかったものと推測される。
【0080】
（実施例２３～２６）
実施例２３～２６では、シートＳ１にＬＴＣＣシートが用いられていて、温度が２００℃、２２０℃、２３０℃、および２５０℃の４種に設定されている。シートＳ１がＬＴＣＣシート、かつ、温度が２００℃では、剥離起点Ｓ５は形成されなかった。これは、ＬＴＣＣシートの熱伝導率（約２．６Ｗ／（ｍ・Ｋ））がＬＣＰシートの熱伝導率（約０．３８Ｗ／（ｍ・Ｋ））よりも高いため、微粘着層Ｓ４の粘着性の低下に必要な熱が微粘着層Ｓ４に留まらなかったことが要因であると推測される。すなわち、ＬＴＣＣシートへの熱の伝導が速く、剥離起点Ｓ５が生じ得る程度まで粘着性が低下しなかったものと推測される。一方、ＬＴＣＣシートでは、温度が２５０℃の高温でも、基材フィルムＳ３が溶解することなく、良好な剥離起点Ｓ５が形成された。これは、ＬＴＣＣシートの熱伝導率がＬＣＰシートの熱伝導率よりも高いため、過剰な熱が基材フィルムＳ３に留まらなかった（過剰な熱がＬＴＣＣシートへ伝導された）ものと推測される。
実施例２３～２６では、シートＳ１にＬＴＣＣシートが用いられていて、温度が２００℃、２２０℃、２３０℃、および２５０℃の４種に設定されている。シートＳ１がＬＴＣＣシート、かつ、温度が２００℃では、剥離起点Ｓ５は形成されなかった。これは、ＬＴＣＣシートの熱伝導率（約２．６Ｗ／（ｍ・Ｋ））がＬＣＰシートの熱伝導率（約０．３８Ｗ／（ｍ・Ｋ））よりも高いため、微粘着層Ｓ４の粘着性の低下に必要な熱が微粘着層Ｓ４に留まらなかったことが要因であると推測される。すなわち、ＬＴＣＣシートへの熱の伝導が速く、剥離起点Ｓ５が生じ得る程度まで粘着性が低下しなかったものと推測される。一方、ＬＴＣＣシートでは、温度が２５０℃の高温でも、基材フィルムＳ３が溶解することなく、良好な剥離起点Ｓ５が形成された。これは、ＬＴＣＣシートの熱伝導率がＬＣＰシートの熱伝導率よりも高いため、過剰な熱が基材フィルムＳ３に留まらなかった（過剰な熱がＬＴＣＣシートへ伝導された）ものと推測される。
【0081】
（実施例２７）
実施例２７では、幅方向「Ｗ」における長さが短い（５．２ｍｍ）先端部４１ｄが用いられている。幅方向「Ｗ」において、先端部４１ｄの長さは、終了位置Ｐｆにおける積層シートＳの長さ（約７ｍｍ）よりも短い。そのため、先端部４１ｄが終了位置Ｐｆに位置しているとき、先端部４１ｄは、開始位置Ｐｓである角部を形成している２辺から外側にはみ出していない。そのため、実施例２７では、小さな剥離起点Ｓ５は形成されたものの、実用的な大きさ（すなわち、クランプ機構４２が把持可能な大きさ）の剥離起点Ｓ５は形成されなかった。これは、開始位置Ｐｓから終了位置Ｐｆまでのうち、終了位置Ｐｆ側の領域において、先端部４１ｄが当接していない領域があるため、微粘着層Ｓ４の粘着性を低下させるために必要な熱が得られていないものと推測される。このように、実施例２７では、形成された剥離起点Ｓ５の大きさが実用的ではないため、剥離起点Ｓ５の形成確率は０％と表記されている。
実施例２７では、幅方向「Ｗ」における長さが短い（５．２ｍｍ）先端部４１ｄが用いられている。幅方向「Ｗ」において、先端部４１ｄの長さは、終了位置Ｐｆにおける積層シートＳの長さ（約７ｍｍ）よりも短い。そのため、先端部４１ｄが終了位置Ｐｆに位置しているとき、先端部４１ｄは、開始位置Ｐｓである角部を形成している２辺から外側にはみ出していない。そのため、実施例２７では、小さな剥離起点Ｓ５は形成されたものの、実用的な大きさ（すなわち、クランプ機構４２が把持可能な大きさ）の剥離起点Ｓ５は形成されなかった。これは、開始位置Ｐｓから終了位置Ｐｆまでのうち、終了位置Ｐｆ側の領域において、先端部４１ｄが当接していない領域があるため、微粘着層Ｓ４の粘着性を低下させるために必要な熱が得られていないものと推測される。このように、実施例２７では、形成された剥離起点Ｓ５の大きさが実用的ではないため、剥離起点Ｓ５の形成確率は０％と表記されている。
