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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B1)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2025-04-04
(45)【発行日】2025-04-14
(54)【発明の名称】複合フィラー及びその製造方法
(51)【国際特許分類】
H01L 23/373 20060101AFI20250407BHJP
B22F 1/05 20220101ALI20250407BHJP
C01B 32/21 20170101ALI20250407BHJP
C04B 35/628 20060101ALI20250407BHJP
B22F 1/16 20220101ALI20250407BHJP
【ＦＩ】
H01L23/36 M
B22F1/05
C01B32/21
C04B35/628 020
B22F1/16
【請求項の数】
5
(21)【出願番号】P 2023206607
(22)【出願日】2023-12-07
【審査請求日】2025-02-21
【早期審査対象出願】
(73)【特許権者】
【識別番号】390018740
【氏名又は名称】日本アエロジル株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100140992
【弁理士】
【氏名又は名称】松浦 憲政
(74)【代理人】
【識別番号】100083116
【弁理士】
【氏名又は名称】松浦 憲三
(72)【発明者】
【氏名】田代 英昭
(72)【発明者】
【氏名】青木 昌雄
【審査官】ゆずりは 広行
(56)【参考文献】
【文献】特開２０２０－１３２８２７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１６－０４１８５０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１５－１６４１０６（ＪＰ，Ａ）
【文献】米国特許出願公開第２０１２／０２１７４５０（ＵＳ，Ａ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｌ ２３／３７３
Ｂ２２Ｆ １／０５
Ｃ０１Ｂ ３２／２１
Ｃ０４Ｂ ３５／６２８
Ｂ２２Ｆ １／１６
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
炭素、金属、酸化亜鉛又は酸化ジルコニウムからなるコア物質と、このコア物質の表面に付着したシェル物質とからなるコアシェル構造を形成する複合フィラーであって、前記シェル物質が、フュームド酸化物粒子と前記コア物質とを乾式ボールミルで混合することにより、前記フュームド酸化物粒子が前記コア物質の表面の一部又は全部に付着してなり、
前記フュームド酸化物粒子が、真球状の一次粒子が数珠状に凝集して融着することにより嵩高い凝集粒子が形成されこの凝集粒子から集塊粒子に変化した粒子であり、
前記複合フィラ－を１００体積％とするとき、前記コア物質は３０体積％～８５体積％の範囲にあり、前記シェル物質は１５体積％～７０体積％の範囲にあり、
Ｃ－Ｔｈｅｒｍ社製の熱伝導率測定装置ＴＲＩＤＥＮＴ及び圧縮試験アクセサリ（ＣＴＡ）を用いて最大圧縮荷重条件（２４００．０ｇＦ）にて測定した熱伝導率が０．０７５Ｗ／ｍ・Ｋ以上であり、
高抵抗・抵抗率計『Ｈｉｒｅｓｔａ－ＵＸ』（株式会社三菱ケミカルアナリテック製：型番『ＭＣＰ－ＨＴ８００』）又は低抵抗・抵抗率計『Ｌｏｒｅｓｔａ－ＧＸ』（株式会社三菱ケミカルアナリテック製：型番『ＭＣＰ－Ｔ７００』）及び粉体抵抗測定システム（株式会社三菱ケミカルアナリテック製：型番『ＭＣＰ－ＰＤ－５１』）を用いて測定した体積抵抗率が１．０×１０5Ω・ｃｍ以上であり、かつ
株式会社計測技術研究所製のＡＣ ＷＩＴＨＳＴＡＮＤ ＶＯＬＴＡＧＥ ＴＥＳＴＥＲ ７４７３を用いて測定した絶縁破壊電圧が１ｋＶ／ｍｍ以上であることを特徴とする複合フィラー。
【請求項2】
前記コア物質となる炭素が、黒鉛、ケッチェンブラック、グラファイト又はカーボンブラックであり、前記コア物質となる金属が、銅、亜鉛、錫、ニッケル、アルミニウム又はステンレス鋼である請求項１記載の複合フィラー。
【請求項3】
前記複合フィラーの粒径が、レーザー回折／散乱式粒子径分布測定装置（堀場製作所製、型式「ＬＡ９６０」）を用いて前記複合フィラーの体積分布を測定したときの粒径であって、１μｍ～３００μｍの範囲にある請求項１記載の複合フィラー。
【請求項4】
前記フュームド酸化物粒子がフュームドシリカ粒子又はフュームドアルミナ粒子である請求項１記載の複合フィラー。
【請求項5】
真球状の一次粒子が数珠状に凝集して融着することにより嵩高い凝集粒子が形成されこの凝集粒子から集塊粒子に変化したフュームド酸化物粒子と炭素、金属、酸化亜鉛又は酸化ジルコニウムからなるコア物質とをフュームド酸化物粒子：コア物質＝３０～８５：７０～１５の体積比にて乾式ボールミルで混合することにより、前記コア物質の表面の一部又は全部に前記フュームド酸化物粒子がシェル物質として付着したコアシェル構造を形成する複合フィラーの製造方法であって、前記フュームド酸化物粒子が、真球状の一次粒子が数珠状に凝集して融着し嵩高い凝集することにより嵩高い凝集粒子が形成されこの凝集粒子から集塊粒子に変化した粒子であることを特徴である複合フィラーの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、放熱性を有するコアとこのコアの表面に付着した電気絶縁性を有するシェルとを備えた複合フィラー及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
近年、電気自動車等に用いられる電子機器は高電圧化、高電流化が進んでいる。これに伴ってこうした電子機器からの発熱量も大きくなっており、この熱の放散を如何に行うかが大きな課題の一つになっている。この電子機器に使用される部品には、高い放熱性能、即ち熱伝導性が求められるとともに、信頼性の観点から高い電気絶縁性が要求されている。
【0003】
従来、熱伝導性と電気絶縁性を有する材料として、複合コアとこの複合コアの少なくとも一部をコートする絶縁材料とを含む熱伝導性粒子及びその製造が開示されている（例えば、特許文献１（請求項１、請求項１３、段落[００２１]、段落[００２８]、段落[００３７]、段落[００３８]、段落[００４９]、段落[００５３]、段落[００５８]、段落[００９７]、段落[００９８]）参照。）。上記熱伝導性粒子と樹脂とを混合して樹脂組成物を製造し、この樹脂組成物を成形し、この成形品が上記電子機器の部品として使用される。
【0004】
上記複合コアは、複数の熱伝導性を有するコア粒子とこのコア粒子を一緒に結合する有機バインダーとを含み、このコア粒子が、金属粒子、セラミック粒子、炭素をベースとする粒子、及びこれらの混合物からなる群から選択され、絶縁材料が、酸化アルミニウム（アルミナ）、酸化亜鉛、タルク、酸化マグネシウム、二酸化ケイ素、ベーマイト、窒化ホウ素、マイカ、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、硫化亜鉛、セリサイト、及びこれらの混合物からなる群から選択される。
【0005】
上記熱伝導性粒子の製造方法は、複数のコア粒子と有機バインダーとを圧縮剪断混合方法により混合してコア粒子を有機バインダーに結合及び混合して複合コアを形成した後、複合コアと絶縁材料を圧縮剪断混合方法により混合して、複合コアを絶縁材料で少なくとも部分的にコートする方法である。
【0006】
上記コア粒子の金属粒子には、銅、銀、ニッケル、アルミニウム、又はこれらの合金が含まれ、コア粒子の炭素をベースとする粒子には、黒鉛、炭素ナノチューブ、フラーレン、グラフェン、カーボンブラック、ガラス炭素、炭素繊維、非晶質炭素、炭化ホウ素、又はこれらの混合物が含まれる。
【0007】
このように構成された上記熱伝導性粒子は、１０ｍｍの直径及び３．０ｍｍの高さを有する上記熱伝導性粒子のシリンダー上で５００Ｖの印加電圧で測定された時に、少なくとも１×１０4Ω・ｃｍ～１×１０10Ω・ｃｍの範囲である体積抵抗率を示す特徴がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0008】
【文献】特表２０１７－５０４１７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0009】
特許文献１に示される熱伝導性粒子は、絶縁化の指標として５００Ｖで測定されたときに１×１０4Ω・ｃｍ～１×１０10Ω・ｃｍの範囲の体積抵抗率を有する。しかしながら、上記熱伝導性粒子では、高電圧化、高電流化が進んだ電子機器用の材料、部品としては、電気絶縁性の観点で不十分であり、更に電気絶縁性の高い材料が求められている。
【0010】
本発明の目的は、放熱性（熱伝導性）を有するとともに従来の電気絶縁性よりもより高い電気絶縁性を有する複合フィラー及びその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0011】
本発明の第１の観点は、炭素、金属、酸化亜鉛又は酸化ジルコニウムからなるコア物質と、このコア物質の表面に付着したシェル物質とからなるコアシェル構造を形成する複合フィラーであって、前記シェル物質が、フュームド酸化物粒子と前記コア物質とを乾式ボールミルで混合することにより、前記フュームド酸化物粒子が前記コア物質の表面の一部又は全部に付着してなり、前記フュームド酸化物粒子が、真球状の一次粒子が数珠状に凝集して融着することにより嵩高い凝集粒子が形成されこの凝集粒子から集塊粒子に変化した粒子であり、前記複合フィラ－を１００体積％とするとき、前記コア物質は３０体積％～８５体積％の範囲にあり、前記シェル物質は１５体積％～７０体積％の範囲にあり、Ｃ－Ｔｈｅｒｍ社製の熱伝導率測定装置ＴＲＩＤＥＮＴ及び圧縮試験アクセサリ（ＣＴＡ）を用いて最大圧縮荷重条件（２４００．０ｇＦ）にて測定した熱伝導率が０．０７５Ｗ／ｍ・Ｋ以上であり、高抵抗・抵抗率計『Ｈｉｒｅｓｔａ－ＵＸ』（株式会社三菱ケミカルアナリテック製：型番『ＭＣＰ－ＨＴ８００』）又は低抵抗・抵抗率計『Ｌｏｒｅｓｔａ－ＧＸ』（株式会社三菱ケミカルアナリテック製：型番『ＭＣＰ－Ｔ７００』）及び粉体抵抗測定システム（株式会社三菱ケミカルアナリテック製：型番『ＭＣＰ－ＰＤ－５１』）を用いて測定した体積抵抗率が１．０×１０5Ω・ｃｍ以上であり、かつ株式会社計測技術研究所製のＡＣ ＷＩＴＨＳＴＡＮＤ ＶＯＬＴＡＧＥ ＴＥＳＴＥＲ ７４７３を用いて測定した絶縁破壊電圧が１ｋＶ／ｍｍ以上であることを特徴とする。
【0012】
本発明の第２の観点は、第１の観点に基づく発明であって、前記コア物質となる炭素が、黒鉛、ケッチェンブラック、グラファイト又はカーボンブラックであり、前記コア物質となる金属が、銅、亜鉛、錫、ニッケル、アルミニウム又はステンレス鋼である。
【0013】
本発明の第３の観点は、第１の観点に基づく発明であって、前記複合フィラーの粒径が、レーザー回折式粒度分布計にて前記複合フィラーの体積分布を測定したときの粒径であって、１μｍ～３００μｍの範囲にある。
【0014】
本発明の第４の観点は、第１の観点に基づく発明であって、前記フュームド酸化物粒子がフュームドシリカ粒子又はフュームドアルミナ粒子である。
【0015】
本発明の第５の観点は、真球状の一次粒子が数珠状に凝集して融着することにより嵩高い凝集粒子が形成されこの凝集粒子から集塊粒子に変化したフュームド酸化物粒子と炭素、金属、酸化亜鉛又は酸化ジルコニウムからなるコア物質とをフュームド酸化物粒子：コア物質＝３０～８５：７０～１５の体積比にて乾式ボールミルで混合することにより、前記コア物質の表面の一部又は全部に前記フュームド酸化物粒子がシェル物質として付着したコアシェル構造を形成する複合フィラーの製造方法であって、前記フュームド酸化物粒子が、真球状の一次粒子が数珠状に凝集して融着し嵩高い凝集することにより嵩高い凝集粒子が形成されこの凝集粒子から集塊粒子に変化した粒子であることを特徴である複合フィラーの製造方法である。
【発明の効果】
【0016】
本発明の第１の観点の複合フィラーは、真球状の一次粒子が数珠状に凝集して融着することにより嵩高い凝集粒子が形成されこの凝集粒子から集塊粒子に変化した粒子により構成されるシェル物質が、炭素、金属、酸化亜鉛又は酸化ジルコニウムからなるコア物質の表面に、乾式ボールミルで混合されて、付着してなるため、また複合フィラ－を１００体積％とするとき、コア物質が３０体積％～８５体積％の範囲にあって、シェル物質は１５体積％～７０体積％の範囲にあるため、熱伝導率が０．０７５Ｗ／ｍ・Ｋ以上であり、体積抵抗率が１．０×１０5Ω・ｃｍ以上であり、かつ絶縁破壊電圧が１ｋＶ／ｍｍ以上である特徴を有する。