【0082】
図１５は実施例１，２４により形成された剥離起点Ｓ５の実例を示す画像である。
同図の左側は実施例１により形成された剥離起点Ｓ５の実例を示していて、右側は実施例２４により形成された剥離起点Ｓ５の実例を示している。ＬＣＰシートおよびＬＴＣＣシートのいずれに対しても、剥離起点Ｓ５（丸で囲まれた部分）が形成されている。
同図の左側は実施例１により形成された剥離起点Ｓ５の実例を示していて、右側は実施例２４により形成された剥離起点Ｓ５の実例を示している。ＬＣＰシートおよびＬＴＣＣシートのいずれに対しても、剥離起点Ｓ５（丸で囲まれた部分）が形成されている。
【0083】
●まとめ
以上説明された実施の形態によれば、本装置１は、シートテーブル２１、ブレード４１ｃ、ヒータ４１ｂ、シート搬送機構２、ユニット搬送機構３、およびクランプ機構４２を備える。シートテーブル２１は、微粘着フィルムＳ２（基材フィルムＳ３）が上方に向けて露出するように、積層シートＳを吸着保持する保持面２３ａを備える。ブレード４１ｃは、シートテーブル２１に吸着保持された積層シートＳの基材フィルムＳ３に向けられる先端部４１ｄを備える。ヒータ４１ｂは、先端部４１ｄを所定温度に加熱する。ユニット搬送機構３は、シートテーブル２１に対するブレード４１ｃ（先端部４１ｄ）の位置を相対移動させる。クランプ機構４２は、積層シートＳに形成される剥離起点Ｓ５を把持して、微粘着フィルムＳ２をシートＳ１から剥離する。ユニット搬送機構３は、先端部４１ｄの幅方向「Ｗ」が先端部４１ｄの相対移動の方向に対して直交するように、所定温度に加熱された先端部４１ｄを、開始位置Ｐｓに当接させる。次いで、ユニット搬送機構３は、先端部４１ｄが積層シートＳ（基材フィルムＳ３）に当接した状態で、開始位置Ｐｓから終了位置Ｐｆまで先端部４１ｄを摺動させることにより、開始位置Ｐｓから終了位置Ｐｆまでの間で剥離起点Ｓ５を形成させる。開始位置Ｐｓから終了位置Ｐｆまでの長さ「Ｌｓｆ」は、先端部４１ｄが当接している部分の積層シートＳの長さが先端部４１ｄの長さを超えないように設定されている。この構成によれば、本装置１は、加熱された先端部４１ｄを開始位置Ｐｓから終了位置Ｐｆまで基材フィルムＳ３上を摺動させるという簡易な動作で、剥離起点Ｓ５を安定して、かつ、容易に形成できる。
以上説明された実施の形態によれば、本装置１は、シートテーブル２１、ブレード４１ｃ、ヒータ４１ｂ、シート搬送機構２、ユニット搬送機構３、およびクランプ機構４２を備える。シートテーブル２１は、微粘着フィルムＳ２（基材フィルムＳ３）が上方に向けて露出するように、積層シートＳを吸着保持する保持面２３ａを備える。ブレード４１ｃは、シートテーブル２１に吸着保持された積層シートＳの基材フィルムＳ３に向けられる先端部４１ｄを備える。ヒータ４１ｂは、先端部４１ｄを所定温度に加熱する。ユニット搬送機構３は、シートテーブル２１に対するブレード４１ｃ（先端部４１ｄ）の位置を相対移動させる。クランプ機構４２は、積層シートＳに形成される剥離起点Ｓ５を把持して、微粘着フィルムＳ２をシートＳ１から剥離する。ユニット搬送機構３は、先端部４１ｄの幅方向「Ｗ」が先端部４１ｄの相対移動の方向に対して直交するように、所定温度に加熱された先端部４１ｄを、開始位置Ｐｓに当接させる。次いで、ユニット搬送機構３は、先端部４１ｄが積層シートＳ（基材フィルムＳ３）に当接した状態で、開始位置Ｐｓから終了位置Ｐｆまで先端部４１ｄを摺動させることにより、開始位置Ｐｓから終了位置Ｐｆまでの間で剥離起点Ｓ５を形成させる。開始位置Ｐｓから終了位置Ｐｆまでの長さ「Ｌｓｆ」は、先端部４１ｄが当接している部分の積層シートＳの長さが先端部４１ｄの長さを超えないように設定されている。この構成によれば、本装置１は、加熱された先端部４１ｄを開始位置Ｐｓから終了位置Ｐｆまで基材フィルムＳ３上を摺動させるという簡易な動作で、剥離起点Ｓ５を安定して、かつ、容易に形成できる。
【0084】
また、以上説明された実施の形態によれば、基材フィルムＳ３は、ポリエステルまたはポリエチレンテレフタレート製である。微粘着層Ｓ４は、アクリル系粘着剤である。保持面２３ａは、低熱伝導材料製である。所定温度は、１７０℃以上２５０℃以下である。この構成によれば、本装置１は、基材フィルムＳ３を溶融させることなく、微粘着層Ｓ４の粘着性を低減させて、剥離起点Ｓ５を安定して形成できる。
【0085】
さらに、以上説明された実施の形態によれば、シートＳ１がＬＣＰシートであるとき、所定温度は１７０℃以上２２０℃以下である。また、シートＳ１がＬＴＣＣシートであるとき、所定温度は２２０℃以上２５０℃以下である。この構成によれば、ＬＣＰシートまたはＬＴＣＣシートが積層されている積層シートＳにおいて、本装置１は、剥離起点Ｓ５を安定して形成できる。
【0086】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、保持面２３ａは、ガラスまたはゴム製である。この構成によれば、微粘着層Ｓ４の粘着性の低下に必要な熱が微粘着層Ｓ４に留まり易い。また、保持面２３ａがゴム製であるとき、先端部４１ｄからの荷重により積層シートＳおよび保持面２３ａが弾性変形するため、シートＳ１と微粘着フィルムＳ２（基材フィルムＳ３）との間には、剪断応力「Ｐｓｓ」が生じ易い。その結果、本装置１は、剥離起点Ｓ５を安定して形成できる。
【0087】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、先端部４１ｄが積層シートＳ（基材フィルムＳ３）に当接しているとき、先端部４１ｄは、所定荷重が先端部４１ｄから積層シートＳに加えられるように、積層シートＳに押し当てられている。所定荷重は、積層シートＳが弾性変形可能な範囲内に設定されている。この構成によれば、シートＳ１と微粘着フィルムＳ２（基材フィルムＳ３）との間には、確実に剪断応力「Ｐｓｓ」が生じる。また、基材フィルムＳ３の表面には応力「Ｐｘｙ」が生じて、基材フィルムＳ３の内部には応力「Ｐｚ２」が生じる。その結果、本装置１は、剥離起点Ｓ５を安定して形成できる。
【0088】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、所定荷重は、保持面２３ａがゴム製であるとき、積層シートＳと保持面２３ａとが弾性変形可能な範囲内に設定されている。この項背によれば、シートＳ１と微粘着フィルムＳ２（基材フィルムＳ３）との間には、さらに大きな剪断応力「Ｐｓｓ」が生じる。その結果、剥離起点Ｓ５の高さは、高くなる。
【0089】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、ブレード４１ｃの中心軸線は、積層シートＳに対して傾斜している。この構成によれば、剥離起点Ｓ５が形成されている部分のシートＳ１には、皺が生じない。
【0090】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、平面視において、積層シートＳの形状は、矩形状である。開始位置Ｐｓは積層シートＳの角部であり、終了位置Ｐｆは積層シートＳの４つの端辺のうち、同角部を形成する２つの端辺それぞれから、積層シートＳの内側に離れた位置である。この構成によれば、先端部４１ｄは、逆方向では無く正方向に移動する。その結果、本装置１は、剥離起点Ｓ５を安定して、かつ、容易に形成できる。
【0091】
●その他の実施形態