【0017】
本発明の第２の観点の複合フィラーは、コア物質となる炭素が、黒鉛、ケッチェンブラック、グラファイト又はカーボンブラックであり、コア物質となる金属が、銅、亜鉛、錫、ニッケル、アルミニウム又はステンレス鋼であるため、高い熱伝導性を有する。
【0018】
本発明の第３の観点の複合フィラーは、その粒径が１μｍ～３００μｍの範囲にあるため、この複合フィラーを樹脂と混合して樹脂組成物を製造するときに、この樹脂組成物を成形し易い特徴がある。
【0019】
本発明の第４の観点の複合フィラーは、フュームド酸化物粒子が、フュームドシリカ粒子又はフュームドアルミナ粒子であるため、シェル物質としてコア物質の表面に付着したときに、複合フィラーの電気絶縁性をより高くする。
【0020】
本発明の第５の観点の複合フィラーの製造方法では、真球状の一次粒子が数珠状に凝集して融着することにより嵩高い凝集粒子が形成されこの凝集粒子から集塊粒子に変化したフュームド酸化物粒子と炭素、金属、酸化亜鉛又は酸化ジルコニウムからなるコア物質とをフュームド酸化物粒子：コア物質＝３０～８５：７０～１５の体積比にて乾式ボールミルで混合して複合フィラーを製造するため、比較的簡単な方法で、フュームド酸化物粒子がシェル物質としてコア物質の表面に付着する。これにより製造された複合フィラーは、放熱性（熱伝導性）を有するとともに従来の電気絶縁性よりもより高い電気絶縁性を有する特長がある。
【図面の簡単な説明】
【0021】
【図1】本発明実施形態のコア物質の表面に、真球状の一次粒子が数珠状に凝集して融着することにより嵩高い凝集粒子が形成されこの凝集粒子から集塊粒子に変化したフュームド酸化物粒子が付着した複合フィラーの断面模式図である。
【図3】シリカの一次粒子が焼結した最小粒子形態である凝集粒子を示す走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）写真図である。
【図5a】実施例１のＳｎ粉末の粒度分布曲線とＳｎ粉末とフュームドアルミナ粒子を乾式ボールミルで混合してなる複合フィラーの粒度分布曲線を重ね合わせた図である。
【図5b】実施例１のＳｎ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図である。
【図5c】実施例１の複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図である。
【図6a】実施例２のＺｎ粉末の粒度分布曲線とＺｎ粉末とフュームドアルミナ粒子を乾式ボールミルで混合してなる複合フィラーの粒度分布曲線を重ね合わせた図である。
【図6b】実施例２のＺｎ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図である。
【図6c】実施例２の複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図である。
【図7a】実施例３のＮｉ粉末の粒度分布曲線とＮｉ粉末とフュームドアルミナ粒子を乾式ボールミルで混合してなる複合フィラーの粒度分布曲線を重ね合わせた図である。
【図7b】実施例３のＮｉ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図である。
【図7c】実施例３の複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図である。
【図8a】実施例４のＳＵＳ粉末の粒度分布曲線とＳＵＳ粉末とフュームドアルミナ粒子を乾式ボールミルで混合してなる複合フィラーの粒度分布曲線を重ね合わせた図である。
【図8b】実施例４のＳＵＳ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図である。
【図8c】実施例４の複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図である。
【図9a】実施例５のＺｎＯ粉末の粒度分布曲線とＺｎＯ粉末とフュームドアルミナ粒子を乾式ボールミルで混合してなる複合フィラーの粒度分布曲線を重ね合わせた図である。
【図9b】実施例５のＺｎＯ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図である。
【図9c】実施例５の複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図である。
【図10a】実施例６のＣｕ粉末の粒度分布曲線とＣｕ粉末とフュームドアルミナ粒子を乾式ボールミルで混合してなる複合フィラーの粒度分布曲線を重ね合わせた図である。
【図10b】実施例６のＣｕ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図である。
【図10c】実施例６の複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図である。
【図11a】実施例７のＣｕ粉末の粒度分布曲線とＣｕ粉末とフュームドアルミナ粒子を乾式ボールミルで混合してなる複合フィラーの粒度分布曲線を重ね合わせた図である。
【図11b】実施例７のＣｕ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図である。
【図11c】実施例７の複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図である。
【図12a】実施例８のＣｕ粉末の粒度分布曲線とＣｕ粉末とフュームドアルミナ粒子を乾式ボールミルで混合してなる複合フィラーの粒度分布曲線を重ね合わせた図である。
【図12b】実施例８のＣｕ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図である。
【図12c】実施例８の複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図である。
【図13a】実施例９のＣｕ粉末の粒度分布曲線とＣｕ粉末とフュームドアルミナ粒子を乾式ボールミルで混合してなる複合フィラーの粒度分布曲線を重ね合わせた図である。
【図13b】実施例９のＣｕ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図である。
【図13c】実施例９の複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図である。
【図14a】実施例１０のＣｕ粉末の粒度分布曲線とＣｕ粉末とフュームドアルミナ粒子を乾式ボールミルで混合した後、表面処理してなる複合フィラーの粒度分布曲線を重ね合わせた図である。
【図14b】実施例１０のＣｕ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図である。
【図14c】実施例１０の複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図である。
【図15a】実施例１１のＡｌ粉末の粒度分布曲線とＡｌ粉末とフュームドアルミナ粒子を乾式ボールミルで混合してなる複合フィラーの粒度分布曲線を重ね合わせた図である。
【図15b】実施例１１のＡｌ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図である。
【図15c】実施例１１の複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図である。
【図16a】実施例１２のＺｒＯ粉末の粒度分布曲線とＺｒＯ粉末とフュームドアルミナ粒子を乾式ボールミルで混合してなる複合フィラーの粒度分布曲線を重ね合わせた図である。
【図16b】実施例１２のＺｒＯ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図である。
【図16c】実施例１２の複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図である。
【図17a】実施例１３の黒鉛粉末の粒度分布曲線と黒鉛粉末とフュームドシリカ粒子を乾式ボールミルで混合してなる複合フィラーの粒度分布曲線を重ね合わせた図である。
【図17b】実施例１３の黒鉛粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図である。
【図17c】実施例１３の複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図である。
【図18a】比較例１のＣｕ粉末の粒度分布曲線とＣｕ粉末とフュームドシリカ粒子を乾式手混ぜで混合してなる複合フィラーの粒度分布曲線を重ね合わせた図である。
【図18b】比較例１のＣｕ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図である。
【図18c】比較例１の複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図である。
【図19a】比較例２のＣｕ粉末の粒度分布曲線とＣｕ粉末とフュームドシリカ粒子を乾式自転・公転方式ミキサーで混合してなる複合フィラーの粒度分布曲線を重ね合わせた図である。
【図19b】比較例２のＣｕ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図である。
【図19c】比較例２の複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図である
【図20a】比較例３のＣｕ粉末の粒度分布曲線とＣｕ粉末とフュームドアルミナ粒子を乾式ボールミルで混合してなる複合フィラーの粒度分布曲線を重ね合わせた図である。
【図20b】比較例３のＣｕ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図である。
【図20c】比較例３の複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図である。
【図21a】比較例４のＣｕ粉末の粒度分布曲線とＣｕ粉末とフュームドアルミナ粒子を乾式ボールミルで混合してなる複合フィラーの粒度分布曲線を重ね合わせた図である。
【図21b】比較例４のＣｕ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図である。
【図21c】比較例４の複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図である。
【発明を実施するための形態】
【0022】
次に本発明を実施するための形態を図面に基づいて説明する。図１に示すように、本実施の形態の複合フィラー１０は、炭素、金属、酸化亜鉛又は酸化ジルコニウムからなるコア物質１１と、このコア物質１１の表面に付着したシェル物質１２とからなるコアシェル構造を形成する。図１では、シェル物質１２は、コア物質１１の表面の全部に付着しているが、コア物質１１の表面の一部に付着していてもよい。また図１では、コア物質１１の形状が球状である例を示しているが、コア物質は球状に限らず、針状、棒状、扁平な板状でもよい。
【0023】
コア物質１０が炭素である場合には、炭素として、黒鉛、ケッチェンブラック、グラファイト又はカーボンブラックが挙げられる。またコア物質が金属である場合には、金属として銅、亜鉛、錫、ニッケル、アルミニウム又はステンレス鋼が挙げられる。コア物質としての酸化亜鉛又は酸化ジルコニウムは、熱伝導率が金属と同等に高いために選ばれる。コア物質の粒径及び粒度分布は、炭素、金属又は酸化亜鉛又は酸化ジルコニウムの各材質やその製造方法により異なるため、一概には決められない。
【0024】
本実施の形態のシェル物質１２は、フュームド酸化物粒子とコア物質とを室温下で乾式ボールミルで混合することにより、フュームド酸化物粒子がコア物質の表面に付着して形成される。フュームド酸化物粒子としては、フュームドシリカ粒子又はフュームドアルミナ粒子が例示される。フュームド酸化物粒子は親水性フュームド酸化物粒子及び疎水性フュームド酸化物粒子を含む。フュームド酸化物粒子の平均一次粒径は、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）の画像解析法により測定され、７ｎｍ～９０ｎｍの範囲にある。フュームド酸化物粒子とコア物質を、乾式ボールミル以外の混合法である乾式手混ぜ混合法や、乾式自転・公転方式ミキサーによる混合法では、シェル物質のコア物質への付着力が十分でなく、所望の熱伝導性及び電気絶縁性を有する複合フィラーが得られない。図１の拡大図に示すように、シェル物質１２は、集塊粒子１２ａと集塊粒子の空隙１２ｂを含んで形成される。
【0025】