なお、本発明において、積層シートＳの形状は、平面視において、矩形状に限定されない。すなわち、例えば、積層シートＳの形状は、平面視において、円形状、多角形状、または帯状でもよい。
なお、本発明において、積層シートＳの形状は、平面視において、矩形状に限定されない。すなわち、例えば、積層シートＳの形状は、平面視において、円形状、多角形状、または帯状でもよい。
【0092】
また、本発明において、微粘着層Ｓ４の材質は、再剥離性を有する微粘着タイプであり、かつ、１７０℃～２５０℃の熱により粘着性が低下する材質であればよく、アクリル系粘着剤に限定されない。
【0093】
さらに、本発明において、微粘着フィルムＳ２がシートＳ１から剥離されるとき、シート搬送機構２は、シートテーブル２１に対するブレード４１ｃの位置を相対移動させるようにシートテーブル２１を移動させてもよい。この場合、シート搬送機構２は、本発明における移動機構として機能する。
【0094】
さらにまた、本発明において、側方視における先端部４１ｄの形状は、半円筒状に限定されない。すなわち、例えば、先端部４１ｄの形状は、微粘着フィルムＳ２が切断されなければ、鋭利な形状でもよい。
【0095】
さらにまた、本発明において、先端部４１ｄの幅方向「Ｗ」は、仮想線Ｃ２に直交するように配置されていなくてもよい。すなわち、例えば、平面視において、幅方向「Ｗ」は、仮想線Ｃ２に対してやや傾斜して交わるように配置されていてもよい。この場合、先端部４１ｄの進行方向は、幅方向「Ｗ」および上下方向に対して直交する方向である。また、上方視において、先端部４１ｄが開始位置Ｐｓから終了位置Ｐｆまで移動する間、両端部４１ｅ，４１ｆは、積層シートＳよりも外側に配置されている。
【0096】
さらにまた、本方法は、微粘着層Ｓ４を有していない従来の基材フィルムに対して実行されても剥離起点Ｓ５を形成可能である。
【0097】
さらにまた、本発明において、ブレード４１ｃの形状は、先に説明された実施の形態に限定されない。
【0098】
図１６（ａ）はブレード４１ｃの形状の第１変形例を示す模式側面図であり、（ｂ）は同第２変形例を示す模式側面図であり、（ｃ）は同第３変形例を示す模式側面図である。
【0099】
ブレード４１ｃの幅方向「Ｗ」視において、ブレード４１ｃの形状は、（ａ）頂角が下方に向けられた二等辺三角形状でもよく、（ｂ）斜辺がブレード４１ｃの進行方向の逆側に向けられる直角三角形状でもよく、または、（ｃ）斜辺がブレード４１ｃの進行方向側に向けられる直角三角形状でもよい。
【0100】
●本発明の実施態様●
次に、以上説明した各実施形態から把握される本発明の実施態様について、各実施形態において記載された用語と符号とを援用しつつ、以下に記載する。
次に、以上説明した各実施形態から把握される本発明の実施態様について、各実施形態において記載された用語と符号とを援用しつつ、以下に記載する。
【0101】
本発明の第１の実施態様は、基材フィルム（例えば、基材フィルムＳ３）と、前記基材フィルムの一面（例えば、一面Ｓ３ａ）に形成された微粘着層（例えば、微粘着層Ｓ４）と、を有する微粘着フィルム（例えば、微粘着フィルムＳ２）の前記微粘着層にシート（例えば、シートＳ１）が積層された積層シート（例えば、積層シートＳ）のうち、前記微粘着フィルムを前記シートから剥離する剥離装置（例えば、剥離装置１）であって、前記微粘着フィルムの前記基材フィルムが上方に向けて露出するように、前記積層シートを吸着保持する保持面（例えば、保持面２３ａ）を有するシートテーブル（例えば、シートテーブル２１）と、前記シートテーブルに吸着保持された前記積層シートの前記基材フィルムに向けられる刃先部（例えば、先端部４１ｄ）を有するブレード（例えば、ブレード４１ｃ）と、前記刃先部を所定温度に加熱するヒータ（例えば、ヒータ４１ｂ）と、前記シートテーブルに対する前記ブレードの位置を相対移動させる移動機構（例えば、ユニット搬送機構３）と、前記積層シートに形成される剥離起点（例えば、剥離起点Ｓ５）を把持して、前記微粘着フィルムを前記シートから剥離するクランプ機構（例えば、クランプ機構４２）と、を有してなり、前記移動機構は、前記刃先部の長手方向（例えば、幅方向「Ｗ」）が前記相対移動の方向に対して直交するように、前記ブレードのうち、前記所定温度に加熱された前記刃先部を、開始位置（例えば、開始位置Ｐｓ）となる前記基材フィルムの外縁部上に当接させて、前記刃先部が前記基材フィルムに当接した状態で、前記開始位置から前記開始位置よりも前記基材フィルムの内側に位置する終了位置（例えば、終了位置Ｐｆ）まで前記刃先部を摺動させることにより、前記開始位置から前記終了位置までの間で前記微粘着フィルムが反り上がるように剥離した前記剥離起点を形成させて、前記開始位置から前記終了位置までの長さ（例えば、長さ「Ｌｓｆ」）は、前記刃先部が当接している部分の前記積層シートの長さが前記刃先部の長さを超えないように設定される、剥離装置である。
この構成によれば、本装置は、加熱された先端部を開始位置から終了位置まで基材フィルム上を摺動させるという簡易な動作で、剥離起点を安定して、かつ、容易に形成できる。
この構成によれば、本装置は、加熱された先端部を開始位置から終了位置まで基材フィルム上を摺動させるという簡易な動作で、剥離起点を安定して、かつ、容易に形成できる。
【0102】
本発明の第２の実施態様は、第１の実施態様において、前記基材フィルムは、ポリエステルまたはポリエチレンテレフタレート製であり、前記微粘着層は、アクリル系粘着剤であり、前記保持面は、低熱伝導材料製であり、前記所定温度は、１７０℃以上２５０℃以下である、剥離装置である。
この構成によれば、本装置は、基材フィルムを溶融させることなく、微粘着層の粘着性を低減させて、剥離起点を安定して形成できる。
この構成によれば、本装置は、基材フィルムを溶融させることなく、微粘着層の粘着性を低減させて、剥離起点を安定して形成できる。
【0103】
本発明の第３の実施態様は、第２の実施態様において、前記シートは、ＬＣＰシートまたはＬＴＣＣシートであり、前記シートが前記ＬＣＰシートであるとき、前記所定温度は、１７０℃以上２２０℃以下であり、前記シートが前記ＬＴＣＣシートであるとき、前記所定温度は、２２０℃以上２５０℃以下である、剥離装置である。
この構成によれば、ＬＣＰシートまたはＬＴＣＣシートが積層されている積層シートにおいて、本装置は、剥離起点を安定して形成できる。
この構成によれば、ＬＣＰシートまたはＬＴＣＣシートが積層されている積層シートにおいて、本装置は、剥離起点を安定して形成できる。
【0104】
本発明の第４の実施態様は、第２の実施態様において、前記保持面は、ガラスまたはゴム製である、剥離装置である。
この構成によれば、本装置は、剥離起点を安定して形成できる。
この構成によれば、本装置は、剥離起点を安定して形成できる。
【0105】
本発明の第５の実施態様は、第１の実施態様において、前記刃先部が前記基材フィルムに当接しているとき、前記刃先部は、所定荷重が前記刃先部から前記基材フィルムに加えられるように、前記基材フィルムに押し当てられて、前記所定荷重は、前記積層シートが弾性変形可能な範囲内に設定される、剥離装置である。
この構成によれば、本装置は、剥離起点を安定して形成できる。
この構成によれば、本装置は、剥離起点を安定して形成できる。
【0106】
本発明の第６の実施態様は、第５の実施態様において、前記所定荷重は、前記保持面がゴム製であるとき、前記積層シートと前記保持面とが弾性変形可能な範囲内に設定される、剥離装置である。
この構成によれば、で剥離起点の高さは、高くなる。
この構成によれば、で剥離起点の高さは、高くなる。
【0107】
本発明の第７の実施態様は、第５の実施態様において、前記ブレードは、前記基材フィルムに対して傾斜している、剥離装置である。
この構成によれば、剥離起点が形成されている部分のシートには、皺が生じない。
この構成によれば、剥離起点が形成されている部分のシートには、皺が生じない。
【0108】
本発明の第８の実施態様は、第１乃至第７の実施態様のいずれか１つの実施態様において、平面視において、前記積層シートの形状は、矩形状であり、前記開始位置は、前記積層シートの角部であり、前記終了位置は、前記積層シートの４つの端辺のうち、前記角部を形成する２つの端辺それぞれから、前記積層シートの内側に離れた位置である、剥離装置である。
この構成によれば、本装置は、剥離起点を安定して、かつ、容易に形成できる。
この構成によれば、本装置は、剥離起点を安定して、かつ、容易に形成できる。
【0109】
本発明の第９の実施態様は、基材フィルムと、前記基材フィルムの一面に形成された微粘着層と、を有する微粘着フィルムの前記微粘着層にシートが積層された積層シートのうち、前記微粘着フィルムを前記シートから剥離する剥離装置により実行される剥離方法であって、前記剥離装置は、前記微粘着フィルムの前記基材フィルムが上方に向けて露出するように、前記積層シートを吸着保持する保持面を有するシートテーブルと、前記シートテーブルに吸着保持された前記積層シートの前記基材フィルムに向けられる刃先部を有するブレードと、前記刃先部を所定温度に加熱するヒータと、前記シートテーブルに対する前記ブレードの位置を相対移動させる移動機構と、前記積層シートに形成される剥離起点を把持して、前記微粘着フィルムを前記シートから剥離するクランプ機構と、を有してなり、前記剥離方法は、前記剥離装置が、前記刃先部の長手方向が前記相対移動の方向に対して直交するように、前記ブレードのうち、前記所定温度に加熱された前記刃先部を、開始位置となる前記基材フィルムの外縁部上に当接させる当接ステップ（例えば、当接ステップＳＴ４）と、前記剥離装置が、前記刃先部が前記基材フィルムに当接した状態で、前記開始位置よりも前記基材フィルムの内側に位置する終了位置まで前記刃先部を摺動させて、前記開始位置から前記終了位置までの間で前記微粘着フィルムを反り上がるように剥離させて、前記剥離起点を形成する起点形成ステップ（例えば、起点形成ステップＳＴ５）と、を含み、前記起点形成ステップにおいて、前記開始位置から前記終了位置までの長さは、前記刃先部が当接している部分の前記積層シートの長さが前記刃先部の長さを超えないように設定される、剥離方法である。
この構成によれば、本方法は、加熱された先端部を開始位置から終了位置まで基材フィルム上を摺動させるという簡易な動作で、剥離起点を安定して、かつ、容易に形成できる。
この構成によれば、本方法は、加熱された先端部を開始位置から終了位置まで基材フィルム上を摺動させるという簡易な動作で、剥離起点を安定して、かつ、容易に形成できる。
【符号の説明】
【0110】
１ 剥離装置
２ シート搬送機構
２１ シートテーブル
２３ａ 保持面
３ ユニット搬送機構（移動機構）
４１ｂ ヒータ
４１ｃ ブレード
４１ｄ 先端部（刃先部）
４２ クランプ機構
Ｐｆ 終了位置
Ｐｓ 開始位置
Ｓ 積層シート
Ｓ１ シート
Ｓ２ 微粘着フィルム
Ｓ３ 基材フィルム
Ｓ３ａ 一面
Ｓ４ 微粘着層
Ｓ５ 剥離起点
２ シート搬送機構
２１ シートテーブル
２３ａ 保持面
３ ユニット搬送機構（移動機構）
４１ｂ ヒータ
４１ｃ ブレード
４１ｄ 先端部（刃先部）
４２ クランプ機構
Ｐｆ 終了位置
Ｐｓ 開始位置
Ｓ 積層シート
Ｓ１ シート
Ｓ２ 微粘着フィルム
Ｓ３ 基材フィルム
Ｓ３ａ 一面
Ｓ４ 微粘着層
Ｓ５ 剥離起点
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】