フュームド酸化物粒子とコア物質とを室温下で乾式ボールミルで混合すると、フュームド酸化物粒子の集塊粒子がコア物質にコーティングされて付着する以外に、コア物質自体も小径化したり、小径化したコア物質同士が凝集することがあるため、複合フィラーを粒度分布曲線でその粒径を調べると、粒度分布におけるピーク径は１つに限らず、複数のピーク径が出現する場合がある。このため、複合フィラーの平均粒径は、一概に決められないが、後述する実施例１～１３における粒度分布曲線から、複合フィラーの粒径は、１μｍ～３００μｍの範囲にある。また複合フィラーの平均粒径が一概に決められないのと同じ理由で、複合フィラーにおけるシェル物質の平均粒径も一概に決められない。しかし、コア物質の平均粒径がミクロン（μｍ）のオーダーであるのに対して、シェル物質の平均粒径はナノメーター（ｎｍ）のオーダーである。後述する実施例１～１３における複合前のコア物質のピーク径と複合フィラーのメインのピーク径を考慮し、粒度分布曲線から見積ることができるシェル物質層の厚さを算出すると、シェル物質層の厚さは、３μｍ～２０μｍの範囲にある。このシェル物質層の厚さは、図１において示される『ｄ』の２倍である。
【0026】
図２に示すように、集塊粒子１２ａは、フュームド酸化物粒子がフュームドシリカ粒子である場合を例にして説明すると、気化原料としてＳｉＣｌ4とＨ2とＯ2との混合ガスをバーナであるリアクターから噴射することにより、一次粒子が焼結した最小粒子形態である凝集粒子が形成され、次に凝集粒子が水素結合やファンデル・ワールス力の弱い相互作用で集まって集塊粒子が形成される。シェル物質は、複数の複合フィラーが集まった集合体においては、コア物質とコア物質の間に密に充填され、コア物質間の空隙内を密に充填する３次元網目構造を形成する。この結果、コア物質の高熱伝導性を損なわずに、集合体としての複合フィラーの体積抵抗率を１．０×１０5Ω・ｃｍ以上に高くし、絶縁破壊電圧を１ｋＶ／ｍｍ以上に高くすることができる。このため、コア物質が元来保有する高熱伝導性を維持したまま、高い電気絶縁性を実現させることができる。図３には、一次粒子が焼結して形成された最小粒子形態である凝集粒子が示され、続いて、図４には、凝集粒子が水素結合やファンデル・ワールス力の弱い相互作用で集まって形成された集塊粒子が示される。
【0027】
複合フィラ－を１００体積％とするとき、コア物質は３０体積％～８５体積％の範囲にあり、シェル物質は１５体積％～７０体積％の範囲にある。コア物質は３０体積％～７０体積％の範囲にあることが好ましく、シェル物質は３０体積％～７０体積％の範囲にあることが好ましい。コア物質が３０体積％未満で、シェル物質が７０体積％を超えると、所望の熱伝導性を有する複合フィラーが得られない。またコア物質が８５体積％を超えて、シェル物質が１５体積％未満になると、所望の体積抵抗率及び絶縁破壊電圧を有する複合フィラーが得られない。フュームド酸化物粒子からなる集塊粒子１２ａと空隙１２（図１拡大図参照。）を含んで形成されたシェル物質が乾式ボールミルによる混合でコア物質の表面に、所定の体積％で付着することにより、本実施形態の複合フィラーは、高い熱伝導性を維持するとともに、高い体積抵抗率及び高い絶縁破壊電圧を有するようになる。
【0028】
本実施形態の複合フィラーは、その熱伝導率が、Ｃ－Ｔｈｅｒｍ社製の熱伝導率測定装置ＴＲＩＤＥＮＴ及び圧縮試験アクセサリ（ＣＴＡ）を用いて最大圧縮荷重条件（２４００．０ｇＦ）にて測定したときに、０．０７５Ｗ／ｍ・Ｋ以上、好ましくは０．１００Ｗ／ｍ・Ｋ以上である特徴がある。また本実施形態の複合フィラーは、その体積抵抗率が、高抵抗・抵抗率計『Ｈｉｒｅｓｔａ－ＵＸ』（株式会社三菱ケミカルアナリテック製：型番『ＭＣＰ－ＨＴ８００』）又は低抵抗・抵抗率計『Ｌｏｒｅｓｔａ－ＧＸ』（株式会社三菱ケミカルアナリテック製：型番『ＭＣＰ－Ｔ７００』）及び粉体抵抗測定システム（株式会社三菱ケミカルアナリテック製：型番『ＭＣＰ－ＰＤ－５１』）を用いて測定したときに、１．０×１０5Ω・ｃｍ以上、好ましくは２．０×１０5Ω・ｃｍ以上である特徴がある。更に本実施形態の複合フィラーは、その絶縁破壊電圧が、株式会社計測技術研究所製のＡＣ ＷＩＴＨＳＴＡＮＤ ＶＯＬＴＡＧＥ ＴＥＳＴＥＲ ７４７３を用いて測定したときに、１ｋＶ／ｍｍ以上、好ましくは２ｋＶ／ｍｍ以上である特徴がある。
【0029】
上記熱電導率及び体積抵抗率は、粉体の複合フィラーを測定したときの値である。また上記絶縁破壊電圧は、樹脂としてシリコーン樹脂（モーメンティブ社製：型番『ＹＥ５８２２Ａ』）６３体積％と、硬化剤（モーメンティブ社製：型番『ＹＥ５８２２Ｂ』）７体積％と、複合フィラー３０体積％とを混合して樹脂の混合物を調製し、この樹脂の混合物と複合フィラーを自転・公転方式ミキサー（株式会社シンキー製：型番『ＡＲＥ－３１０』）にて２０００ｒｐｍで５分間混合することにより樹脂組成物を調製した後、この樹脂組成物を、キャビティの縦×横×深さが１５ｃｍ×１５ｃｍ×２ｍｍである金型に入れて、ヒートプレス（株式会社小平製作所製：型番『ＰＹ１５－ＥＡ』）を使用し、１３０℃の温度で１０ＭＰａ（１００ｋｇ/ｃｍ２）の圧力をかけて１０分間保持することにより、樹脂を硬化させて作製した樹脂成形体を測定したときの値である。
【実施例】
【0030】
次に本発明の実施例を比較例とともに詳しく説明する。
【0031】
本発明の実施例及び比較例において使用する原材料は次の通りである。
下記の原材料は市販の状態で使用した。
（1）錫粉末（Sn, 富士フイルム和光純薬株式会社製：品番『２０６－０１５０５』）
（2）親水性フュームドアルミナ粒子（Al2O3, エボニック株式会社製：品番『ＡＥＲＯＸＩＤＥ(登録商標)Ａｌｕ Ｃ』（平均一次粒径１３ｎｍ））
(3) 亜鉛粉末（Zn, 林純薬工業株式会社製：品番『２６００００８５』）
(4) ニッケル粉末（Ni, 富士フイルム和光純薬株式会社製：品番『１４５－００９８２』）
(5) ステンレス鋼粉末（SUS, 富士フイルム和光純薬株式会社製：品番『９００９１９』）
(6) 酸化亜鉛粉末（ZnO, 林純薬工業株式会社製：品番『２６０００３７５』）
(7) 銅粉末（Cu, 林純薬工業株式会社製：品番『０３００３６９５』）
(8) 親水性フュームドアルミナ粒子（Al2O3, エボニック株式会社製：品番『ＶＰ Ａｌｕ ３０』（平均一次粒径９０ｎｍ））
(9) 疎水性フュームドアルミナ粒子（Al2O3, 日本アエロジル株式会社製：品番『ＶＰ Ａｌｕ Ｃ ＲＫ』（平均一次粒径１３ｎｍ））
(10) イソブチルトリメトキシシラン（IBTMO, エボニック株式会社製：品番『Ｄｙｎａｓｙｌａｎ(登録商標)ＩＢＴＭＯ』）
(11) アルミニウム粉末（Al, 林純薬工業株式会社製：品番『０１００１３２５』）
(12) 酸化ジルコニウム粉末（ZrO, 富士フイルム和光純薬株式会社製：品番『２６４－００４８５』）
(13) 黒鉛粉末（C, 伊藤黒鉛工業株式会社製：品番『ＳＧ－ＢＬ４０』）
(14) 親水性フュームドシリカ粒子（日本アエロジル株式会社製：品番『ＡＥＲＯＳＩＬ(登録商標)３８０Ｓ』（平均一次粒径７ｎｍ））
下記の原材料は市販の状態で使用した。
（1）錫粉末（Sn, 富士フイルム和光純薬株式会社製：品番『２０６－０１５０５』）
（2）親水性フュームドアルミナ粒子（Al2O3, エボニック株式会社製：品番『ＡＥＲＯＸＩＤＥ(登録商標)Ａｌｕ Ｃ』（平均一次粒径１３ｎｍ））
(3) 亜鉛粉末（Zn, 林純薬工業株式会社製：品番『２６００００８５』）
(4) ニッケル粉末（Ni, 富士フイルム和光純薬株式会社製：品番『１４５－００９８２』）
(5) ステンレス鋼粉末（SUS, 富士フイルム和光純薬株式会社製：品番『９００９１９』）
(6) 酸化亜鉛粉末（ZnO, 林純薬工業株式会社製：品番『２６０００３７５』）
(7) 銅粉末（Cu, 林純薬工業株式会社製：品番『０３００３６９５』）
(8) 親水性フュームドアルミナ粒子（Al2O3, エボニック株式会社製：品番『ＶＰ Ａｌｕ ３０』（平均一次粒径９０ｎｍ））
(9) 疎水性フュームドアルミナ粒子（Al2O3, 日本アエロジル株式会社製：品番『ＶＰ Ａｌｕ Ｃ ＲＫ』（平均一次粒径１３ｎｍ））
(10) イソブチルトリメトキシシラン（IBTMO, エボニック株式会社製：品番『Ｄｙｎａｓｙｌａｎ(登録商標)ＩＢＴＭＯ』）
(11) アルミニウム粉末（Al, 林純薬工業株式会社製：品番『０１００１３２５』）
(12) 酸化ジルコニウム粉末（ZrO, 富士フイルム和光純薬株式会社製：品番『２６４－００４８５』）
(13) 黒鉛粉末（C, 伊藤黒鉛工業株式会社製：品番『ＳＧ－ＢＬ４０』）
(14) 親水性フュームドシリカ粒子（日本アエロジル株式会社製：品番『ＡＥＲＯＳＩＬ(登録商標)３８０Ｓ』（平均一次粒径７ｎｍ））
【0032】
＜実施例１＞
コア物質として、図５ａに示すように、粒度分布に１つのピーク粒径１７μｍを有し、表１に示すように、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が９．６μｍ、同じく５０％の粒径が１８．４μｍ、同じく９０％の粒径が４０．６μｍであるＳｎ（錫）粉末を用意した。またシェル物質として、親水性フュームドアルミナ粒子（品番『ＡＥＲＯＸＩＤＥ(登録商標)Ａｌｕ Ｃ』）を用意した。次に、コア物質（Ｓｎ粉末）３０体積％とシェル物質（フュームドアルミナ粒子）７０体積％をボールミル回転台（増田理化工業株式会社製：型番『ＵＮＩＶＥＲＳＡＬ ＢＡＬＬ ＭＩＬＬ ＭＯＤＥＬ ＵＢＭ－Ｓ』）にて、大気中の室温下、株式会社ニッカトー製の直径５ｍｍのアルミナボールの入ったポットミルを１１０ｒｐｍの速度で５時間回転させることにより乾式混合して複合フィラーを得た。この複合フィラーの粒径分布のピークは、図５ａに示すように、粒径が１２μｍと６７μｍの２つであり、表１に示すように、この複合フィラーは、粒径分布において、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が５．９μｍ、同じく５０％の粒径が１５．７μｍ、同じく９０％の粒径が８９．３μｍであった。Ｓｎ粉末の粒度分布における粒径が４μｍから１５０μｍまでの広い範囲であったため、シェル物質層の厚さの算出は困難であった。図５ｂにＳｎ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図を、図５ｃに複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図をそれぞれ示す。
コア物質として、図５ａに示すように、粒度分布に１つのピーク粒径１７μｍを有し、表１に示すように、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が９．６μｍ、同じく５０％の粒径が１８．４μｍ、同じく９０％の粒径が４０．６μｍであるＳｎ（錫）粉末を用意した。またシェル物質として、親水性フュームドアルミナ粒子（品番『ＡＥＲＯＸＩＤＥ(登録商標)Ａｌｕ Ｃ』）を用意した。次に、コア物質（Ｓｎ粉末）３０体積％とシェル物質（フュームドアルミナ粒子）７０体積％をボールミル回転台（増田理化工業株式会社製：型番『ＵＮＩＶＥＲＳＡＬ ＢＡＬＬ ＭＩＬＬ ＭＯＤＥＬ ＵＢＭ－Ｓ』）にて、大気中の室温下、株式会社ニッカトー製の直径５ｍｍのアルミナボールの入ったポットミルを１１０ｒｐｍの速度で５時間回転させることにより乾式混合して複合フィラーを得た。この複合フィラーの粒径分布のピークは、図５ａに示すように、粒径が１２μｍと６７μｍの２つであり、表１に示すように、この複合フィラーは、粒径分布において、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が５．９μｍ、同じく５０％の粒径が１５．７μｍ、同じく９０％の粒径が８９．３μｍであった。Ｓｎ粉末の粒度分布における粒径が４μｍから１５０μｍまでの広い範囲であったため、シェル物質層の厚さの算出は困難であった。図５ｂにＳｎ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図を、図５ｃに複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図をそれぞれ示す。
【0033】
【表1】
【0034】
実施例１を初めとして、以下に述べる他の実施例、比較例における、コア物質又は複合フィラーの粒径は、レーザー回折／散乱式粒子径分布測定装置（堀場製作所製、型式「ＬＡ９６０」）を用いて、コア物質又は複合フィラーを測定し、得られたコア物質又は複合フィラーの粒径を横軸とし、体積換算した粒子の頻度を縦軸とした粒度分布曲線における粒径である。またシェル物質の平均一次粒径は、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）の画像解析法により測定した粒径である。
【0035】
＜実施例２＞
コア物質として、図６ａに示すように、粒度分布に１つのピーク粒径９μｍを有し、表２に示すように、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が５．２μｍ、同じく５０％の粒径が８．０μｍ、同じく９０％の粒径が１２．２μｍであるＺｎ（亜鉛）粉末を用意した。またシェル物質として、実施例１と同じ、親水性フュームドアルミナ粒子（品番『ＡＥＲＯＸＩＤＥ(登録商標)Ａｌｕ Ｃ』）を用意した。次に、コア物質（Ｚｎ粉末）３０体積％とシェル物質（フュームドアルミナ粒子）７０体積％を実施例１と同じ乾式ボールミルを用いて実施例１と同じ方法で乾式混合して複合フィラーを得た。この複合フィラーの粒径分布のピークは、図６ａに示すように、粒径が１２μｍと６７μｍの２つであり、表２に示すように、この複合フィラーは、粒径分布において、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が５．１μｍ、同じく５０％の粒径が１２．２μｍ、同じく９０％の粒径が５０．４μｍであった。Ｚｎ粉末の粒度分布における粒径が３μｍから２２μｍまで比較的狭い範囲であったため、シェル物質層の厚さは１２μｍ－９μｍの３μｍと見積った。図６ｂにＺｎ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図を、図６ｃに複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図をそれぞれ示す。
コア物質として、図６ａに示すように、粒度分布に１つのピーク粒径９μｍを有し、表２に示すように、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が５．２μｍ、同じく５０％の粒径が８．０μｍ、同じく９０％の粒径が１２．２μｍであるＺｎ（亜鉛）粉末を用意した。またシェル物質として、実施例１と同じ、親水性フュームドアルミナ粒子（品番『ＡＥＲＯＸＩＤＥ(登録商標)Ａｌｕ Ｃ』）を用意した。次に、コア物質（Ｚｎ粉末）３０体積％とシェル物質（フュームドアルミナ粒子）７０体積％を実施例１と同じ乾式ボールミルを用いて実施例１と同じ方法で乾式混合して複合フィラーを得た。この複合フィラーの粒径分布のピークは、図６ａに示すように、粒径が１２μｍと６７μｍの２つであり、表２に示すように、この複合フィラーは、粒径分布において、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が５．１μｍ、同じく５０％の粒径が１２．２μｍ、同じく９０％の粒径が５０．４μｍであった。Ｚｎ粉末の粒度分布における粒径が３μｍから２２μｍまで比較的狭い範囲であったため、シェル物質層の厚さは１２μｍ－９μｍの３μｍと見積った。図６ｂにＺｎ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図を、図６ｃに複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図をそれぞれ示す。
【0036】
【表2】
【0037】
＜実施例３＞
コア物質として、図７ａに示すように、粒度分布に１つのピーク粒径１０μｍを有し、表３に示すように、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が５．６μｍ、同じく５０％の粒径が９．６μｍ、同じく９０％の粒径が１６．５μｍであるＮｉ（ニッケル）粉末を用意した。またシェル物質として、実施例１と同じ、親水性フュームドアルミナ粒子（品番『ＡＥＲＯＸＩＤＥ(登録商標)Ａｌｕ Ｃ』）を用意した。次に、コア物質（Ｎｉ粉末）３０体積％とシェル物質（フュームドアルミナ粒子）７０体積％を実施例１と同じ乾式ボールミルを用いて実施例１と同じ方法で乾式混合して複合フィラーを得た。この複合フィラーの粒径分布のピークは、図７ａに示すように、粒径が１２μｍの１つであり、表３に示すように、この複合フィラーは、粒径分布において、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が３．３μｍ、同じく５０％の粒径が９．２μｍ、同じく９０％の粒径が３８．４μｍであった。Ｎｉ粉末の粒度分布における粒径が３μｍから３０μｍまで比較的狭い範囲であったため、シェル物質層の厚さは１２μｍ－１０μｍの２μｍと見積った。図７ｂにＮｉ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図を、図７ｃに複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図をそれぞれ示す。
コア物質として、図７ａに示すように、粒度分布に１つのピーク粒径１０μｍを有し、表３に示すように、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が５．６μｍ、同じく５０％の粒径が９．６μｍ、同じく９０％の粒径が１６．５μｍであるＮｉ（ニッケル）粉末を用意した。またシェル物質として、実施例１と同じ、親水性フュームドアルミナ粒子（品番『ＡＥＲＯＸＩＤＥ(登録商標)Ａｌｕ Ｃ』）を用意した。次に、コア物質（Ｎｉ粉末）３０体積％とシェル物質（フュームドアルミナ粒子）７０体積％を実施例１と同じ乾式ボールミルを用いて実施例１と同じ方法で乾式混合して複合フィラーを得た。この複合フィラーの粒径分布のピークは、図７ａに示すように、粒径が１２μｍの１つであり、表３に示すように、この複合フィラーは、粒径分布において、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が３．３μｍ、同じく５０％の粒径が９．２μｍ、同じく９０％の粒径が３８．４μｍであった。Ｎｉ粉末の粒度分布における粒径が３μｍから３０μｍまで比較的狭い範囲であったため、シェル物質層の厚さは１２μｍ－１０μｍの２μｍと見積った。図７ｂにＮｉ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図を、図７ｃに複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図をそれぞれ示す。
【0038】
【表3】
【0039】
＜実施例４＞
コア物質として、図８ａに示すように、粒度分布に１つのピーク粒径８９μｍを有し、表４に示すように、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が２６．０μｍ、同じく５０％の粒径が６８．９μｍ、同じく９０％の粒径が１６０．３μｍであるＳＵＳ（ステンレス鋼）粉末を用意した。またシェル物質として、実施例１と同じ、親水性フュームドアルミナ粒子（品番『ＡＥＲＯＸＩＤＥ(登録商標)Ａｌｕ Ｃ』）を用意した。次に、コア物質（ＳＵＳ粉末）３０体積％とシェル物質（フュームドアルミナ粒子）７０体積％を実施例１と同じ乾式ボールミルを用いて実施例１と同じ方法で乾式混合して複合フィラーを得た。この複合フィラーの粒径分布のピークは、図８ａに示すように、粒径が１２μｍと６７μｍの２つであり、表４に示すように、この複合フィラーは、粒径分布において、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が５．８μｍ、同じく５０％の粒径が１３．４μｍ、同じく９０％の粒径が５７．６μｍであった。ＳＵＳ粉末の粒度分布における粒径が８μｍから３００μｍまでの広い範囲であったため、シェル物質層の厚さの算出は困難であった。図８ｂにＳＵＳ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図を、図８ｃに複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図をそれぞれ示す。
コア物質として、図８ａに示すように、粒度分布に１つのピーク粒径８９μｍを有し、表４に示すように、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が２６．０μｍ、同じく５０％の粒径が６８．９μｍ、同じく９０％の粒径が１６０．３μｍであるＳＵＳ（ステンレス鋼）粉末を用意した。またシェル物質として、実施例１と同じ、親水性フュームドアルミナ粒子（品番『ＡＥＲＯＸＩＤＥ(登録商標)Ａｌｕ Ｃ』）を用意した。次に、コア物質（ＳＵＳ粉末）３０体積％とシェル物質（フュームドアルミナ粒子）７０体積％を実施例１と同じ乾式ボールミルを用いて実施例１と同じ方法で乾式混合して複合フィラーを得た。この複合フィラーの粒径分布のピークは、図８ａに示すように、粒径が１２μｍと６７μｍの２つであり、表４に示すように、この複合フィラーは、粒径分布において、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が５．８μｍ、同じく５０％の粒径が１３．４μｍ、同じく９０％の粒径が５７．６μｍであった。ＳＵＳ粉末の粒度分布における粒径が８μｍから３００μｍまでの広い範囲であったため、シェル物質層の厚さの算出は困難であった。図８ｂにＳＵＳ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図を、図８ｃに複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図をそれぞれ示す。
【0040】
【表4】
【0041】
＜実施例５＞
コア物質として、図９ａに示すように、粒度分布に３つのピーク粒径０．０９μｍ、２μｍ及び７７μｍを有し、表５に示すように、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が０．６μｍ、同じく５０％の粒径が２．６μｍ、同じく９０％の粒径が３８．９μｍであるＺｎＯ（酸化亜鉛）粉末を用意した。またシェル物質として、実施例１と同じ、親水性フュームドアルミナ粒子（品番『ＡＥＲＯＸＩＤＥ(登録商標)Ａｌｕ Ｃ』）を用意した。次に、コア物質（ＺｎＯ粉末）３０体積％とシェル物質（フュームドアルミナ粒子）７０体積％を実施例１と同じ乾式ボールミルを用いて実施例１と同じ方法で乾式混合して複合フィラーを得た。この複合フィラーの粒径分布のピークは、図９ａに示すように、粒径が１３μｍと４５μｍの２つであり、表５に示すように、この複合フィラーは、粒径分布において、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が１．７μｍ、同じく５０％の粒径が１４．５μｍ、同じく９０％の粒径が６３．３μｍであった。ＺｎＯ粉末の粒度分布における粒径が０．０６μｍから３００μｍまでの広い範囲であったため、シェル物質層の厚さの算出は困難であった。図９ｂにＺｎＯ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図を、図９ｃに複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図をそれぞれ示す。
コア物質として、図９ａに示すように、粒度分布に３つのピーク粒径０．０９μｍ、２μｍ及び７７μｍを有し、表５に示すように、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が０．６μｍ、同じく５０％の粒径が２．６μｍ、同じく９０％の粒径が３８．９μｍであるＺｎＯ（酸化亜鉛）粉末を用意した。またシェル物質として、実施例１と同じ、親水性フュームドアルミナ粒子（品番『ＡＥＲＯＸＩＤＥ(登録商標)Ａｌｕ Ｃ』）を用意した。次に、コア物質（ＺｎＯ粉末）３０体積％とシェル物質（フュームドアルミナ粒子）７０体積％を実施例１と同じ乾式ボールミルを用いて実施例１と同じ方法で乾式混合して複合フィラーを得た。この複合フィラーの粒径分布のピークは、図９ａに示すように、粒径が１３μｍと４５μｍの２つであり、表５に示すように、この複合フィラーは、粒径分布において、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が１．７μｍ、同じく５０％の粒径が１４．５μｍ、同じく９０％の粒径が６３．３μｍであった。ＺｎＯ粉末の粒度分布における粒径が０．０６μｍから３００μｍまでの広い範囲であったため、シェル物質層の厚さの算出は困難であった。図９ｂにＺｎＯ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図を、図９ｃに複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図をそれぞれ示す。
【0042】
【表5】
【0043】
＜実施例６＞
コア物質として、図１０ａに示すように、粒度分布に１つのピーク粒径３４μｍを有し、表６に示すように、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が１３．５μｍ、同じく５０％の粒径が３０．６μｍ、同じく９０％の粒径が６２．０μｍであるＣｕ（銅）粉末を用意した。またシェル物質として、実施例１と同じ、親水性フュームドアルミナ粒子（品番『ＡＥＲＯＸＩＤＥ(登録商標)Ａｌｕ Ｃ』）を用意した。次に、コア物質（Ｃｕ粉末）３０体積％とシェル物質（フュームドアルミナ粒子）７０体積％を実施例１と同じ乾式ボールミルを用いて実施例１と同じ方法で乾式混合して複合フィラーを得た。この複合フィラーの粒径分布のピークは、図１０ａに示すように、粒径が１３μｍと５１μｍの２つであり、表６に示すように、この複合フィラーは、粒径分布において、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が６．８μｍ、同じく５０％の粒径が１６．４μｍ、同じく９０％の粒径が６６．３μｍであった。Ｃｕ粉末の粒度分布における粒径が５μｍから１７５μｍまでの広い範囲であったため、シェル物質層の厚さの算出は困難であったが、便宜的にシェル物質層の厚さは５１μｍ－３４μｍの１７μｍと見積った。図１０ｂにＣｕ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図を、図１０ｃに複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図をそれぞれ示す。
コア物質として、図１０ａに示すように、粒度分布に１つのピーク粒径３４μｍを有し、表６に示すように、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が１３．５μｍ、同じく５０％の粒径が３０．６μｍ、同じく９０％の粒径が６２．０μｍであるＣｕ（銅）粉末を用意した。またシェル物質として、実施例１と同じ、親水性フュームドアルミナ粒子（品番『ＡＥＲＯＸＩＤＥ(登録商標)Ａｌｕ Ｃ』）を用意した。次に、コア物質（Ｃｕ粉末）３０体積％とシェル物質（フュームドアルミナ粒子）７０体積％を実施例１と同じ乾式ボールミルを用いて実施例１と同じ方法で乾式混合して複合フィラーを得た。この複合フィラーの粒径分布のピークは、図１０ａに示すように、粒径が１３μｍと５１μｍの２つであり、表６に示すように、この複合フィラーは、粒径分布において、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が６．８μｍ、同じく５０％の粒径が１６．４μｍ、同じく９０％の粒径が６６．３μｍであった。Ｃｕ粉末の粒度分布における粒径が５μｍから１７５μｍまでの広い範囲であったため、シェル物質層の厚さの算出は困難であったが、便宜的にシェル物質層の厚さは５１μｍ－３４μｍの１７μｍと見積った。図１０ｂにＣｕ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図を、図１０ｃに複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図をそれぞれ示す。
【0044】
【表6】
【0045】
＜実施例７＞
コア物質として、図１１ａに示すように、粒度分布に１つのピーク粒径３４μｍを有し、表７に示すように、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が１３．５μｍ、同じく５０％の粒径が３０．６μｍ、同じく９０％の粒径が６２．０μｍである、実施例６と同じＣｕ（銅）粉末を用意した。またシェル物質として、親水性フュームドアルミナ粒子（品番『ＶＰ Ａｌｕ ３０』）を用意した。次に、コア物質（Ｃｕ粉末）３０体積％とシェル物質（フュームドアルミナ粒子）７０体積％を実施例１と同じ乾式ボールミルを用いて実施例１と同じ方法で乾式混合して複合フィラーを得た。この複合フィラーの粒径分布のピークは、図１１ａに示すように、粒径が１３μｍと５１μｍの２つであり、表７に示すように、この複合フィラーは、粒径分布において、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が６．８μｍ、同じく５０％の粒径が１６．４μｍ、同じく９０％の粒径が６６．３μｍであり、実施例６と差異がなかった。Ｃｕ粉末の粒度分布における粒径が５μｍから１７５μｍまでの広い範囲であったため、シェル物質層の厚さの算出は困難であったが、便宜的にシェル物質層の厚さは５１μｍ－３４μｍの１７μｍと見積った。図１１ｂにＣｕ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図を、図１１ｃに複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図をそれぞれ示す。
コア物質として、図１１ａに示すように、粒度分布に１つのピーク粒径３４μｍを有し、表７に示すように、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が１３．５μｍ、同じく５０％の粒径が３０．６μｍ、同じく９０％の粒径が６２．０μｍである、実施例６と同じＣｕ（銅）粉末を用意した。またシェル物質として、親水性フュームドアルミナ粒子（品番『ＶＰ Ａｌｕ ３０』）を用意した。次に、コア物質（Ｃｕ粉末）３０体積％とシェル物質（フュームドアルミナ粒子）７０体積％を実施例１と同じ乾式ボールミルを用いて実施例１と同じ方法で乾式混合して複合フィラーを得た。この複合フィラーの粒径分布のピークは、図１１ａに示すように、粒径が１３μｍと５１μｍの２つであり、表７に示すように、この複合フィラーは、粒径分布において、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が６．８μｍ、同じく５０％の粒径が１６．４μｍ、同じく９０％の粒径が６６．３μｍであり、実施例６と差異がなかった。Ｃｕ粉末の粒度分布における粒径が５μｍから１７５μｍまでの広い範囲であったため、シェル物質層の厚さの算出は困難であったが、便宜的にシェル物質層の厚さは５１μｍ－３４μｍの１７μｍと見積った。図１１ｂにＣｕ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図を、図１１ｃに複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図をそれぞれ示す。
【0046】
【表7】
【0047】
＜実施例８＞
コア物質として、図１２ａに示すように、粒度分布に１つのピーク粒径３４μｍを有し、表８に示すように、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が１３．５μｍ、同じく５０％の粒径が３０．６μｍ、同じく９０％の粒径が６２．０μｍである、実施例６と同じＣｕ（銅）粉末を用意した。またシェル物質として、疎水性フュームドアルミナ粒子（品番『ＶＰ Ａｌｕ Ｃ ＲＫ』）を用意した。次に、コア物質（Ｃｕ粉末）３０体積％とシェル物質（フュームドアルミナ粒子）７０体積％を実施例１と同じ乾式ボールミルを用いて実施例１と同じ方法で乾式混合して複合フィラーを得た。この複合フィラーの粒径分布のピークは、図１２ａに示すように、粒径が１２μｍの１つであり、表８に示すように、この複合フィラーは、粒径分布において、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が２．６μｍ、同じく５０％の粒径が９．２μｍ、同じく９０％の粒径が２６．５μｍであった。Ｃｕ粉末の粒度分布における粒径が５μｍから１７５μｍまでの広い範囲であったため、シェル物質層の厚さの算出は困難であった。図１２ｂにＣｕ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図を、図１２ｃに複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図をそれぞれ示す。
コア物質として、図１２ａに示すように、粒度分布に１つのピーク粒径３４μｍを有し、表８に示すように、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が１３．５μｍ、同じく５０％の粒径が３０．６μｍ、同じく９０％の粒径が６２．０μｍである、実施例６と同じＣｕ（銅）粉末を用意した。またシェル物質として、疎水性フュームドアルミナ粒子（品番『ＶＰ Ａｌｕ Ｃ ＲＫ』）を用意した。次に、コア物質（Ｃｕ粉末）３０体積％とシェル物質（フュームドアルミナ粒子）７０体積％を実施例１と同じ乾式ボールミルを用いて実施例１と同じ方法で乾式混合して複合フィラーを得た。この複合フィラーの粒径分布のピークは、図１２ａに示すように、粒径が１２μｍの１つであり、表８に示すように、この複合フィラーは、粒径分布において、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が２．６μｍ、同じく５０％の粒径が９．２μｍ、同じく９０％の粒径が２６．５μｍであった。Ｃｕ粉末の粒度分布における粒径が５μｍから１７５μｍまでの広い範囲であったため、シェル物質層の厚さの算出は困難であった。図１２ｂにＣｕ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図を、図１２ｃに複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図をそれぞれ示す。
【0048】
【表8】
【0049】
＜実施例９＞
コア物質として、図１３ａに示すように、粒度分布に１つのピーク粒径３４μｍを有し、表９に示すように、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が１３．５μｍ、同じく５０％の粒径が３０．６μｍ、同じく９０％の粒径が６２．０μｍである、実施例６と同じＣｕ（銅）粉末を用意した。またシェル物質として、親水性フュームドアルミナ粒子（品番『ＡＥＲＯＸＩＤＥ(登録商標)Ａｌｕ Ｃ』）を用意した。次に、コア物質（Ｃｕ粉末）７０体積％とシェル物質（フュームドアルミナ粒子）３０体積％を実施例１と同じ乾式ボールミルを用いて実施例１と同じ方法で乾式混合して複合フィラーを得た。この複合フィラーの粒径分布のピークは、図１３ａに示すように、粒径が１３μｍと４５μｍの２つであり、表９に示すように、この複合フィラーは、粒径分布において、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が７．３μｍ、同じく５０％の粒径が１７．２μｍ、同じく９０％の粒径が５５．７μｍであった。Ｃｕ粉末の粒度分布における粒径が５μｍから１７５μｍまでの広い範囲であったため、シェル物質層の厚さの算出は困難であったが、便宜的にシェル物質層の厚さは４５μｍ－３４μｍの１１μｍと見積った。図１３ｂにＣｕ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図を、図１３ｃに複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図をそれぞれ示す。
コア物質として、図１３ａに示すように、粒度分布に１つのピーク粒径３４μｍを有し、表９に示すように、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が１３．５μｍ、同じく５０％の粒径が３０．６μｍ、同じく９０％の粒径が６２．０μｍである、実施例６と同じＣｕ（銅）粉末を用意した。またシェル物質として、親水性フュームドアルミナ粒子（品番『ＡＥＲＯＸＩＤＥ(登録商標)Ａｌｕ Ｃ』）を用意した。次に、コア物質（Ｃｕ粉末）７０体積％とシェル物質（フュームドアルミナ粒子）３０体積％を実施例１と同じ乾式ボールミルを用いて実施例１と同じ方法で乾式混合して複合フィラーを得た。この複合フィラーの粒径分布のピークは、図１３ａに示すように、粒径が１３μｍと４５μｍの２つであり、表９に示すように、この複合フィラーは、粒径分布において、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が７．３μｍ、同じく５０％の粒径が１７．２μｍ、同じく９０％の粒径が５５．７μｍであった。Ｃｕ粉末の粒度分布における粒径が５μｍから１７５μｍまでの広い範囲であったため、シェル物質層の厚さの算出は困難であったが、便宜的にシェル物質層の厚さは４５μｍ－３４μｍの１１μｍと見積った。図１３ｂにＣｕ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図を、図１３ｃに複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図をそれぞれ示す。
【0050】
【表9】
【0051】
＜実施例１０＞
コア物質として、図１４ａに示すように、粒度分布に１つのピーク粒径３４μｍを有し、表１０に示すように、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が１３．５μｍ、同じく５０％の粒径が３０．６μｍ、同じく９０％の粒径が６２．０μｍである、実施例６と同じＣｕ（銅）粉末を用意した。またシェル物質として、実施例１と同じ、親水性フュームドアルミナ粒子（品番『ＡＥＲＯＸＩＤＥ(登録商標)Ａｌｕ Ｃ』）を用意した。次に、コア物質（Ｃｕ粉末）３０体積％とシェル物質（フュームドアルミナ粒子）７０体積％を実施例１と同じ乾式ボールミルを用いて実施例１と同じ方法で乾式混合した後、この混合粉末の表面をシランカップリング剤であるイソブチルトリメトキシシランで湿式処理（以下、Ｃ４処理という。）により疎水化して複合フィラーを得た。このＣ４処理はＩＢＴＭＯの入ったビーカーに上記混合粉末を投入し、ホットプレート付きマグネチックスターラー（東京理化機械株式会社製：型番『ＲＨ－１０００』）で大気中、１２０℃の温度で加熱処理し、その後大気中、１５０℃で１時間乾燥する処理である。乾燥したものをそのまま複合フィラーとした。この複合フィラーの粒径分布のピークは、図１４ａに示すように、粒径が１５μｍと５１μｍと３００μｍの３つであり、表１０に示すように、この複合フィラーは、粒径分布において、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が８．２μｍ、同じく５０％の粒径が４０．３μｍ、同じく９０％の粒径が２９８．９μｍであった。Ｃｕ粉末の粒度分布における粒径が５μｍから１７５μｍまでの広い範囲であったため、シェル物質層の厚さの算出は困難であったが、便宜的にシェル物質層の厚さは５１μｍ－３４μｍの１７μｍと見積った。図１４ｂにＣｕ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図を、図１４ｃに複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図をそれぞれ示す。
コア物質として、図１４ａに示すように、粒度分布に１つのピーク粒径３４μｍを有し、表１０に示すように、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が１３．５μｍ、同じく５０％の粒径が３０．６μｍ、同じく９０％の粒径が６２．０μｍである、実施例６と同じＣｕ（銅）粉末を用意した。またシェル物質として、実施例１と同じ、親水性フュームドアルミナ粒子（品番『ＡＥＲＯＸＩＤＥ(登録商標)Ａｌｕ Ｃ』）を用意した。次に、コア物質（Ｃｕ粉末）３０体積％とシェル物質（フュームドアルミナ粒子）７０体積％を実施例１と同じ乾式ボールミルを用いて実施例１と同じ方法で乾式混合した後、この混合粉末の表面をシランカップリング剤であるイソブチルトリメトキシシランで湿式処理（以下、Ｃ４処理という。）により疎水化して複合フィラーを得た。このＣ４処理はＩＢＴＭＯの入ったビーカーに上記混合粉末を投入し、ホットプレート付きマグネチックスターラー（東京理化機械株式会社製：型番『ＲＨ－１０００』）で大気中、１２０℃の温度で加熱処理し、その後大気中、１５０℃で１時間乾燥する処理である。乾燥したものをそのまま複合フィラーとした。この複合フィラーの粒径分布のピークは、図１４ａに示すように、粒径が１５μｍと５１μｍと３００μｍの３つであり、表１０に示すように、この複合フィラーは、粒径分布において、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が８．２μｍ、同じく５０％の粒径が４０．３μｍ、同じく９０％の粒径が２９８．９μｍであった。Ｃｕ粉末の粒度分布における粒径が５μｍから１７５μｍまでの広い範囲であったため、シェル物質層の厚さの算出は困難であったが、便宜的にシェル物質層の厚さは５１μｍ－３４μｍの１７μｍと見積った。図１４ｂにＣｕ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図を、図１４ｃに複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図をそれぞれ示す。
【0052】
【表10】
【0053】
＜実施例１１＞
コア物質として、図１５ａに示すように、粒度分布に１つのピーク粒径３０μｍを有し、表１１に示すように、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が２０．３μｍ、同じく５０％の粒径が３０．２μｍ、同じく９０％の粒径が４７．９μｍであるＡｌ（アルミニウム）粉末を用意した。またシェル物質として、実施例１と同じ、親水性フュームドアルミナ粒子（品番『ＡＥＲＯＸＩＤＥ(登録商標)Ａｌｕ Ｃ』）を用意した。次に、コア物質（Ａｌ粉末）８５体積％とシェル物質（フュームドアルミナ粒子）１５体積％を実施例１と同じ乾式ボールミルを用いて実施例１と同じ方法で乾式混合して複合フィラーを得た。この複合フィラーの粒径分布のピークは、図１５ａに示すように、粒径が４５μｍの１つであり、表１１に示すように、この複合フィラーは、粒径分布において、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が１０．２μｍ、同じく５０％の粒径が３５．３μｍ、同じく９０％の粒径が６０．１μｍであった。Ａｌ粉末の粒度分布における粒径が１２μｍから７７μｍまでの比較的狭い範囲であったため、シェル物質層の厚さは４５μｍ－３０μｍの１５μｍと見積った。図１５ｂにＡｌ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図を、図１５ｃに複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図をそれぞれ示す。
コア物質として、図１５ａに示すように、粒度分布に１つのピーク粒径３０μｍを有し、表１１に示すように、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が２０．３μｍ、同じく５０％の粒径が３０．２μｍ、同じく９０％の粒径が４７．９μｍであるＡｌ（アルミニウム）粉末を用意した。またシェル物質として、実施例１と同じ、親水性フュームドアルミナ粒子（品番『ＡＥＲＯＸＩＤＥ(登録商標)Ａｌｕ Ｃ』）を用意した。次に、コア物質（Ａｌ粉末）８５体積％とシェル物質（フュームドアルミナ粒子）１５体積％を実施例１と同じ乾式ボールミルを用いて実施例１と同じ方法で乾式混合して複合フィラーを得た。この複合フィラーの粒径分布のピークは、図１５ａに示すように、粒径が４５μｍの１つであり、表１１に示すように、この複合フィラーは、粒径分布において、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が１０．２μｍ、同じく５０％の粒径が３５．３μｍ、同じく９０％の粒径が６０．１μｍであった。Ａｌ粉末の粒度分布における粒径が１２μｍから７７μｍまでの比較的狭い範囲であったため、シェル物質層の厚さは４５μｍ－３０μｍの１５μｍと見積った。図１５ｂにＡｌ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図を、図１５ｃに複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図をそれぞれ示す。
【0054】
【表11】
【0055】
＜実施例１２＞
コア物質として、図１６ａに示すように、粒度分布に１つのピーク粒径４５μｍを有し、表１２に示すように、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が２．０μｍ、同じく５０％の粒径が３５．９μｍ、同じく９０％の粒径が６５．１μｍであるＺｒＯ（酸化ジルコニウム）粉末を用意した。またシェル物質として、実施例１と同じ、親水性フュームドアルミナ粒子（品番『ＡＥＲＯＸＩＤＥ(登録商標)Ａｌｕ Ｃ』）を用意した。次に、コア物質（ＺｒＯ粉末）３０体積％とシェル物質（フュームドアルミナ粒子）７０体積％を実施例１と同じ乾式ボールミルを用いて実施例１と同じ方法で乾式混合して複合フィラーを得た。この複合フィラーの粒径分布のピークは、図１６ａに示すように、粒径が１２μｍと５９μｍの２つであり、表１２に示すように、この複合フィラーは、粒径分布において、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が３．２μｍ、同じく５０％の粒径が１１．４μｍ、同じく９０％の粒径が５２．７μｍであった。ＺｒＯ粉末の粒度分布における粒径が０．２μｍから１５０μｍまでと比較的広い範囲であったため、シェル物質層の厚さの算出は困難であったが、便宜的にシェル物質層の厚さは５９μｍ－４５μｍの１４μｍと見積った。図１６ｂにＺｒＯ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図を、図１６ｃに複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図をそれぞれ示す。
コア物質として、図１６ａに示すように、粒度分布に１つのピーク粒径４５μｍを有し、表１２に示すように、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が２．０μｍ、同じく５０％の粒径が３５．９μｍ、同じく９０％の粒径が６５．１μｍであるＺｒＯ（酸化ジルコニウム）粉末を用意した。またシェル物質として、実施例１と同じ、親水性フュームドアルミナ粒子（品番『ＡＥＲＯＸＩＤＥ(登録商標)Ａｌｕ Ｃ』）を用意した。次に、コア物質（ＺｒＯ粉末）３０体積％とシェル物質（フュームドアルミナ粒子）７０体積％を実施例１と同じ乾式ボールミルを用いて実施例１と同じ方法で乾式混合して複合フィラーを得た。この複合フィラーの粒径分布のピークは、図１６ａに示すように、粒径が１２μｍと５９μｍの２つであり、表１２に示すように、この複合フィラーは、粒径分布において、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が３．２μｍ、同じく５０％の粒径が１１．４μｍ、同じく９０％の粒径が５２．７μｍであった。ＺｒＯ粉末の粒度分布における粒径が０．２μｍから１５０μｍまでと比較的広い範囲であったため、シェル物質層の厚さの算出は困難であったが、便宜的にシェル物質層の厚さは５９μｍ－４５μｍの１４μｍと見積った。図１６ｂにＺｒＯ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図を、図１６ｃに複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図をそれぞれ示す。
【0056】
【表12】
【0057】
＜実施例１３＞
コア物質として、図１７ａに示すように、粒度分布に１つのピーク粒径３９μｍを有し、表１３に示すように、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が１５．８μｍ、同じく５０％の粒径が３４．２μｍ、同じく９０％の粒径が５７．９μｍである黒鉛粉末を用意した。またシェル物質として、親水性フュームドシリカ粒子（品番『ＡＥＲＯＳＩＬ(登録商標)３８０Ｓ』）を用意した。次に、コア物質（黒鉛粉末）３０体積％とシェル物質（フュームドシリカ粒子）７０体積％を実施例１と同じ乾式ボールミルを用いて実施例１と同じ方法で乾式混合して複合フィラーを得た。この複合フィラーの粒径分布のピークは、図１７ａに示すように、粒径が１２μｍと５９μｍの２つであり、表１３に示すように、この複合フィラーは、粒径分布において、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が５．３μｍ、同じく５０％の粒径が１８．３μｍ、同じく９０％の粒径が７６．７μｍであった。黒鉛粉末の粒度分布における粒径が４μｍから１０１μｍまでと比較的広い範囲であったため、シェル物質層の厚さの算出は困難であったが、便宜的にシェル物質層の厚さは５９μｍ－３９μｍの２０μｍと見積った。図１７ｂに黒鉛粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図を、図１７ｃに複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図をそれぞれ示す。
コア物質として、図１７ａに示すように、粒度分布に１つのピーク粒径３９μｍを有し、表１３に示すように、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が１５．８μｍ、同じく５０％の粒径が３４．２μｍ、同じく９０％の粒径が５７．９μｍである黒鉛粉末を用意した。またシェル物質として、親水性フュームドシリカ粒子（品番『ＡＥＲＯＳＩＬ(登録商標)３８０Ｓ』）を用意した。次に、コア物質（黒鉛粉末）３０体積％とシェル物質（フュームドシリカ粒子）７０体積％を実施例１と同じ乾式ボールミルを用いて実施例１と同じ方法で乾式混合して複合フィラーを得た。この複合フィラーの粒径分布のピークは、図１７ａに示すように、粒径が１２μｍと５９μｍの２つであり、表１３に示すように、この複合フィラーは、粒径分布において、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が５．３μｍ、同じく５０％の粒径が１８．３μｍ、同じく９０％の粒径が７６．７μｍであった。黒鉛粉末の粒度分布における粒径が４μｍから１０１μｍまでと比較的広い範囲であったため、シェル物質層の厚さの算出は困難であったが、便宜的にシェル物質層の厚さは５９μｍ－３９μｍの２０μｍと見積った。図１７ｂに黒鉛粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図を、図１７ｃに複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図をそれぞれ示す。
【0058】
【表13】
【0059】
＜比較例１＞
コア物質として、図１８ａに示すように、粒度分布に１つのピーク粒径３４μｍを有し、表１４に示すように、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が１３．５μｍ、同じく５０％の粒径が３０．６μｍ、同じく９０％の粒径が６２．０μｍである、実施例６と同じＣｕ（銅）粉末を用意した。またシェル物質として、実施例１と同じ親水性フュームドアルミナ粒子（品番『ＡＥＲＯＸＩＤＥ(登録商標)Ａｌｕ Ｃ』）を用意した。次に、コア物質（Ｃｕ粉末）３０体積％とシェル物質（フュームドアルミナ粒子）７０体積％を大気中でポリエチレン袋に入れ、手袋をはめた手でポリエチレン袋を１分間混ぜる手混ぜ混合法によりて複合フィラーを得た。この複合フィラーの粒径分布のピークは、図１８ａに示すように、粒径が１２μｍの１つであり、表１４に示すように、この複合フィラーは、粒径分布において、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が６．７μｍ、同じく５０％の粒径が１１．４μｍ、同じく９０％の粒径が２０．４μｍであった。手混ぜ後の複合フィラーの粒度分布がシャープな１つのピークとなり、コア物質のＣｕ粉末が手混ぜで解れるほど弱い凝集物になったと考えられるため、シェル物質層の厚さの算出は困難であった。図１８ｂにＣｕ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図を、図１８ｃに複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図をそれぞれ示す。
コア物質として、図１８ａに示すように、粒度分布に１つのピーク粒径３４μｍを有し、表１４に示すように、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が１３．５μｍ、同じく５０％の粒径が３０．６μｍ、同じく９０％の粒径が６２．０μｍである、実施例６と同じＣｕ（銅）粉末を用意した。またシェル物質として、実施例１と同じ親水性フュームドアルミナ粒子（品番『ＡＥＲＯＸＩＤＥ(登録商標)Ａｌｕ Ｃ』）を用意した。次に、コア物質（Ｃｕ粉末）３０体積％とシェル物質（フュームドアルミナ粒子）７０体積％を大気中でポリエチレン袋に入れ、手袋をはめた手でポリエチレン袋を１分間混ぜる手混ぜ混合法によりて複合フィラーを得た。この複合フィラーの粒径分布のピークは、図１８ａに示すように、粒径が１２μｍの１つであり、表１４に示すように、この複合フィラーは、粒径分布において、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が６．７μｍ、同じく５０％の粒径が１１．４μｍ、同じく９０％の粒径が２０．４μｍであった。手混ぜ後の複合フィラーの粒度分布がシャープな１つのピークとなり、コア物質のＣｕ粉末が手混ぜで解れるほど弱い凝集物になったと考えられるため、シェル物質層の厚さの算出は困難であった。図１８ｂにＣｕ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図を、図１８ｃに複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図をそれぞれ示す。
【0060】
【表14】
【0061】
＜比較例２＞
コア物質として、図１９ａに示すように、粒度分布に１つのピーク粒径３４μｍを有し、表１５に示すように、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が１３．５μｍ、同じく５０％の粒径が３０．６μｍ、同じく９０％の粒径が６２．０μｍである、実施例６と同じＣｕ（銅）粉末を用意した。またシェル物質として、実施例１と同じ親水性フュームドアルミナ粒子（品番『ＡＥＲＯＸＩＤＥ(登録商標)Ａｌｕ Ｃ』）を用意した。次に、コア物質（Ｃｕ粉末）３０体積％とシェル物質（フュームドアルミナ粒子）７０体積％を自転・公転方式ミキサー（株式会社シンキ―製、あわとり練太郎：型番『ＡＲＥ－３１０』）にて大気中、２０００ｒｐｍで３分間混合することにより複合フィラーを得た。この複合フィラーの粒径分布のピークは、図１９ａに示すように、粒径が１３μｍと６７μｍの２つであり、表１５に示すように、この複合フィラーは、粒径分布において、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が１１．２μｍ、同じく５０％の粒径が５１．２μｍ、同じく９０％の粒径が９１．９μｍであった。複合フィラーの粒度分布においてピーク径６７μｍがメインであったことと、乾式ボールミルで複合化した実施例６と有意差があったため、シェル物質層の厚さは６７μｍ－３４μｍの３３μｍと見積った。図１９ｂにＣｕ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図を、図１９ｃに複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図をそれぞれ示す。
コア物質として、図１９ａに示すように、粒度分布に１つのピーク粒径３４μｍを有し、表１５に示すように、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が１３．５μｍ、同じく５０％の粒径が３０．６μｍ、同じく９０％の粒径が６２．０μｍである、実施例６と同じＣｕ（銅）粉末を用意した。またシェル物質として、実施例１と同じ親水性フュームドアルミナ粒子（品番『ＡＥＲＯＸＩＤＥ(登録商標)Ａｌｕ Ｃ』）を用意した。次に、コア物質（Ｃｕ粉末）３０体積％とシェル物質（フュームドアルミナ粒子）７０体積％を自転・公転方式ミキサー（株式会社シンキ―製、あわとり練太郎：型番『ＡＲＥ－３１０』）にて大気中、２０００ｒｐｍで３分間混合することにより複合フィラーを得た。この複合フィラーの粒径分布のピークは、図１９ａに示すように、粒径が１３μｍと６７μｍの２つであり、表１５に示すように、この複合フィラーは、粒径分布において、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が１１．２μｍ、同じく５０％の粒径が５１．２μｍ、同じく９０％の粒径が９１．９μｍであった。複合フィラーの粒度分布においてピーク径６７μｍがメインであったことと、乾式ボールミルで複合化した実施例６と有意差があったため、シェル物質層の厚さは６７μｍ－３４μｍの３３μｍと見積った。図１９ｂにＣｕ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図を、図１９ｃに複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図をそれぞれ示す。
【0062】
【表15】
【0063】
＜比較例３＞
コア物質として、図２０ａに示すように、粒度分布に１つのピーク粒径３４μｍを有し、表１６に示すように、小径側から計算した累積体積％が１０％の粒径が１３．５μｍ、同じく５０％の粒径が３０．６μｍ、同じく９０％の粒径が６２．０μｍである、実施例６と同じ銅（Ｃｕ）粉末を用意した。またシェル物質として、実施例１と同じ、親水性フュームドアルミナ粒子（品番『ＡＥＲＯＸＩＤＥ(登録商標)Ａｌｕ Ｃ』）を用意した。次に、コア物質（Ｃｕ粉末）２５体積％とシェル物質（フュームドアルミナ粒子）７５体積％を実施例１と同じ乾式ボールミルを用いて実施例１と同じ方法で乾式混合して複合フィラーを得た。この複合フィラーの粒径分布のピークは、図２０ａに示すように、粒径が１３μｍと５９μｍの２つであり、表１６に示すように、この複合フィラーは、粒径分布において、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が４．１μｍ、同じく５０％の粒径が１３．８μｍ、同じく９０％の粒径が７１．０μｍであった。Ｃｕ粉末の粒度分布における粒径が５μｍから１７５μｍまでの広い範囲であったため、シェル物質層の厚さの算出は困難であったが、便宜的にシェル物質層の厚さは５９μｍ－３４μｍの２５μｍと見積った。図２０ｂにＣｕ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図を、図２０ｃに複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図をそれぞれ示す。
コア物質として、図２０ａに示すように、粒度分布に１つのピーク粒径３４μｍを有し、表１６に示すように、小径側から計算した累積体積％が１０％の粒径が１３．５μｍ、同じく５０％の粒径が３０．６μｍ、同じく９０％の粒径が６２．０μｍである、実施例６と同じ銅（Ｃｕ）粉末を用意した。またシェル物質として、実施例１と同じ、親水性フュームドアルミナ粒子（品番『ＡＥＲＯＸＩＤＥ(登録商標)Ａｌｕ Ｃ』）を用意した。次に、コア物質（Ｃｕ粉末）２５体積％とシェル物質（フュームドアルミナ粒子）７５体積％を実施例１と同じ乾式ボールミルを用いて実施例１と同じ方法で乾式混合して複合フィラーを得た。この複合フィラーの粒径分布のピークは、図２０ａに示すように、粒径が１３μｍと５９μｍの２つであり、表１６に示すように、この複合フィラーは、粒径分布において、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が４．１μｍ、同じく５０％の粒径が１３．８μｍ、同じく９０％の粒径が７１．０μｍであった。Ｃｕ粉末の粒度分布における粒径が５μｍから１７５μｍまでの広い範囲であったため、シェル物質層の厚さの算出は困難であったが、便宜的にシェル物質層の厚さは５９μｍ－３４μｍの２５μｍと見積った。図２０ｂにＣｕ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図を、図２０ｃに複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図をそれぞれ示す。
【0064】
【表16】
【0065】
＜比較例４＞
コア物質として、図２１ａに示すように、粒度分布に１つのピーク粒径３４μｍを有し、表１７に示すように、小径側から計算した累積体積％が１０％の粒径が１３．５μｍ、同じく５０％の粒径が３０．６μｍ、同じく９０％の粒径が６２．０μｍである、実施例６と同じ銅（Ｃｕ）粉末を用意した。またシェル物質として、実施例１と同じ、親水性フュームドアルミナ粒子（品番『ＡＥＲＯＸＩＤＥ(登録商標)Ａｌｕ Ｃ』）を用意した。次に、コア物質（Ｃｕ粉末）９０体積％とシェル物質（フュームドアルミナ粒子）１０体積％を実施例１と同じ乾式ボールミルを用いて実施例１と同じ方法で乾式混合して複合フィラーを得た。この複合フィラーの粒径分布のピークは、図２１ａに示すように、粒径が３０μｍの１つであり、表１７に示すように、この複合フィラーは、粒径分布において、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が１４．０μｍ、同じく５０％の粒径が２７．１μｍ、同じく９０％の粒径が５０．２μｍであった。混合後の複合フィラーの粒度分布は小粒径側に多少シフトしたシャープな１つのピークとなり、シェル物質の厚さの算出は困難であった。図２１ｂにＣｕ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図を、図２１ｃに複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図をそれぞれ示す。
コア物質として、図２１ａに示すように、粒度分布に１つのピーク粒径３４μｍを有し、表１７に示すように、小径側から計算した累積体積％が１０％の粒径が１３．５μｍ、同じく５０％の粒径が３０．６μｍ、同じく９０％の粒径が６２．０μｍである、実施例６と同じ銅（Ｃｕ）粉末を用意した。またシェル物質として、実施例１と同じ、親水性フュームドアルミナ粒子（品番『ＡＥＲＯＸＩＤＥ(登録商標)Ａｌｕ Ｃ』）を用意した。次に、コア物質（Ｃｕ粉末）９０体積％とシェル物質（フュームドアルミナ粒子）１０体積％を実施例１と同じ乾式ボールミルを用いて実施例１と同じ方法で乾式混合して複合フィラーを得た。この複合フィラーの粒径分布のピークは、図２１ａに示すように、粒径が３０μｍの１つであり、表１７に示すように、この複合フィラーは、粒径分布において、小径側から計算した累積体積が１０％の粒径が１４．０μｍ、同じく５０％の粒径が２７．１μｍ、同じく９０％の粒径が５０．２μｍであった。混合後の複合フィラーの粒度分布は小粒径側に多少シフトしたシャープな１つのピークとなり、シェル物質の厚さの算出は困難であった。図２１ｂにＣｕ粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図を、図２１ｃに複合フィラーの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の写真図をそれぞれ示す。
【0066】
【表17】
【0067】
＜比較例５＞
実施例６と同じ、コア物質のＣｕ（銅）粉末のみからなるフィラーを作製した。
実施例６と同じ、コア物質のＣｕ（銅）粉末のみからなるフィラーを作製した。
【0068】
＜比較例６＞
実施例１１と同じ、Ａｌ（アルミニウム）粉末のみからなるフィラーを作製した。
実施例１１と同じ、Ａｌ（アルミニウム）粉末のみからなるフィラーを作製した。
【0069】
＜比較例７＞
実施例１と同じ、Ｓｎ（錫）粉末のみからなるフィラーを作製した。
実施例１と同じ、Ｓｎ（錫）粉末のみからなるフィラーを作製した。
【0070】
上述した実施例１～１３及び比較例１～４のコア物質、シェル物質の各内容及びこれらの物質の混合方法を表１８に示す。また複合フィラーの組成及び複合フィラーの物性を表１９に示す。なお、比較例５～７のフィラーは複合化していないコア物質のみからなるが、便宜的に複合フィラーと表記している。
【0071】
【表18】
【0072】
【表19】
【0073】
＜物性値の比較測定＞
実施例１～１３及び比較例１～４の複合フィラー、比較例５～７のフィラーの各熱伝導率を前述した装置を用いて測定した。またこれらの複合フィラー及びフィラーの各体積抵抗率に関して、体積抵抗率が１０6Ω・ｃｍ以上の場合は高抵抗・抵抗率計及び粉体抵抗測定システムを、体積抵抗率が１０6Ω・ｃｍ未満の場合は低抵抗・抵抗率計及び粉体抵抗測定システムをそれぞれ用いて測定した。更にこれらの複合フィラー及びフィラーを用いて前述した方法で作製された樹脂成形体の各絶縁破壊電圧を前述した装置を用いて測定した。これらの結果を表１９に示す。比較例５のＣｕ粉末からなるフィラーの熱電導率を１００と規格化したときの実施例１～１３及び比較例１～４，６、７の各熱伝導比も表１９に示す。
実施例１～１３及び比較例１～４の複合フィラー、比較例５～７のフィラーの各熱伝導率を前述した装置を用いて測定した。またこれらの複合フィラー及びフィラーの各体積抵抗率に関して、体積抵抗率が１０6Ω・ｃｍ以上の場合は高抵抗・抵抗率計及び粉体抵抗測定システムを、体積抵抗率が１０6Ω・ｃｍ未満の場合は低抵抗・抵抗率計及び粉体抵抗測定システムをそれぞれ用いて測定した。更にこれらの複合フィラー及びフィラーを用いて前述した方法で作製された樹脂成形体の各絶縁破壊電圧を前述した装置を用いて測定した。これらの結果を表１９に示す。比較例５のＣｕ粉末からなるフィラーの熱電導率を１００と規格化したときの実施例１～１３及び比較例１～４，６、７の各熱伝導比も表１９に示す。
【0074】
＜評価＞
表１８及び表１９から明らかなように、コア物質とシェル物質の混合を乾式ボールミル混合法によらない手混ぜで混合した比較例１の複合フィラーでは、体積抵抗率の測定は粉体に圧力をかけて圧縮した状態で測定するために１．９×１０6Ω・ｃｍと一見高めの数値が得られているが、実際は混合力が著しく不足しているためシェルの形成には至らず、樹脂への馴染みが非常に悪いため成形体の作製が困難であり絶縁破壊電圧を測定できなかった。またコア物質とシェル物質の混合を乾式ボールミル混合法によらない自転・公転方式ミキサーで混合した比較例２の複合フィラーでは、乾式ボールミルで混合した実施例６の複合フィラーに比べてシェル物質層が厚くシェル内に多くの空隙が存在しており、体積抵抗率が２．９×１０2Ω・ｃｍと低くかった。
表１８及び表１９から明らかなように、コア物質とシェル物質の混合を乾式ボールミル混合法によらない手混ぜで混合した比較例１の複合フィラーでは、体積抵抗率の測定は粉体に圧力をかけて圧縮した状態で測定するために１．９×１０6Ω・ｃｍと一見高めの数値が得られているが、実際は混合力が著しく不足しているためシェルの形成には至らず、樹脂への馴染みが非常に悪いため成形体の作製が困難であり絶縁破壊電圧を測定できなかった。またコア物質とシェル物質の混合を乾式ボールミル混合法によらない自転・公転方式ミキサーで混合した比較例２の複合フィラーでは、乾式ボールミルで混合した実施例６の複合フィラーに比べてシェル物質層が厚くシェル内に多くの空隙が存在しており、体積抵抗率が２．９×１０2Ω・ｃｍと低くかった。
【0075】
混合時のコア物質の体積％が２５体積％であって、シェル物質の体積％が７５体積％である、適切な範囲にない比較例３の複合フィラーでは、コア物質に対してシェル物質が過剰なため、絶縁破壊電圧は５．０ｋＶ／ｍｍと高いが熱伝導率が０.０７０Ｗ／ｍ・Ｋと低かった。また混合時のコア物質の体積％が９０体積％であって、シェル物質の体積％が１０体積％である、適切な範囲にない比較例４の複合フィラーでは、熱伝導率が０．１１２Ｗ／ｍ・Ｋと高く優れていたが、シェル物質の量が不十分で適切な絶縁化ができていないため体積抵抗率が２．６×１０-3Ω・ｃｍと低く、かつ絶縁破壊電圧は０ｋＶ／ｍｍと著しく低くかった。
【0076】
Ｃｕ粉末のコア物質のみからなる比較例５のフィラーでは、熱伝導率が０．１２６Ｗ／ｍ・Ｋと高く優れていたが、体積抵抗率が１．８×１０-4Ω・ｃｍと低く、かつ絶縁破壊電圧は０ｋＶ／ｍｍと著しく低くかった。Ａｌ粉末のコア物質のみからなる比較例６のフィラーでは、熱伝導率が０．１９１Ｗ／ｍ・Ｋと高く優れていたが、体積抵抗率が１．４×１０-4Ω・ｃｍと低く、かつ絶縁破壊電圧は０ｋＶ／ｍｍと著しく低くかった。Ｓｎ粉末のコア物質のみからなる比較例７のフィラーでは、熱伝導率が０．１８１Ｗ／ｍ・Ｋと高く優れていたが、体積抵抗率が１．０×１０-4Ω・ｃｍと低く、かつ絶縁破壊電圧は０ｋＶ／ｍｍと著しく低くかった。
【0077】
これに対して、シェル物質のフュームド酸化物粒子が真球状の一次粒子が数珠状に凝集して融着することにより嵩高い凝集粒子が形成されこの凝集粒子から集塊粒子に変化した粒子であって、このシェル物質とコア物質とが乾式ボールミルで混合され、複合フィラ－を１００体積％とするとき、コア物質が３０体積％～８５体積％の範囲にあり、シェル物質が１５体積％～７０体積％の範囲にある実施例１～１３の複合フィラーでは、熱電導率が０．０７５Ｗ／ｍ・Ｋ以上であり、体積抵抗率が１．０×１０5Ω・ｃｍ以上であり、絶縁破壊電圧が１ｋＶ／ｍｍ以上であった。
【0078】
特に、コア物質（Ｃｕ粉末）とシェル物質（フュームドアルミナ粒子）の材質がそれぞれ同一である一方、各体積％が異なる実施例６（Ｃｕ：フュームドアルミナ粒子＝３０体積％：７０体積％）の複合フィラーと、実施例９（Ｃｕ：フュームドアルミナ粒子＝７０体積％：３０体積％）の複合フィラーとを熱伝導率に関して対比すると、コア物質がリッチの実施例９の熱伝導率が０．１２８Ｗ／ｍ・Ｋで高かったのに対して、コア物質がプアの実施例６の熱伝導率は０．０８６Ｗ／ｍ・Ｋで低かった。
【0079】
体積抵抗率及び絶縁破壊電圧に関しては、シェル物質がリッチの実施例６の体積抵抗率及び絶縁破壊電圧がそれぞれ ５．７×１０5Ω・ｃｍ及び４．６ｋＶ／ｍｍであったのに対して、シェル物質がプアの実施例９の体積抵抗率及び絶縁破壊電圧はそれぞれ７．６×１０6Ω・ｃｍ及び１．２ｋＶ／ｍｍであった。体積抵抗率では、実施例９の方が実施例６より高かったが、絶縁破壊電圧では、実施例６の方が実施例９より高かったけれども、これはしばしば生じる結果である。体積抵抗値は粉体そのものではなく高い圧力をかけて圧縮したサンプルを測定するものであり、また電圧は高々０．１～０．５ｋＶ程度の印加であるため、絶縁性の議論は絶縁破壊電圧を用いた方がより信頼性が高い。
【0080】
また、実施例６のコア物質及びシェル物質と同じ材質及び同じ体積％であった複合フィラーをＣ４処理した実施例１０を考察すると、実施例６の熱伝導率が０．０８６Ｗ／ｍ・Ｋであったものが、実施例１０の熱伝導率は０．１０５Ｗ／ｍ・Ｋと若干高くなった。また体積抵抗率で対比すると、実施例６の体積抵抗率が５．７×１０5Ω・ｃｍであったものが、実施例１０の体積抵抗率は１．９×１０7Ω・ｃｍと大幅に高くなった。更に絶縁破壊電圧で対比すると、実施例６の絶縁破壊電圧が４．６ｋＶ／ｍｍであったものが、実施例１０の絶縁破壊電圧は１．３ｋＶ／ｍｍと低くなった。これは複合フィラーのＣ４処理によりコア―シェル界面やシェル物質層内の空気が置換されたためと考えられる。
【0081】
更に、フュームド酸化物粒子が疎水性フュームドアルミナ粒子である実施例８の複合フィラーでは、体積抵抗率が３．６×１０10Ω・ｃｍであって、フュームド酸化物粒子が親水性である他の実施例の複合フィラーの体積抵抗率が高かった。これは疎水性フュームドアルミナ粒子が親水性フュームドアルミナ粒子より体積抵抗率が高いことに起因すると考えられる。
【産業上の利用可能性】
【0082】
本発明の複合フィラーは、通信機器や車載電子機器の半導体チップ又はトランジスタ又はリチウムイオン二次電池又はＬＥＤ光源からなる発熱体の冷却部材、モータのハウジングに内蔵されたステータの冷却部材、インバータのケースに内蔵された電力変換装置の冷却部材、アクチュエータの摺動部又は回転部で発生した熱の放熱部材等に利用できる。
【要約】
【課題】放熱性（熱伝導性）を有するとともに従来の電気絶縁性よりもより高い電気絶縁性を有する複合フィラーを提供する。
【解決手段】炭素、金属、酸化亜鉛又は酸化ジルコニウムからなるコア物質と、このコア物質の表面に付着したシェル物質とからなるコアシェル構造を形成する複合フィラーである。シェル物質が、フュームド酸化物粒子とコア物質とを乾式ボールミルで混合することにより、フュームド酸化物粒子がコア物質の表面の一部又は全部に付着してなる。フュームド酸化物粒子が、真球状の一次粒子が数珠状に凝集して融着することにより嵩高い凝集粒子が形成されこの凝集粒子から集塊粒子に変化した粒子である。複合フィラ－中、コア物質は３０～８５体積％であり、シェル物質は１５～７０体積％であり、熱伝導率が０．０７５Ｗ／ｍ・Ｋ以上であり、体積抵抗率が１．０×１０5Ω・ｃｍ以上であり、かつ絶縁破壊電圧が１ｋＶ／ｍｍ以上である。
【選択図】図１
【解決手段】炭素、金属、酸化亜鉛又は酸化ジルコニウムからなるコア物質と、このコア物質の表面に付着したシェル物質とからなるコアシェル構造を形成する複合フィラーである。シェル物質が、フュームド酸化物粒子とコア物質とを乾式ボールミルで混合することにより、フュームド酸化物粒子がコア物質の表面の一部又は全部に付着してなる。フュームド酸化物粒子が、真球状の一次粒子が数珠状に凝集して融着することにより嵩高い凝集粒子が形成されこの凝集粒子から集塊粒子に変化した粒子である。複合フィラ－中、コア物質は３０～８５体積％であり、シェル物質は１５～７０体積％であり、熱伝導率が０．０７５Ｗ／ｍ・Ｋ以上であり、体積抵抗率が１．０×１０5Ω・ｃｍ以上であり、かつ絶縁破壊電圧が１ｋＶ／ｍｍ以上である。
【選択図】図１
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5a】
【図5b】
【図5c】
【図6a】
【図6b】
【図6c】
【図7a】
【図7b】
【図7c】
【図8a】
【図8b】
【図8c】
【図9a】
【図9b】
【図9c】
【図10a】
【図10b】
【図10c】
【図11a】
【図11b】
【図11c】
【図12a】
【図12b】
【図12c】
【図13a】
【図13b】
【図13c】
【図14a】
【図14b】
【図14c】
【図15a】
【図15b】
【図15c】
【図16a】
【図16b】
【図16c】
【図17a】
【図17b】
【図17c】
【図18a】
【図18b】
【図18c】
【図19a】
【図19b】
【図19c】
【図20a】
【図20b】
【図20c】
【図21a】
【図21b】
【図21c】
